KR19980068040A - 웨이퍼 캐리어 - Google Patents

Abstract

웨이퍼 캐리어에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼를 수직으로 장착하여 웨이퍼의 세정 작업에 사용되는 웨이퍼 캐리어에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어의 아래 측으로 상기 웨이퍼가 나오지 않도록 설계된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 정류판과 웨이퍼 캐리어 사이의 틈을 좁게 함으로서 대부분의 세정액이 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼들 사이로 흘러들어가게 하고, 특히 맨 바깥 쪽에 위치하는 웨이퍼에 흐르는 세정액의 유량을 많게 함으로써 웨이퍼들 사이에 흐르는 유량을 일정하게 할 수 있다.

Description

웨이퍼 캐리어

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로서, 특히 웨이퍼 사이에 흐르는 세정액의 유동을 균일하게 할 수 있는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.

반도체 제조 공정 중 효율적인 세정 공정을 진행하기 위해서는 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼틀 사이에 세정액이 많이 흘러 들어가야 할 뿐만 아니라 웨이퍼들 사이에 흐르는 세정액의 유동이 균일해야 한다. 그러나, 실제로는 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼들 사이에 흐르는 세정액의 양이 전체적으로 제공되는 세정액의 10%도 넘지 못한다. 또한, 웨이퍼와 정류판의 간격에 비해 웨이터 캐리어와 정류판의 간격이 크기 때문에 맨 바깥쪽에 위치하는 웨이퍼로 흘러들어가야 할 세정액이 저항이 더욱 적은 캐리어 바깥 쪽으로 흘러 들어가 맨 바깥쪽 웨이퍼에 흐르는 유량이 다른 곳에 비해 작게 된다. 따라서, 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼들 사이에 흐르는 세정액의 유동이 균일하지 않다.

도 1 및 도 2는 종래의 웨이퍼 캐리를 설명하기 위한 단면도로서, 도 1은 좌측면도, 도 2는 우측면도를 각각 나타낸다. 구체적으로, 웨이퍼(20)는 웨이퍼 캐리어(10)의 밑으로 나오도록 장착된다. 따라서, 상기 웨이퍼 캐리어(10)과 정류판(도시되지 않음) 사이에는 많은 공간이 존재하게 된다. 상기와 같이 정류판과 상기 웨이퍼 캐리어(10) 사이의 간격이 크므로 상기 웨이퍼 캐리어(10) 내에 장착된 웨이퍼틀 사이로 흘러들어가야 할 세정액이 상기 정류판과 상기 웨이퍼 캐리어(10) 사이로 흘러들어가 버린다. 따라서, 특히 맨 바깥 쪽에 장착된 웨이퍼에는 다른 곳에 비해서 세정액이 적게 흐르게 되어 바람직한 세정 작업이 진행되지 않는다.

상술한 바와 같이 종래의 웨이퍼 캐리어는 정류판과 많은 틈이 생기도록 설계되어 있으므로 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 웨이퍼 들 사이에 흐르는 세정액의 유동이 불균일하게 된다. 특히 맨 바깥쪽 웨이퍼에 흐르는 세정액의 유량이 적게 되는 문제점이 발생한다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 웨이퍼 캐리어 내에 장착된 웨이퍼들 사이에 흐르는 세정액의 유동을 일정하게 할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 웨이퍼 캐리어의 좌측면도

도 2는 종래의 웨이퍼 캐리어의 우측면도.

도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 좌측면도,

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어의 좌측면도.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어는 웨이퍼를 수직으로 장착하여 웨이퍼의 세정 작업에 사용되는 웨이퍼 캐리어에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어의 아래 측으로 상기 웨이퍼가 나오지 않도록 설계된 것을 특징으로 한다.

이하에서, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어를 설명하기 위한 개략도로서, 도 3은 웨이퍼 캐리어의 좌측면도, 도 4는 웨이퍼 캐리어의 우측면도를 각각 나타낸다. 구체적으로, 종래와는 달리 웨이퍼 캐리어(110)의 밑 부분을 통해서 웨이퍼(120)가 나오지 않는다. 따라서, 종래보다 상기 웨이퍼 캐리어(110)와 정류판(도시되지 않음) 사이의 간격이 좁아지게 된다.

이와 같이 정류판과 상기 웨이퍼 캐리어(110) 사이의 간격이 좁기 때문에 상기 웨이퍼(120)를 세정하기 위하여 제공되는 세정액의 대부분이 상기 웨이퍼 캐리어(110) 내로 흘러들어가게 된다. 특히, 상기 웨이퍼 캐리어(110)의 맨 바깥 쪽에 위치하는 웨이퍼에 흐르는 유량이 증가하게 되어 상기 웨이퍼(120)들 사이에 흐르는 세정액의 유동이 전반적으로 균일하게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 캐리어에 의하면, 정류판과 웨이퍼 캐리어 사이의 틈을 좁게 함으로서 대부분의 세정액이 웨이퍼 캐리어에 장착된 웨이퍼들 사이로 흘러들어가게 하고, 특히 맨 바깥 쪽에 위치하는 웨이퍼에 흐르는 세정액의 유량을 많게 함으로써 웨이퍼들 사이에 흐르는 유량을 일정하게 할 수 있다.

본 발명은 상기 실시예에만 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함은 명백하다.

Claims (1)

1. 웨이퍼를 수직으로 장착하여 웨이퍼의 세정 작업에 사용되는 웨이퍼 캐리어에 있어서,

   상기 웨이퍼 캐리어의 아래 측으로 상기 웨이퍼가 나오지 않도록 설계된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.