KR102587482B1 - 위치 판정 장치, 기판 반송 장치, 위치 판정 방법 및 기판 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

기판 반송 장치는, 기판을 유지하는 핸드와, 수평면 내에서 핸드를 각각 이동시키는 지지 부재, 회전 부재 및 이동 부재를 구비한다. 또, 기판 반송 장치는, 검출 영역을 갖는 검출기와, 기판의 반송시에 지지 부재의 이동, 회전 부재의 회전 및 이동 부재의 이동을 제어하는 반송 제어부를 구비한다. 반송 제어부는, 핸드에 의해 유지되는 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 검출기의 검출 영역에 위치하도록, 상기의 각 부의 제어를 행한다. 검출기의 출력 신호에 의거하여 핸드에 있어서의 복수의 부분의 위치가 각각 산출된다. 산출된 복수의 부분의 위치에 의거하여, 핸드에 있어서의 기판의 위치가 판정된다.

Description

위치 판정 장치, 기판 반송 장치, 위치 판정 방법 및 기판 반송 방법{POSITION DETERMINATION DEVICE, SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE, POSITION DETERMINATION METHOD AND SUBSTRATE TRANSPORT METHOD}
본 발명은, 지지부에 지지된 기판의 지지부에 있어서의 위치를 판정하는 위치 판정 장치 및 그것을 구비하는 기판 반송 장치, 그리고 위치 판정 방법 및 그것을 이용한 기판 반송 방법에 관한 것이다.
종래부터, 액정 표시 장치 또는 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치 등에 이용되는 FPD(Flat Panel Display)용 기판, 반도체 기판, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판 또는 태양 전지용 기판 등의 각종 기판에 여러 가지의 처리를 행하기 위해서, 기판 처리 장치가 이용된다.
기판 처리 장치에서는, 예를 들어 한 장의 기판에 대해서 복수의 처리 유닛에 있어서 연속적으로 처리가 행해진다. 그로 인해, 기판 처리 장치에는, 복수의 처리 유닛 사이에서 기판을 반송하는 기판 반송 장치가 설치된다.
예를 들어, 일본국 특허공개 2018-133415호 공보에 기재된 기판 반송 장치에 있어서는, 처리 대상이 되는 기판이 유지부에 의해 유지되고, 유지부가 이동함으로써 기판이 반송된다. 제1 위치로부터 제2 위치로의 기판의 반송시에는, 제1 위치에서 유지부에 의해 기판이 수취된 상태에서, 유지부에 의해 유지되는 기판의 외주단부의 제1~제5 부분이 검출된다. 그러한 검출에 의거하여, 유지부에 있어서의 제1~제5 부분의 위치가 각각 산출된다. 산출된 제1~제5 부분의 위치에 의거하여 유지부에 있어서의 기판의 위치가 판정된다. 기판이 제2 위치에 정확하게 반송되도록, 판정된 기판의 위치에 의거하여 유지부의 이동이 제어된다.
기판 처리 장치의 저비용화를 실현하기 위해서, 기판의 위치를 판정하기 위한 구성(이하, 위치 판정 장치라고 부른다)은, 단순화되는 것이 바람직하다. 또, 기판 처리 장치의 저비용화를 실현하기 위해서, 위치 판정 장치의 부품점수는 저감되는 것이 바람직하다.
본 발명의 목적은, 기판 처리 장치의 저비용화가 실현 가능한 위치 판정 장치, 그것을 구비하는 기판 반송 장치, 위치 판정 방법 및 그것을 이용한 기판 반송 방법을 제공하는 것이다.
(1) 본 발명의 일 국면에 따르는 위치 판정 장치는, 지지부에 의해 지지된 기판의 위치를 판정하는 위치 판정 장치로서, 제1 검출 영역을 갖는 제1 검출기와, 지지부에 지지된 기판과 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성된 상대적 이동부와, 상대적 이동부를 제어하는 제어부를 구비하고, 제어부는, 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치하도록, 상대적 이동부를 제어하는 상대적 이동 제어부와, 제1 검출기의 검출 신호에 의거하여 지지부에 있어서의 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 부분 위치 산출부와, 부분 위치 산출부에 의해 산출된 복수의 부분의 위치에 의거하여, 지지부에 있어서의 기판의 위치를 판정하는 위치 판정부를 포함한다.
그 위치 판정 장치에 있어서는, 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치하도록, 지지부에 지지된 기판과 제1 검출기가 상대적으로 이동된다. 제1 검출기의 검출 신호에 의거하여, 지지부에 있어서의 복수의 부분의 위치가 각각 산출된다. 산출된 복수의 부분의 위치에 의거하여, 지지부에 있어서의 기판의 위치가 판정된다.
상기의 위치 판정 장치에 의하면, 지지부에 지지된 기판의 복수의 부분이 제1 검출기에 의해 검출된다. 그로 인해, 기판의 복수의 부분의 위치를 검출하기 위해서, 기판의 복수의 부분에 각각 대응하는 복수의 검출기를 준비할 필요가 없다. 따라서, 위치 판정 장치의 구성이 단순화된다. 또, 위치 판정 장치의 부품점수가 저감된다. 이들의 결과, 기판 처리 장치의 저비용화가 실현된다.
(2) 지지부는, 기판을 유지하면서 이동 가능하게 구성된 반송 유지부를 포함하고, 상대적 이동부는, 반송 유지부를 이동시킴으로써, 반송 유지부에 의해 유지된 기판을 제1 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되어도 된다.
이 경우, 반송 유지부에 의해 기판이 유지된 상태에서, 당해 반송 유지부에 있어서의 기판의 위치를 파악하는 것이 가능하게 된다.
(3) 위치 판정 장치는, 제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 더 구비하고, 상대적 이동부는, 반송 유지부를 이동시킴으로써, 반송 유지부에 의해 유지된 기판을 제2 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되며, 상대적 이동 제어부는, 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 제2 검출 영역에 위치하도록, 상대적 이동부를 제어하고, 부분 위치 산출부는, 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 반송 유지부에 있어서의 복수의 부분의 위치를 각각 산출해도 된다.
이 경우, 제1 검출기에 의해 기판의 제1 및 제2 부분이 검출되고, 제2 검출기에 의해 기판의 제3 및 제4 부분이 검출된다.
(4) 제1 및 제2 검출기는, 제1 검출 영역과 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고, 상대적 이동 제어부는, 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 반송 유지부가 이동함으로써 기판이 제1 및 제2 검출 영역을 가로지르도록, 상대적 이동부를 제어해도 된다.
이 경우, 기판이 제2 방향으로 이동함으로써, 기판의 제1 및 제2 부분이 제1 검출 영역을 순차적으로 지나는 것과 거의 같은 타이밍으로, 기판의 제3 및 제4 부분이 제2 검출 영역을 순차적으로 통과한다. 따라서, 기판의 제1~제4 부분의 검출에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
(5) 상대적 이동부는, 제1 검출기를 이동시킴으로써, 지지부에 의해 지지된 기판에 대해서 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되어도 된다.
이 경우, 제1 검출기가 이동함으로써, 지지부를 이동시키는 일 없이 당해 지지부에 있어서의 기판의 위치를 파악하는 것이 가능하게 된다.
(6) 위치 판정 장치는, 제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 더 구비하고, 상대적 이동부는, 제2 검출기를 이동시킴으로써, 지지부에 의해 지지된 기판에 대해서 제2 검출기를 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되며, 상대적 이동 제어부는, 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 제2 검출 영역에 위치하도록, 상대적 이동부를 제어하고, 부분 위치 산출부는, 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 지지부에 있어서의 복수의 부분의 위치를 각각 산출해도 된다.
이 경우, 제1 검출기에 의해 기판의 제1 및 제2 부분이 검출되고, 제2 검출기에 의해 기판의 제3 및 제4 부분이 검출된다.
(7) 제1 및 제2 검출기는, 제1 검출 영역과 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고, 상대적 이동 제어부는, 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 제1 및 제2 검출기가 이동함으로써 제1 및 제2 검출 영역이 기판을 가로지르도록, 상대적 이동부를 제어해도 된다.
이 경우, 제1 및 제2 검출기가 제2 방향으로 이동함으로써, 제1 검출 영역이 기판의 제1 및 제2 부분을 순차적으로 지나는 것과 거의 같은 타이밍으로, 제2 검출 영역이 기판의 제3 및 제4 부분을 순차적으로 통과한다. 따라서, 기판의 제1~제4 부분의 검출에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
(8) 본 발명의 다른 국면에 따르는 기판 반송 장치는, 상기의 위치 판정 장치를 구비한다.
그 기판 반송 장치에 있어서는, 위치 판정 장치에 의한 판정 결과에 의거하여 기판을 반송하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 기판을 높은 정밀도로 반송하는 것이 가능하게 된다.
(9) 본 발명의 또 다른 국면에 따르는 위치 판정 방법은, 지지부에 의해 지지된 기판의 위치를 판정하는 위치 판정 방법으로서, 제1 검출 영역을 갖는 제1 검출기를 준비하는 단계와, 지지부에 지지된 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치하도록, 지지부에 지지된 기판과 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 단계와, 제1 검출기의 검출 신호에 의거하여 지지부에 있어서의 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계와, 산출하는 단계에 의해 산출된 복수의 부분의 위치에 의거하여, 지지부에 있어서의 기판의 위치를 판정하는 단계를 포함한다.
그 위치 판정 방법에 있어서는, 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치하도록, 지지부에 지지된 기판과 제1 검출기가 상대적으로 이동된다. 제1 검출기의 검출 신호에 의거하여, 지지부에 있어서의 복수의 부분의 위치가 각각 산출된다. 산출된 복수의 부분의 위치에 의거하여, 지지부에 있어서의 기판의 위치가 판정된다.
상기의 위치 판정 방법에 의하면, 지지부에 지지된 기판의 복수의 부분이 제1 검출기에 의해 검출된다. 그로 인해, 기판의 복수의 부분의 위치를 검출하기 위해서, 기판의 복수의 부분에 각각 대응하는 복수의 검출기를 준비할 필요가 없다. 따라서, 위치 판정 장치의 구성이 단순화된다. 또, 위치 판정 장치의 부품점수가 저감된다. 이들의 결과, 기판 처리 장치의 저비용화가 실현된다.
(10) 지지부는, 기판을 유지하면서 이동 가능하게 구성된 반송 유지부를 포함하고, 지지부에 지지된 기판과 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 단계는, 반송 유지부를 이동시킴으로써, 반송 유지부에 의해 유지된 기판을 제1 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것을 포함해도 된다.
이 경우, 반송 유지부에 의해 기판이 유지된 상태에서, 당해 반송 유지부에 있어서의 기판의 위치를 파악하는 것이 가능하게 된다.
(11) 위치 판정 방법은, 제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 준비하는 단계를 더 포함하고, 반송 유지부에 의해 유지된 기판을 제1 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것은, 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 제2 검출 영역에 위치하도록, 반송 유지부에 유지된 기판을 제1 및 제2 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것을 포함하며, 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계는, 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 반송 유지부에 있어서의 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계를 포함해도 된다.
이 경우, 제1 검출기에 의해 기판의 제1 및 제2 부분이 검출되고, 제2 검출기에 의해 기판의 제3 및 제4 부분이 검출된다.
(12) 제1 및 제2 검출기는, 제1 검출 영역과 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고, 반송 유지부에 유지된 기판을 제1 및 제2 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것은, 기판이 제1 및 제2 검출 영역을 가로지르도록, 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 반송 유지부를 이동시키는 것을 포함해도 된다.
이 경우, 기판이 제2 방향으로 이동함으로써, 기판의 제1 및 제2 부분이 제1 검출 영역을 순차적으로 지나는 것과 거의 같은 타이밍으로, 기판의 제3 및 제4 부분이 제2 검출 영역을 순차적으로 통과한다. 따라서, 기판의 제1~제4 부분의 검출에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
(13) 지지부에 지지된 기판과 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 단계는, 제1 검출기를 이동시킴으로써, 지지부에 의해 지지된 기판에 대해서 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것을 포함해도 된다.
이 경우, 제1 검출기가 이동함으로써, 지지부를 이동시키는 일 없이 당해 지지부에 있어서의 기판의 위치를 파악하는 것이 가능하게 된다.
(14) 위치 판정 방법은, 제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 준비하는 단계를 더 포함하고, 지지부에 지지된 기판에 대해서 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것은, 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 제2 검출 영역에 위치하도록, 지지부에 지지된 기판에 대해서 제1 및 제2 검출기를 상대적으로 이동시키는 것을 포함하며, 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계는, 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 지지부에 있어서의 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계를 포함해도 된다.
이 경우, 제1 검출기에 의해 기판의 제1 및 제2 부분이 검출되고, 제2 검출기에 의해 기판의 제3 및 제4 부분이 검출된다.
(15) 제1 및 제2 검출기는, 제1 검출 영역과 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고, 지지부에 지지된 기판에 대해서 제1 및 제2 검출기를 상대적으로 이동시키는 것은, 제1 및 제2 검출 영역이 기판을 가로지르도록, 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 제1 및 제2 검출기를 이동시키는 것을 포함해도 된다.
이 경우, 제1 및 제2 검출기가 제2 방향으로 이동함으로써, 제1 검출 영역이 기판의 제1 및 제2 부분을 순차적으로 지나는 것과 거의 같은 타이밍으로, 제2 검출 영역이 기판의 제3 및 제4 부분을 순차적으로 통과한다. 따라서, 기판의 제1~제4 부분의 검출에 필요로 하는 시간을 짧게 할 수 있다.
(16) 본 발명의 또 다른 국면에 따르는 기판 반송 방법은, 상기의 위치 판정 방법을 포함한다.
그 기판 반송 장치에 있어서는, 위치 판정 장치에 의한 판정 결과에 의거하여 기판을 반송하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 기판을 높은 정밀도로 반송하는 것이 가능하게 된다.
도 1은, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 평면도,
도 2는, 도 1의 기판 반송 장치의 측면도,
도 3은, 도 1의 기판 반송 장치의 정면도,
도 4는, 핸드에 의해 유지된 기판의 외주단부의 복수의 부분을 검출하는 방법의 일례를 나타내는 모식도,
도 5는, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 제어계의 구성을 나타내는 블록도,
도 6은, 핸드에 정의되는 XY 좌표계의 일례를 나타내는 평면도,
도 7은, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우의 핸드 상의 기판과 가상원의 위치 관계를 나타내는 평면도,
도 8은, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우의 핸드 상의 기판과 가상원의 위치 관계를 나타내는 평면도,
도 9는, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우의 핸드 상의 기판과 가상원의 위치 관계를 나타내는 평면도,
도 10은, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우의 핸드 상의 기판과 가상원의 위치 관계를 나타내는 평면도,
도 11은, 반송 제어부의 기능적인 구성을 나타내는 블록도,
도 12는, 기판 반송 장치에 의한 기판의 기본적인 반송 동작을 나타내는 플로우 차트,
도 13은, 기판 반송 장치에 의한 기판의 기본적인 반송 동작을 나타내는 플로우 차트,
도 14는, 제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 평면도,
도 15는, 도 14의 기판 반송 장치의 측면도,
도 16은, 제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치에 있어서 검출되는 기판의 복수의 부분을 나타내는 평면도,
도 17은, 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 평면도,
도 18은, 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 제어계의 구성을 나타내는 블록도,
도 19는, 2개의 검출기를 이용하여 핸드에 의해 유지된 기판(W)의 외주단부의 5 이상의 부분을 검출하는 방법의 일례를 나타내는 모식도,
도 20은, 제4 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 측면도,
도 21은, 제5 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 평면도,
도 22는, 도 21의 기판 반송 장치의 측면도,
도 23은, 도 21의 기판 반송 장치의 정면도,
도 24는, 기판 지지부에 지지된 기판의 외주단부의 복수의 부분을 검출하는 방법의 일례를 나타내는 모식도,
도 25는, 제1~제5 중 어느 한 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치를 구비한 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 모식적 블록도이다.
이하, 본 발명의 일실시 형태에 따르는 위치 판정 장치, 기판 반송 장치, 위치 판정 방법 및 기판 반송 방법에 대해 도면을 이용하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 기판이란, 액정 표시 장치 또는 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치 등에 이용되는 FPD(Flat Panel Display)용 기판, 반도체 기판, 광디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판 또는 태양 전지용 기판 등을 말한다.
또, 이하에 개시하는 실시 형태에서 이용되는 기판은, 적어도 일부가 원 형상의 외주단부를 갖는다. 구체적으로는, 기판에는, 위치 결정용의 노치가 형성되고, 기판 중 노치를 제외한 외주단부가 원 형상을 갖는다. 또한, 기판에는, 노치를 대신하여 오리엔테이션 플랫이 형성되어도 된다.
[1] 제1 실시 형태
(1) 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 구성
도 1은 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 기판 반송 장치(500)의 측면도이며, 도 3은 도 1의 기판 반송 장치(500)의 정면도이다. 도 1~도 3에 나타내는 기판 반송 장치(500)는, 이동 부재(510)(도 2 및 도 3), 회전 부재(520), 2개의 핸드(H1, H2) 및 복수의 검출기(SE1, SE2)(도 1)를 포함한다. 본 실시 형태에서는, 2개의 검출기(SE1, SE2)가 설치된다. 이동 부재(510)는, 가이드 레일(도시하지 않음)을 따라서 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된다.
이동 부재(510) 상에는, 대략 직방체 형상의 회전 부재(520)가 상하 방향의 축의 둘레로 회전 가능하게 설치된다. 회전 부재(520)에는 핸드(H1, H2)가 각각 지지 부재(521, 522)에 의해 지지된다. 핸드(H1, H2)는, 회전 부재(520)의 길이 방향으로 진퇴 가능하게 구성된다. 본 실시 형태에서는, 핸드(H2)가 회전 부재(520)의 상면의 상방에 위치하고, 핸드(H1)가 핸드(H2)의 상방에 위치한다.
핸드(H1, H2) 각각은, 가이드부(Ha) 및 아암부(Hb)로 이루어진다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 가이드부(Ha)는 대략 V자형의 평판 형상을 갖고, 아암부(Hb)는 한 방향으로 연장되는 직사각형의 평판 형상을 갖는다. 가이드부(Ha)는, 아암부(Hb)의 일단부로부터 2개로 분기하도록 설치되어 있다.
가이드부(Ha)의 상면에는, 서로 이격하는 복수(본 예에서는 3개)의 부분에 복수(본 예에서는 3개)의 흡착부(sm)가 각각 설치되어 있다. 각 흡착부(sm)는, 흡기계(도시하지 않음)에 접속된다. 복수의 흡착부(sm) 상에 기판(W)이 재치(載置)된다. 이 상태에서, 복수의 흡착부(sm) 상의 기판(W)의 복수 개소가 흡기계에 의해 각각 복수의 흡착부(sm)에 흡착된다.
2개의 검출기(SE1, SE2) 각각은, 투광부(Se) 및 수광부(Sr)에 의해 구성되는 투과형 광전 센서이다. 2개의 투광부(Se)는, 회전 부재(520)의 길이 방향에 있어서의 공통의 위치에서, 회전 부재(520)의 짧은 방향(폭 방향)으로 간격을 두고 늘어서도록 회전 부재(520)의 상면에 장착되어 있다. 2개의 수광부(Sr)는, 지지 부재(530)(도 2 및 도 3)에 의해 회전 부재(520)의 상방에서 2개의 투광부(Se)에 각각 대향하도록 배치된다. 또한, 도 1에서는, 지지 부재(530)의 도시를 생략하고 있다.
각 투광부(Se)로부터 상방을 향해 각각 광이 출사된다. 각 수광부(Sr)는, 대향하는 투광부(Se)로부터 출사되는 광을 귀환광으로서 수광한다. 이로써, 각 검출기(SE1, SE2)에 있어서는, 도 2 및 도 3에 해칭으로 나타내는 바와 같이, 서로 대향하는 투광부(Se)와 수광부(Sr) 사이에, 상하 방향으로 연장되는 검출 영역(DA)이 형성된다. 검출기(SE1, SE2)의 2개의 검출 영역(DA)은, 기판(W)의 직경보다 작고 또한 기판(W)의 둘레 방향에 있어서의 노치의 길이보다 큰 거리 이격하고 있다. 또한, 본 실시 형태에 따르는 기판(W)의 직경은 예를 들어 300mm이며, 그 기판(W)이 갖는 노치의 둘레 방향의 길이는 예를 들어 2.73mm이다.
각 검출기(SE1, SE2)의 투광부(Se)와 수광부(Sr) 사이에 기판(W)이 존재하는 경우에는, 투광부(Se)로부터 출사된 광이 수광부(Sr)에 입사하지 않는다. 수광부(Sr)에 광이 입사하지 않는 상태를 비입광 상태라고 부른다. 각 검출기(SE1, S5)의 투광부(Se)와 수광부(Sr) 사이에 기판(W)이 존재하지 않는 경우에는, 투광부(Se)로부터 출사된 광이 수광부(Sr)에 입사한다. 수광부(Sr)에 광이 입사하는 상태를 입광 상태라고 부른다. 수광부(Sr)는 입광 상태 및 비입광 상태를 나타내는 검출 신호를 출력한다.
핸드(H1, H2)의 진퇴 방향에 있어서 핸드(H1, H2)가 후퇴 가능한 회전 부재(520) 상에서의 한계 위치를 진퇴 초기 위치(홈 포지션)라고 부른다. 또, 핸드(H1, H2)의 진퇴 방향에 있어서 평면에서 봤을 때 가이드부(Ha)가 회전 부재(520)로부터 어긋난 위치에 있을 때의 핸드(H1, H2)의 위치를 전진 위치라고 부른다.
기판(W)을 유지하는 핸드(H1)가 전진 위치로부터 진퇴 초기 위치로 후퇴하는 경우에 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 되는 타이밍에 의거하여 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분의 위치를 산출할 수 있다. 또, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1)가 전진 위치로부터 진퇴 초기 위치로 후퇴하는 경우에 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 타이밍에 의거하여 기판(W)의 외주단부의 다른 2개의 부분의 위치를 산출할 수 있다.
구체적으로는, 검출기(SE1)의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 되는 타이밍에 있어서의 핸드(H1)와 검출기(SE1)의 상대 위치에 의거하여 핸드(H1)에 대한 기판(W)의 외주단부의 제1 부분의 위치를 산출할 수 있다. 검출기(SE2)의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 되는 타이밍에 있어서의 핸드(H1)와 검출기(SE2)의 상대 위치에 의거하여 핸드(H1)에 대한 기판(W)의 외주단부의 제2 부분의 위치를 산출할 수 있다. 검출기(SE1)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 타이밍에 있어서의 핸드(H1)와 검출기(SE1)의 상대 위치에 의거하여 핸드(H1)에 대한 기판(W)의 외주단부의 제3 부분의 위치를 산출할 수 있다. 검출기(SE2)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 타이밍에 있어서의 핸드(H1)와 검출기(SE2)의 상대 위치에 의거하여 핸드(H1)에 대한 기판(W)의 외주단부의 제4 부분의 위치를 산출할 수 있다.
이하의 설명에서는, 기판(W)의 외주단부가 검출기(SE1, SE2)의 검출 영역(DA)을 가로지름으로써 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 되는 것 또는 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 것을 적절한 검출이라고 부른다.
도 4는, 핸드(H1)에 의해 유지된 기판(W)의 외주단부의 복수의 부분을 검출하는 방법의 일례를 나타내는 모식도이다. 도 4에서는, 도 1의 기판 반송 장치(500) 중 핸드(H2), 지지 부재(522) 및 지지 부재(530)의 도시가 생략되어 있다. 또, 도 4에서는, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1)가, 전진 위치로부터 진퇴 초기 위치로 후퇴할 때까지의 4개의 시점에 있어서의 기판 반송 장치(500)의 상태가 좌측으로부터 우측으로 늘어선 4개의 평면도로 나타내어진다.
도 4의 좌측단의 평면도에 나타내는 바와 같이, 전진 위치로부터 진퇴 초기 위치로의 핸드(H1)의 후퇴 개시 시점에 있어서, 기판(W)은, 평면에서 봤을 때 회전 부재(520)의 외방에 위치하고, 검출기(SE1, SE2)와 겹쳐지지 않는다. 그에 의해, 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호는 입광 상태를 나타낸다.
다음으로, 도 4의 좌측으로부터 2번째의 평면도에 나타내는 바와 같이, 핸드(H1)가 소정 거리 후퇴하면, 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분은, 평면에서 봤을 때 검출기(SE1, SE2)와 겹쳐지게 된다. 즉, 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분이 검출기(SE1, SE2)의 2개의 검출 영역(DA)(도 3)을 가로지르게 된다. 이 경우, 검출기(SE1, SE2) 각각의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 된다. 그에 의해, 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 되는 검출의 타이밍에 의거하여, 핸드(H1)에 의해 유지되는 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분의 위치를 산출하는 것이 가능하게 된다. 이 때, 검출기(SE1)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p1)이라고 부른다. 또, 검출기(SE2)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p2)이라고 부른다.
다음으로, 도 4의 좌측으로부터 3번째의 평면도에 나타내는 바와 같이, 핸드(H1)가 추가로 소정 거리 후퇴하면, 기판(W)의 외주단부의 다른 2개의 부분은, 평면에서 봤을 때 검출기(SE1, SE2)와 겹쳐지게 된다. 즉, 기판(W)의 외주단부의 다른 2개의 부분이 검출기(SE1, SE2)의 2개의 검출 영역(DA)(도 3)을 가로지르게 된다. 이 경우, 검출기(SE1, SE2) 각각의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 된다. 그에 의해, 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 검출의 타이밍에 의거하여, 핸드(H1)에 의해 유지되는 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분의 위치를 산출하는 것이 가능하게 된다. 이 때, 검출기(SE1)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p3)이라고 부른다. 또, 검출기(SE2)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p4)이라고 부른다.
그 후, 도 4의 우측단의 평면도에 나타내는 바와 같이, 핸드(H1)가 진퇴 초기 위치에 도달한다. 이 때, 기판(W)은, 평면에서 봤을 때 검출기(SE1, SE2)와 겹쳐지지 않는다. 그에 의해, 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호는 입광 상태로 유지된다.
상기의 예를 대신하여, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1)가 회전 부재(520) 상에서 진퇴 초기 위치로부터 전진할 때에 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 되는 타이밍 및 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 타이밍에 의거하여 핸드(H1)에 의해 유지되는 기판(W)의 외주단부의 4개의 부분의 위치를 산출할 수도 있다. 이 경우, 도 4의 우측단의 평면도로부터 좌측단의 평면도를 향해 기판 반송 장치(500)의 상태가 변화함에 따라, 기판(W)의 외주단부의 복수의 부분(p1~p4)이 검출된다. 또한, 핸드(H2)에 의해 유지되는 기판(W)에 대해서도, 핸드(H1)의 예와 동일한 방법으로 당해 기판(W)의 외주단부의 4개의 부분의 위치를 검출할 수 있다.
각 핸드(H1, H2)에 있어서는, 유지되는 기판(W)의 중심이 위치해야 할 기준의 위치(이하, 제1 기준 위치라고 부른다)가 미리 정해져 있다. 각 핸드(H1, H2)에 있어서의 제1 기준 위치는, 예를 들어 3개의 흡착부(sm)의 중심 위치이다.
기판(W)의 반경이 기존인 경우, 각 핸드(H1, H2)에 의해 유지되는 기판(W)의 4개의 부분(p1~p4)의 위치를 산출할 수 있으면, 당해 핸드에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정할 수 있다. 그에 의해, 각 핸드(H1, H2)에 의해 실제로 유지되어 있는 기판(W)의 중심이 제1 기준 위치로부터 얼마나 어긋나 있는지를 산출할 수 있다.
(2) 기판 반송 장치(500)의 제어계의 구성
도 5는 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)의 제어계의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 반송 장치(500)는, 상하 방향 구동 모터(511), 상하 방향 엔코더(512), 수평 방향 구동 모터(513), 수평 방향 엔코더(514), 회전 방향 구동 모터(515), 회전 방향 엔코더(516), 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525), 상측 핸드 엔코더(526), 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527), 하측 핸드 엔코더(528), 복수의 검출기(SE1, SE2), 반송 제어부(550) 및 조작부(529)를 포함한다.
상하 방향 구동 모터(511)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 이동 부재(510)(도 2)를 상하 방향으로 이동시킨다. 상하 방향 엔코더(512)는, 상하 방향 구동 모터(511)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 이동 부재(510)의 상하 방향의 위치를 검출할 수 있다.
수평 방향 구동 모터(513)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 이동 부재(510)(도 2)를 수평 방향으로 이동시킨다. 수평 방향 엔코더(514)는, 수평 방향 구동 모터(513)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 이동 부재(510)의 수평 방향의 위치를 검출할 수 있다.
회전 방향 구동 모터(515)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 회전 부재(520)(도 1)를 상하 방향의 축의 둘레로 회전시킨다. 회전 방향 엔코더(516)는, 회전 방향 구동 모터(515)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 수평면 내에서의 회전 부재(520)의 방향을 검출할 수 있다.
상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 핸드(H1)(도 1)를 회전 부재(520) 상에서 수평 방향으로 진퇴시킨다. 상측 핸드 엔코더(526)는, 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 회전 부재(520) 상에서의 핸드(H1)의 위치를 검출할 수 있다.
하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 핸드(H2)(도 2)를 회전 부재(520) 상에서 수평 방향으로 진퇴시킨다. 하측 핸드 엔코더(528)는, 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 회전 부재(520) 상에서의 핸드(H2)의 위치를 검출할 수 있다.
검출기(SE1, SE2)의 투광부(Se)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 수광부(Sr)를 향해 광을 출사한다. 수광부(Sr)의 검출 신호는 반송 제어부(550)에 부여할 수 있다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 각 검출기(SE1, S5)가 입광 상태인지 비입광 상태인지를 판별할 수 있다. 반송 제어부(550)는, 2개의 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호 및 상측 핸드 엔코더(526)의 출력 신호에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 부분(p1~p4)의 위치를 산출할 수 있다. 마찬가지로, 반송 제어부(550)는, 2개의 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호 및 하측 핸드 엔코더(528)의 출력 신호에 의거하여 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 부분(p1~p4)의 위치를 산출할 수 있다.
반송 제어부(550)에는, 조작부(529)가 접속된다. 사용자는, 조작부(529)를 조작함으로써 각종 지령 및 정보를 반송 제어부(550)에 부여할 수 있다.
(3) 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치의 판정
상기의 각 핸드(H1, H2)에 있어서는, X축 및 Y축을 갖는 XY 좌표계가 정의된다. X축 및 Y축은, 각 핸드(H1, H2)에 의해 유지되는 기판(W)에 평행한 수평면 내에 위치하고, 각 핸드(H1, H2)의 제1 기준 위치에서 직교한다. 그로 인해, 제1 기준 위치는, 원점(O)이 된다. 본 예에서는, Y축은, 각 핸드(H1, H2)의 진퇴 방향에 대해서 평행으로 정의된다.
도 6은, 핸드(H1)에 정의되는 XY 좌표계의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 6에서는, 핸드(H1)에 정의되는 XY 좌표계의 X축 및 Y축이 일점쇄선으로 나타내어진다. 또, 제1 기준 위치가 원점(O)으로서 나타내어진다. 또한, 핸드(H1)에 의해 유지되는 기판(W)이 실선으로 나타내어진다. 도 6의 예에 있어서, 핸드(H1)에 의해 유지되는 기판(W)의 중심 위치는 원점(O)에 있는 것으로 한다.
기판 반송 장치(500)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2)에 의해 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 4개의 부분(p1~p4)이 검출되고, 검출된 부분(p1~p4)의 위치에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다. 마찬가지로, 검출기(SE1, SE2)에 의해 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 4개의 부분(p1~p4)이 검출되고, 검출된 부분(p1~p4)의 위치에 의거하여 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다. 판정된 기판(W)의 위치에 의거하여, 상기의 상하 방향 구동 모터(511), 수평 방향 구동 모터(513), 회전 방향 구동 모터(515), 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525) 및 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527)가 제어된다. 여기에서는, 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치의 판정 방법을 설명한다.
우선, 예를 들어 도 4에 나타내어지는 방법에 따라서, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1)가 전진 위치로부터 진퇴 초기 위치로 후퇴한다. 그에 의해, 검출기(SE1, SE2)에 의해 기판(W)의 부분(p1~p4)이 각각 검출된다. 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호 및 도 5의 상측 핸드 엔코더(526)의 출력 신호에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 부분(p1~p4)의 위치가 각각 산출된다. 또, XY 좌표계에 있어서 부분(p1, p2, p3, p4) 중 서로 상이한 3개의 부분의 위치를 지나는 4개의 가상원이 산출됨과 더불어, 4개의 가상원의 중심 위치가 각각 산출된다. 또한, 4개의 중심 위치간의 복수의 편차량이 산출된다.
이하의 설명에 있어서는, 부분(p1, p2, p3)을 지나는 가상원을 가상원(cr1)이라고 부르고, 부분(p2, p3, p4)을 지나는 가상원을 가상원(cr2)이라고 부르며, 부분(p1, p3, p4)을 지나는 가상원을 가상원(cr3)이라고 부르고, 부분(p1, p2, p4)을 지나는 가상원을 가상원(cr4)이라고 부른다. 또, 핸드(H1)에 있어서의 가상원(cr1, cr2, cr3, cr4) 각각의 중심 위치를 vp1, vp2, vp3, vp4로 한다.
도 6에 일점쇄선으로 나타내는 바와 같이, 중심 위치(vp1~vp4) 사이의 복수의 편차량 전체가 0인 경우, 4개의 중심 위치(vp1~vp4)는 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 중심 위치(C)에 일치한다. 또, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 0이 되지 않는 경우에서도, 4개의 중심 위치(vp1~vp4) 사이의 복수의 편차량 전체가 미리 정해진 역치 이하인 경우에는, 4개의 중심 위치(vp1~vp4)는 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 중심 위치(C)에 거의 일치한다. 여기서, 역치는, 예를 들어 검출기(SE1, SE2)의 실제의 위치와 설계 상의 설치 위치(설계 위치) 사이에서 허용되는 오차로 정해진다.
이와 같이, 복수의 편차량 전체가 역치 이하인 경우에는, 검출기(SE1, SE2)에 의해 검출되는 기판(W)의 부분(p1~p4) 중 어느 것에도 노치(N)가 존재하지 않는다. 그로 인해, 4개의 가상원(cr1~cr4) 전체가 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치를 나타내므로, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 어느 하나 또는 전체에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정할 수 있다.
도 7~도 10은, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우의 핸드(H1) 상의 기판(W)과 4개의 가상원(cr1~cr4)의 위치 관계를 각각 나타내는 평면도이다. 또한, 도 7~도 10에서는, 핸드(H1)의 도시를 생략한다. 도 7에 기판(W)과 가상원(cr2)의 위치 관계가 나타내어지고, 도 8에 기판(W)과 가상원(cr3)의 위치 관계가 나타내어진다. 또, 도 9에 기판(W)과 가상원(cr1)의 위치 관계가 나타내어지고, 도 10에 기판(W)과 가상원(cr4)의 위치 관계가 나타내어진다.
복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우에는, 4개의 중심 위치(vp1~vp4) 중 1개의 중심 위치(본 예에서는 가상원(cr4)의 중심 위치(vp4))만이 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 중심 위치(C)에 일치하거나 또는 거의 일치한다(도 10). 한편, 나머지 3개의 중심 위치(본 예에서는 가상원(cr1, cr2, cr3)의 중심 위치(vp1, vp2, vp3))는 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 중심 위치(C)로부터 일정값보다 크게 어긋난다(도 7, 도 8 및 도 9).
이와 같이, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우에는, 검출기(SE1, SE2)에 의해 검출되는 기판(W)의 부분(p1~p4) 중 어느 한쪽(본 예에서는 부분(p3))에 노치(N)가 존재한다. 이 경우, 노치(N)가 존재하는 부분을 지나는 3개의 가상원의 반경(또는 직경)은, 실제의 기판(W)의 반경(또는 직경)에 비해 비교적 크게 어긋나게 된다. 한편, 노치(N)가 존재하는 부분을 지나지 않는 1개의 가상원의 반경(또는 직경)은, 실제의 기판(W)의 반경(또는 직경)에 일치하거나 또는 거의 일치한다.
본 실시 형태에 있어서는, 기판 반송 장치(500)에 의한 반송 대상이 되는 기판(W)의 반경은, 기존인 것으로 한다. 이하의 설명에서는, 기판(W)의 정보로서 기존인 기판(W)의 설계 상의 반경을, 설계 반경이라고 부른다. 이 경우, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중, 설계 반경에 일치하거나 또는 가장 가까운 반경을 갖는 가상원(본 예에서는 가상원(cr4))을 선택함으로써, 선택된 가상원에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정할 수 있다.
(4) 반송 제어부(550)의 기능적인 구성
도 11은, 반송 제어부(550)의 기능적인 구성을 나타내는 블록도이다. 반송 제어부(550)는, 부분 위치 산출부(51), 가상원 산출부(52), 기판 위치 판정부(53), 검출기 위치 기억부(54), 역치 기억부(55), 이동 제어부(58), 좌표 정보 기억부(59), 좌표 정보 보정부(60) 및 기판 정보 기억부(61)를 포함한다. 반송 제어부(550)는, CPU(중앙 연산 처리 장치), RAM(랜덤 액세스 메모리), ROM(리드 온리 메모리) 및 기억 장치에 의해 구성된다. CPU가 ROM 또는 기억 장치 등의 기억 매체에 기억된 컴퓨터 프로그램을 실행함으로써, 반송 제어부(550)의 각 구성 요소의 기능이 실현된다. 또한, 반송 제어부(550)의 일부 또는 모든 구성 요소가 전자 회로 등의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
여기서, 기판 반송 장치(500)는, 1개의 처리 유닛의 소정의 위치(이하, 수취 위치라고 부른다)에 있는 기판(W)을 수취하여 반송하고, 다른 처리 유닛의 소정의 위치(이하, 재치 위치라고 부른다)에 기판(W)을 재치하는 것으로 한다. 수취 위치 및 재치 위치는 기판 반송 장치(500) 전체에 대해 고정된 좌표계의 좌표로 나타내어진다. 수취 위치의 좌표를 수취 좌표라고 부르고, 재치 위치의 좌표를 재치 좌표라고 부른다.
좌표 정보 기억부(59)는, 수취 위치의 수취 좌표 및 재치 위치의 재치 좌표를 좌표 정보로서 미리 기억한다. 이동 제어부(58)는, 좌표 정보 기억부(59)에 기억된 좌표 정보(수취 좌표)에 의거하여, 기판(W)을 수취 위치로부터 수취하도록 도 5의 상하 방향 구동 모터(511), 수평 방향 구동 모터(513) 및 회전 방향 구동 모터(515)를 제어함과 더불어, 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525) 또는 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527)를 제어한다. 이 때, 핸드(H1) 또는 핸드(H2)는, 진퇴 초기 위치로부터 전진함으로써 수취 위치에서 기판(W)을 수취한 후, 진퇴 초기 위치까지 후퇴한다.
검출기 위치 기억부(54)는, 복수의 검출기(SE1, SE2)의 설계 위치를 검출기 정보로서 기억한다. 부분 위치 산출부(51)는, 복수의 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호, 상측 핸드 엔코더(526) 또는 하측 핸드 엔코더(528)의 출력 신호, 및 검출기 위치 기억부(54)에 기억된 검출기 정보에 의거하여, 핸드(H1) 또는 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)의 위치를 산출한다.
가상원 산출부(52)는, 부분 위치 산출부(51)에 의해 산출된 부분(p1~p4)의 위치로부터 4개의 가상원(cr1~cr4)(도 6~도 10)을 각각 산출한다. 또, 가상원 산출부(52)는, 산출된 각 가상원(cr1~cr4)의 중심 위치(vp1~vp4)(도 6~도 10) 각각을 산출한다.
역치 기억부(55)는, 상기의 역치를 기억한다. 기판 위치 판정부(53)는, 가상원 산출부(52)에 의해 산출된 복수의 중심 위치(vp1~vp4) 사이의 복수의 편차량을 산출한다. 또, 기판 위치 판정부(53)는, 복수의 편차량 전체가 역치 기억부(55)에 기억된 역치 이하인지의 여부를 판정한다.
기판 위치 판정부(53)는, 복수의 편차량 전체가 역치 이하인 경우에, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 어느 하나 또는 전체에 의거하여 핸드(H1) 또는 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정한다. 이 때, 기판 위치 판정부(53)는, 중심 위치(vp1~vp4)와 제1 기준 위치 사이의 거리에 의거하여 판정에 이용하는 1개의 가상원을 선택해도 된다. 예를 들어, 중심 위치(vp1~vp4)와 제1 기준 위치 사이의 거리가 n(n은 1~4의 정수)번째로 작은 가상원을 선택해도 된다. 혹은, 기판 위치 판정부(53)는, 모든 가상원(cr1~cr4)의 평균 위치를 핸드(H1) 또는 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 위치로서 판정해도 된다.
기판 정보 기억부(61)는, 기판 반송 장치(500)에 의한 반송 대상인 기판(W)의 설계 반경을 기억한다. 기판 위치 판정부(53)는, 상기의 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우에, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중, 설계 반경에 일치하거나 또는 가장 가까운 반경을 갖는 가상원을 선택한다. 또, 기판 위치 판정부(53)는, 선택한 가상원에 의거하여 핸드(H1) 또는 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정한다.
좌표 정보 보정부(60)는, 기판 위치 판정부(53)에 의해 판정된 핸드(H1) 또는 핸드(H2)에 있어서의 기판(W)의 위치에 의거하여, 핸드(H1) 또는 핸드(H2)의 제1 기준 위치에 대한 기판(W)의 중심 위치(C)의 편차를 산출한다. 또, 좌표 정보 보정부(60)는, 산출된 편차에 의거하여 좌표 정보 기억부(59)에 기억된 좌표 정보(재치 좌표)를 보정한다. 이동 제어부(58)는, 좌표 정보 기억부(59)에 기억되고 또한 보정된 좌표 정보(재치 좌표)에 의거하여, 수취 위치에서 수취한 기판(W)을 재치 위치에 재치하도록 도 5의 상하 방향 구동 모터(511), 수평 방향 구동 모터(513) 및 회전 방향 구동 모터(515)를 제어함과 더불어, 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525) 또는 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527)를 제어한다. 이 때, 핸드(H1) 또는 핸드(H2)가 진퇴 초기 위치로부터 전진한다.
(5) 기판 반송 장치(500)의 동작
도 12 및 도 13은, 기판 반송 장치(500)에 의한 기판(W)의 기본적인 반송 동작을 나타내는 플로우 차트이다. 이하, 핸드(H1)를 이용한 기판(W)의 반송 동작에 대해 설명한다. 초기 상태에 있어서, 핸드(H1)는, 회전 부재(520) 상에서 진퇴 초기 위치에 위치한다. 또, 초기 상태의 핸드(H1)에는, 기판(W)은 유지되어 있지 않은 것으로 한다.
도 11의 이동 제어부(58)는, 좌표 정보 기억부(59)에 기억된 좌표 정보(수취 좌표)에 의거하여, 핸드(H1)를 수취 위치의 근방으로 이동시키고(단계 S1), 핸드(H1)를 전진시킴으로써 수취 위치의 기판(W)을 수취하게 한다(단계 S2). 또, 이동 제어부(58)는, 기판(W)을 수취한 핸드(H1)를 진퇴 초기 위치까지 후퇴시킨다(단계 S3). 이 때, 부분 위치 산출부(51)는, 복수의 검출기(SE1, SE2)의 검출 신호 및 상측 핸드 엔코더(526)의 출력 신호에 의거하여 기판(W)의 외주부의 복수의 부분(p1~p4)의 핸드(H1)에 있어서의 위치를 산출한다(단계 S4).
가상원 산출부(52)는, 산출된 기판(W)의 부분(p1~p4)의 위치 중 서로 상이한 3개의 부분의 위치를 지나는 4개의 가상원(cr1~cr4)을 각각 산출함과 더불어, 그들 가상원(cr1~cr4)의 중심 위치(vp1~vp4)를 각각 산출한다(단계 S5).
다음으로, 기판 위치 판정부(53)는, 산출된 복수의 중심 위치(vp1~vp4) 사이의 복수의 편차량을 산출하고(단계 S6), 산출된 복수의 편차량 전체가 역치 기억부(55)에 기억된 역치 이하인지의 여부를 판별한다(단계 S7).
복수의 편차량 전체가 역치 이하인 경우에, 기판 위치 판정부(53)는, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 어느 하나 또는 전체에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정한다(단계 S8).
다음으로, 좌표 정보 보정부(60)는, 판정된 기판(W)의 위치에 의거하여 제1 기준 위치에 대한 기판(W)의 중심 위치(C)의 편차를 산출하고, 산출 결과에 의거하여 핸드(H1)에 의해 재치되게 되는 기판(W)의 위치와 재치 위치의 편차가 상쇄되도록 좌표 정보 기억부(59)에 기억된 좌표 정보(재치 좌표)를 보정한다(단계 S9).
그 후, 이동 제어부(58)는, 보정된 좌표 정보(재치 좌표)에 의거하여, 재치 위치에 기판(W)을 반송하도록 핸드(H1)의 반송 제어를 개시하고(단계 S10), 핸드(H1)에 의해 유지된 기판(W)을 재치 위치에 재치시킨다(단계 S11). 이로써, 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치에 상관없이, 기판(W)을 재치 위치에 정확하게 재치하는 것이 가능하게 된다.
상기의 단계 S7에 있어서, 복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우에, 기판 위치 판정부(53)는, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 설계 반경에 일치하거나 또는 가장 가까운 반경을 갖는 1개의 가상원을 선택한다(단계 S12). 그 후, 기판 위치 판정부(53)는, 선택한 가상원에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정하고(단계 S13), 단계 S9로 진행된다.
또한, 상기의 반송 동작에 있어서는, 단계 S10의 동작이 단계 S3의 동작 후 단계 S4의 동작 전에 실행되어도 된다. 이 경우, 부분 위치 산출부(51)는, 수취한 기판(W)을 유지하는 핸드(H1) 또는 핸드(H2)가 진퇴 초기 위치로부터 전진할 때에, 기판(W)의 외주부의 복수의 부분(p1~p4)의 핸드(H1)에 있어서의 위치를 산출해도 된다. 그 후, 재치 위치까지의 기판(W)의 반송 동작과 병행하여 상기의 단계 S5~S10의 동작 혹은 단계 S5~S7, S12, S13, S9, S10의 동작이 행해져도 된다. 또, 상기의 반송 동작에 있어서는, 단계 S7, S8의 동작을 대신하여, 단계 S12, S13의 동작이 행해져도 된다. 이 경우, 편차량에 관한 역치를 설정할 필요가 없다.
(6) 제1 실시 형태의 효과
상기의 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 핸드(H1, H2) 각각이 회전 부재(520) 상을 이동함으로써, 기판(W)의 복수의 부분(p1, p3)이 1개의 검출기(SE1)에 의해 검출된다. 또한, 기판(W)의 복수의 부분(p2, p4)이 1개의 검출기(SE2)에 의해 검출된다. 따라서, 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)의 위치를 검출하기 위해서, 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)에 각각 대응하는 복수의 검출기를 준비할 필요가 없다. 그에 의해, 기판 반송 장치(500)의 구성이 단순화된다. 또, 기판 반송 장치(500)의 부품점수가 저감된다. 이들의 결과, 기판 반송 장치(500)를 포함하는 기판 처리 장치의 저비용화가 실현된다.
또, 상기의 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 핸드(H1, H2) 각각이 회전 부재(520) 상에서 전진 또는 후퇴하는 경우에, 기판(W)의 부분(p1, p2)이 거의 같은 타이밍에 검출기(SE1, SE2)의 검출 영역(DA)을 통과한다. 또, 기판(W)의 부분(p3, p4)이 거의 같은 타이밍에 검출기(SE1, SE2)의 검출 영역(DA)을 통과한다. 따라서, 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)의 검출에 필요로 하는 시간을 짧게 하는 것이 가능하게 되어 있다.
상기의 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2)에 의해 검출되는 기판(W)의 4개의 부분(p1~p4)은, 평면에서 봤을 때 각 핸드(H1, H2)에 정의되는 XY 좌표계의 제1~제4 상한에 각각 위치한다. 이 경우, 부분(p1~p4) 중 2 이상의 부분이 1개의 상한 내에 위치하는 경우에 비해, 기판(W)의 위치의 판정 정밀도가 향상한다.
상기의 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 핸드(H1, H2)의 아암부(Hb)는, 평면에서 봤을 때에 있어서의 검출기(SE1, SE2)간의 거리보다 작은 폭을 갖는다. 또, 핸드(H1, H2)의 아암부(Hb)는, 핸드(H1, H2)가 회전 부재(520) 상에서 진퇴할 때에, 검출기(SE1, SE2)의 검출 영역(DA)을 가로지르지 않도록 구성되어 있다. 또한, 핸드(H1, H2)에 의해 기판(W)이 유지될 때에는, 가이드부(Ha)의 대부분은 기판(W)의 하방에 위치한다. 이러한 구성에 의해, 기판(W)의 위치의 판정시에, 핸드(H1, H2)의 일부가, 기판(W)의 외주단부로서 잘못 검출되는 것이 방지된다.
[2] 제2 실시 형태
제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 대해서, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)와 상이한 점을 설명한다. 도 14는 제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)의 평면도이며, 도 15는 도 14의 기판 반송 장치(500)의 측면도이다.
도 14 및 도 15에 나타내는 바와 같이, 제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)는, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)의 구성에 더해, 검출기(SE3)가 추가로 설치된다.
검출기(SE3)는, 검출기(SE1, SE2)와 동일하게, 투광부(Se) 및 수광부(Sr)에 의해 구성되는 투과형 광전 센서이다. 검출기(SE3)의 투광부(Se)는, 회전 부재(520)의 길이 방향에 있어서의 대략 중앙의 위치에서 또한 회전 부재(520)의 짧은 방향(폭 방향)에 있어서 검출기(SE1, SE2)의 투광부(Se)와는 상이한 위치에 장착되어 있다. 검출기(SE3)의 수광부(Sr)는, 지지 부재(530)(도 15)에 의해 회전 부재(520)의 상방에서 검출기(SE3)의 투광부(Se)에 대향하도록 배치된다. 또한, 도 14에서는, 지지 부재(530)의 도시를 생략하고 있다.
검출기(SE3)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2)와 동일하게, 투광부(Se)로부터 상방을 향해 각각 광이 출사된다. 수광부(Sr)는, 대향하는 투광부(Se)로부터 출사되는 광을 귀환광으로서 수광한다. 이로써, 검출기(SE3)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2)와 동일하게, 도 15에 해칭으로 나타내는 바와 같이, 상하 방향으로 연장되는 검출 영역(DA)이 형성된다.
검출기(SE3)는, 핸드(H1, H2)가 진퇴 초기 위치에 있을 때에, 평면에서 봤을 때 각 핸드(H1, H2)로부터 유지되는 기판(W)과 겹쳐지도록 설치되어 있다. 즉, 검출기(SE3)는, 핸드(H1, H2)가 진퇴 초기 위치에 있을 때에 검출 신호가 비입광 상태가 되고, 핸드(H1, H2)가 전진 위치에 있을 때 검출 신호가 입광 상태가 되도록 배치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 검출기(SE1, SE2)에 의한 기판(W)의 외주단부에 있어서의 4개의 부분(p1~p4)의 검출시에, 기판(W)의 외주단부에 있어서의 또 다른 부분을 검출하는 것이 가능하게 된다.
도 16은, 제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서 검출되는 기판(W)의 복수의 부분을 나타내는 평면도이다. 도 16에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 기판(W)의 외주단부에 있어서의 4개의 부분(p1~p4)이 검출기(SE1, SE2)에 의해 검출됨과 더불어, 기판(W)의 외주단부에 있어서의 1개의 부분(p5)이 검출기(SE3)에 의해 검출된다.
여기서, 회전 부재(520)의 짧은 방향(폭 방향)에 있어서의 검출기(SE1, SE3) 사이의 거리 및 검출기(SE2, SE3) 사이의 거리는, 기판(W)이 갖는 노치(N)의 둘레 방향의 길이보다 크다. 이 경우, 부분(p5)은 다른 부분(p1~p4)에 대해서 적어도 노치(N)의 둘레 방향의 길이보다 크게 이격한다.
본 실시 형태에서는, 검출된 5개의 부분(p1~p5)의 위치에 의거하여 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다. 구체적으로는, 제1 실시 형태의 예와 동일하게, 우선 부분(p1~p4) 중 서로 상이한 3개의 부분의 위치를 지나는 4개의 가상원(cr1~cr4)이 산출됨과 더불어, 4개의 가상원(cr1~cr4)의 중심 위치(vp1~vp4)가 각각 산출된다. 또한, 4개의 중심 위치간의 복수의 편차량이 산출된다. 이로써, 복수의 편차량 전체가 0이거나 또는 미리 정해진 역치 이하인 경우에는, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 어느 하나 또는 전체에 의거하여 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
복수의 편차량 중 적어도 1개가 역치를 초과하는 경우에는, 상기와 같이, 기판(W)의 부분(p1~p4) 중 어느 한쪽에 노치(N)가 존재한다. 이 경우, 검출기(SE3)에 의해 검출되는 기판(W)의 부분(p5)에는, 노치(N)가 존재하지 않는다. 그로 인해, 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치를 나타내는 가상원은, 부분(p5)의 위치를 지나게 된다. 따라서, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 부분(p5)의 위치를 지나는 가상원을 선택함으로써, 선택된 가상원에 의거하여 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
이와 같이, 제2 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 의하면, 기판(W)의 설계 반경이 미지인 경우에서도, 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치를 용이하고 정확하게 판정하는 것이 가능하게 된다.
[3] 제3 실시 형태
제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 대해서, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)와 상이한 점을 설명한다. 도 17은 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)의 평면도이다. 도 17의 기판 반송 장치(500)의 평면도는, 제1 실시 형태에 따르는 도 1의 기판 반송 장치(500)의 평면도에 상당한다. 그로 인해, 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)는, 도시되지 않은 핸드(H2) 및 지지 부재(530)를 추가로 구비한다. 이 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 핸드(H1, H2)는, 회전 부재(520)의 길이 방향으로 진퇴 가능함과 더불어, 도 17에 굵은 화살표로 나타내는 바와 같이, 회전 부재(520)의 폭 방향으로 진퇴 가능하게 구성된다.
도 18은 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)의 제어계의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 18에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)는, 제1 실시 형태에 따르는 도 5의 구성 중 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525)를 대신하여, 상측 핸드 제1 구동 모터(525A) 및 상측 핸드 제2 구동 모터(525B)를 구비한다. 또, 본 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)는, 제1 실시 형태에 따르는 도 5의 구성 중 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527)를 대신하여, 하측 핸드 제1 구동 모터(527A) 및 하측 핸드 제2 구동 모터(527B)를 구비한다.
상측 핸드 제1 구동 모터(525A)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 핸드(H1)(도 17)를 회전 부재(520)의 길이 방향으로 진퇴시킨다. 상측 핸드 제2 구동 모터(525B)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 핸드(H1)(도 17)를 회전 부재(520)의 폭 방향으로 이동시킨다. 상측 핸드 엔코더(526)는, 상측 핸드 제1 구동 모터(525A) 및 상측 핸드 제2 구동 모터(525B)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 회전 부재(520) 상에서의 핸드(H1)의 위치를 검출할 수 있다.
하측 핸드 제1 구동 모터(527A)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 핸드(H2)(도 17)를 회전 부재(520)의 길이 방향으로 진퇴시킨다. 하측 핸드 제2 구동 모터(527B)는, 반송 제어부(550)의 제어에 의해 핸드(H2)(도 17)를 회전 부재(520)의 폭 방향으로 이동시킨다. 하측 핸드 엔코더(528)는, 하측 핸드 제1 구동 모터(527A) 및 하측 핸드 제2 구동 모터(527B)의 회전 각도를 나타내는 신호를 반송 제어부(550)에 출력한다. 그에 의해, 반송 제어부(550)는, 회전 부재(520) 상에서의 핸드(H2)의 위치를 검출할 수 있다.
상기의 구성을 갖는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1, H2)를 수평면 내에서 직교하는 2방향으로 이동시킴으로써, 2개의 검출기(SE1, SE2)로 기판(W)의 외주단부에 있어서의 5 이상의 부분을 검출하는 것이 가능하게 된다.
도 19는, 2개의 검출기(SE1, SE2)를 이용하여 핸드(H1)에 의해 유지된 기판(W)의 외주단부의 5 이상의 부분을 검출하는 방법의 일례를 나타내는 모식도이다. 도 19에서는, 도 17의 기판 반송 장치(500) 중 일부의 구성 요소만 나타내어진다.
우선, 도 19의 좌측의 평면도에 굵은 화살표로 나타내는 바와 같이, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1)가, 회전 부재(520)의 중심축(CL) 상에서 전진 위치로부터 진퇴 초기 위치를 향해 후퇴한다. 여기서, 중심축(CL)은, 회전 부재(520)의 폭 방향에 있어서의 중심을 지나 회전 부재(520)의 길이 방향으로 연장되는 직선이다. 이 경우, 기판(W)이 검출기(SE1, SE2)의 2개의 검출 영역(DA)을 가로지름으로써, 기판(W)의 외주단부에 있어서의 4개의 부분(p1~p4)이 검출된다.
본 예에서는, 기판(W)의 4개의 부분(p1~p4)이 검출되면, 핸드(H1)는, 기판(W)의 일부가 평면에서 봤을 때 검출기(SE1, SE2)의 사이에 위치하도록, 진퇴 동작을 정지한다. 그 후, 핸드(H1)는, 도 19의 우측의 평면도에 굵은 화살표로 나타내는 바와 같이, 부분(p1~p4) 이외의 기판(W)의 부분(p5)이, 검출기(SE1, SE2) 중 어느 하나의 검출 영역(DA)을 가로지르도록, 회전 부재(520)의 폭 방향으로 이동한다. 이로써, 2개의 검출기(SE1, SE2)를 이용하여 기판(W)의 외주단부 중 5 이상의 부분을 검출할 수 있다. 따라서, 기판(W)의 설계 반경이 미지인 경우에서도, 4개의 가상원(cr1~cr4) 중 부분(p5)의 위치를 지나는 가상원을 선택함으로써, 선택된 가상원에 의거하여 핸드(H1)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
이와 같이, 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 의하면, 기판(W)의 외주단부를 검출하는 검출기의 수를 증가시키는 일 없이 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치를 용이하고 또한 정확하게 판정하는 것이 가능하게 된다.
[4] 제4 실시 형태
제4 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 대해서, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)와 상이한 점을 설명한다. 도 20은 제4 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)의 측면도이다.
도 20에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2)가, 핸드(H1, H2) 및 회전 부재(520)와는 별체의 고정부(611, 612)에 설치되어 있다. 상기의 수취 위치 또는 재치 위치에는, 기판(W)을 지지 가능하게 구성된 기판 지지부(600)가 설치되어 있다. 고정부(611, 612)는, 기판 지지부(600)의 근방의 위치에서, 기판 지지부(600)에 대해서 이동 불가능하게 설치되어 있다. 검출기(SE1, SE2)는, 기판 반송 장치(500)에 의해 반송되는 기판(W)이 검출기(SE1, SE2)의 검출 영역(DA)을 가로지르도록 배치되어 있다.
기판 지지부(600)는, 예를 들어 1 또는 복수의 기판(W)을 수용하는 캐리어이다. 또는, 기판 지지부(600)는, 예를 들어 2개의 기판 반송 장치 사이에서 기판(W)의 수도를 행하기 위한 기판 재치부이다. 혹은, 기판 지지부(600)는, 기판(W)에 소정의 처리를 행하기 위한 처리 유닛 내에 설치된다. 처리 유닛 내에 설치되는 기판 지지부(600)의 예로서는, 기판(W)에 열처리를 행하기 위한 핫 플레이트 또는 쿨링 플레이트가 있다. 상기의 예 외, 처리 유닛 내에 설치되는 기판 지지부(600)의 예로서는, 기판(W)을 수평 자세로 회전 가능하게 유지하는 회전 유지부(스핀 척)가 있다.
본 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 기판 지지부(600)로부터 기판(W)을 수취한 핸드(H1)(또는 핸드(H2))가 수취 위치로부터 진퇴 초기 위치로 후퇴할 때까지의 동안에 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)이 검출된다. 또는, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1)(또는 핸드(H2))가 진퇴 초기 위치로부터 재치 위치로 전진할 때까지의 동안에 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)이 검출된다. 그에 의해, 핸드(H1)(또는 핸드(H2))에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
상기의 구성에 의하면, 기판(W)의 복수의 부분(p1~p4)을 검출하기 위한 검출기(SE1, SE2)가 고정부(611, 612)에 장착된다. 이 경우, 검출기(SE1, SE2)의 장착 상태가 안정되므로, 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치의 판정 정밀도가 향상한다.
[5] 제5 실시 형태
제5 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 대해서, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)와 상이한 점을 설명한다. 도 21은 제5 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치의 평면도이고, 도 22는 도 21의 기판 반송 장치(500)의 측면도이며, 도 23은 도 21의 기판 반송 장치(500)의 정면도이다.
도 21에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에는, 도 1의 검출기(SE1, SE2)를 대신하여, 4개의 검출기(SE11, SE12, SE21, SE22)가 설치된다. 검출기(SE11, SE12)는, 핸드(H1)에 설치되고, 분기한 가이드부(Ha)의 2개의 선단부에 위치한다. 검출기(SE21, SE22)는, 핸드(H2)에 설치되고, 분기한 가이드부(Ha)의 2개의 선단부에 위치한다. 그로 인해, 도 21~도 22의 기판 반송 장치(500)에는, 도 2의 지지 부재(530)는 설치되지 않는다.
검출기(SE11, SE12, SE21, SE22) 각각은, 반사형 광전 센서이다. 여기서 이용되는 반사형 광전 센서는, 예를 들어 투광부(Se) 및 수광부(Sr)가 공통의 패키지 내에 일체적으로 설치된 구성을 갖는다. 검출기(SE11, SE12, SE21, SE22) 각각은, 투광부(Se)로부터 상방을 향해 광을 출사함과 더불어, 상방으로부터 하방을 향해 진행하는 광이 수광부(Sr)에 입사하도록 설치된다. 이로써, 각 검출기(SE11, SE12, SE21, SE22)에 있어서는, 도 22 및 도 23에 해칭으로 나타내는 바와 같이, 당해 검출기로부터 상방으로 연장되는 검출 영역(DA)이 형성된다.
검출기(SE11, SE12, SE21, SE22) 각각에 있어서는, 검출 영역(DA)에 기판(W)이 존재하는 경우, 투광부(Se)로부터 출사되어 기판(W)에 의해 반사된 광이 귀환광으로서 수광부(Sr)에 입사한다. 그에 의해, 수광부(Sr)로부터 입광 상태를 나타내는 검출 신호가 출력된다. 한편, 검출 영역(DA)에 기판(W)이 존재하지 않는 경우, 투광부(Se)로부터 출사된 광은, 수광부(Sr)에 귀환하지 않는다. 그에 의해, 수광부(Sr)로부터 비입광 상태를 나타내는 검출 신호가 출력된다.
제4 실시 형태에 있어서 설명한 바와 같이, 수취 위치에는, 예를 들어 기판(W)을 지지하는 기판 지지부(600)가 설치된다. 기판 지지부(600)에는, 핸드(H1, H2)에 제1 기준 위치가 정해져 있는 것과 동일하게, 지시되는 기판(W)의 중심이 위치해야 할 기준의 위치(이하, 제2 기준 위치라고 부른다)가 미리 정해져 있다.
본 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 기판 지지부(600)에 지지된 기판(W)의 수취시에, 당해 기판(W)의 외주단부의 복수의 부분이 검출기(SE11, SE12)에 의해 검출된다.
도 24는, 기판 지지부(600)에 지지된 기판(W)의 외주단부의 복수의 부분을 검출하는 방법의 일례를 나타내는 모식도이다. 도 24에서는, 기판 지지부(600), 기판 지지부(600)에 지지되는 기판(W) 및 핸드(H1)만이 나타내어진다. 본 예의 기판 지지부(600)는, 예를 들어 기판(W)의 하면 중앙부를 흡착 유지하는 회전 유지부(스핀 척)이다.
기판(W)의 외주단부의 복수의 부분의 검출시에는, 예를 들어 기판(W)을 유지하고 있지 않은 핸드(H1)가, 도 24의 좌측단의 평면도에 굵은 화살표로 나타내는 바와 같이, 기판 지지부(600)에 재치된 기판(W)의 하방의 위치에서, 기판 지지부(600)를 향해 전진한다. 이 때, 2개의 검출기(SE11, SE12)의 상방에 기판(W)이 위치하지 않기 때문에, 검출기(SE11, SE12) 각각의 검출 신호는 비입광 상태가 된다.
다음으로, 도 24의 중앙의 평면도에 굵은 화살표로 나타내는 바와 같이, 핸드(H1)가 소정 거리 전진하면, 검출기(SE11, SE12)가, 평면에서 봤을 때 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분과 겹쳐지게 된다. 즉, 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분이 검출기(SE11, SE12)의 2개의 검출 영역(DA)(도 23)을 가로지르게 된다. 이 경우, 검출기(SE11, SE12) 각각의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 된다. 그에 의해, 검출기(SE11, SE12)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 타이밍에 의거하여, 기판 지지부(600)에 지지되는 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분의 위치가 검출된다. 이 때, 검출기(SE11)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p11)이라고 부른다. 또, 검출기(SE12)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p12)이라고 부른다.
다음으로, 도 24의 우측단의 평면도에 굵은 화살표로 나타내는 바와 같이, 핸드(H1)가 추가로 소정 거리 전진하면, 검출기(SE11, SE12)가, 평면에서 봤을 때 기판(W)의 외주단부의 다른 2개의 부분과 겹쳐지게 된다. 즉, 기판(W)의 외주단부의 다른 2개의 부분이 검출기(SE11, SE12)의 2개의 검출 영역(DA)(도 23)을 가로지르게 된다. 이 경우, 검출기(SE11, SE12) 각각의 검출 신호가 입광 상태로부터 비입광 상태가 된다. 그에 의해, 검출기(SE11, SE12)의 검출 신호가 비입광 상태로부터 입광 상태가 되는 타이밍에 의거하여, 기판 지지부(600)에 지지되는 기판(W)의 외주단부의 2개의 부분의 위치가 검출된다. 이 때, 검출기(SE11)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p13)이라고 부른다. 또, 검출기(SE12)의 검출 신호에 의거하여 검출되는 기판(W)의 외주단부의 부분을 부분(p14)이라고 부른다. 4개의 부분(p11~p14)이 검출되면, 핸드(H1)는, 기판 지지부(600)에 접촉하지 않도록, 기판 지지부(600)에 대한 전진 동작을 정지한다.
상기의 예를 대신하여, 기판(W)이 지지되는 기판 지지부(600)에 가장 근접하는 위치로부터, 도 24의 우측부터 좌측의 순으로 핸드(H1)가 기판 지지부(600)에 대해서 후퇴할 때에 상기의 4개의 부분(p11~p14)을 검출할 수도 있다.
또한, 핸드(H1)의 예와 동일하게, 기판 지지부(600)에 대해서 핸드(H2)를 전진 또는 후퇴시키는 경우에는, 검출기(SE21, SE22)의 검출 신호에 의거하여, 기판(W)의 외주단부의 4개의 부분(p11~p14)의 위치를 검출할 수 있다.
상기와 같이 하여, 기판 지지부(600)에 있어서의 기판(W)의 외주단부의 복수의 부분(p11~p14)이 검출되고, 그들의 위치가 산출된다. 산출된 복수의 부분(p11~p14)의 위치에 의거하여, 기판 지지부(600)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
제5 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)는, 제1 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)와 기본적으로 같은 제어계(도 5)를 갖는다. 이 경우, 본 실시 형태에 따르는 반송 제어부(550)에 있어서는, 기판 위치 판정부(53)가, 검출된 복수의 부분(p11~p14)의 위치에 의거하여, 기판 지지부(600)에 있어서의 기판(W)의 위치를 판정한다.
좌표 정보 보정부(60)는, 기판 위치 판정부(53)에 의해 판정된 기판 지지부(600)에 있어서의 기판(W)의 위치에 의거하여, 제2 기준 위치에 대한 기판(W)의 중심 위치(C)의 편차를 산출한다. 또, 좌표 정보 보정부(60)는, 핸드(H1, H2)에 의한 기판(W)의 수취 후에, 기판(W)의 중심 위치(C)가 핸드(H1, H2)의 제1 기준 위치에 일치하도록, 산출된 편차에 의거하여 수취 위치의 좌표 정보를 보정한다. 혹은, 좌표 정보 보정부(60)는, 핸드(H1, H2)로부터 다른 기판 지지부(600)로의 기판(W)의 반송 후에, 기판(W)의 중심 위치(C)가 다른 기판 지지부(600)의 제2 기준 위치에 일치하도록, 산출된 편차에 의거하여 재치 위치의 좌표 정보를 보정한다. 이로써, 기판(W)을 높은 정밀도로 반송하는 것이 가능하게 된다.
상기의 구성에 의하면, 핸드(H1)의 이동에 의해, 기판(W)의 4개의 부분(p11~p14)이 2개의 검출기(SE11, SE12)에 의해 검출된다. 또, 핸드(H2)의 이동에 의해, 기판(W)의 4개의 부분(p11~p14)이 2개의 검출기(SE21, SE22)에 의해 검출된다. 따라서, 기판(W)의 복수의 부분(p11~p14)의 위치를 검출하기 위해서, 기판(W)의 복수의 부분(p11~p14)에 각각 대응하는 복수의 검출기를 준비할 필요가 없다. 그에 의해, 기판 반송 장치(500)의 구성이 단순화된다. 또, 기판 반송 장치(500)의 부품점수가 저감되므로, 기판 반송 장치(500)를 포함하는 기판 처리 장치의 저비용화가 실현된다.
[6] 제6 실시 형태
도 25는, 제1~제5 중 어느 한 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)를 구비한 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 모식적 블록도이다. 도 25에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(100)는, 노광 장치(800)에 인접하여 설치되고, 제어 장치(210), 제1~제5 중 어느 한 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500), 열처리부(230), 도포 처리부(240) 및 현상 처리부(250)를 구비한다.
제어 장치(210)는, 예를 들어 CPU 및 메모리, 또는 마이크로컴퓨터를 포함하고, 기판 반송 장치(500), 열처리부(230), 도포 처리부(240) 및 현상 처리부(250)의 동작을 제어한다. 또, 제어 장치(210)는, 기판 반송 장치(500)의 핸드(H1)를 소정의 처리 유닛의 기판 지지부에 위치 맞춤하기 위한 지령을 반송 제어부(550)에 부여한다.
기판 반송 장치(500)는, 기판(W)을 열처리부(230), 도포 처리부(240), 현상 처리부(250) 및 노광 장치(800) 사이에서 반송한다. 도포 처리부(240) 및 현상 처리부(250) 각각은, 복수의 처리 유닛(PU)을 포함한다. 도포 처리부(240)에 설치되는 처리 유닛(PU)에는, 기판 지지부(600)로서 스핀 척이 설치된다. 또, 처리 유닛(PU)에는, 스핀 척에 의해 회전되는 기판(W)에 레지스트 막을 형성하기 위한 처리액을 공급하는 처리액 노즐(5)이 설치된다. 그에 의해, 미처리의 기판(W)에 레지스트 막이 형성된다. 레지스트 막이 형성된 기판(W)에는, 노광 장치(800)에 있어서 노광 처리가 행해진다.
현상 처리부(250)에 설치되는 처리 유닛(PU)에는, 스핀 척에 의해 회전되는 기판(W)에 현상액을 공급하는 현상액 노즐(6)이 설치된다. 그에 의해, 노광 장치(800)에 의한 노광 처리 후의 기판(W)이 현상된다.
열처리부(230)는, 기판(W)에 가열 또는 냉각 처리를 행하는 복수의 처리 유닛(TU)을 포함한다. 처리 유닛(TU)에 있어서는, 기판 지지부(600)로서 온도 조정 플레이트가 설치된다. 온도 조정 플레이트는, 가열 플레이트 또는 쿨링 플레이트이다. 열처리부(230)에 있어서는, 도포 처리부(240)에 의한 도포 처리, 현상 처리부(250)에 의한 현상 처리, 및 노광 장치(800)에 의한 노광 처리의 전후에 기판(W)의 열처리가 행해진다.
상기의 기판 처리 장치(100)에는, 제1~제5 어느 한 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)가 설치된다. 그에 의해, 기판(W)의 위치를 판정하기 위해서 다수의 검출기를 준비할 필요가 없기 때문에, 저비용화가 실현된다. 또, 복수의 처리 유닛(PU, TU) 사이에서 기판(W)이 높은 정밀도로 반송된다. 그에 의해, 각 처리 유닛(PU, TU)에 있어서, 기판(W)의 위치 편차에 기인하는 처리 불량의 발생이 방지되고, 기판(W)의 처리 정밀도가 향상한다.
[7] 다른 실시 형태
(1) 상기 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 핸드(H1, H2)가 회전 부재(520) 상에서 진퇴 가능하게 구성되는데, 핸드(H1, H2)는, 회전 부재(520) 상에서 진퇴 가능하고 또한 선회 가능하게 구성되어도 된다.
이 경우, 기판 반송 장치(500)에는, 회전 부재(520) 상에서 핸드(H1, H2)의 방향을 변경하는 선회용 모터와, 선회용 모터의 회전 각도를 나타내는 신호를 출력하는 선회용 엔코더가 설치된다. 그에 의해, 예를 들어 검출기(SE1)의 검출 영역(DA)을 가로지르도록 핸드(H1, H2)를 선회시킴으로써, 검출기(SE1)의 검출 신호와 선회용 엔코더의 출력 신호에 의거하여, 기판(W)의 외주단부에 있어서의 일부분의 위치를 산출하는 것이 가능하게 된다. 이와 같이, 기판(W)의 외주단부의 복수의 부분을 검출하기 위한 핸드(H1, H2)의 동작은, 진퇴 동작에 한정하지 않으며, 선회 동작을 포함해도 된다.
(2) 제3 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 1개의 검출기(SE1)를 이용하여 기판(W)의 외주단부의 3개의 부분(p1, p3, p5)이 검출되는데, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 1개의 검출기(SE1)를 이용하여 기판(W)의 외주단부의 4 이상의 부분이 검출되어도 된다. 이 경우, 기판(W)을 유지하는 핸드(H1, H2)는, 예를 들어 유지된 기판(W)의 외주단부의 4 이상의 부분이, 1개의 검출기(SE1)의 검출 영역(DA)을 순차적으로 가로지르도록 이동된다. 그에 의해, 검출기(SE1)의 출력 신호 상태의 전환의 타이밍과, 기판 반송 장치(500)에 내장되는 각 엔코더의 출력에 의거하여 기판(W)의 외주단부의 4 이상의 부분의 위치를 각각 산출하는 것이 가능하게 된다. 이러한 구성에 의하면, 기판(W)의 외주단부를 검출하기 위한 검출기의 수를 추가로 저감할 수 있다. 따라서, 기판 반송 장치(500)를 포함하는 기판 처리 장치의 더 나은 저비용화가 실현된다.
(3) 상기 실시 형태에 있어서, 기판 반송 장치(500)는, 1개의 처리 유닛의 수취 위치에 있는 기판(W)을 수취하여 반송하고, 다른 처리 유닛의 재치 위치에 기판을 재치하는데, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 기판(W)의 수취 위치 및 재치 위치는, 1개의 처리 유닛 내에 설정되어도 된다.
예를 들어, 1개의 케이싱 내에 2개의 기판 지지부(600)(예를 들어 쿨링 플레이트 및 핫 플레이트)를 구비하는 처리 유닛에, 이른바 로컬 반송 기구로서 제1~제4 중 어느 한 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)를 설치할 수 있다. 이 경우, 1개의 처리 유닛 내에서, 1개의 기판 지지부(600)로부터 다른 기판 지지부(600)로 기판(W)이 반송될 때에, 핸드(H1, H2)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
혹은, 1개의 케이싱 내에 2개의 기판 지지부(600)(예를 들어 쿨링 플레이트 및 핫 플레이트)를 구비하는 처리 유닛에, 이른바 로컬 반송 기구로서 제5 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)를 설치할 수 있다. 이 경우, 1개의 처리 유닛 내에서, 1개의 기판 지지부(600)로부터 다른 기판 지지부(600)에 기판(W)이 반송되기 전 또는 후에, 기판 지지부(600)에 있어서의 기판(W)의 위치가 판정된다.
(4) 상기의 실시 형태에 있어서, 핸드(H1, H2)의 가이드부(Ha)는, 대략 V자형의 평판 형상을 갖는데, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 핸드(H1, H2)의 가이드부(Ha)는, 원호형상으로 연장되는 대략 C자형의 평판 형상을 가져도 된다. 이 경우, 가이드부(Ha)는, 기판(W)을 유지한 상태에서, 평면에서 봤을 때 검출기(SE1, SE2, SE3)에 의해 검출되어야 할 기판(W)의 외주단부와 겹쳐지지 않도록 구성된다.
(5) 상기의 실시 형태에 있어서, 기판 반송 장치(500)의 핸드(H1, H2)는, 기판(W)의 하면을 흡착하는 기구를 대신하여, 기판(W)의 외주단부에 맞닿음으로써 기판의 외주단부를 유지하는 기구를 가져도 된다. 기판(W)의 외주단부를 유지하는 핸드에 의하면, 기판(W)의 외주단부의 접촉 부분이 마모됨으로써, 기판(W)의 중심 위치(C)가 제1 기준 위치로부터 어긋난 상태에서 핸드에 의해 유지될 가능성이 있다. 이러한 경우에서도, 핸드에 있어서의 기판(W)의 위치가 정확하게 판정되므로, 본래 재치되어야 할 위치에 기판(W)을 정확하게 재치하는 것이 가능하게 된다.
(6) 상기의 실시 형태에서는, 복수의 검출기(SE1, SE2, SE3)의 투광부(Se)는, 기판(W)의 하방의 위치로부터 상방을 향하도록 광을 출사한다. 이것에 한정되지 않으며, 검출기(SE1, SE2, SE3)의 투광부(Se)는, 기판(W)의 상방의 위치로부터 하방을 향하도록 광을 출사해도 된다.
(7) 제1~제4 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2, SE3)로서 투과형 광전 센서가 이용되는데, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 제1~제4 실시 형태에 따르는 기판 반송 장치(500)에 있어서는, 검출기(SE1, SE2, SE3)로서 투과형 광전 센서를 대신하여, 반사형 광전 센서가 이용되어도 된다.
(8) 상기의 실시 형태에서는, 핸드(H1, H2)에 의해 유지되는 기판(W)의 외주부의 복수의 부분(p1~p5)이 광학식의 검출기(SE1, SE2, SE3)에 의해 검출된다. 이것에 한정되지 않으며, 각 핸드(H1, H2)에 의해 유지되는 기판(W)의 외주부의 복수의 부분(p1~p5)은, 초음파 센서 등의 다른 검출기에 의해 검출되어도 된다.
[8] 청구항의 각 구성 요소와 실시 형태의 각 요소의 대응
이하, 청구항의 각 구성 요소와 실시 형태의 각 요소의 대응의 예에 대해 설명하는데, 본 발명은 하기의 예에 한정되지 않는다.
상기의 실시 형태에서는, 핸드(H1, H2) 및 기판 지지부(600)가 지지부의 예이고, 기판 반송 장치(500) 중 핸드(H1, H2)를 제외한 구성이 위치 판정 장치의 예이며, 검출기(SE1, SE11, SE21)의 검출 영역(DA)이 제1 검출 영역의 예이고, 검출기(SE1, SE11, SE21)가 제1 검출기의 예이다.
또, 이동 부재(510), 상하 방향 구동 모터(511), 수평 방향 구동 모터(513), 회전 방향 구동 모터(515), 회전 부재(520), 지지 부재(521, 522), 상측 핸드 진퇴용 구동 모터(525), 상측 핸드 제1 구동 모터(525A), 상측 핸드 제2 구동 모터(525B), 하측 핸드 진퇴용 구동 모터(527), 하측 핸드 제1 구동 모터(527A) 및 하측 핸드 제2 구동 모터(527B)가 상대적 이동부의 예이다.
또, 반송 제어부(550)가 제어부의 예이고, 이동 제어부(58)가 상대적 이동 제어부의 예이며, 부분 위치 산출부(51)가 부분 위치 산출부의 예이고, 기판 위치 판정부(53)가 위치 판정부의 예이며, 핸드(H1, H2)가 반송 유지부의 예이고, 검출기(SE2, SE12, SE22)의 검출 영역(DA)이 제2 검출 영역의 예이며, 검출기(SE2, SE12, SE22)가 제2 검출기의 예이고, 기판(W)의 외주단부의 부분(p1, p11)이 기판의 외주단부 중 제1 부분의 예이며, 기판(W)의 외주단부의 부분(p3, p13)이 기판의 외주단부 중 제2 부분의 예이다.
또, 기판(W)의 외주단부의 부분(p2, p12)이 기판의 외주단부 중 제3 부분의 예이고, 기판(W)의 외주단부의 부분(p4, p14)이 기판의 외주단부 중 제4 부분의 예이며, 회전 부재(520)의 폭 방향이 제1 방향의 예이고, 회전 부재(520)의 길이 방향이 제2 방향의 예이다.
청구항의 각 구성 요소로서, 청구항에 기재되어 있는 구성 또는 기능을 갖는 다른 여러 가지의 요소를 이용할 수도 있다.

Claims (16)

  1. 지지부에 의해 지지된 기판의 위치를 판정하는 위치 판정 장치로서,
    단일한 제1 검출 영역을 갖는 것과 더불어 상기 기판이 상기 제1 검출 영역에 위치하는지 여부를 나타내는 검출 신호를 출력하는 제1 검출기와,
    상기 지지부에 지지된 상기 기판과 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성된 상대적 이동부와,
    상기 상대적 이동부를 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 상기 제1 검출 영역에 위치하도록, 상기 상대적 이동부를 제어하는 상대적 이동 제어부와,
    상기 제1 검출기의 검출 신호에 의거하여 상기 지지부에 있어서의 상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 부분 위치 산출부와,
    상기 부분 위치 산출부에 의해 산출된 상기 복수의 부분의 위치에 의거하여, 상기 지지부에 있어서의 상기 기판의 위치를 판정하는 위치 판정부를 포함하는, 위치 판정 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지부는, 상기 기판을 유지하면서 이동 가능하게 구성된 반송 유지부를 포함하고,
    상기 상대적 이동부는, 상기 반송 유지부를 이동시킴으로써, 상기 반송 유지부에 의해 유지된 상기 기판을 상기 제1 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성된, 위치 판정 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 더 구비하고,
    상기 상대적 이동부는, 상기 반송 유지부를 이동시킴으로써, 상기 반송 유지부에 의해 유지된 기판을 상기 제2 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되며,
    상기 상대적 이동 제어부는, 상기 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 상기 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 상기 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 상기 제2 검출 영역에 위치하도록, 상기 상대적 이동부를 제어하고,
    상기 부분 위치 산출부는, 상기 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 상기 반송 유지부에 있어서의 상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는, 위치 판정 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 및 제2 검출기는, 상기 제1 검출 영역과 상기 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 상기 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고,
    상기 상대적 이동 제어부는, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 상기 반송 유지부가 이동함으로써 상기 기판이 상기 제1 및 제2 검출 영역을 가로지르도록, 상기 상대적 이동부를 제어하는, 위치 판정 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 상대적 이동부는, 상기 제1 검출기를 이동시킴으로써, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 기판에 대해서 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성된, 위치 판정 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 더 구비하고,
    상기 상대적 이동부는, 상기 제2 검출기를 이동시킴으로써, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 기판에 대해서 상기 제2 검출기를 상대적으로 이동시키는 것이 가능하게 구성되며,
    상기 상대적 이동 제어부는, 상기 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 상기 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 상기 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 상기 제2 검출 영역에 위치하도록, 상기 상대적 이동부를 제어하고,
    상기 부분 위치 산출부는, 상기 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 상기 지지부에 있어서의 상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는, 위치 판정 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제1 및 제2 검출기는, 상기 제1 검출 영역과 상기 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 상기 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고,
    상기 상대적 이동 제어부는, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 및 제2 검출기가 이동함으로써 상기 제1 및 제2 검출 영역이 상기 기판을 가로지르도록, 상기 상대적 이동부를 제어하는, 위치 판정 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 위치 판정 장치를 구비하는, 기판 반송 장치.
  9. 지지부에 의해 지지된 기판의 위치를 판정하는 위치 판정 방법으로서,
    단일한 제1 검출 영역을 갖는 것과 더불어 상기 기판이 상기 제1 검출 영역에 위치하는지 여부를 나타내는 검출 신호를 출력하는 제1 검출기를 준비하는 단계와,
    상기 지지부에 지지된 상기 기판의 외주단부 중 복수의 부분이 순차적으로 상기 제1 검출 영역에 위치하도록, 상기 지지부에 지지된 상기 기판과 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 단계와,
    상기 제1 검출기의 검출 신호에 의거하여 상기 지지부에 있어서의 상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계와,
    상기 산출하는 단계에 의해 산출된 상기 복수의 부분의 위치에 의거하여, 상기 지지부에 있어서의 상기 기판의 위치를 판정하는 단계를 포함하는, 위치 판정 방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 지지부는, 상기 기판을 유지하면서 이동 가능하게 구성된 반송 유지부를 포함하고,
    상기 지지부에 지지된 상기 기판과 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 단계는, 상기 반송 유지부를 이동시킴으로써, 상기 반송 유지부에 의해 유지된 상기 기판을 상기 제1 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것을 포함하는, 위치 판정 방법.
  11. 청구항 10에 있어서,
    제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 준비하는 단계를 더 포함하고,
    상기 반송 유지부에 의해 유지된 상기 기판을 상기 제1 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것은, 상기 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 상기 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 상기 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 상기 제2 검출 영역에 위치하도록, 상기 반송 유지부에 유지된 상기 기판을 상기 제1 및 제2 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것을 포함하며,
    상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계는, 상기 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 상기 반송 유지부에 있어서의 상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계를 포함하는, 위치 판정 방법.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 제1 및 제2 검출기는, 상기 제1 검출 영역과 상기 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 상기 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고,
    상기 반송 유지부에 유지된 상기 기판을 상기 제1 및 제2 검출기에 대해서 상대적으로 이동시키는 것은, 상기 기판이 상기 제1 및 제2 검출 영역을 가로지르도록, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 상기 반송 유지부를 이동시키는 것을 포함하는, 위치 판정 방법.
  13. 청구항 9에 있어서,
    상기 지지부에 지지된 상기 기판과 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 단계는, 상기 제1 검출기를 이동시킴으로써, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 기판에 대해서 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것을 포함하는, 위치 판정 방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    제2 검출 영역을 갖는 제2 검출기를 준비하는 단계를 더 포함하고,
    상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 제1 검출기를 상대적으로 이동시키는 것은, 상기 기판의 외주단부 중 제1 및 제2 부분이 순차적으로 상기 제1 검출 영역에 위치함과 더불어, 상기 기판의 외주단부 중 제3 및 제4 부분이 순차적으로 상기 제2 검출 영역에 위치하도록, 상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 제1 및 제2 검출기를 상대적으로 이동시키는 것을 포함하며,
    상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계는, 상기 제1 및 제2 검출기의 검출 신호에 의거하여 상기 지지부에 있어서의 상기 복수의 부분의 위치를 각각 산출하는 단계를 포함하는, 위치 판정 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 제1 및 제2 검출기는, 상기 제1 검출 영역과 상기 제2 검출 영역이 제1 방향에 있어서 상기 기판의 직경보다 작은 간격으로 늘어서도록 설치되고,
    상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 제1 및 제2 검출기를 상대적으로 이동시키는 것은, 상기 제1 및 제2 검출 영역이 상기 기판을 가로지르도록, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 및 제2 검출기를 이동시키는 것을 포함하는, 위치 판정 방법.
  16. 청구항 9 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 기재된 위치 판정 방법을 포함하는, 기판 반송 방법.

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