KR102515354B1 - 직교 로봇 - Google Patents

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KR102515354B1
KR102515354B1 KR1020210123898A KR20210123898A KR102515354B1 KR 102515354 B1 KR102515354 B1 KR 102515354B1 KR 1020210123898 A KR1020210123898 A KR 1020210123898A KR 20210123898 A KR20210123898 A KR 20210123898A KR 102515354 B1 KR102515354 B1 KR 102515354B1
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Abstract

개시되는 직교로봇은, 볼 스크류 샤프트의 고정단 측을 회전 가능하게 지지하는 고정측 서포트 유닛을 가진다. 고정측 서포트 유닛은, 고정단 측을 회전 가능하게 지지하며, 볼 스크류 샤프트의 반경 방향의 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 1 진동 저감 조립체; 볼 스크류 샤프트의 축 방향 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 2 진동 저감 조립체; 및 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체를 내부에 한정하며, 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체를 고정단 측에 지지시키는 베어링 하우징;을 포함한다.

Description

직교 로봇{ORTHOGONAL ROBOT}
본 발명(Disclosure)은, 직교 로봇에 관한 것으로, 상세하게는 설계 자유도를 저해하지 않고 직선 운동속도를 고속화할 수 있게 하는 직교 로봇에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
공장 자동화 시스템, 특히 반도체 공정 등과 같은 자동화가 구축된 시스템에서는 부품이나 반제품 등의 이송 및 결합 등의 작업 또는 작동을 위하여 직교 로봇이 주로 사용되고 있다.
그리고 직교 로봇에 사용되는 이송방법으로는 비용, 신뢰성, 제어 용이성 등을 고려해 볼 스크류(ball screw) 방식을 사용하고 있다.
한편, 최근 볼 스크류 방식을 사용하는 직교 로봇에서는 직선 운동속도, 즉 캐리어의 주행속도를 고속화하기 위한 노력들이 있어 왔다.
직교 로봇의 직선 운동속도를 높이는 방법으로는, 볼 스크류 샤프트의 리드(lead) 간격을 넓히거나 볼 스크류 샤프트의 지름을 키우는 방법들이 사용되고 있다.
그러나, 볼 스크류 샤프트의 리드(lead)를 넓히게 되면 정밀한 위치제어가 어려운 문제점이 있으며, 볼 스크류 샤프트의 지름을 키우게 되면 무게, 비용 등이 동반 상승하게 되고, 회전수가 제한되는 문제점이 있었다.
또한, 직교 로봇의 직선 운동속도를 높이는 또 다른 방법으로는, 서보 모터(servo motor)에서 발생하는 회전 토크(torque)를 높이는 방법이 있으나, 이는 볼 스크류 샤프트의 위험속도(critical speed)를 고려해야 하는 문제점이 있었다.
여기서, 위험속도를 피하는 방법으로는 볼 스크류 샤프트의 지지 스팬(span)을 짧게 하기나 볼 스크류 샤프트의 지름을 키움으로 대응할 수 있는데, 지지 스팬은 설계 자유도에 영향을 주는 문제점이 있으며, 볼 스크류 샤프트의 지름을 키우는 것을 전술한 바와 같이 무게, 비용 등이 동반 상승하게 되고, 회전수가 제한되는 문제점이 있었다.
이에, 본 발명의 발명자는 설계 자유도를 저해하지 않고 직교 로봇의 직선 운동속도를 고속화하는 방안은 모색하였으며, 그 결과물로 본 발명을 특허 출원하기에 이르렀다.
한국등록특허공보 제10-1697769호. 한국등록특허공보 제10-1469846호. 한국등록특허공보 제10-1207397호.
본 발명(Disclosure)은, 볼 스크류 샤프트의 반경 및 축 방향 진동을 감쇄하고 흡수해 볼 스크류 샤프트의 위험속도를 높일 수 있게 하는 직교 로봇의 제공을 일 목적으로 한다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따르면, 볼 스크류 샤프트의 고정단 측을 회전 가능하게 지지하는 고정측 서포트 유닛을 가지는 직교 로봇에 있어서, 상기 고정측 서포트 유닛은, 상기 고정단 측을 회전 가능하게 지지하며, 상기 볼 스크류 샤프트의 반경 방향의 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 1 진동 저감 조립체; 상기 볼 스크류 샤프트의 축 방향 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 2 진동 저감 조립체; 및 상기 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체를 내부에 한정하며, 상기 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체를 상기 고정단 측에 지지시키는 베어링 하우징;을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 베어링 하우징은, 원통형의 하우징 본체; 및 상기 하우징 본체를 지지하며, 상기 하우징 본체를 공정 설비의 베드에 설치되게 하는 베이스;를 포함하되, 서보 모터와 대면하는 하우징 본체의 일측은 수직한 하우징 벽부에 의해 폐쇄되고, 상기 하우징 본체의 타측은 하우징 커버에 의해 폐쇄되며, 상기 하우징 벽부 및 상기 하우징 커버 사이에는 상기 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체가 수용되는 수용 공간부가 마련되고, 상기 하우징 벽부와 상기 하우징 커버에는 상기 고정단이 관통하는 제 1 및 제 2 관통공이 형성될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 제 1 진동 저감 조립체는, 내륜이 상기 고정단 측에 압입되며, 상기 고정단을 회전 가능하게 지지하는 베어링; 상기 베어링의 외륜이 압입되며, 상기 볼 스크류 샤프트의 반경 방향 진동을 전달하는 베어링 어댑터; 및 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 개재되며, 상기 베어링 어댑터를 통해 전달되는 상기 볼 스크루 샤프트의 반경 방향 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 1 탄성부재;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 베어링 어댑터는, 원통형의 어댑터 본체를 포함하되, 상기 하우징 벽부와 대면하는 상기 어댑터 본체의 일측은 상기 고정단이 관통하는 제 3 관통공이 형성된 수직한 어댑터 벽부에 의해 폐쇄되고, 타측은 개방되며, 상기 어댑터 벽부와 상기 베어링 어댑터 타측 사이에는 상기 베어링이 끼워지는 베어링 자리부가 마련되되, 상기 베어링 자리부의 외곽에는 상기 베어링의 외륜 측이 압입 장착되며, 상기 어댑터 본체의 타측에는 상기 베어링의 이탈을 방지하는 칼라가 탈부착 가능하게 장착될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 제 1 탄성부재는 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 개재되어 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 탄성층을 형성할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 제 1 탄성부재는 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 충전된 후 경화되는 실리콘으로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 제 2 진동 저감 조립체는, 상기 하우징 커버와, 상기 제 1 진동 저감 조립체의 상기 칼라 사이에 개재되어 상기 볼 스크류 샤프트의 축 방향 진공을 감쇄 및 흡수할 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 제 2 탄성부재는 압축 코일 스프링 또는 웨이브 스프링일 수 있다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 직교 로봇에서, 상기 제 2 진동 저감 조립체는, 상기 볼 스크류 샤프트의 축 방향 하중을 지지하는 강구;들을 더 포함하며, 상기 강구들은, 상기 어댑터 벽부와 상기 하우징 벽부 사이에 배치되되, 상기 강구들은 회전 대칭되게 케이지에 의해 회전 가능하게 서로 연결되고, 상기 케이지는 상기 하우징 본체의 내주면 상에 고정 장착될 수 있다.
본 발명에 의하면, 볼 스크류 샤프트의 반경 및 축 방향 진동을 감쇄하고 흡수하기 때문에 설계 자유도를 저해하지 않으면서 볼 스크류 샤프트의 위험속도를 높일 수 있게 하는 효과를 제공할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 의하면, 볼 스크류 샤프트의 위험속도를 높일 수 있기 때문에 볼 스크루 샤프트의 상용(常用)회전속도를 높일 수 있으며, 그로 인해 캐리어의 직선 운동속도를 고속화할 수 있게 한다.
도 1은 본 발명에 따른 직교 로봇을 개략적으로 나타낸 평면도.
도 2는 도 1의 "A"에서 본 발명의 직교 로봇을 바라 본 측면도.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 고정측 서포터 유닛의 내부를 나타낸 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 직교 로봇을 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
첨부된 도면 중에서, 도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 직교 로봇을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 직교 로봇(10)은 종래 직교 로봇들과 대동소이한 구성을 가진다.
즉, 본 발명에 따른 직교 로봇(10)은 서보 모터(20)와, 서보 모터(20)에서 발생하는 회전 토크를 직선운동으로 변환시키는 볼 스크류 샤프트(30) 및 볼 스크류 너트(40)와, 볼 스크류 너트(40)에 탑재되는 캐리어(50)와, 캐리어(50)의 주행을 보조하는 가이드 레일(60)과, 가이드 레일(60)을 따라 슬라이딩 가능하게 배치되고 캐리어(50)에 연결되는 다수의 가이드 블록(70)을 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 직교 로봇(10)은 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32) 측을 회전 가능하게 지지하는 고정측 서포트 유닛(100)과, 볼 스크류 샤프트(30)의 지지단(34) 측을 회전 가능하게 지지하는 지지측 서포트 유닛(80)을 더 포함한다.
이때, 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32)은 통상의 커플링(22)을 매개로 서보 모터(20)와 연결된다.
한편, 본 발명에 따른 직교 로봇(10)의 고정측 서포트 유닛(100)은 종래 직교 로봇의 고정측 서포트 유닛과는 다르게 볼 스크류 샤프트(30)의 반경 및 축 방향 진동을 감쇄하고 흡수할 수 있게 한다.
하기에는 본 발명에 따른 직교 로봇(10)의 고정측 서포트 유닛(100)에 대해 설명한다.
첨부된 도면 중에서, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 고정측 서포터 유닛의 내부를 나타낸 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 직교 로봇(10)의 고정측 서포터 유닛(100)은 베어링 하우징(110)과, 제 1 진동 저감 조립체(130) 및 제 2 진동 저감 조립체(160)를 포함한다.
먼저, 베어링 하우징(110)은 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체(130, 160)를 내부에 한정하며, 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체(130, 160)를 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32) 측에 지지시킨다.
베어링 하우징(110)은 원통형의 하우징 본체(112)를 포함하며, 하우징 본체(112)는 본 발명에 따른 직교 로봇(10)이 설치되는 공정 설비의 베드(B)에 설치된다.
이를 위해, 하우징 본체(112)의 하부에는 볼트공(116)들이 형성된 각형의 베이스(114)가 일체로 형성된다.
즉, 하우징 본체(112)는 베이스(114)에 의해 지지되고, 베이스(114)는 통상의 볼트(bolt)를 매개로 공정 설비의 베드(B)에 설치된다.
한편, 서보 모터(20)와 대면하는 하우징 본체(112)의 일측은 하우징 본체(112)에 일체로 형성되는 수직한 하우징 벽부(118)에 의해 폐쇄되고, 하우징 본체(112)의 타측은 하우징 커버(120)에 의해 폐쇄된다.
이때, 하우징 벽부(118) 및 하우징 커버(120) 사이에는 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체(130, 160)가 수용되는 수용 공간부(122)가 마련되고, 하우징 벽부(118)와 하우징 커버(120)에는 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32)이 관통하는 제 1 및 제 2 관통공(124, 126)이 형성된다.
그리고 하우징 커버(120)는 수용 공간부(122)에 수용되는 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체(130, 160)의 유지보수를 위해 반복적으로 하우징 본체(112)의 타측에 탈부착 가능하게 장착된다.
제 1 진동 저감 조립체(130)는 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32) 측을 회전 가능하게 지지하며, 볼 스크류 샤프트(30)의 반경 방향 진동을 감쇄 및 흡수한다.
제 1 진동 저감 조립체(130)는 도시된 바와 같이 베어링 하우징(110)에 마련된 수용 공간부(122) 내에 수용되는 베어링(132)과, 베어링 어댑터(140) 및 제 1 탄성부재(152)를 포함한다.
베어링(132)은 누구나 알 수 있듯이, 내륜(134) 및 외륜(136), 내륜(134)과 외륜(136) 사이에 개재되는 전동체(138)를 포함한다.
이러한 베어링(132)은 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32) 측을 회전 가능하게 지지하는데, 이를 위해 베어링(132)의 내륜(134)으로는 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32)이 관통하며, 내륜(134)은 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32)에 압입 장착된다.
여기서, 베어링(132)은 특별히 한정하지는 않으나, 베어링(132)은 통상의 앵귤러 볼 베어링 또는 앵귤러 롤러 베어링 또는 앵귤러 원통 롤러 베어링 중 어느 하나일 수 있다.
베어링 어댑터(140)는 베어링(132)을 통해 전달되는 볼 스크류 샤프트(30)의 반경 방향 진동을 제 1 탄성부재(152) 측으로 전달하며, 제 1 탄성부재(152)는 베어링 어댑터(140)를 통해 전달되는 진동을 감쇄 및 흡수한다.
베어링 어댑터(140)는 원통형의 어댑터 본체(142)를 포함하며, 하우징 벽부(118)와 대면하는 어댑터 본체(142)의 일측은 어댑터 본체(142)에 일체로 형성되는 수직한 어댑터 벽부(144)에 의해 폐쇄되고, 어댑터 본체(142)의 타측은 베어링(132)이 끼워질 수 있도록 개방된다.
이때, 어댑터 벽부(144)와 베어링 어댑터(140) 타측 사이에는 베어링(132)이 끼워지는 베어링 자리부(146)가 마련되며, 어댑터 벽(144)에는 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32)이 관통하는 제 3 관통공(148)이 형성된다.
그리고 베어링 자리부(146)에 끼워지는 베어링(132)은 베어링(132)의 외륜(136) 측이 베어링 자리부(146)의 외곽, 즉 어댑터 본체(142)의 내주면 상에 압입 장착되는데, 개방된 어댑터 본체(142)의 타측에는 베어링 자리부(144)에 끼워진 베어링(132)의 이탈을 방지하는 링(ring) 형상의 칼라(150)가 베어링(132)의 작동에 간섭되지 않게 탈부착 가능하게 장착된다.
한편, 제 1 탄성부재(152)는 도시된 바와 같이 베어링 어댑터(140)와 하우징 본체(112) 사이에 개재되어 베어링 어댑터(140)와 하우징 본체(112) 사이에 탄성층을 형성한다.
이렇게 탄성층을 형성하는 제 1 탄성부재(152)는 통상의 액상 실리콘으로 제공되는데, 제 1 탄성부재(152)는 베어링 어댑터(140)와 하우징 본체(112) 사이에 충전된 후 경화되어 탄성층을 형성한다.
그리고 제 1 탄성부재(152)는 베어링(132)의 내륜(134)이 회전 가능한 상태가 되도록 베어링 어댑터(140)를 하우징 본체(112)의 고정시키며, 볼 스크류 샤프트(30) 회전 시 베어링 어댑터(140)를 통해 전달되는 볼 스크류 샤프트(30)의 반경 방향 진동을 감쇄 및 흡수해 볼 스크류 샤프트(30)의 위험속도를 높일 수 있게 한다.
제 2 진동 저감 조립체(160)는 볼 스크류 샤프트(30)의 축 방향 진동을 감쇄 및 흡수한다.
제 2 진동 저감 조립체(160)는 도시된 바와 같이 베어링 하우징(110)에 마련된 수용 공간부(122) 내에 수용되는 제 2 탄성부재(162)를 포함한다.
제 2 탄성부재(162)는 볼 스크류 샤프트(30)의 고정단(32) 회전에 간섭되지 않게 도시된 바와 같이 하우징 커버(120)와, 제 1 진동 저감 조립체(130)의 칼라(150) 사이에 개재된다.
이러한 제 2 탄성부재(162)는 볼 스크류 샤프트(30) 회전 시 볼 스크류 샤프트(30)의 축 방향 진동을 감쇄 및 흡수하며, 이에 의해 볼 스크류 샤프트(30)의 위험속도를 높일 수 있게 한다.
바람직하게는, 제 2 탄성부재(142)는 통상의 압축 코일 스프링 또는 짧은 길이만으로도 충분한 탄성력을 제공할 수 있는 통상의 웨이브 스프링일 수 있다.
한편, 제 2 진동 저감 조립체(160)는 볼 스크류 샤프트(30)의 축 방향 하중을 지지하는 강구(164)들을 더 포함한다.
강구(164)들은 제 1 진동 저감 조립체(130)의 어댑터 벽부(144)와 베어링 하우징(110)의 하우징 벽부(118) 사이에 배치된다.
이때, 강구(164)들은 회전 대칭되게 케이지(168)에 의해 회전 가능하게 서로 연결되고, 케이지(168)는 도시된 바와 같이 고정단(32) 및 제 1 탄성부재(152)에 간섭되지 않게 하우징 본체(112)의 내주면 상에 고정 장착된다.
여기서, 케이지(168)는 통상의 볼 베어링의 볼(ball)을 지지하는 케이지(cage)와 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이렇게 케이지(168)에 회전 가능하게 연결되는 강구(164)들은 어댑터 벽부(144)와 하우징 벽부(118)에 점 접촉하면서 볼 스크류 샤프트(30)의 축 방향 하중을 지지한다.
이와 같이 형성된 본 발명에 직교 로봇(100)은 볼 스크류 샤프트(30)의 반경 및 축 방향 진동을 감쇄하고 흡수하기 때문에 설계 자유도를 저해하지 않으면서 볼 스크류 샤프트(30)의 위험속도를 높일 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 직교 로봇(100)은 볼 스크류 샤프트(30)의 위험속도를 높일 수 있기 때문에 볼 스크루 샤프트(30)의 상용(常用)회전속도를 높일 수 있으며, 그로 인해 캐리어(50)의 직선 운동속도를 고속화할 수 있게 한다.

Claims (9)

  1. 볼 스크류 샤프트의 고정단 측을 회전 가능하게 지지하는 고정측 서포트 유닛을 가지는 직교 로봇에 있어서,
    상기 고정측 서포트 유닛은,
    상기 고정단 측을 회전 가능하게 지지하며, 상기 볼 스크류 샤프트의 반경 방향의 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 1 진동 저감 조립체;
    상기 볼 스크류 샤프트의 축 방향 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 2 진동 저감 조립체; 및
    상기 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체를 내부에 한정하며, 상기 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체를 상기 고정단 측에 지지시키는 베어링 하우징;을 포함하며,
    상기 베어링 하우징은,
    원통형의 하우징 본체; 및
    상기 하우징 본체를 지지하며, 상기 하우징 본체를 공정 설비의 베드에 설치되게 하는 베이스;를 포함하되,
    서보 모터와 대면하는 상기 하우징 본체의 일측은 수직한 하우징 벽부에 의해 폐쇄되고, 상기 하우징 본체의 타측은 하우징 커버에 의해 폐쇄되며,
    상기 하우징 벽부 및 상기 하우징 커버 사이에는 상기 제 1 및 제 2 진동 저감 조립체가 수용되는 수용 공간부가 마련되고, 상기 하우징 벽부와 상기 하우징 커버에는 상기 고정단이 관통하는 제 1 및 제 2 관통공이 형성되고,
    상기 제 1 진동 저감 조립체는,
    내륜이 상기 고정단 측에 압입되며, 상기 고정단을 회전 가능하게 지지하는 베어링;
    상기 베어링의 외륜이 압입되며, 상기 볼 스크류 샤프트의 반경 방향 진동을 전달하는 베어링 어댑터; 및
    상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 개재되며, 상기 베어링 어댑터를 통해 전달되는 상기 볼 스크류 샤프트의 반경 방향 진동을 감쇄 및 흡수하는 제 1 탄성부재;를 포함하며,
    상기 제 2 진동 저감 조립체는,
    상기 볼 스크류 샤프트의 축 방향 하중을 지지하는 강구;들을 더 포함하며,
    상기 강구들은,
    상기 어댑터 벽부와 상기 하우징 벽부 사이에 배치되되, 상기 강구들은 회전 대칭되게 케이지에 의해 회전 가능하게 서로 연결되고, 상기 케이지는 상기 하우징 본체의 내주면 상에 고정 장착되는 직교 로봇.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 베어링 어댑터는,
    원통형의 어댑터 본체를 포함하되,
    상기 하우징 벽부와 대면하는 상기 어댑터 본체의 일측은 상기 고정단이 관통하는 제 3 관통공이 형성된 수직한 어댑터 벽부에 의해 폐쇄되고, 타측은 개방되며,
    상기 어댑터 벽부와 상기 베어링 어댑터 타측 사이에는 상기 베어링이 끼워지는 베어링 자리부가 마련되되, 상기 베어링 자리부의 외곽에는 상기 베어링의 외륜 측이 압입 장착되며, 상기 어댑터 본체의 타측에는 상기 베어링의 이탈을 방지하는 칼라가 탈부착 가능하게 장착되는 직교 로봇.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제 1 탄성부재는 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 개재되어 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 탄성층을 형성하는 직교 로봇.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제 1 탄성부재는 상기 베어링 어댑터와 상기 하우징 본체 사이에 충전된 후 경화되는 실리콘으로 제공되는 직교 로봇.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 제 2 진동 저감 조립체는,
    상기 하우징 커버와, 상기 제 1 진동 저감 조립체의 상기 칼라 사이에 개재되어 상기 볼 스크류 샤프트의 축 방향 진공을 감쇄 및 흡수하는 제 2 탄성부재;를 포함하는 직교 로봇.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제 2 탄성부재는 압축 코일 스프링 또는 웨이브 스프링인 직교 로봇.
  9. 삭제
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