KR970004976Y1 - 반도체 웨이퍼용 핀셋 - Google Patents

Abstract

내용없음

Description

반도체 웨이퍼용 핀셋

제1도는 본 고안의 사시도

제2도는 본 고안의 사용상태도

제3도는 종래 핀셋의 사시도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 핀체 2, 3 : 손가락 지지대

본 고안은 반도체 소재인 웨이퍼를 집어올리고 이동시키기 위해 사용되는 핀셋에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 핀 셋의 길이를 짧게 하고 손가락이 지지될 수 있는 지지대를 형성하여 핀셋을 잡은 손의 힘이 핀셋 선단부에 충분히 전달될 수 있게 한 것이다.

종래에 일반적으로 사용되어온 웨이퍼용 핀셋은 제4도와 같이 탄력성이 있는 재질의 판체(11)를 구부려 놓은 것과 같은 단순한 형상으로 되어 있고 그 길이는 대략 13 - 15cm 정도의 것이 사용되고 있다.

그러나 상기한 바와 같이 단순한 형상으로 된 종래의 핀셋은 판체(11)에 손가락지지부가 형성되어 있지 않고 또 판체의 길이가 길기 때문에 웨이퍼를 집을 때 손가락이 미끄러지기 쉽고 충분한 힘을 가하기가 어렵다.

따라서 판체의 선단부에 많은 힘이 가해지지 않아 웨이퍼를 핀셋으로 잡고 이동시킬 때 웨이퍼를 떨어뜨려 파손시킬 우려가 많다.

본 고안은 판체에 손가락이 지지될 수 있는 지지대를 형성하고 판체의 전체길이를 조금 짧게하여 핀셋을 잡을 때 손의 힘이 선단부에 충분히 전달될 수 있게 한 것인바, 이를 첨부된 도면에 의해 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

판체(1)를 절곡한 핀셋에 있어서, 판체(1)의 선단부로부터 후단부까지의 전체길이를 짧게 하고 상면과 저면에는 각각 만곡된 형상의 손가락 지지대(2), (3)를 형성하여서 된 것이다.

여기서 판체의 전체길이는 약 8 - 10cm 정도가 적당하며 도면중 미설명 부호4는 웨이퍼이다.

이와같이 된 본 고안은 손으로 핀셋을 잡을 때 판체(1)의 상면에 형성된 손가락 지지대(2)에 엄지손가락이 접촉되고 저면에 형성된 손가락 지지대(3)에 검지손가락이 접촉되어 핀셋에 힘을 가하여 누르는 경우에도 손가락이 미끄러지는 일이 없게 됨은 물론 판체(1)의 전체길이가 종래의 핀셋보다 약 5cm 정도 짧아 핀셋을 잡은 손의 힘이 핀셋 선단부에 잘 전달된다.

따라서 핀셋으로 웨이퍼(4)를 집을 때 핀셋 선단부에 충분한 힘이 전달되어 웨이퍼를 떨어뜨릴 우려가 없게 되며, 이에 따라 웨이퍼를 떨어뜨림에 따르는 제품의 불량발생을 방지할 수 있게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

1. 판체(1)를 절곡한 핀셋에 있어서, 판체(1)의 선단부로부터 후단부까지의 전체길이를 짧게하고 상면과 저면에는 각각 만곡된 형성의 손가락 지지대(2) (3)를 형성하여서 됨을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼용 핀셋.