KR100196901B1 - 진공 챔버의 압력 측정방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공 챔버의 결함으로 유입ㆍ유출되는 가스 외에 누설의 요인이 되는 가스 공급 밸브, 진공 배기 밸브에 의해 진공 챔버 내로 유입ㆍ유출되는 가스를 측정하는 진공 챔버의 압력 측정 방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은 챔버와 가스 밸브와 진공 밸브의 결합에 의해 챔버 내로 유입ㆍ유출되는 가스의 유량을 측정하여 설비 결함의 발견을 용이하게 하고 챔버로 유입, 유출되는 공정 가스의 양을 정확히 측정하는데 있다.
본 발명의 효과는 챔버내의 진공압이 불균일하게 되는 요인들을 요인별로 분리하여 측정하여 예상치 못한 공정의 불량을 방지하기 위해 챔버내를 저압으로 형성하여 가스 밸브의 결함에 의한 진공도 저하와, 챔버내를 고압으로 형성하여 진공밸브의 결함을 발견하여 상기 두가지 측정값으로 챔버 용기 자체의 결함까지 계산하여 공정 가스 압력의 불균일로 인한 공정 불량을 방지하는 효과가 있다.

Description

진공 챔버의 압력 측정 방법
본 발명은 진공 챔버의 압력 측정 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 진공 챔버의 결함으로 유입ㆍ유출되는 가스 외에 누설의 요인이 되는 가스 공급 밸브, 진공 배기 밸브에 의해 진공 챔버 내로 유입ㆍ유출되는 가스를 측정하는 진공 챔버의 압력 측정 방법에 관한 것이다.
최근에 들어서 반도체 집적 회로의 미세 가공 기술이 진보 개량됨에 따라 반도체 집적 소자의 고신뢰성 및 고생산성의 확보가 큰 관심사로 대두되고 있으나 점차 반도체 집적 소자들이 경량화, 고집적화 되면서 제조 공정과 제조 설비는 더욱 복잡해지고 있으며 이에 따라 발생하는 미세한 불량 요인으로 많은 문제점들이 발생하고 있다.
특히, 정밀도를 요하는 반도체 소자 제조 공정중 다수의 공정에서는 공정의 특성에 따라서 높은 진공도를 요구하고 있으나 이와 같은 공정에 필요한 진공상태를 형성시키는 진공 장치에 조작자가 발견하지 못한 결함이 발생되었을 때에는 예상하지 못한 공정 불량이 발생하게 됨으로 진공 상태의 측정과 진공도의 저하를 방지하는 것이 절실히 필요한 실정이다.
이와 같이 공정이 진행되는 종래의 진공 챔버와 진공 챔버에 진공압을 형성시켜 주는 진공 장치의 구성을 첨부된 도면 제1도를 참조하여 개략적으로 설명하기로 한다.
웨이퍼가 이송되어 실공정이 진행되는 챔버(13)의 상부에는 설치 외부의 반응 가스가 챔버(13)로 유입되도록 급기관(11)이 연통되어 있고, 급기관(11)에는 챔버(13)로 유입되는 반응가스를 차단하는 가스 밸브(12)가 연결되어 있다.
또한, 챔버(13)의 하부에는 챔버(13)에 진공압을 발생시키는 진공 펌프(16)가 배기관(15)에 의해 챔버(13)와 연통되어 있으며, 배기관(15)에는 진공 밸브(14)가 연결되어 있고 상기 챔버(13)에는 챔버(13) 내부의 압력을 시간별로 측정할 수 있는 압력계(미도시)가 설치되어 있다.
상기 가스 밸브(12)와 상기 진공 밸브(16)는 솔레노이드에 의해 작동되는 솔레노이드 밸브이다.
이와 같은 구성된 종래의 진공 챔버의 진공압 측정 방법을 첨부된 도면 제2도 및 제3도를 참조하여 설명하기로 한다.
먼저, 챔버(13)내로 유입되는 진공압을 측정하기 위해 가스 밸브(12)를 폐쇄한 후, 진공 펌프(16)를 작동시킴과 동시에 진공 밸브(14)를 개방하여 진공 펌프(16)에 의해 챔버(13)내의 압력이 소정 진공압이 될 때까지 계속 배기시킨다.(단계1)
이후, 소정 진공압에 도달하게 되면 진공 밸브(16)를 폐쇄하고 진공펌프(16)의 작동을 멈춘 후 배기관(14)내를 대기압이 되도록 개방한다. 이어서, 급기관(11)에 부착되어 있는 보조 가스밸브(미도시)를 폐쇄하고, 유독성 공정 가스의 유출을 방지하는 퍼지 시스템(미도시)을 작동하여 보조 가스 밸브(미도시)와 가스 밸브(12)의 사이에 잔류하는 유독성 공정 가스를 배출하고 보조 가스 밸브(미도시)와 가스 밸브(12)사이를 개방하여 상기 보조 가스 밸브(미도시)와 가스 밸브(12) 사이의 급기관(11)을 대기압으로 형성한다.(단계2)
이후, 단위 시간당 챔버(13)내의 압력 상승을 측정하고 이를 데이터로 출력한다.(단계3)
측정한 데이터에 의해 챔버(13)내에 압력 상승이 발생했다면 압력이 상승하는 요인으로는 제2a도에 도시된 큰 화살표들이 나타내는 바와 같이, 챔버(13) 용기와, 가스 밸브(12)와, 진공 밸브(16)들의 결함에 의해 챔버(13)내로 가스가 유입될 수 있음을 보여주고 있다.
제2b도는 챔버(13)에 기체의 유입이 발생한 데이터를 그래프로 나타낸 것으로서, X축은 시간에 대한 축으로, 나뉘어진 시간의 간격(t1, t2, t3)은 동일하며 Y축은 압력(P)에 대한 축으로 좌표점(Patm, t1)은 챔버(13)내가 대기압인 것을 나타낸다.
이후, 챔버(13)내의 기체가 배기되면서 t1에서 t2로 시간이 증가되면 챔버(13)내는 더이상 배기되지 않는데 이때의 좌표점은 (Pbase, t2)이 되고 이후, t3로 시간이 증가되면서 챔버(13)내의 압력은 유입되는 기체로 인해 압력이 증가되어 t2에서 t3구간에서는 그래프가 양(+)의 기울기를 갖게 되고 상기 챔버(13)내의 압력은 Y축의 Pbase와 Patm의 중간지점이 된다.
챔버의 내부는 챔버의 외부보다 낮은 압력이 형성되어 있으므로 외부에서 챔버 내부로 공기나 기타 가스가 유입되거나 기타 다른 요인으로 인해 챔버내의 진공도가 일정하게 유지되지 못하게 되는데 그 요인으로는 다음과 같은 것들이 주요인으로 작용한다.
첫째로, 챔버의 용기에 미세 크랙이 발생하여 크랙이 발생한 부분으로 유입되는 기체와, 둘째로 초저압의 진공 용기 벽면을 투과하여 유입되는 미세 기체와, 셋째로 챔버 내부에 존재하는 액상 물질의 기화에 의해 발생한 압력과, 넷째로 챔버 내의 개구부인 진공 밸브와 가스 밸브 자체의 결함으로 유입된 기체로 크게 분류할 수 있다.
그러나, 상기 요인들을 각각 분리 해석하기가 어렵고, 특히 네번째 요인인 상기 가스 밸브에 결함이 발생했을 때에는 가스 밸브를 차단하여도 계속 챔버 내로 가스가 유입되고, 진공 밸브에 결함이 발생했을 때에는 가스가 계속 진공 밸브의 결함 부위로 유출되어 이 두 가지 요인중 하나 혹은 동시에 결함이 발생하게 되면 챔버 내의 압력 변화가 심해짐으로 인해 공정의 균일성이 저하되어 공정 불량이 발생하는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 챔버와 가스 밸브와 진공 밸브의 결함에 의해 챔버 내로 유입ㆍ유출되는 가스의 유량을 측정하여 설비 결함의 발견을 용이하게 하고 챔버로 유입, 유출되는 공정 가스의 양을 정확히 측정하는데 있다.
제1도는 종래의 진공 챔버와 진공압을 발생시키는 진공 장치의 구성을 간단하게 나타낸 개략도이고,
제2a도는 종래의 기술에 의한 진공압의 측정을 위해 분해된 진공 챔버와 진공 장치를 나타낸 개략도이고,
제2b도는 제2a도에 의해 측정된 진공 챔버내의 압력 변화를 나타낸 그래프이고,
제3도는 종래의 기술에 의한 챔버내의 압력 측정 방법을 나타낸 순서도이고,
제4a도는 본 발명에 의한 진공 챔버의 압력을 측정하기 위하여 진공 챔버 내를 저압으로 형성한 후 가스 공급 밸브의 누설을 측정하기 위한 진공 챔버와 진공 장치를 나타낸 개략도이고,
제4b도는 제4a도에 의해 진공 챔버 내로 유입된 가스로 인한 챔버내 압력 변화를 나타낸 그래프이고,
제5a도는 본 발명에 의한 진공챔버의 압력을 측정하기 위하여 진공 챔버 내를 고압으로 형성한 후 진공 배기 밸브의 누설을 측정하기 위한 진공 챔버와 진공장치를 나타낸 개략도이고,
제5b도는 제5a도에 의해 진공챔버로 유입된 기체에 의한 압력 변화를 나타낸 그래프이고,
제6a도, 제6b도, 제6c도는 본 발명에 의한 진공 챔버 내로 유입, 유출되는 가스를 측정하는 방법을 보여주는 순서도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 진공 장치 11 : 급기관
12 : 가스 밸브 13 : 진공 챔버
14 : 진공 밸브 15 : 배기관
16 : 진공 펌프
이와 같은 본 발명 진공 챔버의 압력 측정 방법은 급기관에 연결된 가스 개폐 수단을 폐쇄함과 동시에 진공압 발생 장치를 작동시켜 배기관에 연결된 폐가스 개폐 수단을 개방하여 진공 용기 내부를 상기 진공 용기 외부보다 저압으로 만든 후, 상기 폐가스 개폐 수단을 폐쇄하여 상기 급기관과 상기 배기관을 상기 진공 용기의 외부와 동일한 압력으로 형성한 후, 상기 진공 용기 내부로 유입되는 기체의 양을 측정하는 제1단계와, 상기 가스 개폐 수단을 폐쇄하고 상기 폐가스 개폐수단을 개방하고 상기 진공압 발생장치를 작동시켜 상기 진공용기의 내부를 상기 저압으로 만든 후, 상기 가스 개폐 수단으로 유입되는 기체의 양을 측정하는 제2단계와, 상기 가스 개폐 수단을 개방하고 상기 폐가스 개폐 수단을 폐쇄하여 진공 용기를 고압으로 형성한 뒤, 상기 진공 용기와 상기 급기관을 동일 압력으로 만들어 폐가스 개폐 수단으로 유입되는 기체의 양을 측정하는 제3단계와, 상기 제1단계, 제2단계, 제3단계에서 측정된 압력 변화치를 제어부에서 비교 연산하는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명 진공 챔버의 압력 측정 방법을 첨부된 도면 제4도 내지 제6도에 의해 설명하기로 한다.
선행 공정을 종료한 실공정이 진행되는 챔버(13)의 상부에는 설비 외부의 반응 가스가 챔버(13)로 유입되도록 급기관(11)이 연통되어 있고, 급기관(11)에는 챔버(13)로 유입되는 반응 가스를 차단하는 가스 밸브(12)가 연결되어 있다.
또한, 챔버(13)의 하부에는 챔버(13)에 진공압을 발생시키는 진공 펌프(16)가 배기관(15)에 의해 챔버(13)와 연통되어 있으며 배기관(15)에는 진공 밸브(14)가 연결되어 있다.
챔버(13)에는 챔버(13) 내부의 공정 조건(예: 공정 온도, 가스 유입시간, 가스 분압, 등)을 시간별로 측정할 수 있는 계측부(13)가 설치되어 있다.
한편, 진공 밸브(14)와 가스 밸브(12)는 제어부(20)의 제어에 의해 개폐되고 상기 계측부(13)에 의해 측정된 공정 조건들은 제어부로 입력되어 연산처리부(30)에 의해 연산 후 조작자가 인식할 수 있도록 디스플레이부(40)에서 측정 결과를 표시한다.
진공 챔버의 압력 측정 방법을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 가스 밸브(12)와 챔버(13)와 진공 밸브(13) 모두의 결함에 의한 압력 상승치를 구하기 위해 가스 밸브(12)를 폐쇄하고(단계1), 진공 펌프(16)를 작동시킨 후 진공 밸브(14)를 개방하여 챔버(13)내의 잔류 가스를 배기하고(단계2), 이후 챔버(13)내의 압력이 더이상 변화가 없을 때가지 배기시킨다(단계3).
이후, 챔버 내에 압력 변화가 없다면 진공 펌프(16)의 작동을 중지시키고 진공 펌프(16)내를 대기압으로 개방한다. 이와 동시에 급기관(11)의 보조 가스 밸브(미도시)와 가스 밸브(12)를 폐쇄한 뒤, 공정 가스가 외부로 유출되는 것을 방지하는 퍼지 시스템(미도시)에 의해 보조 가스 밸브(미도시)와 가스 밸브(12) 사이에 연결된 급기관(11)에 잔류하고 있는 공정 가스를 퍼지후, 보조 가스 밸브(미도시)와 가스 밸브(12) 사이의 급기관(11)에 대기압을 형성시킨다(단계4).
이어서 소정 시간 간격으로 챔버내의 진공도를 측정하고(단계5), 측정된 데이터 A를 출력한다(단계6).
이때, 데이터 A는 챔버(13)용기와 진공 밸브(14)와 가스 밸브(12) 모두에서 발생한 결함에 의한 압력 상승치의 총 합계를 출력하게 된다.
다음으로 가스 밸브(12)의 결함에 의해 챔버(13)로 누설되는 가스의 유량을 측정할지를 조작자가 판단 후(단계7), 가스 밸브의 누설량을 측정하지 않는다면 측정을 종료하고 가스 밸브(12)의 누설 유량을 측정하려면 후속 단계인 서브스텝 100을 진행한다.
이와 같이 챔버(13)내를 진공압으로 만든 후 급기관(11)과 배기관(15)을 대기압상태로 개방하여 챔버(13)내로 공기가 유입되는 유량을 측정하는 것은 후속 측정 단계인 서브스텝 100과 200에서 측정된 가스 밸브(12)와 진공 밸브(14)의 결함에 의한 압력 상승 데이터로 챔버와 진공 밸브와 가스 밸브의 결함을 개별적으로 판단할 수 있기 때문이다.
이후, 가스 밸브의 결함에 의해 발생하는 압력의 변화량을 측정하기 위해 서브 스텝 100을 진행할 때를 순서도와, 진공장치와 챔버의 개략도에 의해 설명하면 다음과 같다.
우선 진공 장치와 챔버(13)를 다시 첨부된 도면 제4a도와 같이 셋팅하고 가스 밸브(12)를 폐쇄한다(단계8).
이후, 챔버(13)내의 압력이 변화하지 않을 때까지 계속 챔버(13)내의 압력을 하강시키고(단계9), 더이상 챔버(13)내 압력 변화가 없게되면(단계10), 진공 밸브(14)를 폐쇄한다(단계11). 이때, 진공 펌프(16)는 계속 작동하여 배기관(15)에는 챔버(13)내와 동일한 진공압이 형성되도록 한다.
한편, 폐쇄되어 있는 가스 밸브(12)와 보조 가스 밸브(미도시) 사이 급기관(11)의 공정가스를 모두 퍼지한 후, 가스 밸브(12)와 보조 가스 밸브(미도시) 사이의 급기관(11)을 대기압 상태로 개방한다. 이어서, 챔버(13)내의 압력 변화량을 측정하게 되는데(단계12), 배기관(15)과 챔버(13)내의 형성 압력은 동일함으로 진공 밸브(14)를 통과해서 챔버(13)내로 유입되는 압력은 무시할 정도로 작게 된다.
결국 챔버(13)내에 압력 상승이 발생했다는 것은 챔버(13) 외부 대기압과 챔버(13) 내부 진공압의 계면을 이루고 있는 가스 밸브(12)를 통과한 기체에 의해 발생한 압력 상승이거나, 챔버(13) 용기의 결함에 의해 압력이 상승한 것이 된다.
이와 같이 측정된 압력의 변화를 첨부된 도면 제4b도의 그래프를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
X축은 시간의 경과에 따른 시간축이 되고 Y축은 압력의 변화를 나타낸 압력축이 되며 챔버(13)가 대기압에서 배기되기 시작하는 좌표점은 (Patm, t1)이며, 이때 그래프의 기울기 ΔY/ ΔX는 음의 기울기를 가지며 계속 챔버(12)가 배기되어 상기 좌표점(Pbase, t2)에서는 기울기가 0이 된다.
이후 t2에서 t3구간의 그래프는 경우에 따라서 두 개의 그래프로 나뉘어 질 수 있는데 첫 번째로 가스 밸브(12)에 결함이 발생하지 않았다면 그래프는 양의 기울기를 가진 완만한 a-graph가 되나, 가스 밸브(12)에 결함이 발생했다면 b-graph처럼 양의 기울기가 매우 큰 즉, ΔY/ ΔX의 값이 매우 커지게 된다.
이후, t3에서의 압력 값을 데이터 B로 출력한다(단계13).
이때, 데이터 B는 진공 밸브(14)의 누설량을 측정하지 못하고, 챔버(13)용기와 가스 밸브(12) 누설량의 총 합계를 출력하고 다음 단계를 진행하기 위해 챔버내를 배기한 후(단계14), 다시 진공 밸브(14)의 결함에 의한 압력 변화를 측정하기 위해 서브스텝 200을 진행하게 되는데(단계15), 이를 첨부된 도면 제5a도, 제5b도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
서브 스텝 200이 개시되면 우선, 챔버(13)내에 잔류되어 있는 기체를 완전히 배기 시킨 후, 다시 챔버(13)내의 압력이 증가하지 않을 때까지 계속해서 챔버(13)내로 공정 가스를 유입시키고(단계16), 더 이상 챔버(13)내 압력의 변화가 발생하지 않는 압력 즉 챔버(13)와 급기관(11)의 압력이 동일해지면 가스 밸브(12)는 즉시 차단하지만 보조 가스 밸브(미도시)는 계속 개방하여 급기관(11)에는 챔버(13)와 동일한 압력이 형성되도록 한다(단계17).
챔버(13)와 급기관(11)이 동일 압력이 되면 즉시 진공 밸브(14)를 폐쇄함과 동시에 진공 펌프(16)의 작동을 중지시킨 후, 배기관(15)의 압력을 대기압으로 만들어 준다(단계18).
급기관(11)과 챔버(13)의 압력은 동일함으로 급기관(11)에서 가스가 가스 밸브(12)를 통하여 챔버(13)내로 유입되는 가스의 유량은 매우 미세하여 가스 밸브(12)에 결함이 있어도 가스는 챔버(13)내로 유입되지 않는다.
결국 챔버(13)내에 압력 하강이 발생되면 발생된 압력 하강의 요인은 상기 가스 밸브(12)에 의해 유입된 가스의 유량이 없음으로 진공 밸브(14)의 결함 부분을 통해 가스가 배기된 것과 챔버(13) 용기의 자체 결함 때문인 것이다.
이와 같은 측정 결과를 도면 제5b도에 도시된 그래프를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
X축은 시간의 경과에 따른 시간축이 되고 Y축은 압력의 변화를 나타낸 압력축이 되며 챔버(13)가 대기압에서 배기되기 시작하는 좌표점은 (Patm, t1)이며 배기가 t2로 진행함에 따라 기울기 ΔY/ ΔX는 음의 기울기를 가지며 계속 챔버(13)가 배기되어 상기 좌표점(Pbase, t2)에서는 기울기가 0이 된다.
이후, t2에서 t3구간은 공정 가스를 챔버(13)내로 유입시키는 구간이며 더 이상 공정 가스를 유입되지 않는 좌표점은(Ptop, t3)이 되며 t3이후에는 두 가지 경향을 보여주는 그래프가 나타나게 되는데 먼저, 진공 밸브(14)에 결함이 있다면 진공 밸브(14)의 결함부위로 공정 가스가 배기되어 결국 c-graph와 같이 챔(14)버내 압력이 크게 감소하는 즉 ΔY/ ΔX의 변화율이 매우 큰 음의 기울기를 가질 것이며 다음으로 진공 밸브(14)의 결함이 없다면 d-graph와 같이 아주 미세한 음의 기울기 변화만이 발생한다.
이후, 측정된 t4에서의 압력값을 데이터 C로 출력한다(단계19)(단계20).
이때, 데이터 C는 가스 밸브(12)의 누설량은 측정할 수 없지만 챔버(13) 용기와, 진공 밸브(14) 누설량의 총 합계를 출력하게 된다.
제어부(미도시)는 상기3단계로 측정된 압력의 변화량으로 연산을 시행하고 연산의 결과를 분석한다(단계21).
먼저, 챔버(13) 용기와 가스 밸브(12)와 진공 밸브(14)의 누설량의 총 합계 데이터인 상기 데이터 A에서 챔버(13)용기와 가스 밸브(12)의 누설량의 총 합계 데이터인 상기 데이터 B를 감산하게 되면 진공 밸브(14)의 누설량만을 계산할 수 있으며, 상기 데이터 A에서 챔버(13)용기와 진공 밸브(14)의 누설량의 총 합계인 데이터 C를 다시 감산하게 되면 이번에는 가스 밸브(12)의 누설량만을 계산할 수 있다.
이번에는 챔버(13)용기의 누설량만을 계산하기 위해 데이터 A에서 상기 계산된 진공밸브(14)와 가스 밸브(11)의 누설량의 합계를 감산하게 되면 순수한 챔버(13)용기의 누설량만을 산출할 수 있다.
이후, 상기 산출된 측정값들을 디스플레이하고, 챔버(13)내의 압력 상승치를 재측정할 것인지를 조작자에게 디스플레이하고, 조작자가 재측정을 원하지 않는다면 측정을 종료하고 재측정을 원한다면 다시 시작의 단계로 피드백한다(단계22). 상기 챔버내의 압력 계측은 여러 가지 방법으로 시행할 수 있으나, 특히 본 발명의 압력 계측은 널리 공지된 기체 상태 방정식을 이용하는데 이는 컴퓨터등과 같은 연산처리 수단을 이용해 챔버내의 압력값을 정확히 계산할 수 있기 때문이며 챔버내 압력을 계산하기 위해 기 측정되어야 하는 변수로는 챔버 내부의 온도와, 챔버내의 체적과, 가스 유입시간, 기체 정수, 가스 유량등이며 이를 이용하여 챔버내의 압력값을 정확하게 계산할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 챔버내의 진공압이 불균일하게 되는 요인들을 요인별로 분리하여 측정하여 예상치 못한 공정의 불량을 방지하기 위해 챔버내를 저압으로 형성하여 가스 밸브의 결함에 의한 진공도 저하와, 챔버내를 고압으로 형성하여 진공 밸브의 결함을 발견하여 상기 두가지 측정값으로 챔버 용기 자체의 결함까지 계산하여 공정 가스 압력의 불균일로 인한 공정 불량을 방지하는 효과가 있다.

Claims (11)

  1. 급기관에 연결된 가스 개폐 수단을 폐쇄함과 동시에 진공압 발생 장치를 작동시켜 배기관에 연결된 폐가스 개폐 수단을 개방하여 진공 용기 내부를 상기 진공 용기 외부보다 저압으로 만든 후, 상기 폐가스 개폐 수단을 폐쇄하여 상기 급기관과 상기 배기관을 상기 진공 용기의 외부와 동일한 압력으로 형성한 후, 상기 진공 용기 내부로 유입되는 기체의 양을 측정하는 제1단계와; 상기 가스 개폐 수단을 폐쇄하고 상기 폐가스 개폐수단을 개방하고 상기 진공압 발생장치를 작동시켜 상기 진공용기의 내부를 상기 저압으로 만든 후, 상기 가스 개폐 수단으로 유입되는 기체의 양을 측정하는 제2단계와; 상기 가스 개폐 수단을 개방하고 상기 폐가스 개폐 수단을 폐쇄하여 진공 용기를 고압으로 형성한 뒤, 상기 진공 용기와 상기 급기관을 동일 압력으로 만들어 폐가스 개폐 수단으로 유입되는 기체의 양을 측정하는 제3단계와; 상기 제1단계, 제2단계, 제3단계에서 측정된 압력 변화치를 제어부에서 비교 연산하는 제4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1단계에서 측정된 측정값은 상기 제2단계 및 상기 제3단계의 측정치와 비교 연산하는 경우 기준 측정값인 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1단계의 측정값은 상기 진공 용기와, 상기 가스 개폐 수단과, 상기 폐가스 개폐 수단의 결함에 의해 상승된 압력의 총 합계값인 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제2단계의 측정값은 상기 진공 용기와, 상기 폐가스 개폐 수단의 결함에 의해 상승된 압력의 총 합계값인 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제3단계의 측정값은 상기 진공 용기와, 상기 가스 개폐 수단의 결함에 의해 상승된 압력의 총 합계값인 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  6. 제4항에 있어서 상기 측정값들을 비교 연산하여 상기 가스 개폐 수단의 결함에 의한 압력 상승치를 산출하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 측정값들을 비교 연산하여 상기 폐가스 개폐 수단의 결함에 의한 압력 상승치를 산출하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  8. 제3항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 가스 개폐 수단과 상기 폐가스 개폐 수단에 의한 압력 변화값을 이용하여 상기 진공 용기의 결함을 산출하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  9. 제3항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공 용기 내의 공정 조건들은 계측부에 의해 측정됨을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 측정된 공정 조건들을 제어부로 입력하고 상기 측정값들을 이용하여 연산을 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 계측부에 의해 측정된 상기 공정 조건을 입력받은 상기 제어부는 연산 수단에 의해 상기 진공 용기와, 상기 가스 개폐 수단과, 상기 폐가스 개폐 수단의 결함에 의한 압력 변화값에 대응하여 공정을 제어함을 특징으로 하는 진공 챔버의 압력 측정 방법.
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