KR19980028748U

KR19980028748U - 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버

Info

Publication number: KR19980028748U
Application number: KR2019960041779U
Authority: KR
Inventors: 채희순
Original assignee: 문정환; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1996-11-25
Filing date: 1996-11-25
Publication date: 1998-08-05
Also published as: KR200276967Y1

Abstract

본 고안의 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼의 상부 양측에 위치한 프로버가 서로 반대편에 위치한 패드(8)를 검사하여야 하는 경우에 프로버 전체의 위치를 반대위치로 바꿔줘야 하므로 상당히 번거롭고 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다. 본 고안 웨이퍼 감사용 프로브 스테이션의 프로버는 팁 서포팅 바의 일정 부분에 주름형태의 절곡부를 형성하여, 웨이퍼의 상부에 위치한 프로버가 반대편의 패드를 검사하여야 하는 경우에 절곡부를 절곡하여 팁이 서로 접촉되지 않게 검사를 실시함으로서, 종래와 같이 프로버 전체를 반대편으로 옮기는 경우가 배제되어 검사가 용이해지는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버

본 고안은 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션(PROBE STATION)의 프로버(PROBER)에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 상부 양측에 위치한 프로버를 이용하여 반대편에 위치한 패드를 검사시 프로버를 이동시키지 않고 검사할 수 있도록 하는데 적합한 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼의 제조공정에서 매뉴얼타입이 검사를 실시하기 위한 장비로서, 프로브 스테이션을 이용하게 되고, 그 프로브 스테이션에는 다수개의 프로버를 장착하여 검사하고자 하는 패턴의 패드에 팁을 접촉시킨 상태에서 검사를 하게 되는데, 이와 같은 일반적인 종래 프로버가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 프로브 스테이션의 프로버의 구성을 보인 정면도로서, 도시된 바와 같이 종래 프로버는 전류를 가하거나 위치를 조절하기 위한 소싱 메저링 유니트(SOURCING MEASURING UNIT)(1)와, 그 소싱 메저링 유니트(1)의 전방에 연결설치되는 팁 서포팅 바(TIP SUPPORTING BAR)(2)와, 그 팁 서포팅 바(2)의 단부에 설치되는 팁(TIP)(3)으로 구성되어 있다.

도면중 미설명부호 4는 상기 팁을 이동시키기 위한 전,후이동나사이고, 5는 좌,우 이동나사이며, 6은 미세상, 하이동나사이고, 7은 상,하이동나사이다.

상기와 같이 구성되어 있는 종래 프로브스테이션의 프로버를 이용하여 측정이 실시되는 동작을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 웨이퍼 척의 상부에 웨이퍼(W)를 얹어 놓는다. 그런 다음, 웨이퍼(W)의 상부 양측에 프로버를 설치하고, 각각의 프로버에 설치된 나사를 조정하여 프로버의 팁(3)을 검사하고자 하는 패턴의 패드(8)에 접촉시킨 상태에서, 전기적인 특성검사를 실시하게 되는 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래 프로브스테이션의 프로버는 도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼의 상부 양측에 위치한 프로버가 서로 반대편에 위치한 패드(8)를 검사하여야 하는 경우가 발생하는데, 이런 경우 통상적으로 프로버 전체의 위치를 반대위치로 바꿔주게 되는데, 이는 작업중 상단히 번거롭고 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다. 만약에 프로버의 위치를 서로 바꾸지 않고 검사를 하는 경우에는 교차되는 팁(3)이 서로 접촉하게 되어 정확한 검사가 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 웨이퍼의 상부 양측에 위치한 프로버가 서로 반대편에 위치한 패드를 검사시에 용이하게 검사하도록 하는데 적합한 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버를 제공함에 있다.

도 1은 종래 프로브 스테이션의 프로버의 구성을 보인 정면도.

도 2는 종래 프로브 스테이션의 프로버를 이용하여 검사를 실시하는 상태를 보인 평면도.

도 3은 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버의 구성을 보인 정면도.

도 4는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버를 이용하여 검사를 실시하는 상태를 보인 평면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

11:소싱 메저링 유니트12:팁 서포팅 바

12a:절곡부13:팁

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 소싱 메저링 유니트의 전방에 팁서포팅 바가 연결설치되어 있고, 그 팁 서포팅 바의 단부에는 팁이 설치되어 있는 프로브 스테이션의 프로버에 있어서, 상기 팁 서포팅 바의 일정 위치에 절곡부를 형성하여, 반대편의 패드를 검사시 절곡하여 검사할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버가 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버를 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버의 구성을 보인 정면도이고, 도 4는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버를 이용하여 검사를 실시하는 상태를 보인 평면도이다.

도시된 바와 같이, 본 고안 프로브 스테이션의 프로버는 전류를 인가하거나 위치를 조절하기 위한 소싱 메저링 유니트(11)와, 그 소싱 메저링 유니트(11)의 전방에 연결설치되는 팁 소포팅 바(12)와, 그 팁 서포팅 바(12)의 단부에 설치되는 팁(13)으로 구성된다.

그리고, 상기 팁 서포팅 바(12)에는 소정각도로 절곡하기 위한 절곡부(12a)가 형성되어 있으며, 그 절곡부(12a)는 일반적인 음료수 빨대와 같은 주름형태인 것이 바람직하며, 또한 재질은 알루미늄인 것이 바람직하다.

도면 중 미설명부호 14는 상기 팁을 이동시키기 위한 전,후이동나사이고, 15는 좌,우이동나사이며, 16은 미세상, 하이동나사이고, 17은 상,하이동나사이다.

상기와 같이 구성되는 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버를 이용하여 검사를 실시하는 동작은 종래와 유사하다.

먼저, 도 4에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 척의 상부에 웨이퍼(W)를 얹어 놓고, 패턴에 형성되어 있는 패드(18)의 상면에 검사하고자 하는 프로버의 팁(13)을 접촉시켜서 전기적인 검사를 실시하게 된다.

상기와 같이 검사를 실시하는 도중에 웨이퍼(W)의 상부 양측에 위치한 프로버가 서로 반대편에 위치한 패드(18)를 접촉시켜야 하는 경우에는 팁 서포팅 바(12)에 형성된 주름형태의 절곡부(12a)를 소정형태로 절곡하여 교차되는 팁(13)이 서로 접촉되지 않도록 검사를 실시하게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버는 팁 서포팅 바의 일정 부분에 주름형태의 절곡부를 형성하여, 웨이퍼의 상부에 위치한 프로버가 반대편의 패드를 검사하여야 하는 경우에 절곡부를 절곡하여 팁이 서로 접촉되지 않게 검사를 실시함으로서, 종래와 같이 프로버 전체를 반대편으로 옮기는 경우가 배제되어 검사가 용이해지는 효과가 있다.

Claims

소싱 메저링 유니트의 전방에 팁 서포팅 바가 연결설치되어 있고, 그 팁 소포팅 바의 단부에는 팁이 설치되어 있는 프로브 스테이션의 프로버에 있어서, 상기 팁 서포팅 바의 일정 위치에 절곡부를 형성하여, 반대편의 패드를 검사시 절곡하여 검사할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버.
제1항에 있어서, 상기 절곡부는 주름형태의 알루미늄으로 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사용 프로브 스테이션의 프로버.