KR102433590B1 - Test device - Google Patents

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Abstract

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치가 개시된다. 검사장치는 상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓, 상기 검사소켓에 개폐 회동 가능하게 결합되는 푸셔본체, 상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 가압 및 가압해제하도록 상기 푸셔본체에 지지되는 푸셔유닛 및 상기 푸셔유닛을 차폐 및 차폐해제 가능한 열차폐커버를 포함한다.Disclosed is an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of a subject. The inspection device includes an inspection socket having a probe that transmits an inspection signal to the inspected object, a pusher body rotatably coupled to the opening and closing of the inspection socket, and the pusher body supported by the pusher body to press and release the pressure to and from the probe It includes a pusher unit and a heat shield cover capable of shielding and unshielding the pusher unit.

Description

검사장치{TEST DEVICE}Inspection device {TEST DEVICE}

본 발명은 반도체와 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of a subject such as a semiconductor.

반도체와 같은 전자제품의 제조과정에는 최종적으로 제조된 전자제품의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 요구된다. 이러한 검사장치는 전자제품을 검사하는 과정에서 발생된 열은 검사 시에 저항을 상승시키는 인자로서 제품 검사의 신뢰성을 저하시키고, 내부의 회로를 단락시켜 제품 고장의 원인이 된다. 따라서, 파워(Power) 반도체, 차량용 반도체, 시스템 반도체의 테스트에는 발생된 열의 빠른 방출이 필수 요건이라 할 수 있다.In the manufacturing process of electronic products such as semiconductors, an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of the finally manufactured electronic products is required. In such an inspection device, the heat generated in the process of inspecting electronic products is a factor that increases resistance during inspection, lowering reliability of product inspection, and short-circuiting internal circuits to cause product failure. Therefore, it can be said that rapid dissipation of generated heat is an essential requirement for testing power semiconductors, vehicle semiconductors, and system semiconductors.

검사장치는 검사대상인 전자제품을 수용하는 인서트와 검사신호를 전달하는 프로브들을 가진 검사소켓 , 및 검사소켓에 결합되어 인서트를 개폐하는 푸셔어셈블리를 포함하고 있다.The inspection apparatus includes an insert for accommodating an electronic product to be inspected, an inspection socket having probes for transmitting inspection signals, and a pusher assembly coupled to the inspection socket to open and close the insert.

피검사체들은 극한 환경에서의 전기적 특성을 검사하여야 할 필요가 있다. 이를 위해 검사장치는 극한 환경을 만들기 위한 가열소자나 냉각소자를 구비하고 있다. 검사장치는 가열소자나 냉각소자에 의해 급격하게 온도가 변화하여 설정 검사온도를 벗어나는 경우가 발생한다. 이때, 다수의 검사장치들이 배치된 검사챔버 내로 열기 또는 냉기를 불어 넣음으로써, 검사장치들은 빠르게 설정 온도범위에 도달할 수 있도록 조절될 수 있다. 그러나, 검사챔버 내의 위치에 따라 열기나 냉기의 영향이 다르기 때문에, 검사챔버 내의 다수 검사장치는 동시에 설정온도 조건을 충족하지 못하고 검사장치들 마다 설정온도에 도달하는 타이밍이 달라지는 문제가 있다.Subjects need to be inspected for electrical characteristics in extreme environments. To this end, the inspection device is provided with a heating element or a cooling element for creating an extreme environment. The inspection device may be out of the set inspection temperature due to a sudden change in temperature by a heating element or a cooling element. At this time, by blowing hot or cold air into the inspection chamber in which the plurality of inspection apparatuses are disposed, the inspection apparatuses may be adjusted to quickly reach a set temperature range. However, since the influence of hot or cold air is different depending on the position in the inspection chamber, a plurality of inspection apparatuses in the inspection chamber do not simultaneously satisfy the set temperature condition, and there is a problem in that the timing of reaching the set temperature is different for each inspection apparatus.

본 발명의 목적은 신뢰성 있는 검사장치를 제공하는 데에 있다.It is an object of the present invention to provide a reliable inspection apparatus.

상술한 과제를 달성하기 위한, 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장가 제공된다. 검사장치는 상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓, 상기 검사소켓에 개폐 회동 가능하게 결합되는 푸셔본체, 상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 가압 및 가압해제하도록 상기 푸셔본체에 지지되는 푸셔유닛 및 상기 푸셔유닛을 차폐 및 차폐해제 가능한 열차폐커버를 포함한다.In order to achieve the above object, an inspection site for inspecting electrical characteristics of an object to be inspected is provided. the inspection device An inspection socket having a probe that transmits an inspection signal to the inspected object, a pusher body rotatably coupled to the opening and closing of the inspection socket, a pusher unit supported by the pusher body to pressurize and release the pressure of the inspected object with respect to the probe, and and a heat shield cover capable of shielding and releasing the shield of the pusher unit.

상기 푸셔유닛은 일면의 가압면과 타면의 방열면을 갖는 푸셔베이스와 상기 푸셔베이스의 방열면에 마련되어 열을 방출하는 방열핀을 가지며, 상기 열차폐커버는 상기 방열핀을 차폐 및 차폐해제할 수 있다.The pusher unit has a pusher base having a pressure surface on one side and a heat radiation surface on the other surface, and a heat radiation fin provided on a heat radiation surface of the pusher base to emit heat, and the heat shield cover can shield and release the heat radiation fin.

상기 열차폐커버는 축심 대칭으로 마련된 2개의 부채꼴 차폐면을 형성하는 차폐부를 각각 가지며 상기 축심에 대해 상대 회동가능하도록 상호 축결합된 복수의 커버블레이드를 포함할 수 있다.The heat shield cover may include a plurality of cover blades each having a shielding portion forming two sectoral shielding surfaces provided axially symmetrically and axially coupled to each other so as to be rotatable relative to the axis.

상기 복수의 커버블레이드는 상기 푸셔본체의 상면에 고정 설치된 고정블레이드 및 상기 고정블레이드에 대해 개폐 회동 가능하도록 축결합된 복수의 개폐블레이드를 포함할 수 있다.The plurality of cover blades may include a fixed blade fixedly installed on the upper surface of the pusher body, and a plurality of opening/closing blades shaft-coupled so as to be able to open and close with respect to the fixed blade.

상기 복수의 커버블레이드는 하나의 커버블레이드에 마련된 멈춤돌기와 다른 커버블레이드에 마련된 가이드홈을 가가지며, 상기 가이드홈에 수용되어 상대 회동 범위를 제한하는 멈춤돌기를 포함할 수 있다.The plurality of cover blades may have a stopper provided on one cover blade and a guide groove provided on the other cover blade, and may include a stopper that is accommodated in the guide groove to limit a relative rotation range.

상기 복수의 커버블레이드는 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되어 상기 푸셔본체의 상면에 접촉하는 원주방향 차폐벽을 형성하는 스커트부를 가질 수 있다.The plurality of cover blades may have a skirt portion extending downwardly from the radially outer end portion to form a circumferential shielding wall in contact with the upper surface of the pusher body.

상기 고정블레이드는 2개의 부채꼴 차폐면의 반경방향 단부에 상향 돌출된 회동제한벽을 포함할 수 있다.The fixed blade may include a rotation limiting wall protruding upward at the radial ends of the two sector-shaped shielding surfaces.

본 발명의 검사장치는 푸셔유닛의 방열핀을 덮는 열차폐커버가 설치되고, 열차폐커버의 개폐량을 조절함으로써 검사장치의 외부 온도 영향을 조절할 수 있다. 결과적으로, 단일 검사실에 배치된 다수의 검사장치는 위치에 따라 열차폐커버의 개폐량을 조절하여 동일한 온도 조건 하에서 검사가 이루어지도록 할 수 있다.In the inspection apparatus of the present invention, a heat shield cover covering the heat radiation fin of the pusher unit is installed, and by adjusting the opening and closing amount of the heat shield cover, it is possible to control the influence of the external temperature of the test device. As a result, a plurality of inspection devices arranged in a single inspection room can be inspected under the same temperature condition by adjusting the opening and closing amount of the heat shield cover according to the position.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 2의 검사장치에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 검사장치를 분해하여 위에서 본 사시도이다.
도 4는 도 1의 검사장치를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.
도 5는 도 1의 열차폐커버를 분리한 상태의 사시도이다.
도 6은 도 5의 열차폐커버를 분해하여 위에서 본 사시도이다.
도 7은 도 5의 열차폐커버를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.1 is a view showing a closed state of the heat shield cover in the inspection device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a closed state of the heat shield cover in the inspection device of FIG. 2 .
3 is an exploded perspective view of the inspection device of FIG. 1 viewed from above.
4 is an exploded perspective view of the inspection device of FIG. 1 as viewed from below.
5 is a perspective view of a state in which the heat shield cover of FIG. 1 is removed.
6 is an exploded perspective view of the heat shield cover of FIG. 5 viewed from above.
7 is an exploded perspective view of the heat shield cover of FIG. 5 as viewed from below.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 설명한다. 설명의 편의상 본 발명의 이해를 위해 관련된 부분들만을 설명하였고, 발명과 직접적으로 관련이 없는 부분은 도면 또는 설명에서 배제하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. For convenience of description, only related parts have been described for the understanding of the present invention, parts not directly related to the invention are excluded from the drawings or description, and the same or similar components are given the same reference numerals throughout the specification.

그리고, 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 상세한 설명들은 개시되지 않을 수 있다. 본 발명에서, 제1, 제2 등과 같은 관계 용어들은 하나의 존재를 다른 존재로부터 구분하기 위해 이용될 수 있으며, 실제 관계나 이들 간의 순서에 의미를 두지 않는다.In addition, detailed descriptions obvious to those of ordinary skill in the art may not be disclosed. In the present invention, relational terms such as 1st, 2nd, etc. may be used to distinguish one entity from another entity, and do not give meaning to an actual relation or an order between them.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(1)에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이고, 도 2는 도 2의 검사장치(1)에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이고 도 3은 도 1의 검사장치(1)를 분해하여 위에서 본 사시도이고, 도 4는 도 1의 검사장치(1)를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.FIG. 1 is a view showing a closed state of the heat shield cover in the inspection device 1 according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a closed state of the heat shield cover in the inspection device 1 of FIG. 2 . and FIG. 3 is an exploded perspective view of the inspection device 1 of FIG. 1 as viewed from above, and FIG. 4 is an exploded perspective view of the inspection device 1 of FIG. 1 as viewed from below.

도 1 내지 4를 참조하면, 검사장치(1)는 검사소켓(10), 푸셔본체(20), 푸셔유닛(30), 열차폐커버(40), 히터(40) 및 온도센서(50)를 포함한다.1 to 4 , the inspection device 1 includes an inspection socket 10 , a pusher body 20 , a pusher unit 30 , a heat shield cover 40 , a heater 40 and a temperature sensor 50 . include

검사소켓(10)은 소켓프레임(11), 소켓프레임(11)에 장착되고 탄성적으로 신축 가능한 복수의 프로브들을 지지하는 프로브지지체(12), 및 상기 프로브지지체(12) 상에 배치되어 반도체 등과 같은 전자제품(이하, "피검사체"라 칭한다)을 수용하는 인서트(13)를 포함한다. 상술한 바와 같은 검사소켓(10)은 설명을 위한 하나의 예로서 설명된 것으로 상술한 구조만으로 한정되지 않는다.The inspection socket 10 includes a socket frame 11, a probe support 12 mounted on the socket frame 11 and supporting a plurality of elastically stretchable probes, and a semiconductor or the like disposed on the probe support 12. It includes an insert 13 for accommodating the same electronic product (hereinafter, referred to as "subject to be inspected"). The inspection socket 10 as described above has been described as an example for description and is not limited to the above-described structure.

검사소켓(10)은 푸셔본체(20)를 힌지 결합하기 위한 힌지핀(14) 및 후술하는 푸셔본체(20)의 래치(22)에 걸리는 걸림턱(15)을 포함한다. The inspection socket 10 includes a hinge pin 14 for hinge-connecting the pusher body 20 and a locking jaw 15 caught on the latch 22 of the pusher body 20 to be described later.

피검사체는 범프와 같은 다수의 피검사접점을 포함하며, POP(package On Package)반도체와 같이 적층구조의 반도체가 적용될 수 있다. 피검사체는 프로브지지체(12)에 지지된 프로브들에 대응하도록 인서트(13) 내에 수용된다. 이와 같이 배치된 피검사체는 후술하는 푸셔유닛(30)의 가압에 의해 대응하는 프로브들을 향해 이동하여 프로브들에 접촉하면서 검사가 이루어질 수 있다.The object to be inspected includes a plurality of contact points to be inspected such as bumps, and a semiconductor having a stacked structure such as a package on package (POP) semiconductor may be applied. The subject is accommodated in the insert 13 to correspond to the probes supported on the probe support 12 . The inspected object disposed in this way moves toward the corresponding probes by pressurization of the pusher unit 30 to be described later, and the inspection can be performed while making contact with the probes.

푸셔본체(20)는 검사소켓(10)의 상부를 개폐하도록 검사소켓(10)의 일측에 회동 가능하게 결합된다. 푸셔본체(20)는 일측에 마련된 힌지결합부(21), 타측에 마련된 래치(22) 및 검사 시에 푸셔유닛(30)을 동작시키는 조작래버(23)를 포함한다.The pusher body 20 is rotatably coupled to one side of the inspection socket 10 so as to open and close the upper portion of the inspection socket 10 . The pusher body 20 includes a hinge coupling part 21 provided on one side, a latch 22 provided on the other side, and an operation lever 23 for operating the pusher unit 30 during inspection.

푸셔본체(20)는 중앙에 푸셔유닛(30)을 수용하는 푸셔수용부(25)를 포함한다.The pusher body 20 includes a pusher accommodating part 25 for accommodating the pusher unit 30 in the center.

푸셔본체(20)는 상면에 열차폐커버(40)를 고정 지지하는 고정핀(26)을 포함한다.The pusher body 20 includes a fixing pin 26 for fixing and supporting the heat shield cover 40 on the upper surface.

푸셔유닛(30)은 검사소켓(10)의 인서트(23) 내에 로딩된 피검사체를 향해 접근 및 이격되도록 푸셔본체(20)의 푸셔수용부(25)에 수용되어 지지된다. The pusher unit 30 is accommodated and supported in the pusher receiving part 25 of the pusher body 20 so as to approach and spaced apart from the test object loaded in the insert 23 of the test socket 10 .

푸셔유닛(30)은 판상의 푸셔베이스(31), 푸셔베이스(31)의 일면에 마련된 푸셔(32) 및 푸셔베이스(31)의 타면에 마련된 방열핀(33)을 포함한다.The pusher unit 30 includes a plate-shaped pusher base 31 , a pusher 32 provided on one surface of the pusher base 31 , and a heat dissipation fin 33 provided on the other surface of the pusher base 31 .

푸셔(32)는 검사 시에 피검사체에 접근 및 접촉하여 가압한다. 이때, 피검사체의 단자는 프로브에 접촉할 수 있다.The pusher 32 approaches and contacts the object to be inspected and presses it. In this case, the terminal of the subject may contact the probe.

방열핀(33)은 검사 시에 발생하는 열과 히터(5)에 의해 발생한 열을 외부로 방출하여 검사소켓(10)의 온도를 조절할 수 있다.The heat dissipation fin 33 may control the temperature of the test socket 10 by discharging heat generated during inspection and heat generated by the heater 5 to the outside.

푸셔유닛(30)은 푸셔베이스(31)의 측면에 파여져 히터(50)가 장착되는 히터수용부(34)를 포함한다.The pusher unit 30 includes a heater accommodating part 34 dug into the side of the pusher base 31 to which the heater 50 is mounted.

푸셔유닛(30)은 중앙에 파여져 온도센서(60)가 장착되는 센서장착부(35)를 포함한다. The pusher unit 30 is cut in the center and includes a sensor mounting part 35 to which the temperature sensor 60 is mounted.

열차폐커버(40)는 방열핀(33)을 차폐하도록 마련된다. 열차폐커버(40)는 도 1 및 2와 같이 개폐량이 조절될 수 있다. 즉, 열차폐커버(40)는 개폐량에 따라 검사소켓(10) 내의 열이 방출되는 양을 조절할 수 있다.The heat shield cover 40 is provided to shield the heat radiation fins 33 . The opening and closing amount of the heat shield cover 40 can be adjusted as shown in FIGS. 1 and 2 . That is, the heat shield cover 40 can adjust the amount of heat emitted in the inspection socket 10 according to the opening and closing amount.

히터(50)는 검사온도 조건을 충족시키기 위해 푸셔유닛(30)을 가열한다.The heater 50 heats the pusher unit 30 to satisfy the test temperature condition.

온도센서(60)는 검사소켓(10) 내의 온도를 검출한다.The temperature sensor 60 detects the temperature in the test socket 10 .

도 5는 도 1의 열차폐커버(40)를 분리한 상태의 사시도이고, 도 6은 도 5의 열차폐커버(40)를 분해하여 위에서 본 사시도이고, 도 7은 도 5의 열차폐커버(40)를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.5 is a perspective view of a state in which the heat shield cover 40 of FIG. 1 is removed, FIG. 6 is an exploded perspective view of the heat shield cover 40 of FIG. 5 as viewed from above, and FIG. 7 is a heat shield cover of FIG. 40) is a disassembled perspective view viewed from below.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 열차폐커버(40)는 상호 축심(44)에 의해 결합된, 고정블레이드(41), 제1개폐블레이드(42) 및 제2개폐블레이드(43)를 포함한다. 제1개폐블레이드(42)와 제2개폐블레이드(43)는 축심(44)을 기준으로 회동 가능하게 순서대로 고정블레이드(41)에 결합된다.5 to 7, the heat shield cover 40 includes a fixed blade 41, a first opening/closing blade 42 and a second opening/closing blade 43 coupled by a mutual axial center 44. . The first opening/closing blade 42 and the second opening/closing blade 43 are coupled to the fixed blade 41 in order to be rotatable based on the shaft center 44 .

고정블레이드(41)는 고정핀(26)에 의해 푸셔본체(20)의 상면에 고정된다. 고정블레이드(41)는 축심(44) 대칭으로 마련된 제1 및 제2부채꼴 차폐면을 가진 제1 및 제2차폐부(411,412), 제1 및 제2부채꼴 차폐면의 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되어 푸셔본체(20)의 상면에 접촉하는 원주방향 차폐벽을 형성하는 제1 및 제2스커트부(413,414)를 가진다.The fixing blade 41 is fixed to the upper surface of the pusher body 20 by the fixing pin 26 . The fixed blade 41 is downwardly from the radially outer ends of the first and second shielding parts 411 and 412 having first and second fan-shaped shielding surfaces provided symmetrically with the axial center 44, and the first and second fan-shaped shielding surfaces. It has first and second skirt portions 413,414 that extend by bending to form a circumferential shielding wall in contact with the upper surface of the pusher body 20 .

고정블레이드(41)는 제1 및 제2부채꼴 차폐면 사이에는 축심(44)이 통과하는 제1축공(416)포함한다.The fixed blade 41 includes a first shaft hole 416 through which the shaft center 44 passes between the first and second fan-shaped shielding surfaces.

고정블레이드(41)는 제1차폐부(411)의 제1부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제1멈춤돌기(417)와 제2차폐부(412)의 제2부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제2멈춤돌기(418)를 포함한다. 제1 및 제2멈춤돌기(417,418)는 축심(44)에 대해 대칭으로 배치된다. The fixing blade 41 is a first stopping protrusion 417 protruding from the upper surface of the first fan-shaped shielding surface of the first shielding part 411 and the second shielding part 412 protruding on the upper surface of the second fan-shaped shielding surface of the second shielding part 412 . and a second stopping protrusion 418 . The first and second stopping protrusions 417 and 418 are symmetrically disposed with respect to the axis 44 .

고정블레이드(41)는 제1부채꼴 차폐면의 반경 일단부에 마련되어 제1개폐블레이드(42)의 회동을 제한하는 제1걸림턱(419-1) 및 제2부채꼴 차폐면의 반경 타단부에 마련되어 제1개폐블레이드(42)의 회동을 제한하는 제2걸림턱(419-2)을 포함한다. 제1 및 제2걸림턱(419-1,419-2)은 축심(44)에 대해 대칭으로 배치된다.The fixed blade 41 is provided at one end of the radius of the first fan-shaped shielding surface and provided at the other end of the radius of the first locking protrusion 419-1 and the second fan-shaped shielding surface for limiting the rotation of the first opening/closing blade 42. It includes a second locking jaw (419-2) for limiting the rotation of the first opening and closing blade (42). The first and second locking jaws 419-1 and 419-2 are symmetrically disposed with respect to the axis 44.

제1개폐블레이드(42)는 축심(44)에 의해 고정블레이드(41)의 제1축공(416)에 회전 가능하게 결합된다. 제1개폐블레이드(42)는 축심(44) 대칭으로 마련된 각각 제3 및 제4부채꼴 차폐면을 가진 제3 및 제4차폐부(421,422), 제3 및 제4부채꼴 차폐면의 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되고 고정블레이드(41)의 원주단부면에 각각 접촉되고 원주방향 차폐벽을 형성하는 제3 및 제4스커트부(423,424)를 가진다. The first opening/closing blade 42 is rotatably coupled to the first shaft hole 416 of the fixed blade 41 by the shaft center 44 . The first opening/closing blade 42 has third and fourth shielding portions 421 and 422 having third and fourth fan-shaped shielding surfaces provided symmetrically with the axis 44, respectively, and radially outer ends of the third and fourth fan-shaped shielding surfaces. It has third and fourth skirt portions 423,424 that extend downward from the bent and contact the circumferential end surface of the fixing blade 41 and form a circumferential shielding wall, respectively.

제1개폐블레이드(42)는 제3 및 제4부채꼴 차폐면 사이에 축심(44)이 통과하는 제2축공(426)을 포함한다.The first opening/closing blade 42 includes a second shaft hole 426 through which the shaft center 44 passes between the third and fourth fan-shaped shielding surfaces.

제1개폐블레이드(42)는 제3차폐부(421)의 제3부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제3멈춤돌기(428)와 제4차폐부(422)의 제4부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제4멈춤돌기(429)를 포함한다. 제3 및 제4멈춤돌기(428,429)는 축심(44)에 대해 대칭으로 배치된다.The first opening and closing blade 42 is a third stopping protrusion 428 protruding from the upper surface of the third fan-shaped shielding surface of the third shielding part 421 and the fourth shielding part 422 on the upper surface of the fourth fan-shaped shielding surface. It includes a protruding fourth stopping protrusion 429 . The third and fourth stopping protrusions 428 and 429 are symmetrically disposed with respect to the axis 44 .

제1개폐블레이드(42)는 제3차폐부(421)의 제3부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제1가이드홈(425)과 제4차폐부(422)의 제4부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제2가이드홈(427)을 포함한다. 제1 및 제2가이드홈(425,427)은 각각 고정블레이드(41)의 제1 및 제2멈춤돌기(417,418)를 수용한다.The first opening/closing blade 42 is a fourth of the first guide groove 425 and the fourth shielding part 422 dug along the radially outer end on the lower surface of the third fan-shaped shielding surface of the third shielding part 421 . A second guide groove 427 dug along the radially outer end is included on the lower surface of the sector-shaped shielding surface. The first and second guide grooves 425 and 427 receive the first and second stopping protrusions 417 and 418 of the fixing blade 41, respectively.

제2개폐블레이드(43)는 축심(44)에 의해 제1개폐블레이드(42)의 제2축공(426)에 회전 가능하게 결합된다. 제2개폐블레이드(43)는 축심(44) 대칭으로 마련된 제5 및 제6부채꼴 차폐면을 가진 제5 및 제6차폐부(431,432), 제5 및 제6부채꼴 차폐면의 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되고 제1개폐블레이드(42)의 원주단부면에 각각 접촉되고 원주방향 차폐벽을 형성하는 제5 및 제6스커트부(433,434)를 가진다. The second opening/closing blade 43 is rotatably coupled to the second shaft hole 426 of the first opening/closing blade 42 by the shaft center 44 . The second opening/closing blade 43 is formed from the fifth and sixth shielding parts 431 and 432 having fifth and sixth fan-shaped shielding surfaces provided symmetrically with the axial center 44, and radially outer ends of the fifth and sixth fan-shaped shielding surfaces. It has fifth and sixth skirt portions 433,434 bent downward and extending downwardly and in contact with the circumferential end surface of the first opening/closing blade 42 and forming a circumferential shielding wall, respectively.

제2개폐블레이드(43)는 제5 및 제6부채꼴 차폐면 사이의 하면에 축심(44)이 수용되는 축홈(436)포함한다.The second opening and closing blade 43 includes a shaft groove 436 in which the shaft center 44 is accommodated on the lower surface between the fifth and sixth fan-shaped shielding surfaces.

제2개폐블레이드(43)는 제5차폐부(431)의 제5부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제3가이드홈(435)과, 제6차폐부(432)의 제6부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제4가이드홈(437)을 포함한다. 제3 및 제4가이드홈(435,437)은 각각 제1개폐블레이드(42)의 제3 및 제4멈춤돌기(428,429)를 수용한다.The second opening and closing blade 43 includes a third guide groove 435 dug along the radially outer end on the lower surface of the fifth fan-shaped shielding surface of the fifth shielding part 431 and the sixth shielding part 432 . A fourth guide groove 437 dug along the radially outer end is included on the lower surface of the 6 fan-shaped shielding surface. The third and fourth guide grooves 435 and 437 receive the third and fourth stopping protrusions 428 and 429 of the first opening/closing blade 42, respectively.

이상과 같이, 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(1)에서, 방열핀(33)을 덮고 있는 열차폐커버(40)는 고정블레이드(41)를 중심으로 제1개폐블레이드(42) 또는 제2개폐블레이드(43)가 회전됨에 따라 방열핀(33)의 외부 노출을 조절할 수 있다. 그 결과, 방열핀(33)은 노출 정도에 따라 방열효율이 조절될 수 있다.As described above, in the inspection apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the heat shield cover 40 covering the heat dissipation fin 33 is the first opening/closing blade 42 or the second opening/closing blade 42 centered on the fixed blade 41 . As the opening/closing blade 43 rotates, the external exposure of the heat dissipation fin 33 may be adjusted. As a result, the heat dissipation efficiency of the heat dissipation fins 33 may be adjusted according to the degree of exposure.

앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.In the foregoing specification, the invention and its advantages have been described with reference to specific embodiments. However, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention as set forth in the claims below. Accordingly, the specification and drawings are to be regarded as illustrative of the invention rather than limiting. All such possible modifications should be made within the scope of the present invention.

1: 검사장치
10: 검사소켓
11: 소켓프레임
12: 프로브지지체
13: 인서트
20: 푸셔본체
21: 힌지결합부
22: 래치
23: 조작래버
30: 푸셔유닛
31: 푸셔베이스
32: 푸셔
33: 방열핀
40: 열차폐커버
41: 고정블레이드
42: 제2개폐블레이드
43: 제2개폐블레이드
50: 히터
60: 온도센서1: Inspection device
10: inspection socket
11: socket frame
12: probe support
13: insert
20: pusher body
21: hinge coupling part
22: latch
23: operation lever
30: pusher unit
31: pusher base
32: pusher
33: heat sink fin
40: heat shield cover
41: fixed blade
42: second opening and closing blade
43: second opening and closing blade
50: heater
60: temperature sensor

Claims (7)

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치에 있어서,
상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓;
상기 검사소켓에 개폐 회동 가능하게 결합되는 푸셔본체;
상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 가압 및 가압해제하도록 상기 푸셔본체에 지지되는 푸셔유닛; 및
상기 푸셔유닛을 차폐 및 차폐해제 가능한 열차폐커버를 포함하는 검사장치.In the inspection apparatus for inspecting the electrical characteristics of the subject,
a test socket having a probe that transmits a test signal to the subject;
a pusher body rotatably coupled to the inspection socket to open and close;
a pusher unit supported by the pusher body to pressurize and release the pressure of the subject to and from the probe; and
Inspection apparatus including a heat shield cover capable of shielding and releasing the shield of the pusher unit. 제 1항에 있어서,
상기 푸셔유닛은 일면의 가압면과 타면의 방열면을 갖는 푸셔베이스와 상기 푸셔베이스의 방열면에 마련되어 열을 방출하는 방열핀을 가지며,
상기 열차폐커버는 상기 방열핀을 차폐 및 차폐해제하는 검사장치.The method of claim 1,
The pusher unit has a pusher base having a pressure surface on one side and a heat radiation surface on the other surface, and a heat radiation fin provided on the heat radiation surface of the pusher base to emit heat,
The heat shield cover is an inspection device for shielding and releasing the shielding of the heat dissipation fin. 제 1항에 있어서,
상기 열차폐커버는 축심 대칭으로 마련된 2개의 부채꼴 차폐면을 형성하는 차폐부를 각각 가지며 상기 축심에 대해 상대 회동가능하도록 상호 축결합된 복수의 커버블레이드를 포함하는 검사장치.The method of claim 1,
The heat shield cover includes a plurality of cover blades each having shielding portions forming two sector-shaped shielding surfaces provided axially symmetrically and axially coupled to each other so as to be rotatable relative to the axis. 제 3항에 있어서,
상기 복수의 커버블레이드는 상기 푸셔본체의 상면에 고정 설치된 고정블레이드 및 상기 고정블레이드에 대해 개폐 회동 가능하도록 축결합된 복수의 개폐블레이드를 포함하는 검사장치.4. The method of claim 3,
The plurality of cover blades includes a fixed blade fixedly installed on the upper surface of the pusher body, and a plurality of opening and closing blades shaft-coupled to allow opening and closing with respect to the fixed blade. 제 4항에 있어서,
상기 복수의 커버블레이드는 하나의 커버블레이드에 마련된 멈춤돌기와 다른 커버블레이드에 마련된 가이드홈을 가가지며, 상기 가이드홈에 수용되어 상대 회동 범위를 제한하는 멈춤돌기를 포함하는 검사장치.5. The method of claim 4,
The plurality of cover blades has a stopper provided on one cover blade and a guide groove provided on the other cover blade, and includes a stopper that is accommodated in the guide groove to limit a relative rotation range. 제 3항에 있어서,
상기 복수의 커버블레이드는 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되어 상기 푸셔본체의 상면에 접촉하는 원주방향 차폐벽을 형성하는 스커트부를 갖는 검사장치.4. The method of claim 3,
The plurality of cover blades have a skirt portion extending downwardly from the radially outer end to form a circumferential shielding wall in contact with the upper surface of the pusher body. 제 4항에 있어서,
상기 고정블레이드는 2개의 부채꼴 차폐면의 반경방향 단부에 상향 돌출된 회동제한벽을 포함하는 검사장치.5. The method of claim 4,
The fixed blade is an inspection device including a rotation limiting wall protruding upward at the radial ends of the two sector-shaped shielding surfaces.
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