KR102391335B1

KR102391335B1 - 다양한 기판 두께를 위한 외부 인버터 시스템 및 기판을 회전시키는 방법

Info

Publication number: KR102391335B1
Application number: KR1020177004314A
Authority: KR
Inventors: 데니스 지 도일
Original assignee: 일리노이즈 툴 워크스 인코포레이티드
Priority date: 2014-07-31
Filing date: 2015-05-01
Publication date: 2022-04-26
Also published as: US20160030971A1; JP2017523911A; WO2016018482A1; CN107079612B; EP3175689B1; JP6626089B2; US9662675B2; PL3175689T3; EP3175689A1; KR20170037990A; CN107079612A; ES2778250T3

Abstract

분배기는 프레임, 갠트리 시스템, 분배 유닛, 기판 지지 조립체, 이송 시스템 및 프레임에 커플링되고 이송 시스템과 소통하는 인버터 시스템을 포함한다. 인버터 시스템은 기판 지지 조립체 외부에 위치 설정되고, 기판 배향을 기판의 상부면이 분배 위치에 있는 제1 위치와 기판의 저부면이 분배 위치에 있는 제2 위치 사이에서 회전시키도록 구성된다. 인버터 시스템은 기판의 하나의 에지와 맞물리도록 구성된 제1 피동 조립체와, 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성된 제2 피동 조립체를 포함한다. 제1 피동 조립체와 제2 피동 조립체는 기판의 선형 이동을 구동하도록 구성된다.

Description

다양한 기판 두께를 위한 외부 인버터 시스템 및 기판을 회전시키는 방법{EXTERNAL INVERTER SYSTEM FOR VARIABLE SUBSTRATE THICKNESS AND METHOD FOR ROTATING A SUBSTRATE}

본 발명은 일반적으로, 인쇄 회로 기판에 점성재를 분배하기 위한 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판의 양 측면에 점성재를 분배할 수 있는 분배기에 관한 것이다.

다양한 어플리케이션을 위해, 계량된 양의 액체 또는 페이스트를 분배하는 데 사용되는 여러 타입의 종래 기술의 분배 시스템 또는 분배기가 있다. 그러한 한가지 어플리케이션은 회로 기판에 집적 회로와 다른 전자부품을 조립하는 것이다. 이 어플리케이션에서는, 자동 분배 시스템이 액체 에폭시 또는 솔더 페이스트나 다른 관련 재료의 도트를 회로 기판에 분배하기 위해 사용된다. 자동 분배 시스템은 또한, 전자부품을 회로 기판에 기계적으로 고착시키는 언더필 재료 및 봉지재(encapsulent)의 라인을 분배하기 위해 사용된다. 언더필 재료와 봉지재는 조립체의 기계적 및 환경적 특징을 개선하기 위해 사용된다. 그러한 자동화 분배 시스템은 통상적으로 회로 기판의 단지 한쪽 면에만 분배 가능하다.

도 1은 전체적으로 10으로 나타낸 기지의 분배기를 개략적으로 예시한다. 분배기(10)는 인쇄 회로 기판이나 반도체 웨이퍼와 같은 전자 기판(12)에 점성재(예컨대, 접착제, 봉지재, 에폭시, 솔더 페이스트, 언더필 재료 등) 또는 반점성재(예컨대, 솔더링 플럭스 등)를 분배하는 데 사용된다. 분배기(10)는 대안으로서, 자동차 가스켓팅 재료를 적용하는 등을 위한 다른 어플리케이션에서 또는 소정 의료 어플리케이션에서 사용될 수 있다. 여기에서 사용되는 점성 또는 반점성 재료는 예시적인 것이며, 비제한적인 것으로 의도된다는 점을 이해해야만 한다. 일실시예에서, 분배기(10)는 전체적으로 14 및 16으로 각각 나타낸 제1 및 제2 분배 유닛과, 분배기의 작동을 제어하는 제어기(18)를 포함한다. 2개의 분배 유닛이 도시되어 있지만, 1개 이상의 분배 유닛이 마련될 수 있다는 점을 이해해야만 한다.

분배기(10)는 또한 기판(12)을 지지하는 베이스 또는 지지부(22)를 갖는 프레임(20), 분배 유닛(14, 16)을 지지 및 이동시키기 위해 프레임(20)에 이동 가능하게 커플링되는 분배 유닛 갠트리(24), 및 예컨대 교정 절차의 일환으로서 분배된 점성재의 양을 측정하고 제어기(18)에 중량 데이터를 제공하는 중량 측정기 또는 계량기를 포함할 수 있다. 분배기에 대한 기판의 적하를 제어하기 위해, 컨베이어 시스템(도시하지 않음) 또는 워킹 빔과 같은 다른 이송 기구가 분배기(10)에서 사용될 수 있다. 갠트리(24)는 분배 유닛(14, 16)을 기판 위에서 예정된 위치에 위치 설정하기 위해 제어기(18)의 제어를 받는 모터를 사용하여 이동될 수 있다. 분배기(10)는 오퍼레이터에게 다양한 정보를 표시하기 위해 제어기(18)에 연결된 표시 유닛(28)을 포함할 수 있다. 분배 유닛을 제어하는 선택적 제2 제어기가 마련될 수 있다.

분배 공정을 실시하기 전에 전술한 바와 같이 기판, 예컨대 인쇄 회로 기판이 분배기의 분배 유닛과 정렬되거나, 다른 방식으로 분배기의 분배 유닛과 일치될 수 있다. 분배기는 비전 시스템(30)을 더 포함하며, 비전 시스템은 이 비전 시스템을 지지 및 이동시키기 위해 프레임(20)에 이동 가능하게 커플링되는 비전 시스템 갠트리(32)에 커플링된다. 분배 유닛 갠트리(24)와 별도로 도시하지는 않았지만, 비전 시스템 갠트리(32)는 분배 유닛(14, 16)과 동일한 갠트리 시스템을 활용할 수 있다. 설명한 바와 같이, 비전 시스템(30)은 기판 상의 기점이나 다른 피쳐 및 구성요소로서 알려진 랜드 마크의 위치를 확인하기 위해 채용된다. 일단 전자 기판이 배치되고 나면, 제어기는 전자 기판에 재료를 분배하기 위해 분배 유닛(14, 16)들 중 어느 하나 또는 양자 모두의 이동을 조작하도록 프로그래밍될 수 있다. 분배 공정은 제어기(18)에 의해 제어될 수 있으며, 제어기는 재료 분배기를 제어하도록 구성된 컴퓨터 시스템을 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 제어기(18)는 오퍼레이터에 의해 조작될 수 있다.

몇몇 실시예에서, 분배기(10)는 다음과 같이 작동될 수 있다. 회로 기판은 컨베이어 시스템을 사용하여 분배기(10) 내의 성막 위치로 적재될 수 있다. 회로 기판은 비전 시스템(30)을 사용하는 것에 의해 분배 유닛(14, 16)과 정렬된다. 그 후, 분배 유닛(14, 16)은 제어기(18)에 의해, 회로 기판 상의 정확한 위치에 재료를 성막하는 성막 공정을 실시하도록 개시될 수 있다. 일단 분배 유닛(14, 16)이 성막 공정을 실시하고 나면, 회로 기판은 후속하는 제2 회로 기판이 재료 성막 시스템 내로 적재될 수 있도록 컨베이어 시스템에 의해 분배기(10)로부터 이송될 수 있다. 분배 유닛(14, 16)은 신속히 분리되어 다른 유닛으로 교체되도록 구성될 수 있다. 분배기(10)는 회로 기판의 단지 한쪽 측면에만 재료를 분배할 수 있다.

이따금, 회로 기판의 양면에 상기한 재료를 분배할 것이 요망된다. 그러한 한가지 분배기는 대한민국 인천에 소재하는 Protec Co., Ltd에 의해 제공되며, 기판이 분배기를 통해 이동하는 방향을 가로지르는 축을 중심으로 회전하는 기판 지지부를 포함한다. 이러한 분배기의 경우, 기판의 에지와 맞물리는 벨트가 기판을 분배기를 통과하도록 이동시킨다. 이러한 구성의 경우, 기판의 에지 근처에 재료를 분배하려고 할 때에 벨트가 분배 유닛을 방해하기 때문에 기판의 에지 근처에 재료를 분배하기 어렵다.

기판의 양면에 재료를 성막하기 위해 기판을 뒤집을 수 있는 다른 분배기의 예가, 2013년 11월 14일자로 출원된 Dennis G. Doyle 및 Thomas E. Robinson 명의의, 발명이 명칭이 “기판 인버터 시스템 및 클램핑 시스템을 구비하는 분배 장치 및 기판에 점성재를 분배하는 방법(DISPENSING APPARATUS HAVING SUBSTRATE INVERTER SYSTEM AND CLAMPING SYSTEM, AND METHOD FOR DISPENSING A VISCOUS MATERIAL ON A SUBSTRATE)”인 미국 특허 출원 제14/080,169호(관리 번호 제C2013-731719호), 2013년 11월 14일자로 출원된 Dennis G. Doyle 명의의, 발명의 명칭이 “기판 인버터 시스템 및 롤러 시스템을 구비하는 분배 장치 및 기판에 점성재를 분배하는 방법(DISPENSING APPARATUS HAVING SUBSTRATE INVERTER SYSTEM AND ROLLER SYSTEM, AND METHOD FOR DISPENSING A VISCOUS MATERIAL ON A SUBSTRATE)”인 미국 특허 출원 제14/080,345호(관리 번호 제C2013-731819호) 및 2013년 11월 14일자로 출원된 Dennis G. Doyle 및 Thomas E. Robinson 명의의, 발명의 명칭이 “이송 시스템을 구비하는 분배 장치 및 분배 장치 내에서 기판을 이송하는 방법(DISPENSING APPARATUS HAVING TRANSPORT SYSTEM AND METHOD FOR TRANSPORTING A SUBSTRATE WITHIN THE DISPENSING APPARATUS)”인 미국 특허 출원 제14/080,174호(관리 번호 제C2013-731919호)에 개시되어 있다. 이들 특허 출원 모두는 본 개시의 양수인 소유이며, 모든 목적으로 참조에 의해 본 명세서에 포함된다.

본 개시의 일양태는 상부면과 저부면을 갖는 기판에 점성재를 분배하는 분배기에 관한 것이다. 일실시예에서, 분배기는 프레임, 프레임에 커플링되는 갠트리 시스템 및 갠트리 시스템에 커플링되는 분배 유닛을 포함한다. 갠트리 시스템은 x축, y축 및 z축 방향으로 분배 유닛을 이동시키도록 구성된다. 분배기는, 프레임에 커플링되고, 기판의 상부면과 기판의 저부면에 재료를 분배하는 분배 위치에서 기판을 지지하도록 구성된 기판 지지 조립체와, 프레임에 커플링되고, 기판 지지 조립체 내외로 기판을 이송하도록 구성되는 이송 시스템을 더 포함한다. 분배기는 프레임에 커플링되고 이송 시스템과 소통되는 인버터 시스템을 더 포함한다. 인버터 시스템은 기판 지지 조립체 외측에 위치 설정되고, 기판 배향을 기판의 상부면이 상향하는 제1 위치와 기판의 저부면이 상향하는 제2 위치 사이에서 회전시키도록 구성된다. 인버터 시스템은 기판의 하나의 에지와 맞물리도록 구성된 제1 피동 조립체와, 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성된 제2 피동 조립체를 포함한다. 제1 피동 조립체와 제2 피동 조립체는 기판의 선형 이동을 구동하도록 구성된다.

분배기의 실시예는 제1 롤러 조립체를 구비하는 인버터 시스템의 제1 피동 조립체를 더 포함할 수 있고, 인버터 시스템의 제2 피동 조립체는 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성되는 제2 롤러 조립체를 포함한다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 지지 구조체, 지지 구조체에 커플링되고 기판의 상부 에지와 기판의 저부 에지 중 어느 하나에 맞물리도록 구성된 복수 개의 롤러, 및 지지 구조체에 커플링되고 롤러의 회전을 구동하도록 구성되는 롤러 구동 조립체를 포함할 수 있다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 롤러 조립체의 지지 구조체에 연결되는 피봇 조립체를 포함할 수 있다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각의 롤러는, 각각 각각의 롤러와 연관되는 복수 개의 기어를 포함할 수 있다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 지지 구조체에 커플링되고, 기판의 상부 에지와 기판의 저부 에지 중 다른 하나와 맞물리도록 구성되는 벨트 구동 조립체를 더 포함할 수 있다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 롤러 조립체의 지지 구조체에 연결되는 피봇 조립체를 포함할 수 있다. 피봇 조립체는 지지 구조체에 고정되는 피봇부와, 지지 구조체와 롤러를 회전시키는 피봇부를 회전시키는 회전 구동 조립체를 포함할 수 있다. 회전 구동 조립체는 피봇부에 커플링되는 벨트와 피봇부를 회전시키기 위해 벨트를 구동하도록 구성되는 모터를 포함할 수 있다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각의 롤러는, 각각 각각의 롤러와 연관되는 복수 개의 기어를 포함할 수 있다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각의 롤러 구동 조립체는 복수 개의 기어 중 하나의 기어의 구동 기어에 커플링될 수 있다. 롤러 구동 조립체는 구동 기어에 커플링되는 벨트와, 구동 기어를 회전시키기 위해 벨트를 구동하도록 구성되는 모터를 포함할 수 있다. 지지 구조체는 복수 개의 롤러와 연관된 제1 지지 부재와, 벨트 구동 조립체와 연관된 제2 지지 부재를 포함할 수 있으며, 이때 제1 지지 부재는 제2 지지 부재에 대해 상향 및 하향 이동하도록 구성된다. 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 제2 지지 부재에 대해 제1 지지 부재를 이동시키도록 구성된 캠 기구를 더 포함할 수 있다. 프레임은 이송 시스템의 유출부측 상에 배치되고 인버터 시스템을 지지하도록 구성된 선반을 포함할 수 있다. 기판 지지 조립체는 2개의 래인, 즉 전방 래인과 후방 래인을 포함할 수 있으며, 이송 시스템은 분배기의 전방 래인과 후방 래인으로 기판을 전달하도록 구성된다. 인버터 시스템은 레일을 따라 전방 래인과 후방 래인 사이에서 이동하도록 구성될 수 있다.

본 개시의 다른 양태는 기판의 상부면과 기판의 저부면에 재료를 성막하는 기판 성막 방법에 관한 것이다. 일실시예에서, 상기 방법은 제1 래인을 통해 분배기의 기판 지지 조립체로 기판을 전달하는 단계; 기판의 상부면에 대해 분배 공정을 실행하는 단계; 분배기와 연관된 인버터 시스템으로 기판을 이동시키는 단계; 기판의 저부면이 상향하도록 기판을 회전시키는 단계; 기판을 기판 지지 조립체로 다시 이동시키는 단계; 기판의 저부면에 대해 분배 공정을 실행하는 단계; 분배기의 기판 지지 조립체로부터 기판을 제거하는 단계; 및 제2 래인을 통해 다른 기판을 분배기의 기판 지지 조립체로 전달하는 단계를 포함한다.

상기 방법의 실시예는, 기판을 회전시켜 제1 래인과 제2 래인 중 어느 하나로 재삽입되도록 하기 위해 제1 래인과 제2 래인 사이에서 기판을 회전시키도록 구성되는 인버터 시스템을 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다. 상기 방법은 기판을 회전시키기 전에 롤러 조립체로 기판을 클램핑하는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 개시의 보다 양호한 이해를 위해, 참조에 의해 여기에 포함되는 도면을 참고로 한다.
도 1은 종래 기술의 분배기의 개략도이고,
도 2는 분배기의 내부를 드러내도록 분배기의 커버가 개방 위치에 있는 상태인, 본 개시의 실시예의 분배기의 사시도이며,
도 3은 본 개시의 실시예의 외부 인버터 시스템을 갖는 분배기의 확대 상부 사시도이고,
도 4는 외부 인버터 시스템의 확대 사시도이며,
도 5는 외부 인버터 시스템의 일부의 확대 사시도이고,
도 6은 외부 인버터 시스템의 다른 부분의 다른 확대 사시도이다.

단지 예시를 목적으로, 그리고 일반성을 제한하지 않으면서, 이제 첨부도면을 참고로 하여 본 개시를 상세히 설명하겠다. 본 개시는 그 용례에 있어서 아래의 설명에 기술되고 도면에 예시된 구성요소들의 구성 및 배치의 상세로 제한되지 않는다. 본 개시는 다른 실시예도 가능하고 다양한 방식으로 실시 또는 시행 가능하다. 또한, 여기에서 사용되는 구문 또는 용어는 설명을 목적으로 하는 것이지, 제한으로서 간주되어서는 안 된다. 여기에서 “포함하는”, “...으로 구성되는”, “갖는”, “구비하는”, “수반하는” 및 이들 용어의 파생어의 사용은 후속하여 열거되는 항목과 등가물 및 추가의 항목을 망라하는 것을 의미한다.

아래에서는 예시를 목적으로, 회로 기판에 솔더 페이스트를 분배하는 데 사용되는 분배기를 참고로 하여, 본 개시의 실시예가 설명된다. 장치 및 관련 방법은 또한, 풀, 접착제 및 봉지재와 같은 재료를 다양한 기판에 분배할 것을 요구하는 다른 어플리케이션에서 사용될 수 있다. 예컨대, 장치는 칩-스케일 패키지(chip-scale package)를 위한 언더필로서 사용하기 위해 에폭시를 분배하는 데 사용될 수 있다. 소정 실시예에서, 분배 유닛은 미국 매사추세츠주 플랭클린에 소재하는 Speedline Technologies, Inc.에 의해 제공되는 타입일 수 있다.

본 개시는 기판의 양면에 재료를 성막하기 위해 기판을 뒤집는 인버터 시스템에 관한 것이다. 구체적으로는, 인버터 시스템은 분배기와 관련되며, 분배 구역 외부에 놓인다. 일례에서, 기판의 상부면이 완성될 때(즉, 분배기에 의해 분배될 때), 기판은 분배기에서 인버터 시스템으로 빠져나가며, 인버터 시스템은 기판을 뒤집고, 기판의 저부측 상에 분배하기 위해 기판을 분배기로 다시 전달한다. 본 개시의 인버터 시스템은 광범위한 기판 두께를 갖는 기판을 뒤집을 수 있다. 소정 실시예에서, 인버터 시스템은, 상부측과 저부측 양자 모두에 대해서 3 mm의 구성요소 에지 클리어런스를 두고 두께가 0.5 mm 내지 5 mm 범위인 기판을 뒤집을 수 있다. 이러한 범위의 기판에 대해서는 어떠한 수동 조정 또는 자동 조정도 허용되지 않는다. 인버터 시스템의 목적은, 분배기가 특정 기판 두께에 대해 특별히 설계될 필요 없이 다양한 고객 어플리케이션을 수용하도록 하는 것이다.

분배기에 내장되는 종래 기술의 인버터의 경우, 기판은 2개의 오링 벨트 또는 하나의 플랫 벨트와 다수의 O링 아이들러 풀리에 의해 고정된다. 이러한 인버터는 제한된 범위의 두께만을 수용할 수 있는데, 그 이유는 기판을 구동하기 위한 벨트 견인력을 유지하기 위해 최소 핀칭력이 달성되어야만 하기 때문이다.

본 개시의 실시예의 인버터 시스템은, 광범위한 기판 두께를 수용할 수 있는 벨트/롤러 클램프 구성을 활용한다. 개방 상태에서, 벨트 구동 트래인과 롤러 구동 트레인 사이의 인버터 시스템의 클램프 간극은 5 mm이다. 인버터 시스템의 피봇부의 중심점은, 클램프에서 센터링된 벨트에서 2.5 mm 위에 있다. 벨트와 롤러 양자 모두는 동일한 모터에 의해 구동되기 때문에, 동기식으로 작동한다.

기판은 표준 벨트 구동부를 사용하여 인버터 시스템 내로 구동된다. 일단 기판이 인버터 시스템 내부로 들어오면, 공기 실린더가 활성화되는데, 공기 실린더는 벨트가 기판이 180도 회전하는 동안에 미끄러지는 것을 방지할 수 있도록 기판을 벨트에 클램핑하기 위해 캠을 사용하여 롤러를 기판에 대해 하강시킨다. 인버터 시스템이 회전한 후, 공기 실린더는 비활성화되어 롤러 구동 트래인과 기판 모두를 분배기로 다시 전달하기 위한 이송 높이로 하강시킨다. 그 후, 롤러는 저부측에 분배하기 위해 기판을 다시 분배기 내로 구동한다. 그 다음에, 인버터 시스템은 그 원래 배향으로 다시 180도 회전하여, 기판이 기계를 빠져나가기를 대기한 다음, 공정 자체가 반복되도록 한다.

본 개시는 분배 구역 외부에 마련되는 인버터 시스템을 구비하는 기판 지지 조립체를 포함하는 분배기에 관한 것이며, 인버터 시스템은 기판의 에지 근처에 재료를 분배할 때에 분배 유닛을 방해하는 일 없이 기판과 맞물리도록 구성된다. 여기에 개시된 분배기는 기판을 뒤집을 수 있고, 이에 따라 분배 유닛이 기판의 양측면에 재료를 분배하게 한다.

도면을 참고하면, 보다 구체적으로는 도 2 및 도 3을 참고하면, 본 개시의 실시예의 분배기 - 전체적으로 50으로 나타냄 - 는 기판의 양측면에 재료를 분배하도록 구성된다. 기판은 도면 전반에 걸쳐 12로 나타내고, 기판의 상부면은 12a로, 기판의 저부면은 12b로 나타낸다. 분배기(10)와 같이, 본 개시의 실시예의 분배기(50)는 전자 기판에 점성재(예컨대, 접착제, 봉지재, 에폭시, 솔더 페이스트, 언더필 재료 등) 또는 반점성재(예컨대, 솔더링 플럭스 등)를 분배하는 데 사용된다. 전자 기판(12)은 인쇄 회로 기판, 반도체 웨이퍼, 또는 점성재가 분배될 수 있는 다른 타입의 기판을 구현할 수 있다.

도시한 바와 같이, 분배기(50)는 시스템 및 분배기의 구성요소를 지지하는 프레임(52)을 포함한다. 프레임(52)은 도 2에서 개방 위치에 있는 것으로 도시되고 분배기(50)에 내부에 접근하게 하는 접근 도어(54)를 포함한다. 분배기(50)는 전체적으로 56으로 나타내는 이송 시스템을 더 포함하며, 이송 시스템은 분배기 내외로 기판(12)을 왕복시킨다. 일실시예에서, 이송 시스템(56)은 당업계에 알려져 있는 바와 같이 프레임에 의해 지지되는 롤러 조립체를 포함하며, 롤러 조립체는 분배기(50) 내외로 기판을 전달하도록 위치 설정된다. 구체적으로, 이송 시스템(56)의 롤러 조립체는 기판(12)의 에지와 맞물리고, 분배기를 통과하는 기판의 이동을 구동시키도록 구성된다.

도 3을 더 참고하면, 분배기(50)는 전체적으로 58로 나타내고, 분배 공정 동안에 기판(12)을 지지하도록 구성된 기판 지지 조립체를 더 포함한다. 도시한 바와 같이, 기판 지지 조립체(58)가 함께 작동하고, 몇몇 실시예에서 기판 지지 조립체는 분배기(50)에 마련되는 2개의 래인(60, 62) 중 어느 하나의 래인에서 기판 지지 조립체에 전달되는 기판(12)을 지지하는 이송 시스템(56)의 일부이다. 기판 지지 조립체(58)는 분배 공정 이전에 그리고 분배 공정 동안에 기판(12)을 정렬하고 지지하도록 구성된다. 일단 분배 공정이 일어나면, 다른 기판이 기판 지지 조립체로 전달될 수 있도록 이송 조립체(56)는 기판 지지 조립체(58)로부터 기판(12)을 제거한다.

분배기(50)는 갠트리 시스템(66)에 의해 프레임(52)에 연결되는 적어도 하나의 분배 유닛(64)을 더 포함한다. 1개보다 많은 분배 유닛(64)이 마련될 수 있다는 점을 이해해야만 한다. 분배기(50)는 분배기의 공정을 제어하는, 제어기(18)와 같은 제어기를 더 포함한다. 분배기(50)는 또한 기판(12)을 정렬 및 검사하기 위해 비전 시스템(30)과 같은 비전 시스템을 포함할 수 있으며, 비전 시스템은 기판을 적절히 정렬하고 검사하기 위해 제어기와 함께 작동한다. 분배기는, 예컨대 교정 절차의 일환으로서 분배된 점성재의 양을 계량하고, 제어기에 중량 데이터를 제공하기 위해 계량기(26)와 같은 계량기를 포함할 수 있다.

일실시예에서, 갠트리 시스템(66)은 분배 유닛(64)을 기판 위에서 예정된 위치에 위치 설정하기 위해 제어기의 제어를 받는 모터를 사용하여 이동될 수 있다. 일실시예에서, 기판(12)은 이송 시스템(56)에 의해 분배기(50) 내로 기판 지지 조립체(58) 상에 적재된다. 기판(12)은 비전 시스템을 사용하는 것에 의해 분배 유닛(64)과 정렬된다. 그 후, 분배 유닛(64)은 제어기(18)에 의해, 기판(12) 상의 정확한 위치에 재료를 성막하는 성막 공정을 실행하도록 개시된다. 일단 분배 유닛(64)이 분배 성막 공정을 실행하고 나면, 후속하는 제2 기판(12)이 분배기 내로 동일한 전방 래인(60)이나 후방 래인(62) 상에 적재되도록, 기판은 분배기 이송 시스템(56)에 의해 분배기(50)로부터 이송된다. 아래에서 설명하겠지만, 본 개시의 분배기(50)는 기판(12)의 양측면에 재료를 분배할 수 있다.

지금까지 설명된 분배기(50)는 종래의 기지의 분배 시스템과 매우 유사하다. 한가지 차이점은, 분배기(50)가 2개의 래인을 포함하는데, 이 래인을 통해 분배 공정을 개시하기 위해 이송 시스템(56)이 기판(12)을 분배기를 통과하도록 전달한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 전방 래인(60)은 분배기(50)의 전방에 인접하게 위치 설정되고, 후방 래인(62)은 분배기 후방에 인접하게 위치 설정된다. 2개 래인의 준비는 분배기(50)를 통한 기판(12)의 처리량을 증가시킨다. 이송 시스템(56)은 전방 래인(60)과 후방 래인(62) 양자를 통해 기판을 이송하도록 구성된다. 상기 구성은, 각각의 시스템이, 분배기 내외로 기판(12)을 이동시키고 기판 상에 재료를 분배하는 다른 시스템의 하위조립체 및 분배기(50)의 다른 구성요소와 상호 작용하는 하위 조립체를 포함하도록 되어 있다. 분배기(50)와 연관된 제어기는 분배기의 시스템의 작동을 제어하도록 구성된다. 일실시예에서, 제어기는 분배기(10)의 제어기(18)와 유사하고, 이 제어기(18)의 기능을 제공한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 분배기는 전체적으로 70으로 나타내는 인버터 시스템을 더 포함하며, 인버터 시스템은 프레임(52)에 커플링되고 이송 시스템(56)과 소통된다. 일실시예에서, 인버터 시스템(70)은 기판 지지 조립체(58) 외측에 위치 설정되고, 기판 배향을 기판의 상부면(12a)이 상향하는 제1 위치와 기판의 저부면(12b)이 상향하는 제2 위치 사이에서 회전시키도록 구성된다. 소정 실시예에서, 프레임(52)은 이송 시스템(56)의 유출부측 상에 배치되 선반(72)을 포함한다. 선반(72)은 인버터 시스템(70)을 지지하도록 그리고 제어기를 통해 인버터 시스템(70)의 작동을 제어하고 인버터 시스템에 전력을 제공하도록 구성된다.

인버터 시스템(70)은, 인버터 시스템에 커플링되는 한 쌍의 레일(74, 76)을 포함하는 이동 기구에 의해 선반(72) 상에서 전방 래인(60)과 후방 래인(62) 사이에서 이동하도록 구성된다. 이동 기구는 또한 레일(74, 76) 상에서 인버터 시스템(70)을 이동시키는 볼 스크루 구동부를 구현할 수 있다. 상기 구성은, 기판의 양측면(12a, 12b) 상에 분배할 것이 요구되는 경우에 전방 래인(60)과 후방 래인(62) 모두로 전달되는 기판(12)을 뒤집기 위해 인버터 시스템(70)이 전방 래인(60)과 후방 래인(62) 사이에서 이동하도록 되어 있다. 상세하게는, 인버터 시스템(70)은, 기판(12)의 저부면(12b)이 상향하여, 분배 유닛(64)이 저부면 상에 재료를 분배할 수 있도록 기판을 회전시킬 수 있다. 소정 실시예에서, 기판(12)의 최대 크기는 대략 10 인치 바이 10인치이다. 이에 따라, 10 인치 바이 10 인치의 길이 및 폭을 갖는 기판(12)에 있어서, 기판의 회전 경로는 폭 10 인치 및 길이 10 인치일 것이다.

도 4를 참고하면, 인버터 시스템(70)은, 인버터 시스템의 작동 구성요소를 지지하도록 구성된 프레임 조립체를 포함한다. 프레임 조립체는 일측부에 마련되는 제1 지지체(78)와 다른 측부에 마련되는 상보적인 제2 지지체(80)를 포함한다. 제1 및 제2 지지체(78, 80)는, 인버터 시스템(70)의 구성요소를 지지할 수 있는, 강 또는 알루미늄 합금과 같은 임의의 적절한 재료로 제조될 수 있다. 제1 지지체(78)와 제2 지지체(80) 각각은 구성이 거의 동일할 수 있다.

일실시예에서, 제1 지지체는 제1 베이스부(82)와, 제1 베이스부로부터 상향 연장되는 제1 지지대부(84)를 포함한다. 도시한 바와 같이, 제1 베이스부(82)는, 제1 지지체(78)에 구조적 지지를 제공하고 각각 86으로 나타내는 한 쌍의 웹부를 포함한다. 제1 지지체(78)의 제1 베이스부(82)는, 선반(72) 상에 마련된 레일(74, 76)을 따른 제1 지지체의 이동을 안내하고 각각 88로 나타내는 한 쌍의 안내부를 더 포함한다. 이와 유사하게, 제2 지지체(80)는 제2 베이스부와, 제2 베이스부로부터 상향 연장되는 제2 지지대부(92)를 포함한다. 도시하지는 않았지만, 제2 지지체(80)도 또한 이 제2 지지체에 구조적 지지를 제공하는 웹부를 포함한다. 제2 지지체(80)의 제2 베이스부(90)는, 레일(74, 76)을 따른 제1 지지체의 이동을 안내하고 각각 94로 나타내는 한 쌍의 안내부를 더 포함한다.

상기 구성은, 이동 기구가 인버터 시스템(70)을 전방 래인(60)과 후방 래인(62) 사이에서 레일(74, 76)을 따라 전후방으로 이동시키도록 구성되어, 전방 래인과 후방 래인 상에서 각각 인버터 시스템으로 전달되는 기판을 뒤집게 하도록 되어 있다. 추가로, 제1 지지체(78)와 제2 지지체(80)는 다양한 폭을 갖는 기판을 수용하기 위해 적절한 구동 조립체에 의해 서로에 대해 이동 가능할 수 있다. 소정 실시예에서, 제1 지지체(78)와 제2 지지체(80)의 이동은, 제1 지지대부(84)와 제2 지지대부(92) 사이에서 연장되는 한 쌍의 볼 스크루 구동 조립체에 의해 달성될 수 있다. 상기 구성은, 기판 폭을 조정하기 위해 하나의 모터가 제1 지지대부(84) 상에 장착되고, 볼 너트가 제2 지지체(80) 상에 장착되는 것이다. 다른 볼 스크루는 장착부에 의해 선반(72) 상에 고정된다. 이러한 볼 스크루는 제1 베이스부(82)에 마련된 볼 너트와 맞물리고, 전체 조립체를 전방 래인과 후방 래인 사이에서 이동시키기 위해 사용된다.

인버터 시스템(70)은, 제1 지지체(78)에 의해 지지되고, 기판(12)의 하나의 에지와 맞물리도록 구성되며, 전체적으로 96으로 나타내는 제1 롤러 조립체와, 제2 지지체(80)에 의해 지지되고 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성되며, 전체적으로 98로 나타내는 제2 롤러 조립체를 더 포함한다. 롤러 조립체(96, 98)는 역전 공정 동안에 기판(12)의 각각의 에지를 파지하도록 구성되며, 이송 시스템(56)의 지원에 의해 기판을 다시 기판 지지 조립체(58) 상에서의 분배 위치로 이동시킬 수 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 롤러 조립체(96)와 제2 롤러 조립체(98)는 이송 시스템(56)의 높이와 동일한 높이에 위치 설정된다. 이에 따라, 선반(72)은 이송 시스템(56)의 높이 아래에 위치 설정된다. 롤러 조립체(96, 98)는 또한 최대 5 mm 두께의 다양한 두께를 갖는 기판(12)을 수용하도록 구성된다. 아래에서 설명하겠지만, 롤러 조립체(96, 98)는 기판(12)을 동시에 동일한 속력으로 회전시키도록 서로 동기화된다.

도 5를 추가로 참고하면, 제1 롤러 조립체(96)와 제2 롤러 조립체(98) 각각은 동일하게 구성된다. 설명의 용이를 위해, 제1 롤러 조립체(96)의 구성부품과 조립을 상세히 설명할 것이며, 제2 롤러 조립체(98)는 거의 동일함을 이해해야만 한다. 일실시예에서, 제1 롤러 조립체(96)는, 제1 지지체(78)의 지지대부(84)에 피봇 가능하게 연결되고, 전체적으로 100으로 나타내는 긴 지지 구조체를 포함한다. 제1 롤러 조립체는, 지지 구조체의 내측부 상에 그리고 지지 구조체의 길이를 따라 지지 구조체(100)에 커플링되고, 각각 102로 나타내는 복수 개(예컨대, 11개)의 롤러를 더 포함한다. 롤러(102)는 기판의 상부 에지(12)와 맞물리도록 구성된다. 롤러(102)는 인버터 시스템(70) 내외로 기판(12)을 이동시키기 위해 지지 구조체(100)에 커플링되는 구동 조립체에 의해 구동된다.

소정 실시예에서, 제1 롤러 조립체(96)는 각각 104로 나타내는 복수 개의 기어를 더 포함하며, 각각의 기어는 각각의 롤러(102)와 관련된다. 도시한 바와 같이, 각각의 롤러(102)와 기어(104)는 기어가 회전될 때에 롤러가 회전하도록 샤프트(106)의 양 단부에 고정된다. 샤프트(106)는 베어링에 의해 지지 구조체(100)에 적절하게 고정된다. 각각 108로 나타내는 아이들러 기어가 각각의 기어(104)들 사이에 마련되어 이들 기어와 맞물린다. 롤러(102)는 롤러 구동 조립체에 의해 기어(104)에 의해 구동된다. 구체적으로, 기어(104)들 중 하나는 구동 기어로서 마련되고, 샤프트(106)의 외측 단부 상에 장착되는 풀리(110)를 갖는다. 롤러 구동 조립체는 구동 기어(104)의 풀리(110)에 커플링되는 벨트(112)와, 구동 기어를 회전시키기 위해 벨트를 구동하도록 구성되는 모터(114)를 포함한다. 모터(114)는 제어기의 제어 하에서 작동된다. 소정 실시예에서, 인버터 시스템(70)은 제어기와 함께 작동하는 내장형 프로세서 또는 제어기를 가질 수 있다. 도시한 바와 같이, 롤러 구동 조립체는 벨트(112)의 인장을 조정하기 위해 아이들러 업 풀리(116)를 더 포함한다. 제1 롤러 조립체(96)와 제2 롤러 조립체(98)의 롤러 구동 조립체는 인버터 시스템(70) 내외로의 기판의 이동을 구동하기 위해 서로 동기화된다. 모터는 동일한 제어기에 함께 연결되고, 양 방향으로 작동하여, 벨트와 롤러가 기판의 양쪽 에지를 사용하고 벨트와 롤러 양자 모두를 동시에 구동하여 기판을 동일한 속도로 이동시키도록 함께 작동한다.

제1 롤러 조립체(96)는, 지지 구조체의 내측부 상에 그리고 지지 구조체의 길이를 따라 지지 구조체(100)에 커플링되는 벨트 구동 조립체를 더 포함한다. 일실시예에서, 벨트 구동 조립체는 지지 구조체(100) 상에서 롤러(102)와 그 각각의 기어(104) 아래에 위치 설정되고, 각각 118로 나타내는 4개의 풀리와, 풀리 상에 마련되는 벨트(120)를 포함한다. 구동 풀리(122)는 제1 롤러 조립체(96)를 작동시킬 때에 벨트(120)의 회전을 구동하기 위해 마련된다. 상기 구성은, 모터(114)의 활성화 시에 풀리(110)가 벨트(112)에 의해 구동되고, 구동 풀리(122)가 롤러(102)의 회전과 동일하거나 거의 동일한 속도로 벨트(120)를 회전시키도록 구동하게 되어 있다. 인버터 시스템(70)의 다른 구성요소와 같이, 제1 롤러 조립체(96)의 작동은 제어기 또는 인버터 시스템과 연관된 프로세서 또는 제어기에 의해 제어된다.

일실시예에서, 제1 롤러 조립체(96)는 제1 롤러 조립체의 지지 구조체(100)에 피봇 가능하게 고정되는 피봇 조립체를 더 포함한다. 피봇 조립체는 역전 프로세스를 실시할 때에 인버터 시스템(70)에 의한 기판(12)의 회전을 제어하도록 구성된다. 피봇 조립체는, 적절한 베어링에 의해 제1 지지체(78)의 제1 지지대부(84)에 회전 가능하게 고정되는 피봇 부재(124)를 포함한다. 피봇 부재(124)는 브라켓(126)에 의해 지지 구조체(100)에 연결되는 일단부를 갖는다. 피봇 조립체는 피봇 부재를 회전시키기 위해 피봇 부재(124)의 타단부에 마련되는 풀리(128)에 연결되는 회전 구동 조립체를 더 포함한다. 피봇 부재(124)의 회전은 지지 구조체(100)와 롤러(102) 및 기어(104)의 회전을 유발하여 기판을 180도로 회전시킨다. 특정 실시예에서, 회전 구동 조립체는 피봇 부재(124)에 커플링되는 벨트(130)와, 피봇 부재를 회전시키도록 벨트(130)를 구동하게 구성되는 모터(132)를 포함한다. 회전 구동 조립체는 역전 프로세스 동안에 기판을 회전시키기 위해 제어기[또는 인버터 시스템(70)과 연관된 프로세서 또는 컨트롤러]의 제어 하에서 작동한다. 2개의 조립체 모두는, 도 4에 예시한 모터(132) 상의 스플라인 샤프트(152)에 의해 제어되어 함께 회전한다.

도 6을 더 참고하면, 제1 롤러 조립체(96)는 다양한 두께를 갖는 기판(12)을 파지하도록 구성되어야만 한다. 이러한 목적을 달성하기 위해, 지지 구조체(100)는 롤러(102) 및 기어(104)와 연관된 제1 지지 부재(134)와, 벨트 구동 조립체와 연관된 제2 지지 부재(136)를 포함한다. 도시한 바와 같이, 제1 지지 부재(134)는 제2 지지 부재(136) 내에 마련된 긴 슬롯(138) 내에서 제2 지지 부재에 대해 상향 및 하향 이동하도록 긴 슬롯(138) 내에서 이동한다. 앞서 언급한 바와 같이, 각각의 롤러(102) 및 기어(104) 조합체가 샤프트(106) 상에 장착되고, 샤프트는 롤러 및 기어의 회전을 가능하게 하도록 베어링에 의해 제1 지지 부재(134)에 고정된다.

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이 롤러(102)는 제2 지지 부재(136)와 기어(104)의 내벽에 형성된 슬롯(140)을 통과해 연장되고, 베어링 시스템에 의해 제1 지지 부재(134) 상에 강건하게 장착된다. 이에 따라, 제1 지지 부재(134)는 제2 지지 부재(136)의 긴 슬롯(138) 내에서 상향 및 하향 이동되고, 롤러(102)와 기어(104)는 이에 대응하게 제2 지지 부재에 대해 이동된다.

제1 지지 부재(134)를 제2 지지 부재(136)에 대해 이동시키기 위해 캠 기구가 마련된다. 캠 기구는 제2 지지 부재(136)의 외벽에 장착된 공기 실린더(144)를 포함한다. 도 6에 도시한 바와 같이, 공기 실린더(144)는 캠 부재(148)에 커플링된 파워 바(146)를 포함하며, 캠 부재는 제1 지지 부재(134)에 장착된 관련 캠(150) 내에서 움직인다. 공기 실린더(144)를 사용하여 파워 바(146)를 연장시키는 것에 의해[즉, 파워 바에 의해 캠 부재(148)를 공기 실린더로부터 멀어지게 이동시키는 것에 의해], 캠 부재는 캠과 제1 지지 부재(134)를 긴 슬롯(138) 내에서 제2 지지 부재에 대하여 상향으로 이동시킨다. 이러한 이동은 두께가 두꺼운 기판을 수용하도록 롤러(102)[및 기어(104)]와 벨트 구동 조립체[벨트(130)] 사이의 갭을 확장시킨다. 반대로, 공기 실린더(144)를 사용하여 파워 바(146)를 후퇴시키는 것에 의해[즉, 파워 바에 의해 캠 부재(148)를 공기 실린더를 향해 이동시키는 것에 의해], 캠 부재는 캠(150)과 제1 지지 부재(134)를 긴 슬롯(138) 내에서 제2 지지 부재에 대하여 하향으로 이동시킨다. 이러한 이동은 기판을 회전을 위한 위치에 클램핑하도록 롤러(102)[및 기어(104)]와 벨트 구동 조립체[벨트(130)] 사이의 갭을 좁힌다. 일실시예에서, 캠 기구는 제어기에 의해 또는 인버터 시스템(70)과 연관된 프로세서나 제어기에 의해 제어된다.

이에 따라, 본 개시의 실시예의 인버터 시스템(70)은, 광범위한 기판 두께를 수용할 수 있다. 개방 상태에서, 롤러 구동 조립체의 롤러(102)와 벨트 구동 조립체의 벨트(120) 사이의 인버터 시스템(70)의 간극은 5 mm이다. 인버터 시스템(70)에 있는 피봇 부재(124)의 중심점은, 개방 상태의 제1 롤러 조립체(96) 내에 센터링된 벨트 구동 조립체의 벨트보다 2.5 mm 높을 수 있다. 롤러 구동 조립체의 롤러(102)와 벨트 구동 조립체의 벨트(120) 모두는 동일한 모터에 의해 구동되고, 이에 따라 동기식으로 작동한다.

도 4에 도시한 바와 같이, 제1 롤러 조립체(96)와 제2 롤러 조립체(98)의 회전은 스플라인형 구동 샤프트(152)에 의해 동기화되며, 스플라인형 구동 샤프트는 모터(132)에 의해 구동되어 제1 롤러 조립체와 연관된 벨트(130)의 회전을 구동한다. 이러한 방식으로, 역전 프로세스를 실행할 때에 제2 롤러 조립체(98)는 제1 롤러 조립체(96)와 함께 회전한다.

다른 허용 가능한 변경은 시스템에 벨트를 마련하지 않는 것과, 역전 중에 기판의 상부측과 저부측 양자 모두 상에 롤러는 구비하는 것이다. 다른 허용 가능한 변경은 가능한 구성요소 에지 클리어런스는 더 작게 하면서 상부측과 저부측 양자 모두 상에 벨트를 구비하는 것이다. 예컨대, 인버터 시스템은 기판의 하나의 에지와 맞물리도록 구성되 제1 벨트 조립체와, 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성된 제2 벨트 조립체를 갖는 피동 조립체를 포함할 수 있으며, 벨트 조립체들은 기판의 선형 이동을 구동하도록 구성된다. 다른 허용 가능한 변경은 5 mm 공간과 회전 위치의 중심을 보다 크거나 작은 범위로 변경하는 것이다. 다른 허용 가능한 변경은 두께가 0인 기판에 적용될 수 있는 디바이스이다. 다른 허용 가능한 변경은 클램핑 힘을 달성하기 위해 공기 실린더 외에 다른 것을 사용하는 것으로, 이러한 변경은 기판 두께 변화를 수용하기 위해 압축 가능한 임의의 다른 형태의 액추에이터 및 가능한 스프링일 수 있다.

여기에 설명된 인버터 시스템에 의해 제공되는 장점은, 분배 구역을 가열할 수 있는 향상 및 개선된 속도와 정확도, 설계의 간소화, 향상된 신뢰성, 비용 및 유지 보수성, 기존 인버터 구성에 대한 외부 인버터의 장점, 펌프와 무관하게 기판 에지에 근접하게 분배할 수 있는 능력의 무손실, z축 또는 인버터축 이동으로 인한 손실이 없는, 강건하게 클램핑되는 기판, 회전 중에 기판에 대한 움직임(오정렬된 축)이 없는 인버터의 강성도를 포함하며, 복잡한 기구는 분배 구역 외측에 위치 설정되고, 기존 기계로부터 재료가 제거되며, 기계 외부의 인버터를 형성하도록 재료가 추가된다.

기판의 상부면과 기판의 저부면 상에 재료를 성막하는 재료 성막 방법도 또한 여기에 개시된다. 일실시예에서, 상기 방법은 분배기의 제1 래인 상에서 분배기의 기판 지지 조립체로 기판을 전달하는 단계를 포함한다. 상기 방법은 기판의 상부면에 대해 분배 공정을 실행하는 단계를 더 포함한다. 저부면 상에 분배할 것이 요구되는 경우, 기판은 분배기와 연관된 인버터 시스템으로 이동되며, 인버터 시스템은 기판의 저부면이 상향하도록 기판을 회전시킨다. 기판을 회전시킬 때, 기판은 기판을 회전시키기 전에 롤러 조립체를 이동시키는 것에 의해 클램핑된다. 기판은 그 후에 클램핑 해제되고 이송 높이로 복귀된다. 기판은 그 후에 기판 지지 조립체로 다시 이동되고, 기판의 저부면에 대해 분배 공정이 실행된다. 기판의 저부면에 대한 분배 공정이 완료되면, 기판은 분배기의 기판 조립체로부터 제거된다. 분배기의 2개의 래인이 사용될 때, 다른 기판은 제2 래인을 통해 분배기의 기판 지지 조립체로 전달된다. 제2 기판의 저부면 상에 재료를 분배할 것이 요구될 때, 인버터 시스템은, 인버터 시스템이 기판을 회전시키기 위한 제위치에 있도록 제2 래인으로 이동된다.

본 개시의 적어도 하나의 실시예를 설명했지만, 다양한 변경, 수정 및 개선이 당업자에게 쉽게 떠오를 것이다. 그러한, 변경, 수정 및 개선은 본 개시의 범위 및 사상 내에 포함되는 것으로 의도된다. 따라서, 앞의 설명은 단지 예이며, 제한하는 것으로 의도되지 않는다. 제한은 단지 아래의 청구범위와 이 청구범위의 등가물에서 규정된다.

Claims

상부면과 저부면을 갖는 기판에 점성재를 분배하는 분배기로서,
프레임;
프레임에 커플링되는 갠트리 시스템;
x축, y축 및 z축 방향으로 분배 유닛을 이동시키도록 구성된 갠트리 시스템에 커플링되는 분배 유닛;
프레임에 커플링되고, 기판을 기판의 상부면과 기판의 저부면 상에 재료를 분배하는 분배 위치에서 지지하도록 구성된 기판 지지 조립체;
프레임에 커플링되고, 기판 지지 조립체 내외로 기판을 이송하도록 구성된 이송 시스템; 및
프레임에 커플링되고 이송 시스템과 소통하는 인버터 시스템
을 포함하며, 인버터 시스템은 프레임 외부에 위치 설정되고, 기판의 상부면이 상향하는 제1 위치와 기판의 저부면이 상향하는 제2 위치 사이에서 기판 배향을 회전시키도록 구성되며, 인버터 시스템은 기판의 하나의 에지와 맞물리도록 구성된 제1 피동 조립체와 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성된 제2 피동 조립체를 포함하며, 제1 피동 조립체와 제2 피동 조립체는 기판의 선형 이동을 구동하도록 구성되고,
프레임은 이송 시스템의 유출부측 상에 배치되는 선반을 포함하고, 기판은 유출부측으로부터 배출되며, 선반은 인버터 시스템을 지지하도록 구성된 것인 분배기.
제1항에 있어서, 인버터 시스템의 제1 피동 조립체는 제1 롤러 조립체를 포함하고, 인버터 시스템의 제2 피동 조립체는 기판의 반대측 에지와 맞물리도록 구성되는 제2 롤러 조립체를 포함하는 것인 분배기.
제2항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 지지 구조체, 지지 구조체에 커플링되고 기판의 상부 에지와 기판의 저부 에지 중 어느 하나에 맞물리도록 구성된 복수 개의 롤러, 및 지지 구조체에 커플링되고 롤러의 회전을 구동하도록 구성되는 롤러 구동 조립체를 포함하는 것인 분배기.
제3항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 롤러 조립체의 지지 구조체에 연결되는 피봇 조립체를 포함하는 것인 분배기.
제3항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각의 롤러는, 각각의 롤러와 각각 연관되는 복수 개의 기어를 포함하는 것인 분배기.
제3항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 지지 구조체에 커플링되고, 기판의 상부 에지와 기판의 저부 에지 중 다른 하나와 맞물리도록 구성되는 벨트 구동 조립체를 더 포함하는 것인 분배기.
제6항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 롤러 조립체의 지지 구조체에 연결되는 피봇 조립체를 포함하는 것인 분배기.
제7항에 있어서, 피봇 조립체는 지지 구조체에 고정되는 피봇부와, 지지 구조체와 롤러를 회전시키는 피봇부를 회전시키는 회전 구동 조립체를 포함하는 것인 분배기.
제8항에 있어서, 회전 구동 조립체는 피봇부에 커플링되는 벨트와, 피봇부를 회전시키도록 벨트를 구동하게 구성되는 모터를 포함하는 것인 분배기.
제6항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각의 롤러는, 각각의 롤러와 각각 연관되는 복수 개의 기어를 포함하는 것인 분배기.
제10항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각의 롤러 구동 조립체는 복수 개의 기어 중 하나의 기어의 구동 기어에 커플링되는 것인 분배기.
제11항에 있어서, 롤러 구동 조립체는 구동 기어에 커플링되는 벨트와, 구동 기어를 회전시키도록 벨트를 구동하게 구성되는 모터를 포함하는 것인 분배기.
제6항에 있어서, 지지 구조체는 복수 개의 롤러와 연관된 제1 지지 부재와, 벨트 구동 조립체와 연관된 제2 지지 부재를 포함하며, 제1 지지 부재는 제2 지지 부재에 대해 상향 및 하향 이동하도록 구성되는 것인 분배기.
제13항에 있어서, 제1 롤러 조립체와 제2 롤러 조립체 각각은 제2 지지 부재에 대해 제1 지지 부재를 이동시키도록 구성된 캠 기구를 더 포함하는 것인 분배기.
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제1항에 있어서, 기판 지지 조립체는 전방 래인과 후방 래인의 2개의 래인을 포함하며, 이송 시스템은 분배기의 전방 래인과 후방 래인으로 기판을 전달하도록 구성되는 것인 분배기.
제16항에 있어서, 인버터 시스템은 레일을 따라 전방 래인과 후방 래인 사이에서 이동하도록 구성되는 것인 분배기.
기판의 상부면과 기판의 저부면 상에 재료를 성막하는 재료 성막 방법으로서,
제1 래인을 통해 분배기의 기판 지지 조립체로 기판을 전달하는 단계;
기판의 상부면에 대해 점성재의 분배 공정을 실행하는 단계;
분배기와 연관된 인버터 시스템으로 기판을 이동시키는 단계;
기판의 저부면이 상향하도록 기판을 회전시키는 단계;
기판을 기판 지지 조립체로 다시 이동시키는 단계;
기판의 저부면에 대해 점성재의 분배 공정을 실행하는 단계;
분배기의 기판 지지 조립체로부터 기판을 제거하는 단계;
제2 래인을 통해 분배기의 기판 지지 조립체로 다른 기판을 전달하는 단계; 및
기판이 제1 래인과 제2 래인 중 어느 하나로 재삽입되도록 기판을 회전시키기 위해, 제1 래인과 제2 래인 사이에서 기판을 회전시키도록 구성되는 인버터 시스템을 이동시키는 단계를 포함하는 재료 성막 방법.
제18항에 있어서, 기판을 회전시키기 전에 롤러 조립체로 기판을 클램핑하는 단계를 더 포함하는 재료 성막 방법.
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