KR102339022B1 - 포토 마스크 보관 케이스 - Google Patents

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KR102339022B1
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Abstract

본 발명에 따른 포토 마스크 보관 케이스는 포토 마스크가 내부에 안착되는 구조를 갖는 케이스 본체(200); 상기 케이스 본체(200)에 결합되어져 포토 마스크의 내부 수용을 가능하게 하는 뚜껑(300); 및 상기 케이스 본체(200)와 뚜껑(300)이 결합된 상태에서 안정적인 결속을 시행하는 잠금장치(400);를 포함하고, 상기 케이스 본체(200)는, 포토 마스크를 운송하기 위해 수납할 수 있도록 내부에 형성된 공간인 수납부(201)가 형성되는 본체 하우징(210), 상기 본체 하우징(210) 내에 장입되는 포토 마스크를 받쳐줄 수 있도록 상기 본체 하우징(210)의 내부 코너 상에 배치되는 받침 모듈(220), 상기 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸는 방식으로 상기 케이스 본체(200)의 상면 상에 가장자리를 따라 형성되는 본체 격벽부(230), 상기 본체 격벽부(230)의 코너 외측 상에 형성되는 완충 범퍼(240) 및 상기 본체 격벽부(230)와 완충 범퍼(240)의 사이 공간을 따라 결합되는 충격 방지링(250)을 포함하고, 상기 충격 방지링(250)은 상기 본체 격벽부(230)의 코너 외측을 따라 결합되는 경우에 진행방향을 기준으로 다단의 절곡을 통해 상기 본체 격벽부(230)의 인접한 두면 간에 걸쳐지도록 결합되는 것을 특징으로 한다.

Description

포토 마스크 보관 케이스{Photo mask storage case}
본 발명은 포토 마스크를 내장하는 케이스 내로의 파티클 유입 방지 및 상기 케이스 내부의 용이한 세정을 가능하게 하는 포토 마스크 보관 케이스에 관한 것이다.
반도체 및 LCD 공정에 필수로 사용되는 핵심 소재인 포토 마스크는 엔지니어가 설계한 전자회로를 노광시스템을 이용해 석영 기판 위에 형상화한 제품이다. 회로가 새겨진 포토 마스크를 감광액이 입혀진 반도체 원판인 웨이퍼나 LCD 유리기판 위에 놓고 빛을 쪼이면 빛이 통과해 닿은 부분만 화학반응이 일어나면서 반도체 칩과 LCD 유리기판 위에 회로 패턴이 형성된다.
노광공정으로 불리는 이 과정은 기본적으로 사진을 인화하는 과정과 같기 때문에 여기서 포토 마스크라는 이름이 유래되었고, 피사체가 담긴 필름으로 사진을 현상하는 것과 마찬가지로 포토 마스크는 반도체나 LCD를 제작할 때 필름과도 같은 역할을 한다. 그렇기 때문에, 포토 마스크의 품질은 반도체 집적도와 LCD 해상도 등을 좌우할 만큼 매우 중요하다.
포토 마스크와 마스크 보호를 위한 펠리클 감광제인 포토레지스트를 비롯한 관련 재료의 새로운 개발이 필수적인데, 펠리클은 예를 들어 가로 110㎜, 세로 144㎜ 크기에 두께가 50나노로 매우 얇은 초박막 필름 형태라 만들기가 쉽지 않고, 펠리클을 포토 마스크 위로 고정하는 일은 더 어렵게 된다.
한편, 포토 마스크 한장의 가격은 수억원대이고 펠리클은 2000~3000만원에 달하는바, 이런 마스크와 펠리클을 잘 보관해 운반하는 일이 만만치 않게 된다.
포토 마스크는 이송 시스템에서 물리적으로 움직이게 되는데, 상기 과정에서 과도한 접촉이 발생할 수 있고 이탈되어 나온 나노 크기의 파티클(particle)이 수율을 떨어지게 만드는 원인이 될 수 있다.
한편, 포토 마스크 전용 적재 수단을 이용하여 포토 마스크를 고정시킨 상태로 이동시키는 기술과 관련된 기술을 제시하는 종래의 문헌으로는 한국등록실용문헌 제20-0447125호를 참조할 수 있다.
(특허문헌 1) KR20-0447125 B
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해소하고자 하는 것으로서, 상하부케이스 사이에 배치되는 씰링부재인 오링의 체결 통로 변경과 브라켓의 구조 변경을 통해 상기 오링의 변형 방지를 추구함과 동시에 보관 케이스의 세정 편의성 향상을 가능하게 하는 포토 마스크 보관 케이스를 제공하고하 하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토 마스크 보관 케이스는 포토 마스크가 내부에 안착되는 구조를 갖는 케이스 본체(200); 상기 케이스 본체(200)에 결합되어져 포토 마스크의 내부 수용을 가능하게 하는 뚜껑(300); 및 상기 케이스 본체(200)와 뚜껑(300)이 결합된 상태에서 안정적인 결속을 시행하는 잠금장치(400);를 포함하고, 상기 케이스 본체(200)는, 포토 마스크를 운송하기 위해 수납할 수 있도록 내부에 형성된 공간인 수납부(201)가 형성되는 본체 하우징(210), 상기 본체 하우징(210) 내에 장입되는 포토 마스크를 받쳐줄 수 있도록 상기 본체 하우징(210)의 내부 코너 상에 배치되는 받침 모듈(220), 상기 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸는 방식으로 상기 케이스 본체(200)의 상면 상에 가장자리를 따라 형성되는 본체 격벽부(230), 상기 본체 격벽부(230)의 코너 외측 상에 형성되는 완충 범퍼(240) 및 상기 본체 격벽부(230)와 완충 범퍼(240)의 사이 공간을 따라 결합되는 충격 방지링(250)을 포함하고, 상기 충격 방지링(250)은 상기 본체 격벽부(230)의 코너 외측을 따라 결합되는 경우에 진행방향을 기준으로 다단의 절곡을 통해 상기 본체 격벽부(230)의 인접한 두면 간에 걸쳐지도록 결합되는 것을 특징으로 한다.
상기 받침 모듈(220)은, 상기 본체 하우징(210)의 내부 가장자리 코너부 상에 복수개가 각각 배치되는 받침 브라켓(221) 및 상기 받침 브라켓(221)의 하단 상에 배치되는 브라켓 지지대(229)를 포함한다.
상기 받침 브라켓(221)은, 상기 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸도록 구성되는 본체 격벽부(230)의 내측과 이격 공간을 갖게 하는 세척공(223)이 형성된 브라켓 바디(222), 상기 브라켓 바디(222)의 내측 상에 형성된 필름 안착홈(224) 및 상기 필름 안착홈(224)의 하단 상에 형성된 가이드홈(225)을 포함하고, 상기 브라켓 바디(222)는 전체적으로는 상기 세척공(223) 및 필름 안착홈(224)이 대각선 방향으로 형성된 사각 플레이트 구조를 갖는다.
상기 브라켓 지지대(229)는 상기 브라켓 바디(222)의 하단 상에 한쌍이 이격 배치되는 구조를 갖는다.
상술한 바와 같은 본 발명에 따른 포토 마스크 보관 케이스는 상하부케이스 사이에 배치되는 씰링부재인 오링의 체결 통로 변경과 브라켓의 구조 변경을 통해서 오링의 변형 방지를 추구함과 동시에 보관 케이스의 세정 편의성 향상을 가능하게 함으로써, 포토 마스크를 내장하는 케이스 내로의 파티클 유입을 방지하고 케이스 내부의 용이한 세정을 가능하게 한다.
본 발명은 종래의 수동 내지 자동화된 마스크 로딩 기계 구조와 무관하게 포토 마스크 케이스의 기본 구조는 유지한 상태에서 부분 변경 만을 통해서 가능하게 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토 마스크 보관 케이스의 전체적인 외관을 보인다.
도 2는 도 1에 따른 포토 마스크 보관 케이스의 개방된 상태를 보인다.
도 3은 포토 마스크 보관 케이스를 이루는 받침 모듈의 확대도를 보인다.
도 4는 포토 마스크 보관 케이스를 이루는 받침 모듈의 분해사시도를 보인다.
도 5는 포토 마스크 보관 케이스를 이루는 가압 모듈의 분해사시도를 보인다.
도 6은 포토 마스크 보관 케이스를 이루는 케이스 본체의 내부 평면도를 보인다.
도 7은 포토 마스크 보관 케이스를 이루는 받침 모듈과 가압 모듈 간의 결합 관계를 보이는 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 포토 마스크 보관 케이스를 설명한다.
포토 마스크 보관 케이스(100)는 포토 마스크가 내부에 안착되는 구조를 갖는 케이스 본체(200), 케이스 본체(200)에 결합되어져 포토 마스크의 내부 수용을 가능하게 하는 뚜껑(300) 및 상기 케이스 본체(200)와 뚜껑(300)이 결합된 상태에서 안정적인 결속을 시행하는 잠금장치(400)를 포함한다.
포토 마스크 보관 케이스(100)는 예시적으로 PMMA(PolyMethy MethAcrylate,아크릴)수지와 ABS(acrylonitrile-butadienstyrene)수지를 합성하여 이루어지게 된다.
포토 마스크 보관 케이스(100)의 하부에는 지지대와 각도조절수단에서 분리되어 포토 마스크 보관 케이스(100)만 용이하게 이송할 수 있도록 휠(110)이 설치되어질 수 있다.
케이스 본체(200)는 LCD 글라스 원판일 수 있는 포토 마스크(1)를 운송하기 위해 수납할 수 있도록 내부에 형성된 공간인 수납부(201) 및 수납부(201) 내에 장입되는 포토 마스크(1)를 최대한 보호할 수 있도록 하는 보강대(203)가 형성되는 본체 하우징(210), 본체 하우징(210)의 수납부(201)에 장입되는 포토 마스크(1)를 받쳐줄 수 있도록 본체 하우징(210)의 내부 코너 상에 배치되는 받침 모듈(220) 및 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸는 방식으로 케이스 본체(200)의 상면 상에 가장자리를 따라 형성되는 본체 격벽부(230), 본체 격벽부(230)의 코너 외측 상에 형성되는 완충 범퍼(240) 및 본체 격벽부(230)의 외측과 완충 범퍼(240)의 내측 공간을 따라 결합되는 충격 방지링(250)을 포함한다.
본체 하우징(210) 상에는 케이스 본체(200)의 보강력을 높여 외적인 충격에도 케이스 본체(200)의 손상을 방지하여 수납부(201)에 장입되는 포토 마스크(1)를 최대한 보호할 수 있도록 보강대(203)가 설치되어진다.
보강대(203)는 케이스 본체(200)의 보강력을 최대한 고르게 유지시킬 수 있도록 수납부(201) 내에서 십자 형태로 설치되어진다.
케이스 본체(200)의 상부 둘레에는 뚜껑(300)이 덮여질 때 충격을 흡수하고 마찰에 의한 부스러기 등이 발생되지 않도록 오링이 설치되어진다.
또한, 케이스 본체(200)의 내측 모서리 4군데에는 수납부(201)에 장입되는 포토 마스크(1)를 받쳐줄 수 있도록 받침 모듈(220)이 설치된다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 받침 모듈(220)은 본체 하우징(210)의 내부 가장자리 코너부 상에 복수개가 각각 배치되는 받침 브라켓(221) 및 받침 브라켓(221)의 하단 상에 배치되는 브라켓 지지대(229)를 포함한다. 받침 모듈(220)은 케이스 본체(200)의 내측 상에서 안착되는 포토 마스크(1)의 코너 부위를 안정적으로 지지하는 기능을 한다.
이때, 상기 받침 모듈(220)은 본체 하우징(210)의 내부 바닥면 보다 높게 구비되어 수납부(201)에 장입되는 포토 마스크(1)가 받침 모듈(220) 상에 얹혀지는 한편 보강대(210)에는 닿지 않게 된다. 그리고, 상기 받침 모듈(220)의 상부에는 포토 마스크(1)의 충격 및 손상을 방지할 수 있도록 실링이 설치되어질 수 있다.
받침 브라켓(221)은 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸도록 구성되는 본체 격벽부(230)의 내측과 이격 공간을 갖게 하는 세척공(223)이 형성된 브라켓 바디(222), 브라켓 바디(222)의 내측 상에 형성된 필름 안착홈(224) 및 필름 안착홈(224)의 하단 상에 형성된 가이드홈(225)을 포함한다.
브라켓 바디(222)는 전체적으로는 세척공(223) 및 필름 안착홈(224)이 대각선 방향으로 형성된 사각 플레이트 구조를 갖는다. 즉, 예를 들어 브라켓 바디(222)의 중심을 기준으로 외측인 우측 상단 상에는 세척공(223)이 형성되어져 본체 하우징(210)의 내부 모퉁이 영역 상에 빈 공간을 형성하게 하고, 브라켓 바디(222)의 중심을 기준으로 내측인 좌측 하단 상에는 필름 안착홈(224)이 형성되어져 본체 하우징(210)에 안착되는 포토 마스크(1)의 가장자리부의 안착을 가능하게 한다. 필름 안착홈(224)은 브라켓 바디(222)의 내측 상에 단차지게 형성되어진 상태에서 포토 마스크(1)의 요동을 방지하게 한다. 한편, 필름 안착홈(224)은 브라켓 바디(222)의 중앙부 영역 상에 별도의 완충 영역을 추가적으로 구비함으로써 충격을 저감하는 기능을 한다.
브라켓 지지대(229)는 브라켓 바디(222)의 하단 상에 한쌍이 이격 배치되는 구조를 갖는다. 즉, 본체 하우징(210) 상에서 받침 브라켓(221)은 브라켓 지지대(229)를 통해 소정 높이로 본체 하우징(210)의 내부 저면에서 이격 배치되는 구조를 갖는다.
이를 통해 본체 하우징(210)의 내부 공간을 세척하는 경우에, 받침 모듈(220)의 세척공(223)을 통해 하부로 배출되는 이물질들은 브라켓 지지대(229) 사이의 공간을 통해 이동하여 본체 하우징(210)의 중앙 공간으로 원활하게 배출되는 것을 가능하게 한다. 즉, 받침 모듈(220)의 끝단 모서리에 형성된 홈부인 세척공(223)은 물 청소시 수분을 용이하게 제거할 수 있게 한다.
본체 격벽부(230)는 전체적으로는 사각 형상의 틀 구조를 갖는 것으로서, 코너 가장자리 부위는 모따기 형상으로 완만한 구조를 갖는다. 구체적으로, 일자 형상으로 이루어진 인접한 한쌍의 격벽들 사이에는 충격 방지링(250)의 과도한 방향 전환을 방지하도록 각각 45도 각도로 절곡되는 방식으로 코너부가 형성된다. 즉, 코너부 상에서 본체 격벽부(230)가 90도의 각도로 조립되는 기존의 경우에는 우레탄으로 이루어진 충격 방지링(250)의 형태를 과도하게 변형시킴으로 인해서 파티클 유입에 대한 효과를 기재할 수 없게 한다.
이를 개선하여, 코너부 상에서 본체 격벽부(230)의 각도를 45도의 형태로 조정면서 꺽이는 부분의 변형을 최소화하여 충격 방지링(250)의 형태를 유지시킴으로써 코너부 상으로 다발성 파티클의 유입을 차단하는 효과를 기대하게 한다.
완충 범퍼(240)는 충격 방지링(250)을 설치하는 경우에, 본체 격벽부(230)의코너부와 완충 범퍼(240) 사이에 링 웨이를 조성함으로써 케이스 본체(200)의 뒤틀림 방지 및 충격 방지링(250)의 이탈과 변형을 방지함으로써 파티클 유입을 최소화한다.
기존 코너 브라켓의 조립 구조는 케이스의 세정 단계에서 구석진 부분을 막는 구조인 관계로 파티클 제거의 효과를 확신할 수 없다는 한계가 있었지만, 받침 모듈의 세척공 형성을 통해서, 코너부 다발성 파티클 제거 및 세정/건조 단계의 효율성을 위해 코너부를 효과적으로 디자인함으로써 케이스 세정 작업시 구석에 끼여 있는 파티클의 제거를 용이하게 한다.
또한, 이를 통해서 에어 건 사용시에 파티클의 역류 현상을 방지하고, 파티클의 원활한 빠져 나감을 가능하게 하는 구조를 제공한다.
뚜껑(300)은 케이스 본체(200)의 상부에 덮여져 수납부(201)에 장입되는 포토 마스크(1)를 외부로부터 차단할 수 있도록 수납부(201)를 밀폐시키게 된다.
도 5를 참조하면, 가압 모듈(320)은 뚜껑(300)의 내부 가장자리 코너부 상에 복수개가 각각 배치되는 가압 패드(321) 및 가압 패드(321)의 하단 상에 배치되는 패드 지지대(229)를 포함한다. 가압 모듈(320)은 뚜껑(300)의 내측 상에서 안착되는 포토 마스크(1)의 코너 부위를 안정적으로 지지하는 기능을 한다.
가압 패드(321)는 가압 모듈(320)의 외측을 둘러싸도록 구성되는 뚜껑(300)의 내측 격벽과 이격 공간을 갖게 하는 상부 세척공(323)이 형성된 패드 바디(322), 패드 바디(322)의 내측 상에 형성된 안착홈(324)을 포함한다.
도 7은 포토 마스크 보관 케이스를 이루는 받침 모듈과 가압 모듈 간의 결합 관계를 보이는 단면도이다.
케이스 본체(200) 상에 뚜껑(300)을 결합하여 포토 마스크를 내장한 구조를 설명한다.
브라켓 바디(222)의 필름 안착홈(224)은 포토 마스크의 두께에 비례하여 가공되어진다. 즉, 받침 모듈(220)과 가압 모듈(320) 사이에 포토 마스크가 위치하는 경우에, 브라켓 바디(222)에 단차지게 형성된 필름 안착홈(224)에 포토 마스크의 코너 부위가 놓이는 구조를 갖는다.
한편, 필름 안착홈(224)에 형성된 가이드홈(225) 및 패드 바디(322)에 형성된 안착홈(324)에는 각각 실리콘, 고무 재질 또는 테프론 재질의 튜브(예를 들어직경 7.94mm)를 삽입함으로써 브라켓 바디(222) 및 패드 바디(322)에 밀착하는 포토 마스크에 대해서 직접적으로 닿지 않게 하고, 이를 통해 충격 보호 등의 기능을 할 수 있게 한다.
받침 모듈의 내측단이 가압 모듈의 내측단보다는 포토 마스크 보관 케이스의 내부 상으로 더 돌출 형성됨으로써, 내장되는 포토 마스크의 안정적인 지지를 가능하게 한다.
도시하지는 않았지만, 상기 뚜껑(300)의 내측에는 수납부(201)에 장입되는 포토 마스크(1)의 손상을 방지할 수 있도록 실리콘 실링이 설치될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 포토 마스크 보관 케이스
200 : 케이스 본체
201 : 수납부
210 : 본체 하우징
220 : 받침 모듈
221 : 받침 브라켓
222 : 브라켓 바디
223 : 세척공
224 : 필름 안착홈
225 : 가이드홈
229 : 브라켓 지지대
230 : 본체 격벽부
240 : 완충 범퍼
250 : 충격 방지링
300 : 뚜껑
400 : 잠금장치

Claims (4)

  1. 포토 마스크가 내부에 안착되는 구조를 갖는 케이스 본체(200);
    상기 케이스 본체(200)에 결합되어져 포토 마스크의 내부 수용을 가능하게 하는 뚜껑(300); 및
    상기 케이스 본체(200)와 뚜껑(300)이 결합된 상태에서 안정적인 결속을 시행하는 잠금장치(400);를 포함하고,
    상기 케이스 본체(200)는,
    포토 마스크를 운송하기 위해 수납할 수 있도록 내부에 형성된 공간인 수납부(201)가 형성되는 본체 하우징(210),
    상기 본체 하우징(210) 내에 장입되는 포토 마스크를 받쳐줄 수 있도록 상기 본체 하우징(210)의 내부 코너 상에 배치되는 받침 모듈(220),
    상기 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸는 방식으로 상기 케이스 본체(200)의 상면 상에 가장자리를 따라 형성되는 본체 격벽부(230),
    상기 본체 격벽부(230)의 코너 외측 상에 형성되는 완충 범퍼(240) 및
    상기 본체 격벽부(230)와 완충 범퍼(240)의 사이 공간을 따라 결합되는 충격 방지링(250)을 포함하고,
    상기 본체 하우징(210)의 내부 가장자리 코너부 상에 복수개가 각각 배치되고, 상기 받침 모듈(220)에 포함되는 받침 브라켓(221)은,
    상기 받침 모듈(220)의 외측을 둘러싸도록 구성되는 본체 격벽부(230)의 내측과 이격 공간을 갖게 하는 세척공(223)이 형성된 브라켓 바디(222),
    상기 브라켓 바디(222)의 내측 상에 형성된 필름 안착홈(224) 및
    상기 필름 안착홈(224)의 하단 상에 형성된 가이드홈(225)을 포함하고,
    상기 브라켓 바디(222)의 중심을 기준으로 외측인 우측 상단 상에는 상기 세척공(223)이 형성되어져 상기 본체 하우징(210)의 내부 모퉁이 영역 상에 빈 공간을 형성하게 하고, 상기 브라켓 바디(222)의 중심을 기준으로 내측인 좌측 하단 상에는 상기 필름 안착홈(224)이 형성되어져 상기 본체 하우징(210)에 안착되는 포토 마스크(1)의 가장자리부의 안착을 가능하게 하고, 상기 필름 안착홈(224)은 브라켓 바디(222)의 내측 상에 단차지게 형성되어진 상태에서 상기 포토 마스크(1)의 요동을 방지하는 한편, 상기 필름 안착홈(224)은 브라켓 바디(222)의 중앙부 영역 상에 별도의 완충 영역을 추가적으로 구비하며, 상기 브라켓 바디(222)는 전체적으로는 상기 세척공(223) 및 필름 안착홈(224)이 대각선 방향으로 형성된 사각 플레이트 구조를 갖고,
    상기 본체 격벽부(230)는 일자 형상으로 이루어진 인접한 한쌍의 본체 격벽부 사이에서 상기 충격 방지링(250)의 과도한 방향 전환을 방지하도록 각각 45도 각도로 절곡되는 방식으로 코너부가 형성되며,
    상기 충격 방지링(250)은 상기 본체 격벽부(230)의 코너 외측을 따라 결합되는 경우에 진행방향을 기준으로 다단의 절곡을 통해 상기 본체 격벽부(230)의 인접한 두면 간에 걸쳐지도록 결합되는 것을 특징으로 하는,
    포토 마스크 보관 케이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 받침 모듈(220)은,
    상기 받침 브라켓(221) 및 상기 받침 브라켓(221)의 하단 상에 배치되는 브라켓 지지대(229)를 포함하는,
    포토 마스크 보관 케이스.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 브라켓 바디(222)는 전체적으로는 상기 세척공(223) 및 필름 안착홈(224)이 대각선 방향으로 형성된 사각 플레이트 구조를 갖는,
    포토 마스크 보관 케이스.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 브라켓 지지대(229)는 상기 브라켓 바디(222)의 하단 상에 한쌍이 이격 배치되는 구조를 갖는,
    포토 마스크 보관 케이스.
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