KR102568600B1 - 표시 장치, 이를 포함하는 적층 기판, 및 표시 장치 제조방법 - Google Patents

표시 장치, 이를 포함하는 적층 기판, 및 표시 장치 제조방법 Download PDF

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Abstract

표시 장치 제조 방법은 캐리어 기판을 제공하는 단계, 상기 캐리어 기판 위에 세정액에 용해되는 물질을 포함하는 용해층을 형성하는 단계, 상기 용해층의 상면 및 상기 용해층의 측면을 커버하는 커버층을 형성하는 단계, 상기 커버층 상에 베이스층을 포함하는 표시 패널을 형성하는 단계, 상기 용해층의 측면을 커버하는 상기 커버층의 일부를 제거하여 잔여부를 형성하는 단계, 상기 용해층에 세정액을 제공하여 상기 용해층을 제거하는 단계, 및 상기 표시 패널 및 상기 잔여부를 상기 캐리어 기판으로부터 분리하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

표시 장치, 이를 포함하는 적층 기판, 및 표시 장치 제조방법{DISPLAY DEVICE, STACKED SUBSTRATE INCLUDING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING THE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시 장치, 이를 포함하는 적층 기판, 및 표시 장치 제조방법에 관한 것이다.
표시 패널은 영상을 표시하여 사용자에게 정보를 제공한다. 표시 패널은 베이스 기판, 및 베이스 기판에 형성된 표시소자를 포함한다. 표시소자는 전기적 신호에 따라 영상을 생성할 수 있다.
표시 패널은 유연성을 가진 베이스 기판을 포함함으로써, 유연한 표시 패널로 제공될 수 있다. 유연한 표시 패널은 유연한 베이스 기판을 캐리어 기판에 제공하여 증착 또는 패터닝을 통해 베이스 기판 상에 표시 소자 등이 형성된 후, 캐리어 기판으로부터 베이스 기판을 분리하여 제공된다. 캐리어 기판과 베이스 기판을 분리하기 위해서, 레이저를 조사하는 공정 등이 사용될 수 있다.
본 발명은 레이저 조사 등의 공정을 추가하지 않고, 캐리어 기판으로부터 용이하게 분리될 수 있는 적층 기판 및 표시 장치 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 캐리어 기판으로부터 용이하게 분리되어 손상이 감소된 베이스층을 포함하는 표시 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은 캐리어 기판을 제공하는 단계, 상기 캐리어 기판 위에 세정액에 용해되는 물질을 포함하는 용해층을 형성하는 단계, 상기 용해층의 상면 및 상기 용해층의 측면을 커버하는 커버층을 형성하는 단계, 상기 커버층 상에 베이스층을 포함하는 표시 패널을 형성하는 단계, 상기 용해층의 측면을 커버하며, 상기 표시 패널 아래에 배치된 상기 커버층의 일부를 제거하여 잔여부를 형성하는 단계, 상기 용해층에 세정액을 제공하여 상기 용해층을 제거하는 단계, 및 상기 표시 패널 및 상기 잔여부를 상기 캐리어 기판으로부터 분리하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 용해층은 MoO3를 포함하고, 상기 커버층 및 상기 잔여부는 MoO2를 포함할 수 있다.
스퍼터링 공정을 이용하여 상기 용해층 및 상기 커버층을 형성할 수 있다.
상기 잔여부를 형성하는 단계는, 상기 커버층에 식각 용액을 제공하여, 상기 커버층을 식각하는 습식 식각 공정을 이용할 수 있다.
상기 용해층을 형성하는 단계에서, 복수의 용해층들을 형성하고, 상기 표시 패널을 형성하는 단계에서, 복수의 표시 패널들을 형성하고, 상기 표시 패널들은 상기 용해층들 위에 일대일 대응하여 배치될 수 있다.
상기 표시 패널들 사이의 경계를 커팅하여 상기 표시 패널들을 분리하는 커팅 단계를 더 포함하고, 상기 커팅 단계 이후, 상기 잔여부를 형성하는 단계에서 상기 용해층들 각각의 측면을 커버하는 상기 커버층의 일부를 식각하여 복수의 잔여부들을 형성할 수 있다.
상기 잔여부를 형성하는 단계에서 상기 용해층들 각각의 측면을 커버하는 상기 커버층의 일부를 식각하여 복수의 잔여부들을 형성하고, 상기 용해층들을 용해시켜, 상기 표시 패널들 및 상기 잔여부들을 상기 캐리어 기판으로 분리한 후, 상기 표시 패널들 사이의 경계를 커팅하여 상기 표시 패널들을 서로 분리하는 커팅 단계를 더 포함할 수 있다.
평면 상에서 상기 용해층들과 비중첩하는 캐리어 기판의 일 영역에는 관통홀들이 제공되고, 상기 잔여부를 식각하는 식각 용액은 상기 관통홀들을 통과하여 상기 용해층들 사이에 배치된 상기 커버층에 제공될 수 있다.
상기 캐리어 기판에는 관통홀들이 제공되고, 상기 캐리어 기판의 상면에 상기 관통홀들을 커버하는 하부 커버층을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 하부 커버층은 상기 캐리어 기판과 상기 용해층 사이에 배치되고, 상기 용해층은 상기 하부 커버층 및 상기 커버층에 의해 상기 용해층의 상면, 하면 및 측면들이 커버될 수 있다.
상기 커버층 및 상기 하부 커버층은 동일한 물질을 포함하고, 상기 커버층의 일부를 식각하여 상기 잔여부를 형성하는 단계에서, 평면 상에서 상기 관통홀들과 중첩하는 상기 하부 커버층의 일부도 함께 식각할 수 있다.
상기 용해층을 제거하는 단계에서, 상기 세정액은 상기 용해층의 상기 측면 및 상기 관통홀들 및 식각된 상기 하부 커버층의 일부를 통해 제공될 수 있다.
상기 베이스층은 평면 상에서 중심 영역과 상기 중심 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되고, 평면 상에서 상기 잔여부는 상기 중심 영역과 중첩하고, 상기 주변 영역과 비중첩할 수 있다.
상기 표시 패널을 형성하는 단계는 상기 커버층 상에 코팅 공정을 이용하여 상기 베이스층을 형성하는 단계, 상기 베이스층 위에 회로층을 형성하는 단계, 상기 회로층 위에 발광소자층을 형성하는 단계, 및 상기 발광소자층 위에 상기 발광소자층을 커버하는 박막 봉지층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 적층 기판은 캐리어 기판, 상기 캐리어 기판 위에 배치된 용해층, 상기 용해층 위에 배치되고, 상기 용해층의 상면 및 상기 용해층의 측면을 커버하는 커버층, 및 상기 커버층 위에 배치되며, 평면 상에서 중심 영역 및 상기 중심 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된 베이스층을 포함하는 표시 패널을 포함하고, 평면 상에서 상기 용해층은 상기 중심 영역과 중첩하고, 상기 주변 영역과 비중첩할 수 있다.
상기 캐리어 기판에는 복수의 관통홀들이 제공되고, 상기 복수의 관통홀들을 커버하며, 상기 캐리어 기판과 상기 용해층 사이에 배치된 하부 커버층을 더 포함할 수 있다.
상기 용해층 및 상기 표시 패널은 복수로 제공되고, 복수로 제공된 상기 용해층들은 서로 이격되어 제공되고, 상기 커버층은 상기 용해층들 각각의 상면 및 측면을 커버할 수 있다.
평면 상에서 상기 용해층들과 비중첩하는 상기 캐리어 기판의 일 영역에는 복수의 관통홀들이 제공될 수 있다.
상기 용해층은 MoO3를 포함하고, 상기 커버층은 MoO2를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치는 평면 상에서 중심 영역 및 상기 중심 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된 베이스층을 포함하는 표시 패널, 및 상기 표시 패널 아래에 배치되며, 상기 중심 영역과 중첩하고, 상기 주변 영역과 비중첩하는 잔여부를 포함할 수 있다.
상기 잔여부는 MoO2를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 레이저 등에 의한 손상이 없는 베이스층을 포함하는 표시 장치를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 베이스층을 캐리어 기판으로부터 용이하게 분리할 수 있는 적층 기판이 제공될 수 있어, 공정이 단순화될 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 레이저 조사 없이도 캐리어 기판으로부터 안정적으로 분리될 수 있어, 표시 장치 제조방법의 공정 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 도시한 사시도이다.
도 2a는 도 1에 도시된 표시 장치의 단면도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 표시 장치의 배면도이다.
도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 5a 내지 도 5i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 6a 내지 도 6i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 평면도이다.
도 7b는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 평면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다. 본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합 된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 표시 장치(DD)는 표시면(IS)을 통해 영상(IM)을 표시할 수 있다. 도 1에서는 표시면(IS)이 제1 방향(DR1) 및 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)이 정의하는 면과 평행한 것으로 도시하였다. 하지만, 이는 예시적인 것으로, 다른 실시예에서 표시 장치(미도시)의 표시면(미도시)은 휘어진 형상을 가질 수 있다.
표시면(IS)의 법선 방향, 즉 표시 장치(DD)의 두께 방향은 제3 방향(DR3)이 지시한다. 각 부재들의 전면(또는 상면)과 배면(또는 하면)은 제3 방향(DR3)에 의해 구분된다. 그러나, 제1 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)이 지시하는 방향은 상대적인 개념으로서 다른 방향으로 변환될 수 있다. 이하, 제1 내지 제3 방향들은 제1 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)이 각각 지시하는 방향으로 동일한 도면 부호를 참조한다.
도 1에서 표시 장치(DD)로 휴대용 전자 기기를 예시적으로 도시하였다. 하지만, 표시 장치(DD)는 텔레비전, 모니터, 또는 외부 광고판과 같은 대형 전자장치를 비롯하여, 퍼스널 컴퓨터, 노트북 컴퓨터, 개인 디지털 단말기, 자동차 네비게이션 유닛, 게임기, 스마트폰, 태블릿, 및 카메라와 같은 중소형 전자 장치 등에 사용될 수도 있다. 또한, 이것들은 단지 실시예로서 제시된 것들로서, 본 발명의 개념에서 벗어나지 않은 이상 다른 전자 기기에도 채용될 수 있다.
표시면(IS)은 영상(IM)이 표시되는 표시 영역(DA) 및 표시 영역(DA)에 인접한 비표시 영역(NDA)을 포함한다. 비표시 영역(NDA)은 영상이 표시되지 않는 영역이다. 도 1에는 영상(IM)의 일 예로 어플리케이션 아이콘들을 도시하였다. 일 예로써, 표시 영역(DA)은 사각 형상일 수 있다. 비표시 영역(NDA)은 표시 영역(DA)을 에워쌀 수 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 표시 영역(DA)의 형상과 비표시 영역(NDA)의 형상은 상대적으로 디자인될 수 있다. 또한, 표시 장치(DD)의 전면에 비표시 영역(NDA)이 존재하지 않을 수도 있다.
도 2a는 도 1에 도시된 표시 장치의 단면도이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 표시 장치의 배면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 표시 장치(DD)는 표시 패널(DP), 감지 유닛(SU), 및 잔여부(CL-1)를 포함할 수 있다.
표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 표시 패널(DP)은 유기발광 표시 패널 또는 퀀텀닷 발광 표시 패널일 수 있다. 유기발광 표시 패널의 발광층은 유기발광물질을 포함한다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷, 및 퀀텀로드를 포함한다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기발광 표시 패널로 설명된다.
표시 패널(DP)은 베이스층(BL), 회로층(ML), 발광소자층(EL), 및 박막 봉지층(ECL)을 포함한다.
베이스층(BL)은 절연 기판일 수 있다. 베이스층(BL)은 유연한 성질을 가질 수 있으며, 광학적으로 투명할 수 있다. 예를 들어, 베이스층(BL)은 플라스틱 기판, 유/무기 복합재료 기판, 또는 복수의 절연층들을 포함하는 적층 구조체일 수 있다. 베이스층(BL)은 폴리 이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에스테르(polyester), 및 폴리아크릴레이트(polyacrylate) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
회로층(ML)은 베이스층(BL) 위에 배치될 수 있다. 회로층(ML)은 복수의 절연층들, 복수의 도전층들 및 반도체층을 포함할 수 있다. 회로층(ML)의 복수의 도전층들은 신호라인들 또는 화소의 제어회로를 구성할 수 있다.
발광소자층(EL)은 표시 소자, 예컨대 유기발광 다이오드들을 포함한다. 다만, 이에 제한되는 것은 아니고, 표시 패널(DP)의 종류에 따라, 발광소자층(EL)은 무기발광 다이오드들 또는 유기-무기 하이브리드 발광 다이오드들을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(ECL)은 발광소자층(EL)을 밀봉한다. 박막 봉지층(ECL)은 적어도 하나의 절연층을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 봉지층(ECL)은 적어도 하나의 봉지 유기막 및 적어도 하나의 봉지 무기막을 포함할 수 있다.
봉지 무기막은 수분/산소로부터 발광소자층(EL)을 보호하고, 봉지 유기막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 발광소자층(EL)을 보호한다. 봉지 무기막은 실리콘 나이트라이드층, 실리콘 옥시 나이트라이드층, 실리콘 옥사이드층, 티타늄옥사이드층, 또는 알루미늄옥사이드층 등을 포함할 수 있고, 이에 특별히 제한되지 않는다. 봉지 유기막은 아크릴 계열 유기막을 포함할 수 있고, 특별히 제한되지 않는다.
박막 봉지층(ECL) 위에는 감지 유닛(SU)이 배치될 수 있다. 감지 유닛(SU)은 예컨대, 정전용량 방식으로 외부입력을 감지할 수 있다. 본 발명에서 감지 유닛(SU) 동작방식은 특별히 제한되지 않고, 본 발명의 일 실시예에서 감지 유닛(SU)은 전자기 유도방식 또는 압력 감지방식으로 외부입력을 감지할 수도 있다.
도 2a에서는 박막 봉지층(ECL) 위에 감지 유닛(SU)이 연속된 공정을 통해 직접 형성된 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 감지 유닛(SU)은 박막 봉지층(ECL)과 감지 유닛(SU) 사이에 제공되는 접착 부재(미도시)에 의해 결합될 수도 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에서, 표시 장치(DD)는 감지 유닛(SU)을 포함하지 않을 수도 있다.
잔여부(CL-1)는 베이스층(BL) 아래에 배치될 수 있다. 잔여부(CL-1)는 베이스층(BL)의 배면에 직접 접촉될 수 있다.
베이스층(BL)은 평면 상에서 중심 영역(CA)과 주변 영역(PA)으로 구분될 수 있다. 주변 영역(PA)은 중심 영역(CA)을 둘러싸는 영역일 수 있다. 평면 상에서, 잔여부(CL-1)는 중심 영역(CA)에 배치되고, 주변 영역(PA)에는 배치되지 않을 수 있다. 즉, 평면 상에서 잔여부(CL-1)의 면적은 베이스층(BL)의 면적보다 작을 수 있다.
잔여부(CL-1)는 금속 또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 잔여부(CL-1)는 Al, Mo, Ti, Ag, W, Ta, Nb, MoO2 등 건식 또는 습식 식각이 가능한 물질들 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예를 들어 기재한 것으로 이에 제한되지 않는다.
도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다. 이하, 도 3a 내지 도 3h를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 제조방법에 대해 설명한다.
도 3a 를 참조하면, 캐리어 기판(CS)이 제공된다. 캐리어 기판(CS)은 표시 장치(DD, 도 2a 참조)의 제조 공정에서 표시 장치(DD)의 구성들을 형성하는 공정 라인을 따라 이동하는 기판일 수 있다.
본 실시예에서, 캐리어 기판(CS)은 비교적 리지드한 성질을 가질 수 있으며, 절연성을 가질 수 있다. 캐리어 기판(CS)은 도 2a에 도시된 베이스층(BL)과 상이한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 캐리어 기판(CS)은 유리를 포함할 수 있다.
도 3b 및 도 3c를 참조하면, 캐리어 기판(CS) 위에 용해층(SL)을 형성한 후, 커버층(CL)을 형성할 수 있다.
용해층(SL)은 세정액과 반응하는 물질로 구성될 수 있다. 세정액은 예를 들어 초순수(De-Ionized water)일 수 있다. 용해층(SL)은 세정액에 용해되는 물질을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서, 용해층(SL)은 MoO3일 수 있다. 한편, 이는 예시적으로 기재한 것으로, 용해층(SL)은 세정액에 용해되는 물질이라면 다양한 실시예를 포함할 수 있으며 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다.
용해층(SL)의 두께는 제품 제작에 따른 속도를 고려하여 결정될 수 있다. 예를 들어, 용해층(SL)의 두께는 세정액에 의해 세정되는 속도를 고려하여 100 Å이하로 결정될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되는 것은 아니다.
용해층(SL)을 형성한 후, 용해층(SL)을 커버하는 커버층(CL)을 형성할 수 있다. 커버층(CL)은 용해층(SL)의 상면 및 용해층(SL)의 측면을 모두 커버할 수 있다. 즉, 용해층(SL)은 커버층(CL) 및 캐리어 기판(CS)에 의해 완전히 둘러싸일 수 있다. 커버층(CL)은 표시 패널(DP, 도 2a 참조)을 제조하는 공정 중의 세정 공정에 의해 용해층(SL)이 용해되는 것을 방지할 수 있다.
커버층(CL)은 금속 또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 커버층(CL)은 Al, Mo, Ti, Ag, W, Ta, Nb, MoO2 등 건식 또는 습식 식각이 가능한 물질들 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예를 들어 기재한 것으로, 커버층(CL)은 건식 식각이 가능한 물질 중 하나를 포함할 수 있다.
용해층(SL)이 MoO3를 포함하고, 커버층(CL)이 MoO2를 포함하는 경우, 용해층(SL)과 커버층(CL)을 형성하는 공정은 연속적으로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 용해층(SL)과 커버층(CL)은 스퍼터링 공정에 의해 형성될 수 있다. 이 경우, 스퍼터링 타켓은 동일한 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 용해층(SL) 및 커버층(CL)을 형성하는 공정이 보다 단순화될 수 있다.
용해층(SL)과 커버층(CL)을 형성하기 위해 사용되는 스퍼터링 타겟은 Mo일 수 있다. 용해층(SL) 및 커버층(CL)은 동일한 스퍼터링 타겟을 사용하며, 산소 분압을 조절하여 형성할 수 있다. 용해층(SL)을 형성할 때 산소 분압은 예를 들어 87퍼센트 이상일 수 있고, 커버층(CL)을 형성할 때의 산소 분압은 50 퍼센트 내지 85 퍼센트일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 스퍼터링 조건은 변경될 수 있다.
이후, 도 3d를 참조하면, 커버층(CL) 상에 베이스층(BL)을 형성한다. 베이스층(BL)은 유기막 및 무기막이 번갈아 적층된 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 유기막은 코팅 공정을 이용하여 형성할 수 있고, 무기막은 화학 기상 증착 공정을 이용하여 형성할 수 있다. 베이스층(BL)은 용해층(SL) 및 커버층(CL)을 사이에 두고 캐리어 기판(CS)으로부터 이격된다. 베이스층(BL)은 캐리어 기판(CS)과 비 접촉할 수 있다.
도 3e를 참조하면, 베이스층(BL) 위에 회로층(ML), 발광소자층(EL), 박막 봉지층(ECL), 및 감지 유닛(SU)을 형성 하여 적층 기판(SS)을 형성한다. 이에 따라, 적층 기판(SS)은 캐리어 기판(CS), 용해층(SL), 커버층(CL), 베이스층(BL), 회로층(ML), 발광소자층(EL), 박막 봉지층(ECL), 및 감지 유닛(SU)을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예를 들어 기재한 것으로, 감지 유닛(SU)은 생략될 수도 있다.
평면 상에서 용해층(SL)은 베이스층(BL)의 중심 영역(CA)과 중첩하고, 외곽 영역(PA)과 비중첩할 수 있다. 즉, 평면 상에서 표시 패널(DP)의 면적보다 용해층(SL)의 면적이 더 작다. 따라서, 커버층(CL)의 용해층(SL)의 측면을 커버하더라도, 커버층(CL)의 최외곽부가 표시 패널(DP)보다 크지 않을 수 있다.
도 3f를 참조하면, 커버층(CL)을 식각하여 잔여부(CL-1)를 형성할 수 있다. 예를 들어, 커버층(CL)에 식각 용액(EC)을 제공한다. 커버층(CL)은 습식 식각 공정에 의해 일부가 식각될 수 있다. 예를 들어, 커버층(CL) 중 용해층(SL)의 측면을 커버하는 일부가 식각되어 잔여부(CL-1)가 형성될 수 있다. 식각된 커버층(CL)의 일부는 표시 패널(DP) 아래에 배치되던 것일 수 있다. 식각 용액(EC)은 예를 들어, 인산, 질산 및 초산 중 적어도 어느 하나 이상을 포함하는 용액일 수 있다. 다만, 이는 예를 들어 기재한 것으로 식각 용액(EC)을 구성하는 물질이 상기 예시에 제한되는 것은 아니다.
용해층(SL)의 측면을 커버하는 커버층(CL)의 일부는 식각되어, 용해층(SL)의 측면이 노출될 수 있다.
도 3g를 참조하면, 용해층(SL)으로 세정액(WT)을 제공한다. 용해층(SL)을 구성하는 물질, 예를 들어, MoO3는 세정액에 용해될 수 있다.
도 3h를 참조하면, 잔여부(CL-1)와 캐리어 기판(CS) 사이의 용해층(SL, 도 3g)이 세정액에 용해됨에 따라, 표시 패널(DP)과 잔여부(CL-1)은 캐리어 기판(CS)으로부터 분리될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따르면 캐리어 기판(CS)과 표시 패널(DP)을 분리를 위한 레이저 등의 열처리 공정을 생략할 수 있다. 따라서, 표시 패널(DP)의 열손상 등이 방지될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 표시 패널(DP)을 캐리어 기판(CS)으로부터 분리시키기 위해, 용해층(SL) 및 커버층(CL)이 이용된다. 용해층(SL)과 커버층(CL)은 스퍼터링 공정을 이용하여 제조하기 때문에, 기존의 스퍼터링 설비를 이용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따르면 레이저를 사용하지 않고, 식각액과 세정액을 이용하여 표시 패널(DP)을 캐리어 기판(CS)으로부터 분리시킨다. 따라서, 레이저 사용에 따른 비용 증가가 방지될 수 있다.
도 4a 내지 도 4h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다. 이하, 도 4a 내지 도 4h를 참조하여, 본 발명에 따른 표시 장치의 제조방법에 대해 설명한다.
도 4a를 참조하면, 캐리어 기판(CS-L)이 제공된다. 캐리어 기판(CS-L)은 도 3a의 캐리어 기판(CS)보다 더 큰 크기를 가질 수 있다.
캐리어 기판(CS-L) 위에 용해층들(SL-L)을 형성한다. 용해층들(SL-L)은 서로 이격되어 형성될 수 있다. 용해층들(SL-L) 각각은 MoO3를 포함할 수 있다.
도 4b를 참조하면, 용해층들(SL-L) 위에 커버층(CL-L)을 형성한다. 커버층(CL-L)은 복수의 용해층들(SL-L) 각각을 모두 커버할 수 있다. 즉, 커버층(CL-L)은 용해층들(SL-L) 각각의 상면 및 측면들을 커버할 수 있다.
용해층들(SL-L)과 커버층(CL-L)은 스퍼터링 공정을 이용하여 형성할 수 있다. 커버층(CL-L)은 금속 또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 커버층(CL-L)은 Al, Mo, Ti, Ag, W, Ta, Nb, MoO2 등 건식 또는 습식 식각이 가능한 물질들 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
도 4c를 참조하면, 커버층(CL-L) 상에 표시 패널들(DP-L)을 형성하여, 적층 기판(SS-L)을 형성한다.
표시 패널들(DP-L)을 형성하는 단계는 커버층(CL-L) 상에 베이스층 (BL-L)을 형성하는 단계, 베이스층(BL-L) 위에 회로층(ML-L)을 형성하는 단계, 회로층(ML-L) 위에 발광소자층들(EL-L)을 형성하는 단계, 발광소자층들(EL-L) 위에 발광소자층들(EL-L)을 커버하는 박막 봉지층(ECL-L)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 도 4c에서, 표시 패널들(DP-L)은 서로 분리되기 전의 단계로 일체의 형상을 가질 수 있다.
표시 패널들(DP-L)의 수는 용해층들(SL-L)의 수와 대응될 수 있다.
박막 봉지층(ECL-L) 위에는 감지 유닛(SU-L)을 형성할 수 있다. 본 발명의 실시예에서, 적층 기판(SS-L)은 감지 유닛(SU-L)을 더 포함할 수 있다. 하지만, 이는 예시적인 것으로, 적층 기판(SS-L)은 감지 유닛(SU-L)을 포함하지 않을 수도 있다.
도 4d를 참조하면, 표시 패널들(DP-L) 사이의 경계를 커팅(CUT)할 수 있다. 평면 상에서 커팅된 라인은 용해층들(SL-L)과 비중첩할 수 있다.
도 4e를 참조하면, 커팅(CUT) 공정 이후, 커버층(CL-L)으로 식각 용액(EC)을 제공한다. 식각 용액(EC)은 커팅(CUT)에 의해 틈이 생긴 표시 패널들(DP-L) 사이의 영역으로도 제공될 수 있다. 따라서, 식각 용액(EC)은 커버층(CL-L)의 최외곽 영역뿐만 아니라, 용해층들(SL-L) 사이에 배치된 커버층(CL-L)에도 제공될 수 있다.
도 4f를 참조하면, 용해층들(SL-L) 각각의 측면을 커버하는 커버층(CL-L)의 일부를 식각하여 복수의 잔여부들(CL-L1)을 형성한다. 용해층들(SL-L)과 베이스층(BL-L) 사이에는 잔여부들(CL-L1)이 배치될 수 있다. 예를 들면, 하나의 용해층 위에 하나의 잔여부가 배치된다.
도 4g를 참조하면, 용해층들(SL-L)로 세정액(WT)을 제공한다. 용해층들(SL-L) 각각을 구성하는 물질, 예를 들어, MoO3는 세정액에 용해될 수 있다.
도 4h를 참조하면, 용해층들(SL-L)이 세정액에 용해됨에 따라, 표시 패널들(DP-L)과 잔여부들(CL-L1)은 캐리어 기판(CS-L)으로부터 분리될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 평면 상에서 용해층들(SL-L) 각각의 면적은 표시 패널들(DP-L) 각각의 면적보다 작다. 따라서, 커버층(CL-L)에 의해 용해층들(SL-L) 각각의 측면이 모두 커버되더라도, 표시 패널들(DP-L)은 서로 인접하여 배치될 수 있다. 따라서, 하나의 캐리어 기판(CS-L)에 형성될 수 있는 표시 패널들(DP-L)의 수가 증가될 수 있고, 제조 수율이 향상될 수 있다.
도 5a 내지 도 5i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 5a를 참조하면, 캐리어 기판(CS-L1)이 제공된다. 캐리어 기판(CS-L1)에는 관통홀들(HL)이 제공될 수 있다. 관통홀들(HL) 각각은 캐리어 기판(CS-L1)의 상면으로부터 하면까지 연장될 수 있다. 예를 들어, 캐리어 기판(CS-L1)의 하면에 용액이 제공되었을 때, 상기 용액은 관통홀들(HL)을 관통하여 캐리어 기판(CS-L1)의 상면으로 이동될 수 있다.
도 5b를 참조하면, 캐리어 기판(CS-L1) 위에 용해층들(SL-L)을 형성한다. 용해층들(SL-L)은 관통홀들(HL)을 커버하지 않는다. 따라서 평면 상에서 용해층들(SL-L)은 관통홀들(HL)과 서로 이격될 수 있다.
도 5c를 참조하면, 용해층들(SL-L) 위에 커버층(CL-L)을 형성한다. 커버층(CL-L)은 용해층들(SL-L) 각각의 상면 및 측면들을 모두 커버한다. 용해층들(SL-L) 사이에 존재하는 관통홀들(HL)은 커버층(CL-L)에 의해 커버될 수 있다.
도 5d를 참조하면, 커버층(CL-L) 상에 베이스층(BL-L), 회로층(ML-L), 발광소자층들(EL-L), 박막 봉지층(ECL-L), 및 감지 유닛(SU-L)을 형성 하여 적층 기판(SS-L)을 형성한다. 적층 기판(SS-L1)은 복수의 표시 패널들(DP-L)을 포함할 수 있다. 도 5d에서, 표시 패널들(DP-L)은 분리되기 서로 분리되기 전의 단계로 일체의 형상을 가질 수 있다.
도 5e를 참조하면, 커버층(CL-L)으로 식각 용액(EC)을 제공한다. 식각 용액(EC)은 관통홀들(HL)을 통해, 용해층들(SL-L) 사이의 커버층(CL-L)에도 제공될 수 있다. 식각 용액(EC)에 의해 커버층(CL-L)의 최외곽 영역뿐만 아니라, 용해층들(SL-L) 사이의 영역도 식각될 수 있다.
도 5f를 참조하면, 용해층들(SL-L) 각각의 측면을 커버하는 커버층(CL-L)의 일부를 식각하여 복수의 잔여부들(CL-L1)을 형성한다. 잔여부들(CL-L1) 은 용해층들(SL-L) 위에 배치된다. 즉, 용해층들(SL-L)과 베이스층(BL-L) 사이에는 잔여부들(CL-L1)이 배치될 수 있다.
도 5g를 참조하면, 용해층들(SL-L)로 세정액(WT)을 제공한다. 세정액(WT)은 관통홀들(HL)을 통해서도 용해층들(SL-L)로 제공될 수 있다. 따라서, 용해층들(SL-L)의 용해 속도가 보다 향상될 수 있다.
도 5h를 참조하면, 잔여부들(CL-L1)와 캐리어 기판(CS-L1) 사이의 용해층들(SL-L)이 세정액에 용해됨에 따라, 표시 패널들(DP-L) 및 잔여부들(CL-L1)은 캐리어 기판(CS-L)으로부터 분리될 수 있다. 도 4h와 비교하였을 때, 표시 패널들(DP-L)은 서로 분리되기 전 상태일 수 있다.
도 5i를 참조하면, 표시 패널들(DP-L)을 캐리어 기판(CS-L1)으로부터 분리한 후, 표시 패널들(DP-L) 사이를 커팅(CUT)할 수 있다.
도 6a 내지 도 6i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법을 도시한 단면도들이다.
도 6a를 참조하면, 캐리어 기판(CS-H)이 제공된다. 캐리어 기판(CS-H)에는 관통홀들(HLS)이 제공될 수 있다. 관통홀들(HLS) 각각은 캐리어 기판(CS-H)의 상면으로부터 하면까지 연장될 수 있다.
도 6b를 참조하면, 캐리어 기판(CS-H)의 상면에 제1 커버층(CS1)을 형성한다. 제1 커버층(CS1)은 관통홀들(HLS)을 모두 커버할 수 있다. 제1 커버층(CS1)은 금속 또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 커버층(CS1)은 Al, Mo, Ti, Ag, W, Ta, Nb, MoO2 등 건식 또는 습식 식각이 가능한 물질들 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
도 6c를 참조하면, 제1 커버층(CS1) 위에 용해층(SL-H)을 형성한다. 평면 상에서 용해층(SL-H)의 면적은 제1 커버층(CS1)의 면적보다 작을 수 있다. 용해층(SL-H)은 MoO3와 같은 세정액에 용해되는 물질을 포함할 수 있다. 제1 커버층(CS1)은 용해층(SL-H) 아래에 배치된다. 제1 커버층(CS1)은 하부 커버층으로 명칭될 수도 있다.
도 6d를 참조하면, 용해층(SL-H)을 커버하는 제2 커버층(CS2)을 형성한다. 제2 커버층(CS2)은 금속 또는 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 커버층(CS2)은 Al, Mo, Ti, Ag, W, Ta, Nb, MoO2 등 건식 또는 습식 식각이 가능한 물질들 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 제1 커버층(CS1) 및 제2 커버층(CS2)이 MoO2를 포함하는 경우, 제1 커버층(CS1), 용해층(SL-H) 및 제2 커버층(CS2)은 동일한 스퍼터링 공정에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 스퍼터링 타겟은 Mo일 수 있고, 각 층들은 산소 분압을 조절하여 형성될 수 있다.
제2 커버층(CS2)은 용해층(SL-H)의 상면과 용해층(SL-H)의 모든 측면을 커버할 수 있다. 따라서, 용해층(SL-H)은 제1 커버층(CS1) 및 제2 커버층(CS2)에 의해 완전히 밀폐될 수 있다.
제1 커버층(CS1) 및 제2 커버층(CS2)은 표시 패널(DP, 도 2a 참조)을 제조하는 공정 중의 세정 공정에 의해 용해층(SL-H)이 용해되는 것을 방지할 수 있다. 특히, 제1 커버층(CS1)은 관통홀들(HLS)을 통해 유입되는 세정액에 의해 용해층(SL-H)이 융해되는 것을 방지할 수 있다.
도 6e를 참조하면, 제2 커버층(CL2) 상에 베이스층(BL)을 형성한다. 베이스층(BL) 위에 회로층(ML), 발광소자층(EL), 박막 봉지층(ECL), 및 감지 유닛(SU)을 형성 하여 적층 기판(SS-H)을 형성한다.
도 6f를 참조하면, 제1 커버층(CS1) 및 제2 커버층(CS2)으로 식각 용액(EC)을 제공할 수 있다. 식각 용액(EC)은 용해층(SL-H)의 측면을 커버하는 제2 커버층(CL2)을 식각하여, 용해층(SL-H)을 노출시킬 수 있다. 식각 용액(EC)은 제2 커버층(CS2)을 식각하여 잔여부(CL-H)를 형성할 수 있다. 또한, 식각 용액(EC)은 제1 커버층(CL1)의 최외곽부를 식각할 수 있다. 뿐만 아니라, 식각 용액(EC)은 관통홀들(HLS)을 통과하여 용해층(SL-H) 아래에 배치된 제1 커버층(CL1)의 일부분도 식각할 수 있다.
도 6g를 참조하면, 제1 커버층(CS1-H)에는 복수의 홀들(CLH)이 형성된다. 복수의 관통홀들(HLS)과 복수의 홀들(CLH)은 연결될 수 있다. 따라서, 캐리어 기판(CS-H)의 하면에 용액이 제공되었을 때, 상기 용액은 관통홀들(HLS) 및 홀들(CLH)을 관통하여 용해층(SL-H)과 닿을 수 있다.
도 6h를 참조하면, 용해층(SL-H)으로 세정액(WT)을 제공한다. 세정액(WT)은 관통홀들(HLS)을 통해서도 용해층(SL-H)으로 제공될 수 있다. 따라서, 용해층(SL-H)의 용해 속도가 보다 향상될 수 있다.
도 6i를 참조하면, 잔여부(CL-H)와 제1 커버층(CS1-H) 사이의 용해층(SL-H)이 세정액에 용해됨에 따라, 표시 패널들(DP)과 잔여부(CL-H)는 캐리어 기판(CS-H) 및 제1 커버층(CS1-H)으로부터 분리될 수 있다.
도 7a는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 평면도이다.
도 7a를 참조하면, 캐리어 기판(CS-H)에 제공된 관통홀들(HLS)을 예시적으로 도시하였다. 관통홀들(HLS) 각각은 평면 상에서 원형의 테두리를 가질 수 있다. 관통홀들(HLS)은 서로 이격되어 매트릭스 형상으로 배열될 수 있다.
다만, 이는 예시적으로 도시한 것으로, 관통홀들(HLS) 각각은 다각형의 테두리를 가질 수도 있다.
도 7b는 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판의 평면도이다.
도 7b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 기판(CS-Ha)에 제공된 관통홀들(HLSt)을 예시적으로 도시하였다. 평면 상에서 관통홀들(HLSt) 각각은 소정의 방향으로 연장된 슬릿 형상을 가질 수 있다. 도 7b에서는 관통흘들(HLSt) 각각이 모두 동일한 길이의 슬릿인 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 관통홀들(HLSt) 각각의 길이는 상이할 수도 있고, 배치 형태 또한 다양하게 변경될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
CS: 캐리어 기판 SL: 용해층
CL: 커버층 BL: 베이스층
ML: 회로층 EL: 발광소자층
ECL: 박막 봉지층 SU: 감지 유닛
CL-1: 잔여부

Claims (20)

  1. 캐리어 기판을 제공하는 단계;
    상기 캐리어 기판 위에 세정액에 용해되는 물질을 포함하는 용해층을 형성하는 단계;
    상기 용해층의 상면 및 상기 용해층의 측면을 커버하는 커버층을 형성하는 단계;
    상기 커버층 상에 베이스층을 포함하는 표시 패널을 형성하는 단계;
    상기 용해층의 측면을 커버하며, 상기 표시 패널 아래에 배치된 상기 커버층의 일부를 제거하여 잔여부를 형성하는 단계;
    상기 용해층에 세정액을 제공하여 상기 용해층을 제거하는 단계; 및
    상기 표시 패널 및 상기 잔여부를 상기 캐리어 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 용해층은 MoO3를 포함하고, 상기 커버층 및 상기 잔여부는 MoO2를 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    스퍼터링 공정을 이용하여 상기 용해층 및 상기 커버층을 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 잔여부를 형성하는 단계는, 상기 커버층에 식각 용액을 제공하여, 상기 커버층을 식각하는 습식 식각 공정을 이용하는 표시 장치 제조 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 용해층을 형성하는 단계에서, 복수의 용해층들을 형성하고,
    상기 표시 패널을 형성하는 단계에서, 복수의 표시 패널들을 형성하고, 상기 표시 패널들은 상기 용해층들 위에 일대일 대응하여 배치되는 표시 장치 제조 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 표시 패널들 사이의 경계를 커팅하여 상기 표시 패널들을 분리하는 커팅 단계를 더 포함하고,
    상기 커팅 단계 이후, 상기 잔여부를 형성하는 단계에서 상기 용해층들 각각의 측면을 커버하는 상기 커버층의 일부를 식각하여 복수의 잔여부들을 형성하는 표시 장치 제조 방법.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 잔여부를 형성하는 단계에서 상기 용해층들 각각의 측면을 커버하는 상기 커버층의 일부를 식각하여 복수의 잔여부들을 형성하고,
    상기 용해층들을 용해시켜, 상기 표시 패널들 및 상기 잔여부들을 상기 캐리어 기판으로 분리한 후, 상기 표시 패널들 사이의 경계를 커팅하여 상기 표시 패널들을 서로 분리하는 커팅 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  8. 제5 항에 있어서,
    평면 상에서 상기 용해층들과 비중첩하는 캐리어 기판의 일 영역에는 관통홀들이 제공되고, 상기 잔여부를 식각하는 식각 용액은 상기 관통홀들을 통과하여 상기 용해층들 사이에 배치된 상기 커버층에 제공되는 표시 장치 제조 방법.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판에는 관통홀들이 제공되고, 상기 캐리어 기판의 상면에 상기 관통홀들을 커버하는 하부 커버층을 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 하부 커버층은 상기 캐리어 기판과 상기 용해층 사이에 배치되고, 상기 용해층은 상기 하부 커버층 및 상기 커버층에 의해 상기 용해층의 상면, 하면 및 측면들이 커버되는 표시 장치 제조 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 커버층 및 상기 하부 커버층은 동일한 물질을 포함하고, 상기 커버층의 일부를 식각하여 상기 잔여부를 형성하는 단계에서,
    평면 상에서 상기 관통홀들과 중첩하는 상기 하부 커버층의 일부도 함께 식각하는 표시 장치 제조 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 용해층을 제거하는 단계에서, 상기 세정액은 상기 용해층의 상기 측면 및 상기 관통홀들 및 식각된 상기 하부 커버층의 일부를 통해 제공되는 표시 장치 제조 방법.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 베이스층은 평면 상에서 중심 영역과 상기 중심 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분되고,
    평면 상에서 상기 잔여부는 상기 중심 영역과 중첩하고, 상기 주변 영역과 비중첩하는 표시 장치 제조 방법.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 표시 패널을 형성하는 단계는,
    상기 커버층 상에 코팅 공정을 이용하여 상기 베이스층을 형성하는 단계;
    상기 베이스층 위에 회로층을 형성하는 단계;
    상기 회로층 위에 발광소자층을 형성하는 단계; 및
    상기 발광소자층 위에 상기 발광소자층을 커버하는 박막 봉지층을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법.
  14. 캐리어 기판;
    상기 캐리어 기판 위에 배치된 용해층;
    상기 용해층 위에 배치되고, 상기 용해층의 상면 및 상기 용해층의 측면을 커버하는 커버층; 및
    상기 커버층 위에 배치되며, 평면 상에서 중심 영역 및 상기 중심 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된 베이스층을 포함하는 표시 패널을 포함하고,
    평면 상에서 상기 용해층은 상기 중심 영역과 중첩하고, 상기 주변 영역과 비중첩하는 적층 기판.
  15. 제14 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판에는 복수의 관통홀들이 제공되고,
    상기 복수의 관통홀들을 커버하며, 상기 캐리어 기판과 상기 용해층 사이에 배치된 하부 커버층을 더 포함하는 적층 기판.
  16. 제14 항에 있어서,
    상기 용해층 및 상기 표시 패널은 복수로 제공되고,
    복수로 제공된 상기 용해층들은 서로 이격되어 제공되고, 상기 커버층은 상기 용해층들 각각의 상면 및 측면을 커버하는 적층 기판.
  17. 제16 항에 있어서,
    평면 상에서 상기 용해층들과 비중첩하는 상기 캐리어 기판의 일 영역에는 복수의 관통홀들이 제공된 적층 기판.
  18. 제14 항에 있어서,
    상기 용해층은 MoO3를 포함하고, 상기 커버층은 MoO2를 포함하는 적층 기판.
  19. 평면 상에서 중심 영역 및 상기 중심 영역을 둘러싸는 주변 영역으로 구분된 베이스층, 상기 베이스층 위에 배치된 회로층, 상기 회로층 위에 배치되고 표시 소자를 포함하는 발광소자층, 및 발광소자층 위에 배치된 박막 봉지층을 포함하는 표시 패널; 및
    상기 표시 패널 아래에 배치되며, 상기 중심 영역과 중첩하고, 상기 주변 영역과 비중첩하는 잔여부를 포함하고,
    상기 잔여부는 베이스층 아래에 직접 배치된 표시 장치.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 잔여부는 MoO2를 포함하는 표시 장치.
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