KR19980066810A - 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼 처리용 설비의 반응챔버로 투입하기 전 웨이퍼들의 수와, 투입한 후 배출된 웨이퍼들의 수가 동일하지 않을 때 다음 웨이퍼 카세트의 투입을 중단시키도록 설비를 인터록(interlock)시킨 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법에 관한 것이다.

본 발명의 목적은 설비의 반응챔버에서 처리완료 전, 후의 웨이퍼들의 수를 확인하여 설비의 이상을 사전에 방지하도록 한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법을 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법은 호스트 컴퓨터가 입력용 포트에 로딩된 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 수와, 반응챔버에서 공정처리 완료된 출력용 포트의 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 수를 비교하고 동일하지 않을 때 다음 새로운 롯(lot)의 웨이퍼 카세트를 설비에 투입되지 않도록 설비를 인터록시키는 것을 특징으로 한다.

Description

설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법

본 발명은 반도체 웨이퍼 처리용 설비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 설비의 반응챔버에서 공정처리완료 전, 후의 웨이퍼들의 수를 검출, 비교하여 동일하지 않을 때 다음의 새로운 웨이퍼 카세트를 설비로 더 이상 투입하지 않도록 인터록(interlock)시킨 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법에 관한 것이다.

일반적으로 널리 알려진 바와 같이, 집적회로 제조라인에서는 웨이퍼들이 웨이퍼 카세트에 담겨진 상태로 설비의 입력용 투입 포트에 놓여지면, 웨이퍼들이 반응챔버로 이송되어 소정의 공정으로 처리되고 나서 처리 완료된 웨이퍼들이 출력용 포트의 웨이퍼 카세트 내로 이송되고 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 웨이퍼 처리용 설비를 나타낸 개락도이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 설비(10)의 내부에 반응챔버(11)가 설치되어 있고, 설비(1)의 전방부에 입력용 포트(13)와 출력용 포트(14)가 설치되어 있고, 입력용 포트(13)에 센서(15)가 설치되어 있고 호스트 컴퓨터(20)가 설비(1)를 제어하도록 설치되어 있다.

이와 같이 구성된 설비의 웨이퍼 카세트 투입방법을 설명하면, 먼저, 공정처리를 원하는 웨이퍼들(도시안됨)을 담은 웨이퍼 카세트(1)가 설비(10)의 입력용 포트(13)에 로딩(loading)되고 또한 빈 상태의 웨이퍼 카세트(2)가 출력용 포트(14)에 로딩되고 나면, 센서(15)가 웨이퍼 카세트(1) 내의 웨이퍼들의 수량을 검출하기 시작한다. 상기 웨이퍼들의 수량 검출이 완료되고 나면, 이를 호스트 컴퓨터(20)에 전달한다.

이어서, 설비(10)의 매엽식 또는 배치(batch)식의 종류에 따라 웨이퍼 카세트(1)의 웨이퍼들이 반응챔버(11)로 투입되어서 소정의 공정조건에서 공정처리된다.

이후, 공정처리 완료된 상기 웨이퍼들이 반응챔버(11)로부터 배출되어 출력용 포트(14)의 웨이퍼 카세트(2) 내로 투입된다.

한편, 호스트 컴퓨터(20)는 설비(10)의 작동 전반에 걸쳐 제어하고 센서(15)에 의해 검출된 웨이퍼 카세트(13) 내의 웨이퍼들의 수를 인식하고 있다.

그러나, 종래에는 호스트 컴퓨터(20)가 센서(15)에 의해 검출된 웨이퍼 카세트(13) 내의 웨이퍼들의 수를 인식하고만 있을 뿐 공정처리 완료된 웨이퍼 카세트(14) 내의 웨이퍼들의 수를 인식하고 있지 않는다.

이로 인해, 센서(15)가 웨이퍼 카세트(1) 내의 웨이퍼들중 어떠한 웨이퍼를 인식하지 못한 경우, 공정처리 완료 전후의 웨이퍼들의 수가 동일하지 않더라도 상기 인식되지 않은 웨이퍼가 반응챔버(11)에서 공정처리 완료되었는 지 여부와 반응챔버(11)에서 파손되었는 지 여부를 알 수 없었다.

상기 웨이퍼가 전혀 공정처리되지 않았으면, 다른 설비들에서 후속으로 진행될 일련의 공정들에서 불량으로 처리될 수밖에 없고 또한, 반응챔버(11) 내에 파손된 웨이퍼가 존재하는 상태에서 다음 롯(lot)의 웨이퍼들이 설비(10)로 투입되는 경우, 상기 롯의 웨이퍼들이 상기 파손된 웨이퍼들의 파티클(particle)에 의해 오염되어 불량으로 처리될 수밖에 없었다. 이로 인해, 다량의 웨이퍼들이 폐기 처리되어 원가부담이 상승하는 것이다.

따라서, 본 발명의 목적은 설비의 반응챔버에서 처리완료 전후의 웨이퍼들의 수를 확인하여 설비의 이상을 사전에 방지하도록 한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법을 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 웨이퍼 처리용 설비를 나타낸 개락도.

도 2는 본 발명에 의한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법을 적용한 설비를 나타낸 개략도.

＜도면의주요부분에사용된부호의설명＞

1, 2: 웨이퍼 카세트 10, 30: 설비 11: 반응챔버 13: 입력용 포트(port) 14: 출력용 포트 15,16: 센서 20: 호스트 컴퓨터(host computer)

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법은 입력용 포트에 로딩되어 반응챔버에서 공정처리될 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 수와, 반응챔버에서 공정처리 완료된 출력용 포트의 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 수를 비교하고 양측 웨이퍼 수가 동일하지 않을 때 다음 롯의 웨이퍼 카세트를 설비에 투입되지 않도록 호스트 컴퓨터가 설비를 인터록시키는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 종래의 부분과 동일한 부분에는 동일한 부호를 부여한다.

도 2는 본 발명에 의한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법을 적용한 설비를 나타낸 개략도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 설비(30)는 센서(16)가 출력 포트(14)에 설치된 것을 제외하면 도 1의 설비(10)의 구조와 동일한 구조로 이루어져 있다.

이와 같이 구성되는 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법을 설명하면, 먼저, 공정처리를 원하는 웨이퍼들(도시안됨)을 담은 웨이퍼 카세트(1)가 설비(10)의 입력용 포트(13)에 로딩(loading)되고 또한 빈 상태의 웨이퍼 카세트(2)가 출력용 포트(14)에 로딩되고 나면, 센서(15)가 웨이퍼 카세트(1) 내의 웨이퍼들의 수량을 검출하기 시작한다. 상기 웨이퍼들의 수량 검출이 완료되고 나면, 이를 호스트 컴퓨터(20)에 전달한다.

이어서, 설비(10)의 매엽식 또는 배치(batch)식의 종류에 따라 웨이퍼 카세트(1)의 웨이퍼들이 반응챔버(11)로 투입되어서 소정의 공정조건에서 공정처리되기 시작한다.

이후, 공정처리 완료된 상기 웨이퍼들이 반응챔버(11)로부터 배출되어 출력용 포트(14)의 웨이퍼 카세트(2) 내로 투입되고 나면, 센서(15)가 웨이퍼 카세트(2) 내의 웨이퍼들의 수량을 검출하기 시작한다. 상기 웨이퍼 카세트(2) 내의 웨이퍼 수량 검출이 완료되고 나면, 이를 호스트 컴퓨터(20)에 전달한다.

상기 호스트 컴퓨터(20)는 센서(15)에 의해 검출된 웨이퍼들의 수와 센서(16)에 의해 검출된 웨이퍼들의 수를 비교하고 서로 동일하지 않는 이상사태가 발생하는 경우, 설비(20)를 인터록시킨다. 따라서, 이상사태 발생시 새로운 롯의 웨이퍼 카세트들이 설비(20)로 투입되는 것이 차단되고 롯 사고가 더 이상 발생하지 않는다.

이상에서 살펴 본 바와 같이, 본 발명에 의한 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법은 반응챔버에서 공정처리될 웨이퍼들의 수와 공정처리된 웨이퍼들의 수를 비교하고 동일하지 않은 경우, 설비로 새로운 롯의 웨이퍼 카세트를 투입할 수 없도록 설비를 인터록시킨다. 따라서, 해당설비의 반응챔버에서 처리되지 않은 웨이퍼가 다음 일련의 공정에서 처리되는 것을 방지할 수 있고 또한 반응챔버 내에 파손된 웨이퍼가 있는 상태에서 다음 롯의 웨이퍼들이 반응챔버로 투입되는 것을 방지하여 웨이퍼의 오염을 방지하여 원가절감을 이룩할 수 있다.

Claims (2)

1. 반응챔버에서 공정처리될 웨이퍼의 수를 검출하는 센서를 갖는 공정처리용 설비에 있어서,

   상기 공정처리될 웨이퍼의 수를 상기 센서를 이용하여 검출하는 단계와;

   상기 반응챔버에서 처리완료된 웨이퍼의 수를 별도의 다른 센서를 이용하여 검출하는 단계와;

   상기 공정처리된 웨이퍼의 수와 상기 처리완료된 웨이퍼의 수를 비교하고 동일하지 않으면, 상기 설비로 더 이상 웨이퍼를 투입하지 않도록 상기 설비를 인터록시키는 단계를 포함하는 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 다른 센서를 이용하여 상기 설비의 출력용 포트에 놓여진 웨이퍼 카세트 내의 웨이퍼의 수를 검출하는 것을 특징으로 하는 설비의 웨이퍼 카세트 투입 제어방법.