KR102409059B1 - 슬라이딩 부품 - Google Patents

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히데유키 이노우에
유이치로 토쿠나가
유타 네기시
유키 마에타니
아야노 타니시마
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이구루코교 가부시기가이샤
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Abstract

[과제] 동압 발생 기구를 용이하게 형성할 수 있고, 윤활 성능 및 밀봉 성능을 한층 향상시킨 슬라이딩 부품을 제공하는 것.
[해결 수단] 서로 상대 슬라이딩하는 슬라이딩면을 갖는 한 쌍의 슬라이딩 부품으로서, 적어도 한쪽의 슬라이딩면(S)은, 복수의 딤플(12)로 이루어지는 딤플군(11)을 적어도 하나 구비하고, 딤플군(11)은 슬라이딩면(S) 내에 배열 형성된 적어도 하나의 개구부(11a)를 구비한다.

Description

슬라이딩 부품
본 발명은, 예를 들면, 메커니컬 시일, 미끄럼 베어링, 그 외, 슬라이딩부에 적합한 슬라이딩 부품에 관한 것이다. 특히, 슬라이딩면에 유체를 개재시켜 마찰을 저감시키고 또한, 슬라이딩면으로부터 유체가 누설되는 것을 방지할 필요가 있는 밀봉환 또는 베어링 등의 슬라이딩 부품에 관한 것이다.
슬라이딩 부품의 일례인, 메커니컬 시일에 있어서, 밀봉성을 유지하면서, 회전 중의 슬라이딩 마찰을 극한까지 낮추는 것이 요구되고 있다. 저마찰화의 수법으로서는, 슬라이딩면에 동압을 발생시키는 홈을 형성하는, 혹은 슬라이딩면에 딤플을 배열한 것이 알려져 있다.
종래, 회전 밀봉환과 고정 밀봉환을 구비하는 메커니컬 시일의 슬라이딩면에 동압 발생 그루브를 형성하는 것이 알려져 있다. 예를 들면, 메커니컬 시일의 회전 밀봉환의 슬라이딩면에 외주면에 연통하는 유체 도입홈과, 유체 도입홈에 연통하는 매우 얕은 동압 발생 그루브를 형성하고, 회전 밀봉환이 회전하면, 유체 도입홈에 도입된 유체가, 유체의 점성에 의해 매우 얕은 동압 발생 그루브에 인입되고 쐐기 효과에 의해 정압이 발생한다. 이에 따라, 슬라이딩면에 근소한 극간이 형성되어 유체 윤활 상태로 할 수 있어, 회전 중의 슬라이딩 마찰을 저감하고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
또한, 종래, 윤활성의 향상을 위해, 복수의 딤플을 랜덤하게 배치하는 것도 알려져 있다. 예를 들면, 로터리 압축기의 실린더의 내벽과 슬라이딩하는 베인의 선단면 및 양측 단면에, 복수개의 딤플을 랜덤 배열한 것이다(예를 들면, 특허문헌 2 참조).
일본공개특허공보 평5-60247호 일본공개특허공보 2001-221179호
그러나, 특허문헌 1에 기재된 발명은, 동압 발생 기구를 구성하기 위해, 홈을 가공할 필요가 있어, 가공에 손이 많이 갔다.
또한, 특허문헌 2에 기재된 발명은, 윤활성의 향상을 위해, 복수의 딤플을 랜덤하게 배치한 것에 지나지 않고, 딤플의 성능을 충분히 끌어내고 있지 않았다.
본 발명은, 동압 발생 기구를 용이하게 형성할 수 있고, 윤활 성능 및 밀봉 성능을 한층 향상시킨 슬라이딩 부품을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해 본 발명의 슬라이딩 부품은,
서로 상대 슬라이딩하는 슬라이딩면을 갖는 한 쌍의 슬라이딩 부품으로서,
적어도 한쪽의 상기 슬라이딩면은, 복수의 딤플로 이루어지는 딤플군을 적어도 하나 구비하고,
상기 딤플군은 슬라이딩면 내에 배열 형성된 적어도 하나의 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 자체가 갖는 밀봉 효과 및 유체 윤활 효과에 더하여, 딤플군 전체적으로 개구부로부터 유체를 흡입하여 밀봉 효과나 유체 윤활 효과를 발휘하기 때문에, 윤활 성능 및 밀봉 성능을 한층 향상시킬 수 있다. 또한, 딤플군을 구성하는 딤플 하나 하나가 유체를 보지(保持)하기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면이 빈(貧)윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
여기에서, 유체 윤활 효과란 피밀봉 유체측으로부터 슬라이딩면으로 유체를 유입시켜 윤활성을 향상시키는 효과이며, 밀봉 효과란 펌핑 효과라고도 하며, 누설측으로부터 슬라이딩면으로 유체를 흡입하여 밀봉성을 향상시키는 효과이다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은, 상기 개구부를 제외하고 랜드부에 의해 구획되는 유사 유로인 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 하나 하나가 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 유체는 딤플군의 형상을 따라 딤플군 내를 흐르고, 딤플군은 유사 유로로서 기능하고 또한, 랜드부에 의해 구획됨으로써 동압 발생 효과를 발휘한다. 딤플군은, 각각의 딤플이 발휘하는 유체 윤활 작용 및 펌핑 작용과, 딤플군 전체적으로 발휘하는 동압 발생 효과와의 상승 효과에 의해, 윤활 효과 및 밀봉 효과를 한층 향상시킬 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은, 피밀봉 유체측의 상기 개구부로부터 둘레 방향으로 연설(延設)되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 피밀봉 유체측의 개구부로부터 유입된 유체는 딤플군을 따라 흐르고, 랜드부에 의해 막혀 동압을 발생하는 동압 발생 기구로서 기능한다. 이에 따라, 딤플 자체가 갖는 펌핑 작용 및 유체 윤활 작용에 더하여, 유사 유로로서 기능하는 딤플군은 피밀봉 유체측으로부터 유체를 취입하여 유체 윤활 기능을 발휘하기 때문에, 유체 윤활 효과를 한층 향상시킬 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은, 누설측의 상기 개구부로부터 둘레 방향으로 연설되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 자체가 갖는 펌핑 작용 및 유체 윤활 작용에 더하여, 유사 유로로서 기능하는 딤플군은 누설측으로부터 유체를 취입하여 펌핑 효과를 발휘하기 때문에, 밀봉 기능을 한층 향상시킬 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
한쪽의 상기 슬라이딩면은, 동일한 방향으로 연설되는 한 쌍의 상기 딤플군을 적어도 하나 구비하고,
한쪽의 상기 딤플군은 피밀봉 유체측에 배열 형성되고 또한 피밀봉 유체측의 상기 개구부에 연통하고, 다른 한쪽의 상기 딤플군은 누설측에 배열 형성되고 또한 누설측의 상기 개구부에 연통하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 피밀봉 유체측과 누설측의 각각에 딤플군을 배치하여 슬라이딩면 전체에 걸쳐 밀봉 효과 및 유체 윤활 효과를 발휘시킬 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
한 쌍의 상기 딤플군은 접속되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 피밀봉 유체측 딤플군과 누설측의 딤플군이 접속됨으로써, 유사 유로로서 기능하는 딤플군이 지름 방향 전체 길이에 걸쳐 슬라이딩면에 유체를 공급할 수 있고, 유체막이 형성되기 어려운 저속시라도, 슬라이딩면이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
한쪽의 상기 슬라이딩면은, 피밀봉 유체측의 상기 개구부로부터 서로 반대 방향으로 연설되는 한 쌍의 상기 딤플군을 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유사 유로로서 기능하는 딤플군은 회전 방향에 관계없이 밀봉 효과 및 유체 윤활 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
한쪽의 상기 슬라이딩면은, 피밀봉 유체측의 상기 개구부로부터 서로 반대 방향으로 연설되는 한 쌍의 상기 딤플군을 적어도 하나 구비하고,
한쪽의 상기 딤플군은 피밀봉 유체측에 배열 형성되고, 다른 한쪽의 상기 딤플군은 누설측에 배열 형성되는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 한쪽의 딤플군은 유체 윤활 효과를 발휘하고, 다른 한쪽의 딤플군은 밀봉 효과를 발휘하기 때문에, 상반되는 성능을 구비하는 슬라이딩 부품으로 할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
한쪽의 상기 슬라이딩면은, 피밀봉 유체측의 상기 개구부에 연통하고 피밀봉 유체측에 배열 형성되는 상기 딤플군과, 상기 누설측 주연(周緣)에 개구하는 유체 도입홈 및 누설측에 배열 형성되고 상기 유체 도입홈에 연통하고 또한 상기 딤플군과 동일한 방향으로 연설되는 동압 발생홈을 갖는 동압 발생 기구를 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유사 유로로서 기능하는 딤플군과 홈부로 이루어지는 동압 발생 기능에 의해, 상대 슬라이딩하는 두 개의 슬라이딩면의 극간이 한층 커져 유체 윤활 작용을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
한쪽의 상기 슬라이딩면은, 상기 누설측 주연에 개구하는 적어도 하나의 유체 도입부와, 상기 유체 도입부에 연통하고 둘레 방향으로 연설되는 상기 딤플군과, 상기 딤플군 내에 배열 형성되는 섬 형상 홈부를 갖는 동압 발생 기구를 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 유체 도입부 내에 취입된 유체는 딤플군 및 섬 형상 홈부 내에 공급되기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은 대략 직사각형 형상을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 하나 하나는 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 딤플을 늘어놓고 직사각 형상으로 형성함으로써 직사각 형상의 유사 유로를 구성할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은 스파이럴 형상을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 하나 하나는 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 딤플을 늘어놓고 스파이럴 형상으로 형성함으로써 스파이럴 형상의 유사 유로를 구성할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은 헤링본 형상을 갖는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 하나 하나는 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 딤플을 늘어놓고 헤링본 형상으로 형성함으로써 헤링본 형상의 유사 유로를 구성할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은 복수의 상기 딤플을 정렬 배치하여 이루어지는 정렬 딤플군인 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플을 정렬 배치하여 소망하는 형상을 갖는 유사 유로를 용이하게 구성할 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 정렬 딤플군은, 상기 딤플을 소정의 규칙에 기초하여 정렬시킨 서브 딤플군을 소정의 피치로 배치하여 이루어지는 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 딤플 하나 하나는 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 소정의 규칙에 의해 배열한 딤플은 유사 유로로서 기능하기 때문에, 유체를 소정의 규칙에 의해 흘릴 수 있다.
본 발명의 슬라이딩 부품은,
상기 딤플군은, 복수의 상기 딤플을 랜덤하게 배치하여 이루어지는 랜덤 딤플군인 것을 특징으로 하고 있다.
이 특징에 의하면, 각각의 딤플은 랜드에 의해 분리되어 있어도, 랜덤하게 배열된 딤플군은, 누설측으로부터 유체를 흡입하고, 슬라이딩면 전체에 골고루 승압한 유체를 공급하여 유체 윤활 효과를 발휘할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 슬라이딩 부품을 메커니컬 시일에 적용한 일례를 나타내는 종단면도이다.
도 2는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 슬라이딩면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 다른 변형예를 나타내는 도면이다.
도 5는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 다른 변형예를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품의 추가로 별도의 변형예를 나타낸다.
도 7은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품의 슬라이딩면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품의 슬라이딩면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품의 변형예를 나타내는 도면이다.
도 11은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 4에 따른 슬라이딩 부품의 슬라이딩면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 5에 따른 슬라이딩 부품의 슬라이딩면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 13은 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 5에 따른 슬라이딩 부품의 변형예를 나타내는 도면이며, (a)는 헤링본 형상의 딤플군의 내경측이 폐색하고 있는 것, (b)는 헤링본 형상의 딤플군의 외경측이 폐색하고 있는 것을 나타낸다.
도 14는 도 1의 W-W 화살표 방향에서 본 도면이며, 본 발명의 실시예 6에 따른 슬라이딩 부품의 변형예를 나타내는 도면이며, (a)는 스파이럴 형상의 딤플군을 나타내고, (b)는 스파이럴 형상의 딤플군의 외경측이 폐색하고 있는 것, (c)는 반타원 형상의 딤플군을 배치한 예를 나타낸다.
도 15는 본 발명의 실시예 7에 따른 슬라이딩 부품의 슬라이딩면의 일례를 나타내는 도면이다.
도 16은 도 2의 A부의 확대도이며, 본 발명에 따른 정렬 딤플군의 일례를 나타낸다. (a)는 딤플을 대략 등간격으로 배치한 것, (b)는 딤플을 지름 방향 내측으로 조밀하게, 지름 방향 외측으로 성기게 정렬 배치한 것, (c)는 둘레 방향으로 딤플을 소밀하게 정렬 배치한 예를 나타낸다.
도 17은 도 2의 A부의 확대도이며, 본 발명에 따른 정렬 딤플군의 변형예를 나타내는 도면이다. (a)는 딤플을 둘레 방향으로 sin 커브를 따라 배열한 서브 딤플군을 지름 방향으로 소정의 피치로 배치한 것, (b)는 딤플을 지름 방향으로 sin 커브를 따라 배열한 서브 딤플군을 둘레 방향으로 소정의 피치로 배치한 것이다.
도 18은 도 2의 A부의 확대도이며, 본 발명에 따른 정렬 딤플군의 다른 실시예를 나타내는 도면이다. (a)는 딤플을 원형으로 배열한 서브 딤플군을 정렬 배치한 것, (b)는 크기가 상이한 딤플을 정렬 배치한 것, (c)는 형상이 상이한 딤플을 정렬 배치한 것이다.
이하에 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태를, 실시예에 기초하여 예시적으로 설명한다. 단, 이 실시예에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대적 배치 등은, 특별히 명시적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 그들에만 한정하는 취지의 것은 아니다.
실시예 1
도 1 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예 1에 따른 슬라이딩 부품에 대해서 설명한다. 이하의 실시예에 있어서는, 슬라이딩 부품의 일례인 메커니컬 시일을 예로 하여 설명하지만, 이것에 한정되는 일 없이, 예를 들면, 원통 형상 슬라이딩면의 축방향 한쪽측에 윤활유를 밀봉하면서 회전축과 슬라이딩하는 베어링의 슬라이딩 부품으로서 이용하는 것도 가능하다. 또한, 메커니컬 시일을 구성하는 슬라이딩 부품의 외주측을 고압 유체측(피밀봉 유체측), 내주측을 저압 유체측(누설측)으로 하여 설명한다.
도 1은, 메커니컬 시일(1)의 일례를 나타내는 종단면도이며, 슬라이딩면의 외주로부터 내주 방향을 향하여 누설되려고 하는 고압 유체측의 피밀봉 유체를 밀봉하는 형식의 인사이드 형식의 것이고, 회전축(9)측에 슬리브(2)를 통하여 이 회전축(9)과 일체적으로 회전 가능한 상태로 설치된 한쪽의 슬라이딩 부품인 원환상의 회전측 밀봉환(3)과, 하우징(4)에 비회전 상태 또한 축방향 이동 가능한 상태로 설치된 다른 한쪽의 슬라이딩 부품인 원환상의 고정측 밀봉환(5)이 설치되고, 고정측 밀봉환(5)을 축방향으로 부세(付勢)하는 코일드 웨이브 스프링(6) 및 벨로우즈(7)에 의해, 슬라이딩면(S)끼리 밀접 슬라이딩하게 되어 있다. 즉, 이 메커니컬 시일은, 회전측 밀봉환(3)과 고정측 밀봉환(5)의 서로의 슬라이딩면(S)에 있어서, 피밀봉 유체가 외주측으로부터 내주측으로 유출되는 것을 방지하는 것이다.
또한, 도 1에서는, 회전측 밀봉환(3)의 슬라이딩면의 폭이 고정측 밀봉환(5)의 슬라이딩면의 폭보다 넓은 경우를 나타내고 있지만, 이것에 한정되는 일 없이, 반대의 경우에 있어서도 본 발명을 적용할 수 있는 것은 물론이다.
회전측 밀봉환(3) 및 고정측 밀봉환(5)의 재질은, 내마모성이 우수한 탄화 규소(SiC) 및 자기 윤활성이 우수한 카본 등으로부터 선정되지만, 예를 들면, 양자가 SiC, 혹은, 회전측 밀봉환(3)이 SiC이며 고정측 밀봉환(5)이 카본인 조합이 가능하다. 상대 슬라이딩하는 회전측 밀봉환(3) 혹은 고정측 밀봉환(5)의 적어도 어느 한쪽의 슬라이딩면에는, 딤플이 배열 형성된다.
본 발명에 있어서,「딤플」이란, 평탄한 슬라이딩면(S)(이하,「랜드부」라고 기재하는 경우가 있음.)으로 둘러싸이고, 슬라이딩면(S)보다 움푹 패인 바닥부를 갖는 홈이며, 그 형상은 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 홈의 개구부의 형상은 원형, 삼각형, 타원형, 장원형, 혹은 직사각형이 포함되고, 홈의 단면 형상도 원뿔 형상, 원뿔대 형상, 반원 형상, 밥공기 형상, 또는, 사각형 등 여러 가지의 형태가 포함된다. 딤플의 개구부의 직경은 1㎛~300㎛, 바람직하게는 5㎛~100㎛, 깊이는 50nm~100㎛, 바람직하게는 500nm~60㎛이다.
슬라이딩면에 복수의 딤플을 배치함으로써, 윤활과 밀봉과 같은 상반되는 기능을 향상시킬 수 있다. 여기에서, 윤활 기능 및 밀봉 기능을 향상시키는 메커니즘은 다음과 같다.
상대측 슬라이딩면이 상대적으로 이동하면, 슬라이딩면에 형성된 딤플의 구멍부에는 유체의 점성에 의해 유체가 흡입되고, 구멍부의 상류측의 부분에서는 부압, 하류측의 부분에서는 쐐기 효과에 의해 정압이 발생한다. 그때, 구멍부의 상류측의 부압 부분에서는, 액막이 파단되고, 캐비테이션이 발생하여, 큰 부압이 없어진다. 그 결과, 딤플 전체적으로 정압이 되어 부하 능력이 발생함으로써, 슬라이딩면(S)이 융기된다. 슬라이딩면(S)이 융기되면, 상대 슬라이딩하는 두 개의 슬라이딩면의 극간이 커지고, 슬라이딩면(S)에 유체가 유입되어 윤활 기능이 얻어진다.
또한, 딤플로 흡입된 유체는 딤플 내에서 승압하여 딤플로부터 토출된다. 즉 딤플 내로의 유체의 흡입과, 딤플로부터 승압된 유체의 토출이 연속하여 행해진다. 그리고 딤플이 다수 배치되어 있으면, 슬라이딩면의 내주측에 배치된 딤플로 흡입하고, 그리고 토출된 유체는, 추가로 외경측에 배치된 딤플로 흡입하고, 토출이 연속적으로 반복되어, 유체가 서서히 내경측으로부터 외경측으로 옮겨지는 밀봉 기능이 얻어진다.
랜드부에 의해 분리된 딤플을 근접하여 소정의 형상을 갖는 딤플군으로서 구성하면, 딤플군 내를 흐르는 유체는 각 딤플에 의한 흡입, 토출이 연속적으로 반복되기 때문에, 딤플군의 형상을 따라 흐른다. 즉, 딤플군을 구성하는 각각의 딤플이 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 딤플군 전체적으로 마치 독립적인 유로로서 기능한다(이하「유사 유로」라고 기재함.). 본 발명은, 딤플 하나 하나가 갖는 펌핑 작용 및 유체 윤활 작용과, 유사 유로로서 기능하는 딤플군이 갖는 동압 기능을 이용하여, 슬라이딩 부품의 밀봉 기능 및 유체 윤활 기능을 향상시키는 것이다.
본 실시예에서는, 고정측 밀봉환(5)의 슬라이딩면(S)에 복수의 딤플이 배치되는 경우에 대해서 설명한다. 이 경우, 회전측 밀봉환(3)에는 딤플은 형성되지 않아도, 형성되어도 좋다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(10)을 갖고, 각 영역(10)은 딤플군(11)을 구비한다. 또한, 도 2에 있어서 영역(10)의 개수는 8개이지만, 이에 한정하지 않고 1개 이상이면 좋고, 상한의 개수는 슬라이딩면(S)에 배치할 수 있는 범위이면 특별히 한정되지 않는다.
딤플군(11)은, 복수의 딤플(12)의 집합체이며, 딤플군(11)의 외주연은 개구부(11a)를 제외하고 랜드부(R)에 의해 구획되고, 딤플군(11)의 외주연은 만곡한 대략 직사각형의 띠 형상체로 형성되어 있다. 구체적으로는, 딤플군(11)은, 그 일단에 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측 주연(5a)(외주면)에 형성된 개구부(11a), 개구부(11a)에 연통하고 회전 방향 지연측의 둘레 방향으로 연설되는 띠 형상체(11c), 및, 딤플군(11)의 타단, 즉 띠 형상체(11c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색되는 지단부(止端部; 11e)를 구비한다. 딤플군에 배치되는 딤플의 밀도는 30%~70%, 바람직하게는 40%~60%이다. 또한, 띠 형상체(11c)의 둘레 방향 길이는, 띠 형상체의 지름 방향 폭보다 크고, 개구부(11a)의 개구 폭보다도 크게 형성되어 있다.
도 2에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 딤플군(11)은, 피밀봉 유체측 주연(5a)에 연통하는 개구부(11a)로부터 피밀봉 유체를 취입할 수 있다. 이때, 딤플군(11) 내에 취입된 유체는, 각 딤플(12)에 의한 흡입과 토출을 반복하면서 딤플군(11)을 따라 흐르고, 지단부(11e)에 있어서 막혀 정압이 발생한다. 이에 따라, 상대 슬라이딩하는 두 개의 슬라이딩면의 극간이 커지고, 슬라이딩면(S)에 윤활성의 유체가 유입되어, 유체 윤활 작용이 얻어진다. 이와 같이, 딤플군(11)의 각 딤플(12)은 랜드부(R)에 의해 분리되어 있어도, 유체는 딤플군(11)을 따라 흐르고, 지단부(11e)에서 정압이 발생하기 때문에, 딤플군(11)은 정압 발생 기능을 갖는 유사 유로로서 기능한다.
종래, 레일리 스텝과 같은 동압 발생 기구를 형성하기 위해서는 홈을 가공할 필요가 있었지만, 본 발명의 딤플군(11)은 홈 가공의 필요가 없다. 딤플군(11)은, 딤플(12)의 하나 하나가 펌핑 작용 및 유체 윤활 작용을 발휘하고 또한, 유사 유로로서 기능하는 딤플군(11)이 전체적으로 동압 발생 기능을 발휘하기 때문에, 양자의 상승 효과에 의해 윤활 성능 및 밀봉 성능을 한층 향상시킬 수 있다. 또한, 딤플군을 구성하는 딤플 하나 하나가 유체를 보지하기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 2에 있어서, 딤플군(11)의 개구부(11a)는 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측 주연(5a)(외주면)에 형성되어 있지만, 이에 한정하지 않고, 딤플군은 슬라이딩면 내에 개구부를 갖고 있으면 좋다. 예를 들면, 도 3에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(210)을 갖고, 각 영역(210)은 유체 도입부(212) 및 유체 도입부(212)에 연통하는 딤플군(211)을 구비하고 있다. 유체 도입부(212)는, 피밀봉 유체측 주연(5a)에 개구부(212a), 및, 개구부(212a)에 연통하고 또한 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입홈(212b)을 갖는다. 딤플군(211)은, 그 일단에 유체 도입부(212)에 연통하는 개구부(211a), 및, 타단에 랜드부로 둘러싸인 지단부(211e)를 갖는다. 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입부(212)의 유로 단면적은 딤플군에 비교하여 크게 형성할 수 있기 때문에, 유체 도입부(212)는 많은 유체를 효율 좋게 취입할 수 있다. 딤플군(211)은 유체 도입부(212)에 연통하는 개구부(211a)로부터 효율 좋게 피밀봉 유체측의 유체를 취입함으로써, 유체 윤활 기능을 더욱 향상시킬 수 있다. 또한, 유체 도입부(212) 및 딤플군으로부터 슬라이딩면(S)으로 유체를 공급할 수 있기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 얕은 홈은, 깊이 약 1㎛에서 1mm 정도, 바람직하게는 깊이 약 1㎛에서 100㎛ 정도의 홈이며, 단면 형상은 직사각형, 반원, V자, U자 등, 유체를 저저항으로 도입할 수 있는 형상이면 좋다.
또한, 도 2에 있어서, 딤플군(11)의 개구부(11a)는 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측 주연(5a)(외주면)에 형성되어 있지만, 이에 한정하지 않고, 슬라이딩면(S)의 누설측 주연(5b)(내주면)에 개구부를 형성해도 좋다. 이에 따라, 누설측에 연통하는 딤플군은, 누설측으로부터 유체를 흡입하여 밀봉 효과가 우수한 딤플군으로서 기능한다. 이 경우에 있어서도, 도 3의 유체 도입부(212)를 이용할 수 있다. 즉, 누설측에 연통하는 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입부를 형성하고, 당해 유체 도입부에 딤플군의 개구부를 연통시켜, 딤플군의 밀봉 효과 및 유체 윤활 효과를 향상시킬 수 있다.
도 4는, 실시예 1의 변형예이다. 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 영역(20)을 갖고, 각 영역(20)은, 피밀봉 유체측에 배열 형성된 딤플군(21), 누설측에 배열 형성된 딤플군(22)의 두 개의 동압 발생 기구를 구비하고 있다. 딤플군(21)은, 그 일단에 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측 주연(5a)(외주면)에 형성된 개구부(21a), 개구부(21a)에 연통하고 회전 방향 지연측의 둘레 방향으로 연설되는 띠 형상체(21c), 및, 딤플군(21)의 타단, 즉 띠 형상체(21c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색되는 지단부(21e)를 구비한다. 또한, 딤플군(22)은, 그 일단에 슬라이딩면(S)의 누설측 주연(5b)에 형성된 개구부(22b), 개구부(22b)에 연통하고 회전 방향 지연측의 둘레 방향으로 연설되는 띠 형상체(22c), 및, 딤플군(22)의 타단, 즉 띠 형상체(22c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색되는 지단부(22e)를 구비한다.
도 4에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 피밀봉 유체측에 배치한 딤플군(21)은, 개구부(21a)로부터 피밀봉 유체를 흡입한다. 흡입된 피밀봉측 유체는, 딤플군(21)의 띠 형상체(21c)를 따라 흐르고, 지단부(21e)에서 막혀, 딤플군(21) 전체적으로 정압이 발생하여 유체 윤활 효과를 발휘한다. 또한, 누설측에 배치한 딤플군(22)은, 개구부(22b)로부터 누설측 유체를 흡입하여 밀봉 기능을 발휘한다. 또한, 흡입된 누설측 유체는, 딤플군(22)의 띠 형상체를 따라 흐르고, 지단부(22e)에서 막혀, 딤플군(22) 전체적으로 유체 윤활 효과를 발휘한다. 이와 같이, 피밀봉 유체측과 누설측의 각각에 딤플군(21, 22)을 배치함으로써, 유체 윤활 효과뿐만 아니라, 밀봉 효과를 한층 향상할 수 있다.
도 5는, 실시예 1의 더 한층의 변형예이다. 도 4의 실시예는, 피밀봉 유체측에 딤플군(21)과, 누설측에 딤플군(22)이 분리되어 있었지만, 도 5의 실시예에서는, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(40)을 갖고, 각 영역(40)에는 일체로 형성되는 딤플군(41)을 구비한다. 즉, 딤플군(41)은, 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측에 배열 형성되고 또한, 피밀봉 유체측 주연(5a)에 형성된 개구부(41a)에 연통하고 회전 방향 지연측에 연설되는 띠 형상체(41c)와, 슬라이딩면(S)의 누설측에 배열 형성되고 또한, 누설측 주연(5b)에 형성된 개구부(41b)에 연통하고 회전 방향 지연측에 연설되는 띠 형상체(41e)와, 띠 형상체(41c)의 단부와 띠 형상체(41e) 단부를 서로 연통시키는 접속부(41d)를 구비하고 있다.
도 5에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 딤플군(41)은, 개구부(41a) 및 개구부(41b) 각각으로부터 유체를 흡입한다. 흡입된 유체는 띠 형상체(41c, 41e)를 따라 흐르고, 접속부(41d)에서 합류하여 정압이 발생하기 때문에, 슬라이딩면(S)의 중앙부에 있어서도 확실하게 유체 윤활 기능을 발휘할 수 있다. 또한, 접속부(41d)를 갖는 딤플군(41)은, 지름 방향의 전체 길이에 걸쳐 슬라이딩면(S)에 유체를 공급할 수 있기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도, 슬라이딩면(S)이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
도 6은, 실시예 1의 더 한층의 변형예이다. 도 6의 실시예에서는, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(140)을 갖고, 각 영역(140)은 딤플군(141)을 구비한다. 딤플군(141)은 피밀봉 유체측의 개구부(141a)와, 개구부(141a)로부터 서로 반대 방향으로 연설되는 한 쌍의 띠 형상체(141c 및 141d)와, 띠 형상체(141c 및 141d)의 각각의 단부를 폐색하는 지단부(141e, 141f)를 구비한다. 딤플군(141)은, 띠 형상체(141c 및 141d)가 개구부(141a)를 사이에 끼우고 대략 대칭으로 배치되기 때문에, 회전 방향에 관계없이 개구부(141a)로부터 취입된 유체는, 딤플군(141) 내를 흘러 동압이 발생한다. 딤플군(141)은, 회전 방향에 관계없이, 딤플(12)의 하나 하나가 펌핑 작용 및 유체 윤활 작용을 발휘하고 또한, 유사 유로로서 기능하는 딤플군(141)이 전체적으로 동압 발생 기능을 발휘하기 때문에, 양자의 상승 효과에 의해 윤활 성능 및 밀봉 성능을 한층 더 향상시킬 수 있다.
실시예 1의 딤플군(11, 21, 41, 141, 211)은, 각각의 딤플(12)이 펌핑 작용 및 유체 윤활 작용을 발휘하고 또한, 딤플군(11, 21, 41, 141, 211) 전체적으로 밀봉 작용 및 유체 윤활 효과를 발휘하기 때문에, 양자의 상승 효과에 의해, 윤활 효과 및 밀봉 효과를 한층 더 향상시킬 수 있다. 또한, 딤플군을 구성하는 각 딤플이 랜드부에 의해 분리되어 있어도, 딤플군 전체적으로 마치 독립적인 유로로서 기능하기 때문에, 종래의 레일리 스텝과 같이 홈을 가공하는 일 없이, 작은 딤플(12)의 집합체에 의해 밀봉 작용 및 유체 윤활 작용을 발휘할 수 있는 유로를 용이하게 가공할 수 있다. 또한, 딤플군을 구성하는 딤플 하나 하나가 유체를 보지하기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
도 4 내지 도 6의 실시예에 있어서도, 도 3의 유체 도입부(212)를 이용하여, 딤플군의 개구부를 슬라이딩면 내에 형성할 수 있다. 즉, 피밀봉 유체측 또는 누설측에 연통하는 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입부를 형성하고, 당해 유체 도입부에 딤플군의 개구부를 연통시켜, 밀봉 기능 및 유체 윤활 기능을 향상시킬 수 있다.
실시예 2
다음으로, 실시예 2에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 7 및 도 8을 참조하여 설명한다. 실시예 1의 딤플군은 정압 발생 기구로서 기능하는 유사 유로였지만, 실시예 2의 딤플군은, 부압 발생 기구로서 기능하는 유사 유로를 갖는 점에서 실시예 1과 상이하다. 또한, 상기 실시예에 나타나는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 중복하는 설명을 생략한다.
도 7에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(150)을 갖고, 각 영역(150)은 딤플군(151)을 구비한다. 또한, 도 7에 있어서 영역은 8개이지만, 이에 한정하지 않고 1개 이상이면 좋고, 상한의 개수는 슬라이딩면(S)에 배치할 수 있는 범위이면 특별히 한정되지 않는다.
딤플군(151)은, 복수의 딤플(12)의 집합체이며, 딤플군(151)의 외주연은 개구부(151a)를 제외하고 랜드부(R)에 의해 구획되고, 딤플군(151)의 외주연은 만곡한 대략 직사각형의 띠 형상체로 형성되어 있다. 구체적으로는, 딤플군(151)은, 그 일단에 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측 주연(5a)(외주면)에 형성된 개구부(151a)와, 개구부(151a)에 연통하고 둘레 방향(회전 방향 진행측)에 연설되는 띠 형상체(151c)와, 및, 딤플군(151)의 타단, 즉 띠 형상체(151c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색되는 지단부(151e)를 구비한다. 또한, 띠 형상체(151c)는 전체적으로 누설측 주연(5b)에 가까운 위치에 배치된다.
도 7에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 유체의 점성에 의해 지단부(151e)측으로부터 딤플군(151) 내로 유입된 유체는 딤플군(151)을 따라 흐르고, 막히는 일 없이 개구부(151a)로부터 개방되기 때문에, 딤플군(151)은 전체적으로 부압이 된다. 즉, 딤플군(151)은, 부압 발생 기능을 갖는 유사 유로로서 기능한다. 따라서, 부압 발생 기구를 갖는 딤플군(151)을 누설측 주연(5b) 근방에 배치함으로써, 딤플군(151) 내의 부압을 이용하여, 누설측으로부터 슬라이딩면(S)으로 유체를 흡입하여 누설을 적게 할 수 있기 때문에, 밀봉 효과를 향상시킬 수 있다.
도 8은, 실시예 2의 변형예이다. 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(30)을 갖고, 각 영역(30)은, 피밀봉 유체측에 배치된 딤플군(31)과, 누설측에 배치된 딤플군(32)을 갖는다. 딤플군(31)은 피밀봉 유체측 주연(5a)에 형성된 개구부(31a)와, 개구부(31a)에 연통하고 회전 방향 지연측에 연설되는 띠 형상체(31c)와, 띠 형상체(31c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색된 지단부(31e)를 구비한다. 또한, 딤플군(32)은 피밀봉 유체측 주연(5a)에 형성된 개구부(32a)와, 개구부(32a)에 연통하고 또한 띠 형상체(31c)와 반대 방향(회전 방향 진행측)에 연설되는 띠 형상체(32c)와, 띠 형상체(32c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색된 지단부(32e)를 구비한다.
도 8에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 딤플군(31)은, 개구부(31a)로부터 유입된 유체가 딤플군(31)을 따라 흐르고, 지단부(31e)에서 막혀 정압이 발생하는 유사 유로로서 기능하여, 유체 윤활 효과를 발휘한다. 한편 딤플군(32)은, 유체의 점성에 의해 지단부(32e)측으로부터 딤플군(32) 내로 유입된 유체가 막히는 일 없이 개구부(32a)로부터 개방되기 때문에, 딤플군(32)은 전체적으로 부압을 발생시키는 유사 유로로서 기능하고, 누설측으로부터 슬라이딩면(S)으로 유체를 흡입하여 밀봉 작용을 발휘한다.
이와 같이, 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측에 정압 발생 기구로서의 딤플군(31), 누설측에 부압 발생 기구로서의 딤플군(32)을 배치함으로써, 유체 윤활 성능과 밀봉 기능의 상이한 성능을 향상시킬 수 있다. 또한, 종래의 레일리 스텝과 같이 홈을 가공하는 일 없이, 작은 딤플(12)의 집합체에 의해 정압 발생 기능, 부압 발생 기능을 갖는 유사 유로를 용이하게 구성할 수 있다.
도 7 및 도 8의 실시예에 있어서도, 도 3의 유체 도입부를 이용하여, 딤플군의 개구부를 슬라이딩면 내에 형성할 수 있다. 즉, 피밀봉 유체측 또는 누설측에 연통하는 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입부를 형성하고, 당해 유체 도입부에 딤플군의 개구부를 연통시켜, 밀봉 기능 및 유체 윤활 기능을 향상시킬 수 있다.
실시예 3
다음으로, 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 9 및 도 10을 참조하여 설명한다. 실시예 1 및 실시예 2는 딤플군에만 의해 구성했지만, 실시예 3에 따른 슬라이딩 부품은, 딤플군으로 이루어지는 유사 유로와, 얕은 홈으로 이루어지는 유로를 구비한다. 또한, 상기 실시예에 나타나는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 중복하는 설명을 생략한다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(80)을 갖는다. 각 영역(80)은, 피밀봉 유체측에 배열 형성되고, 유사 유로로서 기능하는 딤플군(81)과, 누설측에 배열 형성되는 얕은 홈으로 이루어지는 동압 발생홈(91)으로 이루어지는 동압 발생 기구(92)을 구비하고 있다. 딤플군(81)은, 그 일단에 슬라이딩면(S)의 피밀봉 유체측 주연(5a)(외주면)에 형성된 개구부(81a), 개구부(81a)에 연통하고 회전 방향 지연측의 둘레 방향으로 연설되는 띠 형상체(81c), 및, 딤플군(81)의 타단, 즉 띠 형상체(81c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색된 지단부(81e)를 구비한다. 또한, 동압 발생홈(91)은, 그 일단에 누설측 주연(5b)에 형성된 개구부(91b)에 연통하고 또한 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입홈(91d), 유체 도입홈(91d)에 연통하고, 띠 형상체(81c)와 동일한 방향으로 연설되고 또한 얕은 홈으로 이루어지는 홈부(91c), 및, 동압 발생홈(91)의 타단, 즉 홈부(91c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색된 지단부(91e)를 구비한다. 또한, 딤플군(81)과 동압 발생홈(91)과의 사이에는 전체 둘레에 걸쳐 랜드부(R)가 형성되고, 딤플군(81)과 동압 발생홈(91)은 랜드부(R)에 의해 분리되어 있다. 이에 따라 정지시에 있어서도 밀봉성을 확보할 수 있다.
도 9에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 동압 발생홈(91)은 개구부(91b)로부터 효율 좋게 유체를 취입한다. 동압 발생홈(91) 내에 취입된 유체는, 홈부(91c)를 둘레 방향으로 이동하고 지단부(91e)에 있어서 막혀 정압이 발생한다. 이에 따라, 상대 슬라이딩하는 두 개의 슬라이딩면의 극간이 넓어져 슬라이딩면(S)으로 유체가 유입되어, 유체 윤활 작용이 얻어진다. 또한, 딤플군(81)도 개구부(81a)로부터 취입된 유체는 띠 형상체(81c)를 따라 흐르고, 지단부(81e)에서 막혀 승압하여, 유체 윤활 작용을 발휘한다. 또한, 얕은 홈으로 이루어지는 동압 발생홈(91)의 유로 단면적은 크기 때문에, 동압 발생홈(91)을 흐르는 유량은 딤플군(81)을 흐르는 유량보다 많아진다. 동압 발생홈(91)에서 승압한 유체는 딤플군(81)에 대해서도 공급되어, 딤플군(81) 전체의 유체 윤활 기능은 더욱 향상된다. 이에 따라, 동압 발생홈(91) 및 딤플군(81)에 의해 발생하는 정압에 의해 유체 윤활 작용을 한층 더 향상시킬 수 있고 또한, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도, 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
도 9의 실시예에 있어서는, 딤플군(81)과 동압 발생홈(91)은, 랜드부(R)에 의해 전체 둘레에 걸쳐 분리됨으로써, 정지시에 있어서의 밀봉성을 확보하고 있었다. 이에 대하여, 도 10의 실시예는, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 영역(230)을 구비하고, 각 영역(230)은, 피밀봉 유체측에 배열 형성되고, 유사 유로로서 기능하는 딤플군(231)과, 누설측에 배열 형성되는 얕은 홈으로 이루어지는 동압 발생홈(241)으로 이루어지는 동압 발생 기구(242)을 구비한다. 딤플군(231)과 동압 발생홈(241)의 사이에는 랜드부(R)는 없고, 딤플군(231)과 동압 발생홈(241)은 연통하고 있다.
도 10에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 동압 발생홈(241)은 개구부(241b)로부터 홈부(241c) 내에 취입된 유체가, 둘레 방향으로 이동하고 지단부(241e)에 있어서 막혀 정압이 발생하여, 유체 윤활 작용이 얻어진다. 또한, 딤플군(231)도 개구부(231a)로부터 취입된 유체가 띠 형상체(231c)를 따라 흐르고, 지단부(231e)에서 막혀 승압하여, 유체 윤활 작용을 발휘한다. 여기에서, 얕은 홈으로 이루어지는 동압 발생홈(241)의 유로 단면적은, 딤플군(231)의 유로 단면적보다도 크기 때문에, 동압 발생홈(241)의 개구부(241b)로부터 취입되는 유체량은 딤플군(231)의 개구부(231a)로부터 취입되는 유체량보다 많다. 따라서, 딤플군(231)과 동압 발생홈(241)이 연통하고 있어도, 피밀봉 유체측의 개구부(231a)로부터 누설측 개구부(241b)로 유체가 누설측으로 흐르는 것을 방지할 수 있다.
또한, 정지중에 있어서는, 회전측 밀봉환(3)의 슬라이딩면(S)과 고정측 밀봉환(5)의 슬라이딩면(S)이 밀착하기 때문에, 딤플군(231)을 구성하는 각 딤플(12) 사이의 흐름은, 딤플(12)을 둘러싸는 랜드부(R)에 의해 차단된다. 즉, 딤플군(231)과 동압 발생홈(241)이 연통하고 있어도, 정지 중에 있어서는 딤플군(231) 내의 흐름은 차단되기 때문에, 피밀봉 유체측의 유체가 누설측으로 흐르는 정지 누설을 방지할 수 있다. 본 발명의 딤플군은, 회전측 밀봉환(3)과 고정측 밀봉환(5)이 상대 슬라이딩하고 있을 때는 유체를 딤플군의 형상을 따라 흘릴 수 있고, 정지 중은 딤플군 내의 흐름을 차단할 수 있는 유사 유로이다.
실시예 4
다음으로, 실시예 4에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 11을 참조하여 설명한다. 실시예 4는 실시예 3과 동일하게 딤플군으로 이루어지는 유사 유로와, 얕은 홈으로 이루어지는 동압 발생홈으로 이루어지는 동압 발생 기구를 구비한다. 또한, 상기 실시예에 나타나는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 중복하는 설명을 생략한다.
도 11에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(100)을 갖는다. 각 영역(100)은, 유체 도입홈(103), 딤플군(101) 및 섬 형상 홈부(102)를 갖는 동압 발생 기구(104)를 구비한다. 유체 도입홈(103)은 누설측 주연에 개구하는 개구부(103b)를 갖고 누설측에 연통하고 있다. 딤플군(101)은, 그 일단이 유체 도입홈(103)에 연통하고 회전 방향 지연측에 연설되는 띠 형상체(101c), 및, 딤플군(101)의 타단, 즉 띠 형상체(101c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색되는 지단부(101e)를 구비한다. 섬 형상 홈부(102)는 딤플군(101)에 둘러싸여 섬 형상으로 되어 있다. 또한, 동압 발생 기구(104)는 개구부(103b)를 제외하고 랜드부(R)에 의해 둘러싸여 있다.
도 11에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 얕은 홈으로 이루어지는 유체 도입홈(103)은 개구부(103b)로부터 효율 좋게 유체를 취입한다. 유체 도입홈(103) 내에 취입된 유체는 딤플군(101) 및 섬 형상 홈부(102) 내에 공급되기 때문에, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면(S)이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 딤플군(101) 및 섬 형상 홈부(102) 내를 흐르는 유체는 지단부(101e, 102e)에 있어서 막혀 정압이 발생한다. 이에 따라 상대 슬라이딩하는 두 개의 슬라이딩면의 극간이 커져 유체 윤활 효과가 얻어진다.
실시예 5
다음으로, 실시예 5에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 12 및 도 13을 참조하여 설명한다. 실시예 1 내지 실시예 4의 딤플군은 대략 직사각 형상으로 형성되어 있었다. 이에 대하여, 직사각 형상의 딤플군으로 바꾸고, 더욱 효율 좋게 밀봉 효과 및 유체 윤활 효과를 발휘하는 유사 유로로 구성하는 것이다. 구체적으로는, 복수의 딤플(12)을 헤링본 형상의 유사 유로로 구성한 점에서 상기 실시예와 상이하다. 또한, 상기 실시예에 나타나는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 중복하는 설명을 생략한다.
도 12에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩면(S)은 랜드부로 구획된 복수의 영역(50)을 갖고, 각 영역(50)에는 헤링본 형상의 딤플군(51)이 배열 형성되어 있다. 또한, 도 12에 있어서 영역은 18개이지만, 이에 한정하지 않고 1개 이상이면 좋고, 상한의 개수는 슬라이딩면(S)에 배치할 수 있는 범위이면 특별히 한정되지 않는다.
딤플군(51)은, 복수의 딤플(12)의 집합체에 의해 헤링본 형상으로 구성한 것이며, 딤플군(51)은, 피밀봉 유체측 주연(5a)의 개구부(51a)에 연통하고, 슬라이딩면 중앙을 향하여 경사져서 연설되는 띠 형상체(51c)와, 누설측 주연(5b)의 개구부(51b)에 연통하고 슬라이딩면 중앙을 향하여 경사져서 연설되는 띠 형상체(51d)가 슬라이딩면의 대략 중앙의 합류부(51f)에서 합류하고 있다. 또한, 딤플군(51)은 개구부(51a, 51b)를 제외하고 랜드부(R)에 의해 구획되어 있다. 띠 형상체(51c, 51d)는, 지름 방향축에 대하여 경사져서 회전 방향 지연측에 연설되기 때문에, 저저항으로 유체를 취입할 수 있다.
도 12에 나타내는 방향으로 상대 슬라이딩면이 회전하면, 딤플군(51)은, 띠 형상체(51c)가 개구부(51a)로부터 피밀봉 유체측으로부터 유체를 효율 좋게 취입하고, 또한, 띠 형상체(51d)가 개구부(51b)로부터 누설측으로부터 유체를 효율 좋게 흡입한다. 그리고 딤플군(51) 내에 유입된 유체는 띠 형상체(51c, 51d)를 따라 흐르고, 합류부(51f)에서 합류하고 정압이 발생하여 유체 윤활 효과를 발휘하고 또한, 띠 형상체(51d)는 누설측으로부터 유체를 흡입하여 밀봉 효과를 발휘한다. 이와 같이, 딤플군(51)을 구성하는 각 딤플(12)이 갖는 유체 윤활 작용 및 펌핑 작용과, 헤링본 형상으로 구성된 딤플군(51) 전체적으로 발생하는 유체 윤활 효과 및 밀봉 효과와의 상승 효과에 의해, 유체 윤활 효과 및 밀봉 효과를 한층 더 향상시킬 수 있다. 또한 슬라이딩면(S)의 지름 방향의 전체 길이에 걸쳐 형성된 딤플군(51)에 의해, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면(S)이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
도 13은 도 12의 변형예를 나타낸다. 도 13(a)의 딤플군(61)은, 복수의 딤플(12)의 집합체를 헤링본 형상의 유사 유로로 구성한 변형예이다. 헤링본 형상의 딤플군(61)은, 띠 형상체(61c)가 개구부(61a)에 의해 피밀봉 유체측에 연통하고, 한편, 띠 형상체(61d)는 지단부(61e)에 의해 폐색되어, 띠 형상체(61c)와 띠 형상체(61d)가 슬라이딩면(S)의 대략 중앙의 합류부(61f)에서 합류하고 있다. 상대 슬라이딩면이 회전하면, 개구부(61a)로부터 유입된 피밀봉 유체측의 유체는 띠 형상체(61c)를 따라 흐르고, 한편, 지단부(61e)의 주위로부터 유입된 유체는 띠 형상체(61d)를 따라 흐르고, 합류부(61f)에서 합류하고 정압이 발생하여 유체 윤활 작용을 발휘한다. 딤플군(61)은, 띠 형상체(61c)가 개구부(61a)로부터 피밀봉 유체측의 유체를 많이 취입하여 정압이 발생하기 때문에, 유체 윤활 작용이 우수한 딤플군으로서 기능한다.
한편, 도 13(b)의 딤플군(71)은, 복수의 딤플(12)의 집합체를 헤링본 형상의 유사 유로로 구성한, 더 한층의 변형예이다. 헤링본 형상의 딤플군(71)은, 피밀봉 유체측에 배열 형성된 띠 형상체(71c)가 지단부(71e)에 의해 폐색되고, 한편, 누설측에 배열 형성된 띠 형상체(71d)는 개구부(71b)에 의해 누설측 주연(5b)에 연통하고, 띠 형상체(71c)와 띠 형상체(71d)가 슬라이딩면(S)의 대략 중앙의 합류부(71f)에서 합류하고 있다. 상대 슬라이딩면이 회전하면, 개구부(71b)로부터 유입된 누설측의 유체는 띠 형상체(71d)를 따라 흐르고, 한편, 지단부(71e)의 주위로부터 유입된 유체는 띠 형상체(71c)를 따라 흐르고, 합류부(71f)에서 합류하고 정압이 발생하여 유체 윤활 작용을 발휘한다. 딤플군(71)은, 띠 형상체(71d)가 개구부(71b)로부터 누설측의 유체를 많이 흡입하기 때문에 밀봉 기능이 우수한 딤플군으로서 기능한다.
실시예 6
다음으로, 실시예 6에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 14를 참조하여 설명한다. 실시예 6의 딤플군의 형상은, 복수의 딤플(12)의 집합체를 스파이럴 형상의 유사 유로로 구성한 것이다. 또한, 복수의 딤플(12)을 반타원의 섬 형상으로 구성한 점에서 상기 실시예와 상이하다. 또한, 상기 실시예에 나타나는 구성 부분과 동일 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙여 중복하는 설명을 생략한다.
도 14(a)에 나타내는 바와 같이, 랜드부로 구획된 슬라이딩면의 각 영역(20도분)에는, 복수의 딤플(12)을 스파이럴 형상으로 배치한 딤플군(161)을 구비한다. 딤플군(161)은, 피밀봉 유체측 주연(5a)에 개구하는 개구부(161a)와, 누설측 주연(5b)에 개구하는 개구부(161b)와, 개구부(161a)와 개구부(161b)를 연통하는 스파이럴 형상의 띠 형상체(161c)를 구비한다. 딤플군(161)은 회전 방향 지연측에 경사져서 형성되어 있기 때문에, 개구부(161a)로부터 누설측 유체를 효율 좋게 흡입하고, 흡입된 유체는 띠 형상체(161c)를 따라 흐르고, 원심력에 의해 승압하기 때문에, 띠 형상체(161c)의 대략 전체 길이에 걸쳐 정압의 유체를 슬라이딩면에 공급하여, 유체 윤활 효과 및 밀봉 효과를 발휘한다. 또한, 슬라이딩면(S)의 지름 방향의 전체 길이에 걸쳐 형성된 딤플군(161)에 의해, 유체 윤활막이 형성되기 어려운 저속 회전시에 있어서도 슬라이딩면(S)이 빈윤활 상태가 되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 14(b)에 나타내는 바와 같이, 누설측 주연(5b)에 형성된 개구부(171b)와, 개구부(171b)에 연통하는 스파이럴 형상의 띠 형상체(171c)의 단부를 지단부(171e)에 의해 폐색해도 좋다. 딤플군(171)은, 개구부(171b)로부터 흡입된 유체가, 원심력에 의해 띠 형상체(171c)를 따라 승압하고, 지단부(171e)에서 막혀 정압이 발생하고, 171c의 대략 전체 길이에 걸쳐 정압의 유체를 슬라이딩면에 공급하여, 유체 윤활 효과를 발휘한다. 도 14(a)의 딤플군(161)은 누설측으로부터 피밀봉 유체측으로 유체를 적극적으로 보내는 것에 대하여, 도 14(b)의 딤플군(171)은 누설측으로부터 피밀봉 유체측으로 보내는 유체량은 적다. 이 때문에, 딤플군(171)은, 유체 윤활 효과 및 밀봉 효과를 발휘하면서, 누설측으로부터 피밀봉 유체측으로의 유체의 흐름을 제한할 수 있다.
또한, 도 14(c)에 나타내는 바와 같이, 피밀봉 유체측 주연(5a)에 개구하는 개구부(181a)를 갖는 딤플군(181)을 피밀봉 유체측에 배치하고, 누설측 주연(5b)에 개구하는 개구부(191b)를 갖는 딤플군(191)을 누설측에 배치해도 좋다. 피밀봉 유체측 주연(5a)에 연통하는 딤플군(181)은 피밀봉 유체측으로부터 유체를 취입하여 유체 윤활 기능을 발휘하고, 누설측 주연(5b)에 연통하는 딤플군(191)은 누설측으로부터 슬라이딩면(S)으로 유체를 흡입하여 밀봉 기능을 발휘한다. 따라서, 딤플군(181)보다 딤플군(191)의 비율을 많게 하면, 밀봉 기능이 우수한 슬라이딩 부품으로 할 수 있고, 딤플군(191)보다 딤플군(181)의 비율을 많게 하면, 유체 윤활 기능이 우수한 슬라이딩 부품으로 할 수 있다.
실시예 7
다음으로, 실시예 7에 따른 슬라이딩 부품에 대해, 도 15를 참조하여 설명한다. 실시예 1 내지 실시예 6에 따른 슬라이딩 부품은, 피밀봉 유체측으로부터 누설측으로 지름 방향으로 누설되는 유체를 제한하는 것이었지만, 실시예 7에 따른 슬라이딩 부품은, 피밀봉 유체측으로부터 누설측으로 슬라이딩면의 축방향으로 누설되는 유체를 제한하는 것이다.
도 15에 나타내는 바와 같이, 슬라이딩 부품(120)은, 회전축(9)과 일체적으로 회전 가능한 상태로 설치된 한쪽의 슬라이딩 부품인 원통 형상의 회전측 밀봉환(123)과, 하우징(4)에 비회전 상태로 설치된 다른 한쪽의 슬라이딩 부품인 원통 형상의 고정측 밀봉환(125)을 구비하고, 슬라이딩면(S)끼리 상대 슬라이딩하여, 슬라이딩면의 축방향으로 누설되는 유체를 제한하는 것이다. 도 15에 있어서, 회전측 밀봉환(123)의 우측이 피밀봉 유체측, 좌측이 누설측이며, 회전측 밀봉환(123)은 화살표로 나타내는 방향으로 회전하는 경우에 대해서 설명한다.
회전측 밀봉환(123)의 슬라이딩면(S)에는, 정압을 발생시키는 딤플군(121)과, 딤플군(121)보다 누설측에 배치된 부압을 발생시키는 딤플군(122)이 형성되어 있다. 딤플군(121)은, 피밀봉 유체측 주연(123a)에 형성된 개구부(121a)와, 개구부(121a)에 연통하고 회전 방향 지연측에 연설되는 띠 형상체(121c)와, 띠 형상체(121c)의 단부에 랜드부(R)에 의해 폐색되는 지단부(121e)를 갖는다. 딤플군(122)은, 피밀봉 유체측 주연(123a)에 형성된 개구부(122a)와, 개구부(122a)에 연통하고 회전 방향 진행측에 연설되는 띠 형상체(122c)와, 띠 형상체(121c)의 단부에 랜드부에 의해 폐색된 지단부(122e)를 갖는다.
도 15에 나타내는 방향으로 회전하면, 개구부(121a)로부터 취입된 피밀봉 유체는 띠 형상체(121c)를 따라 흐르고, 지단부(121e)에서 막혀 정압이 발생한다. 딤플군(121)은, 피밀봉측 유체로부터 유체를 취입하고 정압이 발생하는 유사 유로로서 기능하여, 유체 윤활 기능을 발휘한다. 한편, 지단부(122e)의 주위로부터 취입된 유체는 띠 형상체(122c)를 따라 흐르고, 개구부(122a)로부터 개방되어, 딤플군(122) 전체적으로 부압이 된다. 이에 따라, 딤플군(122) 전체적으로, 누설측으로부터 슬라이딩면(S)으로 유체를 흡입하여 밀봉 기능을 발휘하는 유사 유로로서 기능한다. 딤플군(121) 및 딤플군(122)은, 슬라이딩면(S)을 축방향으로 누설되는 유체에 대해서도, 유체 윤활 효과 및 밀봉 효과가 우수한 슬라이딩 부품으로 할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 딤플군을 구성하는 딤플(12)의 배열에 대해서 설명한다. 본 발명에 따른 딤플군에 적용할 수 있는 딤플(12)의 배열로서는, 딤플(12)을 소정의 규칙에 기초하여 정렬시킨 서브 딤플군을 소정의 피치로 배치하여 구성한 정렬 딤플군과, 정렬 딤플군 이외의 것으로, 딤플을 랜덤하게 배열하여 구성한 랜덤 딤플군과, 정렬 딤플군과 랜덤 딤플군을 조합시킨 것이 있다. 이하, 정렬 딤플에 대해서 설명한다.
도 16에 정렬 딤플의 예를 나타낸다. 도 16(a)의 정렬 딤플(201)은, 지름 방향축(r)을 따라 일정한 간격으로 딤플(12)을 배열한 서브 딤플군(201a)을 둘레 방향으로 일정한 피치로 배열하여 구성한 것이다. 도 16(b)의 정렬 딤플(202)은, 딤플(12)을 지름 방향축(r)을 따라 내경측으로부터 외경측을 향하여 일정 비율로 간격이 넓어지도록 배열한 서브 딤플군(202a)을 둘레 방향으로 일정한 피치로 배열하여 구성한 것이다. 도 16(c)의 정렬 딤플군(203)은, 지름 방향축을 따라 일정한 간격으로 딤플(12)을 배열한 서브 딤플군(203a)을 둘레 방향으로 소밀하게 배열하여 구성한 것이다.
이와 같이, 정렬 딤플이란, 극좌표축의 한쪽을 따라 소정의 규칙으로 배열하여 구성되는 서브 딤플군을, 다른 한쪽의 축을 따라 소정의 피치로 배열한 것이다. 또한, 도 16(a) 내지 도 16(c)에 있어서 지그재그 배열한 것이라도 좋다. 또한, 좌표축은, 극좌표에 한정하지 않고 직교 좌표라도 좋다.
도 17에 정렬 딤플의 다른 실시예를 나타낸다. 도 17(a)의 정렬 딤플(204)은, sinθ의 함수에 기초하여 둘레 방향으로 배열한 서브 딤플군(204a)을 지름 방향축을 따라 소정의 피치로 배열한 것이다. 도 17(b)의 정렬 딤플(205)은, sinθ의 함수에 기초하여 지름 방향으로 배열한 서브 딤플군(205a)을 둘레 방향축을 따라 소정 피치로 배열한 것이다.
여기에서, 함수는 삼각 함수와 같은 주기 함수에 한정하지 않는다. 예를 들면, 톱니파, 구형파(矩形波)와 같은 주기 함수라도 좋다. 또한, 함수는 주기 함수에 한정하지 않고 1차 함수, 2차 함수, N차 함수, 지수 함수 등의 비주기 함수에 기초하여 배열한 서브 딤플을 소정의 피치 어긋나게 배치해도 좋고, 주기 함수끼리를 겹친 것, 주기 함수와 비주기 함수를 조합한 것이라도 좋다.
도 18에 정렬 딤플의 다른 실시예를 나타낸다. 도 18(a)의 정렬 딤플군(250)은, 딤플(12)을 원형으로 배치한 서브 딤플군(251)을 소정의 피치로 배치한 것이다. 이 경우, 딤플(12)을 원형에 한정하지 않고, 직사각형, 삼각형, 다른 다각형으로 배치하고, 소정의 피치로 배치해도 좋다. 도 18(b)의 정렬 딤플군(260)은, 크기가 상이한 딤플(261), 딤플(262)을 소정의 피치로 조합하여 배치한 것이다. 도 18(c)의 정렬 딤플군(270)은, 형상이 상이한 삼각 딤플(271)과 원형 딤플(272)을 소정의 피치로 조합하여 배치한 것이다. 즉, 정렬 딤플군은, 딤플(12)을 소정의 규칙에 기초하여 정렬시킨 서브 딤플군을 소정의 피치로 배치한 것이다. 또한, 도 16 내지 도 18의 정렬 딤플군은 도 2의 A부의 확대도로서 나타냈지만, 도 3 내지 도 15의 딤플군에 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.
또한, 본 발명에 따른 딤플군에 적용할 수 있는 딤플(12)의 배열로서, 정렬 딤플군 이외의 것으로, 딤플을 랜덤하게 배열하여 구성한 랜덤 딤플군이 있다. 랜덤 딤플군은, 특별히 규칙성 없이 딤플(12)을 랜덤하게 배열한 딤플의 집합체이다.
이상, 본 발명의 실시예를 도면에 의해 설명했지만, 구체적인 구성은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서의 변경이나 추가가 있어도 본 발명에 포함된다.
예를 들면, 상기 실시예 1 내지 실시예 4에 있어서, 슬라이딩 부품의 외주측을 고압 유체측(피밀봉 유체측), 내주측을 저압 유체측(누설측)으로 하여 설명하고 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 일 없이, 슬라이딩 부품의 외주측을 저압 유체측(누설측), 내주측을 고압 유체측(피밀봉 유체측)의 경우에도 적용 가능하다.
1 메커니컬 시일
3 회전측 밀봉환
4 하우징
5 고정측 밀봉환
5a 피밀봉 유체측 주연(외주면)
5b 누설측 주연(내주면)
10 영역
11 딤플군
11a 개구부
11c 띠 형상체
11e 지단부
12 딤플
20 영역
21 딤플군
21a 개구부
21c 띠 형상체
21e 지단부
22 딤플군
22b 개구부
22c 띠 형상체
22e 지단부
30 영역
31 딤플군
31a 개구부
31c 띠 형상체
31e 지단부
32 딤플군
32a 개구부
32c 띠 형상체
32e 지단부
41 딤플군
41a 개구부
41b 개구부
41c 띠 형상체
41d 접속부
41e 띠 형상체
50 영역
51 딤플군
51a 개구부
51b 개구부
51c 띠 형상체
51d 띠 형상체
51f 합류부
61 딤플군
61a 개구부
61c 띠 형상체
61d 띠 형상체
61e 지단부
61f 합류부
67c 띠 형상체
71 딤플군
71b 개구부
71c 띠 형상체
71d 띠 형상체
71e 지단부
71f 합류부
80 영역
81 딤플군
81a 개구부
81c 띠 형상체
81e 지단부
91 동압 발생홈
91b 개구부
91c 홈부
91e 지단부
92 동압 발생 기구
100 영역
101 딤플군
101e 지단부
102 섬 형상 홈부
102e 지단부
103 유체 도입부
103a 개구부
103b 개구부
104 동압 발생 기구
111a 개구부
120 슬라이딩 부품
121 딤플군
121a 개구부
121c 띠 형상체
121e 지단부
122 딤플군
122a 개구부
122c 띠 형상체
122e 지단부
123 회전측 밀봉환
123a 피밀봉 유체측 주연(피밀봉 유체측 단면)
123b 누설측 주연(누설측 단면)
124 회전측 밀봉환
125 고정측 밀봉환
141 딤플군
141a 개구부
141c 띠 형상체
141e 지단부
141f 지단부
150 영역
151 딤플군
151a 개구부
151c 띠 형상체
151e 지단부
161 딤플군
161a 개구부
161b 개구부
161c 띠 형상체
171 딤플군
171b 개구부
171c 띠 형상체
171e 지단부
181 딤플군
181a 개구부
191 딤플군
191b 개구부
201 정렬 딤플
201a 서브 딤플군
202 정렬 딤플
202a 서브 딤플군
203 정렬 딤플군
203a 서브 딤플군
204 정렬 딤플
204a 서브 딤플군
205 정렬 딤플
205a 서브 딤플군
251 서브 딤플군
211 딤플군
212 유체 도입부
231 딤플군
241 동압 발생홈
242 동압 발생 기구
250 정렬 딤플군
251 서브 딤플군
260 정렬 딤플군
261 딤플
262 딤플
270 정렬 딤플군
271 삼각 딤플
272 원형 딤플
R 랜드부
S 슬라이딩면
r 지름 방향축

Claims (16)

  1. 서로 상대 슬라이딩하는 슬라이딩면을 갖는 한 쌍의 슬라이딩 부품으로서,
    상기 슬라이딩 부품의 외주측 및 내주측 중, 한쪽은 고압 유체측, 다른 한쪽은 저압 유체측이고,
    적어도 한쪽의 상기 슬라이딩면은, 복수의 딤플로 이루어지는 딤플군을 적어도 하나 구비하고,
    상기 딤플군은 슬라이딩면 내에 배열 형성되고, 상기 고압 유체측 및 상기 저압 유체측의 적어도 한쪽에 연통하는 개구부를 구비하고, 상기 개구부를 제외하고 랜드부에 의해 구획되는 유사 유로이고,
    상기 유사 유로는 직사각형 형상, 만곡한 직사각형 형상, 헤링본 형상 혹은 스파이럴 형상으로 배치한 딤플의 집합체로 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 딤플군은, 상기 고압 유체측의 상기 개구부에 연통하여 둘레 방향으로 연설(延設)되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 딤플군은, 상기 저압 유체측의 상기 개구부에 연통하여 둘레 방향으로 연설되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 딤플군은, 상기 고압 유체측의 상기 개구부에 연통하여 둘레 방향으로 연설되고, 또한, 저압 유체측의 상기 개구부에 연통하여 둘레 방향으로 연설되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  5. 제1항에 있어서,
    한쪽의 상기 슬라이딩면은, 동일한 방향으로 연설되는 한 쌍의 상기 딤플군을 적어도 하나 구비하고,
    한쪽의 상기 딤플군은 상기 고압 유체측에 배열 형성되고, 또한, 상기 고압 유체측의 상기 개구부에 연통하고, 다른 한쪽의 상기 딤플군은 상기 저압 유체측에 배열 형성되고, 또한, 상기 저압 유체측의 상기 개구부에 연통하는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  6. 제5항에 있어서,
    한 쌍의 상기 딤플군은 접속되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  7. 제1항에 있어서,
    한쪽의 상기 슬라이딩면은, 상기 고압 유체측의 상기 개구부로부터 서로 반대 방향으로 연설되는 한 쌍의 상기 딤플군을 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  8. 제1항에 있어서,
    한쪽의 상기 슬라이딩면은, 상기 고압 유체측의 상기 개구부로부터 서로 반대 방향으로 연설되는 한 쌍의 상기 딤플군을 적어도 하나 구비하고,
    한쪽의 상기 딤플군은 상기 고압 유체측에 배열 형성되고, 다른 한쪽의 상기 딤플군은 저압 유체측에 배열 형성되는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  9. 제1항에 있어서,
    한쪽의 상기 슬라이딩면은, 상기 고압 유체측의 상기 개구부에 연통하고 상기 고압 유체측에 배열 형성되는 상기 딤플군과, 상기 저압 유체측의 주연(周緣)에 개구하는 유체 도입홈과, 상기 저압 유체측에 배열 형성되고 상기 유체 도입홈에 연통하고, 또한, 상기 딤플군과 동일한 방향으로 연설되는 동압 발생홈을 갖는 동압 발생 기구를 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  10. 제1항에 있어서,
    한쪽의 상기 슬라이딩면은, 상기 저압 유체측의 주연에 개구하는 적어도 하나의 유체 도입홈과, 상기 유체 도입홈에 연통하고 둘레 방향으로 연설되는 상기 딤플군과, 상기 딤플군 내에 배열 형성되는 섬 형상 홈부를 갖는 동압 발생 기구를 적어도 하나 구비하는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 딤플군은 복수의 상기 딤플을 정렬 배치하여 이루어지는 정렬 딤플군인 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 정렬 딤플군은, 상기 딤플을 소정의 규칙에 기초하여 정렬시킨 서브 딤플군을 소정의 피치로 배치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
  13. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 딤플군은, 복수의 상기 딤플을 랜덤하게 배치하여 이루어지는 랜덤 딤플군인 것을 특징으로 하는 슬라이딩 부품.
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