KR102710367B1 - 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛 - Google Patents

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛 Download PDF

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Abstract

프로브 핀이, 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와, 탄성부의 제1 방향의 일단이 접속된 제1 접촉부와, 탄성부의 제1 방향의 타단이 접속된 제2 접촉부를 구비한다. 탄성부가, 제1 접촉부로부터 제2 방향을 따라 연장되어 탄성부의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부와, 제2 방향에 있어서 제1 맞닿음부와 제2 접촉부에 대한 동일한 측에 배치되고, 제2 접촉부로부터 제2 방향을 따라 연장되어 탄성부의 타단을 구성하는 제2 맞닿음부를 갖는다. 제1 맞닿음부 및 제2 맞닿음부의 각각이, 소켓에 수용된 상태에서 제1 방향에 있어서 소켓의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되어 있다.

Description

프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛
본 개시는, 프로브 핀, 검사 지그 및 검사 유닛에 관한 것이다.
카메라 혹은 액정 패널 등의 전자 부품 모듈에서는, 일반적으로, 그 제조 공정에 있어서, 도통 검사 및 동작 특성 검사 등이 행해진다. 이들 검사는, 프로브 핀을 사용하여, 전자 부품 모듈에 설치되어 있는 본체 기판에 접속하기 위한 단자와, 검사 장치의 단자를 접속함으로써 행해진다.
이와 같은 프로브 핀으로서는, 특허문헌 1에 기재된 것이 있다. 이 프로브 핀은, 전자 부품의 전극 단자 및 피접속 전자 부품의 전극 단자에 대하여 각각 접촉 가능한 한 쌍의 콘택트와, 한 쌍의 콘택트 사이에 개재하여 한 쌍의 콘택트를 접속하는 사행부를 구비하고 있다.
일본 특허 공개 제2002-134202호 공보
상기 프로브 핀에서는, 사행부의 신축 방향으로 직행하는 폭 방향의 중심으로 한 쌍의 콘택트를 각각 배치하여, 사행부를 신축시켰을 때에 각 콘택트가 폭 방향으로 쓰러지지 않도록 하고 있다. 이 때문에, 복수의 상기 프로브 핀을 폭 방향으로 배열하여 배치하면, 인접하는 각 콘택트의 배치 간격을 좁게 하는 것이 어려워지고, 예를 들어 협피치화된 전자 부품 모듈의 한 쌍의 단자에 대하여, 각 콘택트를 동시에 접촉시킨 상태로 할 수 없어, 전자 부품 모듈의 협피치화에 대응할 수 없는 경우가 있다.
본 개시는, 접촉 대상물의 협피치화에 대응 가능한 프로브 핀, 이 프로브 핀을 구비한 검사 지그, 및 이 검사 지그를 구비한 검사 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 일례의 프로브 핀은,
제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단이 접속된 제1 접촉부와,
상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단이 접속된 제2 접촉부
를 구비하고,
상기 탄성부가, 상기 제1 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
상기 탄성부가,
상기 제1 접촉부로부터 상기 제1 방향으로 교차하는 제2 방향을 따라 연장되어 상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부와,
상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 맞닿음부와 상기 제2 접촉부에 대한 동일한 측에 배치되고, 상기 제2 접촉부로부터 상기 제2 방향을 따라 연장되어 상기 탄성부의 상기 타단을 구성하는 제2 맞닿음부
를 갖고,
상기 제1 맞닿음부 및 상기 제2 맞닿음부의 각각이, 상기 소켓에 수용된 상태에서 상기 제1 방향에 있어서 상기 소켓의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되어 있다.
또한, 본 개시의 일례의 검사 지그는,
상기 프로브 핀과,
상기 프로브 핀을 수용 가능한 상기 소켓
을 구비하고,
상기 소켓에 상기 프로브 핀을 수용했을 때에, 상기 제1 맞닿음부 및 상기 제2 맞닿음부의 각각이, 상기 제1 방향에 있어서, 상기 소켓의 내면에 맞닿도록 구성되어 있다.
또한, 본 개시의 일례의 검사 유닛은,
상기 검사 지그를 적어도 하나 구비한다.
상기 프로브 핀에 의하면, 탄성부가, 제1 접촉부로부터 제2 방향을 따라 연장되어 탄성부의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부와, 제2 방향에 있어서 제1 맞닿음부와 제2 접촉부에 대한 동일한 측에 배치되고 제2 접촉부로부터 제2 방향을 따라 연장되어 탄성부의 타단을 구성하는 제2 맞닿음부를 갖는다. 제1 맞닿음부 및 제2 맞닿음부의 각각이, 소켓에 수용되었을 때에 제1 방향에 있어서 소켓의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부 및 제2 접촉부의 각각에 접점부를 각각 마련한 프로브 핀을 소켓에 복수 수용할 경우, 제2 방향으로 인접하는 프로브 핀의 접점부의 배치 간격을 작게 할 수 있다. 그 결과, 접촉 대상물의 협피치화에 대응 가능한 프로브 핀을 실현할 수 있다.
상기 검사 지그에 의하면, 상기 프로브 핀에 의해, 협피치화된 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그를 실현할 수 있다.
상기 검사 유닛에 의하면, 상기 검사 지그에 의해, 협피치화된 검사 대상물을 검사 가능한 검사 유닛을 실현할 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀을 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 프로브 핀을 구비한 검사 지그의 평면도.
도 3은 도 1의 프로브 핀의 제1 접점부에 대하여 외력을 가한 경우의 탄성부의 상태를 설명하기 위한 도면.
도 4는 도 1의 프로브 핀의 제2 접점부에 대하여 외력을 가한 경우의 탄성부의 상태를 설명하기 위한 도면.
도 5는 도 1의 프로브 핀의 변형예를 나타내는 사시도.
도 6은 도 5의 프로브 핀을 구비한 검사 지그의 평면도.
도 7은 도 5의 프로브 핀의 제1 접점부 및 제2 접점부에 대하여 외력을 가한 경우의 탄성부의 상태를 설명하기 위한 도면.
도 8은 도 5의 프로브 핀의 제2 접점부에 대하여 외력을 가한 경우의 탄성부의 상태를 설명하기 위한 도면.
이하, 본 개시의 일례를 첨부 도면에 따라서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 필요에 따라서 특정한 방향 혹은 위치를 나타내는 용어(예를 들어, 「상」, 「하」, 「우」, 「좌」를 포함하는 용어)를 사용하지만, 이들 용어의 사용은 도면을 참조한 본 개시의 이해를 용이하게 하기 위함이며, 이들 용어의 의미에 의해 본 개시의 기술적 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명은, 본질적으로 예시에 불과하며, 본 개시, 그 적용물, 혹은 그 용도를 제한함을 의도하는 것은 아니다. 또한, 도면은 모식적인 것이며, 각 치수의 비율 등은 현실의 것과 반드시 합치하지는 않는다.
본 개시의 일 실시 형태의 프로브 핀(10)은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 제1 방향 X로 가늘고 긴 박판형으로 도전성을 갖고 있다. 이 프로브 핀(10)은, 일례로서, 도 2에 도시한 바와 같이, 절연성의 소켓(100)에 수용된 상태에서 사용되며, 소켓(100)과 함께 검사 지그(2)를 구성한다. 검사 지그(2)에는, 일례로서, 복수의 프로브 핀(10)이 수용되어 있다.
또한, 도 2에 도시한 바와 같이, 검사 지그(2)는, 검사 유닛(1)의 일부를 구성하고 있다. 이 실시 형태에서는, 검사 유닛(1)은, 한 쌍의 검사 지그(2)를 갖고 있다. 각 검사 지그(2)는, 후술하는 프로브 핀(10)의 제1 접점부(321, 331) 및 제2 접점부(41)가, 소켓(100)으로부터 외부로 노출된 상태에서, 제1 방향 X로 교차(예를 들어, 직교)하는 제2 방향 Y로 인접하도록 배치되어 있다.
각 소켓(100)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 그 내부에 복수의 수용부(101)(도 2에는, 1개만 도시함)를 갖고 있다. 각 수용부(101)는, 슬릿형을 갖고, 각각 1개의 프로브 핀(10)을 전기적으로 독립적으로 수용 가능하며 또한 유지 가능하게 구성되어 있다. 또한, 각 수용부(101)는, 제1 방향 X 및 제2 방향 Y로 교차하는 방향(즉, 도 2의 지면 관통 방향)을 따라 일렬로 배열하고 또한 등간격으로 배치되어 있다.
또한, 각 소켓(100)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 프로브 핀(10)을 수용한 상태에서, 제1 방향 X의 내면과 프로브 핀(10)의 사이에 간극이 형성되도록 구성하는 경우에 한정되지는 않는다. 예를 들어, 각 소켓(100)은, 프로브 핀(10)이, 그 양단의 맞닿음부(201, 202)가 함께 소켓(100)의 내면에 접촉한 상태로 수용되도록 구성해도 된다.
각 프로브 핀(10)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와, 이 탄성부(20)의 제1 방향 X의 양단이 각각 접속된 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)를 구비하고 있다. 각 프로브 핀(10)은, 일례로서, 전주법으로 형성되며, 탄성부(20), 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)가, 제1 방향 X를 따라 직렬적으로 배치되고 또한 일체로 구성되어 있다.
탄성부(20)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 탄성부(20)의 제1 방향 X의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부(201)와, 탄성부(20)의 제1 방향 X의 타단을 구성하는 제2 맞닿음부(202)를 갖고 있다. 제1 맞닿음부(201)는, 제1 접촉부(30)로부터 제2 방향 Y로 연장되어 있다. 제2 맞닿음부(202)는, 제2 방향 Y에 있어서 제1 맞닿음부(201)와 제2 접촉부(40)에 대한 동일한 측에 배치되어, 제2 접촉부(40)로부터 제2 방향 Y를 따라 연장되어 있다. 제1 맞닿음부(201) 및 제2 맞닿음부(202)의 각각은, 소켓(100)에 수용된 상태에서, 제1 방향 X에 있어서 수용부(101)를 구성하는 소켓(100)의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되어 있다.
또한, 탄성부(20)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 일례로서, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 탄성편(이 실시 형태에서는, 2개의 띠형의 탄성편)(21, 22)으로 구성되어 있다. 각 탄성편(21, 22)은, 제2 방향 Y로 각각 연장된 복수의 연장부(24)와, 인접하는 연장부(24)에 각각 접속된 복수의 만곡부(25)로 구성된 사행 형상을 갖고 있다. 이 실시 형태에서는, 탄성부(20)는, 4개의 연장부(24)와, 3개의 만곡부(25)로 구성되어 있다.
각 연장부(24)는, 제1 방향 X에 있어서 서로 간극(27)을 두고 배치되어 있다. 제1 방향 X의 양단에 배치된 각 연장부(24)가, 제1 맞닿음부(201) 및 제2 맞닿음부(202)를 각각 구성하고 있다. 제1 맞닿음부(201)를 구성하는 연장부(24)는, 제2 방향 Y의 일단이 제1 접촉부(30)에 접속되고, 제2 방향 Y의 타단이 만곡부(25)에 접속되어 있다. 제2 맞닿음부(202)를 구성하는 연장부(24)는, 제2 방향 Y의 일단이 제2 접촉부(40)에 접속되고, 제2 방향 Y의 타단이 만곡부(25)에 접속되어 있다. 또한, 제2 맞닿음부(202)를 구성하는 연장부(24)의 일단은, 2개의 탄성편(21, 22)이 접속부(26)에 의해 접속되어 일체화된 상태에서, 제2 접촉부(40)에 접속되어 있다.
각 만곡부(25)는, 일례로서, 제1 접촉부(30)의 제2 방향 Y의 일단부(301)에 대하여, 제2 방향 Y의 일방측에 배치되어 있다.
제1 접촉부(30)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 일례로서, 탄성부(20)가 접속된 본체부(31)와, 이 본체부(31)로부터 제1 방향 X이며 또한 탄성부(20)로부터 이격되는 방향으로 연장되는 한 쌍의 다리부(32, 33)를 갖고 있다.
본체부(31)는, 제1 방향 X의 탄성부(20)측의 단부에 마련된 관통 구멍(311)을 갖고 있다. 이 관통 구멍(311)은, 탄성부(20)의 탄성편(21, 22) 사이의 간극(23)에 접속되어 있다.
각 다리부(32, 33)는, 제2 방향 Y로 간극(34)을 두고 배치되고 제2 방향 Y로 탄성 변형 가능하게 구성되어 있으며, 그 선단에 마련된 제1 접점부(321, 331)를 갖고 있다. 제1 접점부(321, 331)의 각각은, 접촉 대상물의 일례인 검사 대상물의 볼록 접점(50)에 제1 방향 X로부터 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 각 다리부(32, 33)는, 제2 방향 Y에 대향하는 측면에 마련된 돌기부(322, 332)를 갖고 있다. 각 돌기부(322, 332)는, 한 쌍의 다리부(32, 33) 사이의 간극(34)을 막도록 돌출되어 있으며, 볼록 접점(50)의 간극(34)에 대한 과잉 삽입을 방지하고 있다.
제2 접촉부(40)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 일례로서, 제1 방향 X로 연장되는 대략 직사각 형상을 갖고 있다. 제2 접촉부(40)의 제1 방향 X이며 또한 탄성부(20)로부터 먼 쪽의 선단은, 제1 방향 X이며 또한 탄성부(20)로부터 이격됨에 따라 끝이 가는 대략 삼각 형상을 갖고, 제2 접점부(41)를 구성하고 있다. 제2 접점부(41)는, 접촉 대상물의 일례인 검사 대상물의 단자(60)에 제1 방향 X로부터 접촉 가능하게 구성되어 있다. 또한, 제2 접촉부(40)의 제2 방향 Y에 있어서 대향하는 한 쌍의 측면 중 탄성부(20)가 접속되지 않은 측면(401)에는, 절결부(42)가 마련되어 있다. 이 절결부(42)는, 제2 접촉부(40)의 측면(401)에 있어서의 제1 방향 X의 탄성부(20)에 가까운 단부에 마련되어 있다.
도 3에, 제2 접촉부(40)의 제2 접점부(41)에 대하여, 소켓(100)의 내부를 향하는 X1 방향의 외력을 가한 경우의 탄성부(20)의 상태를 나타낸다. 도 3에 도시한 바와 같이, 제2 접점부(41)에 대하여 X1 방향의 외력이 가해지면, 탄성부(20)는, 인접하는 탄성편(21, 22)이 접촉하지 않고 탄성 변형한다. 또한, 탄성부(20)가, 제1 접촉부(30)의 제2 방향 Y의 일단부(301)(도 2 참조)에 대하여, 혹은 제2 접촉부(40)의 제2 방향 Y에 있어서 대향하는 한 쌍의 측면 중 탄성부(20)가 접속되지 않은 측면(401)(도 2 참조)에 대하여, 제2 방향 Y에 있어서의 일방측에 배치되어 있다. 이 때문에, 제2 접점부(41)는, X1 방향의 외력이 가해지면, 단자(60)의 표면에 접촉하면서, 제2 접촉부(40)의 측면(401)에 대한 제2 방향 Y에 있어서의 타방측(즉, 제2 방향 Y에 있어서, 제2 접촉부(40)의 제2 방향 Y의 측면(401)으로부터, 탄성부(20)가 배치되어 있는 측과는 반대측을 향하는 방향)으로 이동한다. 예를 들어, 단자(60)의 표면 위에 피막이 형성되었다고 해도, 제2 접점부(41)의 와이핑 동작에 의해, 이 피막을 제거할 수 있으므로, 피막의 형성에 의한 접촉 신뢰성 등에 대한 영향을 경감시킬 수 있다.
또한, 도 4에, X1 방향의 외력에 가하여, 제1 접촉부(30)의 제1 접점부(321, 331)에 대하여, 소켓(100)의 내부를 향하는 X2 방향의 외력을 가한 경우의 탄성부(20)의 상태를 나타낸다. 이 경우에 있어서도, 탄성부(20)는, 인접하는 탄성편(21, 22)이 접촉하지 않고 탄성 변형하고, 제2 접점부(41)에 의해, X1 방향의 외력만이 가해진 경우와 마찬가지의 와이핑 동작이 행해진다. 제1 접점부(321, 331)는, X2 방향의 외력에 의해, 소켓(100)의 내부를 향해 제1 방향 X를 따라 이동한다.
상기 프로브 핀(10)에 의하면, 탄성부(20)가, 제1 접촉부(30)로부터 제2 방향 Y를 따라 연장되어 탄성부(20)의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부(201)와, 제2 방향 Y에 있어서 제1 맞닿음부(201)와 제2 접촉부(40)에 대한 동일한 측에 배치되고 제2 접촉부(40)로부터 제2 방향 Y를 따라 연장되어 탄성부(20)의 타단을 구성하는 제2 맞닿음부(202)를 갖는다. 제1 맞닿음부(201) 및 제2 맞닿음부(202)의 각각이, 소켓(100)에 수용되었을 때에 제1 방향 X에 있어서 소켓(100)의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각에 제1 접점부(321, 331) 및 제2 접점부(41)를 각각 마련한 프로브 핀(10)을 소켓(100)에 복수 수용할 경우, 제2 방향 Y로 인접하는 프로브 핀(10)의 제1 접점부(321, 331) 및 제2 접점부(41)의 배치 간격을 작게 할 수 있다. 그 결과, 접촉 대상물(50, 60)의 협피치화에 대응 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
또한, 제1 접촉부(30)가, 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(20)로부터 먼 쪽의 단부에 마련되고, 접촉 대상물(50)에 대하여 제1 방향 X로부터 접촉 가능한 제1 접점부(321, 331)를 갖고, 제2 접촉부(40)가, 제1 방향 X에 있어서의 탄성부(20)로부터 먼 쪽의 단부에 마련되고, 접촉 대상물(60)에 대하여 제1 방향 X로부터 접촉 가능한 제2 접점부(41)를 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 예를 들어 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각에 접점부(321, 331, 41)를 각각 마련한 프로브 핀(10)을 소켓(100)에 복수 수용할 경우, 제2 방향 Y로 인접하는 프로브 핀(10)의 접점부(321, 331, 41)의 배치 간격을 보다 확실하게 작게 할 수 있다.
또한, 탄성부(20)가, 제2 방향 Y를 따라 각각 연장됨과 함께, 제1 방향 X로 서로 간극(27)을 두고 각각 배치된 복수의 연장부(24)와, 인접하는 연장부(24)에 접속된 만곡부(25)를 갖는다. 제1 방향 X의 양단에 배치된 연장부(24)의 각각이, 제1 맞닿음부(201) 및 제2 맞닿음부(202)를 각각 구성한다. 만곡부(25)가, 제1 접촉부(30)의 제2 방향 Y의 일단부에 대하여, 제2 방향 Y의 일방측에 배치되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 접촉 대상물(50, 60)의 협피치화에 대응 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.
또한, 탄성부(20)가, 서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 탄성편(21, 22)을 갖고 있다. 이와 같은 구성에 의해, 탄성부(20)를 보다 원활하게 탄성 변형시켜서, 탄성부(20)의 내구성을 향상시킬 수 있다.
상기 프로브 핀(10)에 의해, 협피치화된 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다. 또한, 상기 프로브 핀(10)을 구비한 검사 지그(2)에 의해, 협피치화된 검사 대상물을 검사 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.
또한, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각은, 탄성부(20)의 제1 방향 X의 양단이 각각 접속 가능하면, 임의의 형상 및 구성을 채용할 수 있다. 예를 들어, 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각에 제2 방향 Y로부터 접촉 대상물에 접촉 가능한 접점부를 마련해도 된다. 또한, 예를 들어 제1 접촉부(30)에 제2 접점부(41)와 동일한 구성의 접점부를 마련해도 되고, 제2 접촉부(40)에 복수의 접점부를 마련해도 된다.
탄성부(20)는, 제1 맞닿음부(201) 및 제2 맞닿음부(202)를 갖고 있으면, 임의의 형상 및 구성을 채용할 수 있다. 예를 들어, 탄성부(20)는, 사행 형상 이외의 형상이어도 되고, 1개의 탄성편으로 구성되어 있어도 된다.
또한, 탄성부(20)는, 적어도 2개의 연장부(24)와, 적어도 하나의 만곡부(25)를 갖고 있으면 된다. 또한, 예를 들어 탄성부(20)는, 도 5 내지 도 8에 도시한 바와 같이, 도 1의 프로브 핀(10)보다도 많은 수의 연장부(24) 및 만곡부(25)를 가질 수도 있다. 도 5 내지 도 8의 프로브 핀(10)에서는, 탄성부(20)는, 그 제1 방향 X의 중간의 연장부(24)에 마련되고, 한 쌍의 탄성편(21, 22)을 접속하는 리브(28)를 갖고 있다. 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 이 리브(28)에 의해, 제1 접점부(321, 331) 및 제2 접점부(41) 중 어느 것에 대하여 외력이 가해졌다고 해도, 탄성부(20)가 인접하는 탄성편(21, 22)은, 접촉하지 않고 탄성 변형한다. 또한, 도 7에서는, 제1 접점부(321, 331) 및 제2 접점부(41)의 각각에 대하여, X1 방향 및 X2 방향의 외력을 가한 경우의 탄성부(20)의 상태를 나타내고 있다.
이상, 도면을 참조하여 본 개시에 있어서의 다양한 실시 형태를 상세히 설명하였지만, 마지막으로, 본 개시의 다양한 형태에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 일례로서, 참조 부호도 붙여 기재한다.
본 개시의 제1 양태의 프로브 핀(10)은,
제1 방향 X를 따라 탄성 변형 가능한 탄성부(20)와,
상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 일단이 접속된 제1 접촉부(30)와,
상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향 X의 타단이 접속된 제2 접촉부(40)
를 구비하고,
상기 탄성부(20)가, 상기 제1 방향 X로 신축 가능한 상태로 소켓(100)에 수용 가능한 프로브 핀(10)이며,
상기 탄성부(20)가,
상기 제1 접촉부(30)로부터 상기 제1 방향 X로 교차하는 제2 방향 Y를 따라 연장되어 상기 탄성부(20)의 상기 제1 방향의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부(201)와,
상기 제2 방향 Y에 있어서 상기 제1 맞닿음부(201)와 상기 제2 접촉부(40)에 대한 동일한 측에 배치되고, 상기 제2 접촉부(40)로부터 상기 제2 방향 Y를 따라 연장되어 상기 탄성부(20)의 상기 타단을 구성하는 제2 맞닿음부(202)
를 갖고,
상기 제1 맞닿음부(201) 및 상기 제2 맞닿음부(202)의 각각이, 상기 소켓(100)에 수용된 상태에서 상기 제1 방향 X에 있어서 상기 소켓(100)의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되어 있다.
제1 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 예를 들어 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각에 접점부(321, 331, 41)를 각각 마련한 프로브 핀(10)을 소켓(100)에 복수 수용할 경우, 제2 방향 Y로 인접하는 프로브 핀(10)의 접점부(321, 331, 41)의 배치 간격을 작게 할 수 있다. 그 결과, 접촉 대상물(50, 60)의 협피치화에 대응 가능한 프로브 핀(10)을 실현할 수 있다.
본 개시의 제2 양태의 프로브 핀(10)은,
상기 제1 접촉부(30)가, 상기 제1 방향 X에 있어서의 상기 탄성부(20)로부터 먼 쪽의 단부에 마련되고, 접촉 대상물(50)에 대하여 상기 제1 방향 X로부터 접촉 가능한 제1 접점부(321, 331)를 갖고,
상기 제2 접촉부(40)가, 상기 제1 방향 X에 있어서의 상기 탄성부(20)로부터 먼 쪽의 단부에 마련되고, 접촉 대상물(60)에 대하여 상기 제1 방향 X로부터 접촉 가능한 제2 접점부(41)를 갖는다.
제2 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 예를 들어 제1 접촉부(30) 및 제2 접촉부(40)의 각각에 접점부(321, 331, 41)를 각각 마련한 프로브 핀(10)을 소켓(100)에 복수 수용할 경우, 제2 방향 Y로 인접하는 프로브 핀(10)의 접점부(321, 331, 41)의 배치 간격을 보다 확실하게 작게 할 수 있다.
본 개시의 제3 양태의 프로브 핀(10)은,
상기 탄성부(20)가, 상기 제1 접촉부(30)의 상기 제2 방향 Y의 일단부(301)에 대하여, 상기 제2 방향 Y의 일방측에 배치되어 있으며,
상기 제1 접점부(321, 331) 또는 상기 제2 접점부(41) 중 적어도 어느 것이, 상기 제1 방향 X이며 또한 상기 제1 접점부(321, 331) 및 상기 제2 접점부(41)가 서로 접근하는 방향 X1, X2의 외력을 가했을 때에, 상기 제2 방향 Y의 타방측을 향해 이동 가능하게 구성되어 있다.
제3 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 예를 들어 제2 접점부(41)에 대하여, 제1 방향 X로부터 접촉 대상물(60)을 접촉시켜서, 제1 접점부(321, 331) 및 제2 접점부(41)가 서로 접근하는 X1 방향의 외력을 가하는 것으로 한다. 이 경우, 제2 접점부(41)는, 단자(60)의 표면에 접촉하면서, 제2 접촉부(40)의 제2 방향 Y의 측면(401)에 대한 제2 방향 Y에 있어서의 타방측으로 이동한다. 이 와이핑 동작에 의해, 예를 들어 단자(60)의 표면 위에 피막이 형성되었다고 해도, 이 피막을 제거할 수 있으므로, 피막의 형성에 의한 접촉 신뢰성 등에 대한 영향을 경감시킬 수 있다.
본 개시의 제4 양태의 프로브 핀(10)은,
상기 탄성부(20)가,
상기 제2 방향 Y를 따라 각각 연장됨과 함께, 상기 제1 방향 X로 서로 간극(27)을 두고 각각 배치된 복수의 연장부(24)와,
인접하는 상기 연장부(24)에 접속된 만곡부(25)
를 갖고,
상기 제1 방향 X의 양단에 배치된 상기 연장부(24)의 각각이, 상기 제1 맞닿음부(201) 및 상기 제2 맞닿음부(202)를 각각 구성하고,
상기 만곡부(25)가, 상기 제1 접촉부(30)의 상기 제2 방향 Y의 일단부(301)에 대하여, 상기 제2 방향 Y의 일방측에 배치되어 있다.
제4 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 접촉 대상물(50, 60)의 협피치화에 대응 가능한 프로브 핀(10)을 용이하게 실현할 수 있다.
본 개시의 제5 양태의 프로브 핀(10)은,
상기 탄성부(20)가,
서로 간극(23)을 두고 배치된 복수의 탄성편(21, 22)을 갖고 있다.
제5 양태의 프로브 핀(10)에 따르면, 탄성부(20)를 보다 원활하게 탄성 변형시켜서, 탄성부(20)의 내구성을 향상시킬 수 있다.
본 개시의 제6 양태의 검사 지그(2)는,
상기 양태의 프로브 핀(10)과,
상기 프로브 핀(10)을 수용 가능한 상기 소켓(100)
을 구비하고,
상기 소켓(100)에 상기 프로브 핀(10)을 수용했을 때에, 상기 제1 맞닿음부(201) 및 상기 제2 맞닿음부(202)의 각각이, 상기 제1 방향 X에 있어서, 상기 소켓(100)의 내면에 맞닿도록 구성되어 있다.
제6 양태의 검사 지그(2)에 따르면, 상기 프로브 핀(10)에 의해, 협피치화된 검사 대상물을 검사 가능한 검사 지그(2)를 실현할 수 있다.
본 개시의 제7 양태의 검사 유닛(1)은,
상기 검사 지그(2)를 적어도 하나 구비한다.
제7 양태의 검사 유닛(1)에 따르면, 상기 검사 지그(2)에 의해, 협피치화된 검사 대상물을 검사 가능한 검사 유닛(1)을 실현할 수 있다.
또한, 상기 다양한 실시 형태 또는 변형예 중 임의의 실시 형태 또는 변형예를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 발휘하게 할 수 있다. 또한, 실시 형태끼리의 조합 또는 실시예끼리의 조합 또는 실시 형태와 실시예의 조합이 가능함과 함께, 다른 실시 형태 또는 실시예 중의 특징끼리의 조합도 가능하다.
본 개시는, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시 형태에 관련하여 충분히 기재되어 있지만, 이 기술의 숙련된 사람들에게 있어서는 다양한 변형이나 수정은 명백하다. 그와 같은 변형이나 수정은, 첨부한 청구범위에 의한 본 개시의 범위로부터 벗어나지 않는 한, 그 안에 포함된다고 이해되어야 한다.
본 개시의 프로브 핀은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI(등록상표) 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 지그에 적용할 수 있다.
본 개시의 검사 지그는, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI(등록상표) 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용하는 검사 유닛에 적용할 수 있다.
본 개시의 검사 유닛은, 예를 들어 카메라 디바이스, USB 디바이스, HDMI(등록상표) 디바이스, 혹은 QFN 디바이스 및 SON 디바이스 등의 반도체의 검사에 사용할 수 있다.
1: 검사 유닛
2: 검사 지그
10: 프로브 핀
20: 탄성부
201: 제1 맞닿음부
202: 제2 맞닿음부
21, 22: 탄성편
23: 간극
24: 연장부
25: 만곡부
26: 접속부
27: 간극
28: 리브
30: 제1 접촉부
301: 일단부
31: 본체부
311: 관통 구멍
32, 33: 다리부
321, 331: 제1 접점부
322, 332: 돌기부
34: 간극
40: 제2 접촉부
401: 측면
41: 제2 접점부
42: 절결부
50: 볼록 접점
60: 단자
100: 소켓
101: 수용부

Claims (7)

  1. 제1 방향을 따라 탄성 변형 가능한 탄성부와,
    상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단이 접속된 제1 접촉부와,
    상기 탄성부의 상기 제1 방향의 타단이 접속된 제2 접촉부
    를 구비하고,
    상기 탄성부가, 상기 제1 방향으로 신축 가능한 상태로 소켓에 수용 가능한 프로브 핀이며,
    상기 탄성부가,
    상기 제1 접촉부로부터 상기 제1 방향으로 교차하는 제2 방향을 따라 연장되어 상기 탄성부의 상기 제1 방향의 일단을 구성하는 제1 맞닿음부와,
    상기 제2 방향에 있어서 상기 제1 맞닿음부와 상기 제2 접촉부에 대한 동일한 측에 배치되고, 상기 제2 접촉부로부터 상기 제2 방향을 따라 연장되어 상기 탄성부의 상기 타단을 구성하는 제2 맞닿음부
    를 갖고,
    상기 제1 맞닿음부 및 상기 제2 맞닿음부의 각각이, 상기 소켓에 수용된 상태에서 상기 제1 방향에 있어서 상기 소켓의 내부에 맞닿음 가능하게 구성되고,
    상기 탄성부가,
    서로 간극을 두고 배치된 복수의 탄성편으로 구성되어 있고,
    상기 프로브 핀이 상기 소켓에 수용되고 상기 제1 맞닿음부가 상기 소켓의 내부에 접촉한 상태에서 상기 제2 접촉부로부터 상기 소켓의 내부를 향하는 방향으로 외력을 가했을 경우, 또는 상기 프로브 핀이 상기 소켓에 수용되고 상기 제2 맞닿음부가 상기 소켓의 내부에 접촉한 상태에서 상기 제1 접촉부로부터 상기 소켓의 내부를 향하는 방향으로 외력을 가했을 경우에, 인접하는 상기 탄성편이 접촉하지 않고 탄성 변형되도록 구성되어 있는, 프로브 핀.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 접촉부는 상기 제2 방향에 있어서 대향하는 한 쌍의 측면을 가지며, 상기 한 쌍의 측면의 한쪽에 상기 탄성부의 상기 타단이 접속되어 있고,
    상기 탄성부가 상기 제1 접촉부의 상기 제2 방향의 일단에 대하여 또는 상기 제2 접촉부의 상기 한 쌍의 측면 중 상기 탄성부가 접속되지 않은 측면에 대하여 상기 제2 방향에 있어서의 일방측에 배치되는, 프로브 핀.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 접촉부가, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 탄성부로부터 먼 쪽의 단부에 마련되고, 접촉 대상물에 대하여 상기 제1 방향으로부터 접촉 가능한 제1 접점부를 갖고,
    상기 제2 접촉부가, 상기 제1 방향에 있어서의 상기 탄성부로부터 먼 쪽의 단부에 마련되고, 접촉 대상물에 대하여 상기 제1 방향으로부터 접촉 가능한 제2 접점부를 갖는, 프로브 핀.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 탄성부가, 상기 제1 접촉부의 상기 제2 방향의 일단에 대하여, 상기 제2 방향의 일방측에 배치되어 있으며,
    상기 제1 접점부 또는 상기 제2 접점부 중 적어도 어느 것이, 상기 제1 방향 이며 또한 상기 제1 접점부 및 상기 제2 접점부가 서로 접근하는 방향의 외력을 가했을 때에, 상기 제2 방향의 타방측을 향해 이동 가능하게 구성되어 있는, 프로브 핀.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성부가,
    상기 제2 방향을 따라 각각 연장됨과 함께, 상기 제1 방향으로 서로 간극을 두고 각각 배치된 복수의 연장부와,
    인접하는 상기 연장부에 접속된 만곡부
    를 갖고,
    상기 제1 방향의 양단에 배치된 상기 연장부의 각각이, 상기 제1 맞닿음부 및 상기 제2 맞닿음부를 각각 구성하고,
    상기 만곡부가, 상기 제1 접촉부의 상기 제2 방향의 일단에 대하여, 상기 제2 방향의 일방측에 배치되어 있는, 프로브 핀.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 프로브 핀과,
    상기 프로브 핀을 수용 가능한 상기 소켓
    을 구비하고,
    상기 소켓에 상기 프로브 핀을 수용했을 때에, 상기 제1 맞닿음부 및 상기 제2 맞닿음부의 각각이, 상기 제1 방향에 있어서, 상기 소켓의 내면에 맞닿도록 구성되어 있는, 검사 지그.
  7. 제6항의 검사 지그를 적어도 하나 구비하는, 검사 유닛.
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