KR102581910B1

KR102581910B1 - 표시 패널의 검사 장치 및 이를 이용한 표시 패널의 검사 방법

Info

Publication number: KR102581910B1
Application number: KR1020180128641A
Authority: KR
Inventors: 김대홍; 이형진; 양성훈; 오세윤
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2018-10-26
Filing date: 2018-10-26
Publication date: 2023-09-25
Also published as: US11328637B2; CN111105738A; US20200135073A1; KR20200047888A

Abstract

표시 패널의 검사 장치는 표시 패널의 데이터 패드에 접촉하는 제1 프로브 핀들 및 공통 전압 패드에 접촉하는 제2 프로브 핀들을 포함하는 콘택부, 제1 프로브 핀들과 연결되고, 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압 및 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 생성하는 신호 발생부, 제2 프로브 핀들과 연결되고, 제1 공통 전압 및 제1 공통 전압과 전압 레벨이 상이한 제2 공통 전압을 생성하는 전원 생성부 및 제1 프로브 핀들 및 제2 프로브 핀들의 접촉 불량으로 인해 발생하는 콘택 노이즈(noise)를 제거하여 표시 패널의 불량을 검출하는 불량 검출부를 포함한다.

Description

표시 패널의 검사 장치 및 이를 이용한 표시 패널의 검사 방법 {INSPECTING DEVICE OF DISPLAY PANEL AND INSPECTING METHOD OF DISPLAY PANEL USING THE SAME}

본 발명은 표시 패널의 검사 장치 및 이를 이용한 표시 패널의 검사 방법에 관한 것이다.

표시 장치의 제조 시 각 단계에서 제품의 불량 여부를 검출하기 위한 다양한 검사가 실시될 수 있다. 표시 패널의 제조가 완료된 표시 패널에 프로브(probe)를 이용하여 검사 신호를 인가하고, 표시 패널의 게이트 라인, 데이터 라인 및 화소들 사이의 쇼트나 오픈 상태를 확인하여 불량을 검출할 수 있다. 이 때, 프로브의 접촉 등으로 인해 콘택 노이즈(contact noise)가 발생하여 표시 패널의 불량을 정확하게 검출하지 못하는 문제점이 있다.

본 발명의 일 목적은 표시 패널의 불량을 정확하게 검출하는 표시 패널의 검사 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 표시 패널의 불량을 정확하게 검출하는 표시 패널의 검사 방법을 제공하는 것이다.

그러나, 본 발명이 목적은 상술한 목적으로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 장치는 표시 패널의 데이터 패드에 접촉하는 제1 프로브 핀들 및 공통 전압 패드에 접촉하는 제2 프로브 핀들을 포함하는 콘택부, 상기 제1 프로브 핀들과 연결되고, 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압 및 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 생성하는 신호 발생부, 상기 제2 프로브 핀들과 연결되고, 제1 공통 전압 및 상기 제1 공통 전압과 전압 레벨이 상이한 제2 공통 전압을 생성하는 전원 생성부 및 상기 제1 프로브 핀들 및 상기 제2 프로브 핀들의 접촉 불량으로 인해 발생하는 콘택 노이즈(noise)를 제거하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 불량 검출부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 불량 검출부는 상기 콘택부를 통해 상기 표시 패널에 상기 제1 데이터 전압 및 상기 제1 공통 전압이 공급되는 경우 검출되는 제1 검사 영상, 상기 콘택부를 통해 상기 표시 패널에 상기 제1 데이터 전압 및 상기 제2 공통 전압이 공급되는 경우 검출되는 제2 검사 영상 및 상기 콘택부를 통해 상기 표시 패널에 상기 제2 데이터 전압 및 상기 제1 공통 전압이 공급되는 경우 검출되는 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제1 검사 영상은 상기 표시 패널의 불량 및 상기 콘택 노이즈를 포함하고, 상기 제2 검사 영상은 상기 표시 패널의 불량을 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 불량 검출부는 상기 제1 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량 및 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량의 위치를 검출할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 불량 검출부는 상기 제1 검사 영상 및 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 제1 검사 영상의 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 상기 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터를 생성할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 불량 검출부는 상기 보상 데이터를 상기 신호 발생부에 제공하고, 상기 신호 발생부는 상기 보상 데이터에 기초하여 상기 제2 계조에 대응하는 상기 제2 데이터 전압을 생성할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 불량 검출부는 상기 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 불량 검출부는 상기 표시 패널을 촬영하여 상기 제1 검사 영상, 상기 제2 검사 영상 및 상기 제3 검사 영상을 검출하는 비전(vision) 카메라, 상기 제1 검사 영상 및 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 상기 제1 검사 영상의 상기 콘택 노이즈를 보상하는 보상 데이터를 생성하며, 상기 보상 데이터를 상기 신호 발생부로 출력하는 제1 불량 검출부 및 상기 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 제2 불량 검출부를 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제1 데이터 전압은 제1 전압 레벨과 상기 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙하고, 상기 제1 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨과 상기 제2 전압 레벨 사이의 전압 레벨을 가지며, 상기 제2 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨보다 높은 전압 레벨을 가질 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제2 공통 전압과 상기 제1 데이터 전압의 상기 제1 전압 레벨의 차는 상기 제1 데이터 전압의 상기 제1 전압 레벨과 상기 제1 공통 전압의 차보다 크거나 같을 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 표시 패널이 노멀 블랙(normal black)인 경우, 상기 제1 계조는 최고 계조를 나타내고, 상기 제2 계조는 상기 제1 계조 보다 낮을 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 표시 패널이 노멀 화이트(normal white)인 경우, 상기 제1 계조는 최저 계조를 나타내고, 상기 제2 계조는 상기 제1 계조 보다 높을 수 있다.

본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 방법은 표시 패널의 데이터 패드에 제1 프로브 핀들을 통해 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압을 제공하고, 상기 표시 패널의 공통 전압 패드에 제2 프로브 핀들을 통해 제1 공통 전압을 제공하는 단계, 상기 표시 패널을 촬영하여 제1 검사 영상을 검출하는 단계, 상기 데이터 패드에 상기 제1 프로브 핀들을 통해 상기 제1 데이터 전압을 제공하고, 상기 공통 전압 패드에 상기 제2 프로브 핀들을 통해 상기 제1 공통 전압과 전압 레벨이 상이한 제2 공통 전압을 제공하는 단계, 상기 표시 패널을 촬영하여 제2 검사 영상을 검출하는 단계, 상기 제1 검사 영상 및 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 제1 프로브 핀들과 상기 제2 프로브 핀들의 접촉으로 인해 발생하는 콘택 노이즈(noise)의 위치 및 휘도를 검출하는 단계, 상기 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터를 생성하는 단계, 상기 데이터 패드에 상기 제1 프로브 핀들을 통해 상기 보상 데이터에 기초하여 생성되고, 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 제공하고, 상기 공통 전압 패드에 상기 제2 프로브 핀들을 통해 상기 제1 공통 전압을 제공하는 단계, 상기 표시 패널을 촬영하여 제3 검사 영상을 검출하는 단계 및 상기 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 단계를 포함할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제1 데이터 전압은 제1 전압 레벨과 상기 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙할 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제1 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨과 상기 제2 전압 레벨 사이의 전압 레벨을 가질 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제2 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨보다 높은 전압 레벨을 가질 수 있다.

일 실시예에 의하면, 상기 제1 검사 영상은 상기 표시 패널의 불량 및 상기 콘택 노이즈를 포함하고, 상기 제2 검사 영상은 상기 콘택 노이즈를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 장치는 표시 패널의 공통 전압 패드에 공급되는 공통 전압의 전압 레벨을 변경하여 콘택 노이즈를 검출하고, 보상 데이터를 생성하여 콘택 노이즈를 보상함으로써, 표시 패널의 불량을 정확하게 검출할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 검사 장치를 이용하여 표시 패널의 불량을 검출하는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 검사 장치에 포함되는 콘택부 및 도 2의 표시 패널을 나타내는 도면이다.
도 4a 내지 도 4c는 도 1의 검사 장치에 포함되는 신호 발생부 및 전원 생성부의 동작을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5a 내지 도 5c는 도 4a 내지 도 4c의 신호 발생부 및 전원 생성부의 동작에 따라 도 1의 검사 장치에 포함되는 불량 검출부에서 검출되는 제1 검사 영상 내지 제3 검사 영상을 나타내는 도면들이다.
도 6은 도 1의 검사 장치에 포함되는 불량 검출부를 나타내는 블록도이다.
도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 방법이다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 장치를 나타내는 블록도이다. 도 2는 도 1의 검사 장치를 이용하여 표시 패널의 불량을 검출하는 일 예를 나타내는 도면이다. 도 3은 도 1의 검사 장치에 포함되는 콘택부 및 도 2의 표시 패널을 나타내는 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 표시 패널의 검사 장치(100)는 콘택부(110), 신호 발생부(120), 전원 생성부(130) 및 불량 검출부(140)를 포함할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 표시 패널(200)의 제조 공정(예를 들어, 비쥬얼(visual) 검사 공정)에서 표시 패널(200)은 스테이지(150) 상에 위치할 수 있다. 검사 장치(100)는 콘택부(110)를 통해 스테이지(150) 상에 위치한 표시 패널(200)에 접촉할 수 있다. 검사 장치(100)는 콘택부(110)를 통해 표시 패널(200)에 구동 신호(예를 들어, 게이트 신호, 데이터 신호 등) 및 구동 전압(예를 들어, 전원 전압, 공통 전압 등)을 공급하고, 표시 패널(200)에 표시되는 영상을 분석하여 표시 패널(200)의 불량을 검출할 수 있다.

표시 패널(200)은 데이터 라인들, 게이트 라인들 및 복수의 화소들을 포함할 수 있다. 데이터 라인들과 게이트 라인들이 교차되는 영역에 화소들이 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 각각의 화소들은 게이트 라인 및 데이터 라인에 전기적으로 연결되는 박막 트랜지스터, 박막 트랜지스터에 연결된 액정 캐패시터 및 스토리지 캐패시터를 포함할 수 있다. 따라서, 표시 패널(200)은 액정 표시 패널일 수 있다.

도 3을 참조하면, 표시 패널(200)은 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 데이터 라인들, 게이트 라인들 및 화소들이 형성될 수 있다. 비표시 영역(NDA)에는 상기 데이터 라인들과 연결되는 데이터 패드(210)들, 상기 게이트 라인들과 연결되는 게이트 패드들, 전원 라인과 연결되는 전원 패드들, 공통 전압 라인과 연결되는 공통 전압 패드(215)들이 형성될 수 있다. 전원 라인 및 공통 전압 라인은 적어도 하나 이상의 배선을 포함하거나, 하나의 면으로 형성되거나, 메쉬(mesh) 구조로 형성될 수 있다. 상기 패드들은 검사 공정 이후 집적 회로(integrated circuit; IC)로 구현되는 게이트 집적 회로 및 데이터 집적 회로와 연결될 수 있다. 예를 들어, 게이트 집적 회로 및 데이터 집적 회로는 구동 칩으로 형성되어 비표시 영역(NDA)의 패드 상에 칩 온 글래스(Chip on Glass; COG) 방식으로 실장될 수 있다. 또는 게이트 집적 회로 및 데이터 집적 회로는 구동 칩으로 형성되어 가요성 인쇄 회로 기판 상에 실장되는 칩 온 필름(Chip on Film; COF)으로 구현되어 상기 필름을 통해 비표시 영역(NDA)의 패드와 연결될 수 있다.

도 3을 참조하면, 콘택부(110)는 제1 프로브 핀(112)들 및 제2 프로브 핀(114)들을 포함할 수 있다. 표시 패널(200)의 검사 공정 시 콘택부(110)의 제1 프로브 핀(112)들은 표시 패널(200)의 데이터 패드(210)들과 접촉하고, 제2 프로브 핀(114)들은 표시 패널(200)의 공통 전압 패드(215)들과 접촉할 수 있다.

신호 발생부(120)는 콘택부(110)의 제1 프로브 핀(112)들과 연결될 수 있다. 신호 발생부(120)는 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압(Vdata2)을 생성할 수 있다. 예를 들어, 표시 패널(200)에 제1 계조에 대응하는 데이터 전압이 제공되는 경우, 라인성 불량을 검출하기 용이하고, 제2 계조에 대응하는 데이터 전압이 제공되는 경우, 라인성 불량, 화소 불량, 얼룩성 불량 등을 검출하기 용이할 수 있다.

액정 표시 장치는 액정층의 배열을 조절하는 방식에 따라 TN(Twisted Nematic) 모드, VA(Vertical Alignment) 모드, IPS(In plane Switching) 모드, FFS(Fringe Field Switching) 모드 등으로 구분될 수 있다. 표시 패널(200)은 구동 신호 및 구동 전압이 공급되지 않을 때 표시 패널(200)에 나타나는 색상에 따라 노멀 블랙(normal black) 또는 노멀 화이트(normal white)로 구분될 수 있다. 예를 들어, TN 모드 액정 표시 장치의 경우, 구동 신호 및 구동 전압이 공급되지 않을 때 표시 패널(200)이 화이트를 나타내므로 노멀 화이트로 구분되고, VA 모드 액정 표시 장치의 경우, 구동 신호 및 구동 전압이 공급되지 않을 때 표시 패널(200)이 블랙을 나타내므로 노멀 블랙으로 구분될 수 있다.

일 실시예에서, 표시 패널(200)이 노멀 블랙인 경우, 제1 계조는 최고 계조를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 액정 표시 장치가 8bit로 구동하는 경우, 제1 계조는 255계조에 대응할 수 있다. 즉, 표시 패널(200)이 노멀 블랙인 경우, 신호 발생부(120)는 표시 패널(200)에 255계조에 대응하는 제1 데이터 전압(Vdata1)을 공급할 수 있다. 표시 패널(200)은 제1 데이터 전압(Vdata1)에 기초하여 화이트의 영상을 표시할 수 있다. 제2 계조는 최고 계조보다 낮은 계조를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 신호 발생부(120)는 표시 패널(200)에 125계조에 대응하는 제2 데이터 전압(Vdata2)을 공급할 수 있다. 표시 패널(200)은 제2 데이터 전압(Vdata2)에 기초하여 그레이(gray)의 영상을 표시할 수 있다.

다른 실시예에서, 표시 패널(200)이 노멀 화이트인 경우, 제1 계조는 최저 계조를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 액정 표시 장치가 8bit로 구동하는 경우, 제1 계조는 0계조에 대응할 수 있다. 즉, 표시 패널(200)이 노멀 화이트인 경우, 신호 발생부(120)는 표시 패널(200)에 0계조에 대응하는 제1 데이터 전압(Vdata1)을 공급할 수 있다. 표시 패널(200)은 제1 데이터 전압(Vdata1)에 기초하여 블랙의 영상을 표시할 수 있다. 제2 계조는 최저 계조보다 높은 계조를 나타낼 수 있다. 예를 들어, 신호 발생부(120)는 표시 패널(200)에 125 계조에 대응하는 제2 데이터 전압(Vdata2)을 공급할 수 있다. 표시 패널(200)은 제2 데이터 전압(Vdata2)에 기초하여 그레이의 영상을 표시할 수 있다.

전원 생성부(130)는 제2 프로브 핀(114)들과 연결되고, 제1 공통 전압(Vcom1) 및 제2 공통 전압(Vcom2)을 생성할 수 있다. 신호 발생부에서 생성되는 제1 데이터 전압(Vdata1)이 제1 전압 레벨과 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙하는 경우, 제1 공통 전압(Vcom1)은 제1 전압 레벨과 제2 전압 레벨 사이의 전압 레벨을 가질 수 있다. 또한, 제1 데이터 전압(Vdata1)이 제1 전압 레벨과 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙하는 경우, 제2 공통 전압(Vcom2)은 제1 전압 레벨 보다 높은 전압 레벨을 가질 수 있다. 이 때, 제2 공통 전압(Vcom2)과 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨의 차는 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨과 제1 공통 전압(Vcom1)의 차보다 크거나 같을 수 있다.

불량 검출부(140)는 제1 프로브 핀(112)들 및 제2 프로브 핀(114)들의 접촉 불량으로 인해 발생하는 콘택 노이즈(noise)를 제거하여 표시 패널(200)의 불량을 검출할 수 있다. 불량 검출부(140)는 콘택부(110)를 통해 표시 패널(200)에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제1 공통 전압(Vcom1)이 공급되는 경우, 제1 검사 영상을 검출하고, 표시 패널(200)에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제2 공통 전압(Vcom2)이 공급되는 경우, 제2 검사 영상을 검출하며, 표시 패널(200)에 제2 데이터 전압(Vdata2) 및 제1 공통 전압(Vcom1)이 공급되는 경우, 제3 검사 영상을 검출할 수 있다. 불량 검출부(140)는 제1 검사 영상, 제2 검사 영상 및 제3 검사 영상에 기초하여 표시 패널(200)의 불량을 검출할 수 있다.

표시 패널(200)에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제1 공통 전압(Vcom1)이 공급되는 경우, 불량 검출부(140)는 표시 패널(200)의 불량 및 콘택 노이즈를 포함하는 제1 검사 영상을 검출할 수 있다. 제1 공통 전압(Vcom1)은 제1 전압 레벨과 제2 전압 레벨 사이를 스윙하는 제1 데이터 전압(Vdata1) 사이의 전압 레벨을 가질 수 있다. 검사 장치(100)의 제1 프로브 핀(112)들과 제2 프로브 핀(114)들의 접촉 불량으로 인해 공통 전압 라인과 데이터 라인 간에 쇼트가 발생하는 경우(즉, 공통 전압과 데이터 라인 간의 전위 차가 발생하기 않는 경우), 표시 패널(200)의 라인(line)성 불량과 동일한 형태를 갖는 콘택 노이즈가 발생할 수 있다. 불량 검출부(140)는 제1 검사 영상에 기초하여 표시 패널(200)의 불량 및 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출할 수 있다.

표시 패널(200)에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제2 공통 전압(Vcom2)이 공급되는 경우, 불량 검출부(140)는 표시 패널(200)의 불량을 포함하는 제2 검사 영상을 검출할 수 있다. 제2 공통 전압(Vcom2)은 제1 전압 레벨과 제2 전압 레벨 사이를 스윙하는 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨 보다 높은 전압 레벨을 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 공통 전압(Vcom2)과 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨의 차는 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨과 제1 공통 전압(Vcom1)의 차와 동일하거나, 클 수 있다. 제1 프로브 핀(112)들과 제2 프로브 핀(114)들을 통해 제1 데이터 전압(Vdata1)과 제2 공통 전압(Vcom2)이 공급되는 경우, 제1 프로브 핀(112)들과 제2 프로브 핀(114)들의 접촉 불량이 발생하더라도 공통 전압 라인에 공급되는 제2 공통 전압(Vcom2)과 데이터 라인에 공급되는 제1 데이터 전압(Vdata1) 사이에 전위 차가 발생하여 콘택 노이즈가 발생하지 않을 수 있다. 따라서, 제2 검사 영상은 콘택 노이즈를 제외한 표시 패널(200)의 불량을 포함할 수 있다.

불량 검출부(140)는 제1 검사 영상 및 제2 검사 영상에 기초하여 제1 검사 영상의 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터(Cdata)를 생성할 수 있다. 즉, 불량 검출부(140)는 제1 검사 영상에서 발생하였으나, 제2 검사 영상에서 발생하지 않은 불량을 콘택 노이즈로 간주하고, 제1 검사 영상에서 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출할 수 있다. 불량 검출부(140)는 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도를 보상하는 보상 데이터(Cdata)를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제1 검사 영상에서 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도가 주변 휘도보다 높은 경우, 상기 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도를 낮추도록 보상 데이터(Cdata)를 생성할 수 있다. 불량 검출부(140)는 보상 데이터(Cdata)를 신호 발생부(120)에 제공할 수 있다. 신호 발생부(120)는 보상 데이터(Cdata)에 기초하여 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압(Vdata2)을 생성할 수 있다.

표시 패널(200)에 제2 데이터 전압(Vdata2) 및 제1 공통 전압(Vcom1)이 공급되는 경우, 불량 검출부(140)는 표시 패널(200)의 불량을 포함하는 제3 검사 영상을 검출할 수 있다. 제3 검사 영상은 콘택 노이즈가 주변의 휘도와 같도록 보상된 영상일 수 있다. 제3 검사 영상을 통해 라인성 불량, 화소 불량, 얼룩 불량 등 표시 패널의 불량(DEFECT)을 검출할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 장치(100)는 표시 패널(200)의 공통 전압 패드(215)에 공급되는 공통 전압의 전압 레벨을 변경하여 콘택 노이즈를 검출하고, 보상 데이터(Cdata)를 생성하여 콘택 노이즈를 보상함으로써, 표시 패널(200)의 불량(DEFECT)을 정확하게 검출할 수 있다.

도 4a 내지 도 4c는 도 1의 검사 장치에 포함되는 신호 발생부 및 전원 생성부의 동작을 설명하기 위한 도면들이다. 도 5a 내지 도 5c는 도 4a 내지 도 4c의 신호 발생부 및 전원 생성부의 동작에 따라 도 1의 검사 장치에 포함되는 불량 검출부에서 검출되는 제1 검사 영상 내지 제3 검사 영상을 나타내는 도면들이다.

도 4a를 참조하면, 신호 발생부는 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압(Vdata1)을 생성할 수 있다. 일 실시예에서, 표시 패널이 노멀 블랙인 경우, 제1 계조는 최고 계조를 나타낼 수 있다. 다른 실시예에서, 표시 패널이 노멀 화이트인 경우, 제1 계조는 최저 계조를 나타낼 수 있다. 제1 데이터 전압(Vdata1)은 제1 전압 레벨(LV1)과 제2 전압 레벨(LV2) 사이를 스윙할 수 있다. 이 때, 제2 전압 레벨(LV2)은 제1 전압 레벨(LV1)보다 낮을 수 있다.

전원 생성부는 제1 공통 전압(Vcom1)을 생성할 수 있다. 제1 공통 전압(Vcom1)은 제1 전압 레벨(LV1)과 제2 전압 레벨(LV2) 사이의 전압 레벨을 가질 수 있다.

콘택부의 제1 프로브 핀들을 통해 신호 발생부에서 생성되는 제1 데이터 전압(Vdata1)이 표시 패널의 데이터 패드들에 제공되고, 제2 프로브 핀들을 통해 전원 생성부에서 생성되는 제1 공통 전압(Vcom1)이 표시 패널의 공통 전압 패드들에 제공될 수 있다.

표시 패널에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제1 공통 전압(Vcom1)이 제공되는 경우, 불량 검출부는 제1 검사 영상(IMG_T1)을 검출할 수 있다. 도 5a에 도시된 바와 같이, 제1 검사 영상(IMG_T1)은 표시 패널의 불량(DEFECT) (예를 들어, 라인성 불량) 및 콘택 노이즈(CONTACT NOISE)를 포함할 수 있다. 콘택부의 제1 프로브 핀들 및 제2 프로브 핀들과 표시 패널의 데이터 패드들 및 공통 전압 패드들의 접촉이 불안정한 경우, 표시 패널의 데이터 라인들에 공급되는 제1 데이터 전압(Vdata1)과 표시 패널의 공통 전압 라인들에 공급되는 제1 공통 전압(Vcom1) 사이의 전위 차가 발생하지 않아 콘택 노이즈(CONTACT NOISE)가 발생할 수 있다. 이 때, 콘택 노이즈(CONTACT NOISE)의 형상이 표시 패널의 불량(DEFECT)과 유사할 수 있다.

도 4b를 참조하면, 신호 발생부는 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압(Vdata1)을 생성할 수 있다. 일 실시예에서, 표시 패널이 노멀 블랙인 경우, 제1 계조는 최고 계조를 나타낼 수 있다. 다른 실시예에서, 표시 패널이 노멀 화이트인 경우, 제1 계조는 최저 계조를 나타낼 수 있다. 제1 데이터 전압(Vdata1)은 제1 전압 레벨(LV1)과 제2 전압 레벨(LV2) 사이를 스윙할 수 있다. 이 때, 제2 전압 레벨(LV2)은 제1 전압 레벨(LV1)보다 낮을 수 있다.

전원 생성부는 제2 공통 전압(Vcom2)을 생성할 수 있다. 제2 공통 전압(Vcom2)은 제1 전압 레벨(LV1)보다 높은 전압 레벨을 가질 수 있다. 이 때, 제2 공통 전압(Vcom2)과 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨(LV1)의 차는 제1 데이터 전압(Vdata1)의 제1 전압 레벨(LV1)과 제1 공통 전압(Vcom1)의 차보다 크거나 같을 수 있다.

콘택부의 제1 프로브 핀들을 통해 신호 발생부에서 생성되는 제1 데이터 전압(Vdata1)이 표시 패널의 데이터 패드들에 제공되고, 제2 프로브 핀들을 통해 전원 생성부에서 생성되는 제2 공통 전압(Vcom2)이 표시 패널의 공통 전압 패드들에 제공될 수 있다.

표시 패널에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제2 공통 전압(Vcom2)이 제공되는 경우, 불량 검출부는 제2 검사 영상(IMG_T2)을 검출할 수 있다. 도 5b에 도시된 바와 같이, 제2 검사 영상(IMG_T2)은 표시 패널의 불량(DEFECT) (예를 들어, 라인성 불량)을 포함할 수 있다. 표시 패널에 제1 데이터 전압(Vdata1) 및 제2 공통 전압(Vcom2)이 제공되는 경우, 콘택부의 제1 프로브 핀들 및 제2 프로브 핀들과 표시 패널의 데이터 패드들 및 공통 전압 패드들의 접촉이 불안정하더라도 표시 패널의 데이터 라인들에 공급되는 제1 데이터 전압(Vdata1)과 표시 패널의 공통 전압 라인들에 공급되는 제2 공통 전압(Vcom2) 사이의 전위 차가 발생할 수 있다. 따라서, 콘택 노이즈가 제거될 수 있다.

도 4c를 참조하면, 신호 발생부는 불량 검출부에서 제공되는 보상 데이터에 기초하여 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압(Vdata2)을 생성할 수 있다. 일 실시예에서, 표시 패널이 노멀 블랙인 경우, 제2 계조는 제1 계조보다 낮은 계조를 나타낼 수 있다. 다른 실시예에서, 표시 패널이 노멀 화이트인 경우, 제2 계조는 제1 계조보다 높은 계조를 나타낼 수 있다. 제2 데이터 전압(Vdata2)은 제3 전압 레벨(LV3)과 제4 전압 레벨(LV4) 사이를 스윙할 수 있다. 이 때, 제3 전압 레벨(LV3)은 제1 전압 레벨(LV1)보다 낮고, 제4 전압 레벨(LV4)은 제2 전압 레벨(LV2)보다 높을 수 있다.

전원 생성부는 제1 공통 전압(Vcom1)을 생성할 수 있다. 제1 공통 전압(Vcom1)은 제1 검출 영상을 검출하기 위해 표시 패널에 제공되는 상기 제1 공통 전압(Vcom1)과 동일할 수 있다. 제1 공통 전압(Vcom1)은 제3 전압 레벨(LV3)과 제4 전압 레벨(LV4) 사이의 전압 레벨을 가질 수 있다.

표시 패널에 제2 데이터 전압(Vdata2) 및 제1 공통 전압(Vcom1)이 제공되는 경우, 불량 검출부는 제3 검사 영상(IMG_T3)을 검출할 수 있다. 도 5c에 도시된 바와 같이, 제3 검사 영상(IMG_T3)은 표시 패널의 불량(DEFECT)을 포함할 수 있다. 상기 보상 데이터가 콘택 노이즈의 휘도를 보상하므로, 콘택부의 제1 프로브 핀들 및 제2 프로브 핀들과 표시 패널의 데이터 패드들 및 공통 전압 패드들의 접촉이 불안정하더라도 제3 검사 영상(IMG_T3)은 표시 패널의 불량(DEFECT)만을 포함할 수 있다. 이 때, 표시 패널에 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압(Vdata2)이 공급되므로, 제3 검사 영상(IMG_T3)을 통해 라인성 불량, 화소 불량, 얼룩성 불량 등 표시 패널의 불량(DEFECT)을 검출할 수 있다.

도 6은 도 1의 검사 장치에 포함되는 불량 검출부를 나타내는 블록도이다.

불량 검출부(140)는 비전(vision) 카메라(142), 제1 불량 검출부(144) 및 제2 불량 검출부(146)를 포함할 수 있다.

비전 카메라(142)는 표시 패널을 촬영할 수 있다. 검사 장치의 콘택부를 통해 표시 패널에 제1 데이터 전압 및 제1 공통 전압이 공급되는 경우, 비전 카메라(142)는 상기 표시 패널을 촬영하여 제1 검사 영상(IMG_T1)을 검출할 수 있다. 검사 장치의 콘택부를 통해 표시 패널에 제1 데이터 전압 및 제2 공통 전압이 공급되는 경우, 비전 카메라(142)는 상기 표시 패널을 촬영하여 제2 검사 영상(IMG_T2)을 검출할 수 있다. 검사 장치의 콘택부를 통해 표시 패널에 제2 데이터 전압 및 제1 공통 전압이 공급되는 경우, 비전 카메라(142)는 상기 표시 패널을 촬영하여 제3 검사 영상(IMG_T3)을 검출할 수 있다.

제1 불량 검출부(144)는 제1 검사 영상(IMG_T1) 및 제2 검사 영상(IMG_T2)에 기초하여 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 제1 검사 영상(IMG_T1)의 콘택 노이즈를 보상하는 보상 데이터(Cdata)를 생성하며, 보상 데이터(Cdata)를 신호 발생부로 출력할 수 있다. 제1 검사 영상(IMG_T1)은 표시 패널의 불량(예를 들면, 라인성 불량) 및 콘택 노이즈를 포함할 수 있다. 제1 불량 검출부(144)는 제1 검사 영상(IMG_T1)의 표시 패널의 불량 및 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 저장할 수 있다. 제2 검사 영상(IMG_T2)은 표시 패널의 불량을 포함할 수 있다. 제1 불량 검출부(144)는 제2 검사 영상(IMG_T2)을 제1 검사 영상(IMG_T1)과 비교하여 제1 검사 영상(IMG_T1)의 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 저장할 수 있다. 제1 불량 검출부(144)는 제1 검사 영상(IMG_T1)의 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터(Cdata)를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제1 검사 영상(IMG_T1)에서 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도가 주변 휘도보다 높은 경우, 제1 불량 검출부(144)는 상기 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도를 낮추는 보상 데이터(Cdata)를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제1 검사 영상(IMG_T1)에서 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도가 주변 휘도보다 낮은 경우, 제1 불량 검출부(144)는 상기 콘택 노이즈가 발생한 위치의 휘도를 높이는 보상 데이터(Cdata)를 생성할 수 있다. 제1 불량 검출부(144)는 보상 데이터(Cdata)를 신호 발생부에 제공할 수 있다.

제2 불량 검출부(146)는 제3 검사 영상(IMG_T3)에 기초하여 표시 패널의 불량을 검출할 수 있다. 제3 검사 영상(IMG_T3)은 콘택 노이즈가 제거된 영상일 수 있다. 즉, 제3 검사 영상(IMG_T3)은 검사 장치의 콘택부의 접촉 불량으로 인한 콘택 노이즈를 제외한 표시 패널의 불량들(예를 들어, 라인성 불량, 화소 불량, 얼룩 불량 등)을 포함할 수 있다. 제2 불량 검출부(146)는 제3 검사 영상(IMG_T3)에 기초하여 표시 패널의 불량을 검출할 수 있다.

상술한 바와 같이, 표시 패널의 검사 장치의 불량 검출부(140)는 제1 검사 영상(IMG_T1), 제2 검사 영상(IMG_T2) 및 제3 검사 영상(IMG_T3)을 촬영하고, 제1 검사 영상(IMG_T1) 및 제2 검사 영상(IMG_T2)에 기초하여 콘택 노이즈를 보상하는 보상 데이터(Cdata)를 생성하며, 제3 검사 영상(IMG_T3)에 기초하여 표시 패널의 불량(DEFECT)을 검출함으로써, 표시 패널의 불량(DEFECT)을 정확하게 검출할 수 있다.

도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 방법이다.

도 7을 참조하면, 표시 패널의 검사 방법은 표시 패널에 제1 데이터 전압 및 제1 공통 전압을 제공하는 단계(S100), 제1 검사 영상을 검출하는 단계(S200), 표시 패널에 제1 데이터 전압 및 제2 공통 전압을 제공하는 단계(S300), 제2 검사 영상을 검출하는 단계(S400), 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하는 단계(S500), 보상 데이터를 생성하는 단계(S600), 표시 패널에 제2 데이터 전압 및 제1 공통 전압을 제공하는 단계(S700), 제3 검사 영상을 검출하는 단계(S800) 및 표시 패널의 불량을 검출하는 단계(S900)를 포함할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 표시 패널에 제1 데이터 전압 및 제1 공통 전압을 제공(S100)할 수 있다. 표시 패널의 비표시 영역에는 데이터 라인들과 연결되는 데이터 패드들, 공통 전압 라인과 연결되는 공통 전압 패드들이 형성될 수 있다. 표시 패널의 검사 방법은 제1 프로브 핀들을 통해 데이터 패드들에 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압을 제공하고, 제2 프로브 핀들을 통해 공통 전압 패드에 제1 공통 전압을 제공할 수 있다. 일 실시예에서, 표시 패널이 노멀 블랙인 경우, 제1 계조는 최고 계조를 나타낼 수 있다. 다른 실시예에서, 표시 패널이 노멀 화이트인 경우, 제1 계조는 최저 계조를 나타낼 수 있다. 제1 데이터 전압은 제1 전압 레벨과 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙할 수 있다. 제1 공통 전압은 제1 전압 레벨과 제2 전압 레벨 사이의 전압 레벨을 가질 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 표시 패널을 촬영하여 제1 검사 영상을 검출(S200)할 수 있다. 제1 프로브 핀들과 제2 프로브 핀들의 접촉 불량으로 인해 공통 전압 라인과 데이터 라인 간에 쇼트가 발생하는 경우(즉, 공통 전압과 데이터 라인 간의 전압 차가 발생하기 않는 경우), 표시 패널의 라인성 불량과 동일한 형태를 갖는 콘택 노이즈가 발생할 수 있다. 제1 검사 영상은 표시 패널의 불량 및 콘택 노이즈를 포함할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 표시 패널에 제1 데이터 전압 및 제2 공통 전압을 제공(S300)할 수 있다. 표시 패널의 검사 방법은 제1 프로브 핀들을 통해 데이터 패드들에 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압을 제공하고, 제2 프로브 핀들을 통해 공통 전압 패드에 제2 공통 전압을 제공할 수 있다. 제1 데이터 전압은 제1 전압 레벨과 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙하고, 제2 공통 전압은 제1 전압 레벨보다 높은 전압 레벨을 가질 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 표시 패널을 촬영하여 제2 검사 영상을 검출(S400)할 수 있다. 이 때, 제1 프로브 핀들과 제2 프로브 핀들의 접촉 불량이 발생하더라도 공통 전압 라인에 공급되는 제2 공통 전압과 데이터 라인에 공급되는 제1 데이터 전압 사이에 전위 차가 발생하여 콘택 노이즈가 발생하지 않을 수 있다. 따라서, 제2 검사 영상은 콘택 노이즈를 제외한 표시 패널의 불량을 포함할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 제1 검사 영상 및 제2 검사 영상에 기초하여 콘택 노이즈의 위치 및 휘도(S500)를 검출할 수 있다. 제1 검사 영상은 표시 패널의 불량 및 콘택 노이즈를 포함하고, 제2 검사 영상은 표시 패널의 불량을 포함하므로, 제1 검사 영상과 제2 검사 영상을 비교하여 콘택 노이즈의 위치 및 제1 검사 영상에서 콘택 노이즈의 휘도를 검출할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터를 생성(S600)할 수 있다. 표시 패널의 검사 방법은 제1 검사 영상의 콘택 노이즈가 주변의 휘도보다 낮거나 높은 경우, 상기 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터를 생성할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 표시 패널에 제2 데이터 전압 및 제1 공통 전압을 제공(S700)할 수 있다. 표시 패널의 검사 방법은 보상 데이터에 기초하여 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 생성할 수 있다. 표시 패널의 검사 방법은 제1 프로브 핀들을 통해 데이터 패드들에 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 제공하고, 제2 프로브 핀들을 통해 공통 전압 패드에 제1 공통 전압을 제공할 수 있다. 일 실시예에서, 표시 패널이 노멀 블랙인 경우, 제1 계조는 최고 계조를 나타내고, 제2 계조는 제1 계조보다 낮은 계조를 나타낼 수 있다. 다른 실시예에서, 표시 패널이 노멀 화이트인 경우, 제1 계조는 최저 계조를 나타내고, 제2 계조는 제1 계조보다 높은 계조를 나타낼 수 있다. 표시 패널에 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압이 공급되는 경우, 표시 패널에 그레이 영상이 표시될 수 있다. 제2 데이터 전압은 제1 전압 레벨보다 낮은 제3 전압 레벨과 제2 전압 레벨보다 높은 제4 전압 레벨 사이를 스윙할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 표시 패널을 촬영하여 제3 검사 영상을 검출(S800)할 수 있다. 제2 데이터 전압이 콘택 노이즈를 보상하는 보상 데이터에 기초하여 생성되므로, 제1 프로브 핀들과 제2 프로브 핀들의 접촉 불량으로 인해 공통 전압 라인과 데이터 라인 간에 쇼트가 발생하더라도, 제3 검사 영상은 표시 패널의 불량만을 포함할 수 있다.

표시 패널의 검사 방법은 제3 검사 영상에 기초하여 표시 패널의 불량을 검출(S900)할 수 있다. 표시 패널의 검사 방법은 제3 검사 영상으로부터 콘택 노이즈가 제거된 불량들(예를 들어, 라인 불량, 화소 불량, 얼룩 불량 등)을 검출할 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 표시 패널의 검사 방법은 공통 전압의 전압 레벨을 변경하여 제1 검사 영상 및 제2 검사 영상으로부터 콘택 노이즈를 보상하는 보상 데이터를 생성하고, 콘택 노이즈가 보상된 제3 검사 영상으로부터 표시 패널의 불량(DEFECT)을 검출함으로써, 표시 패널의 불량을 정확하게 검출할 수 있다.

본 발명은 표시 장치를 구비한 모든 전자 기기에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 텔레비전, 컴퓨터 모니터, 노트북, 디지털 카메라, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 타블렛 PC, 피디에이(PDA), 피엠피(PMP), MP3 플레이어, 네비게이션, 비디오폰, 헤드 마운트 디스플레이(Head Mount Display; HMD) 장치 등에 적용될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100: 표시 패널의 검사 장치 110: 콘택부
112: 제1 프로브 핀 114: 제2 프로브 핀
120: 신호 발생부 130: 전원 생성부
140: 불량 검출부 142: 비전 카메라
144: 제1 불량 검출부 146: 제2 불량 검출부
200: 표시 패널 210: 데이터 패드
215: 공통 전압 패드

Claims

표시 패널의 데이터 패드에 접촉하는 제1 프로브 핀들 및 공통 전압 패드에 접촉하는 제2 프로브 핀들을 포함하는 콘택부;
상기 제1 프로브 핀들과 연결되고, 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압 및 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 생성하는 신호 발생부;
상기 제2 프로브 핀들과 연결되고, 제1 공통 전압 및 상기 제1 공통 전압과 전압 레벨이 상이한 제2 공통 전압을 생성하는 전원 생성부; 및
상기 제1 프로브 핀들 및 상기 제2 프로브 핀들의 접촉 불량으로 인해 발생하는 콘택 노이즈(noise)를 제거하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 불량 검출부를 포함하고,
상기 불량 검출부는 상기 콘택부를 통해 상기 표시 패널에 상기 제1 데이터 전압 및 상기 제1 공통 전압이 공급되는 경우, 검출되는 제1 검사 영상, 상기 콘택부를 통해 상기 표시 패널에 상기 제1 데이터 전압 및 상기 제2 공통 전압이 공급되는 경우 검출되는 제2 검사 영상 및 상기 콘택부를 통해 상기 표시 패널에 상기 제2 데이터 전압 및 상기 제1 공통 전압이 공급되는 경우 검출되는 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
삭제
제1 항에 있어서, 상기 제1 검사 영상은 상기 표시 패널의 불량 및 상기 콘택 노이즈를 포함하고, 상기 제2 검사 영상은 상기 표시 패널의 불량을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 불량 검출부는 상기 제1 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량 및 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량의 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 불량 검출부는 상기 제1 검사 영상 및 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 제1 검사 영상의 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 상기 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터를 생성하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제5 항에 있어서, 상기 불량 검출부는 상기 보상 데이터를 상기 신호 발생부에 제공하고, 상기 신호 발생부는 상기 보상 데이터에 기초하여 상기 제2 계조에 대응하는 상기 제2 데이터 전압을 생성하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 불량 검출부는 상기 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 불량 검출부는
상기 표시 패널을 촬영하여 상기 제1 검사 영상, 상기 제2 검사 영상 및 상기 제3 검사 영상을 검출하는 비전(vision) 카메라;
상기 제1 검사 영상 및 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 콘택 노이즈의 위치 및 휘도를 검출하고, 상기 제1 검사 영상의 상기 콘택 노이즈를 보상하는 보상 데이터를 생성하며, 상기 보상 데이터를 상기 신호 발생부로 출력하는 제1 불량 검출부; 및
상기 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 제2 불량 검출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 제1 데이터 전압은 제1 전압 레벨과 상기 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙하고, 상기 제1 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨과 상기 제2 전압 레벨 사이의 전압 레벨을 가지며, 상기 제2 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨보다 높은 전압 레벨을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제9 항에 있어서, 상기 제2 공통 전압과 상기 제1 데이터 전압의 상기 제1 전압 레벨의 차는 상기 제1 데이터 전압의 상기 제1 전압 레벨과 상기 제1 공통 전압의 차보다 크거나 같은 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 표시 패널이 노멀 블랙(normal black)인 경우, 상기 제1 계조는 최고 계조를 나타내고, 상기 제2 계조는 상기 제1 계조 보다 낮은 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
제1 항에 있어서, 상기 표시 패널이 노멀 화이트(normal white)인 경우, 상기 제1 계조는 최저 계조를 나타내고, 상기 제2 계조는 상기 제1 계조 보다 높은 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 장치.
표시 패널의 데이터 패드에 제1 프로브 핀들을 통해 제1 계조에 대응하는 제1 데이터 전압을 제공하고, 상기 표시 패널의 공통 전압 패드에 제2 프로브 핀들을 통해 제1 공통 전압을 제공하는 단계;
상기 표시 패널을 촬영하여 제1 검사 영상을 검출하는 단계;
상기 데이터 패드에 상기 제1 프로브 핀들을 통해 상기 제1 데이터 전압을 제공하고, 상기 공통 전압 패드에 상기 제2 프로브 핀들을 통해 상기 제1 공통 전압과 전압 레벨이 상이한 제2 공통 전압을 제공하는 단계;
상기 표시 패널을 촬영하여 제2 검사 영상을 검출하는 단계;
상기 제1 검사 영상 및 상기 제2 검사 영상에 기초하여 상기 제1 프로브 핀들과 상기 제2 프로브 핀들의 접촉으로 인해 발생하는 콘택 노이즈(noise)의 위치 및 휘도를 검출하는 단계;
상기 콘택 노이즈의 휘도를 보상하는 보상 데이터를 생성하는 단계;
상기 데이터 패드에 상기 제1 프로브 핀들을 통해 상기 보상 데이터에 기초하여 생성되고, 제2 계조에 대응하는 제2 데이터 전압을 제공하고, 상기 공통 전압 패드에 상기 제2 프로브 핀들을 통해 상기 제1 공통 전압을 제공하는 단계;
상기 표시 패널을 촬영하여 제3 검사 영상을 검출하는 단계; 및
상기 제3 검사 영상에 기초하여 상기 표시 패널의 불량을 검출하는 단계를 포함하는 표시 패널의 검사 방법.
제13 항에 있어서, 상기 제1 데이터 전압은 제1 전압 레벨과 상기 제1 전압 레벨보다 낮은 제2 전압 레벨 사이를 스윙하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제14 항에 있어서, 상기 제1 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨과 상기 제2 전압 레벨 사이의 전압 레벨을 가지는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제15 항에 있어서, 상기 제2 공통 전압은 상기 제1 전압 레벨보다 높은 전압 레벨을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제16 항에 있어서, 상기 제2 공통 전압과 상기 제1 데이터 전압의 상기 제1 전압 레벨의 차는 상기 제1 데이터 전압의 상기 제1 전압 레벨과 상기 제1 공통 전압의 차보다 크거나 같은 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제13 항에 있어서, 상기 표시 패널이 노멀 블랙(normal black)인 경우, 상기 제1 계조는 최고 계조를 나타내고, 상기 제2 계조는 상기 제1 계조 보다 낮은 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제13 항에 있어서, 상기 표시 패널이 노멀 화이트(normal white)인 경우, 상기 제1 계조는 최저 계조를 나타내고, 상기 제2 계조는 상기 제1 계조 보다 높은 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.
제13 항에 있어서, 상기 제1 검사 영상은 상기 표시 패널의 불량 및 상기 콘택 노이즈를 포함하고, 상기 제2 검사 영상은 상기 콘택 노이즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 검사 방법.