KR102419170B1

KR102419170B1 - 수용 탱크, 그 수용 탱크를 구비한 재료 기화 장치 및 액체 재료 공급 장치

Info

Publication number: KR102419170B1
Application number: KR1020197015858A
Authority: KR
Inventors: 신지 다니구치
Original assignee: 가부시키가이샤 호리바 에스텍
Priority date: 2016-12-14
Filing date: 2017-12-12
Publication date: 2022-07-08
Also published as: US20200003409A1; JPWO2018110545A1; JP7045328B2; KR20190094158A; US11306913B2; CN110088523A; WO2018110545A1

Abstract

본 발명은, 탱크(TK)와, 액체 재료(LM)를 수용하는 탱크 본체(200)와, 탱크 본체(200)의 개구를 막는 덮개체(210)와, 덮개체(210)에 대향시켜서 위치되는 지지체(220)와, 탱크 본체(200)의 개구단에 마련된 플랜지(201) 및 덮개체(210)에 의해서 사이에 끼이는 씰체(230)와, 덮개체(210) 및 지지체(220)를 체결하는 체결 부재(240)를 구비한 수용 탱크이며, 탱크 본체의 개구단에 마련된 플랜지의 두께가 얇아도, 밀착성을 유지하면서 플랜지에 대해서 덮개체를 장착할 수 있다.

Description

수용 탱크, 그 수용 탱크를 구비한 재료 기화 장치 및 액체 재료 공급 장치

본 발명은, 수용 탱크, 그 수용 탱크를 구비한 재료 기화 장치 및 액체 재료 공급 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 프로세스에서는, 액체 재료 공급 장치로부터 공급되는 액체 재료를 재료 기화 장치에서 기화하여 챔버로 도출하는 것이나, 고체 재료를 재료 기화 장치에서 기화하여 챔버로 도출하는 것이 있으며, 이들 반도체 제조 프로세스에 이용되는 각 장치의 재료 수용 탱크로서, 특허 문헌 1에는, 재료를 수용하는 탱크 본체와, 탱크 본체의 개구를 막는 덮개체를 구비하며, 탱크 본체의 개구단(開口端)에 마련된 플랜지에 덮개체를 겹치고, 플랜지 및 덮개체를 관통하는 관통공에 통과된 체결 부재의 죔에 의해, 플랜지 및 덮개체를 체결하는 구조의 것이 개시되어 있다.

그러나, 상기 특허 문헌 1에 개시된 재료 수용 탱크에서는, 플랜지의 두께가 얇으면, 체결 부재의 죔에 의해서 플랜지가 변형하고, 이것에 의해, 플랜지에 대한 덮개체의 밀착성을 유지할 수 없게 된다고 하는 문제점이 있어, 어느 정도 두께를 가지는 플랜지를 구비한 탱크 본체 밖에 사용할 수 없다.

그런데, 종래의 반도체 제조 프로세스용 재료 수용 탱크에 이용되는 탱크 본체는, 금속 등으로 이루어지는 복수의 판재를 탱크 본체의 외형을 따르게 하여 절곡하고, 그 복수의 판재(板材)를 서로 용접하여 연결한 구조로 되어 있기 때문에, 필연적으로 그 내면에는, 액체 재료의 액면에 대해서 교차하는 방향으로 연장되는 용접 흔적이 남으며, 이 용접 흔적의 하부는 항상 액체 재료에 노출된 상태가 되기 때문에, 이곳으로부터 부식이 시작되어 탱크 본체의 강도가 저하된다고 하는 문제점이 있었다. 또, 부식이 시작되면, 탱크 본체 내면으로부터 부식한 부분이 벗겨져 떨어져 재료 가스 중에 입자가 되어 섞이고, 탱크의 하류측에 접속되는 각 기기로 악영향을 준다고 하는 문제점도 있었다.

그래서, 출원인은, 제조 코스트를 억제하면서, 탱크 본체를 성형할 때에 생기는, 액체 재료의 액면(液面)에 대해서 상하 방향으로 연장되는 용접 흔적을 없애기 위해서, 판재를 탱크 본체의 외형을 따르게 하여 잡아 늘려 성형하는 방법을 시도했지만, 이러한 방법으로 성형한 탱크 본체는, 필연적으로 플랜지의 두께가 얇게 되어, 상기 특허 문헌 1에 개시되어 있는 재료 수용 탱크에 채용되는 플랜지에 대한 덮개체의 장착 구조를 사용할 수 없다고 하는 문제에 직면했다.

특허 문헌 1 : 일본특허 제5323654호 공보

그래서, 본 발명은, 탱크 본체의 개구단에 마련된 플랜지의 두께가 얇아도, 밀착성을 유지하면서 플랜지에 대해서 덮개체를 장착하는 것을 주된 과제로 하는 것이다.

즉, 본 발명에 관한 수용 탱크는, 적어도 액체 또는 고체 중 어느 일방 또는 쌍방으로 이루어지는 수용물을 수용하는 탱크 본체와, 상기 탱크 본체의 개구를 막는 덮개체와, 상기 덮개체에 대향시켜서 위치되는 지지체와, 상기 덮개체와 상기 지지체를 체결하는 체결 부재를 구비하며, 상기 탱크 본체가, 그 개구단(開口端)에 플랜지를 구비하고, 상기 덮개체 및 상기 지지체가, 상기 플랜지를 사이에 둔 상태에서 체결 부재에 의해서 체결되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 것이면, 플랜지의 두께가 얇은 경우라도, 플랜지를 변형시키지 않고, 탱크 본체와 덮개체와의 밀폐성을 유지할 수 있다. 따라서, 탱크 본체로서, 플랜지의 두께가 얇게 되는, 금속 등으로 이루어지는 판재를 잡아 늘려 성형한 것도 사용할 수 있게 되고, 이것에 따라서 탱크 본체가 부식되기 어려워진다.

또, 상기 수용 탱크에 있어서, 상기 덮개체 및 상기 지지체가, 상기 플랜지의 외부 가장자리보다도 외측에서 상기 체결 부재에 의해서 체결되어 있는 것이라도 좋다.

이러한 것이면, 체결 부재에 의한 조이는 힘이 플랜지에 대해서 국소적으로 가해지지 않고, 이것에 의해, 덮개체 및 지지체에 의한 죔력이 플랜지 전체에 대략 균등하게 가해져, 플랜지에 대한 덮개체의 밀폐 정도를 향상시킬 수 있다.

또, 상기 수용 탱크에 있어서, 상기 체결 부재가, 상기 덮개체 또는 상기 지지체 중 어느 일방에서의 상기 플랜지의 외부 가장자리보다도 외측의 위치로부터 돌출되는 나사이고, 상기 덮개체 또는 상기 지지체 중 타방에, 상기 나사가 삽입되는 나사 구멍이 마련되어 있으며, 상기 덮개체 및 상기 지지체가, 상기 나사 구멍에 대한 상기 나사의 죔에 의해서 체결되어 있는 것이라도 좋다.

이러한 것이면, 플랜지의 두께가 얇은 경우라도, 강도가 약한 플랜지에 대해서 가공하지 않고, 플랜지와 덮개체와의 밀폐성을 높게 유지할 수 있다. 또, 나사의 죔 정도를 변경하는 것만으로 플랜지에 대한 덮개체의 밀폐성을 용이하게 조정할 수 있다.

또, 상기 어느 하나의 수용 탱크에 있어서, 상기 덮개체 및 상기 플랜지에 의해서 사이에 끼워지는 씰체를 더 구비하고 있는 것이라도 좋다.

또, 상기 씰체를 구비한 수용 탱크에 있어서, 상기 덮개체 및 상기 지지체에 의해서 사이에 끼워지는 스페이서를 더 구비하고, 상기 스페이서가, 상기 플랜지의 두께보다도 두껍고, 또한, 상기 플랜지의 두께에 상기 씰체의 비가압 상태에서의 두께를 가산한 두께보다도 얇게 되어 있는 것이라도 좋으며, 또한, 상기 덮개체가, 상기 플랜지와 대향하는 면에 상기 씰체를 유지하는 유지홈을 가지고 있는 것이라도 좋다.

이러한 것이면, 씰체가 가압 상태에서 너무 찌그러지는 것을 방지할 수 있고, 또, 플랜지를 덮개체 및 지지체에 의해서 조였을 때에, 플랜지의 둘레면을 균등한 힘으로 체결할 수 있다. 게다가, 씰체의 플랜지나 덮개체에 대한 어긋남도 방지할 수 있다.

상기 어느 하나의 수용 탱크에 있어서, 상기 탱크 본체가, 일체 성형된 것이라도 좋다.

이러한 것이면, 탱크 본체의 내면에 용접 흔적이 남지 않기 때문에, 재료에 대한 내부식성이 현격히 향상되고, 내구 기간이 연장된다.

또, 상기 어느 하나의 수용 탱크를 구비한 재료 기화 장치로서, 상기 탱크 본체에 수용된 상기 수용물을 가열하는 히터와, 상기 덮개체에 마련되고, 상기 탱크 본체 밖으로 상기 수용물을 기화한 기체를 도출하는 도출관과, 상기 도출관에 접속되는 유량 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 것이라도 좋다.

또, 상기 어느 하나의 수용 탱크를 구비한 액체 재료 공급 장치로서, 상기 덮개체에 마련되고, 상기 탱크 본체 밖으로 액체로 이루어지는 상기 수용물을 도출하는 도출관을 구비하는 것이라도 괜찮다.

본 발명에 의하면, 탱크 본체의 개구단에 마련된 플랜지의 두께가 얇아도, 밀착성을 유지하면서 플랜지에 대해서 덮개체를 장착할 수 있다.

도 1은 실시 형태에 관한 재료 기화 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 실시 형태에 관한 재료 기화 장치를 모식적으로 나타낸 모식도이다.
도 3은 실시 형태에 관한 재료 기화 장치의 탱크를 나타낸 분해 사시도이다.
도 4는 실시 형태에 관한 재료 기화 장치의 탱크를 나타낸 단면도이다.
도 5는 그 외의 실시 형태에 관한 재료 기화 장치의 탱크 본체를 나타낸 단면도이다.
도 6은 그 외의 실시 형태에 관한 재료 기화 장치의 탱크를 나타낸 부분 단면도이다.

이하에, 본 발명에 관한 재료 기화 장치를 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시 형태의 재료 기화 장치(100)는, 예를 들면, 반도체 제조 프로세스에 이용되는 것이며, 재료를 기화하여 재료 가스를 생성하고, 그 재료 가스를 챔버 등의 대상 기기로 보내는 것이다. 본 실시 형태의 재료 기화 장치(100)는, 용액 기화법 또는 버블링법 중 어느 것에도 사용할 수 있다. 또, 반도체 제조 프로세스에는, 반도체 소자, 액정, 태양 전지판, 광 파이버 등의 제조 프로세스가 포함된다.

본 실시 형태의 재료 기화 장치(100)는, 도 1 또는 도 2에 나타내는 바와 같이, 액체 재료(LM)를 수용하는 탱크(TK)(수용 탱크)와, 탱크(TK)에 액체 재료(LM)를 공급하는 도입관(10)과, 탱크(TK)로부터 액체 재료(LM)를 기화하여 생성한 재료 가스(GM)를 도출하는 제1 도출관(20a) 및 제2 도출관(20b)과, 제1 도출관(20a)으로부터 흘러들어가는 재료 가스(GM)의 유량을 제어하여 제2 도출관(20b)으로 도출하는 유량 제어 장치(30)와, 탱크(TK) 내의 압력을 측정하는 압력 측정 장치(40)와, 탱크(TK) 내의 온도를 측정하는 온도 측정 장치(50)와, 탱크(TK) 내의 액체 재료(LM)의 액면의 높이를 측정하는 액면 측정 장치(60)와, 탱크(TK)를 가열하는 히터(도시하지 않음)와, 이들을 수용하는 케이스(CA)(도 1 중, 2점 쇄선으로 나타냄)를 구비하고 있다. 또, 도입관(10), 제1 도출관(20a), 제2 도출관(20b), 압력 측정 장치(40), 온도 측정 장치(50) 및 액면 측정 장치(60)는, 탱크(TK)의 구조를 나타내는 도 3 및 도 4에서, 이들 부재는 생략되어 있고, 도시되어 있지 않다.

탱크(TK)는, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 액체 재료(LM)를 수용하는 탱크 본체(200)와, 탱크 본체(200)의 개구를 막는 덮개체(210)와, 덮개체(210)에 대향시켜서 위치되는 지지체(220)와, 탱크 본체(200)의 개구단에 마련된 플랜지(201) 및 덮개체(210)에 의해서 사이에 끼워지는 씰체(230)와, 덮개체(210) 및 지지체(220)를 체결하는 체결 부재(240)를 구비하고 있다.

탱크 본체(200)는, 금속 등으로 이루어지는 판재를 잡아 늘려 일체 성형된 것이며, 소정면에 개구하는 바닥이 있는 구멍을 가지는 원기둥 모양의 몸통체(202)를 구비하고 있다. 그리고, 탱크 본체(200)에는, 그 몸통체(202)의 개구단으로부터 만곡하여 외부로 연장되는 플랜지(201)가 마련되어 있다. 플랜지(201)는, 원형 모양의 외형을 가지고 있다. 또, 플랜지(201)는, 몸통체(202)의 개구단으로부터 외측을 향해 연장되는 고리 모양의 것이다. 또, 플랜지(201)는, 동일 평면 상을 따른 형상인 것이 보다 바람직하다.

덮개체(210)는, 금속 등으로 이루어지는 비교적 두꺼운 판재로 되어 있고, 원판 모양으로 되어 있다. 그리고, 덮개체(210)는, 탱크 본체(200)에 마련된 플랜지(201)보다도 큰 외경을 가지고 있다. 또, 덮개체(210)에는, 체결 부재(240)를 삽입하기 위한 복수의 관통공(211)이 외주를 따라서 등간격으로 늘어놓아서 마련되어 있다. 또, 이들 관통공(211)은, 외면(상면)측의 개구가 내면(하면)측의 개구에 비해 대경(大徑)으로 되어 있고, 이것에 의해, 관통공(211)의 내면에는 단차(212)가 마련되어 있다. 또, 덮개체(210)에는, 플랜지(201)와 대향하는 면에 씰체(230)를 유지하기 위한 유지홈(213)이 마련되어 있다. 또, 유지홈(213)은, 비가압 상태의 씰체(230)의 두께보다도 얕은 깊이로 되어 있다. 덧붙여서, 도입관(10), 제1 도출관(20a), 압력 측정 장치(40), 온도 측정 장치(50) 및 액면 측정 장치(60)는, 모두 덮개체(210)의 외면에 접속된다.

지지체(220)는, 금속 등으로 이루어지는 비교적 두꺼운 판재로 되어 있고, 링 모양으로 되어 있다. 그리고, 지지체(220)의 내경은, 탱크 본체(200)의 몸통체(202)보다도 대경(大徑)으로 되어 있고, 플랜지(201)보다도 소경(小徑)으로 되어 있다. 이것에 의해, 지지체(220)는, 탱크 본체(200)의 몸통체(202)가 통과된 상태에서 플랜지(201)에 접촉하도록 되어 있다. 또, 지지체(220)에는, 덮개체(210)의 각 관통공(211)과 대향하는 복수의 나사 구멍(221)이 마련되어 있다.

씰체(230)는, 금속, 수지, 고무 등으로 이루어지는 탄성 재료로 되어 있으며, 링 모양으로 되어 있다.

체결 부재(240)는, 소위 볼트이다. 그리고, 체결 부재(240)는, 원기둥 모양의 머리부(241)와, 머리부(241)로부터 연장되는 축체(242)를 구비하고, 축체(242)의 선단에 나사홈(243)이 마련되어 있다. 또, 머리부(241)에는, 육각 렌치를 삽입할 수 있는 육각 구멍(244)이 마련되어 있다.

그리고, 탱크(TK)는, 탱크 본체(200)의 플랜지(201)에 대해서 개구를 막도록 덮개체(210)를 밀착시킴과 아울러, 탱크 본체(200)의 몸통체(202)측으로부터 플랜지(201)에 대해서 지지체(220)를 밀착시켜, 덮개체(210)의 각 관통공(211)에 체결 부재(240)를 삽입하고, 그 축체(242)에 마련된 나사홈(243)을 지지체(220)의 나사 구멍(221)에 삽입하여 조이는 것에 의해, 덮개체(210) 및 지지체(220)에 의해서 플랜지(201)를 체결한 구조로 되어 있다. 또, 이 상태에서, 덮개체(210)의 유지홈(213)에 끼워넣어진 씰체(230)가 플랜지(201)와 접촉하여 가압되어 변형하고, 이것에 의해, 덮개체(210)와 플랜지(201)와의 사이의 밀폐성이 확보된다. 또, 체결 부재(240)는, 덮개체(210)에서의 플랜지(201)의 외부 가장자리보다도 외측에 위치하는 관통공(211)으로부터 플랜지(201)를 피하도록 지지체(220)를 향해 돌출되고, 그 지지체(220)의 나사 구멍(221)으로 삽입되도록 되어 있다. 이것에 의해, 체결 부재(240)가 조이는 힘이 덮개체(210) 및 지지체(220)를 매개로 하여 플랜지(201)에 전해지기 때문에, 플랜지(201)에 대해서 국소적으로 힘이 가해지지 않아, 플랜지(201)의 두께가 얇아도 변형하지 않는다.

다음으로, 탱크(TK)의 덮개체(210)에 접속되는 각 기기에 대해 설명한다.

도입관(10) 및 제1 도출관(20a)은, 모두 덮개체(210)에 접속되어 탱크(TK) 내와 연결되어 있다. 그리고, 도입관(10) 및 제1 도출관(20a)은, 각각 개폐 밸브(11, 21)를 구비하고 있다. 개폐 밸브(11, 21)는, 적절한 상황에 따라 어느 일방 또는 쌍방을 개방하고, 탱크(TK)에 액체 재료 공급 장치로부터 공급되는 액체 재료(LM)를 도입하던지, 혹은, 탱크(TK)로부터 액체 재료(LM)가 기화하여 생성된 재료 가스(GM)를 도출하도록 되어 있다. 또, 도입관(10)은, 일단이 케이스(CA) 밖으로 돌출되어 있고, 그 일단에 접속 포트(12)를 구비하고 있다. 그리고, 도입관(10)의 접속 포트(12)는, 액체 재료 공급 장치로부터 연장되는 접속 배관에 접속된다. 또, 제2 도출관(20b)은, 제1 도출관(20a)으로부터 유량 제어 장치(30)를 매개로 하여 연장되어 있다. 그리고, 제2 도출관(20b)은, 일단이 케이스(CA) 밖으로 돌출되어 있고, 그 일단에 접속 포트(22)를 구비하고 있다. 그리고, 제2 도출관(20b)의 접속 포트(22)는, 대상 기기로부터 연장되는 접속 배관에 접속된다.

유량 제어 장치(30)는, 소위 매스 플로우 컨트롤러이다. 또, 유량 제어 장치(30)는, 제1 도출관(20a)으로부터 이송되는 재료 가스(GM)의 유량을 측정하는 측정 기구와, 측정 기구에서 측정된 측정 유량에 근거하여 제2 도출관(20b)으로 송출되는 재료 가스(GM)의 유량이 소정 유량이 되도록 유로의 개도를 제어하는 개폐 기구를 구비하고 있다.

또, 제1 도출관(20a)에서의 개폐 밸브(21)와 유량 제어 장치(30)와의 사이로부터 퍼지 배관(70)이 분기하고 있고, 이 퍼지 배관(70)에도, 개폐 밸브(71)가 마련되어 있다. 또, 퍼지 배관(70)은, 일단이 케이스(CA) 밖으로 돌출되어 있고, 그 일단에 흡기 포트(72)를 구비하고 있다. 또, 퍼지 배관(70)은, 유량 제어 장치(30)의 퍼지를 행하는 경우에 사용되고, 퍼지를 행하는 경우에는, 개폐 밸브(21)를 닫아, 흡기 포트(72)로부터 퍼지 가스를 도입하고, 유량 제어 장치(30)를 통과시켜 제2 도출관(20b)을 매개로 하여 접속 포트(22)로부터 퍼지 가스를 배출한다.

압력 측정 장치(40), 온도 측정 장치(50) 및 액면 측정 장치(60)는, 모두 덮개체(210)로부터 탱크(TK) 내에 삽입되어 있다. 또, 압력 측정 장치(40)는, 소위 압력 센서이며, 탱크(TK) 내의 압력을 측정하는 것이다. 또, 온도 측정 장치(50)는, 소위 백금 측온(測溫) 저항체(Pt센서)이며, 탱크(TK) 내의 온도를 측정하는 것이다. 또, 액면 측정 장치(60)는, 열용량식(예를 들면 일정 전류를 흘린 저항체가 센서 본체가 되고, 해당 저항체를 주위 환경보다 예를 들면 높은 온도로 발열시켜,해당 저항체가 가스 중에 있을 때와 액체에 담겨졌을 때에서, 양자의 비열의 차이에 의해 해당 저항체의 온도에 변화가 생기고, 그 결과 생기는 저항값의 변화로부터, 액면 높이를 센싱하는 것)이나, 그 외, 플로트식, 초음파식, 정전 용량식, 압력식, 진동식 등, 여러 가지의 것을 이용하는 것이 가능하고, 탱크(TK) 내에 수용되는 액체 재료(LM)의 액면을 측정하는 것이다.

히터는, 탱크 본체에 수용된 재료를 가열하는 것이며, 예를 들면, 제트 히터, 테이프 히터, 카트리지 히터, 러버 히터 등을 사용할 수 있다.

또, 재료 기화 장치(100)는, 도시하지 않은 제어부를 구비하고 있다. 제어부는, CPU, 메모리, A/D컨버터, D/A컨버터 등을 구비한 것이며, 메모리의 소정 영역에 격납된 프로그램에 따라서 CPU나 주변 기기가 협동하는 것에 의해, 제어부로서의 기능을 발휘하도록 구성된 것이다. 구체적으로는, 탱크(TK) 내의 온도가 소정 온도가 되도록, 온도 측정 장치(50)에 의해서 측정한 탱크(TK) 내의 온도에 근거하여 히터를 제어하고, 또, 탱크(TK) 내에 수용된 액체 재료(LM)의 액면의 높이가 소정 높이가 되도록, 액면 측정 장치(60)에 의해서 측정한 탱크(TK) 내의 액면 높이에 근거하여 도입관(10)에 마련된 개폐 밸브(11)를 제어하도록 되어 있다.

＜그 외의 실시 형태＞

상기 실시 형태에서는, 탱크 본체(200)를 판재를 잡아 늘려 일체 성형하고 있지만, 2개 이상의 부재를 접합한 것이라도 좋다. 즉, 도 5에 나타내는 바와 같이, 탱크 본체(200)를 형성하는 경우에, 먼저, 관재의 일방측의 개구단을 만곡하여 플랜지를 형성한 부재(200a)와, 판재를 잡아 늘려 형성한 소정면에 개구하는 바닥이 있는 구멍을 가지는 원기둥 모양의 부재(200b)를 두 개 작성하며, 일방의 부재(200a)를, 탱크 본체(200)의 개구측으로 하고, 타방의 부재(200b)를, 탱크 본체(200)의 저측으로 하며, 이들을 용접에 의해 접합한다. 그러면, 용접 흔적(200c)은, 탱크 본체(200) 내에 수용되는 액체 재료(LM)의 액면과 대략 평행하게 연장된 상태가 되고, 이 용접 흔적(200c)의 위치가 액면보다 상부에 위치되도록 하면, 용접 흔적(200c)이 항상 액체 재료(LM)에 노출되지 않게 된다. 따라서, 이러한 탱크 본체(200)라도, 용접 흔적(200c)이 액체 재료(LM)에 항상 노출되어 조기에 부식되는 것을 방지할 수 있다. 또, 탱크 본체(200)의 용접 흔적(200c)은, 도 5의 (b)에서 화살표로 나타내는 바와 같이, 탱크 본체(200)에 수용되는 액체 재료(LM)의 액면보다도 상부에 위치하도록 하면 좋고, 보다 바람직하게는, 그 액면으로부터 가장 떨어진 위치가 되는 플랜지(201)와 몸통체(202)와의 경계에 위치하도록 하면 좋다.

또, 상기 실시 형태에서는, 덮개체(210)의 플랜지(201)와 대향하는 면에 마련된 유지홈(213)의 깊이에 의해서 씰체(230)의 가압시의 형상을 제어하고 있었지만, 도 6에 나타내는 바와 같이, 덮개체(210)와 지지체(220) 사이에 끼워지는 스페이서(250)에 의해서 씰체(230)의 가압 상태에서의 형상을 제어해도 괜찮다. 또, 이 경우, 스페이서(250)는, 플랜지(201)의 외경보다도 큰 내경을 가지는 링 모양의 부분을 가지며, 그 부분에 덮개체(210)의 각 관통공(211)과 대향하는 복수의 통공(251)이 마련되어 있다. 그리고, 이 부분의 스페이서(250)의 두께는, 플랜지(201)의 두께보다도 두껍고, 또한, 플랜지(201)의 두께에 씰체(230)의 비가압 상태에서의 두께를 가산한 두께보다도 얇게 되도록 설정되어 있다. 게다가, 스페이서(250)는, 플랜지(201)와 마찬가지로 일방면을 지지체(220)에 접촉시킨 상태에서, 타방면측의 일부, 구체적으로는, 이 상태에서 플랜지(201)보다 돌출되는 내면의 일부를, 덮개체(210)와 플랜지(201)와의 사이로 연장시킨 유지 단차(252)를 마련하는 것에 의해, 이 유지 단차(252)에 의해서 씰체(230)의 위치 결정을 행할 수 있다. 또, 도 6에는, 스페이서(250)로서 유지 단차(252)를 마련하는 형태를 도시했지만, 스페이서(250)는, 유지 단차(252)를 마련하지 않는 형태라도 좋다.

또, 상기 실시 형태에서는, 덮개체(210)와 지지체(220)를 체결 부재(240)의 죔에 의해서 체결하고 있지만, 덮개체(210)와 지지체(220)를 클램프에 의해서 끼우는 것에 의해 체결해도 괜찮다.

또, 상기 실시 형태에서는, 지지체(220)로서 링 모양의 것을 사용하고 있지만, 지지체(220)로서 복수로 분할된 것을 사용해도 괜찮다.

또, 상기 실시 형태에 관한 탱크(TK)는, 재료 기화 장치(100)에 액체 재료(LM)를 공급하는 액체 재료 공급 장치의 탱크로서도 사용할 수 있다. 또, 이 경우, 탱크(TK) 내로 그 내압(耐壓)을 조정하기 위한 기체를 도입하는 기체 도입관과, 탱크(TK) 밖으로 액체 재료(LM)를 도출하여 액체 재료 공급 장치로 보내는 액체 도출관을 각각 덮개체(210)에 접속하면 좋다.

또, 본 발명의 재료 기화 장치에 사용되는 반도체 제조 프로세스용 재료 수용 탱크에 수용하는 재료는, 고체 재료라도 좋다.

<산업상의 이용 가능성>

100 : 재료 기화 장치 TK : 탱크
200 : 탱크 본체 210 : 덮개체
220 : 지지체 230 : 씰체
240 : 체결 부재 250 : 스페이서

Claims

적어도 액체 또는 고체 중 어느 일방 또는 쌍방으로 이루어지는 수용물을 수용하는 탱크 본체와,
상기 탱크 본체의 개구를 막는 덮개체와,
상기 덮개체에 대향시켜서 위치되는 지지체와,
상기 덮개체와 상기 지지체를 체결하는 체결 부재를 구비하며,
상기 탱크 본체가, 그 개구단(開口端)에 플랜지를 구비하고,
상기 덮개체 및 상기 지지체가, 상기 플랜지를 사이에 둔 상태에서 체결 부재에 의해서 체결되어 있으며,
상기 덮개체 및 상기 플랜지에 의해서 사이에 끼워지는 씰체와,
상기 덮개체 및 상기 지지체에 의해서 사이에 끼워지는 스페이서를 더 구비하고,
상기 스페이서가, 상기 플랜지의 두께보다도 두껍고, 또한, 상기 플랜지의 두께에 상기 씰체의 비가압 상태에서의 두께를 가산한 두께보다도 얇게 되어 있는 것을 특징으로 하는 수용 탱크.
청구항 1에 있어서,
상기 덮개체 및 상기 지지체가, 상기 플랜지의 외부 가장자리보다도 외측에서 상기 체결 부재에 의해서 체결되어 있는 수용 탱크.
청구항 2에 있어서,
상기 체결 부재가, 상기 덮개체 또는 상기 지지체 중 어느 일방에서의 상기 플랜지의 외부 가장자리보다도 외측으로부터 돌출되는 나사이고,
상기 덮개체 또는 상기 지지체 중 타방에, 상기 나사가 삽입되는 나사 구멍이 마련되어 있으며,
상기 덮개체 및 상기 지지체가, 상기 나사 구멍에 대한 상기 나사의 죔에 의해서 체결되어 있는 수용 탱크.
청구항 1에 있어서,
상기 스페이서가, 상기 플랜지의 외경보다도 큰 내경을 가지고, 상기 덮개체와 상기 지지체와의 사이에 끼워지는 링 모양 부분과, 상기 링 모양 부분으로부터 내측으로 돌출하고, 상기 덮개체와 상기 플랜지와의 사이에 끼워지는 유지 단차를 구비한 수용 탱크.
청구항 4에 있어서,
상기 유지 단차에 대해서 상기 씰체의 외측 측면부를 접촉시키는 것에 의해서, 상기 플랜지 상의 상기 씰체의 위치 결정이 이루어지도록 구성되어 있는 수용 탱크.
청구항 1에 있어서,
상기 덮개체가, 상기 플랜지와 대향하는 면에 상기 씰체를 유지하는 유지홈을 가지고 있는 수용 탱크.
청구항 1에 있어서,
상기 탱크 본체가, 일체 성형된 것인 수용 탱크.
상기 청구항 1에 기재된 수용 탱크를 구비한 재료 기화 장치로서,
상기 탱크 본체에 수용된 상기 수용물을 가열하는 히터와,
상기 덮개체에 마련되고, 상기 탱크 본체 밖으로 상기 수용물을 기화한 가스를 도출하는 도출관과,
상기 도출관에 접속되는 유량 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 재료 기화 장치.
상기 청구항 1에 기재된 수용 탱크를 구비한 액체 재료 공급 장치로서,
상기 덮개체에 마련되고, 상기 탱크 본체 밖으로 액체로 이루어지는 수용물을 도출하는 도출관을 구비하는 것을 특징으로 하는 액체 재료 공급 장치.