KR102445880B1 - 도구 설치를 위한 소모성 인터페이스 플레이트 - Google Patents

도구 설치를 위한 소모성 인터페이스 플레이트 Download PDF

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Abstract

집적 회로 도구를 위한 받침대 또는 올림 바닥에 접속되도록 동작가능한 인터페이스를 포함하는 장치로서, 이 인터페이스는 인터페이스의 입력측 및 출력측 상의 유틸리티 접속들을 위한 복수의 개구들을 포함하는 장치가 개시된다. 장치가 받침대 또는 올림 바닥에 접속되도록 동작가능한 인터페이스 - 이 인터페이스는 인터페이스의 입력측 및 출력측 상의 유틸리티 접속들을 위한 복수의 개구들을 포함함 - ; 인터페이스에서 각자의 개구들을 통해 접속된 커넥터들 - 상기 커넥터들은 각자의 유틸리티에의 접속을 위해 동작가능함 - ; 및 커넥터들 중 각자의 커넥터들에 연결된 도구를 포함한다. 방법이 소스로부터의 하나 이상의 유틸리티들을 받침대에 연결된 인터페이스의 입력측에 연결하는 단계; 및 인터페이스의 출력측에서 하나 이상의 유틸리티들에 도구를 연결하는 단계를 포함한다.

Description

도구 설치를 위한 소모성 인터페이스 플레이트{CONSUMABLE INTERFACE PLATE FOR TOOL INSTALL}
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원은 2014년 8월 19일자로 출원되고 참조로 본원에 포함되는 동시 계류중인 미국 임시 특허 출원 제62/039,382호를 우선권 주장한다.
분야
도구 설치.
다양한 집적 회로 칩 공정 및 패키징 환경들이 다수의 상이한 도구들을 사용한다. 칩 제조에서, 예를 들어, 대표적인 도구들이 에칭 도구들, 리소그라피 도구들 및 퇴적 도구들을 포함한다. 이들 도구들 각각은 물, 가스(들), 진공, 액체 화학들 등과 같은 다양한 유틸리티(utility)를 요구한다. 이들 유틸리티들은 도구가 공장에 배치된 후(예컨대, 도구가 받침대(pedestal) 상에 설치된 후) 통상적으로 도구로 가지고 오게 된다. 따라서, 일단 도구가 설치되면, 기술자들(종사자들)이 이러한 도구를 유틸리티들에 접속해야만 한다. 이러한 도구 설치 설계는 상당한 양의 시간이 걸리는 경향이 있다.
도 1은 받침대 상의 도구 - 그 도구는 받침대에 접속된 인터페이스 플레이트(interface plate)에 접속되는 다수의 유틸리티를 가짐 - 의 실시예의 측단면도를 도시한다.
도 2는 인터페이스 플레이트를 포함하는 도 1의 받침대의 평면도를 도시한다.
도 3은 받침대에 접속된 인터페이스 베셀(vessel) - 인터페이스 플레이트가 공장(소스)과 하나 이상의 도구들 사이에서 유틸리티들을 접속하는데 사용될 수 있음 - 을 갖는 받침대를 포함하는 조립체의 다른 실시예를 도시한다.
도 4는 인터페이스 베셀을 포함하는 도 3의 받침대의 평면도를 도시한다.
도 5는 받침대에 접속된 인터페이스 베셀을 포함하는 받침대의 조립체의 다른 실시예의 측단면도를 도시한다.
도 6은 도 5의 받침대 및 인터페이스의 평면도이다.
도 7은 인터페이스 베셀의 다른 실시예의 상단 측면 사시도를 도시한다.
도 8은 올림 바닥(raised floor)의 다리들에 접속된 인터페이스를 갖는 올림 바닥의 일부분의 상단 측면 사시도를 도시한다.
하나의 양태에서, 하나 이상의 공장 유틸리티들과 도구 사이에 인터페이싱하는 인터페이스가 설명된다. 인터페이스에 대한 대표적인 구성들은, 예를 들어 칩 제조 공장 또는 시설에서, 하나 이상의 유틸리티들이 소스(입력)로부터 접속될 수 있는 그리고 출력 라인들 - 이러한 출력 라인들은 하나 이상의 도구들에 접속될 수 있음 - 이 접속될 수 있는 플레이트 또는 베셀을 포함한다. 인터페이스는 종사자들에 의한 도구 설치의 속도를 증가시키고 도구 이동(tool move-ins)을 위한 그들의 작업을 재설치(reinstall)할 필요성을 최소화한다. 인터페이스는 도구 설계/구성을 변경하는 일 없이 도구 외부에서 공통 유틸리티들을 함께 매니폴드(manifold)하는 데에도 사용될 수 있다. 인터페이스는, 예를 들어 도구에 대한 향후의 수정들(예컨대, 개량들, 변경들)을 예상하여 인터페이스에 가외의 유틸리티 라인들을 부설하는 것에 의해, 향후의 전환들(예컨대, 같은 자리에서의 향후의 개조들)에 대한 여지(scope)를 예정보다 빨리 용이하게 하는데 추가로 사용될 수 있다.
도 1은 받침대 상의 도구의 실시예의 측단면도를 도시하는데, 그 도구는 테이블 상의 인터페이스(인터페이스 플레이트)에 접속되는 다수의 유틸리티를 갖는다. 도 2는 인터페이스 플레이트를 포함하는 도 1의 받침대의 평면도를 도시한다. 도 1과 도 2를 참조하면, 하나의 실시예에서, 조립체(100)(받침대와 인터페이스 플레이트와 도구)의 받침대(110)가 대체로 평면 표면을 갖는 직사각형 형상을 가진다. 받침대의 길이 및 폭에 대한 임의의 제한이, 하나의 실시예에서, 받침대 상에 위치될 도구 또는 가능한 도구들의 사이즈에 기초하여 결정될 것이다. 하나의 실시예에서, 받침대(110)는 도구 또는 도구들을 지지하도록 동작가능한 평면의 수평 표면 플레이트(120)를 포함한다. 표면 플레이트(120)는 그 안에 위치될 인터페이스 플레이트(130)를 위한 영역을 정의하는 절개부(cut out)(125)를 포함한다. 도 1은, 예를 들어, 인터페이스 플레이트(130)를 받침대 다리들(140)에 그리고 도 1에서 받침대(110)의 표면 플레이트(120)의 평면 아래에(보여진 바와 같은 평면 아래에) 있는 포지션에서 접속하는 L자 브래킷들(135)에 의해, 받침대(110)에 체결된(fastened) 인터페이스 플레이트(130)를 도시한다.
하나의 실시예에서, 인터페이스 플레이트(130)는 표면 플레이트(120)를 제작하는데 사용되는 재료와 유사한 재료 또는 화학적 불활성 재료와 같은 다른 재료로 만들어질 수 있다. 대표적인 재료로는 스테인레스 강을 포함한다. 인터페이스 플레이트(130)는 다양한 유형들 및 사이즈들의 접속들을 허용하는 다수의 개구들을 갖는다. 이러한 개구들의 대표적인 것은, 하나의 양태에서 인터페이스 플레이트(130)에 접속되어 있는 유틸리티에 의존하는 상이한 사이즈들(상이한 지름들)을 갖는 도 2에 예시된 개구(150A) 및 개구(150E)이다. 도 1은 (인터페이스 플레이트(30)에서의 각자의 개구들을 통해) 인터페이스 플레이트(130)에 접속된 다수의 상이한 커넥터들을 도시한다. 이러한 커넥터들은 인터페이스 플레이트로 가져오는 유틸리티에 의해 대표적으로 선택되는 다수의 상이한 유형들을 포함할 수 있다. 대표적인 유형들은 다음을 포함한다:
물: 스레드형 압축, 빠른 분리, ORFS 피팅들/유니언들(ORFS fittings/unions), 바브(barb)들, 유니언들, 플랜지들, 플레어-형;
배기: 칼라들, 튜브/파이프 스터브들, 플랜지 형 접속들;
배출: 소켓, 플랜지형, 스레드형, 압축;
가스들: 금속 가스켓 피팅들(VCR, UJR, 등), 압축, 스레드형, 피팅들을 통해 보링된 격벽, 푸시형 피팅들;
진공: 진공 플랜지들, 푸시형 피팅들;
화학들: 플레어-형 피팅들, 필러-형 피팅들, 플랜지형, 이중 격납을 위한 격벽 피팅들; 및
전기: 잭들, 커넥터들(주 전력 피더들(main power feeders)의 접속, 저 전압 제어 시그널링, 배선관/케이블 트레이 본딩(raceway/cable tray bonding), 접지, EMI 등을 위함).
하나의 실시예에서, 유사한 커넥터들이 인터페이스 플레이트(130)의 대향측들에서 접속된다. 도 1은, 대표적으로, 인터페이스 플레이트(130)의 개구(150A)를 통해 접속된 압축형의 피팅(160A) 및 피팅(160B); 개구(150B)를 통해 접속된 MNPT(male national pipe thread) 형의 커넥터(161A) 및 커넥터(161B); 인터페이스 플레이트(130)의 개구(150B)를 통해 접속된 튜브 스터브의 커넥터(161A) 및 커넥터(161B); 인터페이스 플레이트(130)의 개구(150C)를 통해 접속된 커넥터(162A) 및 커넥터(162B); 인터페이스 플레이트(130)의 개구(150D)를 통해 접속된 푸시 피팅 형의 커넥터(163A) 및 커넥터(163B); 및 플레이트에서의 개구(150E)를 통해 인터페이스 플레이트(130)의 대향측들에서 접속된 플랜지 형의 커넥터(164A) 및 커넥터(164B)를 도시한다.
하나의 실시예에서, 인터페이스 플레이트(130)는 도구가 공장 또는 최종 사용 시설에서 그것의 목적지에 도달하기 전에 제작된다. 인터페이스 플레이트(130)는 도구 도착 이전에 받침대(110)에 접속되어, 받침대(110) 상에 도구를 설치하기 전에 종사자들이 공장 또는 소스 측의 피팅들에 다양한 유틸리티들을 접속할 수 있게 한다(예컨대, 커넥터들(160A, 161A, 162A, 163A 및 164A)에 대한 접속들). 인터페이스 플레이트(130)가 받침대(110)의 표면 플레이트(120)의 평면 밑에 (도시된 바와 같이 평면 아래에) 배치되기 때문에, 이러한 인터페이스 플레이트는 도구 측에서 인터페이스 플레이트(130)에 대한 접근이 요망되기까지 단단한 커버 플레이트(도시되지 않음)에 의해 덮일 수 있다. 도 1은 표면 플레이트(120)와 받침대 다리(받침대 다리(140))에 접속된 브래킷(145) 사이의 선반(shelf)(170)을 도시한다. 이러한 선반은 그 위에 커버 플레이트를 수용하는 영역을 제공한다.
도 1에 도시된 실시예는 다수의 상이한 유틸리티들을 인터페이스 플레이트(130)에 접속하는데 사용될 수 있다. 일단 도구(180)가 받침대(110)의 표면 플레이트(120) 상에 배치되면, 이러한 도구의 동작을 위한 필요한 유틸리티들은 도구에 접속될 수 있다. 도 1은 도구(180)에 커넥터들을 통해 접속된 유틸리티 라인들(예컨대, 튜브들)(190A, 190B, 190C, 190D, 190E 및 190F)을 도시한다. 라인들(190A-190F) 각각은 도구(180) 상의 접속들에 접속하기 위한 (예컨대, 도구(180) 상의 접속들과 결합하는) 대응하는 커넥터(191A, 191B, 191C, 191D, 191E 및 191F)를 포함한다. 하나의 실시예에서, 라인들(190A-190F)은 이러한 라인들을 통해 흐르는 재료의 유형에 대해 개별적으로 선택된다. 비교적 불활성 재료의 유틸리티들을 위한 라인들(190A-190F)에 대한 대표적인 재료가 스테인레스 강이다. 하나의 실시예에서, 인터페이스 플레이트(130)에서부터 도구(180)의 접속들까지 이어지는 각자의 라인들은 도구 또는 공장에서 도구가 있는 곳에 상관없이 대체로 동일한 길이 및 사이즈를 갖는다.
도 1은 다수의 라인이 도구(180)와 인터페이스 플레이트(130) 사이의 상이한 접속들로 매니폴드될 수 있는 실시예를 도시한다. 구체적으로는, 도 1은 커넥터(160B)로부터 도구(180) 상의 다수의 커넥터를 향하여 커넥터(190A) 및 커넥터(190B)를 통해 연장하는 라인을 도시한다. 예시된 바와 같이, 단일 라인이 인터페이스 플레이트(130)에 접속되고 그 라인은 도구(180) 상의 커넥터에의 접속을 위해 라인들(190A 및 190B)로 변경된다.
도 1에서 다수의 라인으로 도시된 바와 같이, 하나의 실시예에서, 도구가 인터페이스 플레이트(130)에 제공된 모든 유틸리티를 요구하지 않을 수 있다. 상이한 유틸리티들을 인터페이스 플레이트(130)로 이어주는 능력을 가지는 것의 하나의 장점은, 도구에 대한 향후의 수정들 또는 개량들이 유틸리티 라인들의 상당한 재작업 없이 수용될 수 있다는 것이다. 도구에 의한 추가적인 또는 개선된 처리를 허용하기 위해 추가적인 공정 가스 유틸리티가 도구에 추가될 수 있는 예(도구의 다음 세대)에서, 도구의 제조업자는 이러한 추가적인 유틸리티에 대한 접속이 도구 상에 배치될 수 있는 경우에 관해 논의할 수 있어서, 인터페이스 플레이트(130)는 이러한 다음 세대를 염두에 두고 제조될 수 있다.
도 3은 인터페이스 플레이트가 공장(소스 또는 입력)과 하나 이상의 도구들(출력) 사이에 유틸리티들을 접속하는데 사용될(접속하도록 동작가능할) 수 있는, 인터페이스가 그 안에 접속되어 있는 받침대를 포함하는 조립체의 다른 실시예의 측단면도를 도시한다. 도 4는 그 안에 인터페이스를 포함하는 도 3의 받침대의 평면도를 도시한다. 도 3과 도 4를 참조하여 설명되는 실시예에서, 인터페이스는 유독성 및/또는 인화성인 유틸리티들과 함께 사용될 수 있다. 일반적으로, 마이크로프로세서 제조 산업에서, 유독성 및/또는 인화성인 유틸리티들은 종종 이중 포함 라인들(double contained lines)에서 작동(run)한다. 이러한 라인들은 유틸리티(예컨대, 화학 또는 가스)를 운반하는 일차 라인과 이러한 일차 라인을 둘러싸는 이차 라인을 포함한다. 이상적으로는, 파손시(in the break) 작용하는 기계적 피팅 주위에 이차 피팅을 설치하는 것이 어려우므로 이중 포함 라인들에 어떠한 파손도 갖지 않는 것이 바람직하다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 조립체(200)는 개구를 갖는 표면 플레이트(220)를 포함하는 받침대(210)와, 개구 내에 배치되어 받침대(210)의 다리들(240)에 접속된 인터페이스 베셀(230)의 인터페이스를 포함한다. 하나의 실시예에서, 인터페이스 베셀(230)은 내부의 볼륨을 정의하는, 예를 들어 스테인레스 강의, 몸체를 갖는 베셀이다. 도 3은 대향측 부분들(232A 및 232B)과 대향측 부분들(233A 및 233B)을 포함하는 인터페이스 베셀(230)을 도시한다. 대향측 부분들은 인터페이스 베셀(230) 내부의 볼륨(234)을 정의한다. 인터페이스 베셀(230) 내부에는 이중 포함 라인들의 일차 라인을 위한 커넥터들이 배치된다. 도 3은 공장 또는 시설(소스 또는 입력)로부터의 이중 포함 라인들(250A, 250B 및 250C)을 도시한다. 도 3은 인터페이스 베셀(230)의 도구측(출력측)에 접속된 이중 포함 라인들(260A, 260B 및 260C)을 또한 도시한다. 이러한 출력 커넥터 라인들은 그 라인들의 말단의 적합한 커넥터들을 통해 도구에 접속되도록 동작가능한 이중 포함 라인들이다(말단 대향 커넥터들이 이러한 라인들을 인터페이스 베셀(230)에 접속시킴). 이중 포함 라인들(260A-260C)은 이중 포함 라인의 각자의 이차 라인에 대해 각각 적합한 커넥터들(265A, 265B 및 265C)을 통해 인터페이스 베셀(230)에 접속된다.
도 3은 내부에 배치된 커넥터들 사이에 칸막이들(235)을 갖는 격납 베셀(230)을 도시한다. 칸막이들은 인터페이스 베셀(230)의 셀 내부에 유틸리티를 위한 개개의 커넥터들을 포함하는 셀들을 정의한다. 하나의 실시예에서, 그것들의 각자의 셀들에서의 이중 포함 라인들(250A 또는 250B)에 연관된 누설(예컨대, 일차 라인들의 접속에 연관된 누설)의 경우에, 이러한 유독성 또는 인화성 유틸리티는 이차 라인 속으로 누설될 것이고 그 누설은 인터페이스 베셀(230)의 공장 측의 센서(예컨대, 센서(275))에 의해 알아차려진다. 도 3은 배기 포트(280)를 갖는 격납 라인(250C)에 연관된 셀을 또한 도시한다. 하나의 실시예에서, 센서(285)는 배기 포트(280)에 접속된다. 특정한 유틸리티들에 대해 인터페이스 베셀의 출력측의 셀 내에서 접속의 임의의 누설을 검출하는 것이 바람직하다. 센서(285)는 이러한 누설을 검출하도록 동작가능하다.
도 5는 내부에 배치된 인터페이스(인터페이스 베셀)를 포함하는 받침대의 조립체의 다른 실시예의 측단면도를 도시한다. 도 6은 도 5의 받침대 및 인터페이스의 평면도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 조립체(300)의 인터페이스는 도 3 및 도 4의 인터페이스 베셀(230)과 유사한 인터페이스 베셀(330)을 포함한다. 인터페이스 베셀은, 하나의 실시예에서, 인터페이스 베셀의 대향측들의 이중 포함 라인들에 접속하도록 동작가능하다. 도 5는 적합한 커넥터들을 통해 입력측에서 인터페이스 베셀(330)에 접속된 이중 포함 라인(350A), 이중 포함 라인(350B) 및 이중 포함 라인(350C)을 도시한다. 도 5는 인터페이스 베셀(330)을 통해 출력측(도구측)에서 적합한 커넥터들에 접속된 이중 포함 라인(360A), 이중 포함 라인(360B) 및 이중 포함 라인(360C)을 또한 도시한다. 도 5에 도시된 실시예에서, 인터페이스 베셀(330)은 각자의 이중 포함 라인들의 일차 라인에 대한 일차 라인 커넥터들 중 각자의 일차 라인 커넥터들을 위한 셀들로 분할되지 않는다. 하나의 실시예에서, 인터페이스 베셀(330)은 상이한 가스들의 유틸리티들에 적합하다. 인터페이스 베셀(330)은 인터페이스 베셀(330)의 출력측에 배기 포트(380)를 포함한다. 배기 포트(380)에는, 하나의 실시예에서, (예컨대, 하나의 유틸리티 가스의 존재를 다른 유틸리티 가스에 대하여 검출할 수 있는) 상이한 유틸리티 가스들을 검출하는 센서들을 포함하는 센서(385)가 접속된다. 하나의 실시예에서, 센서(385)는 도구에 연관된 가스 상자에 포함될 수 있다.
도 7은 받침대에 접속되도록 동작가능한 인터페이스 베셀의 다른 실시예의 상단 측면 사시도를 도시한다. 도 7을 참조하면, 인터페이스 베셀(430)은 대향 측면들(432A/432B, 433A/433B, 및 434A/434B)에 의해 정의된다. 하나의 실시예에서, 인터페이스 베셀은 대향 측면들(예컨대, 433A/433B) 중 하나의 측면에서 받침대에 접속되도록 동작가능하다. 인터페이스 베셀(430)은, 이 실시예에서, 유틸리티들, 구체적으로는 입력 가스 소스들을 하나 이상의 도구들에 대해 인터페이싱하도록 동작가능하다. 도 7은 측면(434A) 상의 입력 커넥터들(455A) 및 입력 커넥터들(455B)을 도시한다. 대표적으로, 입력 커넥터들(455A)은 HPM(hazardous production material) 가스들을 위한 것이고 이중 포함 라인들에 접속하는 커넥터들일 수 있는 한편, 입력 커넥터들(455B)은 불활성 가스들을 위한 것이고 이중 포함 라인들에 접속하는 커넥터들이 아닐 수 있다. 도 7에서 예시된 바와 같이, 입력 커넥터들(455A) 및 입력 커넥터들(455B) 각각은 9개의 입력 커넥터들의 조립체이다. 인터페이스 베셀(430)은, 이 실시예에서, 베셀의 측면(434A)(입력 커넥터들(455A/455B)과 동일한 측면)에 접속된 출력 커넥터들(465A, 465B, 465B2, 465B3 및 465B4)을 또한 포함한다. 출력 커넥터들(465A)은 HPM 가스들을 위한 것이고 이중 포함 라인들에 접속될 수 있다. 도 7은 25개의 출력 커넥터(465)의 조립체를 도시한다. 출력 커넥터들(465A)은 입력 커넥터들(455A)에 접속된다. 입력 커넥터들에 비해 두 배를 초과하는 출력 커넥터들이 있으므로, 출력 커넥터들(465A)의 적어도 일부는 입력 커넥터들(455A) 중 개개의 입력 커넥터들로 매니폴드된다. 하나의 실시예에서, 출력 커넥터들(465B, 465B2, 465B3 및 465B4) 각각은 불활성 가스들을 위한 것이고 입력 커넥터들(455A)에 접속된다. 예시된 바와 같이, 출력 커넥터들(465B, 465B2, 465B3 및 465B4)의 조립체들에서의 출력 커넥터들의 수는 입력 커넥터들(455B)보다 훨씬 더 많다. 따라서, 출력 커넥터들(465B, 465B2, 465B3 및 465B4) 중 적어도 일부는 입력 커넥터들(455B) 중 개개의 입력 커넥터들로 매니폴드된다.
위의 실시예들에서, 인터페이스 플레이트를 포함하는 받침대의 묘사가 설명되었다. 일반적으로, 더 무거운 도구들이 반도체 제작 시설들에서의 받침대들 상에 위치되는 경향이 있다. 이러한 시설들은 임의의 이러한 도구 받침대들 주위에 구축될 수 있는 올림 금속 바닥(raised metal floor)(RMF)을 일반적으로 갖는다. 더 가벼운 도구들이 RMF 상에 종종 위치되지만 받침대 상에는 위치되지 않는다. 따라서, 다른 실시예에서, 인터페이스가 RMF 상에 위치될 도구들에 유틸리티들을 접속하도록 동작가능하다. 도 8은 인터페이스가 접속되는 RMF의 부분의 상단 측면 사시도를 도시한다. 대표적인 RMF 바닥이 대략 24 인치(61 센티미터) 높이인 다리들에 의해 지지되는 24 인치 x 24 인치(61 센티미터 x 61 센티미터)의 조립체로 이루어진다. 도 8은 정사각형 바닥 타일(도시되지 않음)을 각각의 코너에서 지지하도록 위치되는 네 개의 다리들(510A, 510B, 510C 및 510D)을 구체적으로 도시한다. 이 실시예에서, 인터페이스 플레이트가 바닥 타일 밑의 다리들(510A-510D)에 접속될 것이다. 도 8은 인접한 다리들(510A 및 510B) 각각에 접속된 슬롯형 채널 지지체(slotted channel support)(520A)(금속 재료)와 인접한 다리들(510C 및 510D) 각각에 접속된 슬롯형 채널 지지체(520B)를 도시한다. 지지체(520A)와 지지체(520B) 각각은 다리들(510A/510B) 및 다리들(510C/510D) 중 각자의 다리들에 바닥으로부터 거리(h)로 접속되며, h는 각각의 다리의 높이 또는 z-치수 미만이다. 도 8은 각각이 지지체(520A)와 지지체(520B) 사이에서 연장하고 인터페이스 플레이트의 대향 측면들을 지지하기 위해 거리를 두고 분리된 슬롯형 채널 지지체들(525A 및 525B)을 또한 도시한다. 인터페이스 플레이트(530)는 지지체들(525C 및 525D) 상에 (직접적으로 접촉하게) 배치된다. 인터페이스 플레이트(530)는 클램프들 또는 다른 메커니즘에 의해 지지체들(525C 및 525D)에 접속될 수 있다. 다리들(510A-510D)이 24 인치 x 24 인치 바닥 타일을 지지하도록 이격된다고 가정하면, 이 실시예에서, 인터페이스 플레이트는 각각이 24인치 미만인 x-치수 및 y-치수를 갖고, 따라서 지지체들(525C 및 525D)을 요구한다.
도 8에 도시된 실시예에서, 예를 들어 금속 재료의, 인터페이스 플레이트(530)가, 입력 및 출력 커넥터들이 각각 진공 및 배기를 위해 개구들에서 인터페이스 플레이트(530)의 대향 측면들에 접속된 개구(550A) 및 개구(550B)를 포함한다. 도 8은 (보이는 바와 같은) 인터페이스 플레이트(130)의 아래쪽 표면 상의 개구(5850A) 내에 또는 그 주위에 배치된 입력 커넥터(555A)를 도시한다. 입력 커넥터(555A)는, 이 실시예에서, 진공 펌프의 호스에의 접속에 적합하다. 하나의 실시예에서, 이러한 호스는 2인치(5센티미터) 정도의 내부 지름을 갖고 그래서 입력 커넥터는 이러한 호스를 수용하는 외부 지름을 갖는다. 인터페이스 플레이트(530)의 상단 측면 또는 출력 측면 표면 상의 개구(550A) 내에 또는 그 주위에는 출력 커넥터(565A)가 배치된다. 하나의 실시예에서, 도구 속으로의 흡입 진공 호스(intake vacuum hose)가 입력 커넥터(555A)에 대해 호스(2인치)보다 더 작은 지름(예컨대, 1인치(2.5센티미터))을 갖는다. 도 8은 또한 리듀서(reducer)(지름 리듀서)이거나 또는 리듀서에 접속된 출력 커넥터(565A)를 도시한다. 도 8은 도구로부터의 배기 호스에 대한 피팅인 인터페이스 플레이트(530)를 통해 개구(550B) 내에 또는 그 주위에 배치되는 출력 커넥터(565B)를 또한 도시한다. 유사한 입력 커넥터가 인터페이스 플레이트(530)의 아래쪽에 배치될 수 있다.
인터페이스 플레이트(530)에 대한 설명은 RMF의 다리들에의 접속을 위해 동작가능한 인터페이스 플레이트의 하나의 예이다. 받침대에의 접속에 관하여 설명된 위의 실시예들 중 임의의 실시예는 RMF에(예컨대, RMF의 다리들에) 대안적으로 접속될 수 있다.
예들
예 1은 집적 회로 도구를 위한 받침대 또는 올림 바닥에 접속되도록 동작가능한 인터페이스를 포함하는 장치이고, 이 인터페이스는 인터페이스의 입력측 및 출력측 상의 유틸리티 접속들을 위한 복수의 개구들을 포함한다.
예 2에서, 예 1의 장치는 입력측 및 출력측 상의 복수의 개구들 중 각자의 개구들에 배치된 복수의 피팅들을 더 포함하고, 복수의 피팅들은 유틸리티 접속들에 대한 접속을 위해 동작가능하다.
예 3에서, 예 2의 장치에서의 복수의 피팅들 중 적어도 한 피팅들(at least ones of the plurality of fittings)은 복수의 피팅들 중 다른 피팅들과는 상이하다.
예 4에서, 예 1의 장치에서의 인터페이스는 플레이트이다.
예 5에서, 예 1의 장치에서의 인터페이스는 베셀이다.
예 6에서, 예 3의 장치에서의 베셀은 복수의 셀들을 포함한다.
예 7에서, 예 5의 장치에서의 베셀은 배기 포트를 포함한다.
예 8에서, 예 7의 장치는 배기 포트에 연결된 센서를 더 포함한다.
예 9에서, 예 1의 장치는 도구를 지지하도록 동작가능한 표면 플레이트를 포함하는 도구 받침대를 더 포함한다.
예 10은 받침대 또는 올림 바닥에 접속되도록 동작가능한 인터페이스 - 이 인터페이스는 인터페이스의 입력측 및 출력측 상의 유틸리티 접속들을 위한 복수의 개구들을 포함함 - ; 인터페이스에서 각자의 개구들을 통해 접속된 커넥터들 - 커넥터들은 각자의 유틸리티에의 접속을 위해 동작가능함 - ; 및 커넥터들 중 각자의 커넥터들에 연결된 도구를 포함하는 장치이다.
예 11에서, 예 10의 장치는 입력측 및 출력측 상의 복수의 개구들 중 각자의 개구들에 배치된 복수의 피팅들을 더 포함하고, 복수의 피팅들은 유틸리티 접속들에 대한 접속을 위해 동작가능하다.
예 12에서, 예 10의 장치에서의 인터페이스는 플레이트이다.
예 13에서, 예 10의 장치에서의 인터페이스는 베셀이다.
예 14에서, 예 13의 장치에서의 베셀은 복수의 셀들을 포함한다.
예 15에서, 예 13의 장치에서의 베셀은 배기 포트를 포함한다.
예 16에서, 예 10의 장치는 받침대를 더 포함하고, 인터페이스는 받침대에 연결된다.
예 17에서, 예 10의 장치에서의 올림 바닥은 개개의 바닥 타일들을 지지하는 복수의 다리들을 포함하고, 인터페이스는 복수의 다리들 중 인접한 다리들에 연결된다.
예 18은 소스로부터의 하나 이상의 유틸리티들을 받침대 또는 올림 바닥에 연결된 인터페이스의 입력측에 연결하는 단계; 및 인터페이스의 출력측에서 하나 이상의 유틸리티들에 도구를 연결하는 단계를 포함하는 방법이다.
예 19에서, 예 18의 방법에서의 인터페이스는 플레이트이다.
예 20에서, 예 18의 방법에서의 인터페이스는 베셀이다.
예 21에서, 예 20의 방법에서의 베셀은 복수의 셀들을 포함한다.
예 22에서, 예 20의 방법에서의 소스로부터의 하나 이상의 유틸리티들 중 적어도 하나는 이중 포함 라인에 의해 인터페이스에 연결되고, 이중 포함 라인의 이차적인 것이 베셀의 외부에 연결되고 이중 포함 라인의 일차적인 것이 베셀의 내부에서 커넥터에 연결된다.
예 23에서, 예 20의 방법에서의 베셀은 배기 포트를 포함하고, 방법은 배기 포트에 센서를 연결하는 단계를 포함한다.
예 24에서, 예들 18-23의 임의의 예의 방법에 의해 만들어진 집적 회로 도구 인터페이스이다.
요약서에서 설명되는 것을 포함하는 예시된 구현예들의 위의 설명은, 망라하도록 의도되지도 또는 본 발명을 개시된 정확한 형태들로 제한하도록 의도되지도 않았다. 본 발명의 구체적인 구현예들과 본 발명에 대한 예들이 예시의 목적을 위해 본 명세서에서 설명되었지만, 다양한 동등한 수정들이, 관련 기술분야의 통상의 기술자들이 인식하는 바와 같이, 본 발명의 범위 내에서 가능하다.
이들 변형들은 위의 상세한 설명의 측면에서 본 발명에 대해 이루어질 수 있다. 다음의 청구항들에서 사용된 용어들은, 상세한 설명 및 청구범위에서 개시된 특정 구현예들로 본 발명을 제한하는 것으로 해석되지 않아야 한다.
오히려, 그 범위는 확립된 청구항 해석 원칙들에 따라 해석되는 것들인 다음의 청구항들에 의해 전적으로 결정되는 것이다.

Claims (24)

  1. 집적 회로 도구(integrated circuit tool)를 위한 받침대(pedestal) 또는 올림 바닥(raised floor)에 접속되도록 동작가능한 인터페이스를 포함하고, 상기 인터페이스는 상기 인터페이스의 입력측 및 출력측 상의 유틸리티 접속들(utility connections)을 위한 복수의 개구들을 포함하고,
    상기 인터페이스는 베셀(vessel)인, 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 입력측 및 상기 출력측 상의 상기 복수의 개구들 중 각자의 개구들에 배치된 복수의 피팅(fitting)들을 더 포함하고, 상기 복수의 피팅들은 유틸리티 접속들에 대한 접속을 위해 동작가능한, 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 복수의 피팅들 중 적어도 한 피팅들(at least ones of the plurality of fittings)은 상기 복수의 피팅들 중 다른 피팅들과는 상이한, 장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서, 상기 베셀은 복수의 셀들을 포함하는, 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 베셀은 배기 포트를 포함하는, 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 배기 포트에 연결된 센서를 더 포함하는, 장치.
  9. 제1항에 있어서, 도구를 지지하도록 동작가능한 표면 플레이트(surface plate)를 포함하는 도구 받침대(tool pedestal)를 더 포함하는, 장치.
  10. 받침대 또는 올림 바닥에 접속되도록 동작가능한 인터페이스 - 상기 인터페이스는 상기 인터페이스의 입력측 및 출력측 상의 유틸리티 접속들을 위한 복수의 개구들을 포함함 - ;
    상기 인터페이스에서 각자의 개구들을 통해 접속된 커넥터들 - 상기 커넥터들은 각자의 유틸리티에의 접속을 위해 동작가능함 - ; 및
    상기 커넥터들 중 각자의 커넥터들에 연결된 도구
    를 포함하고,
    상기 인터페이스는 베셀인, 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 입력측 및 상기 출력측 상의 상기 복수의 개구들 중 각자의 개구들 내에 배치되는 복수의 피팅들을 더 포함하고, 상기 복수의 피팅들은 유틸리티 접속들에 대한 접속을 위해 동작가능한, 장치.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 제10항에 있어서, 상기 베셀은 복수의 셀들을 포함하는, 장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 베셀은 배기 포트를 포함하는, 장치.
  16. 제10항에 있어서, 받침대를 더 포함하며, 상기 인터페이스는 상기 받침대에 연결되는, 장치.
  17. 제10항에 있어서, 상기 올림 바닥은 개개의 바닥 타일들(individual floor tiles)을 지지하는 복수의 다리(leg)들을 포함하며, 상기 인터페이스는 상기 복수의 다리들 중 인접한 다리들에 연결되는, 장치.
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