KR19980032542A

KR19980032542A - 진공 챔버속에 들어 있는 물을 검출하는 방법 및 장치

Info

Publication number: KR19980032542A
Application number: KR1019970051063A
Authority: KR
Inventors: 위트마셔; 율로지오세바스티안
Original assignee: 파머앤드류; 죤슨앤드죤슨메디칼,인코포레이티드
Priority date: 1996-10-04
Filing date: 1997-10-04
Publication date: 1998-07-25
Also published as: CA2217648C; DE69723521T2; JPH10216205A; EP0834324A3; TW482687B; DE69723521D1; KR100506687B1; PT834324E; EP0834324B1; ATE245037T1; ES2202557T3; CA2217648A1; DK0834324T3; EP0834324A2; US5961922A; JP4062456B2; SI0834324T1

Abstract

챔버의 진공 배기 도중에, 챔버 내의 물의 존재는 챔버에서 압력 수준을 감지함으로써 검출될 수 있다. 물의 부재시, 압력은 연속적이고 원활하게 감소한다. 물이 존재하는 경우, 압력은, 특히 압력이 5torr 미만으로 하강할 때, 1회 이상 조금씩 상승한다. 압력의 이러한 상승은 검출되어 챔버 내의 물의 불필요한 존재를 알릴 수 있다. 본 방법은 증기 또는 증기/플라스마 멸균시 사용되는 챔버의 배기 중에 물이 없다는 것을 보증하는 특수한 용도를 갖는다.

Description

진공 챔버 속에 들어 있는 물을 검출하는 방법 및 장치

본 발명은 진공이 적용되고 있는 챔버 속의 물을 검출하는 것에 관한 것이다. 이는 특히 화학적 증기 살균 기술에서 유용하다.

다수의 경우에 진공이 적용되고 있는 동안 진공 챔버 속에 물이 들어 있는 것은 바람직하지 않다. 이 문제는 챔버가 대기압 미만으로 강하되는 화학 증기 살균 기술에서 특히 중요하다.

통상적인 화학 증기 살균 주기는 살균될 기구를 세정하고 건조시킨 다음 챔버 속으로 넣는 것으로 시작된다. 챔버를 가열하면 챔버 속의 대기는 배기된다. 강한 진공에 이른 후, 증기상 살균제를 증기 또는 진공 속에서 신속하게 기화하는 미스트로서 직접 챔버 속으로 도입한다. 증기는 기구를 세척하여 증기와 접촉하는 기구의 표면에 있는 박테리아, 바이러스 및 포자를 죽인다. 과산화수소, 에틸렌 옥사이드 및 이산화염소 등이 살균제로서 적합하다. 특히 유리한 시스템은 기체 플라즈마와 관련하여 과산화수소를 사용한다. 본원에서 참조로 전부 인용하고 있는 다음 미국 특허는 이러한 방법을 보다 상세하게 기재하고 있다: 미국 특허 제4,643,876호는 1987년 2월 17일에 자콥스(Jacobs) 등에게 허여되었고, 제4,756,882호는 1987년 1월 27일에 자콥스 등에게 허여되었다.

과산화수소 증기가 살균을 수행하는 기구의 금, 틈 및 특히 긴 루멘 등으로 침투하는지를 확인하기 위해서 과산화수소를 챔버 속으로 방출하기 전에 챔버 속의 공기와 수증기를 배기한다. 챔버를 비운 후, 화학 증기를 챔버로 도입한다. 챔버에 가한 증기는 압력을 약간 상승시키고 화학 증기는 확산되어 챔버 전체 압력을 평형화시킴으로써 루멘 등으로 들어 간다.

챔버 속의 물은 몇가지 메카니즘을 통해 챔버, 조밀한 공간 및 기구의 전체 접촉면으로 화학 증기가 완전히 침투하는 것을 억제한다. 챔버 속의 수증기는 화학 증기를 희석시킨다. 또한, 물분자가 화학 증기보다 확산성이 큰 경우, 이들은 보다 효과적으로 조밀한 공간에 도달함으로써 그 속의 화학 증기의 농도를 감소시킨다. 따라서, 시스템 속의 물은 총 살균 효율을 저하시킬 수 있다. 초기에 증기로서 시스템 속에 존재하는 물은 시스템이 진공의 적용을 받는 경우, 제거될 것이다. 그러나, 초기에 액체로서 존재하는 물은 진공의 적용 동안 또는 그 이후에 기화되어 시스템 속에 존재하는 수증기를 형성시킬 수 있다. 물은 기화하여 이들 시스템으로부터 제거되어야 한다.

초기에 시스템에 존재하는 액체 물은 진공이 해제됨에 따라 동결에 의한 추가 문제를 일으킬 수 있다. 챔버의 진공이 해제됨으로써 그 속의 액체 물이 챔버의 전체 압력이 액체 중의 증기압으로 감소된다. 액체의 증기 상태로의 변화에는 열이 필요하므로 물은 열을 발생하여 증발되고 냉각된다. 물이 충분히 냉각되면 동결된다. 생성된 얼음 입자는 장치와 화학적 증기의 접촉을 국소적으로 방해하거나 보다 심한 경우 좁은 통로가 차단된다. 과산화수소 및 과산화수소/기체 플라즈마를 포함하는 거의 모든 살균법에서, 조작자는 방법에 따라 액체의 존재를 점검하고 임의의 액체가 검출되는 경우, 부하물을 건조시키고 방법을 반복한다. 따라서, 실제로 살균법을 수행하기 전에 살균시킬 부하물 중의 액체의 몇가지 검출 방법이 오랫 동안 요구되어 왔다.

도 1은 블록 다이아그램 형태에서, 본 발명에 따른 포획된 물을 탐지하도록 개조된 살균 시스템을 도시한다.

도 2는 본 발명에 따른 포획된 물을 검출하는 방법의 바람직한 양태의 플로우 다이아그램이다.

도 3은 챔버 내에 포획된 물의 부재하에, 도 1의 시스템의 가압 챔버 내의 압력 대 시간의 그래프이다.

도 4는 4개의 위치에서 시스템 내에 포획된 물의 존재하에, 도 1의 시스템의 가압 챔버 내의 압력 대 시간의 그래프이다.

도 5는 1개의 위치에서 챔버 내에 포획된 물의 부재하에, 도 1의 시스템의 가압 챔버 내의 압력 대 시간의 그래프이다.

본 발명은 진공 해제 동안 액체 물의 존재의 검출에 의해 이러한 문제 및 기타 문제를 극복한다. 본 발명자들은 압력을 당해 공정 동안 면밀히 모니터링하면, 압력이 일시적으로 약간 상승하는 것은 부하물 중에 액체 물이 존재함을 나타내는 것임을 밝혀냈다. 이러한 일시적 압력 증가시 경보 발생, 순환 종료, 조작자에의 통보 또는 물을 부하물로부터 제거하는 경향이 있는 순환의 자동 개시와 같은 보정을 취한다.

바람직하게는, 이러한 방법은 제어된 마이크로프로세서의 보조 또는 이외의 자동화 제어 시스템으로 자동화되어 있다. 물의 잘못된 지시를 감소하기 위해, 기압의 작동 평균을 바람직하게는 시험한다. 50 밀리토르의 압력 편차는 시스템 내의 부적합한 양의 물이 존재한다는 것을 표시한다. 이는 예정된 간격으로 압력을 샘플링하고 각각의 일시 압력 피크에 대한 압력 증가의 피크 볼륨을 계산함으로써 검출할 수 있다. 축적된 압력이 특정 피크에서 50 밀리토르에 이르도록 증가할 경우, 이는 살균에 영향을 미치기에 충분한 물방울이 시스템 내에 과량으로 존재한다는 것을 나타낸다. 압력 피크가 과량의 물의 조치를 유도하는 레벨은 개개의 환경에 맞출 수 있으며, 낮은 레벨은 허위 판독할 기화가 보다 많지만 감도는 증강시킨다. 일반적으로, 챔버 내의 압력이, 물방울이 물에 대한 동결점(삼중점) 가까이에 갈 정도인 5 토르 이하로 하강한 후에 압력 증가의 모니터링을 개시하여야 한다.

압력 증가는 특정량의 물 및 검출될 수 있는 작은 물방울이라도 동결점에 도달할 경우 발생한다고 간주되어 왔다. 융합열(액체로부터 고체 상태로의 변형에 의해 방출되는 에너지)(90cal/g)은 일정량의 물을 기화시키는데 사용됨으로써 기압 증가로서 검출될 수 있는 액체 입자로부터 수증기의 신속한 방출을 개시한다. 입자의 잔류물은 동결된다. 물의 존재를 예측하는 방법의 유효성은 실시예에 기술된 바와 같은 시험을 통해 입증되었다.

다시 도면 및 도 1로 돌아와서, 특히 살균 시스템 (10)은 일반적으로 블록 타이아그램 포맷으로 설명된다. 이는 본원에서 살균되는 기구의 하중 (14)을 갖는 살균 챔버 (12)에 포함된다. 챔버 (12)는 알루미늄(6063 및 5052)와 같은 몇몇 임의 등급이 적합하다) 스테인레스 강 또는 유리로 형성된다. 정상적으로는 3torr 만큼 적은 진공에서 작동하고 중요하게는 과산화수소와 화학적으로 상호작용하지 않거나 흡수되지 않는다. 진공 펌프 (16)은 챔버 (12)로부터 증기상 물과 같은 공기 및 다른 가스를 제거하는 목적하는 작동 압력에 달할 수 있다. 압력 모니터 (18)은 시스템에서 압력을, 바람직하게는 ±2.5밀리토르 내로 모니터링한다. 특히 적합한 압력 모니터는 MKS Instruments 또는 Varian Instruments로부터 시판되는 용량 나노미터이다. 가열 소자 (20)은 챔버 (17)을 가열한다. 바람직하게는 개별적인 소자는 챔버 (12)를 균일하게 가열하기에 충분한 위치에서 챔버 (12)의 외부에 결합된다. 임의의 전력 공급원 (24) 및 안테나 (22)가 제공되어 살균 공정 동안 챔버 (12) 내의 플라스카를 들뜨게 할 수 있다.

조절 시스템 (26)은 시스템 (10) 및 이의 다양한 성분의 작동을 조절한다. 조절 시스템 (26)은 현재 공지된 시스템 또는 본 출원 기간 동안 개발된 시스템을 포함할 수 있고, 이는 당해 기술분야의 숙련가에 의해 시스템 (10)을 조절하기에 적합한 것으로 인식된다. 바람직하게는, 조절 시스템 (26)은 하나 이상의 마이크로프로세스를 사용한다. 어쨌든, 챔버 (12)의 압력 및 레지스터 (30)을 증가시키는 압력을 모니터링하고 펌프 (24)가 챔버 (12) 내의 압력을 감소시키려고 시도하는 동안 챔버 (12)에서 압력이 증가됨을 모니터링하는 압력 레지스터 (28) 등을 함유한다.

작동중에, 하중 (14)는 이상 물질로 세정되고, 건조시켜 챔버 (12)에 둔다. 통상적으로, 살균 증기를 통과시키지만 미생물이 통과하는 것을 억제함으로써 살균을 완결한 후 하중 (14)의 살균성을 보존하게 하는 필터가 장착된 용기로 쌓이거나 필터 물질(도 1에 도시되지 않음)로 쌓인다. 공정 동안, 챔버는 42° 내지 50℃로 가열된다. 쳄버 (12)가 밀봉된 후, 조절 시스템 (26)이 펌핑 시스템 (16)에 신호를 보내어 쳄버 (12)를 비운다. 비우는 공정 동안, 압력 모니터 (18)로 쳄버 (12)내의 압력을 계속 모니터한다. 비우는 동안 압력 증가가 통상 건조 로드(14), 바람직하게는 5torr 이하로 예상되지 않는 경우, 조절 시스템 (26)은 쳄버 (12), 특히 로드 (14)내에 함유된 물을 검출하기 위한 본 발명에 따르는 방법를 사용한다. 5torr는 또한 물의 3중점 압력, 4.59torr 이상이다.

조절 시스템 (26)은 일정한 간격, 예를 들면, 매 100만/1초 간격으로 압력 모니터 (18)를 관찰하고 레지스터 (28)로 값을 적용하여 쳄버 (12)내의 실시 평균 압력을 모니터한다. 실시 평균은 2회 또는 3회 압력 측정결과의 평균이지만, 바람직하게는 5회 이상의 압력 측정결과의 평균이다. 보다 바람직하게는, 실시 평균은 앞서 5회 압력 측정결과의 평균일 수 있는데, 5회 측정의 최고치와 최저치는 무시한다.

레지스터 (28)내의 실시 평균 압력의 새로운 값이 앞선 값을 초과하는 경우, 차이를 압력 증가 레지스터 (30)에 가한다. 압력 증가 레지스터 (30)가 0의 최소값을 갖고 실시 평균 압력 레지스터 (28)의 최저값과 앞선 값 사이의 차이에 의해 증가되거나 감소된다. 레지스터 (30)내의 값이 50밀리토어를 초과하는 경우, 쳄버 (12)내에 물이 존재함을 나타낸다. 함유된 물을 검출하면, 멸균 사이클이 중단되고, 멸균 시스템 (10)의 조작자에게 로드 (14)를 건조 및 재포장하도록 알려준다. 로드 (14)중에서 물이 존재하면 조작자에게 여러 가지 형태, 예를 들면, 가시적 또는 가청적 알람이 나타내기 때문에 조작자가 로드 (14)를 물리적으로 재건조 및 재포장할 수 있게 알려준다. 또한 지표는 본 원에서 참조한 미국 특허 제 08/320,392호에서 기술한 바대로, 챔버 (12)에 건조 공기를 제공, 예를 들면 챔버 (12)를 통해 건조 공기를 통과시키거나 챔버에 물에 닿을 것 같은 형태로 에너지를 적용, 예를 들면 챔버의 공기를 가열하거나 물 분자를 자극하기 위해 챔버 (12)에 전자기장을 적용하므로 챔버 (12)내의 연속 자동 건조를 일으킨다.

또한 물 함수 시험은 시스템 (10)의 전체 작동 규칙의 일부를 형성한다. 바람직하게 갇힌 물을 시험하기에 필요한 단계를 포함하는 모든 규칙은 조절 시스템 (26)의 소프트웨에의 양태이다. 물론, 배선 회로 또는 기계적 조절은 소프트웨어 조절로 치환될 수 있다. 도 2의 도면은 물 모음 시험을 수행하는 단계를 예시한다.

실시예

챔버 (12)내에 함유된 물의 위치를 알아내는데 있어서, 방법은 방법의 효과를 측정하기 위한 다양한 로딩 조건하에서 시험된다. 진보된 살균 생성물(Division of Johnson and Johnson Medical, Inc., office in Irvine, California)로 부터 허용되는 STRERRAD 브랜드 하이드로겐 퍼옥사이드/가스 플라즈마 살균기는 살균용 의약 기구의 가시화된 로드로 로드된다. 챔버 (12)의 펌프 다운(공기의 평가)은 시작되고, 압력은 마지막 단계 동안 5 밀리토르의 압력 증가를 검시하기 위해 상기 방법에 따라서 측정한 결과, 챔버 압력은 5 토르 이하이다.

물이 팩킹의 외부(팩키지의 표면)에 있을 경우, 방법은 물이 장치 또는 팩키지내에 모여있을 경우처럼 민감하지 않다.

총 물함량은 0.5㎖, 1.0㎖, 2.5㎖, 4.5㎖ 및 6.0㎖을 포함하여 다양하다. 몇몇의 방울 크기는 0.25㎖ 내지 3.0㎖의 범위로 사용된다. 3개의 온도 수준이 적용된다: 저온(10℃); 실온(~22℃); 고온(40℃). 두 개의 로드 수준이 시험된다: 하나는 병원 세팅의 일일 살균에서 기대할 수 있는 부분, 다른 하나는 이의 삽입부에 폴리우레탄 칼집이 장착된 두 개의 유여한 콜로노스코프를 포함하는 큰 로드이다. 진공에서 이의 표면으로 부터의 수증기를 형성하는 공지된 PVC 튜브를 포함하는 가스를 뺀 로드는 일부의 작업량에 포함된다. PVC 또는 물질을 포함하는 다른 가스를 함유하는 물체는 정상 병원 건조 로드에서 종종 발견되고, 이러한 시험 로드에서 이러한 물체의 존재는 진공에서 물의 존재를 PVC에 의해 방출되는 가스에 의해 알지 못하는 방법이라고 확인된다. 두 개의 패키징 수준 또한 시험된다: 기구를 포함하는 트레인 하나는 CSR(중앙 공급 실) 포장 및 증기로 통과되는 미생물 장벽 재료로 두 번 포장되고, 기구인 다른 하나는 일반적인 Tyvek/Mylar 파우치 물질로 두겹 포장된다. Tyvek은 고밀도 폴리에틸렌으로 제조된 부직 물질에 결합된 스펀이고, Mylar는 폴리에스테르 필름이다. 두 개의 다른 STERRAD 100 살균기는 데이터가 진공 시스템에 보편적이라는 것의 보장에 사용된다. 시럼 매트릭스는 하기 표 1에 나타내고, 그 결과는 표 2에 나타낸다.

시험 매트릭스

시험번호	수위	소적 크기	로드 온도	로드 크기	배기물질	패키징	멸균기
1	없음	na	10℃	강	없음	CSR랩/소낭	I
2	없음	na	10℃	25lbsSS 로드 +정상 로드	없음	CSR 랩	I
3	없음	na	40℃	강	있음	CSR랩/소낭	I
4	2.5ml	1.25ml각 트레이중의소적	10℃	정상	없음	CSR 랩	I
5	2.5ml	0.5ml(2개의 소낭중의 각각 1소적)	40℃	정상	없음	CSR 랩/소낭	I
6	4.5ml	2.25ml각 트레이중의소적	40℃	강	있음	CSR 랩	I

시험번호	수위	소적 크기	로드 온도	로드 크기	배기물질	패키징	멸균기
7	4.5ml	0.5ml(각 엔도스콥중의 2개 소적)	10℃	강	없음	CSR랩/소낭	II
8	4.5ml	0.5ml(각 에도스콥중의 2개 소적)	10℃	강	없음	CSR 랩/소낭	II
9	4.5ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	40℃	정상	없음	CSR랩/소낭	I
10	4.5ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	10℃	강 + 25IbsSS 로드	없음	CSR랩/소낭	I
11	6.0ml	3.0ml각각의 트레이중의 소적	40℃	강	있음	CSR 랩/소낭	I
12	6.0ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	10℃	강	없음	CSR 랩/소낭	I

시험번호	수위	소적 크기	로드 온도	로드 크기	배기물질	패키징	멸균기
13	6.0ml	0.5ml(각각의 엔도스콥중의 2개 소적)	10℃	강	없음	CSR랩/소낭	II
14	6.0ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	40℃	정상	없음	CSR 랩/소낭	I
15	6.0ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	10℃	강 + 25IbsSS 로드	없음	CSR랩/소낭	I
16	1.0ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	10℃	강	없음	CSR랩/소낭	I
17	1.0ml	0.25ml(2개의 소낭중의 각각 1개 소적)	40℃	정상	없음	CSR 랩/소낭	I
18	0.5ml	트레이당 바이알중의 0.25ml	실온	강	없음	CSR 랩/소낭	I
19	0.5ml	트레이당 바이알중의 0.25ml	10℃	강	없음	CSR 랩/소낭	I

시험 결과

시험 번호	펌프 다운	사이클	상부	하부	소낭	총 사이클 시간
1	14분	중지, 주사시 저압	N/A	N/A	N/A	30분
2	6분	중지, 주사시 저압	N/A	N/A	N/A	22분
3	15분	완료	N/A	N/A	N/A	85분
4	4분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	N/A	4분
5	4분	중지, 로드중의 수분	얼음	물	물	4분
6	4분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	N/A	4분
7	4분	중지, 로드중의 수분	바이알중의 얼음 및 스콥중의 물	바이알중의 얼음 및 스콥중의 물	N/A	4분
8	5분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	물	5분
9	3.5분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	물	3분 30초

시험 결과

시험번호	펌프 다운	사이클	상부	하부	소낭	총 사이클 시간
10	4분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	물	4분
11	3.5분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	N/A	3분 30초
12	5분	중지, 로드중의 수분	바이알내 얼음 및 스콥중의 얼음	스콥중의 수분	N/A	5분
13	5분	중지, 로드중의 수분	얼음	얼음	물	5분
14	3분	중지, 로드중의 수분	얼음	얼음	물	4분
15	3분	중지, 로드중의 수분	물	얼음	물	3분
16	4분	중지, 로드중의 수분	얼음	얼음	물	4분
17	3분	중지, 로드중의 수분	얼음	물	얼음	3분
18	16분	중지, 주입시 저압	없음	없음	N/A	32분
19	15분	중지, 주입시 저압	없음	없음	N/A	31분

총 물의 로드가 0.5ml인 것을 제외하고는 이 방법은 모든 수준에서 물을 정밀하게 측정한다. 주기의 개시시 부적절한 온도로 인하여 수분이 없는 처음 2회의 주기는 중지된다. 챔버의 압력이 300밀리토르로 평가되면, 과산화수소 카셋트내 셀에 구멍을 뚫고 성분(고 농축된 과산화수소 용액의 측정된 양)을 챔버내 가열된 금속 컵내에 붓는다. 과산화수소가 챔버내로 도입된지 6분 후, 압력이 6토르로 상승되지 않는 경우, 이 주기는 주입시 저압인 경우로써 제외시킨다. 압력 증가의 실패는 과산화수소 모두가 증기상으로 되지 않음을 의미한다. 이러한 수행은 그러나, 이 방법이 불량한 포지티브를 나타내지 않음을 입증한다. 로드내 증가된 잠재적인 열이 소량을 기화시키는데 기여하므로 5ml의 수분에 대해 40℃에서 수행되는 로드 시험은 없다.

도 3은 수분이 정상적으로 검출되는 경우 강하 부위에서 시간에 따른 압력 커브를 도시한 것이다. 커브가 완만함에 주목하라. 수행에 있어서, 수분은 검출되지 않는다.

도 4는 주기의 유사한 부분을 나타내나, 이러한 수행에 있어서 총 3.0ml의 물이 본 시스템중 4개의 위치중에 분배된다. 4개의 분리된 물 위치에 상응하는 커브내 4개의 분리된 압력 분포에 주목하라.

도 6은 물 3.0ml가 단일 위치내에 존재하는 수행을 나타낸다. 이 경우, 하나의 큰 압력 변화가 검측된다.

본 발명을 이의 특수 양태와 관련하여 기술한다고 해도 이는 나열하기 위함이지 제한하고자 하는 것은 아니며, 청구된 청구의 범위의 영역은 선행 분야에서 허용되는 바와 같이 광법위한 것으로 고려되어야 한다.

본 발명은 진공을 해제시키는 동안 챔버내에 존재하는 물을 용이하게 검출할 수 있는 효과가 있다.

Claims

챔버로부터 대기를 배출하는 단계 및

대기가 챔버로부터 배출되는 동안, 챔버 내의 압력 수준을 측정하는 단계[여기서, 압력 수준이 증가하는 경우에는, 챔버 내에 물이 존재함을 나타낸다]를 포함하는, 내부에 진공을 유도하면서 챔버 내의 물의 존재 여부를 검출하는 방법.
제1항에 있어서, 물의 존재 여부가 챔버 내의 압력이 물의 삼중점 압력에 도달하는 경우에만 나타나는 방법.
제1항에 있어서, 물의 존재 여부가 챔버 내의 압력이 5torr 이하인 경우에만 나타나는 방법.
제1항에 있어서, 물의 존재 여부가 소정의 값을 초과하는 압력 증가에 응답하여서만 나타나는 방법.
제1항에 있어서, 물의 존재 여부가 50mtorr 이상의 압력 수준 증가 후에만 나타나는 방법.
제1항에 있어서, 챔버 내의 압력 수준을 측정하는 단계가 압력을 구간별로 샘플링하고 샘플링한 압력 수준의 실시 평균을 계산하는 단계를 포함하는 방법.
제1항에 있어서, 압력을 소정의 간격으로 샘플링하고, 일시적인 압력 피크 동안의 압력의 누적 증가를 계산하는 단계[여기서, 이러한 일시적인 피크에 대한 압력의 누적 증가가 50mtorr에 도달하는 경우에는, 시스템 내에 과량의 물이 존재함을 나타낸다]를 포함하는 방법.
제1항에 있어서, 물의 잠정 위치와 압력 감지기 사이에 유체 유동 제한물을 배치하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
제8항에 있어서, 유체 유동 제한물이, 증기는 통과시키면서 미생물의 통행은 제한하는 여과 수단을 포함하는 항미생물 내장물을 포함하는 방법.
대기를 함유하는 챔버 내에 대상물을 두는 단계,

대기중 적어도 일부가 챔버로부터 배출되는 단계,

대기가 챔버로부터 배출되는 동안, 챔버 내의 압력 수준을 측정[여기서, 압력 수준이 증가하는 경우에는, 챔버 내에 물이 존재함을 나타낸다]하고 챔버로부터 물을 제거하는 단계 및

챔버 내에 멸균 증기를 주입하여 대상물과 접촉시키는 단계를 포함하는, 대상물의 멸균처리방법.
제10항에 있어서, 물의 존재 여부가 챔버 내의 압력이 5torr 이하인 경우에만 나타나는 방법.
제6항에 있어서, 물의 존재 여부가, 압력 수준이 50mtorr 이상으로 증가한 후에만 나타나는 방법.
제11항에 있어서, 챔버 내의 압력 수준을 측정하는 단계가, 간격을 두고 압력을 샘플링하고 샘플링된 압력 수준의 실시 평균을 계산하는 단계를 포함하는 방법.
대상물을 수용할 수 있는 내부 공간을 갖는 챔버,

내부 공간으로부터 대기의 적어도 일부를 추출하는 진공수단,

챔버 내의 압력을 검출하는 수단 및

진공수단이 챔버로부터 대기를 추출하는 동안, 챔버 내의 물의 존재를 검출하기 위해 챔버 내의 물의 존재 지시에 따라 챔버 내의 압력을 증가시키기 위해 반응하는 수단을 포함하는, 대상물의 멸균장치.
제14항에 있어서, 압력을 증가시키기 위해 반응하는 수단이 소정의 압력 이하에서만 반응하는 장치.
제15항에 있어서, 소정의 압력이 5torr인 장치.
제14항에 있어서, 압력을 증가시키기 위해 반응하는 수단이 소정의 값을 초과하는 압력의 증가에만 반응하는 장치.
제17항에 있어서, 소정의 값이 50mtorr인 장치.