KR20040072225A - 웨이퍼 이송 로봇의 픽업아암 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송로봇에 관한 것으로, 픽업아암은 웨이퍼가 안착되는 패드를 갖되, 이 패드는 표면에 코팅층을 갖는다. 상기 코팅층은 상기 패드의 색상과 상반되는 색상을 갖는 것이 바람직하다.

Description

웨이퍼 이송 로봇의 픽업아암{PICKUP ARM OF WAFER TRANSFER ROBOT}

본 발명은 웨이퍼 이송로봇에 관한 것이다.

반도체 양산공정에서 단위공정을 진행하기 위해서는 제특성에 맞는 설비들을 사용하며, 이들 각기 다른 설비마다 각기 특성이 있는 웨이퍼 이송 로봇들을 구비하고 있다.

이러한 웨이퍼 이송로봇의 웨이퍼 운반용 픽업 아암(pickup arm)에는 웨이퍼가 미끄러지지 않도록 미끄럼방지용 패드가 장착되어 있다. 이 픽업 아암은 그 형태에 따라 다양한 명칭으로 불린다.

그런데, 미끄러방지용 패드는 재질이 고무이기 때문에 장기간 사용하다 보면 마모가 된다. 이렇게 마모된 패드를 사용하다보면 패드가 재역할을 하지 못하고 웨이퍼가 미끄러져 에러가 발생하거나 웨이퍼 브로킨이 발생할 수 있다.

기존에는 이러한 문제를 사전에 예방하기 위하여, 정기적으로 패드를 교체하고 있으나, 패드가 투명한 고무라서 그 마모상태를 쉽게 확인하지 못하고 있는 실정이다. 결국, 마모상태가 양호한데도 새로운 패드로 교체하거나, 또는 마모상태가 매우 심한데도 교체를 하지 않고 계속 사용하게 되는 경우가 발생하게 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 미끄럼방지용 패드의 교체시기를 작업자가 용이하게 파악할 수 있는 새로운 형태의 반도체 웨이퍼 이송 로봇의 픽업아암을 제공하는데 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치의 픽업아암을 보여주는 도면;

도 2는 도 1에 표시된 a-a 선 단면도;

도 3은 픽업아암에 부착된 패드의 코팅층이 벗겨진 상태를 보여주는 도면이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

110 : 몸체

120 : 패드

130 : 코팅층

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 반도체 웨이퍼를 이송하기 위한 이송로봇의 픽업아암은 웨이퍼가 안착되는 패드를 포함하되, 상기 패드는 표면에 코팅층을 갖는다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 코팅층은 상기 패드의 색상과 상반되는 색상을 갖는다. 상기 패드는 부드러운 고무재질로 이루어진다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

이하, 본 발명의 실시예에 따른 첨부된 도면 도 1 내지 도 3을 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 이송 장치의 픽업아암을 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에 표시된 a-a 선 단면도이다.

도1 및 도2에 도시한 바와 같은 웨이퍼 이송 로봇의 픽업아암(100)은 웨이퍼가 직접 놓여지는 곳으로, 상기 픽업아암(100)은 2개의 핑거(112)를 갖는 몸체(110)로 이루어진다. 이 몸체(110)에는 다수의 홀(114)들이 형성되어 있는데, 이 홀(114)들은 픽업아암(100) 자체를 이송 로봇에 고정시키기 위한 것으로서, 픽업아암은 통상 나사와 같은 기계적 결합수단에 의하여 이송 로봇에 고정된다.

한편, 상기 몸체(110)에는 고무소재로 된 3개의 패드(120)가 돌출되도록 설치되어 있다. 이 패드(120)는 웨이퍼의 뒷면과 접촉하는 부분으로, 고무 등의 부드러운 재질로 되어 있으며, 웨이퍼가 로딩될 때의 충격을 완화하고 웨이퍼의 미끄러짐, 긁힘 등을 방지하는 역할을 한다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 패드(120)는 표면에 검은색의 코팅층(130)이 형성되어 있다. 이렇게 이러한 패드(120)는 마모될때 색을 입힌 부분이 벗겨지면서 반투명한 패드(120)의 표면이 나타나게 된다. 도 3을 자세히 살펴보면, 반투명한 재질은 흰색이고 코팅한 색은 검은색(해칭된 부분)이기 때문에, 패드(120)가 마모되면서 검은색의 코팅층(130)이 벗겨지면서 흰색의 패드몸체가 보이게 되는 것이다. 즉, 상기 픽업아암(100)을 사용하다보면 패드의 마모 정도를 쉽게 눈으로 구별할 수 있게 됨으로, 패드의 교체시기를 정확하게 파악할 수 있는 것이다.

이상에서, 본 발명에 따른 이송로봇의 픽업아암의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였으나, 이는 일 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 픽업아암의 사용량에 따라 패드의 마모정도와 주기가 달라질 수 있는데, 본 발명의 픽업아암에 부착된 패드는 표면에 색을 코팅함으로써, 패드의 마모 정도를 쉽게 눈으로 구별할 수 있어, 패드의 교체주기를 정확하게 알 수 있는 것이다. 그렇게 되면, 패드의 마모로 인항 웨이퍼의 미끄러짐을 예방할 수 있다.

Claims (3)

1. 반도체 웨이퍼를 이송하기 위한 이송로봇의 픽업아암에 있어서;

   웨이퍼가 안착되는 패드를 포함하되, 상기 패드는 표면에 코팅층을 갖는 것을 특징으로 하는 이송로봇의 픽업아암.
2. 제1항에 있어서,

   상기 코팅층은 상기 패드의 색상과 상반되는 색상을 갖는 것을 특징을 하는이송로봇의 픽업아암.
3. 제1항에 있어서,

   상기 패드는 부드러운 고무재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이송로봇의 픽업아암.