KR102101104B1 - Polygonal micro contact pin - Google Patents

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KR102101104B1
KR102101104B1 KR1020180171722A KR20180171722A KR102101104B1 KR 102101104 B1 KR102101104 B1 KR 102101104B1 KR 1020180171722 A KR1020180171722 A KR 1020180171722A KR 20180171722 A KR20180171722 A KR 20180171722A KR 102101104 B1 KR102101104 B1 KR 102101104B1
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contact
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polygonal
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polygonal micro
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KR1020180171722A
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백병선
방인우
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주식회사 새한마이크로텍
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Abstract

The present invention relates to a polygonal micro-contact pin used for electric characteristic measurement of an electric device. According to the present invention, the polygonal micro-contact pin comprises: a first contact including a polygonal cylindrical first body part and a first tip part extended from the first body part in the longitudinal direction of the first body part, wherein a spring stopper protruding toward the inside of the first body part is formed on a first tip part side of the first body part and a separation prevention part protruding toward the inside of the first body part is formed on an opposite side of the first tip part of the first body part; a second contact including a polygonal cylindrical second body part inserted into the first contact and a second tip part extended from the second body part in an opposite direction to the first tip part, wherein the second body part has a contact part formed therein to protrude toward the outside of the second body part, contacts the inner surface of the first body part and slides along the inner surface of the first body part to be locked to the separation prevention part; and a spring inserted between the spring stopper and the second body part inside the first contact and providing an elastic force in a direction separating the first and second contacts from each other when the first and second contacts get closer each other.

Description

다각형 마이크로 접촉 핀{Polygonal micro contact pin}Polygonal micro contact pin

본 발명은 미세 정밀 부품 간의 안정적인 간격 유지와 전기 소자의 전기적 특성 측정에 사용되는 다각형 마이크로 접촉 핀에 관한 것이다.The present invention relates to a polygonal micro contact pin used to maintain stable spacing between fine precision parts and to measure electrical properties of electrical devices.

반도체 소자는 웨이퍼(Wafer)의 제조에서부터 웨이퍼의 테스트, 다이(Die)의 패키징(Packaging) 등 많은 공정을 통하여 제조된다. 웨이퍼의 테스트는 반도체 소자의 전기적 특성을 테스트하기 위한 이른바 전기적 다이 소팅 테스트(Electrical Die Sorting Test)이다. 전기적 다이 소팅 테스트에서는 반도체 소자의 패드(Pad)들에 프로브 카드의 프로브들을 접촉하여 전기신호를 입출력하고, 그 신호에 따라 반도체 소자의 양품과 불량품을 분류한다.Semiconductor devices are manufactured through many processes such as wafer manufacturing, wafer testing, and die packaging. The wafer test is a so-called Electrical Die Sorting Test for testing the electrical properties of semiconductor devices. In the electrical die sorting test, probes of the probe card are contacted with pads of a semiconductor device to input and output an electrical signal, and according to the signal, good and bad products of the semiconductor device are classified.

프로브 카드는 반도체 소자의 테스트 이외에도 TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OEL(Organic Electro Luminescence) 등 평면디스플레이(Flat Display)의 셀(Cell)공정에서 데이터/게이트 라인(Data/Gate Line)의 테스트에 사용되고 있다.In addition to testing semiconductor devices, the probe card is used for data processing in the cell process of flat display such as TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), and OEL (Organic Electro Luminescence). It is used to test the gate line (Data / Gate Line).

프로브 카드는 크게 테스터(Tester)의 테스트 헤드(Test Head)와 접속되어 있는 인쇄회로기판(Printed Circuit Board)과, 웨이퍼의 패드들과 직접 접촉되는 복수의 프로브들과, 프로브들을 지지하는 서포터(Supporter)로 구성되어 있다. 이러한 프로브 카드의 인쇄회로기판과 프로브들 사이에는 스페이스 트랜스포머(Space Transformer)와 인터포저(Interposer)가 구비되기도 한다. 스페이스 트랜스포머는 복수의 프로브들을 미세한 피치(Pitch)로 배열할 수 있도록 구성되어 있다. 인터포저는 인쇄회로기판과 스페이스 트랜스포머 사이에서 전기 신호를 전달하고, 프로브 카드에 가해지는 압력을 흡수하여 프로브 카드의 평탄도를 유지하도록 구성되어 있다. 또한, 인터포저는 평탄도가 변화하여도 안전하게 접촉을 유지시킬 수 있도록 충분한 탄성력과 스트로크(Stroke)를 가진다.The probe card is largely a printed circuit board connected to a test head of a tester, a plurality of probes directly contacting the pads of the wafer, and a supporter supporting the probes. ). A space transformer and an interposer may be provided between the printed circuit board and the probes of the probe card. The space transformer is configured so that a plurality of probes can be arranged at a fine pitch. The interposer is configured to transmit electric signals between the printed circuit board and the space transformer, and absorb pressure applied to the probe card to maintain the flatness of the probe card. In addition, the interposer has sufficient elasticity and stroke to maintain contact safely even when the flatness changes.

인터포저는 복수의 관통구멍들이 형성된 기판과 관통구멍들에 삽입되는 복수의 접촉 핀들을 구비한다. 접촉 핀으로는 배럴과 플런저 및 스프링으로 구성된 포고 핀, 서로에 대해서 슬라이딩하는 한 쌍의 접촉자와 스프링을 구비하는 형태의 접촉 핀, 중심부에 굽어 있는 스프링부를 구비한 와이어 형태의 접촉 핀 등 다양한 형태의 접촉 핀들이 사용된다.The interposer includes a substrate on which a plurality of through holes are formed and a plurality of contact pins inserted into the through holes. Various types of contact pins include a pogo pin composed of a barrel and a plunger and a spring, a contact pin having a pair of contactors and springs sliding relative to each other, and a contact pin in the form of a wire having a spring portion bent in the center. Contact pins are used.

예를 들어, KR 10-1330995 B1에는 일측 종단에는 외부와의 전기적 접촉을 위한 제1 접점부가 구비되고 타측 종단에는 제1 연결부가 구비되며 일자형의 판 형태로 형성되는 제1 탐침; 일측 종단에는 외부와의 전기적 접촉을 위한 제2 접점부가 구비되고 타측 종단에는 제2 연결부가 구비되는 제2 탐침; 상기 제1 탐침 및 상기 제2 탐침의 적어도 일부분이 내삽된 상태에서, 상기 제1 탐침 및 상기 제2 탐침에 대하여 길이방향으로 탄성력을 가하는 스프링을 포함하며, 상기 제1 탐침의 상기 제1 연결부는 상기 제2 탐침의 상기 제2 연결부와 면 접촉을 이룰 수 있으며 서로 접촉된 상태에서 슬라이딩하는 것을 특징으로 스프링 프로브 핀이 개시되어 있다.For example, KR 10-1330995 B1 is provided with a first contact portion for electrical contact with the outside at one end, a first connection portion at the other end, and a first probe formed in a flat plate shape; A second probe having a second contact portion for electrical contact with the outside at one end and a second connection portion at the other end; And a spring that exerts an elastic force in the longitudinal direction with respect to the first probe and the second probe, with at least a portion of the first probe and the second probe interpolated, and the first connection portion of the first probe A spring probe pin is disclosed, which is capable of making surface contact with the second connection portion of the second probe and sliding in contact with each other.

KR 10-1330995 B1KR 10-1330995 B1 KR 10-1352419 B1KR 10-1352419 B1

본 발명은 새로운 구조의 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention aims to provide a new structure of polygonal micro contact pins.

상술한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 다각형 통 형태의 제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 팁부를 구비하며, 상기 제1 몸체부의 상기 제1 팁부 측에는 상기 제1 몸체부의 내부를 향해 돌출된 스프링 스토퍼부가 형성되며, 상기 제1 몸체부의 상기 제1 팁부 반대 측에는 상기 제1 몸체부의 내부를 향해 돌출된 이탈 방지부가 형성된 제1 접촉자와,In order to achieve the above object, the present invention, the first body portion in the form of a polygonal cylinder, and a first tip portion extending from the first body portion along the longitudinal direction of the first body portion, the first body A spring stopper portion protruding toward the inside of the first body portion is formed at the side of the first tip portion of the portion, and a first contact portion formed at a side opposite to the first tip portion of the first body portion is provided with a departure preventing portion protruding toward the interior of the first body portion Wow,

상기 제1 접촉자의 내부에 끼워지는 다각형 통 형태의 제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 팁부의 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 포함하며, 상기 제2 몸체부에는 상기 제2 몸체부의 외부를 향해 돌출되며 상기 제1 몸체부의 내면에 접촉하며 상기 제1 몸체부의 내면을 따라서 슬라이딩하며 상기 이탈 방지부에 걸리는 접촉부가 형성된 제2 접촉자와,And a second body portion having a polygonal cylindrical shape fitted inside the first contactor, and a second tip portion extending from the second body portion in the opposite direction to the first tip portion, wherein the second body portion includes the second body portion. 2 projecting toward the outside of the body portion, and contacting the inner surface of the first body portion, sliding along the inner surface of the first body portion, and a second contact portion formed with a contact portion caught in the departure preventing portion,

상기 제1 접촉자의 내부에 상기 스프링 스토퍼부와 상기 제2 몸체부 사이에 삽입되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하는 전기 접속핀을 제공한다.It is inserted between the spring stopper portion and the second body portion inside the first contact, and when the first contact and the second contact are close to each other, the elastic force in the direction away from the first contact and the second contact It provides an electrical connection pin comprising a spring that provides.

또한, 상기 제1 몸체부의 적어도 하나의 모서리가 개방된 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, it provides a polygonal micro contact pin with at least one edge open of the first body portion.

또한, 상기 제1 몸체부는 금속판을 절곡하여 제조된 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the first body portion provides a polygonal micro contact pin manufactured by bending a metal plate.

또한, 상기 스프링 스토퍼부는 상기 금속판의 프레스 가공으로 형성되는 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the spring stopper portion provides a polygonal micro contact pin formed by press working of the metal plate.

또한, 상기 제1 팁부는 상기 제1 몸체부에서 멀어질수록 단면적이 작아지는 다각형 통 형태인 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the first tip portion provides a polygonal micro contact pin in the form of a polygonal cylinder having a smaller cross-sectional area as it moves away from the first body portion.

또한, 상기 제1 팁부의 모서리들이 개방되어 있는 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, there is provided a polygonal micro contact pin in which corners of the first tip portion are open.

또한, 상기 제2 접촉자는 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 팁부 반대방향으로 연장되어 스프링의 내부에 끼워지는 스프링 지지부를 더 포함하는 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the second contactor provides a polygonal micro contact pin further comprising a spring support extending from the second body portion in the opposite direction to the second tip portion to fit inside the spring.

또한, 상기 제2 몸체부는 금속판을 절곡하여 제조된 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the second body portion provides a polygonal micro contact pin manufactured by bending a metal plate.

또한, 상기 제2 몸체부의 접촉부는 상기 제2 몸체부의 다른 부분에 비해서 단면적이 큰 다각형 통 형태인 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the contact portion of the second body portion provides a polygonal micro contact pin having a polygonal cylindrical shape having a larger cross-sectional area than other portions of the second body portion.

또한, 상기 제2 몸체부의 접촉부의 모서리 중 적어도 하나는 개방되어 있는 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, at least one of the corners of the contact portion of the second body portion provides an open polygonal micro contact pin.

또한, 상기 제1 팁부는 제1 단자와 접촉하는 제1 접촉면을 구비하고, 상기 제2 팁부는 제2 단자와 접촉하는 제2 접촉면을 구비하며, 상기 제1 접촉면과 제2 접촉면은 서로 대각선 방향에 위치하는 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the first tip portion has a first contact surface that contacts the first terminal, the second tip portion has a second contact surface that contacts the second terminal, and the first contact surface and the second contact surface are diagonal to each other. Provides a polygonal micro contact pin located on.

또한, 상기 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면계수가 작은 직사각형 단면을 가진 선재를 이용하여 제작한 스프링인 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.In addition, the spring provides a polygonal micro contact pin, which is a spring manufactured using a wire having a rectangular cross section having a smaller cross section coefficient compared to a wire having a circular cross section having the same cross-sectional area.

상기 제1 몸체부에는 상기 제1 몸체부의 외부를 향해 돌출된 제1 걸림부가 형성된 다각형 마이크로 접촉 핀을 제공한다.The first body portion is provided with a polygonal micro contact pin having a first locking portion protruding toward the outside of the first body portion.

본 발명에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀은 스프링이 제1 및 제2 접촉자의 내부에 배치되므로, 스프링이 기판의 관통 구멍의 내측 면과 접하지 않아서 스프링에 의한 간섭이 생기지 않는다는 장점이 있다. 또한, 유사한 종래의 포고 핀에 비해서 구조가 간단하다는 장점이 있다.The polygonal micro contact pin according to the present invention has the advantage that the spring is disposed inside the first and second contacts, so that the spring does not contact the inner surface of the through hole of the substrate, so that interference by the spring does not occur. In addition, it has the advantage of a simple structure compared to similar conventional pogo pins.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀의 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀이 기판에 삽입된 상태를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 제1 접촉자의 전개도이다.
도 6은 도 1에 도시된 제2 접촉자의 전개도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 제1 접촉자의 전개도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀이 기판에 삽입된 상태를 나타내는 도면이다.
도 11 내지 15는 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다.1 is a perspective view of a polygonal micro contact pin according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view of the polygonal micro contact pin shown in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view of the polygonal micro contact pin shown in FIG. 1;
FIG. 4 is a view showing a state in which the polygonal micro contact pin shown in FIG. 1 is inserted into a substrate.
5 is an exploded view of the first contact shown in FIG. 1.
6 is an exploded view of the second contact shown in FIG. 1.
7 is an exploded perspective view of a polygonal micro contact pin according to another embodiment of the present invention.
8 is an exploded view of the first contact shown in FIG. 7.
9 is an exploded perspective view of a polygonal micro contact pin according to another embodiment of the present invention.
10 is a view showing a state in which the polygonal micro contact pin shown in FIG. 9 is inserted into the substrate.
11 to 15 are exploded perspective views of polygonal micro contact pins according to still other embodiments of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예는 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings. The embodiments introduced below are provided as examples in order to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In addition, in the drawings, the width, length, and thickness of components may be exaggerated for convenience. Throughout the specification, the same reference numbers indicate the same components.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀의 단면도이다. 도 1 내지 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀(10)은 제1 접촉자(100), 제2 접촉자(200) 및 스프링(300)을 포함한다. 1 is a perspective view of a polygonal micro contact pin according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of the polygonal micro contact pin shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the polygonal micro contact pin shown in FIG. to be. 1 to 3, the polygonal micro contact pin 10 according to an embodiment of the present invention includes a first contact 100, a second contact 200, and a spring 300.

도 4에 도시된 바와 같이, 다각형 마이크로 접촉 핀(10)은 예를 들어, 프로브 카드의 인터포저 기판(1)에 형성된 관통 구멍(2)들에 배치되어, 프로브 핀들이 결합된 MLC 기판(스페이스 트랜스포머, 미도시)의 단자들과 인쇄회로기판(미도시)의 단자들을 전기적으로 연결하는 용도로 사용될 수 있다. 예를 들어, 제2 접촉자(200)는 MLC 기판의 단자들과 접촉하고, 제1 접촉자(100)는 인쇄회로기판의 단자들과 접촉할 수 있다. 제1 접촉자(100)가 관통 구멍(2)에 형성된 턱(3)에 걸리므로 다각형 마이크로 접촉 핀(10)은 관통 구멍(2)에서 빠지지 않는다.As shown in Fig. 4, the polygonal micro contact pin 10 is disposed in, for example, through holes 2 formed in the interposer substrate 1 of the probe card, so that the probe pins are coupled to the MLC substrate (space It can be used to electrically connect terminals of a transformer (not shown) and terminals of a printed circuit board (not shown). For example, the second contactor 200 may contact the terminals of the MLC substrate, and the first contactor 100 may contact the terminals of the printed circuit board. Since the first contact 100 is caught by the jaw 3 formed in the through hole 2, the polygonal micro contact pin 10 is not removed from the through hole 2.

제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)는 Be-Cu 합금과 같은 전기 전도성 소재로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)의 표면에는 Ni-Au 도금 층이 형성될 수 있다.The first contact 100 and the second contact 200 may be made of an electrically conductive material such as Be-Cu alloy. Further, Ni-Au plating layers may be formed on surfaces of the first contact 100 and the second contact 200.

도 1 내지 3에 도시된 바와 같이, 제1 접촉자(100)는 제1 몸체부(110) 및 제1 팁부(130)를 구비한다. 1 to 3, the first contact 100 includes a first body portion 110 and a first tip portion 130.

제1 몸체부(110)는 한쪽 모서리가 개방되어 있는 삼각형 통 형태이다. 따라서 제1 몸체부(110)의 종단면은 대체로 한쪽 모서리가 개방된 삼각형이다.The first body portion 110 is in the form of a triangular cylinder with one edge open. Therefore, the longitudinal cross-section of the first body portion 110 is generally a triangle with one edge open.

제1 몸체부(110)의 제1 팁부(130) 측에는 제1 몸체부(110)의 내부를 향해 돌출된 스프링 스토퍼부(112)가 형성된다. 스프링 스토퍼부(112)는 스프링(300)이 제1 접촉자(100)의 제1 팁부(130) 쪽으로 빠지는 것을 방지하는 역할을 한다. A spring stopper portion 112 protruding toward the inside of the first body portion 110 is formed on a side of the first tip portion 130 of the first body portion 110. The spring stopper part 112 serves to prevent the spring 300 from falling toward the first tip part 130 of the first contact 100.

또한, 제1 몸체부(110)의 제1 팁부(130) 반대 측에는 제1 몸체부(110)의 내부를 향해 돌출된 이탈 방지부(114)가 형성된다. 이탈 방지부(114)는 제2 접촉자(200)가 제1 접촉자(100)의 제1 몸체부(110)의 제1 팁부(130) 반대쪽으로 빠지는 것을 방지하는 역할을 한다.In addition, a departure preventing portion 114 protruding toward the inside of the first body portion 110 is formed on a side opposite to the first tip portion 130 of the first body portion 110. The departure preventing portion 114 serves to prevent the second contact 200 from falling off the first tip portion 130 of the first body portion 110 of the first contact 100.

제1 팁부(130)는 제1 몸체부(110)의 길이방향을 따라서 제1 몸체부(110)의 일단부로부터 연장된다. 본 실시예에서 제1 팁부(130)는 제1 몸체부(110)와 단면의 형태가 동일하다. 제1 팁부(130)는 끝단에 제1 접촉면(131)을 구비한다. 제1 접촉면(131)은 외부 단자와 접촉한다. 제1 접촉면(131)은 한쪽 모서리가 개방된 삼각형 표면이다.The first tip portion 130 extends from one end of the first body portion 110 along the longitudinal direction of the first body portion 110. In this embodiment, the first tip portion 130 has the same shape as the first body portion 110 in cross section. The first tip portion 130 has a first contact surface 131 at an end. The first contact surface 131 contacts the external terminal. The first contact surface 131 is a triangular surface with one edge open.

제1 접촉자(100)는 프레스 가공을 통해서 도 5에 도시된 바와 같은 형태의 금속판을 형성하고, 이러한 금속판을 프레스 가공을 통해서 구부려서 제조할 수 있다. 이해하기 쉽도록 금속판에도 제1 접촉자(100)와 동일한 부재번호를 표시하였으며, 접히는 부분은 얇은 실선으로 표시하였다. 금속판의 두께는 30 ~ 40㎛ 정도일 수 있다. 금속판에는 스프링 스토퍼부(112)와 이탈 방지부(114)에 해당하는 돌출부가 형성되어 있다. 돌출부는 포밍이나 드로잉 공정을 통해서 형성할 수 있다. 이러한 돌출부가 안쪽을 향하도록 금속판을 구부리면 스프링 스토퍼부(112)와 이탈 방지부(114)가 형성된 제1 접촉자(100)를 얻을 수 있다. 용이하게 구부러지게 하기 위해서 돌출부에서 접히는 부분에는 펀칭 공정을 통해서 관통 구멍(115, 116)을 형성할 수도 있다.The first contact 100 may be formed by forming a metal plate having a shape as shown in FIG. 5 through press working, and bending the metal plate through press working. For ease of understanding, the same member number as the first contact 100 was also displayed on the metal plate, and the folding part was marked with a thin solid line. The thickness of the metal plate may be about 30 to 40㎛. The metal plate is formed with protrusions corresponding to the spring stopper portion 112 and the departure preventing portion 114. The protrusion can be formed through a forming or drawing process. When the metal plate is bent such that the protruding portion faces inward, the first contact 100 formed with the spring stopper portion 112 and the departure preventing portion 114 can be obtained. In order to bend easily, through-holes 115 and 116 may be formed in a portion folded at the protrusion through a punching process.

제2 접촉자(200)는 제2 몸체부(210) 및 제2 팁부(230)를 구비한다. The second contactor 200 includes a second body portion 210 and a second tip portion 230.

제2 몸체부(210)는 한쪽 모서리가 개방되어 있는 삼각형 통 형태이다. 따라서 제2 몸체부(210)의 종단면은 대체로 한쪽 모서리가 개방된 삼각형이다. 제2 몸체부(210)는 제1 몸체부(110)에 비해서 단면적이 약간 작아서, 제1 몸체부(110)의 내부에 끼워질 수 있다. The second body portion 210 is in the form of a triangular cylinder with one edge open. Therefore, the longitudinal section of the second body portion 210 is generally a triangle with one edge open. The second body portion 210 has a slightly smaller cross-sectional area than the first body portion 110, and thus may be fitted inside the first body portion 110.

제2 몸체부(210)에는 제2 몸체부(210)의 외부를 향해 돌출된 접촉부(214)가 형성된다. 접촉부(214)는 제1 몸체부(110)의 내면에 접촉한 상태로 제1 몸체부(110)의 내면을 따라서 슬라이딩한다. 접촉부(214)는 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 전기적으로 연결되도록 한다. 또한, 접촉부(214)는 제1 몸체부(110)의 이탈 방지부(114)에 걸려서, 제2 몸체부(210)가 제1 몸체부(110)의 제1 팁부(130) 반대쪽으로 빠지는 것을 방지하는 역할도 한다.A contact portion 214 protruding toward the outside of the second body portion 210 is formed in the second body portion 210. The contact portion 214 slides along the inner surface of the first body portion 110 in contact with the inner surface of the first body portion 110. The contact unit 214 allows the first contact 100 and the second contact 200 to be electrically connected. In addition, the contact portion 214 is caught in the departure preventing portion 114 of the first body portion 110, so that the second body portion 210 falls out of the first tip portion 130 of the first body portion 110 It also serves to prevent.

제2 팁부(230)는 제2 몸체부(210)로부터 제1 몸체부(110) 반대방향으로 연장된다. 본 실시예에서 제2 팁부(230)는 제2 몸체부(210)와 단면의 형태가 동일하다. 제2 팁부(230)의 끝단에는 제2 접촉면(231)이 형성된다. 제2 접촉면(231)은 외부 단자와 접촉한다. 제2 접촉면(231)은 한쪽 모서리가 개방된 삼각형 표면이다.The second tip portion 230 extends from the second body portion 210 in the opposite direction to the first body portion 110. In this embodiment, the second tip portion 230 has the same shape as the second body portion 210. A second contact surface 231 is formed at an end of the second tip portion 230. The second contact surface 231 contacts the external terminal. The second contact surface 231 is a triangular surface with one edge open.

제2 접촉자(200)는 프레스 가공을 통해서 도 6에 도시된 바와 같은 형태의 금속판을 형성하고, 이러한 금속판을 프레스 가공을 통해서 구부려서 제조할 수 있다. 금속판의 두께는 30 ~ 40㎛ 정도일 수 있다. 금속판에는 접촉부(214)에 해당하는 돌출부가 형성되어 있다. 돌출부는 포밍이나 드로잉 공정을 통해서 형성할 수 있다. 이러한 돌출부가 바깥쪽을 향하도록 금속판을 구부리면 접촉부(214)가 형성된 제2 접촉자(200)를 얻을 수 있다. 용이하게 구부러지게 하기 위해서 돌출부에서 접히는 부분에는 펀칭 공정을 통해서 관통 구멍(216)을 형성할 수도 있다.The second contact 200 may be formed by forming a metal plate having a shape as shown in FIG. 6 through press working, and bending the metal plate through press working. The thickness of the metal plate may be about 30 to 40㎛. A protrusion corresponding to the contact portion 214 is formed on the metal plate. The protrusion can be formed through a forming or drawing process. When the metal plate is bent such that the protruding portion faces outward, the second contact 200 with the contact portion 214 formed can be obtained. In order to bend easily, a through hole 216 may be formed in a portion folded at the protrusion through a punching process.

스프링(300)은 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 가까워지는 방향으로 압력이 가해졌을 때, 상기 제1 접촉자(100)와 제2 접촉자(200)가 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하여, 다각형 마이크로 접촉 핀(10)과 단자들 사이에 확실한 전기적 접촉이 일어나도록 한다.The spring 300 provides elastic force in a direction in which the first contact 100 and the second contact 200 are separated when pressure is applied in a direction in which the first contact 100 and the second contact 200 are close. Thus, reliable electrical contact between the polygonal micro contact pin 10 and the terminals occurs.

스프링(300)은 스프링 스토퍼부(112)와 제2 몸체부(210)의 제2 팁부(230) 반대쪽 끝단(212) 사이에 배치된다.The spring 300 is disposed between the spring stopper portion 112 and the end 212 opposite the second tip portion 230 of the second body portion 210.

도 1 내지 4에는 스프링(300)의 선재의 단면이 원형인 것으로 도시되어 있으나, 스프링의 선재의 단면은 사각형일 수도 있다. 특히, 다수의 다각형 마이크로 접촉 핀(10)이 사용되는 인터포저에 사용되는 전도성 접촉핀(10)의 경우에는 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면 2차 모멘트가 작은 직사각형 단면(세로 값이 가로 값보다 작은 직사각형 단면)을 가진 선재를 이용하여 제작된 스프링을 사용하는 것이 바람직하다. 다수의 다각형 마이크로 접촉 핀(10)이 사용되는 인터포저의 경우에는 다각형 마이크로 접촉 핀(10)의 스프링 힘(spring force)이 상대적으로 작고, 압력이 가해졌을 때 더 많이 압축될 수 있는 스프링을 사용하는 것이 바람직하기 때문이다.1 to 4, the cross section of the wire rod of the spring 300 is shown as circular, but the cross section of the wire rod of the spring may be rectangular. Particularly, in the case of the conductive contact pin 10 used in the interposer in which a plurality of polygonal micro contact pins 10 are used, a rectangular cross section (vertical value having a smaller section secondary moment than a wire rod having a circular cross section of the same cross-sectional area) It is preferable to use a spring manufactured using a wire rod having a rectangular cross section smaller than the horizontal value). In the case of an interposer in which a plurality of polygonal micro contact pins 10 are used, the spring force of the polygonal micro contact pins 10 is relatively small, and a spring that can be compressed more when pressure is applied is used. This is because it is preferable.

2차 모멘트가 작은 직사각형 단면(세로 값이 가로 값보다 작은 직사각형 단면)을 가진 선재를 이용하여 제작된 스프링은 동일한 스프링 높이(자유장)와 동일한 스프링 피치의 원형 단면 선재 스프링(동일 단면적)보다 더 긴 스트로크(stroke)를 가질 수 있어서 안정적인 낮은 힘(Low Force) 접촉 핀을 구현할 수 있다.Springs made using wire rods with a rectangular cross section with a small secondary moment (a rectangular cross section where the vertical value is less than the horizontal value) are better than a circular cross-section wire spring (same cross-sectional area) of the same spring height (free field) and the same spring pitch. Since it can have a long stroke, it is possible to implement a stable low force contact pin.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이며, 도 8은 도 7에 도시된 제1 접촉자의 전개도이다.7 is an exploded perspective view of a polygonal micro contact pin according to another embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an exploded view of the first contact shown in FIG. 7.

도 7에 도시된 실시예는 도 1과 2에 도시된 실시예와 스토퍼부(412)와 제1 팁부(430) 및 제2 팁부(530)의 형태에만 차이가 있으므로, 여기에 대해서만 설명한다.Since the embodiment shown in FIG. 7 differs only in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 and in the shape of the stopper part 412, the first tip part 430, and the second tip part 530, only the description will be given here.

본 실시예의 다각형 마이크로 접촉 핀(20)의 스프링 스토퍼부(412)는 제1 몸체부(410)의 세 개의 면 각각에서 제1 몸체부(410)의 내면을 향해서 연장된 U자 형태의 판형 돌기들로 이루어진다.The spring stopper portion 412 of the polygonal micro contact pin 20 of this embodiment has a U-shaped plate-like projection extending from each of the three faces of the first body portion 410 toward the inner surface of the first body portion 410. It consists of.

스프링 스토퍼부(412)는, 예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같은 U자 형태의 절개부 형성된 금속판을 제조한 후 U자 형태의 절개부로 둘러싸인 부분을 접는 방법으로 형성할 수 있다. U자 형태의 절개부는 U자 형태의 펀칭 날로 금속판에 펀칭하여 형성할 수 있다.The spring stopper part 412 may be formed, for example, by manufacturing a metal plate formed with a U-shaped cutout as shown in FIG. 8 and then folding a portion surrounded by the U-shaped cutout. The U-shaped incision may be formed by punching a metal plate with a U-shaped punching blade.

그리고 U자 형태의 판형 돌기들을 형성한 후 U자 형태의 판형 돌기들이 내면을 향하도록 금속판을 구부리면 U자 형태의 돌기부들로 이루어진 스프링 스토퍼부(412)를 구비한 제1 몸체부(410)를 제조할 수 있다.Then, after forming the U-shaped plate-like protrusions and bending the metal plate so that the U-shaped plate-like protrusions face the inner surface, the first body portion 410 having a spring stopper portion 412 made of U-shaped protrusions is provided. Can be produced.

제1 팁부(430)는 제1 몸체부(410)에서 멀어질수록 단면적이 작아지는 삼각형 통 형태이다. 삼각형 통의 모서리 부분들은 모두 개방되어 있다. 제1 팁부(430)는, 예를 들어, 도 8에 도시된 바와 같이, 금속판의 끝단에 노치(435)들을 형성하고, 금속판의 끝단을 안쪽으로 접는 방법으로 형성할 수 있다.The first tip portion 430 is in the form of a triangular cylinder that has a smaller cross-sectional area as it moves away from the first body portion 410. The corners of the triangular barrel are all open. The first tip portion 430 may be formed by forming notches 435 at the ends of the metal plate and folding the ends of the metal plates inward, for example, as illustrated in FIG. 8.

제2 팁부(530)는 제2 몸체부(510)에서 멀어질수록 단면적이 작아지는 삼각형 통 형태이다. 제2 팁부(530)는 제1 팁부(430)와 같은 방법으로 형성할 수 있다.The second tip portion 530 is in the form of a triangular cylinder having a smaller cross-sectional area as it moves away from the second body portion 510. The second tip portion 530 may be formed in the same way as the first tip portion 430.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이며, 도 10은 도 9에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀이 기판에 삽입된 상태를 나타내는 도면이다.9 is an exploded perspective view of a polygonal micro contact pin according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a view showing a state in which the polygonal micro contact pin shown in FIG. 9 is inserted into a substrate.

도 9에 도시된 실시예는 도 7에 도시된 실시예와 달리 제1 접촉자(600)의 제1 몸체부(610)에 제1 걸림부(616)가 형성된다. 제2 접촉자(500)는 도 7에 도시된 실시예의 제2 접촉자(500)와 동일하다.In the embodiment illustrated in FIG. 9, unlike the embodiment illustrated in FIG. 7, the first locking portion 616 is formed in the first body portion 610 of the first contact 600. The second contact 500 is the same as the second contact 500 of the embodiment shown in FIG. 7.

제1 걸림부(616)가 형성된 제1 몸체부(610)는 도 8에 도시된 금속판의 U자 형태의 절개부로 둘러싸인 세 개의 부분 중에서 하나를 나머지 두 개의 부분과 반대 방향으로 구부린 후 두 개의 U자 형태의 판형 돌기들이 내면을 향하고, 하나의 U자형태의 판형 돌기만 외면을 향하도록 금속판을 구부리는 방법으로 제조할 수 있다.The first body portion 610 on which the first locking portion 616 is formed is bent from one of the three portions surrounded by the U-shaped incision of the metal plate shown in FIG. 8 in the opposite direction to the other two portions, and then the two U It can be manufactured by bending the metal plate so that the ruler-shaped plate-like protrusions face the inner surface and only one U-shaped plate-like protrusion faces the outer surface.

도 10은 도 9에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀이 기판에 삽입된 상태를 나타내는 도면이다.10 is a view showing a state in which the polygonal micro contact pin shown in FIG. 9 is inserted into the substrate.

도 10에 도시된 바와 같이, 다각형 마이크로 접촉 핀(30)은 예를 들어, 상부 기판(4)과 하부 기판(6)을 포함하는 프로브 카드의 인터포저 기판에 형성된 관통 구멍(5)들에 배치되어, 프로브 핀들이 결합된 MLC 기판(스페이스 트랜스포머, 미도시)의 단자들과 인쇄회로기판(미도시)의 단자들을 전기적으로 연결하는 용도로 사용될 수 있다. 예를 들어, 제2 접촉자(500)는 MLC 기판의 단자들과 접촉하고, 제1 접촉자(600)는 인쇄회로기판의 단자들과 접촉할 수 있다. 제1 접촉자(600)가 하부 기판(6)의 관통 구멍(5)에 형성된 턱(8)에 걸리므로 다각형 마이크로 접촉 핀(30)은 아래쪽으로 빠지지 않는다. 그리고 제1 접촉자(600)의 제1 걸림부(616)가 상부 기판(4)의 관통 구멍(5)에 형성된 턱(7)에 걸리므로 다각형 마이크로 접촉 핀(30)은 위쪽으로도 빠지지 않는다.As shown in Fig. 10, the polygonal micro contact pin 30 is disposed in through holes 5 formed in the interposer substrate of the probe card including, for example, the upper substrate 4 and the lower substrate 6 Therefore, it can be used to electrically connect the terminals of the MLC substrate (space transformer, not shown) to which the probe pins are coupled and the terminals of the printed circuit board (not shown). For example, the second contact 500 may contact the terminals of the MLC substrate, and the first contact 600 may contact the terminals of the printed circuit board. Since the first contact 600 is caught by the jaw 8 formed in the through hole 5 of the lower substrate 6, the polygonal micro contact pin 30 does not fall downward. In addition, since the first engaging portion 616 of the first contact 600 is caught by the jaw 7 formed in the through hole 5 of the upper substrate 4, the polygonal micro contact pin 30 does not fall even upward.

도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다.11 is an exploded perspective view of a polygonal micro contact pin according to another embodiment of the present invention.

도 11에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀(40)은 도 1과 2에 도시된 실시예와 제1 팁부(830) 및 제2 팁부(930)의 형태에만 차이가 있으므로, 여기에 대해서만 설명한다.The polygonal micro contact pin 40 shown in FIG. 11 differs only in the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 and in the shape of the first tip portion 830 and the second tip portion 930, so only the description thereof will be given.

본 실시예에 있어서, 제1 팁부(830)와 제2 팁부(930)는 사선으로 절개되어 있다. 그리고 절개된 방향이 서로 반대라서, 제1 팁부(830)의 제1 접촉부(831)와 제2 팁부(930)의 제2 접촉부(931)는 서로 대각선 방향에 놓인다. 즉, 제1 팁부(830)의 제1 접촉부(831)는 마이크로 접촉핀(40)의 길이방향 중심 면을 기준으로 위쪽에 배치되며, 제2 팁부(930)의 제2 접촉부(931)는 아래쪽에 배치된다. 본 실시예는 다각형 마이크로 접촉 핀(10)에 압력이 가해질 때 다각형 마이크로 접촉 핀(10)이 한쪽으로 치우치는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있다.In the present embodiment, the first tip portion 830 and the second tip portion 930 are cut in diagonal lines. In addition, since the cut directions are opposite to each other, the first contact portion 831 of the first tip portion 830 and the second contact portion 931 of the second tip portion 930 are disposed in a diagonal direction with each other. That is, the first contact portion 831 of the first tip portion 830 is disposed above the longitudinal center surface of the micro contact pin 40, and the second contact portion 931 of the second tip portion 930 is downward. Is placed on. This embodiment has an advantage that the polygonal micro contact pin 10 can be prevented from being biased to one side when pressure is applied to the polygonal micro contact pin 10.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다. 도 12에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀(50)은 도 7에 도시된 실시예와 제2 접촉자(1000)의 형태에만 차이가 있으므로, 여기에 대해서만 설명한다.12 is an exploded perspective view of a polygonal micro contact pin according to another embodiment of the present invention. Since the polygonal micro contact pin 50 shown in FIG. 12 differs only in the form of the embodiment shown in FIG. 7 and the second contact 1000, only the description will be given here.

본 실시예에서 제2 몸체부(1010)의 접촉부(1014)는 제2 몸체부(1010)의 다른 부분에 비해서 단면적이 큰 다각형 통 형태이다. 즉, 본 실시예에서 접촉부(1014)는 다른 부분에 비해서 부풀어 오른 듯한 형태이다. 도 7에 도시된 실시예에 비해서 제1 몸체부(410)의 내면과 접촉하는 접촉 면적이 더 넓다는 장점이 있다. 또한, 접촉부(1014)가 길이 방향을 따라서 길게 형성되어 있으므로, 제2 접촉자(1000)가 제1 접촉자(400)에 대해서 직선 이동을 할 때 직진성이 향상된다는 장점도 있다.In this embodiment, the contact portion 1014 of the second body portion 1010 is a polygonal cylindrical shape having a larger cross-sectional area than other portions of the second body portion 1010. That is, in the present embodiment, the contact portion 1014 is in a bulging form compared to other portions. Compared to the embodiment shown in FIG. 7, there is an advantage that the contact area in contact with the inner surface of the first body portion 410 is wider. In addition, since the contact portion 1014 is formed long along the longitudinal direction, there is an advantage that the straightness is improved when the second contactor 1000 moves linearly with respect to the first contactor 400.

또한, 본 실시예에서 제2 접촉자(1000)는 제2 몸체부(1010)의 접촉부(1014)로부터 제2 팁부(1030) 반대방향으로 연장되는 스프링 지지부(1020)를 더 포함한다. 스프링 지지부(1020)는 스프링(300) 안에 끼워져 스프링(300)을 지지한다. 스프링 지지부(1020)는 제2 몸체부(1010)의 접촉부(1014)에 비해서 단면적이 작은 삼각형 통 형태이다.In addition, in the present embodiment, the second contactor 1000 further includes a spring support 1020 extending from the contact portion 1014 of the second body portion 1010 in the opposite direction to the second tip portion 1030. The spring support 1020 is fitted into the spring 300 to support the spring 300. The spring support portion 1020 is in the form of a triangular cylinder having a smaller cross-sectional area than the contact portion 1014 of the second body portion 1010.

도 13 내지 15는 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 다각형 마이크로 접촉 핀의 분해 사시도이다. 도 13 내지 15에 도시된 다각형 마이크로 접촉 핀들(60, 70, 80)은 도 1과 2에 도시된 실시예와 달리 육각형 통 형태의 제1 접촉자(1100, 1300)와 제2 접촉자(1200, 1400, 1500)를 구비한다.13 to 15 are exploded perspective views of polygonal micro contact pins according to still other embodiments of the present invention. The polygonal micro contact pins 60, 70, and 80 shown in FIGS. 13 to 15 have first hexagonal cylindrical first contacts 1100, 1300 and second contacts 1200, 1400, unlike the embodiments illustrated in FIGS. , 1500).

그리고 도 14에 도시된 실시예는 제1 팁부(1330)와 제2 팁부(1430)의 형태가 도 13에 도시된 형태와 차이가 있다. 본 실시예에서 제1 팁부(1330)와 제2 팁부(1430)는 끝이 오므려진 육각형 통 형태이다.In addition, in the embodiment shown in FIG. 14, the shapes of the first tip portion 1330 and the second tip portion 1430 are different from those shown in FIG. 13. In this embodiment, the first tip portion 1330 and the second tip portion 1430 are hexagonal cylinders with closed ends.

도 15에 도시된 실시예는 제2 접촉자(1500)의 형태가 도 13에 도시된 실시예와 차이가 있다. 본 실시예에 있어서, 제2 접촉자(1500)의 제2 몸체부(1510)는 육각형 통 형태의 접촉부(1514)를 구비한다. 또한, 제2 접촉자(1500)는 접촉부(1514)에서 연장되는 스프링 지지부(1520)를 더 포함한다. 스프링 지지부(1520)는 제2 몸체부(1510)의 접촉부(1514)에 비해서 단면적이 작은 육각형 통 형태이다.In the embodiment shown in FIG. 15, the shape of the second contact 1500 is different from the embodiment shown in FIG. 13. In the present embodiment, the second body portion 1510 of the second contact 1500 has a hexagonal cylindrical contact portion 1514. In addition, the second contact 1500 further includes a spring support 1520 extending from the contact 1514. The spring support portion 1520 has a hexagonal cylindrical shape with a smaller cross-sectional area than the contact portion 1514 of the second body portion 1510.

이상에서 설명된 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위 내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.The embodiments described above are merely illustrative of preferred embodiments of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the described embodiments, and those skilled in the art within the technical spirit and claims of the present invention. Various changes, modifications, or substitutions may be made by and it should be understood that such embodiments are within the scope of the present invention.

예를 들어, 앞에서는 제1 접촉자와 제2 접촉자가 삼각형 통 형태 또는 육각형 통 형태인 것으로 설명하였으나, 사각형 통 형태, 오각형 통 형태 등 다른 다각형 통 형태일 수도 있다.For example, although the first contactor and the second contactor were described as having a triangular cylinder shape or a hexagonal cylinder shape, other polygonal cylinder shapes such as a square cylinder shape and a pentagonal cylinder shape may be used.

10: 다각형 마이크로 접촉 핀
20: 기판
100: 제1 접촉자
110: 제1 몸체부
112: 스프링 스토퍼부
114: 이탈 방지부
130: 제1 팁부
200: 제2 접촉자
210: 제2 몸체부
214: 접촉부
230: 제2 팁부
300: 스프링10: Polygonal micro contact pin
20: substrate
100: first contact
110: first body
112: spring stopper portion
114: departure prevention unit
130: first tip portion
200: second contact
210: second body
214: contact
230: second tip
300: spring

Claims (14)

다각형 통 형태의 제1 몸체부와, 상기 제1 몸체부의 길이방향을 따라서 상기 제1 몸체부로부터 연장된 제1 팁부를 구비하며, 상기 제1 몸체부의 상기 제1 팁부 측에는 상기 제1 몸체부의 내부를 향해 돌출된 스프링 스토퍼부가 형성되며, 상기 제1 몸체부의 상기 제1 팁부 반대 측에는 상기 제1 몸체부의 내부를 향해 돌출된 이탈 방지부가 형성된 제1 접촉자와,
상기 제1 접촉자의 내부에 끼워지는 다각형 통 형태의 제2 몸체부와, 상기 제2 몸체부로부터 상기 제1 팁부의 반대방향으로 연장된 제2 팁부를 포함하며, 상기 제2 몸체부에는 상기 제2 몸체부의 외부를 향해 돌출되며 상기 제1 몸체부의 내면에 접촉하며 상기 제1 몸체부의 내면을 따라서 슬라이딩하며 상기 이탈 방지부에 걸리는 접촉부가 형성된 제2 접촉자와,
상기 제1 접촉자의 내부에 상기 스프링 스토퍼부와 상기 제2 몸체부 사이에 삽입되며, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 가까워질 때, 상기 제1 접촉자와 제2 접촉자가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 스프링을 포함하며,
상기 제1 팁부는 제1 단자와 접촉하는 제1 접촉면을 구비하고,
상기 제2 팁부는 제2 단자와 접촉하는 제2 접촉면을 구비하며,
상기 제1 접촉면과 제2 접촉면은 서로 대각선 방향에 위치하는 다각형 마이크로 접촉 핀.A first body portion having a polygonal cylindrical shape, and a first tip portion extending from the first body portion along the longitudinal direction of the first body portion, and inside the first body portion on the side of the first tip portion of the first body portion A spring stopper portion protruding toward the first contact portion is formed on the opposite side of the first tip portion of the first body portion, and a first contact portion formed with a departure preventing portion protruding toward the inside of the first body portion,
And a second body portion in the form of a polygonal cylinder fitted inside the first contact, and a second tip portion extending from the second body portion in the opposite direction to the first tip portion. 2 projecting toward the outside of the body part, and contacting the inner surface of the first body part, sliding along the inner surface of the first body part, and a second contact part formed with a contact part caught in the departure preventing part,
It is inserted between the spring stopper portion and the second body portion inside the first contact, and when the first contact and the second contact are close to each other, the elastic force in a direction away from the first contact and the second contact It includes a spring that provides
The first tip portion has a first contact surface in contact with the first terminal,
The second tip portion has a second contact surface in contact with the second terminal,
The first contact surface and the second contact surface are polygonal micro contact pins that are positioned diagonally to each other. 제1항에 있어서,
상기 제1 몸체부의 적어도 하나의 모서리가 개방된 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
A polygonal micro contact pin with at least one edge open of the first body portion. 제1항에 있어서,
상기 제1 몸체부는 금속판을 절곡하여 제조된 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
The first body portion is a polygonal micro contact pin manufactured by bending a metal plate. 제3항에 있어서,
상기 스프링 스토퍼부는 상기 금속판의 프레스 가공으로 형성되는 다각형 마이크로 접촉 핀. According to claim 3,
The spring stopper portion is a polygonal micro contact pin formed by press processing of the metal plate. 제1항에 있어서,
상기 제1 팁부는 상기 제1 몸체부에서 멀어질수록 단면적이 작아지는 다각형 통 형태인 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
The first tip portion is a polygonal micro contact pin in the form of a polygonal cylinder having a smaller cross-sectional area as it moves away from the first body portion. 제5항에 있어서,
상기 제1 팁부의 모서리들이 개방되어 있는 다각형 마이크로 접촉 핀.The method of claim 5,
A polygonal micro contact pin having edges of the first tip portion open. 제1항에 있어서,
상기 제2 접촉자는 상기 제2 몸체부로부터 상기 제2 팁부 반대방향으로 연장되어 스프링의 내부에 끼워지는 스프링 지지부를 더 포함하는 다각형 마이크로 접촉 핀. According to claim 1,
The second contact is a polygonal micro contact pin further extending from the second body portion in a direction opposite to the second tip portion to fit inside the spring. 제1항에 있어서,
상기 제2 몸체부는 금속판을 절곡하여 제조된 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
The second body portion is a polygonal micro contact pin manufactured by bending a metal plate. 제1항에 있어서,
상기 제2 몸체부의 접촉부는 상기 제2 몸체부의 다른 부분에 비해서 단면적이 큰 다각형 통 형태인 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
The contact portion of the second body portion is a polygonal micro contact pin having a polygonal cylinder shape having a larger cross-sectional area than other portions of the second body portion. 제9항에 있어서,
상기 제2 몸체부의 접촉부의 모서리 중 적어도 하나는 개방되어 있는 다각형 마이크로 접촉 핀.The method of claim 9,
At least one of the corners of the contact portion of the second body portion is an open polygonal micro contact pin. 제1항에 있어서,
상기 스프링은 동일한 단면적의 원형 단면을 가진 선재에 비해서 단면계수가 작은 직사각형 단면을 가진 선재를 이용하여 제작한 스프링인 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
The spring is a polygonal micro contact pin, which is a spring manufactured using a wire having a rectangular cross section having a smaller cross section coefficient compared to a wire having a circular cross section having the same cross-sectional area. 제1항에 있어서,
상기 제1 몸체부에는 상기 제1 몸체부의 외부를 향해 돌출된 제1 걸림부가 형성된 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 1,
A polygonal micro contact pin having a first locking portion protruding toward the outside of the first body portion in the first body portion. 제3항에 있어서,
상기 금속판에는 상기 스프링 스토퍼부와 상기 이탈 방지부에 해당하는 돌출부가 형성되며, 상기 돌출부의 접히는 부분에는 관통 구멍이 형성된 다각형 마이크로 접촉 핀.According to claim 3,
The metal plate is formed with a protrusion corresponding to the spring stopper portion and the departure preventing portion, and a polygonal micro contact pin having a through hole formed in a folding portion of the protrusion. 제8항에 있어서,
상기 금속판에는 상기 접촉부에 대응하는 돌출부가 형성되며, 상기 돌출부의 접히는 부분에는 관통 구멍이 형성된 다각형 마이크로 접촉 핀.The method of claim 8,
A protrusion corresponding to the contact portion is formed on the metal plate, and a polygonal micro contact pin having a through hole is formed in a folding portion of the projection.
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