KR102646001B1 - 합착 장치 - Google Patents

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Abstract

일 실시예의 합착 장치는 제1 부재가 안착된 제1 지그, 제2 지그, 및 가압 부재를 포함한다. 또한, 제2 지그는 제2 부재를 지지하고 개구부가 정의된 지지 기판, 지지 기판을 이동시키는 지그 구동부, 지지 기판과 지그 구동부를 연결하는 지그 고정축, 및 개구부에 삽입되어 상기 개구부 내에서 이동하는 적어도 하나의 흡착 패드 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드를 제어하는 패드 제어부를 포함하는 흡착 부재를 포함하고, 가압 부재는 가압 롤러, 가압 롤러를 이동시키는 가압 구동부, 및 가압 롤러와 가압 구동부 사이를 연결하는 롤러 고정축을 포함하는 가압 부재를 포함하여, 합착 공정 진행 중 합착 부재를 용이하게 고정하고 합착 부재들에 균일한 압력을 제공하여 합착 품질을 개선할 수 있다.

Description

합착 장치{LAMINATION APPARATUS}
본 발명은 합착 장치에 대한 발명으로, 보다 상세하게는 다양한 형상을 갖는 합착 부재들의 합착 품질을 개선하기 위한 가압 부재와 지그를 포함하는 합착 장치에 관한 것이다.
텔레비전, 휴대 전화, 태블릿 컴퓨터, 네비게이션, 게임기, 차량에 탑재된 디스플레이 등과 같이 멀티 미디어 장치에 사용되는 다양한 표시 장치들이 개발되고 있다. 특히 최근에는 휘어지고 접히는 등 형상이 다양하게 변형될 수 있는 특징을 가진 플렉서블 표시 장치, 또는 복수 개의 곡면을 갖는 등의 정형화되지 않은 자유 형상의 표시 장치에 대한 개발이 진행되고 있다.
이러한 표시 장치의 다양한 형상으로 인하여 종래의 합착 장치를 이용하여 윈도우 부재와 표시 패널, 또는 윈도우 부재와 입력 감지 유닛 등을 서로 합착할 때 합착되는 부재들에 압력이 균일하게 전달되지 않아 합착 품질이 저하되는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명은 합착 부재의 형상에 관계 없이 사용될 수 있고, 개선된 합착 품질을 얻기 위하여 합착 부재의 표면에 일정 압력을 가하는 가압 부재, 및 합착 공정 진행 중에 합착 부재를 고정하는 흡착 부재를 포함하는 합착 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
일 실시예는 제1 지그, 제2 지그, 및 가압 부재를 포함하는 합착 장치를 제공한다. 일 실시예의 합착 장치의 상기 제2 지그는 제2 부재를 지지하고 개구부가 정의된 지지 기판, 상기 지지 기판을 이동시키는 지그 구동부, 상기 지지 기판과 상기 지그 구동부를 연결하는 지그 고정축, 및 상기 개구부에 삽입되어 상기 개구부 내에서 이동하는 적어도 하나의 흡착 패드 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드를 제어하는 패드 제어부를 포함하는 흡착 부재를 포함하고, 상기 가압 부재는 가압 롤러, 상기 가압 롤러를 이동시키는 가압 구동부, 및 상기 가압 롤러와 상기 가압 구동부 사이를 연결하는 롤러 고정축을 포함할 수 있다.
상기 가압 부재 및 상기 제2 지그는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 합착 진행 방향인 제1 방향으로 이동할 수 있다.
상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동할 수 있다.
상기 흡착 부재는 상기 지지 기판의 하부면에 배치되고, 상기 지지 기판과 마주하는 일면에 제공된 홈을 갖는 패드 지지부를 더 포함하고, 상기 패드 제어부는 상기 홈에 안착되어 이동할 수 있다.
상기 패드 제어부는 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 진공 상태를 제어하는 진공 제어부, 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함할 수 있다.
상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제2 부재의 일단을 진공 흡입하여 고정할 수 있다.
상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 타측 방향으로 연장되고, 상기 지지 기판의 두께 방향으로 관통하는 것일 수 있다. 상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 오픈될 수 있다.
상기 지그 고정축은 상기 지지 기판의 일단에 인접하여 배치된 제1 지그 고정축 및 상기 지지 기판의 타단에 인접하여 배치된 제2 지그 고정축을 포함하고, 상기 제1 지그 고정축 및 상기 제2 지그 고정축 각각은 상기 지지 기판에 연결된 제1 서브 지그축; 및 상기 제1 서브 지그축과 상기 지그 구동부 사이에 배치되고, 길이가 가변되는 제2 서브 지그축; 을 포함할 수 있다.
상기 제1 지그 고정축과 상기 제2 지그 고정축의 길이는 상이할 수 있다.
상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면을 추종하며 상기 제1 방향으로 이동할 수 있다.
상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면에 일정한 압력을 가하며 이동할 수 있다.
상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제1 접점을 지나는 제1 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제1 압력이고, 상기 제1 접점과 상이하며, 상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제2 접점을 지나는 제2 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제2 압력일 때, 상기 제1 압력과 상기 제2 압력은 동일할 수 있다.
상기 가압 구동부는 상기 롤러 고정축에 연결되어 상기 롤러 고정축을 회전 시키는 회전 모터; 및 상기 가압 롤러를 상기 제1 방향으로 이동시키는 이동 모터; 를 포함할 수 있다.
상기 제1 지지면은 적어도 하나의 곡면부를 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나의 곡면부는 상기 제2 지그 방향으로 볼록한 볼록부; 및 상기 제2 지그 방향과 반대 방향으로 오목한 오목부; 를 포함할 수 있다.
상기 제1 지지면은 상기 적어도 하나의 곡면부와 연결된 평면부를 더 포함하고, 상기 적어도 하나의 곡면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도와 상기 평면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상이할 수 있다.
상기 제1 부재는 서로 다른 두께를 갖는 제1 서브 부재 및 제2 서브 부재를 포함하고, 상기 제1 서브 부재와 상기 제2 서브 부재 사이의 단차 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상기 제1 서브 부재에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도보다 느릴 수 있다.
상기 제1 지그는 상기 제1 지지면에 부착된 압력 감지 시트를 더 포함할 수 있다.
상기 합착 장치는 표면처리 부재를 더 포함하고, 상기 표면처리 부재는 상기 제1 지지면과 마주하는 표면처리부 및 상기 표면처리부를 상기 제1 지그에 연결하여 이동시키는 표면처리 구동부를 포함하고, 상기 표면처리 구동부는 상기 제1 지그에 제공된 레일에 탑재되어 이동될 수 있다.
일 실시예의 합착 장치는 흡착 패드를 지그에 배치하여 합착 공정을 진행하는 동안 합착 부재의 일단을 고정할 수 있어 합착 품질을 개선할 수 있다.
일 실시예의 합착 장치는 합착 부재에 일정한 압력을 가할 수 있는 가압 부재를 포함하여 합착 품질을 개선할 수 있다.
일 실시예의 합착 장치는 합착 부재를 고정하는 흡착 패드와 일정 압력을 제공하는 가압 부재를 포함하여 합착 부재의 형상에 관계 없이 개선된 합착 품질을 얻을 수 있다.
도 1은 일 실시예의 합착 장치의 측면도이다.
도 2는 일 실시예의 합착 장치에 포함된 제1 지그의 사시도이다.
도 3a 내지 도 3b는 제1 지그의 실시예들에 대한 단면도이다.
도 4는 일 실시에의 합착 장치에 포함된 제2 지그의 사시도이다.
도 5a는 도 4의 I-I' 영역을 절단한 단면도이다.
도 5b는 도 4의 II-II`영역을 절단한 단면도이다.
도 6a는 도 4의 I-I' 영역을 절단한 단면도이다.
도 6b는 도 4의 II-II`영역을 절단한 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 각각 합착 진행 정도에 따른 일 실시예의 합착 장치의 구조를 나타낸 측면도이다.
도 8a 및 도 8b는 각각 일 실시예의 합착 장치에 포함된 일 실시예의 가압 부재를 나타낸 사시도이다.
도 9 및 도 10은 각각 합착 진행 정도에 따른 일 실시예의 합착 장치의 구조를 나타낸 측면도이다.
도 11a 및 도 11b는 가압 부재의 이동 위치와 가압 부재의 이동 속도의 관계를 상대적으로 나타낸 도면이다.
도 12a 내지 도 12b는 일 실시예의 합착 장치를 나타낸 도면이다.
도 13은 일 실시예의 합착 장치를 나타낸 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "하에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, 본 출원에서 "상에" 배치된다고 하는 것은 상부뿐 아니라 하부에 배치되는 경우도 포함하는 것일 수 있다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 일 실시예의 합착 장치(100A)의 사시도이다. 일 실시예의 합착 장치(100A)는 제1 부재(PN1)를 지지하는 제1 지그(JG1), 제2 부재(PN2)를 지지하는 제2 지그(JG2), 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)를 서로 합착시키는 가압 부재(RU)를 포함할 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치(100A)는 제2 지그(JG2)와 가압 부재(RU)를 지지하는 지지테이블(ST)을 더 포함하는 것일 수 있다.
제1 지그(JG1)는 제1 부재(PN1)가 안착된 제1 지지면(JG-B)을 포함하는 것일 수 있다. 제1 지지면(JG-B)에서 제1 부재(PN1)가 고정될 수 있다. 즉, 제1 부재(PN1)는 제2 지그(JG2)와 마주하는 제1 지그(JG1)의 하부면인 제1 지지면(JG-B)에 안착되어 고정될 수 있다. 따라서, 제1 지그(JG1)와 마주하고 제2 지그(JG2)와 제1 방향(DR1)으로 인접한 가압 부재(RU)는 제1 부재(PN1)의 하부면에 압력을 제공하는 것일 수 있다. 제1 부재(PN1)의 하부면은 제2 부재(PN2)와 마주하는 면일 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았으나, 제1 지지면(JG-B)에는 합착 공정 동안 제1 부재(PN1)를 고정하는 적어도 하나의 진공 흡입구(미도시)를 포함할 수 있다. 복수 개의 진공 흡입구들(미도시)로 공기를 흡입하여 제1 부재(PN1)를 제1 지그(JG1)에 안착시킬 수 있다.
일 실시예에서, 제1 지지면(JG-B)의 형상은 제공되는 제1 부재(PN1)의 형상에 대응하는 형상으로 제공될 수 있다. 제1 지그(JG1)는 합착 공정에 사용되는 합착 부재인 제1 부재(PN1)가 안착되어 합착 공정이 진행되는 동안 균일한 압력이 전달될 수 있도록 하기 위하여 제1 부재(PN1)의 형상에 대응하는 형상으로 가공되어 제공되거나, 또는 최종 제품에서 요구되는 형상에 대응하는 형상으로 제공될 수 있다.
예를 들어, 일 실시예의 합착 장치(100A)를 이용하여 제조된 표시 장치가 다중 곡면을 갖는 것일 경우 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 목적으로 하는 표시 장치의 다중 곡면 형상에 대응하는 형상을 갖는 것으로 제공될 수 있다.
도 2는 일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 제1 지그(JG1)의 일 실시예를 나타낸 사시도이다. 도 3a 내지 도 3b는 다양한 형상을 갖는 제1 지그(JG1)의 실시예들을 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 합착 장치(100A)에서 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)이 상부(제4 방향(DR4))로 향하도록 도시한 것이다. 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 적어도 하나의 곡면부를 포함하는 것일 수 있다. 도 2의 도시를 참조하면, 제1 지지면(JG-B)은 제1 곡면부(CS1) 및 제2 곡면부(CS2)를 포함하는 것일 수 있다. 제1 곡면부(CS1)의 곡률 반경은 제2 곡면부(CS2)의 곡률 반경과 상이한 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 곡면부(CS1)의 곡률 반경과 제2 곡면부(CS2)의 곡률 반경은 서로 동일한 것일 수 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 곡면부(CS1)는 제2 지그(JG2) 방향으로 볼록한 볼록부이고, 제2 곡면부(CS2)는 제2 지그(JG2) 방향과 반대 방향으로 오목한 오목부일 수 있다. 즉, 제1 곡면부(CS1)는 제4 방향(DR4)으로 볼록한 곡면이고, 제2 곡면부(CS2)는 제3 방향(DR3)으로 오목한 곡면일 수 있다.
제1 지그(JG1)는 제1 곡면부(CS1), 제2 곡면부(CS2), 및 제1 곡면부(CS1)와 제2 곡면부(CS2) 사이에 배치되어 제1 곡면부(CS1)와 제2 곡면부(CS2)를 연결하는 평면부(FS)를 포함하는 것일 수 있다. 즉, 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 복수 개의 곡면부를 갖는 것일 수 있다.
도 3a 내지 도 3b는 제1 지그(JG1)의 다른 실시예들을 나타낸 단면도이다. 도 3a 내지 도 3b는 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)이 정의하는 평면과 평행한 면에서의 제1 지그(JG1)의 단면을 나타낸 것이다. 도 3a에서는 복수 개의 곡면부를 포함하는 제1 지그(JG1)의 일 실시예를 나타내고 있으며, 도 3b는 평면부와 곡면부를 모두 포함하는 제1 지그(JG1)의 일 실시예를 나타내고 있다.
다만, 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)의 형상은 도 2 및 도 3a 내지 도 3b에 도시된 것에 한정되지 않는다. 제1 지지면(JG-B)의 형상은 안착되는 제1 부재(PN1)의 형상에 따라 다양하게 제공될 수 있다.
도 3a에서 제1 지그(JG1)는 제3 방향(DR3)으로 오목한 오목부인 곡면부들(B1, B2)과 이와 반대 방향(도 3a의 제4 방향(DR4))으로 볼록한 볼록부인 곡면부(B3)를 포함하는 제1 지지면(JG-B)을 갖는 것일 수 있다. 곡면부들(B1, B2, B3)은 서로 다른 곡률 반경을 갖거나 또는 적어도 두 개의 곡면부들은 동일한 곡률 반경을 갖는 것일 수 있다. 도 3a에서 도시된 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)이 복수 개의 곡면부들로 이루어진 경우를 나타낸 것이다. 하지만, 실시예는 도 3a에 도시된 것에 한정되지 않으며, 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)이 4개 이상의 다중 곡면을 갖는 것일 수 있다.
도 3b에서 제1 지그(JG1)는 복수 개의 평면부들(B1, B2)과 하나의 곡면부(B3)를 포함하는 제1 지지면(JG-B)을 갖는 것일 수 있다. 도 3b의 실시예에서 곡면부(B3)는 평면부들(B1, B2) 사이에 배치되는 것일 수 있다. 도 3b는 제1 지지면(JG-B)이 복수 개의 평면부(B1, B2)와 이들 사이를 연결하는 곡면부(B3)로 이루어진 경우를 나타낸 것이나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)이 하나의 곡면부와 하나의 평면부를 포함하는 것이거나, 또는 복수 개의 곡면부들과 복수 개의 평면부들을 포함하는 것일 수 있다.
즉, 일 실시예에서 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)은 평면부이거나, 또는 적어도 하나의 곡면부를 갖는 것일 수 있다. 또한, 제1 지지면(JG-B)은 적어도 하나의 곡면부와 적어도 하나의 평면부를 모두 포함하는 것일 수 있다. 따라서, 제1 지지면(JG-B)은 합착 부재들의 형상에 대응하도록 다양한 형상으로 제공될 수 있어, 일 실시예의 합착 장치는 다양한 종류의 표시 장치의 제조에 사용될 수 있다.
도 4는 도 1에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 제2 지그(JG2)의 사시도이다. 도 5a 와 도 6a는 도 4의 I-I'에 대응하는 단면을 나타낸 것이고, 도 5b 및 도 6b는 도 4의 II-II'에 대응하는 단면을 나타낸 것이다. 도 5a 내지 도 5b는 후술하는 흡착 부재(AU)가 패드 지지부를 포함하지 않는 경우를 도시한 것이며, 도 6a 내지 도 6b는 흡착 부재(AU)가 패드 지지부를 더 포함하는 경우의 일 실시예를 도시한 것이다.
도 1, 도 4, 도 5a 내지 도 5b를 참조하면, 제2 지그(JG2)는 합착 공정이 진행되는 동안 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)와 마주하도록 지지하며 가이드할 수 있다.
제2 지그(JG2)는 제2 부재(PN2)를 지지하는 지지 기판(BS), 지지 기판(BS)을 이동시키는 지그 구동부(JM), 지지 기판(BS)과 지그 구동부(JM)를 연결하는 지그 고정축(JX), 및 흡착 부재(AU)를 포함하는 것일 수 있다.
제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)에는 개구부(OH)가 정의되어 있는 것일 수 있다. 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에서 타측면(BS-S2) 방향으로 연장되어 형성된 것일 수 있다.
도 4를 참조하면, 일 실시예에서 지지 기판(BS)에는 복수 개의 개구부(OH)가 정의될 수 있다. 개구부들(OH)은 제1 방향(DR1)으로 연장되고, 제2 방향(DR2)으로 서로 이격되며, 제3 방향(DR3)으로 관통된 것일 수 있다. 이때, 제3 방향(DR3)은 지지 기판(BS)의 두께 방향을 나타낸다.
또한, 도 4, 도 5a, 및 도 6a를 참조하면 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에서 오픈된 것일 수 있다. 일 실시예에서 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 두께 방향인 제3 방향(DR3)으로 관통된 것이고, 개구부(OH)를 정의하는 측면들 중 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에 나란한 측면(OP)이 생략된 것일 수 있다. 즉, 일 실시예에서 개구부(OH)는 세 개의 측면으로 정의되는 것일 수 있다. 일 실시예에서 개구부(OH)는 세 개의 내측면을 포함하는 것일 수 있다. 일 실시예에서 개구부(OH)는 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 평면상에서 볼 때 단일폐곡선 형상이 아닐 수 있다.
일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 제2 지그(JG2)는 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)에서 오픈된 개구부(OH)를 포함하여, 이후 설명하는 흡착 패드(AP)가 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)까지 이동하도록 하여 합착 공정의 최종 단계까지 제2 부재(PN2)의 일단을 용이하게 고정할 수 있다.
한편, 개구부(OH)의 형상이 도 4에 도시된 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 개구부(OH)는 도 4에 도시된 것과 달리 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1)과 나란한 측면이 생략되지 않는 것일 수 있다. 즉, 개구부(OH)는 네 개의 측면으로 정의되는 것일 수 있다. 이때, 개구부(OH)는 평면상에서 볼 때 단일폐곡선 형상일 수 있다. 여기서, 개구부(OH)를 정의하는 측면은 지지 기판(BS)의 내측면에 해당한다. 또한, 이와 달리 개구부(OH)는 지지 기판(BS)의 타측면(BS-S2)과 나란한 측면도 생략된 것일 수 있다. 이 경우 개구부(OH)는 제1 방향(DR1)을 연장된 스트라이프 형상이며, 제1 방향(DR1)으로의 길이가 지지 기판(BS)의 제1 방향(DR1)으로의 길이와 동일할 수 있다.
지지 기판(BS)에서 개구부(OH)가 정의되지 않은 영역에는 진공 흡입구들(VH)이 제공될 수 있다. 진공 흡입구들(VH)을 통하여 진공 흡입함으로써 제2 부재(PN2)를 지지 기판(BS)에 고정시킬 수 있다. 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 합착되는 공정의 진행 정도에 따라 진공 흡입구들(VH)을 통하여 제2 부재(PN2)에 제공되는 진공 상태가 순차적으로 해제될 수 있다.
도 4를 참조하면, 복수의 진공 흡입구들(VH)은 진공 유로(VL)에 의해 서로 연결된 것일 수 있다. 진공 유로(VL)는 지지 기판(BS)의 내부에 형성될 수 있다. 또한, 진공 유로(VL)는 지지 기판(BS)의 측면(도 4에서 BS-S2)에 관통하여 배치된 진공 제어부(VM)와 연결될 수 있다. 진공 제어부(VM)는 지지 기판(BS)으로 공급되는 진공 상태를 조절하는 것일 수 있다. 즉, 진공 제어부(VM)는 진공 유로(VL)를 통하여 진공 흡입구(VH)로 공급되는 진공 상태를 제어할 수 있다. 예를 들어, 진공 제어부(VM)는 제어 밸브 또는 진공 펌프 등을 포함하는 것일 수 있다.
한편, 도 4에서는 복수의 진공 흡입구들(VH)이 진공 유로(VL)에 의해 모두 연결된 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 진공 유로(VL)는 제1 방향(DR1)으로 서로 이웃하여 배열된 복수의 진공 흡입구들(VH)을 서로 연결시키는 것일 수 있다. 이때, 제2 방향(DR2)으로 이웃한 진공 흡입구들(VH)은 하나의 진공 유로(VL)로 서로 연결되지 않을 수 있다. 구체적으로, 일 실시예에서 지지 기판(BS) 내에 제1 방향(DR1)으로 연장된 복수의 진공 유로들(VL)이 배치될 수 있다. 이러한 복수의 진공 유로들(VL) 각각은 별개의 진공 제어부들(VM)에 각각 연결되어 제어될 수 있다. 제2 지그(JG2)는 흡착 부재(AU)를 포함할 수 있다. 흡착 부재(AU)는 합착 공정이 진행되는 동안 제2 부재(PN2)의 일단을 고정시키는 것일 수 있다. 흡착 부재(AU)는 지지 기판(BS)에 형성된 진공 흡입구들(VH)과 함께 제1 부재(PN1)와 합착되기 전에 제2 부재(PN2)를 고정하는 역할을 하는 것일 수 있다. 흡착 부재(AU)는 제2 부재(PN2)를 제1 부재(PN1)에 제공할 때 선 접촉되지 않도록 하여 흡착 품질을 개선할 수 있다. 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 선 접촉되는 것은 제2 부재(PN2)가 적절하게 고정되지 않아 가압 부재(RU)에 의하여 가압되기 이전에 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 랜덤하게 접촉하게 되는 경우를 나타내는 것이다.
흡착 부재(AU)는 적어도 하나의 흡착 패드(AP)와 패드 제어부(MP)를 포함하는 것일 수 있다. 적어도 하나의 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 개구부(OH)에 배치되는 것일 수 있다. 적어도 하나의 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 개구부(OH) 내에 삽입되어 배치되는 것일 수 있다. 흡착 패드(AP)는 진공 상태를 이용하여 제2 부재(PN2)를 고정하는 것일 수 있다. 즉, 흡착 패드(AP)는 진공 흡착 패드일 수 있다. 하나의 개구부(OH)에는 하나의 흡착 패드(AP) 또는 복수 개의 흡착 패드들(AP)을 포함할 수 있다. 흡착 패드(AP)는 개구부(OH) 내에 삽입되어 개구부(OH)를 이동하는 것일 수 있다. 예를 들어, 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 타측면(BS-S2)에서 일측면(BS-S1) 방향으로(도 4의 제5 방향(DR5))으로 이동하는 것일 수 있다.
도 5a 내지 도 5b, 및 도 6a 내지 도 6b에서 흡착 패드(AP)의 단면 형상은 직사각형으로 도시되었으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 방향(DR1)과 제3 방향(DR3)이 정의하는 평면과 나란한 단면상에서 흡착 패드(AP)는 사다리꼴 형상일 수 있다. 또한, 흡착 패드(AP)는 원통형, 사각기둥 형상, 원뿔대 또는 사각뿔대 형상의 입체 형상을 갖는 것일 수 있다.
흡착 부재(AU)는 흡착 패드(AP)를 제어하는 패드 제어부(MP)를 포함하는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)와 연결되어 흡착 패드(AP)의 이동을 제어하는 것일 수 있다. 또한, 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)에 제공되는 진공 상태를 제어하는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)를 통하여 제2 부재(PN2)로 제공되는 진공의 정도, 흡착 패드(AP)의 이동 속도 등을 제어하는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)가 개구부(OH) 내에서 지지 기판(BS)의 일측면(BS-S1) 방향으로 이동하도록 제어할 수 있다.
패드 제어부(MP)는 흡착 패드(AP)의 진공 상태를 제어하는 진공 제어부(PH) 및 흡착패드의 위치를 제어하는 위치 제어부(CP)를 포함할 수 있다. 도 5a 내지 도 5b, 및 도 6a 내지 도 6b에서 진공 제어부(PH)는 흡착 패드(AP)와 연결되어 있고, 위치 제어부(CP)는 진공 제어부(PH)와 연결되어 있는 것으로 도시하고 있으나 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 진공 제어부(PH)와 위치 제어부(CP)는 일체로서 제공될 수 있다. 구체적으로 진공 제어부(PH)는 진공 흡입홀 등일 수 있으며, 속이 비어있는 관 형상일 수 있다. 또는 진공 제어부(PH)는 진공을 제공하는 진공 펌프와 연결된 부분일 수 있다. 또한, 위치 제어부(CP)는 흡착 패드(AP)에 연결되고 흡착 패드(AP)를 지지하는 지지부의 역할을 하는 것일 수 있으며, 또는 위치 제어부(CP)는 구동 모터를 포함하는 것일 수 있다.
예를 들어, 지지 기판(BS)이 제1 방향(DR1)으로 이동함에 따라 제2 부재(PN2)의 일단을 흡착한 흡착 패드(AP)는 지지 기판(BS)의 이동 방향의 반대 방향(도 5a의 제5 방향(DR5))으로 별도의 구동 모터 없이 이동할 수 있다. 또는, 위치 제어부(CP)가 구동 모터를 포함하는 경우 구동 모터가 흡착 패드(AP)의 이동을 제어할 수 있다.
한편, 도 5b를 참조하면 위치 제어부(CP)는 일부분이 지지 기판(BS)과 중첩되도록 배치되어 흡착 패드(AP)가 지지 기판(BS)에 지지되어 이동될 수 있도록 할 수 있다. 도 5b의 단면도에서 위치 제어부(CP)의 폭(WCP)는 지지 기판(BS)의 개구부(OH)의 폭(WOH) 보다 큰 것일 수 있다. 즉, 위치 제어부(CP)는 지지 기판(BS)의 하부면에 지지하여 개구부(OH)를 따라 이동될 수 있다.
진공 제어부(PH)는 흡착 패드(AP)에 진공 상태를 제공하기 위한 진공 흡입홀일 수 있다. 진공 제어부(PH)는 복수 개의 흡착 패드(AP)들 각각에 연결되어 개별 흡착 패드(AP)의 진공 상태를 조절할 수 있다.
위치 제어부(CP)는 흡착 패드(AP)의 이동 속도를 제어할 수 있으며, 또한 위치 제어부(CP)는 진공 제어부(PH)와 연결되어 흡착 패드(AP)의 진공 정도를 제어하는 기능을 할 수도 있다.
흡착 부재(AU)는 패드 지지부(MS)를 더 포함하는 것일 수 있다. 도 6a 내지 도 6b를참조하면, 패드 지지부(MS)는 지지 기판(BS)의 하부면에 배치되는 것일 수 있다. 지지 기판(BS)의 하부면은 지지테이블(ST)과 마주하는 지지 기판(BS)의 일면일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 패드 지지부(MS)에 의해 지지되는 것일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 패드 지지부(MS)에 배치되어 이동되는 것일 수 있다.
패드 지지부(MS)는 지지 기판(BS)과 마주하는 일면에 제공된 홈(MH)을 갖는 것일 수 있다. 패드 지지부(MS)의 일면에 제공된 홈(MH)은 패드 제어부(MP)를 이동시키는 경로에 대응하여 제공된 주행 레일(미도시)일 수 있다. 패드 제어부(MP)는 홈(MH)에 안착되어 이동하는 것일 수 있다. 도 6a 및 도 6b에서 홈(MH)은 패드 제어부(MP)의 상부면에 제공된 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 홈(MH)은 패드 지지부(MS)의 외곽을 따라 패드 지지부(MS)의 측면에 제공되는 것일 수 있다. 한편, 도 6a 및 도 6b에 도시된 패드 지지부(MS)의 홈(MH)은 예시적인 것이며, 홈(MH)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 도 6b에 도시된 단면상에서 홈(MH)의 폭은 진공 제어부(PH)가 삽입된 부부의 폭과 위치 제어부(CP)가 삽입된 부분의 폭을 상이하게 표시하였으나, 이와 달리 홈(MH)의 폭은 일정할 수 있다.
제2 지그(JG2)는 지그 구동부(JM)를 포함한다. 지그 구동부(JM)는 제2 지그(JG2)의 이동 방향, 이동 속도, 및 높이 등을 제어하는 것일 수 있다. 지그 구동부(JM)는 지지테이블(ST) 상에 배치될 수 있다. 지그 구동부(JM)는 지지테이블(ST) 상에 배치되어 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것일 수 있다. 도 1을 참조하면 제1 방향(DR1)은 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착 진행 방향일 수 있다. 제2 부재(PN2)는 제1 지그(JG1)에 고정된 제1 부재(PN1)에 순차적으로 합착되어 고정될 수 있다. 지그 구동부(JM)에 의해 제어된 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)은 합착 진행 정도에 따라 제1 방향(DR1)으로 이동될 수 있다.
제2 지그(JG2)는 지지 기판(BS)과 지그 구동부(JM) 사이에 배치된 지그 고정축(JX)을 포함할 수 있다. 제2 지그(JG2)는 복수 개의 지그 고정축(JX)을 포함하는 것일 수 있다.
한편, 도 1의 도면에 도시되지는 않았으나 제2 지그(JG2)가 평면 상에서 볼 때 직사각형 형상을 갖는 지지 기판(BS)을 포함하는 경우 지그 고정축(JX)은 사각형 형상의 지지 기판(BS)의 네 개의 모서리에 인접하여 각각 배치될 수 있다.
지그 고정축(JX)은 지지 기판(BS)에 연결된 제1 서브 지그축(JX-S1) 및 제1 서브 지그축(JX-S1)과 지그 구동부(JM) 사이에 배치된 제2 서브 지그축(JX-S2)을 포함하는 것일 수 있다. 제2 서브 지그축(JX-S2)은 길이가 가변되는 것일 수 있다. 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이는 제1 서브 지그축(JX-S1)과 지그 구동부(JM) 사이의 간격을 나타내는 것일 수 있다.
제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이를 가변시켜 지그 고정축(JX)에 연결된 지지 기판(BS)의 높낮이를 조절할 수 있다. 즉, 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이를 변경하여 제2 지그(JG2)의 높이를 조절할 수 있다. 제2 지그(JG2)가 복수 개의 지그 고정축들(JX)을 갖는 경우 지그 고정축들(JX) 각각의 높이는 서로 독립적으로 조절될 수 있다.
한편, 도 1에서 지그 고정축(JX)은 제1 서브 지그축(JX-S1)과 제2 서브 지그축(JX-S2)을 포함하는 것으로 도시하였으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 지그 고정축(JX)은 제2 서브 지그축(JX-S2)과 지그 구동부(JM) 사이에 제3 서브 지그축(미도시)을 더 포함할 수 있다. 이때, 제2 서브 지그축(JX-S2)은 제1 서브 지그축(JX-S1)과 제3 서브 지그축(미도시) 사이에 배치되어 길이가 가변되는 것일 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착 진행 정도에 따른 합착 장치의 구조를 나타낸 것이다. 도 7a는 합착 공정의 초기 단계를 나타낸 것이고, 도 7b는 도 7a에 비하여 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착이 일부 진행된 이후 단계를 나타낸 것이다. 도 7a 및 도 7b에서 제2 지그(JG2)는 지지 기판(BS)의 일단에 인접하여 배치된 제1 지그 고정축(JX1) 및 지지 기판(BS)의 타단에 인접하여 배치된 제2 지그 고정축(JX2)을 포함하는 것으로 도시하였다.
도 7a를 참조하면, 흡착 패드(AP)는 제2 부재(PN2)의 일단에 대응하여 배치되는 것일 수 있다. 또한, 합착 공정의 초기 단계에서 흡착 패드(AP)를 포함하는 흡착 부재(AU)는 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)의 일단에 인접하여 배치되는 것일 수 있다. 또한, 합착 공정의 초기 단계에서 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)은 기울어지지 않고 수평을 유지한 상태일 수 있다. 예를 들어, 지지 기판(BS)은 지지테이블(ST)과 평행하게 배치될 수 있다. 제1 지그 고정축(JX1)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HL)와 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HR)는 실질적으로 동일한 것일 수 있다.
도 7b는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 일부분이 합착된 이후의 단계를 나타낸 것이다. 도 7a와 비교하여 도 7b에서 제2 지그(JG2)는 제1 방향(DR1)으로 이동되었으며, 흡착 부재(AU)의 흡착 패드(AP)는 제1 방향(DR1)의 반대 방향(도 7b에서는 제5 방향(DR5))으로 이동되어 배치될 수 있다. 가압 부재(RU) 역시 제2 지그(JG2)와 동일하게 제1 방향(DR1)으로 이동되어 배치될 수 있다. 가압 부재(RU)는 제2 지그(JG2)를 따라서 동일한 방향으로 이동하는 것일 수 있다. 가압 부재(RU)와 제2 지그(JG2)는 동일한 속도로 이동하는 것일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 가압 부재(RU)와 제2 지그(JG2)의 이동 속도는 서로 상이할 수 있으며, 예를 들어, 가압 부재(RU)의 이동 속도는 제2 지그(JG2)의 이동 속도보다 느린 것일 수 있다.
도 7b에서 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)은 기울어져 배치될 수 있다. 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)에 연결된 제1 지그 고정축(JX1)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HL)는 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HR) 보다 긴 것일 수 있다. 즉, 도 7b에서 제1 지그 고정축(JX1)이 연결된 부분에서의 지지 기판(BS)과 제1 지그(JG1) 사이의 이격 간격은 제2 지그 고정축(JX2)이 연결된 부분에서의 지지 기판(BS)과 제1 지그(JG1) 사이의 이격 간격보다 작은 것일 수 있다.
또한, 도 7a 내지 도 7b에 도시된 것과 달리, 합착 공정의 초기 단계에서 지지 기판(BS)은 지지테이블(ST)과 평행하지 않고 기울어진 것일 수 있으며, 합착의 진행단계에 따라 지지 기판(BS)의 기울어진 정도가 변화되거나 지지 기판(BS)의 기울어진 방향이 변화될 수 있다. 예를 들어, 제1 지그 고정축(JX1)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HL) 보다 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이(HR)가 더 긴 것일 수 있다.
한편, 도 7a 내지 도 7b는 일 실시예의 합착 장치를 이용한 합착 과정을 예시적으로 나타낸 것으로 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B) 형상에 따라 제2 부재(PN2)와 제1 부재(PN2)의 합착 품질을 개선하기 위하여 제2 지그(JG2)의 배치 형태가 변화될 수 있다. 즉, 제2 지그(JG2)의 지지 기판(BS)의 배치 위치, 및 제1 지그 고정축(JX1)과 제2 지그 고정축(JX2)의 제2 서브 지그축(JX-S2)의 길이는 상대적으로 변화될 수 있다.
한편, 합착 공정의 진행 정도에 따라 가압 부재(RU)의 위치도 변화될 수 있다. 가압 부재(RU)의 가압 구동부(MR)는 합착 공정의 진행 방향인 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 또한, 가압 부재(RU)의 롤러 고정축(RX)의 길이는 합착 공정의 진행에 따라 변화될 수 있다. 즉, 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL)가 제1 부재(PN1) 및 제2 부재(PN2)에 일정한 압력을 가하도록 위치가 조절될 수 있다. 아래 도 8a 내지 도 8b, 도 9, 및 도 10을 참조하여, 가압 부재(RU) 구조 및 가압 부재(RU)의 동작에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 8a는 도 1에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100A)에 포함된 가압 부재(RU)의 사시도이다. 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL), 가압 구동부(MR), 및 롤러 고정축(RX)을 포함하는 것일 수 있다.
가압 롤러(RL)는 원통형일 수 있다. 도 8a를 참조하면, 가압 롤러(RL)는 제2 방향(DR2)으로 길이가 연장된 원통 형상일 수 있다. 가압 롤러(RL)는 스틸 롤러(Steel Roller), 또는 러버 롤러(Rubber Roller)일 수 있으나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 합착되는 부재들에 일정한 압력을 가할 수 있을 정도의 강도를 갖는 재료면 제한 없이 가압 롤러(RL)의 재료로 사용될 수 있다.
또한, 가압 롤러(RL)는 가열 유닛(미도시)을 포함하는 것일 수 있다. 가열 유닛(미도시)은 가압 롤러(RL)의 내부에 배치되어 합착 공정 중에 제공되는 합착 부재에 열을 제공하여 합착 품질을 개선할 수 있다.
도 1 및 도 8a를 참조하면, 가압 부재(RU)는 지지테이블(ST) 상에 배치된 가압 구동부(RM), 및 가압 롤러(RL)와 가압 구동부(RM) 사이에 배치된 롤러 고정축(RX)을 포함하는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 지지테이블(ST) 상에서 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것일 수 있다.
가압 구동부(RM)는 가압 부재(RU)의 이동 방향과 이동 속도, 및 가압 롤러(RL)의 위치 등을 제어하는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 회전 모터(RM1) 및 이동 모터(RM2)를 포함하는 것일 수 있다. 회전 모터(RM1)는 롤러 고정축(RX)에 연결되어 롤러 고정축(RX)을 회전 시키는 것일 수 있다. 회전 모터(RM1)는 롤러 고정축(RX)을 회전 시켜 롤러 고정축(RX)의 일단에 연결된 가압 롤러(RL)가 제1 부재(PN1) 또는 제2 부재(PN2)에 접하는 방향을 조절할 수 있다. 즉, 가압 부재(RU)가 제1 방향(DR1)으로 이동하지 않은 경우에도 회전 모터(RM1)를 구동하여 롤러 고정축(RX)을 회전시킴으로써 가압 롤러(RL)의 위치를 변화시킬 수 있다.
롤러 고정축(RX)은 가압 롤러(RL)에 인접하여 배치된 제1 롤러 고정축(RX1), 가압 구동부(RM)에 연결된 제2 롤러 고정축(RX2), 및 제1 롤러 고정축(RX1)과 제2 롤러 고정축(RX2) 사이에 배치된 제3 롤러 고정축(RX3)을 포함하는 것일 수 있다. 제3 롤러 고정축(RX3)은 길이가 가변하는 것일 수 있다. 제3 롤러 고정축(RX3)의 길이는 제1 롤러 고정축(RX1)과 제2 롤러 고정축(RX2) 사이의 간격일 수 있다. 롤러 고정축(RX)은 실린더(cylinder) 타입일 수 있다. 롤러 고정축(RX)은 유압 실린더(cylinder) 타입일 수 있다. 예를 들어, 제3 롤러 고정축(RX3)은 실린더 타입으로 길이가 가변되는 것일 수 있다.
즉, 제3 롤러 고정축(RX3)의 길이를 조절하여 롤러 고정축(RX) 전체의 길이를 조절할 수 있으며, 이에 따라 가압 롤러(RL)의 높이를 조절할 수 있다. 여기서 가압 롤러(RL)의 높이는 지지테이블(ST)로부터 가압 롤러(RL)까지의 최단 거리를 나타내는 것일 수 있다.
한편, 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL)를 롤러 고정축(RX)에 연결하여 회전시키기는 롤러 회전축(FX)을 포함할 수 있다. 롤러 회전축(FX)은 롤러 고정축(RX)에 연결된 축지지부(FX-V)와 축지지부(FX-V)와 가압 롤러(RL)를 연결시키는 회전 중심축(FX-H)을 포함할 수 있다.
가압 구동부(RM)는 롤러 고정축(RX)의 길이를 조절하는 가압 제어부를 포함하는 것일 수 있다. 가압 제어부는 회전 모터(RM1)와 일체로 제공되거나, 또는 별도의 부재로 제공되는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 로드셀(load cell)을 포함하는 것일 수 있다. 가압 구동부(RM)는 로드셀에서 감지되는 압력값을 이용하여 롤러 고정축(RX)의 길이를 조절하여 가압 롤러(RL)의 높이를 제어하고, 가압 롤러(RL)가 제1 지그(JG1) 측으로 제공하는 압력을 제어할 수 있다.
가압 롤러(RL)의 높이는 가압 롤러(RL)가 제1 지그(JG1)에 가하는 압력에 따라 변화될 수 있다. 가압 롤러(RL)는 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)에 대하여 일정한 압력을 가하도록 제어될 수 있다. 따라서, 제1 지지면(JG-B)에 일정한 압력을 가하도록 하기 위하여 가압 롤러(RL)의 위치가 변화될 수 있다. 즉, 가압 롤러(RL)의 높이 및 가압 롤러(RL)가 접하는 지점의 위치가 변경될 수 있다.
가압 부재(RU)는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)의 합착 진행 방향인 제1 방향(DR1)으로 이동하는 것일 수 있다. 합착 공정이 진행됨에 따라 지지테이블(ST) 상에 배치된 가압 구동부(RM)가 제1 방향(DR1)으로 이동하며, 이에 따라 가압 부재(RU) 전체가 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 이때, 가압 롤러(RL)는 제1 지그(JG1)에 일정한 압력을 가하도록 제어되어 이동될 수 있다.
도 8b는 가압 부재(RU)의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다. 가압 부재(RU)는 가압 롤러(RL) 이외의 적어도 하나의 보조 롤러(RL-S)를 더 포함할 수 있다. 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)를 가이드 하는 가이드 롤러이거나, 가압 롤러(RL)가 합착 부재들에 균일한 압력을 제공하도록 지지하는 지지 롤러일 수 있다.
도 8b에 도시된 일 실시예에서 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)의 하측에 배치되는 것일 수 있다. 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)의 아래에 배치되어 가압 롤러(RL)를 지지함으로써 가압 롤러(RL)가 제2 방향(DR2)으로 평행하게 유지되도록 할 수 있다. 보조 롤러(RL-S)의 직경은 가압 롤러(RL)의 직경보다 큰 것일 수 있다. 직경이 큰 보조 롤러(RL-S)를 가압 롤러(RL) 하측에 배치하여 가압 롤러(RL)를 지지함으로써 가압 롤러(RL)가 전체적으로 합착 부재들에 균일한 압력을 가하도록 할 수 있다. 즉, 가압 롤러(RL)는 합착 부재들과 접촉하여 합착 부재들을 직접 가압하는 것이고, 보조 롤러(RL-S)는 가압 롤러(RL)를 지지하여 합착 부재들을 간접적으로 가압하는 것일 수 있다.
보조 롤러(RL-S)는 롤러 회전축(FX)에 의해 롤러 고정축(RX)에 연결될 수 있다. 도 8b의 실시예에서 롤러 회전축(FX)은 롤러 고정축(RX)에 연결된 축지지부(FX-V), 축지지부(FX-V)와 가압 롤러(RL)를 연결시키는 제1 회전 중심축(FX-H1), 및 축지지부(FX-V)와 보조 롤러(RL-S)를 연결시키는 제2 회전 중심축(FX-H2)을 포함할 수 있다.
또한, 도 8b를 참조하면 보조 롤러(RL-S)는 별도의 구동부를 구비하지 않는 것일 수 있다. 예를 들어, 가압 구동부(RM)를 이용하여 가압 롤러(RL)를 제어함에 따라 이웃하는 보조 롤러(RL-S)의 위치 및 회전 속도 등이 제어될 수 있다.
한편, 가압 롤러(RL)와 보조 롤러(RL-S)는 서로 다른 재질로 형성된 것일 수 있다, 예를 들어, 합착 부재와 직접 접하는 가압 롤러(RL)는 러버 롤러이고 가압 롤러(RL)를 지지하는 보조 롤러(RL-S)는 스틸 롤러일 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 가압 롤러(RL)와 보조 롤러(RL-S)는 동일한 재질로 형성된 것일 수 있다,
도 9는 합착 공정의 진행 단계에 따른 가압 롤러(RL)의 위치를 나타낸 것이다. 도 9에서는 설명의 편의를 위하여 합착 장치 중 일부 구성을 생략하여 도시하였다.
합착 공정의 초기 단계(S1)에서 가압 롤러(RL)와 제2 부재(PN2)가 접하는 제1 접점(P1)에서의 제1 접선(TL1)에 대한 법선 방향(NL1)의 압력을 제1 압력이라고 하고, 합착이 일부 진행된 이후의 단계(S2)에서의 가압 롤러(RL)와 제2 부재(PN2)가 접하는 제2 접점(P2)에서의 제2 접선(TL2)에 대한 법선 방향(NL2)의 압력을 제2 압력이라고 할 때, 제1 압력과 제2 압력은 동일한 것일 수 있다.
즉, 일 실시예의 합착 장치에서는 가압 롤러(RL)와 제2 부재(PN2)가 접하는 부분에서 가압 롤러(RL)가 제2 부재(PN2)에 가하는 법선 방향의 압력이 일정하게 되도록 가압 부재(RU)가 제어될 수 있다.
한편, 도 9에서 제1 지그(JG1)는 제1 지지면(JG-B)에 배치된 압력 감지 시트(PS)를 더 포함하는 것일 수 있다. 압력 감지 시트(PS)는 제1 지지면(JG-B)에 부착되어 제1 지그(JG1)에 가해지는 가압 롤러(RL)의 압력을 감지하는 것일 수 있다. 따라서, 압력 감지 시트(PS)에서는 가압 롤러(RL)가 제1 지그(JG1)에 가하는 압력값을 감지하고, 이를 가압 부재(RU)의 가압 구동부(RM)에 피드백하여 가압 롤러(RL)의 위치를 제어할 수 있다.
또한, 가압 롤러(RL)는 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)을 추종하여 이동하는 것일 수 있다. 즉, 가압 롤러(RL)는 합착되는 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)에 대하여 일정한 압력을 가하기 위하여 제1 지지면(JG-B)의 형상을 따라 이동할 수 있다.
도 10은 가압 구동부(RM)의 회전 모터(RM1)를 이용하여 가압 롤러(RL)의 위치를 변경시키는 경우를 예시적으로 나타낸 것이다. 가압 부재(RU)에서 가압 롤러(RL)의 위치는 이동 모터(RM2)가 지지테이블(ST) 상에서 이동하는 것에 따라 변화될 수 있다. 또한, 이와 달리 이동 모터(RM2)의 위치는 고정되고, 회전 모터(RM1)를 이용하여 롤러 고정축(RX)을 회전시킴으로써 가압 롤러(RL)의 위치를 변화시킬 수 있다.
도 10에서 점선으로 도시된 것과 실선으로 도시된 것은 합착 진행 공정의 진행 상태에 따른 가압 롤러(RL)와 롤러 고정축(RX)의 위치의 변화를 표시한 것이다. 합착 공정의 진행 상태에 따라 점선 상태에서 실선 상태로 가압 롤러(RL)와 롤러 고정축(RX)의 위치가 변화될 수 있다. 즉, 회전 모터(RM1)를 구동하여 이에 연결된 롤러 고정축(RX)의 방향을 이동함으로써 롤러 고정축(RX)의 일단에 연결된 가압 롤러(RL)의 위치를 변화시킬 수 있다. 이때, 길이가 가변되는 제3 롤러 고정축(RX3)의 길이는 회전 모터(RM1)의 구동에 따라 변화될 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100A)는 롤러 고정축(RX)에 연결되 회전 모터(RM1)를 이용하여 가압 롤러(RL)가 제1 부재(PN1) 및 제2 부재(PN2)와 접하는 부분에서 법선 방향으로 일정한 압력을 가하도록 제어할 수 있어 합착 품질을 개선할 수 있다.
도 11a 및 도 11b는 가압 부재의 이동 위치와 가압 부재의 이동 속도의 관계를 상대적으로 나타낸 것이다. 도 11a 및 도 11b에서는 설명의 편의를 위하여 합착 장치의 일부분만을 도시하였다. 도 11a 및 도 11b에서 X축은 가압 부재의 이동 위치를 나타낸 것으로 도 1을 참조하면, X축은 제1 방향(DR1, 도 1)을 나타낸다. 또한, Y축은 가압 부재의 이동 속도를 나타낸 것으로 이동 속도 값은 상대적으로 표시하였다.
도 11a를 참조하면, 일 실시예에서 제1 지그(JG1)의 제1 지지면(JG-B)은 적어도 하나의 곡면부(CS2, CS1)와 적어도 하나의 곡면부(CS2, CS1)와 연결된 평면부(FS)를 포함하는 것일 수 있다. 예를 들어, 도 11a는 제1 지지면(JG-B)이 두 개의 곡면부(CS2, CS1)와 하나의 평면부(FS)를 갖는 경우 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도를 상대적으로 나타낸 것이다.
도 11a에 도시된 일 실시예에서, 곡면부(CS2, CS1)에 대응하는 구간(PD1, PD3)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도와 평면부(FS)에 대응하는 구간(PD2)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도는 서로 상이할 수 있다. 제1 지지면(JG-B)의 곡면부(CS2, CS1)에 대응하는 구간(PD1, PD3)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V1)는 제1 지지면(JG-B)의 평면부(FS)에 대응하는 구간(PD2)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V2) 보다 느린 것일 수 있다. 즉, 제1 지그(JG1)의 곡면부(CS2, CS1)에서 평면부(FS) 보다 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도를 느리게 함으로써, 곡면 부분에서 합착 부재들 사이의 합착 품질을 개선할 수 있다.
한편, 도 11a에서 곡면부(CS2, CS1)와 평면부(FS)의 연결부분에 대응하는 구간(PD4, PD5)에서는 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도가 점진적으로 증가되거나 또는 점진적으로 감소되는 것으로 도시하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 이동 속도는 점진적으로 증가되지 않고 스텝 형태로 증가되거나 또는 감소될 수 있다.
도 11b는 제1 부재(PN1)가 서로 다른 두께를 갖는 서브 부재들(PN1-A, PN1-B)을 포함하는 경우의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도를 개략적으로 나타낸 것이다. 도 11b를 참조하면, 제1 부재(PN1)는 서로 다른 두께를 갖는 제1 서브 부재(PN1-A)과 제2 서브 부재(PN1-B)를 포함하고, 제1 서브 부재(PN1-A)와 제2 서브 부재(PN1-B)의 두께 차이에 의하여 제1 부재(PN1)의 표면에 단차(d)가 생기게 된다.
도 11b를 참조하면, 제1 서브 부재(PN1-A)와 제2 서브 부재(PN1-B) 사이의 단차 영역에 대응하는 구간(PD1, PD5)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V1)는 단차가 없는 제1 부재(PN1)에 대응하는 구간(PD2, PD3, PD4)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V2, V3) 보다 느린 것일 수 있다. 즉, 합착 부재의 표면에 단차가 있는 경우 단차 영역에서 가압 부재(RU, 도 1)를 상대적으로 느리게 이동함으로써 단차 영역에서의 합착 부재들 사이의 합착 품질을 개선할 수 있다. 예를 들어, 제1 부재(PN1)는 윈도우 부재이고 제1 서브 부재(PN1-A)는 메인 윈도우 부재 부분이고, 제2 서브 부재(PN1-B)는 차광 부재가 제공된 부분의 윈도우 부재일 수 있다.
또한, 도 11b에서는 도 11a에서와 마찬가지로 제1 지지면(JG-B)의 곡면부에 대응하는 구간(PD2, PD4)에서의 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V2)는 평면부에 대응하는 구간(PD3)에서 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V3) 보다 느린 것일 수 있다. 한편, 도 11b에서는 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도(V1, V2, V3)가 변화될 때 점차적으로 감소되거나 증가되지 않고 스텝 형태로 증가되거나 감소되는 것으로 도시하였다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며 도 11a에 도시된 바와 같이 서로 다른 이동 속도를 갖는 구간들 사이에서 가압 부재(RU, 도 1)의 이동 속도는 점진적으로 증가되거나, 또는 점진적으로 감소될 수 있다.
도 12a 내지 도 12b는 표면처리 부재를 더 포함하는 합착 장치의 일 실시예를 나타낸 것이다. 도 12a 및 도 12b에서는 설명의 편의를 위하여 합착 장치의 구성 중 일부만을 도시하여 나타내었다.
도 12a에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100B)는 도 1의 합착 장치(100A)에서 제1 지그(JG1)에 대응하는 부분만을 나타내었다. 도 12a의 합착 장치(100B)는 표면처리 부재(PU)를 더 포함하고, 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 표면처리부(PP)를 이동 시키는 표면처리 구동부(PM)를 포함하는 것일 수 있다. 표면처리 구동부(PM)는 표면처리부(PP)를 제1 지그(JG1)에 연결하여 이동시키는 것일 수 있다.
도 12a의 실시예에서 제1 지그(JG1)의 측면에는 레일(TR)이 제공되는 것일 수 있다. 레일(TR)은 제1 지그(JG1)의 측면에서 제1 지지면(JG-B)의 형상에 대응하는 형상으로 제공된 것일 수 있다 레일(TR)은 제1 지지면(JG-B)으로부터 일정 간격을 유지하면서 형성된 것일 수 있다. 표면처리 구동부(PM)는 제1 지그(JG1) 측면에 형성된 레일(TR)에 탑재되어 이동되는 것일 수 있다. 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP) 및 표면처리부(PP)와 마주하는 제1 지지면(JG-B) 사이의 간격이 일정하게 되도록 레일(TR)을 따라 이동될 수 있다.
도 12a에서는 표면처리 부재(PU)가 제1 방향(DR1)으로 이동되는 경우를 예시적으로 나타낸 것이고, 이때 이동된 위치에서의 표면처리부(PP)와 제1 지지면(JG-B) 사이의 이격 간격(L1, L2, L3)은 일정하게 유지될 수 있다.
도 12b에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100C)는 도 1의 합착 장치(100A)에서 제1 지그(JG1) 및 지지테이블(ST)에 대응하는 부분만을 나타내었다. 도 12b의 합착 장치(100C)는 표면처리 부재(PU)를 더 포함하고, 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 표면처리부(PP)를 이동 시키는 표면처리 구동부(PM)를 포함하는 것일 수 있다. 또한, 도 12b의 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 표면처리 구동부(PM) 사이에 배치되어 표면처리부(PP)를 지지하는 지지부(PX)을 더 포함할 수 있다. 또한, 표면처리 부재(PU)는 표면처리부(PP)와 이웃하여 배치된 위치 센서(DS)를 더 포함하는 것일 수 있다. 일 실시예에서 표면처리 부재(PU)는 위치 센서(DS)를 포함하여 표면처리부(PP)와 제1 지지면(JG-B) 사이의 간격(L1, L2, L3)이 일정하게 유지되도록 제어될 수 있다.
도 12b에 도시된 표면처리 부재(PU)의 지지부(PX)는 표면처리부(PP)와 연결된 제1 서브지지부(PX1)와 제1 서브지지부(PX1) 및 표면처리 구동부(PM) 사이에 배치된 제2 서브지지부(PX2)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제2 서브 지지부(PX2)는 길이가 가변되는 것일 수 있다.
즉, 도 12b에 도시된 일 실시예에서는 위치 센서(DS)에서 감지한 거리값을 표면처리 구동부(PM)에 피드백하고 이에 따라 제2 서브지지부(PX2)의 길이를 조절함으로써 표면처리부(PP)와 제1 지지면(JG-B)의 사이의 간격(L1, L2, L3)을 일정하게 유지할 수 있다.
한편, 도 12a 및 도 12b에서 표면처리부(PP)는 플라즈마 처리장치일 수 있다. 표면처리부(PP)는 제1 부재(PN1, 도 1) 및 제2 부재(PN2, 도 1)의 적어도 하나의 면을 플라즈마 처리하여 부재들 사이의 합착 강도를 높여 합착 품질을 개선할 수 있다.
상술한 일 실시예의 합착 장치에 대한 설명에서, 제1 부재는 윈도우 부재일 수 있다. 제2 부재는 광학 투명 접착부재와 입력 감지 유닛이 부착된 것일 수 있다. 또한, 제1 부재는 윈도우 부재와 광학 투명 접착부재 및 입력 감지 유닛이 부착된 것이고, 제2 부재는 광학 투명 접착부재와 표시 패널이 일체로 제공되는 것일 수 있다.
일 실시예의 합착 장치를 이용하여 윈도우 부재, 입력 감지 유닛, 및 표시 패널이 적층된 표시 장치를 제조할 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치는 다양한 형상을 갖는 표시 장치를 제조하는 데 사용될 수 있다. 예를 들어, 일 실시예의 합착 장치는 자동차의 내부 디스플레이로 사용될 수 있는 다중 곡면을 갖는 표시 장치들의 제조에 사용될 수 있다. 하지만, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니며, 일 실시예의 합착 장치는 플랫(flat)한 형상을 갖는 표시 장치의 제조 및 커브드(curved) 형상을 갖는 표시 장치의 제조에도 사용될 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치는 리지드(rigid)한 표시 장치, 또는 플렉서블(flexible)한 표시 장치의 제조에 모두 사용될 수 있다.
일 실시예의 합착 장치는 합착 공정이 진행되는 동안 흡착 패드를 이용하여 합착 부재를 고정할 수 있어 가압 롤러가 압력을 가하기 이전에 합착 부재들이 선 접촉되는 것을 방지함으로써 합착 품질을 개선할 수 있다. 또한, 일 실시예의 합착 장치는 회전 모터를 구비한 가압 부재를 이용하여 합착 부재에 대하여 가압 롤러가 법선 방향으로 균일한 압력을 제공하도록 하여 합착 부재의 형상에 관계 없이 균일한 합착 품질을 구현할 수 있다.
일 실시예의 합착 장치를 이용하여 표시 장치를 제조하는 방법은, 표면 처리된 윈도우 부재를 제1 지그 상에 제공하는 단계, 제1 광학투명접착부재가 부착된 입력 감지 유닛을 제2 지그 상에 제공하는 단계, 가압 유닛을 이용하여 윈도우 부재와 입력 감지 유닛을 합착하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 제1 광학투명접착부재는 윈도우 부재와 입력 감지 유닛 사이에 배치되는 것일 수 있다.
다음으로, 합착된 윈도우 부재와 입력 감지 유닛에 자외선 광을 조사하여, 제1 광학투명접착부재를 추가 경화하는 단계가 진행될 수 있다. 또한, 자외선 광을 제공하기 전에 오토클레이브(auto clave)에 합착된 윈도우 부재와 입력 감지 유닛을 투입하여 두 개의 부재 사이의 기포를 제거할 수 있다.
다음으로, 제2 광학투명접착부재가 부착된 표시 패널이 입력 감지 유닛 상에 제공될 수 있다. 이때, 합착된 윈도우 부재와 입력 감지 유닛이 제1 지그에 고정되고, 제2 광학투명접착부재가 부착된 표시 패널이 제2 지그에 지지되어 제공될 수 있다. 이후, 가압 유닛을 이용하여 표시 패널을 입력 감지 유닛에 합착할 수 있다. 한편, 표시 패널을 입력 감지 유닛에 합착하기 이전에 표면처리 부재를 이용하여 표시 패널이 부착되는 입력 감지 유닛의 일면을 플라즈마처리할 수 있다. 이후, 윈도우 부재, 입력 감지 유닛, 및 표시 패널이 합착된 표시 장치는 오토클레이브(auto clave)에 투입되어 각 부재들 사이의 기포를 제거함으로써 합착 품질을 더욱 개선할 수 있다.
도 13은 일 실시예의 합착 장치(100D)를 나타낸 도면이다. 도 13에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100D)는 제1 부재(PN1)가 안착된 제1 지그(JG1), 제2 부재(PN2)를 제공하는 지지시트(PF), 및 제1 부재(PN1)와 제2 부재(PN2)를 합착시키는 가압 부재(RU)를 포함하는 것일 수 있다. 도 1에 도시된 합착 장치(100A)의 실시예와 달리 도 13에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100D)는 제2 지그(JG2)를 대신하여 지지시트(PF)를 포함하고 있다.
지지시트(PF)는 제2 부재(PN2)에 부착되어 제2 부재(PN2)와 함께 제1 부재(PN1)와의 합착 공정에 제공될 수 있다. 제2 부재(PN2)와 지지시트(PF) 사이에는 접착부재(미도시)가 제공될 수 있다. 접착부재(미도시)는 합착공정이 진행되는 동안 지지시트(PF)가 제2 부재(PN2)에 부착되어 제2 부재(PN2)를 고정하여 제공하도록 할 수 있다. 제2 부재(PN2)가 제공되지 않은 지지시트(PF)는 고정 클램프(CL1, CL2)에 의하여 고정될 수 있다. 또한, 고정 클램프는 지지시트(PF)의 양측에서 지지시트(PF)를 고정하여 지지시트(PF)에 인장력을 제공함으로써 지지시트(PF)가 굴곡되는 부분이 없이 유지되도록 할 수 있다. 지지시트(PF)는 지지테이블(ST)의 양측에 배치된 고정 클램프(CL1, CL2)에 의하여 인장력이 일정하게 유지되도록 제어되어 제2 부재(PN2)가 균일하게 제1 부재(PN1)에 제공되도록 할 수 있다.
한편, 지지시트(PF)는 고분자 필름 타입의 시트일 수 있다. 지지시트(PF)는 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 합착된 이후에 제2 부재(PN2)로부터 제거될 수 있다. 한편, 제2 부재(PN2)와 지지시트(PF) 사이에 접착부재(미도시)가 제공된 경우 접착부재(미도시)의 접착력을 감소시키기 위하여 합착 공정이 완료된 이후 지지시트(PF)에 자외선 광을 조사할 수 있다.
고정 클램프(CL1, CL2)는 지지테이블(ST)에 고정되어 있을 수 있다. 또한, 고정 클램프(CL1, CL2)에는 지지시트(PF)가 제2 부재(PN2)를 지지할 수 있도록 지지시트(PF)의 인장력을 조절하는 제어부가 더 포함될 수도 있다. 즉, 도 13에 도시된 일 실시예의 합착 장치(100D)를 상술한 도 1의 합착 장치(100A)와 비교하여 지지시트(PF)가 제2 부재(PN2)를 고정하는 역할을 함으로써 제2 부재(PN2)가 제1 부재(PN1)에 선접촉하는 것을 방지하여 합착 품질을 개선할 수 있다. 또한, 지지시트(PF)는 제2 부재(PN2)와 가압 롤러(RL) 사이에 배치되므로 합착 공정 동안 제2 부재(PN2)를 보호하는 보호시트의 기능을 할 수 있다.
일 실시예의 합착 장치는 흡착 패드를 지그에 배치하여 합착 부재를 고정하여 제공하고, 가압 부재의 회전 모터를 이용하여 합착 부재에 일정한 압력을 제공하도록 함으로써 합착 품질을 개선할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
JG1 : 제1 지그 JG2 : 제2 지그
RU : 가압 부재 AU : 흡착 부재
PU : 표면처리 부재

Claims (20)

  1. 제1 부재가 안착된 제1 지지면을 포함하는 제1 지그;
    제2 부재를 지지하고 개구부가 정의된 지지 기판, 상기 지지 기판을 이동시키는 지그 구동부, 상기 지지 기판과 상기 지그 구동부를 연결하는 지그 고정축, 및 상기 개구부에 삽입되어 상기 개구부 내에서 이동하는 적어도 하나의 흡착 패드 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드를 제어하는 패드 제어부를 포함하는 흡착 부재를 포함하는 제2 지그; 및
    가압 롤러, 상기 가압 롤러를 이동시키는 가압 구동부, 및 상기 가압 롤러와 상기 가압 구동부 사이를 연결하는 롤러 고정축을 포함하는 가압 부재; 를 포함하고,
    상기 개구부는 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 합착 진행 방향인 제1 방향을 따라 상기 지지 기판의 일측에서 타측 방향으로 연장되는 합착 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 가압 부재 및 상기 제2 지그는 상기 제1 방향으로 이동하는 합착 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동하는 합착 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착 부재는 상기 지지 기판의 하부면에 배치되고, 상기 지지 기판과 마주하는 일면에 제공된 홈을 갖는 패드 지지부를 더 포함하고,
    상기 패드 제어부는 상기 홈에 안착되어 이동하는 합착 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 패드 제어부는 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 진공 상태를 제어하는 진공 제어부, 및 상기 적어도 하나의 흡착 패드의 위치를 제어하는 위치 제어부를 포함하는 합착 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 흡착 패드는 상기 제2 부재의 일단을 진공 흡입하여 고정하는 합착 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 지지 기판의 두께 방향으로 관통하는 것인 합착 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 개구부는 상기 지지 기판의 일측에서 오픈된 합착 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 지그 고정축은 상기 지지 기판의 일단에 인접하여 배치된 제1 지그 고정축 및 상기 지지 기판의 타단에 인접하여 배치된 제2 지그 고정축을 포함하고,
    상기 제1 지그 고정축 및 상기 제2 지그 고정축 각각은
    상기 지지 기판에 연결된 제1 서브 지그축; 및
    상기 제1 서브 지그축과 상기 지그 구동부 사이에 배치되고, 길이가 가변되는 제2 서브 지그축; 을 포함하는 합착 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제1 지그 고정축과 상기 제2 지그 고정축의 길이는 상이한 합착 장치.
  11. 제 2항에 있어서,
    상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면을 추종하며 상기 제1 방향으로 이동하는 합착 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 가압 롤러는 상기 제1 지지면에 일정한 압력을 가하며 이동하는 합착 장치.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제1 접점을 지나는 제1 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제1 압력이고,
    상기 제1 접점과 상이하며, 상기 가압 롤러와 상기 제2 부재가 접하는 제2 접점을 지나는 제2 접선에 대한 법선 방향의 압력이 제2 압력일 때,
    상기 제1 압력과 상기 제2 압력은 동일한 합착 장치.
  14. 제 2항에 있어서,
    상기 가압 구동부는 상기 롤러 고정축에 연결되어 상기 롤러 고정축을 회전 시키는 회전 모터; 및
    상기 가압 롤러를 상기 제1 방향으로 이동시키는 이동 모터; 를 포함하는 합착 장치.
  15. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 지지면은 적어도 하나의 곡면부를 포함하는 합착 장치.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 곡면부는 상기 제2 지그 방향으로 볼록한 볼록부; 및
    상기 제2 지그 방향과 반대 방향으로 오목한 오목부; 를 포함하는 합착 장치.
  17. 제 15항에 있어서,
    상기 제1 지지면은 상기 적어도 하나의 곡면부와 연결된 평면부를 더 포함하고,
    상기 적어도 하나의 곡면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도와 상기 평면부에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상이한 합착 장치.
  18. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 부재는 서로 다른 두께를 갖는 제1 서브 부재 및 제2 서브 부재를 포함하고,
    상기 제1 서브 부재와 상기 제2 서브 부재 사이의 단차 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도는 상기 제1 서브 부재에 대응하는 영역에서의 상기 가압 부재의 이동 속도보다 느린 합착 장치.
  19. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 지그는 상기 제1 지지면에 부착된 압력 감지 시트를 더 포함하는 합착 장치.
  20. 제 1항에 있어서,
    상기 합착 장치는 표면처리 부재를 더 포함하고,
    상기 표면처리 부재는 상기 제1 지지면과 마주하는 표면처리부 및 상기 표면처리부를 상기 제1 지그에 연결하여 이동시키는 표면처리 구동부를 포함하고,
    상기 표면처리 구동부는 상기 제1 지그에 제공된 레일에 탑재되어 이동되는 합착 장치.
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