KR102578737B1 - 표시 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 평판표시장치에 관한 것으로, 표시 영역 및 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역을 포함하는 기판, 상기 기판의 표시 영역에 배치되며 화상을 표시하는 표시부, 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 상기 표시부를 구동하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제1 패드, 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제2 패드, 및 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 정렬도를 확인하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제3 패드를 포함하며, 상기 복수의 제3 패드 중 적어도 두 개의 패드 사이에 저항이 연결된다.

Description

표시 장치 {DISPLAY DEVICE}
본 발명의 실시예는 평판표시장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사용 패드를 구비하는 평판표시장치에 관한 것이다.
액정표시장치(LCD)나 유기전계발광 표시장치(OLED)와 같은 평판표시장치는 두께가 얇고 무게가 가볍기 때문에 사용 범위가 확대되고 있다.
최근 들어, 사용자의 요구에 맞춰 터치 감지부를 구비하는 평판표시장치가 도입되고 있다.
이러한 평판표시장치는 구조 및 기능이 복잡하고 가격이 비싸기 때문에 제조과정에서 불량을 조기에 발견하는 것이 중요하다.
평판표시장치의 제조과정에서 불량을 검사할 수 있는 여러 가지의 기술들이 도입되었으나, 검사 시간은 감소시키고 정확도는 높일 수 있는 기술의 개발이 필요한 실정이다.
본 발명의 실시예의 목적은 검사장치의 프로브와 검사용 패드의 오정렬을 비교적 용이하고 정확하게 검출할 수 있도록 한 평판표시장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 실시예의 다른 목적은 검사장치의 프로브와 검사용 패드의 오정렬을 효과적으로 검출함으로써 불량률이 낮아질 수 있는 평판표시장치를 제공하는 데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 평판표시장치는 표시 영역 및 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역을 포함하는 기판, 상기 기판의 표시 영역에 배치되며 화상을 표시하는 표시부, 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 상기 표시부를 구동하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제1 패드, 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제2 패드, 및 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 정렬도를 확인하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제3 패드를 포함하며, 상기 복수의 제3 패드 중 적어도 두 개의 패드 사이에 저항이 연결된다.
상기 표시부는 제1 방향으로 배열된 복수의 주사선, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열된 복수의 데이터선, 및 상기 복수의 주사선과 상기 복수의 데이터선에 연결된 복수의 화소를 포함하고, 상기 복수의 화소 각각은 발광 소자, 및 상기 발광 소자에 연결된 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다.
상기 표시부는 터치 감지부를 더 포함하고, 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호는 상기 터치 감지부의 불량을 감지하기 위한 신호를 포함할 수 있다.
상기 복수의 제3 패드는 상기 복수의 제2 패드의 양측부에 나누어 배치될 수 있다. 또는 상기 복수의 제3 패드는 두 개의 그룹으로 이루어지고, 상기 두 개의 그룹의 복수의 제3 패드는 상기 복수의 제2 패드 사이에 서로 이격되어 배치될 수 있다.
상기 복수의 제2 패드 및 상기 복수의 제3 패드에 검사장치의 복수의 프로브가 각각 접촉되고, 상기 저항은 상기 검사장치의 상기 프로브보다 큰 저항값을 가질 수 있다.
상기 복수의 제3 패드 중 적어도 두 개의 패드는 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 입력되는 패드 및 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 출력되는 패드일 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 일 측면에 따른 평판표시장치는 표시 영역 및 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역을 포함하는 기판, 상기 기판의 표시 영역에 배치되며 화상을 표시하는 표시부, 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 상기 표시부 방향으로 연장된 복수의 구동 신호선에 각각 연결된 복수의 제1 패드, 상기 기판의 비표시 영역에 배치되며 상기 표시부 방향으로 연장된 복수의 검사 신호선에 각각 연결된 복수의 제2 패드, 및 상기 기판의 비표시 영역에 배치되는 복수의 제3 패드를 포함하며, 상기 복수의 제3 패드 중 적어도 두 개의 패드 사이에 저항이 연결된다.
상기 복수의 제3 패드는 상기 복수의 제2 패드의 양측부에 나누어 배치될 수 있다. 또는 상기 복수의 제3 패드는 두 개의 그룹으로 이루어지고, 상기 두 개의 그룹의 복수의 제3 패드는 상기 복수의 제2 패드 사이에 서로 이격되어 배치될 수 있다.
상기 복수의 제2 패드에 검사장치의 복수의 프로브가 각각 접촉되어 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호가 제공될 수 있다.
상기 표시부는 터치 감지부를 더 포함하고, 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호는 상기 터치 감지부의 불량을 감지하기 위한 신호를 포함할 수 있다.
상기 복수의 제3 패드에 검사장치의 복수의 프로브가 각각 접촉되어 정렬도를 확인하기 위한 신호가 제공될 수 있다.
상기 복수의 제3 패드 중 적어도 두 개의 패드는 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 입력되는 패드 및 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 출력되는 패드일 수 있다.
상기 저항은 상기 검사장치의 상기 프로브보다 큰 저항값을 가질 수 있다.
상기 복수의 검사 신호선은 레이저의 조사에 의해 단선된 자국을 구비할 수 있다.
상기 복수의 제2 패드 및 상기 복수의 제3 패드는 상기 기판의 일 변을 따라 일정한 간격으로 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 평판표시장치는 제조과정에서 표시부 및 터치 감지부의 불량을 검사할 수 있도록 검사용 패드가 구비된다. 상기 검사용 패드는 검사장치의 프로브와 검사용 패드의 정렬도를 확인하기 위한 패드들을 구비하며, 상기 패드들 사이에 저항이 연결된다. 상기 저항에 의해 미세한 오정렬도 비교적 용이하고 정확하게 검출할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 상기 패드들의 배치구조를 개선함으로써 오정렬을 효과적으로 검출하여 불량율이 낮아지도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치의 평면도이다.
도 2는 도 1의 X1-X2 부분을 절취한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 화소를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4는 인쇄회로기판의 일 예를 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 검사장치의 일 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예를 설명하기 위한 제2 및 제3 패드부의 평면도이다.
도 9 내지 도 12는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 제2 및 제3 패드부의 평면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 제2 및 제3 패드부의 평면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 실시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서, 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미로 사용되지 않으며, 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하는 목적으로 사용된다. 또한, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다.
어떤 실시예가 다르게 구현 가능한 경우에 공정순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 수행되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 수행될 수 있다.
또한, 실시예에서 층, 영역, 구성요소 등이 연결되었다고 할 때, 층, 영역, 구성요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 층, 영역, 구성요소들 중간에 다른 층, 영역, 구성요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함할 수 있다. 예를 들어, 층, 영역, 구성요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 층, 영역, 구성요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 층, 영역, 구성요소 등이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함할 수 있다.
도면에 도시된 구성요소들의 크기는 설명의 편의를 위해 과장 또는 축소될 수 있다. 예를 들어, 각 구성요소의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시장치의 평면도이다. 도 2는 도 1의 X1-X2 부분을 절취한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 평판표시장치는 화상을 표시하는 표시부(120a)를 포함한다.
표시부(120a)는 화소 어레이(121)를 포함할 수 있다. 또한, 표시부(120a)는 사용자가 화면을 터치하여 명령을 입력할 수 있는 터치 감지부(220)를 더 포함할 수 있다. 터치 감지부(220)는 상기 터치된 위치를 감지하기 위한 복수의 감지 전극과, 상기 복수의 감지 전극에 연결된 복수의 감지 신호선을 포함할 수 있다.
화소 어레이(121)는 제1 기판(100)과 제2 기판(200) 사이에 배치되며 밀봉재(260)로 밀봉될 수 있다. 터치 감지부(220)는 화소 어레이(121)와 중첩되도록 제2 기판(200)의 일면에 배치될 수 있다. 제2 기판(200) 대신 박막 형태의 봉지막(도시안됨)이 사용될 수 있다.
제1 기판(100) 및 제 2 기판(200)은 판 형태의 유리, 석영 및 플라스틱 등으로 이루어진 경성의 기판이거나, 필름 형태의 플라스틱 등으로 이루어진 가요성 기판일 수 있다.
제1 기판(100)은 표시 영역(120)과, 표시 영역(120) 주변의 비표시 영역(140)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 비표시 영역(140)은 표시 영역(120)을 둘러싸는 영역으로 정의될 수 있다.
제1 기판(100)의 표시 영역(120)에는 화상을 표시하는 화소 어레이(121)가 배치된다.
화소 어레이(121)는 제1 방향으로 배열된 복수의 주사선(122), 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 배열된 복수의 데이터선(124) 및 복수의 주사선(122)과 복수의 데이터선(124)에 연결된 복수의 화소(125)를 포함할 수 있다. 복수의 화소(125)는 예를 들어, 매트릭스(matrix) 형태로 배열될 수 있다.
복수의 화소(125) 각각은 발광 소자 및 상기 발광 소자를 구동하기 위한 화소 회로를 포함할 수 있다. 상기 화소 회로는 상기 발광 소자로 신호를 전달하기 위한 박막 트랜지스터 및 상기 신호를 유지시키기 위한 캐패시터를 포함할 수 있다.
도 3은 화소(125)의 일 예를 설명하기 위한 단면도이다.
화소(125)는 제1 기판(100)의 표시 영역(120)에 배치된다.
제1 기판(100) 상에 외기의 침투를 차단하고 표면을 평탄화시키는 버퍼층(10)이 제공되고, 버퍼층(10) 상에 박막 트랜지스터(20)가 배치될 수 있다.
박막 트랜지스터(20)는 소스 및 드레인 영역과 채널 영역을 제공하는 반도체층(21), 상기 채널 영역의 반도체층(21) 상부에 배치되며 게이트 절연층(22)에 의해 반도체층(21)과 전기적으로 절연되는 게이트 전극(23), 그리고 상기 소스 및 드레인 영역의 반도체층(21)과 전기적으로 연결되는 소스 및 드레인 전극(26)을 포함한다.
소스 및 드레인 전극(26)은 층간 절연층(24)에 형성된 콘택홀을 통해 소스 및 드레인 영역의 반도체층(21)과 전기적으로 연결될 수 있다.
층간 절연층(24)은 제1 층간 절연층(24a)과, 제1 층간 절연층(24a) 상부에 배치되는 제2 층간 절연층(24b)을 포함할 수 있다.
캐패시터는 제1 층간 절연층(24a)과 제2 층간 절연층(24b) 사이에 게이트 전극(23)과 중첩되도록 배치된 캐패시터 전극(25)을 포함할 수 있다. 서로 중첩되도록 배치된 게이트 전극(23), 제1 층간 절연층(24a) 및 캐패시터 전극(25)에 의해 캐패시터(capacitor)가 제공될 수 있다.
발광 소자(40)는 박막 트랜지스터(20) 및 캐패시터를 포함하는 상부에 배치될 수 있다. 발광 소자(40)는 예를 들어, 유기발광 다이오드(organic light emitting diode, OLED)를 포함할 수 있다.
박막 트랜지스터(20) 및 캐패시터를 포함하는 기판(100) 상에 평탄화층(30)이 제공되고, 평탄화층(30)에 형성된 비아홀을 통해 소스 또는 드레인 전극(26)과 연결되도록 예를 들어, 애노드 전극으로서, 제1 전극(41)이 배치된다.
제1 전극(41)을 포함하는 평탄화층(30) 상에 발광 영역의 제1 전극(41)이 노출되도록 화소 정의막(42)이 제공되고, 노출된 제1 전극(41) 상에 유기 박막층(43)이 제공된다.
유기 박막층(43)은 정공 주입층, 정공 수송층, 유기 발광층, 전자 수송층 및 전자 주입층을 포함할 수 있으며, 보조층이나 중간층을 더 포함할 수 있다.
유기 박막층(43)을 포함하는 화소 정의막(42) 상에 예를 들어, 캐소드 전극으로서, 제2 전극(44)이 배치된다.
상기 실시예에서는 유기전계발광 표시장치를 예로 들어 설명하였으나, 상기 평판표시장치는 액정표시장치로도 구현이 가능함은 물론이다.
제1 기판(100)의 비표시 영역(140)에는 외부로부터 표시부(120a)를 구동하기 위한 신호가 제공되는 제1 패드부(142), 외부로부터 표시부(120a)의 불량을 검사하기 위한 신호가 제공되는 제2 패드부(144) 및 외부로부터 정렬도를 확인하기 위한 신호가 제공되는 제3 패드부(146)가 배치된다.
제1 패드부(142)는 외부로부터 제공되는 신호가 표시부(120a)로 용이하게 제공될 수 있도록 기판(100)의 가장자리와 인접하게 배치되는 것이 바람직하다. 제1 패드부(142)는 화상을 표시하기 위한 여러 가지의 신호, 예를 들어, 주사 신호, 데이터 신호, 구동 전압 등이 제공되는 복수의 제1 패드(142a)를 포함할 수 있다.
복수의 제1 패드(142a)는 표시부(120a) 방향으로 연장된 복수의 구동 신호선(143)을 통해 표시부(120a)에 전기적으로 연결될 수 있다.
도 4는 제1 패드부(142)에 전기적으로 연결되는 인쇄회로기판(300)의 일 예를 설명하기 위한 평면도이다.
인쇄회로기판(300)에는 복수의 제1 패드(142a)에 대응하도록 복수의 패드(320)가 구비되며, 복수의 패드(320)가 복수의 제1 패드(142a)에 각각 대응하도록 인쇄회로기판(300)이 제1 패드부(142)에 전기적으로 연결될 수 있다.
제2 패드부(144)는 외부로부터 제공되는 검사장치의 프로브(probe)와 접촉이 용이하도록 기판(100)의 가장자리에 배치되는 것이 바람직하며, 여러 가지의 검사 신호가 제공되는 복수의 제2 패드(144a)를 포함할 수 있다. 복수의 제2 패드(144a)는 표시부(120a) 방향으로 연장된 복수의 검사 신호선(145)을 통해 표시부(120a)에 전기적으로 연결될 수 있다.
제3 패드부(146)는 상기 검사장치의 프로브와 복수의 제2 패드(144a)의 정렬도를 확인하기 위한 것으로, 제2 패드부(144)와 인접하도록 배치되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 제2 패드부(144) 및 제3 패드부(146)는 제1 기판(100)의 일 변을 따라 일정한 간격으로 배치될 수 있다. 제3 패드부(146)는 복수의 제3 패드(146a)를 포함할 수 있다.
도 5는 제2 패드부(144) 및 제3 패드부(146)에 전기적으로 연결되는 검사장치(400)의 일 예를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
검사장치(400)에는 복수의 제2 패드(144a) 및 복수의 제3 패드(146a)와 대응하도록 복수의 프로브(420 및 440)가 구비된다. 복수의 프로브(420 및 440)가 복수의 제2 패드(144a) 및 복수의 제3 패드(146a)에 각각 대응하도록 검사장치(400)가 제2 패드부(144) 및 제3 패드부(146)에 접촉될 수 있다.
검사장치(400)는 정렬도를 확인하기 위한 신호, 표시부(120a)의 불량을 검사하기 위한 신호 등을 출력하거나, 프로브(440)를 통해 검출되는 신호에 따라 여러 가지 검사 동작을 제어하는 제어부(460)를 포함할 수 있다.
도 6은 제3 패드부(146)를 보다 상세하게 설명하기 위한 평면도이다.
제3 패드부(146)는 예를 들어, 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 입력되는 제3 패드(146a-1), 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 출력되는 제3 패드(146a-2) 및 기준 신호가 인가되는 제3 패드(146a-3)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 입력되는 제3 패드(146a-1)와 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 출력되는 제3 패드(146a-2) 사이에 저항(R)이 연결될 수 있다.
도 6은 제3 패드부(146)가 세 개의 제3 패드(146a-1, 146a-2 및 146a-3)로 이루어진 구성을 도시하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 제3 패드의 개수는 필요에 따라 증가될 수 있다.
제1 패드부(142)와 구동 신호선(143), 제2 패드부(144)와 검사 신호선(145), 그리고 제3 패드부(146)와 저항(R)을 연결하는 신호선은 예를 들어, 박막 트랜지스터(20)의 전극(23, 25 및 26)을 형성하는 과정에서 형성될 수 있다.
저항(R)은 박막 트랜지스터(20)의 반도체층(21)을 제조하는 과정에서 형성될 수 있다. 예를 들어, 반도체층(21)의 소스 및 드레인 영역을 형성하는 과정에서 도핑되는 불순물의 농도를 제어하여 저항값을 조절할 수 있다.
또한, 제1 기판(100)의 비표시 영역(140)에는 표시부(120a)를 구동하기 위한 적어도 하나의 구동 회로부가 배치될 수 있다. 상기 구동 회로부는 표시부(120a)를 제조하는 과정에서 제1 기판(100)의 비표시 영역(140)에 제조되거나, 별도의 반도체 집적회로(I.C) 칩(chip)으로 제작되어 제1 기판(100)의 비표시 영역(140)에 실장될 수 있다.
다른 실시예로서, 적어도 하나의 구동 회로부는 인쇄회로기판(300)과 같은 형태로 평판표시장치의 외부에서 제공되며, 제1 패드부(142)를 통해 표시부(120a)에 전기적으로 연결될 수 있다.
도 1에는 적어도 하나의 구동 회로부로서, 주사 구동부(160)만을 도시하였다. 주사 구동부(160)는 입력단자 및 출력단자가 제1 패드부(142) 및 주사선(122)에 각각 전기적으로 연결된다.
이 경우 데이터 구동부(340)는 도 4에 도시된 바와 같이, 별도의 연성회로기판(300)에 구비될 수 있다. 연성회로기판(300)의 복수의 패드(320)가 평판표시장치의 복수의 제1 패드(142a)에 전기적으로 연결됨으로써 데이터 구동부(340)가 구동 신호선(143)을 통해 데이터선(124)에 전기적으로 연결될 수 있다.
또 다른 실시예로서, 표시부(120a)와 복수의 제1 패드(142a) 사이에 데이터 구동부가 실장될 수 있다. 이 경우 구동 신호선(143)의 중간 부분이 단선되고, 데이터 구동부의 입력단자 및 출력단자가 상기 단선된 양단에 각각 전기적으로 연결될 수 있다.
상기 평판표시장치는 제어부(도시안됨)를 포함할 수 있다. 상기 제어부는 외부에서 영상 신호를 입력받고, 데이터 신호를 생성하여 데이터 구동부(340)로 제공할 수 있다. 또한, 상기 제어부는 외부에서 동기 신호 및 클럭 신호를 입력받고, 제어 신호를 생성하여 주사 구동부(160) 및 데이터 구동부(340)로 제공할 수 있다.
주사선(122)을 통해 제공되는 주사 신호에 의해 화소(125)가 선택되고, 데이터선(124)을 통해 제공되는 데이터 신호에 따라 화소(125)를 통해 흐르는 전류가 제어됨으로써 각 화소(125)는 상기 데이터 신호에 대응하는 소정 휘도의 빛을 발광할 수 있다.
상기와 같이 구성된 평판표시장치의 제조 과정에는 표시부(120a)의 불량을 검사하기 위한 단계가 포함될 수 있다.
표시부(120a)의 불량을 검사하기 위해 평판표시장치의 제2 패드부(144) 및 제3 패드부(146) 상에 프로브(420 및 440)가 대응되도록 검사장치(400)를 이동하고, 프로브(420 및 440)를 하강시켜 제2 패드부(144) 및 제3 패드부(146)와 압착되도록 한다.
상기 검사를 실시하기 전에 검사장치(400)의 프로브(420)와 복수의 제2 패드(144a)의 정렬도를 확인해야 한다.
프로브(420)와 제2 패드(144a)가 오정렬될 경우 검사 과정에서 전기적인 신호가 잘못 인가됨으로써 표시부(120a)의 불량이 야기될 수 있다.
상기 정렬도는 검사장치(400)의 프로브(440)와 복수의 제3 패드(146a)의 정렬도를 검사함으로써 확인될 수 있다.
도 6을 다시 참조하면, 제3 패드(146a-1)에 검사장치(400)의 프로브(440-1)가 접촉되고, 제3 패드(146a-2)에 검사장치(400)의 프로브(440-2)가 접촉되고, 제3 패드(146a-3)에 검사장치(400)의 프로브(440-3)가 접촉된 상태에서 프로브(440-1)를 통해 정렬도를 확인하기 위한 검사 신호로서, 예를 들어, +5V의 전압을 인가하고, 프로브(440-3)를 통해 기준 신호로서, 예를 들어, 접지 전압을 인가할 수 있다.
프로브(440-1)를 통해 인가된 상기 검사 신호는 제3 패드(146a-1), 저항(R) 및 제3 패드(146a-2)를 통해 프로브(440-2)에 의해 검출될 수 있다. 프로브(440-2)에는 저항(R)에 의해 강하된 전압이 검출될 수 있다.
예를 들어, 검사장치(400)의 제어부(460)는 프로브(440-1)를 통해 인가된 +5V의 전압과 프로브(440-2)에 의해 검출된 전압(예를 들어, +4.7V)을 비교하고, 비교된 결과값을 기준값(예를 들어, +4.5V)과 비교함으로써 정렬 또는 오정렬을 판정할 수 있다. 예를 들어, 상기 비교된 결과값이 상기 기준값보다 낮을 경우 오정렬로 판단할 수 있다.
예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브(440)가 우측으로 오정렬된 경우에는 프로브(440-2)에 의해 전압이 검출되지 않기 때문에 오정렬을 판정할 수 있다. 반대로, 프로브(440)가 좌측으로 오정렬될 경우에도 프로브(440-2)에 의해 전압이 검출되지 않기 때문에 오정렬을 판정할 수 있다.
또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 프로브(440-1, 440-2 및 440-3)의 오정렬로 인해 제3 패드(146a-1, 146a-2 및 146a-3)가 모두 전기적으로 단락된 경우에는 프로브(440-2)를 통해 상기 접지 전압이 검출될 수 있기 때문에 오정렬로 판정할 수 있다.
상기와 같은 과정을 거쳐 검사장치(400)의 프로브(440)와 평판표시장치의 제3 패드부(146)의 정렬도가 확인되면 검사장치(400)의 프로브(420)와 평판표시장치의 제2 패드부(144)의 정렬이 정확하게 이루어진 것으로 볼 수 있다.
이 후 검사장치(400)는 프로브(420)를 통해 평판표시장치의 제2 패드부(144)로 표시부(120a)의 불량을 검사하기 위한 신호를 제공할 수 있다. 표시부(120a)에 표시되는 화상을 검사함으로써 불량 유무를 파악할 수 있다.
또한, 표시부(120a)의 불량을 검사하기 위한 신호는 터치 감지부(220)의 불량을 감지하기 위한 신호를 포함할 수 있다. 이 경우 터치 입력을 통해 터치 감지부(220)의 불량 유무도 함께 파악할 수 있다.
상기와 같은 검사 과정이 완료되면 제2 패드부(144)의 복수의 제2 패드(144a)에 연결된 검사 신호선(145)을 단선시켜 복수의 제2 패드(144a)와 표시부(120a)의 전기적인 연결이 차단되도록 할 수 있다. 예를 들어, 검사 신호선(145)의 소정 부분에 레이저를 조사하여 단선시킬 수 있다. 이 경우 검사 신호선(145)에 레이저의 조사에 의해 단선된 자국(Y1-Y2)이 잔류될 수 있다.
본 발명은 다른 실시예로서, 제3 패드부(146)의 복수의 제3 패드(146a)를 제2 패드부(144)의 양측부에 나누어 배치할 수 있다.
도 9 내지 12는 본 발명의 다른 실시예를 설명하기 위한 제2 및 제3 패드부(144 및 146)의 평면도이다.
도 9를 참조하면, 하나의 제3 패드(146a-1)는 제2 패드부(144)의 좌측에 배치되고, 두 개의 제3 패드(146-2 및 146-3)는 제2 패드부(144)의 우측에 배치될 수 있다. 이 경우 검사장치(400)의 프로브(440-1, 440-2 및 440-3)도 제3 패드(146a-1, 146a-2 및 146a-3)에 각각 대응되도록 배치되어야 한다.
도 10은 프로브(440)가 우측으로 오정렬된 경우를 도시하고, 도 11은 프로브(440)가 좌측으로 오정렬된 경우를 도시한다.
검사장치(400)의 프로브(440)와 복수의 제3 패드(146a)의 정렬도를 확인하는 과정은 도 6 내지 도 8의 설명과 같으므로 생략하기로 한다.
다만, 검사장치(400)의 프로브(440)와 복수의 제3 패드(146a)가 미세하게 오정렬된 경우, 예를 들어, 도 12에 도시된 바와 같이, 프로브(440)가 우측으로 미세하게 오정렬된 경우, 프로브(440-1, 440-2 및 440-3)와 제3 패드(146a-1, 146a-2 및 146a-3)는 각각 작은 면적으로 접촉될 수 있다.
제1 내지 제3 패드부(142, 144 및 146)는 박막 트랜지스터(20)의 전극(23, 25 및 26)을 형성하는 과정에서 함께 형성될 수 있다. 제1 내지 제3 패드부(142, 144 및 146)는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca, Mo, Ti, W 및 Cu를 포함하는 금속 또는 합금으로 형성되기 때문에 매우 작은 저항값을 갖는다. 이에 반해, 프로브(440)의 저항값은 매우 클 수 있다.
저항(R)이 생략되거나 저항값이 매우 작을 경우 프로브(440-1)를 통해 인가된 검사 신호(예를 들어, +5V)는 제3 패드(146a-2)를 통해 프로브(440-2)로 전달될 수 있다. 이 때 제3 패드(146a-2)와 프로브(440-2)는 작은 면적으로 접촉되기 때문에 소정의 접촉 저항이 작용하여 상기 접촉 저항만큼 강하된 전압이 검출되지만, 실질적으로, 거의 +5V에 근접한 전압이 검출될 수 있기 때문에 정렬로 판정될 수 있다.
하지만, 저항(R)이 프로브(440-2)의 자체 저항값보다 높은 저항값을 가질 경우에는 저항(R)과 상기 접촉 저항만큼 강하된 전압, 예를 들어, +4V 정도의 전압이 프로브(440-2)를 통해 검출될 수 있기 때문에 오정렬을 용이하게 검출할 수 있다. 저항(R)은 프로브(440-2)보다 높은 저항값을 가져야 하지만, 저항값이 과도하게 클 경우 과도한 전압 강하에 의해 정렬도를 정확하게 판정하기 어려울 수 있으므로 이를 고려하여 저항값을 설정해야 한다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예를 설명하기 위한 제2 및 제3 패드부(144 및 146)의 평면도이다.
검사장치(400)의 프로브(420 및 440)를 제2 및 제3 패드부(144 및 146)에 압착할 경우 위치에 따른 압착력의 차이 또는 제1 기판(100)의 재질에 따라 부분적으로 서로 다른 인장력이 작용할 수 있다. 이 경우 인장 정도에 따라 부분적으로 정렬도가 달라질 수 있다.
본 발명은 다른 실시예로서, 제3 패드부(146)의 복수의 제3 패드(146a)를 두 개의 그룹으로 배치하되, 상기 두 개의 그룹의 복수의 제3 패드(146a)를 제2 패드부(144)의 복수의 제2 패드(144a) 사이에 서로 이격되도록 나누어 배치할 수 있다.
도 13을 참조하면, 두 개의 그룹의 제3 패드부(146)가 제2 패드부(144) 내에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
두 개의 그룹의 제3 패드부(146)를 이용하여 각각 정렬도를 확인할 수 있기 때문에 부분적으로 정렬도가 다르더라도 오정렬을 정확하게 판정할 수 있다. 이로 인해 오정렬로 인한 불량률이 최소화될 수 있다.
이상에서와 같이 상세한 설명과 도면을 통해 본 발명의 최적의 실시예를 개시하였다. 용어들은 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
10: 버퍼층 20: 박막 트랜지스터
21: 반도체층 22: 게이트 절연층
23: 게이트 전극 24: 층간 절연층
24a: 제1 층간 절연층 24b: 제2 층간 절연층
25: 캐패시터 전극 26: 소스 및 드레인 전극
30: 평탄화층 40: 발광 소자
41: 제1 전극 42: 화소 정의막
43: 유기 박막층 44: 제2 전극
100: 제1 기판 120: 표시 영역
120a: 표시부 121: 화소 어레이
122: 주사선 124: 데이터선
125: 화소 140: 비표시 영역
142: 제1 패드부 142a: 제1 패드
143: 구동 신호선 144: 제2 패드부
144a: 제2 패드 145: 검사 신호선
146: 제3 패드부
146a, 146a-1, 146a-2, 146a-3: 제3 패드
160: 주사 구동부 200: 제2 기판
220: 터치 감지부 260: 밀봉재
300: 인쇄회로기판 320: 패드
340: 데이터 구동부 400: 검사장치
420, 440, 440-1, 440-2, 440-3: 프로브

Claims (10)

  1. 표시 영역 및 상기 표시 영역 주변의 비표시 영역을 포함하는 기판;
    상기 기판의 상기 표시 영역에 배치되며 화상을 표시하는 표시부;
    상기 기판의 상기 비표시 영역에 배치되며 상기 표시부로 연장된 복수의 구동 신호선과 각각 전기적으로 연결된 복수의 제1 패드;
    상기 기판의 상기 비표시 영역에 배치되며 외부로부터 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호가 제공되는 복수의 제2 패드; 및
    상기 기판의 상기 비표시 영역에 배치되는 복수의 제3 패드를 포함하며,
    복수의 상기 제3 패드는 제1 서브 패드, 제2 서브 패드, 및 상기 제1 서브 패드와 상기 제2 서브 패드 사이에 배치된 제3 서브 패드를 포함하고,
    상기 제1 서브 패드와 상기 제2 서브 패드는 연결선에 의해 전기적으로 연결되고,
    복수의 상기 제2 패드, 상기 제1 서브 패드, 상기 제2 서브 패드, 및 제3 서브 패드는 제1 방향으로 배열된 표시 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 표시부는
    상기 제1 방향으로 연장하는 복수의 주사선;
    상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하는 복수의 데이터선; 및
    복수의 상기 주사선과 복수의 상기 데이터선에 전기적으로 연결된 복수의 화소를 포함하고,
    복수의 상기 화소는 각각,
    발광 소자; 및
    상기 발광 소자에 연결된 박막 트랜지스터를 포함하는 표시 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 표시부는 터치 감지부를 더 포함하고, 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호는 상기 터치 감지부의 불량을 감지하기 위한 신호를 포함하는 표시 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 서브 패드, 상기 제2 서브 패드, 및 상기 연결선은 상기 제2 패드를 적어도 부분적으로 둘러싸는 표시 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    복수의 상기 제2 패드 및 복수의 상기 제3 패드에 검사 장치의 복수의 프로브가 각각 접촉되는 표시 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    복수의 상기 제3 패드는 외부로부터 정렬도를 확인하기 위한 신호가 제공되는 표시 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    복수의 상기 제3 패드 중 적어도 두 개의 패드는 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 입력되는 패드 및 상기 정렬도를 확인하기 위한 신호가 출력되는 패드인 표시 장치.
  8. 제1 항에 있어서,
    복수의 상기 제2 패드에 검사 장치의 복수의 프로브가 각각 접촉되어 상기 표시부의 불량을 검사하기 위한 신호가 제공되는 표시 장치.
  9. 제1 항에 있어서,
    복수의 상기 제3 패드에 검사 장치의 복수의 프로브가 각각 접촉되어 정렬도를 확인하기 위한 신호가 제공되는 표시 장치.
  10. 제1 항에 있어서,
    복수의 상기 제2 패드 및 복수의 상기 제3 패드는 상기 기판의 일 변을 따라 일정한 간격으로 배치된 표시 장치.
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