KR102621656B1 - 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 개구된 부분에 결합되어 내부를 밀폐함과 동시에 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키는 커버장치에 관한 것으로, 상기 수용용기의 상단부에 결합되고 기 설정된 각도로 상향 경사를 가지며 돌출된 경사돌출유닛을 포함하며, 상기 수용공간 내외부가 연통되는 연통구가 형성되는 가이드모듈, 길게 배관 형태로 형성되어 길이방향에 따른 일측이 상기 연통구를 관통하며 상기 수용용기 내부에 배치되고, 타측이 외부로 노출되어 배출구가 형성되는 배출모듈 및 상기 배출모듈의 타측 일부가 관통한 상태로 상기 경사돌출유닛과 고정 결합되어 상기 배출모듈이 상기 가이드모듈을 향해 가압되도록 형성되는 고정모듈을 포함하며, 상기 고정모듈은 상기 경사돌출유닛의 돌출된 길이방향을 따라 결합위치가 조절되어 상기 배출모듈의 삽입깊이를 조절하는 것을 특징으로 한다.

Description

배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치{A cover device for an accommodation container capable of adjusting the insertion depth of the discharge module}

본 발명은 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치에 관한 것으로서, 가스를 주입해 내부의 포토레지스트 수용액을 배출하는 수용용기에 결합되며, 결합 시 배출모듈의 삽입깊이를 조절하여 끝단부가 수용용기의 바닥에 최대한 근접할 수 있도록 하는 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치 에 관한 것이다..

일반적으로, 포토리소그라피공정은 일련의 반도체 제조공정이 선행된 웨이퍼를 코팅장치의 스핀척(Spin chuck) 상에 위치시켜 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)하는 공정을 포함한다.

여기서, 포토레지스트는 레진(Resin)과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제로서의 인히비터(Inhibitor)와 액상(Liquid state)의 용제(Solvent)를 포함하여 이루어지며, 이러한 포토레지스트는 유리병으로 된 수용용기에 수용된 상태에서 수용용기 캡에 결합되는 포토레지스트 공급관(테프론 튜브)을 통해 포토레지스트 공급라인으로 공급되며, 이와 같이 포토레지스트 공급라인으로 공급된 포토레지스트는 다수의 밸브와 중간탱크를 경유하여 코팅장치에 공급된다.

여기서, 포토레지스트 수용액을 공급하기 위한 수용용기 및 이에 결합되는 커버장치가 사용되며, 고압의 기체를 수용용기 내부로 공급하여 내부의 포토레지스트 수용액을 배출해 공급관으로 전달하도록 구성된다.

이때, 수용용기에는 포토레지스트 수용액을 배출하고 이와 함께 고압기체를 내부로 공급하기 위한 커버장치가 구비되지만, 수용용기 내부가 고압상태로 유지되기 때문에 배출모듈의 결합 시 삽입 깊이의 조절이 어려운 문제가 있다.

특히, 배출모듈의 경우 잔여물 없이 안정적으로 수용용기 내부의 수용액을 배출하기 위해 유로의 하단부가 수용용기의 바닥면에 최대한 근접하거나 접촉하도록 배치되어야 한다.

하지만, 이러한 배치가 가능함과 동시에 수용용기 내부를 밀폐하여 고압상태를 유지할 수 있도록 하는 것에는 구조적인 문제가 있으며, 특히 의도하지 않게 커버장치의 일부가 분리되는 경우, 분리되는 부분에 사용자가 피격되거나, 또는 내부의 포토레지스트 수용액이 사용자의 신체에 일부 비산하여 안정사고가 발생할 수 있다.

따라서 이러한 문제의 해결을 위한 기술 개발이 필요하다.

구내공개특허 10-2004-17479호

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 고압으로 가스를 주입해 내부의 포토레지스트 수용액을 배출하는 수용용기에 결합되어 배출모듈의 삽입깊이를 단계적으로 조절하며 끝단부가 수용용기의 바닥면에 근접하도록 조절하는 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치 에 관한 것이다..

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 개구된 부분에 결합되어 내부를 밀폐함과 동시에 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키는 커버장치에 관한 것으로, 상기 수용용기의 상단부에 결합되고 기 설정된 각도로 상향 경사를 가지며 돌출된 경사돌출유닛을 포함하며, 상기 수용공간 내외부가 연통되는 연통구가 형성되는 가이드모듈, 길게 배관 형태로 형성되어 길이방향에 따른 일측이 상기 연통구를 관통하며 상기 수용용기 내부에 배치되고, 타측이 외부로 노출되어 배출구가 형성되는 배출모듈 및 상기 배출모듈의 타측 일부가 관통한 상태로 상기 경사돌출유닛과 고정 결합되어 상기 배출모듈이 상기 가이드모듈을 향해 가압되도록 형성되는 고정모듈을 포함하며, 상기 고정모듈은 상기 경사돌출유닛의 돌출된 길이방향을 따라 결합위치가 조절되어 상기 배출모듈의 삽입깊이를 조절한다.

또한, 상기 배출모듈은 길이방향을 따라 일부 영역에서 확장 형성되어 상기 연통구의 둘레에 대응하는 둘레를 가지며 상기 연통구의 내부에서 삽입 고정되는 확장고정유닛을 포함할 수 있다.

또한, 상기 배출모듈은 길게 형성되어 일부가 상기 수용용기 내부에 배치되고 내부에 배출유로가 형성되는 유로유닛 및 상기 확장고정유닛에서 연장 돌출되어 외부로 노출되며 상기 배출유로와 연장되는 배출구가 형성된 연결유닛을 더 포함할 수 있다.

또한, 상기 고정모듈은 상기 배출모듈의 타측 일부가 관통되며 상기 확장고정유닛과 접촉한 상태로 상기 경사돌출유닛의 적어도 일부를 감싸는 결합유닛 및 일정길이를 가지며 중간부가 상기 결합유닛에 고정되고, 길이방향에 따른 일측이 선택적으로 상기 경사돌출유닛과 접촉하여 상기 결합유닛과의 결합여부를 조절하는 조절유닛을 포함하며, 상기 조절유닛을 조작하여 상기 확장고정유닛이 상기 수용용기 방향으로 가압되고 반대방향으로 이탈되지 않도록 할 수 있다.

또한, 상기 경사돌출유닛은 외측면의 적어도 일부에 톱니형상을 가진 걸림돌기부를 포함하며 돌출된 길이방향을 따라 복수 개가 연속하여 형성되고 상기 조절유닛은 일측 끝단부가 상기 걸림돌기부 중 적어도 일부에 치합되어 선택적으로 고정될 수 있다.

또한, 상기 조절유닛은 복수 개로 구성되어 상기 결합유닛의 둘레를 따라 일정간격 이격 배치될 수 있다.

또한, 상기 조절유닛은 길이방향에 따른 중간부가 상기 결합유닛에서 회전축을 가지며 회전하도록 구성되고, 일측이 상기 경사돌출유닛을 향해 가압되는 복원력이 작용하도록 구성될 수 있다.

또한, 상기 연통구는 적어도 일부 영역에서 상기 수용용기의 내부를 향해 내경이 감소하도록 형성되어 압착 고정될 수 있다.

또한, 상기 경사돌출유닛은 상기 연통구의 내면을 따라 적어도 일부에 형성되며, 중심을 향해 돌출 되어 상기 확장고정유닛의 측면과 접촉하는 돌출압박부를 더 포함할 수 있다.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치는 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명에 따른 커버장치는 돌출된 연통구를 가지는 가이드모듈, 연통구를 관통하며 포토레지스트 수용액을 외부로 배출하는 배출모듈 및 배출모듈과 가이드모듈의 결합을 유지하는 고정모듈을 포함하며, 수용용기 내부에 배출모듈이 삽입 고정되되, 가이드모듈과 고정모듈의 결합 시 단계적으로 배출모듈을 가압하여 삽입 깊이를 조절 함으로써 배출모듈의 하단부가 수용용기의 바닥에 최대한 근접하도록 조절할 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치의 사시도;
도 2는 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치의 세부구성을 나타낸 분해사시도;
도 3은 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치에서 내부 구조를 나타낸 단면도;
도 4는 도 1의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치에서 고정모듈의 구성을 나타낸 도면;
도 5는 도 1의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치에서 고정모듈이 가이드모듈과 결합되는 상태를 나타낸 도면;
도 6은 도 5의 고정모듈이 가이드모듈과의 결합상태에 따라 배출모듈의 끝단부 위치가 조절되는 상태를 나타낸 도면; 및
도 7은 도 1의 커버장치에서 가이드모듈의 변형된 형태를 나타낸 도면임.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.

또한, 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.

또한, 본 발명의 실시 예에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

또한, 본 발명의 실시 예에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

먼저, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 수용용기의 커버장치에 대해 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치의 세부구성을 나타낸 분해사시도이다. 그리고 도 3은 본 발명의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치에서 내부 구조를 나타낸 단면도이며, 도 4는 도 1의 배출모듈의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기의 커버장치에서 고정모듈의 구성을 나타낸 도면이다.

본 발명에 따른 수용용기의 커버장치는 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기(10)의 상부에 결합되어 밀폐시킴과 동시에 외부로부터 별도의 고압기체가 유입되고, 이와 함께 압력으로 인해 포토레지스트 수용액이 외부로 공급되도록 한다.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 커버장치는 크게 가이드모듈(100), 배출모듈(200) 및 고정모듈(300)을 포함하며, 상기 가이드모듈(100)은 상기 수용용기(10)의 개구된 부분에 결합되어 수용공간(12) 내부를 밀폐함과 동시에 별도의 연통구(112)를 통해 상기 포토레지스트 수용액이 외부로 배출될 수 있도록 한다.

여기서, 상기 수용용기(10)는 적어도 일부가 상부로 연장 형성되며, 기 설정된 각도로 상향 경사를 가지며 돌출된 형태로 형성되어 후술하는 상기 고정모듈(300)과 결합된다.

구체적으로, 상기 가이드모듈(100)은 상기 수용용기(10)의 개구된 상단부에 배치되어 상향경사를 가지고 돌출 형성된 경사돌출유닛(110) 및 상기 경사돌출유닛(110)과 연결된 상태로 상기 수용용기(10)에 고정 결합되는 커버유닛(120)을 포함한다.

상기 경사돌출유닛(110)은 합성수지로 이루어져 배관 형태로 형성되며 일정길이 돌출된 형태를 가지며 내부에 상기 수용용기(10)와 연통되는 연통구(112)가 형성된다. 이때, 상기 경사돌출유닛(110)은 외측면의 적어도 일부에 톱니형상을 가진 걸림돌기부(113)를 포함하며 돌출된 길이방향을 따라 복수 개가 연속하여 형성되어 후술하는 고정모듈(300)이 결합된다.

여기서, 상기 걸림돌기부(113)는 복수 개가 톱니형상으로 형성되되, 상기 경사돌출유닛(110)의 돌출된 방향이 상기 수용용기(10)를 향하는 방향보다 상대적으로 완만한 경사를 가지도록 형성되어 후술하는 상기 고정모듈(300)과 결합 시 상기 수용용기 방향으로 삽입이 용이하게 한다.

그리고 상기 경사돌출유닛(110)은 하측 끝단부가 상기 수용용기(10)의 개구부 형상에 대응하여 밀폐 접촉이 가능한 형태로 구성되며 적어도 일부가 상기 커버유닛(120)과 결합되도록 형성된다.

본 실시예에서 상기 경사돌출유닛(110)은 도시된 바와 같이 T자 형태를 가지며 하측 끝단에 둘레가 확장된 확장부(114)가 형성되고, 상부방향으로 길게 돌출된 형태를 가진다. 이때, 상기 연통구(112)는 상하방향으로 길게 형성되어 상기 수용용기(10) 내부와 연통된다.

그리고, 상기 커버유닛(120)은 상기 상기 경사돌출유닛(110)과 상기 수용용기(10)가 접촉한 상태에서 이탈되지 않고 결합상태를 유지하도록 하는 구성으로써, 상기 확장부(114)와 연결된 상태로 상기 수용용기(10)의 개구부에 고정 결합된다.

구체적으로 상기 커버유닛(120)은 링 형태로 형성되어 상기 경사돌출유닛(110)이 관통되고, 적어도 일부가 상기 확장부(114)를 감싸며 상기 수용용기(10)와 결합된다. 이때, 상기 수용용기(10)에는 별도의 나사산이 형성되고, 상기 커버유닛(120)은 하측이 상기 수용용기(10)를 감싸며 나사산에 치합되어 고정된다.

여기서, 상기 커버유닛(120)은 링 형태로 중앙에 홀이 형성되어 상기 경사돌출유닛(110)의 일부가 관통되되 상기 확장부(114)보다 상대적으로 홀이 작게 형성 됨으로써 상기 커버유닛(120)이 상기 수용용기(10)와 결합 시 상기 경사돌출유닛(110)이 이탈되지 않고 결합상태를 유지할 수 있다.

본 실시예에서 상기 커버유닛(120)은 2개의 부재로 형성되어 상하방향을 따라 적층 형성되며, 이들 사이에 상기 확장부(114)가 배치되어 상기 커버유닛(120)과 상기 경사돌출유닛(110)이 결합상태를 유지할 수 있다.

이와 같이 상기 가이드모듈(100)은 상기 경사돌출유닛(110) 및 상기 커버유닛(120)을 포함하며, 상기 수용용기(10)의 개구부에 고정 결합되며 상기 경사돌출유닛(110)이 기 설정된 각도를 가지며 상부로 돌출된 상태로 배치되도록 한다.

추가적으로 본 발명에 따른 상기 경사돌출유닛(110)은 상기 연통구(112)의 적어도 일부 영역에서 상기 수용용기(10)의 내부를 향해 내경이 감소하도록 형성되며 후술하는 상기 배출모듈(200)의 일부가 상기 수용용기(10) 방향으로 삽입되는 경우 상기 연통구(112)의 내면에 의해 압박이 되도록 구성된다.

본 실시예에서 상기 경사돌출유닛(110)은 상기 연통구(112)의 내면을 따라 별도의 돌출압박부(130)가 형성되며, 상기 배출모듈(200)에 형성된 확장고정유닛(220)이 상기 연통구(112) 내부에 삽입되어 상기 돌출압박부(130)에 의해 가압된다.

상기 돌출압박부(130)의 세부적인 구성에 대해서는 도 7을 참조하여 후술한다.

한편, 상기 배출모듈(200)은 길게 배관형태로 형성되어 상기 연통구(112)를 관통하며 일측이 상기 수용용기(10)의 수용공간(12) 내부에 삽입되고, 타측이 상기 외부로 노출되어 배출구(232)가 형성된다.

구체적으로 상기 배출모듈(200)은 상기 가이드모듈(100)을 관통한 상태로 결합 고정되어 일측이 상기 수용공간(12) 내부에 배치되고 타측이 상기 수용용기(10) 외부에 배치되어 수용된 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출한다.

이때, 상기 배출모듈(200)은 상기 가이드모듈(100)에 결합 시 밀착 고정되어 삽입되며 배출유로와 에어유로가 형성되고, 배출유로는 상기 수용공간(12) 내부의 바닥면에 접하여 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키도록 구성된다. 그리고 나머지 에어유로는 상기 수용공간(12)의 상부부분과 연통되어 고압 기체가 공급됨으로써 상기 포토래지스트 수용액이 압력에 의해 외부로 배출될 수 있도록 한다.

본 발명에서 상기 배출모듈(200)은 길이방향을 따라 일부가 상기 연통구(112)의 둘레에 대응하는 둘레를 가지며 상기 연통구(112)의 내면에 삽입되는 형태로 배치되며, 크게 유로유닛(210), 확장고정유닛(220) 및 연결유닛(230)을 포함한다.

상기 유로유닛(210)은 길게 형성되어 일부가 상기 수용용기(10) 내부에 배치되고 내부에 배출유로가 형성되어 상기 포토레지스트 수용액을 타측으로 배출할 수 있도록 구성된다.

구체적으로 상기 유로유닛(210)은 일반적인 배관 형태로 길게 형성되며 일측이 상기 수용용기(10)의 바닥면에 접하도록 배치된다. 이때, 도시된 바와 같이 상기 유로유닛(210)은 상기 가이드모듈(100)에 의해 일정각도 경사진 상태로 배치되며 일측이 상기 수용공간(12)에서 바닥면의 가장자리 부분에 접하도록 안착되어 잔여 포토레지스트 수용액을 완전히 배출시킬 수 있도록 구성된다.

본 실시예에서 상기 유로유닛(210)은 길게 형성되어 상기 수용용기(10)의 개구부보다 상대적으로 가늘게 형성되며 내부에 상기 배출유로가 형성된다.

한편, 상기 확장고정유닛(220)은 상기 유로유닛(210)의 타측에 연장 형성되며 상기 연통구(112) 내부에 삽입 고정되는 구성으로 상기 유로유닛(210)의 길이방향에 따른 일부 영역이 확장되는 형태로 형성되며 내부에 상기 배출유로가 연장 형성된다.

구체적으로 상기 확장고정유닛(220)은 상기 연통구(112)의 둘레에 대응하는 둘레 및 길이를 가지는 것이 바람직하며, 상기 유로유닛(210)의 삽입 시 함께 상기 연통구(112)를 관통하여 삽입되며 상기 연통구(112)를 밀폐시키도록 구성된다.

이때, 상기 확장고정유닛(220)은 상기 배출유로와 별도로 에어유로가 형성되며 후술하는 상기 연결유닛(230)과 연결되어 상기 수용공간(12) 내부로 고압 에어가 공급될 수 있도록 한다.

본 실시예에서 상기 확장고정유닛(220)은 상기 연통구(112)의 형상에 대응하여 원통 형태로 형성되며, 둘레를 따라 적어도 하나 이상의 실링이 구비되어 상기 연통구(112)와 접촉 시 의도하지 않게 유체가 유동하는 것을 차단한다.

여기서, 상기 확장고정유닛(220)은 후술하는 돌출압박부(130)가 측면에 접촉하며, 상기 연통구(112)에 삽입 시 억지끼움 형태로 가압되어 안정적으로 결합상태를 유지할 수 있도록 구성된다.

한편, 상기 연결유닛(230)은 상기 확장고정유닛(220)을 중심으로 상기 유로유닛(210)의 타측에 구비되며 각각 상기 에어유로와 상기 배출유로가 독립적으로 연결될 수 있도록 형성된다.

구체적으로 상기 연결유닛(230)은 도시된 바와 같이 상기 확장고정유닛(220)에서 연장 돌출되어 외부로 노출되며 상기 배출유로와 연결되는 배출구(232) 및 상기 에어유로와 연결되는 공급부(234)가 형성된다. 이때, 상기 배출구(232)는 상기 포토레지스트 수용액이 공급되는 장비와 연결되고, 상기 공급부(234)는 상기 수용공간(12) 내부로 공급되는 고압의 에어를 공급하는 수단과 연결되며, 본 실시예에서 상기 고압에어는 질소가스가 공급된다.

본 실시예에서 상기 연결유닛(230)은 도시된 바와 같이 후술하는 상기 고정모듈(300)을 관통하여 외부로 노출되는 형태로 구성되며 각각 상기 배출구(232)와 공급부(234)가 독립적으로 구비된다.

이와 같이 상기 배출모듈(200)은 상기 유로유닛(210), 상기 확장고정유닛(220) 및 상기 연결유닛(230)을 포함하며, 일측이 상기 가이드모듈(100)을 관통한 상태로 상기 확장고정유닛(220)이 상기 연통구(112)와 결합된다.

한편, 고정모듈(300)은 상기 배출모듈(200)의 타측 일부가 관통한 상태로 상기 경사돌출유닛(110)과 고정 결합되어 상기 배출모듈(200)이 상기 가이드모듈(100) 방향을 향해 가압되도록 형성된다.

구체적으로 상기 고정모듈(300)은 상기 배출모듈(200)의 타측 일부를 감싸며 이와 동시에 상기 경사돌출유닛(110)에 고정 결합되어 상기 확장고정유닛(220)을 가압하도록 구성된다.

이때, 상기 고정모듈(300)은 상단부가 중앙에 상기 확장고정유닛(220)의 둘레보다 상대적으로 작은 크기의 홀이 형성되는 링 형태로 형성되어 상기 연결유닛(230)이 관통되도록 구성되며 상기 경사돌출유닛(110)의 외측면을 감싸는 형태로 형성된다.

그리고 상기 경사돌출유닛(110)은 외측면의 적어도 일부에 톱니형상을 가진 걸림돌기부(113)를 포함하며 돌출된 길이방향을 따라 복수 개가 연속하여 형성되고, 상기 고정모듈(300)은 상기 경사돌출유닛(110)을 감싸며 적어도 일부가 상기 걸림돌기부(113)와 선택적으로 접촉하여 고정되도록 구성된다.

이에 따라 상기 고정모듈(300)이 상기 경사돌출유닛(110)의 길이방향을 따라 상기 수용용기(10) 방향으로 이동하며 이동 시 상기 걸림돌기부(113)와 고정됨으로써 의도하지 않게 상기 고정모듈(300)이 이탈되는 것을 방지하고 상기 확장고정유닛(220)이 상기 연통구(112) 내부로 가압되며 결합상태를 유지할 수 있다.

여기서, 본 발명에 따른 상기 경사돌출유닛(110)은 상기 연통구(112)의 적어도 일부 영역에서 수용용기(10)의 방향을 따라 내경이 감소하도록 형성된다. 그리고 상기 고정모듈(300)에 의해 상기 확장고정유닛(220)이 상기 연통구(112) 내부로 가압됨으로써 상기 연통구(112)의 내경이 감소하는 방향을 따라 가압되어 상기 연통구(112)가 안정적으로 밀폐될 수 있다.

본 실시예에서 상기 고정모듈(300)은 크게 결합유닛(310) 및 조절유닛(320)을 포함하며, 상기 결합유닛(310)은 상기 경사돌출유닛(110)의 외측면의 감싸며 상기 확장고정유닛(220)을 가압하는 형태로 구성된다.

구체적으로 상기 결합유닛(310)은 상기 연결유닛(230)이 관통되며 상기 확장고정유닛(220)과 접촉한 상태로 상기 경사돌출유닛(110)를 감싸며 고정하고, 상기 조절유닛(320)에 의해 상기 경사돌출유닛(110)과 고정된다.

여기서, 상기 결합유닛(310)은 도 4에 도시된 바와 같이 일정 두께를 가지는 원통형상을 가지며, 상부는 상대적으로 작은 내경을 가지도록 형성되어 상기 유로유닛(210)이 관통한 상태로 상기 확장고정유닛(220)이 상부로 이탈되지 않도록 감싼다.

그리고 상기 경사돌출유닛(110)의 상단부를 감싸는 형태로 결합되며, 상기 수용용기(10) 방향을 향해 위치가 조절될 수 있도록 구성된다.

즉, 상기 결합유닛(310)은 상기 경사돌출유닛(110)에 상기 배출모듈(200)이 삽입 관통된 상태에서 상기 확장고정유닛(220)을 상부에서부터 감싸는 형태로 상기 경사돌출유닛(110)에 결합되어 상기 배출모듈(200)의 이탈을 방지함과 동시에 삽입 깊이를 조절할 수 있다.

이때, 상기 결합유닛(310)은 후술하는 상기 조절유닛(320)이 결합되며, 상기 조절유닛(320)의 조절을 통해 상기 경사돌출유닛(110)과 선택적으로 고정 또는 분리될 수 있도록 구성된다.

본 실시예에서 상기 결합유닛(310)은 도시된 바와 같이 원통 형상을 가지며 둘레를 따라 측면의 일부에 관통 형성된 결합홈(312)이 형성되어 상기 경사돌출유닛(110)의 외측면 일부가 노출되며, 상기 결합홈(312)에 상기 조절유닛(320)이 결합되어 상기 경사돌출유닛(110)의 외측면에 선택적으로 접촉하여 고정된다.

한편, 상기 조절유닛(320)은 상기 결합유닛(310)에 구비되어 선택적으로 상기 결합유닛(310)의 움직임을 조절하는 구성으로써, 일정길이를 가지며 중간부가 상기 결합유닛(310)에 고정되고, 길이방향에 따른 일측이 선택적으로 상기 경사돌출유닛(110)과 접촉하여 상기 결합유닛(310)과의 결합여부를 조절한다.

이때, 상기 조절유닛(320)은 상기 확장고정유닛(220)이 상기 수용용기(10) 방향으로 가압되되, 반대방향으로는 의도하지 않게 이탈되는 것을 방지하며, 사용자의 조작에 의해 선택적으로 상기 결합유닛(310)을 분리시킬 수 있도록 한다.

구체적으로 상기 조절유닛(320)은 상기 결합유닛(310)의 둘레를 따라 적어도 하나 이상이 구비되며 상기 결합홈(312)에 안착된 상태로 상하방향으로 배치되어 길이방향에 따른 중간부가 상기 결합유닛(310)과 회전 가능하도록 결합된다. 그리고 길이방향에 따른 일단부가 상기 걸림돌기부(113)의 형상에 대응하도록 형성되어 선택적으로 접촉한다. 여기서, 상기 조절유닛(320)의 길이방향에 따른 일단부는 적어도 하나 이상의 톱니를 가지며 상기 걸림돌기부(113) 중 상기 결합홈(312)를 통해 노출된 영역에서 적어도 일부에 치합되어 상기 결합유닛(310)이 고정된다.

이에 따라 상기 조절유닛(320)의 길이방향에 따른 일측이 상기 걸림돌기부(113)에 접촉 시 상기 결합유닛(310)이 상기 경사돌출유닛(110)에서 이탈되지 않고 상기 수용용기(10)방향으로 이동하거나 또는 결합상대를 유지할 수 있다.

이와 달리 도 4에 도시된 바와 같이 상기 조절유닛(320)의 타측을 가압하여 일측이 상기 걸림돌기부(113)에서 분리되는 경우 상기 결합유닛(310)은 상기 경사돌출유닛(110)과 분리가 가능한 상태가 될 수 있다.

본 실시예에서 상기 조절유닛(320)은 복수 개로 구성되어 상기 결합유닛(310)의 둘레를 따라 일정간격 이격 배치된 상태이며, 사용자가 상기 조절유닛(320)의 타측을 동시에 가압하여 조작함으로써 일측이 상기 걸림돌기부(113)와 선택적으로 분리 또는 접촉상태가 유지될 수 있다.

이때, 상기 조절유닛(320)은 길이방향에 따른 중간부가 상기 결합유닛(310)에서 회전축을 가지며 회전하도록 구성되고, 일측이 상기 경사돌출유닛(110)을 향해 가압되는 복원력이 작용하도록 구성된다. 즉, 상기 조절유닛(320)은 상기 결합유닛(310)과 회전 가능하게 결합되며, 별도의 탄성부재(미도시)를 통해 복원력을 제공받아 사용자가 타측을 가압하지 않는 경우 일측이 상기 걸림돌기부(113)와 접촉상태를 유지할 수 있다.

이와 같이 본 발명에 따른 상기 고정모듈(300)은 상기 결합유닛(310) 및 상기 조절유닛(320)을 포함하며, 사용자가 상기 결합유닛(310)을 상기 경사돌출유닛(110)과 결합시킨 상태에서 상기 수용용기(10) 방향으로 가압하여 상기 확장고정유닛(220)이 및 상기 유로유닛(210)이 함께 상기 수용용기(10) 방향으로 이동시킴으로써 상기 유로유닛(210)의 하단부를 상기 수용용기(10)의 바닥면에 근접하게 배치시킬 수 있다.

즉, 상기 고정모듈(300)은 상기 결합유닛(310)에 의해 상기 배출모듈(200)이 상기 연통구(112)를 관통한 상태로 가압 고정되며, 상기 결합유닛(310)이 상기 배출모듈(200)을 상기 수용용기(10) 방향으로 가압하는 경우 상기 걸림돌기부(113)와 상기 조절유닛(320)의 일측이 접촉하여 단계별로 삽입 깊이가 조절됨으로써 일정 수준 이상 상기 배출모듈(200)이 상기 수용용기(10) 내부로 삽입되는 것을 억제할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 커버장치는 상기 가이드모듈(100), 상기 배출모듈(200) 및 상기 고정모듈(300)을 포함하며, 상기 수용용기(10) 내부에 상기 배출모듈(200)이 삽입 고정되되, 상기 걸림돌기부(113)와 상기 조절유닛(320)의 일단부에 의해 상기 배출모듈(200)이 상기 수용용기(10)를 향해 일정수준이상 가압되는 것을 방지하며 상기 유로유닛(210)의 하단부가 상기 수용용기(10)의 바닥면에 접촉하거나 최대한 인접하게 배치할 수 있다.

이어서, 도 5 및 도 6을 참조하여 상기 유로유닛(210)이 상기 수용용기(10)의 바닥면에 근접하게 배치되는 과정에 대해 살펴보면 다음과 같다.

도 5는 도 1의 배출모듈(200)의 삽입 깊이가 조절되는 수용용기(10)의 커버장치에서 고정모듈(300)이 가이드모듈(100)과 결합되는 상태를 나타낸 도면이고 도 6은 도 5의 고정모듈(300)이 가이드모듈(100)과의 결합상태에 따라 배출모듈(200)의 끝단부 위치가 조절되는 상태를 나타낸 도면이다.

먼저 도 5의 (a)를 살펴보면, 상기 경사돌출유닛(110)에 상기 배출모듈(200)이 삽입 관통된 상태로 상기 고정모듈(300)이 체결된 상태이다. 이때, 상기 고정모듈(300)은 상기 수용용기(10) 방향으로 완전히 가압되지 않은 상태로 상기 확장고정유닛(220) 역시 상기 연통구(112) 내부로 완전히 삽입되지 않는다.

이와 같은 경우 도 6의 (a)와 같이 상기 유로유닛(210)의 하단부가 상기 수용용기(10)의 바닥면과 일정거리 이격된 상태로 배치된다.

이어서 도 5의 (b)와같이 사용자가 상기 결합유닛(310)을 상기 수용용기(10) 방향으로 가압하는 경우 상기 결합유닛(310)과 함께 상기 확장고정유닛(220)이 가압되어 상기 연통구(112) 내부로 삽입되고, 이와 연동하여 상기 유로유닛(210)이 하부로 이동한다.

이때, 상기 조절유닛(320)은 상기 걸림돌기부(113)의 형상에 의해 별도로 조작하지 않더라도 상기 결합유닛(310)이 상기 경사돌출유닛(110)을 따라 이동하며 상기 배출모듈(200)의 삽입 깊이를 조절할 수 있다.

여기서, 상기 걸림돌기부(113)는 복수 개의 톱니가 다단으로 연속하여 형성되고, 상기 조절유닛(320)의 일단부는 이에 대응하여 치합되도록 형성되어 있어 외력에 의해 상기 결합홈(312)를 상기 수용용기(10)방향으로 가압하는 경우 단계별로 상기 확장고정유닛(220)의 삽입 깊이를 조절할 수 있다.

이와 같이 상기 결합유닛(310)을 가압하여 상기 확장고정유닛(220)의 삽입 깊이를 조절하는 경우 도 6의 (b)와 같이 상기 유로유닛(210)의 하단부가 상기 수용용기(10)의 바닥면에 인접하도록 이동하여 배치시킬 수 있다.

즉 본 발명에 따른 커버장치에서 상기 경사돌출유닛(110)과 상기 조절유닛(320)에 의해 상기 결합유닛(310)이 상기 수용용기(10) 방향으로 단계적인 가압이 가능하도록 구성됨으로써 상기 배출모듈(200)의 삽입 깊이를 조절해 상기 유로유닛(210)의 하단부가 상기 수용용기(10) 바닥면에 최대한 인접하게 배치 함으로써, 잔여 내용물을 안정적으로 토출시킬 수 있으며, 간단한 조작으로 상기 수용용기(10)와 분리할 수 있다.

이어서, 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 상기 경사돌출유닛(110)의 세부적인 구성에 대해 살펴보면 다음과 같다.

먼저 도시된 도면을 살펴보면, 상기 경사돌출유닛(110)은 배관형태의 상기 연통구(112)가 중앙에 형성되며, 상기 연통구(112)의 내면을 따라 중심을 향해 돌출 형성되어 상기 확장고정유닛(220)과 접촉하는 돌출압박부(130)를 더 포함한다.

상기 돌출압박부(130)는 일반적인 돌기형태 또는 링 형태로 형성되며, 상기 연통구(112)의 길이방향을 따라 내경이 감소하는 형태로 구성된다. 여기서, 상기 돌출압박부(130)는 상기 확장고정유닛(220)이 삽입되는 경우 측면을 압박하여 이탈을 억제하는 구성으로써, 상기 확장고정유닛(220)이 가압되어 삽입될수록 측면의 압박 강도도 증가하게 된다.

이에 따라 상기 고정모듈(300)이 상기 확장고정유닛(220)을 상기 연통구(112)를 향해 가압함에 따라 상기 돌출압박부(130) 역사 상기 확장고정유닛(220)의 측면을 압박해 이탈되는 최대한 억제할 수 있다.

본 실시예에서 상기 돌출압박부(130)는 도시된 바와 같이 링 형태로 형성되어 상기 연통구(112)의 적어도 일부의 내면에 형성되며, 길이방향을 따라 일정각도 경사를 가지고 돌출 된 제1경사면(132) 및 상기 제1경사면(132)과 연속하며 반대방향으로 경사를 가지는 제2경사면(134)을 포함한다.

상기 제1경사면(132)은 기 설정된 각도로 상기 연통구(112)의 내면에서 길이방향을 따라 내면이 점차 감소하는 형태로 형성되며 상기 제2경사면(134)은 상기 제2경사면(134)과 반대방향으로 경사를 가지도록 구성된다. 이때, 상기 제2경사면(134)은 상기 제1경사면(132)보다 상대적으로 큰 경사각도를 가지도록 구성되며, 상기 확장고정유닛(220)이 상기 연통구(112)의 내부로 삽입되는 경우 모서리 부분이 상기 확장고정유닛(220)의 측면을 가압하도록 구성된다.

이에 따라, 상기 확장고정유닛(220)은 상기 연통구(112)에 삽입 시 상기 제1경사면(132)에 의해 가압되며 측면의 압박이 증가됨과 동시에 제2경사면(134)에 의해 반대방향으로 슬라이딩하는 것을 억제할 수 있다.

이와 같이 본 발명에 따른 상기 경사돌출유닛(110)은 상기 연통구(112)의 내면에 상기 돌출압박부(130)를 포함하여 상기 확장고정유닛(220)의 삽입 시 완전히 밀폐가 가능하도록 함과 동시에 의도하지 않게 반대방향으로 이탈하는 것을 억제할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.

10: 수용용기
12: 수용공간
100: 가이드모듈
110: 경사돌출유닛
120: 커버유닛
130: 돌출압박부
200: 배출모듈
210: 유로유닛
220: 확장고정유닛
230: 연결유닛
300: 고정모듈
310: 결합유닛
320: 조절유닛

Claims (9)

1. 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 개구된 부분에 결합되어 내부를 밀폐함과 동시에 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키는 커버장치에 있어서,
   상기 수용용기의 상단부에 결합되고 기 설정된 각도로 상향 경사를 가지며 돌출된 경사돌출유닛을 포함하며, 상기 수용용기 내외부가 연통되는 연통구가 형성되는 가이드모듈;
   길게 배관 형태로 형성되어 길이방향에 따른 일측이 상기 연통구를 관통하며 상기 수용용기 내부에 배치되고, 타측이 외부로 노출되어 배출구가 형성되며 길이방향을 따라 일부 영역에서 확장 형성되어 상기 연통구의 둘레에 대응하는 둘레를 가지며 상기 연통구의 내부에서 삽입 고정되는 확장고정유닛을 포함하는 배출모듈; 및
   상기 배출모듈의 타측 일부가 관통한 상태로 상기 경사돌출유닛과 고정 결합되어 상기 배출모듈이 상기 가이드모듈을 향해 가압되도록 형성되는 고정모듈; 을 포함하며,
   상기 고정모듈은,
   상기 배출모듈의 타측 일부가 관통되며 상기 확장고정유닛과 접촉한 상태로 상기 경사돌출유닛의 적어도 일부를 감싸는 결합유닛 및 일정길이를 가지며 중간부가 상기 결합유닛에 고정되고, 길이방향에 따른 일측이 선택적으로 상기 경사돌출유닛과 접촉하여 상기 결합유닛과의 결합여부를 조절하는 조절유닛을 포함하며, 상기 조절유닛을 조작하여 상기 확장고정유닛이 상기 경사돌출유닛의 돌출된 길이방향을 따라 이동하며 상기 수용용기 방향으로 가압되고 반대방향으로 이탈되지 않도록 하고,
   상기 결합유닛은 둘레를 따라 측면의 일부에 관통 형성된 결합홈이 형성되어 상기 경사돌출유닛의 외측면 일부가 노출되며 상기 결합홈에 상기 조절유닛이 결합되고,
   상기 조절유닛은 일정길이를 가지며 상기 결합홈에 안착된 상태로 상하방향으로 배치되어 길이방향에 길이방향에 따른 일단부가 상기 경사돌출유닛과 접촉하며,
   상기 경사돌출유닛은 외측면의 적어도 일부에 톱니형상을 가진 걸림돌기부를 포함하며 돌출된 길이방향을 따라 복수 개가 연속하여 형성되고,
   상기 조절유닛은 일측 끝단부가 상기 걸림돌기부 중 적어도 일부에 치합되어 선택적으로 고정되며,
   상기 고정모듈은 상기 결합유닛이 상기 경사돌출유닛의 돌출된 길이방향을 따라 결합위치가 조절되어 상기 배출모듈의 삽입깊이를 조절하는 커버장치.
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 배출모듈은,
   길게 형성되어 일부가 상기 수용용기 내부에 배치되고 내부에 배출유로가 형성되는 유로유닛; 및
   상기 확장고정유닛에서 연장 돌출되어 외부로 노출되며 상기 배출유로와 연장되는 배출구가 형성된 연결유닛;
   을 더 포함하는 커버장치.
   
4. 삭제
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 조절유닛은,
   복수 개로 구성되어 상기 결합유닛의 둘레를 따라 일정간격 이격 배치되는 커버장치.
7. 제1항에 있어서,
   상기 조절유닛은,
   길이방향에 따른 중간부가 상기 결합유닛에서 회전축을 가지며 회전하도록 구성되고, 일측이 상기 경사돌출유닛을 향해 가압되는 복원력이 작용하도록 구성되는 커버장치.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 연통구는,
   적어도 일부 영역에서 상기 수용용기의 내부를 향해 내경이 감소하도록 형성되어 압착 고정되는 커버장치.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 경사돌출유닛은,
   상기 연통구의 내면을 따라 적어도 일부에 형성되며, 중심을 향해 돌출 되어 상기 확장고정유닛의 측면과 접촉하는 돌출압박부를 더 포함하는 커버장치.
   

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