KR102324407B1

KR102324407B1 - Unit for supplying liquid, Apparatus and Method for treating substrate with the unit

Info

Publication number: KR102324407B1
Application number: KR1020190179586A
Authority: KR
Inventors: 김대성
Original assignee: 세메스 주식회사
Priority date: 2019-12-31
Filing date: 2019-12-31
Publication date: 2021-11-11
Also published as: KR20210085968A

Abstract

본 발명은 기판에 액을 공급하는 장치 및 방법을 제공한다. 기판을 처리하는 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 액을 공급하는 액 공급 유닛, 그리고 상기 액 공급 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 아암 부재와 상기 아암 부재에 설치되어 액을 공급하는 복수의 토출 부재를 포함하되, 각각의 상기 토출 부재는 액을 토출하는 노즐과 상기 노즐을 상기 아암 부재에 탈착하는 제1결합 부재를 포함하되, 상기 제1결합 부재는 상기 노즐과 상기 아암 부재 중 어느 하나에 고정 결합되는 제1도체와 상기 노즐과 상기 아암 부재 중 다른 하나에 고정 결합되는 제1전자석을 포함한다. The present invention provides an apparatus and method for supplying a liquid to a substrate. An apparatus for processing a substrate includes a substrate supporting unit supporting a substrate, a liquid supplying unit supplying a liquid on a substrate supported by the substrate supporting unit, and a controller controlling the liquid supplying unit, wherein the liquid supplying unit comprises: an arm member and a plurality of discharging members installed on the arm member to supply a liquid, wherein each discharging member includes a nozzle discharging the liquid and a first coupling member for attaching and detaching the nozzle to and from the arm member, The first coupling member includes a first conductor fixedly coupled to one of the nozzle and the arm member, and a first electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the arm member.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] A liquid supply unit and a substrate processing apparatus having the same, and a method for treating substrate with the same

본 발명은 기판을 처리하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 기판에 액을 공급하는 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for processing a substrate, and more particularly, to an apparatus and method for supplying a liquid to a substrate.

반도체 소자를 제조하기 위해서는 세정, 증착, 사진, 식각, 그리고 이온주입 등과 같은 다양한 공정이 수행된다. 이러한 공정들 중 사진 공정은 도포, 노광, 그리고 현상 단계를 순차적으로 수행한다. 도포 공정은 기판의 표면에 레지스트와 같은 감광액을 도포하는 공정이다. 노광 공정은 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광하는 공정이다. 현상 공정에는 기판의 노광 처리된 영역을 선택적으로 현상하는 공정이다. In order to manufacture a semiconductor device, various processes such as cleaning, deposition, photography, etching, and ion implantation are performed. Among these processes, the photographic process sequentially performs application, exposure, and development steps. The coating process is a process of applying a photosensitive liquid such as a resist to the surface of the substrate. The exposure process is a process of exposing a circuit pattern on a substrate on which a photosensitive film is formed. The developing process is a process of selectively developing an exposed region of a substrate.

일반적으로 도포 공정은 기판을 액 처리하는 공정으로, 포토레지스트와 같은 감광액을 기판 상에 도포하는 공정을 포함한다. 감광액은 다양한 종류로 제공되며, 공정에 따라 서로 다른 감광액을 공급한다. 따라서 감광액을 공급하는 노즐은 도 1과 같이 복수 개로 제공되며, 이들은 아암 부재(2)에 의해 지지된다. 각 노즐(4)은 아암 부재(2)에 너트(6)와 함께 나사 결합되며, 탈부착이 어렵다. 따라서 각 노즐(4)은 아암 부재(2)에 고정된 채로 함께 이동되며, 이들 중 선택된 노즐(4)은 감광액을 공급한다.In general, a coating process is a process of liquid-treating a substrate, and includes a process of applying a photoresist such as a photoresist on the substrate. The photoresist is provided in various types, and different photoresists are supplied depending on the process. Accordingly, a plurality of nozzles for supplying the photosensitive liquid are provided as shown in FIG. 1 , and they are supported by the arm member 2 . Each nozzle 4 is screwed together with a nut 6 to the arm member 2, and is difficult to attach and detach. Accordingly, each nozzle 4 is moved together while being fixed to the arm member 2, and a selected one of these nozzles 4 supplies the photosensitive liquid.

이러한 노즐들은 공간 효율을 위해 서로 인접하게 위치되며, 감광액은 기판 표면에 부착되는 액으로, 점도를 가진다. 이로 인해 감광액을 토출하는 과정에서 일부가 비산되어 인접 노즐에 부착될 수 있으며, 액 공급이 완료된 후에는 아암 부재에 지지된 노즐들을 세정하기 위한 세정 공정이 필수로 수반되어야 한다.These nozzles are positioned adjacent to each other for space efficiency, and the photoresist is a liquid that adheres to the substrate surface and has a viscosity. As a result, a portion of the photoresist may be scattered and attached to adjacent nozzles in the process of discharging the photosensitive liquid. After the liquid supply is completed, a cleaning process for cleaning the nozzles supported by the arm member must be necessarily accompanied.

그러나 세정 공정은 다음 도포 공정이 수행되기 전에 종료되어야 하며, 충분한 노즐의 세정 공정이 어렵다.However, the cleaning process must be terminated before the next application process is performed, and it is difficult to sufficiently clean the nozzle.

본 발명은 기판을 액 처리하는 과정에서 노즐의 오염을 최소화할 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an apparatus and method capable of minimizing contamination of a nozzle during a liquid treatment process for a substrate.

또한 본 발명은 노즐의 탈부착이 용이한 장치 및 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide an apparatus and method for easily attaching and detaching a nozzle.

본 발명의 실시예는 기판에 액을 공급하는 장치 및 방법을 제공한다. SUMMARY Embodiments of the present invention provide an apparatus and method for supplying a liquid to a substrate.

기판을 처리하는 장치는 기판을 지지하는 기판 지지 유닛, 상기 기판 지지 유닛에 지지된 기판 상에 액을 공급하는 액 공급 유닛, 그리고 상기 액 공급 유닛을 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 액 공급 유닛은 아암 부재와 상기 아암 부재에 설치되어 액을 공급하는 복수의 토출 부재를 포함하되, 각각의 상기 토출 부재는 액을 토출하는 노즐과 상기 노즐을 상기 아암 부재에 탈착하는 제1결합 부재를 포함하되, 상기 제1결합 부재는 상기 노즐과 상기 아암 부재 중 어느 하나에 고정 결합되는 제1도체와 상기 노즐과 상기 아암 부재 중 다른 하나에 고정 결합되는 제1전자석을 포함한다. An apparatus for processing a substrate includes a substrate supporting unit supporting a substrate, a liquid supplying unit supplying a liquid on a substrate supported by the substrate supporting unit, and a controller controlling the liquid supplying unit, wherein the liquid supplying unit comprises: an arm member and a plurality of discharging members installed on the arm member to supply a liquid, wherein each discharging member includes a nozzle discharging the liquid and a first coupling member for attaching and detaching the nozzle to and from the arm member, The first coupling member includes a first conductor fixedly coupled to one of the nozzle and the arm member, and a first electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the arm member.

상기 제어기는 복수 개의 상기 토출 부재 중 선택된 토출 부재가 상기 아암 부재에 탈착 또는 부착되도록 상기 제1전자석을 제어할 수 있다. 상기 장치는, 상기 노즐이 대기되며, 복수 개의 상기 노즐이 각각 수용되는 수용 공간을 가지는 대기 포트를 더 포함하고, 각각의 상기 토출 부재는, 상기 노즐을 상기 대기 포트에 탈착하는 제2결합 부재를 더 포함하되, 상기 제2결합 부재는 상기 노즐과 상기 대기 포트 중 어느 하나에 고정 결합되는 제2도체와 상기 노즐과 상기 대기 포트 중 다른 하나에 고정 결합되는 제2전자석 포함할 수있다. The controller may control the first electromagnet so that a discharge member selected from among the plurality of discharge members is detachably attached to or attached to the arm member. The apparatus further includes a standby port in which the nozzle is in standby and having an accommodating space in which a plurality of the nozzles are respectively accommodated, and each of the discharging members includes a second coupling member for attaching and detaching the nozzle to the standby port. Further, the second coupling member may include a second conductor fixedly coupled to any one of the nozzle and the standby port, and a second electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the standby port.

상기 제1도체와 상기 제2도체 각각은 상기 노즐을 감싸는 링 형상으로 제공될 수 있다. 상기 제1도체와 상기 제2도체는 상하 방향으로 서로 이격되게 위치될 수 있다. Each of the first conductor and the second conductor may be provided in a ring shape surrounding the nozzle. The first conductor and the second conductor may be positioned to be spaced apart from each other in a vertical direction.

상기 제2도체는 상기 제1도체보다 아래에 위치되고, 상기 제2도체는 상기 노즐이 삽입되는 상기 수용 공간의 입구보다 큰 직경을 가질 수 있다. 상기 대기 포트는, 상기 수용 공간에 위치된 상기 노즐에 세정액을 공급하는 세정액 공급 라인을 포함할 수 있다. The second conductor may be positioned below the first conductor, and the second conductor may have a larger diameter than an inlet of the accommodation space into which the nozzle is inserted. The standby port may include a cleaning liquid supply line for supplying the cleaning liquid to the nozzle located in the accommodation space.

상기 액 공급 유닛은, 상기 노즐이 상기 대기 포트에 대기되는 대기 위치와 상기 노즐이 기판 상에 액을 공급하는 공정 위치 간에 이동되도록 상기 아암 부재를 이동시키는 이동 부재를 더 포함하되, 상기 노즐들 중 미사용 노즐은 상기 대기 포트에서 대기되며, 상기 제어기는 상기 노즐들 중 선택된 노즐은 상기 아암 부재에 부착되도록 상기 제1전자석과 상기 제2전자석을 제어할 수 있다. The liquid supply unit may further include a moving member that moves the arm member so that the nozzle is moved between a standby position in which the nozzle is standby in the standby port and a process position in which the nozzle supplies a liquid onto a substrate, wherein among the nozzles Unused nozzles are waiting in the standby port, and the controller may control the first electromagnet and the second electromagnet so that a selected one of the nozzles is attached to the arm member.

액을 공급하는 장치는 상기 액 공급 유닛은 아암 부재와 상기 아암 부재에 설치되어 액을 공급하는 복수의 토출 부재를 포함하되, 각각의 상기 토출 부재는, 액을 토출하는 노즐과 상기 노즐을 상기 아암 부재에 탈착시키는 제1결합 부재를 포함하되, 상기 제1결합 부재는 상기 노즐과 상기 아암 부재 중 어느 하나에 고정 결합되는 도체와 상기 노즐과 상기 아암 부재 중 다른 하나에 고정 결합되는 전자석을 포함한다. The apparatus for supplying a liquid, wherein the liquid supply unit includes an arm member and a plurality of discharge members installed on the arm member for supplying a liquid, wherein each of the discharge members includes a nozzle for discharging the liquid and the nozzle connected to the arm a first coupling member detachable from the member, wherein the first coupling member includes a conductor fixedly coupled to one of the nozzle and the arm member, and an electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the arm member .

노즐은, 상하 방향으로 동일한 직경을 가지는 몸통부와 상기 몸통부로부터 아래로 연장되며, 액을 토출하는 토출부를 가지고, 상기 아암 부재는 상기 몸통부의 내측으로 삽입 가능한 삽입부와 상기 삽입부의 상단으로부터 위로 연장되며, 상기 몸통부보다 큰 직경을 가지는 지지부를 포함하되, 상기 전자석은 상기 지지부에 제공되고, 상기 도체는 상기 몸통부에 제공될 수 있다. The nozzle includes a body portion having the same diameter in the vertical direction and a discharge portion extending downwardly from the body portion and discharging a liquid, the arm member including an insertion portion insertable into the inside of the body portion and an upper end of the insertion portion upward and a support part extending and having a larger diameter than the body part, wherein the electromagnet may be provided on the support part, and the conductor may be provided on the body part.

상기 도체는 상기 몸통부를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되며, 상기 삽입부가 상기 몸통부에 삽입되는 위치에서 상기 도체와 상기 전자석은 서로 마주하게 위치될 수 있다. The conductor may be provided in an annular ring shape surrounding the body, and the conductor and the electromagnet may be positioned to face each other at a position where the insertion part is inserted into the body.

상술한 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 처리하는 방법은 상기 노즐들 중 미사용 노즐은 대기 포트에 대기되고,상기 노즐들 중 선택된 노즐은 상기 기판과 마주하는 공정 위치로 이동되어 상기 기판 상에 액을 공급하되, 상기 선택된 노즐은 상기 제1전자석에 의해 상기 아암 부재에 부착되어 상기 공정 위치로 이동된다. In the method of processing a substrate using the above-described substrate processing apparatus, unused nozzles among the nozzles are standby in a standby port, and a selected nozzle among the nozzles is moved to a process position facing the substrate to dispense liquid on the substrate. provided that the selected nozzle is attached to the arm member by the first electromagnet and moved to the process position.

상기 미사용 노즐은 상기 대기 포트에서 세정 처리될 수 있다. The unused nozzles may be cleaned in the standby port.

상기 미사용 노즐은 상기 대기 포트에 제공된 제2전자석에 의해 상기 대기 포트에 부착될 수 있다. 상기 노즐들은 서로 상이한 종류의 감광액을 공급하고, 상기 아암 부재는 상기 복수의 노즐들을 동시에 지지 가능할 수있다. The unused nozzle may be attached to the standby port by a second electromagnet provided in the standby port. The nozzles may supply different types of photoresist, and the arm member may simultaneously support the plurality of nozzles.

본 발명의 실시예에 의하면, 노즐은 자성에 의해 탈부착이 가능하다. 이로 인해 노즐의 탈부착이 용이하여 노즐을 선택적으로 탈부착할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the nozzle is detachable by magnetism. For this reason, it is easy to attach and detach the nozzle, so that the nozzle can be selectively attached and detached.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 선택된 노즐만을 탈부착하므로, 미사용 노즐이 오염되는 것을 방지할 수 있다. In addition, according to the embodiment of the present invention, since only the selected nozzle is attached and detached, it is possible to prevent contamination of unused nozzles.

또한 본 발명의 실시예에 의하면, 미사용 노즐은 선택된 노즐과 관계없이 세정되므로, 세정 공정을 액 공정과 관계없이 진행할 수 있어, 노즐의 세정력을 높일 수 있다.In addition, according to the embodiment of the present invention, since unused nozzles are cleaned regardless of the selected nozzle, the cleaning process can be performed regardless of the liquid process, thereby increasing the cleaning power of the nozzle.

도 1은 일반적인 액 공급 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2의 도포 블럭 또는 현상 블럭을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이다.
도 4는 도 2의 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 5는 도 4의 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 6은 도 4의 열처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6의 열처리 챔버의 정면도이다.
도 8은 도 4의 액 처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 9는 도 8의 액 처리 챔버를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 8의 토출 부재를 보여주는 사시도이다.
도 11은 도 8의 토출 부재 및 아암 부재를 확대해 보여주는 단면도이다.
도 12 내지 도 15는 도 8의 장치를 이용하여 기판을 처리하는 과정을 보여주는 도면이다.1 is a perspective view showing a general liquid supply unit.
2 is a perspective view schematically illustrating a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a cross-sectional view of the substrate processing apparatus showing the application block or the developing block of FIG. 2 .
4 is a plan view of the substrate processing apparatus of FIG. 2 .
FIG. 5 is a view showing an example of a hand of the transport robot of FIG. 4 .
6 is a plan view schematically illustrating an example of the heat treatment chamber of FIG. 4 .
7 is a front view of the heat treatment chamber of FIG. 6 .
8 is a diagram schematically illustrating an example of the liquid processing chamber of FIG. 4 .
9 is a plan view illustrating the liquid processing chamber of FIG. 8 .
10 is a perspective view illustrating the discharge member of FIG. 8 .
11 is an enlarged cross-sectional view of the discharge member and the arm member of FIG. 8 .
12 to 15 are views illustrating a process of processing a substrate using the apparatus of FIG. 8 .

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. Embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those of ordinary skill in the art. Accordingly, the shapes of elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 사시도이고, 도 3은 도 2의 도포 블럭 또는 현상 블럭을 보여주는 기판 처리 장치의 단면도이며, 도 4 도 2의 기판 처리 장치의 평면도이다.2 is a perspective view schematically showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view of the substrate processing apparatus showing the application block or the developing block of FIG. 2, and FIG. 4 of the substrate processing apparatus of FIG. It is a flat view.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(20,index module), 처리 모듈(30, treating module), 그리고 인터페이스 모듈(40, interface module)을 포함한다. 일 실시예에 의하며, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)은 순차적으로 일렬로 배치된다. 이하, 인덱스 모듈(20), 처리 모듈(30), 그리고 인터페이스 모듈(40)이 배열된 방향을 제1 방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1 방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)이라 하고, 제1 방향(12) 및 제2 방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3 방향(16)이라 한다.2 to 4 , the substrate processing apparatus 1 includes an index module ( 20 ), a processing module ( 30 ), and an interface module ( 40 ). According to an embodiment, the index module 20 , the processing module 30 , and the interface module 40 are sequentially arranged in a line. Hereinafter, a direction in which the index module 20 , the processing module 30 , and the interface module 40 are arranged is referred to as a first direction 12 , and a direction perpendicular to the first direction 12 when viewed from the top is referred to as a first direction 12 . A second direction 14 is referred to, and a direction perpendicular to both the first direction 12 and the second direction 14 is referred to as a third direction 16 .

인덱스 모듈(20)은 기판(W)이 수납된 용기(10)로부터 기판(W)을 처리 모듈(30)로 반송하고, 처리가 완료된 기판(W)을 용기(10)로 수납한다. 인덱스 모듈(20)의 길이 방향은 제2 방향(14)으로 제공된다. 인덱스 모듈(20)은 로드포트(22)와 인덱스 프레임(24)을 가진다. 인덱스 프레임(24)을 기준으로 로드포트(22)는 처리 모듈(30)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(10)는 로드포트(22)에 놓인다. 로드포트(22)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드포트(22)는 제2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다. The index module 20 transfers the substrate W from the container 10 in which the substrate W is accommodated to the processing module 30 , and accommodates the processed substrate W in the container 10 . The longitudinal direction of the index module 20 is provided in the second direction 14 . The index module 20 has a load port 22 and an index frame 24 . With reference to the index frame 24 , the load port 22 is located on the opposite side of the processing module 30 . The container 10 in which the substrates W are accommodated is placed on the load port 22 . A plurality of load ports 22 may be provided, and the plurality of load ports 22 may be disposed along the second direction 14 .

용기(10)로는 전면 개방 일체 식 포드(Front Open Unified Pod:FOUP)와 같은 밀폐용 용기(10)가 사용될 수 있다. 용기(10)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드포트(22)에 놓일 수 있다. As the container 10, a closed container 10 such as a Front Open Unified Pod (FOUP) may be used. The container 10 may be placed in the load port 22 by a transfer means (not shown) or an operator, such as an Overhead Transfer, an Overhead Conveyor, or an Automatic Guided Vehicle. can

인덱스 프레임(24)의 내부에는 인덱스 로봇(2200)이 제공된다. 인덱스 프레임(24) 내에는 길이 방향이 제2 방향(14)으로 제공된 가이드 레일(2300)이 제공되고, 인덱스 로봇(2200)은 가이드 레일(2300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(2200)은 기판(W)이 놓이는 핸드(2220)를 포함하며, 핸드(2220)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. An index robot 2200 is provided inside the index frame 24 . A guide rail 2300 having a longitudinal direction in the second direction 14 is provided in the index frame 24 , and the index robot 2200 may be provided to be movable on the guide rail 2300 . The index robot 2200 includes a hand 2220 on which the substrate W is placed, and the hand 2220 moves forward and backward, rotates about the third direction 16 , and moves in the third direction 16 . It may be provided to be movable along with it.

처리 모듈(30)은 기판(W)에 대해 도포 공정 및 현상 공정을 수행한다. 처리 모듈(30)은 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)을 가진다. 도포 블럭(30a)은 기판(W)에 대해 도포 공정을 수행하고, 현상 블럭(30b)은 기판(W)에 대해 현상 공정을 수행한다. 도포 블럭(30a)은 복수 개가 제공되며, 이들은 서로 적층되게 제공된다. 현상 블럭(30b)은 복수 개가 제공되며, 현상 블럭들(30b)은 서로 적층되게 제공된다. 도 3의 실시예에 의하면, 도포 블럭(30a)은 2개가 제공되고, 현상 블럭(30b)은 2개가 제공된다. 도포 블럭들(30a)은 현상 블럭들(30b)의 아래에 배치될 수 있다. 일 예에 의하면, 2개의 도포 블럭들(30a)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다. 또한, 2개의 현상 블럭들(30b)은 서로 동일한 공정을 수행하며, 서로 동일한 구조로 제공될 수 있다.The processing module 30 performs a coating process and a developing process on the substrate W. The processing module 30 has an application block 30a and a developing block 30b. The application block 30a performs a coating process on the substrate W, and the developing block 30b performs a development process on the substrate W. A plurality of application blocks 30a are provided, and they are provided to be stacked on each other. A plurality of developing blocks 30b are provided, and the developing blocks 30b are provided to be stacked on each other. According to the embodiment of Fig. 3, two application blocks 30a are provided, and two development blocks 30b are provided. The application blocks 30a may be disposed below the developing blocks 30b. According to an example, the two application blocks 30a may perform the same process as each other, and may be provided in the same structure. Also, the two developing blocks 30b may perform the same process as each other, and may be provided in the same structure.

도 4를 참조하면, 도포 블럭(30a)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 액 처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800)를 가진다. 열처리 챔버(3200)는 기판(W)에 대해 열처리 공정을 수행한다. 열처리 공정은 냉각 공정 및 가열 공정을 포함할 수 있다. 액처리 챔버(3600)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 액막을 형성한다. 액막은 포토레지스트막 또는 반사방지막일 수 있다. 반송 챔버(3400)는 도포 블럭(30a) 내에서 열처리 챔버(3200)와 액처리 챔버(3600) 간에 기판(W)을 반송한다. Referring to FIG. 4 , the application block 30a includes a heat treatment chamber 3200 , a transfer chamber 3400 , a liquid processing chamber 3600 , and a buffer chamber 3800 . The heat treatment chamber 3200 performs a heat treatment process on the substrate W. The heat treatment process may include a cooling process and a heating process. The liquid processing chamber 3600 supplies a liquid on the substrate W to form a liquid film. The liquid film may be a photoresist film or an antireflection film. The transfer chamber 3400 transfers the substrate W between the heat treatment chamber 3200 and the liquid treatment chamber 3600 in the application block 30a.

반송 챔버(3400)는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공된다. 반송 챔버(3400)에는 반송 로봇(3422)이 제공된다. 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200), 액처리 챔버(3600), 그리고 버퍼 챔버(3800) 간에 기판을 반송한다. 일 예에 의하면, 반송 로봇(3422)은 기판(W)이 놓이는 핸드(3420)를 가지며, 핸드(3420)는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)을 축으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 챔버(3400) 내에는 그 길이 방향이 제1 방향(12)과 평행하게 제공되는 가이드 레일(3300)이 제공되고, 반송 로봇(3422)은 가이드 레일(3300) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. The transfer chamber 3400 is provided so that its longitudinal direction is parallel to the first direction 12 . The transfer chamber 3400 is provided with a transfer robot 3422 . The transfer robot 3422 transfers a substrate between the heat treatment chamber 3200 , the liquid processing chamber 3600 , and the buffer chamber 3800 . According to an example, the transfer robot 3422 has a hand 3420 on which the substrate W is placed, and the hand 3420 moves forward and backward, rotates about the third direction 16 , and the third direction. It may be provided movably along (16). A guide rail 3300 having a longitudinal direction parallel to the first direction 12 is provided in the transfer chamber 3400 , and the transfer robot 3422 may be provided movably on the guide rail 3300 . .

도 6은 도 5의 반송 로봇의 핸드의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 6을 참조하면, 핸드(3420)는 베이스(3428) 및 지지 돌기(3429)를 가진다. 베이스(3428)는 원주의 일부가 절곡된 환형의 링 형상을 가질 수 있다. 베이스(3428)는 기판(W)의 직경보다 큰 내경을 가진다. 지지 돌기(3429)는 베이스(3428)로부터 그 내측으로 연장된다. 지지 돌기(3429)는 복수 개가 제공되며, 기판(W)의 가장자리 영역을 지지한다. 일 예에 의하며, 지지 돌기(3429)는 등 간격으로 4개가 제공될 수 있다. FIG. 6 is a view showing an example of a hand of the transport robot of FIG. 5 . Referring to FIG. 6 , the hand 3420 has a base 3428 and a support protrusion 3429 . The base 3428 may have an annular ring shape in which a portion of the circumference is bent. The base 3428 has an inner diameter greater than the diameter of the substrate W. As shown in FIG. A support protrusion 3429 extends from the base 3428 inward thereof. A plurality of support protrusions 3429 are provided, and support an edge region of the substrate W. As shown in FIG. According to an example, four support protrusions 3429 may be provided at equal intervals.

열처리 챔버(3200)는 복수 개로 제공된다. 도 4와 도 5를 참조하면, 열처리 챔버들(3200)은 제1방향(12)을 따라 나열되게 배치된다. 열처리 챔버들(3200)은 반송 챔버(3400)의 일측에 위치된다.A plurality of heat treatment chambers 3200 are provided. 4 and 5 , the heat treatment chambers 3200 are arranged in a row along the first direction 12 . The heat treatment chambers 3200 are located at one side of the transfer chamber 3400 .

도 6은 도 4의 열처리 챔버의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도이고, 도 7은 도 6의 열처리 챔버의 정면도이다. 열처리 챔버(3200)는 하우징(3210), 냉각 유닛(3220), 가열 유닛(3230), 그리고 반송 플레이트(3240)를 가진다. 6 is a plan view schematically illustrating an example of the heat treatment chamber of FIG. 4 , and FIG. 7 is a front view of the heat treatment chamber of FIG. 6 . The heat treatment chamber 3200 includes a housing 3210 , a cooling unit 3220 , a heating unit 3230 , and a conveying plate 3240 .

하우징(3210)은 대체로 직육면체의 형상으로 제공된다. 하우징(3210)의 측벽에는 기판(W)이 출입되는 반입구(도시되지 않음)가 형성된다. 반입구는 개방된 상태로 유지될 수 있다. 선택적으로 반입구를 개폐하도록 도어(도시되지 않음)가 제공될 수 있다. 냉각 유닛(3220), 가열 유닛(3230), 그리고 반송 플레이트(3240)는 하우징(3210) 내에 제공된다. 냉각 유닛(3220) 및 가열 유닛(3230)은 제2 방향(14)을 따라 나란히 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각 유닛(3220)은 가열 유닛(3230)에 비해 반송 챔버(3400)에 더 가깝게 위치될 수 있다.The housing 3210 is provided in the shape of a substantially rectangular parallelepiped. An inlet (not shown) through which the substrate W enters and exits is formed on the sidewall of the housing 3210 . The inlet may remain open. A door (not shown) may optionally be provided to open and close the inlet. A cooling unit 3220 , a heating unit 3230 , and a conveying plate 3240 are provided in the housing 3210 . The cooling unit 3220 and the heating unit 3230 are provided side by side along the second direction 14 . According to an example, the cooling unit 3220 may be located closer to the transfer chamber 3400 than the heating unit 3230 .

냉각 유닛(3220)은 냉각판(3222)을 가진다. 냉각판(3222)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가질 수 있다. 냉각판(3222)에는 냉각부재(3224)가 제공된다. 일 예에 의하면, 냉각부재(3224)는 냉각판(3222)의 내부에 형성되며, 냉각 유체가 흐르는 유로로 제공될 수 있다. The cooling unit 3220 has a cooling plate 3222 . The cooling plate 3222 may have a generally circular shape when viewed from the top. The cooling plate 3222 is provided with a cooling member 3224 . According to an example, the cooling member 3224 is formed inside the cooling plate 3222 and may be provided as a flow path through which the cooling fluid flows.

가열 유닛(3230)은 가열판(3232), 커버(3234), 그리고 히터(3233)를 가진다. 가열판(3232)은 상부에서 바라볼 때 대체로 원형의 형상을 가진다. 가열판(3232)은 기판(W)보다 큰 직경을 가진다. 가열판(3232)에는 히터(3233)가 설치된다. 히터(3233)는 전류가 인가되는 발열저항체로 제공될 수 있다. 가열판(3232)에는 제3 방향(16)을 따라 상하 방향으로 구동 가능한 리프트 핀(3238)들이 제공된다. 리프트 핀(3238)은 가열 유닛(3230) 외부의 반송 수단으로부터 기판(W)을 인수받아 가열판(3232) 상에 내려놓거나 가열판(3232)으로부터 기판(W)을 들어올려 가열 유닛(3230) 외부의 반송 수단으로 인계한다. 일 예에 의하면, 리프트 핀(3238)은 3개가 제공될 수 있다. 커버(3234)는 내부에 하부가 개방된 공간을 가진다. 커버(3234)는 가열판(3232)의 상부에 위치되며 구동기(3236)에 의해 상하 방향으로 이동된다. 커버(3234)가 가열판(3232)에 접촉되면, 커버(3234)와 가열판(3232)에 의해 둘러싸인 공간은 기판(W)을 가열하는 가열 공간으로 제공된다. The heating unit 3230 has a heating plate 3232 , a cover 3234 , and a heater 3233 . The heating plate 3232 has a generally circular shape when viewed from the top. The heating plate 3232 has a larger diameter than the substrate W. A heater 3233 is installed on the heating plate 3232 . The heater 3233 may be provided as a heating resistor to which current is applied. The heating plate 3232 is provided with lift pins 3238 drivable in the vertical direction along the third direction 16 . The lift pin 3238 receives the substrate W from the transfer means outside the heating unit 3230 and puts it down on the heating plate 3232 or lifts the substrate W from the heating plate 3232 to the outside of the heating unit 3230 hand over by means of transport. According to an example, three lift pins 3238 may be provided. The cover 3234 has a space with an open lower portion therein. The cover 3234 is positioned on the heating plate 3232 and is moved in the vertical direction by the driver 3236 . When the cover 3234 is in contact with the heating plate 3232 , the space surrounded by the cover 3234 and the heating plate 3232 is provided as a heating space for heating the substrate W .

반송 플레이트(3240)는 대체로 원판 형상을 제공되고, 기판(W)과 대응되는 직경을 가진다. 반송 플레이트(3240)의 가장자리에는 노치(3244)가 형성된다. 노치(3244)는 상술한 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)에 형성된 돌기(3429)와 대응되는 형상을 가질 수 있다. 또한, 노치(3244)는 핸드(3420)에 형성된 돌기(3429)와 대응되는 수로 제공되고, 돌기(3429)와 대응되는 위치에 형성된다. 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240)가 상하 방향으로 정렬된 위치에서 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240)의 상하 위치가 변경하면 핸드(3420)와 반송 플레이트(3240) 간에 기판(W)의 전달이 이루어진다. 반송 플레이트(3240)는 가이드 레일(3249) 상에 장착되고, 구동기(3246)에 의해 가이드 레일(3249)을 따라 제1영역(3212)과 제2영역(3214) 간에 이동될 수 있다. 반송 플레이트(3240)에는 슬릿 형상의 가이드 홈(3242)이 복수 개 제공된다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(3240)의 끝단에서 반송 플레이트(3240)의 내부까지 연장된다. 가이드 홈(3242)은 그 길이 방향이 제2 방향(14)을 따라 제공되고, 가이드 홈(3242)들은 제1 방향(12)을 따라 서로 이격되게 위치된다. 가이드 홈(3242)은 반송 플레이트(3240)와 가열 유닛(3230) 간에 기판(W)의 인수인계가 이루어질 때 반송 플레이트(3240)와 리프트 핀(1340)이 서로 간섭되는 것을 방지한다. The transport plate 3240 is provided in a substantially circular plate shape and has a diameter corresponding to that of the substrate W. As shown in FIG. A notch 3244 is formed at an edge of the conveying plate 3240 . The notch 3244 may have a shape corresponding to the protrusion 3429 formed on the hand 3420 of the transfer robots 3422 and 3424 described above. In addition, the notch 3244 is provided in a number corresponding to the protrusions 3429 formed on the hand 3420 , and is formed at positions corresponding to the protrusions 3429 . When the upper and lower positions of the hand 3420 and the carrier plate 3240 are changed in a position where the hand 3420 and the carrier plate 3240 are vertically aligned, the substrate W between the hand 3420 and the carrier plate 3240 is transmission takes place The transport plate 3240 is mounted on the guide rail 3249 , and may be moved between the first region 3212 and the second region 3214 along the guide rail 3249 by a driver 3246 . A plurality of slit-shaped guide grooves 3242 are provided in the carrying plate 3240 . The guide groove 3242 extends from the end of the carrying plate 3240 to the inside of the carrying plate 3240 . The length direction of the guide grooves 3242 is provided along the second direction 14 , and the guide grooves 3242 are spaced apart from each other along the first direction 12 . The guide groove 3242 prevents the transfer plate 3240 and the lift pins 1340 from interfering with each other when the substrate W is transferred between the transfer plate 3240 and the heating unit 3230 .

기판(W)의 가열은 기판(W)이 지지 플레이트(1320) 상에 직접 놓인 상태에서 이루어지고, 기판(W)의 냉각은 기판(W)이 놓인 반송 플레이트(3240)가 냉각판(3222)에 접촉된 상태에서 이루어진다. 냉각판(3222)과 기판(W) 간에 열전달이 잘 이루어지도록 반송 플레이트(3240)은 열전달율이 높은 재질로 제공된다. 일 예에 의하면, 반송 플레이트(3240)은 금속 재질로 제공될 수 있다. The substrate W is heated in a state where the substrate W is placed directly on the support plate 1320 , and the substrate W is cooled by the transfer plate 3240 on which the substrate W is placed and the cooling plate 3222 . made in contact with The transfer plate 3240 is made of a material having a high heat transfer rate so that heat transfer between the cooling plate 3222 and the substrate W is well achieved. According to an example, the transport plate 3240 may be provided with a metal material.

열처리 챔버들(3200) 중 일부의 열처리 챔버에 제공된 가열 유닛(3230)은 기판(W) 가열 중에 가스를 공급하여 포토레지스트의 기판(W) 부착률을 향상시킬 수 있다. 일 예에 의하면, 가스는 헥사메틸디실란(hexamethyldisilane) 가스일 수 있다. The heating unit 3230 provided in some of the heat treatment chambers 3200 may supply a gas while heating the substrate W to improve the adhesion rate of the photoresist to the substrate W. According to an example, the gas may be hexamethyldisilane gas.

다시 도 4를 참조하면, 액처리 챔버(3600)는 복수 개로 제공된다. 액처리 챔버들(3600) 중 일부는 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 액 처리 챔버들(3600)은 반송 챔버(3402)의 일측에 배치된다. 액 처리 챔버들(3600)은 제1방향(12)을 따라 나란히 배열된다. 액 처리 챔버들(3600) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 전단 액처리 챔버(3602)(front liquid treating chamber)라 칭한다. 액 처리 챔버들(3600)은 중 다른 일부는 인터페이스 모듈(40)과 인접한 위치에 제공된다. 이하, 이들 액처리 챔버를 후단 액처리 챔버(3604)(rear heat treating chamber)라 칭한다. Referring back to FIG. 4 , a plurality of liquid processing chambers 3600 are provided. Some of the liquid processing chambers 3600 may be provided to be stacked on each other. The liquid processing chambers 3600 are disposed on one side of the transfer chamber 3402 . The liquid processing chambers 3600 are arranged side by side along the first direction 12 . Some of the liquid processing chambers 3600 are provided adjacent to the index module 20 . Hereinafter, these liquid treatment chambers will be referred to as a front liquid treating chamber 3602 (front liquid treating chamber). Other portions of the liquid processing chambers 3600 are provided adjacent to the interface module 40 . Hereinafter, these liquid treatment chambers are referred to as rear heat treating chambers 3604 (rear heat treating chambers).

전단 액처리 챔버(3602)는 기판(W)상에 제1액을 도포하고, 후단 액처리 챔버(3604)는 기판(W) 상에 제2액을 도포한다. 제1액과 제2액은 서로 상이한 종류의 액일 수 있다. 일 실시예에 의하면, 제1액은 반사 방지막이고, 제2액은 포토레지스트이다. 포토레지스트는 반사 방지막이 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액은 포토레지스트이고, 제2액은 반사방지막일 수 있다. 이 경우, 반사방지막은 포토레지스트가 도포된 기판(W) 상에 도포될 수 있다. 선택적으로 제1액과 제2액은 동일한 종류의 액이고, 이들은 모두 포토레지스트일 수 있다.The front stage liquid processing chamber 3602 applies the first liquid on the substrate W, and the rear stage liquid processing chamber 3604 applies the second liquid on the substrate W. The first liquid and the second liquid may be different types of liquid. According to one embodiment, the first liquid is an anti-reflection film, and the second liquid is a photoresist. The photoresist may be applied on the substrate W on which the anti-reflection film is applied. Optionally, the first liquid may be a photoresist, and the second liquid may be an anti-reflection film. In this case, the anti-reflection film may be applied on the photoresist-coated substrate (W). Optionally, the first liquid and the second liquid are the same type of liquid, and they may both be photoresist.

액 처리 챔버(3602, 3604)은 모두 동일한 구조를 가지며, 전단 액처리 챔버(3602)를 일 예로 설명한다. 도 8은 도 4의 액 처리 챔버의 일 예를 보여주는 단면도이고, 도 9는 도 8의 액 처리 챔버를 보여주는 평면도이다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 전단 액처리 챔버(3602)는 기판 상에 액막을 형성하는 기판 처리 장치(800)로 제공된다. 기판 처리 장치(800)는 하우징(810), 기류 제공 유닛(820), 기판 지지 유닛(830), 처리 용기(850), 승강 유닛(890), 액 공급 유닛(840), 대기 포트, 그리고 제어기(898)를 포함한다. The liquid processing chambers 3602 and 3604 have the same structure, and the front stage liquid processing chamber 3602 will be described as an example. 8 is a cross-sectional view illustrating an example of the liquid processing chamber of FIG. 4 , and FIG. 9 is a plan view illustrating the liquid processing chamber of FIG. 8 . 8 and 9 , the front stage liquid processing chamber 3602 is provided to the substrate processing apparatus 800 for forming a liquid film on a substrate. The substrate processing apparatus 800 includes a housing 810 , an airflow providing unit 820 , a substrate support unit 830 , a processing vessel 850 , an elevation unit 890 , a liquid supply unit 840 , a standby port, and a controller. (898).

하우징(810)은 내부에 공간(812)을 가지는 직사각의 통 형상으로 제공된다. 하우징(810)의 일측에는 개구(미도시)가 형성된다. 개구는 기판(W)이 반출입되는 입구로 기능한다. 개구에는 도어가 설치되며, 도어는 개구를 개폐한다. 도어는 기판 처리 공정이 진행되면, 개구를 차단하여 하우징(810)의 내부 공간(812)을 밀폐한다. 하우징(810)의 하부면에는 내측 배기구(814) 및 외측 배기구(816)가 형성된다. 하우징(810) 내에 형성된 기류는 내측 배기구(814) 및 외측 배기구(816)를 통해 외부로 배기된다. 일 예에 의하면, 처리 용기(850) 내에 제공된 기류는 내측 배기구(814)를 통해 배기되고, 처리 용기(850)의 외측에 제공된 기류는 외측 배기구(816)를 통해 배기될 수 있다.The housing 810 is provided in a rectangular cylindrical shape having a space 812 therein. An opening (not shown) is formed at one side of the housing 810 . The opening functions as an inlet through which the substrate W is carried in and out. A door is installed in the opening, and the door opens and closes the opening. When the substrate processing process is performed, the door closes the opening to seal the inner space 812 of the housing 810 . An inner exhaust port 814 and an outer exhaust port 816 are formed on the lower surface of the housing 810 . The airflow formed in the housing 810 is exhausted to the outside through the inner exhaust port 814 and the outer exhaust port 816 . According to an example, the airflow provided in the processing vessel 850 may be exhausted through the inner exhaust port 814 , and the airflow provided outside the processing vessel 850 may be exhausted through the outer exhaust port 816 .

기류 제공 유닛(820)은 하우징(810)의 내부 공간에 하강 기류를 형성한다. 기류 제공 유닛(820)은 기류 공급 라인(822), 팬(824), 그리고 필터(826)를 포함한다. 기류 공급 라인(822)은 하우징(810)에 연결된다. 기류 공급 라인(822)은 외부의 에어를 하우징(810)에 공급한다. 필터(826)는 기류 공급 라인(822)으로부터 제공되는 에어를 필터(826)링 한다. 필터(826)는 에어에 포함된 불순물을 제거한다. 팬(824)은 하우징(810)의 상부면에 설치된다. 팬(824)은 하우징(810)의 상부면에서 중앙 영역에 위치된다. 팬(824)은 하우징(810)의 내부 공간에 하강 기류를 형성한다. 기류 공급 라인(822)으로부터 팬(824)에 에어가 공급되면, 팬(824)은 아래 방향으로 에어를 공급한다.The airflow providing unit 820 forms a descending airflow in the inner space of the housing 810 . The airflow providing unit 820 includes an airflow supplying line 822 , a fan 824 , and a filter 826 . The airflow supply line 822 is connected to the housing 810 . The air flow supply line 822 supplies external air to the housing 810 . The filter 826 filters 826 the air provided from the airflow supply line 822 . The filter 826 removes impurities contained in the air. The fan 824 is installed on the upper surface of the housing 810 . A fan 824 is located in a central region on the top surface of the housing 810 . The fan 824 forms a downdraft in the interior space of the housing 810 . When air is supplied to the fan 824 from the airflow supply line 822 , the fan 824 supplies air in a downward direction.

기판 지지 유닛(830)은 하우징(810)의 내부 공간에서 기판(W)을 지지한다. 기판 지지 유닛(830)은 복수 개로 제공되며, 일 방향을 따라 배열된다. 각각의 기판 지지 유닛(830)은 일측에 개구(미도시)가 위치되고, 타측에 액 공급 유닛이 위치되도록 배열될 수 있다. 기판 지지 유닛(830)은 기판(W)을 회전시킨다. 기판 지지 유닛(830)은 지지 플레이트(832), 회전축(834), 지지 바디(836), 그리고 구동기(836)를 포함한다. 지지 플레이트(832)는 기판을 지지한다. 지지 플레이트(832)는 원형의 판 형상을 가지도록 제공된다. 지지 플레이트(832)는 기판(W)보다 작은 직경을 가지도록 제공된다. 일 예에 의하면, 지지 플레이트(832)는 기판(W)을 진공 흡입하여 기판(W)을 척킹할 수 있다. The substrate support unit 830 supports the substrate W in the inner space of the housing 810 . A plurality of substrate support units 830 are provided and are arranged in one direction. Each substrate support unit 830 may be arranged such that an opening (not shown) is located on one side and a liquid supply unit is located on the other side. The substrate support unit 830 rotates the substrate W. The substrate support unit 830 includes a support plate 832 , a rotation shaft 834 , a support body 836 , and a driver 836 . The support plate 832 supports the substrate. The support plate 832 is provided to have a circular plate shape. The support plate 832 is provided to have a smaller diameter than the substrate W. According to an example, the support plate 832 may chuck the substrate W by vacuum sucking the substrate W.

회전축(834) 및 구동 부재(미도시)는 지지 플레이트(832)을 회전시키는 회전 구동 부재로 제공된다. 회전축(834)은 지지 플레이트(832)의 아래에서 지지 플레이트(832)를 지지한다. 회전축(834)은 그 길이방향이 상하방향을 향하도록 제공된다. 회전축(834)은 그 중심축을 중심으로 회전 가능하도록 제공된다. 구동 부재(미도시)는 회전축(834)이 회전되도록 구동력을 제공한다. 예컨대, 구동 부재(미도시)는 회전축(834)의 회전 속도를 가변 가능한 모터일 수 있다.The rotation shaft 834 and a driving member (not shown) are provided as a rotation driving member for rotating the support plate 832 . The rotation shaft 834 supports the support plate 832 under the support plate 832 . The rotation shaft 834 is provided so that its longitudinal direction faces up and down. The rotating shaft 834 is provided to be rotatable about its central axis. A driving member (not shown) provides a driving force to rotate the rotation shaft 834 . For example, the driving member (not shown) may be a motor capable of varying the rotation speed of the rotation shaft 834 .

처리 용기(850)는 각 기판 지지 유닛(830)에 지지된 기판(W)을 처리할 수 있는 분위기를 형성한다. 처리 용기(850)는 하우징(810)의 내부 공간(812)에 위치된다. 처리 용기(850)는 각각의 기판 지지 유닛(830)을 감싸도록 복수 개로 제공되며, 내부에 처리 공간을 제공한다. 처리 용기(850)는 처리 공간 내 분위기가 외부로 유출되는 것을 방지한다. 처리 용기(850)는 상부가 개방된 컵 형상을 가지도록 제공된다. 처리 용기(850)는 내측 컵(852) 및 외측 컵(862)을 포함한다. The processing vessel 850 forms an atmosphere capable of processing the substrate W supported by each substrate support unit 830 . The processing vessel 850 is located in the interior space 812 of the housing 810 . A plurality of processing vessels 850 are provided to surround each of the substrate support units 830 , and provide a processing space therein. The processing container 850 prevents an atmosphere in the processing space from leaking to the outside. The processing container 850 is provided to have a cup shape with an open top. The processing vessel 850 includes an inner cup 852 and an outer cup 862 .

내측 컵(852)은 회전축(834)을 감싸는 원형의 판 형상으로 제공된다. 상부에서 바라볼 때 내측 컵(852)은 내측 배기구(814)와 중첩되도록 위치된다. 상부에서 바라볼 때 내측 컵(852)의 상면은 그 외측 영역과 내측 영역 각각이 서로 상이한 각도로 경사지도록 제공된다. 일 예에 의하면, 내측 컵(852)의 외측 영역은 기판 지지 유닛(830)으로부터 멀어질수록 하향 경사진 방향을 향하며, 내측 영역은 기판 지지 유닛(830)에 가까워질수록 하향 경사진 방향을 향하도록 제공되고, 이후에 수평 방향으로 연장되게 제공된다. 내측 컵(852)의 외측 영역과 내측 영역이 서로 만나는 지점은 기판(W)의 측단부와 상하 방향으로 대응되게 제공된다. 내측 컵(852)의 상면 외측 영역은 처리액이 흐르는 영역으로 제공될 수 있다. 내측 컵(852)의 상면 내측 영역에서 수평 방향으로 연장되는 영역은 세정 노즐이 설치되는 위치로 제공될 수 있다.The inner cup 852 is provided in a circular plate shape surrounding the rotation shaft 834 . When viewed from the top, the inner cup 852 is positioned to overlap the inner vent 814 . When viewed from above, the upper surface of the inner cup 852 is provided such that its outer and inner regions are inclined at different angles from each other. According to an example, the outer region of the inner cup 852 faces a downward sloping direction as it moves away from the substrate support unit 830 , and the inner region of the inner cup 852 faces a downward sloping direction as it approaches the substrate support unit 830 . It is provided so as to be extended in the horizontal direction thereafter. A point where the outer region and the inner region of the inner cup 852 meet each other is provided to correspond to the side end of the substrate W in the vertical direction. An area outside the upper surface of the inner cup 852 may be provided as an area through which the treatment liquid flows. A region extending in a horizontal direction from an inner region of the upper surface of the inner cup 852 may be provided as a position where the cleaning nozzle is installed.

외측 컵(862)은 기판 지지 유닛(830) 및 내측 컵(852)을 감싸는 컵 형상을 가지도록 제공된다. 외측 컵(862)은 바닥벽(864), 측벽(866), 상벽(870), 그리고 경사벽(870)을 가진다. 바닥벽(864)은 중공을 가지는 원형의 판 형상을 가지도록 제공된다. 바닥벽(864)에는 회수 라인(865)이 형성된다. 회수 라인(865)은 기판(W) 상에 공급된 처리액을 회수한다. 회수 라인(865)에 의해 회수된 처리액은 외부의 액 재생 시스템에 의해 재사용될 수 있다. 측벽(866)은 기판 지지 유닛(830)을 감싸는 원형의 통 형상을 가지도록 제공된다. 측벽(866)은 바닥벽(864)의 측단으로부터 수직한 방향으로 연장된다. 측벽(866)은 바닥벽(864)으로부터 위로 연장된다. The outer cup 862 is provided to have a cup shape surrounding the substrate support unit 830 and the inner cup 852 . The outer cup 862 has a bottom wall 864 , a side wall 866 , a top wall 870 , and a sloped wall 870 . The bottom wall 864 is provided to have a circular plate shape having a hollow. A return line 865 is formed in the bottom wall 864 . The recovery line 865 recovers the processing liquid supplied on the substrate W. The treatment liquid recovered by the recovery line 865 may be reused by an external liquid recovery system. The sidewall 866 is provided to have a circular cylindrical shape surrounding the substrate support unit 830 . The side wall 866 extends in a direction perpendicular to the side end of the bottom wall 864 . Sidewall 866 extends upwardly from bottom wall 864 .

경사벽(870)은 측벽(866)의 상단으로부터 외측 컵(862)의 내측 방향으로 연장된다. 경사벽(870)은 위로 갈수록 기판 지지 유닛(830)에 가까워지도록 제공된다. 경사벽(870)은 링 형상을 가지도록 제공된다. 경사벽(870)의 상단은 기판 지지 유닛(830)에 지지된 기판(W)보다 높게 위치된다. The inclined wall 870 extends from the top of the sidewall 866 in an inward direction of the outer cup 862 . The inclined wall 870 is provided to be closer to the substrate support unit 830 as it goes upward. The inclined wall 870 is provided to have a ring shape. The upper end of the inclined wall 870 is positioned higher than the substrate W supported by the substrate support unit 830 .

액 공급 유닛(840)은 기판(W) 상에 처리액 및 프리 웨트액을 공급한다. 액 공급 유닛(840)은 아암 부재(920), 아암 구동 부재(940), 그리고 복수의 토출 부재(950)를 포함한다. 아암 부재(920)는 각각의 토출 부재(950)를 지지한다. 아암 부재(920)는 아암(922)과 헤드(924)를 포함한다. 아암(922)은 길이 방향이 제2방향(14)을 향하는 바 형상으로 제공되고, 헤드(924)는 복수의 토출 부재들(950)이 결합 가능하도록 제공된다. 일 예에 의하면, 헤드(924)에는 토출 부재들(950)이 제1방향(12)과 평행한 방향으로 배열되게 결합될 수 있다. 아암 구동 부재(940)는 아암 부재(920)를 이동시키는 가이드 레일(940)을 포함한다. 가이드 레일(940)은 아암 부재(920)를 수평 방향으로 이동시켜 토출 부재(950)를 공정 위치와 대기 위치로 이동시킨다. 여기서 공정 위치는 토출 부재(950)가 기판(W)에 액을 공급할 수 있는 위치이고, 대기 위치는 공정 위치를 벗어난 위치일 수 있다. 예컨대, 토출 부재(950)는 제1방향(12)과 평행한 방향으로 이동될 수 있다. 대기 위치는 토출 부재(950)가 대기 포트(840)에 대기되는 위치일 수 있다.The liquid supply unit 840 supplies the processing liquid and the pre-wet liquid on the substrate W. The liquid supply unit 840 includes an arm member 920 , an arm driving member 940 , and a plurality of discharge members 950 . The arm member 920 supports each discharge member 950 . The arm member 920 includes an arm 922 and a head 924 . The arm 922 is provided in a bar shape in which the longitudinal direction faces the second direction 14 , and the head 924 is provided so that the plurality of discharge members 950 can be coupled thereto. According to an example, the discharge members 950 may be coupled to the head 924 to be arranged in a direction parallel to the first direction 12 . The arm drive member 940 includes a guide rail 940 that moves the arm member 920 . The guide rail 940 moves the arm member 920 in the horizontal direction to move the discharge member 950 to the process position and the standby position. Here, the process position may be a position at which the discharging member 950 may supply a liquid to the substrate W, and the standby position may be a position outside the process position. For example, the discharge member 950 may move in a direction parallel to the first direction 12 . The standby position may be a position where the discharge member 950 is standby at the standby port 840 .

각각의 토출 부재(950)는 노즐(970), 제1결합 부재(980), 그리고 제2결합 부재(990)를 포함한다. 노즐(970)은 처리액이 토출되는 토출단을 가지며, 헤드(924) 또는 대기 포트(840)에 탈부착이 가능하도록 제공된다. 각 토출 부재(950)의 노즐(970)은 서로 다른 종류의 처리액을 공급한다. 예컨대, 처리액은 포토 레지스트와 같은 감광액일 수 있다. 각 노즐들(970)은 헤드(924)로부터 공급되는 처리액을 토출할 수 있다. 제1결합 부재(980)는 노즐(970)을 헤드(924)에 탈착 또는 부착시키고, 제2결하 부재는 노즐(970)을 대기 포트(840)에 탈착 또는 부착시킨다. 일 예에 의하면, 제1결합 부재(980)가 노즐(970)을 헤드(924)에 부착할 때에는 제2결합 부재(990)가 노즐(970)을 대기 포트(840)로부터 탈착하고, 제2결합 부재(990)가 노즐(970)을 대기 포트(840)에 부착할 때에는 제1결합 부재(980)가 노즐(970)을 헤드(924)로부터 탈착할 수 있다. 본 실시예는 복수 개의 처리액 노즐들(970)과 1 개의 프리 웨트 노즐(979)이 헤드(924)에 제공되는 것으로 설명하며, 처리액 노즐들(970)은 헤드(924)에 탈착 가능한 반면, 프리 웨트 노즐(979)은 헤드(924)에 고정되는 것으로 설명한다. 프리 웨트 노즐(979)은 프리 웨트액을 공급하며, 프리 웨트액은 기판(W)의 표면을 처리액과 유사 또는 동일한 성질을 변화시킬 수 있는 액일 수 있다. 프리 웨트액은 기판(W)의 표면을 젖음 상태로 변화시킬 수 있는 액으로, 처리액이 공급되기 전에 기판의 표면에 공급되는 액으로 제공된다. 따라서 프리 웨트 노즐(979)은 항상 헤드(924)에 고정되는 것이 바람직한다. Each discharge member 950 includes a nozzle 970 , a first coupling member 980 , and a second coupling member 990 . The nozzle 970 has a discharge end through which the treatment liquid is discharged, and is provided to be detachably attached to the head 924 or the standby port 840 . The nozzles 970 of each discharge member 950 supply different types of treatment liquids. For example, the treatment liquid may be a photoresist such as a photoresist. Each of the nozzles 970 may discharge the processing liquid supplied from the head 924 . The first coupling member 980 detaches or attaches the nozzle 970 to the head 924 , and the second coupling member detaches or attaches the nozzle 970 to the standby port 840 . According to one example, when the first coupling member 980 attaches the nozzle 970 to the head 924 , the second coupling member 990 detaches the nozzle 970 from the standby port 840 , and the second When the coupling member 990 attaches the nozzle 970 to the standby port 840 , the first coupling member 980 may detach the nozzle 970 from the head 924 . The present embodiment describes that a plurality of treatment liquid nozzles 970 and one free wet nozzle 979 are provided in the head 924 , while the treatment liquid nozzles 970 are detachable from the head 924 . , the free wet nozzle 979 is described as being fixed to the head 924 . The pre-wet nozzle 979 supplies a pre-wet liquid, and the pre-wet liquid may be a liquid capable of changing the properties of the surface of the substrate W similar to or identical to those of the treatment liquid. The pre-wet liquid is a liquid capable of changing the surface of the substrate W to a wet state, and is provided as a liquid supplied to the surface of the substrate before the treatment liquid is supplied. Therefore, it is preferable that the free wet nozzle 979 is always fixed to the head 924 .

제1결합 부재(980)와 제2결합 부재(990)에 대해 설명하기 앞서, 노즐(970)과 헤드(924)에 대해 보다 자세히 설명한다. 도 10은 도 8의 토출 부재(950)를 보여주는 사시도이고, 도 11은 도 8의 토출 부재(950) 및 아암 부재(920)를 확대해 보여주는 단면도이다. 도 10 및 도 11을 참조하면, 노즐(970)은 몸통부(972) 및 토출부(974)를 가진다. 몸통부(972)는 상항 방향으로 직경이 동일한 통 형상을 가진다. 예컨대, 몸통부(972)는 원통 형상으로 제공될 수 있다. 토출부(974)는 몸통부(972)의 하단으로부터 아래로 연장되며, 폭이 점차 좁아지는 형상으로 제공될 수 있다. 토출부(974)의 하단은 토출단으로 제공된다. Before describing the first coupling member 980 and the second coupling member 990 , the nozzle 970 and the head 924 will be described in more detail. FIG. 10 is a perspective view illustrating the discharge member 950 of FIG. 8 , and FIG. 11 is an enlarged cross-sectional view of the discharge member 950 and the arm member 920 of FIG. 8 . 10 and 11 , the nozzle 970 has a body portion 972 and a discharge portion 974 . The body portion 972 has a cylindrical shape having the same diameter in the upward direction. For example, the body 972 may be provided in a cylindrical shape. The discharge part 974 may extend downward from the lower end of the body part 972 and may be provided in a shape in which the width gradually becomes narrower. The lower end of the discharge unit 974 serves as the discharge end.

헤드(924)는 노즐(970)이 결합 가능한 결합 부분을 가진다. 결합 부분은 복수 개로 제공되며, 결합 부분에는 노즐(970)이 일대일 대응되게 결합될 수 있다. 결합 부분은 삽입부(926) 및 지지부(928)를 가진다. 삽입부(926)는 몸통부(972)의 내측으로 삽입 가능하도록 제공된다. 삽입부(926)의 외경은 몸통부(972)의 내경과 동일하게 제공될 수 있다. 이로 인해 노즐(970)은 헤드(924)에 결합된 상태에서 흔들림 및 진동 등의 위치 이탈을 방지할 수 있다. 지지부(928)는 삽입부(926)의 상단으로부터 위로 연장되는 통 형상을 가진다. 지지부(928)는 몸통부(972)에 비해 큰 직경을 가진다. 일 예에 의하면, 헤드(924)와 노즐(970)이 결합된 위치에서 지지부(928)와 몸통부(972)는 서로 접촉되게 위치될 수 있다. The head 924 has an engaging portion to which the nozzle 970 is engageable. The coupling portion is provided in plurality, and the nozzle 970 may be coupled to the coupling portion in a one-to-one correspondence. The engaging portion has an insert 926 and a support 928 . The insertion portion 926 is provided to be insertable into the body portion 972 . The outer diameter of the insertion portion 926 may be provided to be the same as the inner diameter of the body portion 972 . Due to this, the nozzle 970 can prevent positional deviation such as shaking and vibration while being coupled to the head 924 . The support portion 928 has a cylindrical shape extending upward from the top of the insertion portion 926 . The support portion 928 has a larger diameter than the body portion 972 . According to an example, at the position where the head 924 and the nozzle 970 are coupled, the support 928 and the body 972 may be positioned to contact each other.

제1결합 부재(980)는 노즐(970)과 헤드(924)를 탈착 또는 부착시킨다. 보다 구체적으로, 제1결합 부재(980)는 노즐(970)의 몸통부(972)와 헤드(924)의 지지부(928)를 탈착 또는 부착시킨다. 제1결합 부재(980)는 노즐(970)과 헤드(924)를 자성에 의해 결합시킨다. 제1결합 부재(980)는 제1도체(982) 및 제1전자석(984)을 포함한다. 제1도체(982)와 제1전자석(984) 중 어느 하나는 몸통부(972)에 제공되고, 다른 하나는 지지부(928)에 제공된다. 제1도체(982)와 제1전자석(984)은 노즐(970)과 헤드(924)가 결합된 위치에서 서로 상하 방향으로 마주하게 위치될 수 있다. 일 예에 의하면, 제1전자석(984)은 지지부(928)에 제공되고, 제1도체(982)는 몸통부(972)에 제공될 수 있다. 제1도체(982)와 제1전자석(984) 각각은 환형의 링 형상을 가질수 있다. 제1도체(982)는 몸통부(972)를 감싸도록 제공될 수 있다. The first coupling member 980 detaches or attaches the nozzle 970 and the head 924 . More specifically, the first coupling member 980 detaches or attaches the body portion 972 of the nozzle 970 and the support portion 928 of the head 924 . The first coupling member 980 magnetically couples the nozzle 970 and the head 924 . The first coupling member 980 includes a first conductor 982 and a first electromagnet 984 . One of the first conductor 982 and the first electromagnet 984 is provided on the body portion 972 , and the other is provided on the support portion 928 . The first conductor 982 and the first electromagnet 984 may be positioned to face each other in the vertical direction at the position where the nozzle 970 and the head 924 are coupled. According to an example, the first electromagnet 984 may be provided on the support part 928 , and the first conductor 982 may be provided on the body part 972 . Each of the first conductor 982 and the first electromagnet 984 may have an annular ring shape. The first conductor 982 may be provided to surround the body portion 972 .

제2결합 부재(990)는 노즐(970)과 대기 포트(840)를 탈착 또는 부착시킨다. 보다 구체적으로, 제2결합 부재(990)는 노즐(970)의 몸통부(972)와 대기 포트(840)를 탈착 또는 부착시킨다. 대기 포트(840)에는 복수 개의 수용 공간(842)이 제공된다. 각 수용 공간(842)에는 노즐(970)이 개별적으로 수용되며, 노즐(970)은 토출부(974)가 수용 공간(842)에 삽입되게 수용될 수 있다. 수용 공간(842)에는 세정액 공급 라인이 연결되며, 수용 공간(842)에 수용된 노즐(970)로 세정액을 공급하여 노즐(970)을 세정 처리할 수 있다. 제2결합 부재(990)는 노즐(970)과 대기 포트(840)를 자성에 의해 결합시킨다. 제2결합 부재(990)는 제2도체(992) 및 제2전자석(994)을 포함한다. 제2도체(992)와 제2전자석(994) 중 어느 하나는 몸통부(972)에 제공되고, 다른 하나는 대기 포트(840)에 제공된다. 제2도체(992)와 제2전자석(994)은 노즐(970)과 대기 포트(840)가 결합된 위치에서 서로 상하 방향으로 마주하게 위치될 수 있다. 일 예에 의하면, 제2전자석(994)은 대기 포트(840)에 제공되고, 제2도체(992)는 몸통부(972)에 제공될 수 있다. 제2도체(992)는 제1도체(982)보다 낮게 위치될 수 있다. 제2도체(992)와 제2전자석(994) 각각은 환형의 링 형상을 가질 수 있다. 상부에서 바라볼 때 제2전자석(994)은 수용 공간(842)을 감싸도록 제공될 수 있다. 제2전자석(994)은 수용 공간(842)의 상부 영역에 대응되는 높이에 위치될 수 있다. 제2도체(992)는 수용 공간(842)의 입구보다 큰 직경을 가지도록 제공된다. 이에 따라 노즐(970)은 수용 공간(842)에 삽입된 위치에서 제2도체(992)가 걸림부 역할을 수행하여, 제2도체(992)의 삽입을 제한할 수 있다. The second coupling member 990 detaches or attaches the nozzle 970 and the standby port 840 . More specifically, the second coupling member 990 detaches or attaches the body 972 and the standby port 840 of the nozzle 970 . A plurality of accommodating spaces 842 are provided in the standby port 840 . A nozzle 970 is individually accommodated in each accommodating space 842 , and the nozzle 970 may be accommodated such that the discharge part 974 is inserted into the accommodating space 842 . A cleaning liquid supply line is connected to the accommodation space 842 , and the cleaning liquid may be supplied to the nozzle 970 accommodated in the accommodation space 842 to wash the nozzle 970 . The second coupling member 990 magnetically couples the nozzle 970 and the atmospheric port 840 . The second coupling member 990 includes a second conductor 992 and a second electromagnet 994 . One of the second conductor 992 and the second electromagnet 994 is provided to the body portion 972 , and the other is provided to the standby port 840 . The second conductor 992 and the second electromagnet 994 may be positioned to face each other in the vertical direction at the position where the nozzle 970 and the standby port 840 are coupled. According to an example, the second electromagnet 994 may be provided to the standby port 840 , and the second conductor 992 may be provided to the body portion 972 . The second conductor 992 may be positioned lower than the first conductor 982 . Each of the second conductor 992 and the second electromagnet 994 may have an annular ring shape. When viewed from the top, the second electromagnet 994 may be provided to surround the accommodation space 842 . The second electromagnet 994 may be positioned at a height corresponding to the upper region of the accommodating space 842 . The second conductor 992 is provided to have a larger diameter than the inlet of the accommodation space 842 . Accordingly, in the nozzle 970 , the second conductor 992 acts as a locking part at the position inserted into the receiving space 842 , thereby limiting the insertion of the second conductor 992 .

제어기는 복수의 토출 부재(950)들 중 선택된 토출 부재(950)를 아암 부재(920)에 탈착 또는 부착되도록 제1전자석(984)과 제2전자석(994)을 제어한다. 제어기는 제1전자석(984)에 전력을 제공할 때에 제2전자석(994)에 제공되는 전력을 차단하고, 제2전자석(994)에 전력을 제공할 때에 제1전자석(984)에 제공되는 전력을 차단하여, 각 전자석이 동시에 각 도체으로 인력을 발생시키는 것을 방지한다.The controller controls the first electromagnet 984 and the second electromagnet 994 to detach or attach the selected discharging member 950 among the plurality of discharging members 950 to or attached to the arm member 920 . The controller cuts off the power provided to the second electromagnet 994 when providing power to the first electromagnet 984 , and power provided to the first electromagnet 984 when providing power to the second electromagnet 994 . to prevent each electromagnet from generating attraction to each conductor at the same time.

제어기는 대기 포트(840)에 대기되는 노즐들(970) 중 일부를 선택하여 아암 부재(920)에 결합한다. 제어기는 액 처리 공정에 사용될 노즐(970)을 선택적으로 아암 부재(920)에 결합할 수 있다. 도 12 내지 도 15는 도 8의 장치를 이용하여 기판을 처리하는 과정을 보여주는 도면들이다. 도 12 내지 도 15를 참조하면, 하우징(810) 내에는 3 개의 기판들(W₁ 내지 W₃)이 위치되며, 각기 다른 종류의 처리액을 공급하고자 하는 경우에는 선택된 노즐(970a)이 3 개일 수 있다. 미사용 노즐(970b)은 제2전자석(994)과 제2도체(992) 간에 인력이 작용하여 대기 포트(840)에 결합되고, 선택된 노즐(970a)은 제1전자석(984)과 제1도체(982) 간에 인력이 작용하여 아암 부재(920)에 결합된다. 공정이 완료되면, 사용된 노즐(970)은 대기 포트(840)로 이동되어 세정 처리된다. 이후 액 처리 공정에 사용될 노즐(970)은 선택되어 공정 위치로 이동되어 기판(W) 상에 처리액을 도포할 수 있다. The controller selects some of the nozzles 970 waiting in the standby port 840 and couples them to the arm member 920 . The controller may selectively couple the nozzle 970 to be used in the liquid treatment process to the arm member 920 . 12 to 15 are views illustrating a process of processing a substrate using the apparatus of FIG. 8 . 12 to 15 , three substrates W ₁ to W ₃ are positioned in the housing 810 , and when it is desired to supply different types of treatment liquids, the selected nozzle 970a has three nozzles. can The unused nozzle 970b is coupled to the standby port 840 by an attractive force between the second electromagnet 994 and the second conductor 992, and the selected nozzle 970a is connected to the first electromagnet 984 and the first conductor (992). 982) is coupled to the arm member 920 by an attractive force acting therebetween. When the process is completed, the used nozzle 970 is moved to the standby port 840 for cleaning. Thereafter, the nozzle 970 to be used in the liquid treatment process may be selected and moved to a process position to apply the treatment liquid on the substrate W.

상술한 실시예에 의하면, 복수 개의 노즐(970)은 자성에 의해 탈부착이 가능하므로, 작업자없이 노즐(970)의 탈부착이 가능하다. 이로 인해 선택된 노즐(970a)만을 액 처리 공정에 사용하며, 미사용 노즐(970b)은 선택된 노즐(970a)의 액 처리 공정이 진행되는 중에도 세정 처리를 수행할 수 있다. 따라서 세정 처리 공정을 액 처리 공정과 별개로 수행할 수 있다. According to the above-described embodiment, since the plurality of nozzles 970 are magnetically detachable, the nozzle 970 can be detached without an operator. Accordingly, only the selected nozzle 970a is used for the liquid treatment process, and the unused nozzle 970b may be cleaned while the liquid treatment process of the selected nozzle 970a is in progress. Therefore, the washing treatment process can be performed separately from the liquid treatment process.

뿐만 아니라. 아암 부재(920)는 선택된 노즐(970a)만을 지지하므로, 아암 부재(920)는 미사용 노즐(970b)의 무게 부담을 감소시킬 수 있다. 또한 선택된 노즐(970a)로부터 액 처리 공정이 진행되는 중에 액의 일부가 비산될지라도, 비산액이 미사용 노즐(970b)에 부착되는 것을 방지할수 있다.As well as. Since the arm member 920 supports only the selected nozzle 970a, the arm member 920 may reduce the weight burden of the unused nozzle 970b. Also, even if a part of the liquid is scattered during the liquid treatment process from the selected nozzle 970a, it is possible to prevent the scattered liquid from adhering to the unused nozzle 970b.

다시 도 3 및 도 4를 참조하면, 버퍼 챔버(3800)는 복수 개로 제공된다. 버퍼 챔버들(3800) 중 일부는 인덱스 모듈(20)과 반송 챔버(3400) 사이에 배치된다. 이하, 이들 버퍼 챔버를 전단 버퍼(3802)(front buffer)라 칭한다. 전단 버퍼들(3802)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 버퍼 챔버들(3802, 3804) 중 다른 일부는 반송 챔버(3400)와 인터페이스 모듈(40) 사이에 배치된다 이하. 이들 버퍼 챔버를 후단 버퍼(3804)(rear buffer)라 칭한다. 후단 버퍼들(3804)은 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 적층되게 위치된다. 전단 버퍼들(3802) 및 후단 버퍼들(3804) 각각은 복수의 기판들(W)을 일시적으로 보관한다. 전단 버퍼(3802)에 보관된 기판(W)은 인덱스 로봇(2200) 및 반송 로봇(3422)에 의해 반입 또는 반출된다. 후단 버퍼(3804)에 보관된 기판(W)은 반송 로봇(3422) 및 제1로봇(4602)에 의해 반입 또는 반출된다. Referring back to FIGS. 3 and 4 , a plurality of buffer chambers 3800 are provided. Some of the buffer chambers 3800 are disposed between the index module 20 and the transfer chamber 3400 . Hereinafter, these buffer chambers are referred to as a front buffer 3802 (front buffer). The front-end buffers 3802 are provided in plurality, and are positioned to be stacked on each other in the vertical direction. Another portion of the buffer chambers 3802 and 3804 is disposed between the transfer chamber 3400 and the interface module 40 below. These buffer chambers are referred to as rear buffer 3804 (rear buffer). The rear end buffers 3804 are provided in plurality, and are positioned to be stacked on each other in the vertical direction. Each of the front-end buffers 3802 and the back-end buffers 3804 temporarily stores a plurality of substrates W. As shown in FIG. The substrate W stored in the shear buffer 3802 is loaded or unloaded by the index robot 2200 and the transfer robot 3422 . The substrate W stored in the downstream buffer 3804 is carried in or carried out by the transfer robot 3422 and the first robot 4602 .

현상 블럭(30b)은 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)를 가진다. 현상 블럭(30b)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)는 도포 블럭(30a)의 열처리 챔버(3200), 반송 챔버(3400), 그리고 액처리 챔버(3600)와 대체로 유사한 구조 및 배치로 제공되므로, 이에 대한된다. 다만, 현상 블록(30b)에서 액처리 챔버들(3600)은 모두 동일하게 현상액을 공급하여 기판을 현상 처리하는 현상 챔버(3600)로 제공된다.The developing block 30b has a heat treatment chamber 3200 , a transfer chamber 3400 , and a liquid treatment chamber 3600 . The heat treatment chamber 3200 , the transfer chamber 3400 , and the liquid treatment chamber 3600 of the developing block 30b are the heat treatment chamber 3200 , the transfer chamber 3400 , and the liquid treatment chamber 3600 of the application block 30a . ) and is provided in a structure and arrangement substantially similar to that of However, in the developing block 30b, all of the liquid processing chambers 3600 are provided as the developing chamber 3600 for processing the substrate by supplying a developer in the same manner.

인터페이스 모듈(40)은 처리 모듈(30)을 외부의 노광 장치(50)와 연결한다. 인터페이스 모듈(40)은 인터페이스 프레임(4100), 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)를 가진다. The interface module 40 connects the processing module 30 to the external exposure apparatus 50 . The interface module 40 includes an interface frame 4100 , an additional process chamber 4200 , an interface buffer 4400 , and a transfer member 4600 .

인터페이스 프레임(4100)의 상단에는 내부에 하강기류를 형성하는 팬필터유닛이 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200), 인터페이스 버퍼(4400), 그리고 반송 부재(4600)는 인터페이스 프레임(4100)의 내부에 배치된다. 부가 공정 챔버(4200)는 도포 블럭(30a)에서 공정이 완료된 기판(W)이 노광 장치(50)로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)는 노광 장치(50)에서 공정이 완료된 기판(W)이 현상 블럭(30b)으로 반입되기 전에 소정의 부가 공정을 수행할 수 있다. 일 예에 의하면, 부가 공정은 기판(W)의 에지 영역을 노광하는 에지 노광 공정, 또는 기판(W)의 상면을 세정하는 상면 세정 공정, 또는 기판(W)의 하면을 세정하는 하면 세정공정일 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 복수 개가 제공되고, 이들은 서로 적층되도록 제공될 수 있다. 부가 공정 챔버(4200)는 모두 동일한 공정을 수행하도록 제공될 수 있다. 선택적으로 부가 공정 챔버(4200)들 중 일부는 서로 다른 공정을 수행하도록 제공될 수 있다.A fan filter unit for forming a descending airflow therein may be provided at an upper end of the interface frame 4100 . The additional process chamber 4200 , the interface buffer 4400 , and the transfer member 4600 are disposed inside the interface frame 4100 . The additional process chamber 4200 may perform a predetermined additional process before the substrate W, which has been processed in the application block 30a, is loaded into the exposure apparatus 50 . Optionally, the additional process chamber 4200 may perform a predetermined additional process before the substrate W, which has been processed in the exposure apparatus 50 , is loaded into the developing block 30b. According to an example, the additional process is an edge exposure process of exposing an edge region of the substrate W, a top surface cleaning process of cleaning the upper surface of the substrate W, or a lower surface cleaning process of cleaning the lower surface of the substrate W can A plurality of additional process chambers 4200 may be provided, and they may be provided to be stacked on each other. All of the additional process chambers 4200 may be provided to perform the same process. Optionally, some of the additional process chambers 4200 may be provided to perform different processes.

인터페이스 버퍼(4400)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 반송되는 기판(W)이 반송도중에 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 인터페이스 버퍼(4400)는 복수 개가 제공되고, 복수의 인터페이스 버퍼들(4400)은 서로 적층되게 제공될 수 있다.The interface buffer 4400 provides a space in which the substrate W transferred between the application block 30a, the additional process chamber 4200, the exposure apparatus 50, and the developing block 30b temporarily stays during the transfer. A plurality of interface buffers 4400 may be provided, and a plurality of interface buffers 4400 may be provided to be stacked on each other.

일 예에 의하면, 반송 챔버(3400)의 길이 방향의 연장선을 기준으로 일 측면에는 부가 공정 챔버(4200)가 배치되고, 다른 측면에는 인터페이스 버퍼(4400)가 배치될 수 있다.According to an example, the additional process chamber 4200 may be disposed on one side of the transfer chamber 3400 along the lengthwise extension line, and the interface buffer 4400 may be disposed on the other side thereof.

반송 부재(4600)는 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 노광 장치(50), 그리고 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송한다. 반송 부재(4600)는 1개 또는 복수 개의 로봇으로 제공될 수 있다. 일 예에 의하면, 반송 부재(4600)는 제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)을 가진다. 제1로봇(4602)은 도포 블럭(30a), 부가 공정챔버(4200), 그리고 인터페이스 버퍼(4400) 간에 기판(W)을 반송하고, 인터페이스 로봇(4606)은 인터페이스 버퍼(4400)와 노광 장치(50) 간에 기판(W)을 반송하고, 제2로봇(4604)은 인터페이스 버퍼(4400)와 현상 블럭(30b) 간에 기판(W)을 반송하도록 제공될 수 있다.The transfer member 4600 transfers the substrate W between the coating block 30a, the addition process chamber 4200, the exposure apparatus 50, and the developing block 30b. The transfer member 4600 may be provided as one or a plurality of robots. According to an example, the conveying member 4600 has a first robot 4602 and a second robot 4606 . The first robot 4602 transfers the substrate W between the application block 30a, the additional process chamber 4200, and the interface buffer 4400, and the interface robot 4606 uses the interface buffer 4400 and the exposure apparatus ( 50), and the second robot 4604 may be provided to transfer the substrate W between the interface buffer 4400 and the developing block 30b.

제1로봇(4602) 및 제2로봇(4606)은 각각 기판(W)이 놓이는 핸드를 포함하며, 핸드는 전진 및 후진 이동, 제3 방향(16)에 평행한 축을 기준으로 한 회전, 그리고 제3 방향(16)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. The first robot 4602 and the second robot 4606 each include a hand on which the substrate W is placed, and the hand moves forward and backward, rotates about an axis parallel to the third direction 16, and It may be provided to be movable along three directions (16).

인덱스 로봇(2200), 제1로봇(4602), 그리고 제2 로봇(4606)의 핸드는 모두 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공될 수 있다. 선택적으로 열처리 챔버의 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받는 로봇의 핸드는 반송 로봇(3422, 3424)의 핸드(3420)와 동일한 형상으로 제공되고, 나머지 로봇의 핸드는 이와 상이한 형상으로 제공될 수 있다.The hands of the index robot 2200 , the first robot 4602 , and the second robot 4606 may all have the same shape as the hands 3420 of the transfer robots 3422 and 3424 . Optionally, the hand of the robot directly exchanging the substrate W with the transfer plate 3240 of the heat treatment chamber is provided in the same shape as the hand 3420 of the transfer robots 3422 and 3424, and the hands of the remaining robots have a different shape. can be provided as

일 실시예에 의하면, 인덱스 로봇(2200)은 도포 블럭(30a)에 제공된 전단 열처리 챔버(3200)의 가열 유닛(3230)과 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공된다. According to one embodiment, the index robot 2200 is provided to directly exchange the substrate W with the heating unit 3230 of the shear heat treatment chamber 3200 provided in the application block 30a.

또한, 도포 블럭(30a) 및 현상 블럭(30b)에 제공된 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200)에 위치된 반송 플레이트(3240)와 직접 기판(W)을 주고받을 수 있도록 제공될 수 있다. In addition, the transfer robot 3422 provided in the application block 30a and the developing block 30b may be provided to directly transfer the substrate W with the transfer plate 3240 located in the heat treatment chamber 3200 .

다음에는 상술한 기판 처리 장치(1)를 이용하여 기판을 처리하는 방법의 일 실시예에 대해 설명한다. Next, an embodiment of a method for processing a substrate using the above-described substrate processing apparatus 1 will be described.

기판(W)에 대해 도포 처리 공정(S20), 에지 노광 공정(S40), 노광 공정(S60), 그리고 현상 처리 공정(S80)이 순차적으로 수행된다. A coating process ( S20 ), an edge exposure process ( S40 ), an exposure process ( S60 ), and a developing process ( S80 ) are sequentially performed on the substrate W .

도포 처리 공정(S20)은 열처리 챔버(3200)에서 열처리 공정(S21), 전단 액처리 챔버(3602)에서 반사방지막 도포 공정(S22), 열처리 챔버(3200)에서 열처리 공정(S23), 후단 액처리 챔버(3604)에서 포토레지스트막 도포 공정(S24), 그리고 열처리 챔버(3200)에서 열처리 공정(S25)이 순차적으로 이루어짐으로써 수행된다. The coating process (S20) is a heat treatment process (S21) in the heat treatment chamber 3200, an anti-reflective film application process (S22) in the liquid treatment chamber 3602, a heat treatment process (S23) in the heat treatment chamber 3200, and a liquid treatment after The photoresist film coating process S24 in the chamber 3604 and the heat treatment process S25 in the heat treatment chamber 3200 are sequentially performed.

이하, 용기(10)에서 노광 장치(50)까지 기판(W)의 반송 경로의 일 예를 설명한다. Hereinafter, an example of the transport path of the substrate W from the container 10 to the exposure apparatus 50 will be described.

인덱스 로봇(2200)은 기판(W)을 용기(10)에서 꺼내서 전단 버퍼(3802)로 반송한다. 반송 로봇(3422)은 전단 버퍼(3802)에 보관된 기판(W)을 전단 열처리 챔버(3200)로 반송한다. 기판(W)은 반송 플레이트(3240)에 의해 가열 유닛(3230)에 기판(W)을 반송한다. 가열 유닛(3230)에서 기판의 가열 공정이 완료되면, 반송 플레이트(3240)는 기판을 냉각 유닛(3220)으로 반송한다. 반송 플레이트(3240)는 기판(W)을 지지한 상태에서, 냉각 유닛(3220)에 접촉되어 기판(W)의 냉각 공정을 수행한다. 냉각 공정이 완료되면, 반송 플레이트(3240)가 냉각 유닛(3220)의 상부로 이동되고, 반송 로봇(3422)은 열처리 챔버(3200)에서 기판(W)을 반출하여 전단 액처리 챔버(3602)로 반송한다. The index robot 2200 takes the substrate W out of the container 10 and transfers it to the shear buffer 3802 . The transfer robot 3422 transfers the substrate W stored in the front-end buffer 3802 to the front-end heat treatment chamber 3200 . The substrate W is transferred to the heating unit 3230 by the transfer plate 3240 . When the heating process of the substrate in the heating unit 3230 is completed, the transfer plate 3240 transfers the substrate to the cooling unit 3220 . The transfer plate 3240 is in contact with the cooling unit 3220 while supporting the substrate W to perform a cooling process of the substrate W. When the cooling process is completed, the transfer plate 3240 is moved to the upper part of the cooling unit 3220 , and the transfer robot 3422 takes the substrate W out of the heat treatment chamber 3200 and moves it to the front stage liquid treatment chamber 3602 . return it

전단 액처리 챔버(3602)에서 기판(W) 상에 반사 방지막을 도포한다. An anti-reflection film is applied on the substrate W in the front stage liquid processing chamber 3602 .

반송 로봇(3422)이 전단 액처리 챔버(3602)에서 기판(W)을 반출하여 열처리 챔버(3200)로 기판(W)을 반입한다. 열처리 챔버(3200)에는 상술한 가열 공정 및 냉각 공정 순차적으로 진행되고, 각 열처리 공정이 완료되면, 반송 로봇(3422)은 기판(W)을 반출하여 후단 액처리 챔버(3604)로 반송한다. The transfer robot 3422 unloads the substrate W from the front stage liquid processing chamber 3602 and carries the substrate W into the heat treatment chamber 3200 . In the heat treatment chamber 3200 , the above-described heating process and cooling process are sequentially performed, and when each heat treatment process is completed, the transfer robot 3422 takes out the substrate W and transfers it to the downstream liquid treatment chamber 3604 .

이후, 후단 액처리 챔버(3604)에서 기판(W) 상에 포토레지스트막을 도포한다. Thereafter, a photoresist film is applied on the substrate W in the downstream liquid processing chamber 3604 .

반송 로봇(3422)이 후단 액처리 챔버(3604)에서 기판(W)을 반출하여 열처리 챔버(3200)으로 기판(W)을 반입한다. 열처리 챔버(3200)에는 상술한 가열 공정 및 냉각 공정이 순차적으로 진행되고, 각 열처리 공정이 완료되면, 반송 로봇(3422)은 기판(W)을 후단 버퍼(3804)로 반송한다. 인터페이스 모듈(40)의 제1로봇(4602)이 후단 버퍼(3804)에서 기판(W)을 반출하여 보조 공정챔버(4200)로 반송한다. The transfer robot 3422 unloads the substrate W from the rear stage liquid processing chamber 3604 and carries the substrate W into the heat treatment chamber 3200 . The above-described heating process and cooling process are sequentially performed in the heat treatment chamber 3200 , and when each heat treatment process is completed, the transfer robot 3422 transfers the substrate W to the downstream buffer 3804 . The first robot 4602 of the interface module 40 unloads the substrate W from the downstream buffer 3804 and transports it to the auxiliary process chamber 4200 .

보조 공정챔버(4200)에서 기판(W)에 대해 에지 노광 공정이 수행된다.An edge exposure process is performed on the substrate W in the auxiliary process chamber 4200 .

이후, 제1로봇(4602)이 보조 공정챔버(4200)에서 기판(W)을 반출하여 인터페이스 버퍼(4400)로 기판(W)을 반송한다.Thereafter, the first robot 4602 unloads the substrate W from the auxiliary process chamber 4200 and transfers the substrate W to the interface buffer 4400 .

이후, 제2로봇(4606)은 인터페이스 버퍼(4400)에서 기판(W)을 반출하여 노광 장치(50)로 반송한다.Thereafter, the second robot 4606 unloads the substrate W from the interface buffer 4400 and transfers it to the exposure apparatus 50 .

현상 처리 공정(S80)은 열처리 챔버(3200)에서 열처리 공정(S81), 액처리 챔버(3600)에서 현상 공정(S82), 그리고 열처리 챔버(3200)에서 열처리 공정(S83)이 순차적으로 이루어짐으로써 수행된다. The developing process ( S80 ) is performed by sequentially performing the heat treatment process ( S81 ) in the heat treatment chamber 3200 , the developing process ( S82 ) in the liquid treatment chamber 3600 , and the heat treatment process ( S83 ) in the heat treatment chamber 3200 . do.

이하, 노광 장치(50)에서 용기(10)까지 기판(W)의 반송 경로의 일 예를 설명한다, Hereinafter, an example of a transport path of the substrate W from the exposure apparatus 50 to the container 10 will be described.

제2로봇(4606)이 노광 장치(50)에서 기판(W)을 반출하여 인터페이스 버퍼(4400)로 기판(W)을 반송한다.The second robot 4606 unloads the substrate W from the exposure apparatus 50 and transfers the substrate W to the interface buffer 4400 .

이후, 제1로봇(4602)이 인터페이스 버퍼(4400)에서 기판(W)을 반출하여 후단 버퍼(3804)로 기판(W)을 반송한다. 반송 로봇(3422)은 후단 버퍼(3804)에서 기판(W)을 반출하여 열처리 챔버(3200)로 기판(W)을 반송한다. 열처리 챔버(3200)에는 기판(W)의 가열 공정 및 냉각 공정이 순차적으로 수행한다. 냉각 공정이 완료되면, 기판(W)은 반송 로봇(3422)에 의해 현상 챔버(3600)로 반송한다. Thereafter, the first robot 4602 unloads the substrate W from the interface buffer 4400 and transfers the substrate W to the downstream buffer 3804 . The transfer robot 3422 transports the substrate W to the heat treatment chamber 3200 by unloading the substrate W from the downstream buffer 3804 . In the heat treatment chamber 3200 , a heating process and a cooling process of the substrate W are sequentially performed. When the cooling process is completed, the substrate W is transferred to the developing chamber 3600 by the transfer robot 3422 .

현상 챔버(3600)에는 기판(W) 상에 현상액을 공급하여 현상 공정을 수행한다. A developing process is performed by supplying a developer onto the substrate W to the developing chamber 3600 .

기판(W)은 반송 로봇(3422)에 의해 현상 챔버(3600)에서 반출되어 열처리 챔버(3200)로 반입된다. 기판(W)은 열처리 챔버(3200)에서 가열 공정 및 냉각 공정이 순차적으로 수행된다. 냉각 공정이 완료되면, 기판(W)은 반송 로봇(3422)에 의해 열처리 챔버(3200)에서 기판(W)을 반출되어 전단 버퍼(3802)로 반송한다. The substrate W is unloaded from the developing chamber 3600 by the transfer robot 3422 and loaded into the heat treatment chamber 3200 . A heating process and a cooling process are sequentially performed on the substrate W in the heat treatment chamber 3200 . When the cooling process is completed, the substrate W is unloaded from the heat treatment chamber 3200 by the transfer robot 3422 and transferred to the front end buffer 3802 .

이후, 인덱스 로봇(2200)이 전단 버퍼(3802)에서 기판(W)을 꺼내어 용기(10)로 반송한다. Thereafter, the index robot 2200 takes out the substrate W from the shear buffer 3802 and transfers it to the container 10 .

상술한 기판 처리 장치(1)의 처리 블럭은 도포 처리 공정과 현상 처리 공정을 수행하는 것으로 설명하였다. 그러나 이와 달리 기판 처리 장치(1)는 인터페이스 모듈 없이 인덱스 모듈(20)과 처리 블럭(37)만을 구비할 수 있다. 이 경우, 처리 블럭(37)은 도포 처리 공정만을 수행하고, 기판(W) 상에 도포되는 막은 스핀 온 하드마스크막(SOH)일 수 있다.The processing block of the above-described substrate processing apparatus 1 has been described as performing a coating processing process and a developing processing process. However, unlike this, the substrate processing apparatus 1 may include only the index module 20 and the processing block 37 without an interface module. In this case, the processing block 37 performs only the coating process, and the film applied on the substrate W may be a spin-on hard mask film (SOH).

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 상술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The above detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the above description shows and describes preferred embodiments of the present invention, and the present invention can be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, changes or modifications are possible within the scope of the concept of the invention disclosed herein, the scope equivalent to the written disclosure, and/or within the scope of skill or knowledge in the art. The written embodiment describes the best state for implementing the technical idea of the present invention, and various changes required in the specific application field and use of the present invention are possible. Accordingly, the detailed description of the present invention is not intended to limit the present invention to the disclosed embodiments. Also, the appended claims should be construed to include other embodiments.

840: 대기 포트 924 헤드
950: 토출 부재 970: 노즐
972: 몸통부 974: 토출부
980: 제1결합 부재 982: 제1도체
984: 제1전자석 990: 제2결합 부재
992: 제2도체 994: 제2전자석840: standby port 924 head
950: discharge member 970: nozzle
972: body part 974: discharge part
980: first coupling member 982: first conductor
984: first electromagnet 990: second coupling member
992: second conductor 994: second electromagnet

Claims

An apparatus for processing a substrate, comprising:
a substrate support unit for supporting the substrate;
a liquid supply unit supplying a liquid onto the substrate supported by the substrate support unit;
A controller for controlling the liquid supply unit,
The liquid supply unit,
an arm member;
a plurality of discharge members having a nozzle for discharging a liquid and a first coupling member for attaching and detaching the nozzle to and from the arm member; and
Comprising a standby port in which the nozzle waits and having an accommodation space in which the nozzles are respectively accommodated,
The first coupling member,
a first conductor fixedly coupled to one of the nozzle and the arm member;
a first electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the arm member;
Each of the discharge members,
Further comprising a second coupling member for attaching and detaching the nozzle to the standby port,
The second coupling member is
a second conductor fixedly coupled to any one of the nozzle and the standby port;
and a second electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the interwing standby port.

According to claim 1,
and the controller controls the first electromagnet so that a selected discharge member from among the plurality of discharge members is detached or attached to the arm member.

delete

According to claim 1,
Each of the first conductor and the second conductor is provided in a ring shape surrounding the nozzle.

5. The method of claim 4,
The first conductor and the second conductor are positioned to be spaced apart from each other in a vertical direction.

6. The method of claim 5,
The second conductor is located below the first conductor,
The second conductor has a larger diameter than an inlet of the accommodation space into which the nozzle is inserted.

According to claim 1,
The standby port is
and a cleaning liquid supply line for supplying a cleaning liquid to the nozzle located in the accommodation space.

8. The method according to any one of claims 4 to 7,
The liquid supply unit,
a moving member for moving the arm member so that the nozzle is moved between a standby position in which the nozzle stands by the standby port and a process position in which the nozzle supplies a liquid on a substrate;
Among the nozzles, unused nozzles are waiting in the standby port,
and the controller controls the first electromagnet and the second electromagnet so that a selected one of the nozzles is attached to the arm member.

A liquid supply unit for supplying a liquid, the liquid supply unit comprising:
The liquid supply unit,
an arm member;
a plurality of discharge members having a nozzle for discharging a liquid and a first coupling member for attaching and detaching the nozzle to and from the arm member;
Comprising a standby port in which the nozzle waits and having an accommodation space in which the nozzles are respectively accommodated,
The first coupling member,
a conductor fixedly coupled to one of the nozzle and the arm member;
an electromagnet fixedly coupled to the other of the nozzle and the arm member;
Each of the discharge members is
Further comprising a second coupling member for attaching and detaching the nozzle to the standby port,
The second coupling member is
a second conductor fixedly coupled to any one of the nozzle and the standby port;
and a second electromagnet fixedly coupled to the other one of the nozzle and the standby port.

10. The method of claim 9,
the nozzle,
a body portion having the same diameter in the vertical direction;
It extends downward from the body and has a discharge unit for discharging liquid,
The arm member comprises:
an insertion part insertable into the body part;
It extends upward from the upper end of the insertion part and includes a support part having a larger diameter than the body part,
The electromagnet is provided on the support,
The conductor is a liquid supply unit provided in the body portion.

11. The method of claim 10,
The conductor is provided in an annular ring shape surrounding the body,
A liquid supply unit in which the conductor and the electromagnet are positioned to face each other at a position where the insertion part is inserted into the body part.

In the method of processing a substrate using the substrate processing apparatus of claim 1,
Among the nozzles, unused nozzles are waiting in the standby port,
A selected nozzle among the nozzles is moved to a process position facing the substrate to supply a liquid on the substrate,
the selected nozzle is attached to the arm member by the first electromagnet and moved to the process position;
The unused nozzle is attached to the standby port by the second electromagnet provided in the standby port.

13. The method of claim 12,
wherein the unused nozzles are cleaned in the standby port.

delete

14. The method according to any one of claims 12 to 13,
The nozzles supply different types of photoresist,
wherein the arm member is capable of supporting the plurality of nozzles simultaneously.