KR20210006596A - A test device - Google Patents

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KR20210006596A KR1020190082405A KR20190082405A KR20210006596A KR 20210006596 A KR20210006596 A KR 20210006596A KR 1020190082405 A KR1020190082405 A KR 1020190082405A KR 20190082405 A KR20190082405 A KR 20190082405A KR 20210006596 A KR20210006596 A KR 20210006596A
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Abstract

Disclosed is a test device for testing electrical characteristics of an object under test. The test device includes a test socket having a probe for transmitting a test signal to the object under test, and a pusher unit for pressing the object under test to approach and retreat with respect to the probe. The pusher unit includes: a pressing protrusion for pressing the object under test; a pusher base provided with the pressing protrusion on one side, and a plurality of heat dissipation column insertion portions provided on the other side; and a rod-shaped heat dissipation column having one end part inserted into the heat dissipation column insertion portion and having a plurality of heat dissipation wings on the outer circumferential surface.

Description

검사장치{A TEST DEVICE}Inspection device {A TEST DEVICE}

본 발명은 반도체와 같은 전자부품을 시험하기 위한 검사장치, 더욱 상세하게는 전기적 특성을 검사하기 위해 전자부품을 가압하는 푸셔와 방열부재를 포함하는 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for testing an electronic component such as a semiconductor, and more particularly, to an inspection apparatus including a pusher for pressing the electronic component and a heat dissipation member to test electrical characteristics.

반도체와 같은 전자제품의 제조과정에는 최종적으로 제조된 전자제품을 검사하는 검사장치가 요구된다. 이러한 검사장치는 전자제품을 검사하는 과정에서 발생된 열을 외부로 방출할 필요가 있다. 이와 같이 발생된 열은 검사 시에 저항을 상승시키는 인자로서 제품 검사의 신뢰성을 저하시키고, 내부의 회로를 단락시켜 제품 고장의 원인이 된다. 따라서, 파워(Power) 반도체, 차량용 반도체, 시스템 반도체의 테스트에는 발생된 열의 빠른 방출이 필수 요건이라 할 수 있다.In the manufacturing process of electronic products such as semiconductors, an inspection device for finally inspecting the manufactured electronic products is required. Such an inspection device needs to release heat generated in the process of inspecting electronic products to the outside. The heat generated in this way is a factor that increases the resistance during the inspection, lowering the reliability of the product inspection, and shorting the internal circuit, causing product failure. Therefore, it can be said that rapid dissipation of generated heat is an essential requirement for testing of power semiconductors, vehicle semiconductors, and system semiconductors.

검사장치는 검사대상인 전자제품을 수용하는 인서트와 검사신호를 전달하는 프로브들을 가진 검사소켓 , 검사소켓에 결합되어 인서트를 개폐하는 커버, 커버에 마련되어 인서트에 수용된 전자제품을 가압하는 푸셔, 및 열 방출을 위한 방열부를 포함하고 있다. 여기서, 방열부는 푸셔로 전달되는 열을 외부로 방출하는 히트싱크블록을 포함할 수 있다.The inspection device includes an inspection socket with an insert that holds the electronic product to be inspected and probes that transmit inspection signals, a cover that is coupled to the inspection socket to open and close the insert, a pusher provided on the cover to pressurize the electronic product received in the insert, and heat dissipation. It includes a heat sink for. Here, the heat dissipation unit may include a heat sink block that discharges heat transferred to the pusher to the outside.

그러나, 히트싱크블록은 검사소켓의 전체 사이즈가, 예를 들면 6cmx6cm로 매우 작기 때문에 표면적을 확장하는 데에 한계가 있다. 즉, 히트싱크블록의 구조는 표면적 확장을 위해서 매우 얇은 정밀한 판 형상으로 가공해야 하기 때문에 제조비용이 증가할 뿐만 아니라 내구성이 저하되는 문제가 있다.However, since the total size of the inspection socket is very small, for example, 6cmx6cm, the heat sink block has a limitation in expanding the surface area. That is, since the structure of the heat sink block must be processed into a very thin and precise plate shape in order to expand the surface area, there is a problem that not only the manufacturing cost is increased, but also the durability is deteriorated.

본 발명의 목적은 상술한 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 작은 볼륨 내에서 제조가 간단하고 내구성 및 방열효과가 우수한 방열구조를 가진 검사장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the above-described conventional problem, and to provide an inspection apparatus having a heat dissipation structure that is simple to manufacture in a small volume and has excellent durability and heat dissipation effect.

상술한 과제를 달성하기 위한 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치가 제공된다. 검사장치는, 상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓과, 상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 접근 및 후퇴 이동하도록 누르는 푸셔유닛을 포함하며, 상기 푸셔유닛은, 상기 피검사체를 가압하는 누름돌기와, 일면에 상기 누름돌기가 마련되고, 타면에 다수의 방열컬럼 삽입부가 마련된 푸셔베이스와, 일단부가 상기 방열컬럼 삽입부에 삽입되고, 외주면에 다수의 방열윙을 가진 막대 형상의 방열컬럼을 포함한다.There is provided an inspection device for inspecting the electrical characteristics of an object to be inspected for achieving the above-described problem. The inspection apparatus includes an inspection socket having a probe for transmitting an inspection signal to the test object, and a pusher unit that presses the test object to move closer and retreat to the probe, and the pusher unit presses the test object. A pusher base provided with the pressing protrusion on one side and a plurality of radiating column inserts provided on the other side, and a rod-shaped radiating column having a plurality of radiating wings on the outer circumferential surface, and one end inserted into the radiating column insert. Include.

검사장치는 방열팬을 더 포함하며, 상기 푸셔유닛은 상기 방열팬을 지지하도록 상기 푸셔베이스의 타면에 마련된 적어도 하나의 팬지지컬럼을 포함할 수 있다.The inspection device further includes a radiating fan, and the pusher unit may include at least one fan support column provided on the other surface of the pusher base to support the radiating fan.

상기 팬지지컬럼은 상기 푸셔베이스의 타면에 일체로 형성될 수 있다.The pan support column may be integrally formed on the other surface of the pusher base.

상기 푸셔베이스는 상기 다수의 방열컬럼 삽입부를 사이에 두고 일체로 형성된 다수의 방열벽을 포함할 수 있다.The pusher base may include a plurality of heat dissipation walls integrally formed with the plurality of heat dissipation column inserts therebetween.

상기 푸셔베이스의 타면은 중앙에서 외곽을 향해 하향 경사질 수 있다.The other surface of the pusher base may be inclined downward from the center toward the outside.

상기 방열컬럼은 용접재에 의해 상기 방열컬럼 삽입부에 용접결합될 수 있다.The heat dissipation column may be welded to the heat dissipation column insertion part by a welding material.

상기 방열컬럼 삽입부는, 상기 방열컬럼의 일단부가 삽입되는 컬럼삽입공과, 상기 컬럼삽입공에 연통하고 상기 방열컬럼의 일단부를 상기 컬럼삽입공에 삽입할 때 넘치는 용접재를 수용하는 용접재수용부를 포함할 수 있다.The heat dissipation column insertion part includes a column insertion hole into which one end of the heat dissipation column is inserted, and a welding material receiving part that communicates with the column insertion hole and accommodates a welding material overflowing when one end of the heat dissipation column is inserted into the column insertion hole. can do.

상기 방열컬럼 삽입부는, 상기 방열컬럼의 일단부가 삽입되는 컬럼삽입공과, 상기 용접재를 수용하도록 상기 컬럼삽입공에 마련된 용접재수용홈을 포함할 수 있다.The heat dissipation column insertion part may include a column insertion hole into which one end of the heat dissipation column is inserted, and a welding material receiving groove provided in the column insertion hole to accommodate the welding material.

본 발명에 의한 검사장치는 일면에 푸셔가 마련된 푸셔지지부의 이면에 외면에 다수의 윙을 가진 막대상의 다수의 방열컬럼들을 조립함으로써 가공 및 조립이 쉽고 표면적을 최대한 확장하여 방열효과가 우수하고 내구성을 향상시킬 수 있다. 또한, 다수의 방열컴럼들 사이의 여유공간은 방출된 열을 외부로 용이하게 방출시킴으로써 방열효과를 좋게 할 수 있다.The inspection apparatus according to the present invention is easy to process and assemble by assembling a plurality of heat dissipation columns in the form of a rod having a number of wings on the outer surface of the pusher support part provided with a pusher on one side, and expands the surface area as much as possible, resulting in excellent heat dissipation and durability Can be improved. In addition, the free space between the plurality of heat dissipation columns can improve the heat dissipation effect by easily discharging the emitted heat to the outside.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 검사장치의 사시도,
도 2 및 3은 도 1의 검사장치를 분해하여 나타낸 사시도
도 4는 도 1의 푸셔유닛의 사시도,
도 5는 도 1의 푸셔유닛을 분해하여 나타낸 분해도,
도 6은 도 5의 방열컬럼의 구조를 나타낸 사시도,
도 7 및 8은 각각 본 발명의 제2실시예에 따른 방열컬럼과 방열컬럼 삽입부의 용접 전후 상태를 나타낸 도,
도 9는 각각 본 발명의 제3실시예에 따른 방열컬럼과 방열컬럼 삽입부의 용접 전후 상태를 나타낸 도,
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 방열컬럼 지지부와 방열컬럼의 용접 후 상태를 나타낸 도,
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 푸셔베이스의 컬럼영역을 나타낸 사시도,
도 12는은 본 발명의 제4실시예에 따른 푸셔유닛에서 공기흐름을 나타낸 측면도, 및
도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 푸셔유닛을 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view of an inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention,
2 and 3 are perspective views showing an exploded view of the inspection device of FIG. 1
Figure 4 is a perspective view of the pusher unit of Figure 1,
5 is an exploded view showing the pusher unit of FIG. 1 by exploding;
6 is a perspective view showing the structure of the heat dissipation column of FIG. 5;
7 and 8 are diagrams showing a state before and after welding of a heat dissipation column and a heat dissipation column insert according to a second embodiment of the present invention, respectively.
9 is a diagram showing a state before and after welding of a heat dissipating column and a heat dissipating column insert according to a third embodiment of the present invention, respectively.
10 is a view showing a state after welding of a heat dissipation column support part and a heat dissipation column according to a third embodiment of the present invention
11 is a perspective view showing a column area of a pusher base according to a fourth embodiment of the present invention;
12 is a side view showing the air flow in the pusher unit according to the fourth embodiment of the present invention, and
13 is a perspective view showing a pusher unit according to a fifth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 설명한다. 설명의 편의상 본 발명의 이해를 위해 관련된 부분들만을 설명하였고, 발명과 직접적으로 관련이 없는 부분은 도면 또는 설명에서 배제하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. For convenience of description, only related parts for understanding the present invention have been described, parts not directly related to the invention are excluded from the drawings or description, and the same reference numerals are given to the same or similar components throughout the specification.

그리고, 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 상세한 설명들은 개시되지 않을 수 있다. 본 발명에서, 제1, 제2 등과 같은 관계 용어들은 하나의 존재를 다른 존재로부터 구분하기 위해 이용될 수 있으며, 실제 관계나 이들 간의 순서에 의미를 두지 않는다.And, detailed descriptions that are obvious to those of ordinary skill in the art may not be disclosed. In the present invention, relational terms such as first, second, etc. may be used to distinguish one entity from another, and do not put a meaning on an actual relationship or order between them.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(1)의 사시도이고, 도 2 및 3은 도 1의 검사장치(1)를 분해하여 나타낸 분해도이다. 1 is a perspective view of an inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are exploded views showing the inspection apparatus 1 of FIG. 1.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 검사장치(1)는 검사소켓(10) 및 검사소켓(10)에 결합되는 커버(20), 커버(20)에 마련된 푸셔유닛(30) 및 푸셔유닛(30)에 장착된 방열팬(40)을 포함할 수 있다.1 to 3, the inspection device 1 includes an inspection socket 10 and a cover 20 coupled to the inspection socket 10, a pusher unit 30 and a pusher unit 30 provided in the cover 20. ) It may include a heat dissipation fan 40 mounted on.

검사소켓(10)은 탄성적으로 신축 가능한 복수의 프로브들을 지지하는 프로브지지체(12), 및 상기 프로브지지체(12) 상에 배치되어 반도체 등과 같은 전자제품(이하, "피검사체"라 칭한다)을 수용하는 피검사체수용부를 포함하는 인서트(13)를 포함한다. 상술한 바와 같은 검사소켓(10)은 설명을 위한 하나의 예로서 설명된 것으로 상술한 구조만으로 한정되지 않는다.The test socket 10 includes a probe support 12 supporting a plurality of elastically stretchable probes, and an electronic product such as a semiconductor (hereinafter referred to as “test object”) disposed on the probe support 12 It includes an insert 13 including an object receiving portion to be accommodated. The test socket 10 as described above has been described as an example for description and is not limited to the above-described structure.

상기 피검사체는 범프와 같은 다수의 피검사접점을 포함하며, POP(package On Package)반도체와 같이 적층구조의 반도체가 적용될 수 있다. 피검사체는 상기 프로브지지체(12)에 지지된 프로브들에 대응하도록 상기 인서트(13)의 피검사체 수용부 내에 수용된다. 이와 같이 배치된 피검사체는 후술하는 푸셔유닛(30)의 가압에 의해 대응하는 프로브들을 향해 이동하여 프로브들에 접촉하면서 검사가 이루어질 수 있다.The object to be inspected includes a plurality of points to be inspected such as bumps, and a semiconductor having a stacked structure, such as a POP (package on package) semiconductor, may be applied. The test object is accommodated in the test object receiving portion of the insert 13 so as to correspond to the probes supported by the probe support 12. The object to be inspected arranged in this way moves toward the corresponding probes by pressing of the pusher unit 30 to be described later, and the inspection may be performed while contacting the probes.

커버(20)는 검사소켓(10)에 결합되는 커버본체(22), 검사 시에 검사소켓(10)의 상부를 개폐하도록 커버본체(22)와 마련된 한 쌍의 래치(24) 및 손잡이(26)를 포함할 수 있다. The cover 20 includes a cover body 22 coupled to the inspection socket 10, a cover body 22 and a pair of latches 24 and handles 26 provided to open and close the upper portion of the inspection socket 10 during inspection. ) Can be included.

커버본체(22)는 한 쌍의 래치(24)에 의해 검사소켓(10)에 착탈 가능하게 결합될 수 있다. 커버본체(22)는 중앙에 푸셔유닛(30)를 수용하는 푸셔수용부(222)를 포함할 수 있다. 커버본체(22)의 상부에는 후술하는 푸셔유닛(30)의 방열컬럼(326)과 팬지지컬럼(328)이 통과하는 개구를 가진 커버스커트(221)가 형성되어 있다. 커버본체(22)는 회전하는 손잡이(26)를 안내하기 위해 회전 방향을 따라 파여진 한 쌍의 손잡이 가이드부(224)를 포함할 수 있다. 각 손잡이 가이드부(224)의 중앙에는 커버스커트(221)를 관통하는 관통공(223)이 마련되어 있다. 관통공(223)에는 손잡이(26)의 단부에 결합된 가압부(262)가 배치될 수 있다.The cover body 22 may be detachably coupled to the test socket 10 by a pair of latches 24. The cover body 22 may include a pusher receiving portion 222 accommodating the pusher unit 30 in the center. A cover skirt 221 having an opening through which the heat dissipation column 326 and the fan support column 328 of the pusher unit 30 to be described later pass is formed on the cover body 22. The cover body 22 may include a pair of handle guide portions 224 that are dug along the rotation direction to guide the rotating handle 26. A through hole 223 penetrating the cover skirt 221 is provided in the center of each handle guide part 224. A pressing portion 262 coupled to an end of the handle 26 may be disposed in the through hole 223.

한 쌍의 래치(24)는 푸셔수용부(222)를 사이에 두고 마주보도록 커버본체(22)에 마련되어 있다. 각 래치(24)는 걸림부(242)와 누름부(244)를 포함할 수 있다. 각 래치(24)는 힌지핀(246)에 의해 탄성적으로 회전 가능하도록 커버본체(22)에 지지되어 있다.A pair of latches 24 are provided on the cover body 22 so as to face each other with the pusher receiving portion 222 therebetween. Each latch 24 may include a locking portion 242 and a pressing portion 244. Each latch 24 is supported on the cover body 22 so as to be elastically rotatable by a hinge pin 246.

손잡이(26)는 푸셔수용부(222)의 상측으로 소정의 높이로 우회하도록 '∩'자 모양으로 연장한다. 손잡이(26)는 양단부가 힌지핀(266)에 의해 양측 손잡이 가이드부(224) 각각의 중앙 부분에 회전 가능하도록 지지될 수 있다. 손잡이(26)는 단부에 도시되지 않은 3개의 다른 직경을 가진 형상의 캠을 포함할 수 있다. 캠에는 푸셔유닛(30)을 가압하는 가압부(262)가 결합될 수 있다. 따라서, 손잡이(26)가 중앙에, 좌회전하여 좌측에, 우회전하여 우측에 놓일 때마다 각각 캠은 가압부(262)의 높낮이를 다르게 조절할 수 있다. 결과적으로, 회전하는 손잡이(26)의 위치에 따라 푸셔유닛(30)를 가압하는 정도가 다르기 때문에, 본 발명의 검사장치(1)는 서로 다른 두께의 피검사체를 공용으로 검사하는 것이 가능하다. 물론 가압부(262)는 생략될 수 있고 캠이 직접 푸셔유닛(30)을 가압할 수도 있다.The handle 26 extends in a'∩' shape so as to detour upward to a predetermined height of the pusher receiving portion 222. The handle 26 may be supported so that both ends of the handle 26 are rotatable at a central portion of each of the handle guide portions 224 on both sides by a hinge pin 266. The handle 26 may include cams of three different diameter shapes not shown at the ends. A pressing unit 262 for pressing the pusher unit 30 may be coupled to the cam. Accordingly, whenever the handle 26 is placed in the center, left to left, and right to right, each cam can adjust the height of the pressing unit 262 differently. As a result, since the degree of pressing the pusher unit 30 is different depending on the position of the rotating handle 26, the inspection apparatus 1 of the present invention can inspect objects of different thicknesses in common. Of course, the pressing unit 262 may be omitted, and the cam may directly press the pusher unit 30.

푸셔유닛(30)는 푸셔(32), 푸셔(32)를 지지하는 푸셔프레임(34) 및 푸셔프레임(34)의 하부를 커버하는 푸셔하부커버(36)를 포함할 수 있다.The pusher unit 30 may include a pusher 32, a pusher frame 34 supporting the pusher 32, and a pusher lower cover 36 covering a lower portion of the pusher frame 34.

푸셔(32)는 판상의 푸셔베이스(322), 푸셔베이스(322)의 하면으로부터 돌출하여 검사소켓(10)에 놓인 피검사체의 상면을 가압하는 누름돌기(324), 푸셔베이스(322)의 상면에 지지된 다수의 방열컬럼(326)과 팬지지컬럼(328)을 포함할 수 있다. 푸셔베이스(322)의 외곽에는 다수의 제1스프링홈(323)을 포함할 수 있다. 제1스프링홈(323)에는 제1스프링(325)의 하단부를 수용할 수 있다. 제1스프링(325)은 푸셔(32)가 푸셔프레임(34)에 수용된 상태에서 푸셔프레임(34)과 간격을 탄성적으로 유지하게 할 수 있다. 푸셔(32)에 대한 상세한 설명은 후술한다. The pusher 32 is a plate-shaped pusher base 322, a pressing protrusion 324 that protrudes from the lower surface of the pusher base 322 and presses the upper surface of the object placed on the test socket 10, and the upper surface of the pusher base 322 It may include a plurality of heat dissipation columns 326 and fan support columns 328 supported on. A plurality of first spring grooves 323 may be included in the outer periphery of the pusher base 322. The first spring groove 323 may accommodate the lower end of the first spring 325. The first spring 325 may elastically maintain a gap with the pusher frame 34 in a state in which the pusher 32 is accommodated in the pusher frame 34. A detailed description of the pusher 32 will be described later.

푸셔프레임(34)은 박스 상으로 상부 및 하부가 개방되어 있다. 푸셔프레임(34)의 상부에는 수용된 푸셔(32)의 상향 이탈을 제한하는 푸셔스커트(342)가 마련되어 있다. 푸셔스커트(342)의 하면에는 푸셔베이스(322)의 제1스프링홈(323)에 대응하는 다수의 제2스프링홈(3422)이 마련되어 있다. 다수의 제2스프링홈(3422)은 제1스프링(325)의 상단부를 수용할 수 있다. 푸셔스커트(342)의 상면에는 커버(20)의 손잡이(26) 단부에 마련된 가압부(262)가 안착되도록 파여진 안착부(3424) 및 4 코너에 마련된 제2스프링(3426)을 포함할 수 있다. 제2스프링(3426)은 커버본체(22)의 커버스커트(221) 하부면과 푸셔유닛(32)의 상부면 사이에 배치되어 푸셔유닛(32)이 커버(20)에 탄성적으로 매달릴 수 있다.The pusher frame 34 has upper and lower portions open on the box. A pusher skirt 342 is provided on the upper part of the pusher frame 34 to limit upward separation of the received pusher 32. A plurality of second spring grooves 3422 corresponding to the first spring grooves 323 of the pusher base 322 are provided on the lower surface of the pusher skirt 342. The plurality of second spring grooves 3422 may accommodate the upper end of the first spring 325. The upper surface of the pusher skirt 342 may include a seating portion 3424 dug so that the pressing portion 262 provided at the end of the handle 26 of the cover 20 is seated, and a second spring 3426 provided at four corners. have. The second spring 3426 is disposed between the lower surface of the cover skirt 221 of the cover body 22 and the upper surface of the pusher unit 32 so that the pusher unit 32 can be elastically suspended from the cover 20. .

푸셔프레임(34) 하단에는 내부에 푸셔유닛(32)을 수용한 상태에서 푸셔하부커버(36)와 결합을 위한 다수의 볼트공(344)을 포함할 수 있다.A lower portion of the pusher frame 34 may include a plurality of bolt holes 344 for coupling with the pusher lower cover 36 in a state in which the pusher unit 32 is accommodated therein.

푸셔하부커버(36)는 하측으로 오목하게 파여진 누름돌기 수용부(362)를 포함할 수 있다. 누름돌기 수용부(362)는 푸셔프레임(34)에 수용된 푸셔(32)의 누름돌기(324)를 수용할 수 있다. 푸셔하부커버(36)는 다수의 볼트(364)에 의해 푸셔프레임(34)의 다수의 볼트공(344)에 결합될 수 있다. The pusher lower cover 36 may include a pressing protrusion receiving portion 362 recessed downward. The pressing protrusion receiving portion 362 may accommodate the pressing protrusion 324 of the pusher 32 accommodated in the pusher frame 34. The pusher lower cover 36 may be coupled to a plurality of bolt holes 344 of the pusher frame 34 by a plurality of bolts 364.

방열팬(40)은 발열하는 피검사체로부터 푸셔유닛(30)으로 전달된 열을 냉각시키기 위해 푸셔유닛(32)의 팬지지컬럼(328)에 장착될 수 있다. 방열팬(40)은 냉각을 위해 방열컬럼(326)의 측면으로부터 공기를 흡입하여 상측으로 또는 상측에서 흡입하여 측면으로 공기를 강제 배출시킬 수 있다.The heat dissipation fan 40 may be mounted on the fan support column 328 of the pusher unit 32 in order to cool the heat transferred from the object to be heated to the pusher unit 30. The heat dissipation fan 40 may suck air from the side of the heat dissipation column 326 for cooling and discharge the air to the side by suctioning upward or from the upper side.

도 4는 도 1의 푸셔유닛(32)의 사시도이고, 도 5는 도 1의 푸셔유닛(32)을 분해하여 나타낸 분해도이고, 도 6은 도 5의 방열컬럼(326)의 구조를 나타낸 사시도이다.4 is a perspective view of the pusher unit 32 of FIG. 1, FIG. 5 is an exploded view showing the pusher unit 32 of FIG. 1, and FIG. 6 is a perspective view showing the structure of the heat dissipation column 326 of FIG. .

도 4 및 5를 참조하면, 푸셔유닛(32)은 푸셔베이스(322), 누름돌기(도 3의 324), 방열컬럼(326) 및 팬지지컬럼(328)을 포함할 수 있다.4 and 5, the pusher unit 32 may include a pusher base 322, a pressing protrusion (324 in FIG. 3), a heat dissipation column 326, and a fan support column 328.

푸셔베이스(322)는 판상으로 하면에 누름돌기(324)가 돌출 형성되어 있고, 상면의 정방형 컬럼영역(321)에 간격을 두고 이격되게 마련된 다수의 방열벽(327), 방열벽(327) 사이에 마련된 방열컬럼 삽입부(329) 및 컬럼영역(321)의 모서리에 일체로 형성된 팬지지컬럼(328)을 포함할 수 있다.The pusher base 322 has a plate shape with a pressing protrusion 324 protruding on its lower surface, and between a plurality of heat dissipation walls 327 and 327 spaced apart from the square column region 321 of the upper surface It may include a heat dissipation column insertion portion 329 provided in and a fan support column 328 integrally formed at the corner of the column region 321.

방열벽(327)은 푸셔베이스(322)의 상면에 가로 또는 세로로 간격을 두고 연장하도록 일체로 가공하여 형성될 수 있다. The heat dissipation wall 327 may be formed by integrally processing the upper surface of the pusher base 322 to extend horizontally or vertically at intervals.

팬지지컬럼(328)은 컬럼영역(321)의 4 모서리에 각각 일체로 형성될 수 있다. 팬지지컬럼(328)의 상단면에는 방열팬(40)을 고정하기 위한 볼트공(3282)이 마련되어 있다. The pan support columns 328 may be integrally formed at each of the four corners of the column region 321. A bolt hole 3322 for fixing the heat dissipation fan 40 is provided on the top surface of the fan support column 328.

방열컬럼 삽입부(329)는 예를 들면 드릴에 의해 푸셔베이스(322)의 컬럼영역(321)에 비관통으로 원통 구멍으로 형성될 수 있다. 방열컬럼 삽입부(329)는 방열벽들(327) 사이에 형성될 수 있다.The heat dissipation column insertion part 329 may be formed as a cylindrical hole non-penetrating the column region 321 of the pusher base 322 by, for example, a drill. The heat dissipation column insertion part 329 may be formed between the heat dissipation walls 327.

누름돌기(324)는 푸셔베이스(322)의 하면에 일체로 가공하여 형성될 수 있다. 물론, 누름돌기(324)는 별도로 제작되어 결합 또는 접착될 수도 있다.The pressing protrusion 324 may be formed integrally with the lower surface of the pusher base 322. Of course, the pressing protrusion 324 may be separately manufactured and combined or bonded.

도 6을 참조하면, 방열컬럼(326)은 막대상으로 방열 효과를 향상시키기 위한 다수의 방열윙(3262) 및 일측의 결합단부(3264)를 포함할 수 있다. 방열컬럼(326)은 방열컬럼 삽입부(329)에 압입 또는 접합, 예를 들면 용접 접합될 수 있다.Referring to FIG. 6, the heat dissipation column 326 may include a plurality of heat dissipation wings 3262 and a coupling end 3264 on one side for improving a heat dissipation effect in a rod shape. The heat dissipation column 326 may be press-fitted or bonded to the heat dissipating column insert 329, for example, welded.

방열윙(3262)은 예를 들면 원기둥 막대의 재료를 선반으로 가공할 수 있다. 방열윙(3262)은 가공의 편의상 길이방향의 가로로 형성될 수 있다. 물론, 방열윙(3262)은 길이방향을 따라 연장하도록 형성할 수도 있다.The heat dissipation wing 3262 can process a material of a cylindrical rod into a lathe, for example. The radiating wing 3262 may be formed horizontally in the longitudinal direction for convenience of processing. Of course, the radiating wing 3262 may be formed to extend along the longitudinal direction.

결합단부(3264)는 외주면에 적어도 하나의 용접재 채움부(3266)가 형성될 수 있다. 용접재 채움부(3266)는 방열컬럼(326)을 방열컬럼 삽입부(329)에 용접 결합할 때 사용되는 용융 용접재, 예를 들면 용융 은(Ag)이 채워질 수 있다. 용융 은은 융점이 낮아 작업이 용이하고 열전도율이 높아 방열효과가 좋다. 또한, 방열컬럼(326)은 용접재 채움부(3266)에 용접재가 채워진 상태로 푸셔베이스(322)에 고정됨에 따라 더욱 견고하게 지지될 수 있다.At least one welding material filling part 3266 may be formed on the outer circumferential surface of the coupling end 3264. The welding material filling part 3266 may be filled with a molten welding material, for example, molten silver (Ag), which is used when welding the heat dissipating column 326 to the heat dissipating column insert 329. Molten silver has a low melting point, making it easy to work, and has a high thermal conductivity, so it has good heat dissipation effect. In addition, as the heat dissipation column 326 is fixed to the pusher base 322 while the welding material is filled in the welding material filling part 3266, it may be supported more firmly.

도 7 및 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 방열컬럼(326)과 방열컬럼 삽입부(329)의 용접 전후 상태를 나타낸 도이다.7 and 8 are views showing a state before and after welding of the heat dissipation column 326 and the heat dissipation column insert 329 according to the second embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 방열컬럼(326)은 다수의 방열윙(3262) 및 결합단부(3264)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, the heat dissipation column 326 may include a plurality of heat dissipation wings 3262 and a coupling end 3264.

결합단부(3264)는 원통형상으로 길이방향의 가로로 마련된 적어도 하나의 용접재 채움부(3266) 및 외주면을 길이방향으로 절취한 평면부(3268)를 포함할 수 있다.The coupling end portion 3264 may include at least one welding material filling portion 3266 provided horizontally in a longitudinal direction in a cylindrical shape and a flat portion 3268 having an outer peripheral surface cut out in the longitudinal direction.

방열컬럼 삽입부(329)는 결합단부(3264)가 삽입되는 컬럼삽입공(3292)과 컬럼삽입공(3292)에 연통하는 용접재수용부(3294)를 포함할 수 있다. 용접을 위해 컬럼삽입공(3292)에 채워진 용접재, 예를 들면 용융 은(Ag)은 결합단부(3264)를 컬럼삽입공(3292)에 삽입할 때 넘쳐 흘러나올 수 있다. 용접재수용부(3294)는 이와 같이 흘러나온 용접재를 수용함으로써 방열컬럼(326)을 더욱 견고하게 고정할 수 있을 뿐만 아니라 외관을 깨끗하게 할 수 있다. The heat dissipation column insertion portion 329 may include a column insertion hole 3293 into which the coupling end 3264 is inserted and a welding material receiving portion 3194 communicating with the column insertion hole 3293. The welding material, for example, molten silver (Ag) filled in the column insertion hole 3293 for welding, may overflow when inserting the coupling end 3264 into the column insertion hole 3293. The welding material accommodating part 3194 can not only fix the heat dissipation column 326 more firmly, but also make the appearance clean by receiving the welding material flowing out in this way.

도 8을 참조하면, 컬럼삽입공(3292)에 용접재가 채워진 상태에서 방열컬럼(326)을 삽입한 후에 냉각시키면, 용접재는 용접재 채움부(3266), 평면부(3268)와 컬럼삽입공(3292) 내면 사이, 그리고 용접재수용부(3294)에 채워진 상태로 굳어질 수 있다. 결과적으로, 결합단부(3264)는 컬럼삽입공(3292)에 빈 공간 없이 완벽하게 채워지므로써 방열효과를 향상시킬 수 있고, 견고하게 결합될 수 있다. Referring to FIG. 8, when the heat dissipation column 326 is inserted and cooled in a state where the welding material is filled in the column insertion hole 3288, the welding material is a welding material filling part 3266, a flat part 3268, and a column insertion hole ( 3292) It may be hardened in a state filled between the inner surfaces and in the welding material receiving part 3294. As a result, the coupling end 3264 can improve the heat dissipation effect by completely filling the column insertion hole 3288 without an empty space, and can be firmly coupled.

도 9 및 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 방열컬럼(326)과 방열컬럼 삽입부(329)의 용접 전후 상태를 나타낸 도이다.9 and 10 are diagrams showing a state before and after welding of the heat dissipation column 326 and the heat dissipation column insertion part 329 according to the third embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 방열컬럼(326)은 다수의 방열윙(3262) 및 결합단부(3264)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 9, the heat dissipation column 326 may include a plurality of heat dissipation wings 3262 and a coupling end 3264.

결합단부(3264)는 원통형상으로 길이방향의 가로로 마련된 적어도 하나의 용접재 채움부(3266)를 포함할 수 있다. 도 9의 결합단부(3264)는 도 7의 결합단부(3264)와 달리 외주면을 길이방향으로 절취한 평면부(3268)가 형성되어 있지 않다.The coupling end portion 3264 may include at least one welding material filling portion 3266 provided horizontally in the longitudinal direction in a cylindrical shape. Unlike the coupling end 3264 of FIG. 7, the coupling end 3264 of FIG. 9 does not have a flat portion 3268 with the outer peripheral surface cut in the longitudinal direction.

방열컬럼 삽입부(329)는 결합단부(3264)가 삽입되는 컬럼삽입공(3292)과 컬럼삽입공(3292)에 연통하는 용접재수용부(3294)를 포함할 수 있다. 컬럼삽입공(3292)은 내주면에 길이방향으로 연장하는 복수의 용접재수용홈(3296)을 포함할 수 있다. The heat dissipation column insertion portion 329 may include a column insertion hole 3293 into which the coupling end 3264 is inserted and a welding material receiving portion 3194 communicating with the column insertion hole 3293. The column insertion hole 3293 may include a plurality of welding material receiving grooves 3288 extending in the longitudinal direction on the inner circumferential surface.

용접을 위해 컬럼삽입공(3292)에 채워진 용접재, 예를 들면 용융 은(Ag)은 결합단부(3264)를 컬럼삽입공(3292)에 삽입할 때 넘쳐 흘러나올 수 있다. 용접재수용부(3294) 및 용접재수용홈(3296)은 용융 용접재를 수용할 수 있는 충분한 공간을 제공함으로써 방열컬럼(326)을 더욱 견고하게 고정할 수 있을 뿐만 아니라 외관을 깨끗하게 할 수 있다.The welding material, for example, molten silver (Ag) filled in the column insertion hole 3293 for welding, may overflow when inserting the coupling end 3264 into the column insertion hole 3293. The welding material receiving part 3194 and the welding material receiving groove 3296 provide a sufficient space to accommodate the molten welding material, so that the heat dissipation column 326 can be more firmly fixed and the appearance can be made clean.

도 10을 참조하면, 컬럼삽입공(3292)에 용접재가 채워진 상태에서 방열컬럼(326)을 삽입한 후에 냉각시키면, 용접재는 용접재 채움부(3266), 용접재수용홈(3296)와 그리고 용접재수용부(3294)에 채워진 상태로 굳어질 수 있다. 결과적으로, 결합단부(3264)는 컬럼삽입공(3292)에 빈 공간 없이 완벽하게 채워지므로써 방열효과를 향상시킬 수 있고, 견고하게 결합될 수 있다. Referring to FIG. 10, when the heat dissipation column 326 is inserted and cooled in a state where the welding material is filled in the column insertion hole 3293, the welding material is welded with the welding material filling part 3266, the welding material receiving groove 3288 and It may be hardened in a state filled in the re-accommodating part 3294. As a result, the coupling end 3264 can improve the heat dissipation effect by completely filling the column insertion hole 3288 without an empty space, and can be firmly coupled.

도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 푸셔베이스(322)의 컬럼영역(321)을 나타낸 사시도이고, 도 12는은 본 발명의 제4실시예에 따른 푸셔유닛(30)에서 공기흐름을 나타낸 측면도이다.11 is a perspective view showing a column region 321 of a pusher base 322 according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a diagram illustrating air flow in the pusher unit 30 according to the fourth embodiment of the present invention. It is a side view shown.

도 11을 참조하면, 푸셔베이스(322)의 컬럼영역(321)은 중앙을 향해 상향 경사진 경사면을 가진 사각뿔 형상으로 형성할 수 있다. 물론,컬럼영역(321)은 사각뿔로만 한정되지 않으면, 원뿔, 삼각뿔 또는 5각 이상의 뿔 형상으로 구현될 수 있다. 도 11에는 도시되지 않았지만, 사각뿔 형상의 컬럼영역(321)에는 다수의 방열벽 및 컬럼삽입부들이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 11, the column region 321 of the pusher base 322 may be formed in a rectangular pyramid shape having an inclined surface inclined upward toward the center. Of course, the column region 321 may be implemented in the shape of a cone, a triangular pyramid, or five or more cones, unless it is limited to a square pyramid. Although not shown in FIG. 11, a plurality of heat dissipation walls and column insertion portions may be formed in the column region 321 having a square pyramid shape.

도 12를 참조하면, 푸셔유닛(30)의 상측에 마련된 방열팬(40)의 동작에 의해 공기는 컬럼영역(321)을 향해 공급될 수 있다. 이때, 공기는 도 11에 나타낸 바와 같이, 도 11에 나타낸 푸셔베이스(322)의 컬럼영역(321) 중앙에서 외곽으로 하향 경사진 경사면에 의해 저항 없이 더욱 원활하게 배출될 수 있다. Referring to FIG. 12, air may be supplied toward the column region 321 by the operation of the heat dissipation fan 40 provided on the upper side of the pusher unit 30. In this case, as shown in FIG. 11, air can be discharged more smoothly without resistance by the inclined surface inclined downward from the center of the column region 321 of the pusher base 322 shown in FIG. 11 to the outside.

도 11 및 12에서, 푸셔베이스(322)의 상면은 방열벽과 방열컬럼이 생략된 상태의 도면이다.11 and 12, the upper surface of the pusher base 322 is a view in which the heat dissipation wall and the heat dissipation column are omitted.

도 13은 본 발명의 제5실시예에 따른 푸셔유닛(30)을 나타낸 사시도이다.13 is a perspective view showing a pusher unit 30 according to a fifth embodiment of the present invention.

도 13을 참조하면, 팬지지컬럼(328)은 푸셔베이스(322)의 상면에서 일체로 가공되지 않고 별도를 분리 가공되어 결합될 수 있다.Referring to FIG. 13, the pan support column 328 is not integrally processed on the upper surface of the pusher base 322 but may be separately processed and combined.

푸셔베이스(322)는 판상으로 상면의 정방형 컬럼영역(321)에 간격을 두고 이격되게 마련된 다수의 방열벽(327), 및 4 코너에 마련된 팬지지컬럼 고정부(3286)를 포함할 수 있다.The pusher base 322 may include a plurality of heat dissipation walls 327 provided in a plate shape to be spaced apart from each other in a square column region 321 on the upper surface, and a fan support column fixing part 3288 provided at four corners.

팬지지컬럼(328)은 팬지지컬럼 고정부(3286)에서 나사(3284)에 의해 하단부가 고정지지될 수 있다.The pan support column 328 may be fixed and supported at the lower end by a screw 3284 in the pan support column fixing part 3288.

앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.In the foregoing specification, the present invention and its advantages have been described with reference to specific embodiments. However, it will be apparent to those of ordinary skill in the art that various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention as described in the claims below. Accordingly, the specification and drawings should be regarded as examples of the invention rather than limitations. All such possible modifications should be made within the scope of the present invention.

1 : 검사장치
10: 검사소켓
12: 프로브지지체
13: 인서트
20: 커버
22: 커버본체
221: 커버스커트
222: 푸셔수용부
224: 손잡이 가이드
24: 래치
26: 손잡이
30: 푸셔유닛
32: 푸셔
322: 푸셔베이스
324: 누름돌기
326: 방열컬럼
328: 팬지지컬럼
34: 푸셔프레임
342: 푸셔스커트
36: 푸셔하부커버
40: 방열팬1: Inspection device
10: inspection socket
12: probe support
13: insert
20: cover
22: cover body
221: cover skirt
222: pusher receiving part
224: handle guide
24: latch
26: handle
30: pusher unit
32: pusher
322: pusher base
324: push protrusion
326: heat dissipation column
328: Pansy column
34: pusher frame
342: pusher skirt
36: pusher lower cover
40: heat dissipation fan

Claims (8)

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치에 있어서,
상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓과;
상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 접근 및 후퇴 이동하도록 누르는 푸셔유닛을 포함하며,
상기 푸셔유닛은,
상기 피검사체를 가압하는 누름돌기와;
일면에 상기 누름돌기가 마련되고, 타면에 다수의 방열컬럼 삽입부가 마련된 푸셔베이스와;
일단부가 상기 방열컬럼 삽입부에 삽입되고, 외주면에 다수의 방열윙을 가진 막대 형상의 방열컬럼을 포함하는 검사장치.In the inspection device for inspecting the electrical characteristics of the test subject,
A test socket having a probe for transmitting a test signal to the test object;
It includes a pusher unit pressing the object to move to approach and retreat with respect to the probe,
The pusher unit,
A pressing protrusion for pressing the test object;
A pusher base provided with the pressing protrusion on one side and a plurality of heat dissipating column inserts on the other side;
An inspection device including a rod-shaped heat-radiating column having one end portion inserted into the heat-radiating column insertion portion and having a plurality of heat-radiating wings on an outer peripheral surface. 제1항에 있어서,
방열팬을 더 포함하며,
상기 푸셔유닛은 상기 방열팬을 지지하도록 상기 푸셔베이스의 타면에 마련된 적어도 하나의 팬지지컬럼을 포함하는 검사장치.The method of claim 1,
It further includes a heat dissipation fan,
The pusher unit includes at least one fan support column provided on the other surface of the pusher base to support the heat dissipation fan. 제2항에 있어서,
상기 팬지지컬럼은 상기 푸셔베이스의 타면에 일체로 형성되는 검사장치.The method of claim 2,
The pan support column is an inspection device integrally formed on the other surface of the pusher base. 제1항에 있어서,
상기 푸셔베이스는 상기 다수의 방열컬럼 삽입부를 사이에 두고 일체로 형성된 다수의 방열벽을 포함하는 검사장치.The method of claim 1,
The pusher base is an inspection apparatus including a plurality of heat dissipation walls integrally formed with the plurality of heat dissipation column inserts therebetween. 제1항에 있어서,
상기 푸셔베이스의 타면은 중앙에서 외곽을 향해 하향 경사진 것을 특징으로 하는 검사장치.The method of claim 1,
Inspection apparatus, characterized in that the other surface of the pusher base is inclined downward from the center toward the outside. 제1항에 있어서,
상기 방열컬럼은 용접재에 의해 상기 방열컬럼 삽입부에 용접결합되는 검사장치. The method of claim 1,
The heat dissipation column is welded to the heat dissipation column insertion part by a welding material. 제6항에 있어서,
상기 방열컬럼 삽입부는,
상기 방열컬럼의 일단부가 삽입되는 컬럼삽입공과;
상기 컬럼삽입공에 연통하고 상기 방열컬럼의 일단부를 상기 컬럼삽입공에 삽입할 때 넘치는 용접재를 수용하는 용접재수용부를 포함하는 검사장치. The method of claim 6,
The heat dissipation column insertion part,
A column insertion hole into which one end of the heat dissipation column is inserted;
An inspection apparatus comprising a welding material receiving portion communicating with the column insertion hole and receiving an overflowing welding material when one end of the heat dissipating column is inserted into the column insertion hole. 제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 방열컬럼 삽입부는,
상기 방열컬럼의 일단부가 삽입되는 컬럼삽입공과;
상기 용접재를 수용하도록 상기 컬럼삽입공에 마련된 용접재수용홈을 포함하는 검사장치.
The method according to claim 6 or 7,
The heat dissipation column insertion part,
A column insertion hole into which one end of the heat dissipation column is inserted;
Inspection apparatus comprising a welding material receiving groove provided in the column insertion hole to accommodate the welding material.
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