KR19980033659U - 감광액 도포기의 배기장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 감광액 도포기의 배기장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 웨이퍼의 표면에 감광액을 증착시 증착을 보조적으로 도우는 공기의 흐름이 안정적으로 유지되도록 하기 위한 배기장치에 관한 것이다.

이를 위해, 캐치컵(2)의 배기관(7)에 연결되어 상기 캐치컵(2)내의 공기를 외부로 강제 배기시키는 진공펌프(8)와, 상기 배기관(7)에 설치된 배기 밸브(10)와, 상기 캐치컵(2)의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵 내부로 안내하는 안내편(14)과, 상기 안내편(14)내에 설치되어 안내편에 안내되는 공기의 속도를 감지하는 풍속 감지센서(9)와, 상기 풍속 감지센서에 의해 감지된 풍속값에 따라 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하는 제어기(11)로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치가 제공된다.

또한, 캐치컵(2)의 배기관(7)에 연결되어 상기 캐치컵내의 공기를 외부로 강제배기시키는 진공펌프(8)와, 상기 배기관(7)에 설치된 배기 밸브(10)와, 상기 캐치컵(2)의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵(2) 내부로 안내하는 안내편(14)과, 상기 안내편내에 설치되어 안내편(14)에 안내되는 공기의 압력을 감지하는 압력 감지센서(12)와, 상기 압력 감지센서에 의해 감지된 압력값에 따라 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하는 제어기(11)로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치가 제공된다.

Description

감광액 도포기의 배기장치

본 고안은 감광액 도포기의 배기장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 웨이퍼의 표면에 감광액을 증착시 증착을 보조적으로 도우는 공기의 흐름이 안정적으로 유지되도록 하기 위한 배기장치에 관한 것이다.

일반적으로 감광액 도포기는 웨이퍼의 표면에 일정한 두께의 감광액을 도포하여 상기 웨이퍼의 표면을 일정한 패턴으로 형성시키기 위한 반도체 장비로서, 이와 같은 감광액 도포기의 구성을 첨부된 도 1 을 참고로 하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.

도 1 은 감광액 도포기에 종래 일 예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도이고, 도 2 는 감광액 도포기에 종래 다른 예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도이다.

웨이퍼(1)가 도포되는 캐치컵(2)내의 하부에는 모터(3)가 설치되어 있고, 상기 모터의 상부에는 모터(3)의 구동력을 전달하도록 회전축(4)이 결합되어 있으며, 상기 회전축의 상단에는 이송장치(도시는 생략함)에 의해 공급되는 웨이퍼(1)가 안착되도록 척(5)이 고정되어 있고, 상기 캐치컵(2)의 상부 일측에는 척(5)상에 안착되는 웨이퍼(1)의 상부면에 감광액을 분사시키도록 노즐(6)이 이송가능하게 설치되어 있다.

한편, 상기 감광액 도포기의 캐치컵(2)내에서 감광액에 의해 웨이퍼(1)가 도포될 때에는 상기 웨이퍼의 표면이 균일하게 도포되어야 하는데, 실제 작업시에는 상기 감광액이 캐치컵(2)내에서 부유하여 다시 웨이퍼(1)의 표면에 부착됨에 따라 상기 웨이퍼를 불량처리시키는 문제점이 있었다.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 종래에는 캐치컵(2)내의 공기를 일정한 속도 및 압력을 유지하도록 강제 배기시키고 있는데, 이와 같이 상기 캐치컵(2)내의 공기를 강제 배기시키기 위한 종래 장치의 구성을 첨부된 도 1 및 도 2 를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 종래의 일 예로 나타낸 배기장치의 구성을 도 1 을 참고로 설명하면 캐치컵(2)의 하부 일측에는 배기관(7)이 설치되어 있고, 상기 배기관에는 캐치컵(2)내의 공기를 배기관(7)을 통해 강제 배기 시키도록 진공펌프(8)가 연결되어 있으며, 상기 배기관(7)의 일측 내부에는 진공펌프(8)에 의해 강제 배기되는 캐치컵(2)내의 공기가 상기 캐치컵 내부에서 배기관(7)을 통해 외부로 배기될 때 상기 공기의 풍속을 감지하도록 풍속 감지센서(9)가 설치되어 있고, 상기 배기관(7)의 타측에는 배기 밸브(10)가 설치되어있으며, 상기 풍속 감지센서(9)와 배기 밸브(10)에는 풍속 감지센서(9)에 의해 감지된 감지값에 따라 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하도록 제어기(11)가 설치되어 있는 구조이다.

또한, 상기 장치를 다른 예로 나타낸 종래 배기장치의 구성을 첨부된 도 2 를 참고로 설명하면 다음과 같다.

캐치컵(2)의 하부 일측에는 배기관(7)이 설치되어 있고, 상기 배기관에는 캐치컵(2)내의 공기를 배기관(7)을 통해 강제 배기 시키도록 진공펌프(8)가 연결되어 있으며, 상기 배기관(7)의 일측 내부에는 진공펌프(8)에 의해 강제 배기되는 캐치컵(2)내의 공기가 상기 캐치컵내부에서 배기관(7)을 통해 외부로 배기될 때 상기 공기의 압력을 감지하도록 압력 감지센서(12)가 설치되어 있고, 상기 배기관(7)의 타측에는 배기 밸브(10)가 설치되어 있으며, 상기 압력 감지센서(12)와 배기 밸브(10)에는 압력 감지센서(12)에 의해 감지된 감지값에 따라 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하도록 제어기(11)가 설치되어 있는 구조이다.

이와 같이 구성된 감광액 도포기 및 배기장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 상기 이송장치를 이용해 웨이퍼(1)를 척(5)상에 안착시킨 다음 상기 캐치컵(2)의 일측에 설치된 노즐(6)을 웨이퍼(1)의 중앙 직상부로 위치시킨 후 상기 캐치컵(2)내의 모터(3)를 구동시키면 상기 모터에 결합된 회전축(4)이 일방향으로 회전하게 되고 회전축에 고정된 척(5) 및 상기 척상에 안착된 웨이퍼(1)도 일방향으로 함께 회전하게 된다.

이와 같이 웨이퍼의 회전이 시작되면 노즐(6)을 통해 웨이퍼(1)의 상부면으로 감광액을 분사시키는데, 이때 상기 웨이퍼 상부면에 분사되는 감광액은 회전중인 웨이퍼(1)의 원심력에 의해 웨이퍼의 외측 끝단쪽을 향하며 상기 웨이퍼(1)의 전면에 걸쳐서 도포를 하게 된다.

한편 상기 웨이퍼의 외측 끝단면에 도달한 감광액은 계속되는 원심력에 의해 웨이퍼(1)로부터 일탈되어 캐치컵(2)의 내부벽에 부딪친 후 하부로 떨어지거나 다시 웨이퍼(1)의 상부면에 부착되려고 하는데, 이때에는 상기 진공펌프(8)를 작동시켜 캐치컵(2)내의 공기와 감광액의 부유물을 강제 배기시키면 된다.

즉, 종래 배기장치의 일 예와 같이 진공펌프(8)를 작동시키면 캐치컵(2)내의 공기가 배기관(7)을 통해 외부로 배기되는데, 이때 상기 풍속 감지센서(9)에 의해 감지된 풍속값이 제어기(11)내에 기억된 웨이퍼(1)의 균일한 막을 형성시키기위해 설정된 기준값과 다르면 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하여 주면된다.

또한, 종래 배기장치의 다른 예와 같이 진공펌프(8)를 작동시키면 캐치컵(2)내의 공기가 배기관(7)을 통해 외부로 배기되는데, 이때 상기 압력 감지센서(12)에 의해 감지된 압력 값이 제어기(11)내에 기억된 웨이퍼(1)의 균일한 막을 형성시키기 위해 설정된 기준값과 다르면 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하여 주면된다.

한편 도 3 및 도 4 는 상기 풍속 및 배기압에 따른 웨이퍼(1)의 증착막 도포상태를 나타낸 것으로서, 풍속 및 배기압이 정상인 경우에는 웨이퍼에 도포되는 증착막의 두께가 균일한 반면 풍속 및 배기압이 센 경우에는 웨이퍼의 외측 가장자리가 두꺼워지는 경향을 보여주고 있다.

그러나 상기한 바와 같이 종래에는 다음과 같은 문제점을 가지고 있다.

첫째, 풍속 감지센서를 통과하는 공기에 포함된 부유물이 상기 풍속 감지센서의 표면에 부착됨에 따라 감지성능이 떨어져 제어기에 의한 배기 밸브의 개폐량 조절이 제대로 되지가 않았는데, 이로인한 배기량 조절의 실패로 도 4 에 도시한 바와 같이 웨이퍼의 외측 끝단이 두꺼워지거나 도시는 되어 있지 않지만 그 증착막의 두께가 얇게 되어 웨이퍼가 불량 처리되는 문제점이 있었다.

둘째, 압력 감지센서를 설치하여 사용하는 경우에도 배기중인 상기 압력 감지센서 선단의 공기중에 포함된 부유물등이 압력 감지센서 부근의 배기관내의 부착됨에 따라 배기관 내의 압력이 높아져 이 또한 배기량 조절의 실패로 상기와 같은 문제점을 야기하게 되었다.

셋째, 상기 풍속 감지센서나 압력 감지센서에 부착된 부유물 등을 자주 청소해 주어야 하는 번거로움으로 장비의 가동율이 저하되는 제반 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 웨이퍼의 표면에 감광액을 증착시 증착을 보조적으로 도우는 공기의 흐름이 안정적으로 유지되도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면 캐치컵의 배기관에 연결되어 상기 캐치컵내의 공기를 외부로 강제 배기시키는 진공펌프와, 상기 배기관에 설치된 배기 밸브와, 상기 캐치컵의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵 내부로 안내하는 안내편과, 상기 안내편내에 설치되어 안내편에 안내되는 공기의 속도를 감지하는 풍속 감지센서와, 상기 풍속 감지센서에 의해 감지된 풍속값에 따라 배기 밸브의 개폐량을 조절하는 제어기로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치가 제공된다.

또한 상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 다른 형태에 따르면, 캐치컵의 배기관에 연결되어 상기 캐치컵내의 공기를 외부로 강제 배기시기키는 진공펌프와, 상기 배기관에 설치된 배기 밸브와, 상기 캐치컵의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵 내부로 안내하는 안내편과, 상기 안내편내에 설치되어 안내편에 안내되는 공기의 압력을 감지하는 압력 감지센서와, 상기 압력 감지센서에 의해 감지된 압력값에 따라 배기 밸브의 개폐량을 조절하는 제어기로 구성됨을 특징으로 하는 감광제 도포기의 배기장치가 제공된다.

도 1 은 감광액 도포기에 종래 일 예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도

도 2 는 감광액 도포기에 종래 다른 예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도

도 3 은 웨이퍼를 나타낸 평면도

도 4 는 웨이퍼의 휨 상태를 나타낸 정면도

도 5 는 감광액 도포기에 본 고안 일 실시예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도

도 6 은 감광액 도포기에 본 고안 다른 실시예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

2 : 캐치컵7 : 배기관

8 : 진공펌프9 : 풍속 감지센서

10 : 배기 밸브11 : 제어기

12 : 압력 감지센서14 : 안내편

이하, 본 고안을 일 실시예로 나타낸 첨부된 도 5 및 다른 실시예로 나타낸 도 6 을 참고로 하여 더욱 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

도 5 는 감광액 도포기에 본 고안 일 실시예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도이고, 도 6 은 감광액 도포기에 본 고안 다른 실시예의 배기장치가 설치된 상태를 나타낸 종단면도로서, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여한다.

먼저, 본 고안 일 실시예의 구성을 도 5 를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.

캐치컵(2)의 상부에는 이송되는 노즐(6)과 간섭을 일으키지 않도록 함과 함께 캐치컵(2)내부로의 공기의 유입을 안내하도록 통공(13)이 형성된 안내편(14)을 설치하고, 상기 통공(13)내에는 통공으로 유입되는 공기의 압력을 감지하도록 풍속 감지센서(9)를 설치하며, 상기 풍속 감지센서에는 풍속 감지센서(9)에 의해 감지된 풍속값을 정해진 기준값과 비교하여 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하도록 제어기(11)를 연결한 구조이다.

또한, 본 고안 다른 실시 예의 구성을 첨부된 도 6 을 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.

캐치컵(2)의 상부에는 이송되는 노즐(6)과 간섭을 일으키지 않도록 함과 함께 캐치컵(2)내부로의 공기의 유입을 안내하도록 통공(13)이 형성된 안내편(14)을 설치하고, 상기 통공(13)내에는 통공으로 유입되는 공기의 풍속을 감지하도록 압력 감지센서(12)를 설치하며, 상기 압력 감지센서에는 압력 감지센서(12)에 의해 감지된 압력값을 정해진 기준값과 비교하여 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하도록 제어기(11)를 연결한 구조이다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 척(5)상에 웨이퍼(1)를 안착시킨 다음 노즐(6)을 통해 감광액을 분사키키기까지는 동일하므로 이하 생략하고 본 고안을 일 실시예로 나타낸 배기장치에 의해 배기되는 상태를 설명하면 다음과 같다.

노즐(6)을 통해 웨이퍼(1)의 상부면으로 감광액이 분사되면 진공펌프(8)를 작동시킨다.

이와 같이 진공펌프를 작동시키면 이 흡입력에 의해 외부의 공기는 안내편(14)의 통공(13)을 통과하여 캐치컵(2)내부로 유입되는데, 이때 상기 통공(13)을 통과하는 공기의 풍속값은 풍속 감지센서(9)에 의해 감지가 되어 제어기(11)로 보내진다.

상기 풍속값이 제어기로 보내지면 제어기(11)는 상기 제어기내에 저장된 기준값과 비교하여 상기 감지된 풍속값이 기준값과 다르면 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하여 캐치컵(2)내부로 유입되는 공기의 양을 제어한다.

한편 상기 안내편(14)의 통공(13)을 통과하는 공기의 양은 종래 장치의 배기관(7)을 통과하는 공기량의 대략 1/5정도인데, 이는 캐치컵(2)상부에서 이송되는 노즐(6)의 이송을 위해 상기 캐치컵(2)과 안내편(14)사이를 이격시켜야 함에 따라 캐치컵(2)과 안내편(14)의 사이 및 안내편의 통공(13)으로 공기가 분산되기 띠문이다.

이와 같이 상기 공기가 종래의 공기량보다 적더라도 통공(13)을 통해 통과하는 공기량을 미리 계산하여 제어기(11)내에 그 기준값을 저장하면 되는데, 실제로 기준값이 7m/초 였을 때에는 통공(13)을 통과하는 풍속이 풍속 감지센서(9)에 의해 1.4m/초로 감지가 되었으며 이에 따라 상기 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하도록 제어기(11)내의 기준값을 변경시켰더니 캐치컵(2)내에 일정량 만큼의 공기가 유입되어 웨이퍼에 대한 감광액의 도포시 상기 공기에 의한 보조적인 도움이 가능하였다.

또한 본 고안을 다른 실시예로 나타낸 배기장치에 의해 배기되는 상태를 설명하면 다음과 같다.

진공펌프를 작동시키면 이 흡입력에 의해 외부의 공기는 안내편(14)의 통공(13)을 통과하여 캐치컵(2)내부로 유입되는데, 이때 상기 통공(13)을 통과하는 공기의 압력값은 압력 감지센서(12)에 의해 감지가 되어 제어기(11)로 보내진다.

상기 압력값이 제어기로 보내지면 제어기(11)는 상기 제어기내에 저장된 기준값과 비교하여 상기 감지된 압력값이 기준값과 다르면 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하여 캐치컵(2)내부로 유입되는 공기의 양을 제어한다.

한편 상기 안내편(14)의 통공(13)을 통과하는 공기의 양은 종래 장치의 배기관을 통과하는 공기량의 대략1/5정도인데, 이는 캐치컵(2)상부에서 이송되는 노즐(6)의 이송을 위해 상기 캐치컵(2)과 안내편(14)사이를 이격시켜야 함에 따라 캐치컵(2)과 안내편(14)의 사이 및 안내편의 통공(13)으로 공기가 분산되기 때문이다.

이와 같이 상기 공기가 종래의 공기량보다 적더라도 통공(13)을 통해 통과하는 공기량을 미리 계산하여 제어기(11)내에 그 기준값을 저장하면 되는데, 실제로 기준값이 높았을 때에는 통공(13)을 통과하는 압력이 압력 감지센서(12)에 의해 낮게 감지가 되었으며 이에 따라 상기 배기 밸브(10)의 개폐량을 조절하도록 제어기(11)내의 기준값을 변경시켰더니 캐치컵(2)내에 일정량 만큼의 공기가 유입되어 웨이퍼에 대한 감광액의 도포시 상기 공기에 의한 보조적인 도움이 가능하였다.

이상에서와 같이 본 고안은 풍속 감지센서나 압력 감지센서가 캐치컵의 상부에 설치가 되므로 상기 각 센서가 부유물에 의한 오염이 방지가 되어 장기간 작업시에도 항상 깨끗한 상태를 유지하므로 자주 청소해 주지 않아도 되어 장비의 가동율이 향상되는 매우 유용한 효과가 있다.

Claims (2)

1. 캐치컵의 배기관에 연결되어 상기 캐치컵내의 공기를 외부로 강제 배기시키는 진공펌프와,

   상기 배기관에 설치된 배기 밸브와,

   상기 캐치컵의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵 내부로 안내하는 안내편과,

   상기 안내편내에 설치되어 안내편에 안내되는 공기의 속도를 감지하는 풍속 감지센서와,

   상기 풍속 감지센서에 의해 감지된 풍속값에 따라 배기 밸브의 개폐량을 조절하는 제어기로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치.
2. 캐치컵의 배기관에 연결되어 상기 캐치컵내의 공기를 외부로 강제배기시기키는 진공펌프와,

   상기 배기관에 설치된 배기 밸브와,

   상기 캐치컵의 상부에 설치되어 외부의 공기를 캐치컵 내부로 안내하는 안내편과,

   상기 안내편내에 설치되어 안내편에 안내되는 공기의 압력을 감지하는 압력 감지센서와,

   상기 압력 감지센서에 의해 감지된 압력값에 따라 배기 밸브의 개폐량을 조절하는 제어기로 구성됨을 특징으로 하는 감광액 도포기의 배기장치.