KR102523052B1 - 동축 애플리케이터로 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치 - Google Patents

동축 애플리케이터로 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치 Download PDF

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KR102523052B1
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Abstract

본 발명은 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치(1)에 관한 것으로서, 마이크로파 에너지 발생기에 연결된 동축 가이드 또는 케이블(5)과의 결합을 위한 동축 구조를 가지는 커넥터(3)를 구비하는 원위 단부(21) 및 인클로저(4) 내부로 나타나도록 제공된 대향 근위 단부(22)를 제시하는 동축 애플리케이터(2)를 포함하고, 이 동축 애플리케이터는, - 주축(AP)을 따라 연장되는 중심 전도성 코어(23), - 이 중심 코어를 둘러싸는 주변 벽(240) 및 상기 원위 단부 상에 제공되고 상기 주축에 대해 횡방향으로 연장하는 후방 벽(241)을 제시하는 차폐부(24), - 중심 코어(23) 및 차폐부(24) 사이에 위치하는 마이크로파 에너지 전달 매체(25), 및 - 마이크로파 에너지에 대해 투과성의 유전체 재료로 제조되고 근위 단부 상에 배치된 절연체(26)를 포함하고, 동축 구조를 가지는 커넥터는 상기 차폐부에 연결되고 상기 중심 코어에 연결된 내부 도체(32)를 둘러싸는 외부 도체(31)를 구비하고, 차폐부의 후방 벽 상에 배치되는 동시에 외부 도체는 상기 후방 벽 상에 고정되고 내부 도체는 상기 후방 벽을 관통하고 상기 후방 벽으로부터 소정의 거리에서 상기 중심 코어에 연결된 자유 단부 까지의 상기 중심 코어에 대한 소정의 공간을 가지고 주축에 평행하게 연장하는 날렵한(slimline) 연결 부품(33)에 연결된다.

Description

동축 애플리케이터로 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치
본 발명은 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치 및 적어도 이러한 기초 장치를 사용하는 부하의 마이크로파 처리 설비에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로는 동축 마이크로파 전력 애플리케이터를 포함하는 기초 장치에 관한 것이다.
본 발명은 부하의 마이크로파 처리 분야의 적용을 발견하고, 이 부하는 고체 형태(예를 들어, 과립 형태 또는 분말 형태), 가스, 플라즈마, (용매 및/또는 전자기 방사선을 흡수하는 용질을 가지는) 액체일 수 있다. 마이크로파 에너지는 약 300MHz 내지 약 30GHz, 바람직하게는 400MHz 내지 10GHz, 바람직하게는 915MHz 내지 5.8GHz의 주파수가 포함되는 파(wave)들에 관한 것이다.
본 발명은 반응 매체의 열처리(heat treatment) 분야에 적용되는데, 여기서 "열처리"는 증발, 건조, 로스팅, 용매에 현탁된 천연 생성물의 추출, (화학적 화합물을 분석하거나 생성하기 위한) 유전 손실에 의한 가열을 수반하는 화학 반응 또는 합성, 탈수, 베이킹, 표백, 분리, 중합, 가교(crosslinking), 초임계 유체 처리, 휘발성 화학물의 제거 등과 같은 가열에 의해 수행되는 다양한 처리 뿐만 아니라, 혼합 또는 분쇄와 같은, 가열과 동시에 수행되는 다양한 처리를 의미한다.
본 발명은 또한 예를 들어, 표면 세정, 멸균, 증착, 특히 플라즈마-강화 화학 기상 증착, 에칭, 이온 주입, 표면 기능화 및 이온 빔 스퍼터링 (또는 캐소드 스퍼터링)과 같은 다른 표면 처리와 같은 다양한 적용을 위한, 제한 챔버 내부의 플라즈마 생산 분야에 적용된다.
마이크로파 에너지를 발생기와 챔버 내부 사이에서 전달하기 위해서, 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 하나 이상의 기초 장치, 및 일반적으로 종종 기초 소스라고 불리는, 복수의 기초 장치를 결합시켜 사용할 필요가 있다.
따라서, 국제특허공개 WO2014/184357호 및 WO 2012/146870호에서 동축 마이크로파 전력 애플리케이터를 포함하는, 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치를 사용하는 것이 공지되어 있다.
도 1a 및 1b를 참조하면, 종래의 기초 장치(10)는 마이크로파 에너지 발생기(미도시)로부터 발생하는 마이크로파 에너지를 (도 1b에 도시된) 파티션(40)에 의해 경계가 정해지는 챔버(4)로 전달하는 것을 허용하는 동축 마이크로파 전력 애플리케이터(100)를 포함한다.
이러한 동축 애플리케이터(100)는 주축(1010)을 따라 연장되는 중심 전도성 코어(101), 중심 코어(101)를 감싸는 전도성 외부 차폐부(102), 및 중심 코어(101)와 차폐부(102) 사이에 위치되는 마이크로파 에너지를 전파시키기 위한 매체(103)를 포함한다.
이 동축 애플리케이터(100)는 발생기와의 결합을 위해 제공된 동축 구조 커넥터(105)를 구비하는 원위 단부(104) 및 챔버(4) 내부로 나타나도록 제공된 대향하는 근위 단부(106)를 가지고, 이 근위 단부(106)는 마이크로파 에너지에 대해 투과성인 유전체 물질로 제조되는 절연체(107)를 구비한다.
또한, 차폐부(102)는 중심 코어(101)를 둘러싸는 주변 벽(1020)과, 원위 단부(104)에 제공되고 주축(1010)에 대해 횡방향으로 연장하는 바닥 벽(1021)을 가진다.
공지된 바와 같이, 동축 구조 커넥터(105)는 차폐부(102)에 연결되고 중심 코어(101)에 연결된 내부 도체(109)를 둘러싸는 외부 도체(108)를 구비한다. 이 동축 구조의 커넥터(105)는 반사된 전력을 발생시키지 않고 동축 애플리케이터(100)로 에너지의 전달을 촉진하기 위하여 통상적으로 바닥 벽(1021)에 대해 소정의 거리에서 대략 1/4 파장 (즉, 마이크로파 에너지의 파장의 1/4)의 정도로 차폐부(102)의 주변 벽(1020) 상에 배치된다. 내부 도체(109)는 차폐부(102)의 주변 벽(1020)을 관통하고, 바닥 벽(1021)에 대해 거리(D)에서 1/4 파장의 정도로 중심 코어(101)와 접촉하도록 주축(1010)과 직교하는 방향으로 연장되어 있다.
이러한 종래의 기초 장치(10)의 주요 단점은 차폐부(102)의 주변 벽(1020) 상의 동축 구조 커넥터(105)의 존재에 의해 유도되는 측면 또는 주변의 벌크이다.
일부 적용에서, 챔버의 파티션에 나란히 장착되고 동축 케이블 또는 가이드에 연결된 복수의 기초 장치를 제공해야 한다. 그러나, 이들 기초 장치(10)들의 동축 구조 커넥터(105)들은, 특히 파티션 상의 수용면이 제한될 때, 기초 장치(10)들 사이의 너무 근접한 접근을 방지한다.
또한, 동축 구조 커넥터(105)의 이러한 주변의 위치 설정은 동축 구조 커넥터(105)에 연결되도록 굴곡되어야 하는 동축 케이블 또는 가이드의 배치를 방해한다. 그러나, 동축 케이블 또는 가이드의 그러한 굴곡은 기초 장치(10)가 너무 가까이 있을 때, 가능하지 않으며, 그 결과 동축 케이블 또는 가이드를 동축 직각 굴곡부를 통해 동축 구조 커넥터(105) 상에 연결하는 것이 필요하게 되고, 따라서 장착이 복잡해진다.
요약하면, 이들 기초 장치(10)의 구조는 기초 장치(10) 및 관련 동축 케이블 또는 가이드의 컴팩트한 삽입을 방해할 것이다.
본 발명은 이러한 단점을 해결하는 것을 목적으로 하며, 이러한 목적을 위해, 동축 마이크로파 전력 애플리케이터를 포함하는 유형의 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치로서, 상기 마이크로파 전력 동축 애플리케이터는, 한편으로는, 마이크로파 에너지 발생기에 연결된 동축 케이블 또는 가이드와의 결합을 위해 제공된 동축 구조 커넥터를 구비하는 원위 단부를 가지고, 다른 한편으로는, 챔버 내부로 나타나도록 제공된 대향 근위 단부를 가지고,
상기 동축 애플리케이터는,
- 주축을 따라 연장되는 중심 전도성 코어,
- 이 중심 코어을 둘러싸는 주변 벽 및 원위 단부 상에 제공되어 주축에 횡방향으로 연장하는 바닥 벽을 구비하는 외부 전도성 차폐부,
- 중심 코어 및 차폐부 사이에 위치하는 마이크로파 에너지를 전파시키기 위한 매체, 및
- 마이크로파 에너지에 대해 투과성의 유전체 재료로 제조되고 근위 단부 상에 배치된 절연체를 포함하고,
동축 구조 커넥터는 차폐부에 연결되고 중심 코어에 연결된 내부 도체를 둘러싸는 외부 도체를 구비하고,
동축 구조 커넥터는 차폐부의 바닥 벽 상에 배치되고, 이러한 바닥 벽 상에 외부 도체가 고정되고, 바닥 벽을 관통하고 바닥 벽으로부터 소정의 거리에서 중심 코어와 연결된 자유 단부까지의 중심 코어에 대한 소정의 공간을 가지고 주축에 실질적으로 평행하게 이러한 바닥 벽으로부터 연장하는 가늘고 긴 연결 부품에 내부 도체가 연결되는 것에 대해 주목할 만한 기초 장치를 제안한다.
따라서, 동축 구조 커넥터는 차폐부의 바닥 벽 상에 배치되고 그 동축 축은 동축 애플리케이터의 주축에 실질적으로 평행하다. 이러한 방식으로, 동축 구조 커넥터는 측면 방향의 벌크를 제공하지 않으며, 동축 케이블 또는 가이드는 동축 직각의 굴곡부를 사용하거나 동축 케이블 또는 가이드에 굴곡부를 제공 할 필요가 없이, 동축 구조 커넥터 상에 직접 플러그되기 때문에, 챔버의 파티션 상의 기초 장치 및 관련 동축 케이블 또는 가이드의 컴팩트한 삽입을 허용한다.
물론, 동축 구조 커넥터 및 발생기 사이에 위치해야 되는, 전력 분배기 또는 어댑터와 같은, 하나 이상의 장치(들)에 대해 생각할 수 있는 것처럼, 동축 구조 커넥터가 동축 가이드 또는 케이블을 통해 발생기에 직접 연결될 수 있다고 생각할 수 있다.
일 특징에 따르면, 중심 코어는 바닥 벽으로부터 소정의 거리에서 연결 부품의 자유 단부와 접촉하는 연결 부재를 지지한다.
다른 특징에 따르면, 연결 부재는, 특히 나사에 의한 나사 결합, 용접 또는 크림핑에 의해, 연결 부품의 자유 단부 상에 고정된다.
특정 실시예에서, 연결 부재는 중심 코어 상에 용접된다.
특정 실시예에서, 연결 부품은,
- 동축 구조 커넥터의 내부 도체에 연결되는 감소된 직경의 초기 원통형부;
- 중간의 원뿔대(truncated-cone) 형상부; 및
- 중심 코어에 연결된 자유 단부로 끝나는 증가된 직경의 최종 원통형부를 연속적으로 구비한다.
915MHZ 정도의 주파수에 적합한 변형예에서, 최종부는 곡선 형상일 수 있고, 불특정 원통형 형상의 중간부일 수 있다.
본 발명의 가능성에 따라, 기초 장치는 챔버 내부에 플라즈마를 생성하기 위한 기초 장치를 구성한다.
또한, 본 발명은 부하의 마이크로파 처리 설비에 관한 것으로, 상기 설비는,
- 부하가 제한되는 체적의 챔버;
- 하나 이상의 마이크로파 에너지 발생기; 및
- 앞서 언급한 것들 중 어느 하나에 따른 하나 이상의 기초 장치로서, 동축 구조 커넥터는 상기 마이크로파 에너지 발생기에 연결된 동축 케이블 또는 가이드에 연결되고 동축 애플리케이터의 근위 단부는 상기 챔버 내부로 나타나는 하나 이상의 기초 장치를 포함한다.
본 발명의 다른 특징 및 이점은 첨부된 도면을 참조하여 이루어진 비-제한적인 실시예에 대한, 이하의 상세한 설명을 읽음으로써 나타날 것이다.
도 1a는 앞서 언급된 종래의 기초 장치의 축 방향 단면도이다.
도 1b는 앞서 언급된 또 다른 종래의 기초 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 제1 기초 장치의 축 방향 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제2 기초 장치의 축 방향 단면도이다.
도 4는 제1 또는 제2 기초 장치의 사시도이다.
도 5는 복수의 도 4의 제1 또는 제2 기초 장치가 배치된 플라즈마 챔버 내부에 대한 개략도이다.
도 6은 본 발명에 따른 제3 기초 장치의 상세하지 않은 축 방향 단면도이다.
도 7은 도 6의 제3 기초 장치의 사시도이다.
도 8은 복수의 도 7의 제3 기초 장치가 배치된 플라즈마 챔버 내부에 대한 개략도이다.
도 9는 본 발명에 따른 복수의 기초 장치가 장착된 파티션 상의 챔버의 개략도이며, 가시적인 동축 케이블은 상이한 기초 장치들에 연결된다.
도 2 내지 8은 플라즈마를 생성하기 위한 기초 장치(1)의 3 가지 실시예를 도시하며, 제1 및 제2 실시예는 도 2 내지 5에 도시되며, 제3 실시예는 도 6 내지 8에 도시되고, 달리 명시적으로 또는 암시적으로 언급되지 않는 한, 구조적으로 또는 기능적으로 동일하거나 유사한 부재, 부품, 장치 또는 구성요소는 이들 도면에서 동일한 도면 부호로 표시될 것이다.
기초 장치(1)는, 특히 고체-상태 발생기 유형인, 마이크로파 에너지 발생기(미도시), 및 특히, (도 5 및 8에 도시된) 플라즈마 챔버 유형의, 처리될 부하를 포함하는 챔버(4)의 내부 사이에서 마이크로파 에너지의 전송을 보장하기 위해 제공된 동축 마이크로파 전력 애플리케이터(2)를 포함한다
이 동축 애플리케이터(2)는 와이어 형태, 즉, 주축(AP)에 따라 가늘고 긴 형태로 제조되고,
- 마이크로파 에너지 발생기에 연결된 동축 케이블 또는 가이드(5)(도 9에 도시됨)와의 커플링을 위해 제공된 동축 구조 커넥터(3)가 제공된 원위 단부(21); 및
- 챔버(4) 내부로 나타나도록 제공된 대향하는 근위 단부(22)를 구비한다.
동축 애플리케이터(2)는,
- 주축(AP)을 따라 연장되는 전도성 중심 코어(23);
- 중심 코어(23)를 둘러싸는 외부 전도성 차폐부(24)로서, 주축(AP)을 중심으로 하는 원통형 내부면을 가지는 주변 벽(240) 및 동축 애플리케이터(2)의 원위 단부(21)를 폐쇄하는 바닥 벽(241)을 포함하는 중공형 슬리브의 형태를 가지는 이 외부 차폐부(24);
- 중심 코어(23)와 차폐부(24) 사이에 위치된 마이크로파 에너지를 전파시키기 위한 매체(25)로서, 예를 들어 전체적으로 또는 부분적으로 공기로 구성된 전파 매체(25); 및
- 마이크로파 에너지에 대해 투과성의 유전체 재료로 제조된 절연체(26)로서, 동축 애플리케이터(2)의 근위 단부(22) 상에 배치된 절연체(26)를 포함한다.
바닥 벽(241)은 주변 벽(240)에 고정적으로 부착될 수 있거나 또는 주변 벽과 일체로 형성될 수 있다.
절연체(26)는 동축 애플리케이터(2)의 근위 단부(22)를 완전히 플러그되서, 주위 대기압에 있는 전파 매체(25)로부터, 대개 저압으로 유지되는 챔버(4)의 내부를 분리시킨다. 절연체(26)는 챔버(4)의 내부, 특히 플라즈마 애플리케이션의 경우에 챔버(4) 내부에 국한되어 여기된(excited) 가스와 접촉하도록 제공된 외부면(27)을 가진다.
도 2 내지 5의 제1 및 제2 실시예에서, 절연체(26)의 외부면(27)은 차폐부(24)의 근위 단부와 같은 높이로 하며, 따라서 차폐부(24)를 넘어서지 않는다. 또한, 중심 코어(23)는 절연체(26)를 완전히 통과하여 그로부터 바깥쪽으로 돌출된다.
도 6 내지 8의 제3 실시예에서, 절연체(26)의 외부면(27)은 차폐부(24)의 근위 단부로부터 바깥쪽으로 돌출된다. 또한, 중심 코어(23)는 이 절연체(26)를 완전히 관통하지 않고, 절연체(26) 내에 파묻힌 근위 단부를 가진다.
본 발명에 따르면, 동축 구조 커넥터(3)는 차폐부(24)의 바닥 벽(241) 상에 배치되고, 차폐부(24)의 바닥 벽(241)에 연결되고 동축 애플리케이터(2)의 중심 코어(23)에 연결된 내부 도체(32)를 둘러싸는 외부 도체(31)를 가진다.
동축 구조 커넥터(3)는 보다 정확하게, 외부 측면에서, 차폐부(24)의 바닥 벽(241) 상에 나사 수단에 의해 고정되어 있다. 이 동축 구조 커넥터(3)는 동축 애플리케이터(2)의 주축(AP)에 평행한 동축 축(30)을 가진다.
내부 도체(32)는 내부 도체(32)에 연결된 단부 및 중심 코어(23)에 연결된, 자유 단부라고 불리는, 대향 단부를 가지는, 가늘고 긴 전도성의 연결 부품(33)에 의해 중심 코어(23)에 연결된다.
이 연결 부품(33)은 동축 구조 커넥터(3)의 연장부에서 연장되어 동축 애플리케이터(2)의 주축(AP)에 평행한, 동축 축(30)을 따라 연장된다.
연결 부품(33)이 자유 단부까지의 중심 코어(23)에 대한 소정의 공간을 가지고 주축(AP)에 실질적으로 평행하게 연장되기 위하여 동축 구조 커넥터(3)는 주축(AP)에 대해 반경 방향으로 오프셋된다(즉, 동축 축(30) 및 주축(AP)은 동일 선상에 있지 않다). 연결 부품(33)은 차폐부(24)의 바닥 벽(241)을 관통한다.
정확하게는, 중심 코어(23)는 차폐부(24)의 바닥 벽(241)으로부터 소정의 거리(D)에서 중심 코어 상에 용접되는 연결 부재(34)를 지지한다.
이 연결 부재(34)는 연결 부품(33)의 자유 단부와 접촉하고, 보다 정확하게는 연결 부품(33)의 자유 단부 상에 고정된다.
도 2 및 6의 제1 및 제3 실시예에서, 연결 부재(34)는 용접에 의해 연결 부품(33)의 자유 단부 상에 고정된다.
도 3의 제2 실시예에서, 연결 부재(34)는 나사(35)에 의해 연결 부품(33)의 자유 단부 상에 고정된다.
도시되지 않은 변형예에서, 연결 부재(34)는 크림핑(crimping)에 의해 연결 부품(33)의 자유 단부 상에 고정된다.
도 2 및 6의 제1 및 제3 실시예에서, 연결 부품(33)은 일정한 직경의 원통형 스템(stem)의 형상을 가진다.
도 3의 제2 실시예에서, 연결 부품(33)은,
- 동축 구조 커넥터(3)의 내부 도체(32)에 연결되는 감소된 직경의 원통형 초기부;
- 중간의 원뿔대 형상부; 및
- 중심 코어(23)에 연결된 연결 부재(34)를 지지하는 자유 단부로 끝나는 증가된 직경 (즉, 초기부의 직경보다 큰 직경)의 원통형 최종부를 연속적으로 구비한다.
이러한 기초 장치(1)는 부하의 마이크로파 처리 설비, 특히 플라즈마 생산 설비에 사용되며, 상기 설비는,
- 부하가 제한되는 체적의 챔버(4)로서, (도 5 및 8에 도시된 바와 같이) 파티션(40)에 의해 경계가 정해지는 챔버(4);
- 특히, 고체-상태 발생기 유형의, 하나 이상의 마이크로파 에너지 발생기(미도시);
- 한편으로는 발생기에 연결되고 다른 한편으로는 기초 장치(1)의 동축 구조 커넥터(3)에 연결된 (도 9에 도시된) 하나 이상의 동축 케이블 또는 가이드(5); 및
- 도 5 및 8에 도시된 바와 같이, 파티션을 관통하여 챔버(4) 내부로 나타나는 하나 이상의 기초 장치(1)를 포함한다.
동축 애플리케이터(2)의 차폐부(24)는,
- 챔버(4) 상에 부착되고 그 파티션(40)을 통해 단단히 통과하는 부품으로 구성되거나;
- 또는 적어도 부분적으로 파티션(40)과 일체로 형성되며, 즉, 이 차폐부(24)는 파티션(40) 자체에 의해 부분적으로 또는 전체적으로 형성된다는 점이 주목되어야 한다.

Claims (7)

  1. 마이크로파 전력 동축 애플리케이터(2)를 포함하는 유형의 마이크로파 에너지를 인가하기 위한 기초 장치(1)로서,
    상기 마이크로파 전력 동축 애플리케이터는, 한편으로는, 마이크로파 에너지 발생기에 연결된 동축 케이블 또는 가이드(5)와의 결합을 위해 제공된 동축 구조 커넥터(3)를 구비하는 원위 단부(21)를 가지고, 다른 한편으로는, 챔버(4) 내부로 나타나도록 제공된 대향 근위 단부(22)를 가지고,
    상기 동축 애플리케이터(2)는,
    - 주축(AP)을 따라 연장되는 전도성 중심 코어(23),
    - 상기 중심 코어(23)를 둘러싸는 주변 벽(240) 및 상기 원위 단부(21) 상에 제공되어 상기 주축(AP)에 대해 횡방향으로 연장하는 바닥 벽(241)을 구비하는 외부 전도성 차폐부(24),
    - 상기 중심 코어(23) 및 상기 차폐부(24) 사이에 위치하는 마이크로파 에너지를 전파시키기 위한 매체(25), 및
    상기 마이크로파 에너지에 대해 투과성의 유전체 재료로 제조되고 상기 근위 단부(22) 상에 배치된 절연체(26)를 포함하고,
    상기 동축 구조 커넥터(3)는 상기 차폐부(24)에 연결되고 상기 중심 코어(23)에 연결된 내부 도체(32)를 둘러싸는 외부 도체(31)를 구비하고,
    상기 동축 구조 커넥터(3)는 상기 차폐부(24)의 상기 바닥 벽(241) 상에 배치되고, 상기 바닥 벽(241) 상에 상기 외부 도체(31)가 고정되고, 상기 바닥 벽(241)을 관통하고 상기 바닥 벽(241)으로부터 소정의 거리(D)에서 상기 중심 코어(23)와 연결된 자유 단부까지의 상기 중심 코어(23)에 대한 소정의 공간을 가지면서 상기 주축(AP)에 실질적으로 평행하게 상기 바닥 벽(241)으로부터 연장하는 가늘고 긴 연결 부품(33)에 상기 내부 도체(32)가 연결되는 것을 특징으로 하는 기초 장치(1).
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 중심 코어(23)는 상기 바닥 벽(241)으로부터 소정의 거리(D)에서 상기 연결 부품(33)의 자유 단부와 접촉하는 연결 부재(34)를 지지하는 것을 특징으로 하는 기초 장치(1).
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 연결 부재(34)는, 나사(35)에 의한 나사 결합, 용접 또는 크림핑에 의해, 상기 연결 부품(33)의 상기 자유 단부 상에 고정되는 것을 특징으로 하는 기초 장치(1).
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 연결 부재(34)는 상기 중심 코어(23) 상에 용접되는 것을 특징으로 하는 기초 장치(1).
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연결 부품(33)은,
    - 상기 동축 구조 커넥터(3)의 상기 내부 도체(32)에 연결되는 감소된 직경의 초기 원통형부;
    - 중간의 원뿔대 형상부;
    - 상기 중심 코어(23)에 연결된 상기 자유 단부로 끝나는 증가된 직경의 최종 원통형부를 연속적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 기초 장치(1).
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기초 장치(1)는 상기 챔버(4) 내부에 플라즈마를 생성하기 위한 기초 장치(1)를 구성하는 것을 특징으로 하는 기초 장치(1).
  7. 부하의 마이크로파 처리 설비로서,
    - 부하가 제한되는 체적의 챔버(4);
    - 하나 이상의 마이크로파 에너지 발생기; 및
    - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 하나 이상의 기초 장치(1)로서, 상기 동축 구조 커넥터(3)는 상기 마이크로파 에너지 발생기에 연결된 동축 케이블 또는 가이드(5)에 연결되고, 상기 동축 애플리케이터(2)의 상기 근위 단부(22)는 상기 챔버(4) 내부로 나타나는 하나 이상의 기초 장치(1)를 포함하는 것을 특징으로 하는 부하의 마이크로파 처리 설비.
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