ES2268365T3 - Ventana para microondas de alta potencia. - Google Patents
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Abstract
Estructura de ventana de microondas para una cámara de baja presión, permitiendo dicha estructura de ventana que se introduzca energía de microondas en la cámara desde una fuente externa a la cámara, comprendiendo dicha estructura: una pieza de fijación que presenta unas paredes eléctricamente conductoras, proporcionando dichas partes interiores de las paredes una región periférica de una abertura dentro de dicha pieza de fijación, estando adaptada dicha pieza de fijación para montarse en una parte de pared lateral de la cámara; una ventana dieléctrica sólida transparente a la energía de microondas que presenta: una parte periférica fijada a la pieza de fijación; una región interior dispuesta dentro de la abertura de la pieza de fijación; estando dispuesta una primera superficie de la región interior en la cámara y estando dispuesta una segunda superficie opuesta de la ventana de la región interior de manera externa a la cámara, presentando una parte de la pared lateral un primer extremo terminando en la primera superficie y un segundo extremo terminando en la parte periférica, estando separada dicha parte de pared lateral de la ventana de las paredes de la pieza de fijación.
Description
Ventana para microondas de alta potencia.
La presente invención se refiere a ventanas para
microondas, y más particularmente a ventanas para microondas
adaptadas para su utilización en una cámara de baja presión (es
decir, vacío) para permitir la introducción de energía de
microondas de alta potencia desde una fuente externa a la cámara
para pasar a través de esta ventana a dicha cámara.
Tal como se conoce en la técnica, muchas
aplicaciones requieren la introducción de energía de microondas de
potencia elevada en una cámara de baja presión desde una fuente de
microondas a externa la cámara. Una de tales aplicaciones es la
deposición química en fase vapor asistida por plasma (PECVD). En
dicha aplicación, la energía de microondas se introduce en la
cámara (o reactor) a través de una ventana dieléctrica. De ese
modo, la ventana se dispone en una parte abierta de la pared de la
cámara. Una guía de onda termina en una superficie exterior de la
ventana. Debido a que la presión de gas en la cámara (o reactor) es
baja y el campo eléctrico de microondas (es decir en campo
eléctrico) está en su máximo nivel en el reactor, se presenta el
problema de rotura Paschen en la ventana. Cuando esto sucede, se
forma plasma de alta densidad en un lado del reactor (es decir,
lado de baja presión o de vacío) de la ventana. Este plasma absorbe
muy intensamente la energía de microondas entrante lo que conlleva
el calentamiento muy localizado de la ventana. Bajo ciertas
condiciones, este calentamiento causa el fallo del reactor debido a
choque térmico. El fallo de la ventana causa que entre aire en el
reactor destruyendo el vacío elevado dentro de la cámara y el
proceso deseado dentro de la cámara.
Según la presente invención, se proporciona una
estructura de una ventana de microondas para una cámara de baja
presión. La estructura de la ventana permite que la energía de
microondas se introduzca en la cámara desde una fuente externa a la
cámara. La estructura de ventana incluye una pieza de fijación que
presenta unas paredes conductoras eléctricas. La parte interior de
las paredes proporciona una región periférica de una abertura en
dicha pieza de fijación. La pieza de fijación está adaptada para su
montaje en una parte de la pared lateral de la cámara. La
estructura de la ventana comprende una ventana dieléctrica sólida
transparente a la energía de microondas. La ventana incluye: una
parte periférica fija a la pieza de fijación; y, una región
interior dispuesta en la abertura de la pieza de fijación. Una
primera superficie de la región interior está dispuesta en la
cámara. Una segunda superficie, opuesta, de la ventana de la región
interior está dispuesta externa a la cámara. La ventana presenta
una parte de pared lateral con un primer extremo que termina en la
primera superficie y un segundo extremo que termina en la parte
periférica de la ventana. La parte de pared lateral de la ventana
está separada de las paredes de la pieza de fijación conductora.
Con dicha disposición, la unión en el contacto
entre la pared conductora de la pieza de fijación, la ventana
dieléctrica y el vacío en el interior de la cámara (la denominada
"triple unión") está desplazada de las paredes conductoras de
la pieza de fijación. Más particularmente, un fenómeno clave en el
inicio de la rotura de microondas a través de la superficie es la
inyección de electrones en la superficie dieléctrica de la triple
unión. Aquí, los electrones se emiten por el campo desde la
superficie conductora, especialmente desde los bordes afilados o
rebabas en las paredes. Cada colisión entre los electrones emitidos
con la superficie de la ventana dieléctrica multiplica el número de
electrones porque la energía secundaria liberada de la mayoría de
dieléctricos es mayor que la unidad (por ejemplo hasta un
multiplicador de 4 para la sílice). Al cruzar los electrones la
superficie de la ventana dieléctrica produce una avalancha, causando
la ionización y rotura de gas en la ventana.
Según una característica de la invención, la
parte periférica de la ventana está en contacto con las partes
interiores de la pieza de fijación adyacentes a una región
redondeada de dichas partes interiores de las paredes. Con dicha
disposición, la región redondeada reduce la amplitud del campo
eléctrico en la unión triple por lo que el número de electrones de
campo emitidos se reduce en correspondencia.
Según otra característica de la invención, la
parte de la pared lateral es paralela a las paredes interiores de
la pieza de fijación. Con dicha disposición, la dirección del campo
eléctrico establecido a través de partes opuestas de la pared
conductora es perpendicular a la superficie de las partes adyacentes
de la ventana es decir, perpendicular a las paredes laterales
desplazadas de la ventana).
Según otra característica de la invención, la
segunda superficie de la ventana comprende una estructura corrugada.
Con dicha disposición, la magnitud del campo eléctrico es más
uniforme a través de la ventana reduciendo con ello el campo
eléctrico de pico a través de la ventana.
Según otra característica de la invención, la
primera superficie de la ventana presenta picos y valles en la
misma, estando separados dichos picos entre sí por una longitud
menor a la longitud de onda de funcionamiento nominal de la energía
de microondas que se introduce en la cámara a través de la ventana.
Con dicha disposición, la superficie interior de la ventana es
paralela al vector del campo eléctrico que se rompe por las
estructuras por debajo de la longitud de onda (es decir, los picos
y los valles) para reducir la probabilidad de formación de
descargas superficiales; además, las mismas estructuras por debajo
de la longitud de onda se diseñan para eliminar las reflexiones de
microondas causadas por el diferencial elevado en la constante
dieléctrica entre la ventana y el vacío.
Los detalles de una o más formas de realización
de la invención se establecen en los dibujos adjuntos y la
descripción siguiente. Otras características, objetivos y ventajas
de la invención se pondrán de manifiesto a partir de la descripción
y los dibujos, y de las reivindicaciones.
La figura 1 es un esquema de una cámara de
deposición por vacío que presenta varias ventanas de microondas
según la invención;
la figura 2 es una vista superior en planta de
la estructura de ventana de microondas según la invención;
la figura 2A es una vista en sección transversal
de la estructura de ventana de microondas de la figura 1, estando
tomada dicha sección transversal a lo largo de la línea
2A-2A de la figura 2;
la figura 2B es una vista en sección transversal
de la estructura de ventana de microondas de la figura 2, estando
tomada dicha sección transversal a lo largo de la línea
2B-2B de la figura 2;
la figura 3A es una vista en sección transversal
de la estructura de ventana de microondas de la figura 2 fijada a
una cámara de baja presión y estando alimentada por energía de
microondas desde una fuente de microondas externa a la cámara,
dicha energía pasando desde la fuente, a través de una ventana de
microondas de dicha estructura de la figura 2;
la figura 3B es una vista diferente en sección
transversal de la estructura de ventana de microondas de la figura
2, fijada a una cámara de baja presión y estando alimentada por
energía de microondas desde una fuente de microondas externa a la
cámara, dicha energía pasando desde la fuente, a través de una
ventana de microondas de dicha estructura de la figura 2, a la
cámara, dicha sección siendo ortogonal a la vista en sección
transversal de la figura 3A;
la figura 4 es una vista en planta de una pieza
de fijación utilizada en la estructura de ventana de microondas de
la figura 1;
la figura 4A es una vista en alzado lateral, en
sección transversal, explosionada, de una pieza de fijación de la
figura 4, estando tomada dicha sección transversal a lo largo de la
línea 4A-4A de la figura 4;
la figura 4B es una vista en alzado lateral, en
sección transversal, explosionada, de una pieza de fijación de la
figura 4, dicha sección transversal estando tomada a lo largo de la
línea 4B-4B de la figura 4;
la figura 5 es una vista en planta de una
ventana de microondas utilizada en la estructura de ventana de
microondas de la figura 2,
la figura 5A es una vista en sección transversal
de la ventana de microondas de la figura 5, estando tomada dicha
sección transversal a lo largo de la línea 5A-5A de
la figura 5;
la figura 5B es una vista en sección transversal
de la ventana de microondas de la figura 5, estando tomada dicha
sección transversal a lo largo de la línea 5B-5B de
la figura 5; y
la figura 6 es una vista en sección transversal
de una parte ampliada de la estructura de ventana de microondas de
la figura 3A, estando designada dicha parte por la flecha 6 en la
figura 3A.
Los símbolos de referencia iguales en los
diversos dibujos designan elementos iguales.
A continuación, en relación a la figura 1 se
muestra una cámara 9 de deposición química en fase vapor. La cámara
9 presenta un par de ventanas de microondas 10 para introducir
energía de microondas en la cámara 9.
A continuación, en relación a las figuras 2, 2A
y 2B, se muestra un estructura de ventana de microondas 10 para una
cámara 12 (figuras 2A y 2B). La estructura de ventana 10 permite que
se introduzca energía de microondas a la cámara 12 desde una fuente
de energía de radio frecuencia (R.F.) 14, aquí microondas, externa
a la cámara 12, cómo se muestra en las figuras 3A y 3B.
Tal como se muestra en las figuras 2, 2A y 2B,
la estructura de ventana 10 incluye una pieza de fijación 20
(figuras 4, 4A y 4B). Tal como se muestra en las figuras 4, 4A y 4B,
la pieza de fijación 20 presenta una parte superior 20U y una parte
inferior 20L. La pieza de fijación 20 presenta paredes conductoras
eléctricas, las paredes conductoras de la parte superior 20U
estando indicadas por 22U y la pared conductora de la parte
inferior 20L estando indicada por 22L, las partes interiores 24U,
24L de las paredes conductoras 22U, 22L proporcionan una región
periférica de una abertura 26 dentro de dicha fijación 20. La pieza
de fijación 20 está adaptada para montarse en una abertura 28
(figuras 3A, 3B) a través de una parte de pared lateral de la
cámara 12.
Cómo se muestra en las figuras 2, 2A y 2B, la
estructura de ventana 10 (figuras 2, 2A y 2B) comprende una ventana
30 dieléctrica sólida transparente a la energía de microondas
(mostrada en más detalle en las figuras 5, 5A y 5B). La ventana 30,
mostrada más claramente en las figuras 5, 5A y 5B comprende: una
parte periférica 40 fijada a las paredes conductoras 22 de la pieza
de fijación 20, (figuras 2, 2A y 2B); y, una región interior 42
dispuesta en la abertura 26 de la pieza de fijación 20 y alineada
con la abertura a través de la parte de la pared lateral de la
cámara.
Más particularmente, las partes superior e
inferior 20U, 20L de la pieza de fijación 20 conectan la parte 40
periférica entre ellas. Las partes 20U y 20L superior e inferior con
la parte periférica 40 emparedada entre ellas están unidas entre sí
con tornillos 23 (figuras 4, 4A y 4B) para asegurar la ventana 30 a
la pieza de fijación 20 con la región interior 42 dentro de la
abertura 26 de la pieza de fijación 20.
Obsérvese que una primera superficie 30U (figura
3A) de la región interior 42 está dispuesta en la cámara 12 a
través de la abertura 28 en la cámara 12 y una segunda superficie
30L opuesta a la región interior 42 está dispuesta externa a la
cámara 12. La segunda región 30L presenta incidente a la misma la
energía de microondas que se introduce por la fuente 14, figuras
3A, y 3B.
En referencia a las figuras 5, 5A, 5B y 6, debe
mencionarse que la ventana 30 presenta una parte de pared lateral
44 con un primer extremo 46 de la misma terminando en la primera
superficie 30U de la ventana y un segundo extremo 48 de la misma
terminando en la parte periférica 40. La parte 44 de la pared
lateral de la ventana 30 está separada de la pared 22U de la parte
superior 20U de la pieza de fijación 10, como se muestra en la
figura 6.
La parte 40 periférica de la ventana 30 está en
contacto con la parte interior 24U de las paredes de la pieza de
fijación 20 adyacente a una región redondeada 50 de tales partes
interiores de la pared. La parte 44 de pared lateral de la ventana
30 es paralela a la pared superior, interior, de la parte de pieza
de fijación 20U, como se muestra en las figuras 5 y 2B. (Obsérvese
que la energía de microondas de la fuente 14 se alimenta a la
ventana 30 a través de una guía de onda rectangular. La guía de onda
52 presenta las paredes estrechas 52N (figura 2B) de la misma
soportando el campo eléctrico E. Así, obsérvese que la parte de
pared lateral 44 es perpendicular al vector de campo eléctrico E,
como se muestra en la figura 3B).
En relación a las figuras 4, 4A y 4B, la segunda
superficie 30L de la ventana 30 presenta fijada a la misma una
estructura corrugada que presenta una constante dieléctrica mayor
que la constante dieléctrica de la parte superior 30U de la ventana
30. También, una pila de placas dieléctricas con longitudes
alternantes llena el volumen de la guía de onda contigua a la
ventana. La guía de onda en sí misma no se modifica. La pila
dieléctrica, eléctricamente (RF) formando parte de la estructura de
la ventana, reduce la intensidad de pico del campo eléctrico. Los
elementos de la pila están realizados en cualquier material de
constante dieléctrica elevada, y tangente de pérdida reducida, en
el presenta caso, Teflón. Cada dos placas, alternadamente, la placa
de la pila es menor en la dirección H de la guía de onda que las
placas adyacentes, de tamaño completo. El propósito de la pila es
transformar la radiación incidente de modo simple a multimodo,
obteniendo con ello un campo eléctrico más uniforme. Así, mientras
se diseña una guía de onda para operar con sólo un modo posible,
aquí la guía de onda presenta una distribución en medio coseno de
la intensidad de campo eléctrico a través de las dimensiones más
anchas de la guía, con el máximo en el centro. Al ser multimodo, son
posibles las ondas con patrones de múltiples cosenos. Al distribuir
la energía de la onda en muchos modos con múltiples picos menores,
el campo eléctrico será más uniforme. Un campo eléctrico más
uniforme tendrá máximos de pico menores y es por lo tanto menos
probable que cause rotura. El diseño de la pila también sirve que la
onda se ajuste al material de constante dieléctrica elevada,
minimizando la energía reflectada.
La primera superficie 30U de la ventana 30
presenta unos picos 52P y unos valles 52V de la misma, estando
separados dichos picos 52P entre sí por una longitud menor que la
longitud de onda de funcionamiento nominal de la energía de
microondas que se introduce en la cámara 12 a través de la ventana
30. Así, se proporcionan estructuras por debajo de la longitud de
onda que también sirven para eliminar reflexiones de microondas
ocasionada por el salto en constante dieléctrica en la superficie
de la ventana paralela al vector eléctrico (es decir, el vector de
campo eléctrico). Así, mientras las estructuras por debajo de la
longitud de onda como las descritas en "Superficies estructuradas
antireflexión para la región espectral infrarroja" por D.H.
Raguin y G.M. Moris, Applied Optics, páginas 1154 a 1167 Marzo
1993, actúan de modo similar a los recubrimientos para reducir o
eliminar reflexiones de reflexiones electromagnéticas, las
reflexiones pueden también eliminarse ajustando el espesor de
elementos reflectantes de modo que las ondas reflectadas varias
veces se añaden fuera de fase y por lo tanto se cancelan. Sin
embargo, este enfoque presenta la desventaja de crear ondas
estacionarias con campos eléctricos potenciales elevados entre las
estructuras que producen las ondas reflectadas canceladas. Aquí, la
mayor ventaja de las estructuras por debajo de la longitud de onda
es que los filos que forman parte de estas estructuras pueden
discurrir paralelos al vector de campo eléctrico ocasionando por lo
tanto que la longitud de recorrido a lo largo de la superficie sea
mucho más largo en esa dirección y rompiendo la superficie en
regiones de relativamente pequeñas diferencias de potencial.
Se han descrito varias formas de realización de
la invención. Sin embargo, se comprenderá que pueden efectuarse
varias modificaciones sin apartarse por ello de la invención,
definida en las reivindicaciones siguientes.
Claims (5)
1. Estructura de ventana de microondas para
una cámara de baja presión, permitiendo dicha estructura de ventana
que se introduzca energía de microondas en la cámara desde una
fuente externa a la cámara, comprendiendo dicha estructura:
- una pieza de fijación que presenta unas paredes eléctricamente conductoras, proporcionando dichas partes interiores de las paredes una región periférica de una abertura dentro de dicha pieza de fijación, estando adaptada dicha pieza de fijación para montarse en una parte de pared lateral de la cámara;
- una ventana dieléctrica sólida transparente a la energía de microondas que presenta:
- una parte periférica fijada a la pieza de fijación;
- una región interior dispuesta dentro de la abertura de la pieza de fijación; estando dispuesta una primera superficie de la región interior en la cámara y estando dispuesta una segunda superficie opuesta de la ventana de la región interior de manera externa a la cámara,
- presentando una parte de la pared lateral un primer extremo terminando en la primera superficie y un segundo extremo terminando en la parte periférica, estando separada dicha parte de pared lateral de la ventana de las paredes de la pieza de fijación.
2. Estructura de ventana según la
reivindicación 1, en la que la parte periférica de la ventana está
en contacto con las partes interiores de las paredes de la pieza de
fijación adyacente a una región redondeada de dichas partes
interiores de las paredes.
3. Estructura de ventana según la
reivindicación 2, en la que la parte de pared lateral de la ventana
es paralela a las paredes interiores de la pieza de fija-
ción.
ción.
4. Estructura de ventana según la
reivindicación 2, en la que la segunda superficie de la ventana
presenta una estructura corrugada que presenta una constante
dieléctrica mayor que la constante dieléctrica de la ventana.
5. Estructura de ventana según la
reivindicación 4, en la que la primera superficie de la ventana
presenta unos picos y unas paredes en la misma, estando separados
dichos picos entre sí por una longitud menor que la longitud de
onda de funcionamiento nominal de la energía de microondas
introducida en la cámara a través de la ventana.
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
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Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6965287B2 (en) * | 2004-03-31 | 2005-11-15 | Tokyo Electron Limited | Low reflection microwave window |
| JP2005353364A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Shibaura Mechatronics Corp | プラズマ発生装置、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
| TW200736018A (en) * | 2006-03-31 | 2007-10-01 | Hou-Fei Hu | Tool rack |
| US20100214043A1 (en) * | 2009-02-20 | 2010-08-26 | Courtney Clifton C | High Peak and Average Power-Capable Microwave Window for Rectangular Waveguide |
| CN109473753B (zh) * | 2018-11-21 | 2021-07-30 | 北京无线电计量测试研究所 | 一种周期阵列结构辐射体新型微波窗及测试方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3028461A1 (de) * | 1980-07-26 | 1982-04-08 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Hochbelastbares hf-fenster, insbesondere fuer grossklystrons |
| DE3228367A1 (de) * | 1982-07-29 | 1984-02-02 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Vakuumdichte fensteranordnung fuer einen rechteck-hohlleiter |
| US4620170A (en) * | 1984-12-19 | 1986-10-28 | Varian Associates, Inc. | Means for liquid cooling a microwave window |
| US5038712A (en) * | 1986-09-09 | 1991-08-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus with layered microwave window used in microwave plasma chemical vapor deposition process |
| JPH0676664B2 (ja) * | 1986-12-09 | 1994-09-28 | キヤノン株式会社 | マイクロ波プラズマｃｖｄ法による機能性堆積膜の形成装置 |
| US4931756A (en) * | 1988-04-08 | 1990-06-05 | Energy Conversion Devices, Inc. | High power microwave transmissive window assembly |
| US5226967A (en) * | 1992-05-14 | 1993-07-13 | Lam Research Corporation | Plasma apparatus including dielectric window for inducing a uniform electric field in a plasma chamber |
| US5306985A (en) * | 1992-07-17 | 1994-04-26 | Sematech, Inc. | ECR apparatus with magnetic coil for plasma refractive index control |
| US5501740A (en) * | 1993-06-04 | 1996-03-26 | Applied Science And Technology, Inc. | Microwave plasma reactor |
| WO1998033362A1 (fr) * | 1997-01-29 | 1998-07-30 | Tadahiro Ohmi | Dispositif a plasma |
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