KR102254069B1 - Resin molding method, film conveying device, and resin molding device - Google Patents

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아피쿠 야마다 가부시키가이샤
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Abstract

성형품의 제조 러닝 코스트를 삭감할 수 있는 기술을 제공하는 것을 과제로 한다. 해결수단으로서, 성형 금형(20)의 양측에 마련된 필름 로더 핸드(40)로부터 공급된 롤형상의 릴리스 필름(F)으로 금형면(21a)을 덮고, 형 폐쇄하여 수지 성형을 행한 후, 형 개방하여 캐비티(C)로부터 성형품을 이형시키는 공정을 복수회 행하는 몰드 공정과, 릴리스 필름(F)을 사용 부적합이라고 판단하였을 때에는, 형 개방한 후에 릴리스 필름(F)의 미사용 부분을 성형 금형(20)에 공급하는 필름 공급 공정을 가지며, 몰드 공정 시에는, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 근접하는 위치로 이동시키고, 필름 공급 공정에서는, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)으로부터 이간하는 위치로 이동시키도록, 필름 로더 핸드(40)에 있어서의 릴리스 필름(F)의 보지 위치를 제어한다.A task is to provide a technology that can reduce the running cost of manufacturing molded products. As a solution, the mold surface 21a is covered with a roll-shaped release film F supplied from the film loader hand 40 provided on both sides of the molding mold 20, the mold is closed to perform resin molding, and then the mold is opened. Thus, when the mold process in which the process of releasing the molded product from the cavity C is performed a plurality of times and the release film F is judged to be unsuitable for use, the unused portion of the release film F is molded after the mold is opened. It has a film supply process of supplying to the mold, and in the mold process, the release film F is moved to a position close to the mold surface 21a, and in the film supply process, the release film F is moved from the mold surface 21a. The holding position of the release film F in the film loader hand 40 is controlled so that it may move to the position to be separated.

Figure R1020187027941
Figure R1020187027941

Description

수지 성형 방법, 필름 반송 장치 및 수지 성형 장치Resin molding method, film conveying device, and resin molding device

본 발명은, 수지 성형 방법, 필름 반송 장치 및 수지 성형 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a resin molding method, a film conveying device, and a resin molding device.

일본국 공개특허 특개평08-142105(특허문헌 1)에는, 릴리스 필름으로 덮은 상태의 캐비티 내에 수지를 충전하여 수지 성형하는 기술이 기재되어 있다.Japanese Unexamined Patent Application Publication No. Hei 08-142105 (Patent Document 1) describes a technique for molding a resin by filling a resin in a cavity covered with a release film.

일본국 공개특허 특개평08-142105Japanese Unexamined Patent Application Publication No. Hei 08-142105

수지 성형 후의 릴리스 필름에는, 늘어남이나 요철에 의한 주름이 형성되어버린다. 가령 릴리스 필름에 주름이 있는 상태에서 수지 성형이 이뤄지면, 그 주름이 성형품에 전사되어, 성형 불량의 원인이 된다. 이 때문에, 1회의 수지 성형 동작마다 주름이 없는 릴리스 필름(미사용 부분)이 공급되어서 수지 성형되는 것이 바람직하다. 그러나, 릴리스 필름의 사용량은 성형품의 제조 러닝 코스트에 영향을 주기 때문에, 사용량이 증가하면 비용이 비싸져버리는 문제가 있다.In the release film after resin molding, wrinkles due to stretches and irregularities are formed. For example, when resin molding is performed in the state of wrinkles on the release film, the wrinkles are transferred to the molded article, causing molding failure. For this reason, it is preferable that a wrinkle-free release film (unused portion) is supplied and resin-molded for each resin molding operation. However, since the amount of use of the release film affects the running cost of manufacturing the molded article, there is a problem that the cost becomes expensive when the amount of use increases.

본 발명의 일 목적은, 성형품의 제조 러닝 코스트를 삭감할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다. 또한, 본 발명의 일 목적 및 다른 목적 및 신규한 특징은, 본 명세서의 기술 및 첨부된 도면으로부터 명확하게 한다.An object of the present invention is to provide a technique capable of reducing the running cost of manufacturing a molded article. In addition, one and other objects and novel features of the present invention will be clarified from the description of the present specification and the accompanying drawings.

본 발명의 일 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법은, 금형의 양측에 마련된 필름 반송 장치로부터 공급된 롤형상의 릴리스 필름으로 금형면을 덮고, 형 폐쇄하여 수지 성형을 행한 후, 형 개방하여 캐비티로부터 성형품을 이형(離型)시키는 공정을 복수회 행하는 몰드 공정과, 상기 릴리스 필름을 사용 부적합이라고 판단하였을 때에는, 형 개방 한 후에 상기 릴리스 필름의 미사용 부분을 상기 금형에 공급하는 필름 공급 공정을 가지며, 상기 몰드 공정 시에는, 상기 릴리스 필름을 상기 금형면에 근접하는 위치로 이동시키고, 상기 필름 공급 공정에서는, 상기 릴리스 필름을 상기 금형면으로부터 이간하는 위치로 이동시키도록, 상기 필름 반송 장치에 있어서의 상기 릴리스 필름의 보지(保持) 위치를 제어하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 릴리스 필름의 어긋남을 방지하고, 릴리스 필름의 같은 부분을 복수회 사용할 수 있다.The resin molding method according to one solution of the present invention is to cover the mold surface with a roll-shaped release film supplied from a film conveying device provided on both sides of the mold, mold-close the mold to perform resin molding, and then open the mold to form the resin from the cavity. It has a mold process in which the process of releasing the molded product is performed a plurality of times, and a film supply process of supplying an unused portion of the release film to the mold after opening the mold when it is determined that the release film is unsuitable for use, In the molding process, the release film is moved to a position close to the mold surface, and in the film supply process, the release film is moved to a position separated from the mold surface. It is characterized in that the holding position of the release film is controlled. According to this, shift of the release film can be prevented, and the same portion of the release film can be used a plurality of times.

상기 일 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법에 있어서, 상기 릴리스 필름이 걸어 둘러져, 상기 금형면과 직교하는 방향으로 진퇴 이동가능한 가이드 롤러에 의해, 상기 릴리스 필름을 이동시키는 것이 보다 바람직하다. 이렇게 하여, 릴리스 필름을 금형면에 근접하는 위치로 이동시키거나, 이간하는 위치로 이동시키거나 할 수 있다.In the resin molding method according to the above solution, it is more preferable to move the release film by means of a guide roller that is enclosed by the release film and is capable of moving forward and backward in a direction orthogonal to the mold surface. In this way, the release film can be moved to a position close to the mold surface or to a position to be separated.

상기 일 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법에 있어서, 상기 몰드 공정에서는, 상기 릴리스 필름을 상기 금형면에 흡착시킨 상태에서 수지 성형을 행하고, 상기 성형품을 이형할 때에 상기 릴리스 필름의 흡착을 해제하는 것이 보다 바람직하다. 릴리스 필름의 박리의 원활화를 도모하고, 릴리스 필름의 부담을 저감하여, 파손을 방지할 수 있다.In the resin molding method according to the one solution, in the molding step, resin molding is performed in a state in which the release film is adsorbed to the mold surface, and the adsorption of the release film is released when the molded product is released. It is more preferable. It is possible to smooth the peeling of the release film, reduce the burden on the release film, and prevent breakage.

상기 일 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법에 있어서, 상기 필름 반송 장치에서는, 권출축을 회전시키는 권출 서보모터 및 권취축을 회전시키는 권취 서보모터를 이용하며, 상기 권출축과 상기 권취축의 사이에서 상기 릴리스 필름이 걸쳐 놓아지고, 상기 권출축으로부터 메이저 롤을 개재하여 송출되는 상기 릴리스 필름의 송출량을 상기 메이저 롤에 마련된 인코더에 의해 측정하고, 상기 송출량을 기초로 상기 권출 서보모터에 의해 상기 권출축의 토크가 제어되며, 상기 몰드 공정에 있어서의 상기 성형품을 이형한 후, 형 폐쇄 전에는, 상기 권취축을 고정으로 하여, 상기 권출축의 토크를 제어하는 것이 보다 바람직하다. 이에 의하면, 릴리스 필름의 이동에 의한 어긋남을 확실하게 방지할 수 있다.In the resin molding method related to the above-mentioned one solution, in the film conveying device, a take-up servo motor for rotating a take-up shaft and a take-up servo motor for rotating a take-up shaft are used. The delivery amount of the release film laid over and delivered through the major roll from the unwinding shaft is measured by an encoder provided on the major roll, and the torque of the unwinding shaft is controlled by the unwinding servomotor based on the delivery amount. It is more preferable to fix the take-up shaft and control the torque of the take-up shaft after the molded article in the molding step is released and before mold closing. According to this, it is possible to reliably prevent displacement due to movement of the release film.

본 발명의 다른 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법은, 릴리스 필름과 수지를 금형에 공급하여 워크를 몰드 성형하는 수지 성형 방법에 있어서, 롤 필름으로부터 매엽의 상기 릴리스 필름을 잘라내 상기 금형에 공급하고, 상기 금형에 공급한 상기 워크와 상기 수지로 몰드 성형하는 공정을 반복하는 것을 특징으로 한다. 매엽 필름(릴리스 필름)을 복수회 사용함으로써 몰드 성형에 있어서의 매엽 필름의 사용량이 줄기 때문에, 성형품의 제조 러닝 코스트를 삭감할 수 있다.In a resin molding method according to another solution of the present invention, in a resin molding method for molding a work by supplying a release film and a resin to a mold, the release film of a single leaf is cut out from a roll film and supplied to the mold, It characterized in that the process of mold-molding with the work and the resin supplied to the mold is repeated. By using a sheet-fed film (release film) a plurality of times, the amount of sheet-fed film used in mold molding is reduced, so that the production running cost of a molded article can be reduced.

상기 다른 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법은, 상기 릴리스 필름의 외주부를 보지구로 보지한 상태에서 상기 릴리스 필름에 수지를 공급한 후에, 상기 보지구와 함께 상기 릴리스 필름과 상기 수지를 금형에 공급하고, 상기 보지구로 보지한 상기 릴리스 필름을 복수회의 몰드 성형에 사용하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 매엽 필름의 주름의 발생을 방지하여 복수회 사용할 수 있다.In the resin molding method related to the other solution, after supplying a resin to the release film while holding the outer peripheral portion of the release film with a holding tool, supplying the release film and the resin together with the holding tool to a mold, It is characterized in that the release film held by the holding tool is used for molding a plurality of times. According to this, it is possible to use a plurality of times by preventing the occurrence of wrinkles in the sheet-fed film.

상기 다른 해결수단과 관련되는 수지 성형 방법은, 상기 릴리스 필름을 복수회 사용할 때마다, 상기 릴리스 필름에 텐션을 다시 부여하는 것이 보다 바람직하다. 이에 의하면, 늘어난 매엽 필름에 의한 문제의 발생을 방지할 수 있다.In the resin molding method according to the other solution, it is more preferable to apply tension to the release film again each time the release film is used a plurality of times. Accordingly, it is possible to prevent the occurrence of a problem due to the stretched sheet-fed film.

본 발명의 일 해결수단과 관련되는 필름 반송 장치는, 보지구에 의해 외주부가 보지된 매엽의 릴리스 필름을 반송하는 반송 지그를 구비하는 필름 반송 장치에 있어서, 상기 반송 지그가, 상기 보지구의 내측에 있는 상기 릴리스 필름을 누르는 누름부와, 상기 보지구를 보지하고, 상기 누름부의 누름 방향과는 반대 방향으로 상기 보지구를 이동시키는 가동 보지부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 매엽 필름의 주름의 발생을 방지할 수 있다.A film conveying device according to one solution of the present invention is a film conveying device including a conveying jig for conveying a single leaf release film held by an outer periphery by a retaining tool, wherein the conveying jig is disposed inside the retaining tool. And a movable holding unit for holding the holding unit and moving the holding unit in a direction opposite to the pressing direction of the pressing unit. According to this, it is possible to prevent the occurrence of wrinkles in the sheet-fed film.

상기 일 해결수단과 관련되는 필름 반송 장치에 있어서, 상기 보지구가 세트되는 스테이지와, 상기 스테이지의 주위에 마련되며, 상기 반송 지그의 상기 가동 보지부를 가동시키는 제 1 가동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 반송 상태에 있어서 매엽 필름의 주름의 발생을 방지할 수 있다.In the film conveying apparatus related to the above-mentioned one solution, a stage in which the retaining tool is set, and a first movable part provided around the stage and configured to move the movable retaining part of the conveying jig are provided. . According to this, it is possible to prevent the occurrence of wrinkles in the sheet-fed film in the conveying state.

상기 일 해결수단과 관련되는 필름 반송 장치와, 필름 반송 장치와, 금형을 구비하는 수지 성형 장치에 있어서, 상기 금형의 주위에 마련되며, 금형면을 상기 반송 지그와 함께 상기 릴리스 필름으로 덮은 상태에서, 상기 반송 지그의 상기 가동 보지부를 가동시키는 제 2 가동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 금형의 내부에 공급된 상태에 있어서 매엽 필름의 주름의 발생을 방지할 수 있다.In a resin molding apparatus comprising a film conveying device, a film conveying device, and a mold according to the above-described solution, in a state that is provided around the mold, and the mold surface is covered with the release film together with the conveying jig. And a second movable part for moving the movable holding part of the conveying jig. According to this, it is possible to prevent the occurrence of wrinkles in the sheet-fed film in the state of being supplied to the inside of the mold.

본원에 있어서 개시되는 발명 중, 대표적인 것에 의해 얻어지는 효과를 간단하게 설명하면, 다음과 같다. 성형품의 제조 러닝 코스트를 삭감할 수 있다.Among the inventions disclosed in the present application, the effects obtained by representative ones will be briefly described as follows. The running cost of manufacturing molded products can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시형태 1과 관련되는 수지 성형 장치(상형(上型) 캐비티·압축 성형 타입)의 초기 상태의 개략 구성도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 수지 성형 장치의 성형 후 상태의 개략 구성도이다.
도 3은 도 1에 나타내는 수지 성형 장치의 동작의 개략 플로우도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 몰드 공정의 개략 플로우도이다.
도 5는 도 1에 이어지는 수지 성형 공정에 있어서의 필름 흡착의 설명도이다.
도 6은 도 5에 이어지는 몰드 성형의 설명도이다.
도 7은 도 6에 이어지는 형 개방의 설명도이다.
도 8은 도 7에 이어지는 필름 박리 완료의 설명도이다.
도 9는 본 발명의 실시형태 1과 관련되는 수지 성형 장치의 일 변형예(하형(下型) 캐비티·압축 성형 타입)의 개략 설명도이다.
도 10은 본 발명의 실시형태 1과 관련되는 수지 성형 장치의 다른 변형예(상형 캐비티·트랜스퍼 성형 타입)의 개략 설명도이다.
도 11은 본 발명의 실시형태 2와 관련되는 수지 성형 공정에 있어서의 필름 인출의 설명도이다.
도 12는 도 11에 이어지는 필름 절단의 설명도이다.
도 13은 도 12에 이어지는 반송 지그에 의한 필름 보지 전의 설명도이다.
도 14는 도 13에 이어지는 반송 지그에 의한 필름 보지 후의 설명도이다.
도 15는 도 14에 이어지는 필름 텐션 부여의 설명도이다.
도 16은 도 15에 이어지는 수지 공급의 설명도이다.
도 17은 도 16에 이어지는 성형 금형에의 필름 반입의 설명도이다.
도 18은 도 17에 이어지는 필름 세트의 설명도이다.
도 19는 도 18에 이어지는 수지 세트의 설명도이다.
도 20은 도 19에 이어지는 반송 지그의 퇴피의 설명도이다.
도 21은 도 20에 이어지는 형 폐쇄의 설명도이다.
도 22는 도 21에 이어지는 몰드 성형의 설명도이다.
도 23은 도 22에 이어지는 형 개방의 설명도이다.
도 24는 도 23에 이어지는 필름 박리 완료의 설명도이다.
도 25는 도 24에 이어지는 성형 금형에의 반송 지그 반입의 설명도이다.
도 26은 도 25에 이어지는 반송 지그에 의한 필름 보지의 설명도이다.
도 27은 도 26에 이어지는 반송 지그에 의한 필름 취출의 설명도이다.
도 28은 도 27에 이어지는 스테이지에의 반송 지그 반입의 설명도이다.
도 29는 도 28에 이어지는 반송 지그 세트의 설명도이다.
도 30은 도 29에 이어지는 필름 텐션 재부여의 설명도이다.
도 31은 도 30에 이어지는 수지 공급의 설명도이다.
1 is a schematic configuration diagram of an initial state of a resin molding apparatus (upper cavity/compression molding type) according to Embodiment 1 of the present invention.
Fig. 2 is a schematic configuration diagram of the resin molding apparatus shown in Fig. 1 in a state after molding.
3 is a schematic flow diagram of the operation of the resin molding apparatus shown in FIG. 1.
4 is a schematic flow diagram of a mold process shown in FIG. 3.
5 is an explanatory diagram of film adsorption in a resin molding step following FIG. 1.
6 is an explanatory diagram of mold molding following FIG. 5.
7 is an explanatory diagram of a mold opening following FIG. 6.
Fig. 8 is an explanatory view of the completion of film peeling following Fig. 7.
9 is a schematic explanatory view of a modified example (lower mold cavity/compression molding type) of the resin molding apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
Fig. 10 is a schematic explanatory view of another modified example (upper-shaped cavity transfer molding type) of the resin molding apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
11 is an explanatory diagram of film extraction in a resin molding process according to Embodiment 2 of the present invention.
12 is an explanatory diagram of film cutting following FIG. 11.
Fig. 13 is an explanatory view before film holding by a conveying jig following Fig. 12;
Fig. 14 is an explanatory view after film holding by a conveying jig following Fig. 13;
Fig. 15 is an explanatory diagram of film tension application following Fig. 14;
Fig. 16 is an explanatory diagram of resin supply following Fig. 15;
Fig. 17 is an explanatory view of carrying a film into a molding die following Fig. 16;
18 is an explanatory diagram of a film set following FIG. 17;
Fig. 19 is an explanatory view of a resin set following Fig. 18;
20 is an explanatory diagram of retraction of the conveying jig following FIG. 19.
Fig. 21 is an explanatory diagram of mold closure following Fig. 20;
Fig. 22 is an explanatory diagram of mold molding following Fig. 21;
Fig. 23 is an explanatory diagram of a mold opening following Fig. 22;
Fig. 24 is an explanatory view of the completion of film peeling following Fig. 23;
Fig. 25 is an explanatory view of carrying in a conveyance jig into a molding die following Fig. 24;
Fig. 26 is an explanatory diagram of film holding by a conveying jig following Fig. 25;
Fig. 27 is an explanatory diagram of film take-out by a conveying jig following Fig. 26;
Fig. 28 is an explanatory diagram of carrying in a conveyance jig into the stage following Fig. 27;
Fig. 29 is an explanatory diagram of a conveyance jig set following Fig. 28;
Fig. 30 is an explanatory diagram of reapplying film tension following Fig. 29;
Fig. 31 is an explanatory diagram of resin supply following Fig. 30;

이하의 본 발명에 있어서의 실시형태에서는, 필요한 경우에 복수의 섹션 등으로 나누어서 설명하지만, 원칙적으로, 그들은 서로 무관계하지 않으며, 일방은 타방의 일부 또는 전부의 변형예, 상세 등의 관계에 있다. 이 때문에, 모든 도에 있어서, 동일한 기능을 가지는 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 그 반복된 설명은 생략한다. 또한, 구성 요소의 수(개수, 수치, 양, 범위 등을 포함한다)에 대해서는, 특별히 명시하였을 경우나 원리적으로 명확하게 특정한 수로 한정되는 경우 등을 제외하고, 그 특정한 수로 한정되는 것이 아니며, 특정한 수 이상이어도 이하여도 된다. 또한, 구성 요소 등의 형상을 언급할 때는, 특별히 명시하였을 경우 및 원리적으로 명확하게 그렇지 않다고 생각되는 경우 등을 제외하고, 실질적으로 그 형상 등에 근사 또는 유사한 것 등을 포함하는 것으로 한다.In the following embodiments of the present invention, if necessary, the description is divided into a plurality of sections and the like, but in principle, they are not irrelevant to each other, and one is in a relationship such as some or all of the other modified examples and details. For this reason, in all figures, members having the same function are denoted by the same reference numerals, and repeated explanations thereof are omitted. In addition, the number of constituent elements (including the number, numerical value, amount, range, etc.) is not limited to that specific number, except for cases where it is specifically specified or is clearly limited to a specific number in principle, It may be less than or equal to a specific number. In addition, when referring to the shape of a constituent element or the like, it is assumed that the shape or the like substantially approximates or is similar to the shape, except for the case where it is specifically specified and the case where it is clearly not considered to be in principle.

(실시형태 1)(Embodiment 1)

본 발명의 실시형태 1과 관련되는 수지 성형 장치(10)에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 도 1 및 도 2는, 각각 수지 성형 장치(10)의 초기 상태 및 성형 후 상태의 개략 구성도(일부 단면도)이다. 수지 성형 장치(10)는, 가로로 긴 롤형상의 릴리스 필름(F)(롤 필름)을 이용하는 압축 성형 타입으로서, 워크(W)(예를 들면 부품이 탑재된 기판)에 대하여 수지(R)를 이용하여 수지 성형(몰드 성형)을 행한다.A resin molding apparatus 10 according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 and 2 are schematic configuration diagrams (partial cross-sectional views) of the resin molding apparatus 10 in an initial state and a state after molding, respectively. The resin molding apparatus 10 is a compression molding type using a horizontally long roll-shaped release film F (roll film), and resin (R) for a work W (for example, a substrate on which a part is mounted). Resin molding (mold molding) is performed using.

수지 성형 장치(10)는, 쌍을 이루는 상형(21) 및 하형(22)(일방 및 타방의 금형)을 가지는 성형 금형(20)을 구비한다. 성형 금형(20)은, 공지된 프레스 기구에 의해 형 개폐가능하며, 상형(21)과 하형(22)이 접리동(接離動)한다. 또한, 성형 금형(20)은, 상형(21)이 캐비티(C)(캐비티 오목부)를 구비하며, 형 개방의 상태에서는 캐비티(C)가 개방되고, 형 폐쇄의 상태에서는 캐비티(C)가 폐색된다. 또한, 성형 금형(20)은, 공지된 내장 히터에 의해 가열되며, 캐비티(C)에 공급, 또는 충전이 된 수지(R)에 열을 가함으로써 수지 성형을 행한다. 또한, 성형 금형(20)은, 상형(21)의 금형면(21a)에 릴리스 필름(F)이 공급되며, 하형(22)의 금형면(22a)에 워크(W)가 공급된다.The resin molding apparatus 10 includes a molding mold 20 having an upper mold 21 and a lower mold 22 (one and the other mold) forming a pair. The molding die 20 can be opened and closed by a known press mechanism, and the upper die 21 and the lower die 22 are collapsible. Further, in the molding mold 20, the upper mold 21 has a cavity C (cavity concave portion), the cavity C is opened in the mold open state, and the cavity C is in the mold closed state. It is blocked. Further, the molding die 20 is heated by a known built-in heater, and resin molding is performed by applying heat to the resin R supplied or filled in the cavity C. In addition, in the molding die 20, the release film F is supplied to the mold surface 21a of the upper mold 21, and the work W is supplied to the mold surface 22a of the lower mold 22.

상형(21)은, 캐비티 피스(23)와, 클램퍼(24)와, 베이스(25)를 구비하며, 이들 금형 블록이 조립되어 구성된다. 클램퍼(24)에는 두께 방향으로 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 관통 구멍에 캐비티 피스(23)가 삽입된 상태에서, 캐비티 피스(23)가 베이스(25)에 고정되어 지지된다. 이에 의해, 상형(21)에서는, 캐비티(C)가 캐비티 피스(23)의 하면 및 클램퍼(24)의 내주면으로 둘러싸여진 영역으로서 구성된다. 또한, 성형 금형(20)은, 클램퍼(24)와 베이스(25)의 사이에 마련되는 탄성부재(26)(예를 들면 스프링)를 구비한다. 이 탄성부재(26)를 개재하여 클램퍼(24)는 베이스(25)에 조립될 수 있으며, 형 개폐 방향으로 진퇴 이동 가능하게 구성된다.The upper mold 21 includes a cavity piece 23, a clamper 24, and a base 25, and these mold blocks are assembled. A through hole is formed in the clamper 24 in the thickness direction. With the cavity piece 23 inserted in this through hole, the cavity piece 23 is fixed to and supported by the base 25. Thereby, in the upper mold 21, the cavity C is constituted as a region surrounded by the lower surface of the cavity piece 23 and the inner circumferential surface of the clamper 24. Further, the molding die 20 includes an elastic member 26 (for example, a spring) provided between the clamper 24 and the base 25. Through this elastic member 26, the clamper 24 can be assembled to the base 25, and is configured to move forward and backward in the mold opening/closing direction.

또한, 성형 금형(20)은, 클램퍼(24)의 내주면과 캐비티 피스(23)의 외주면의 사이에 마련되는 시일 부재(27)(예를 들면 O링)를 구비한다. 또한, 성형 금형(20)은, 성형 금형(20)의 외부와 내부(캐비티(C)를 포함한다)를 연결하도록 클램퍼(24)에 마련되는 에어로(28,29)를 구비한다. 에어로(28,29)의 금형 외부측에는, 도면에 나타나 있지 않은 흡인 장치(예를 들면, 진공 펌프)가 접속된다. 이에 의해, 상형(21)의 금형면(21a)을 릴리스 필름(F)으로 덮을 때는, 에어로(28)(내주측), 에어로(29)(외주측)를 개재하여 릴리스 필름(F)을 흡착할 수 있다.Further, the molding die 20 includes a sealing member 27 (for example, an O-ring) provided between the inner circumferential surface of the clamper 24 and the outer circumferential surface of the cavity piece 23. Further, the molding mold 20 includes aeros 28 and 29 provided in the clamper 24 to connect the outside and the inside (including the cavity C) of the molding mold 20. A suction device (for example, a vacuum pump) not shown in the drawing is connected to the outer side of the mold of the aeros 28 and 29. Accordingly, when covering the mold surface 21a of the upper mold 21 with the release film F, the release film F is adsorbed through the aero 28 (inner circumferential side) and the aero 29 (outer circumferential side). can do.

또한, 성형 금형(20)은, 하형(22)의 금형면(22a)에 마련되는 시일 부재(30)(예를 들면 O링)을 구비한다. 또한, 성형 금형(20)은, 성형 금형(20)의 외부와 내부를 연결하도록 하형(22)에 마련되는 에어로(31)를 구비한다. 에어로(31)의 금형 외부측에는, 도면에 나타나 있지 않은 흡인 장치(예를 들면, 진공 펌프)가 접속된다. 이에 의해, 형 폐쇄의 상태에서는, 상형(21)과 하형(22)의 사이에서 시일 부재(30)가 찌부러져서 밀폐된 금형 내부를 에어로(31)로부터 에어 흡인함으로써 감압(진공) 상태로 할 수 있다.Further, the molding die 20 includes a sealing member 30 (for example, an O-ring) provided on the die surface 22a of the lower die 22. Further, the molding mold 20 includes an aero 31 provided in the lower mold 22 so as to connect the outside and the inside of the molding mold 20. A suction device (for example, a vacuum pump) not shown in the drawing is connected to the outer side of the mold of the aero 31. Thereby, in the mold closed state, the sealing member 30 is crushed between the upper mold 21 and the lower mold 22, and the inside of the sealed mold is sucked in air from the aero 31 to make it a reduced pressure (vacuum) state. have.

또한, 성형 금형(20)은, 성형 금형(20)의 외부와 금형면(22a)을 연결하도록 하형(22)에 마련되는 에어로(32)를 구비한다. 에어로(32)의 금형 외부측에는, 도면에 나타나 있지 않은 흡인 장치(예를 들면, 진공 펌프)가 접속된다. 이에 의해, 하형(22)의 금형면(22a)에 워크(W)를 세트(공급)할 때는, 에어로(32)를 개재하여 워크(W)를 흡착할 수 있다.Further, the molding die 20 includes an aero 32 provided in the lower die 22 so as to connect the outside of the molding die 20 and the die surface 22a. A suction device (for example, a vacuum pump) not shown in the drawing is connected to the outer side of the mold of the aero 32. Thereby, when the work W is set (supplied) on the mold surface 22a of the lower die 22, the work W can be adsorbed through the air furnace 32.

또한, 수지 성형 장치(10)는, 성형 금형(20)의 양측에 위치하도록 마련되며, 롤형상의 릴리스 필름(F)을 금형 내부로 반송(공급)하는 필름 로더 핸드(40)(필름 반송 장치)를 구비한다. 필름 로더 핸드(40)는, 수지 성형 장치(10)가 구비하는 제어부(41)에 의해 제어된다. 제어부(41)는, CPU와, ROM, RAM 등의 메모리를 구비하며, 메모리에 기록된 제어프로그램에 의거하여 CPU에 의해 제어동작을 실행하여, 필름 로더 핸드(40)를 포함하는 수지 성형 장치(10) 전체를 제어한다.In addition, the resin molding device 10 is provided so as to be located on both sides of the molding die 20, and a film loader hand 40 (film conveying device) that conveys (supplies) the roll-shaped release film F to the inside of the die. ). The film loader hand 40 is controlled by the control unit 41 included in the resin molding apparatus 10. The control unit 41 includes a CPU, a memory such as ROM and RAM, and executes a control operation by the CPU based on a control program recorded in the memory, and a resin molding apparatus including a film loader hand 40 ( 10) Control the whole.

본 실시형태에서는, 릴리스 필름(F)은, 수지 성형 후에 성형 금형(20)으로부터 용이하게 박리되는 것으로서, 내열성, 유연성, 신전성(伸展性)을 가지는 필름재로 구성되는 것이 이용된다. 릴리스 필름(F)으로서는, 예를 들면, PTFE, ETFE, PET, FEP, 불소함침 글라스 크로스, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐리덴 등이 적합하게 이용된다.In this embodiment, the release film F is one which is easily peeled from the molding die 20 after resin molding, and is formed of a film material having heat resistance, flexibility, and extensibility. As the release film (F), for example, PTFE, ETFE, PET, FEP, fluorine-impregnated glass cloth, polypropylene, polyvinylidene chloride, and the like are suitably used.

또한, 필름 로더 핸드(40)는, 권출부(50)와, 권취부(60)를 구비하며, 권출부(50)로부터 권취부(60)로 릴리스 필름(F)을 반송한다. 이 때, 권출부(50)와 권취부(60)의 사이에 배치되는 성형 금형(20)에 릴리스 필름(F)이 공급된다. 즉, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 권출부(50)로부터 송출된 미사용의 릴리스 필름(F)이 형 개방된 성형 금형(20)에 공급되며, 성형 금형(20)을 거쳐서 사용이 끝난 릴리스 필름(F)이 권취부(60)로 권취된다. 또한, 도 1에 나타내는 권취부(60)에서는, 릴리스 필름(F)이 권취되어 있지 않은 상태(사용 전의 상태)를 나타내고 있다. 도 2에 나타내는 권취부(60)에서는, 성형 시에 형성된 요철 등의 주름이 있는 상태로 권취된 릴리스 필름(F)을 나타내고 있다.Moreover, the film loader hand 40 is provided with the unwinding part 50 and the winding part 60, and conveys the release film F from the unwinding part 50 to the winding-up part 60. At this time, the release film F is supplied to the molding die 20 disposed between the unwinding portion 50 and the winding portion 60. That is, as shown in Figs. 1 and 2, the unused release film (F) sent out from the unwinding unit 50 is supplied to the mold-opened molding mold 20, and has been used through the molding mold 20. The release film F is wound up by the winding part 60. In addition, in the winding part 60 shown in FIG. 1, the state in which the release film F is not wound up (state before use) is shown. In the winding part 60 shown in FIG. 2, the release film F wound up in a state with wrinkles, such as irregularities formed at the time of molding, is shown.

권출부(50)는, 릴리스 필름(F)이 권출되는 권출축(51)과, 릴리스 필름(F)의 송출량(이송량)을 재는 메이저 롤(52)과, 릴리스 필름(F)을 가이드하는 가이드 롤러(53)를 구비한다. 또한, 권취부(60)는, 릴리스 필름(F)이 권취되는 권취축(61)과, 릴리스 필름(F)을 송출하는 롤(62)과, 릴리스 필름(F)을 가이드하는 가이드 롤러(63)를 구비하여 구성된다. 필름 로더 핸드(40)에서는, 릴리스 필름(F)의 반송 상류로부터 하류의 순서대로, 권출축(51), 메이저 롤(52), 가이드 롤러(53), 가이드 롤러(63), 롤(62), 권취축(61)이 마련되며, 권출축(51)과 권취축(61)의 사이에서 릴리스 필름(F)이 걸쳐 놓아진다. 도 1에 나타내는 초기 상태에서는, 미사용의 릴리스 필름(F)이 권출축(51)에 부착되고, 권취축(61)에 릴리스 필름(F)의 선단이 부착되어 있다.The unwinding part 50 is an unwinding shaft 51 from which the release film F is unwound, a major roll 52 for measuring the delivery amount (transfer amount) of the release film F, and a guide for guiding the release film F. It is provided with a roller (53). In addition, the winding unit 60 includes a winding shaft 61 on which the release film F is wound, a roll 62 for delivering the release film F, and a guide roller 63 for guiding the release film F. ). In the film loader hand 40, the unwinding shaft 51, the major roll 52, the guide roller 53, the guide roller 63, the roll 62 in the order of conveyance of the release film F from the upstream to the downstream. , The take-up shaft 61 is provided, and the release film F is placed between the take-up shaft 51 and the take-up shaft 61. In the initial state shown in FIG. 1, the unused release film F is attached to the take-up shaft 51, and the tip end of the release film F is attached to the take-up shaft 61.

또한, 필름 로더 핸드(40)는, 권출축(51)에 마련되며, 권출축(51)을 회전시키는 권출 서보모터(54)와, 메이저 롤(52)에 마련되는 인코더(55)를 구비한다. 권출 서보모터(54)와 제어부(41)의 사이에서는, 데이터의 송수신이 행해진다. 또한, 인코더(55)는, 권출축(51)으로부터 메이저 롤(52)을 개재하여 송출되는 릴리스 필름(F)의 송출량(회전수)을 측정하는데도 이용된다. 인코더(55)로부터 제어부(41)에 데이터의 송신이 행해진다. 이에 의해, 필름 로더 핸드(40)에서는, 제어부(41)의 제어 하에서, 릴리스 필름(F)의 반송 상태를 제어할 수 있다. 또한, 인코더(55)는, 권출 서보모터(54)와 마찬가지의 서보모터를 이용하고, 이에 내장되는 인코더를 이용하여도 된다.In addition, the film loader hand 40 is provided on the unwinding shaft 51, and includes an unwinding servomotor 54 that rotates the unwinding shaft 51, and an encoder 55 provided in the major roll 52. . Data is transmitted and received between the unwinding servomotor 54 and the control unit 41. In addition, the encoder 55 is also used to measure the delivery amount (rotation speed) of the release film F delivered from the unwinding shaft 51 via the major roll 52. Data is transmitted from the encoder 55 to the control unit 41. Thereby, in the film loader hand 40, under the control of the control part 41, the conveyance state of the release film F can be controlled. In addition, the encoder 55 may use a servo motor similar to the unwind servo motor 54, and may use an encoder built into it.

또한, 필름 로더 핸드(40)는, 권취축(61)에 마련되어서 권취축(61)을 회전시키는 권취 서보모터(64)를 구비한다. 권취 서보모터(64)와 제어부(41)의 사이에서는, 데이터의 송수신이 행해진다. 또한, 필름 로더 핸드(40)에서는, 권취 서보모터(64)에 의해 권취축(61)의 토크가 제어된다. 또한, 제어부(41)에 의해 릴리스 필름(F)의 반송 상태를 제어하지만, 릴리스 필름(F)에 텐션을 걸 때는, 권취축(61)을 정지(고정)시킨 상태에서 권출축(51)을 역회전시킨다.Further, the film loader hand 40 is provided with a take-up servomotor 64 that is provided on the take-up shaft 61 and rotates the take-up shaft 61. Data is transmitted/received between the take-up servomotor 64 and the control unit 41. In addition, in the film loader hand 40, the torque of the take-up shaft 61 is controlled by the take-up servo motor 64. Moreover, although the control part 41 controls the conveyance state of the release film F, when tension is applied to the release film F, the take-up shaft 51 is held in a state where the take-up shaft 61 is stopped (fixed). Reverse rotation.

릴리스 필름(F)의 송출량은, 메이저 롤(52)의 직경과 메이저 롤(52)의 회전수로부터 구할 수 있다. 그리고, 필름 로더 핸드(40)에서는, 인코더(55)에 있어서 측정된 송출량을 기초로 권출 서보모터(54)(제어부(41))에 의해 권출축(51)의 토크가 제어된다. 예를 들면, 권출축(51)에 동일한 힘(전류값)을 가하여 회전시켰다고 하여도, 릴리스 필름(F)의 직경에 의해 릴리스 필름(F)에 텐션을 거는 토크가 다르기 때문에, 권출 서보모터(54)(제어부(41))에 의해 제어된다.The delivery amount of the release film F can be obtained from the diameter of the major roll 52 and the rotation speed of the major roll 52. And in the film loader hand 40, the torque of the unwinding shaft 51 is controlled by the unwinding servomotor 54 (control part 41) based on the delivery amount measured by the encoder 55. For example, even if the unwinding shaft 51 is rotated by applying the same force (current value), since the torque applied to the release film F is different depending on the diameter of the release film F, the unwinding servomotor ( 54) (control unit 41).

소정의 동작 시점에 있어서의 권출축(51)에 있어서의 릴리스 필름(F)의 직경은, 예를 들면, 미사용의 릴리스 필름(F)의 외경과, 송출된 릴리스 필름(F)의 총량과, 릴리스 필름(F)의 두께에 의거하여 산출가능하다. 구체적으로는, 초기 상태에 있어서의 미사용의 릴리스 필름(F)의 외경으로부터, 이미 송출된 만큼의 릴리스 필름(F)의 두께를 빼서 구할 수 있다. 여기에서, 이미 송출된 만큼의 릴리스 필름(F)의 두께는, 송출된 릴리스 필름(F)의 총량(거리)과, 릴리스 필름(F)의 두께로부터 구할 수 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서 예시하는 각각의 값의 산출 등은, 반드시 직접적으로 산출 등을 할 필요는 없다. 이 때문에, 예를 들면 제어에 있어서의 과정에 있어서의 계산식으로서 편입하거나, 그 사상을 개별의 제어 과정에서 실질적으로 이용하고 있으면 된다.The diameter of the release film F in the unwinding shaft 51 at a predetermined operation point is, for example, the outer diameter of the unused release film F, the total amount of the released release film F, and It can be calculated based on the thickness of the release film F. Specifically, it can be determined by subtracting the thickness of the release film F that has already been delivered from the outer diameter of the unused release film F in the initial state. Here, the thickness of the release film F that has already been delivered can be obtained from the total amount (distance) of the released release film F and the thickness of the release film F. In addition, it is not always necessary to directly calculate or the like for the calculation of each value exemplified in the present embodiment. For this reason, for example, it is sufficient to incorporate it as a calculation formula in a process in control, or to use the idea substantially in an individual control process.

또한, 릴리스 필름(F)을 포함하는 권출축(51)의 직경의 산출 방법으로서는, 소정량의 릴리스 필름(F)을 송출하였을 때에 있어서의 릴리스 필름(F)을 포함시킨 권출축(51)의 회전량과, 메이저 롤(52)의 회전량의 비율에 의해 산출하는 것도 가능하다. 이 경우, 이 회전량의 비율의 역수와, 메이저 롤(52)의 외경(고정 값)의 곱으로서, 릴리스 필름(F)을 포함시킨 권출축(51)의 외경이 산출된다. 이들에 예시되는 방법을 포함한 임의의 수법에 의해 구해진 권출축(51)(릴리스 필름(F)을 포함한다)의 외경의 크기를 참조하여 토크가 제어된다.In addition, as a method of calculating the diameter of the unwinding shaft 51 including the release film F, the unwinding shaft 51 including the release film F when a predetermined amount of the release film F is delivered It is also possible to calculate by the ratio of the rotation amount and the rotation amount of the major roll 52. In this case, the outer diameter of the unwinding shaft 51 including the release film F is calculated as a product of the reciprocal of the ratio of the rotation amount and the outer diameter (fixed value) of the major roll 52. The torque is controlled by referring to the size of the outer diameter of the unwinding shaft 51 (including the release film F) obtained by any method including the method exemplified in these.

또한, 필름 로더 핸드(40)는, 릴리스 필름(F)을 안내하는 가이드 롤러(53,63)와, 이들이 부착되는 것과 함께 제어부(41)에 의해 동작이 제어되는 진퇴 기구(56,66)(예를 들면 실린더)를 구비한다. 가이드 롤러(53)는, 필름 반송 상류측(권출측)의 상형(21)의 근방에 마련되며, 릴리스 필름(F)이 걸어 둘린다. 타방, 가이드 롤러(63)는, 필름 반송 하류측(권취측)의 상형(21)의 근방에 마련되며, 릴리스 필름(F)이 걸어 둘린다. 가이드 롤러(53,63)는, 진퇴 기구(56,66)에 의해 상형(21)의 금형면(21a)과 직교하는 방향(동 도면의 상하 방향)으로 진퇴 이동가능하게 구성되어 있다.In addition, the film loader hand 40 includes guide rollers 53 and 63 for guiding the release film F, and advancing and retreating mechanisms 56 and 66 in which the operation is controlled by the control unit 41 while they are attached. For example, a cylinder) is provided. The guide roller 53 is provided in the vicinity of the upper mold 21 on the upstream side (unwinding side) of the film conveyance, and the release film F is hung. The other side, the guide roller 63 is provided in the vicinity of the upper die 21 on the downstream side (winding-up side) of film conveyance, and the release film F hangs around. The guide rollers 53 and 63 are configured to be able to move forward and backward in a direction perpendicular to the mold surface 21a of the upper mold 21 (the vertical direction in the drawing) by the advancing and retreating mechanisms 56 and 66.

이에 의해, 진퇴 기구(56,66)는, 필름 공급 공정에서는 가이드 롤러(53,63)를 하강시켜서, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)으로부터 이간하는 위치로 이동시킬 수 있다. 타방, 진퇴 기구(56,66)는, 몰드 공정에서는 가이드 롤러(53,63)를 상승시켜, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 근접하는 위치로 이동시킬 수 있다. 즉, 진퇴 기구(56,66)를 연동하여 동작시키는 것에 의해, 가이드 롤러(53,63)에 의해 가이드 되는 릴리스 필름(F)의 상하 위치 제어가 행해진다. 이렇게 하여 수지 성형 장치(10)에서는 필름 로더 핸드(40)에 있어서의 릴리스 필름(F)의 보지 위치를 제어하고 있다.Thereby, the advancing and retreating mechanisms 56 and 66 can move the guide rollers 53 and 63 to a position separated from the mold surface 21a by lowering the guide rollers 53 and 63 in the film supply process. The other, the advancing and retreating mechanisms 56 and 66 can raise the guide rollers 53 and 63 in the molding process and move the release film F to a position close to the mold surface 21a. That is, the vertical position control of the release film F guided by the guide rollers 53 and 63 is performed by interlocking the advance and retreat mechanisms 56 and 66 to operate. In this way, the resin molding apparatus 10 controls the holding position of the release film F in the film loader hand 40.

다음으로, 본 실시형태와 관련되는 수지 성형 장치(10)를 이용한 수지 성형 방법(동작 방법)에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 도 3은, 수지 성형 장치(10)의 개략 플로우도이며, 도 4는, 몰드 공정의 개략 플로우도이다. 도 5∼도 8은, 수지 성형 공정의 설명도이다.Next, a resin molding method (operation method) using the resin molding apparatus 10 according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. 3 is a schematic flow diagram of the resin molding apparatus 10, and FIG. 4 is a schematic flow diagram of a molding process. 5 to 8 are explanatory diagrams of a resin molding process.

수지 성형 장치(10)에서는, 성형 처리로서 워크(W)의 부품을 몰드 성형하는 몰드 공정이 이루어진다(단계 S100). 이에 앞서, 도 1에 나타나 있는 바와 같이, 가이드 롤러(53,63)를 하강시켜서, 이들에 안내되는 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)으로부터 이간하는 위치로 이동시켜 둔다. 그리고, 권출 서보모터(54) 및 권취 서보모터(64)를 이용하여, 권출축(51)과 권취축(61)의 사이에서 걸쳐 놓아져 있는 릴리스 필름(F)의 미사용 부분을 형 개방한 성형 금형(20)의 내부로 반송, 공급해 둔다.In the resin molding apparatus 10, as a molding treatment, a mold process of mold-molding a part of the work W is performed (step S100). Prior to this, as shown in Fig. 1, the guide rollers 53 and 63 are lowered, and the release film F guided thereto is moved to a position separated from the mold surface 21a. Then, the unused portion of the release film F spread between the take-up shaft 51 and the take-up shaft 61 is mold-opened using the take-up servo motor 54 and the take-up servo motor 64. It is conveyed and supplied into the inside of the mold 20.

몰드 공정에서는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 성형 금형(20)이 형 개방된 상태에 있어서, 하형(22)의 금형면(22a)에 워크(W)를 세트한다(단계 S110). 워크(W)는, 에어로(32)로부터의 흡인에 의해 금형면(22a)에 흡착하여 보지된다. 미리 워크(W) 상에 수지(R)(예를 들면, 액상 수지, 과립 수지 등)를 세트해 두면, 워크(W)와 함께 수지(R)도 성형 금형(20)의 내부에 세트(공급)된다.In the molding process, as shown in FIG. 1, in a state in which the molding die 20 is opened, the work W is set on the die surface 22a of the lower die 22 (step S110). The work W is adsorbed and held on the mold surface 22a by suction from the aero 32. If a resin (R) (e.g., liquid resin, granular resin, etc.) is set on the work (W) in advance, the resin (R) together with the work (W) is also set (supplied) inside the molding mold (20). )do.

계속해서, 도 5에 나타내는 바와 같이, 릴리스 필름(F)을 상형(21)의 금형면(21a)에 흡착한다(단계 S120). 여기에서는, 가이드 롤러(53,63)를 상승시켜, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 근접하는 위치로 이동시켜 둔다. 이 때, 릴리스 필름(F)은, 에어로(28,29)로부터의 흡인에 의해 캐비티(C)의 내면을 포함하는 금형면(21a)을 따라 흡착하여 보지된다. 즉, 캐비티(C)의 내면을 포함하는 금형면(21a)은 릴리스 필름(F)에 의해 덮인다.Subsequently, as shown in FIG. 5, the release film F is adsorbed on the mold surface 21a of the upper mold 21 (step S120). Here, the guide rollers 53 and 63 are raised, and the release film F is moved to a position close to the mold surface 21a. At this time, the release film F is adsorbed and held along the mold surface 21a including the inner surface of the cavity C by suction from the air furnaces 28 and 29. That is, the mold surface 21a including the inner surface of the cavity C is covered with the release film F.

계속해서, 성형 금형(20)의 형 폐쇄를 행한다(단계 S130). 여기에서는, 상형(21)과 하형(22)을 가깝게 하여, 하형(22)의 금형면(22a)에 있는 시일 부재(30)를 상형(21)의 금형면(21a)에 맞닿게(시일 터치)한다. 이에 앞서서 에어로(31)로부터 흡인해둠으로써, 성형 금형(20)의 내부가 밀폐됨과 동시에 감압이 개시된다. 또한, 상형(21)과 하형(22)을 가깝게 함으로써, 상형(21)과 하형(22)에서 워크(W)가 클램프된다. 이에 의해, 캐비티(C)의 개구부가 워크(W)로 폐쇄되어, 캐비티(C) 내에 워크(W)의 부품 및 수지(R)가 수용된다.Subsequently, the molding die 20 is closed (step S130). Here, the upper mold 21 and the lower mold 22 are brought close together, and the seal member 30 on the mold surface 22a of the lower mold 22 abuts the mold surface 21a of the upper mold 21 (seal touch )do. Prior to this, by suctioning from the aero 31, the inside of the molding die 20 is sealed and pressure reduction is started. Further, by bringing the upper mold 21 and the lower mold 22 closer together, the work W is clamped from the upper mold 21 and the lower mold 22. Thereby, the opening of the cavity C is closed by the work W, and the parts of the work W and the resin R are accommodated in the cavity C.

계속해서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 몰드 성형을 행한다(단계 S140). 여기에서는, 상형(21)과 하형(22)을 더 가깝게 하여 탄성부재(26)를 밀어 수축하여, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 흡착시킨 상태에서, 캐비티(C) 내의 수지(R)를 충전, 압축시킨 후, 소정 시간 가열하여 수지(R)를 경화시킨다. 이에 의해, 워크(W)의 부품이 수지(R)(수지 성형부)로 몰드 성형된다.Subsequently, as shown in Fig. 6, mold molding is performed (step S140). Here, the upper mold 21 and the lower mold 22 are brought closer together, the elastic member 26 is pushed and contracted, and the release film F is adsorbed to the mold surface 21a, and the resin in the cavity C ( After filling and compressing R), the resin (R) is cured by heating for a predetermined time. Thereby, the part of the work W is molded with the resin R (resin molded part).

계속해서, 도 7에 나타내는 바와 같이, 워크(W)(성형품)를 이형할 때에, 릴리스 필름(F)의 흡착의 해제를 행하여(단계 S150), 형 개방을 행한다(단계 S160). 여기에서는, 에어로(28,29)로부터의 흡인을 정지하여 릴리스 필름(F)의 흡착을 해제하고, 상형(21)과 하형(22)을 멀리한다. 이러한 흡착 상태의 제어에 의해, 릴리스 필름(F)의 박리의 원활화를 도모하고, 릴리스 필름(F)의 부담을 저감하여, 파손을 방지할 수 있다. 또한, 가이드 롤러(53,63)를 상승시킨 채로 해둠으로써, 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 근접시킨 상태로 할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 7, when the work W (molded product) is released, adsorption of the release film F is released (step S150), and mold opening is performed (step S160). Here, suction from the aeros 28 and 29 is stopped to release the adsorption of the release film F, and the upper mold 21 and the lower mold 22 are separated. By controlling such an adsorption state, it is possible to smooth the peeling of the release film F, reduce the burden on the release film F, and prevent breakage. Further, by keeping the guide rollers 53 and 63 raised, the release film F can be brought close to the mold surface 21a.

계속해서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 상형(21)과 하형(22)을 더 멀리함으로써, 워크(W)로부터의 릴리스 필름(F)의 박리가 완료된다. 수지 성형 시에 캐비티(C)의 내면을 포함하는 금형면(21a)을 릴리스 필름(F)으로 덮어 둠으로써, 금형면(21a)에의 수지(R)의 접촉을 방지하여 캐비티(C)로부터 이형을 촉진할 수 있다. 또한, 가이드 롤러(53,63)를 상승시킨 채로 하고 있기 때문에, 워크(W)로부터 박리된 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 근접시킨 상태로 할 수 있다. 그 후, 에어로(32)로부터의 흡인을 정지하여 워크(W)의 흡착을 해제하고, 도면에 나타나 있지 않은 워크 반송 장치(언로더)에 의해 워크(W)가 금형 외부로 반출된다.Subsequently, as shown in FIG. 8, by further moving the upper mold 21 and the lower mold 22 apart, peeling of the release film F from the work W is completed. During resin molding, by covering the mold surface 21a including the inner surface of the cavity C with a release film F, the contact of the resin R to the mold surface 21a is prevented to be released from the cavity C. Can promote. Further, since the guide rollers 53 and 63 are kept raised, the release film F peeled from the work W can be brought close to the mold surface 21a. After that, the suction from the aero 32 is stopped to release the adsorption of the work W, and the work W is carried out to the outside of the mold by a work conveying device (unloader) not shown in the drawing.

이와 같이 몰드 공정(단계 S100)이 종료된 후, 제어부(41)에 의해 릴리스 필름(F)을 재사용할 수 있는지 아닌지의 판단이 이루어진다(단계 S200). 릴리스 필름(F)의 재이용의 판단 기준은, 임의로 설정할 수 있지만, 예를 들면, 릴리스 필름(F)의 재이용이 소정 횟수에 도달했는지 아닌지로 행할 수 있다. 구체적으로는, 릴리스 필름(F)이 1회의 몰드 공정에 사용된 것 뿐이라면, 재사용할 수 있는 것으로 판단되어, 두번째의 몰드 공정이 행해진다. 또한, 릴리스 필름(F)의 재이용의 판단 방법으로서, 릴리스 필름(F)의 표면 상태를 촬상하고, 화상 처리를 한 다음 요철의 형상(주름의 양이나 깊이) 등을 산출하거나, 변위계(예를 들면, 레이저 변위계)로 측정하거나 하여, 그 값에 의거하여 재사용의 적부를 판단할 수도 있다. 또한, 몰드 공정의 사용 횟수에 따라 릴리스 필름(F)의 늘어남이 증대될 때에는, 릴리스 필름(F)의 늘어난 양에 따라, 재사용의 적부를 판단할 수도 있다. 이 경우, 릴리스 필름(F)의 늘어남을 교정하기 위하여 부가한 텐션의 크기나 권취량 등에 따라, 재사용의 적부를 판단할 수도 있다.In this way, after the molding process (step S100) is finished, it is determined by the control unit 41 whether or not the release film F can be reused (step S200). The criterion for determining the reuse of the release film F can be arbitrarily set. For example, it can be determined whether or not the reuse of the release film F has reached a predetermined number of times. Specifically, if the release film F is only used in one molding step, it is judged that it can be reused, and a second molding step is performed. In addition, as a method of judging the reuse of the release film F, the surface condition of the release film F is imaged, image processing is performed, and then the shape of the irregularities (the amount or depth of wrinkles) is calculated, or a displacement meter (for example, For example, it may be measured with a laser displacement meter), and the suitability of reuse may be determined based on the value. In addition, when the increase of the release film F increases according to the number of times of use of the mold process, it may be determined whether or not the reuse is appropriate according to the increased amount of the release film F. In this case, it is also possible to determine the appropriateness of reuse according to the amount of tension added to correct the stretch of the release film F, the amount of winding, and the like.

릴리스 필름(F)의 재사용이 가능한 경우에는, 그대로 릴리스 필름(F)으로 금형면(21a)을 덮고, 형 폐쇄하여 수지 성형을 행한 후, 형 개방하여 성형품을 이형시키는 상기 서술의 동작을 반복한다. 이 경우, 이형 후의 릴리스 필름(F)에는 캐비티(C) 등의 요철에 흡착됨으로써 생기는 주름이 남은 상태가 된다. 그래서, 본 실시형태에서는, 릴리스 필름(F)의 반복 사용 동안에 있어서, 가이드 롤러(53,63)를 금형면(21a)에 릴리스 필름(F)이 접하도록 상승시킨 상태로 해 둔다. 이에 의해, 금형면(21a)과 릴리스 필름(F)이 접하고 있음으로써, 상대적으로 이들을 어긋나기 어렵게 할 수 있다.In the case where the release film F can be reused, the above-described operation of covering the mold surface 21a with the release film F as it is, mold-closing the mold to perform resin molding, and then release the molded article by opening the mold is repeated. . In this case, the release film F after the release is in a state in which wrinkles generated by being adsorbed by irregularities such as the cavity C remain. Therefore, in this embodiment, during repeated use of the release film F, the guide rollers 53 and 63 are raised so that the release film F contacts the mold surface 21a. Thereby, since the mold surface 21a and the release film F are in contact, it can be made relatively difficult to shift them.

이 경우, 예를 들면, 복수회의 몰드 성형에 있어서 금형면(21a)과 릴리스 필름(F)의 어긋남이 생겼을 때에는, 캐비티(C)의 형상에 따른 요철이 형성된 릴리스 필름(F)이, 금형면(21a)에 있어서 캐비티(C)로부터 어긋난 위치에 배치되어 문제를 초래할 우려가 있다. 구체적으로는, 평탄하지 않은 릴리스 필름(F)을 클램프함으로써 적절하게 클램프를 할 수 없으며, 수지(R)의 누설이 생길 우려가 있다. 또한, 수지(R)로 성형된 성형 부분에 있어서 릴리스 필름(F)의 요철이 전사되어서 성형 불량으로 되는 것도 생각된다.In this case, for example, when the mold surface 21a and the release film F are misaligned in a plurality of mold moldings, the release film F having irregularities corresponding to the shape of the cavity C is formed on the mold surface. In (21a), it is arrange|positioned at the position displaced from the cavity C, and there exists a possibility of causing a problem. Specifically, by clamping the uneven release film F, the clamping cannot be properly performed, and there is a fear that the resin R may leak. Further, it is also conceivable that the unevenness of the release film F is transferred in the molded portion molded from the resin R, resulting in a molding failure.

도 7에서는, 형 개방한 경우에도, 가이드 롤러(53,63)를 상승시킨 채로 하여, 금형면(21a)의 단부에 릴리스 필름(F)이 접하고 있는 상태를 나타낸다. 가령, 가이드 롤러(53,63)를 하강시켜서 금형면(21a)으로부터 릴리스 필름(F) 전체를 이간시켜버리면, 다음 몰드 공정에서 릴리스 필름(F)을 재이용할 때에 어긋남이 일어나버린다. 이 때문에, 릴리스 필름(F)을 복수회 사용하는 동안에는, 가이드 롤러(53,63)를 상승시킨 상태를 보지함으로써, 릴리스 필름(F)의 어긋남을 방지할 수 있다.7 shows a state in which the release film F is in contact with the end of the mold surface 21a with the guide rollers 53 and 63 raised even when the mold is opened. For example, if the guide rollers 53 and 63 are lowered to separate the entire release film F from the mold surface 21a, a shift occurs when the release film F is reused in the next molding step. For this reason, while the release film F is used a plurality of times, by maintaining the state in which the guide rollers 53 and 63 are raised, it is possible to prevent the release film F from shifting.

또한, 릴리스 필름(F)의 복수회 사용하는 동안에 있어서, 워크(W)(성형품)를 이형한 후 릴리스 필름(F)을 흡착하기 전에 있어서, 권취 서보모터(64)에 의해 권취축(61)을 고정(정지)한다. 또한, 권출 서보모터(54)에 의해 권출축(51)을 소정 토크로 제어하여, 릴리스 필름(F)에 소정의 텐션을 부여한다. 여기에서, 소정의 텐션의 부여에 있어서는, 릴리스 필름(F)을 포함하는 권출축(51)의 외경을 이용한 토크 제어를 행함으로써, 토크 제어를 정확하게 행할 수 있다.In addition, during the use of the release film F a plurality of times, after the work W (molded product) is released and before the release film F is adsorbed, the take-up shaft 61 by the take-up servomotor 64 Is fixed (stopped). Moreover, the unwinding shaft 51 is controlled by a predetermined torque by the unwinding servomotor 54, and a predetermined tension is applied to the release film F. Here, in application of a predetermined tension, torque control can be accurately performed by performing torque control using the outer diameter of the unwinding shaft 51 including the release film F.

예를 들면, 가령 권취축(61)에 있어서의 사용이 끝난 릴리스 필름(F)의 외경을 이용한 토크 제어를 행하려고 하였을 때에는, 사용이 끝난 릴리스 필름(F)은 성형 시에 형성된 주름이 있는 상태로 권취되어 있다. 이 때문에, 사용이 끝난 릴리스 필름(F)을 권취한 권취축(61)의 외형을 정확하게 산출하는 것은 곤란하며, 또한 권취축(61)에 부가한 힘을 적절하게 전달하는 것이 곤란하게 되기 때문이다. 이에 비하여 권출축(51)에 있어서의 미사용의 릴리스 필름(F)의 직경의 크기는 송출량과 릴리스 필름(F)의 두께로 정확하게 파악할 수 있으며, 또한 권출축(51)에 부가한 힘을 릴리스 필름(F)으로 적절하게 전달할 수 있다. 이 때문에, 토크 제어를 정확하게 행할 수 있으며, 릴리스 필름(F)에 소정의 텐션을 적절하게 부가할 수 있다. 따라서, 예를 들면 텐션이 과대해지거나 과소하게 됨으로써, 위치가 어긋나버리는 일이 없어, 릴리스 필름(F)의 이동에 의한 어긋남을 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 릴리스 필름(F)의 위치 어긋남이 문제가 되기 어려울 때에는 릴리스 필름(F)에 텐션을 부가할 때에, 권취 서보모터(64)에 의해 권취축(61)의 토크를 제어하여도 된다. 또한, 권출축(51)과 권취축(61)의 양방에서 토크를 제어하여도 된다.For example, when trying to control the torque using the outer diameter of the used release film F in the take-up shaft 61, the used release film F has wrinkles formed during molding. It is wound up with. For this reason, it is difficult to accurately calculate the external shape of the take-up shaft 61 on which the used release film F is wound, and it is difficult to appropriately transmit the force applied to the take-up shaft 61. . On the other hand, the size of the diameter of the unused release film F in the unwinding shaft 51 can be accurately grasped by the delivery amount and the thickness of the release film F, and the force applied to the unwinding shaft 51 is applied to the release film. (F) can be transferred appropriately. For this reason, torque control can be accurately performed, and a predetermined tension can be appropriately applied to the release film F. Therefore, for example, by excessive or excessive tension, the position is not shifted, and shift due to movement of the release film F can be reliably prevented. In addition, when the positional shift of the release film F is difficult to become a problem, when tension is applied to the release film F, the torque of the take-up shaft 61 may be controlled by the take-up servomotor 64. Further, torque may be controlled in both the take-up shaft 51 and the take-up shaft 61.

한편, 단계 S200에서의 판단에 있어서, 몰드 공정이 반복되어, 릴리스 필름(F)이 소정 횟수 사용된 것이라면, 재사용 부적합하다고 판단된다. 이 경우, 필름 공급 공정(단계 S300,S400,S500)에 의해 형 개방한 후에 미사용 부분의 릴리스 필름(F)이 공급된 후에, 몰드 공정이 재개된다.On the other hand, in the judgment in step S200, if the molding process is repeated and the release film F has been used a predetermined number of times, it is judged that it is unsuitable for reuse. In this case, after the mold is opened by the film supply process (steps S300, S400, S500), after the release film F of the unused portion is supplied, the mold process is restarted.

미사용 부분의 릴리스 필름(F)을 공급하기 위해서는, 먼저, 릴리스 필름(F)을 송출 위치로 이동한다(단계 S300). 구체적으로는, 형 개방한 상태에 있어서, 진퇴 기구(56,66)에 의해, 가이드 롤러(53,63)를 하강시켜서, 이들에 안내되는 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)으로부터 이간하는 송출 위치로 이동시킨다.In order to supply the release film F of the unused part, first, the release film F is moved to the delivery position (step S300). Specifically, in the mold-open state, the guide rollers 53 and 63 are lowered by the advancing and retreating mechanisms 56 and 66, and the release film F guided thereto is separated from the mold surface 21a. Move to the delivery position.

이어서, 릴리스 필름(F)을 송출하여(단계 S400), 릴리스 필름(F)을 흡착 위치로 이동한다(단계 S500). 구체적으로는, 권취 서보모터(64)에 의해 권취축(61)을 회전시켜서 릴리스 필름(F)을 권취축(61)에 권취하는 것과 함께, 권출 서보모터(54)에 의해 권출축(51)을 회전시켜서 릴리스 필름(F)을 송출한다. 이 때, 인코더(55)에 의해 송출량이 측정되므로, 캐비티(C)에 대향하는 흡착 위치에까지 미사용 부분의 릴리스 필름(F)을 이동시킬 수 있다. 미사용 부분의 릴리스 필름(F)이 공급된 후에는, 몰드 공정이 재개된다.Subsequently, the release film F is sent out (step S400), and the release film F is moved to the adsorption position (step S500). Specifically, the take-up shaft 61 is rotated by the take-up servo motor 64 to take up the release film F on the take-up shaft 61, and the take-up shaft 51 by the take-up servo motor 54 Is rotated to send out the release film (F). At this time, since the delivery amount is measured by the encoder 55, the release film F of the unused portion can be moved to the suction position facing the cavity C. After the release film F of the unused part is supplied, the molding process is restarted.

이와 같이, 릴리스 필름(F)을 복수회 사용함으로써 몰드 공정에 있어서의 릴리스 필름(F)의 사용량이 줄기 때문에, 워크(W)(성형품)의 제조 러닝 코스트를 삭감할 수 있다. 또한, 릴리스 필름(F)을 복수회 사용하고 있는 동안에는, 가이드 롤러(53,63)를 하강시키지 않고 릴리스 필름(F)을 금형면(21a)에 접촉시킨 위치에서 보지하기 때문에, 릴리스 필름(F)의 어긋남을 방지할 수 있다. 그러나, 가이드 롤러(53,63)를 하강시키지 않고, 릴리스 필름(F)을 흡착한 채 형 개방하여 성형품을 이형시키려고 하면, 릴리스 필름(F)에 부담이 걸려버린다. 그래서, 이형 시에는 릴리스 필름(F)의 흡착을 해제함으로써, 릴리스 필름(F)의 박리의 원활화를 도모하고, 부담을 경감하여 릴리스 필름(F)이 파손되어버리는 것을 방지할 수 있다. 또한, 성형품을 이형한 후 릴리스 필름(F)을 흡착하기 전에 있어서, 권취축(61)을 고정으로 하고 권출축(51)을 소정 토크로 제어함으로써, 릴리스 필름(F)의 어긋남을 확실하게 방지할 수 있다.In this way, by using the release film F a plurality of times, the amount of use of the release film F in the molding process is reduced, so that the production running cost of the work W (molded product) can be reduced. In addition, while the release film F is being used a plurality of times, the release film F is held at a position in contact with the mold surface 21a without lowering the guide rollers 53 and 63. ) Can prevent misalignment. However, if the guide rollers 53 and 63 are not lowered and the mold-opening is attempted to release the molded article while adsorbing the release film F, a burden is placed on the release film F. Therefore, by releasing adsorption of the release film F at the time of releasing, it is possible to smooth the peeling of the release film F, reduce the burden, and prevent the release film F from being damaged. In addition, after the molded product is released and before the release film F is adsorbed, the take-up shaft 61 is fixed and the take-up shaft 51 is controlled with a predetermined torque to reliably prevent displacement of the release film F. can do.

또한, 본 발명에 있어서의 릴리스 필름(F)을 복수회 사용하는 효과는, 금형의 반면(盤面)이 커지면 커질수록 효과가 높아진다. 본 실시형태에서는, 워크(W)로서 소위 기판을 적용하는 경우에 대하여 설명했지만, 일반적인 기판보다 반면이 큰 8인치나 12인치로 한 대형 웨이퍼나 캐리어 등의 원형 워크를 이용하는 WLP(Wafer Level Package)나, 1변의 길이가 300㎜를 넘는 대형 패널을 워크로서 이용하는 LPM(Large Panel Molding) 등에 적용함으로써, 릴리스 필름(F)의 사용량의 삭감 효과는 크며, 제조 러닝 코스트의 삭감 효과가 높아진다.In addition, the effect of using the release film F in the present invention a plurality of times increases as the thickness of the mold increases, the greater the effect. In this embodiment, a case where a so-called substrate is applied as the workpiece W has been described, but a large wafer with a contrast of 8 inches or 12 inches larger than that of a general substrate, or a wafer level package (WLP) using a circular workpiece such as a carrier. B. By applying LPM (Large Panel Molding) or the like using a large panel with a length of more than 300 mm per side as a work, the effect of reducing the amount of release film F is large, and the effect of reducing the manufacturing running cost is increased.

이상, 본 실시형태에서는, 도 1 등에 나타나 있는 바와 같이, 캐비티(C)가 상형(21)에 마련된 수지 성형 장치(10)의 경우에 대하여 설명하였다. 이에 한정하지 않고, 도 9에 나타내는 바와 같이, 구성을 상하 반대로 하여 하형(22)에 캐비티(C)를 마련하고, 이에 릴리스 필름(F)을 공급(흡착하여 보지)하는 경우의 수지 성형 장치(10A)에도 적용할 수 있다. 상기 서술한 수지 성형 장치(10)에 비하여 동 도면에 나타내는 수지 성형 장치(10A)에서는, 형 개방한 상태에서 상형(21)에 워크(W)가 흡착하여 보지되며, 하형(22)의 캐비티(C) 내에 수지(R)가 공급되어서 수지 성형된다. 수지 성형 장치(10A)에서는, 그 외의 성형 처리 공정(도 3, 도 4등)이 마찬가지로 이루어지기 때문에, 수지 성형 장치(10)와 마찬가지의 작용 효과를 가진다.As described above, in the present embodiment, as shown in Fig. 1 and the like, the case of the resin molding apparatus 10 in which the cavity C is provided in the upper mold 21 has been described. Without being limited thereto, as shown in Fig. 9, a resin molding apparatus in the case of providing a cavity C in the lower mold 22 with the configuration inverted up and down, and supplying (adsorbing and holding) the release film F thereto ( 10A) can also be applied. Compared to the resin molding apparatus 10 described above, in the resin molding apparatus 10A shown in the figure, the workpiece W is adsorbed and held by the upper mold 21 in the mold-open state, and the cavity of the lower mold 22 ( Resin (R) is supplied into C) and resin-molded. In the resin molding apparatus 10A, since other molding treatment steps (Fig. 3, Fig. 4, etc.) are performed in the same manner, the resin molding apparatus 10 has an effect similar to that of the resin molding apparatus 10.

또한, 상기 서술의 실시형태에서는, 도 1 등에 나타나 있는 바와 같이, 압축 성형 타입의 수지 성형 장치(10)의 경우에 대하여 설명하였다. 이에 한정하지 않고, 도 10에 나타내는 바와 같이, 포트(70), 플런저(71), 컬(72) 및 러너 게이트(73)를 구비하는 트랜스퍼 성형 타입의 수지 성형 장치(10B)에도 본 발명을 적용할 수 있다. 수지 성형 장치(10B)에서는, 형 개방한 상태에서 포트(70) 내에 수지(R)가 공급되어, 하형(22)의 금형면(22a)(세트부)에 워크(W)가 흡착하여 보지된다. 또한, 수지 성형 장치(10B)에서는, 형 개방한 상태에서 캐비티(C), 컬(72) 및 러너 게이트(73)를 포함하는 상형(21)의 금형면(21a)을 덮도록 릴리스 필름(F)이 공급되어 흡착하여 보지된다. 그리고, 수지 성형 장치(10B)에서는, 형 폐쇄 상태에서 포트(70) 내의 플런저(71)에 의해 수지(R)가 가압되고, 컬(72), 러너 게이트(73)를 개재하여 캐비티(C)에 공급되어서 수지 성형된다. 수지 성형 장치(10B)에서는, 그 외의 성형 처리 공정(도 3, 도 4 등)이 마찬가지로 이루어지기 때문에, 수지 성형 장치(10)와 마찬가지의 작용 효과를 가진다.In addition, in the above-described embodiment, as shown in Fig. 1 and the like, the case of the compression molding type resin molding apparatus 10 has been described. The present invention is not limited thereto, and the present invention is also applied to a transfer molding type resin molding apparatus 10B having a port 70, a plunger 71, a curl 72, and a runner gate 73 as shown in FIG. can do. In the resin molding apparatus 10B, the resin R is supplied into the port 70 in the mold-open state, and the work W is adsorbed and held by the mold surface 22a (set portion) of the lower mold 22. . In addition, in the resin molding apparatus 10B, the release film F is formed so as to cover the mold surface 21a of the upper mold 21 including the cavity C, the curl 72 and the runner gate 73 in the mold-open state. ) Is supplied, adsorbed and held. Then, in the resin molding apparatus 10B, the resin R is pressed by the plunger 71 in the port 70 in the mold closed state, and the cavity C is formed through the curl 72 and the runner gate 73. It is supplied to the resin and molded. In the resin molding apparatus 10B, other molding treatment steps (Fig. 3, Fig. 4, etc.) are performed in the same manner, so that the same effect as that of the resin molding apparatus 10 is obtained.

(실시형태 2)(Embodiment 2)

본 발명의 실시형태 2와 관련되는 필름 반송 장치(80)를 구비하는 수지 성형 장치(10C)를 이용한 수지 성형 방법(동작 방법)에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 도 11∼도 31은, 수지 성형 공정의 설명도이다. 상기 실시형태 1에서는 릴리스 필름(F)으로서 롤 필름을 직접 이용하였을 경우에 대하여 설명했지만, 본 실시형태에서는 가로로 긴 필름을 둘러 감은 롤 필름으로부터 예를 들면, 원형상, 직사각형상 등으로 잘라서 준비한 매엽 필름을 수지 성형에 복수회 이용하는 경우에 대하여 설명한다.A resin molding method (operation method) using the resin molding device 10C provided with the film conveying device 80 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 11 to 31 are explanatory diagrams of a resin molding process. In the first embodiment, a case where a roll film was directly used as the release film F was described, but in this embodiment, a roll film wrapped around a horizontally long film was cut into, for example, a circular shape, a rectangular shape, etc. A case where a sheet-fed film is used for resin molding a plurality of times will be described.

도 11에 나타내는 바와 같이, 필름 반송 장치(80)는, 스테이지(81)와, 한 쌍의 링(82)(보지구)과, 롤형상의 릴리스 필름(F)과, 인출 장치(도시 생략)를 구비한다. 여기에서는, 스테이지(81) 상에 일방의 링(82)이 세트되며, 그 상방을 통과하도록 인출 장치에 의해 릴리스 필름(F)이 인출된다. 인출된 릴리스 필름(F)을 타방의 링(82)에 의해 누르도록 하고, 일방 및 타방의 링(82)으로 끼운다(도 12). 이 링(82)으로서는, 예를 들면, 절단됨으로써 준비되는 매엽 릴리스 필름(F)의 외주에 있어서 중첩함으로써, 릴리스 필름(F)을 끼워서 보지 가능하도록, 매엽 릴리스 필름(F)의 외주 영역을 둘러싸는 원고리형상 또는 직사각형고리 형상 등의 고리형상으로 구성된다.As shown in FIG. 11, the film conveyance device 80 includes a stage 81, a pair of rings 82 (holding tool), a roll-shaped release film F, and a take-out device (not shown). It is equipped with. Here, one ring 82 is set on the stage 81, and the release film F is pulled out by the take-out device so that it may pass above it. The pulled-out release film F is pressed by the other ring 82, and is sandwiched between one and the other ring 82 (Fig. 12). As this ring 82, for example, by overlapping on the outer periphery of the sheet-fed release film F prepared by cutting, it surrounds the outer periphery area of the sheet-fed release film F so that the release film F can be sandwiched and held. Is composed of a ring shape such as a circular ring shape or a rectangular ring shape.

구체적으로는, 도 12에 나타내는 릴리스 필름(F)이 인출된 측면 방향과 직교하는 정면방향에서 본 도인 도 13에 나타내는 바와 같이, 릴리스 필름(F)의 인출 방향과 평행한 변(릴리스 필름(F)의 띠의 가장자리측의 변)에 있어서, 상하의 링(82)끼리가 연결되어 고정가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 바꾸어 말하면, 링(82)은 릴리스 필름(F)의 폭보다도 크게 구성되어서, 릴리스 필름(F)을 끼우지 않는 위치에 있어서 링(82)끼리를 연결가능하게 구성되는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 이 때문에, 릴리스 필름(F)에 대한 링(82)의 크기는, 릴리스 필름(F)의 인출 방향에 있어서는, 매엽 릴리스 필름(F)보다도 작으며, 이 방향과 직행하는 방향에 있어서는, 매엽 릴리스 필름(F)보다도 크게 할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 링(82)은 릴리스 필름(F)을 끼워서 보지한 상태로 절단할 수 있다.Specifically, as shown in FIG. 13 which is a diagram viewed from the front direction orthogonal to the lateral direction from which the release film F shown in FIG. 12 was pulled out, the side parallel to the pulling direction of the release film F (release film F ), it is preferable that the upper and lower rings 82 are connected to each other so as to be fixable. In other words, it is preferable that the ring 82 is configured to be larger than the width of the release film F, so that the rings 82 can be connected to each other at a position where the release film F is not sandwiched. For this reason, the size of the ring 82 with respect to the release film F is smaller than that of the sheet-fed release film F in the drawing direction of the release film F, and in the direction orthogonal to this direction, the sheet-fed release It can be made larger than the film (F). According to this configuration, the ring 82 can be cut while holding the release film F therebetween.

계속해서, 도 12에 나타내는 바와 같이, 필름 반송 장치(80)가 구비하는 절단구(83)에 의해, 링(82)의 외측에서 릴리스 필름(F)을 절단한다. 릴리스 필름(F)의 절단 시에는, 링(82)을 스테이지(81)에 흡착하여 보지할 수도 있다. 절단된 릴리스 필름(F)은 매엽이 된다(매엽 필름). 링(82)은, 릴리스 필름(F)에 텐션이 부여되도록 릴리스 필름(F)의 외주부를 보지한다. 또한, 릴리스 필름(F)의 외주부를 보지하는 보지구로서는, 링(82)을 이용하는 것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 릴리스 필름(F)의 외주부를 부분적으로 끼워서 보지하는 복수개의 클립을 이용할 수도 있다. 일례로서, 직사각형의 릴리스 필름(F)을 이용할 경우에는, 그 4변의 각각을 상하로부터 끼우는 클립형상의 보지구를 4변에, 1개씩 혹은 복수개씩 각각 마련할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 12, the release film F is cut from the outside of the ring 82 by the cutting tool 83 provided in the film conveying device 80. When cutting the release film F, the ring 82 can also be adsorbed on the stage 81 and held. The cut release film F becomes a sheet|leaf (sheet-fed film). The ring 82 holds the outer periphery of the release film F so that tension is applied to the release film F. In addition, the retaining tool for holding the outer peripheral portion of the release film F is not limited to the use of the ring 82. For example, it is also possible to use a plurality of clips that partially sandwich the outer periphery of the release film F and hold it. As an example, in the case of using the rectangular release film F, it is possible to provide each of four sides, one by one or a plurality of clip-shaped retaining devices, each of which is inserted from the top and bottom of each of the four sides.

계속해서, 도 13에 나타내는 바와 같이, 링(82)을 개재하여 릴리스 필름(F)을 보지하기 위하여, 필름 반송 장치(80)가 구비하는 반송 지그(84)를 스테이지(81)의 상방까지 이동시킨다. 계속해서, 도 14에 나타내는 바와 같이, 하강시킨 반송 지그(84)로 링(82)(릴리스 필름(F))을 보지한다(도 14). 반송 지그(84)는, 링(82)의 내측에 있는 릴리스 필름(F)을 누르는 누름부(85)를 구비하며 중앙부가 관통된 프레임 형상으로 구성된다. 또한, 반송 지그(84)는, 링(82)을 보지하며, 누름부(85)의 누름 방향(도 중, 하방향)과는 반대 방향(상방향)으로 링(82)을 이동시키는 가동 보지부(86)를 구비한다. 예를 들면, 가동 보지부(86)는, 링(82)을 끼워서 보지하는 클로부(86a)(척부)가 래치 기구에 의해 이동하도록 구성되어 있다. 이 래치 기구는, 일정 각도의 범위 내에 있어서는, 일방향만으로 회전가능하게 구성됨으로써, 임의의 높이로 보지가능한 기구이다.Subsequently, as shown in FIG. 13, in order to hold the release film F through the ring 82, the transfer jig 84 provided in the film transfer device 80 is moved to the upper side of the stage 81. Let it. Subsequently, as shown in FIG. 14, the ring 82 (release film F) is held by the lowered conveyance jig 84 (FIG. 14). The conveyance jig 84 has a pressing portion 85 for pressing the release film F on the inner side of the ring 82 and is configured in a frame shape with a central portion penetrating therethrough. In addition, the conveyance jig 84 holds the ring 82 and moves the ring 82 in the opposite direction (upward direction) to the pressing direction of the pressing portion 85 (in the middle, downward direction). It has a part 86. For example, the movable holding part 86 is comprised so that the claw part 86a (chuck part) which clamps and holds the ring 82 is moved by a latch mechanism. This latch mechanism is a mechanism that can be held at an arbitrary height by being configured to be rotatable only in one direction within a range of a certain angle.

계속해서, 도 15에 나타내는 바와 같이, 링(82)으로 보지되어 있는 릴리스 필름(F)에 텐션을 부여한다. 예를 들면, 가동 보지부(86)는, 필름 반송 장치(80)가 구비하는 실린더(90)(제 1 가동부)에 의해 가동된다. 이 실린더(90)는, 스테이지(81)의 주위에 승강가능하게 마련되어 있다. 이 실린더(90)에 의해 링(82)을 보지하는 클로부(86a)가 밀어 올려짐으로써, 링(82)이 보지하는 릴리스 필름(F)의 외주부가 상방향으로 밀어 올려진다. 이 때 릴리스 필름(F)의 중앙부는 반송 지그(84)의 누름부(85)에 의해 눌러진 상태에서, 릴리스 필름(F)의 외주부가 잡아 당겨지므로, 릴리스 필름(F)에 텐션이 부여된다. 또한, 가동 보지부(86)가 구비하는 래치 기구에 의하면, 누름부(85)에 의해 릴리스 필름(F)이 눌려져도, 클로부(86a)의 이동을 상방향(일방향)만이 되도록 제한하여, 릴리스 필름(F)에 텐션을 부여할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 15, tension is applied to the release film F held by the ring 82. For example, the movable holding part 86 is movable by the cylinder 90 (first movable part) provided in the film conveying device 80. This cylinder 90 is provided around the stage 81 so as to be able to move up and down. When the claw portion 86a holding the ring 82 is pushed up by the cylinder 90, the outer peripheral portion of the release film F held by the ring 82 is pushed upward. At this time, while the central portion of the release film F is pressed by the pressing portion 85 of the conveying jig 84, the outer peripheral portion of the release film F is pulled, so that tension is applied to the release film F. . In addition, according to the latch mechanism provided in the movable holding portion 86, even if the release film F is pressed by the pressing portion 85, the movement of the claw portion 86a is limited to only the upward direction (one direction), Tension can be given to the release film F.

계속해서, 도 16에 나타내는 바와 같이, 텐션이 부여된 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)(예를 들면, 액상 수지, 과립 수지 등)를 공급한다. 반송 지그(84)의 중앙부가 관통되어 있으므로, 여기에서 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)를 공급할 수 있다. 이 때, 릴리스 필름(F)에는 텐션이 부여되어 있으므로, 수지(R)의 무게로 릴리스 필름(F)이 휘어서 수지(R)가 릴리스 필름(F)의 중심에 치우쳐 버리는 것을 방지할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 16, the resin R (for example, liquid resin, granular resin, etc.) is supplied on the release film F to which tension was applied. Since the central part of the conveyance jig 84 penetrates, the resin R can be supplied on the release film F from here. At this time, since tension is applied to the release film F, it is possible to prevent the release film F from being bent under the weight of the resin R and causing the resin R to be biased toward the center of the release film F.

계속해서, 도 17에 나타내는 바와 같이, 수지 성형 장치(10C)가 구비하는 성형 금형(20)의 내부에 릴리스 필름(F)을 반입한다. 구체적으로는, 형 개방한 성형 금형(20)(상형(21)과 하형(22)이 떨어져 있다)의 내부에, 반송 지그(84)에 의해 릴리스 필름(F)에 텐션이 부여된 상태에서 링(82)과 함께 릴리스 필름(F)을 반입한다. 수지 성형 장치(10C)의 성형 금형(20)은, 도 9와 마찬가지로 하형(22)에 캐비티(C)가 마련되어 있다. 후술하지만, 캐비티(C)의 내면을 포함하는 하형(22)의 금형면(22a)이 릴리스 필름(F)으로 덮인다. 또한, 워크(W)는, 에어로(32)를 개재하여 상형(21)의 금형면(21a)에 흡착하여 보지된다.Subsequently, as shown in FIG. 17, the release film F is carried into the inside of the molding die 20 provided with the resin molding apparatus 10C. Specifically, in the inside of the mold-opened molding mold 20 (the upper mold 21 and the lower mold 22 are separated), a ring with a tension applied to the release film F by the conveying jig 84 The release film (F) is carried in together with (82). In the molding mold 20 of the resin molding apparatus 10C, a cavity C is provided in the lower mold 22 as in FIG. 9. As described later, the mold surface 22a of the lower mold 22 including the inner surface of the cavity C is covered with the release film F. Further, the work W is adsorbed and held by the mold surface 21a of the upper mold 21 via the aero 32.

그런데, 수지 성형 장치(10C)는, 도 18에 나타내는 바와 같이, 성형 금형(20)의 주위에 마련되며, 반송 지그(84)의 가동 보지부(86)를 가동시키는 실린더(91)(제 2 가동부)를 구비하고 있다. 실린더(91)는, 성형 금형(20)의 하형(22)의 주위에 승강가능하게 마련되어 있으며, 실린더(90)와 마찬가지로 링(82)을 보지하는 클로부(86a)를 밀어 올릴 수 있다. 이러한 수지 성형 장치(10C)에 의해, 하형(22)의 금형면(22a)(클램퍼(24)의 상면)에 릴리스 필름(F)을 세트한다. 구체적으로는, 실린더(91)에 의해, 반송 지그(84)의 가동 보지부(86)를 가동시켜서 릴리스 필름(F)에 텐션을 부가한다. 이 경우, 적절한 텐션을 부가하지 않으면, 릴리스 필름(F)이 하형(22)의 히터에 의해 가열되는 것에 의해 늘어남이 생겨서 늘어져버려, 수지(R)의 치우침이 생겨버린다. 이에 대하여, 실린더(91)의 동작에 의해 릴리스 필름(F)에 텐션을 적절하게 부가함으로써, 이러한 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이어서, 반송 지그(84)의 누름부(85)에 의해 릴리스 필름(F)을 금형면(22a)에 누른다.By the way, as shown in FIG. 18, the resin molding apparatus 10C is provided around the molding die 20, and the cylinder 91 (2nd) which moves the movable holding part 86 of the conveyance jig 84 Movable part). The cylinder 91 is provided around the lower mold 22 of the molding die 20 so as to be able to move up and down, and similarly to the cylinder 90, the claw portion 86a holding the ring 82 can be pushed up. With such a resin molding apparatus 10C, the release film F is set on the mold surface 22a (the upper surface of the clamper 24) of the lower mold 22. Specifically, the movable holding part 86 of the conveyance jig 84 is movable by the cylinder 91, and tension is added to the release film F. In this case, if an appropriate tension is not applied, the release film F is heated by the heater of the lower mold 22 to cause stretch and stretch, and the resin R will be biased. On the other hand, by appropriately adding tension to the release film F by the operation of the cylinder 91, it is possible to prevent such a problem from occurring. Subsequently, the release film F is pressed against the mold surface 22a by the pressing portion 85 of the transfer jig 84.

계속해서, 도 19(상형(21)은 도시 생략)에 나타내는 바와 같이, 에어로(28,29)를 개재하여 캐비티(C)의 내면을 포함하는 금형면(22a)을 덮도록 릴리스 필름(F)을 흡착한다. 이 때, 릴리스 필름(F)은 금형면(22a)을 따라 흡착되어, 금형면(22a)에 있어서 캐비티(C)의 내면을 따라 릴리스 필름(F)이 세트되게 된다. 또한, 릴리스 필름(F) 상에는 수지(R)가 세트되어 있으므로, 그대로 캐비티(C) 내에 수지(R)가 세트되게 된다.Subsequently, as shown in FIG. 19 (the upper mold 21 is not shown), the release film F is provided so as to cover the mold surface 22a including the inner surface of the cavity C through the air furnaces 28 and 29. Adsorbs. At this time, the release film F is adsorbed along the mold surface 22a, and the release film F is set along the inner surface of the cavity C in the mold surface 22a. Further, since the resin R is set on the release film F, the resin R is set in the cavity C as it is.

한편, 수지 성형 장치(10C)의 하형(22)은, 하형(22)의 금형면(22a)(클램퍼(24)의 상면)에 마련되며, 보지구인 링(82)을 설치하기 위한 포켓(92)(오목부)을 구비한다. 이 보지구인 링(82)을 설치하기 위한 구조로서는, 하형(22) 상에 반드시 마련할 필요는 없으며, 성형 금형(20)의 외주에 전용의 부재를 마련할 수도 있다.On the other hand, the lower mold 22 of the resin molding apparatus 10C is provided on the mold surface 22a (the upper surface of the clamper 24) of the lower mold 22, and is a pocket 92 for installing the ring 82 as a retaining tool. ) (Recess). As a structure for attaching the ring 82 as the holding tool, it is not necessary to necessarily provide on the lower mold 22, and a dedicated member may be provided on the outer periphery of the molding mold 20.

또한, 하형(22)은, 링(82)을 계지(係止)하는 기구를 구비한다. 예를 들면, 성형 금형(20)의 외부와 내부를 연결하도록 클램퍼(24)에 마련되는 에어로(93)로서 링(82)을 계지하는 기구를 구비한다. 에어로(93)의 금형 외부측에는, 도면에 나타나 있지 않은 흡인 장치(예를 들면, 진공 펌프)가 접속된다. 이 때문에, 릴리스 필름(F)을 흡착할 때는, 릴리스 필름(F)의 외주부를 보지하는 링(82)이 포켓(92)에 수납되어, 에어로(93)를 개재하여 흡인되므로 흡착(보지)된다. 이 때, 반송 지그(84)의 가동 보지부(86)의 보지를 해제함으로써, 링(82)은 해방된다. 이와 같이, 릴리스 필름(F)을 보지한 링(82)을 성형 금형(20)에 남기도록 반입함으로써, 릴리스 필름(F)을 정확한 위치에 세트할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 수지 성형 후에 스테이지(81)에서 텐션을 다시 부여하여 다시 성형 금형(20)에 릴리스 필름(F)을 세트하게 되지만, 이와 같이 위치를 합칠 수 있으므로 어긋남을 방지하여 릴리스 필름(F)을 수지 성형에 복수회 이용할 수 있다.In addition, the lower mold 22 is provided with a mechanism for locking the ring 82. For example, a mechanism for locking the ring 82 is provided as an aero 93 provided in the clamper 24 so as to connect the outside and the inside of the molding die 20. A suction device (for example, a vacuum pump) not shown in the drawing is connected to the outer side of the mold of the aero 93. For this reason, when the release film F is adsorbed, the ring 82 holding the outer circumference of the release film F is accommodated in the pocket 92 and is sucked through the aero 93 so that it is adsorbed (held). . At this time, by releasing the holding of the movable holding portion 86 of the conveying jig 84, the ring 82 is released. In this way, by carrying the ring 82 holding the release film F into the mold 20 so as to remain in the mold 20, the release film F can be set at an accurate position. As will be described later, after resin molding, tension is reapplied at the stage 81 to set the release film F on the molding mold 20 again. However, since the positions can be combined in this way, shifting is prevented to prevent the release film F. ) Can be used multiple times for resin molding.

또한, 보지구인 링(82)을 성형 금형(20)에 계지하기 위한 기구로서는, 상기 서술한 흡착 기구뿐만 아니라 그 외의 기구를 채용할 수도 있다. 예를 들면, 요동하는 클로형상 부재와 같은 계합(engaging) 구조나 키홈 계합 구조로 한 그 외의 계지 기구를 이용할 수도 있다.In addition, as a mechanism for holding the ring 82 as a holding tool to the molding die 20, not only the above-described adsorption mechanism but also other mechanisms may be employed. For example, it is also possible to use an engaging structure such as a swinging claw-shaped member, or other locking mechanisms having a keyway engaging structure.

계속해서, 도 20에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(84)를 퇴피시킨다. 이 때, 링(82)이 반송 지그(84)의 가동 보지부(86)로부터 해방되어 있으므로, 릴리스 필름(F)은 하형(22)의 금형면(22a)에 흡착하여 보지된 채로 있다.Subsequently, as shown in FIG. 20, the conveyance jig 84 is retracted. At this time, since the ring 82 is released from the movable holding portion 86 of the conveying jig 84, the release film F is adsorbed to and held by the mold surface 22a of the lower mold 22.

계속해서, 도 21에 나타내는 바와 같이, 상형(21)과 하형(22)을 가깝게 하여 성형 금형(20)을 형 폐쇄한다. 한편, 수지 성형 장치(10C)의 상형(21)은, 금형면(21a)에 마련되는 퇴피부(94)(오목부)를 구비한다. 형 폐쇄 시에 상형(21)에서는 퇴피부(94)에 의해 링(82)이 수납된다.Subsequently, as shown in FIG. 21, the upper mold 21 and the lower mold 22 are brought close together, and the molding mold 20 is mold-closed. On the other hand, the upper mold 21 of the resin molding apparatus 10C includes a retracting portion 94 (recessed portion) provided on the mold surface 21a. When the mold is closed, the ring 82 is accommodated by the retracting portion 94 in the upper mold 21.

계속해서, 도 22에 나타내는 바와 같이, 몰드 성형을 행한다. 여기에서는, 상형(21)과 하형(22)을 더 가깝게 하여 탄성부재(26)를 밀어 수축하여, 캐비티(C) 내의 수지(R)를 압축한 후, 소정 시간 가열하여 수지(R)를 경화시킨다. 이에 의해, 워크(W)가 수지(R)로 몰드 성형된다.Subsequently, as shown in FIG. 22, mold molding is performed. Here, the upper mold 21 and the lower mold 22 are brought closer together, the elastic member 26 is pushed and contracted, and the resin (R) in the cavity (C) is compressed, and then the resin (R) is cured by heating for a predetermined time. Let it. Thereby, the work W is molded with the resin R.

계속해서, 도 23에 나타내는 바와 같이, 상형(21)과 하형(22)을 멀리 하여 성형 금형(20)을 형 개방하여 캐비티(C)로부터 워크(W)(성형품)를 이형시킨다. 이 때, 링(82)의 흡착을 보지한 채, 릴리스 필름(F)의 흡착의 해제를 행한다. 이 경우, 도 1에 나타나 있는 바와 같은 필름 로더 핸드(40)(구체적으로는, 권출축(51)이나 권취축(61))를 마련하지 않아도, 릴리스 필름(F)을 성형품으로부터 원활하게 떼어낼 수 있다. 구체적으로는, 워크(W)가 보지되는 상형(21)과는 반대측의 하형(22)에 있어서 릴리스 필름(F)의 외주에서 보지하고 있기 때문에, 필름 로더 핸드(40)와 마찬가지로 하형(22)의 외주에서 릴리스 필름(F)을 잡아당길 수 있으며, 도 7에 나타내는 바와 같이 릴리스 필름(F)을 성형품으로부터 떼어낼 수 있다. 이와 같이, 간이한 구성이면서, 릴리스 필름(F)이 성형품에 붙은 상태에서 이형되어버리는 것을 방지하고, 릴리스 필름(F)의 박리의 원활화를 도모할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 23, the molding die 20 is mold-opened by moving the upper mold 21 and the lower mold 22 away from the cavity C to release the work W (molded product). At this time, while holding the adsorption of the ring 82, the adsorption of the release film F is released. In this case, even without providing the film loader hand 40 (specifically, the unwinding shaft 51 or the winding shaft 61) as shown in FIG. 1, the release film F can be smoothly removed from the molded article. I can. Specifically, since the lower mold 22 on the side opposite to the upper mold 21 on which the work W is held is held from the outer periphery of the release film F, the lower mold 22 is similar to the film loader hand 40. The release film F can be pulled out from the outer periphery of, and as shown in FIG. 7, the release film F can be removed from the molded article. As described above, it is possible to prevent the release film F from being released in a state in which it is attached to the molded article while having a simple configuration, and smooth peeling of the release film F can be achieved.

계속해서, 도 24에 나타내는 바와 같이, 상형(21)과 하형(22)을 더 멀리함으로써, 워크(W)로부터의 릴리스 필름(F)의 박리가 완료된다. 캐비티(C)의 내면을 포함하는 금형면(22a)을 릴리스 필름(F)으로 덮고 있음으로써, 금형면(22a)에의 수지(R)의 접촉을 방지하여 캐비티(C)로부터 이형을 촉진할 수 있다. 그러나, 워크(W)로부터 박리된 릴리스 필름(F)은 늘어져서 주름이 있는 상태가 된다.Subsequently, as shown in FIG. 24, by further moving the upper mold 21 and the lower mold 22 apart, peeling of the release film F from the work W is completed. By covering the mold surface 22a including the inner surface of the cavity C with the release film F, the contact of the resin R to the mold surface 22a can be prevented, thereby promoting release from the cavity C. have. However, the release film F peeled off from the work W is stretched and becomes a wrinkled state.

계속해서, 도 25에 나타내는 바와 같이, 형 개방한 성형 금형(20)의 내부로 반송 지그(84)를 반입한다. 계속해서, 도 26(상형(21)은 도시 생략)에 나타내는 바와 같이, 하강시킨 반송 지그(84)로 링(82)(릴리스 필름(F))을 보지한다. 계속해서, 도 27(상형(21)은 도시 생략)에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(84)에 의해 형 개방한 성형 금형(20)으로부터 링(82)과 함께 사용된 릴리스 필름(F)을 취출한다. 본 실시형태에서는, 수지 성형할 때에 릴리스 필름(F)을 보지하는 링(82)을 성형 금형(20)에 남겨두고 있음으로써, 수지 성형 후에 반송 지그(84)에 의해 링(82)을 보지하여 취출할 수 있다. 예를 들면, 릴리스 필름(F)을 보지하는 링(82)을 이용하지 않는 구성을 상정하였을 경우에는, 가열되어 변형된 릴리스 필름(F)에 있어서 당초 보지되어 있었던 위치에서 다시 보지하는 것은 곤란하다. 그러나, 링(82)으로 릴리스 필름(F)을 보지하고 있기 때문에, 릴리스 필름(F)의 변형에 관계없이 확실하게 같은 위치를 보지하여 반송할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 25, the conveyance jig 84 is carried into the inside of the mold-opening mold 20. Subsequently, as shown in FIG. 26 (the upper mold 21 is not shown), the ring 82 (release film F) is held by the lowered conveyance jig 84. Subsequently, as shown in FIG. 27 (upper mold 21 is not shown), the release film F used together with the ring 82 is taken out from the mold-opening mold 20 by the conveying jig 84. do. In the present embodiment, by leaving the ring 82 holding the release film F in the mold 20 during resin molding, the ring 82 is held by the conveying jig 84 after resin molding. Can be taken out. For example, in the case of a configuration in which the ring 82 holding the release film F is not used, it is difficult to hold it again at the position originally held in the heated and deformed release film F. . However, since the release film F is held by the ring 82, the same position can be reliably held and conveyed regardless of the deformation of the release film F.

계속해서, 성형 금형(20)으로부터 반출된 반송 지그(84)를, 도 28에 나타내는 바와 같이, 스테이지(81)의 상방으로 반입한다. 계속해서, 도 29에 나타내는 바와 같이, 반송 지그(84)를 스테이지(81)측으로 하강시켜서, 링(82)과 함께 사용된 릴리스 필름(F)을 스테이지(81)에 세트한다.Subsequently, the conveyance jig 84 carried out from the molding die 20 is carried in the upper side of the stage 81 as shown in FIG. 28. Subsequently, as shown in FIG. 29, the conveyance jig 84 is lowered to the stage 81 side, and the release film F used together with the ring 82 is set on the stage 81.

계속해서, 도 30에 나타내는 바와 같이, 이용된 릴리스 필름(F)에 텐션을 다시 부여한다. 구체적으로는, 도 15를 참조하여 설명한 릴리스 필름(F)에 텐션을 부가하는 것보다도 강하게 릴리스 필름(F)을 잡아당긴다. 즉, 실린더(90)에 의해 링(82)을 보지하는 클로부(86a)를 보다 높은 위치까지 밀어 올리고, 링(82)이 보지하는 릴리스 필름(F)의 외주부를 보다 높은 위치까지 밀어 올린다. 이에 의해, 요철을 가지는 성형 금형(20) 내에서 가열가압됨으로써 늘어남이 생긴 릴리스 필름(F)에 대하여 보다 강하게 잡아 늘림으로써, 예를 들면 도 15에 나타나 있는 바와 같은 상태와 마찬가지의 텐션을 릴리스 필름(F)에 부여할 수 있다.Subsequently, as shown in Fig. 30, tension is again applied to the used release film F. Specifically, the release film F is pulled more strongly than the tension is applied to the release film F described with reference to FIG. 15. That is, the claw portion 86a holding the ring 82 is pushed up to a higher position by the cylinder 90, and the outer peripheral portion of the release film F held by the ring 82 is pushed up to a higher position. Thereby, the release film F is stretched more strongly with respect to the release film F that has been stretched by heating and pressing in the molding die 20 having irregularities, so that the same tension as in the state shown in Fig. 15 is released, for example. It can be given to (F).

계속해서, 도 31에 나타내는 바와 같이, 텐션이 다시 부여된 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)(예를 들면, 액상 수지, 과립 수지 등)를 공급한다. 이때, 이미 1회 이상의 몰드 성형에 사용된 릴리스 필름(F)이어도 적절하게 텐션이 부여되어 있으므로, 수지(R)가 공급되었을 때의 늘어짐을 방지하고, 수지(R)가 릴리스 필름(F)의 중심으로 치우쳐버리는 것을 방지할 수 있다. 그 후, 사용된 릴리스 필름(F)을 이용하여, 도 17∼도 31을 참조하여 설명한 공정을 순서대로 소정 횟수가 될 때까지 반복한다. 이 공정에 있어서, 도 17에서 도 18에 걸쳐서 나타낸 필름 세트의 공정에 있어서, 링(82)(보지구)으로 보지한 릴리스 필름(F)을 이용하고 있기 때문에, 릴리스 필름(F)의 어긋남을 방지하고, 릴리스 필름(F)의 같은 부분으로 복수회 몰드 성형할 수 있다. 이에 의하면, 상기 서술한 바와 같은 성형 문제의 발생을 방지할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 31, the resin R (for example, a liquid resin, a granular resin, etc.) is supplied on the release film F to which tension was applied again. At this time, even if the release film (F) has already been used for molding one or more times, since the tension is appropriately applied, sagging when the resin (R) is supplied is prevented, and the resin (R) is applied to the release film (F). You can prevent it from shifting to the center. After that, using the used release film F, the steps described with reference to Figs. 17 to 31 are sequentially repeated until a predetermined number of times is reached. In this process, in the process of the film set shown in Figs. 17 to 18, since the release film F held by the ring 82 (holding tool) is used, the deviation of the release film F is prevented. It can be prevented and molded multiple times into the same part of the release film F. According to this, it is possible to prevent the occurrence of molding problems as described above.

계속해서, 상기 서술의 공정을 순서대로 소정 횟수가 될 때까지 반복한 후, 사용 후의 릴리스 필름(F)을 폐기하고, 도 11 이후에 나타내는 릴리스 필름(F)을 준비하는 공정을 포함하여 공정을 반복하는 것에 의해, 릴리스 필름(F)을 복수회의 몰드 성형에 이용할 수 있다. 이상에서 설명한 바와 같이, 매엽의 릴리스 필름(F)을 이용하는 본 실시형태에 있어서도 복수회의 몰드 성형에 사용할 수 있으며, 워크(W)(성형품)의 제조 러닝 코스트를 삭감할 수 있다.Subsequently, after repeating the above-described process sequentially until a predetermined number of times, the used release film (F) is discarded, and the process including the step of preparing the release film (F) shown after FIG. 11 is performed. By repeating, the release film F can be used for molding a plurality of times. As described above, the present embodiment using the single-leaf release film F can also be used for molding a plurality of times, and the running cost of manufacturing the work W (molded product) can be reduced.

이상, 본 발명을 실시형태에 의거하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것이 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변경가능한 것은 말할 필요도 없다.As mentioned above, although this invention was demonstrated concretely based on embodiment, this invention is not limited to the said embodiment, It goes without saying that various changes are possible within the scope not departing from the gist of the invention.

상기 실시형태에서는, 릴리스 필름을 복수회 이용하는 경우에 대하여 설명하였다. 이에 한정하지 않고, 1회의 수지 성형 동작마다에 주름이 없는 미사용 부분의 릴리스 필름을 공급하는 경우에도 적용할 수 있다.In the above embodiment, a case where the release film is used a plurality of times has been described. It is not limited to this, and can also be applied to the case where a release film of an unused portion without wrinkles is supplied for each resin molding operation.

또한, 한 쌍의 링(82)과 같은 보지구를 이용하지 않고, 매엽의 릴리스 필름(F)을 이용하여 복수회의 몰드 성형가능한 수지 성형 장치로 하여도 된다. 이 경우, 예를 들면, 릴리스 필름(F)과 수지(R)를 성형 금형(20)에 공급하여 워크(W)를 몰드 성형하는 수지 성형 장치가, 성형 금형(20)의 형상에 따라 매엽의 릴리스 필름(F)을 준비하는 필름 준비부와, 준비한 매엽의 릴리스 필름(F)을 성형 금형(20)에 공급하는 필름 공급부와, 성형 금형(20)을 구비하는 것과 함께 공급된 매엽의 릴리스 필름(F)을 이용하여 복수회의 몰드 성형하는 프레스부를 구비하는 구성으로 할 수도 있다.In addition, a resin molding apparatus capable of molding a plurality of times may be provided using a single-leaf release film F without using the same holding tool as the pair of rings 82. In this case, for example, a resin molding apparatus for supplying the release film F and the resin R to the molding mold 20 to mold the workpiece W is A film preparation unit for preparing a release film F, a film supply unit for supplying the prepared single leaf release film F to the molding mold 20, and a single leaf release film supplied together with the molding mold 20 Using (F), it can also be set as the structure provided with the press part which molds a plurality of times.

이 경우, 매엽의 릴리스 필름(F)을 준비하는 장치(필름 준비부)로서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 가로로 긴 릴리스 필름(F)이 둘러 감아진 롤 필름으로부터 인출하고, 절단구(83)에 의해 자르는 구성으로 할 수 있다. 또한, 매엽의 릴리스 필름(F)은, 당해 형상의 매엽의 릴리스 필름(F)을 복수 겹쳐 쌓아서 공급되는 경우와 같이, 자를 필요가 없을 경우 등에 있어서는, 반드시 잘라서 준비할 필요는 없다.In this case, as an apparatus (film preparation unit) for preparing the single-leaf release film F, as shown in FIG. 12, the horizontally long release film F is taken out from the rolled film wrapped around it, and the cutting tool 83 It can be configured to cut by ). In addition, the sheet-fed release film F does not necessarily need to be cut and prepared in a case where it is not necessary to cut, such as a case where a plurality of sheet-leaf release films F of the shape are stacked and supplied.

또한, 이와 같이 준비한 매엽의 릴리스 필름(F)을 성형 금형(20)에 공급하는 필름 공급부로서는, 도 13에 나타나 있는 바와 같이 반송 지그(84)로 매엽의 릴리스 필름(F)의 외주를 보지한다. 릴리스 필름(F)의 외주를 보지하는 구성으로서는, 릴리스 필름(F)의 외주를 그 외측에서 끼우는 구성으로 하여도 되고, 릴리스 필름(F)의 상면을 흡착하는 구성으로 하여도 된다. 이러한 구성의 반송 지그(84)를 인 로더로 보지하여 반송가능한 구성으로 할 수 있다. 이 경우, 필름 준비부에서 준비된 매엽의 릴리스 필름(F)을, 성형 금형(20)을 구비하는 프레스부로, 반송 지그(84)나 인 로더로 구성된 필름 공급부로 반송하여 공급한다.In addition, as a film supply unit for supplying the sheet-fed release film F prepared in this way to the molding die 20, the outer periphery of the sheet-fed release film F is held by a conveying jig 84 as shown in FIG. 13. . As a configuration for holding the outer periphery of the release film F, the outer periphery of the release film F may be pinched from the outside, or may be configured to adsorb the upper surface of the release film F. The transfer jig 84 having such a structure can be held by an in-loader to have a structure capable of being transferred. In this case, the sheet-fed release film F prepared by the film preparation part is conveyed to the press part provided with the molding die 20 to the film supply part comprised with the conveyance jig 84 or an in-loader, and is supplied.

이 매엽의 릴리스 필름(F)에는, 수지(R)를 탑재하여 매엽의 릴리스 필름(F)을 프레스부의 성형 금형(20)으로 반입하여도 된다. 또한, 수지(R)를 탑재하지 않고 매엽의 릴리스 필름(F)만을 프레스부의 성형 금형(20)으로 반입하여도 된다. 이 경우에는, 1매의 매엽의 릴리스 필름(F)을 이용하여 복수회 행해지는 몰드 성형 시마다, 수지(R)를 성형 금형(20)으로 반입할 필요가 있다.A resin R may be mounted on the sheet-fed release film F, and the sheet-fed release film F may be carried into the molding die 20 of the press unit. Moreover, you may carry in only the single-leaf release film F into the molding die 20 of a press part without mounting the resin R. In this case, it is necessary to carry the resin R into the molding die 20 every time a plurality of mold moldings are performed using the single sheet release film F.

한편, 프레스부에서는, 예를 들면, 도 17에 나타나 있는 바와 같은 성형 금형(20)을 구비하고, 상형(21) 및 하형(22)이 마련되는 한 쌍의 플래턴을 개폐함으로써, 몰드 성형이 행해진다. 이 경우, 상기 서술한 바와 같은 수지(R)의 반입 수법 중 어느 하나를 적용할지에 따라, 1매의 매엽의 릴리스 필름(F)이 상형(21) 및 하형(22) 중 어느 하나에 세트된 후에 수지(R)를 순차 공급하여도 되고, 프레스부의 외부에서 매엽의 릴리스 필름(F) 상에 수지(R)를 탑재하고, 몰드 성형마다에 반입하여도 된다. 그 후에, 수지(R)와 워크(W)가 공급되어 성형 금형(20)을 형 폐쇄함으로써 몰드 성형이 행해진다.On the other hand, in the press part, for example, by providing a molding mold 20 as shown in FIG. 17 and opening and closing a pair of platens on which the upper mold 21 and the lower mold 22 are provided, mold molding is Done. In this case, depending on which one of the methods of carrying in the resin (R) as described above is applied, a single sheet-fed release film (F) is set in either the upper mold 21 and the lower mold 22 Afterwards, the resin R may be sequentially supplied, or the resin R may be mounted on the single leaf release film F from the outside of the press unit, and carried in every mold molding. Thereafter, the resin R and the work W are supplied and mold-closing is performed by closing the mold 20.

이러한 구성에 의하면, 한 쌍의 링(82)과 같은 보지구를 이용하지 않고, 매엽의 릴리스 필름(F)을 이용하여 복수회의 몰드 성형을 행할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면, 상기 서술한 실시형태에 있어서 보지구를 이용한 것에 의한 효과를 가질 수는 없지만, 보지구의 관리가 불필요하게 되어 구성을 간소화할 수 있다. 또한, 릴리스 필름(F)의 주름이 성형상 문제 없을 경우에는 간이한 구성으로 효율적인 성형이 가능하다.According to this configuration, it is possible to perform mold molding a plurality of times using the single-leaf release film F without using the same holding tool as the pair of rings 82. Thereby, for example, in the above-described embodiment, the effect of using the holding tool cannot be obtained, but the management of the holding tool becomes unnecessary, and the configuration can be simplified. In addition, when the wrinkles of the release film F do not have a molding problem, efficient molding is possible with a simple configuration.

Claims (11)

금형의 양측에 마련된 필름 반송 장치로부터 공급된 롤형상의 릴리스 필름으로 금형면을 덮고, 형 폐쇄하여 수지 성형을 행한 후, 형 개방하여 캐비티로부터 성형품을 이형시키는 공정을 복수회 행하는 몰드 공정과,
상기 릴리스 필름을 사용 부적합이라고 판단하였을 때에는, 형 개방 한 후에 상기 릴리스 필름의 미사용 부분을 상기 금형에 공급하는 필름 공급 공정을 가지며,
상기 몰드 공정 시에는, 상기 릴리스 필름을 상기 금형면에 근접하는 위치로 이동시키고, 상기 필름 공급 공정에서는, 상기 릴리스 필름을 상기 금형면으로부터 이간하는 위치로 이동시키도록, 상기 필름 반송 장치에 있어서의 상기 릴리스 필름의 보지 위치를 제어하고,
상기 릴리스 필름이 걸어 둘러져, 상기 금형면과 직교하는 방향으로 진퇴 이동가능한 가이드 롤러에 의해, 상기 릴리스 필름을 이동시키는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
A mold process in which the mold surface is covered with a roll-shaped release film supplied from the film conveying device provided on both sides of the mold, mold is closed to perform resin molding, and then mold is opened to release the molded product from the cavity a plurality of times;
When it is determined that the release film is unsuitable for use, it has a film supply process of supplying an unused portion of the release film to the mold after opening the mold,
In the molding process, in the film conveying device, the release film is moved to a position close to the mold surface, and in the film supplying process, the release film is moved to a position separated from the mold surface. Controlling the holding position of the release film,
The resin molding method, characterized in that the release film is hung around the release film, and the release film is moved by a guide roller capable of moving forward and backward in a direction orthogonal to the mold surface.
제 1 항에 있어서,
상기 몰드 공정에서는, 상기 릴리스 필름을 상기 금형면에 흡착시킨 상태에서 수지 성형을 행하고, 상기 성형품을 이형할 때에 상기 릴리스 필름의 흡착을 해제하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
The method of claim 1,
In the molding step, resin molding is performed while the release film is adsorbed on the mold surface, and adsorption of the release film is released when the molded product is released.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 필름 반송 장치에서는, 권출축을 회전시키는 권출 서보모터 및 권취축을 회전시키는 권취 서보모터를 이용하며, 상기 권출축과 상기 권취축의 사이에서 상기 릴리스 필름이 걸쳐 놓아지고,
상기 권출축으로부터 메이저 롤을 개재하여 송출되는 상기 릴리스 필름의 송출량을 상기 메이저 롤에 마련된 인코더에 의해 측정하고, 상기 송출량을 기초로 상기 권출 서보모터에 의해 상기 권출축의 토크가 제어되며,
상기 몰드 공정에 있어서의 상기 성형품을 이형한 후, 형 폐쇄 전에는, 상기 권취축을 고정으로 하여 상기 권출축의 토크를 제어하는 것을 특징으로 하는 수지 성형 방법.
The method according to claim 1 or 2,
In the film conveying apparatus, a take-up servo motor that rotates a take-up shaft and a take-up servo motor that rotates a take-up shaft are used, and the release film is placed between the take-up shaft and the take-up shaft,
The delivery amount of the release film delivered from the unwinding shaft through the major roll is measured by an encoder provided on the major roll, and the torque of the unwinding shaft is controlled by the unwinding servomotor based on the delivery amount,
A resin molding method characterized by controlling the torque of the take-up shaft by fixing the take-up shaft after releasing the molded article in the molding step and before closing the mold.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7134926B2 (en) * 2019-07-10 2022-09-12 Towa株式会社 RESIN MOLDING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING RESIN MOLDED PRODUCT
CN112873810A (en) * 2019-11-29 2021-06-01 复盛应用科技股份有限公司 Method and mold for manufacturing cover plate of golf club head
JP7417429B2 (en) * 2020-01-17 2024-01-18 Towa株式会社 Resin molding equipment, manufacturing method of resin molded products
KR102348941B1 (en) * 2020-10-05 2022-01-13 덕양산업 주식회사 Mold for molding interior materials
JP7432925B2 (en) * 2020-12-04 2024-02-19 アピックヤマダ株式会社 Pressure monitoring device, resin sealing device, and pressure monitoring method
KR20220125058A (en) * 2021-03-04 2022-09-14 삼성전자주식회사 Metallic molding device for molding semiconductor chip
JP2023048797A (en) * 2021-09-28 2023-04-07 アピックヤマダ株式会社 Resin sealing device and resin sealing method
KR20230169711A (en) 2022-06-09 2023-12-18 제주파나텍 (주) Eel juice composition comprising vitamin c to increase arginine absorption

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000108159A (en) 1998-10-08 2000-04-18 Apic Yamada Corp Resin sealing apparatus
JP2005219210A (en) * 2004-02-03 2005-08-18 Towa Corp Mold release sheet and resin molding method
JP2006027081A (en) 2004-07-16 2006-02-02 Towa Corp Resin sealing method and sheetlike member
JP2008302550A (en) 2007-06-06 2008-12-18 Sumitomo Heavy Ind Ltd Film supplying mechanism
JP2009099850A (en) 2007-10-18 2009-05-07 Sony Chemical & Information Device Corp Method and apparatus for manufacturing semiconductor module, and semiconductor module
JP2014133371A (en) * 2013-01-11 2014-07-24 Panasonic Corp Injection molding method and injection molding apparatus
KR101537479B1 (en) 2013-08-20 2015-07-16 토와 가부시기가이샤 Method and apparatus for transfer-supplying substrate

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3241553B2 (en) 1994-11-21 2001-12-25 アピックヤマダ株式会社 Resin molding device using release film
JP4373237B2 (en) * 2004-02-13 2009-11-25 Towa株式会社 Semiconductor chip resin sealing molding method and resin sealing molding die
JP4405429B2 (en) * 2005-05-11 2010-01-27 住友重機械工業株式会社 Resin mold and resin molding method
MY151817A (en) * 2006-08-18 2014-07-14 Asahi Glass Co Ltd Release film for semiconductor resin molds
JP2012142364A (en) * 2010-12-28 2012-07-26 Nitto Denko Corp Sealing member, sealing method, and manufacturing method of optical semiconductor device
SG191479A1 (en) * 2011-12-27 2013-07-31 Apic Yamada Corp Method for resin molding and resin molding apparatus
KR102019656B1 (en) * 2012-01-30 2019-09-09 에이지씨 가부시키가이샤 Release film and method of manufacturing semiconductor device using same
JP6057880B2 (en) * 2013-11-28 2017-01-11 Towa株式会社 Resin material supply method and supply device for compression molding apparatus
KR102335853B1 (en) * 2014-01-14 2021-12-07 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 Resin mold tooling and resin-molding method

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000108159A (en) 1998-10-08 2000-04-18 Apic Yamada Corp Resin sealing apparatus
JP2005219210A (en) * 2004-02-03 2005-08-18 Towa Corp Mold release sheet and resin molding method
JP2006027081A (en) 2004-07-16 2006-02-02 Towa Corp Resin sealing method and sheetlike member
JP2008302550A (en) 2007-06-06 2008-12-18 Sumitomo Heavy Ind Ltd Film supplying mechanism
JP2009099850A (en) 2007-10-18 2009-05-07 Sony Chemical & Information Device Corp Method and apparatus for manufacturing semiconductor module, and semiconductor module
JP2014133371A (en) * 2013-01-11 2014-07-24 Panasonic Corp Injection molding method and injection molding apparatus
KR101537479B1 (en) 2013-08-20 2015-07-16 토와 가부시기가이샤 Method and apparatus for transfer-supplying substrate

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