KR19980071158A

KR19980071158A - 탈기장치 및 처리장치

Info

Publication number: KR19980071158A
Application number: KR1019980003542A
Authority: KR
Inventors: 다테야마기요히사
Original assignee: 히가시데쓰로; 동경엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 1997-02-07
Filing date: 1998-02-06
Publication date: 1998-10-26
Also published as: TW455927B; KR100355180B1; US6126725A; JPH10216404A; JP3280880B2

Abstract

본 발명의 탈기장치는, 레지스트액, 현상액, 용제 등의 액체중에 존재하는 기체를 충분히 제거할 수 있다. 이 탈기장치는 액체가 흐르는 액체유로와, 엑체유로에 인접하고 기체가 흐르는 기체유로와, 액체유로와 기체유로와의 사이를 칸막이하도록 설치되어, 기체를 투과하는 기능을 가진 막형상체와, 기체유로에 연속하는 배기장치를 구비하고 있다. 액체유로에 액체를 흐르게 하면서, 배기장치를 작동시킴으로써, 액체유로를 흐르는 액체중의 기체가 막형상체를 투과하여, 기체유로를 통하여 배출된다.

Description

탈기장치 및 처리장치

본 발명은, 예를들어 액정 디스플레이 디바이스(LCD) 기판에 도포되는 레지스트액으로부터 기체를 탈기(脫氣)하는 탈기장치 및 이와 같은 탈기장치를 사용한 처리장치에 관한 것이다.

일반적으로, LCD기판의 제조에 있어서는, 포토리소그라피기술에 의하여 회로패턴이 형성된다. 그 제조공정은 예컨대 LCD기판상에 레지스트액을 도포하고, 회로패턴에 대응하여 레지스트를 노광(露光)하고, 이것을 현상처리하는 것이다.

이와 같은 도포·현상처리에 있어서는, 처리액으로서, 레지스트액 뿐만 아니라 현상액 및 신너 등의 레지스트의 용제가 사용된다. 이들 처리액에는 여러 가지의 요인으로 기체가 함유되어 있다. 이와 같이 처리액중에 기체가 함유되어 있으면, 다음과 같은 지장을 초래한다.

예를들어 레지스트에 기체가 함유되면, 레지스트를 도포할때에 기포(氣泡)로 되어 도포얼룩이 생긴다. 또 현상액에 기체가 함유되면, 피처리기판상에 액성장시에 기포가 발생하여, 비현상부분이 생긴다. 또한 신너 등의 용제에 기체가 함유되면 레지스트막의 구멍에 붙어 있게 된다.

그리하여, 상기한 문제를 해결하기 위해, 이들 처리액을 탈기하는 것을 생각할 수 있다.

액체의 탈기방법으로서는, 액체를 감압탱크에 넣고, 진공펌프 등을 사용하여 진공탈기하는 방법이 있다. 또 일본국 특개평 9-7936 호 공보에는, 현상액의 탈기방법으로서, 불소수지의 튜브에 액체를 흐르게 하여, 수지관의 바깥쪽으로부터 진공흡인하고, 그 핀홀을 이용하여 튜브를 흐르는 액체로부터 기체 만을 제거하는 방법이 개시되어 있다.

그런데, 감압탱크를 사용하여 진공탈기하는 방법의 경우에는, 액체의 표면부분은 비교적 충분히 탈기되지만, 내부까지 충분히 탈기할 수 없고, 탈기능력이 불충분하다.

또, 불소수지의 튜브를 사용하여서 탈기하는 방법의 경우에는, 튜브의 강도적(强度的)인 면에서 튜브를 얇게 할 수 없고, 따라서 투과성(透過性)이 나쁘고, 탈기능력이 충분하다고는 할 수 없다. 또 특히 대량의 처리액을 필요로 하게 되는 LCD기판의 도포·현상공정에 있어서는, 양적으로 과부족없이 탈기한 처리액을 공급하기 위해서는 탈기의 설비가 꽤 대규모로 된다.

본 발명의 목적은, 액체중에 함유되는 기체를 충분히 제거할 수 있는 탈기장치 및 그것을 사용한 처리장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 목적은, 대량으로 탈기할 수 있는 탈기장치 및 그것을 사용한 처리장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 목적은, 구조가 심플하고 조립이 매우 간단한 탈기장치 및 그것을 사용한 처리장치를 제공하는 것에 있다.

도 1a는 본 발명의 1실시형태에 관계된 도포·현상장치를 나타낸 사시도,

도 1b는 도 1a의 평면도,

도 2는 도 1에 나타낸 도포·현상장치의 레지스트 도포유닛에 있어서의 레지스트액 및 용제의 공급계를 나타낸 도면,

도 3은 도 1에 나타낸 도포·현상장치의 현상유닛에 있어서의 현상액의 공급계를 나타낸 도면,

도 4는 본 발명의 1실시형태에 관계된 탈기장치의 분해사시도,

도 5는 도 4에 나타낸 탈기장치의 평면도,

도 6은 도 4 및 도 5에 나타낸 탈기장치의 A-A′선에 따른 단면도,

도 7은 도 4 및 도 5에 나타낸 탈기장치의 B-B′선에 따른 단면도,

도 8은 본 발명의 효과를 설명하기 위한 도면,

도 9는 본 발명의 다른 실시형태에 관계된 탈기장치의 단면도,

도 10은 본 발명의 또 다른 실시형태에 관계된 탈기장치의 단면도,

도 11은 본 발명의 또 다른 실시형태에 관계된 탈기장치의 단면도이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 카세트스테이션 2 : 처리부

3 : 반송장치 11 : 반송아암

12 : 반송로 15,16 : 통로

17 : 중계부 18 : 메인아암

21 : 세정유닛 22 : 가열처리유닛

23 : UV처리유닛 24 : 냉각처리유닛

25 : 레지스트도포유닛 26 : 어드히젼처리유닛

29 : 현상처리유닛 30 : 인터페이스부

31 : 스핀척 32 : 노즐홀더

33 : 레지스트액노즐 34 : 용제노즐

40 : 레지스트액 공급계 41 : 액공급배관

42 : 레지스트액 용기 43 : 벨로즈펌프

44 : 스텝핑모터 47 : 탈기장치

50 : 용제공급계 51 : 용제공급배관

52 : 용제용기 53 : 가스봄베

54 : 필터 55 : 탈기장치

60 : 현상액공급계 61 : 현상액 용기

62 : 배관 63 : 가스봄베

67 : 탈기장치 72 : 노즐

73 : 척 83 : 장착부재

84 : 기체유로 85 : 막

90 : 배기관 91 : 진공펌프

94 : 액체유로 96 : 액공급관

이러한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 탈기장치는, 액체중에 함유된 기체를 제거하는 탈기장치로서, 상기 액체가 흐르는 액체유로와, 상기 액체유로에 인접하여, 상기 기체가 흐르는 기체유로와, 상기 액체유로와 상기 기체유로와의 사이를 칸막이하도록 설치되고, 상기 액체중에 함유된 기체를 투과하는 막형상체와, 상기 기체유로를 배기하는 수단을 구비한다.

본 발명에 의하면, 액체유로와 기체유로와의 사이를 칸막이하도록, 기체를 투과하는 기능을 가진 막형상체를 설치하고, 액체유로에 액체를 흐르게 하면서, 배기수단을 작동시킴으로써, 액체유로를 흐르는 액체중의 기체를 분리하는 것이므로, 액체중에 존재하는 기체를 충분히 제거할 수 있고, 더구나 대량으로 탈기할 수 있다. 다시 말하여 막형상체이기 때문에, 종래의 튜브의 경우보다도 얇게 할 수 있으며, 기체의 투과성을 높일 수 있고, 더구나 액체유로와 기체유로와의 사이를 칸막이하도록 막형상체를 설치하였으므로, 종래의 튜브의 경우보다도 액체의 유량을 많이 할 수 있고, 결과적으로 액체로부터 기체를 제거하는 능력이 높아지고, 또한 대량으로 탈기하는 것이 가능하게 된다.

[실시예]

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.

도 1은 본 발명의 LCD기판의 도포·현상장치를 나타낸 사시도이다.

이 도포·현상장치는, 복수의 LCD기판(S)을 수용하는 카세트(C)를 재치하는 카세트스테이션(1)과, LCD기판(S)에 레지스트도포 및 현상을 포함한 일련의 처리를 행하기 위한 복수의 처리유닛을 구비한 처리부(2)와, 카세트스테이션(1) 상의 카세트(C)와 처리부(2)와의 사이에서 LCD기판(S)의 반송을 행하기 위한 반송장치(3)를 구비한다.

카세트스테이션(1)에서는, 도포·현상장치로의 카세트(C)의 반입 및 도포·현상장치로 부터의 카세트(C)의 반출이 행해진다.

반송장치(3)는, 카세트의 배열방향을 따라서 마련된 반송로(12)상을 이동가능한 반송아암(11)을 구비한다. 이 반송아암(11)에 의하여 카세트(C)와 처리부(2)와의 사이에서 LCD기판(S)의 반송이 행해진다.

처리부(2)는, 전단부분(2a)과 후단부분(2b)로 나뉘어져 있다. 전단부분(2a)은 중앙에 통로(15)를 가진다. 후단부분(2b)은 통로(16)를 가진다. 이들 통로(15),(16)의 양쪽에는, 각각 각종 처리유닛이 배설되어 있다. 전단부분(2a)과 후단부분(2b)과의 사이에는 중계부(17)가 설치되어 있다.

전단부분(2a)은, 통로(15)를 따라서 이동가능한 메인아암(18)을 구비하고 있다. 통로(15)의 한쪽편에는, 냉각처리유닛(24), 가열처리유닛(22) 및 UV처리유닛(23)이 배치되어 있다. 통로(15)의 다른쪽편에는, 세정유닛(21) 및 현상처리유닛(29)이 배치되어 있다.

후단부분(2b)은, 통로(16)를 따라서 이동가능한 메인아암(19)을 구비하고 있다. 통로(19)의 한쪽편에는, 어드히젼처리유닛(26), 복수의 가열처리유닛(22) 및 냉각처리유닛(24)으로 이루어진 열계(熱系) 유닛군이 배치되어 있다. 레지스트도포유닛(25)은 LCD기판(S)에 레지스트를 도포하는 레지스트도포부와 레지스트가 도포된 LCD기판(S) 끝단의 레지스트를 제거하는 끝단 리무버를 가진다.

또한, 후단부분(2b)의 뒤끝단에는 노광장치(도시하지 않음)와의 사이에서 LCD기판(S)의 받아넘김을 행하기 위한 인터페이스부(30)가 설치되어 있다.

상기 메인아암(18)은, 반송장치(3)의 아암(11)과의 사이에서 LCD기판(S)의 받아넘김을 행함과 동시에, 전단부(2a)의 각 처리유닛에 대한 LCD기판(S)의 반입·반출, 그 위에 중계부(17)와의 사이에서 기판(S)의 주고받기를 행하는 기능을 가지고 있다.

메인아암(19)는 중계부(17)와의 사이에서 LCD기판(S)의 받아넘김을 행함과 동시에 후단부분(2b)의 각 처리유닛에 대한 LCD기판(S)의 반입·반출, 그리고 인터페이스부(30)와의 사이에서 LCD기판(S)의 받아넘김을 행하는 기능을 가지고 있다.

이와 같이 본 실시형태의 도포·현상장치에서는, 각 처리유닛을 집약하여 일체화함으로써, 스페이스 절약화 및 처리의 효율화를 도모하고 있다.

이와 같이 구성되는 도포·현상장치에 있어서, 카세트(C) 내의 LCD기판(S)이 처리부(2)로 반송되어, 먼저 세정유닛(21)에 의하여 세정처리되고, 레지스트의 정착성을 높이기 위하여 어드히젼처리유닛(26)으로 소수화(疎水化)처리되고, 냉각처리유닛(24)으로 냉각한 후, 레지스트도포유닛(25)으로 레지스트가 도포된다.

그 후, LCD기판(S)은, 가열처리유닛(22)의 하나로 프리페이크처리되고, 냉각유닛(24)으로 냉각된 후, 인터페이스부(30)를 통하여 노광장치로 반송되어 그곳에서 소정의 패턴이 노광된다.

그리고, 다시 인터페이스부(30)를 통하여 반입되어, 가열처리유닛(22)의 하나에서 포스트엑스포저 베이크처리가 시행된다.

그 후, 냉각유닛(24)에서 냉각된 LCD기판(S)은, 현상처리유닛(29)에서 현상처리되고, 소정의 회로패턴이 형성된다.

현상처리된 LCD기판(S)은, 메인아암(18) 및 반송장치(3)에 의하여 카세트스테이션(1) 상의 소정의 카세트(C)에 수용된다.

본 발명에 관계된 탈기장치는, 상술한 장치중, 레지스트도포유닛(25) 및 현상처리유닛(29)에 적용된다.

도 2는, 레지스트도포유닛(25)에 있어서의 레지스트액 및 용제의 공급계를 나타낸 도면이다.

레지스트도포유닛(25)은 LCD기판(S)을 흡착유지하는 스핀척(31)을 가진다. 스핀척(31)의 위쪽에 노즐홀더(32)가 설치되어 있다. 노즐홀더(32)에는 레지스트액노즐(33)과 용제노즐(34)이 부착되어 있다. 레지스트액노즐(33)에는 레지스트액공급계(40)가 접속되어 있다. 용제노즐(34)에는 용제공급계(50)가 접속되어 있다. 또한 스핀척(31)에 유지된 LCD기판(S)은 회전가능한 컵(도시하지 않음)에 둘러싸이고, 이 컵은 도포동작중에 덮개채(도시하지 않음)에 의하여 밀폐된다.

레지스트액공급계(40)는 레지스트액공급배관(41)을 가진다. 레지스트액공급배관(41)의 한 끝단에는, 레지스트액노즐(33)이 설치되어 있다. 레지스트액공급배관(41)의 다른 끝단에는 레지스트액용기(42)가 설치되어 있다. 레지스트액용기(42) 내의 레지스트액은, 벨로즈펌프(43)에 의하여 노즐(33)을 향해 공급된다. 이 벨로즈펌프(43)는 스테핑모우터(44)에 의하여 볼나사(45)를 회전시킴으로써, 레지스트액의 흡인 및 레지스트액의 송출이 가능하게 되어 있다.

벨로즈펌프(43)로부터 송출된 레지스트액은, 필터(46), 후술하는 탈기장치(47), 에어오퍼레이션밸브(48) 및 서크백(suck back) 밸브(49)를 지나서 레지스트액노즐(33)로부터 토출된다.

또한, 에어오퍼레이션밸브(48)는 레지스트액의 공급로를 개폐하는 기능을 가진다. 서크백밸브(49)는 노즐(33) 선단에 잔류하고 있는 레지스트액을 되돌려 고체화를 방지하는 기능을 가지고 있다.

용제공급계(50)는 용제공급배관(51)을 가진다. 용제공급배관(51)의 한 끝단에는 용제노즐(34)이 설치되어 있다. 용제공급배관(51)의 다른끝단에는 용제용기(52)가 설치되어 있다. 용제용기(52)에는 용제로서 예를들면 신너가 저류되어 있다. 이 용제는 가스압송에 의하여 노즐(34)를 향해 공급된다. 이 가스압송은 가스봄베(53) 내의 압송가스, 예컨대 질소가스를 용기(52) 내로 공급함으로써 행해진다. 용제용기(52) 내의 용제는 가스압송됨으로써, 필터(54) 및 후술하는 탈기장치(55)를 지나 노즐(34)로부터 토출된다.

도 3은 현상처리유닛(29)에 있어서의 현상액 공급계를 나타낸 도면이다.

현상처리유닛(29)은 LCD기판(S)을 흡착하여 유지하는 척(73)을 가진다. 척(73)의 위쪽에는 노즐(72)이 설치되어 있다. 노즐(72)은 LCD기판(S)과 대략 동일한 폭을 가진다. 노즐(72)의 바닥부에는 노즐(72)의 긴쪽방향을 따라서 복수의 액토출구멍이 형성되어 있다. 노즐(72)에는 현상액공급계(60)가 접속되어 있다. 또한 노즐(72)은 피처리기판의 표면으로 근접하여 배치되어 있다. 또 노즐(72)은 처리액을 토출하기 위한 단독의 액 토출구를 가지는 스트림노즐이라도 좋고, 처리액을 토출하기 위한 복수의 액 토출구를 가진 멀티노즐이라도 좋다. 또한 노즐(72)은 기판(S)의 한변의 방향을 따라서 이동하도록 되어 있다.

또한, 척(73)에 유지된 LCD기판(S)은 컵(도시하지 않음)에 둘러싸여 있다.

현상액공급계(60)는 현상액용기(61)를 가진다. 현상액용기(61)에는 현상액이 저류되어 있다. 현상액용기(61)에는 압송가스로서 예를들면 질소가스를 저장한 가스봄베(63)가 배관(64)을 통하여 접속되어 있다. 현상액용기(61) 내의 현상액에는 배관(62)의 끝단부가 침지되어 있다. 배관(62)의 도중에는, 중간용기(66) 및 후술하는 탈기장치(67)가 차례로 설치되어 있다. 현상액용기(61) 내의 현상액은 가스봄베(63) 내의 압송가스, 예컨대 질소가스가 배관(64)을 통하여 현상액용기(61)로 공급됨으로써, 배관(62)을 통해 노즐(72)을 향하여 압송된다. 또한 중간용기(66)의 바깥쪽에는 예컨대 정전용량센서로 이루어진 리미트센사(66a) 및 엔프티센서(66b)가 설치되어 있으며, 이들로부터의 신호가 도시하지 않은 컨트롤러에 출력되어, 현상액의 액면의 위치가 제어된다.

탈기장치(67)의 하류쪽에서 배관(62)은 복수의 배관, 예컨대 배관(62a)과 배관(62b)으로 분기되고, 각 배관에는 노즐(72)에 이르기까지, 각각 플로메터(68a),(68b), 필터(69a),(69b), 온도조절수가 순환되는 워터재킷(70a),(70b), 에어오퍼레이션밸브(71a),(71b)가 차례로 설치되어 있고, 노즐(72)에는 이들 2개의 배관(62a),(62b)을 통하여 2개소로부터 현상액이 도입된다. 현상시에는 노즐(72)의 바닥부 형성된 액 토출구멍으로부터 토출된 현상액이 LCD기판(S)으로 공급된다.

다음에, 탈기장치(47),(55),(67)에 대하여 설명한다.

탈기장치(47),(55),(67)는 모두 기본적으로 동일한 구조를 가진다. 탈기장치(47),(55),(67)는 도 4 내지 도 7에 나타낸 바와 같이 구성된다. 도 4는 탈기장치의 분해사시도, 도 5는 도 4의 탈기장치의 평면도, 도 6은 도 5의 A-A′선에 따른 단면도, 도 7은 도 5의 B-B′선에 따른 단면도이다.

이들 탈기장치는, 각각 5개의 액체유로(82a) 및 (82b)가 형성된 부재(81a) 및 부재(81b)를 가지며, 이들 사이에 5개의 기체유로(84)가 형성된 장착부재(83)가 설치되어 있다. 이들 부재(81a),(81b)와, 장착부재(83)는 각 액체유로(82a),(82b) 및 각 기체유로(84)가 겹치도록 적층되어 있다.

부재(81a),(81b)는, 예를들어 스테인리스강(SUS)이나 PCTFE, PFA 등의 액으로 적셔지지 않는 재질로 형성되고, 부재(83)는 예를들어 수지로 형성된다.

부재(82a)와 장착부재(83)와의 사이 및 장착부재(83)와 부재(81b)와의 사이에는 레지스트액이나 현상액, 신너 등의 액체는 투과하지 않으나, 기체를 투과하는 기능을 가진 막(85)이 설치되어 있다. 즉 각 액체유로(82a),(82b) 와 기체유로(84)와의 사이는 막(85)으로 칸막이 되어 있다.

이들 부재(81a),(81b),(83)와 막(85)과의 사이에는, 모두 각 액체유로(82a),(82b)와 기체유로(84)를 둘러싸도록 밀폐용의 시일링(86)이 사이에 장착되어 있다.

부재(81a),(81b)의 한끝단쪽에는 액공급관(87a) 및 (87b)이 설치되어 있고, 이들 액공급관(87a) 및 (87b)으로부터 각각 각 액체유로(82a) 및 (82b)에 처리유닛에 대응하는 처리액이 공급된다.

부재(81a),(81b)의 다른 끝단쪽에는 액송출관(88a) 및 (88b)이 설치되어 있고, 각 액체유로(82a) 및 (82b)를 흘러온 처리액이 이들 액공급관(88a) 및 (88b)으로부터 송출된다.

기체유로(84)의 한끝단에는 배기관(90)이 접속되어 있다. 이 배기관(90)에는 진공펌프(91)가 접속되어 있다. 진공펌프(91)를 작동시킴으로써, 배기관(90)을 통하여 기체유로(84) 내부가 배기된다.

기체를 투과하는 막(85)은 수지 등의 고분자물질로 형성되어 있다. 막(85)에는 다수의 미세한 구멍이 존재하여, 가스는 투과하지만 액체는 투과하지 않는 현상이 생기기 때문에, 본 발명에서는 이와 같은 현상을 이용하고 있다. 막(85)을 구성하는 고분자물질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 4불화에틸렌수지(TFE)로 대표되는 불소수지가 내식성 및 내열성 등의 관점에서 바람직하다. 기타의 고분자물질의 예로서는 폴리에틸렌, 폴리카보네이트 등을 들 수 있다. 막(85)의 막두께는 강도의 관점 및 가스투과성의 관점에서 10∼300㎛가 바람직하다. 다만 염소가스나 수증기 등의 비교적 투과성이 낮은 가스인 경우, 투과량이 대략 막두께의 2승에 반비례하기 때문에, 막두께가 50∼100㎛를 넘으면, 기체가 효과적으로 투과할 수 없다.

이와 같은 탈기장치에 있어서는, 액공급관(87a) 및 (87b)으로부터 도입된 각 처리유닛에 대응하는 처리액이 각 액체유로(82a) 및 (82b)를 흐른다. 이 때 기체유로(84)는 진공펌프(91)를 작동시킴으로써, 배기관(90)을 통하여서 배기되고 있다. 따라서 액체유로(82a) 및 (82b)를 흐르는 처리액중에 존재하는 기체는, 막(85)의 미세한 구멍을 지나서 진공펌프(91)에 의하여 기체유로(84)쪽에 흡인되고, 배기관(90)을 지나서 배출된다.

본 실시형태의 탈기장치에서는, 기체를 투과시키는 부재로서 막(85)을 사용하고 있기 때문에, 얇게할 수 있고, 기체의 투과성을 높은 것으로 할 수 있다. 따라서 액체유로(82a) 및 (82b)를 흐르는 액체중에 존재하는 기체를 충분히 제거할 수 있다.

또, 액체유로와 기체유로를 복수로 설치하고, 또한 기체유로(84)를 사이에 두고 양쪽에 막(85)을 통하여 액체유로(82a) 및 (82b)를 설치하였으므로, 기체의 제거효율이 매우 높고, 처리액으로부터 기체를 제거하는 능력이 현저하게 높은 것이 된다. 특히 액체유로(82a),(82b) 및 기체유로(84)를 복수로 분기한 구조로 하였기 때문에, 각 유로의 막 접촉면으로 부터의 액층(液層)의 두께가 얕아진다. 탈기시에는 도 8에 나타낸 바와 같이 막(85)이 기체유로(84)쪽으로 불룩하게 되지만, 유로가 좁기 때문에 막(85)의 불룩해짐을 억제할 수 있다. 따라서 특히 도 8의 A로 나타낸 액체유로(82a),(82b)의 중앙 깊은부분에 있어서의 탈기능력을 높일 수 있다. 이 결과 처리액으로부터 기체를 제거하는 능력이 현저히 높은 것으로 된다. 이 경우에 액체유로(82a) 및 (82b)가 너무 깊으면, 그 중앙부의 액체에 함유된 기체를 제거하기 어렵게 되기 때문에, 기체를 효과적으로 제거하는 관점에서는, 그 깊이가 1∼5㎜정도인 것이 바람직하다.

그리고, 탈기장치의 조립시에, 막(85)을 부재(81a)와 장착부재(83)와의 사이 및 장착부재(83)와 부재(81b)와의 사이에 개재시키는 것 만으로 좋으므로, 구조가 심플하고 조립이 매우 간단하다.

또한, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지의 변형이 가능하다.

예컨대, 도 9에 나타낸 바와 같이, 상기 실시의 형태보다도 좁은 피치인 유로(82a′),(82b′)를 설치함으로써, 액체의 압력에 의하여 막(85)이 찢어지는 일이 생기지 않으며, 막(85)을 보다 얇게 하는 것이 가능하게 된다. 이에 따라 탈기능력을 더욱 높일 수 있다.

또, 도 10에 나타낸 바와 같이, 부재(91a) 및 부재(91b)에 각각 기체유로(92a) 및 (92b)를 형성함과 동시에, 중앙에 액체유로(94)를 설치하고, 막(85)을 통하여 액체유로(94)의 양쪽으로 기체유로(92a) 및 (92b)를 설치하고, 액공급관(96)으로부터 액체유로(94)에 액체를 공급하여, 배기관(97a) 및 (97b)을 통하여 배기하도록 하여도 좋다. 이와 같이 액체유로의 양쪽에 기체유로를 설치함으로써, 배기효율을 높일 수 있고, 한층 높은 탈기효율을 얻을 수 있다.

또한, 도 11에 나타낸 바와 같이, 액체유로와 기체유로를 막(85)을 통하여 번갈아 복수로 적층하도록 하여도 좋다. 도 11의 예에서는 부재(101a) 및 부재(101b)에 각각 액체유로(102a) 및 (102b)를 형성함과 동시에, 중앙에 액체유로(102c)를 설치하고, 액체유로(102a) 와 (102c)와의 사이에 2개의 막(85)을 통하여 기체유로(104a)를, 또 액체유로(102c)와 (102b)와의 사이에 2개의 막(85)을 통하여 기체유로(104b)를 설치하고 있으며, 액공급관(106)으로부터 각 액체유로에 액체를 공급하고, 배기관(97a) 및 (97b)를 통하여 배기하도록 하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 이와 같이 액체유로와 기체유로를 막을 통하여 번갈아 복수로 적층함으로써, 탈기효율을 더 한층 높일 수 있고, 탈기하는 액의 처리능력을 높일 수도 있다.

더구나, 상기 실시형태에서는 복수의 액체유로에 대응하여 기체유로에 칸막이가 형성되어 있으나, 기체유로는 공통의 것이라도 좋다.

그리고, 상기 실시형태에서는, 본 발명의 탈기장치를 레지스트 도포·현상장치에 적용한 예를 나타냈으나, 이에 한정되지 않으며 다른 처리에 적용하여도 좋다.

피처리기판으로서 LCD기판을 사용한 경우에 대하여 나타냈으나, 이에 한정되지 않으며 반도체 웨이퍼 등의 다른 피처리기판의 처리의 경우에도 적용가능한 것은 말할 것도 없다.

또, 탈기장치의 설치위치도 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 여러 위치에 설치할 수 있다. 또한 액체에 의한 처리의 경우에 한정되지 않으며, 액체의 탈기가 필요한 용도 전반에 적용하는 것이 가능하다.

본 발명에 의하면, 액체유로와 기체유로와의 사이를 칸막이하도록, 기체를 투과하는 기능을 가진 막형상체를 설치하고, 액체유로에 액체를 흐르게 하면서 배기수단을 작동시키는 것에 의해, 액체유로를 흐르는 액체중의 기체를 분리하므로, 액체중에 존재하는 기체를 충분히 제거할 수 있다.

피처리기판으로 액체를 공급하여 소정의 처리를 행하는 처리장치에, 본 발명의 탈기장치를 적용하면, 처리액으로부터 기체를 충분히 제거한 상태로 피처리기판에 처리액을 공급할 수 있다.

복수의 액체유로를 병렬로 설치하거나, 기체유로를 사이에 두고 양쪽에 막형상체를 개재하여 액체유로를 설치하거나, 액체유로를 사이에 두고 양쪽에 막형상체를 개재하여 기체유로를 설치함으로써, 한층 효율적으로 액체로부터 기체를 제거할 수 있다.

액체유로와 기체유로를 막형상체를 개재하여 번갈아 복수로 적층함으로써, 더한층 효율적으로 액체로부터 기체를 제거할 수 있다.

기체를 투과하는 기능을 가진 막형상체로서 불소수지를 사용하였으므로 내약품성 및 내열성을 높은 것으로 할 수 있다.

액체유로의 깊이를 1∼5㎜로 하였으므로, 탈기효율을 양호하게 할 수 있다.

막형상체의 두께를 10∼300㎛으로 하였으므로, 막형상체의 강도를 유지하면서 가스의 투과성을 좋게 할 수 있어, 탈기효율이 양호하게 된다.

Claims

액체중에 함유된 기체를 제거하는 탈기장치로서,

상기 액체가 흐르는 액체유로와,

상기 액체유로에 인접하고, 상기 기체가 흐르는 기체유로와,

상기 액체유로와 상기 기체유로와의 사이를 칸막이하도록 설치되고, 상기 액체중에 함유된 기체를 투과하는 막형상체와,

상기 기체유로를 배기하는 수단을 구비하는 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 기체유로에 대하여 복수의 상기 액체유로가 인접하고 있는 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 기체유로를 사이에 두고 양쪽에 상기 막형상체를 통하여 상기 액체유로가 설치되어 있는 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 액체유로를 사이에 두고 양쪽에 상기 막형상체를 통하여 상기 기체유로가 설치되어 있는 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 액체유로와 상기 기체유로가 막형상체를 개재하여 번갈아 복수로 적층되어 있는 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 막형상체가 불소수지로 구성되어 있는 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 액체유로의 깊이가 1∼5㎜인 탈기장치.
제 1 항에 있어서, 상기 막형상체의 두께가 10∼300㎛인 탈기장치.
피처리기판에 액체를 공급하여 소정의 처리를 행하는 처리장치로서,

상기 피처리기판에 처리액을 공급하는 처리액공급노즐과,

상기 처리액공급노즐에 처리액을 송출하는 처리액송출수단과,

상기 처리액송출수단과 상기 처리액공급노즐과의 사이에 설치된 처리액배관과,

상기 처리액배관의 도중에 설치되고, 상기 처리액배관을 통과하는 상기 액체중에 함유된 기체를 제거하는 탈기장치를 구비하며,

상기 탈기장치가,

상기 액체가 흐르는 액체유로와,

상기 액체유로에 인접하고, 상기 기체가 흐르는 기체유로와,

상기 액체유로와 상기 기체유로와의 사이를 칸막이하도록 설치되고, 상기 액체중에 함유된 기체를 투과하는 막형상체와,

상기 기체유로를 배기하는 수단을 구비하는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 기체유로에 대하여 복수의 상기 액체유로가 인접하여 있는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 기체유로를 사이에 두고 양쪽에 상기 막형상체를 개재하여 상기 액체유로가 설치되어 있는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 액체유로를 사이에 두고 양쪽에 상기 막형상체를 개재하여 상기 기체유로가 설치되어 있는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 액체유로와 상기 기체유로가 막형상체를 개재하여 번갈아 복수로 적층되어 있는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 막형상체가 불소수지로 구성되어 있는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 액체유로의 깊이가 1∼5㎜인 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 막형상체의 두께가 10∼300㎛인 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 처리액공급노즐이, 피처리기판의 표면에 근접하여 배치되어 있는 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 처리액공급노즐이, 처리액을 토출하기 위한 단독의 액 토출구를 가진 스트림노즐인 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 처리액공급노즐이, 처리액을 토출하기 위한 복수의 액 토출구를 가진 멀티노즐인 처리장치.
제 9 항에 있어서, 상기 처리액공급노즐이, 피처리기판의 한변방향을 따라서 이동하는 처리장치.
액체중에 함유된 기체를 제거하는 탈기장치로서,

제 1 면과 제 2 면을 가지며, 상기 제 1 면에 상기 액체가 흐르는 복수의 액체유로가 형성된 제 1 부재와,

제 3 면과 제 4 면을 가지며, 상기 제 3 면에 상기 기체가 흐르는 기체유로가 형성되고, 상기 기체유로와 상기 복수의 액체유로가 인접하도록 배치된 제 2 부재와,

상기 기체유로와 상기 복수의 액체유로와의 사이에 끼인 막형상체를 구비하는 탈기장치.
제 21 항에 있어서, 상기 복수의 액체유로의 입구 및 출구가 상기 제 1 부재 내에서 연이어 통하고 있는 탈기장치.
제 21 항에 있어서, 상기 기체유로의 한 끝단에는 배출구멍이 형성되고, 상기 기체유로의 다른 끝단에는 도입구멍이 형성되어 있는 탈기장치.
제 21 항에 있어서, 상기 배출구멍에는, 기체유로를 배기하는 배기펌프가 접속되어 있는 탈기장치.
액체중에 함유된 기체를 제거하는 탈기장치로서,

제 1 면과 제 2 면을 가지며, 상기 제 1 면에 상기 액체가 흐르는 액체유로가 형성된 제 1 부재와,

제 3 면과 제 4 면을 가지며, 상기 제 3 면에 상기 기체가 흐르는 복수의 기체유로가 형성되고, 상기 복수의 기체유로와 상기 액체유로가 인접하도록 배치된 제 2 부재와,

상기 복수의 기체유로와 상기 액체유로와의 사이에 끼인 막형상체를 구비하는 탈기장치.
제 25 항에 있어서, 상기 복수의 기체유로의 입구 및 출구가 상기 제 1 부재 내에서 연이어 통하고 있는 탈기장치.
제 25 항에 있어서, 상기 기체유로의 한 끝단에는 배출구멍이 형성되고, 상기 기체유로의 다른 끝단에는 도입구멍이 형성되어 있는 탈기장치.
제 25 항에 있어서, 상기 배출구멍에는, 기체유로를 배기하는 배기펌프가 접속되어 있는 탈기장치.