KR19980032675A - 실린더장치 - Google Patents

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KR19980032675A
KR19980032675A KR1019970051709A KR19970051709A KR19980032675A KR 19980032675 A KR19980032675 A KR 19980032675A KR 1019970051709 A KR1019970051709 A KR 1019970051709A KR 19970051709 A KR19970051709 A KR 19970051709A KR 19980032675 A KR19980032675 A KR 19980032675A
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사와다다카유키
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다카다요시유키
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Abstract

실린더장치(10)는 한상의 유체 입/출구포트(40a,40b)가 형성되는 케이징(20), 베이스 플레이트(12), 베이스 플레이트(12)에 고정되는 피스톤(54), 실린더(18), 및 탑 플레이트(22)를 포함한다. 실린더장치(10)는 베이스 플레이트(12), 피스톤(54) 및 탑플레이트(22)사이에서 실린더(18)내에 형성되는 제 1, 제 2 및 제 3실린더챔버(46a,46b,46c)와, 유체 입/출구포트중 하나(40a)가 제 1 및 제 3 실린더 챔버(46a,46c)와 연통되는 제 1유체통로(42) 및 제 2유체통로(44)와, 유체입/출구포트 중 다른 하나(40b)가 제 2실린더 챔버(46b)와 연통되는 제 3유체통로(47) 및 제 4유체통로(48)를 또한 가진다.

Description

실린더장치
본 발명은 예를들어 공작물을 소정거리 변위시키기 위하여 반송라인 사이에 배치되는 실린더장치에 관한 것이다.
종래부터 공장에는 복수의 반송컨베이어 또는 반송롤러를 포함하는 공작물 반송 시스템을 가진다. 그러한 공작물 반송 시스템은 서로 수직으로 연장되는 제 1 및 제 2반송라인을 포함하는 복수의 반송라인을 가지며, 제 1반송라인으로부터 반송되는 공작물을 들어올려 제 2반송라인으로 들어올려진 공작물을 이송하는 제 1및 제 2반송라인의 접합점에 배치된 이송유니트를 가진다.
본 발명은 이송유니트로서 사용되며 공간절약의 목적으로 낮은 윤곽을 가지는, 미국특허출원 제 08/582911호에 개시되는 실린더장치를 개선시킨 것이다.
본 발명의 목적은 공작물을 변위시키기 위하여 증가된 출력을 야기시킬 수 있는 실린더장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 주목적은 보다 좋은 성능으로 증가된 출력을 가지고 공작물의 증가된 다양성을 처리할 수 있는 실린더장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 피스톤 또는 실린더가 행정의 변위의 끝에 도달했을때 야기되는 충격을 감쇠시킬 수 있는 실린더장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 수직공간의 효율적인 이용을 가능하게 하는 낮은 윤곽 또는 줄어든 높이나 세로크기를 가지는 실린더장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 목적, 특징 및 장점은 본 발명의 바람직한 실시예가 예시된 첨부된 도면을 참조하여 취해지는 다음의 설명으로 보다 명백해진다.
도 1은 본 발명의 제 1실시예에 따른 실린더장치의 사시도,
도 2는 탑플레이트가 상승된 상태의 도 1에 도시된 실린더장치의 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 실린더장치의 저면도,
도 4는 도 3의 선 IV-IV의 종단면도,
도 5는 탑 플레이트가 상승된 상태의 도 4에 도시된 실린더장치의 종단면도,
도 6은 제 1및 제 2 반송라인의 접합점에 배치되는 도 1에 도시된 실린더장치를 결합시킨 공작물 반송시스템의 평면도,
도 7은 도 6에 도시된 공작물 반송시스템내에 결합되는 실린더장치의 정면도,
도 8은 본 발명의 제 2실시예에 따른 실린더장치의 사시도,
도 9는 도 8의 선 IX-IX의 종단면도,
도 10은 탑 플레이트가 상승된 상태의, 도 9에 도시된 실린더장치의 종단면도.
도 1에 도시된 바와같이, 본 발명의 제 1실시예에 따른 실린더장치(10)는 대략 정사각형인 베이스 플레이트(12), 4개의 나사(14)(도 3참조)에 의하여 베이스 플레이트(12)의 단이 새겨진 표면에 고정되며 수직운동하는 실린더를 수용하도록 형성되는 원형단면의 관통구멍(16)(도 4 및 도 5 참조)을 가지는 케이싱(20), 그리고 실린더(18)의 상단부에 고정되며 베이스 플레이트(12)의 형상과 대략 동일한 형상을 가지는 탑 플레이트(22)로 구성된다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와같이, 한쌍의 링형상 제 1개스킷(24a,24b)은 실린더(18)와 탑 플레이트(22)의 결합표면 사이에 배치된다. 링형상 제 2개스킷(26)은 케이싱(20)과 베이스 플레이트(12)의 결합표면 사이에 배치된다. 링형상 제 3 개스킷(28)은 케이싱(20)과 실린더(18)의 미그럼 표면사이에 배치되며, 링형상 제 3개스킷(28)은 케이싱(20)내에 형성되는 환형홈내에 수용된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와같이, 4개의 나사홈 부착구멍(30a∼30d)은 베이스 플레이트(12)의 4개의 모퉁이에 각각 형성되며, 4개의 나사홈 부착구멍(3a∼3d)은 탑 플레이트(22)의 4개의 모퉁이에 각각 형성된다. 실린더장치(10)는 베이스 플레이트(12)내의 나사홈 부착구멍(30a∼30d)에 나사를 결합시켜 또 다른 장치에 고정될 수 있으며, 유사하게 탑 플레이트(22)내의 나사홈 부착구멍(32a∼32d)에 나사를 결합시켜 또 다른 장치에 고정시킬 수 있다. 케이싱(20)은 각각의 부착구멍(30a∼30d)근처에 4개의 모퉁이(34)를 가지며, 이 모퉁이(34)에는 부착구멍(30a∼30d)을 노출시키도록 오목한 표면이 만들어진다.
케이싱(20)은 또한 각각 3개의 외측표면에 형성되고 각각 변형된 T자형상 단면을 가지는 3쌍의 대략 평행인, 부착홈(36a,36b,36c)을 가진다(도 3참조). 부착홈(36a,36b,36c)은 화살표(X)에 의하여 지시되는 방향(도 1참조), 즉 베이스 및 탑 플레이트(12,22)에 수직인 방향으로 연장된다. 케이싱(20)은 또한 화살표(X)에 의하여 지시되는 방향으로 연장되며 각각 3개의 외측표면내에 형성되는 3쌍의 대략 평행한 센서부착홈(38a,38b,38c)을 가진다. 한쌍의 센서부착홈(38a)은 부착홈(36a)사이의 중간에, 한쌍의 센서부착홈(38b)은 부착홈(36b) 사이의 중간에, 한쌍의 센서부착홈(38c)은 부착홈(36c)사이의 중간에 위치결정된다.
실린더장치(10)는 각각의 부착홈(36a,36b,36c)내에 끼워맞춰지는 머리가 있는 리테이너(도시되지 않음)에 의하여 수평으로 지지될 수 있으며, 머리가 있는 리테이너는 부착홈(36a,36b,36c)에 대응되는 형상이다. 부착홈(36a,36b,36c)이 화살표(X)에 의하여 지시되는 방향으로 연장되기 때문에, 머리가 있는 리테이너는 부착홈(36a,36b,36c)을 따라서 수직위치를 조정할 수 있다.
케이싱(20)은 부착홈(36a∼36c,38a∼38c)이 형성되는 3개의 외측표면과는 다른 나머지 외측표면내에 형성되는 한쌍의 입/출구 포트(40a,40b)를 가진다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와같이, 유체 입/출구포트(40a)는 베이스 플레이트(12)내에 형성되는 제 1유체통로(42) 및 제 1유체통로(42)로부터 분기되는 제 2유체통로(44)를 통하여 제 1및 제 3실린더 챔버(46a,46c)(추후설명됨)와 연통된다.
다른 하나의 유체 입/출구 포트(40b)는 베이스플레이트(12)내에 형성되는 제 3유체통로(47) 및 제 3유체통로(47)로부터 분기되는 제 4유체통로(48)를 통하여 제 2실린더챔버(46b)(추후설명됨)와 연통된다. 합성수지등으로 만들어진 원통형 부시(가이드부재)는 케이싱(20)내에 형성되는 원형단면의 관통구멍(16)의 내벽표면내에 동축방향으로 끼워맞춤된다.
제 1 및 제 2유체통로(42,44)는 제 1연통통로로써, 제 3 및 제 4 유체통로(47,48)는 제 2연통통로로서 작용된다.
피스톤(54)은 나사(52a,52b)에 의하여 베이스 플레이트(12)상에 대략 중심적으로, 즉 케이싱(20)내에서 중심적으로 고정장착된다. 피스톤(54)은 실린더(18)내에 형성되는 확경구멍내에 배치되며 화살표(X)로 지시되는 방향에서 축선상으로 연장된다. 피스톤(54)은 확경단부의 외부에지내에 형성되는 환형홈내에 수용되는 밀봉링(56)이 장착되는 확경단부를 가진다. 대략 원통형상인 실린더(18)는 부시(50)에 의하여 가이드되는 미끄럼이동을 위한 관통구멍(16)내에 미끄럼가능하게 배치된다. 실린더(18)내에 형성되는 확경구멍은 밀봉링(56)과 피스톤(54)의 확경단부에 의하여 제 1실린더챔버(46a) 및 제 2실린더챔버(46b)로 분리된다.
제 1실린더챔버(46a)는 베이스 플레이트(12)내에 형성되는 제 1유체통로(42) 및 피스톤(54)내에 축방향으로 형성되는 제 2유체통로(44)를 통하여 유체 입/출구포트(40a)와 연통된다. 제 2 실린더챔버(46b)는 베이스 플레이트(12)내에 형성되는 제 3유체통로(47) 및 피스톤(54)내에 축방향으로 형성되는 제 4유체통로(48)를 통하여 유체 입/출구포트(40b)와 연통된다.
로드커버(58)는 실린더(18)와 일치하여 변위되는 피스톤(54)에 대하여 실린더(18)의 저부단부에 스테이킹됨으로써 고정된다. O링(60)은 피스톤(54)과 미끄럼 접촉되어 유지되는 로드커버(58)의 내주표면내에 형성되는 환형홈내에 끼워맞춤된다. 제 3실린더챔버(46c)는 로드커버(58)아래에 형성되며 실린더(18), 로드커버(58), 피스톤(54) 및 베이스 플레이트(12)에 의하여 둘러싸여진다. 제 3실린더챔버(46c)는 베이스 플레이트(12)내에 형성되는 제 1유체통로(42)로부터 분기되는 연통통로(62)를 통하여 유체 입/출구포트(40a)와 연통유지된다. 제 1실린더챔버(46a)는 탑플레이트(22)와 피스톤(54)의 피스톤헤드 단부와의 사이에 형성되는 챔버로써 작용되며 제 2실린더챔버(46b) 및 제 3실린더챔버(46c)는 베이스 플레이트(12)와 피스톤(54)의 피스톤 로드 단부와의 사이에 형성되는 챔버로써 작용된다.
유체 입/출구포트(40a)는 제 1유체통로(42), 제 2유체통로(44) 및 연통통로(62)를 통하여 제 1실린더 챔버(46a) 및 제 3실린더 챔버(46c)와 연통되며, 다른 하나의 유체 입/출구포트(40b)는 제 3유체통로(47) 및 제 4유체통로(48)를 통하여 제 2실린더 챔버(46b)와 연통된다. 제 1, 제 2 및 제 3개스킷(24a,24b,26,28), 밀봉링(56) 및 O링(60)은 제 1, 제 2 및 제 3실린더 챔버(46a,46b,46c)를 밀폐 밀봉하기 위한 밀봉수단으로써 작용된다.
도 4에 도시된 바와같이, 실린더(18)는 그 높이(H)보다 큰 폭(W)을 가진다. 실린더(18)는 도 5에 도시된 바와같이 제 1실린더 챔버(46a) 및 제 3실린더 챔버(46c)내로 도입되는 압력하에서 유체에 의하여 화살표(X1)로 지시되는 방향으로 상승되며, 도 4에 도시되는 바와 같이 제 2실린더 챔버(46b)내로 도입되는 압력하에서 유체에 의하여 화살표(X2)로 지시되는 방향으로 하강된다.
2개의 축방향으로 떨어져 있는 링 형상 댐퍼(64a,64b)는 각각 확경단부 및 베이스 플레이트(12)에서 피스톤(54)상에 장착된다. 피스톤(54)이 상승 및 하강될 때, 로드커버(58)는 충격을 감쇠시키도록 댐퍼(64a,64b)에 대항하여 인접되며 피스톤(54)의 행정변위의 끝에서 소음을 감소시킨다. 로드커버(58)는 피스톤(54)의 확경단부를 맞물림할때 실린더(18)의 상부이동의 행정끝에서 멈춰지도록 작용된다.
도 3에 도시된 바와같이, 피스톤(54), 로드커버(58) 및 실린더(18)는 대략 정사각형인 베이스 플레이트(12)의 대각선이 서로 교차되는 지점(0)주위에서 서로 같은 축을 가진다.
자석(66)(도 3 내지 도 5참조)은 케이싱(20)내에 형성되는 센서부착홈(38a,38b,38c)근처에서 실린더(18)의 외주표면에 근접하여 또는 외주표면상에 지지된다. 소정위치에서 센서부착홈(38a,38b,38c)내에 유지되는 센서(66)(도 1 내지 도 3참조)는 케이싱(20)에 대한 실린더(18)의 수직위치를 검출하기 위한 자석(66)과 함께 자기적으로 작동된다. 실린더(18)는 지점(0)으로부터 소정거리 이격되고 내부에 형성되는 수직가이드 구멍(70)을 가지며(도 3 및 도 4참조), 베이스 플레이트(12)에 고정되는 가이드 로드(회전방지수단)는 가이드 구멍(70)내에 미끄럼 가능하게 삽입된다. 가이드 로드(72)는 실린더(18)가 케이싱(20)에 대하여 회전되는 것을 막고 또한 케이싱(20)에 대하여 이동되는 실린더(18)를 가이드하도록 작용된다. 가이드 구멍(70)과 가이드로드(72)는 실린더(18)의 외부표면과 케이싱(20)의 내부표면이 원통형상이 아니라 각주 형상이라면 불필요하게 될 수 있다.
제 1 실시예에 따른 실린더장치(10)의 작동과 장점이 이하 설명된다. 도 6에 도시된 바와같이, 실린더 장치(10)를 결합시키는 공작물 반송시스템은 구동원(도시되지 않음)에 의하여 그 자신의 축선주위에서 회전될 수 있는 복수의 평행한 반송롤러(74a∼74f)를 포함하는 제 1반송라인(76)과, 제 1반송라인(76)에 대략 수직인 방향으로 공작물을 반송시키는 구동원(도시되지 않음)에 의하여 그 자신의 축선주위에서 회전가능하며 반송롤러(74a∼74f)에 대략 수직으로 연장되는 복수의 평행한 반송롤러(78a∼78c)를 포함하는 제 2반송라인(80)을 가진다.
실린더장치(10)는 부착구멍(30a∼30d)내에서 나사결합되는 나사에 의하여 제 1반송라인(76)아래에서 베이스(82)(도 7참조)상에 고정장착된다. 실린더장치(10)의 탑 플레이트(22)는 가이드 롤러(84a,84b)주위에 현가되는 한쌍의 대략 평행한 반송벨트(86a,86b)를 포함하는 공작물 반송기(88)를 지지한다. 반송벨트(86a,86b)는 가이드롤러(84a,84b)에 작동가능하게 결합되는 구동원(도시되지 않음)에 의하여 화살표(도 7)로 지시되는 방향으로 순환상으로 이동될 수 있다. 반송벨트(86a,86b)는 반송롤러(74a∼74f)에 대략 평행하게 연장되며, 반송롤러(74b,74c)사이 및 반송롤러(74d,74e)사이에 위치결정된다. 유체 입/출구포트(40a,40b)는 튜브등을 통하여 유체압공급원(도시되지 않음)에 연결된다.
상기 예비과정후에, 공작물(W)은 반송벨트(86a,86b)상의 소정위치에 도달될 때 화살표(A)(도 6)로 지시되는 방향으로 반송되며 검출기(도시되지 않음)에 의하여 검출된다. 검출기로부터의 출력신호에 응하여, 방향제어밸브(도시되지않음)는 유체압공급원으로부터 압력유체, 예컨대 압축공기를 유체 입/출구포트(40a)로 공급시키도록 작동된다. 동시에, 다른 하나의 유체 입/출구포트(40b)는 방향제어밸브에 의하여 대기로 배출되게 된다.
유체 입/출구포트(40a)로 공급되는 압력유체는 제 1및 제 2유체통로(42,44)를 통하여 제 1실린더 챔버(46a)내로 유동되며, 화살표(X1)로 지시되는 방향으로 탑 플레이트(22)를 이동시키는 압력강화를 전개시킨다. 유체 입/출구포트(40a)로 공급되는 압력유체는 제 1실린더 챔버(46a)내로 도입되는 동시에 연통통로(62)를 통하여 제 3실린더 챔버(46c)내로 또한 도입된다. 그러므로, 실린더(18)는 제 3실린더챔버(46c)내에서 전개되는 압력강화하에서 화살표(X1)로 지시되는 방향으로 또한 이동된다.
유체 입/출구포트(40a)로 공급되는 압력유체가 제 1실린더 챔버(46a)내로 도입되는 동시에 연통통로(62)를 통하여 제 3실린더챔버(46c)내로 또한 도입되기 때문에 제 1실린더챔버(46a)내의 수압면적 및 제 3 실린더 내의 수압면적은 실린더장치(10)내로 도입되는 유체의 압력을 함께 지탱한다. 결과적으로, 실린더장치(10)는 탑 플레이트(22)를 상승시키는 증가된 출력을 야기시킬 수 있다.
도 5에 도시된 바와같이 로드커버(58)가 피스톤(54)의 확경단부와 맞물림되어 탑 플레이트(22)가 행정변위의 끝에 도달될 때 까지, 탑 플레이트(22)는 가이드로드(72)에 의하여 가이드 되면서 화살표(X1)로 지시되는 방향으로 실린더(18)와 함께 상승된다. 이때에, 로드커버(58)가 댐퍼(64a)에 대하여 인접되므로, 충격은 감쇠되며 큰 노이즈는 발생되지 않는다.
반송기(88)는 화살표(X1)로 지시되는 방향으로 탑 플레이트(22)와 일체로 또한 상승된다. 도 7에 2점 쇄선으로 도시된 바와같이, 반송벨트(86a,86b)는 반송롤러(74b,74c)사이 및 반송롤러(74d,74e)사이에서 위쪽으로 돌출된다. 공작물(W)은 반송롤러(74a∼74f)로부터 소정거리 상승되어 반송벨트(86a,86b)에 의하여 지지된다. 반송벨트(86a,86b)는 그후 공작물(W)을 제 1반송라인(76)에 수직인 제 2반송라인(80)상으로 이승시키며, 그후에 공작물(W)은 제 2반송라인(80)에 의하여 소정 위치로 반송된다.
공작물(W)이 제 2반송라인(80)상으로 이송된 후에, 방향제어밸브는 압력유체를 다른 하나의 유체 입/출구포트(40b)로 공급시키도록 작용되며, 압력유체는 다른 하나의 유체 입/출구포트(40b)로부터 제 3 및 제 4 유체통로(47)를 통하여 제 2실린더챔버(46b)내로 도입된다. 탑 플레이트(22)는 도 4에 도시된 초기위치로 돌아갈때까지 화살표(X2)로 지시되는 방향으로 실린더(18)와 일체로 하강된다. 이때에, 유체 입/출구포트(40a)는 방향제어밸브에 의하여 대기로 배출되게 된다.
제 1실시예에 따라서, 상기된 바와같이, 유체 입/출구포트(40a)로 공급되는 압력유체는 제 1실린더챔버(46a)내로 도입되는 동시에 연통통로(62)를 통하여 제 3실린더 챔버(46c)내로 도입되어서, 제 1실린더 챔버(46a)내의 수압면적 및 제 3실린더 챔버(46c)내의 수압면적이 실린더 장치(10)내로 도입되는 유체의 압력을 함께 지탱하게 된다. 결과적으로 실린더 장치(10)는 탑 플레이트(22)를 상승시키기 위하여 증가된 출력을 야기시킬 수 있으며 무거운 공작물(W)을 상승시킬 수 있다. 실린더 장치(10)가 증가된 출력을 야기시킬 수 있기 때문에, 증가된 범위의 공작물(W)을 취급하기 위하여 증가된 성능 및 증가된 공작물 상승용량을 나타낸다.
나아가서, 실린더(18)의 높이(H)가 폭(W)에 비하여 작으므로, 실린더장치(10)는 수직공간의 효율적인 사용을 위한 상대적으로 낮은 윤곽 또는 작은 수직크기를 가진다. 실린더 장치(10)는 따라서 제한된 수직공간내에서 큰 자유도를 가지고 사용될 수 있다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 제 2실시예에 따른 실린더장치(90)를 도시한다. 도 1 내지 도 7에 도시된 부분과 동일한 도 8 내지 도 10에 도시된 부분은 동일한 부재번호를 가지며, 이하 상세히 설명되지 않는다.
도 8에 도시된 바와같이, 실린더 장치(90)는 피스톤(54)이 위치되는 실린더 장치(10)와는 달라서 그 중앙축선이 지점(0)으로부터 편심되어 위치되며, 가이드 로드는 실린더(92)가 케이싱(20)에 대하여 회전되지 않도록 이용되지 않는다. 실린더 장치(90)의 나머지 상세구조는 실린더장치(10)와 동일하다.
제 1 및 제 2 실시예에 있어서, 실린더(18,92)는 베이스 플레이트(12)상에 고정장착되는 피스톤(54)에 대하여 수직방향으로 변위된다. 그렇지만, 베이스 플레이트(12)는 그 평면이 베이스 플레이트(12)상에 고정장착되는 피스톤(54)에 대하여 변위되도록 수직방향으로 연장되도록 방향이 맞춰질 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 상세하게 도시되고 설명되었지만, 다양한 변경과 수정이 첨부된 청구항의 범위로부터 벗어남 없이도 가능하다는 것이 이해된다.

Claims (18)

  1. 베이스 플레이트(12);
    상기 베이스 플레이트 상에 고정장착되며 내부에 형성된 한쌍의 유체 입/출구 포트(40a,40b) 및 관통구멍(16)을 가지는 케이싱(20);
    상기 베이스 플레이트(12)에 고정되는 피스톤(54);
    상기 관통구멍(16)내에 왕복운동가능하게 배치되며, 상기 피스톤(54)의 피스톤 로드 단부 및 피스톤 헤드에서 복수의 챔버(46a∼46c)를 형성하는 실린더(18,92); 및
    실린더(18,92)와 일체적으로 변위되기 위하여 상기 실린더(18,92)에 고정되는 탑 플레이트(22)를 포함하고 있으며,
    압력유체가 상기 유체 입/출구 포트(40a,40b)를 통하여 상기 챔버(46a∼46c)내로 거의 동시에 공급될 때, 유체압 강화가 상기 피스톤(54)에 대하여 상기 실린더(18,92) 및 상기 탑 플레이트(22)를 변위시키기 위하여 상기 챔버(46a∼46c)내에서 전개되는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버(46a∼46c)를 밀폐 밀봉시키기 위한 밀봉수단(24a,24b,26,28,56,60)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버(46a∼46c)는 상기 탑 플레이트(22), 상기 실린더(18,92) 및 피스톤 헤드 단부에서 상기 피스톤(54)의 확경부에 의하여 둘러싸인 공간과, 상기 실린더(18,92)에 연결되는 로드 커버(58), 상기 실린더(18,92) 및 상기 피스톤(54)에 의하여 둘러싸인 공간과, 상기 로드 커버(58), 상기 실린더(18,92), 및 상기 베이스 플레이트(12)에 의하여 둘러싸인 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)의 왕복운동을 가이드하기 위하여 상기 실린더(18,92)의 외주표면과 미끄럼 접촉상태로 유지되는 가이드부재(50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)는 상기 피스톤(54)의 축선방향에서 왕복운동될 때 상기 실린더(18,92)가 회전되지 않도록 방지하는 회전방지수단을 가지는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 회전방지수단은 상기 베이스 플레이트(12)에 고정되는 가이드 로드(72) 및 상기 실린더(18)내에 형성되는 구멍(70)을 포함하며, 상기 가이드로드(72)는 상기 구멍(70)내에 미끄럼가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 회전방지수단은 상기 실린더(92)에 대하여 편심적으로 상기 베이스 플레이트(12)에 고정되는 피스톤(54)을 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)에 연결되는 로드커버(58), 단부에서 상기 로드커버(58)와 맞물리는 상기 피스톤(54)상에 장착되는 댐퍼(64a), 및 상기 베이스 플레이트(12)에서 상기 로드커버(58)와 맞물리는 상기 피스톤(54)상에 장착되는 댐퍼(64b)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)의 외주표면에 근접하여 또는 외주표면상에 장착되는 복수의 자석(66), 그 외주표면내에 형성되는 복수의 센서부착홈(38a∼38c)을 가지는 상기 케이싱(20), 그리고 상기 센서(68)에 의하여 야기되는 신호에 기초하는 상기 실린더(18,92)의 위치를 검출하기 위해서 상기 실린더(18,92)와 일체로 이동가능한 상기 자석(66)을 자기적으로 검출하기 위하여 상기 센서부착홈(38a∼38c)내에 각각 장착되는 복수의 센서(68)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  10. 베이스 플레이트(12);
    상기 베이스 플레이트 상에 고정장착되며 내부에 형성된 한쌍의 유체 입/출구 포트(40a,40b) 및 관통구멍(16)을 가지는 케이싱(20);
    상기 베이스 플레이트(12)에 고정되는 피스톤(54);
    상기 관통구멍(16)내에 왕복운동가능하게 배치되며, 상기 피스톤(54)의 피스톤 로드 단부 및 피스톤 헤드에서 제 1, 제 2, 및 제 3챔버(46a∼46c)를 형성하는 실린더(18,92);
    실린더(18,92)와 일체적으로 변위되기 위하여 상기 실린더(18,92)에 고정되는 탑 플레이트(22);
    상기 유체 입/출구 포트(40a)와 상기 제 1실린더챔버(46a) 및 상기 제 3실린더 챔버(46c)와의 사이에서 연통을 제공하는 제 1연통통로(42,44); 및
    상기 유체 입/출구포트(40b)와 상기 제 2실린더 챔버(46b)사이에서 연통을 제공하는 제 2연통통로(47,48)를 포함하고 있으며,
    압력유체가 상기 제 1연통통로(42,44)를 통하여 상기 제 1실린더챔버(46a) 및 상기 제 3실린더 챔버(46c)내로 거의 동시에 도입될 때, 또는 상기 제 2연통통로(47,48)를 통하여 상기 제 2실린더챔버(46b)내로 도입될 때, 유체압 강화가 상기 제 1실린더챔버(46a) 및 상기 제 3실린더챔버(46b)내에서 또는 상기 피스톤(54)에 대하여 상기 실린더(18,92) 및 상기 탑 플레이트(22)를 변위시키기 위해서 상기 제 2실린더 챔버(46b)내에서 전개되는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2, 및 제 3챔버(46a∼46c)를 밀폐 밀봉시키기 위한 밀봉수단(24a,24b,26,28,56,60)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1챔버(46a)는 상기 탑 플레이트(22), 상기 실린더(18,92) 및 피스톤 헤드 단부에서 상기 피스톤(54)의 확경부에 의하여 둘러싸인 공간을 포함하며, 상기 제 2챔버(46b)는 상기 실린더(18,92)에 연결되는 로드 커버(58), 상기 실린더(18,92) 및 상기 피스톤(54)에 의하여 둘러싸인 공간을 포함하며, 상기 제 3챔버(46c)는 상기 로드 커버(58), 상기 실린더(18,92) 및 상기 베이스 플레이트(12)에 의하여 둘러싸인 공간을 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)의 왕복운동을 가이드하기 위하여 상기 실린더(18,92)의 외주표면과 미끄럼 접촉상태로 유지되는 가이드부재(50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  14. 제 10 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)는 상기 피스톤(54)의 축선방향에서 욍복운동될 때 상기 실린더(18,92)가 회전되지 않도록 방지하는 회전방지수단을 가지는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 회전방지수단은 상기 베이스 플레이트(12)에 고정되는 가이드 로드(72) 및 상기 실린더(18)내에 형성되는 구멍(70)을 포함하며, 상기 가이드로드(72)는 상기 구멍(70)내에 미끄럼가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 회전방지수단은 상기 실린더(92)에 대하여 편심적으로 상기 베이스 플레이트(12)에 고정되는 피스톤(54)을 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  17. 제 10 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)에 연결되는 로드커버(58), 단부에서 상기 로드커버(58)와 맞물리는 상기 피스톤(54)상에 장착되는 댐퍼(64a), 및 상기 베이스 플레이트(12)에서 상기 로드커버(58)와 맞물리는 상기 피스톤(54)상에 장착되는 댐퍼(64b)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
  18. 제 10 항에 있어서, 상기 실린더(18,92)의 외주표면에 근접하여 또는 외주표면상에 장착되는 복수의 자석(66), 그 외주표면내에 형성되는 복수의 센서부착홈(38a∼38c)을 가지는 상기 케이싱(20), 그리고 상기 센서(68)에 의하여 야기되는 신호에 기초하는 상기 실린더(18,92)의 위치를 검출하기 위해서 상기 실린더(18,92)와 일체로 이동가능한 상기 자석(66)을 자기적으로 검출하기 위하여 상기 센서부착홈(38a∼38c)내에 각각 장착되는 복수의 센서(68)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실린더장치.
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