JP2015178896A - 真空圧力比例制御弁、バルブボディ、及び、バルブボディの流路形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空圧力比例制御弁1Aのバルブボディ2は、同軸上に形成された第1及び第2ポート21,25と、第1及び第2ポート21,25の軸線に対して直交する方向に形成された有底開口部23と、有底開口部23と同軸上に形成されて第1ポート21に連通する弁孔22と、弁孔22が有底開口部23の底壁23aに開口する開口部分の周りに沿って設けられた弁座26と、有底開口部23と第2ポート25を連通させるU字流路24を有し、U字流路24が、第1ポート側に環を開いたU字形状をなし、弁座26より外側に有底開口部23の軸線に沿って形成されており、バルブボディ2の底面2bに開口するものであって、閉鎖部材27が底面2bに取り付けらてU字流路24を塞いでいる。
【選択図】図1
Description
(1)バルブボディと、前記バルブボディに内包される弁体と、前記バルブボディに取り付けられて前記弁体に駆動力を付与するアクチュエータを備え、前記バルブボディが、同軸上に形成された第1ポート及び第2ポートと、前記第1及び前記第2ポートの軸線に対して直交する方向に形成され、前記弁体を収納する有底開口部と、前記有底開口部と同軸上に形成されて前記第1ポートに連通する弁孔と、前記弁孔が前記有底開口部の底壁に開口する開口部分の周りに沿って設けられ、前記弁体が当接又は離間する弁座と、前記有底開口部と前記第2ポートを連通させる連通路を備えている真空圧力比例制御弁において、前記連通路が、第1ポート側に環を開いたU字形状をなし、前記弁座より外側に前記有底開口部の軸線に沿って形成されており、前記バルブボディの前記アクチュエータを取り付けられるアクチュエータ取付面と対向する底面に開口するU字流路であって、前記底面に取り付けられて前記U字流路を塞ぐ閉鎖部材を有することを特徴とする。
図1は、本発明の第1実施形態に係る真空圧力比例制御弁1Aの要部断面図である。図2は、図1に示す真空圧力比例制御弁1Aの弁開状態を示す。真空圧力比例制御弁1Aは、バルブボディ2にアクチュエータ4を取り付けることにより、外観が構成されている。真空圧力比例制御弁1Aは、弁体3がアクチュエータ4から付与される駆動力に応じて上昇し、ストロークに比例した流量に流体を制御するものである。真空圧力比例制御弁1Aは、コンダクタンスを確保して小型化できるように、有底開口部23と第2ポート25を連通させるU字流路24がバルブボディ2に形成されている。
続いて、本発明の第2実施形態ついて説明する。図7は、本発明の第2実施形態に係る真空圧力比例制御弁1Bの外観斜視図である。図8は、図7に示す真空圧力比例制御弁1Bの要部断面図である。第2実施形態の真空圧力比例制御弁1Bは、加熱手段61を有する点を除き、第1実施形態の真空圧力比例制御弁1Aと同様の構成を有する。
2 バルブボディ
2a 上面(アクチュエータ取付面)
2b 底面
2c 第1側面
2d 第2側面
3 弁体
4 アクチュエータ
21 第1ポート
22 弁孔
23 有底開口部
24 U字流路
25 第2ポート
26 弁座
27 閉鎖部材
61 加熱手段
Claims (6)
- バルブボディと、前記バルブボディに内包される弁体と、前記バルブボディに取り付けられて前記弁体に駆動力を付与するアクチュエータを備え、前記バルブボディが、同軸上に形成された第1ポート及び第2ポートと、前記第1及び前記第2ポートの軸線に対して直交する方向に形成され、前記弁体を収納する有底開口部と、前記有底開口部と同軸上に形成されて前記第1ポートに連通する弁孔と、前記弁孔が前記有底開口部の底壁に開口する開口部分の周りに沿って設けられ、前記弁体が当接又は離間する弁座と、前記有底開口部と前記第2ポートを連通させる連通路を備える真空圧力比例制御弁において、
前記連通路が、第1ポート側に環を開いたU字形状をなし、前記弁座より外側に前記有底開口部の軸線に沿って形成されており、前記バルブボディの前記アクチュエータを取り付けられるアクチュエータ取付面と対向する底面に開口するU字流路であって、
前記底面に取り付けられて前記U字流路を塞ぐ閉鎖部材を有すること
を特徴とする真空圧力比例制御弁。 - 請求項1に記載する真空圧力比例制御弁において、
前記U字流路は、軸線方向に対して直交する方向に切断した断面の流路断面積が、前記弁孔の前記開口部分の開口面積より大きい
ことを特徴とする真空圧力比例制御弁。 - 請求項2に記載する真空圧力比例制御弁において、
前記第1ポートと前記弁孔と前記第2ポートの流路径が同一であり、
前記弁座が前記第2ポートの頂部分より僅かに高い位置に設けられている
ことを特徴とする真空圧力比例制御弁。 - 請求項1乃至請求項3の何れか1つに記載する真空圧力比例制御弁において、
前記バルブボディが直方体形状をなし、
前記バルブボディの外周面に取り付けられて前記バルブボディを加熱する加熱手段を有する
ことを特徴とする真空圧力比例制御弁。 - 同軸上に形成された第1ポート及び第2ポートと、前記第1及び前記第2ポートの軸線に対して直交する方向に形成され、弁体を収納する有底開口部と、前記有底開口部と同軸上に形成されて前記第1ポートに連通する弁孔と、前記弁孔が前記有底開口部の底壁に開口する開口部分の周りに沿って設けられ、前記弁体が当接又は離間する弁座と、前記有底開口部と前記第2ポートを連通させる連通路を備えるバルブボディにおいて、
前記連通路が、第1ポート側に環を開いたU字形状をなし、前記弁座より外側に前記有底開口部の軸線に沿って形成されており、前記バルブボディのアクチュエータを取り付けられるアクチュエータ取付面と対向する底面に開口するU字流路であって、
前記底面に取り付けられて前記U字流路を塞ぐ閉鎖部材を有すること
を特徴とするバルブボディ。 - 弁体に駆動力を付与するアクチュエータを取り付けられるバルブボディの流路形成方法において、
前記アクチュエータが取り付けられるアクチュエータ取付面から、前記弁体を収納する有底開口部を円柱形状に形成する有底開口部形成工程と、
前記アクチュエータ取付面から、前記有底開口部より小径の弁孔を、前記有底開口部と同軸上に形成する弁孔形成工程と、
前記弁孔が前記有底開口部の底壁に開口する開口部分の周りに沿って設けられて前記弁体が当接又は離間する弁座より外側に、一方に環を開いたU字形状のU字流路を、前記アクチュエータ取付面と対向する底面から前記有底開口部の軸線に沿って形成し、前記有底開口部に連通させるU字流路形成工程と、
前記U字流路の環が開いた方向にある第1側面から前記弁孔に連通するように形成する第1ポートと、前記第1側面と対向する第2側面から前記U字流路に連通するように形成する第2ポートを、同軸上に設けるポート形成工程と、
前記U字流路を塞ぐ閉鎖部材を前記底面に取り付けるU字流路閉鎖工程とを有する
ことを特徴とするバルブボディの流路形成方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015019389A JP6002789B2 (ja) | 2014-02-25 | 2015-02-03 | 真空圧力比例制御弁 |
KR1020150023767A KR101639939B1 (ko) | 2014-02-25 | 2015-02-17 | 진공 압력 비례 제어 밸브, 밸브 보디 및 밸브 보디의 유로 형성 방법 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014033841 | 2014-02-25 | ||
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JP2015019389A JP6002789B2 (ja) | 2014-02-25 | 2015-02-03 | 真空圧力比例制御弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015178896A true JP2015178896A (ja) | 2015-10-08 |
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JP2015019389A Active JP6002789B2 (ja) | 2014-02-25 | 2015-02-03 | 真空圧力比例制御弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6002789B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11384864B2 (en) | 2019-02-04 | 2022-07-12 | Ckd Corporation | Vacuum pressure proportional control valve |
DE112015004685B4 (de) | 2014-10-16 | 2022-08-11 | Denso Corporation | Luftfeuchtigkeitserfassungsvorrichtung und Beschlagschutzvorrichtung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002276845A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-25 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 調節弁 |
JP2003185024A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-03 | Saginomiya Seisakusho Inc | シール構造およびそれを用いた流体制御弁 |
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2015
- 2015-02-03 JP JP2015019389A patent/JP6002789B2/ja active Active
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