KR102301113B1 - 적층 구조의 미끄럼 방지 패드 및 이를 구비한 웨이퍼 이송 로봇 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 미끄럼 방지 패드는, 웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드로서, 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재 및 상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재를 포함할 수 있다.

Description

적층 구조의 미끄럼 방지 패드 및 이를 구비한 웨이퍼 이송 로봇{ANTI-SLIP PAD WITH LAMINATED STRUCTURE AND ROBOT TO TRANSFER WAFER HAVING THE SAME}
본 발명은 적층 구조의 미끄럼 방지 패드 및 이를 구비한 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 미끄럼 방지 패드에 예를 들면 미끄럼 방지 패드가 제조된 일시 또는 픽업 아암에 장착된 일시 등이 표시되어 있어, 패드의 마모로 인한 웨이퍼의 파손 또는 에러가 발생되기 전에 패드의 교체 시기를 정확하게 파악할 수 있는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드 및 이를 구비한 웨이퍼 이송 로봇에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 단결정의 실리콘 웨이퍼 상에 원하는 회로 패턴에 따라 다층막을 형성하여 제조된다. 따라서 반도체 소자의 제조에는, 예를 들면 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 산화 공정, 식각 공정, 이온주입 공정 및 금속배선 공정 등 다수의 단위 공정들이 단계에 따라 수행되는 것이 일반적이다.
이러한 각 단위 공정들이 절차에 따라 진행되기 위해서는 각각의 공정이 완료된 후 웨이퍼는 후속공정이 행해질 장비로 이동된다. 이 때 웨이퍼는 각각 개별적으로 이송되거나 또는 카세트와 같은 장비에 복수 매의 웨이퍼가 적재되어 이송될 수도 있다.
카세트에 적재된 복수 매의 웨이퍼를 하나씩 특정의 장비에 로딩하거나 이송하는 공정에 있어서는 일반적으로 웨이퍼 이송 로봇이 사용될 수 있다.
종래의 웨이퍼 이송 로봇은 웨이퍼를 직접적으로 다루는 픽업 아암(pickup arm)을 구비하는데, 이러한 픽업 아암에는 웨이퍼의 미끄러짐을 방지하기 위한 미끄럼 방지용 패드가 부착되어 있다.
그런데, 미끄럼 방지용 패드는 고무와 같은 재질로 제작되기 때문에 장시간 사용되는 경우 마모가 발생될 수 있다. 마모된 패드를 계속적으로 사용하는 경우, 웨이퍼가 패드로부터 미끄러질 수 있으며 따라서 에러가 발생되거나 웨이퍼 파손이 발생될 수 있다.
이러한 문제를 해결하기 위해서, 픽업 아암 상의 패드를 정기적으로 교체하고 있는 실정이다. 그런데, 이의 경우에도 패드가 투명한 재질의 고무라서 마모 상태를 쉽게 파악하지 못하고 있다. 따라서 패드의 마모 상태가 양호함에도 불구하고 새로운 패드로 교체하거나 또는 마모 상태가 매우 심각한데도 교체를 하지 않고 계속 사용하게 되는 경우가 발생될 수 있다.
이에, 패드에 대한 정보를 용이하게 파악할 수 있어 패드의 교체 시기를 정확하게 분별할 수 있도록 하는 새로운 구성의 픽업 아암 및 이를 구비한 웨이퍼 이송 로봇의 개발이 요구되는 실정이다.
관련 선행기술로는, 대한민국특허 공개번호 10-2016-0055010호(발명의 명칭: 웨이퍼 이송 로봇 및 그 제어 방법) 등이 있다.
본 발명의 실시예는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드에 예를 들면 미끄럼 방지 패드가 제조된 일시 또는 픽업 아암에 장착된 일시 등이 표시되어 있어, 패드의 마모로 인한 웨이퍼의 파손 또는 에러가 발생되기 전에 패드의 교체 시기를 정확하게 파악할 수 있는 미끄럼 방지 패드 및 이를 구비한 웨이퍼 이송 로봇을 제공한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제(들)로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제(들)은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 적층 구조의 미끄럼 방지 패드는, 웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드로서, 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재 및 상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 정보 표시부재에는 상기 패드부재의 제조 일시 또는 상기 패드부재가 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되는 일시에 대한 정보가 표시될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 정보 표시부재는 일면이 접착성이 있고 반대면은 상기 패드부재에 대한 정보 표시가 가능한 단면 폴리이미드(PI) 테이프일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 정보 표시부재와 상기 픽업 아암의 몸체의 일면에 개재되어 상기 패드부재가 부착된 상기 정보 표시부재를 상기 픽업 아암의 몸체에 부착시키는 양면 폴리이미드(PI) 테이프 타입의 접착부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 패드부재는 신축성이 있는 폴리디메틸실록산(PDMS, poly-dimethyl-siloxane)으로 제조될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 웨이퍼가 접촉되는 상기 패드부재의 표면에는 나노 구조의 패턴이 형성될 수 있다.
또한, 한편, 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇은, 로봇몸체와, 상기 로봇몸체에 장착되며, 단부에는 웨이퍼를 핸들링하는 픽업 아암이 구비되는 로봇아암 및 상기 픽업 아암에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 미끄럼 방지 패드를 포함하며, 상기 미끄럼 방지 패드는, 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재 및 상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 정보 표시부재에는 상기 패드부재의 제조 일시 또는 상기 패드부재가 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되는 일시에 대한 정보가 표시될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 정보 표시부재는 일면이 접착성이 있고 반대면은 상기 패드부재에 대한 정보 표시가 가능한 단면 폴리이미드(PI) 테이프일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 정보 표시부재와 상기 픽업 아암의 몸체의 일면에 개재되어 상기 패드부재가 부착된 상기 정보 표시부재를 상기 픽업 아암의 몸체에 부착시키는 양면 폴리이미드(PI) 테이프 타입의 접착부재를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 상기 픽업 아암의 몸체에는 적어도 2개의 핑거부재가 구비되며, 상기 복수 개의 미끄럼 방지 패드는 총 3개이며, 상기 2개의 핑거부재의 각 단부 및 상기 2개의 핑거부재가 연결되는 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 적층 구조의 미끄럼 방지 패드에 예를 들면 미끄럼 방지 패드가 제조된 일시 또는 픽업 아암에 장착된 일시 등이 표시되어 있어, 패드의 마모로 인한 웨이퍼의 파손 또는 에러가 발생되기 전에 패드의 교체 시기를 정확하게 파악할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 픽업 아암의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 미끄럼 방지 패드의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 미끄럼 방지 패드를 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드를 설명하기 위한 사시도이다.
본 발명의 이점 및/또는 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇의 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 픽업 아암의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 미끄럼 방지 패드의 구성을 설명하기 위한 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 미끄럼 방지 패드를 상부에서 바라본 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 이송 로봇(100)은, 예를 들면 해당 공정이 완료된 웨이퍼를 다음의 공정으로 옮기거나 카세트와 같은 적재 공간으로 이송시키기 위한 것으로서, 개략적으로는, 로봇몸체(110)와, 로봇몸체(110)의 상부에 장착되는 다관절 타입의 로봇아암(120)을 포함할 수 있다.
로봇몸체(110)의 하단부에는 휠(미도시) 등이 구비되어 로봇몸체(110)의 이동이 가능하다. 로봇아암(120)은, 도 1에 도시된 것처럼, 복수 개의 아암(121, 123, 125)들을 포함할 수 있는데, 본 실시예의 경우, 제1 아암(121), 제2 아암(123) 및 제 3 아암(125)을 포함할 수 있다.
제1 아암(121)과 로봇몸체(110)는 샤프트(111)에 의해 결합되어 샤프트(111)를 중심으로 제1 아암(121)을 회전할 수 있으며, 아울러 제1 아암(121)과 제2 아암(123), 그리고 제2 아암(123)과 제3 아암(125)도 샤프트에 의해 결합되어 각각의 아암(121, 123, 125)들이 원하는 방향으로 회전될 수 있다.
따라서, 아암(121, 123, 125)들의 각각의 동작에 의해 제3 아암(125)에 장착된 픽업 아암(130)은 원하는 위치로 이동할 수 있다. 특히, 로봇몸체(110)와 제1 아암(121)을 연결하는 샤프트(111)의 경우는 승강이 가능하며, 이로 인해 픽업 아암(130)에 웨이퍼를 로딩시키거나 또는 언로딩시키는 동작을 수행할 수도 있다.
픽업 아암(130)은 제3 아암(125)에 회전 동작 가능하게 결합된 아암 장착부재(127)에 결합될 수 있다. 도 2에 도시된 것처럼, 픽업 아암(130)에는 나사홀(133)이 형성되어 있고 이에 대응되게 아암 장착부재(127)에도 나사가 결합될 수 있는 홀(미도시)이 형성되어 픽업 아암(130)은 아암 장착부재(127)에 결합됨은 물론 필요에 따라 용이하게 분리할 수도 있다.
한편, 전술한 것처럼, 픽업 아암은, 그 상부에 웨이퍼를 로딩시켜 웨이퍼를 다른 장소로 이송시키는 역할을 한다. 그런데, 픽업 아암(130)에 의한 웨이퍼의 이송 작업을 반복적으로 하는 경우 픽업 아암(130)에 마련된 미끄럼 방지 패드(140)가 마모될 수 있으며, 이로 인해 에러가 발생될 수 있음은 웨이퍼에 파손이 발생될 우려가 있다. 왜냐하면 매번 패드(140)의 마모 상태를 확인할 수 없음은 물론 육안으로 확인하더라도 그것이 정확하지 않았기 때문이다.
그래서, 종래의 경우, 패드의 마모가 덜 이루어졌음에도 패드를 교체하는 경우가 발생될 수 있고, 또는 교체 시기를 놓쳐서 전술한 문제가 발생될 수 있었다.
그런데, 본 실시예의 경우, 교체 시기를 정확하게 파악할 수 있는 미끄럼 방지 패드(140)가 적용됨으로써 전술한 문제점들을 방지할 수 있다.
본 실시예의 픽업 아암(130)의 몸체에는, 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼, 웨이퍼의 일면이 지지되는 복수 개의 미끄럼 방지 패드(140)가 장착될 수 있다.
본 실시예의 픽업 아암의 몸체(131)는, 도 2에 도시된 것처럼, 2개의 핑거부재(135)를 포함할 수 있다. 2개의 핑거부재(135)는 전체적으로 호 형상으로 마련되어 그 상부에 웨이퍼가 지지될 수 있다.
그리고, 이러한 픽업 아암의 몸체(131)에 미끄럼 방지 패드(140)가 장착될 수 있는데, 도 2에 도시된 것처럼, 핑거부재(135)들의 각 단부와 핑거부재(135)를 연결하는 그 사이 영역에 장착되며, 따라서 웨이퍼를 균일하게 지지할 수 있다. 다만, 미끄럼 방지 패드(140)의 배치 구조가 이에 한정되는 것은 아니며, 웨이퍼를 지지하기에 적당하다면 다르게 장착될 수 있음은 당연하다.
본 실시예의 적층 구조의 미끄럼 방지 패드(140)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 다층 구조를 가질 수 있다. 즉, 미끄럼 방지 패드(140)는, 웨이퍼가 놓여지는 패드부재(141)와, 패드부재(141)에 부착되며 교체 시기를 파악하기 위한 정보(145)가 표시되어 있는 정보 표시부재(142)를 포함할 수 있다. 또한, 정보 표시부재(142)를 픽업 아암의 몸체(131) 상에 부착시키는 접착부재(143)를 더 포함할 수 있다.
부연하면, 도 3의 경우 미끄럼 방지 패드(140)의 구성을 잘 드러내기 위해 각각의 구성들이 직육면체(직사각 플레이트) 형상을 가진 것으로 도시하였으나 도 2에 도시된 것처럼 각 구성은 원형의 단면을 가질 수 있다. 또한 도 3의 경우 각 구성이 두껍게 형성되어 있는데 이 역시도 각 구성을 잘 드러내기 위해서 의도적으로 도시한 것이다.
본 실시예의 패드부재(141)는, 반투명의 재질로 마련될 수 있다. 따라서, 도 4에 도시된 것처럼, 사용자는 정보 표시부재(142)에 표시된 정보를 패드부재(141)를 통해서도 확인할 수 있다. 이러한 패드부재(141)는, 예를 들면 폴리디메틸실록산(PDMS, poly-dimethyl-siloxane)과 같은 재질로 마련될 수 있다. 따라서 웨이퍼가 로딩될 때 발생 가능한 충격을 완화할 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며, 패드부재(141)는 투명 재질로 마련될 수 있음은 물론 다른 재질로 마련될 수 있음은 당연하다.
패드부재(141)의 표면에는, 도 3에는 자세히 도시하지는 않았지만, 나노 구조의 패턴이 형성될 수 있으며, 따라서 그 위에 웨이퍼가 안착되는 경우 충분한 마찰력을 발생시킬 수 있음은 물론 웨이퍼에 손상이 생기는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 실시예의 정보 표시부재(142)에는, 패드부재(141)의 제조 일시 또는 장착 일시 등에 대한 정보(145)가 표시되어 있어 사용자는 이를 통해 패드부재(141)의 교체 시기를 파악할 수 있다.
부연하면, 본 실시예의 픽업 아암(130)으로 웨이퍼에 대한 로딩 및 언로딩을 반복할 때 에러가 발생되는 경우, 또는 장기간 사용하여 패드(140)의 교체가 필요하다 여겨지는 경우, 정보 표시부재(142)에 표시된 정보를 확인함으로써 교체 시기를 파악할 수 있으며, 따라서 웨이퍼의 파손과 같은 문제가 발생되기 전에 미리 패드(140)를 교체할 수 있다.
이러한 정보 표시부재(142)는, 패드부재(141)의 형상에 대응되는 형상을 가질 수 있으며, 단면 폴리이미드(PI) 테이프로 마련될 수 있다. 즉, 정보 표시부재(142)는, 도 3에 도시된 것처럼, 접착성을 가진 접착층(142b)과, 정보 표시가 가능한 폴리이미드층(142a)을 포함할 수 있으며, 따라서 패드부재(141)에 정보 표시부재(142)를 용이하게 부착시킬 수 있음은 물론 정보 표시부재(142)에 원하는 정보를 용이하게 기입할 수도 있다.
한편, 본 실시예의 접착부재(143)는, 패드부재(141)가 부착된 정보 표시부재(142)를 몸체(131)에 고정시킬 수 있다. 접착부재(143)는, 도 3에 도시된 것처럼 양면 폴리이미드 테이프 타입으로 마련될 수 있다. 즉, 접착부재(143)는 폴리이미드층(143a)과, 상하에 배치되는 접착층(143b, 143c)을 포함할 수 있는 것이다. 접착층(143b, 143c)은 동일 재질로 마련될 수 있지만 상호 다른 재질로 마련될 수 있음은 당연하다.
도 3을 참조하면, 접착부재(143)의 하부에 배치되는 접착층(143c)에는 이형지(144)가 부착될 수 있으며, 따라서 미끄럼 방지 패드(140)를 픽업 아암(130)에 장착할 때 이형지(144)를 분리시킨 후 접착층(143c)을 픽업 아암(130)의 몸체(131)에 부착시킴으로써 미끄럼 방지 패드(140)를 픽업 아암(130) 상에 쉽게 부착시킬 수 있다.
이러한 구성에 의해서, 도 3 기준으로, 접착부재(143)의 상면에 패드부재(141)가 부착된 정보 표시부재(142)가 부착될 수 있고 또한 하면은 픽업 아암의 몸체(131)에 부착될 수 있어 픽업 아암의 몸체(131) 상에 본 실시예의 미끄럼 방지 패드(140)를 견고하게 부착시킬 수 있다.
이처럼, 패드부재(141) 사이에 배치되는 정보 표시부재(142) 및 접착부재(143)는 접착성을 가진 단면 테이프 또는 양면 테이프로 마련되기 때문에 패드부재(141)를 픽업 아암(130)의 몸체(131) 고정시키는 과정을 간단하게 수행할 수 있으며, 또한 교체가 요구되는 경우에도 분리 과정을 수월하게 수행할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 미끄럼 방지 패드(140)에 예를 들면 미끄럼 방지 패드(140)가 제조된 일시 또는 픽업 아암(130)에 장착된 일시 등이 표시되어 있어, 미끄럼 방지 패드(140)의 마모로 인한 웨이퍼의 파손 또는 에러가 발생되기 전에 패드(140)의 교체 시기를 정확하게 파악할 수 있다.
한편, 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 픽업 아암에 대해서 설명하되 전술한 일 실시예와 실질적으로 동일한 부분에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드를 설명하기 위한 사시도이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드(240)는, 다층 구조로서, 웨이퍼가 놓여지는 패드부재(241)와, 패드부재(241)에 부착되며 교체 시기를 파악하기 위한 정보(245)가 표시되어 있는 정보 표시부재(242)를 포함할 수 있다.
여기서, 정보 표시부재(242)는 단면 폴리이미드 테이프 타입으로 폴리이미드층(242a)과 접착층(242b)을 포함할 수 있다. 폴리이미드층(242a)에는 패드부재(241)에 대한 다양한 정보, 예를 들면 제조 일시 또는 장착 일시 등이 표시될 수 있는데, 장착 일시 등이 표시되는 경우, 사용자는 직접 정보를 기입할 수 있다.
이러한 구성의 미끄럼 방지 패드(240)는 두 가지 방식으로 픽업 아암의 몸체에 부착될 수 있다. 첫째 방식으로는 픽업 아암의 몸체의 표면에 접착제를 바른 후 패드부재(241)가 부착된 정보 표시부재(242)를 몸체에 부착시킬 수 있다.
둘째 방식으로는 패드부재(241)가 부착된 정보 표시부재(242)의 폴리이미드층(242a)에 정보(245)를 표시하고, 그 면에 접착제를 바른 후 픽업 아암의 몸체에 부착시킬 수도 있다.
즉, 다양한 방식에 의해서 전술한 구성의 미끄럼 방지 패드(240)는 픽업 아암의 몸체에 부착될 수 있고, 또한 반대 과정을 통해 용이하게 제거할 수도 있다.
지금까지 본 발명에 따른 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허 청구의 범위뿐 아니라 이 특허 청구의 범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 이는 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명 사상은 아래에 기재된 특허청구범위에 의해서만 파악되어야 하고, 이의 균등 또는 등가적 변형 모두는 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100 : 웨이퍼 이송 로봇
110: 로봇몸체
111: 샤프트
120: 로봇아암
121: 제1 아암
123: 제2 아암
125: 제3 아암
127: 아암 장착부재
130: 픽업 아암
131: 몸체
133: 나사홀
135: 핑거부재
140, 240: 미끄럼 방지 패드
141, 241: 패드부재
142, 242: 정보 표시부재
142a, 242a: 폴리이미드층
142b, 242b: 접착층
143: 접착부재
143a: 폴리이미드층
143b, 143c: 접착층
144, 244: 이형지
145, 245: 제조 일시 또는 장착 일시 등에 대한 정보

Claims (11)

  1. 웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드에 있어서,
    상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재; 및
    상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재;
    를 포함하고,
    상기 정보 표시부재에는 상기 패드부재의 제조 일시 또는 상기 패드부재가 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되는 일시에 대한 정보가 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 정보 표시부재는 일면이 접착성이 있고 반대면은 상기 패드부재에 대한 정보 표시가 가능한 단면 폴리이미드(PI) 테이프인 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 정보 표시부재와 상기 픽업 아암의 몸체의 일면에 개재되어 상기 패드부재가 부착된 상기 정보 표시부재를 상기 픽업 아암의 몸체에 부착시키는 양면 폴리이미드(PI) 테이프 타입의 접착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 패드부재는 신축성이 있는 폴리디메틸실록산(PDMS, poly-dimethyl-siloxane)으로 제조되는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼가 접촉되는 상기 패드부재의 표면에는 나노 구조의 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드.
  7. 로봇몸체;
    상기 로봇몸체에 장착되며, 단부에는 웨이퍼를 핸들링하는 픽업 아암이 구비되는 로봇아암; 및
    상기 픽업 아암에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 미끄럼 방지 패드;
    를 포함하며,
    상기 미끄럼 방지 패드는,
    상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재; 및
    상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재;
    를 포함하고,
    상기 정보 표시부재에는 상기 패드부재의 제조 일시 또는 상기 패드부재가 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되는 일시에 대한 정보가 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 정보 표시부재는 일면이 접착성이 있고 반대면은 상기 패드부재에 대한 정보 표시가 가능한 단면 폴리이미드(PI) 테이프인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 정보 표시부재와 상기 픽업 아암의 몸체의 일면에 개재되어 상기 패드부재가 부착된 상기 정보 표시부재를 상기 픽업 아암의 몸체에 부착시키는 양면 폴리이미드(PI) 테이프 타입의 접착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 픽업 아암의 몸체에는 적어도 2개의 핑거부재가 구비되며,
    상기 미끄럼 방지 패드는 총 3개이며, 상기 2개의 핑거부재의 각 단부 및 상기 2개의 핑거부재가 연결되는 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇.
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