KR102555758B1 - 액체 공급장치 및 액체 공급 방법 - Google Patents

액체 공급장치 및 액체 공급 방법 Download PDF

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Abstract

CLC가 적절하게 사용 가능한지 아닌지를 판단할 수 있는 액체 공급장치를 제공한다.
액체원으로부터의 액체를 세정 장치에 공급하기 위한 액체 공급장치가 제공된다. 이 액체 공급장치는, 상기 액체원으로부터의 액체의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어장치와, 상기 액체원과 상기 유량 제어장치의 사이에 마련되는 인측 압력계와, 상기 유량 제어장치와 상기 세정 장치의 사이에 마련되는 아웃측 압력계를 가진다.

Description

액체 공급장치 및 액체 공급 방법{LIQUID SUPPLYING DEVICE AND LIQUID SUPPLYING METHOD}
본 발명은, 액체 공급장치 및 액체 공급 방법에 관한 것이다.
CMP(Chemical Mechanical Polishing) 장치는, 반도체칩이 형성된 반도체기판의 표면을 연마하기 위한 연마 장치와, 연마 장치에서 연마된 반도체기판에 대하여 세정 약액(藥液)을 공급하면서 세정하기 위한 세정 장치를 가진다. 이 세정 장치는, 약액에 대하여 DIW(De-Ionized Water) 등의 희석수를 혼합함으로써, 세정 약액(희석된 약액)을 작성하고, 세정 약액을 이용하여 반도체기판의 세정을 행한다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
세정 약액을 이용하는 세정 장치에 있어서는, 종래, 액체의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 CLC(Closed Loop Controller)가 이용되고 있었다. 이 CLC에 의해 약액과 DIW의 유량을 제어하여, 일정 비율로 희석된 약액을 세정 장치에 공급할 수 있다.
CLC가 내부에 구비하는 유량계로서는, 일반적으로 차압(差壓)식 유량계(오리피스 유량계)가 이용되고 있다. 차압식 유량계는, 유체가 통과하는 경로 상에 오리피스를 배치하고, 차압에 근거하여 그 유체의 체적 유량(유속)을 측정하는 것이다. 차압식 유량계의 측정 범위, 즉 CLC로 제어 가능한 유량 범위는, 예를 들면, 30㎖/min에서 300㎖/min까지와 같이, 구조 상, 오리피스의 직경에 따라 미리 정해진 범위가 된다. 또한, 예를 들어 초음파식 유량계를 구비하는 CLC에 있어서도, 그 제어 가능한 유량 범위는 소정의 범위로 정해진다.
종래의 세정 약액 공급장치에서는, 프로세스 레시피의 변경 등에 의해, 세정 약액의 희석 비율이 변경되거나, 세정 약액의 공급 유량이 변경되거나 했을 때, 필요로 하는 약액 및 DIW의 유량이, 현재 선정되어 있는 CLC로 제어 가능한 유량 범위를 벗어날 경우가 있다. 그 경우는, 제어 가능한 유량 범위를 가지는 CLC로 교환함으로써, 프로세스 레시피의 변경에 대응하고 있었다.
일본국 공개특허 특개2009-54959호 공보
CLC로 제어 가능한 유량 범위는, 상술한 바와 같이 정해진 범위로 된다. 그러나, CLC가 실제로 세정 장치에 공급할 수 있는 유량은 CLC의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압에 의해 변화된다. 즉, CLC의 상술한 제어 가능한 유량 범위는, 차압이 충분하게 클 때의 최대의 유량 범위이며, 차압이 부족할 경우에는, 최대 유량보다도 적은 유량밖에 세정 장치에 공급할 수 없다.
종래의 세정 약액 공급장치에서는, 프로세스 레시피의 변경 등에 따라 CLC를 변경할 때, 제어 가능한 유량 범위에 의거하여 CLC를 선택하고 있었다. CLC의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압이 충분하게 클 때는, 선택된 CLC로 소망하는 유량의 세정 약액을 세정 장치에 공급할 수 있다. 그러나, 상술한 바와 같이, 차압이 부족할 경우에는, 적절한 유량 범위를 가지는 CLC를 선택해도, 소망하는 유량의 세정 약액을 세정 장치에 공급할 수 없었다. CLC가 소망하는 유량을 공급할 수 없는 원인으로서는, CLC가 고장나 있는 것도 생각할 수 있다. 이 때문에, 소망하는 유량을 공급할 수 없을 경우에, CLC가 고장나 있는 것인지, 그렇지 않으면 차압이 부족한 것인지를 판단할 수 없었다.
본 발명은 상기 문제에 감안하여 이루어진 것이다. 그 목적 중 하나는, CLC가 적절하게 사용 가능한지 아닌지를 판단할 수 있는 액체 공급장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 액체원으로부터의 액체를 세정 장치에 공급하기 위한 액체 공급장치가 제공된다. 이 액체 공급장치는, 상기 액체원으로부터의 액체의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어장치와, 상기 액체원과 상기 유량 제어장치의 사이에 마련되는 인측 압력계와, 상기 유량 제어장치와 상기 세정 장치의 사이에 마련되는 아웃측 압력계를 가진다.
본 발명의 다른 일 형태에 의하면, 액체원으로부터의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어장치를 구비한 액체 공급장치에 있어서 상기 액체원으로부터의 액체를 세정 장치에 공급하기 위한 액체 공급 방법이 제공된다. 이 액체 공급 방법은, 상기 액체원으로부터의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어 공정과, 상기 유량 제어장치에 유입되는 액체의 압력을 측정하는 제 1 측정 공정과, 상기 유량 제어장치로부터 유출되는 액체의 압력을 측정하는 제 2 측정 공정을 가진다.
도 1은 제 1 실시형태와 관련되는 약액 공급장치를 나타내는 개략 정면도이다.
도 2는 제 1 실시형태와 관련되는 약액 공급장치의 약액 공급 플로우도이다.
도 3은 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치를 나타내는 개략 정면도이다.
도 4는 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치의 약액 공급 플로우도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 이하에서 설명하는 도면에 있어서, 동일한 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 붙여서 중복된 설명을 생략한다. 또한, 이하, 액체 공급장치의 일례로서 약액 세정 장치가 설명되지만, 이에 한정하지 않으며, 본 발명은, 세정 장치에 액체를 공급할 수 있는 임의의 액체 공급장치를 포함한다.
<제 1 실시형태>
도 1은, 제 1 실시형태와 관련되는 약액 공급장치를 나타내는 개략 정면도이다. 본 실시형태의 약액 공급장치는, 산성 또는 알칼리성의 제 1 약액을 세정 장치에 공급 가능하게 구성된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 약액 공급장치(100)는, 하우징(101)과, DIW CLC 박스(110)와, 제 1 약액 CLC 박스(120)를 가진다. DIW CLC 박스(110)는, DIW(희석수의 일례에 상당한다)의 공급을 제어한다. 제 1 약액 CLC 박스(120)는, 제 1 약액의 공급을 제어한다.
약액 공급장치(100)는, 제 1 약액 공급원(20)(도 2 참조)으로부터의 제 1 약액을 약액 공급장치(100)에 도입하기 위한 약액 유틸리티 박스(50)를 추가로 구비하고 있다. 도시한 예에서는, 6개의 약액 유틸리티 박스(50)가 약액 공급장치(100)에 마련되어 있지만, 이는 일례이며, 세정 장치의 사양에 따라 약액 유틸리티 박스(50)의 수는 적절히 변경된다.
DIW CLC 박스(110)와, 제 1 약액 CLC 박스(120)와, 약액 유틸리티 박스(50)는, 하우징(101) 내에 수납된다. DIW CLC 박스(110)는, 후술하는 DIW 공급원(10)으로부터의 DIW를 후술하는 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급하도록 구성된다(도 2 참조). 또한, DIW CLC 박스(110)는, DIW의 유량을 피드백 제어에 의해 설정된 유량으로 제어할 수 있다.
제 1 약액 CLC 박스(120)는, 제 1 약액 공급원(20)으로부터의 제 1 약액을 후술하는 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급하도록 구성된다(도 2 참조). 또한, 제 1 약액 CLC 박스(120)는, 제 1 약액의 유량을 피드백 제어에 의해 설정된 유량으로 제어할 수 있다. 약액 공급장치(100)는, 도면에 나타내지는 않았지만, DIW 또는 제 1 약액을 수송하기 위한 배관, 밸브, 압력계 등을 가진다. 상세한 것은 도 2에 있어서 설명한다.
도 2는, 제 1 실시형태와 관련되는 약액 공급장치(100)의 약액 공급 플로우도이다. 도면에 나타내는 바와 같이, 약액 공급장치(100)는, DIW를 공급하기 위한 DIW 공급원(10)(희석수 공급원의 일례에 상당한다), 및 제 1 약액을 공급하기 위한 제 1 약액 공급원(20)과, 각각 배관을 개재하여 유체 연통(連通)하도록 구성되어 있다. 또한, 약액 공급장치(100)는, 세정 장치(200)와 유체 연통하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 약액 공급장치(100)는, DIW 및 희석된 제 1 약액(제 1 세정 약액)을 세정 장치(200)에 공급한다.
세정 장치(200)는, 연마 장치에서 연마된 반도체기판 등의 세정 대상물을 DIW를 이용하여 세정하는 DIW 세정부(210)와, 연마 장치에서 연마된 반도체기판 등의 세정 대상물을 희석된 제 1 약액(제 1 세정 약액)을 이용하여 세정하는 약액 세정부(220)를 가진다. DIW 세정부(210)는, 예를 들면, 초음파 수 세척부나 그 밖의 DIW 세정부 등으로 구성된다. 약액 세정부(220)는, 예를 들면, 롤형 세정부 등으로 구성된다. 이 DIW 세정부(210)와 약액 세정부(220)는, 동일한 세정조(230) 내에 공존한다.
약액 공급장치(100)는, 제 1 인라인 혼합기(72)와, 제 1 약액 CLC 박스(120)와, DIW CLC 박스(110)를 구비하고 있다. 제 1 인라인 혼합기(72)는, 제 1 약액과 DIW를 혼합하여 제 1 세정 약액을 생성한다. 제 1 약액 CLC 박스(120)는, 제 1 약액 공급원(20)으로부터 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급되는 제 1 약액의 유량을 제어한다. DIW CLC 박스(110)는, DIW 공급원(10)으로부터 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급되는 DIW의 유량을 제어한다.
DIW CLC 박스(110)는, 제 1 DIW 공급 밸브(112)와, CLC(111)(희석수 유량 제어장치의 일례에 상당한다)를 가진다. 제 1 DIW 공급 밸브(112)는, CLC(111)로부터 제 1 인라인 혼합기(72)에의 DIW의 공급의 온 오프를 전환한다. CLC(111)는, 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급되는 DIW의 유량을 계측하며, 이 계측값에 의거하여 유량을 제어한다. 구체적으로는, CLC(111)는, 계측한 DIW의 유량에 의거하여, CLC(111) 내로 흘러드는 DIW의 유량이 소망하는 유량이 되도록, CLC(111) 내부의 컨트롤 밸브의 개도(開度)를 조절(피드백 제어)한다. DIW CLC 박스(110)는, 제 1 DIW 공급 밸브(112)를 개방함으로써, DIW를 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급한다.
제 1 약액 CLC 박스(120)는, 제 1 약액 공급 밸브(122)와, CLC(121)(약액 유량 제어장치의 일례에 상당한다)를 가진다. 제 1 약액 공급 밸브(122)는, CLC(121)로부터 제 1 인라인 혼합기(72)에의 제 1 약액의 공급의 온 오프를 전환한다. CLC(121)는, 제 1 약액 공급 밸브(122)를 개재하여 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급되는 제 1 약액의 유량을 계측하며, 이 계측값에 의거하여 유량을 제어한다. 구체적으로는, CLC(121)는, 계측한 제 1 약액의 유량에 의거하여, CLC(121) 내로 흘러드는 제 1 약액의 유량이 소망하는 유량이 되도록, CLC(121) 내부의 컨트롤 밸브의 개도를 조절(피드백 제어)한다.
또한, 약액 공급장치(100)는, 약액 유틸리티 박스(50)를 구비한다. 약액 유틸리티 박스(50)는, 제 1 약액 공급원(20)으로부터의 제 1 약액을 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)에 도입한다. 약액 유틸리티 박스(50)는, 제 1 약액 공급원(20)과 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)를 접속하는 배관(91) 상에 마련된다. 약액 유틸리티 박스(50)는, 메뉴얼 밸브(53)와, CLC(121)에의 제 1 약액의 공급의 온 오프를 전환하는 제 1 약액 입구 밸브(51)와, 배관(91) 내의 유체 압력을 계측하는 압력계(52)(약액 인측 압력계의 일례에 상당한다)를 구비하고 있다. 제 1 약액 입구 밸브(51)는, 예를 들면, 도면에 나타나 있지 않은 제어장치에 의해 개폐 제어된다. 배관(91)은 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)에 접속되므로, 압력계(52)는, CLC(121)의 인측(1차측)의 압력을 측정하도록 구성된다. 환언하면, 압력계(52)는, CLC(121)에 유입되는 제 1 약액의 압력을 측정한다.
약액 공급장치(100)는, 일단이 DIW 공급원(10)에 접속되며, 타단이 세정 장치(200)의 DIW 세정부(210)에 접속된, DIW 공급 배관(81)을 구비하고 있다. DIW 공급 배관(81)에는, DIW 공급 밸브(86)와, DIW압 조절 레귤레이터(87)와, DIW 압력계(88)가 마련되어 있다. DIW 공급 밸브(86)는, 개폐됨으로써, DIW 공급원(10)으로부터 DIW 공급 배관(81)에의 DIW의 공급을 제어한다. DIW압 조절 레귤레이터(87)는, DIW 공급 배관(81)으로부터 DIW 세정부(210)에의 DIW의 공급 압력을 조절한다. DIW 압력계(88)는, DIW 공급 배관(81)의 내부를 통과하는 DIW의 압력을 계측한다.
DIW 공급 배관(81) 상의 DIW 공급 밸브(86)와 DIW압 조절 레귤레이터(87)의 사이에는, DIW 분기 배관(82)의 일단이 접속된다. DIW 분기 배관(82)의 타단은, DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)에 접속된다. DIW 분기 배관(82) 상에는, DIW압 조절 레귤레이터(77)와 압력계(76)가 마련된다. CLC(111)에는, 제 1 DIW 배관(83)의 일단이 접속된다. 제 1 DIW 배관(83)의 타단은, 합류부(78)에 있어서 후술하는 제 1 약액 배관(93)에 접속되어, 제 1 인라인 혼합기(72)에 유체 연통한다. 또한, 도면에 나타내는 바와 같이, 합류부(78)는, CLC(111)로부터의 DIW와 CLC(121)로부터의 제 1 약액이 합류하는 지점이다. 제 1 DIW 공급 밸브(112)는 제 1 DIW 배관(83) 상에 마련되며, 제 1 인라인 혼합기(72)에 DIW를 공급하는 경우에 개폐 제어된다.
또한, 본 실시형태의 약액 공급장치(100)에서는, 압력계(76)(희석수 인측 압력계의 일례에 상당한다)가 CLC(111)의 인측에 마련된다. 구체적으로는, 압력계(76)는, 도 2의 예에서는 DIW압 조정 레귤레이터(77)와 CLC(111)의 사이에 마련된다. 이 압력계(76)는, CLC(111)에 유입되는 DIW의 압력을 측정한다.
제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)에는, 제 1 인라인 혼합기(72)에 유체 연통하는 제 1 약액 배관(93)이 접속된다. 제 1 약액 공급 밸브(122)는, 제 1 약액 배관(93) 상에 마련되며, 제 1 인라인 혼합기(72)에 제 1 약액을 공급하는 경우에 개폐 제어된다. 또한, 제 1 인라인 혼합기(72)에는, 약액 세정부(220)에 일단이 접속된 제 1 세정 약액 배관(96)이 접속된다. 제 1 인라인 혼합기(72)의 아웃측(2차측)에는, 압력계(74)(아웃측 압력계의 일례에 상당한다)가 마련된다. DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)로부터의 DIW와, 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)로부터의 제 1 약액은, 합류부(78)에 있어서 합류하므로, CLC(111)의 아웃측(2차측)의 압력은, CLC(121)의 아웃측의 압력과 동일하게 된다. 따라서, 이 압력계(74)는, CLC(111) 및 CLC(121)의 아웃측의 압력을 측정할 수 있다. 환언하면, 압력계(74)는, CLC(111) 및 CLC(121)로부터 유출되는 액체의 압력을 측정한다.
DIW CLC 박스(110)의 CLC(111) 및 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)는, 도면에 나타나 있지 않은 제어장치로부터 소정의 유량값을 나타내는 신호를 수신 가능하게 구성된다. 이 유량값에 의거하여 CLC(111) 및 CLC(121)의 내부 컨트롤 밸브의 개도가 제어된다.
다음으로, 도 2에 나타낸 약액 공급장치(100)에 있어서 제 1 세정 약액을 약액 세정부(220)에 공급하는 약액 공급 프로세스에 대하여 설명한다. 제 1 세정 약액을 약액 세정부(220)에 공급할 때는, 먼저, 약액 유틸리티 박스(50)의 제 1 약액 입구 밸브(51)를 개방하고, 메뉴얼 밸브(53)를 개방한다. 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)에서 제 1 약액의 유량이 계측되며, 이 계측값에 의거하여 유량이 제어된다. 제 1 약액 공급원(20)으로부터 CLC(121) 및 합류부(78)를 개재하여 제 1 인라인 혼합기(72)에 소정 유량의 제 1 약액이 공급된다.
DIW 공급 배관(81) 상의 DIW 공급 밸브(86)를 개방하면, DIW가 DIW 공급원(10)으로부터 DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)에 공급된다. CLC(111)는, DIW의 유량을 계측하며, 이 계측값에 의거하여 유량을 제어한다. 제 1 DIW 공급 밸브(112)를 개방함으로써, DIW CLC 박스(110)로부터 합류부(78)를 개재하여 제 1 인라인 혼합기(72)에 DIW가 공급된다. 제 1 약액과 DIW는, 제 1 인라인 혼합기(72)에 있어서 혼합된다. 이에 의해 생성된 제 1 세정 약액은, 제 1 세정 약액 배관(96)을 개재하여 약액 세정부(220)에 공급된다.
약액 세정부(220)에 제 1 세정 약액이 공급되어 있을 때, 압력계(76), 압력계(52), 및 압력계(74)는, 각각 CLC(111)의 인측의 압력, CLC(121)의 인측의 압력, 및 CLC(111) 및 CLC(121)의 아웃측의 압력을 측정한다. 이에 의해, CLC(111)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압, 및 CLC(121)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, CLC(111,121)에서 제어 가능한 유량 범위는, 내부에 구비하는 유량계의 구조에 근거하여 정해진다. 그러나, CLC(111,121)가 실제로 세정 장치(200)에 공급할 수 있는 액체의 유량은 CLC(111,121)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압에 의해 변화된다. 즉, CLC(111,121)의 제어 가능한 유량 범위는, 차압이 충분하게 클 때의 최대의 유량 범위이며, 차압이 부족할 경우에는, 최대 유량보다도 적은 유량밖에 세정 장치(200)에 공급할 수 없다.
종래의 약액 공급장치에서는, 프로세스 레시피의 변경 등에 따라 CLC를 변경할 때, 제어 가능한 유량 범위에 의거하여 CLC를 선택하고 있었다. 따라서, CLC의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압이 충분하게 클 때는, 선택된 CLC로 소망하는 유량의 세정 약액을 세정 장치에 공급할 수 있다. 그러나, 상술한 바와 같이, 차압이 부족할 경우에는, 적절한 유량 범위를 가지는 CLC를 선택해도, 소망하는 유량의 세정 약액을 세정 장치에 공급할 수 없었다. CLC가 소망하는 유량을 공급할 수 없는 원인으로서는, CLC가 고장나 있는 것도 생각할 수 있다. 이 때문에, 소망하는 유량을 공급할 수 없을 경우에, CLC가 고장나 있는 것인지, 그렇지 않으면 차압이 부족한 것인지를 판단할 수 없었다.
이에 비하여, 본 실시형태에서는, 도 2에 나타내는 바와 같이, CLC(111)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압, 및 CLC(121)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다. 이에 의해, 가령 CLC(111) 또는 CLC(121)가 소망하는 유량을 공급할 수 없을 경우, 이 차압을 작업원이 감시함으로써, CLC(111) 또는 CLC(121)가 고장나 있는 것인지, 그렇지 않으면 차압이 부족한 것인지를 파악할 수 있다.
또한, CLC(111)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압, 및 CLC(121)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 취득해 둠으로써, 프로세스 레시피의 변경 등에 따라 CLC(111) 또는 CLC(121)를 변경할 시에, 적절한 CLC를 용이하게 선택할 수 있다. 구체적으로는, 제어 가능한 유량 범위가 다른 여러가지 CLC 중, 현시점에서 달성되어 있는 차압에 의해 소망하는 유량을 공급할 수 있는 CLC를 선택하면 된다. 또한, CLC는, 그 특성으로서 차압과 제어 가능한 유량 범위의 관계를 가지고 있으며, 그 관계는 미리 얻어져 있는 것이다.
본 실시형태에 있어서는, 압력계(74)는 제 1 인라인 혼합기(72)의 2차측에 마련되어 있지만, 이에 한정하지 않고, CLC(111) 또는 CLC(121)의 아웃측의 압력을 측정할 수 있는 장소이면, 어디에 마련되어도 된다. 예를 들면, 압력계(74)는, DIW CLC 박스(110)의 아웃측, 또는 제 1 약액 CLC 박스(120)의 아웃측 등에 마련할 수 있다.
<제 2 실시형태>
도 3은, 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치를 나타내는 개략 정면도이다. 본 실시형태의 약액 공급장치는, 제 1 실시형태에 나타낸 약액 공급장치와 비교하여, 2종류의 약액을 사용하는 점이 다르다. 즉, 예를 들면, 알칼리성의 약액인 제 1 약액과 예를 들면 산성의 약액인 제 2 약액을, 세정 장치에 공급 가능하게 구성된다. 따라서, 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치(100)는, 도 1에 나타낸 약액 공급장치(100)의 구성에 추가하여, 제 2 약액 CLC 박스(130)를 가진다. 제 2 약액 CLC 박스(130)는, 제 2 약액의 공급을 제어한다. 또한, 약액 공급장치(100)는, 제 2 약액 공급원(30)(도 4 참조)으로부터의 제 2 약액을 약액 공급장치(100)에 도입하기 위한 약액 유틸리티 박스(60)를 구비하고 있다.
도 4는, 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치(100)의 약액 공급 플로우도이다. 도면에 나타내는 바와 같이, 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치(100)는, 제 1 실시형태와 관련되는 약액 공급장치(100)의 구성에 추가하여, 제 2 약액을 공급하는 기구를 구비하고 있다. 구체적으로는, 제 2 실시형태와 관련되는 약액 공급장치(100)는, 제 2 약액을 공급하기 위한 제 2 약액 공급원(30)과 배관을 개재하여 유체 연통하도록 구성되고 있으며, 희석된 제 2 약액(제 2 세정 약액)을 세정 장치(200)에 공급한다.
약액 공급장치(100)는, 제 2 인라인 혼합기(73)와, 제 2 약액 CLC 박스(130)를 구비하고 있다. 제 2 인라인 혼합기(73)는, 제 2 약액과 DIW를 혼합하여 제 2 세정 약액을 생성한다. 제 2 약액 CLC 박스(130)는, 제 2 약액 공급원(30)으로부터 제 2 인라인 혼합기(73)에 공급되는 제 2 약액의 유량을 제어한다.
DIW CLC 박스(110)는, 제 2 DIW 공급 밸브(113)를 가진다. 제 2 DIW 공급 밸브(113)는, CLC(111)로부터 제 2 인라인 혼합기(73)에의 DIW의 공급의 온 오프를 전환한다. CLC(111)는, 제 1 인라인 혼합기(72) 또는 제 2 인라인 혼합기(73)에 공급되는 DIW의 유량을 측정하며, 이 측정값에 의거하여 유량을 제어한다.
DIW CLC 박스(110)는, 제 2 DIW 공급 밸브(113)를 폐쇄하고 제 1 DIW 공급 밸브(112)를 개방함으로써, DIW를 제 1 인라인 혼합기(72)에 공급한다. 한편, DIW CLC 박스(110)는, 제 1 DIW 공급 밸브(112)를 폐쇄하고 제 2 DIW 공급 밸브(113)를 개방함으로써, DIW를 제 2 인라인 혼합기(73)에 공급한다.
제 2 약액 CLC 박스(130)는, 제 2 약액 공급 밸브(132)와, CLC(131)(약액 유량 제어장치의 일례에 상당한다)를 가진다. 제 2 약액 공급 밸브(132)는, CLC(131)로부터 제 2 인라인 혼합기(73)에의 제 2 약액의 공급의 온 오프를 전환한다. CLC(131)는, 제 2 인라인 혼합기(73)에 공급되는 제 2 약액의 유량을 계측하며, 이 계측값에 의거하여 유량을 제어한다. 구체적으로는, CLC(131)는, 계측한 제 2 약액의 유량에 의거하여, CLC(131) 내로 흘러드는 제 2 약액의 유량이 소망하는 유량이 되도록, CLC(131) 내부의 컨트롤 밸브의 개도를 조절(피드백 제어)한다.
또한, 약액 공급장치(100)는, 약액 유틸리티 박스(60)를 구비한다. 약액 유틸리티 박스(60)는, 제 2 약액 공급원(30)으로부터의 제 2 약액을 제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)에 도입한다. 약액 유틸리티 박스(60)는, 제 2 약액 공급원(30)과 제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)를 접속하는 배관(92) 상에 마련된다. 약액 유틸리티 박스(60)는, 메뉴얼 밸브(63)와, CLC(131)에의 제 2 약액의 공급의 온 오프를 전환하는 제 2 약액 입구 밸브(61)와, 배관(92) 내의 유체 압력을 계측하는 압력계(62)(약액 인측 압력계의 일례에 상당한다)를 구비하고 있다. 제 2 약액 입구 밸브(61)는, 예를 들면, 도면에 나타나 있지 않은 제어장치에 의해 개폐 제어된다. 배관(92)은 제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)에 접속되므로, 압력계(62)는, CLC(131)의 인측(1차측)의 압력을 측정하도록 구성된다. 환언하면, 압력계(62)는, CLC(131)에 유입되는 제 2 약액의 압력을 측정한다.
DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)에는, 제 2 인라인 혼합기(73)에 유체 연통하는 제 2 DIW 배관(84)이 접속된다. CLC(111)에는, 제 2 DIW 배관(84)의 일단이 접속된다. 제 2 DIW 배관(84)의 타단은, 합류부(79)에 있어서 후술하는 제 2 약액 배관(94)에 접속되어, 제 2 인라인 혼합기(73)에 유체 연통한다. 또한, 도면에 나타내는 바와 같이, 합류부(79)는, CLC(111)로부터의 DIW와 CLC(131)로부터의 제 2 약액이 합류하는 지점이다. 제 2 DIW 공급 밸브(113)는 제 2 DIW 배관(84) 상에 마련되며, 제 2 인라인 혼합기(73)에 DIW를 공급하는 경우에 개폐 제어된다.
제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)에는, 제 2 인라인 혼합기(73)에 유체 연통하는 제 2 약액 배관(94)이 접속된다. 제 2 약액 공급 밸브(132)는, 제 2 약액 배관(94) 상에 마련되며, 제 2 인라인 혼합기(73)에 제 2 약액을 공급하는 경우에 개폐 제어된다. 제 2 인라인 혼합기(73)에는, 약액 세정부(220)에 일단이 접속된 제 2 세정 약액 배관(97)이 접속된다. 제 2 인라인 혼합기(73)의 아웃측(2차측)에는, 압력계(75)(아웃측 압력계의 일례에 상당한다)가 마련된다. DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)로부터의 DIW와, 제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)로부터의 제 2 약액은, 합류부(79)에 있어서 합류하므로, CLC(111)의 아웃측(2차측)의 압력은, CLC(131)의 아웃측의 압력과 동일하게 된다. 따라서, 이 압력계(75)는, CLC(111) 및 CLC(131)의 아웃측(2차측)의 압력을 측정할 수 있다. 환언하면, 압력계(75)는, CLC(111) 및 CLC(131)로부터 유출되는 액체의 압력을 측정한다.
제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)는, 도면에 나타나 있지 않은 제어장치로부터 소정의 유량값을 나타내는 신호를 수신 가능하게 구성된다. 이 유량값에 의거하여, CLC(131)의 내부 컨트롤 밸브의 개도가 제어된다.
다음으로 도 4에 나타낸 약액 공급장치(100)에 있어서, 제 1 세정 약액 및 제 2 세정 약액을 약액 세정부(220)에 공급하는 약액 공급 프로세스에 대하여 설명한다. 제 1 세정 약액을 세정 장치(200)의 약액 세정부(220)에 공급할 때는, 먼저, 약액 유틸리티 박스(50)의 제 1 약액 입구 밸브(51)를 개방하고, 메뉴얼 밸브(53)를 개방한다. 제 1 약액 CLC 박스(120)의 CLC(121)에서 제 1 약액의 유량이 조절되어, 제 1 약액 공급원(20)으로부터 제 1 인라인 혼합기(72)에 소정 유량의 제 1 약액이 공급된다.
DIW 공급 배관(81) 상의 DIW 공급 밸브(86)를 개방하면, DIW가 DIW 공급원(10)으로부터 DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)에 공급된다. 제 1 DIW 공급 밸브(112)를 개방함으로써 DIW CLC 박스(110)로부터 제 1 인라인 혼합기(72)에 DIW가 공급된다. 이 때, 제 2 DIW 공급 밸브(113)를 폐쇄해 둔다.
제 1 인라인 혼합기(72)에 공급된 제 1 약액과 DIW가 혼합된다. 이에 의해 생성된 제 1 세정 약액은, 제 1 세정 약액 배관(96)을 개재하여 약액 세정부(220)에 공급된다. 제 1 세정 약액이 약액 세정부(220)에 공급되는 사이, 제 2 약액의 제 2 인라인 혼합기(73)에의 공급이 정지된다. 구체적으로는, 제 2 약액 CLC 박스(130)의 제 2 약액 공급 밸브(132)가 폐쇄된다. 이에 의해, 약액 세정부(220)에는 제 2 세정 약액은 공급되지 않고, 제 1 세정 약액만이 공급된다.
약액 세정부(220)에 제 1 세정 약액이 공급되어 있을 때, 압력계(76), 압력계(52), 및 압력계(74)는, 각각 CLC(111)의 인측의 압력, CLC(121)의 인측의 압력, 및 CLC(111) 및 CLC(121)의 아웃측의 압력을 측정한다. 이에 의해, CLC(111)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압, 및 CLC(121)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다.
제 2 세정 약액을 세정 장치(200)의 약액 세정부(220)에 공급할 때는, 먼저, 약액 유틸리티 박스(60)의 제 2 약액 입구 밸브(61)를 개방하고, 메뉴얼 밸브(63)를 개방한다. 제 2 약액 CLC 박스(130)의 CLC(131)에서 제 2 약액의 유량이 조절되어, 제 2 약액 공급원(30)으로부터 제 2 인라인 혼합기(73)에 소정 유량의 제 2 약액이 공급된다.
DIW 공급 배관(81) 상의 DIW 공급 밸브(86)를 개방하면, DIW가 DIW 공급원(10)으로부터 DIW CLC 박스(110)의 CLC(111)에 공급된다. 제 2 DIW 공급 밸브(113)를 개방함으로써, DIW CLC 박스(110)로부터 제 2 인라인 혼합기(73)에 DIW가 공급된다. 이 때, 제 1 DIW 공급 밸브(112)를 폐쇄해 둔다.
제 2 약액과 DIW는, 제 2 인라인 혼합기(73)에 있어서 혼합된다. 이에 의해 생성된 제 2 세정 약액은, 제 2 세정 약액 배관(97)을 개재하여 약액 세정부(220)에 공급된다. 제 2 세정 약액이 약액 세정부(220)에 공급되는 사이, 제 1 약액의 제 1 인라인 혼합기(72)에의 공급이 정지된다. 구체적으로는, 제 1 약액 CLC 박스(120)의 제 1 약액 공급 밸브(122)가 폐쇄된다. 이에 의해, 약액 세정부(220)에는 제 1 세정 약액은 공급되지 않고, 제 2 세정 약액만이 공급된다.
약액 세정부(220)에 제 2 세정 약액이 공급되어 있을 때, 압력계(76), 압력계(62), 및 압력계(75)는, 각각 CLC(111)의 인측의 압력, CLC(131)의 인측의 압력, 및 CLC(111) 및 CLC(131)의 아웃측의 압력을 측정한다. 이에 의해, CLC(111)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압, 및 CLC(131)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 제 2 실시형태와 같이 복수의 약액을 사용하는 약액 공급장치(100)에 있어서도, 각각의 CLC(111,121,131)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다. 따라서, CLC(111,121,131)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 작업원이 감시함으로써, 제 1 실시형태와 동일하게, CLC(111,121,131)가 고장나 있는 것인지, 그렇지 않으면 차압이 부족한 것인지를 파악할 수 있다. 또한, CLC(111,121,131)의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 미리 취득해 두는 것에 의해, 프로세스 레시피의 변경에 따라 CLC(111,121,131) 중 어느 하나를 변경할 시에, 적절한 CLC를 용이하게 선택할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대하여 설명했지만, 상술한 발명의 실시형태는, 본 발명의 이해를 용이하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명은, 그 취지를 일탈하는 없이, 변경, 개량될 수 있는 것과 함께, 본 발명에는 그 등가물이 포함되는 것은 물론이다. 또한, 상술한 과제의 적어도 일부를 해결할 수 있는 범위, 또는, 효과의 적어도 일부를 가지는 범위에 있어서, 특허청구의 범위 및 명세서에 기재된 각 구성 요소의 임의의 조합, 또는 생략이 가능하다.
이하에 본 명세서가 개시하는 형태의 몇가지를 기재한다.
제 1 형태에 의하면, 액체원으로부터의 액체를 세정 장치에 공급하기 위한 액체 공급장치가 제공된다. 이 액체 공급장치는, 상기 액체원으로부터의 액체의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어장치와, 상기 액체원과 상기 유량 제어장치의 사이에 마련되는 인측 압력계와, 상기 유량 제어장치와 상기 세정 장치의 사이에 마련되는 아웃측 압력계를 가진다.
제 1 형태에 의하면, 유량 제어장치의 인측의 압력과 아웃측의 압력의 차압을 얻을 수 있다. 이에 의해, 가령 유량 제어장치가 소망하는 유량을 공급할 수 없을 경우, 이 차압을 작업원이 감시함으로써, 유량 제어장치가 고장나 있는 것인지, 그렇지 않으면 차압이 부족한 것인지를 파악할 수 있다. 또한, 프로세스 레시피의 변경에 따라 유량 제어장치를 변경할 시에, 적절한 유량 제어장치를 용이하게 선택할 수 있다.
제 2 형태에 의하면, 제 1 형태의 액체 공급장치에 있어서, 상기 액체원은, 희석수 공급원과, 약액 공급원를 가진다. 상기 유량 제어장치는, 상기 희석수 공급원으로부터의 희석수의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 희석수 유량 제어장치와, 상기 약액 공급원으로부터의 약액의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 약액 유량 제어장치를 가진다. 상기 액체 공급장치는, 상기 희석수 유량 제어장치로부터의 상기 희석수와, 상기 약액 유량 제어장치로부터의 상기 약액이 합류하는 합류부를 추가로 가진다. 상기 인측 압력계는, 상기 약액 공급원과 상기 약액 유량 제어장치의 사이에 마련되는 약액 인측 압력계를 가진다. 상기 아웃측 압력계는, 상기 약액 유량 제어장치 또는 상기 희석수 유량 제어장치와 상기 세정 장치의 사이에 마련된다.
제 2 형태에 의하면, 약액 인측 압력계에 의해, 약액 유량 제어장치의 인측 압력을 측정할 수 있다. 또한, 희석수 유량 제어장치로부터의 희석수와 약액 유량 제어장치로부터의 약액이 합류부에서 합류하므로, 희석수 유량 제어장치로부터 유출되는 희석수의 압력과 약액 유량 제어장치로부터 유출되는 약액의 압력이 동일하게 된다. 따라서, 아웃측 압력계가 약액 유량 제어장치 또는 희석수 유량 제어장치와 세정 장치의 사이에 마련됨으로써, 약액 유량 제어장치의 아웃측 압력을 측정할 수 있다. 이에 의해, 약액 유량 제어장치의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 취득할 수 있다.
제 3 형태에 의하면, 제 2 형태의 액체 공급장치에 있어서, 상기 인측 압력계는, 상기 희석수 공급원과 상기 희석수 유량 제어장치의 사이에 마련되는 희석수 인측 압력계를 추가로 가진다.
제 3 형태에 의하면, 희석수 유량 제어장치의 인측 압력을 측정할 수 있다. 희석수 유량 제어장치의 아웃측 압력은, 아웃측 압력계에 의해 측정할 수 있으므로, 희석수 유량 제어장치의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다.
제 4 형태에 의하면, 액체원으로부터의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어장치를 구비한 액체 공급장치에 있어서 상기 액체원으로부터의 액체를 세정 장치에 공급하기 위한 액체 공급 방법이 제공된다. 이 방법은, 상기 액체원으로부터의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어 공정과, 상기 유량 제어장치에 유입되는 액체의 압력을 측정하는 제 1 측정 공정과, 상기 유량 제어장치로부터 유출되는 액체의 압력을 측정하는 제 2 측정 공정을 가진다.
제 4 형태에 의하면, 유량 제어장치의 인측의 압력과 아웃측의 압력의 차압을 얻을 수 있다. 이에 의해, 가령 유량 제어장치가 소망하는 유량을 공급할 수 없을 경우, 이 차압을 작업원이 감시함으로써, 유량 제어장치가 고장나 있는 것인지, 그렇지 않으면 차압이 부족한 것인지를 파악할 수 있다. 또한, 프로세스 레시피의 변경에 따라 유량 제어장치를 변경할 시에, 적절한 유량 제어장치를 용이하게 선택할 수 있다.
제 5 형태에 의하면, 제 4 형태의 액체 공급 방법에 있어서, 상기 유량 제어장치는, 희석수 공급원으로부터의 희석수의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 희석수 유량 제어장치와, 약액 공급원으로부터의 약액의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 약액 유량 제어장치를 가진다. 상기 유량 제어 공정은, 상기 희석수 공급원으로부터의 상기 희석수의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 희석수 유량 제어 공정과, 상기 약액 공급원으로부터의 상기 약액의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 약액 유량 제어 공정을 가진다. 상기 액체 공급 방법은, 유량이 제어된 상기 희석수와, 유량이 제어된 상기 약액을 합류시키는 공정을 추가로 가진다. 상기 제 1 측정 공정은, 상기 약액 유량 제어장치에 유입되는 약액의 압력을 측정하는 공정을 가진다. 상기 제 2 측정 공정은, 상기 약액 유량 제어장치로부터 유출된 약액, 상기 희석수 유량 제어장치로부터 유출된 희석수, 및 상기 약액과 상기 희석수의 혼합액 중 어느 하나의 압력을 측정하는 공정을 가진다.
제 5 형태에 의하면, 약액 유량 제어장치의 인측 압력을 측정할 수 있다. 또한, 희석수와 약액이 합류하므로, 희석수 유량 제어장치로부터 유출되는 희석수의 압력과 약액 유량 제어장치로부터 유출되는 약액의 압력이 동일하게 된다. 따라서, 약액 유량 제어장치로부터 유출된 약액, 희석수 유량 제어장치로부터 유출된 희석수, 및 약액과 희석수의 혼합액 중 어느 하나의 압력을 측정함으로써, 약액 유량 제어장치의 아웃측 압력을 측정할 수 있다. 이에 의해, 약액 유량 제어장치의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 취득할 수 있다.
제 6 형태에 의하면, 제 5 형태의 액체 공급 방법에 있어서, 상기 제 1 측정 공정은, 상기 희석수 유량 제어장치에 유입되는 상기 희석수의 압력을 측정하는 공정을 가진다.
제 6 형태에 의하면, 희석수 유량 제어장치의 인측 압력을 측정할 수 있다. 희석수 유량 제어장치의 아웃측 압력은, 제 2 측정 공정에 있어서 측정되므로, 희석수 유량 제어장치의 인측 압력과 아웃측 압력의 차압을 얻을 수 있다.
10…DIW 공급원
20…제 1 약액 공급원
30…제 2 약액 공급원
52…압력계
62…압력계
74…압력계
75…압력계
76…압력계
78…합류부
79…합류부
100…약액 공급장치
111…CLC
121…CLC
131…CLC
200…세정 장치

Claims (7)

  1. 제 1 액체원으로부터의 액체와 제 2 액체원으로부터의 액체를 혼합하여 혼합 액체를 생성하기 위한 장치로서,
    상기 장치는,
    상기 제 1 액체원으로부터의 액체의 유량을 계측하고, 계측값에 의거하여 유량을 제어하는 유량 제어 장치와,
    상기 제 1 액체원과 상기 유량 제어 장치의 사이에 마련되는 인측 압력계와,
    상기 유량 제어 장치의 하류측에 마련되는 아웃측 압력계를 가지고,
    상기 아웃측 압력계와 상기 유량 제어 장치의 사이에는, 상기 제 2 액체원으로부터의 액체와 상기 제 1 액체원으로부터의 액체가 합류하는 점인 합류부가 마련되고, 상기 합류부에서 혼합된 상기 혼합 액체가 상기 아웃측 압력계에 공급되고,
    상기 장치는, 상기 장치의 가동 중에 상기 제 1 액체원으로부터 상기 합류부로의 상기 액체의 공급의 온 오프를 전환할 수 있는 약액 공급 밸브를 가지고,
    상기 유량 제어 장치는, 미리 취득된 상기 인측 압력계에서 측정되는 압력과 상기 아웃측 압력계에서 측정되는 압력의 차분인 차압에 따른 유량 범위에서 제 1 액체원으로부터의 액체의 공급량을 제어 가능하게 구성된, 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    추가로, 제 1 약액 CLC 박스를 가지고,
    상기 유량 제어 장치는, 상기 제 1 약액 CLC 박스의 내부에 수용되는, 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    추가로, 약액 유틸리티 박스를 가지고,
    상기 인측 압력계는 상기 약액 유틸리티 박스의 내부에 수용되는, 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 아웃측 압력계는 상기 약액 유틸리티 박스의 외부에 마련되는, 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    기판을 세정하는 세정 장치에 상기 혼합 액체를 공급하도록 구성되는, 장치.
  6. 액체 공급 장치로서,
    하우징과,
    상기 하우징에 수용된 DIWCLC 박스로서, DIW의 압력을 측정하는 인측 압력계를 개재하여 DIW 공급원으로부터 공급되는 DIW를, 상기 DIWCLC 박스의 내부에 수용된 유량 제어 장치에 의해 유량을 제어하면서 토출측에 접속된 제 1 배관으로 공급하는, DIWCLC 박스와,
    상기 하우징에 수용되며, 제 1 약액 공급원으로부터 공급되는 제 1 약액의 유량을 제어하면서 제 2 배관으로 공급하는 제 1 약액 CLC 박스와,
    상기 하우징에 수용되며, 상기 제 1 배관과 상기 제 2 배관이 합류하는 합류부와,
    상기 하우징에 수용되며, 상기 합류부에서 상기 DIW와 상기 제 1 약액이 혼합되어 생성되는 혼합 액체의 압력을 측정하는 아웃측 압력계와,
    상기 하우징에 수용되며, 상기 아웃측 압력계를 통과한 상기 혼합 액체를 상기 하우징 밖으로 배출하는 제 3 배관을 가지고,
    상기 DIWCLC 박스는, 상기 액체 공급 장치의 가동 중에 상기 DIW 공급원으로부터 상기 합류부로의 상기 DIW의 공급의 온 오프를 전환할 수 있는 DIW 공급 밸브를 가지고, 또한, 미리 취득된 상기 인측 압력계에서 측정되는 압력과 상기 아웃측 압력계에서 측정되는 압력의 차분인 차압에 따른 유량 범위에서 상기 DIW의 유량을 제어 가능하게 구성된, 액체 공급 장치.
  7. 액체 공급 장치로서,
    약액 공급원으로부터 공급되는 약액의 압력을 측정하는 인측 압력계를 구비한 약액 유틸리티 박스와,
    상기 약액 유틸리티 박스의 하류측에 접속되며, 상기 약액의 유량을 제어하는 제 1 유량 제어 장치를 구비한 약액 CLC 박스와,
    상기 약액 CLC 박스의 하류측에 접속된 약액 토출 배관과,
    DIW 공급원으로부터 공급되는 DIW의 유량을 제어하는 제 2 유량 제어 장치를 구비한 DIWCLC 박스와,
    상기 DIWCLC 박스의 하류측에 접속된 DIW 토출 배관과,
    상기 약액 토출 배관과 상기 DIW 토출 배관이 합류하는 합류부와,
    상기 합류부에서 상기 DIW와 상기 약액이 혼합되어 생성되는 혼합 액체의 압력을 측정하는 아웃측 압력계와,
    상기 아웃측 압력계에 접속되는 토출 배관을 가지고,
    상기 약액 CLC 박스는, 상기 액체 공급 장치의 가동 중에 상기 약액 공급원으로부터 상기 합류부로의 상기 약액의 공급의 온 오프를 전환할 수 있는 약액 공급 밸브를 가지고, 또한, 미리 취득된 상기 인측 압력계에서 측정되는 압력과 상기 아웃측 압력계에서 측정되는 압력의 차분인 차압에 따른 유량 범위에서 상기 약액의 유량을 제어 가능하게 구성된, 액체 공급 장치.
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