KR102614235B1 - 유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치 - Google Patents

유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 개구된 부분에 결합되어 내부를 밀폐함과 동시에 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키는 커버장치에 관한 것으로, 상기 수용용기의 상단부를 선택적으로 밀폐하고, 상기 수용용기의 내부와 외부를 연통시키는 유체연통유닛을 포함하는 커버모듈, 길게 형성되어 일측이 상기 유체연통유닛과 연결되며 내부에 유로가 형성되어 유체의 이동이 가능하도록 구성되는 유체이동모듈 및 상기 유체이동모듈의 적어도 일부를 감싸며 외부로부터 보호하고, 일정 수준 이상의 탄성을 유지하도록 보강하는 보강모듈을 포함하며, 상기 보강모듈은 상기 유체이동모듈의 길이방향을 따라 나선 형태로 외측면을 감싸도록 형성되는 커버장치가 개시된다.

Description

유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치{Reinforcement module capable of reinforcing the fluid transfer module and a cover device for a container including the same}
본 발명은 유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치에 관한 것으로서, 가스를 주입해 내부의 포토레지스트 수용액을 배출하는 수용용기에 결합되며, 가스의 주입과 수용액이 배출되는 유체이동모듈의 손상을 방지하는 유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치 에 관한 것이다..
일반적으로, 포토리소그라피공정은 일련의 반도체 제조공정이 선행된 웨이퍼를 코팅장치의 스핀척(Spin chuck) 상에 위치시켜 포토레지스트(Photoresist)를 코팅(Coating)하는 공정을 포함한다.
여기서, 포토레지스트는 레진(Resin)과 빛에 의해서 활성화가 이루어지는 감응제로서의 인히비터(Inhibitor)와 액상(Liquid state)의 용제(Solvent)를 포함하여 이루어지며, 이러한 포토레지스트는 유리병으로 된 수용용기에 수용된 상태에서 수용용기 캡에 결합되는 포토레지스트 공급관(테프론 튜브)을 통해 포토레지스트 공급라인으로 공급되며, 이와 같이 포토레지스트 공급라인으로 공급된 포토레지스트는 다수의 밸브와 중간탱크를 경유하여 코팅장치에 공급된다.
여기서, 포토레지스트 수용액을 공급하기 위한 수용용기 및 이에 결합되는 커버장치가 사용되며, 고압의 기체를 수용용기 내부로 공급하여 내부의 포토레지스트 수용액을 배출해 공급관으로 전달하도록 구성된다.
이때, 수용용기의 내부로 기체를 공급하거나 또는 포토레지스트 수용액을 외부로 배출하는 튜브유닛은 일정 수준의 탄성을 가지며 내화학성을 가지는 소재로 구성되는데, 외부에 노출되는 경우 의도하지 않게 손상되거나 크랙으로 인해 파티클이 발생하는 문제가 있다.
특히 튜브유닛은 수용용기의 커버에 형성된 공급부와 배출부에 직접 연결되며, 연결된 부위가 꺾이거나 손상이 발생하는 문제가 생기기도 한다.
따라서 이러한 문제의 해결을 위한 기술 개발이 필요하다.
구내공개특허 10-2004-17479호
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 고압으로 가스를 주입해 내부의 포토레지스트 수용액을 배출하는 수용용기에 결합되어 가스가 주입되거나 수용액이 배출되는 유체이동모듈의 외부를 감싸며 손상이나 꺾임을 방지하여 안정적으로 내구성을 유지할 수 있는 유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 커버장치에 관한 것이다..
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 개구된 부분에 결합되어 내부를 밀폐함과 동시에 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키는 커버장치에 관한 것으로, 상기 수용용기의 상단부를 선택적으로 밀폐하고, 상기 수용용기의 내부와 외부를 연통시키는 유체연통유닛을 포함하는 커버모듈, 길게 형성되어 일측이 상기 유체연통유닛과 연결되며 내부에 유로가 형성되어 유체의 이동이 가능하도록 구성되는 유체이동모듈 및 상기 유체이동모듈의 적어도 일부를 감싸며 외부로부터 보호하고, 일정 수준 이상의 탄성을 유지하도록 보강하는 보강모듈을 포함하며, 상기 보강모듈은 상기 유체이동모듈의 길이방향을 따라 나선 형태로 외측면을 감싸도록 형성된다.
또한, 상기 유체이동모듈은 길게 형성되어 배관 형태로 내부에 유로가 형성되며 유체가 이동하는 튜브유닛 및 상기 튜브유닛의 일단부에 구비되어 상기 유체연통유닛과 상기 튜브유닛을 연결시키는 연결유닛을 포함할 수 있다.
또한, 상기 보강모듈은 일정 길이를 가지는 복수 개의 보호커버로 구성되어 상기 튜브유닛의 둘레를 감싸며 나선형으로 배치되고, 각각의 서로 다른 상기 보호커버는 상기 튜브유닛의 길이방향을 따라 순차적으로 반복하여 배치될 수 있다.
또한, 상기 보강모듈은 복수 개의 상기 보호커버 중 어느 하나가 상기 튜브유닛의 길이방향을 이격공간을 가지며 나선형으로 배치되고, 상기 이격공간 내에 다른 상기 보호커버가 나선형으로 배치되어 상기 튜브유닛의 둘레를 감싸도록 구성되며 다중 나선형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 보강모듈은 복수 개의 상기 보호커버 중 적어도 하나는 상기 튜브유닛의 길이방향을 따라 수축 하는 방향으로 복원력을 가지도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 보강모듈은 상기 튜브유닛과 동일한 재질이거나 또는 상대적으로 강성이 낮은 재질로 구성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 보강모듈은 상기 연결유닛과 함께 상기 보호커버의 일부를 외측에서 함께 감싸며 상기 튜브유닛이 꺾이는 것을 방지하는 피팅유닛을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 피팅유닛은 상기 튜브유닛과 상기 연결유닛의 둘레에 각각에 대응하여 내경이 형성되며 이를 동시에 감싸도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 피팅유닛은 상기 튜브유닛의 둘레를 따라 복수 개의 부재로 분리되어 상호 체결되며 원통형태로 결합될 수 있다.
또한, 상기 유체연통유닛은 외부로부터 기체가 상기 수용용기 내부로 공급되는 공급부 및 상기 수용용기에서 상기 포토레지스트 수용액을 배출시키는 배출부를 포함하고, 상기 공급부 및 상기 배출부 각각에 상기 유체이동모듈이 독립적으로 연결될 수 있다.
또한, 상기 보강모듈은 상기 공급부 및 상기 배출부 중 적어도 어느 하나에 장작되는 것을 특징으로 할 수 있다.
한편, 상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따르면, 수용용기의 상단부를 선택적으로 밀폐하고, 상기 수용용기의 내부와 외부를 연통시키는 유체연통유닛을 포함하는 커버모듈, 길게 형성되어 일측이 상기 유체연통유닛과 연결되며 내부에 유로가 형성되어 유체의 이동이 가능하도록 구성되는 유체이동모듈을 포함하는 커버장치에 적용되는 보강모듈에 관한 것으로, 상기 유체이동모듈의 적어도 일부를 감싸며 외부로부터 보호하고, 상기 유체이동모듈의 길이방향을 따라 스크류 형태로 외측면을 감싸도록 형성되어 일정 수준 이상의 탄성을 유지하도록 보강한다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 수용용기의 커버장치는 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명에 따른 유체이동모듈의 보강이 가능한 보강모듈 및 이를 포함하는 커버장치는 포토레지스트 수용액이 수용된 수용용에 결합되어 밀폐하는 커버모듈, 커버모듈을에 연결되어 내외부로 유체가 이동하는 유체이동모듈 및 유체이동모듈을 감싸며 손상을 방지하는 보강모듈을 포함하며, 유체이동모듈의 손상을 억제하고 의도하지 않게 꺾이는 것을 방지하여 안정적으로 유체가 이동할 수 있도록 하는 이점이 있다.
또한, 상기 보강모듈이 제1커버 및 제21커버를 포함하며 각각이 유체이동모듈의 길이방향을 따라 나선형으로 감싸며 반복적으로 연속 배치됨으로써 유체이동모듈이 일정수준 이상의 탄성을 유지함과 동시에 내구성을 유지할 수 있는 이점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 수용용기의 커버장치의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도;
도 2는 도 1의 수용용기의 커버장치의 세부구성을 나타낸 분해사시도;
도 3은 도 1의 수용용기의 커버장치에서 내부 구조를 나타낸 단면도;
도 4는 도 1의 수용용기의 보강장치에서 보강모듈을 나타낸 평면도;
도 5는 도 1의 수용용기의 보강장치에서 커버모듈이 체결 및 분리되는 상태를 나타낸 도면; 및
도 6 내지 도 8은 도 1의 수용용기의 보강장치에서 유체이동모듈 및 보강모듈이 장착되는 과정을 나타낸 도면임
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명의 실시 예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.
또한, 본 발명의 실시 예에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, 본 발명의 실시 예에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
먼저, 도 1 내지 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 수용용기의 커버장치에 대해 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 수용용기의 커버장치의 구성을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 수용용기의 커버장치의 세부구성을 나타낸 분해사시도이다. 그리고 도 3은 도 1의 수용용기의 커버장치에서 내부 구조를 나타낸 단면도이며, 도 4는 도 1의 수용용기의 보강장치에서 보강모듈을 나타낸 평면도이다.
이하 본 발명을 설명함에 있어 보강모듈을 포함하는 커버장치를 기준으로 설명한다.
본 발명에 따른 수용용기의 커버장치는 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 상부에 결합되어 밀폐시킴과 동시에 내외부가 관통되어 포토레지스트 수용액이 외부로 공급되도록 구성되며, 유체가 이동하는 튜브를 보강하여 파손이나 꺾임을 억제한다.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 커버장치는 크게 상기 수용용기(10)를 밀폐하는 커버모듈(100), 상기 커버모듈(100)에 연결되어 유체가 이동하는 유체이동모듈(200) 및 유체이동모듈(200)에 장착되어 보호하는 보강모듈(300)을 포함한다.
상기 커버모듈(100)은 상기 수용용기(10)의 개구된 부분에 결합되어 선택적으로 밀폐하도록 구성되며, 상기 유체이동모듈(200)이 체결되어 내 외부로 유체가 연통되도록 구성된다.
구체적으로 상기 커버모듈(100)은 가이드유닛(110), 유체연통유닛(120) 및 고정유닛(130)을 포함하며, 상기 가이드유닛(110)은 상기 수용용기(10)의 개구된 부분에 결합되어 수용공간(12) 내부를 밀폐함과 동시에 별도의 연통구(111)를 통해 상기 포토레지스트 수용액이 외부로 배출될 수 있도록 한다.
여기서, 상기 수용용기(10)는 적어도 일부가 상부로 연장 형성되며, 기 설정된 각도로 상향 경사를 가지며 돌출된 형태로 형성되어 후술하는 상기 고정유닛(130)과 결합된다.
본 발명에서 상기 가이드유닛(110)은 상기 수용용기(10)의 개구된 상단부에 배치되어 상향경사를 가지고 돌출 형성된 경사돌출부(112) 및 상기 경사돌출부(112)와 연결된 상태로 상기 수용용기(10)에 고정 결합되는 장착부(114)를 포함한다.
상기 경사돌출부(112)는 합성수지로 이루어져 배관 형태로 형성되며 일정길이 돌출된 형태를 가지며 내부에 상기 수용용기(10)와 연통되는 연통구(111)가 형성된다. 이때, 상기 경사돌출부(112)는 외측면의 적어도 일부에 톱니형상을 가진 걸림돌기(113)를 포함하며 돌출된 길이방향을 따라 복수 개가 연속하여 형성되어 후술하는 고정유닛(130)이 결합된다.
여기서, 상기 걸림돌기(113)는 복수 개가 톱니형상으로 형성되되, 상기 경사돌출부(112)의 돌출된 방향이 상기 수용용기(10)를 향하는 방향보다 상대적으로 완만한 경사를 가지도록 형성되어 후술하는 상기 고정유닛(130)과 결합 시 상기 수용용기(10) 방향으로 삽입이 용이하게 한다.
그리고 상기 경사돌출부(112)는 하측 끝단부가 상기 수용용기(10)의 개구부 형상에 대응하여 밀폐 접촉이 가능한 형태로 구성되며 적어도 일부가 상기 장착부(114)와 결합되도록 형성된다.
본 실시예에서 상기 경사돌출부(112)는 도시된 바와 같이 T자 형태를 가지며 하측 끝단에 둘레가 확장된 확장부가 형성되고, 상부방향으로 길게 돌출된 형태를 가진다. 이때, 상기 연통구(111)는 상하방향으로 길게 형성되어 상기 수용용기(10) 내부와 연통된다.
그리고, 상기 장착부(114)는 상기 상기 경사돌출부(112)와 상기 수용용기(10)가 접촉한 상태에서 이탈되지 않고 결합상태를 유지하도록 하는 구성으로써, 상기 확장부와 연결된 상태로 상기 수용용기(10)의 개구부에 고정 결합된다.
구체적으로 상기 장착부(114)는 링 형태로 형성되어 상기 경사돌출부(112)이 관통되고, 적어도 일부가 상기 확장부를 감싸며 상기 수용용기(10)와 결합된다. 이때, 상기 수용용기(10)에는 별도의 나사산이 형성되고, 상기 장착부(114)는 하측이 상기 수용용기(10)를 감싸며 나사산에 치합되어 고정된다.
여기서, 상기 장착부(114)는 링 형태로 중앙에 홀이 형성되어 상기 경사돌출부(112)의 일부가 관통되되 상기 확장부보다 상대적으로 홀이 작게 형성 됨으로써 상기 장착부(114)가 상기 수용용기(10)와 결합 시 상기 경사돌출부(112)이 이탈되지 않고 결합상태를 유지할 수 있다.
본 실시예에서 상기 장착부(114)는 2개의 부재로 형성되어 상하방향을 따라 적층 형성되며, 이들 사이에 상기 확장부가 배치되어 상기 장착부(114)와 상기 경사돌출부(112)이 결합상태를 유지할 수 있다.
이와 같이 상기 가이드유닛(110)은 상기 경사돌출부(112) 및 상기 장착부(114)를 포함하며, 상기 수용용기(10)의 개구부에 고정 결합되며 상기 경사돌출부(112)이 기 설정된 각도를 가지며 상부로 돌출된 상태로 배치되도록 한다.
한편, 상기 유체연통유닛(120)은 길게 배관형태로 형성되어 상기 연통구(111)를 관통하며 일측이 상기 수용용기(10)의 수용공간(12) 내부에 삽입되고, 타측이 상기 외부로 노출되며, 상기 수용용기(10)의 내외부가 연통되는 공급부(128) 및 배출부(126)가 형성된다.
구체적으로 상기 유체연통유닛(120)은 상기 가이드유닛(110)을 관통한 상태로 결합 고정되어 일측이 상기 수용공간(12) 내부에 배치되고 타측이 상기 수용용기(10) 외부에 배치되어 수용된 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출한다.
이때, 상기 유체연통유닛(120)은 상기 가이드유닛(110)에 결합 시 밀착 고정되어 삽입되며 배출유로와 에어유로가 형성되고, 배출유로는 상기 수용공간(12) 내부의 바닥면에 접하여 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키도록 구성된다. 그리고 나머지 에어유로는 상기 수용공간(12)의 상부 부분과 연통되어 기체가 상기 수용공간(12) 내부로 공급됨으로써 상기 포토래지스트 수용액이 압력에 의해 외부로 배출될 수 있도록 한다.
본 발명에서 상기 유체연통유닛(120)은 길이방향을 따라 일부가 상기 연통구(111)의 둘레에 대응하는 둘레를 가지며 상기 연통구(111)의 내면에 삽입되는 형태로 배치되며, 크게 유로부(122), 확장고정부(124) 및 공급부(128) 및 상기 배출부(126)를 포함한다.
상기 유로부(122)는 길게 형성되어 일부가 상기 수용용기(10) 내부에 배치되고 내부에 배출유로가 형성되어 상기 포토레지스트 수용액을 타측으로 배출할 수 있도록 구성된다.
구체적으로 상기 유로부(122)는 일반적인 배관 형태로 길게 형성되며 일측이 상기 수용용기(10)의 바닥면에 접하도록 배치된다. 이때, 도시된 바와 같이 상기 유로부(122)는 상기 가이드유닛(110)에 의해 일정각도 경사진 상태로 배치되며 일측이 상기 수용공간(12)에서 바닥면의 가장자리 부분에 접하도록 안착되어 잔여 포토레지스트 수용액을 완전히 배출시킬 수 있도록 구성된다.
본 실시예에서 상기 유로부(122)는 길게 형성되어 상기 수용용기(10)의 개구부보다 상대적으로 가늘게 형성되며 내부에 상기 배출유로가 형성된다.
한편, 상기 확장고정부(124)는 상기 유로부(122)의 타측에 연장 형성되며 상기 연통구(111) 내부에 삽입 고정되는 구성으로 상기 유로부(122)의 길이방향에 따른 일부 영역이 확장되는 형태로 형성되며 내부에 상기 배출유로가 연장 형성된다.
구체적으로 상기 확장고정부(124)는 상기 연통구(111)의 둘레에 대응하는 둘레 및 길이를 가지는 것이 바람직하며, 상기 유로부(122)의 삽입 시 함께 상기 연통구(111)를 관통하여 삽입되며 상기 연통구(111)를 밀폐시키도록 구성된다.
이때, 상기 확장고정부(124)는 상기 배출유로와 별도로 에어유로가 형성되며 후술하는 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)와 연결되어 상기 수용공간(12) 내부로 고압 에어가 공급될 수 있도록 한다.
본 실시예에서 상기 확장고정부(124)는 상기 연통구(111)의 형상에 대응하여 원통 형태로 형성되며, 둘레를 따라 적어도 하나 이상의 실링이 구비되어 상기 연통구(111)와 접촉 시 의도하지 않게 유체가 유동하는 것을 차단한다.
한편, 배출부(126) 및 공급부(128)는 상기 확장고정부(124)를 중심으로 상기 유로부(122)의 타측에 구비되며 각각 상기 에어유로와 상기 배출유로가 독립적으로 연결될 수 있도록 형성된다.
구체적으로 상기 배출부(126)는 상기 확장고정부(124)에서 연장 돌출되어 외부로 노출되며 상기 배출유로와 연결되어 상기 포토레지스트 수용액을 배출시키고, 상기 공급부(128)는 상기 배출부(126)와 인접하며 상기 공급유로와 연결되어 외부로부터 기체를 공급받아 상기 수용공간(12) 내부로 전달한다.
이때, 상기 배출부(126)는 후술하는 유체이동모듈(200)에 연결되어 상기 포토레지스트 수용액이 공급되는 장비와 연결되고, 상기 공급부(128)는 역시 상기 유체이동모듈(200)에 연결되어 상기 수용공간(12) 내부로 기체를 공급하는 수단과 연결되며, 본 실시예에서 상기 고압에어는 질소가스가 공급된다. 여기서, 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)는 상기 유체이동모듈(200)과 결합 시 각각 독립적으로 연결된다.
이와 같이 상기 유체연통유닛(120)은 상기 유로부(122), 상기 확장고정부(124) 및 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)를 포함하며, 일측이 상기 가이드유닛(110)을 관통한 상태로 상기 확장고정부(124)가 상기 연통구(111)와 결합된다.
한편, 고정유닛(130)은 상기 유체연통유닛(120)의 타측 일부가 관통한 상태로 상기 경사돌출부(112)와 고정 결합되어 상기 유체연통유닛(120)이 상기 가이드유닛(110) 방향을 향해 가압되도록 형성된다.
구체적으로 상기 고정유닛(130)은 상기 유체연통유닛(120)의 타측 일부를 감싸며 이와 동시에 상기 경사돌출부(112)에 고정 결합되어 상기 확장고정부(124)를 가압하도록 구성된다.
이때, 상기 고정유닛(130)은 상단부가 중앙에 상기 확장고정부(124)의 둘레보다 상대적으로 작은 크기의 홀이 형성되어 상기 공급부(128)와 상기 배출부(126)가 관통되도록 구성되며 상기 경사돌출부(112)의 외측면을 감싸는 형태로 형성된다.
그리고 상기 경사돌출부(112)는 외측면의 적어도 일부에 톱니형상을 가진 걸림돌기(113)를 포함하며 돌출된 길이방향을 따라 복수 개가 연속하여 형성되고, 상기 고정유닛(130)은 상기 경사돌출부(112)을 감싸며 적어도 일부가 상기 걸림돌기(113)와 선택적으로 접촉하여 고정되도록 구성된다.
이에 따라 상기 고정유닛(130)이 상기 경사돌출부(112)의 길이방향을 따라 상기 수용용기(10) 방향으로 이동하며 이동 시 상기 걸림돌기(113)와 고정됨으로써 의도하지 않게 상기 고정유닛(130)이 이탈되는 것을 방지하고 상기 확장고정부(124)가 상기 연통구(111) 내부로 가압되며 결합상태를 유지할 수 있다.
여기서, 본 발명에 따른 상기 경사돌출부(112)는 상기 연통구(111)의 적어도 일부 영역에서 수용용기(10)의 방향을 따라 내경이 감소하도록 형성된다. 그리고 상기 고정유닛(130)에 의해 상기 확장고정부(124)가 상기 연통구(111) 내부로 가압됨으로써 상기 연통구(111)의 내경이 감소하는 방향을 따라 가압되어 상기 연통구(111)가 안정적으로 밀폐될 수 있다.
본 실시예에서 상기 고정유닛(130)은 크게 결합부(132) 및 조절부(134)를 포함하며, 상기 결합부(132)는 상기 경사돌출부(112)의 외측면의 감싸며 상기 확장고정부(124)를 가압하는 형태로 구성된다.
구체적으로 상기 결합부(132)는 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)가 관통되며 상기 확장고정부(124)와 접촉한 상태로 상기 경사돌출부(112)를 감싸며 고정하고, 상기 조절부(134)에 의해 상기 경사돌출부(112)와 고정된다.
여기서, 상기 결합부(132)는 도시된 바와 같이 일정 두께를 가지는 원통형상을 가지며, 상부는 상대적으로 작은 내경을 가지도록 형성되어 상기 유로부(122)가 관통한 상태로 상기 확장고정부(124)가 상부로 이탈되지 않도록 감싼다.
그리고 상기 경사돌출부(112)의 상단부를 감싸는 형태로 결합되며, 상기 수용용기(10) 방향을 향해 위치가 조절될 수 있도록 구성된다.
즉, 상기 결합부(132)는 상기 경사돌출부(112)에 상기 유체연통유닛(120)이 삽입 관통된 상태에서 상기 확장고정부(124)를 상부에서부터 감싸는 형태로 상기 경사돌출부(112)에 결합되어 상기 유체연통유닛(120)의 이탈을 방지함과 동시에 삽입 깊이를 조절할 수 있다.
이때, 상기 결합부(132)는 후술하는 상기 조절부(134)가 결합되며, 상기 조절부(134)의 조절을 통해 상기 경사돌출부(112)와 선택적으로 고정 또는 분리될 수 있도록 구성된다.
본 실시예에서 상기 결합부(132)는 도시된 바와 같이 원통 형상을 가지며 둘레를 따라 측면의 일부에 관통 형성된 결합홈(132a)이 형성되어 상기 경사돌출부(112)의 외측면 일부가 노출되며, 상기 결합홈(132a)에 상기 조절부(134)가 결합되어 상기 경사돌출부(112)의 외측면에 선택적으로 접촉하여 고정된다.
한편, 상기 조절부(134)는 상기 결합부(132)에 구비되어 선택적으로 상기 결합부(132)의 움직임을 조절하는 구성으로써, 일정길이를 가지며 중간부가 상기 결합부(132)에 고정되고, 길이방향에 따른 일측이 선택적으로 상기 경사돌출부(112)와 접촉하여 상기 결합부(132)와의 결합여부를 조절한다.
이때, 상기 조절부(134)는 상기 확장고정부(124)가 상기 수용용기(10) 방향으로 가압되되, 반대방향으로는 의도하지 않게 이탈되는 것을 방지하며, 사용자의 조작에 의해 선택적으로 상기 결합부(132)를 분리시킬 수 있도록 한다.
구체적으로 상기 조절부(134)는 상기 결합부(132)의 둘레를 따라 적어도 하나 이상이 구비되며 상기 결합홈(132a)에 안착된 상태로 상하방향으로 배치되어 길이방향에 따른 중간부가 상기 결합부(132)와 회전 가능하도록 결합된다.
그리고 길이방향에 따른 일단부가 상기 걸림돌기(113)의 형상에 대응하도록 형성되어 선택적으로 접촉한다. 여기서, 상기 조절부(134)의 길이방향에 따른 일단부는 적어도 하나 이상의 톱니를 가지며 상기 걸림돌기(113) 중 상기 결합홈(132a)를 통해 노출된 영역에서 적어도 일부에 치합되어 상기 결합부(132)가 고정된다.
이에 따라 상기 조절부(134)의 길이방향에 따른 일측이 상기 걸림돌기(113)에 접촉 시 상기 결합부(132)가 상기 경사돌출부(112)에서 이탈되지 않고 상기 수용용기(10)방향으로 이동하거나 또는 결합상대를 유지할 수 있다.
본 실시예에서 상기 조절부(134)는 복수 개로 구성되어 상기 결합부(132)의 둘레를 따라 일정간격 이격 배치된 상태이며, 사용자가 상기 조절부(134)의 타측을 동시에 가압하여 조작함으로써 일측이 상기 걸림돌기(113)와 선택적으로 분리 또는 접촉상태가 유지될 수 있다.
이때, 상기 조절부(134)는 길이방향에 따른 중간부가 상기 결합부(132)에서 회전축을 가지며 회전하도록 구성되고, 일측이 상기 경사돌출부(112)을 향해 가압되는 복원력이 작용하도록 구성된다. 즉, 상기 조절부(134)는 상기 결합부(132)와 회전 가능하게 결합되며, 별도의 탄성부재(미도시)를 통해 복원력을 제공받아 사용자가 타측을 가압하지 않는 경우 일측이 상기 걸림돌기(113)와 접촉상태를 유지할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 상기 고정유닛(130)은 상기 결합부(132) 및 상기 조절부(134)를 포함하며, 사용자가 상기 결합부(132)를 상기 경사돌출부(112)와 결합시킨 상태에서 상기 수용용기(10) 방향으로 가압하여 상기 확장고정부(124)가 및 상기 유로부(122)가 함께 상기 수용용기(10) 방향으로 이동시킴으로써 상기 유로부(122)의 하단부를 상기 수용용기(10)의 바닥면에 근접하게 배치시킬 수 있다.
즉, 상기 고정유닛(130)은 상기 결합부(132)에 의해 상기 유체연통유닛(120)이 상기 연통구(111)를 관통한 상태로 가압 고정되며, 상기 결합부(132)가 상기 유체연통유닛(120)을 상기 수용용기(10) 방향으로 가압하는 경우 상기 걸림돌기(113)와 상기 조절부(134)의 일측이 접촉하여 단계별로 삽입 깊이가 조절됨으로써 일정 수준 이상 상기 유체연통유닛(120)이 상기 수용용기(10) 내부로 삽입되는 것을 억제할 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 커버모듈(100)은 상기 가이드유닛(110), 상기 유체연통유닛(120) 및 상기 고정유닛(130)을 포함하며, 상기 수용용기(10) 내부에 상기 유체연통유닛(120)이 삽입 고정되되, 상기 걸림돌기(113)와 상기 조절부(134)의 일단부에 의해 상기 유체연통유닛(120)이 상기 수용용기(10)를 향해 일정수준이상 가압되는 것을 방지하며 상기 유로부(122)의 하단부가 상기 수용용기(10)의 바닥면에 접촉하거나 최대한 인접하게 배치할 수 있다.
한편, 상기 유체이동모듈(200)은 길게 형성되어 내부에 유로를 가지며 일측이 상기 유체연통유닛(120)에 연결되어 상기 수용용기(10) 내 외부로 유체를 공급하거나 또는 내부의 포토레지스트 수용액을 배출시키도록 구성된다.
구체적으로 상기 유체이동모듈(200)은 내부에 유로가 형성되어 유체가 이동하는 튜브유닛(220) 및 상기 튜브유닛(220)과 상기 유체연통유닛(120)을 연결시키는 연결유닛(210)을 포함한다
상기 튜브유닛(220)은 일반적인 합성 수지로 구성되어 내부에 유로가 형성되며, 일단부가 상기 유체연통유닛(120)에 연결된다. 여기서, 상기 튜브유닛(220)은 일정 수준 이상의 탄성을 가지며 휘어짐이 가능하도록 이루어지는 것이 바람직하다.
본 실시예에서 상기 튜브유닛(220)은 내화학성 소재로 구성되어 상기 포토레지스트 수용액이나 또는 주입되는 질소가스와 화학반응이 발생하는 것을 억제하도록 PFA(Perfluoroalkoxy)수지가 적용된다.
그리고 상기 연결유닛(210)은 상기 튜브유닛(220)의 길이방향에 따른 일측에 구비되어 상기 유체연통유닛(120)에 고정된다.
구체적으로 상기 연결유닛(210)은 상기 튜브유닛(220)보다 상대적으로 큰 둘레를 가지는 원통 형태로 형성되며, 상기 유체연통유닛(120) 과 결합 시 일부가 상기 연결유닛(210) 내부로 삽입되며 고정된다.
본 발명에서 상기 연결유닛(210)은 상기 공급부(128) 또는 상기 배출부(126)의 일부가 내부로 삽입되며 각각이 접촉하는 부분에 나사산이 형성되어 안정적으로 체결될 수 있다.
본 실시예에서는 상기 연결유닛(210)의 내면에 나사산이 형성되고, 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)의 결합부(132)위에서 외측면에 이와 치합되는 나사산이 형성된다. 그리고 상기 연결유닛(210)이 상기 튜브유닛(220)의 일측에서 회전 함으로서 상기 공급부(128) 또는 상기 배출부(126)와 결합될 수 있다.
이와 같이 상기 유체이동모듈(200)은 상기 튜브유닛(220) 및 상기 연결유닛(210)을 포함하며, 상기 유체연통유닛(120)과 결합되어 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출하거나 또는 외부의 기체가 상기 수용용기(10) 내부로 주입될 수 있도록 한다.
이때, 본 실시예에서 상기 유체이동모듈(200)은 복수 개로 이루어져 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)에 각각 연결되도록 구성된다.
한편, 상기 보강모듈(300)은 상기 유체이동모듈(200)의 적어도 일부를 감싸며 외부로부터 보호하고, 일정 수준 이상의 탄성을 유지하도록 보강하는 구성으로, 상기 유체이동모듈(200)의 길이방향을 따라 스크류 형태로 외측면을 감싸며 상기 유체이동모듈(200)의 외부 노출을 최소화한다.
구체적으로 상기 보강모듈(300)은 일정 길이를 가지는 복수 개의 보호커버(310) 및 상기 유체이동모듈(200)과 상기 보호커버(310)의 연결부위를 보강하는 피팅유닛(330)을 포함하며, 상기 유체이동모듈(200)이 꺾이거나 외부요인에 의해 손상되는 것을 억제한다.
상기 보호커버(310)는 길게 형성되어 나선형태로 형성되며 상기 튜브유닛(220)의 둘레를 감싸도록 구성된다. 이때 상기 보호커버(310)는 복수 개로 구성되어 하나의 상기 튜브유닛(220)을 동시에 감싸도록 구성되는데, 본 발명에서 상기 보호커버(310)는 상기 튜브유닛(220)의 길이방향을 따라 순차적으로 반복하여 배치된다.
즉, 상기 보호커버(310)는 복수 개 중 어느 하나가 상기 튜브유닛(220)의 길이방향을 이격공간을 가지며 나선형으로 배치되고, 상기 이격공간 내에 다른 상기 보호커버(310)가 나선형으로 배치되어 상기 튜브유닛(220)의 둘레를 감싸도록 구성됨으로싸, 다중 나선형태로 상기 튜브유닛(220)을 보강한다.
이때, 상기 보호커버(310)는 복수 개 중 적어도 하나 이상이 상기 튜브유닛(220)의 길이방향을 따라 수축하는 방향으로 복원력을 가지는 것이 바람직하여 이에 따라 상기 보호커버(310)가 나선형태로 구성 되더라도 상기 튜브유닛(220)이 외부로 노출되는 것을 최소화시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 상기 보호커버(310)가 복원력을 가지며 상기 튜브유닛(220)의 길이방향을 따라 수축하는 형태로 구성됨으로써 상기 튜브유닛(220)이 휘어짐에 대한 탄성이 증가하여 꺾임이나 부러짐을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에서 상기 보강모듈(300)은 상기 튜브유닛(220)과 동일한 재질이거나 또는 상대적으로 강성이 낮은 재질로 구성되는 것이 바람직하며, 이에 따라 상기 튜브유닛(220)과 상기 보호커버(310) 간 마찰에 의해 손상되거나 파티클이 발생하는 것을 억제할 수 있다.
본 실시예에서 상기 보호커버(310)는 2개의 부재로 구성되어 서로 반복하여 교차되고, 상기 튜브유닛(220)의 길이방향을 따라 각각 나선형태로 배치되며 이중나선 형태로 배치된다.
이에 따라 원활한 설명을 위해 상기 보호커버(310)는 제1커버(310) 및 제2커버(320)로 구분하여 설명한다.
구체적으로 상기 제1커버(310)와 상기 제2커버(320)는 동일한 형태로 형성되며, 상기 튜브유닛(220)의 둘레를 따라 나선형태로 배치된다. 이때, 상기 제1커버(310) 및 상기 제2커버(320)는 균일한 폭을 가지며 일정간격 이격된 상태로 나선형으로 배치되며, 상기 제1커버(310)의 이격된 간격과 상기 제2커버(320)의 폭이 동일하게 형성되는 것이 바람직하다.
그리고 이와 같이 구성된 상기 제1커버(310) 및 상기 제2커버(320)는 상기 튜브유닛(220)의 길이방향을 따라 둘레를 감싸도록 배치되되, 서로 반복하여 교차 배치되도록 구성됨으로써 상기 튜브유닛(220)의 둘레를 감싸도록 구성된다.
즉, 상기 제1커버(310)의 이격간격과 상기 제2커버(320)의 폭이 동일하며, 상기 제2커버(320)의 이격간격와 상기 제1폭이 일치함으로써, 서로 간의 이격공간 내에 상기 제1커버(310) 및 상기 제2커버(320)가 배치된다.
한편, 상기 피팅유닛(330)은 상기 연결유닛(210)과 함께 상기 보호커버(310)의 일부를 외측에서 함께 감싸며 상기 튜브유닛(220)이 꺾이는 것을 방지한다.
구체적으로 상기 피팅유닛(330)은 상기 튜브유닛(220)과 상기 연결유닛(210)의 결합부(132)위에서 이들을 동시에 감싸도록 구성되며, 각각의 둘레에 대응해 내경이 형성된다. 즉 도시된 바와 같이 상기 피팅유닛(330)과 상기 튜브유닛(220)의 둘레가 상이하도록 구성되더라도 이에 대응하여 각각에 알맞도록 내면의 형상이 형성된다.
이때, 상기 피팅유닛(330)은 상기 유체연통유닛(120)과 상기 연결유닛(210)이 결합된 상태에서 결합되며, 상기 연결유닛(210)뿐만 아니라 상기 유체연통유닛(120)의 일부도 함께 감싸도록 구성될 수도 있다.
본 실시예에서 상기 피팅유닛(330)은 원통 형태로 형성되어 복수 개의 부재로 분할되며, 선택적으로 체결됨으로써 상기 튜브유닛(220)과 상기 연결유닛(210)에 결합되도록 구성된다. 물론, 이와 달리 상기 피팅유닛(330)이 완전한 원통 형태뿐만 아니라, 하나의 부재로 이루어져 둘레의 일부가 소실된 원의 형태를 띄도록 형성됨으로써 상기 튜브유닛(220)에 체결되도록 구성될 수도 있다.
이와 같이 상기 보강모듈(300)은 상기 커버유닛 및 상기 피팅유닛(330)을 포함할 수 있으며, 상기 유체이동모듈(200)을 감싸도록 구성되어 상기 튜브유닛(220)이 일정 수준의 탄성을 유지함과 동시에 외부요인으로부터의 손상을 방지한다.
본 실시예에서 상기 유체연통유닛(120)은 상술한 바와 같이 상기 공급부(128) 및 상기 배출부(126)를 포함하며, 상기 보강모듈(300)이 한 쌍으로 이루어져 각각에 독립적으로 체결되도록 구성된다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유체이동모듈(200)의 보강이 가능한 보강모듈(300) 및 이를 포함하는 커버장치는 포토레지스트 수용액이 수용된 수용용에 결합되어 밀폐하는 커버모듈(100), 커버모듈(100)을에 연결되어 내외부로 유체가 이동하는 유체이동모듈(200) 및 유체이동모듈(200)을 감싸며 손상을 방지하는 보강모듈(300)을 포함하며, 유체이동모듈(200)의 손상을 억제하고 의도하지 않게 꺾이는 것을 방지하여 안정적으로 유체가 이동할 수 있도록 하는 이점이 있다.
또한, 상기 보강모듈(300)이 제1커버(312) 및 제2커버(314)를 포함하며 각각이 유체이동모듈(200)의 길이방향을 따라 나선형으로 감싸며 반복적으로 연속 배치됨으로써 유체이동모듈(200)이 일정수준 이상의 탄성을 유지함과 동시에 내구성을 유지할 수 있는 이점이 있다.
이어서 도 5를 참조하여 상기 커버모듈(100)의 체결구조에 대해 살펴보면 다음과 같다.
도 5는 도 1의 수용용기(10)의 보강장치에서 커버모듈(100)이 체결 및 분리되는 상태를 나타낸 도면이다.
먼저 도 5의 (a)를 살펴보면, 상기 경사돌출부(112)에 상기 유체연통유닛(120)이 삽관통된 상태에서 상기 고정유닛(130)이 체결되는 상태를 나타낸 것으로, 상기 고정유닛(130)이 상기 경사돌출부(112)의 돌출된 방향을 따라 하부로 이동하며, 이에 따라 상기 유체연통유닛(120)도 함께 상기 수용용기(10) 내부를 향해 가압된다.
이때, 도시된 바와 같이 사용자가 상기 결합부(132)를 상기 수용용기(10) 방향으로 가압하는 경우 상기 결합부(132)와 함께 상기 확장고정부(124)가 가압되어 상기 연통구(111) 내부로 삽입되고, 이와 연동하여 상기 유로부(122)가 하부로 이동한다.
이때, 상기 조절부(134)는 하단부에 형성된 상기 걸림돌기(113)의 형상에 의해 별도로 조작하지 않더라도 상기 결합부(132)가 상기 경사돌출부(112)을 따라 이동하며 상기 유체연통유닛(120)의 삽입 깊이를 조절할 수 있다.
여기서, 상기 걸림돌기(113)는 복수 개의 톱니가 다단으로 연속하여 형성되고, 상기 조절부(134)의 일단부는 이에 대응하여 치합되도록 형성되어 있어 외력에 의해 상기 결합홈(132a)를 상기 수용용기(10)방향으로 가압하는 경우 단계별로 상기 확장고정부(124)의 삽입 깊이를 조절할 수 있다.
이와 반대로 도 5의 (b)를 살펴보면, 상기 고정유닛(130)이 상기 가이드유닛(110)에서 분리되는 상태이며, 상기 조절부(134)의 상단부를 가압하여 하단부가 상기 걸림돌기(113)에서 분리시킬 수 있다.
이때, 사용자가 상기 조절부(134)를 조작하여 상기 경사돌출부(112)와의 체결을 분리한 상태로 상기 결합부(132)를 상부로 이동시켜 상기 유체연통유닛(120)을 분리할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 커버장치에서 상기 경사돌출부(112)와 상기 조절부(134)에 의해 상기 결합부(132)가 상기 수용용기(10) 방향으로 단계적인 가압하거나 간단하게 분리가 가능하도록 구성됨으로써 상기 유로부(122)의 하단부가 상기 수용용기(10) 바닥면에 최대한 인접하게 배치할 뿐만 아니라, 간단한 조작으로 상기 수용용기(10)와 분리할 수 있다.
다음으로 도 6 내지 도 8을 참조하여 본 발명에 따른 보강모듈(300)이 상기 유체이동모듈(200)에 설치되는 상태를 살펴보면 다음과 같다.
도 6 내지 도 8은 도 1의 수용용기(10)의 보강장치에서 유체이동모듈(200) 및 보강모듈(300)이 장착되는 과정을 나타낸 도면이다.
먼저, 도 6을 살펴보면, 상기 유체이동모듈(200)과 상기 배출부(126)가 분리된 에서 상기 튜브유닛(220)의 일단부에 형성된 상기 연결유닛(210)이 상기 배출부(126)와 연결되는 것을 볼 수 있다.
이때, 상기 연결유닛(210)은 상술한 바와 같이 원통 형태의 내면을 가지며, 상기 배출부(126)의 둘레를 감싸는 형태로 결합되며, 상기 배출부(126)의 외면과 상기 연결유닛(210)의 내면에 각각 나사산이 형성되어 상호 된다.
그리고 도 7에 도시된 바와 같이 상기 튜브유닛(220)의 둘레를 따라 상기 제1커버(310) 및 상기 제1커버(310)가 각각 독립적으로 결합되며, 결합 시 상기 제1커버(310)와 상기 제2커버(320)가 교차되며 반복하여 나선형태로 배치된다.
이후, 도 8과 같이 상기 피팅유닛(330)이 상기 커버유닛의 일부와 상기 연결유닛(210)의 일부를 함께 감싸는 형태로 결합되어 상기 연결유닛(210)과 상기 튜브유닛(220)의 연결부위가 꺾이는 것을 방지한다.
이때, 상기 피팅유닛(330)은 한 쌍의 부재로 분리 및 체결 가능하도록 구성되며, 각각이 분리된 상태에서 상기 연결유닛(210) 및 상기 커버유닛의 일단부가 사이에 배치된다. 그리고 상기 한 쌍의 피팅유닛(330)이 상호 결합됨으로써 상기 연결유닛(210) 및 상기 커버유닛의 일단부를 감싸며 외부요인으로부터 보호함과 동시에 상기 튜브유닛(220)의 꺾임을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이 상기 배출부(126)와 상기 보강모듈(300)의 결합 과정을 살펴보았으며, 상기 공급부(128)와 상기 보강모듈(300)의 결합 역시 동일한 구성 및 과정을 통해 결합될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 수용용기
12: 수용공간
100: 커버모듈
110: 가이드유닛
120: 유체연통유닛
130: 고정유닛
200: 유체이동모듈
210: 연결유닛
220: 튜브유닛
300: 보강모듈
310: 보호커버
330: 피팅유닛

Claims (12)

  1. 내부에 포토레지스트 수용액이 수용되는 수용용기의 개구된 부분에 결합되어 내부를 밀폐함과 동시에 상기 포토레지스트 수용액을 외부로 배출시키는 커버장치에 있어서,
    상기 수용용기의 상단부를 선택적으로 밀폐하고, 상기 수용용기의 내부와 외부를 연통시키는 유체연통유닛을 포함하는 커버모듈;
    길게 형성되어 배관 형태로 내부에 유로가 형성되며 유체가 이동하는 튜브유닛 및 상기 튜브유닛의 일단부에 구비되어 상기 유체연통유닛과 상기 튜브유닛을 연결시키는 연결유닛 을 포함하는 유체이동모듈; 및
    상기 유체이동모듈의 길이방향을 따라 적어도 일부의 외측면을 나선형태로 감싸며 외부로부터 보호하고, 일정 수준 이상의 탄성을 유지하도록 보강하는 보강모듈; 을 포함하며,
    상기 보강모듈은 일정 길이를 가지는 복수 개의 보호커버를 포함하여 상기 튜브유닛의 둘레를 감싸며 나선형으로 배치되고, 각각의 서로 다른 상기 보호커버는 상기 튜브유닛의 길이방향을 따라 순차적으로 반복하여 배치되고,
    상기 보강모듈은, 상기 연결유닛과 함께 상기 보호커버의 일부를 외측에서 함께 감싸며 상기 튜브유닛이 꺾이는 것을 방지하는 피팅유닛을 포함하는 커버장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 보강모듈은,
    복수 개의 상기 보호커버 중 어느 하나가 상기 튜브유닛의 길이방향을 이격공간을 가지며 나선형으로 배치되고, 상기 이격공간 내에 다른 상기 보호커버가 나선형으로 배치되어 상기 튜브유닛의 둘레를 감싸도록 구성되며 다중 나선형태로 형성되는 커버장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 보강모듈은,
    복수 개의 상기 보호커버 중 적어도 하나는 상기 튜브유닛의 길이방향을 따라 수축 하는 방향으로 복원력을 가지도록 구성되는 커버장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 보강모듈은,
    상기 튜브유닛과 동일한 재질이거나 또는 상대적으로 강성이 낮은 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 커버장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 피팅유닛은,
    상기 튜브유닛과 상기 연결유닛의 둘레에 각각에 대응하여 내경이 형성되며 이를 동시에 감싸도록 형성되는 커버장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 피팅유닛은,
    상기 튜브유닛의 둘레를 따라 복수 개의 부재로 분리되어 상호 체결되며 원통형태로 결합되는 커버장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 유체연통유닛은,
    외부로부터 기체가 상기 수용용기 내부로 공급되는 공급부 및 상기 수용용기에서 상기 포토레지스트 수용액을 배출시키는 배출부를 포함하고,
    상기 공급부 및 상기 배출부 각각에 상기 유체이동모듈이 독립적으로 연결되는 커버장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 보강모듈은,
    상기 공급부 및 상기 배출부 중 적어도 어느 하나에 장착되는 것을 특징으로 하는 커버장치.
  12. 수용용기의 상단부를 선택적으로 밀폐하고, 상기 수용용기의 내부와 외부를 연통시키는 유체연통유닛을 포함하는 커버모듈, 길게 형성되어 배관 형태로 내부에 유로가 형성되며 유체가 이동하는 튜브유닛 및 상기 튜브유닛의 일단부에 구비되어 상기 유체연통유닛과 상기 튜브유닛을 연결시키는 연결유닛을 포함하는 유체이동모듈을 포함하는 커버장치에 적용되는 보강모듈에 있어서,
    상기 유체이동모듈의 길이방향을 따라 적어도 일부의 외측면을 나선형태로 감싸며 외부로부터 보호하고, 일정 수준 이상의 탄성을 유지하도록 보강하며,
    일정 길이를 가지는 복수 개의 보호커버를 포함하여 상기 튜브유닛의 둘레를 감싸며 나선형으로 배치되고, 각각의 서로 다른 상기 보호커버는 상기 튜브유닛의 길이방향을 따라 순차적으로 반복하여 배치되고,
    상기 연결유닛과 함께 상기 보호커버의 일부를 외측에서 함께 감싸며 상기 튜브유닛이 꺾이는 것을 방지하는 피팅유닛을 포함하는 보강모듈.

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