KR102339654B1 - Thin film deposition apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 증착물질을 기판(S) 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드(40) 및 기판(S)과 증착물질 가이드(40) 사이를 통과하도록 배치된 마스크 시트(50)를 구비한 이동식 마스크 장치(M)로 구성된다. 마스크 시트(50)는 기판(S)에 대응되는 마스크 패턴영역(51)들이 길이방향을 따라 배열된다. 이동식 마스크 장치(M)는, 마스크 시트(50)가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어, 마스크 패턴영역(51)들 중 어느 하나가 마스크 시트(50)의 이동방향에 따라 기판(S)과 대향된다.The present invention relates to a removable mask device ( M) consists of In the mask sheet 50 , mask pattern regions 51 corresponding to the substrate S are arranged along the longitudinal direction. The movable mask device M is configured such that the mask sheet 50 is movable in the longitudinal direction so that any one of the mask pattern regions 51 faces the substrate S according to the movement direction of the mask sheet 50 . do.

Description

박막증착장비 {THIN FILM DEPOSITION APPARATUS}Thin film deposition equipment {THIN FILM DEPOSITION APPARATUS}

본 발명의 실시예는 기판에 박막을 증착하는 데 이용되는 박막증착장비에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to a thin film deposition equipment used for depositing a thin film on a substrate.

유기발광다이오드(organic light emitting diode : OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 발광하는 전계발광현상을 이용하여 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이러한 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있으며 넓은 시야각과 신속한 응답속도를 가지고 있기 때문에, 일반 LCD(liquid crystal display)와는 달리, 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않고 화면에 잔상이 남지 않는다. 또한, 소형화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 큰 주목을 받고 있다.An organic light emitting diode (OLED) refers to a self-luminous organic material that emits light using an electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. Since the organic light emitting diode display can be driven at a low voltage, can be made thin and thin, and has a wide viewing angle and quick response speed, unlike a general LCD (liquid crystal display), the image quality does not change even when viewed from the side. There is no afterimage left on the screen. In addition, since the small screen has advantageous price competitiveness due to image quality better than LCD and a simple manufacturing process, it is receiving great attention as a next-generation display device.

유기발광다이오드를 사용하여 모바일 기기(mobile device)용 디스플레이, 컴퓨터용 모니터 또는 텔레비전 등을 생산할 때 요구되는 것이 바로 박막증착장비로, 박막증착장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성할 수 있게 구성되며 유기발광다이오드의 제조를 위한 중요한 장비 중 하나이다.Thin film deposition equipment is what is required when producing displays for mobile devices, computer monitors, or televisions using organic light emitting diodes. It is one of the important equipment for the manufacture of organic light emitting diodes.

일반적으로, 박막증착장비는, 진공분위기 조성이 가능한 증착실을 가진 증착챔버, 증착챔버의 증착실에 반입된 기판을 지지하는 기판 지지유닛, 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판에 증착물질(유기물질)을 제공하는 증착물질 공급유닛, 그리고 기판에 증착물질을 요구되는 패턴으로 증착시키기 위한 마스크를 포함한다.In general, thin film deposition equipment includes a deposition chamber having a deposition chamber capable of creating a vacuum atmosphere, a substrate support unit for supporting a substrate loaded into the deposition chamber of the deposition chamber, and a deposition material (organic material) on a substrate supported by the substrate support unit. ), a deposition material supply unit for providing, and a mask for depositing the deposition material on the substrate in a required pattern.

근래에는, 박막증착공정 효율을 보다 향상시키기 위하여, 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드가 부가되고, 증착물질 가이드의 증착물질 유출구에 마스크가 장착된 타입의 박막증착장비에 대한 개발이 시도되고 있다.Recently, in order to further improve the efficiency of the thin film deposition process, a deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the substrate is added, and a mask is mounted on the deposition material outlet of the deposition material guide. development is being attempted.

그러나, 증착물질 가이드를 포함하는 박막증착장비는, 마스크에 증착물질(이물)이 부착되어 마스크 패턴을 구성하는 노출영역(개구)이 적어도 부분적으로 막히거나 기판과 마스크의 간격이 설정범위를 벗어난 경우, 마스크에 손상이 발생된 경우, 다른 마스크 패턴이 요구되는 경우 등에 마스크를 증착물질 가이드로부터 분리한 다음 세정하거나 교체하여야 하기 때문에, 박막증착공정 효율을 한층 더 향상시키는 데 한계가 따를 수밖에 없는 문제점이 있다.However, in the case of thin film deposition equipment including a deposition material guide, when a deposition material (foreign substance) is attached to the mask and the exposed area (opening) constituting the mask pattern is at least partially blocked or the distance between the substrate and the mask is outside the set range , when the mask is damaged, when a different mask pattern is required, etc., since the mask must be cleaned or replaced after separating it from the deposition material guide, there is a problem that there is a limit to further improving the efficiency of the thin film deposition process. have.

본 발명의 실시예는 박막증착공정의 효율성 향상 면에서 보다 유리한 박막증착장비를 제공하는 데 목적이 있다.An embodiment of the present invention aims to provide a more advantageous thin film deposition equipment in terms of improving the efficiency of the thin film deposition process.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 지지하는 기판 지지유닛과; 증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛과; 상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 상기 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드와; 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과하도록 배치되고 상기 기판에 대응하는 마스크 패턴영역이 복수로 구비되며 복수의 상기 마스크 패턴영역이 길이방향을 따라 배열된 마스크 시트를 가지되, 상기 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어 상기 마스크 시트의 이동방향에 따라 상기 마스크 패턴영역들 중 어느 하나가 상기 기판과 대향되는 이동식 마스크 장치를 포함하는, 박막증착장비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a substrate support unit for supporting the substrate; a deposition material supply unit for supplying a deposition material; a deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the substrate supported by the substrate support unit; a mask sheet disposed to pass between the substrate and the deposition material guide, a plurality of mask pattern regions corresponding to the substrate, and a plurality of mask pattern regions arranged in a longitudinal direction, wherein the mask sheet has a length A thin film deposition apparatus comprising a movable mask device configured to be movable in the direction and wherein any one of the mask pattern regions faces the substrate according to the movement direction of the mask sheet may be provided.

상기 마스크 시트는 엔드리스 시트(endless sheet)이고, 상기 이동식 마스크 장치는 상기 엔드리스 시트가 순환이동 가능하도록 걸린 적어도 셋 이상의 시트 가이드를 더 포함하며, 상기 시트 가이드들 중 어느 둘은 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이의 양 옆쪽에 각각 배치되고, 상기 시트 가이드들 중 나머지는 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이로부터 상기 기판의 배치방향 쪽 또는 상기 증착물질 가이드의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.The mask sheet is an endless sheet, and the movable mask device further includes at least three or more sheet guides hung so that the endless sheet is cyclically movable, any two of the sheet guides are the substrate and the deposition material. It may be disposed on both sides between the guides, and the rest of the sheet guides may be disposed at positions spaced apart from the substrate and the deposition material guide toward the direction in which the substrate is disposed or the direction in which the deposition material guides are disposed.

또한, 상기 시트 가이드들 중에서 적어도 어느 하나 이상은 롤러 구동유닛에 의하여 회전되는 구동롤러로 구성될 수 있다.In addition, at least one of the sheet guides may be configured as a driving roller rotated by a roller driving unit.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 증착실을 가지며 상기 증착실에 상기 기판 지지유닛 및 상기 증착물질 공급유닛이 수용된 증착챔버를 더 포함할 수 있다. 또, 상기 증착물질 공급유닛은, 도가니와; 상기 도가니를 지지하는 도가니 프레임을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 도가니 프레임은 상기 도가니를 상기 증착실의 내면으로부터 이격시키며 상기 증착실의 내면과 상기 도가니 사이에 상기 엔드리스 시트가 통과하는 시트 이동로를 형성하도록 구성될 수 있다.In addition, the thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a deposition chamber having a deposition chamber, in which the substrate support unit and the deposition material supply unit are accommodated. In addition, the deposition material supply unit, a crucible; It may include a crucible frame supporting the crucible. The crucible frame may be configured to separate the crucible from the inner surface of the deposition chamber and form a sheet movement path through which the endless sheet passes between the inner surface of the deposition chamber and the crucible.

또한, 상기 시트 가이드들 중에서 나머지는 상기 엔드리스 시트가 상기 시트 이동로를 통과하도록 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이로부터 상기 증착물질 가이드의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.In addition, the rest of the sheet guides may be disposed at positions spaced apart from the substrate and the deposition material guide toward an arrangement direction of the deposition material guide so that the endless sheet passes through the sheet movement path.

본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 지지하는 기판 지지유닛과; 증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛과; 상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 상기 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드와; 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과하도록 배치되고 상기 기판에 대응하는 마스크 패턴영역이 복수로 구비되며 복수의 상기 마스크 패턴영역이 길이방향을 따라 배열된 마스크 시트를 가지되, 상기 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어 상기 마스크 시트의 이동방향에 따라 상기 마스크 패턴영역들 중 어느 하나가 상기 기판과 대향되는 이동식 마스크 장치를 포함하고, 아울러 상기 이동식 마스크 장치가, 상기 마스크 시트가 감긴 시트 공급롤러와; 상기 시트 공급롤러로부터 공급되어 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과한 마스크 시트가 감기는 시트 회수롤러를 더 포함하는, 박막증착장비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a substrate support unit for supporting the substrate; a deposition material supply unit for supplying a deposition material; a deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the substrate supported by the substrate support unit; a mask sheet disposed to pass between the substrate and the deposition material guide, a plurality of mask pattern regions corresponding to the substrate, and a plurality of mask pattern regions arranged in a longitudinal direction, wherein the mask sheet has a length and a movable mask device configured to be movable in a direction so that any one of the mask pattern regions faces the substrate according to the movement direction of the mask sheet, and the movable mask device supplies a sheet on which the mask sheet is wound. with rollers; The thin film deposition equipment, which is supplied from the sheet supply roller and further includes a sheet recovery roller on which the mask sheet passed between the substrate and the deposition material guide is wound, may be provided.

본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 상기 기판에 대하여 상기 기판과 대향하는 마스크 패턴영역의 위치를 조정하는 마스크 얼라이너(mask aligner)를 더 포함할 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a mask aligner for adjusting a position of a mask pattern region facing the substrate with respect to the substrate.

상기 증착물질 가이드는, 상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질이 유입되는 증착물질 유입구와; 증착물질을 상기 기판 쪽으로 유출시키며 면적이 상기 증착물질 유입구에 비하여 큰 증착물질 유출구와; 상기 증착물질 유입구와 상기 증착물질 유출구를 연결하며 상기 증착물질 유입구 쪽에서 상기 증착물질 유출구 쪽으로 갈수록 점차 확장되는 형상을 가진 증착물질 안내통로를 포함할 수 있다.The deposition material guide may include: a deposition material inlet through which the deposition material from the deposition material supply unit is introduced; a deposition material outlet for discharging the deposition material toward the substrate and having a larger area than the deposition material inlet; It may include a deposition material guide passage connecting the deposition material inlet and the deposition material outlet and having a shape gradually extending from the deposition material inlet to the deposition material outlet.

본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 상기 마스크 시트의 이동경로에서 상기 마스크 시트에 부착된 이물을 제거하는 시트 세정유닛을 더 포함할 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a sheet cleaning unit for removing foreign substances attached to the mask sheet from the movement path of the mask sheet.

상기 마스크 패턴영역들 중 적어도 어느 하나 이상은 다른 마스크 패턴을 가지도록 형성될 수 있다.At least one of the mask pattern regions may be formed to have a different mask pattern.

본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 인라인 타입(in-line type)과 클러스터 타입(cluster type) 중 어느 하나일 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may be any one of an in-line type and a cluster type.

과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.Means of solving the problem will be more specific and clear through the examples, drawings, etc. described below. In addition, various solutions other than the solutions mentioned below may be additionally suggested.

본 발명의 실시예에 의하면, 마스크 시트가 기판과 증착물질 가이드 사이 영역을 통과하도록 배치되고 복수의 마스크 패턴영역이 마스크 시트에 마스크 시트의 길이방향을 따라 배열되고 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하게 구성되기 때문에, 일부 마스크 패턴영역에 대하여 세정이 요구되거나 손상이 발생되더라도 마스크 시트를 교체함이 없이 다른 마스크 패턴영역을 사용하여 박막증착공정을 계속적으로 수행할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the mask sheet is disposed to pass through the region between the substrate and the deposition material guide, a plurality of mask pattern regions are arranged on the mask sheet along the longitudinal direction of the mask sheet, and the mask sheet is movable in the longitudinal direction. Because of this configuration, even if cleaning is required or damage occurs in some mask pattern areas, the thin film deposition process can be continuously performed using other mask pattern areas without replacing the mask sheet.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비를 위에서 본 상태가 도시된 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비의 일부 구성이 도시된 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다.1 is a configuration diagram showing a state in which a thin film deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention is viewed from the front.
2 is a configuration diagram showing a state in which the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention is viewed from above.
3 is a perspective view showing a partial configuration of the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention.
4 is a block diagram showing a state in which the thin film deposition apparatus according to the second embodiment of the present invention is viewed from the front.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성요소의 크기나 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For reference, in the drawings referenced to describe the embodiment of the present invention, the size of the component, the thickness of the line, etc. may be expressed somewhat exaggeratedly for the convenience of understanding. In addition, terms used to describe embodiments of the present invention are mainly defined in consideration of functions in the present invention, and thus may vary according to intentions, customs, etc. of users and operators. Therefore, it would be appropriate to interpret the terms based on the content throughout the present specification.

본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비가 도 1 내지 도 3에 도시되어 있다.A thin film deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention is shown in FIGS. 1 to 3 .

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는, 진공분위기 조성이 가능한 증착실(11)을 가진 증착챔버(10), 증착챔버(10)의 증착실(11)에 반입된 기판(S)을 지지하는 기판 지지유닛(20), 증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛(30), 증착물질 공급유닛(30)으로부터의 증착물질을 기판 지지유닛(20)에 의하여 지지된 기판(S) 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드(40), 그리고 기판(S)과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)을 통과 가능하도록 배치된 이동식 마스크 시트(50)를 가진 마스크 장치(M)를 포함한다.1 and 2, in the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention, a deposition chamber 10 having a deposition chamber 11 capable of creating a vacuum atmosphere, and the deposition chamber 10 are deposited The substrate support unit 20 for supporting the substrate S loaded into the chamber 11, the deposition material supply unit 30 for supplying the deposition material, and the deposition material from the deposition material supply unit 30 are transferred to the substrate support unit ( The deposition material guide 40 guided toward the substrate S supported by 20), and the removable mask sheet 50 disposed so as to pass through the region A between the substrate S and the deposition material guide 40 and a mask device M with

증착챔버(10)의 벽체에는 기판(S)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)을 증착실(11)에 반입하고 반입된 기판을 증착실(11)의 외부로 반출하기 위한 기판 출입구(12)가 마련된다. 기판 출입구(12)는 복수로 구비될 수 있다. 기판 출입구(12)는 출입구 개폐유닛(13)에 의하여 개폐될 수 있다. 도시된 바는 없으나, 증착챔버(10)는 증착실(11)을 진공분위기로 조성하는 배기유닛을 포함한다.On the wall of the deposition chamber 10 , a substrate S (hereinafter, reference numerals are omitted) is loaded into the deposition chamber 11 , and the loaded substrate is transported to the outside of the deposition chamber 11 . (12) is provided. The substrate entrance 12 may be provided in plurality. The substrate doorway 12 may be opened and closed by the doorway opening/closing unit 13 . Although not shown, the deposition chamber 10 includes an exhaust unit for creating a vacuum atmosphere in the deposition chamber 11 .

기판 지지유닛(20)은 증착실(11)의 상부에 배치되고, 증착물질 공급유닛(30)은 증착실(11)의 하부에 배치되며, 증착물질 가이드(40)는 기판 지지유닛(20)과 증착물질 공급유닛(30) 사이에 배치된다. 증착물질 공급유닛(30)으로부터의 증착물질은 증착물질 가이드(40)의 안내작용에 따라 기판 지지유닛(20)에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도되므로, 기판 지지유닛(20)의 위치와 증착물질 공급유닛(30)의 위치는 각각 증착실(11)의 상부와 증착실(11)의 하부에서 다른 위치로 얼마든지 다양하게 변경될 수 있다. 일례로, 기판 지지유닛(20)의 위치와 증착물질 공급유닛(30)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.The substrate support unit 20 is disposed above the deposition chamber 11 , the deposition material supply unit 30 is disposed below the deposition chamber 11 , and the deposition material guide 40 is disposed on the substrate support unit 20 . and the deposition material supply unit 30 . Since the deposition material from the deposition material supply unit 30 is guided toward the substrate supported by the substrate support unit 20 according to the guiding action of the deposition material guide 40 , the position of the substrate support unit 20 and the deposition material supply The position of the unit 30 may be variously changed from the upper part of the deposition chamber 11 and the lower part of the deposition chamber 11 to different positions, respectively. For example, the position of the substrate support unit 20 and the position of the deposition material supply unit 30 may be interchanged.

기판 지지유닛(20)은, 기판을 지지한 상태로 기판의 증착면과 평행한 제1 방향(D1)으로 이동 가능하도록 구성될 수도 있고, 기판을 기판의 증착면과 평행한 제1 방향(D1)으로 이동시키도록 구성될 수도 있다. 이에, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는 기판이 이동되면서 기판의 증착면에 대한 박막 형성이 이루어지는 인라인 타입(in-line type)일 수 있다.The substrate support unit 20 may be configured to be movable in a first direction D1 parallel to the deposition surface of the substrate while supporting the substrate, and move the substrate in a first direction D1 parallel to the deposition surface of the substrate. ) may be configured to move to. Accordingly, the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention may be of an in-line type in which a thin film is formed on the deposition surface of the substrate while the substrate is moved.

증착물질 공급유닛(30)은 도가니 본체 및 도가니 가열수단(히터)으로 구성된 도가니(31)를 포함한다. 도가니 본체에는 증착물질이 수용되고, 도가니 가열수단은 도가니 본체에 수용된 증착물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공한다. 증발된 증착물질은, 도가니(31)로부터 방출되고, 기판에 도달하면 기판의 증착면에 증착되어 박막을 형성한다.The deposition material supply unit 30 includes a crucible 31 composed of a crucible body and a crucible heating means (heater). A deposition material is accommodated in the crucible body, and the crucible heating means provides heat necessary for evaporating the deposition material accommodated in the crucible body. The evaporated deposition material is discharged from the crucible 31 , and when it reaches the substrate, it is deposited on the deposition surface of the substrate to form a thin film.

증착물질 가이드(40)는 증착물질 공급유닛(30)으로부터의 증착물질이 유입되는 증착물질 유입구(41), 기판 쪽으로 증착물질을 유출시키는 증착물질 유출구(42) 및 증착물질 유입구(41)와 증착물질 유출구(42)를 공간적으로 연결시키는 증착물질 안내통로(43)를 가진다. 이러한 증착물질 가이드(40)는, 증착물질 유출구(42)가 증착물질 유입구(41)에 비하여 큰 면적을 가지도록 형성되고, 증착물질 안내통로(43)가 증착물질 유입구(41) 쪽에서 증착물질 유출구(42) 쪽으로 갈수록 점차 확장되는 형상을 가지도록 형성된다.The deposition material guide 40 includes the deposition material inlet 41 through which the deposition material from the deposition material supply unit 30 flows, the deposition material outlet 42 and the deposition material inlet 41 through which the deposition material flows toward the substrate, and the deposition material. It has a deposition material guide passage 43 that spatially connects the material outlet 42 . The deposition material guide 40 is formed such that the deposition material outlet 42 has a larger area than the deposition material inlet 41 , and the deposition material guide passage 43 is formed at the deposition material inlet 41 side. It is formed to have a shape that gradually expands toward (42).

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 마스크 시트(50)는 기판에 대응되는 마스크 패턴영역(51)을 가진다. 마스크 시트(50)에는 마스크 패턴영역(51)이 복수로 구비된다. 마스크 시트(50)는 길이방향의 양단이 서로 이어져 고리 형상의 구조를 가진 엔드리스 시트(endless sheet)이고, 복수의 마스크 패턴영역(51)은 엔드리스 시트(50)의 길이방향을 따라 배열된다. 마스크 패턴영역(51)들은 서로 이격되도록 일정한 간격을 두고 일렬로 배치될 수 있다.2 and 3 , the mask sheet 50 has a mask pattern area 51 corresponding to the substrate. A plurality of mask pattern regions 51 are provided on the mask sheet 50 . The mask sheet 50 is an endless sheet having a ring-shaped structure in which both ends in the longitudinal direction are connected to each other, and the plurality of mask pattern regions 51 are arranged along the longitudinal direction of the endless sheet 50 . The mask pattern regions 51 may be arranged in a line at regular intervals to be spaced apart from each other.

마스크 시트(50)는 기판의 증착면과 평행한 제2 방향(D2)으로 배치된다. 제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)과 수직을 이루고 기판의 증착면과 평행한 방향인 것이 바람직하다.The mask sheet 50 is disposed in the second direction D2 parallel to the deposition surface of the substrate. The second direction D2 is preferably perpendicular to the first direction D1 and parallel to the deposition surface of the substrate.

각각의 마스크 패턴영역(51)은 기판의 증착면을 증착물질에 노출시키기 위한 노출영역과 차단시키기 위한 차단영역으로 구성된 마스크 패턴을 가진다. 노출영역은 기판의 증착면에 형성할 박막 패턴에 대응하는 패턴으로 형성되고 단수 또는 복수의 개구(52)로 구성된다.Each mask pattern region 51 has a mask pattern composed of an exposure region for exposing the deposition surface of the substrate to the deposition material and a blocking region for blocking the deposition surface. The exposed area is formed in a pattern corresponding to the thin film pattern to be formed on the deposition surface of the substrate and is composed of a single or a plurality of openings 52 .

마스크 장치(M)는 엔드리스 시트(50)가 순환이동 가능하도록 걸린 시트 가이드(60)를 더 포함한다. 시트 가이드(60)는 네 개가 구비된다.The mask device M further includes a seat guide 60 hung so that the endless sheet 50 is cyclically movable. Four sheet guides 60 are provided.

시트 가이드(60)들 중에서 어느 둘은 기판과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)의 양 옆쪽(제2방향(D2)의 양쪽, 즉 도 1에서 보아 좌우 양쪽)에 각각 배치되고, 시트 가이드(60)들 중에서 나머지 둘은 기판과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)으로부터 증착물질 가이드(40)의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 각각 배치된다. 도 1을 기준으로 할 때, 시트 가이드(60)들 중 나머지 둘은 시트 가이드(60)들 중 어느 둘로부터 하측방향으로 이격된 위치에 배치된다. 실시 조건 등에 따라서는 시트 가이드(60)들 중 나머지 둘을 기판과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)으로부터 기판의 배치방향 쪽(즉, 기판 지지유닛(20의 배치방향 쪽)으로 이격된 위치에 배치할 수도 있다.Any two of the sheet guides 60 are respectively disposed on both sides of the region A between the substrate and the deposition material guide 40 (both sides in the second direction D2, that is, both left and right in FIG. 1 ), The other two of the sheet guides 60 are respectively disposed at positions spaced apart from the region A between the substrate and the deposition material guide 40 toward the arrangement direction of the deposition material guide 40 . Referring to FIG. 1 , the other two of the sheet guides 60 are disposed at positions spaced apart from any two of the sheet guides 60 in the downward direction. The remaining two of the sheet guides 60 are spaced apart from the area A between the substrate and the deposition material guide 40 in the direction of arrangement of the substrate (ie, towards the direction of arrangement of the substrate support unit 20) according to the implementation conditions. It can also be placed in a designated location.

증착물질 공급유닛(30)은 도가니(31)를 지지하여 증착실(11)의 바닥으로부터 상측으로 일정한 높이 이격시키는 도가니 프레임(32)을 더 포함한다. 그리고, 시트 가이드(60)들 중 나머지 둘(도 1에서 보아 상대적으로 하측에 배치된 두 시트 가이드)은 엔드리스 시트(50)가 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이의 영역(B)을 통과할 수 있는 높이에 위치된다. 물론, 도가니 프레임(32)은 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이의 영역(B)을 통과하는 엔드리스 시트(50)와의 간섭 발생이 없는 구조를 가지도록 구성된다. 예를 들어, 도가니 프레임(32)은 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이에 순환이동을 하는 엔드리스 시트(50)가 통과하는 시트 이동로를 형성하도록 구성될 수 있다.The deposition material supply unit 30 further includes a crucible frame 32 supporting the crucible 31 and spaced apart from the bottom of the deposition chamber 11 by a predetermined height upward. In addition, the remaining two of the sheet guides 60 (two sheet guides disposed on a relatively lower side as seen in FIG. 1 ) have an endless sheet 50 in the area B between the bottom of the deposition chamber 11 and the crucible 31 . located at a height that can pass through Of course, the crucible frame 32 is configured to have a structure in which there is no interference with the endless sheet 50 passing through the region B between the bottom of the deposition chamber 11 and the crucible 31 . For example, the crucible frame 32 may be configured to form a sheet movement path through which the endless sheet 50 circulating between the bottom of the deposition chamber 11 and the crucible 31 passes.

실시 조건 등에 따라서는 엔드리스 시트(50)의 원활한 순환이동 등을 위하여 시트 가이드(60)를 다섯 개 이상 구비할 수도 있다. 또는, 엔드리스 시트(50)의 이동경로에서 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이의 영역(B)을 포함하는 경로를 제외시키고, 시트 가이드(60)를 세 개만 구비할 수도 있다.Five or more sheet guides 60 may be provided for smooth circulation of the endless sheet 50 depending on the implementation conditions. Alternatively, the path including the region B between the bottom of the deposition chamber 11 and the crucible 31 may be excluded from the movement path of the endless sheet 50 , and only three sheet guides 60 may be provided.

시트 가이드(60)는 일부 또는 전체가 롤러로 구성될 수 있다. 또한, 시트 가이드(60)를 구성하는 롤러 중 적어도 어느 하나 이상은 롤러 구동유닛(도시되지 않음)에 의하여 회전되는 구동롤러로 구성될 수 있다. 롤러 구동유닛이 작동되면, 엔드리스 시트(50)는 길이방향(제2 방향 참조)을 따라 한쪽 또는 그 반대쪽으로 이동되고, 이에 따라 마스크 패턴영역(51)들 중 어느 하나는 기판과 대향하도록 배치된다.The sheet guide 60 may be partially or entirely composed of rollers. In addition, at least one of the rollers constituting the sheet guide 60 may be configured as a driving roller rotated by a roller driving unit (not shown). When the roller driving unit is operated, the endless sheet 50 is moved to one side or the opposite side along the longitudinal direction (refer to the second direction), and accordingly, any one of the mask pattern areas 51 is disposed to face the substrate .

따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는, 마스크 패턴영역(51)들 중 일부에 대하여 세정이 요구되거나 손상이 발생된 경우, 마스크 패턴영역(51)들 중 다른 것이 기판과 대향하도록 배치시킴으로써, 엔드리스 시트(50)를 교체할 필요 없이 박막증착공정을 계속 수행할 수 있다.Accordingly, in the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention, when cleaning is required or damage occurs to some of the mask pattern areas 51 , another of the mask pattern areas 51 faces the substrate By disposing it so that it is possible to continue performing the thin film deposition process without the need to replace the endless sheet (50).

또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는, 마스크 패턴영역(51)들 중 적어도 어느 하나 이상이 다른 마스크 패턴을 가지도록 형성될 수 있는바, 이에 의하면, 기판의 증착면에 박막을 다른 패턴으로 형성하고자 하는 경우에도, 엔드리스 시트(50)를 교체함이 없이 박막증착공정을 수행할 수 있다.In addition, in the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention, at least any one or more of the mask pattern regions 51 may be formed to have different mask patterns. Even if you want to form a different pattern, it is possible to perform the thin film deposition process without replacing the endless sheet (50).

도면부호 80은 기판에 대하여 기판과 대향하는 어느 하나의 마스크 패턴영역(51)의 위치를 조정하는 마스크 얼라이너(mask aligner)이다.Reference numeral 80 denotes a mask aligner for adjusting the position of any one mask pattern region 51 facing the substrate with respect to the substrate.

마스크 장치(M)는 시트 가이드(60)들을 지지하는 마운팅 프레임(70)을 더 포함하고, 마운팅 프레임(70)은 기판의 증착면에 대한 수직방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되며, 마스크 얼라이너(80)는 마운팅 프레임(70)을 회전시켜 기판에 대하여 기판과 대향하는 어느 하나의 마스크 패턴영역(51)의 위치를 조정하도록 구성될 수 있다. 이를 위하여 마스크 얼라이너(80)는 증착실(11)의 내면 및 마운팅 프레임(70)에 양쪽 단부가 각각 회전 가능하게 연결된 실린더를 포함할 수 있다.The mask device M further includes a mounting frame 70 supporting the sheet guides 60, and the mounting frame 70 is rotatably installed about an axis in a vertical direction to the deposition surface of the substrate, The liner 80 may be configured to rotate the mounting frame 70 to adjust the position of any one mask pattern region 51 facing the substrate with respect to the substrate. To this end, the mask aligner 80 may include a cylinder having both ends rotatably connected to the inner surface of the deposition chamber 11 and the mounting frame 70 , respectively.

도면부호 90은 엔드리스 시트(50)의 이동경로에서 엔드리스 시트(50)에 부착된 이물을 제거하는 시트 세정유닛으로, 이는 브러시를 포함하고 마스크 장치(M)의 마운팅 프레임(70)에 브러시가 엔드리스 시트(50)에 접촉 가능하도록 장착될 수 있다. 이러한 시트 세정유닛(90)에 의하면, 엔드리스 시트(50)를 분리하여 별도로 세정하여야 하는 주기를 장기화할 수 있다.Reference numeral 90 denotes a sheet cleaning unit for removing foreign substances attached to the endless sheet 50 in the movement path of the endless sheet 50, which includes a brush, and the brush is endless on the mounting frame 70 of the mask device M It may be mounted so as to be in contact with the seat 50 . According to the sheet cleaning unit 90, the cycle in which the endless sheet 50 must be separated and cleaned separately can be prolonged.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비는, 본 발명의 제2 실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 마스크 시트(50)가 양쪽 단부를 이은 엔드리스 시트가 아닌 일정의 길이를 가진 시트이고, 마스크 장치(M)에 마스크 시트(50)의 양쪽이 각각 감긴 시트 공급롤러(61)와 시트 회수롤러(62)가 적용된 점이 상이하다.4 is a block diagram showing a state in which the thin film deposition apparatus according to the second embodiment of the present invention is viewed from the front. As shown in Figure 4, the thin film deposition equipment according to the second embodiment of the present invention, compared with the second embodiment of the present invention, other configurations and actions are all the same, the mask sheet 50 is not an endless sheet connecting both ends, but a sheet having a certain length, and the sheet supply roller 61 and the sheet recovery roller 62 on which both sides of the mask sheet 50 are wound in the mask device M are applied do.

시트 공급롤러(61)에는 마스크 시트(50)의 한쪽이 감긴다. 그리고, 시트 회수롤러(62)에는 시트 공급롤러(61)로부터 공급되어 기판과 증착물질 가이드(40) 사이(A)를 통과한 마스크 시트(50)의 다른 쪽이 감긴다.One side of the mask sheet 50 is wound around the sheet supply roller 61 . The other side of the mask sheet 50 supplied from the sheet supply roller 61 and passed between the substrate and the deposition material guide 40 (A) is wound around the sheet recovery roller 62 .

본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비를 구성하는 롤러 구동유닛은 시트 회수롤러(62)를 회전시키도록 적용되어, 롤러 구동유닛이 작동되면, 시트 공급롤러(61)로부터는 마스크 시트(50)가 풀리고, 시트 회수롤러(62)에는 시트 공급롤러(61)로부터의 마스크 시트(50)가 감긴다. 시트 공급롤러(61)를 회전시키는 롤러 구동유닛을 추가로 적용하여, 시트 회수롤러(62)로부터 시트 공급롤러(61)에 마스트 시트(50)를 감는 과정을 선택적으로 수행할 수도 있다.The roller driving unit constituting the thin film deposition equipment according to the second embodiment of the present invention is applied to rotate the sheet recovery roller 62, and when the roller driving unit is operated, the mask sheet ( 50 is unwound, and the mask sheet 50 from the sheet supply roller 61 is wound around the sheet collection roller 62 . By additionally applying a roller driving unit for rotating the sheet supply roller 61, the process of winding the mast sheet 50 from the sheet collection roller 62 to the sheet supply roller 61 may be selectively performed.

상기와 같은 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비도, 기판과 대향하는 마스크 패턴영역(51)을 변경하면서 마스크 시트(50)를 교체함이 없이 박막증착공정을 계속 수행할 수 있다.The thin film deposition apparatus according to the second embodiment of the present invention as described above can also continuously perform the thin film deposition process without replacing the mask sheet 50 while changing the mask pattern area 51 facing the substrate.

이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.Although the present invention has been described above, the present invention is not limited by the disclosed embodiments and the accompanying drawings, and various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention.

또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.In addition, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently, or two or more may be implemented in combination with each other.

10 : 증착챔버
20 : 기판 지지유닛
30 : 증착물질 공급유닛
40 : 증착물질 가이드
41 : 증착물질 유입구
42 : 증착물질 유출구
43 : 증착물질 안내통로
50 : 마스크 시트
60 : 시트 가이드
61 : 시트 공급롤러
62 : 시트 회수롤러
70 : 마운팅 프레임
80 : 마스크 얼라이너
90 : 시트 세정유닛
M : 마스크 장치
S : 기판10: deposition chamber
20: substrate support unit
30: deposition material supply unit
40: deposition material guide
41: deposition material inlet
42: deposition material outlet
43: deposition material guide passage
50: mask sheet
60: sheet guide
61: sheet feeding roller
62: sheet recovery roller
70: mounting frame
80: mask aligner
90: sheet cleaning unit
M: mask device
S: substrate

Claims (8)

기판을 지지하는 기판 지지유닛과;
증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛과;
상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 상기 기판 지지유닛에 의하여 지지된 상기 기판의 증착면 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드와;
상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과하도록 배치되고 상기 기판의 증착면에 대응하는 마스크 패턴영역이 복수로 구비되며 복수의 상기 마스크 패턴영역이 길이방향을 따라 배열된 마스크 시트를 가지되, 상기 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어 상기 마스크 시트의 이동에 따라 상기 마스크 패턴영역들 중 어느 하나가 상기 기판의 증착면과 대향되는 이동식 마스크 장치와;
상기 이동식 마스크 장치를 상기 기판의 증착면에 대한 수직방향 축을 중심으로 회전시켜 상기 기판에 대하여 상기 기판의 증착면과 대향하는 상기 마스크 패턴영역의 위치를 조정하는 마스크 얼라이너(mask aligner)를 포함하는,
박막증착장비.a substrate support unit for supporting the substrate;
a deposition material supply unit for supplying a deposition material;
a deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the deposition surface of the substrate supported by the substrate support unit;
a mask sheet disposed to pass between the substrate and the deposition material guide, a plurality of mask pattern regions corresponding to the deposition surface of the substrate, and a plurality of mask pattern regions arranged in a longitudinal direction, the mask a movable mask device in which a sheet is movable in the longitudinal direction so that any one of the mask pattern areas faces the deposition surface of the substrate according to the movement of the mask sheet;
and a mask aligner for adjusting a position of the mask pattern area opposite to the deposition surface of the substrate with respect to the substrate by rotating the movable mask device about an axis perpendicular to the deposition surface of the substrate. ,
Thin film deposition equipment. 청구항 1에 있어서,
상기 마스크 시트는 엔드리스 시트(endless sheet)이고,
상기 이동식 마스크 장치는, 상기 엔드리스 시트가 순환이동 가능하도록 걸린 적어도 셋 이상의 시트 가이드와; 상기 시트 가이드들을 지지하며 상기 기판의 증착면에 대한 수직방향 축을 중심으로 회전 가능하고 상기 마스크 얼라이너에 의하여 회전되는 마운팅 프레임을 더 포함하며,
상기 시트 가이드들 중 어느 둘은 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이의 양 옆쪽에 각각 배치되고, 상기 시트 가이드들 중 나머지는 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이로부터 상기 기판의 배치방향 쪽 또는 상기 증착물질 가이드의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 배치된,
박막증착장비.The method according to claim 1,
The mask sheet is an endless sheet,
The movable mask device may include: at least three or more sheet guides hung so that the endless sheet can be circulated; and a mounting frame supporting the sheet guides, rotatable about an axis perpendicular to the deposition surface of the substrate, and rotated by the mask aligner,
Any two of the sheet guides are respectively disposed on both sides between the substrate and the deposition material guide, and the rest of the sheet guides are disposed from between the substrate and the deposition material guide toward the direction in which the substrate is disposed or the deposition material arranged at a spaced apart position toward the direction of arrangement of the guide,
Thin film deposition equipment. 청구항 2에 있어서,
상기 시트 가이드들 중 적어도 어느 하나 이상은 롤러 구동유닛에 의하여 회전되는 구동롤러로 구성된,
박막증착장비.3. The method according to claim 2,
At least one of the sheet guides is composed of a driving roller rotated by a roller driving unit,
Thin film deposition equipment. 청구항 1에 있어서,
상기 이동식 마스크 장치는,
상기 마스크 시트가 감긴 시트 공급롤러와;
상기 시트 공급롤러로부터 공급되어 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과한 마스크 시트가 감기는 시트 회수롤러를 더 포함하는,
박막증착장비.The method according to claim 1,
The movable mask device,
a sheet supply roller on which the mask sheet is wound;
Further comprising a sheet recovery roller supplied from the sheet supply roller, the mask sheet passing between the substrate and the deposition material guide is wound,
Thin film deposition equipment. 삭제delete 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
상기 증착물질 가이드는,
상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질이 유입되는 증착물질 유입구와;
증착물질을 상기 기판 쪽으로 유출시키며 면적이 상기 증착물질 유입구에 비하여 큰 증착물질 유출구와;
상기 증착물질 유입구와 상기 증착물질 유출구를 연결하며 상기 증착물질 유입구 쪽에서 상기 증착물질 유출구 쪽으로 갈수록 점차 확장되는 형상을 가진 증착물질 안내통로를 포함하는,
박막증착장비.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The deposition material guide,
a deposition material inlet through which the deposition material from the deposition material supply unit is introduced;
a deposition material outlet for discharging the deposition material toward the substrate and having a larger area than the deposition material inlet;
and a deposition material guide passage connecting the deposition material inlet and the deposition material outlet and having a shape gradually extending from the deposition material inlet to the deposition material outlet;
Thin film deposition equipment. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
상기 마스크 시트의 이동경로에서 상기 마스크 시트에 부착된 이물을 제거하는 시트 세정유닛을 더 포함하는,
박막증착장비.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Further comprising a sheet cleaning unit for removing foreign substances attached to the mask sheet in the movement path of the mask sheet,
Thin film deposition equipment. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 있어서,
상기 마스크 패턴영역들 중 적어도 어느 하나 이상은 다른 마스크 패턴을 가지도록 형성된,
박막증착장비.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
At least one of the mask pattern regions is formed to have a different mask pattern,
Thin film deposition equipment.
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