KR102304038B1 - 배기장치 지지용 지그 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 배기장치의 양측에 설치되어 배기장치를 지지해주는 좌측 프레임부와 우측 프레임부가 연결프레임들에 의해 연결되며, 연결프레임의 삽입거리에 따라서 측면프레임들 사이의 이격거리가 변화되도록 구성됨으로써 다양한 크기를 갖는 배기장치들을 지지할 수 있고, 이에 따라 단일 장치를 이용하여 다양한 폭의 배기장치들에 연동하여 제조 및 운영비용을 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라 작업 효율을 개선시킬 수 있으며, 좌측 프레임부 및 우측 프레임부과 연결프레임들이 결합될 때, 톱니가 직선으로 형성된 기어들이 서로 맞물리도록 구성됨으로써 강한 진동 또는 충격 등이 가해져도 좌측 프레임부와 우측 프레임부가 이격되는 것을 방지할 수 있는 배기장치 지지용 지그에 관한 것이다.

Description

배기장치 지지용 지그{Jig for supporting exhauster}
본 발명은 배기장치 지지용 지그에 관한 것으로, 상세하게는 지지대상인 배기장치의 양측을 지지하는 프레임부의 폭 조절이 가능하도록 구성됨으로써 다양한 폭의 배기장치들을 지지할 수 있는 배기장치 지지용 지그에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정 중에는 반도체에 전기적인 특성을 갖게 하도록 실리콘 웨이퍼 상에 붕소(B), 비소(As), 인(P) 등의 불순물을 첨가하는 확산(Diffusion) 과정이 진행되며, 열 확산법과 이온 주입법 등이 이용되고 있다.
이러한 확산 과정이 완료된 후에는 확산 장비 내로 주입되어 잔존하는 공정 가스에 의해 웨이퍼들이 오염 및 손상되는 것을 방지하기 위해 배기장치를 사용하여 공정 가스를 배출시키는 과정이 진행되고 있다.
이때 사용되는 배기장치는 폭에 비해 높이가 큰 장치이기 때문에 공정가스를 배출시키는 과정 중에 발생하는 진동 또는 작업자의 부주의에 의해 엎어지는 경우가 종종 발생하여 배기장치가 확산 장비로부터 분리되거나 파손되어 공정가스의 배출이 원활하게 이루어지지 못하는 문제가 발생하게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위해 배기장치를 지지해주는 배기장치 지지용 지그가 개발되었다.
도 1은 종래의 배기장치 지지용 지그의 사시도이다.
종래의 배기장치 지지용 지그(200)는 도 1에 도시된 바와 같이, 사각 틀 형상의 하부프레임부(201)와, 하부프레임부(201)의 후방에 수직으로 설치되는 후방프레임부(202)와, 양단부가 하부프레임부(201) 및 후방프레임부(202)에 각각 결합되는 측면프레임(203a), (203b)들로 이루어진다.
하부프레임부(201)는 사각 틀 형상으로 형성되는 하부프레임(2011)과, 하부프레임(2011)의 내측에 설치되는 지지프레임(2012a), (2012b)들로 이루어지며 배기장치(미도시)의 하부면을 지지한다.
후방프레임부(202)는 하부프레임부(201)의 후단부 양단에 각각 설치되는 수직프레임(2021a), (2021b)들과, 양단부가 수직프레임(2021a), (2021b)들의 상단부와 결합되는 수평프레임(2022)으로 이루어진다.
측면프레임(203a)은 양단부가 각각 하부프레임(2011)의 좌측변과 수직프레임(2021a)에 결합되어 대각선으로 설치되어 배기장치의 좌측면을 지지한다.
또한 측면프레임(203b)은 양단부가 각각 하부프레임(2012)의 우측변과 수직프레임(2021b)에 결합되어 대각선으로 설치되어 배기장치의 우측면을 지지한다.
이와 같이 구성되는 종래의 배기장치 지지용 지그(200)는 하부프레임부(201)와 후방프레임부(202), 측면프레임(203a), (203b)들을 통해 배기장치의 하부면과 양측면을 지지해줌으로써 배기장치가 진동 또는 충돌 등의 원인으로 인하여 엎어지는 것을 방지한다.
그러나 이러한 종래의 배기장치 지지용 지그(200)는 폭을 조절할 수 있는 수단이 구비되지 않기 때문에 반도체 확산 과정 중에 사용되는 공정가스의 종류에 따라 반도체 확산장비에 장착되는 배기장치가 변화될 때, 해당 장치의 폭에 맞는 별도의 지그를 준비해야 된다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결과제는 반도체 확산 장비의 배기장치를 지지해주는 지그의 폭을 조절 가능하도록 구성됨으로써 다양한 크기를 갖는 배기장치들을 지지할 수 있는 배기장치 지지용 지그에 관한 것이다.
또한 본 발명의 다른 해결과제는 지그의 폭을 고정하였을 때, 톱니가 직선으로 형성되는 기어들이 서로 맞물리도록 구성됨으로써 외부의 충격 또는 진동 등에 의해 배기장치의 양측을 지지하는 프레임들이 흔들리거나 이격되는 것을 방지할 수 있는 배기장치 지지용 지그에 관한 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 해결수단은 상호 대향되게 설치되어 지지 대상의 양측을 지지하는 좌측 프레임부 및 우측 프레임부와, 상기 좌측 프레임부 및 상기 우측 프레임부를 연결하는 연결프레임들을 포함하는 지지용 지그에 있어서: 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부는 막대 형상으로 형성되며, 전후방으로 서로 이격되게 설치되는 전방프레임과 후방프레임; 상기 전방 프레임과 상기 후방 프레임의 일측 단부를 연결하는 측방 프레임; 상기 측방 프레임의 후단부에 수직으로 연결되는 수직 프레임; 상기 수직 프레임의 상단부에 연결되되, 상기 전방 프레임과 평행하게 연결되는 상부프레임을 포함하고, 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부를 구성하는 프레임들은 일면이 개구되어 단면의 형상이 ‘ㄷ’자 형상으로 형성되되, 개구된 면에 걸림턱이 형성되고, 상기 연결프레임들은 양단부가 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부의 전방프레임들 내부로 삽입되는 제1 연결프레임과, 양단부가 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부의 후방프레임들 내부로 삽입되는 제2 연결프레임과, 양단부가 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부의 상부프레임들 내부로 삽입되는 제3 연결프레임을 포함하며, 외면적이 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부를 구성하는 프레임들의 내부 공간보다 작게 형성된 막대 형상으로 형성되어 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부 내부에 삽입된 상태에서 수평 이동 가능하게 설치되고, 상기 전방프레임들, 상기 후방프레임들 및 상기 상부프레임들의 일면에는 장공 형상의 볼트 가이드공들이 각각 형성되고, 상기 연결프레임들의 일면에는 복수개의 볼트공들이 길이방향으로 이격되게 형성되고, 상기 연결프레임들은 상기 볼트 가이드공들과 상기 볼트공들에 설치되는 볼트들에 의해 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부를 구성하는 프레임들과 결합되어 이동이 제한되고, 상기 지지용 지그는 막대 형상으로 형성되되 일면에 톱니들이 길이 방향으로 따라 형성되며, 상기 상부프레임들 각각의 내부공간의 상하부면에 설치되는 랙기어들; 판재로 형성되되 상하부면에 톱니들이 형성되며, 상기 제3 연결프레임의 양단부와 인접한 내측면에 결합되는 기어블록들; 상기 제3 연결프레임과 상기 기어블록들을 결합하는 볼트들을 더 포함하고, 상기 제3 연결프레임의 양단면에는 내외면을 관통하되, 상기 제3 연결프레임의 상하부면까지 연결되며 길이 방향으로 연장되는 랙기어 삽입공들이 형성되고, 상기 기어블록들은 상기 제3 연결프레임이 상기 상부프레임들과 결합될 때, 상하부면의 톱니가 대응되는 랙기어의 톱니에 치합되고, 상기 볼트들은 상기 기어블록의 두께와 상기 랙기어의 두께의 합보다 큰 길이로 형성되고, 상기 제3 연결프레임은 상기 기어블록이 상기 볼트들을 따라 상기 제3 연결프레임의 내측면과 이격되는 방향으로 이동되어 상기 기어블록의 톱니가 상기 랙기어들과 분리되었을 때, 수평 방향으로 이동 가능한 것이다.
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상기 과제와 해결수단을 갖는 본 발명에 따르면 배기장치의 양측에 설치되어 배기장치를 지지해주는 좌측 프레임부와 우측 프레임부가 연결프레임들에 의해 연결되며, 연결프레임의 삽입거리에 따라서 측면프레임들 사이의 이격거리가 변화되도록 구성됨으로써 다양한 크기를 갖는 배기장치들을 지지할 수 있고, 이에 따라 단일 장치를 이용하여 다양한 폭의 배기장치들에 연동하여 제조 및 운영비용을 절감시킬 수 있을 뿐만 아니라 작업 효율을 개선시킬 수 있다.
또한 본 발명에 의하면 좌측 프레임부 및 우측 프레임부과 연결프레임들이 결합될 때, 톱니가 직선으로 형성된 기어들이 서로 맞물리도록 구성됨으로써 강한 진동 또는 충격 등이 가해져도 좌측 프레임부와 우측 프레임부가 이격되는 것을 방지할 수 있게 된다.
도 1은 종래기술의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예인 배기장치 지지용 지그의 사시도이다.
도 3은 도 2의 좌측 프레임부의 사시도이다.
도 4는 도 2의 후방사시도이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예인 배기장치 지지용 지그의 사시도이다.
도 6은 도 5의 부분사시도이다.
도 7은 도 5의 기어블록의 결합구조를 설명하기 위한 설명도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예인 배기장치 지지용 지그의 사시도이다.
배기장치 지지용 지그(1)는 배기장치(미도시)의 일측을 지지해주는 좌측 프레임부(2)와, 좌측 프레임부(2)와 대칭형상으로 형성되어 배기장치의 타측을 지지해주는 우측 프레임부(3), 양단부가 좌측 프레임부(2)와 우측 프레임부(3)에 삽입 설치되어 좌측 프레임부(2)와 우측 프레임부(3)의 이격거리를 조절하는 제1, 제2, 제3 연결프레임(4a), (4b), (4c)들로 이루어진다.
도 3은 도 2의 좌측 프레임부의 사시도이다.
좌측 프레임부(2)는 전후방으로 이격되게 설치되는 전방프레임(21) 및 후방프레임(22)과, 전방프레임(21)과 후방프레임(22)의 좌측 단부를 연결하는 측방 프레임(23)과, 측방 프레임(23)의 후단부에 수직으로 연결되는 수직 프레임(24)과, 수직 프레임(24)의 상단부에 후방프레임(22)과 평행하게 연결되는 상부프레임(25)으로 이루어진다.
이때 전방프레임(21)과 후방프레임(22)은 하부면이 개구되고, 상부프레임(25)은 전면이 개구되어 단면이 ‘ㄷ’ 형상으로 이루어진다.
또한 전방프레임(21)과 후방프레임(22), 상부프레임(25)의 개구된 면에는 걸림턱(211)이 형성된다.
이러한 전방프레임(21)과 후방프레임(22), 상부프레임(25)의 우측 단부에는 각각 연결프레임(4a), (4b), (4c)들의 일단부가 삽입된다.
또한 전방프레임(21)과 후방프레임(22)의 상부면 및 상부프레임(25)의 후면에는 후술되는 볼트(5)들이 삽입되는 볼트 가이드공(212)들이 각각 형성된다.
이때 볼트 가이드공(212)들은 길이방향으로 형성되는 장공으로 형성되어 볼트(5)들의 삽입 위치를 조절할 수 있다.
또한 좌측 프레임부(2)는 양단부가 측방프레임(23)과 수직프레임(24)에 각각 연결되는 보강 프레임(26) 또는 양단부가 전방프레임(21)과 후방프레임(22)에 연결되는 지지 프레임(27)이 추가로 설치되어 내구성을 향상시킬 수 있다.
우측 프레임부(3)는 좌측 프레임부(2)와 동일한 구성 및 형상으로 이루어지되, 전방프레임과 후방프레임, 상부프레임이 좌측 프레임부(2)를 바라보도록 대향되게 설치되는 구조로 이루어진다.
도 4는 도 2의 후방사시도이다.
제1, 제2, 제3 연결프레임(4a), (4b), (4c)들은 단면이 ‘ㄷ’ 자 형상인 막대 형상으로 형성되며, 길이방향으로 이격되게 설치되는 복수개의 볼트공(41)들이 형성된다.
제1 연결프레임(4a)은 양단부가 좌측 프레임부(2)와 우측 프레임부(3)의 전방프레임(21)들의 내부로 삽입된다.
또한 제2 연결프레임(4b)은 양단부가 좌측 프레임부(2)와 우측 프레임부(3)의 후방프레임(22)들의 내부로 삽입된다.
또한 제3 연결프레임(4c)은 양단부가 좌측 프레임부(2)와 우측 프레임부(3)의 상부프레임(25)들의 내부로 삽입된다.
이러한 연결프레임(4a), (4b), (4c)들은 외면적이 대응되는 프레임(21), (22), (25)의 내부공간보다 작은 크기로 형성되되, 걸림턱(211)에 대응되는 측면적이 걸림턱(211)의 간격 보다 큰 크기로 형성됨으로써 프레임(21), (22), (25)들로 삽입되어 수평방향으로 이동 가능하게 설치된다.
이러한 상태에서 연결프레임(4a), (4b), (4c)들은 작업자에 의해 배기장치의 폭에 대응하는 위치로 이동되면, 볼트(5) 체결을 통해 프레임(21), (22), (25)들에 결합됨으로써 좌측 프레임부(2)와 우측 프레임부(3) 사이의 거리가 고정된다.
이때 연결프레임(4a), (4b), (4c)들은 볼트(5)에 결합된 너트(미도시)를 풀어주게 되면 볼트공(41)들에 관통 설치된 볼트(5)들이 연결프레임(4a), (4b), (4c)들과 함께 볼트 가이드공(212)들을 따라 수평방향으로 이동됨으로써 볼트(5)와 너트를 완전히 분리시키지 않은 상태에서도 연결프레임(4a), (4b), (4b)들을 수평방향으로 이동시킬 수 있다.
이와 같이 구성되는 배기장치 지지용 지그(1)는 좌측 프레임(2)과 우측 프레임(3) 사이의 거리를 조절할 수 있도록 구성됨으로써 다양한 폭을 가지는 배기장치들을 지지할 수 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예인 배기장치 지지용 지그의 사시도이다.
도 5의 배기장치 지지용 지그(6)는 본 발명의 제2 실시예이며, 좌측 프레임부(7)와 우측 프레임부(8), 제1, 제2, 제3 연결프레임(9a), (9b), (9c)들로 이루어지고, 기어블록(10)들을 더 포함한다.
이때 좌측 프레임부(7)는 전술하였던 바와 같이, 전방프레임(71)과 후방프레임(72), 측방 프레임(73), 수직 프레임(74), 상부프레임(75)으로 이루어지되, 상부프레임(75)의 내부공간의 상하부면에 각각 설치되는 랙기어(751)들을 더 포함한다.
랙기어(751)들은 일면에 톱니들이 길이 방향으로 연장되게 형성되며, 톱니가 형성된 면이 서로를 향하도록 상부프레임(75)의 내부공간의 상하부면에 각각 설치되고, 이러한 랙기어는 각종 장치에 통상적으로 사용되는 장치이기 때문에 상세한 설명은 생략하기로 한다.
우측 프레임부(8)는 좌측 프레임부(7)와 동일한 구성 및 형상으로 이루어지되, 전방프레임과 후방프레임, 상부프레임이 좌측 프레임부(7)를 바라보도록 대향되게 설치되는 구조로 이루어진다.
제1, 2 연결프레임(9a), (9b)들은 전술하였던 도 2의 제1, 2 연결프레임(4a), (4b)들과 동일한 형상 및 구조로 이루어진다.
도 6은 도 5의 부분사시도이며, 도 7은 도 5의 기어블록의 결합구조를 설명하기 위한 설명도이다.
제3 연결프레임(9c)은 도 2의 제3 연결프레임(4c)과 같이 단면이 ‘ㄷ’자 형상인 막대 형상으로 형성되며, 측면에 길이방향으로 이격되게 설치되는 복수개의 볼트공(91)들이 형성된다.
또한 제3 연결프레임(9c)들의 양단면에는 내외면을 관통하되, 상하부면까지 연결되어 길이 방향으로 연장되는 랙기어 삽입공(92)들이 대향되게 형성되고, 랙기어 삽입공(92)들은 측단면을 따라 하부면까지 연장되게 형성된다.
즉 제3 연결프레임(9c)은 상부프레임(75)의 내부 공간으로 삽입될 때, 상부프레임(75)의 상하부면에 설치된 랙기어(751)들이 측단면에 형성된 랙기어 삽입공(92)들로 삽입되고, 이때 랙기어 삽입공(92)들이 제3 연결프레임(9c)의 상하부면의 길이 방향을 따라 연장되게 형성됨으로써 랙기어(751)의 이동이 제한받지 않아 제3 연결프레임(9c)이 상부프레임(75)의 내부 공간으로 삽입된 상태에서 수평 이동 가능하게 된다.
다시 말하면, 랙기어 삽입공(92)들로는 조립 시, 랙기어(751)가 삽입됨으로써 제3 연결프레임(9c)이 상부프레임(75)의 내부로 삽입될 때, 제3 연결프레임(9c)의 상하부면이 랙기어(751)들과 접촉되어 제3 연결프레임(9c)의 삽입 및 이동이 제한되는 것을 방지한다.
기어블록(10)들은 사각 판재 형상으로 형성되되, 상하부면에 랙기어(751)들의 톱니들과 치합되는 톱니(101)들이 형성된다.
이러한 기어블록(10)들은 제3 연결프레임(9c)의 위치를 고정시키기 위한 용도로 사용되며, 상세하게로는 제3 연결프레임(9c)이 상부프레임(75)에 삽입되어 배기장치의 폭에 대응하여 특정 위치로 이동하면, 제3 연결프레임(9c)의 내측면에 볼트 체결을 통해 결합된다. 이때 제3 연결프레임(9c)에 결합된 기어블록(10)의 상하부면의 톱니(101)들은 상부프레임(75)의 상하부면에 결합된 랙기어(751)들의 톱니들과 각각 치합됨으로써 외부 진동 및 충격이 발생하더라도 제3 연결프레임(9c)이 상부프레임(75)에 견고하게 고정되게 된다.
예를 들어, 본 발명의 제2 실시예서와 같이 랙기어(751)들 및 기어블록(10)들이 구비되지 않는 경우, 제3 연결프레임(9c) 및 상부프레임(75)의 결합은 볼트 및 너트에 의해서만 결합하게 되고, 이에 따라 외부 충격 및 진동 등의 이유로 인해 볼트 및 너트의 체결이 해제되거나 또는 느슨해질 때, 볼트의 나사부가 상부프레임(75)의 볼트 가이도공을 따라 이동하게 되는 문제점이 발생하게 된다.
즉 기어블록(10)의 톱니(101)는 제3 연결프레임(9c)에 결합될 때, 랙기어(751)의 톱니와 치합되도록 구성됨으로써 제3 연결프레임(9c)이 외부의 진동 또는 충격 등에 의해 수평방향으로 이동하는 것을 방지한다.
또한 도 7을 참조하여 본 발명의 볼트(11)를 살펴보면, 볼트(11)는 랙기어(751)의 두께와 기어블록(10)의 두께의 합보다 큰 길이로 형성됨으로써 기어블록(10)이 볼트(11)를 따라 상부프레임(75)과 대향되는 방향인 전방으로 이동하게 되면, 랙기어(751)로부터 전방으로 이격되어 랙기어(751)와 기어블록(10)의 톱니(101)들이 서로 접촉되지 않는 상태가 된다.
이로 인해 제3 연결프레임(9c)은 좌측 프레임부(7)와 우측 프레임부(8)의 이격거리를 조절할 때, 볼트(11)를 해제하지 않은 상태에서도 수평방향으로 이동 가능하다.
이와 같이 구성되는 배기장치 지지용 지그(6)는 제3 연결프레임(9c)과 상부프레임(75)들을 볼트 체결에 의해 결합시켰을 때, 상부프레임(75)들에 설치되는 랙기어(751)들과 기어블록(10)들에 형성된 톱니(101)들이 서로 맞물리도록 설치되며, 외부의 진동 또는 충격에 의해 볼트(11)들에 체결된 너트(12)들이 풀리거나 너트(12)들의 체결력 이상의 힘이 작용하여도 랙기어(751)와 기어블록(10)들에 형성된 톱니들이 서로 접촉되어 제3 연결프레임(9c)이 수평방향으로 이동되는 것을 방지할 수 있다.
1 : 제1 실시예의 배기장치 지지용 지그
2 : 좌측 프레임부
3 : 우측 프레임부
4a : 제1 연결프레임 4b : 제2 연결프레임
4c : 제3 연결프레임
5 : 볼트
6 : 제2 실시예의 배기장치 지지용 지그

Claims (4)

  1. 상호 대향되게 설치되어 지지 대상의 양측을 지지하는 좌측 프레임부 및 우측 프레임부와, 상기 좌측 프레임부 및 상기 우측 프레임부를 연결하는 연결프레임들을 포함하는 지지용 지그에 있어서:
    상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부는
    막대 형상으로 형성되며, 전후방으로 서로 이격되게 설치되는 전방프레임과 후방프레임;
    상기 전방 프레임과 상기 후방 프레임의 일측 단부를 연결하는 측방 프레임;
    상기 측방 프레임의 후단부에 수직으로 연결되는 수직 프레임;
    상기 수직 프레임의 상단부에 연결되되, 상기 전방 프레임과 평행하게 연결되는 상부프레임을 포함하고,
    상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부를 구성하는 프레임들은
    일면이 개구되어 단면의 형상이 ‘ㄷ’자 형상으로 형성되되, 개구된 면에 걸림턱이 형성되고,
    상기 연결프레임들은
    양단부가 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부의 전방프레임들 내부로 삽입되는 제1 연결프레임과, 양단부가 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부의 후방프레임들 내부로 삽입되는 제2 연결프레임과, 양단부가 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부의 상부프레임들 내부로 삽입되는 제3 연결프레임을 포함하며, 외면적이 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부를 구성하는 프레임들의 내부 공간보다 작게 형성된 막대 형상으로 형성되어 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부 내부에 삽입된 상태에서 수평 이동 가능하게 설치되고,
    상기 전방프레임들, 상기 후방프레임들 및 상기 상부프레임들의 일면에는 장공 형상의 볼트 가이드공들이 각각 형성되고,
    상기 연결프레임들의 일면에는 복수개의 볼트공들이 길이방향으로 이격되게 형성되고,
    상기 연결프레임들은
    상기 볼트 가이드공들과 상기 볼트공들에 설치되는 볼트들에 의해 상기 좌측 프레임부와 상기 우측 프레임부를 구성하는 프레임들과 결합되어 이동이 제한되고,
    상기 지지용 지그는
    막대 형상으로 형성되되 일면에 톱니들이 길이 방향으로 따라 형성되며, 상기 상부프레임들 각각의 내부공간의 상하부면에 설치되는 랙기어들;
    판재로 형성되되 상하부면에 톱니들이 형성되며, 상기 제3 연결프레임의 양단부와 인접한 내측면에 결합되는 기어블록들;
    상기 제3 연결프레임과 상기 기어블록들을 결합하는 볼트들을 더 포함하고,
    상기 제3 연결프레임의 양단면에는 내외면을 관통하되, 상기 제3 연결프레임의 상하부면까지 연결되며 길이 방향으로 연장되는 랙기어 삽입공들이 형성되고,
    상기 기어블록들은 상기 제3 연결프레임이 상기 상부프레임들과 결합될 때, 상하부면의 톱니가 대응되는 랙기어의 톱니에 치합되고,
    상기 볼트들은 상기 기어블록의 두께와 상기 랙기어의 두께의 합보다 큰 길이로 형성되고,
    상기 제3 연결프레임은 상기 기어블록이 상기 볼트들을 따라 상기 제3 연결프레임의 내측면과 이격되는 방향으로 이동되어 상기 기어블록의 톱니가 상기 랙기어들과 분리되었을 때, 수평 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 지지용 지그.
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