KR102614928B1

KR102614928B1 - Probe card

Info

Publication number: KR102614928B1
Application number: KR1020210163530A
Authority: KR
Inventors: 안승배
Original assignee: (주)티에스이
Priority date: 2021-11-24
Filing date: 2021-11-24
Publication date: 2023-12-19
Also published as: TW202321709A; KR20230076514A; TWI824840B; WO2023096242A1

Abstract

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 피검사체 및 인쇄 회로 기판과 전기적으로 연결되는 프로브 핀; 상기 프로브 핀의 둘레 외곽에 배치되며, 상기 프로브 핀의 일단과 타단이 삽입되는 가이드 개구 및 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 배치되는 공간부를 포함하는 가이드부; 및 상기 프로브 핀의 일측과 타측에서 상기 가이드부의 상기 공간부에 배치되며, 상기 프로브 핀의 적어도 일부가 삽입되는 측면 가이드 개구를 포함하는 측면 가이드부를 포함하며, 상기 프로브 핀은 상기 프로브 핀의 일단 및 타단에 대칭되게 형성되며, 피검사체 및 인쇄 회로 기판과 각각 접촉하는 2개의 프로브 팁; 상기 2개의 프로브 팁 각각으로부터 연장 형성되며, 길이 방향 길이가 상기 가이드 개구의 폭보다 길게 형성되는 지지부; 상기 하나의 지지부에서 상기 나머지 하나의 지지부로 연장되며, 상기 2개의 프로브 팁을 연결하는 가상의 직선을 기준으로 대칭되게 형성되는 2개의 외측 연장부;를 포함하며, 상기 외측 연장부 각각은 적어도 일부에 상기 가상의 직선의 중앙점에서 가상의 직선에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치하는 굽힘 영역을 포함하며, 상기 프로브 팁에 외력이 가해지는 경우, 상기 프로브 팁은 상기 가상의 직선을 따라 위치 이동이 가능할 수 있다. A probe card according to various embodiments of the present disclosure includes a probe pin electrically connected to an object to be inspected and a printed circuit board; a guide portion disposed on the outer periphery of the probe pin and including a guide opening into which one end and the other end of the probe pin are inserted and a space portion where at least a portion of the probe pin is disposed; and a side guide portion disposed in the space portion of the guide portion on one side and the other side of the probe pin and including a side guide opening into which at least a portion of the probe pin is inserted, wherein the probe pin has one end and one end of the probe pin. Two probe tips are formed symmetrically at the other end and contact the test object and the printed circuit board, respectively; a support portion extending from each of the two probe tips and having a longitudinal length longer than the width of the guide opening; Two outer extension parts extend from the one support part to the other support part and are formed symmetrically with respect to an imaginary straight line connecting the two probe tips, wherein each of the outer extension parts has at least a portion of the outer extension part. It includes a bending area located at a distance from the center point of the virtual straight line in a direction perpendicular to the virtual straight line, and when an external force is applied to the probe tip, the probe tip moves along the virtual straight line. This may be possible.

Description

Probe card {Probe card}

본 개시의 다양한 실시예들은 프로브 카드에 관한 것이다.Various embodiments of the present disclosure relate to probe cards.

프로브 카드(probe card)는 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 전기적 특성 검사(EDS: electrical die sorting)에서 테스터(tester)와 피검사체를 전기적으로 연결시키는 인터페이스이다. 프로브 카드는 피검사체의 패드(예를 들어, 외부 신호의 접속 단자)와 직접 접촉하여 전기적 신호를 주고 받는 프로브 핀을 포함한다. A probe card is an interface that electrically connects a tester and an object to be inspected in electrical die sorting (EDS) to inspect the electrical characteristics of the object to be inspected. The probe card includes a probe pin that directly contacts the pad of the object to be inspected (for example, a connection terminal for an external signal) to exchange an electrical signal.

종래 기술에 따른 프로브 카드는 슬릿(slit)을 포함하는 슬릿 가이드에 프로브 핀을 배치한다. 프로브 핀은 슬릿에 수평으로 배치되며, 프로브 핀의 일단에서 피검사체의 패드와 접촉하고, 프로브 핀의 타단에서 테스터와 접촉하여 전기적으로 연결된다. A probe card according to the prior art arranges a probe pin on a slit guide including a slit. The probe pin is placed horizontally in the slit, and one end of the probe pin contacts the pad of the object to be inspected, and the other end of the probe pin contacts the tester to be electrically connected.

종래의 슬릿 배치 방식의 프로브 카드는 프로브 핀의 눌림 거리(예를 들어, 프로브 핀이 피검사체의 일면과 수직한 방향으로 이동할 수 있는 거리)가 제한되는 단점이 있다. 종래의 프로브 카드는 프로브 핀의 일부가 슬릿에 배치되므로, 슬릿의 깊이에서 프로브 핀이 배치된 거리를 제외한 거리만큼만 눌림 거리가 형성될 수 있다. 또한, 종래의 프로브 카드는 슬릿 가이드의 하단부와 프로브 핀이 접촉하지 않도록 이격 거리를 유지하여야 하며, 슬릿 가이드의 상단부가 피검사체와 접촉하지 않아야 하므로 프로브 핀의 눌림 거리가 길게 형성되기 어렵다. The conventional slit arrangement probe card has a disadvantage in that the pressing distance of the probe pin (for example, the distance that the probe pin can move in a direction perpendicular to one side of the object to be inspected) is limited. In a conventional probe card, a portion of the probe pin is placed in the slit, so the pressing distance can be formed only as much as the depth of the slit minus the distance at which the probe pin is placed. In addition, the conventional probe card must maintain a separation distance so that the lower end of the slit guide does not contact the probe pin, and the upper end of the slit guide must not contact the object to be inspected, so it is difficult to create a long pressing distance of the probe pin.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 눌림 거리가 향상된 프로브 카드를 제공할 수 있다. A probe card according to various embodiments of the present disclosure can provide a probe card with an improved pressing distance.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드는 2개의 프로브 팁을 프로브 팁의 이동 방향과 일직선 상에 배치하고, 적어도 일부에 굽힘 영역을 포함하는 연장부를 포함하여 프로브 팁이 탄성적으로 이동 가능하도록 하여 프로브 핀의 눌림 거리를 길게 형성할 수 있다. A probe card according to various embodiments of the present disclosure arranges two probe tips in a straight line with the moving direction of the probe tips and includes an extension portion including a bending area at least in part so that the probe tips can move elastically. The pressing distance of the probe pin can be made longer.

도 1a 및 도 1b는 종래 기술에 따른 프로브 카드를 나타내는 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 디스플레이 패널 검사를 위해 배치되는 프로브 블록을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드를 나타내는 설명도이다.
도 4는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 측면 가이드부를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드의 내부를 나타내는 도면이다. 1A and 1B are diagrams showing a probe card according to the prior art.
2A and 2B are diagrams showing probe blocks arranged for inspecting a display panel.
3 is an explanatory diagram illustrating a probe card according to various embodiments of the present disclosure.
4 is a diagram illustrating a guide unit according to various embodiments of the present disclosure.
5 is a diagram illustrating a side guide unit according to various embodiments of the present disclosure.
6 is a diagram showing the interior of a probe card according to various embodiments of the present disclosure.

도 1a는 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)를 나타내는 사시도이다. Figure 1a is a perspective view showing a probe card 10 according to the prior art.

도 1b는 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)의 제 1 접촉부(110)를 나타내는 도면이다. FIG. 1B is a diagram showing the first contact portion 110 of the probe card 10 according to the prior art shown in FIG. 1A.

도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)는 프로브 핀(100) 및 가이드부(200)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1A, a probe card 10 according to the prior art may include a probe pin 100 and a guide portion 200.

종래 기술에 따른 프로브 카드(10)를 설명하는 데 있어서, 제 1 방향은 음의 z축 방향을 의미하고, 제 2 방향은 양의 z축 방향을 의미할 수 있다. 제 3 방향은 음의 x축 방향을 의미하고, 제 4 방향은 양의 x축 방향을 의미할 수 있다.When describing the probe card 10 according to the prior art, the first direction may mean a negative z-axis direction, and the second direction may mean a positive z-axis direction. The third direction may mean a negative x-axis direction, and the fourth direction may mean a positive x-axis direction.

도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)은 제 1 접촉부(110) 및 제 2 접촉부(120)를 포함할 수 있다. 프로브 핀(100)은 제 1 접촉부(110)에서 피검사체(예를 들어, 디스플레이 패널(미도시)의 접촉 패드(미도시))와 접촉되며, 제 2 접촉부(120)에서 인쇄 회로 기판(미도시)과 접촉될 수 있다. Referring to FIG. 1A, the probe pin 100 according to the prior art may include a first contact portion 110 and a second contact portion 120. The probe pin 100 is in contact with an object to be inspected (e.g., a contact pad (not shown) of a display panel (not shown)) at the first contact part 110, and is in contact with a printed circuit board (not shown) at the second contact part 120. city) can be contacted.

도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)은 가이드부(200)에 배치될 수 있다. 가이드부(200)는 프로브 핀(100)이 배치될 수 있는 가이드 홈(210)을 포함할 수 있다. 가이드부(200)는 가이드 홈(210)을 복수 개 포함할 수 있다. 프로브 핀(100)은 가이드부(200)의 가이드 홈(210)에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 1A , the probe pin 100 according to the prior art may be disposed on the guide portion 200. The guide unit 200 may include a guide groove 210 in which the probe pin 100 can be placed. The guide unit 200 may include a plurality of guide grooves 210. The probe pin 100 may be disposed in the guide groove 210 of the guide portion 200.

도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 가이드부(200)의 가이드 홈(210)은 제 1 길이(L1)만큼의 깊이를 지닐 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)은 제 2 길이(L2)만큼의 폭을 지닐 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 핀(100)이 가이드 홈(210)에 배치되는 경우, 프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)는 제 1 길이(L1)에서 제 2 길이(L2)를 제외한 길이만큼 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동이 가능할 수 있다. Referring to FIG. 1A, the guide groove 210 of the guide unit 200 according to the prior art may have a depth equal to the first length L1. The probe pin 100 according to the prior art may have a width equal to the second length L2. When the probe pin 100 according to the prior art is placed in the guide groove 210, the first contact portion 110 of the probe pin 100 is extended by the length excluding the second length L2 from the first length L1. Movement may be possible in a first direction (e.g., negative z-axis direction).

도 1b를 참조하면, 프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동되는 경우, 프로브 핀(100)이 가이드 홈(210)의 홈 하단부(230)와 접촉되어 프로브 핀(100)에 손상이 발생될 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 카드(10)는 프로브 핀(100)과 홈 하단부(230)의 접촉을 방지하기 위해 프로브 핀(100)과 홈 하단부(230)의 이격 거리(L3)를 미리 정해진 거리 이상으로 유지할 수 있다. Referring to FIG. 1B, when the first contact portion 110 of the probe pin 100 is moved in the first direction (e.g., negative z-axis direction), the probe pin 100 moves at the lower end of the guide groove 210. The probe pin 100 may be damaged when it comes into contact with 230 . The probe card 10 according to the prior art sets the separation distance (L3) between the probe pin 100 and the groove bottom 230 to a predetermined distance or more to prevent contact between the probe pin 100 and the groove bottom 230. It can be maintained.

프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동되는 경우, 가이드 상단부(220)가 피검사체(미도시)와 직접 접촉할 수 있다. 피검사체(미도시)가 가이드 상단부(220)와 직접 접촉하는 경우, 피검사체(미도시)에 손상이 일어날 수 있으므로, 제 1 접촉부(110)는 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 미리 정해진 거리 이상으로 이동되지 않을 수 있다. When the first contact portion 110 of the probe pin 100 moves in the first direction (eg, negative z-axis direction), the upper upper portion of the guide 220 may directly contact the object to be inspected (not shown). When the object to be inspected (not shown) directly contacts the upper part of the guide 220, damage may occur to the object to be inspected (not shown), so the first contact portion 110 is moved in the first direction (e.g., negative z-axis direction). Therefore, it may not be moved beyond a predetermined distance.

프로브 핀(100)의 제 1 접촉 팁(111)은 피검사체(미도시)와 반복적으로 접촉하여 마모가 될 수 있다. 제 1 접촉 팁(111)이 마모되는 경우 프로브 핀(100)의 제 1 접촉부(110)가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동할 수 있는 거리는 더욱 작아질 수 있다. The first contact tip 111 of the probe pin 100 may be worn due to repeated contact with an object to be inspected (not shown). When the first contact tip 111 is worn, the distance that the first contact portion 110 of the probe pin 100 can move in the first direction (eg, the negative z-axis direction) may become smaller.

종래 기술에 따른 프로브 카드(10)는 프로브 핀(100)이 가이드 홈(210)에 배치되어 제 1 접촉부(110)의 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 이동 가능 거리가 제한된다. 예를 들어, 가이드 홈(210)의 깊이(예: 제 1 길이(L1))에서 프로브 핀(100)의 폭(예: 제 2 길이(L2))을 제외한 길이만큼만 제 1 접촉부(110)의 이동이 가능하고, 홈 하단부(230)와 프로브 핀(100)의 이격 거리(예: 제 3 길이(L3))가 미리 정해진 거리 이상이 되어야 하며, 가이드 상단부(220)와 피검사체(미도시)가 직접 접촉되지 않을 수 있는 거리만큼만 제 1 접촉부(110)가 이동할 수 있으므로, 제 1 접촉부(110)의 이동 가능 거리가 길게 형성되기 어렵다. In the probe card 10 according to the prior art, the probe pin 100 is disposed in the guide groove 210, so that the movable distance of the first contact portion 110 in the first direction (eg, negative z-axis direction) is limited. For example, the depth of the guide groove 210 (e.g., first length L1) of the first contact portion 110 is limited to the length excluding the width of the probe pin 100 (e.g., second length L2). It is possible to move, and the separation distance (e.g., third length (L3)) between the lower part of the groove 230 and the probe pin 100 must be more than a predetermined distance, and the upper part of the guide 220 and the object to be inspected (not shown) Since the first contact portion 110 can only move to a distance where it cannot be directly contacted, it is difficult for the first contact portion 110 to have a long movable distance.

도 2a는 제 1 디스플레이 패널(D1) 검사를 위해 배치되는 프로브 블록(40)을 나타내는 도면이다. FIG. 2A is a diagram showing the probe block 40 arranged to inspect the first display panel D1.

도 2b는 제 2 디스플레이 패널(D2) 검사를 위해 배치되는 프로브 블록(40)을 나타내는 도면이다. FIG. 2B is a diagram showing the probe block 40 arranged to inspect the second display panel D2.

도 2a 및 도 2b를 참조하면, 프로브 유닛(50)은 복수 개의 프로브 블록(40)이 연결되는 프로브 장치를 의미할 수 있다. Referring to FIGS. 2A and 2B , the probe unit 50 may refer to a probe device in which a plurality of probe blocks 40 are connected.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 블록(40)은 피검사체(미도시)의 전기적 특성 검사(EDS: electrical die sorting)를 위해 사용될 수 있다. 전기적 특성 검사의 대상이 되는 피검사체(미도시)는 디스플레이 패널(D1, D2)일 수 있다. The probe block 40 according to various embodiments of the present disclosure may be used for electrical characteristic inspection (EDS: electrical die sorting) of an object to be inspected (not shown). The test object (not shown) subject to the electrical characteristics test may be the display panel (D1, D2).

프로브 블록(40)은 복수 개의 프로브 카드(30, 도 3 참조)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 프로브 블록(40)은 복수 개의 프로브 카드(30, 도 3 참조)를 포함하여 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)을 포함할 수 있다. 프로브 블록(40)에 포함된 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조) 각각은 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 일단에서 제 1 디스플레이 패널(D1) 또는 제 2 디스플레이 패널(D2)의 접촉 패드(미도시)와 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조) 각각은 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 타단에서 인쇄 회로 기판(미도시)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. The probe block 40 may include a plurality of probe cards 30 (see FIG. 3). For example, the probe block 40 may include a plurality of probe cards 30 (see FIG. 3) and a plurality of probe pins 300 (see FIG. 3). Each of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) included in the probe block 40 contacts the first display panel D1 or the second display panel D2 at one end of the probe pin 300 (see FIG. 3). It may be electrically connected by contacting a pad (not shown). Each of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) may be electrically connected by contacting a printed circuit board (not shown) at the other end of the probe pin 300 (see FIG. 3).

도 2a에 도시된 제 1 디스플레이 패널(D1)은 대형 텔레비전에 사용되는 디스플레이 패널일 수 있다. 제 1 디스플레이 패널(D1)은 제 1 디스플레이 패널(D1)의 가장 자리(예: 제 1 디스플레이 패널(D1)의 네 변의 일측)에 접촉 패드(미도시)를 포함할 수 있다. The first display panel D1 shown in FIG. 2A may be a display panel used in a large-sized television. The first display panel D1 may include a contact pad (not shown) at an edge of the first display panel D1 (eg, one side of the four sides of the first display panel D1).

도 2a를 참조하면, 제 1 디스플레이 패널(D1)의 각 측면에 각각 복수 개의 프로브 블록(40) 및 복수 개의 프로브 블록(40)과 연결되는 프로브 유닛(50)이 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 디스플레이 패널(D1)이 직사각형 형태로 형성되는 경우, 직사각형의 네 변 각각의 일측에 각각 복수 개의 프로브 블록(40) 및 복수 개의 프로브 블록(40)과 연결되는 프로브 유닛(50)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 2A , a plurality of probe blocks 40 and a probe unit 50 connected to the plurality of probe blocks 40 may be disposed on each side of the first display panel D1. For example, when the first display panel D1 is formed in a rectangular shape, a plurality of probe blocks 40 are provided on one side of each of the four sides of the rectangle, and a probe unit 50 is connected to the plurality of probe blocks 40. ) can be placed.

도 2b에 도시된 제 2 디스플레이 패널(D2)는 핸드폰 또는 노트북에 사용되는 디스플레이 패널일 수 있다. 제 2 디스플레이 패널(D2)은 복수 개의 단위 격자 패널(D21)을 포함할 수 있다. 복수 개의 단위 격자 패널(D21) 각각은 접촉 패드(미도시)를 포함할 수 있다. 프로브 블록(40)은 단위 격자 패널(D21)의 접촉 패드(미도시)와 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. The second display panel D2 shown in FIG. 2B may be a display panel used in a mobile phone or laptop. The second display panel D2 may include a plurality of unit grid panels D21. Each of the plurality of unit grid panels D21 may include a contact pad (not shown). The probe block 40 may be electrically connected by contacting a contact pad (not shown) of the unit grid panel D21.

제 2 디스플레이 패널(D2)은 위치가 이동될 수 있으며, 제 2 디스플레이 패널(D2)이 이동되며 각각의 단위 격자 패널(D21)과 프로브 블록(40)의 접촉이 이루어질 수 있다. The position of the second display panel D2 may be moved, and as the second display panel D2 is moved, each unit grid panel D21 and the probe block 40 may come into contact.

도 3은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 나타내는 설명도이다. Figure 3 is an explanatory diagram showing the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure.

도 3을 참조하면, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 프로브 핀(300), 가이드부(400) 및/또는 측면 가이드부(500)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3 , the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure may include a probe pin 300, a guide portion 400, and/or a side guide portion 500.

도 3을 참조하면, 프로브 핀(300)은 프로브 팁(310), 지지부(320), 외측 연장부(330) 및/또는 내측 연장부(340)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3 , the probe pin 300 may include a probe tip 310, a support portion 320, an outer extension portion 330, and/or an inner extension portion 340.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 설명하는 데 있어 제 1 방향은 음의 z축 방향을 의미하고, 제 2 방향은 양의 z축 방향을 의미할 수 있다. 제 3 방향은 음의 x축 방향을 의미하고, 제 4 방향은 양의 x축 방향을 의미할 수 있다. In describing the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure, the first direction may refer to the negative z-axis direction, and the second direction may refer to the positive z-axis direction. The third direction may mean a negative x-axis direction, and the fourth direction may mean a positive x-axis direction.

다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)은 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)을 포함할 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)은 프로브 핀(300)의 일단부에 형성될 수 있고, 제 2 프로브 팁(312)은 프로브 핀(300)의 타단부에 형성될 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)은 상호 대칭되는 형태로 형성될 수 있다. According to various embodiments, the probe tip 310 may include a first probe tip 311 and a second probe tip 312. The first probe tip 311 may be formed on one end of the probe pin 300, and the second probe tip 312 may be formed on the other end of the probe pin 300. The first probe tip 311 and the second probe tip 312 may be formed to be symmetrical to each other.

제 1 프로브 팁(311)은 일단에서 피검사체(미도시)와 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 피검사체(미도시)는 디스플레이 패널(미도시)일 수 있으며, 제 1 프로브 팁(311)은 디스플레이 패널(미도시)의 접촉 패드(미도시)와 접촉할 수 있다. 제 2 프로브 팁(312)은 일단에서 인쇄 회로 기판(미도시)과 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. The first probe tip 311 may be electrically connected to an object to be inspected (not shown) by contacting it at one end. For example, the object to be inspected (not shown) may be a display panel (not shown), and the first probe tip 311 may contact a contact pad (not shown) of the display panel (not shown). The second probe tip 312 may be electrically connected by contacting a printed circuit board (not shown) at one end.

다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)의 타단에 지지부(320)가 형성될 수 있다. 지지부(320)는 제 1 지지부(321) 및 제 2 지지부(322)를 포함할 수 있다. 제 1 지지부(321)는 제 1 프로브 팁(311)의 타단에 형성될 수 있다. 제 2 지지부(322)는 제 2 프로브 팁(312)의 타단에 형성될 수 있다. According to various embodiments, a support portion 320 may be formed at the other end of the probe tip 310. The support part 320 may include a first support part 321 and a second support part 322. The first support portion 321 may be formed at the other end of the first probe tip 311. The second support portion 322 may be formed at the other end of the second probe tip 312.

제 1 지지부(321) 및 제 2 지지부(322)는 길이 방향(예: 음의 x축 방향)으로 길이를 가지는 막대 형상으로 형성될 수 있다. 제 1 지지부(321) 및 제 2 지지부(322)의 길이 방향 길이는 가이드 개구(410, 도 4 참조)의 폭(예: 음의 x축 방향 길이)보다 길게 형성되어 프로브 핀(300) 전체가 가이드 개구(410, 도 4 참조)를 통과하여 이동되는 것을 방지할 수 있다. The first support part 321 and the second support part 322 may be formed in a rod shape having a length in the longitudinal direction (eg, negative x-axis direction). The longitudinal length of the first support part 321 and the second support part 322 is formed to be longer than the width (e.g., length in the negative x-axis direction) of the guide opening 410 (see FIG. 4), so that the entire probe pin 300 is It can be prevented from moving through the guide opening 410 (see FIG. 4).

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 설명하는 데 있어, 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)을 정의할 수 있다. 가상의 직선(A-A) 상의 점 중에서 제 1 지지부(321)와 제 2 지지부(322) 사이 직선 거리의 중간에 위치한 점을 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)으로 정의할 수 있다. In describing the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure, a virtual straight line (A-A) connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312 may be defined. Among the points on the virtual straight line (A-A), the point located in the middle of the straight line distance between the first support part 321 and the second support part 322 can be defined as the center point (M) of the virtual straight line (A-A).

다양한 실시예에 따르면, 프로브 핀(300)은 적어도 일부에서 굽혀지며 연장될 수 있다. 도 2를 참조하면, 프로브 핀(300)은 프로브 핀(300)이 굽혀지며 형성되는 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)을 형성할 수 있다. 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)은 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)에서 가상의 직선에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다. 2개의 굽힘 영역(331)은 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다. According to various embodiments, the probe pin 300 may be bent and extended at least in part. Referring to FIG. 2, the probe pin 300 may form a bent region 331 and an inner bent region 341 that are formed by bending the probe pin 300. The bending area 331 and the inner bending area 341 may be positioned at a distance from the center point (M) of the virtual straight line (A-A) in a direction perpendicular to the virtual straight line. The two bending areas 331 may be formed at symmetrical positions based on the virtual straight line (A-A).

도 3을 참조하면, 2개의 내측 굽힘 영역(341)은 2개의 굽힘 영역(331)에서 각각 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 이격되어 위치할 수 있다. Referring to FIG. 3, two inner bending areas 341 may be positioned spaced apart from each other in a direction toward an imaginary straight line (A-A) in the two bending areas 331.

도 3을 참조하면, 외측 연장부(330)는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 형태로 형성될 수 있다. 외측 연장부(330)는 지지부(320)의 일측과 타측에서 연결될 수 있다. 예를 들어, 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측에서 연장되어 제 2 지지부(322)의 일측으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 타측에서 연장되어 제 2 지지부(322)의 타측으로 연결될 수 있다. Referring to FIG. 3, the outer extension portion 330 may be formed to be symmetrical with respect to an imaginary straight line (A-A). The outer extension portion 330 may be connected to one side of the support portion 320 and the other side. For example, one outer extension part 330 may extend from one side of the first support part 321 and be connected to one side of the second support part 322. The remaining outer extension part 330 may extend from the other side of the first support part 321 and be connected to the other side of the second support part 322.

다양한 실시예에 따르면, 외측 연장부(330)는 적어도 일부에서 굽힘 영역(331)을 포함할 수 있다. 굽힘 영역(331)은 외측 연장부(330)의 적어도 일부가 곡선 형상으로 구부러지며 형성될 수 있다. 도 3을 참조하면, 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측에서 굽힘 영역(331)으로 연장되며, 굽힘 영역(331)에서 굽혀진 후 제 2 지지부(322)의 일측으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 타측에서 굽힘 영역(331)으로 연장되며, 굽힘 영역(331)에서 굽혀진 후 제 2 지지부(322)의 타측으로 연결될 수 있다.According to various embodiments, the outer extension 330 may include a bent area 331 at least in part. The bent area 331 may be formed by bending at least a portion of the outer extension 330 into a curved shape. Referring to FIG. 3, one outer extension portion 330 extends from one side of the first support portion 321 to the bending area 331, and is bent in the bending area 331 and then bent to one side of the second support portion 322. It can be connected to . The remaining outer extension part 330 extends from the other side of the first support part 321 to the bend area 331, and may be bent in the bend area 331 and then connected to the other side of the second support part 322.

도 3을 참조하면, 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 굽힘 영역(331)에서 구부러진 후, 굽힘 영역(331)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 일측으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 타측에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 굽힘 영역(331)에서 구부러진 후, 굽힘 영역(331)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 타측으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 3, one outer extension portion 330 extends from one side of the first support portion 321 in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and a third direction (e.g., negative x-axis direction). After being extended and bent in the bending area 331, the second support portion 322 extends in the first direction (e.g., negative z-axis direction) and the fourth direction (e.g., positive x-axis direction) in the bending area 331. ) can be connected to one side. The remaining outer extension portion 330 extends from the other side of the first support portion 321 in the first direction (e.g., negative z-axis direction) and the fourth direction (e.g., positive x-axis direction) to form a bending area ( After being bent in 331), it extends in the first direction (e.g., negative z-axis direction) and the third direction (e.g., negative x-axis direction) in the bending area 331 to be connected to the other side of the second support portion 322. You can.

다양한 실시예에 따르면, 외측 연장부(330) 각각은 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 형성될 수 있다. 예를 들어, 외측 연장부(330)는 지지부(320)에서 굽힘 영역(331)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예를 들어, 외측 연장부(330)를 기준으로 내측 연장부(340)가 위치하는 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. 외측 연장부(330)가 구부러지게 형성되어 제 1 프로브 팁(311)이 제 1 방향 및 제 2 방향으로 이동되기 용이할 수 있다. According to various embodiments, each of the outer extension parts 330 may be formed to be bent in a direction toward an imaginary straight line (A-A). For example, the outer extension 330 is not connected in a straight line from the support portion 320 to the bending area 331, but is connected to the inside (e.g., the inner extension 340 relative to the outer extension 330). It can be bent and extended in the direction facing (the direction in which is located). The outer extension 330 may be bent so that the first probe tip 311 can be easily moved in the first and second directions.

다양한 실시예에서, 지지부(320)의 중앙 영역(323)은 지지부(320)의 길이 방향(예: 음의 x축 방향)을 기준으로 지지부(320)의 중앙에 위치한 영역을 의미할 수 있다. 지지부(320)의 중앙 영역(323)에 내측 연장부(340)가 연결될 수 있다. In various embodiments, the central area 323 of the support unit 320 may refer to an area located at the center of the support unit 320 based on the longitudinal direction (eg, negative x-axis direction) of the support unit 320. The inner extension part 340 may be connected to the central area 323 of the support part 320.

도 3을 참조하면, 내측 연장부(340)는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되게 2개가 형성될 수 있다. 2개의 내측 연장부(340) 각각은 지지부(320)의 중앙 영역(323)에서 연결될 수 있다. 2개의 내측 연장부(340) 각각은 외측 연장부(330)에서 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다. Referring to FIG. 3, two inner extension parts 340 may be formed symmetrically with respect to an imaginary straight line (A-A). Each of the two inner extension parts 340 may be connected at the central area 323 of the support part 320. Each of the two inner extension parts 340 may be positioned at a distance from the outer extension part 330 in a direction toward an imaginary straight line (A-A).

내측 연장부(340)는 적어도 일부에서 내측 굽힘 영역(341)을 포함할 수 있다. 내측 굽힘 영역(341)은 내측 연장부(340)의 적어도 일부가 곡선 형상으로 구부러지며 형성될 수 있다. 도 3을 참조하면, 2개의 내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 내측 굽힘 영역(341)으로 연장되고, 내측 굽힘 영역(341)에서 굽혀진 후 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다. The inner extension 340 may include an inner bend area 341 at least in part. The inner bent area 341 may be formed by bending at least a portion of the inner extension 340 into a curved shape. Referring to FIG. 3, the two inner extension portions 340 extend from the central region 323 of the first support portion 321 to the inner bending region 341, and are bent in the inner bending region 341 and then bent to the second inner bending region 341. It may be connected to the central area 323 of the support portion 322.

도 3을 참조하면, 하나의 내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 내측 굽힘 영역(341)에서 구부러진 후, 내측 굽힘 영역(341)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다. 나머지 하나의 내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되어 내측 굽힘 영역(341)에서 구부러진 후, 내측 굽힘 영역(341)에서 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되어 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다.Referring to FIG. 3, one inner extension portion 340 extends in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and a third direction (e.g., negative x-axis direction) in the central region 323 of the first support portion 321. axial direction) and bent in the inner bending region 341, and then extending in the inner bending region 341 in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and a fourth direction (e.g., positive x-axis direction). and may be connected to the central area 323 of the second support portion 322. The remaining inner extension portion 340 extends from the central region 323 of the first support portion 321 in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and a fourth direction (e.g., positive x-axis direction). After being bent in the inner bending area 341, it extends from the inner bending area 341 in a first direction (eg, negative z-axis direction) and a third direction (eg, negative x-axis direction) to form a second support portion ( It may be connected to the central area 323 of 322).

내측 연장부(340) 각각은 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 형성될 수 있다. 예를 들어, 내측 연장부(340)는 지지부(320)에서 내측 굽힘 영역(341)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예: 내측 연장부(340)를 기준으로 외측 연장부(330)가 위치한 방향의 반대 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다.Each of the inner extension parts 340 may be bent in a direction toward an imaginary straight line (A-A). For example, the inner extension 340 is not connected in a straight line from the support portion 320 to the inner bending area 341, but is connected to the inner side (e.g., the outer extension 330 relative to the inner extension 340). It can be bent and extended in a direction opposite to the direction in which it is located.

도 3을 참조하면, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 수직 구조를 포함할 수 있다. 수직 구조는 프로브 핀(300)의 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)이 제 1 프로브 팁(311)의 이동 방향과 일직선 상에 배치되며, 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)이 제 1 프로브 팁(311)의 이동 방향과 수직하게 배치되는 구조를 의미할 수 있다. 예를 들어, 도 3을 참조하면, 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)은 가상의 직선(A-A) 상에 배치되며, 제 1 프로브 팁(311)는 가상의 직선(A-A)을 따라 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 이동될 수 있다. 굽힘 영역(331) 및 내측 굽힘 영역(341)은 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)과 수직한 위치에 배치된다. Referring to FIG. 3, the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure may include a vertical structure. In the vertical structure, the first probe tip 311 and the second probe tip 312 of the probe pin 300 are arranged in a straight line with the moving direction of the first probe tip 311, and the bending area 331 and the inner bending This may mean a structure in which the area 341 is arranged perpendicular to the moving direction of the first probe tip 311. For example, referring to FIG. 3, the first probe tip 311 and the second probe tip 312 are disposed on an imaginary straight line (A-A), and the first probe tip 311 is positioned on an imaginary straight line (A-A). ) may be moved in a first direction (e.g., negative z-axis direction). The bent area 331 and the inner bent area 341 are disposed at a position perpendicular to an imaginary straight line (A-A) connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312.

다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 팁(310)은 제 1 방향 또는 제 2 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 제 1 프로브 팁(311)에 외력이 가해지는 경우, 제 1 프로브 팁(311)은 가상의 직선(A-A)을 따라 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 또는 제 2 방향(예: 양의 z축 방향)으로 위치가 이동될 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)에 제 1 방향으로 외력이 가해지는 경우, 외측 연장부(330)의 굽힘 영역(331) 또는 내측 연장부(340)의 내측 굽힘 영역(341)이 탄성적으로 제 3 방향 또는 제 4 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라 제 1 프로브 팁(311)이 제 1 방향으로 이동될 수 있다. According to various embodiments, when an external force is applied to the probe tip 310, the probe tip 310 may move in the first direction or the second direction. For example, when an external force is applied to the first probe tip 311, the first probe tip 311 moves in a first direction (e.g., negative z-axis direction) or a second direction along an imaginary straight line (A-A). The position may be moved in the positive z-axis direction (e.g.). When an external force is applied to the first probe tip 311 in the first direction, the bending area 331 of the outer extension 330 or the inner bending area 341 of the inner extension 340 is elastically bent to the third direction. direction or a fourth direction, and accordingly, the first probe tip 311 may move in the first direction.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 핀(300)의 제 1 프로브 팁(311)은 종래 기술에 따른 프로브 핀(100, 도 1a 참조)의 제 1 접촉부(110, 도 1a 참조)에 비하여 제 1 방향 및 제 2 방향으로 더욱 길게 이동될 수 있다. 종래 기술에 따른 프로브 핀(100, 도 1a 참조)은 가이드부(200, 도 1a 참조)의 가이드 홈(210, 도 1a 참조)에 배치되어 이동 거리가 제한되나, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 핀(300)은 수직 구조를 포함하여 제 1 방향 및 제 2 방향으로 더욱 길게 이동될 수 있다. The first probe tip 311 of the probe pin 300 according to various embodiments of the present disclosure has a first contact portion 110 (see FIG. 1A) compared to the first contact portion 110 (see FIG. 1A) of the probe pin 100 (see FIG. 1A) according to the prior art. direction and may be moved longer in the second direction. The probe pin 100 (see FIG. 1A) according to the prior art is placed in the guide groove 210 (see FIG. 1A) of the guide unit 200 (see FIG. 1A) and has a limited movement distance, but according to various embodiments of the present disclosure The probe pin 300 has a vertical structure and can be moved longer in the first and second directions.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)는 가이드 개구(410, 도 4 참조), 가이드 블록(420), 공간부(430, 도 6 참조) 및/또는 안착부(440, 도 6 참조)를 포함할 수 있다. The guide portion 400 according to various embodiments of the present disclosure includes a guide opening 410 (see FIG. 4), a guide block 420, a space portion 430 (see FIG. 6), and/or a seating portion 440 (see FIG. 6). ) may include.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)는 적어도 일부에 프로브 팁(310)이 삽입될 수 있는 공간을 제공하며, 프로브 팁(310)의 위치를 가이드 할 수 있다. 예를 들어, 가이드부(400)는 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)이 형성되는 위치에 각각 배치되어 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)의 움직임을 가이드하는 역할을 할 수 있다. The guide unit 400 according to various embodiments of the present disclosure provides at least a portion of a space into which the probe tip 310 can be inserted and can guide the position of the probe tip 310. For example, the guide unit 400 is disposed at positions where the first probe tip 311 and the second probe tip 312 are formed to control the movement of the first probe tip 311 and the second probe tip 312. It can serve as a guide.

다양한 실시예에 따르면, 가이드 블록(420)의 일면에 프로브 핀(300)의 지지부(320)가 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 프로브 팁(311)이 삽입되는 가이드 블록(420)의 일면에 제 1 지지부(321)가 배치될 수 있으며, 제 2 프로브 팁(312)이 삽입되는 가이드 블록(420)의 일면에 제 2 지지부(322)가 배치될 수 있다.According to various embodiments, the support portion 320 of the probe pin 300 may be disposed on one surface of the guide block 420. For example, the first support portion 321 may be disposed on one side of the guide block 420 into which the first probe tip 311 is inserted, and the first support portion 321 may be disposed on one side of the guide block 420 into which the second probe tip 312 is inserted. A second support portion 322 may be disposed on one side.

도 3을 참조하면, 프로브 핀(300)의 일측(예: 프로브 핀(300)의 음의 x축 방향)과 타측(예: 프로브 핀(300)의 양의 x축 방향)에 측면 가이드부(500)가 배치될 수 있다. 측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300)의 굽힘 영역(331)이 형성되는 위치에 배치되며, 적어도 일부에 굽힘 영역(331)이 삽입될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 측면 가이드부(500)는 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 길이를 지니며, 굽힘 영역(331)이 삽입될 수 있는 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)를 포함할 수 있다. 외측 연장부(330)의 굽힘 영역(331)이 측면 가이드부(500)에 포함된 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)에 삽입되어 프로브 핀(300)의 위치가 고정될 수 있다. Referring to FIG. 3, a side guide portion (e.g., side guide part) is provided on one side (e.g., negative x-axis direction of the probe pin 300) and the other side (e.g., positive x-axis direction of the probe pin 300) of the probe pin 300. 500) can be deployed. The side guide portion 500 is disposed at a position where the bent area 331 of the probe pin 300 is formed, and may provide a space into which the bent area 331 can be inserted at least in part. The side guide portion 500 has a length in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and may include a side guide opening 510 (see FIG. 5) into which the bent area 331 can be inserted. . The bent area 331 of the outer extension part 330 may be inserted into the side guide opening 510 (see FIG. 5 ) included in the side guide part 500 to fix the position of the probe pin 300.

도 4는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)을 나타내는 도면이다.FIG. 4 is a diagram illustrating a guide unit 400 according to various embodiments of the present disclosure.

도 4는 도 3에 도시된 가이드부(400)의 일부를 제 3 방향(예: 도 3의 음의 x축 방향)과 평행하게 잘랐을 경우, 가이드부(400)의 단면을 나타내는 도면이다. FIG. 4 is a diagram showing a cross section of the guide portion 400 when a portion of the guide portion 400 shown in FIG. 3 is cut parallel to the third direction (eg, the negative x-axis direction in FIG. 3).

도 4를 참조하면, 가이드부(400)는 가이드 개구(410), 가이드 블록(420), 공간부(430, 도 6 참조) 및/또는 안착부(440, 도 6 참조)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the guide portion 400 may include a guide opening 410, a guide block 420, a space portion 430 (see FIG. 6), and/or a seating portion 440 (see FIG. 6). .

가이드 불록(420)은 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)을 포함할 수 있다. 제 1 가이드 블록(421)의 일단 위치에 제 2 가이드블록(422)가 배치될 수 있다. The guide block 420 may include a first guide block 421 and a second guide block 422. The second guide block 422 may be disposed at one end of the first guide block 421.

제 1 가이드 블록(421)은 가이드 개구(410)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 블록(421)의 일단에 가이드 개구(410)가 형성될 수 있다. 도 4를 참조하면, 가이드 개구(410)는 제 1 가이드 블록(421)에 의해 삼면이 둘러싸이고, 나머지 한 면은 제 2 가이드블록(422)의 일단에 의해 둘러싸이는 형태로 형성될 수 있다. The first guide block 421 may include a guide opening 410. For example, a guide opening 410 may be formed at one end of the first guide block 421. Referring to FIG. 4 , the guide opening 410 may be formed in a shape in which three sides are surrounded by the first guide block 421 and the other side is surrounded by one end of the second guide block 422 .

다양한 실시예에서, 가이드 개구(410)의 길이 방향을 가이드 개구(410)의 길이가 상대적으로 길게 형성된 방향으로 정의하고, 가이드 개구(410)의 폭 방향을 가이드 개구(410)의 길이가 상대적으로 작게 형성된 방향으로 정의할 수 있다. In various embodiments, the longitudinal direction of the guide opening 410 is defined as the direction in which the length of the guide opening 410 is relatively long, and the width direction of the guide opening 410 is defined as the direction in which the length of the guide opening 410 is relatively long. It can be defined as the direction in which it is formed small.

다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)은 가이드 개구(410)에 삽입될 수 있다. 프로브 팁(310)이 가이드 개구(410)에 삽입될 수 있도록 가이드 개구(410)의 길이 방향 길이는 프로브 팁(310)의 길이 방향 길이보다 길게 형성될 수 있다. 가이드 개구(410)의 폭 방향 길이는 프로브 팁(310)의 폭 방향 길이보다 길게 형성될 수 있다.According to various embodiments, the probe tip 310 may be inserted into the guide opening 410. The longitudinal length of the guide opening 410 may be formed to be longer than the longitudinal length of the probe tip 310 so that the probe tip 310 can be inserted into the guide opening 410. The width direction of the guide opening 410 may be longer than the width direction of the probe tip 310.

제 1 가이드 블록(421)의 일단은 가이드 개구(410)를 삼면에서 둘러싸는 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 블록(421)은 제 1 가이드 블록(421)의 일단에서 제 1 가이드 블록(421)의 일부가 제 2 가이드 블록(422)이 배치된 위치와 반대 방향으로 패인 형상으로 형성되어 가이드 개구(410)를 삼면에서 둘러쌀 수 있다. 제 1 가이드 블록(421)은 제 1 가이드 블록(421)의 일단이 제 2 가이드 블록(422)과 접촉하도록 배치될 수 있다. One end of the first guide block 421 may be formed to surround the guide opening 410 on three sides. For example, the first guide block 421 has a shape in which a portion of the first guide block 421 is recessed at one end of the first guide block 421 in the opposite direction to the position where the second guide block 422 is disposed. It can be formed to surround the guide opening 410 on three sides. The first guide block 421 may be arranged so that one end of the first guide block 421 is in contact with the second guide block 422.

제 2 가이드블록(422)은 제 2 가이드블록(422)의 일단이 제 1 가이드 블록(421)의 일부와 접촉하도록 배치될 수 있다. 제 2 가이드블록(422)의 적어도 일부는 가이드 개구(410)를 일면에서 둘러싸는 형태로 위치할 수 있다. 도 4를 참조하면, 제 2 가이드블록(422)은 일단에서 제 1 가이드 블록(421)의 적어도 일부와 접촉하며, 가이드 개구(410)의 일면을 둘러쌀 수 있다. The second guide block 422 may be arranged so that one end of the second guide block 422 contacts a portion of the first guide block 421. At least a portion of the second guide block 422 may be positioned to surround the guide opening 410 on one side. Referring to FIG. 4, the second guide block 422 contacts at least a portion of the first guide block 421 at one end and may surround one side of the guide opening 410.

도 5는 본 개시의 다양한 실시예에 따른 측면 가이드부(500)을 나타내는 도면이다. FIG. 5 is a diagram illustrating a side guide unit 500 according to various embodiments of the present disclosure.

도 5는 도 3에 도시된 측면 가이드부(500)의 일부를 제 1 방향(예: 도 3의 음의 z축 방향)과 평행하게 잘랐을 경우, 측면 가이드부(500)의 단면을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a diagram showing a cross section of the side guide portion 500 when a portion of the side guide portion 500 shown in FIG. 3 is cut parallel to the first direction (e.g., the negative z-axis direction in FIG. 3). .

도 5를 참조하면, 측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 적어도 일부가 삽입되는 측면 가이드 개구(510)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 굽힘 영역(331)이 측면 가이드 개구(510)에 삽입될 수 있다. Referring to FIG. 5 , the side guide unit 500 may include a side guide opening 510 into which at least a portion of the probe pin 300 (see FIG. 3 ) is inserted. For example, the bent area 331 of the probe pin 300 (see FIG. 3) may be inserted into the side guide opening 510.

도 5를 참조하면, 측면 가이드 개구(510)는 직사각형 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지는 않는다. 측면 가이드 개구(510)는 다양한 모양을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5, the side guide opening 510 may be formed in a rectangular shape, but is not limited thereto. Side guide openings 510 may include various shapes.

다양한 실시예에 따르면, 측면 가이드부(500)는 측면 가이드 개구(510)를 복수 개 포함할 수 있다. 복수 개의 측면 가이드 개구(510)는 미리 정해진 간격을 지니며 측면 가이드부(500)에 배치될 수 있다. According to various embodiments, the side guide unit 500 may include a plurality of side guide openings 510. A plurality of side guide openings 510 may be disposed in the side guide unit 500 at predetermined intervals.

측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 비틀림이 발생되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 측면 가이드부(500)의 측면 가이드 개구(510)에 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 적어도 일부(예: 굽힘 영역(331))가 배치되어, 프로브 핀(300, 도 3 참조)은 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지더라도 비틀리지 않고 평평한 상태를 유지할 수 있다. The side guide portion 500 may serve to prevent the probe pin 300 (see FIG. 3) from being twisted when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3). For example, at least a portion (e.g., bent area 331) of the probe pin 300 (see FIG. 3) is disposed in the side guide opening 510 of the side guide portion 500, so that the probe pin 300 (see FIG. 3) reference) can maintain a flat state without being twisted even when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3).

측면 가이드부(500)는 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)이 상호 접촉하지 않도록 위치를 고정하는 역할을 할 수 있다. 복수 개의 측면 가이드 개구(510) 각각에 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 적어도 일부(예: 굽힘 영역(331))가 각각 배치되어 복수 개의 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 위치가 고정될 수 있다. The side guide portion 500 may serve to fix the position of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) so that they do not contact each other. At least a portion (e.g., bending area 331) of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3) is disposed in each of the plurality of side guide openings 510 to determine the positions of the plurality of probe pins 300 (see FIG. 3). can be fixed.

측면 가이드부(500)는 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀(300, 도 3 참조)을 지지하는 역할을 할 수 있다. 예를 들어, 프로브 핀(300, 도 3 참조)에 외력이 가해지는 경우, 프로브 핀(300, 도 3 참조)의 굽힘 영역(331)의 일측과 측면 가이드 개구(510)의 적어도 일부가 접촉하여 프로브 핀(300, 도 3 참조)이 지지될 수 있다. The side guide portion 500 may serve to support the probe pin 300 (see FIG. 3) when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3). For example, when an external force is applied to the probe pin 300 (see FIG. 3), one side of the bent area 331 of the probe pin 300 (see FIG. 3) contacts at least a portion of the side guide opening 510. The probe pin 300 (see FIG. 3) may be supported.

도 6은 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)의 내부를 나타내는 도면이다. FIG. 6 is a diagram illustrating the interior of the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure.

도 6을 참조하면, 본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)는 프로브 핀(300) 및 가이드부(400)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure may include a probe pin 300 and a guide portion 400.

도 6을 참조하면, 프로브 핀(300)은 프로브 팁(310), 지지부(320), 외측 연장부(330) 및/또는 내측 연장부(340)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the probe pin 300 may include a probe tip 310, a support portion 320, an outer extension portion 330, and/or an inner extension portion 340.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 프로브 카드(30)를 설명하는 데 있어 제 1 방향은 음의 z축 방향을 의미하고, 제 2 방향은 양의 z축 방향을 의미할 수 있다. 제 3 방향은 음의 x축 방향을 의미하고, 제 4 방향은 양의 x축 방향을 의미할 수 있다. 제 5 방향은 음의 y축 방향을 의미하고, 제 6 방향은 양의 y축 방향을 의미할 수 있다. In describing the probe card 30 according to various embodiments of the present disclosure, the first direction may refer to the negative z-axis direction, and the second direction may refer to the positive z-axis direction. The third direction may refer to the negative x-axis direction, and the fourth direction may refer to the positive x-axis direction. The fifth direction may refer to the negative y-axis direction, and the sixth direction may refer to the positive y-axis direction.

다양한 실시예에 따르면, 프로브 팁(310)은 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)을 포함할 수 있다. 제 1 프로브 팁(311)은 일단에서 피검사체(예: 디스플레이 패널)과 접촉할 수 있으며, 제 2 프로브 팁(312)은 일단에서 인쇄 회로 기판과 접촉할 수 있다. According to various embodiments, the probe tip 310 may include a first probe tip 311 and a second probe tip 312. The first probe tip 311 may contact an object to be inspected (eg, a display panel) at one end, and the second probe tip 312 may contact a printed circuit board at one end.

제 1 프로브 팁(311)의 타단에 제 1 지지부(321)가 위치할 수 있다. 제 1 지지부(321)의 일측 및 타측에 외측 연장부(330)가 연결될 수 있다. 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에 내측 연장부(340)가 연결될 수 있다. 외측 연장부(330)는 제 1 지지부(321)의 일측 및 타측에서 제 2 지지부(322)의 일측 및 타측으로 연장될 수 있다. A first support portion 321 may be located at the other end of the first probe tip 311. The outer extension portion 330 may be connected to one side and the other side of the first support portion 321. The inner extension portion 340 may be connected to the central region 323 of the first support portion 321. The outer extension part 330 may extend from one side and the other side of the first support part 321 to one side and the other side of the second support part 322.

다양한 실시예에 따르면, 외측 연장부(330)는 적어도 일부에 굽힘 영역(331)을 포함할 수 있다. 가상의 직선(A-A) 상의 점 중에서 제 1 지지부(321)와 제 2 지지부(322) 사이 직선 거리의 중간에 위치한 점을 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)으로 정의할 수 있다. 굽힘 영역(331)은 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)에서 가상의 직선(A-A)에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다. According to various embodiments, the outer extension 330 may include a bent area 331 at least in part. Among the points on the virtual straight line (A-A), the point located in the middle of the straight line distance between the first support part 321 and the second support part 322 can be defined as the center point (M) of the virtual straight line (A-A). The bending area 331 may be positioned at a distance from the center point (M) of the virtual straight line (A-A) in a direction perpendicular to the virtual straight line (A-A).

다양한 실시예에 따르면, 2개의 굽힘 영역(331)은 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 굽힙 영역(331)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 나머지 하나의 굽힙 영역(331)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다. According to various embodiments, the two bending areas 331 may be formed at positions symmetrical with respect to the virtual straight line A-A. For example, one bend area 331 is spaced apart in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and a third direction (e.g., negative x-axis direction) with respect to the first probe tip 311. It can be formed in position. The remaining bend area 331 is formed at positions spaced apart from the first probe tip 311 in the first direction (e.g., negative z-axis direction) and the fourth direction (e.g., positive x-axis direction). It can be.

2개의 외측 연장부(330)는 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되게 형성될 수 있다. The two outer extension parts 330 may be formed symmetrically with respect to an imaginary straight line (A-A) connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312.

외측 연장부(330)는 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. 예를 들어, 외측 연장부(330)는 지지부(320)에서 굽힘 영역(331)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예: 외측 연장부(330)를 기준으로 내측 연장부(340)가 위치하는 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다.The outer extension portion 330 may be bent and extended in a direction toward an imaginary straight line (A-A). For example, the outer extension 330 is not connected in a straight line from the support portion 320 to the bending area 331, but is located on the inside (e.g., the inner extension 340 is located relative to the outer extension 330). It can be bent and extended in the direction facing the target.

내측 연장부(340)는 제 1 지지부(321)의 중앙 영역(323)에서 연장되어 제 2 지지부(322)의 중앙 영역(323)으로 연결될 수 있다. The inner extension 340 may extend from the central area 323 of the first support part 321 and be connected to the central area 323 of the second support part 322.

내측 연장부(340)는 적어도 일부에서 내측 굽힘 영역(341)과 연결될 수 있다. 내측 굽힘 영역(341)은 가상의 직선(A-A)의 중앙점(M)에서 가상의 직선(A-A)에 수직하는 방향으로 이격을 두고 위치할 수 있다. The inner extension 340 may be connected to the inner bend area 341 at least in part. The inner bending area 341 may be positioned at a distance from the center point (M) of the virtual straight line (A-A) in a direction perpendicular to the virtual straight line (A-A).

2개의 내측 굽힘 영역(341)은 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 위치에 형성될 수 있다. 예를 들어, 하나의 내측 굽힙 영역(341)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 나머지 하나의 내측 굽힙 영역(341)은 제 1 프로브 팁(311)을 기준으로 제 1 방향(예: 음의 z축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 이격된 위치에 형성될 수 있다The two inner bending areas 341 may be formed at symmetrical positions based on the virtual straight line (A-A). For example, one inner bend region 341 is spaced apart in a first direction (e.g., negative z-axis direction) and a third direction (e.g., negative x-axis direction) relative to the first probe tip 311. It can be formed in a certain location. The remaining inner bend area 341 is located at positions spaced apart from the first probe tip 311 in the first direction (e.g., negative z-axis direction) and the fourth direction (e.g., positive x-axis direction). can be formed

2개의 내측 굽힘 영역(341)은 2개의 굽힘 영역(331)에서 각각 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 이격되어 위치할 수 있다. 예를 들어, 2개의 내측 굽힘 영역(341)은 2개의 굽힘 영역(331)에서 각각 제 3 방향(예: 음의 x축 방향) 및 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 이격되어 위치할 수 있다. The two inner bending areas 341 may be positioned spaced apart from each other in a direction toward an imaginary straight line (A-A) in the two bending areas 331 . For example, the two inner bending regions 341 are spaced apart in the two bending regions 331 in a third direction (e.g., negative x-axis direction) and a fourth direction (e.g., positive x-axis direction), respectively. can be located

내측 연장부(340)는 제 1 프로브 팁(311)과 제 2 프로브 팁(312)을 연결하는 가상의 직선(A-A)을 기준으로 대칭되는 형태로 2개가 형성될 수 있다. Two inner extensions 340 may be formed in a symmetrical shape with respect to an imaginary straight line (A-A) connecting the first probe tip 311 and the second probe tip 312.

내측 연장부(340)는 가상의 직선(A-A)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. 예를 들어, 내측 연장부(340)는 지지부(320)에서 내측 굽힘 영역(341)으로 직선으로 연결되는 것이 아니라, 내측(예: 내측 연장부(340)를 기준으로 외측 연장부(330)가 위치한 방향의 반대 방향)을 향하는 방향으로 구부러지며 연장될 수 있다. The inner extension portion 340 may be bent and extended in a direction toward an imaginary straight line (A-A). For example, the inner extension 340 is not connected in a straight line from the support portion 320 to the inner bending area 341, but is connected to the inner side (e.g., the outer extension 330 relative to the inner extension 340). It can be bent and extended in a direction opposite to the direction in which it is located.

본 개시의 다양한 실시예에 따른 가이드부(400)는 가이드 개구(410), 가이드 블록(420), 공간부(430) 및/또는 안착부(440)를 포함할 수 있다. The guide unit 400 according to various embodiments of the present disclosure may include a guide opening 410, a guide block 420, a space 430, and/or a seating portion 440.

도 6을 참조하면, 가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 둘레 외곽에 배치될 수 있다. 가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 일단과 타단에 형성되는 프로브 팁(310)이 삽입되는 가이드 개구(410)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 6 , the guide unit 400 may be disposed on the outer periphery of the probe pin 300 . The guide portion 400 may include a guide opening 410 into which the probe tip 310 formed at one end and the other end of the probe pin 300 is inserted.

다양한 실시예에 따르면, 가이드 개구(410)는 프로브 팁(310)이 삽입될 수 있는 공간을 제공할 수 있다. 가이드 개구(410)는 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 길이를 지니는 개구의 형상을 지닐 수 있으며, 가이드 개구(410) 내부에 프로브 팁(310)이 배치될 수 있다. 프로브 팁(310)은 가이드 개구(410)에 삽입되어 프로브 팁(310)의 적어도 일부는 가이드 개구(410)에서 멀어지는 방향으로 적어도 일부가 돌출될 수 있다. 예를 들어, 도 6을 참조하면, 제 1 프로브 팁(311) 및 제 2 프로브 팁(312)은 가이드 개구(410)에서 멀어지는 방향으로 적어도 일부가 돌출될 수 있다. According to various embodiments, the guide opening 410 may provide a space into which the probe tip 310 can be inserted. The guide opening 410 may have the shape of an opening having a length in a first direction (eg, negative z-axis direction), and the probe tip 310 may be disposed inside the guide opening 410. The probe tip 310 may be inserted into the guide opening 410 so that at least a portion of the probe tip 310 protrudes in a direction away from the guide opening 410. For example, referring to FIG. 6 , at least a portion of the first probe tip 311 and the second probe tip 312 may protrude in a direction away from the guide opening 410 .

가이드 블록(420)은 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)을 포함할 수 있다. 제 1 가이드 블록(421)은 프로브 핀(300)의 일측 방향(예: 음의 x축 방향)에 배치될 수 있으며, 제 2 가이드 블록(422)은 프로브 핀(300)의 타측 방향(예: 양의 x축 방향)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 제 1 가이드 블록(421)은 제 1 프로브 팁(311)의 일측 및 제 2 프로브 팁(312)의 일측 방향에 배치될 수 있다. 제 2 가이드 블록(422)은 제 1 프로브 팁(311)의 타측 및 제 2 프로브 팁(312)의 타측 방향에 배치될 수 있다.The guide block 420 may include a first guide block 421 and a second guide block 422. The first guide block 421 may be disposed in one direction (e.g., negative x-axis direction) of the probe pin 300, and the second guide block 422 may be disposed in the other direction (e.g., negative x-axis direction) of the probe pin 300. It can be placed in the positive x-axis direction. For example, the first guide block 421 may be disposed on one side of the first probe tip 311 and on one side of the second probe tip 312. The second guide block 422 may be disposed on the other side of the first probe tip 311 and the other side of the second probe tip 312.

제 1 가이드 블록(421)은 제 1 가이드 블록(421)의 일단(예: 제 1 가이드 블록(421)에서 양의 x축 방향에 위치한 일단)에서 제 2 가이드 블록(422)과 접촉할 수 있다. The first guide block 421 may be in contact with the second guide block 422 at one end of the first guide block 421 (e.g., one end located in the positive x-axis direction of the first guide block 421). .

제 1 가이드 블록(421)은 적어도 일부에 가이드 개구(410)를 포함할 수 있다. 가이드 개구(410)는 제 1 가이드 블록(421)의 일단에 형성되며, 제 2 가이드 블록(422)에 의하여 일면이 둘러싸이는 형태로 형성될 수 있다. The first guide block 421 may include a guide opening 410 at least in part. The guide opening 410 is formed at one end of the first guide block 421, and may be formed in a form surrounded on one side by the second guide block 422.

도 6을 참조하면, 가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 적어도 일부가 배치될 수 있는 공간부(430)를 포함할 수 있다. 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)의 적어도 일부에 프로브 핀(300)이 배치될 수 있는 공간부(430)가 형성될 수 있다. 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)은 각각의 일측에 공간부(430)를 형성하며, 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 연장될 수 있다. 공간부(430)는 프로브 핀(300)이 배치될 수 있는 빈 공간을 형성할 수 있으며, 공간부(430)에 형성된 빈 공간에 프로브 핀(300)의 외측 연장부(330) 및 내측 연장부(340)가 배치될 수 있다. Referring to FIG. 6 , the guide unit 400 may include a space 430 in which at least a portion of the probe pin 300 can be placed. A space 430 in which the probe pin 300 can be placed may be formed in at least a portion of the first guide block 421 and the second guide block 422. The first guide block 421 and the second guide block 422 form a space 430 on one side of each, and may extend in a first direction (eg, negative z-axis direction). The space 430 may form an empty space in which the probe pin 300 can be placed, and the outer extension 330 and the inner extension of the probe pin 300 are formed in the empty space formed in the space 430. (340) may be placed.

가이드부(400)는 프로브 핀(300)의 지지부(320)가 배치되는 안착부(440)를 포함할 수 있다. 안착부(440)는 제 1 가이드 블록(421) 및 제 2 가이드 블록(422)의 일단에서 계단 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 제 2 프로브 팁(312)의 위치에 배치되는 안착부(440)의 경우, 안착부(440)의 일부는 제 1 가이드 블록(421)이 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 연장되다가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 굽혀지며 연장되고, 다시 제 4 방향(예: 양의 x축 방향)으로 굽혀지며 연장되어 형성될 수 있다. 제 2 프로브 팁(312)의 위치에 배치되는 안착부(440)의 경우, 안착부(440)의 나머지 일부는 제 2 가이드 블록(422)이 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 연장되다가 제 1 방향(예: 음의 z축 방향)으로 굽혀지며 연장되고, 다시 제 3 방향(예: 음의 x축 방향)으로 굽혀지며 연장되어 형성될 수 있다. The guide portion 400 may include a seating portion 440 on which the support portion 320 of the probe pin 300 is disposed. The seating portion 440 may be formed in a step shape at one end of the first guide block 421 and the second guide block 422. For example, in the case of the seating portion 440 disposed at the location of the second probe tip 312, a portion of the seating portion 440 is positioned so that the first guide block 421 moves in the fourth direction (e.g., positive x-axis). direction), then bent and extended in a first direction (e.g., negative z-axis direction), and then bent and extended again in a fourth direction (e.g., positive x-axis direction). In the case of the seating portion 440 disposed at the location of the second probe tip 312, the remaining portion of the seating portion 440 is positioned so that the second guide block 422 is oriented in the third direction (e.g., negative x-axis direction). It may be formed by extending and bending in a first direction (e.g., negative z-axis direction), and then bending and extending again in a third direction (e.g., negative x-axis direction).

지지부(320)는 지지부(320)의 길이 방향(예: 양의 x축 방향)으로 길이를 지니는 막대 모양으로 형성될 수 있다. 지지부(320)는 안착부(440)에 배치되며, 지지부(320)의 일면은 프로브 팁(310)과 연결되고, 타면은 외측 연장부(330) 및 내측 연장부(340)와 연결될 수 있다. The support part 320 may be formed in a rod shape having a length in the longitudinal direction of the support part 320 (eg, positive x-axis direction). The support part 320 is disposed on the seating part 440, and one surface of the support part 320 may be connected to the probe tip 310, and the other surface may be connected to the outer extension part 330 and the inner extension part 340.

지지부(320)의 길이 방향(예: 양의 x축 방향) 길이는 안착부(440)의 폭(예: 안착부(440)의 양의 x축 방향 길이)보다 작게 형성되어 지지부(320)가 안착부(440)에 배치될 수 있다. The length of the support portion 320 in the longitudinal direction (e.g., positive x-axis direction) is formed to be smaller than the width of the seating portion 440 (e.g., the length of the seating portion 440 in the positive x-axis direction), so that the support portion 320 It may be placed on the seating portion 440.

다양한 실시예에 따르면, 지지부(320)의 길이 방향(예: 양의 x축 방향) 길이는 가이드 개구(410)의 폭(예: 가이드 개구(410)의 양의 x축 방향 길이)보다 길게 형성되어 지지부(320)가 가이드 개구(410)로 삽입되는 것을 방지할 수 있다. 지지부(320)가 가이드 개구(410)로 삽입되는 것이 방지되어 프로브 핀(300) 전체가 가이드 개구(410)에 삽입되어 이동되는 것이 방지될 수 있다. According to various embodiments, the length of the support portion 320 in the longitudinal direction (e.g., positive x-axis direction) is formed to be longer than the width of the guide opening 410 (e.g., the length of the guide opening 410 in the positive x-axis direction). This can prevent the support portion 320 from being inserted into the guide opening 410. Since the support portion 320 is prevented from being inserted into the guide opening 410, the entire probe pin 300 can be prevented from being inserted into the guide opening 410 and moving.

다양한 실시예에 따르면, 프로브 카드(30)는 복수 개의 프로브 핀(300)을 포함할 수 있다. 복수 개의 프로브 핀(300)은 제 5 방향(예: 음의 y축 방향) 및 제 6 방향(예: 양의 y축 방향)을 따라서 미리 정해진 간격을 지니며 배치될 수 있다. According to various embodiments, the probe card 30 may include a plurality of probe pins 300. The plurality of probe pins 300 may be arranged at predetermined intervals along the fifth direction (eg, negative y-axis direction) and the sixth direction (eg, positive y-axis direction).

다양한 실시예에 따르면, 측면 가이드부(500, 도 5 참조)는 프로브 핀(300)의 일측(예: 프로브 핀(300)의 음의 x축 방향)과 타측(예: 프로브 핀(300)의 양의 x축 방향)에서 가이드부(400)의 공간부(430)에 배치될 수 있다. According to various embodiments, the side guide portion 500 (see FIG. 5) has one side of the probe pin 300 (e.g., the negative x-axis direction of the probe pin 300) and the other side (e.g., the negative x-axis direction of the probe pin 300). It may be disposed in the space portion 430 of the guide portion 400 in the positive x-axis direction.

다양한 실시예에 따르면, 측면 가이드부(500, 도 5 참조)는 복수 개의 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)를 포함할 수 있다. 복수 개 프로브 핀(300) 각각의 굽힘 영역(331)이 측면 가이드부(500, 도 5 참조)의 측면 가이드 개구(510, 도 5 참조)에 배치될 수 있다.According to various embodiments, the side guide unit 500 (see FIG. 5) may include a plurality of side guide openings 510 (see FIG. 5). The bent area 331 of each of the plurality of probe pins 300 may be disposed in the side guide opening 510 (see FIG. 5) of the side guide portion 500 (see FIG. 5).

이상으로 본 개시에 관하여 실시예를 들어 설명하였지만 반드시 이에 한정하는 것은 아니며, 본 개시의 기술적 사상의 범주 내에서는 얼마든지 수정 및 변형 실시가 가능하다. Although the present disclosure has been described above using examples, it is not necessarily limited thereto, and modifications and variations are possible within the scope of the technical idea of the present disclosure.

Claims

In the probe card,
A probe pin electrically connected to the test object and the printed circuit board;
a guide portion disposed on the outer periphery of the probe pin and including a guide opening into which one end and the other end of the probe pin are inserted and a space portion where at least a portion of the probe pin is disposed; and
a side guide portion disposed in the space portion of the guide portion on one side and the other side of the probe pin and including a side guide opening into which at least a portion of the probe pin is inserted;
The probe pin is
Two probe tips formed symmetrically on one end and the other end of the probe pin and in contact with the object to be inspected and the printed circuit board, respectively;
a support portion extending from each of the two probe tips and having a longitudinal length longer than the width of the guide opening;
It includes two outer extension parts that extend from the one support part to the other support part and are formed symmetrically with respect to an imaginary straight line connecting the two probe tips,
Each of the outer extensions is
At least a portion includes a bending area located at a distance from the center point of the virtual straight line in a direction perpendicular to the virtual straight line,
A probe card capable of moving the probe tip along the virtual straight line when an external force is applied to the probe tip.

According to clause 1,
Each of the outer extensions is
A probe card formed by bending in a direction toward the virtual straight line

According to clause 1,
The bending area is
A probe card in which at least a portion of the outer extension is bent into a curved shape.

According to clause 1,
2 extending from the central area of the one support part to the central area of the remaining support part, positioned at a distance from the two outer extension parts in a direction toward the imaginary straight line, and formed symmetrically with respect to the imaginary straight line It further includes: an inner extension of the dog;
Each of the inner extensions is
A probe card including at least a portion of an inner bending area spaced apart from the center point of the virtual straight line in a direction perpendicular to the virtual straight line.

According to clause 4,
Each of the inner extensions is
A probe card that is bent in a direction toward the virtual straight line.

According to clause 4,
The inner bending area is
A probe card in which at least a portion of the inner extension is bent into a curved shape.

According to clause 1,
The guide part
A probe card including a seating portion on which the support portion is disposed.

According to clause 1,
The guide part
A probe card including a first guide block including the guide opening and a second guide block disposed at one end of the first guide block.

According to clause 1,
The bending area of the outer extension is
A probe card, at least a portion of which is inserted into the side guide opening.