KR19980033403A - 헤드 슬라이더 및 이것을 이용한 기록 재생장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 요각(yaw)의 의존성이 적은 헤드 슬라이더 및 이것을 이용하여 기록밀도의 향상을 도모할 수 있는 기록 재생장치를 제공하는데 있다.

회전 가능한 기록매체인 디스크상에 정보의 기록 재생을 행하는 기록 재생헤드(20)를 탑재한 헤드 슬라이더(203a)에 있어서, 헤드 슬라이더 디스크와 대향하는 면에 형성되어 동압을 발생시키기 위한 동압 발생부(2a, 2b)와, 헤드 슬라이더의 디스크와 대향하는 면 내에서 디스크의 회전방향에 대하여 헤드 슬라이더의 중앙부분보다도 뒤쪽에 설치되어 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부(81a, 81b)를 구비한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 및 이것을 이용한 기록 재생장치.

Description

헤드 슬라이더 및 이것을 이용한 기록 재생장치

본 발명은 부상량의 불균일이나 변동 또는 접촉력의 변동을 억제할 수 있는 헤드 슬라이더에 관한 것으로서, 특히 이것을 이용하여 기록 재생헤드의 저부상화(底浮上化) 또는 저하중이면서 안정적인 접촉을 실현하여, 기록밀도의 향상을 꾀할 수 있는 기록 재생장치에 관한 것이다.

최근, 기록 재생장치에 있어서는, 고기록 밀도화에 관한 기술 개발이 왕성히 행하여지고 있으며, 특히 자기 디스크장치에 있어서의 고기록 밀도화는 비트밀도(디스크 둘레방향의 기록밀도)의 증가 및 트랙밀도(디스크 반경방향의 기록밀도)의 증가의 양면에서 진행되고 있다. 여기서, 비트밀도를 증가시키기 위한 기술로서, 기록 재생헤드9이하 「헤드」라 한다)를 탑재한 헤드 슬라이더(이하 「슬라이더」라 한다)의 저부상화는 필수로 되어 있다. 그러나, 종래의 슬라이더는 시크 시, 부상량의 동적 변동으로 인하여 헤드의 저부상화가 저해되고 있다. 이하 그 요인에 대하여 상세히 설명한다.

도 34는 종래의 슬라이더를 채용한 자기 디스크장치의 개요를 나타낸 것이다. 소위 테이퍼 플랫 슬라이더로 대표되는 종래의 대부분의 슬라이더(101)는 기록매체인 디스크(102)의 내외 주속차에 의한 부상량의 차를 요각(yaw)의 의존성을 이용하여 억제하고 있다. 여기서, 요각이라 함은 디스크 회전방향과 슬라이더(101)의 길이 방향이 이루는 각(도면중에서는 θ)이다.

도 34에 나타내는 바와 같이, 소위 로터리 액츄에이터(103)를 이용한 자기 디스크장치에 있어서는, 슬라이더(101)와 디스크(102)의 배치를 디스크 내주측(X)에서 요각이 작고, 디스크 외주측(Y)에서 요각이 커지도록 설정하고 있다.

도 35는 종래의 데이퍼 플랫 슬라이더의 개략을 나타낸 사시도이다. 도면에 나타낸 바와 같이 슬라이더(101)는 디스크 회전방향(A)을 따라 신장하는 가늘고 긴 형상의 동력 발생부(101a)를 구비하며, 이 동력 발생부(101a)와 회전하는 디스크(도시하지 않음) 사이에서 발생하는 동압을 이용하여 부상하는 구성으로 되어 있다. 디스크이 회전방향(A\)을 따라 신장하는 동압 발생부(101a)는 요각이 생겨 디스크의 회전방향이 A에서 B로 변하면, 압력 발생효율이 저하하는 성질을 가진다. 이것은 요각이 작을 때 슬라이더의 앞 가장자리에서 유입되는 공기류는 슬라이더 전체길이를 따라 비교적 긴 거리를 흐름으로써 동압을 발생하는데 대하여, 요각이 커지게 되면, 공기류 가운데 어떤 부분은 슬라이더 전체길이에 도달하기 이전에 측가장자리에서 유출되며, 또한 어떤 부분은 측 가장자리에서 유입되어 슬라이더 후단부에서 유출되는 소위 공기류의 횡 누출로 인하여 효과적으로 동압을 높이는 데 필요한 유동거리를 확보하는 것이 곤란하게 되기때문이다. 따라서, 종래의 테이퍼 플랫 슬라이더(101)에서는 디스크 외주측(Y)으로 감에 따라 요각이 커지면 공기류의 횡 누출로 인하여 슬라이더(101)에 작용하는 동압 발생효율이 저하한다. 이 때문에, 디스크 외주측(Y)으로 감에 따라 주속이 증가하더라도 슬라이더(101)에 작용하는 부상력은 변동하지 않아, 디스크(102) 내외주의 부상량차를 억제할 수 있다.

그런데, 도 36에 나타낸 바와 같이, 슬라이더(101)의 시크 시에는 디스크의 주속성분(Vr)(5~10m/s) 이외에, 이 주속성분(Vr)과 거의 직교하는 방향의 시크 속도성분(Vs)(최대 1m/s 정도)이 존재한다. 따라서, 이 2개의 속도성분을 합성한 합성벡타(V)는 슬라이더(101)의 길이 방향에 대하여 5~10°정도의 각도를 이룬다. 즉, 시크 시에는, 등가적(等價的)인 요각 변동(도면중에서는 θ')이 생기게 된다. 따라서, 상기한 요각 의존성과 같은 원리로 시크 시에는 공기류의 횡 누출로 인하여 동압 발생효율이 저하하기 때문에, 과도한 부상량 저하가 발생한다. 그 양은, 통상 10nm을 초과한다는 것이 실험에서도 확인되고 있으며, 시크 시에 디스크와 슬라이더의 충돌을 피하기위해서는, 그 부상량 저하를 마진으로서 예상한 스페이싱(부상 간격)을 설정하지 않으며 안되어, 슬라이더의 저부상화를 방해하는 큰 요인으로 되고 있다.

한편, 현재 더 한층의 기록밀도의 향상을 목표로 하여 헤드를 디스크에 접촉시켜, 실질적으로 부상량 제로로 기록재생을 행하는 접촉 기록기술이 검토되어 있다. 이 접촉 기록기술에 있어서 최대의 기술 과제는 헤드의 마모 절감이다. 그것을 위해서는, 헤드-디스크 사이의 접촉력을 저하중이면서 안정적으로 유지하는 것이 필요하게 된다. 그러나, 종래의 슬라이더에서는, 시크 시에 상기한 바와 같은 등가적인 요각 변동에 의해 접촉력이 변동하기때문에, 헤드-디스크 사이에 작용하는 접촉력을 저하중이면서 안정적으로 유지하는 것을 불가능하다. 또한, 헤드의 마모가 진행된 경우에, 디스크 내외주에서 부상자세가 변화하면, 접촉부가 부상하여 스페이싱이 발생할 우려도 있다.

더욱이, 최근 실용화되어, 앞으로 주류로 될 것이라 생각되는 자기저항 효과소자를 사용한 헤드, 소위 MR헤드를 채용하는 경우, 기록헤드와 재생헤드를 별개로 설치할 필요가 있어, 통상 2개의 헤드를 트랙방향으로 나란하게 배치한다. 이러한 구성에 있어서는, 디스크 내외주에서 요각이 크게 변화하면, 2개의 헤드 사이에 트랙 폭방향의 어긋남(트랙 어긋남)이 발생한다. 이 문제에 대해서는, 리니어 액추에이터를 이용하는 방법이나, 액츄에이터 아암의 길이를 가장 적절하게 하여 요각의 변동을 작게하는 방법(특개평 5-298615호 공보 참조)등이 검토되고 있다. 따라서, MR헤드를 채용하는 슬라이더에 대해서도, 요각 의존성을 이용하지 않고 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제하는 방법이 필요하게 될 가능성이 높다.

이상 설명한 바와 같이, 종래의 슬라이더에서는, 요각 의존성을 이용하여 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제하는데 적합한 형상이 채용되어 있기때문에, 시크 시의 등가적인 요각 변동에 의해 부상량의 저하 또는 접촉력의 변동이 발생한다. 따라서, 헤드의 저부상화 도는 헤드-디스크 사이의 저하중 또한 안정적인 접촉을 실현한다는 것은 곤란하다.

또한, 접촉기록에 있어서 헤드의 마모가 진행된 경우에, 디스크 내외주에서 부상자세가 변화하면, 접촉부가 부상하여 스페이싱이 발생해 버릴 우려도 있다.

더욱이, MR헤드를 채용하는 슬라이더에 있어서는, 요각 의존성을 이용하지 않고 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제하는 방법에 대한 요청이 많다.

그래서, 본 발명에서는 상기 과제를 해결하여, 요각 의존성을 이용하지 않고 디스크 내외주에서의 부상량 차 또는 접촉력 변동을 억제할 수 있는 슬라이더 형상을 제안함과 동시에, 이러한 슬라이더를 사용하여, 헤드의 저부상화 또는 헤드-디스크간의 저하중 및 안정적인 접촉을 실현하여, 기록밀도의 향상을 도모할 수 있는 기록재생장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 기록 재생장치의 일예인 자기 디스크장치의 개략도.

도 2는 슬라이더의 부상 자세에 관한 설명도.

도 3은 본 발명의 제1실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면,

도 4는 후방 동압 발생부의 피칭에 대하여, 동압 발생부의 후단 스페이싱을 일정하게 한 경우의 부상력을 나타낸 도면,

도 5는 전방 동압 발생부의 디스크 회전방향에 관한 전체 길이(L)와 랜드부의 동 방향에 관한 길이(S)와의 비율에 대한, 슬라이더의 후단 스페이싱을 일정하게 한 경우의 디스크 내외주에서의 부상력 비를 나타낸 도면.

도 6은 디스크의 주속에 대한 슬라이더의 피칭 및 헤드가 설치되는 수방 동압 발생부의 후단에서의 스페이싱의 변화를 나타낸 도면.

도 7은 디스크 기동시의 상태를 나타낸 설명도.

도 8은 본 발명의 제1실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더 변형예를 나타낸 도면.

도 9는 본 발명의 제2실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더 형상을 나타낸 도면.

도 10은 본 발명의 제2실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 변형예의 형상을 나타낸 도면.

도 11은 본 발명의 제3실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더 형상을 나타낸 도면.

도 12는 본 발명의 제4실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더 형상을 나타낸 도면.

도 13은 뒤쪽 동압 발생부에 있어서의 디스크의 회전방향과 대략 수직인 방향(슬라이더 폭방향)에 관한 압력 분포를 나타낸 도면.

도 14는 본 발명의 제5실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면,

도 15는 본 발명의 제5실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 변형예의 형상을 나타낸 도면.

도 16은 본 발명의 제6실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 17은 본 발명의 제7실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 18은 본 발명의 제7실시형태에 관계하는 슬라이더와 종래 슬라이더의 부상양 변동에 대한 설명도.

도 19는 본 발명의 제7실시형태에 관계하는 슬라이더의 압력분포 특성을 나타낸 도면.

도 20은 종래 슬라이더의 압력분포특성을 나타낸 도면.

도 21은 본 발명의 제7실시형태의 변형예에 관계하는 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 22은 본 발명의 제8실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 23은 본 발명의 제9실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 24은 본 발명의 제10실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 25은 본 발명의 제11실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 26은 본 발명의 제12실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 27은 본 발명의 제12실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 압력분포 특성을 나타낸 도면.

도 28은 본 발명의 제13실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 29은 본 발명의 제14실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 30은 본 발명의 제15실시형태에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 31은 본 발명의 제15실시형태에 변형예에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 32은 본 발명의 제16실시형태에 변형예에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 33은 본 발명의 제17실시형태에 변형예에 관계하는 헤드 슬라이더의 형상을 나타낸 도면.

도 34는 종래의 슬라이더를 채용한 자기 슬라이더장치의 개략도.

도 35는 종래의 테이퍼 플랫 슬라이더의 개략을 나타낸 사시도.

도 36은 시크할 때의 등가적인 요각 변동의 설명도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

203a:헤드슬라이더2a, 2b:동압 발생부

3:깊은 홈

4, 6a, 6b, 7a, 7b, 8a, 8b, Xa, Xb, Ya, Yb, Wa, Wb, 30, 31a, 31b:단차

5, 9a, 9b, 9c: 랜드부10, 11:마진

20:기록 재생헤드21:자극

25a, 25b, 26a, 26b, 27a, 27b, 81a, 81b:절결부

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 회전 가능한 기록매체인 디스크 위에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 형성되어 동압을 발생시키기 위한 동압 발생부와, 상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면내에서 상기 디스크의 회전방향에 대하여 상기 헤드 슬라이더의 중앙부분보다도 뒷쪽에 설치되어 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부를 구비한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 및 이것을 이용한 기록 재생장치를 제공한다.

또한 상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에서는 회전가능한 기록매체인 디스크 위에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 디스크의 회전방향을 따라 배열되는 적어도 2개의 동압 발생부와, 상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 동압 발생부중 상기 디스크의 회전방향에 대하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부와 상기 회전방향에 대하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부 사이에 위치하여, 상기 디스크 방향으로 가장 돌출되어 설치되는 접지 패드를 갖는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 및 이것을 이용한 기록 재생장치를 제공한다.

또한 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는, 회전 가능한 기록매체인 디스크 위에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더에 있어서, 상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 디스크의 회전방향을 따라 홈을 사이에 두고 배열되는 적어도 2개의 동압 발생부를 구비하며, 상기 동압 발생부 중 상기 디스크의 회전방향에 대하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부의 상기 홈에 인접하는 앞 가장자리에는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더 및 이것을 이용한 기록 재생장치를 제공한다.

여기서, 상기 부압 발생부는 상기 동압 발생부에 절결부를 형성함으로써 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.

또한 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향에 대하여 적어도 2개 설치되고 있으며, 상기 부압 발생부는 상기 동압 발생부 중 상기 디스크의 회전방향에 대하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이보다도 상기회전방향에 대하여 약 수직인 방향을 따른 길이 쪽이 긴 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한 상기 동압 발생부 중 상기 디스크의 회전방향에 대하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에는 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

또한 상기 부압 발생부는 정압을 발생시키기 위한 영역과 부압을 발생시키기 위한 영역을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.

또한 상기 동압 발생부 중 상기 디스크의 회전방향에 대하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에는 상기 회전방향에 따른 제1단차 및 상기 회전방향에 대하여 대략 수직인 방향을 따른 제2단차를 형성하는 제1절결부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 상세시 설명한다. 여기서는, 기록 재생장치의 일예로서, 자기 디스크장치에 대하여 설명하지만, 본 발명은 이 경우에 한정되지 않고, 헤드를 슬라이더로 지지하는 형태를 갖는 다른 기록 재생장치, 예컨대 슬라이더에 광학(대물)렌즈를 탑재하여 광학적으로 기록재생을 행하는 광 디스크장치나, 또한 광 디스크장치 중에서도 차세대 광기록으로서 기대되고 있는 이버네센트 광을 이용한 니어·필드 광학 응용기록에 이용되는 고체·담금·렌즈(Solid Immersion Lens:SIL), 슈퍼 구상(球狀)SIL(Super-spherical SIL), 광 파이버·프로브 등을 본 발명의 슬라이더에 탑재하여 적용하는 것도 가능하다.

우선, 본 발명의 실시형태를 설명하기에 앞서, 헤드 슬라이더가 이용되고 있는 자기 디스크장치의 개요에 대하여 설명한다.

도 1은, 로터리 액츄에이터를 이용한 자기 디스크장치의 개략을 나타낸 것이다. 디스크(201)는 스핀들(202)에 장착되어 소정의 회전수로 회전된다. 디스크(201)위를 부상 또는 접촉한 상태로 정보의 기록재생을 행하는 자극을 탑재한 슬라이더(203)는 박판형(薄板形) 서스펜션(204)의 선단에 장치되어 있다. 서스펜션(204)은, 도시하지 않은 구동 코일을 유지하는 보빈부 등을 가지는 액츄에이터 아암(202)의 일단에 접속되어 있다. 한편, 액츄에이터 아암(205)의 타단에는 리니어 모터의 일종인 보이스 코일 모터(206)가 설치되어 있다. 보이스 코일 모터(206)는 상기 액츄에이터 아암(205)의 보빈부에 감겨져 있는 도시하지 않은 구동 코일과, 그것을 사이에 끼우는 것 같이 대향하여 배치된 영구자석 및 대향 요크로 이루어지는 자기회로로 구성된다. 액츄에이터 아암(205)은 고정축(207)의 상하 2곳에 설치된 도시하지 않은 볼 베어링에 의해 유지되며, 보이스 코일 모터(206)에 의해 회전요동을 자유롭게 할 수 있도록 되어 있다.

이어서, 슬라이더의 부상 자세에 대하여, 도 2를 참조하면서 간단히 설명한다.

슬라이더(203)는 동작할 때에 그 자세를 디스크(201)에 모방시키기 위한 도시하지 않은 가소성부재(ginbal)를 개재하여 서스펜션에 의해 유지되어 있고, 디스크(201)의 회전에 따라 발생하는 공기류의 동압에 의해, 그 전체 또는 일부가 디스크(201)로부터 부상하고 있다. 슬라이더(203)의 자세는, 어떠한 제조 오차 혹은 동압의 변동 등에 의해서 미묘하게 변화하는 경우가 있고, 그 변호는 롤링 및 피칭이라는 형태로 규정할 수 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 롤링이란, 슬라이더(203)의 디스크 회전방향(A)에 거의 따른 방향(길이 방향)의 축선(208) 주위의 회전(R)을 말하며, 피칭이란 슬라이더(203)의 길이 방향과 직교하는 방향의 축선(209)주위의 회전(P)을 말한다.

제1실시형태

본 발명의 제1실시형태에 대하여 도 3을 참조하면서 설명한다.

도 3은 본 발명의 제1실시형태에 이러한 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다. 여기서, (b)는 도시하지 않은 디스크 표면과 대향하는 쪽 슬라이더면을 나타낸 것이다. 슬라이더(203a)는 디스크 회전방향(A)을 향하여 뒤쪽에 위치하는 단면에 자극(21)을 구비한 기록 재생헤드(20)를 탑재하고 있다.

상술한 바와 같이, 등가적인 요각 변동에 의해 부상량 등이 변동하는 것은 공기류의 횡 누줄로 인한 동압 발생효율의 저하기 원인이며, 이것은, 소위 테이퍼 플랫 슬라이더로 대표되는 디스크 회전방향(A)에 대하여 긴 동압 발생부를 갖는 슬라이더 형상에서 현저하게 나타나는 현상이다. 이러한 요각 의존성을 저감시키기 위해서는, 도시한 바와 같이, 슬라이더(203a)의 동압 발생부(2a, 2b)를 디스크의 회전방향(A)을 따른 길이보다도 상기 회전방향(A)에 약 수직인 방향을 따른 길이쪽이 긴 횡장형상(橫長形狀:횡으로 긴 형상)으로 하는 것이 바람직하다. 그러나, 슬라이더(203a)의 형상을 이러한 횡장형상으로 하면, 피칭 강성의 저하가 문제로 된다. 그래서, 본 실시형태에서는, 횡장형상의 동압 발생부(2a, 2b)를 디스크 회전방향(A)에 대하여 전후로 2개 배열하는 구성으로 하다. 여기서, 전후의 동압 발생부(2a, 2b)는 공기류에 의한 동압이 거의 발생하지 않는 깊은 홈(3)에 의해 서로 떨어져 있다. 깊은 홈(3)은 기계 가공 또는 에칭에 의해 형성된다.

한편, 단순히 횡장형상의 동압 발생부(2a, 2b)를 복수 가지는 슬라이더로 한 것만으로는 요각 의존성의 저감에 의해 과도한 부상량 변동을 억제하는 것은 가능해지지만, 반대로 디스크 내외주에서 부상량 차가 발생하여 버린다. 그래서, 본 실시형태에서는, 요각 의존성에 관계없이 디스크 내외주에서 부사량 차를 억제하도록, 전방의 동압 발생부(2a)의 일부에 디스크 회전방향(A)에 약 수직인 방향을 따른 단차(4)를 마련함으로써, 랜드부(5)를 형성하였다. 여기서, 단차(4)는 랜드부(5)를 마스킹하여, 에칭으로 형성한다. 단차(4)의 깊이는, 앞쪽의 동압 발생부(2a)의 후단부 부상량과 거의 동일한 정도로 하는 것이 바람직하며, 매우 얕게 형성하여도 좋으므로, 단시간에 형성할 수 있을 뿐만 아니라 마스킹도 용이하다. 또한, 랜드부(5)와 뒤쪽의 동압 발생부(2b)가 동일 평면을 이루도록 형성하면(도 3(c) 참조), 1회의 공정으로 동압 발생부(2a, 2b)를 형성할 수 있기 때문에, 제작효율이 향상되어, 대량 생산에도 적합한 구조로 할 수 있다.

이어서, 본 실시형태에 의해, 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제할 수 있는 이유에 대하여 설명한다.

뒤쪽의 동압 발생부(2b)는 디스크 회전방항(A)에 대하여 짧고, 상기 회전방향(A)에 약 수직인 방향으로 긴 횡장형상(橫長形商)의 평면으로서, 동작시에는, 앞쪽의 동압 발생부(2a)가 부상하는데 동반하여 소정의 피칭을 가지며 부상한다.

도 4는 뒤쪽의 동압 발생부(2b) 후단의 스페이싱(부상 간격)을 일정하게 한 경우에 있어서, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 피칭에 대한, 부상력을 플롯(plot)한 것이다. 도면 중에서, ○는 슬라이더(203a)가 디스크 외주측에 위치하는 경우, △는 디스크 내주측에 위치하는 경우의 결과를 각각 나타내고 있다. 도시한 바와같이, 부상력은 피칭이 일정하면, 디스크 내외주에서는 거의 차가 없다. 즉, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)에서의 부상력의 변동은 디스크 내외주에서의 주속차보다도, 피칭의 변동에 의한 영향이 크다는 것을 알 수 있다.

따라서, 요각 의존성에 관계없이 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제하기 위해서는, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 피칭이 디스크 내외주에서 거의 일정하게 되도록 하면 충분하다. 즉, 디스크 내외주에서 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 피칭이 변화하지 않도록, 앞쪽의 동압 발생부(2a)의 형상을 설정함으로써 자극(21)이 설치되는 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 후단에 있어서의 스페이싱을, 디스크 내외주에서의 주속차에 상관없이 일정히 유지하는 것이 가능하게 된다.

도 5는 슬라이더(203a)의 피칭 및 후단의 스페이싱을 일정하게 한 경우에, 도 3에 나타낸 슬라이더(203a)의 앞쪽 동압 발생부(2a)의 디스크 회전방향(A)에 관한 전장(L)과 랜드부(5)의 동방향에 관한 길이(S)와의 비율에 대한, 디스크 내외주에서의 앞쪽 동압 발생부에 작용하는 부상력의 비를 플롯한 것이다. 여기서는, 앞쪽의 동압 발생부(2a)의 전장(L)이나 단차(4)의 깊이 등의 조건을 변화시킨 4종류의 형상에 관한 해석 결과를 나타내었다. 4종류의 형상의 해석 조건은 다음과 같다.

표시부호전장(L)단차의 길이

□0.2mm0.1㎛

○0.3mm0.1㎛

△0.4mm0.2㎛

▽0.4mm0.3㎛

또한, 슬라이더(203a)의 스페이싱은 50nm, 피칭은 100μrad로 하고 있다.

상기 결과에 의하면, 전장(L)에 대한 랜드부(5)의 길이(S) 비율이 50% 이상으로 되는 제1영역에 있어서는 디스크 내주측에서의 부상력보다도 디스크 외주측에서의 부상력 쪽이 크게 되어 있다. 한편, 상기 비율이 10%보다 크고 50%보다 작은 제2영역에 있어서는 디스크 내외주에서의 부상력 변화가 비교적 작다. 더욱이, 상기 비율이 10% 이하로 되는 제3영역에서는 디스크 내주측에서의 부상력보다도 디스크 외주측에서의 부상력쪽이 작게 되어 있다.

도 6은 상기한 3개의 영역에 속하는 앞쪽의 동압 발생부를 채용한 경우에 있어서, 디스크 주속에 대한 슬라이더(203a)의 피칭 및 헤드가 설치되는 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 후단에 있어서의 스페이싱 변화를 각각 나타낸 것이다. 여기서, 종축은 디스크 외주측에서의 피칭 및 스페이싱을 기준으로 한 비로 나타내고 있다.

우선, 제1영역에 속하는 전방의 동압 발생부(상기 비율이 50%)를 채용한 경우는, 디스크 내외주에 있어서, 디스크의 주속이 증가할수록(디스크 외주측으로 갈수로)피칭이 커지게(도면 중의 △)되므로, 그에 동반하여 스페이싱도 증가하여(도면 중의 ▲), 디스크 내외주에서의 부상량의 일정화는 실현되지 않는다.

또한, 제3영역에 속하는 앞쪽의 동압 발생부(상기 비율이 10%)를 채용한 경우는, 디스크 내외주에 있어서, 디스크의 주속이 증가할수록(디스크 외주측으로 갈수록) 피칭이 작아지게 되므로(도면 중의 □), 그에 동반하여 스페이싱도 감소하여(도면 중의 ■흑사각), 역시 디스크 내외주에서의 부상량의 일정화는 실현되지 않는다.

한편, 제2영역에 속하는 앞쪽의 동압 발생부(상기 비율이 30%)를 채용한 경우는, 디스크 내외주에 있어서, 피칭(도면 중의 ○) 및 스페이싱(도면 중의 ●)은 디스크의 주연차에 관계없이 거의 일정하게 되기때문에, 디스크 내외주에서의 부상량 일정화가 실현된다.

따라서, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 형성되는 랜드부(5)의 디스크 회전방향(A)에 관한 길이를 상기 동압 발생부(2a)의 회전방향(A)에 관한 전체 길이의 10%보다 길고 50%보다 짧은 범위로 함으로써, 디스크 내외주에서의 부상량 일정화(부상량의 변동이 ±10% 정도는 허용할 수 있는 것으로 한다)를 실현하는 것이 가능하게 된다. 더욱이 랜드부(5)의 길이가 동압 발생부(2a) 전체 길이의 거의 30% 이면, 디스크 내외주에서의 부상량을 거의 완전히 일정하게 하는 것이 가능하게 된다.

또한, 랜드부(5)의 길이가 동압 발생부(2a) 전체 길이가 거의 30% 인 경우는, 단차를 마련함으로써 랜드부를 형성한 소위 단계 축받이에 있어서 동압 발생효율이 가장 높게 된다는 것은 일반적으로 알려지고 있다. 따라서, 이 경우에는 디스크 내외주에서의 부상량 일정화라는 효과와 동시에, 한정된 슬라이더 면적내에서 효과적으로 충분한 동압을 발생시킬 수 있게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 제1실시형태에 의하면, 요각 의존성의 저감에 의해 과도적인 부상량 변동을 억제할 수 있음과 동시에, 디스크 내외주에서의 부상량 일정화를 실현하는 것이 가능하게 된다.

그런데, 디스크 정지시에 슬라이더와 디스크 사이에 수분이 응집하는 등의 이유에 의해, 디스크 상에 슬라이더가 흡착되어, 디스크 기동시에 슬라이더를 원활하게 부상시키는 것이 곤란하게 되는 경우가 있다. 이 문제를 회피하기위해서 종래는 디스크(31)의 표면에 텍스쳐(texture)라고 불리우는 미소한 요철을 형성함으로써, 정지 중의 디스크와 슬라이더 사이에 간격을 유지하는 것이 행하여지고 있었다. 그러나, 이 텍스쳐는 동작시에 부상량의 불균일에 동반하여 발생하는 슬라이더와 디스크와의 충돌 위험도를 높이는 원인이 되어, 슬라이더의 저부상화에 대한 장애요인이 될 우려가 있다.

한편, 디스크 기동시에는, 디스크는 반드시 소정의 회전방향으로만 진행하는 것은 아니고, 전후로 요동하는 것과 같은 움직임을 하면서 회전을 시작한다. 그 모양을 도 7에 나타낸다. 전후로 요동하는 디스크(201)의 움직임은, 디스크 기동시의 여자 타이밍이나 모터의 자극과 코일의 위치관계 등에 기인한다. 이 때, 디스크(201)가 소정의 회전방향(A)나 역방향(A')으로 진행하는 순간에는, 도면에 나타낸 바와 같이 진벌(ginbal)(210)을 개재하여 서스펜션(204)으로 지지된 슬라이더(203a)에는, 서스펜셔(204)으로부터의 반력(F)이 작용하며, 이 반력(F)에 의해 슬라이더(203a)의 후단을 지점으로서 앞쪽의 동작 발생부(2a)를 잡아 떼는 것 같은 모먼트(M)가 작용한다. 그 때, 슬라이더(203a)에서는 앞쪽 동압 발생부(2a)의 디스크(201)에 대한 접지면적 쪽이 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 접지면적보다도 작게 되어 있기때문에, 우서 앞쪽의 동압 발생부(2a)가 디스크(201)로부터 용이하게 벗겨진다. 그 후, 디스크(201)가 정류의 회전방향(A)으로 진행하기 시작하면, 공기류의 동압에 의해 용이하게 피칭이 발생하여 슬라이더(203a) 전체가 디스크(201)로 부터 용이하게 벗겨진다. 즉, 본 실시형테에 의하면, 전방의 동압 발생부(2a)에서는 랜드부(5)만이 디스크(201) 위에 접지함으로써, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 접지면적을 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 접지면적보다도 작게 할 수가 있어, 상기한 흡착현상을 효과적으로 방지하는 것이 가능하게 된다.

이상 설명한 실시형태에서는, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에만 단차(4)를 마련하는 것으로 하였지만, 도 8에 나타낸 바와 같이, 앞뒤의 동압 발생부(2a, 2b)에 단차(4, 4')를 제각기 마련하는 구성으로서도, 본 실시형태와 같은 작용효과를 기대할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)도 앞쪽의 동압 발생부(2a)와 같은 부상력을 얻기 때문에, 뒤쪽의 동압 발생부(2b) 전체의 면적을 저감할 수가 있어, 슬라이더 전체를 소형화하는 것이 가능해짐과 동시에, 흡착현상을 더욱 저감시킬 수 있게 된다.

제2실시형태

본 발명의 제2실시형태에 대하여 도 9를 참조하면서 설명한다.

도 9은 본 발명의 제2실시형태에 이러한 슬라이더 형상을 나타낸 것으로써, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다. 또한, 도면 중에서, 도 2및 도 3에 나타낸 부분과 동일한 부분 또는 동일 기능을 갖는 부분에 대해서는, 동일한 부호를 기입함으로써 중복 설명을 생략한다(이하의 본 발명 실시형태 전반에 있어서도 마찬가지로 한다).

본 실시형태에 있어서는, 슬라이더(203a)의 동압 발생부(2a, 2b)를 디스크 회전방향(A)에 관하여 전후로 2개 배열함과 동시에, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제하기 위하여, 단차(4)를 마련하여 랜드부(5)를 형성함과 동시에, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)를 도시하는 바와 같이 약 V자 형상으로 한다.

상기한 제1실시형태와 같이 횡장형상(橫長形狀)인 동압 발생부(2a, 2b)를 갖는 슬라이더(203a)에서는 디스크 외주측에서 요각이 더해지면, 공기류를 따라 발생하는 동압의 압력 중심이 슬라이더(203a)의 디스크 내주측(Sin)으로 시프트한다. 이 때문에, 슬라이더(203a)는 디스크 내주측(Sin)이 높고, 디스크 외주측(Sout)이 낮게 되도록 롤링한 자세로 비행하게 된다. 또한, 슬라이더(203a)를 지지하는 도시하지 않은 서스펜션의 부착오차나, 디스크 표면의 요철, 장치 외부로부터의 진동등의 영향에 의해, 슬라이더(203a)에 롤링이 발생할 수도 있다. 이러한 경우, 슬라이더(203a)의 후단 가운데 부상량이 가장 저하하는 디스크 내외주측의 측단부가 디스크에 충돌할 우려가 있다. 그래서, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 디스크 내주측 및 외주측의 측단부를 모따기함과 동시에, 슬라이더(203a)의 롤링 강성을 저하시키지 않기 위하여, 도시한 바와 같이 약 V자형 형상으로 하여 슬라이더 측부 근방에서 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 면적을 확보하는 것으로 하였다.

본 실시형태에 의하면, 상기한 제1실시형태와 같이, 요각 의존성을 저감함으로써 과도한 부상량 변동을 억제할 수 있으며, 또한 디스크 내외주에서의 부상량 일정화를 실현하는 것이 가능해짐과 동시에, 슬라이더(203a)에 롤링이 발생한 경우에도, 뒤쪽의 동압 발생부(2b) 측단부가 디스크에 충돌할 우려가 없어진다.

또한, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 형상은 상기한 약 V자형상에 한정되지 않고, 롤링 강성이 확보되면, 도 10에 나타내는 바와 같이, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 디스크 내주측(Sout)의 측단부를 모따기한 것 만의 형상으로 하여도 무방하다.

또한, 이 모따기는 상기한 앞쪽 동압 발생부(2a)에서의 단차(4)와 동일한 깊이로 하며, 1회의 에칭에 의해 형성되도록 하면, 제작효율을 향상시킬 수 있다.

제3실시형태

본 발명의 제3실시형태에 대하여, 도 11를 참조하면서 설명한다.

도 11은 본 발명의 제3실시형태에 이러한 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

상기한 바와 같이, 제1실시형태와 같이 횡장형상(橫長形狀)인 동압 발생부(2a, 2b)를 갖는 슬라이더(203a)에 있어서는, 디스크 외주측에서 요각이 더해지면, 디스크 내주측(Sin)이 높고, 디스크 외주측(Sout)이 낮게 되도록 롤링한 자세로 비행하게 된다. 그래서, 본 실시형태에 있어서는, 슬라이더(203a)의 동압 발생부(2a, 2b)를 디스크 회전방향(A)을 따라 앞뒤 2단으로 배열하고, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 디스크 내외주에서의 부상량 차를 억제하기 위하여, 단차(4)를 마련하여 랜드부(5)를 형성함과 동시에, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 디스크 내주측 및 외주측의 측부에 절결부(25a, 25b)를 형성하여, 디스크 회전방향(A)을 거의 따른 단차(6a, 6b)를 마련한 구성으로 하였다.

디스크의 회전방향은, 엄밀하는 디스크 내외주에서 요각의 변동분 만큼 상이한다. 여기서는, 슬라이더(203a)가 디스크 내주측에 위치하고 있을 때의 상기 디스크의 회전방향을 화살표(A)로 나타내며, 슬라이더(203a)가 디스크 외주측에 위치하고 있을 때의 상기 디스크의 회전방향을 도면 중의 화살표(B)로 나타낸다. 이 경우, 디스크 외주측의 단차(6a)에서는 슬라이더(203a)를 디스크에서 이반(離反)시키는 방향의 압력(정압)이 발생하는데 대하여, 디스크 내주측의 단차(6b)에서는, 그것과 반대방향의 압력(부압)이 발생한다. 이 때문에, 슬라이더(203a)는, 디스크 내주측(Sin)이 낮고, 디스크 외주측(Sout)이 높게 되도록 롤링한 자세를 취할려고 한다. 즉, 디스크 외주측에서 요각이 더해짐으로써, 공기류를 따라 발생하는 동압의 압력 중심이 디스크의 내주측으로 시프트하기때문에, 슬라이더(203a)의 디스크 내주측(Sin)이 높고, 디스크 외주측(Sout)이 낮게 되도록 롤링한 자세를 취하려고 하는 작용에 대하여, 단차(6a, 6b)를 마련함으로써, 그것과는 반대인 자세를 취하고자 하는 작용을 발생하게 된다. 따라서, 약 작용이 상쇄됨으로써, 디스크 외주측에서의 롤링을 방지할 수 있다.

또한, 이러한 롤링 방지기능은 슬라이더(203a)를 시크할 때에 등가적(等價的)인 요각 변동이 생기 경우에도 효과적이다. 즉, 슬라이더(203a)를 시크할 때에 발생하는 등가적인 요각 변동에 따라 과도하게 롤링이 생긴 경우라도, 단차(6a, 6b)의 작용에 의해 그것을 조정할 수 있어, 슬라이더 측단부가 디스크에 충돌할 위험을 피할 수 있게 된다.

본 실시형태에 의하면, 상기한 제1실시형태와 같이, 요각 의존성의 저감에 의해 과도한 부상량 변동을 억제할 수 있을 뿐만 아니라 디스크 내외주에서의 부상량의 일정화를 실현할 수 있게 됨과 동시에, 디스크 외주측에서의 슬라이더(203a)의 롤링 및 시크할 때에 과도한 롤링 변동을 방지할 수 있기때문에, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)가 디스크에 충돌할 우려가 없어진다.

또한, 여기서, 상기한 앞쪽의 동압 발생부(2a)에서 단차(4)와 본 실시형태에 의해 새로 설치한 단차(6a, 6b)를 동일한 깊이로 하며, 1회의 에칭에 의해 형성하도록 하면, 제작효율을 향상시킬 수 있다.

제4실시형태

본 발명의 제4실시형태에 대하여 도 12를 참조하면서 설명한다.

도 12는 본 발명의 제4실시형태에 이러한 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

상기한 제3실시형태에 의하면, 디스크 외주측에서의 슬라이더(203a)의 롤링을 방지할 수 있지만, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 측부에 절결부(25a, 25b)를 설치함으로써 그 부분의 동압이 저하하기때문에, 슬라이더(203a)의 롤링 강성이 다소 감소한다. 그래서, 본 실시형태에서는, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 측부에 디스크 회전방향(A)을 따른 단차(6a, 6b)와 상기 회전방향(A)에 약 수직인 방향을 따른 단차(7a, 7b)를 마련하도록 절결부(26a, 26b)를 형성하고 있다. 이러한 구성에 의하면, 상기한 제3실시형태와 동일한 효과가 발생함과 동시에, 상기 단차(7a, 7b)에 의해 정압이 발생함으로써, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에서 소정의 동압을 확보하면서, 양 측부 근방의 압력 분포를 높일 수 있어, 슬라이더(203a)의 롤링 강성을 유지하는 것이 가능하게 된다.

도 13은 뒤쪽의 동압 발생부(2b)에 있어서 디스크의 회전방향과 약 수직인 방향(슬라이더 폭방향)에 관한 압력 분포를 나타낸 것이다. 도면 중에서, D1은 상기한 제1실시형태에 나타낸 단일 플랫면으로 이루어지는 동압 발생부를 갖는 경우의 압력 분포, D2는 본 실시형태에 관한 동압 발생부를 갖는 경우의 압력 분포를 각각 나타낸 것이다.

도시한 바와 같이, 단일 플랫면으로 이루어지는 동압 발생부를 가지는 경우는, 슬라이더 폭방향의 중앙부에서 가장 압력이 높고, 양 측단으로 가까이 갈수록 압력이 대기압에 점차 가까워지는 것 같이 압력분포된다. 이것에 대하여, 본 실시형태에 이러한 동압 발생부를 갖는 경우는, 압력이 단차(7a, 7b)의 부근에서 높고, 슬라이더 폭방향의 중앙부근에서는 낮은 압력분포로 된다. 따라서, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)에서의 부상력이 가령 동일하여도, 본 실시형태에 관계하는 동압 발생부의 형상 쪽이 보다 높은 롤링 강성을 얻을 수 있다.

한편, 상기한 제1실시형태에서 나타낸 것과 같은 단일 플랫면에 비하여, 단차(7a, 7b)를 형성한 쪽이 보다 큰 정압을 발생시킬 수 있기 때문에, 이러한 본 실시형태의 구성에 의하면, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)를 디스크 회전방향에 관하여 짧게 형성할 수 있어서 슬라이더 전체를 소형화하는 것이 가능함과 동시에, 디스크 정지시에 뒤쪽 동압 발생부의 접지면적을 삭감할 수 있기때문에 슬라이더의 흡착현상을 방지할 수 있다.

상기한 본 실시형태에 의하면, 상기한 제3실시형태와 마찬가지로, 요각 의존성의 저감으로 인하여 과도한 부상량 변동을 억제할 수가 있으며, 또한 디스크 내외주에서의 부상량 일정화를 실현할 수 있음과 동시에, 디스크 외주측에서의 슬라이더(203a)의 롤링을 방지할 수 있으며, 더욱이 롤링 강성을 높게 유지할 수 있기 때문에, 뒤쪽 동압 발생부(2b)가 디스크에 충돌할 우려가 없어진다.

또한, 상기한 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 있어서 단차(4)와 본 실시형태에 의해 새로 마련한 단차(6a, 6b, 7a, 7b)를 동일한 깊이로 하고, 1회의 에칭에 의해 형성되도록 하면 제작효율을 향상시킬 수 있다.

제5실시형태

본 발명의 제5실시형태에 대하여, 도 14를 참조하면서 설명한다.

도 14는 본 발명의 제5실시형태에 이러한 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태에서는, 상기한 제4실시형태에 있어서, 슬라이더(203a)를 지지하는 도시하지 않은 서스펜션의 부착오차나, 디스크 표면의 요철, 장치 외부로부터의 진동 등의 영향으로 인하여, 슬라이더(203a)에 롤링이 발생한 경우에, 슬라이더(203a) 가운데 부상량이 가장 저하하는 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 디스크 내외주측의 측단부가 디스크에 충돌하지 않도록, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 디스크 내주측(Sin) 및 외주측(Sout)의 측단부를 모따기하기로 하였다. 그 때, 슬라이더(203a)에 측부에 마련하는 단차(6a, 6b)의 효과가 저감되지 않도록, 도시한 바와 같이 단차(8a, 8b)를 형성함과 동시에, 단차(7a, 7b)에 대향하는 단차(Ya, Yb)를 형성하도록 절결부(27a, 27bZ0를 형성하기로하였다. 이러한 구성에 의하면, 가령 슬라이더(203a)에 롤링이 발생한 경우라도, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 측단부가 디스크에 충돌할 염려가 없어지게 된다.

더욱이, 본 실시형태에 있어서는, 단차 등을 형성한 후, 깊은 홈(3)을 형성할 때에, 앞뒤의 동압 발생부(2a, 2b)에 형성되는 랜드부(5, 9)의 치수가 변동하거나, 에지의 깨짐 등과 같은 결함이 발생하지 않도록, 각 동압 발생부의 깊은 홈(3) 근방에 마진(10)을 설정하고 있다. 또한, 이러한 구성에 있어서, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 디스크 회전방향(A)에 관한 전체 길이에는, 마진(10)은 포함되지 않게 한다. 여기서, 깊은 홈(3)을 형성할 때에 생기는 치수 오차의 주된 원인은, 가공에 사용되는 블레이드의 두께 오차이다. 한편, 앞뒤 동압 발생부(2a, 2b)중, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 있어서는, 치수 오차에 따른 부상량 변동의 영향이 작기때문에, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 전단과 블레이드 단부를 정확히 위치 결정하면, 마진(10)은 앞쪽 동압 발생부(2a)의 후단에만 설치하도록 하여도 좋다. 도 15는, 그와 같게 하여 제작한 경우의 본 실시형태에 관련된 슬라이더 형상을 나타낸 것이다.

또한, 슬라이더(203a)는, 통상 그 측면이 연결된 상태로 복수개가 동시에 형성되며, 최후에 측면을 절단함으로써 분할된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서는, 절단가공을 행할 때에, 랜드부(5, 9)의 에지 깨짐 등과 같은 결함이 발생하지 않도록, 각 동압 발생부의 측부 근방에도 마진(11)을 설정하고 있다.

제6실시형태

본 발명의 제6실시형태에 대하여, 도 16를 참조하면서 설명한다.

도 16은, 본 발명의 제6실시형태에 관련된 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태는, 상기한 제5실시형태에 관련된 슬라이더 형상의 변형 형태를 나타낸 것이다. 본 실시형태에 있어서는, 절결부(26a, 26b)에 의해 형성되는 단차(7a, 7b)와, 절결부(27a, 27b)에 의해 단자(7a, 7b)에 대향하여 형성되는 단차(Ya, Yb)에 의해 사이에 끼워진 랜드부(9a, 9b)가 슬라이더의 측부에 가까워질수록 디스크 회전방향(A)을 향하여 앞쪽으로 위치하도록 경사지게 구성되며, 이로써 절결부(26a, 26b)는 약 V자형상으로 형성되고 있다. 이러한 구성에 의하면, 랜드부(9a, 9b)의 측부를 슬라이더 후단부로부터 멀어지게 할 수 있기때문에, 도시하지 않은 서스펜션의 부착 오차나, 디스크 표면의 요철, 장치 외부로부터의 진동 등과 같은 영향으로 인하여 슬라이더(203a)에 롤링이 발생한 경우라도, 랜드부(9a, 9b)의 측 가장자리가 디스크에 충돌하는 것을 더욱더 효율적으로 방지할 수 있다.

또한, 충분한 부압 발생영역을 확보하기 위하여 부압 발생영역을 확대하면, 그것에 대응하여 정압 발생부인 단차(7a, 7b)의 폭이 좁아지기때문에, 슬라이더(203a)의 상승 특성이 나빠질(슬라이더(203a)가 디스크 위에서 이륙하는 타이밍이 느리게 된다)우려가 있다. 즉, 슬라이더(203a)의 롤링 강성과 상승 특성 서로 트레이드오프 관계에 있다고 말할 수 있다.

본 실시형태에 있어서는, 이들 2개의 특성을 양립시키기위한 수단으로서, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 형성되는 절결부(26a, 26b)의 형상에 특성을 두고 있다. 상기한 제5실시형태에 있어서는, 공압 발생용 단차(7a, 7b)는 슬라이더(203a)의 측방향으로 개방된 형상으로 되어있기때문에 단차(7a, 7b)에 충돌한 공기류의 일부가 슬라이더(203a)의 측방으로부터 빠져나가버려, 그 만큼 발생하는 정압이 저하한다. 이것에 대하여, 본 실시형태에서는 단차(7a, 7b)의 슬라이더 측단부를 둘러싸도록 절결부(26a, 26b)를 약 V자형상으로 하며, 이 절결부(26a, 26b)에서 정압 발생용 포켓부를 형성하고 있다.

이러한 구성에 의하면, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 있어서 정압 발생영역의 슬라이더 측방으로부터 공기가 빠져나가는 것을 억제할 수 있기때문에, 디스크를 기동할 때 저주속 영역에서도 정압을 효율적으로 발생시킬 수 있어, 상승 특성을 유지할 수 있음과 동시에, 롤링 강성을 충분히 발휘시킬 수 있다.

도 25에서는, 절결부(26a, 26b)의 형상을 약 V자형상으로 하였으나, 예컨대 U자형상, J자형상 등의 다른 형상으로 하여도 무방하다. 이러한 형상에 의하면 단차(6a, 6b)의 디스크 회전방향에 관한 길이를 조정함으로써, 롤링방지 기능을 최적화하는 것이 가능해진다.

제7실시형태

본 발명의 제7실시형태에 대하여 도 17를 참조하면서 설명한다.

도 17은 본 발명의 제7실시형태에 관련된 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

이 도 17에 나타낸 제7실시형태의 구성상 특징은, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 있어서, 단차(6a, 6b)사이에 이들에 대향하여 배치되는 단차(Xa, Xb)를 형성하기 위하여 절결부(81a, 81b)를 새로 형성하기로 한 것이다. 이 절결부(81a, 81b)를 형성함으로써, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리에 대향하여 단차(Wa, Wb)가 형성된다. 그 결과, 단차(8a, Wa, Xa)로 둘러싸이는 영역 및 단차(8b, Wb, Xb)로 둘러싸이는 영역에서 부압이 발생한다.

이와 같이 제7실시형태에 있어서는, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 부압을 발생시키는 영역을 형성함으로써, 이 뒤쪽에서 발생하는 부압을 이용하여 다음에 설명하는 여러가지 작용·효과를 얻는 것을 특징으로 하고 있다.

또한, 절결부(81a, 81b)는 예컨대, 에칭 등의 수단으로 형성된다. 또한, 절결부(26a, 26b)에 의해 형성되는 단차(7a, 7b)와, 절결부(27a, 27b)에 의해 단차(7a, 7b)에 대향하여 형성되는 단차(Ya, Yb)에 의해 사이에 끼워진 랜드부(9a, 9b)가 슬라이더의 측부에 가까워짐에 따라, 디스크 회전방향(A)을 향하여 앞쪽에 위치하도록 경사지게 구성되어 있다. 이와 같이 경사지게 구성함으로써, 랜드부(9a, 9b)의 측부를 슬라이더 후단부에서 멀어지게 할 수 있기때문에, 도시하지 않은 서스펜션의 부착 오차나, 디스크표면의 요철, 장지 외부로부터의 진동 등의 영향에 의해 슬라이더(203a)에 롤링이 발생한 경우에도, 랜드부(9a, 9b)의 측 가장자리가 디스크에 충돌하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.)

(뒤쪽에서 부압을 발생시킨 경우의 작용·효과)

우선 도 18 내지 도 20을 참조하여, 본 발명에 관한 뒤쪽에서 부압발생을 발생시키는 헤드 슬라이더와, 종래부터 사용되고 있는 앞쪽측에서 부압을 발생시키는 헤드 슬라이더를 대비한다.

도 18(a)는 본 실시형태에 관련된 슬라이더(뒤쪽 부압 슬라이더)의 부상 자세를 나타낸 것이고, 도 18(b)는 종래의 슬라이더(앞쪽 부압 슬라이더)의 부상 자세를 나타낸 것, 도 19는 본 실시형태에 관련된 슬라이더(뒤쪽 부압 슬라이더)의 슬라이더 면의 압력분포를, 도 20은 종래의 슬라이더(앞쪽 부압 슬라이더)의 슬라이더 면의 압력분포를 각각 나타낸 것이다.

또한, 도 19와 도 20에 있어서는, 압력분포는 대기압을 기준으로 한 게이지압으로 나타내고, 대기압보다도 낮은 압력을 부압(마이너스:-), 대기압보다도 높은 압력을 정압(플러스:+)이라 정의하며, 도면 중의 부호(E)는 -0.5~-1기압, (F)는 0~-0.5기압, (G)는 0~+1기압, (H)는 +1~+2기압, (I)은 +2~+3기압, (J)는 +3~+4기압, (K)는 +4기압 이상을 나타내고 있다.

도 20에서 명백하듯이, 종래의 슬라이더(203b)에 있어서는, 자극(21')을 지지하는 슬라이더(203b)의 후단 부근에서 비교적 큰 정압이 발생하며, 부압의 피크는 슬라이더 전체길이의 중앙부보다도 앞쪽, 즉 앞쪽의 정압 발생부(86)의 뒤 가장자리 부근에 위치하도록 설계되어 있다.

한편 도 19에 나타낸 바와 같이, 본 실시형탱 의하면 슬라이더의 압력분포는, 정압의 피크 및 부압의 피크는 모두 슬라이더 뒤쪽에 발생하며, 슬라이더 뒤쪽의 공기막 강성만을 높이므로, 슬라이더 앞쪽에 대해서는 적절한 유연성을 갖는 구성으로 하고 있다.

이러한 종래 슬라이더와 본 실시형태의 슬라이더 구성의 상이에 의해 다음과 같이 말할 수 있다.

제1특징점은 슬라이더 뒤쪽에 부압 발생부를 구비한 본 실시형태에 관한 슬라이더가 디스크 윤활제의 호이스팅현상에 따른 흡착문제를 억제할 수 있다는 점이다. 즉, 부압 발생부를 갖춘 슬라이더에서는, 시크동작에 동반하여 부압에 의해 디스크 표면에 존재하는 윤활제의 호이스팅(슬라이더의 부압 발생부에 윤활제가 흡인되어 축적된다)이 발생긴다. 그 결과, 슬라이더를 파킹할 때에 슬라이더에 축적된 윤활제가 배어나옴으로, 슬라이더가 디스크에 대하여 흡착현상을 일으키는 우려가 있다.

종래의 슬라이더(203b)에서는자 형상의 정압 발생부(86) 내측 전체에 슬라이더 중앙부근에서 뒤쪽까지 비교적 넓은 면적의 부압 발생영역이 형성되어 있고, 이 넓은 면적의 부압 발생영역에 의해 다량의 윤활제가 호이스팅된다. 또한 슬라이더의 파킹시에는자 형상의 넓은 면적을 가지는 접지면 전체에 윤활유가 배어나와 상술한 흡착현상이 두더러지게 되는 문제가 있었다. 한편, 본 실시형태에 관한 슬라이더에서는, 부압 발생영역은 슬라이더 뒤쪽에 형성되어 있기때문에, 부압을 슬라이더 면적으로 적분한 토탈 부압을, 종래의 슬라이더 토탈 부압보다도 작게 하는 것이 가능해지며, 그 결과, 윤활제의 호이스팅을 억제할 수 있다. 또한 파킹시에도 뒤쪽 소면적의 접지면에만 윤활유가 배어나오기때문에, 흡착현상이 비교적 경미하게 끝나는 구성으로 할 수 있다.

제2특징점은, 슬라이더 뒤쪽에 부압 발생부를 구비한 본 실시형태에 관한 슬라이더가 부상 자세의 변화에 따른 스페이싱 변동의 문제를 억제할 수 있다는 점이다.

종래의 부압 슬라이더는, 도 18(b)에 도시한 바와 같이 부상면에자 형상의 접지면을 형성하고, 그 내측을 수㎛ 파들어간 구조로 되어 있다.자의 디스크 회전방향(A')에 상당하는 접지면의 후단을 기점으로서,자의 내측에서는 부압이 발생하고, 이 부압과 균형을 이루기 하기위한 큰 정압이 주로 접지면에 발생하고 있다. 이 큰 정압은 공기막 강성을 높게 하는 효과를 갖기때문에, 종래의 부압 슬라이더는 제조 오차에 의한 부상량의 불균일이, 부압을 발생시키지 않는 종래의 슬라이더와 비교하여 일단 적게 할 수 있다.

그러나, 종래의 부압 슬라이더의 경우에는, 부압이 슬라이더 앞쪽의 정압 발생부의 뒤 가장자리 부근에서 가장 커지때문에, 슬라이더 전체의 공기막 강성이 높고, 스서펜션 하중오차, 대기압 변동 등에 따라 생기는 피칭 변동이 작고, 슬라이더 전체가 평행하게 상하운동을 해버리는 것 같은 성질을 갖고 있다. 따라서, 종래의 부압 슬라이더에서는, 스서펜션의 하중오차, 대기압의 변동 등의 부상량 변동요인에 관하여 부상량이 민감히 변동하여 하여 버린다고 하는 문제점을 갖고 있다.

한편으로, 본 실시형태에서는, 도 18(a)에 도시한 바와 같이 슬라이더 뒤쪽의 정압 발생부(2b)가, 기록 재생부인 자극(21)보다도 상류측에 배치되어 있고, 부압 발생부가 슬라이더의 뒤쪽에 형성된 절결부(81a, 81b)에 집중하고 있기때문에, 슬라이더 뒤쪽에만 공기막 강성을 높게 하고, 반대로 슬라이더 앞쪽은 정압만, 또는 약한 부압과의 조합구조로 함으로써, 서스펜션 하중오차, 대기압 변동 등을 슬라이더 앞쪽의 부상량 변동으로 흡수하여, 뒤쪽 자극(21)의 부상량 변동을 억제할 수 있다.

상기에 대하여, 더욱 상세히 설명하기 위하여, 본 실시형태에 관련된 슬라이더의 부상 자세를 나타낸 도 18(a)와, 종래 슬라이더의 부상 자세를 나타낸 도 18(b)를 비교하여 설명한다.

종래의 슬라이더(203b)에 있어서는, 자극(21')을 지지하는 슬라이더(203b)의 후단 부근에서도 비교적 큰 압력이 발생하도록 설계되어 있다. 이것 때문에, 피칭이 발생하여 부상 자세가 변화하였을 때에 스페이싱이 변동하지 않는다는 점(초점)(85')은, 슬라이더(203b)의 후단보다도 외측에 위치하게 된다. 따라서, 상기한 하중 변동이나 대기압 변동에 따라 피칭이 변화하면, 자극(21') 부근의 스페이싱도 변동하여 버린다.

이에 대하여, 본 실시형태에 의하면, 초점(85)을 자극(21) 부근에 위치시키는 것이 가능하게 된다. 그 이유는 다음과 같다. 자극(21)이 설치되어 있는 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 랜드부 플랫면(9c)은 양측부에 부압 발생부로 되는절결부(81a, 81b)가 형성되어 있으며, 또한, 깊은 홈(3)까지 연속하여 형성되어 있기때문에 정압을 발생시키는 것 같은 단차도 없고, 또한, 동압 발생부(2b) 자체가 횡장형상(橫長形狀)이기때문에 디스크 회전방향(A)에 관해서 짧은 구성으로 되어 있다. 이것 때문에, 플랫면(9c)에 발생하는 정압에 따른 탄력 강성은 비교적 약하게 된다.

한편, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에서 주로 정압이 발생하는 것은, 단차(7a, 7b)부근이며, 이러한 단차(7a, 7b)는 자극(21)이 설치되는 위치보다도 디스크 회전방향(A)에 관하여 앞쪽에 위치하고 있다. 따라서, 슬라이더(203a)에 작용하는 압력은 주로 앞쪽 동압 발생부(2a)와, 상기 단차(7a, 7b)부근에서 발생하게 되어, 도18(a)에 도시한 바와 같이, 초점(85)을 알맞게 자극(21)의 부근에 위치시킬 수 있게 된다. 따라서, 상기한 하중 변동이나 대기압 변동에 따라 피칭이 변화하여도, 자극(21) 부근의 스페이싱은 거의 변화하지 않는다.

또한, 종래의 부압 슬라이더(203b)에서는 부업을 발생시키는 위치가 자극(21')보다도 디스크 회전방향(A')에 관하여 상당히 앞쪽 정압 발생부(86)의 뒤 가장자리를 기점으로 하는 슬라이더 중심 부근이기때문에, 자극 부근에서는 높은 탄력 강성을 갖는 정압이 발생하여, 본 실시형태에 이러한 효과를 발휘하는 것은 곤란하다.

제3특징점은, 슬라이더 뒤쪽에 부압 발생부를 갖춘 본 실시형태에 관련된 슬라이더가 부압의 효과에 의해 탄력 강성을 향상시킬 수 있다는 점이다.

본 실시형태에 있어서는, 절결부(81a, 81b)를 설치함으로써, 단차(8a, Wa, Xa)로 둘러싸이는 영역 및 단차(8b, Wb, Xb)로 둘러싸이는 영역에서 부압이 발생한다. 뒤쪽 동압 발생부(2a)는 부상량이 작기때문에, 단차(8a, 8b)가 얕더라도 효율적으로 부압을 발생시킬 수 있다.

이러한 부압 작용에 의해 다음과 같은 효과가 생긴다. 우선, 자석(21)부근의 스페이싱을 변화시키지 않고, 단차(7a, 7b)에 의해 발생시키는 정압을 더욱 높이는 구성으로 할 수 있어, 롤링 강성을 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 상기한 바와 같이 정압을 높일 수 있으면, 필연적으로 탄력 강성(디스크에 수직인 방향에 관하여 슬라이더를 지지하는 강성)을 향상시키는 것이 가능하게 된다. 이와 같이, 자극(21)0이 설치되어 있는 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 있어서 강성이 높아지면 다음과 같은 점에서 유리하다. 우선, 서스펜션의 제조 오차 등에 의해 서스펜션에서 슬라이더(203a)에 가해지는 하중에 불균일이 발생하면, 슬라이더(203a)의 부상량이 변동하지만, 탄력 강성이 높으면 이 부상량 변동을 작게 억누를 수 있다. 또한, 사용 환경의 변화 등에 의해 대기압이 변동함에 따라, 역시 슬라이더(203a)의 부상량이 변동하지만, 탄력 강성이 높으면 그 부상량 변동을 작게 억누를 수 있다.

제4특징점은, 슬라이더 뒤쪽에 부압 발생부를 구비한 본 실시형태에 관계된 슬라이더가, 요각이 더해졌을 대의 롤링 방지기능의 조정을 행할 수 있다는 점이다.

상기한 제4 내지 제6실시형태에 관계된 슬라이더 형상에 있어서, 헤드와 디스크 사이의 소망의 스페이싱 또는 접촉력을 실현하기 위한 일 방책으로서, 뒤쪽동압 발생부(2b)의 양 측부 부근에 설치되는 정압 발생용 단차(7a, 7b)의 폭(디스크 회전방향과 거의 수직인 방향의 길이)을 조정하는 방법이 있다. 즉, 단차(7a, 7b)의 폭을 작게 하면, 스페이싱은 작아지게 되며, 또한, 접촉력은 커진다. 한편, 단차(7a, 7b)의 폭을 크게하면, 스페이싱은 커지고, 또한, 접촉력은 작아지게 된다.

그런데, 단차(7a, 7b)의 폭을 조정하면, 필연적으로 슬라이더 길이방향의 중심축(슬라이더 중심축)에서부터 디스크 회전방향(A)을 거의 따른 단차(6a, 6b)가 형성되는 위치까지의 거리가 변동하여, 이러한 단차(6a, 6b)가 가지는 롤링 방지기능(상기 제3 및 제4실시형태의 설명참조)에 변화가 생긴다. 따라서, 소정의 스페이싱이나 접촉력을 얻기 위해서 단차(7a, 7b)의 폭을 설정한 경우, 그 롤링 방지효과가 현저하게 지나치게 되어, 요각이 커지는 디스크 외주측에서, 슬라이더(203a)의 디스크 내주측(Sin)이 디스크에 접근하여, 디스크 외주측(Sout)이 디스크로부터 이반(離反)하도록 롤리하여 버리는 경우가 있다.

그래서, 본 실시형태에서는, 이러한 경우의 해결책으로서, 상술한 바와 같이 뒤쪽 동압 발생부(2b)에서, 단차(6a, 6b)사이에, 이들에 대향하여 배치되는 단차(Xa, Xb)를 형성하기 위하여, 절결부(81a, 81b)를 새로 형성하고 있다.

상기한 바와 같이, 디스크 외주측에서 요각이 더해졌을 때에는, 공기류에 의해 단차(6a)에서는 정압이, 단차(6b)에서는 부압이 제각기 발생한다. 이들 압력과 슬라이더 중심축에서 단차(6a, 6b)가 형성되는 위치까지의 적(積)으로 결정되는 폴링 모먼트에 의해, 슬라이더(203a)의 디스크 외주측(Sout)이 디스크에서 이반하여, 디스크 내주측(Sin)이 디스크에 접근하도록 롤링이 발생한다.

한편, 단차(Xa, Xb)는, 이것과는 역의 효과를 가진다. 즉, 단차(Xa)에 있어서는 부압이, 단차(Xb)에 있어서는 정압이 각각 발생하고, 슬라이더(203a)의 디스크 외주측(Sout)이 디스크에 접근하여, 디스크 내주측(Sin)이 디스크에서 이반하도록 롤링이 발생한다.

따라서, 슬라이더 중심축으로부터 단차(Xa, Xb)가 형성되는 위치까지의 거리를 적시에 선택하면, 적당한 롤링모먼트를 발생시키는 것이 가능하게 됨으로써, 상기한 롤링 방지기능을 조정하는 것이 가능하게 된다.

제5특징점은, 슬라이더 뒤쪽에 부압 발생부를 구비한 본 실시형태에 관계된 슬라이더가, 피칭 의존성의 저감 효과를 갖추고 있다는 점이다.

이 점에 대하여 도 17을 참조하여 설명한다. 본 실시형태에 관계된 슬라이더 형상에 있어서는, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리에서 연속적으로 형성되어 있는 랜드부의 면(플랫면)(9c)이 앞서 설명한 다른 실시형태에 비하여 작게 된다. 플랫면(9c)은 주속 의존성(슬라이더에 작용하는 부상력이 디스크 내외주에 있어서의 주속차에 의존하는 성질)은 낮지만, 피칭 의존성(슬라이더에 작용하는 부상력이 피칭 차에 의존하는 성질)은 높다(도 4참조).

따라서, 플랫면(9c)의 면적이 큰 경우는, 슬라이더(203a)를 디스크에 눌러 붙이는 하중이 변동하거나(하중변동), 사용 환경의 변화에 의해 대기압이 변동한(대기압 변동)경우 등에, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 부상이 저하하고, 슬라이더(203a) 전체에 피칭이 변화함으로써, 자극(21)부근의 부상량 또는 접촉력이 변동하기 쉽게 된다.

이에 대하여, 본 실시형태에 관계된 슬라이더 형상에서는, 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 절결부(81a, 81b)를 형성함으로써 플랫면(9c)의 면적이 삭감되어 있기 때문에 상기 문제점이 경감되어, 자극(21) 부근의 부상력 또는 접촉력이 상기한 하중 변동이나 대기압 변동에 대하여 보다 안정되게 된다.

이상 설명한 본 실시형태에 의하면, 상기한 제4실시형태와 마찬가지로, 요각 의존성의 저감에 의해 과도한 부상량 변동을 억제할 수가 있을 뿐만 아니라 디스크 내외주에서의 부상량 일정화를 실현하는 것이 가능해짐과 동시에, 윤활제의 호이스팅을 억제하여 흡착현상을 방지할 수 있고, 디스크 외주측에서의 슬라이더(203a)의 롤링을 보다 효율적으로 방지할 수 있으며, 더욱이 롤링 강성을 높게 유지할 수 있음과 동시에, 스라이더 디스크 사이의 스페이싱 또는 접촉력의 안정화를 실현하는 것이 가능해진다.

또한, 단차(Xa, Xb)를 단차(6a, 6b, 7a, 7b, 8a, 8b)와 같은 깊이로 설정하면, 1회의 공정으로 절결부(26a, 26b)등과 동시에 절결부(81a, 81b)를 형성할 수가 있어, 제작 효율을 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 도 21에 도 17에 나타낸 제7실시형태의 변형예를 도시하는 바와 같이 절결부(26a, 26b)에 의해 형성되는 단차(7a, 7b)와, 절결부(27a, 27b)에 의해 단차(7a, 7b)에 대향하여 형성되는 단차(Ya, Yb)에 의해 사이에 끼워진 랜드부(9A, 9B)를 디스크 회전방향(A)와 거의 직교하는 방향으로 거의 직선으로 연장되도록 형성하여도 좋다.

이와 같이 도 21에 나타내 변형예에서는, 상기한 제7실시형태와 마찬가지로 랜드부(9a, 9b)를 슬라이더의 측부에 가까이함에 따라, 디스크 회전방향(A)을 향해서 앞쪽에 위치하도록 경사지게는 구성하고 있지 않다. 그러나 이러한 구성에 의해서도, 랜드부(9a, 9b)의 측부를 슬라이더 후단부에서 멀어지게 할 수 있기 때문에, 도시하지 않은 스서펜션의 부착 오차나, 디스크 표면의 요철, 장치 외부로부터의 진동 등의 영향으로 인하여(203a)에 롤링이 발생한 경우에도, 랜드부(9a, 9b)의 측 가장자리가 디스크에 충돌하는 것을 효율적으로 방지할 수 있다. 따라서, 이와 같이 도 21에 나타내는 구성을 채용하는 것도 가능하게 된다.

제8실시형태

본 발명의 제8실시형태에 대하여, 도 22를 참조하면서 설명한다.

도 22은 본 발명의 제8실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태는 상기한 도 17에 나타낸 제7실시형태에 크라운을 형성한 슬라이더 형상을 나타낸 것이다.

본 실시형태는 앞쪽 동압 발생부(2a)와 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 표면이 서로 동일 평면상에 오지 않도록, 상기 표면 잔체가 디스크쪽으로 볼록하게 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 즉, 슬라이더(203a)의 디스크에 대향하는 면의 형상을, 예컨대 타원통형상 또는 원통형의 궤적에 맞추어 만곡시킴으로써 크라운을 형성하고 있다.

이와 같은 구조를 실현하는 수단으로서는, 통상의 슬라이더에 이용되고 있는 방법, 즉, 서스펜션을 부착할 때의 조건을 선택하는, 슬라이더의 배면에 스크래치를 형성함으로써 표면 장력을 개방하는 등이 있다.

또한, 도시하지 않지만, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 뒷 부분과 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 부분에 막을 적층함으로써 디스크쪽으로 볼록한 형상으로 하는 것이 가능하다.

더욱이, 앞쪽의 동압 발생부(2a)를 앞쪽에서 뒤쪽을 향하여 디스크에 가까워지도록 경사지게함과 동시에, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)를 앞쪽에서 뒤쪽을 향하여 디스크로부터 멀어지도록 경사지게함으로써, 전체저으로 디스크쪽으로 볼록한 형상으로 하는 것도 가능하다.

이러한 구성에 의하면, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 영입각(angle of attack)이 더해짐으로써, 동압 축받이로서의 효과가 증대하여, 피칭이 크게 된다고 하는 특징이 있다. 피칭이 크면, 디스크 회전 중에 슬라이더(203a)와 디스크와의 간격에 먼지가 들어와도 앞쪽 동압 발생부(2a)에 잘 부착되지 않으며, 또한, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)에 부착되었다 하더라도, 슬라이더(203a)가 앞으로 기울어지게 될 위험이 있고, 안정적인 부상 또는 접촉이 가능해진다.

또한, 이러한 구성에 의하면, 디스크 정지시에 슬라이더(203a)와 디스크와의 접점부가, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 후단과, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 전단으로 되어, 흡착이 보다 일어나기 어렵게 된다고 하는 이점도 있다.

더욱이, 이러한 구성에 의하면, 상기한 하중 변동이나 대기압 변동에 의한 부상 변동을 낮게 억누를 수 있게 된다. 슬라이더(203a)를 디스크 방향으로 눌러 붙이는 하중이 소정의 값보다도 커진 경우나 대기압이 내려간 경우의 어느쪽 경우에도, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에서의 부상량이 저하하고, 피칭도 저하하기 때문에, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)는 이것에 따라, 피칭 의존성의 영향에 의해, 부상량이 저하하여 버린다. 그런데, 크라운의 영향으로 영입각이 더해져 있는 경우에는, 피칭이 저하하는 비율이 작아지기때문에, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)에서의 부상량의 저하도 일어나기 어렵게 되어, 부상량의 안정화가 실현된다.

제9실시형태

본 발명의 제9실시형태에 대하여 도 23를 참조하면서 설명한다.

도 23은 본 발명의 제9실시형태에 관련된 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태는 상기 제8실시형태의 변형예를 나타낸 것이다. 본 실시형태에서는 상술한 모든 실시형태에서 채용되었던 깊은 홈(3)을 형성하지 않는 것을 가장 특징으로 하는 구성이다 . 즉, 상술한 실시형태에서 깊은 홈(3)에 의해 앞쪽 동압 발생부(2a)와 뒤쪽 동압 발생부(2b)가 분할되어 있던 동압 발생부는 슬라이더 앞쪽에서 뒤쪽으로 연속적인 동압 발생부(2)로서 형성되어 있다. 더욱이 단차(6a, 6b)의 형상을 변형하여 랜드부(9c)를 슬라이더의 전방으로 연장시키도록 구성하고 있다. 이로써 부압 발생부를 이루고 있는 절결부(81a, 81b)의 형상도 슬라이더 앞쪽으로 연장되어 면적이 앞의 실시형태에 비하여 커게 되어 있다.

여기서, 절결부(81a, 81b)의 영역은, 단차(Wa, Wb) 부근에서 발생하는 부압의 값을 결정하는 요소로 되어 있다. 따라서, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리의 형상을 적시에 조정할 수 있는 것은, 다음과 같은 점에서 효과적이다. 즉, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장지리에 형성되는 랜드부(9c)의 형상을 조정함으로써, 단차(6a, 6b)의 디스크 회전방향에 관한 길이, 및 단차(7a, 7b)의 영역과는 독립으로 절결부(81a, 81b)의 영역을 설정하는 것이 가능해진다. 즉, 단차(6a, 6b)에 의해 얻어지는 롤링 방지기능이나, 단차(7a, 7b)에 의한 정압 발생기능과는 독립으로 부압 발생기능을 조정할 수 있게 되어, 설계의 자유도를 대폭 향상시킬 수 있다.

본 실시형태와 같이, 절결부(81a, 81b)의 영역을 확장할 수 있으면, 보다 큰 부압을 발생시키는 것이 가능해지기때문에, 단차(6a, 6b, 7a, 7b)에 의해 형성되는 영역을 조정하거나, 랜드부(9a, 9b)의 폭을 길게 하는 등의 수단에 의해, 단차(7a, 7b)부근에서 더욱 큰 정압을 발생시키는 설계가 가능해져, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 롤링 강성 및 탄력 강성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 동압 발생부(2)의 앞쪽에는 앞의 실시형태와 같이 단차(4)를 형성함으로써 랜드부(5)가 형성되어 정압 발생부로 되고 있다.

이와 같이 본 발명의 헤드 슬라이더에 있어서는, 깊은 홈(3)을 형성할 필요없이 슬라이더의 뒤쪽에 부압을 발생시키는 구성을 채용함으로써도, 앞의 실시형태의 「슬라이더 뒤쪽에서 부압을 발생시킨 경우의 작용·효과」의 란에 기재하였던 것과 같은 제1~제5특징점에서 나타낸 작용·효과를 얻는 것이 가능하다.

제10실시형태

본 발명의 제10실시형태에 대하여 도 24를 참조하면서 설명한다.

도 24은 본 발명의 제10실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태는 상기의 제9실시형태의 변형예를 나타낸 것이다. 본 실시형태에서는 도 23에 나타낸 동압 발생부(2)를 슬라이더의 배면을 겸용하여 구성하고, 이 슬라이더 배면에 형성된 동압 발생부(2)의 앞쪽에 단차(4)를 형성하여 랜드부(5)를 마련하고, 동압 발생부(2)의 뒤쪽에는 부압을 발생시키기 위한 절결부(81a, 81b)를 형성하여 랜드부(9a, 9b, 9c)가 각각 형성되어 있다.

이와 같이 슬라이더 배면을 겸용하여 랜드부(5) 및 랜드부(9a~9c)를 동일한 높이로 하여, 1회의 에칭에 의해 형성하도록 하면, 제작 효율을 현저하게 향상시킬 수 있다.

제11실시형태

본 발명의 제11실시형태에 대하여 도 25를 참조하면서 설명한다.

도 25은 본 발명의 제11실시형태에 관련하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태에서는, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 랜드부(5) 뒤쪽에 제1깊이의 단차(30)가 형성되고, 랜드부(5)의 뒤쪽에 앞쪽의 동압 발생부(2a)가 연장되어 있다. 그리고, 연장된 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 제2깊이의 단차(31a, 31b)를 형성하도록 절결부(32)가 형성되어 있다. 이 절결부(32)는 깊은 홈(3)쪽으로 개구하여 형성된다.

여기서, 제1깊이(단차(30)가 가지는 깊이)를 랜드부(5)의 앞쪽에 단차(4)와 같은 깊이로 하면, 랜드부(5)를 형성할 때에 단차(30)를 동시에 형성하는 것이 가능하다.

제2깊이(단차(31)가 가지는 깊이)는 수 ㎛인 오더로써, 디스크의 회전방향(A)을 따라 제1깊이의 단차(30)보다도 깊게 형성되어 있기 때문에, 디스크의 회전에 동반하여, 슬라이더(203a)에 발생하는 공기류의 작용에 의해, 단차(31a)를 기점으로 절결부(32)의 경계영역에서 해당 슬라이더(203a)에 부압이 발생한다.

또한, 절결부(32)는 동압 발생부(2a)의 연장부분에 의해 그 양측부를 둘러싸도록 형성되어 있기 때문에, 부압이 슬라이더 측부에서 대기압에 개방됨으로써 저감되지 않고 효율적으로 발생한다. 또한, 동압 발생부(2a)의 연장부분에 의해 구성되는 측부는, 슬라이더(203)의 대(對) 디스크표면 접지면적을 증가시키지 않고 부압을 효율적으로 발생시킬 수 있기 때문에, 일반적인 부압 슬라이더가 흡착작용의 해결책이 없어 곤란한 것에 대하여, 이러한 흡착 방지면에서 상당히 유리하게 된다.

또한, 이러한 구성에 의하면, 정압과 부압의 합인 서스펜션 하중을 작게 설정하는 것이 가능한다.

제12실시형태

본 발명의 제12실시형태에 대하여 도 26를 참조하면서 설명한다.

도 26은 본 발명의 제12실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태에 관계하는 슬라이더는, 도 25에 나타낸 제11실시형태에 나타낸 슬라이더의 변형예를 나타낸 것으로, 깊은 홈(3)을 형성하지 않도록 구성한 점이 특징이다. 즉, 상술한 실시형태에서 깊은 홈(3)에 의해 앞쪽 동압 발생부(2a)와 뒤쪽 동압 발생부(2b)로 분할되어 있던 동압 발생부는 단차(31b)와 랜드부(5)에 의해 둘러싸여진 절결부(32)를 개재하여 분할되어 있다. 랜드부(9a, 9b, 9c)의 형상은 도 23, 도 24에 나타낸 실시형태와 거의 동일하다.

절결부(32)의 깊이는 수 ㎛의 오더이며, 디스크방향으로 돌출하는 동압 발생부(2a)보다도 디스크에서 멀어지는 방향으로 깊게 형성되어 있기 때문에, 디스크의 회전에 따라, 슬라이더(203a)에 발생하는 공기류의 작용에 의해, 랜드부(5)의 뒤 가장자리를 기점으로 절결부(32)의 경계영역에서 해당 슬라이더(203a)에 부압이 발생한다. 이 압력 분포의 상태를 도 27에 나타낸다.

이 도 27의 압력 분포 특성에도 나타내는 바와 같이, 절결부(32)는 동압 발생부(2a)의 연장부분에 형성된 단차(31b)에 의해 양 측부를 둘러싸도록 형성되어 있기 때문에, 부압이 슬라이더 측부에서 대기중으로 개방됨으로써 저감되는 일없이 효율적으로 발생한다.

또한, 동압 발생부(2a)의 연장부분에 의해 구성되는 단차(31)는 슬라이더(203a)의 대(對) 디스크표면 접지면적을 증가시키지 않고 부압을 효과적으로 발생시킬 수 있기 때문에, 일반적인 부압 슬라이더가 흡착작용의 해결책이 없어곤란한 것에 대하여, 이러한 흡착 방지면에서 상당히 유리하게 된다고 하는 도 25에 나타낸 제11실시형태와 거의 동일한 작용·효과를 얻을 수 있다.

즉 본 실시형태는 슬라이더 앞쪽과 슬라이더 뒤쪽의 2개소에 별도로 부압 발생부를 마련하여, 각각의 부압작용을 독립적으로 적절하게 작용할 수 있는 구성으로 한 것이다. 따라서, 도 18에 설명한 대기압의 변화 및 하중의 불균일 등에 대하여 소정의 동작을 실현하는 것이 가능하며, 더욱이 슬라이더 전체의 부상 안정성도 만족시키는 설계가 가능하게 된다.

또한, 슬라이더 뒤쪽의 동압 발생부(2b)의 구성·작용·효과에 대하여는 앞서 나타낸 도 23, 도 24의 제9, 제10 실시형태와 거의 동일하다.

제13실시형태

본 발명의 제13실시형태에 대하여 도 28를 참조하면서 설명한다.

도 28은 본 발명의 제13실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 발명형태에 관계하는 슬라이더는 앞쪽 동압 발생부(2a)와, 뒤쪽 동압 발생부(2a)와, 앞쪽 동압 발생부(2a)에 형성된 단차(4)에 의해 형성되는 랜드부(5)와, 뒤쪽 동압 발생부에 형성된 랜드부(9a, 9b, 9c)와, 랜드부(9c)에서 슬라이더 앞쪽으로 연장되어 랜드부(5)와 접촉된 랜드부(9d)를 주로 특징적인 구성으로 하고 있다.

앞쪽 동압 발생부에 형성된 랜드부(5)는 슬라이더 뒤쪽을 향하여 볼록한 형상으로 되는 약 V자형상을 이루며, 이 랜드부(5)를 따라 정압이 발생한다. 뒤쪽 랜드부(9a~9c)의 주위에서는 앞의 실시형태와 마찬가지로 절결부(81a, 81b)의 포켓에서 부압이 발생하고, 랜드부(9a, 9b) 부근에서는 정압이 발생하고 있다. 이와 같이 앞쪽의 랜드부(5)와 뒤쪽의 랜드부(9c)간을 랜드부(9d)로 구성에서도, 앞서 나타낸 실시형태와 동일한 작용·효과를 가져올 수 있다.

제14실시형태

본 발명의 제14실시형태에 대하여 도 29를 참조하면서 설명한다.

도 29은 본 발명의 제14실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도, (d)는 슬라이더가 디스크 상에 접지하고 있을 때의 측면도이다.

본 실시형태에 있어서는, 앞쪽 동압 발생부(2a)와 뒤쪽 동압 발생부(2b) 사이에 돌출부(2c)를 형성하고 있다, 이 돌출부(2c)의 디스크 대향면은 그 디스크 회전방향(A)에 약 수직인 방향에 대하여 거의 중앙에 접지패드(90)가 형성되도록 그 양측부를 후퇴시킨 구성을 가진다. 여기서, 돌출부(2c)는 기계가공 또는 에칭에 의해 깊은 홈(3a, 3b)을 마련함으로써 형성된다. 또한, 접지패드(90)는 그 부분을 마스킹하고, 에칭에 의해 양측부를 후퇴시킴으로써 형성된다.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 앞뒤의 동압 발생부(2a, 2b)에 설치되는 랜드부(5, 9a, 9b, 9c) 및 그 사이에 위치하는 돌출부(2c)에 설치되는 접지패드(90)중, 저지패드(90)가 가장 디스크쪽으로 돌출된 구성으로 되어 있다. 이러한 구성으로 하기위해서는, 접지패드(90) 이외의 면을 에칭 등으로 후퇴시키거나, 접지패드(90)가 그 정점 부근에 위치하도록 크라운(슬라이더의 디스크 대향면을 디스크쪽으로 볼록한 형상으로 한 것)을 형성하거나, 또는, 접지패드(90)부분에만 보호막을 두껍게 형성하는 등의 수단을 실시하면 좋다.

여기서, 도 29(d)에 나타내는 바와같이 도시하지 않은 서스펜션에 의해, 앞쪽의 동압 발생부(2a)와 돌출부(2c) 사이에 하중(P)을 부여하도록 하면, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 설치된 랜드부(5)와, 돌출부(2c)에 마련된 접촉패드(90)만 디스크 정지시에 디스크(201)상에 접지하게 된다. 따라서, 자극(21)이 설치되어 있는 뒤쪽의 동압 발생부(2b)를 디스크(201)와 비접촉 상태로 유지할 수 있어, 슬라이더(203a)와 디스크(201)와의 접지 면적을 저감하는 것이 가능하게 되며, 나아가서는 슬라이더(203a)와 디스크(201)와의 흡착을 방지할 수 있게 된다. 또한, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)를 디스크(201)와의 흡착을 방지할 수 있게 된다. 또한, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)를 디스크(201)와 비접촉 상태에 유지할 수 있으면, 디스크 기동시에 생기는 마모가루 등과 같은 먼지가 자극(21) 부근에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

그런데, 하중(P)을 부여하는 위치는 상기한 경우에 한정되지 않는다. 예컨대, 뒤쪽의 동압 발생부(2b)와 돌출부(2c) 사이에 하중(P)을 부여하면, 앞쪽의 동압 발생부(2a)를 디스크(201)와 비접촉 상태를 유지할 수 있어, 역시 슬라이더(203a)와 디스크(201)와의 접지 면적을 저감할 수 있으며, 나아가서는 슬라이더(203a)와 디스크(201)와의 흡착을 방지할 수 있게 된다. 또한, 하중(P)을 부여하는 위치를 적당하게 선택하면, 접지패드(90)만을 접지시키는 것도 가능하게 된다.

또한, 여기서, 앞쪽의 동압 발생부(2a)에 있어서 단차(4)와 접지패드(90)를 마련하기 위하여 새로이 설치한 돌출부(2c)의 후퇴 깊이를 동일한 기핑로 하여, 1회의 에칭에 의해 형성되도록 하면, 제작 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시형태는 도 29에 나타낸 경우에 한정되지 않고, 상기한 모든 실시형태에 나타낸 슬라이더 형상과도 적시에 조합할 수 있다.

제15실시형태

본 발명의 제15형태에 대하여 도 30를 참조하면서 설명한다.

도 30은 본 발명의 제15실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태에서는, 상기한 제14실시형태에서 형성한 돌출부(2c)에 상당하는 구성으로 하지 않고, 접지패드(90)를 직접 설치하는 구성으로 하고 있다. 접지 패드(90)는 에칭으로 깊은 홈(3)을 형성할 때에, 그 부분은 마스킹하여 남김으로써 형성된다. 또한, 접지패드(90)를 설치하는 위치는 도 30에 나타낸 경우에 한정되지 않고, 적시게 변경할 수 있으며, 접지패드(90)의 개수도 적시에 변경할 수 있다. 또한, 접지패드(90)의 형상도 임의로 설계할 수 있다. 예컨대, 도 31(20)에 나타내는 바와 같이, 중공 반원통상이라도 무방하다. 이러한 구성에 의하면, 제31도(d)에 나타낸 바와 같이 접지 면적을 늘리지 않고서, 접지 영역을 확대할 수 있어, 안정적인 접지를 가능하게 함과 동시에, 접지패드(90)만을 접지시키는 것도 용이하게 된다. 따라서, 이러한 구성에 의하면 흡착 방지효과를 더 향상시킬 수 있다.

한편, 본 실시형태에서는, 슬라이더(203a)의 가공을 모두 에칭에 의해 행하기 때문에, 슬라이더(203a)의 네 구석을 면따기하는 것도 용이하고, 여러가지 요인에 의한 롤링 변동이나 피칭 변동 혹은 부상량 변동이 발생하여도 슬라이더(203a)와 디스크가 충돌하는 위험을 용이하게 피할 수 있다. 또한, 장치에충격이 가해져, 슬라이더(203a)가 디스크로부터 일단 떨어진 다음, 재차 접지할 때에 디스크에 상처를 입힐 수 있다. 특히 접지할 때의 자세가 디스크와 평행하지 않은 경우, 슬라이더의 네 구석 가운데 어느 하나가 디스크에 날카로운 상처를 형성하는 원인이 된다. 따라서 슬라이더(203a)의 네 구석을 모따기하는 것은 이러한 디스크에의 손상을 방지하는 효과도 가져온다.

제16실시형태

본 발명의 제16실시형태에 대하여 도 32를 참조하면서 설명한다.

도 32은 본 발명의 제16실시형태에 이러한 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시형태의 특징은 깊은 홈(3)을 에칭으로 형성하기 때문에, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 뒤 가장자리와, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리를 임의의 형상으로 가공할 수 있다는 점에 있다. 본 실시형태에서는, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 뒤 가장자리에 오목부(91a)를 형성하여, 효율적으로 부압을 발생시키도록 함과 동시에, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리에도 오목부(91b)를 형성하여, 단차(7a, 7b)를 형성하기위하여 형성되는 절결부(26a, 26b)의 영역을 확장하고 있다.

여기서, 절결부(26a, 26b)의 영역은, 단차(7a, 7b)의 부근에서 발생하는 정압의 값, 혹은 디스크의 주속이나 슬라이더의 피칭의 변화에 따른 정압의 거동을 결정하는 요소로 되고 있다. 따라서, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리의 형상을 적시에 조정할 수 있다는 것은 다음과 같은 점에서 유효하다. 즉, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리에 형성되는 오목부(91b)의 형상을 조정함으로써, 단차(6a, 6b)의 디스크 회전방향에 관한 길이와 단차(7a, 7b)를 형성하기 위해 형성되는 절결부(26a, 26b)의 영역을 독립으로 설정하는 것이 가능하게 된다. 즉, 단차(6a, 6b)에 의해 얻어지는 롤링 방지기능과, 단차(7a, 7b)에 의한 정압 발생기능을 독립으로 조정할수 있게 되어, 설계의 자유도를 대폭 향상시킬 수 있다.

또한, 오목부(91b)의 형상을 조정함으로써, 단차(6a, 6b)와, 단차(Xa, Xb)의 디스크 회전방향을 따른 방향의 길이를 적시에 변경할 수도 있다. 그 때, 단차(7a, 7b)에 의한 정압 발생기능과는 독립으로 그 길이를 결정할 수 있기 때문에, 상기 제6실시형태에서 설명한 롤링 방지기능의 조정을 용이하게 행하는 것이 가능하게 된다.

제17실시형태

본 발명의 제17실시형태에 대하여 도 33를 참조하면서 설명한다.

도 33은 본 발명의 제17실시형태에 관계하는 슬라이더 형상을 나타낸 것으로, (a)는 사시도, (b)는 평면도, (c)는 측면도이다.

본 실시혀태에서는, 앞쪽 동압 발생부(2a)의 뒤 가장자리에 오목부(91a)를 형성하여, 부압을 발생시키도록 함과 동시에, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리에도 오목부(91b)를 형성하여, 부압을 발생시키는 단차(Wa, Wb)를 형성하기 위하여 형성되는 절결부(81a, 81b)의 영역을 확장하고 있다.

여기서, 절결부(81a, 81b)의 영역은, 단차(Wa, Wb) 부근에서 발생하는 부압의 값을 결정하는 요소로 되어 있다. 따라서, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리의 형상을 적시에 조정할 수 있다는 것은 다음과 같은 점에서 효과적이다. 즉, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 앞 가장자리에 형성되는 오목부(91a)의 형상을 조정함으로서, 단차(6a, 6b)의 디스크 회전방향에 관한 길이, 및 단차(7a, 7b)를 형성하기 위하여 형성되는 절결부(26, 26b)의 영역과는 독립으로 절결부(81a, 81b)의 영역을 형성할수 있게 된다. 즉, 단차(6a, 6b)에 의해 얻어지는 롤링 방지기능이나, 단차(7a, 7b)에 의한 정압 발생기능과는 독립으로 부압 발생기능을 조정할 수 있게 되어, 설계의 자유도를 대폭 향상시킬 수 있다.

본 실시형태와 같이, 절결부(81a, 81b)의 영역을 확장할 수 있으면, 보다 큰 부압을 발생시킬 수 있게 되므로, 절결부(26a, 26b)의 영역을 조정하거나, 랜드부(9a, 9b)의 폭을 길게 하는 등의 수단에 의해, 단차(7a, 7b)의 부근에서 더 큰 정압을 발생시키는 설계가 가능하게 되어, 뒤쪽 동압 발생부(2b)의 롤링 강성 및 탄력 강성을 향상시킬 수 있다.

이상, 여러가지 실시형태에 대하여 설명하였지만, 모두 슬라이더(203a)의 뒤쪽 동압 발생부(2b)에 형성되는 랜드부(9)는 슬라이더 길이방향의 중심축선을 중심으로 대칭형상으로 하였으나, 이것은 반드시 대칭형상일 필요는 없고, 상황에 따라서 비대칭으로 할 수도 있다.

또한, 상기한 각 실시형태는, 요각 의존성에 관계없이 디스크 내외주에 있어서 부상량 또는 접촉력을 일정하게 유지하는 기능을 가지는 것이기 때문에, MR헤드를 채용하여, 디스크 내외주에 트렉 어긋남을 방지하기 위하여 요각 변동이 발생하지 않도록 시크를 행하는 경우에도 상당히 적합한 슬라이더 형상이라 할 수 있겠다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 요각 의존성의 절감에 의해 과도한 부상량 변동을 억제할 수 있음과 동시에, 디스크 내외주에서의 부상량 일정화 또는 헤드 디스크간 접촉력의 일정화를 실현할 수 있는 헤드 슬라이더를 제공할 수 있다.

또한, 본 발명에 관계하는 헤드 슬라이더를 이용함으로써, 헤드 슬라이더의 저부상화, 혹은 헤드 디스크간의 저하중 및 안정적으로 접촉이 가능하게 됨으로써, 기록밀도의 향상을 꾀할 수 있는 기록 재생장치를 제공할 수 있다.

Claims (40)

1. 회전가능한 기록매체인 디스크 상에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더에 있어서,

   상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 형성되어 동압을 발생시키기 위한 동압 발생부와,

   상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면 내에서 상기 디스크의 회전방향에 대하여 상기 헤드 슬라이더의 중앙부분보다도 뒤쪽에 설치되어 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부를 구비한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
2. 제1항에 있어서, 상기 부압 발생부는 상기 동압 발생부에 절결부를 형성함으로써 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
3. 제1항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이보다도 상기 회전방향에 대해 대략 수직인 방향으로 길이쪽이 긴 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
4. 제1항에 있어서, 상기 부상 발생부는 상기 디스크의 회전방향과 거의 직교하는 방향을 따라서 배치하는 제1, 제2랜드부와, 이들 제1, 제2랜드부에 끼워져 상기 디스크의 회전방향으로 거의 따라서 배치되는 제3랜드부를 구비하여, 제1 및 제2랜드부와 제3랜드부로 각각 둘러싸인 영역에서 부압을 발생시키도록 구성한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
5. 제4항에 있어서, 상기 제3랜드부를 상기 제1 및 제2랜드부에 대한 상기 디스크의 회전방향 위쪽으로 돌출시키며, 이 돌출량은 필요로 하는 상기 부압의 크기에 따라서 결정되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
6. 제1항에 있어서, 상기 동압 발생부는 정압을 발생시키기 위한 영역과 부압을 발생시키기 위한 영역을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
7. 제6항에 있어서, 상기 부압 발생부에는 상기 디스크의 회전방향에 따른 제1단차 및 상기 회전방향에 대해 대략 수직인 방향에 거의 따른 제2단차를 형성하는 제1절결부와, 상기 제1단차와 대향하는 제3단차를 형성하는 제2절결부가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
8. 제7항에 있어서, 상기 제1절결부 및 상기 제2절결부는 상기 헤드 슬라이더의 양측부 부근에 각각 한쌍씩 마련되는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
9. 제6항에 있어서, 상기 부압 발생부에는 상기 디스크의 회전방향에 거의 따른 제1단차 및 상기 회전방향과 약 수직인 방향에 거의 따른 제2단차를 형성하는 제1절결부와, 상기 제1단차와 대향하는 제3단차 및 상기 제2단차의 거의 반대방향으로 연장되는 제4단차를 형성하는 제2절결부를 마련한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
10. 제9항에 있어서, 상기 제1절결부 및 상기 제2절결부는 상기 헤드 슬라이더의 양 측부 부근에 각각 한쌍씩 마련되는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
11. 제1항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따라서 적어도 2개 설치되어 있고, 상기 부압 발생부는 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관해서 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
12. 제11항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부와 상기 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부 사이에 위치하며, 상기 디스크방향으로 가장 돌출하여 설치되는 접지패드를 추가로 구비한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
13. 제11항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부의 측단부를 모따기한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
14. 제11항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 후방에 위치하는 동압 발생부에, 정압 발생용 단차와 이 정압 발생용 단차보다도 상기 회전방향에 대해 대략 수직인 방향으로 안쪽에 위치하는 부압 발생용 단차를 형성한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
15. 제11항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부에, 상기 디스크의 회전방향과 대략 수직인 방향을 따른 단차를 형성함으로써 랜드부를 마련한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
16. 제11항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부에, 상기 디스크의 회전방향과 약 수직인 방향을 따른 단차를 형성함으로써, 마련되는 랜드부와, 이 랜드부보다도 상기 회전방향에 관하여 뒤쪽에 마련되는 부압 발생용 단차를 형성한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
17. 제11항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부에 상기 디스크의 회전방향과 대략 수직한 방향을 따른 단차를 형성함으로써 랜드부를 마련하고, 상기 랜드부의 상기 회전방향에 관한 길이를 상기 동압 발생부의 상기 회전방향에 관한 전체 길이의 10%보다 크고 50%보다 작은 길이로 하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
18. 제17항에 있어서, 상기 랜드부의 상기 회전방향에 관한 길이를 상기 동압 발생부의 상기 회전방향에 관한 전체 길이의 약 30% 길이로 하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
19. 제17항에 있어서, 상기 랜드부의 접지 면적은 상기 랜드부가 형성되는 동압 발생부보다도 적으며, 상기 디스크의 회전방향을 향하여 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부의 접지 면적보다도 작은 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
20. 회전가능한 기록매체인 디스크 상에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더에 있어서,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 마련되고, 상기 디스크의 회전방향에 따라 배열되는 적어도 2개의 동압 발생부와,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되고, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부와 상기 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부 사이에 위치하여, 상기 디스크방향으로 가장 돌출하여 설치되는 접지패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
21. 제20항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이보다도 상기 회전방향으로 약 수직인 방향을 따른 길이쪽이 긴 형상을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
22. 제20항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부는 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
23. 제20항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에 정압 발생용 단차와, 이 정압 발생용 단차보다도 상기 회전방향에 대략 수직인 방향에 대하여 내측에 위치하는 부압 발생용 단차를 형성한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
24. 제20항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부에 상기 디스크의 회전방향에 대략 수직인 방향을 따른 단차를 형성함으로써 랜드부를 형성한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
25. 회전가능한 기록매체인 디스크 상에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더에 있어서,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 디스크의 회전 방향을 따라서 홈을 사이에 끼워 배열되는 적어도 2개의 동압 발생부를 가지며, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부의 상기 홈에 마주보는 앞 가장자리에는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
26. 제25항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이보다도 상기 회전방향에 약 수직인 방향을 따른 길이쪽이 긴 형상을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
27. 제25항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에는 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
28. 제25항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에, 정압 발생용 단차와, 이 정압 발생용 단차보다도 상기 회전방향에 대략 수직인 방향의 내측에 위치하는 부압 발생용 단차를 형성한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
29. 제25항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부에 상기 디스크의 회전방향과 약 수직인 방향을 따른 단차를 형성함으로써 랜드부를 마련한 것을 특징으로 하는 헤드 슬라이더.
30. 회전가능한 기록매체인 디스크와, 이 디스크 상에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드와, 이 기록 재생헤드를 탑재한 헤드 슬라이더와, 이 헤드 슬라이더를 지지하여 상기 디스크 상을 이동시키는 액츄에이터를 구비한 기록 재생장치에 있어서,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 형성되어 동압을 발생시키기 위한 동압 발생부와,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면 내에서 상기 디스크의 회전방향에 관하여 상기 헤드 슬라이더의 중앙부분보다도 뒤쪽에 설치되어 부압을 발생시키기 위한 부압 발생부를 구비한 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
31. 제30항에 있어서, 상기 부압 발생부는 상기 동압 발생부에 절결부를 형성함으로써 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
32. 제30항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따라 적어도 2개 설치되고, 상기 부압 발생부는 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
33. 제30항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이 보다도 상기 회전방향에 약 수직인 방향을 따른 길이쪽이 긴 형상을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
34. 제30항에 있어서, 상기 부압 발생부는 정압을 발생시키기 위한 영역과 부압을 발생시키기 위한 영역을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
35. 제30항에 있어서, 상기 부상 발생부는 상기 디스크의 회전방향과 거의 직교하는 방향을 따라서 배치하는 제1, 제2랜드부와, 이들 제1, 제2랜드부에 끼워져 상기 디스크의 회전방향으로 거의 따라 배치되는 제3랜드부를 구비하여, 제1 및 제2랜드부와 제3랜드부로 각각 둘러싸인 영역에서 부압을 발생하도록 구성한 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
36. 회전가능한 기록매체인 디스크와, 이 디스크 상에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드와, 이 기록 재생헤드를 탑재하는 헤드 슬라이더와, 이 헤드 슬라이더를 지지하여 상기 디스크 상을 이동시키는 액츄에이터를 구비한 기록 재생장치에 있어서,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 디스크의 회전방향을 따라 배열되는 적어도 2개의 동압 발생부와,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 앞쪽에 위치하는 동압 발생부와 상기 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부 사이에 위치하여, 상기 디스크 방향으로 가장 돌출하여 설치되는 접지패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
37. 제36항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이보다도 상기 회전방향과 약 수직인 방향을 따른 길이쪽이 긴 형상을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
38. 회전가능한 기록매체인 디스크와, 이 디스크 상에서 정보의 기록재생을 행하는 기록 재생헤드와, 이 기록 재생헤드를 탑재하는 헤드 슬라이더와, 이 헤드 슬라이더를 지지하여 상기 디스크 상을 이동시키는 액츄에이터를 구비한 기록 재생장치에 있어서,

    상기 헤드 슬라이더의 상기 디스크와 대향하는 면에 설치되어, 상기 디스크의 회전방향을 따라서 홈을 사이에 두고 배열되는 적어도 2개의 동압 발생부를 포함하며, 상기 동압 발생부 가운데 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부의 상기 홈에 대향하는 전방 가장자리에는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
39. 제38항에 있어서, 상기 동압 발생부는 상기 디스크의 회전방향을 따른 길이보다도 상기 회전방향과 약 수직인 방향을 따른 길이쪽이 긴 형상을 가지는 있는 것을 특징으로 하는 기록 재생장치.
40. 제38항에 있어서, 상기 동압 발생부 가운데, 상기 디스크의 회전방향에 관하여 가장 뒤쪽에 위치하는 동압 발생부에는 상기 회전방향에 따른 제1단차 및 상기 회전방향과 대략 수직인 방향에 따른 제2단차를 형성하는 제1절결부가 형성되어 있는 것을 특징으로 기록 재생장치.