KR102175502B1 - 원판과 분판 모두의 세타축 정렬이 가능한 하이브리드형 디스플레이 패널 검사장치 - Google Patents

원판과 분판 모두의 세타축 정렬이 가능한 하이브리드형 디스플레이 패널 검사장치 Download PDF

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Abstract

원판과 분판 모두의 세타축 정렬이 가능한 하이브리드형 디스플레이 패널 검사장치를 개시한다.
본 실시예의 일 측면에 의하면, 곡선 형태로 배치되는 제1 가이드레일과 상기 가이드레일의 상단에 배치되며, 일 면적에 형성되어 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 분판을 흡착하는 패널 흡착부 및 나머지 면적에 곡선 형태로 배치되는 제2 가이드레일을 포함하는 제1 흡착 테이블과 상기 제1 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하여 상기 제1 흡착 테이블이 상기 제1 가이드레일을 따라 회전하도록 하는 제1 회전 구동부 및 상기 제2 가이드레일의 상단에 배치되며, 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 상기 제1 흡착테이블의 상단으로 배치되는 분판과 상이한 디스플레이 패널 분판을 흡착하는 패널 흡착부를 포함하는 제2 흡착 테이블을 포함하며, 상기 제1 흡착 테이블은 상기 제2 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하는 제2 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.

Description

원판과 분판 모두의 세타축 정렬이 가능한 하이브리드형 디스플레이 패널 검사장치{Hybrid Display Panel Inspection Device Capable of Aligning the Theta Axis of Both the Original Plate and the Separated Plate}
본 발명은 원판과 분판 모두의 세타축을 정렬한 후 검사를 수행할 수 있는 하이브리드형 디스플레이 패널 검사장치에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 본 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
디스플레이 디바이스 기술의 현저한 발전에 따라 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이 등의 각종 방식의 화상 표시 장치에 관련된 기술이 크게 진보되어 왔다. 특히 대형이며 고정밀한 표시를 실현하는 화상 표시 장치 등에서는 그 제조원가의 저감과 화상 품위의 향상을 위해 고도의 기술혁신이 진척되고 있다.
특히 대형이며 고정밀한 표시를 실현하는 화상 표시 장치 등에서는 그 제조원가의 저감과 화상 품위의 향상을 위해 고도의 기술혁신이 진척되고 있다. 이러한 각종 장치에 탑재되어 화상을 표시하기 위해서 사용되는 패널에 대해서도 종전 이상의 높은 치수품위와 고정밀도의 표면성상이 요구되고 있다. 디스플레이 디바이스 용도 등의 유리의 제조에서는 각종 제조 장치를 사용함으로써 패널이 성형되고 있지만, 모두 무기 유리 원료를 가열 용해해서 용융 유리를 균질화한 후에 소정 형상으로 성형한다는 것이 일반적으로 행해지고 있다. 이때, 유리 원료의 용융 부족이나 제조 도중에서의 의도하지 않은 이물의 혼입, 또는 성형 장치의 노후화나 일시적인 성형 조건의 문제, 그리고 완성 후 원하는 크기로 절단하는 과정에서 발생하는 결함 등, 여러 가지 원인에 의해 패널에 표면 품위의 이상 등의 결함이 생기는 경우가 있다.
이처럼 거대한 패널 내 발생하는 결함을 검출하기 위해서, 최근 사용되는 장비가 자동 광학 검사장치(AOI:Automatic Optical Inspection)이다. 자동 광학 검사장치는 패널으로 광을 조사하고, 패널의 화상을 촬상장치가 촬상하여 패널 내 결함이 존재하는지를 검사한다. 자동 광학 검사장치는 패널에 대해 빠르고 높은 정밀도로 손상을 주지 않으면서 검사를 진행할 수는 장점이 있다.
자동 광학 검사장치가 패널을 검사하기 위해서는, 먼저 패널이 자동 광학 검사장치로 이송되어야 하고, 자동 광학 검사장치가 검사를 수행할 수 있도록 패널은 정밀하게 정렬되어야 한다. 패널의 정렬로는 x, y축(길이 방향, 폭 방향)의 정렬 뿐만 아니라 패널이 이송되며 중심축이 틀어지는 경우도 존재하기 때문에 패널의 세타(θ)축 정렬도 포함된다.
패널의 검사 전 세타축을 정렬하기 위해서, 종래의 자동 광학 검사장치는 패널을 스테이지 상에 안착시킨 후, 모터를 이용해 스테이지를 회전시킴으로써 패널의 세타축을 정렬하였다. 자동 광학 검사장치는 패널이 장치로 이송되거나 검사가 완료된 패널을 다른 장치로 이송하기 위해 컨베이어와 같은 이송부를 구비하는데, 이러한 이송부와 패널의 세타축 정렬을 위한 스테이지 및 모터가 서로 구조적으로 상충되어 적어도 하나의 구성이 원활히 동작을 하지 못하거나, 상충을 방지하기 위해 자동 광학 검사장치 내 구조가 복잡해지는 문제가 존재한다.
본 발명의 일 실시예는, 패널을 흡착하여 세타축을 조정하여 복잡하지 않은 구조로도 패널을 정렬하고 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 데 일 목적이 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예는, 구조적 변경없이 디스플레이 패널 원판과 분판을 모두 정렬시키고 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사장치를 제공하는 데 일 목적이 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 곡선 형태로 배치되는 제1 가이드레일과 상기 가이드레일의 상단에 배치되며, 일 면적에 형성되어 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 분판을 흡착하는 패널 흡착부 및 나머지 면적에 곡선 형태로 배치되는 제2 가이드레일을 포함하는 제1 흡착 테이블과 상기 제1 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하여 상기 제1 흡착 테이블이 상기 제1 가이드레일을 따라 회전하도록 하는 제1 회전 구동부 및 상기 제2 가이드레일의 상단에 배치되며, 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 상기 제1 흡착테이블의 상단으로 배치되는 분판과 상이한 디스플레이 패널 분판을 흡착하는 패널 흡착부를 포함하는 제2 흡착 테이블을 포함하며, 상기 제1 흡착 테이블은 상기 제2 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하는 제2 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제2 흡착 테이블은 상기 패널 흡착부와 기 설정된 거리만큼 떨어져 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 흡착 테이블은 내부로 상기 제1 회전 구동부가 유입될 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 회전 구동부는 상기 제1 흡착 테이블의 홈으로 유입되어 상기 제1 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 곡선 형태로 배치되는 가이드레일과 상기 가이드레일의 일 부분 상에 배치되며, 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 분판을 흡착하는 제1 패널 흡착부를 포함하는 제1 흡착 테이블과 상기 제1 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하여 상기 제1 흡착 테이블이 상기 가이드레일을 따라 회전하도록 하는 제1 회전 구동부와 상기 가이드레일의 나머지 부분 상에 배치되며, 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 상기 제1 흡착테이블의 상단으로 배치되는 분판과 상이한 디스플레이 패널 분판을 흡착하는 제2 패널 흡착부를 포함하는 제2 흡착 테이블 및 상기 제2 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하여 상기 제2 흡착 테이블이 상기 가이드레일을 따라 회전하도록 하는 제2 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제2 흡착 테이블은 상기 제1 흡착 테이블과 기 설정된 거리만큼 떨어져 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 흡착 테이블 및 제2 흡착 테이블은 각각 내부로 상기 제1 회전 구동부 및 제2 회전 구동부가 유입될 홈을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 상기 제1 회전 구동부 및 제2 회전 구동부는 상기 제1 흡착 테이블 및 제2 흡착 테이블의 홈으로 각각 유입되어 상기 제1 흡착 테이블 및 상기 제2 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따르면, 패널을 흡착한 후 패널의 세타축을 조정하기 때문에, 복잡하지 않은 구조로도 패널을 정렬시킨 후 검사할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명의 일 측면에 따르면, 구조적 변경없이 디스플레이 패널 원판과 분판을 모두 정렬시키고 검사할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 회전부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 구동부의 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 흡착 테이블의 구성을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 흡착 테이블의 구성을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 패널 정렬부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송부재 내 이송유닛으로 동력이 전달되는 모습을 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송유닛의 확대도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에서, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해서 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 본 발명의 각 실시예에 포함된 각 구성, 과정, 공정 또는 방법 등은 기술적으로 상호 간 모순되지 않는 범위 내에서 공유될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사장치(100)는 패널 이송부재(110), 패널 정렬부재(120), 패널 검사부재(130), 프레임(140) 및 제어부(미도시)를 포함한다.
패널 이송부재(110)는 결함이 존재하는지 검사하고자 하는 디스플레이 패널(이하에서, '검사 패널'이라 약칭함)을 정렬을 위한 위치로 이송시키고, 정렬된 검사패널의 검사를 위해 이송시키며, 검사가 완료된 검사패널을 다른 장치로 이송시킨다.
디스플레이 패널 검사장치(100)로 검사패널이 이송된다. 패널 이송부재(110)와 동일 또는 유사한 부재에 의해 검사패널이 이송될 수도 있고, 별도의 부재에 의해 검사패널이 흡착되어 디스플레이 패널 검사장치(100)로 이송될 수도 있다. 패널 이송부재(110)는 이처럼 다양한 방법으로 이송되는 검사패널을 정렬을 위한 위치로 이송한다. 검사패널이 패널 검사부재(130)에 의해 정확히 검사가 되기 위해서는, 검사를 위한 정위치에 위치하여야 한다. 그러나 검사패널은 디스플레이 패널 검사장치(110)로 이송되는 과정에서 정위치로부터 x축 또는 y축으로 벗어나거나, 정방향으로부터 θ(세타)축으로 회전하는 경우가 발생한다. 이처럼 정위치 또는 정방향으로부터 틀어진 검사패널이 패널 정렬부재(120)에 의해 정위치 또는 정방향으로 정렬될 수 있도록, 패널 이송부재(110)는 검사패널을 정렬을 위한 위치로 이송한다.
패널 이송부재(110)는 패널 정렬부재(120)에 의해 정렬이 완료된 검사패널을 패널 검사부재(130) 방향으로 이송한다. 정렬이 완료된 검사패널이 패널 검사부재(130)에 의해 결함의 존부에 대한 검사를 받을 수 있도록, 패널 이송부재(110)는 검사패널을 패널 검사부재(130) 방향으로 이송한다.
패널 이송부재(110)는 패널 검사부재(130)에 의해 검사가 완료된 검사패널을 다른 장치로 이송한다. 검사가 완료된 검사패널은 보다 상세한 검사를 위해 별도의 검사장치(예를 들어, 리뷰 검사장치)나 결함을 리페어하기 위한 리페어 장치 등으로 이송될 필요가 있다. 패널 이송부재(110)는 이처럼 검사가 완료된 검사패널을 다른 장치로 이송한다.
디스플레이 패널 검사장치(100)의 전체 크기를 줄이며 이송거리의 단축 및 정렬의 편의성 향상을 위해, 패널 이송부재(110)는 패널 정렬부재(120) 내 검사패널의 정렬을 위한 유닛들(도 6을 참조하여 후술할 패널 흡착유닛) 간에 형성된 간격 내에 배치된다. 또한, 패널 이송부재(110)는 패널 정렬부재(120) 내 해당 유닛들 간의 간격 내에 배치되면서도 검사 패널의 이송시 패널 정렬부재와 충돌을 방지하기 위해 패널 정렬부재(120)에 안착될 검사패널보다 상부까지 승강하거나, 패널 정렬부재(120)의 정렬 과정에서 패널 정렬부재(120)와 물리적으로 충돌하는 것을 방지하기 위해 패널 정렬부재(120)에 안착될 검사패널보다 하부까지 하강할 수 있다. 패널 이송부재(110)의 구조에 대한 상세한 설명은 도 2를 참조하여 후술하기로 한다.
패널 정렬부재(120)는 이송되는 디스플레이 패널 원판 또는 분판을 정위치 및 정방향으로 정렬시킨다.
패널 정렬부재(120)는 패널 이송부재(110)에 의해 정렬을 위한 위치에 배치된 검사패널을 정위치 및 정방향으로 정렬시킨다. 전술한 대로, 검사 패널은 이송과정에서 x축, y축 뿐만 아니라 θ축도 벗어나는 상황이 발생한다. 특히, 검사패널이 정방향으로부터 θ축으로 벗어나는 상황은 최초부터 검사패널이 해당 각도만큼 벗어난 경우가 존재하며, x축 또는 y축 정렬과정이나 정렬을 거친 후 발생하는 미세한 오차에 의한 경우도 존재한다. 대부분의 θ축 오차는 0.01˚ 내지 1˚의 범위에서 발생한다. 해당 범위를 벗어나는 오차는 x축 또는 y축 정렬과정을 거치며 주로 해소가 되나, 이러한 미세한 오차는 x축 또는 y축 정렬과정으로도 해소되기 어렵다. 이에 따라, 패널 정렬부재(120)는 검사패널의 θ축 정렬을 수행하여, 이러한 미세한 θ축 오차도 함께 해소한다.
패널 정렬부재(120)는 이송되는 디스플레이 패널 원판 또는 분판 어떠한 것이라도 별도의 구성의 변화 없이 정렬할 수 있다. 패널 정렬부재(120)는 검사패널의 θ축 정렬을 위한 구성(도 3을 참조하여 후술할 흡착 테이블)을 복수 개 포함하여, 디스플레이 패널의 원판 또는 분판 어떠한 것이 이송되더라도 이를 정렬할 수 있다. 패널 정렬부재(120)는 하나의 디스플레이 패널의 원판을 정렬할 수 있고, 하나 또는 복수의 디스플레이 패널 분판을 동시에 정렬할 수도 있다. 이에 따라, 디스플레이 패널 검사장치(100)는 디스플레이 패널 원판 또는 분판 구분없이 어떠한 패널이라도 정렬하여 검사를 수행할 수 있다. 패널 정렬부재(120)에 대한 상세한 설명은 도 3 내지 8을 참조하여 후술하기로 한다.
패널 검사부재(130)는 정렬된 후 패널 검사부재(130)로 이송되는 검사패널의 이미지를 생성하고 분석하여, 검사패널 내 결함이 존재하는지를 검사한다. 검사패널은 패널 이송부재(110)에 의해 패널 검사부재(130)로 이송되며, 패널 검사부재(130)는 검사패널의 이미지를 생성한다, 패널 검사부재(130)는 생성한 검사패널의 이미지를 분석하여, 검사패널에 결함이 존재하는지를 검사한다. 패널 검사부재(130)는 검사패널에 대한 결함 검사결과를 디스플레이 패널 검사장치(100)와 연계된 후단의 다른 장치로 전달함으로써, 이에 대해 상세한 검사를 수행하도록 하거나 결함을 리페어할 수 있도록 한다.
프레임(140)은 각 구성요소(110 내지 130)를 지지한다.
제어부(미도시)는 각 구성요소(110 내지 130)의 동작을 제어하여 검사패널을 정렬을 위한 위치로 이송하여 정위치 및 정방향으로 정렬시키고, 정렬 후 결함에 대한 검사를 수행할 수 있도록 한다.
제어부(미도시)는 디스플레이 패널 검사장치(100)와 연계된 전단의 장치로부터 디스플레이 패널 검사장치(100)로 이송될 검사패널에 대한 정보를, 디스플레이 패널 검사장치(100)와 연계된 후단의 장치로부터 패널 처리정보를 수신한다. 제어부(미도시)는 전단의 장치로부터 디스플레이 패널 검사장치(100)로 이송될 검사패널의 식별자, 크기 또는 종류와 같은 검사패널 자체의 정보와 함께, 검사패널이 디스플레이 패널 원판인지 또는 분판인지에 관한 정보도 수신한다. 이로써, 제어부(미도시)는 이송될 검사패널이 원판인지 또는 분판인지를 확인할 수 있다. 또한, 제어부(미도시)는 후단의 장치로부터 검사 패널을 어느 위치에서 처리할지 또는 어떤 식으로 처리할지 등 검사 패널의 처리정보를 수신한다. 이송되어 오는 검사패널이 분판인 경우, 제어부(미도시)는 패널 검사부재(120) 내 복수의 검사패널의 θ축 정렬을 위한 구성 중 어느 구성에 배치시킬지에 대해 결정을 하여야 한다. 제어부(미도시)는 수신한 검사 패널 처리정보로부터 후단의 장치에서 검사 패널을 어느 위치에서 처리할 지에 대한 정보를 고려하여, (분판인) 검사 패널을 해당 위치와 대응되는 위치에 있는 복수의 검사패널의 θ축 정렬을 위한 구성에 배치시킨다. 제어부(미도시)는 전단의 장치와 후단의 장치로부터 수신한 정보를 토대로, 어떠한 검사패널이 이송되며 어디에 배치하여 해당 검사패널을 정렬할지를 결정한다.
제어부(미도시)는 결정된 패널 정렬부재(θ축 정렬을 위한 구성)의 정렬을 위한 위치로 검사패널을 이송하도록 패널 이송부재(110)를 제어한다. 제어부(미도시)는 패널 이송부재(110)가 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 상부까지 상승하도록 제어하여 검사패널이 이송될 수 있도록 하며, 결정된 패널 검사부재(θ축 정렬을 위한 구성)의 정렬을 위한 위치까지 검사 패널이 이송되도록 패널 이송부재(110)를 제어한다.
제어부(미도시)는 검사 패널을 각 축으로 정렬하도록 패널 정렬부재(120)를 제어한다. 제어부(미도시)는 정렬을 위한 위치로 이송된 검사 패널이 검사를 위한 정위치를 갖도록 패널 정렬부재(120)를 제어할 수 있으며, 검사패널이 검사를 위한 정방향을 갖도록 패널 정렬부재(120)를 제어한다. 이 경우, 패널 정렬부재(120)가 검사 패널이 정방향을 갖도록 θ축 정렬을 수행하는 과정에서 패널 이송부재(110)가 패널 정렬부재(120)와 물리적으로 충돌하지 않도록, 제어부(미도시)는 패널 이송부재(110)를 패널 정렬부재(120)에 안착될 검사패널보다 하부까지 하강시킨 후 패널 정렬부재(120)를 제어한다.
패널 정렬부재(120)의 검사 패널 정렬이 완료된 경우, 제어부(미도시)는 검사패널을 패널 검사부재(130)의 방향으로 이송하여 검사를 수행하고, 검사가 완료된 검사패널을 후단의 장치로 이송하도록 각 구성을 제어한다. 패널 정렬부재(120)의 검사 패널 정렬이 완료된 경우, 제어부(미도시)는 검사 패널의 이송을 위해 패널 이송부재(110)를 다시 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 상부까지 상승시킨다. 제어부(미도시)는 패널 이송부재(120)를 제어하여 검사 패널을 패널 검사부재(130)의 방향으로 이송하며, 패널 검사부재(130)를 제어하여 검사 패널의 결함을 검사한다. 이후, 제어부(미도시)는 패널 이송부재(120)를 제어하여 검사된 검사패널을 후단의 장치로 이송하며, 검사결과를 후단의 장치로 전송한다.
디스플레이 패널 검사장치(100)는 검사 패널이 어떠한 패널이 이송되더라도 검사를 위한 정위치 및 정방향으로 정렬할 수 있어, 검사 패널을 온전히 검사할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송부재(110)는 이송유닛 승하강부(210), 제1 이송유닛(220), 제2 이송유닛(230) 및 모터(240)를 포함한다.
이송유닛 승하강부(210)는 제어부(미도시)의 제어에 따라, 패널 이송부재(110)를 상승시키거나 하강시킨다. 전술한 대로, 검사 패널을 이송하고자 하는 경우나 검사 패널을 정위치 또는 정방향으로 정렬시키는 경우에 있어, 패널 이송부재(110)가 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 상부까지 상승하거나 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 하부까지 하강할 필요가 있다. 이송유닛 승하강부(210)는 제어부(미도시)의 제어에 따라, 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 상부까지 패널 이송부재(110)를 상승시키고, 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 하부까지 패널 이송부재(110)를 하강시킨다.
제1 이송유닛(220)은 이송되는 검사패널을 이송방향으로 이송시키거나, 정지한 검사패널을 지지한다. 검사 패널의 폭이 제2 이송유닛(230)의 폭보다 커 검사 패널의 양 끝단이 쳐지거나 쳐지며 패널 정렬부재(120)와 물리적으로 충돌하는 것을 방지하기 위해, 제1 이송유닛(220)은 검사 패널의 폭방향으로 양 끝단에 배치되어 검사패널을 지지한다. 제1 이송유닛(220)은 모터(240)로부터 동력을 제공받거나 제어부(미도시)에 의해 제어를 받는 구성은 아니며, 제1 이송유닛(220)은 회동할 수 있는 구성(예를 들어, 바퀴 등)으로 구현되어 특정 방향으로 이송되는 검사패널이 지속적으로 해당 방향으로 이송될 수 있도록 하거나, 정지한 검사패널이 제1 이송유닛(220) 상에서 지지될 수 있도록 한다.
제2 이송유닛(230)은 기 설정된 간격마다 배치되어, 모터(240)로부터 동력을 제공받아 검사 패널을 이송시키거나 정지시킨다.
제2 이송유닛(230)은 기 설정된 간격마다 배치된다. 여기서, 기 설정된 간격은 패널 검사부재(120)의 검사패널의 정렬을 위한 유닛들(도 6을 참조하여 후술할 패널 흡착유닛) 간에 형성된 간격과 동일한 간격을 갖는다. 또한, 전술한 대로, 이송유닛 승하강부(210)에 의해 패널 이송유닛(110) 전체가 승강하기 때문에, 제2 이송유닛(230)은 패널 검사부재(120)의 해당 유닛들과 물리적으로 충돌하지 않도록 해당 유닛들이 형성하는 간격 사이에 배치된다.
제2 이송유닛(230)은 모터(240)로부터 동력을 제공받아 검사 패널을 이송시키거나 정지시킨다. 이때, 모든 제2 이송유닛(230)들이 동일한 모터(240)로부터 동력을 제공받아 일시에 동작하는 것이 아니라, 도 2(b)에 도시된 바와 같이, 특정 영역마다 서로 다른 모터(240)로부터 각각 동력을 제공받아 별도로 동작한다. 예를 들어, 제2 이송유닛(230b, 230f)는 모터(240b, 240f)로부터 각각 동력을 받아 우측방향으로 검사패널을 이송할 수 있으며, 나머지 제2 이송유닛(230a, 230c 내지 230e 및 230h)들은 정지하고 있을 수 있다. 이처럼 제2 이송유닛(230)이 영역별로 구분되어 동작함으로써, 제2 이송유닛(230)의 구동 중 발생하는 백래시(Backlash)를 제2 이송유닛 전체가 일시에 동작할 때 보다 감소시킬 수 있다. 또한, 디스플레이 패널 검사장치(100)로 유입되는 디스플레이 패널이 복수의 분판인 경우, 정렬을 위한 위치가 상이해지며 패널 검사부재(120) 내 복수의 검사패널의 θ축 정렬을 위한 구성 중 어느 구성에 배치될 것인지도 상이해질 수 있다. 제2 이송유닛(230)은 영역 별로 구분하여 동작할 수 있기 때문에, 각 영역마다 제2 이송유닛들을 분리하여 동작시키거나 정지시킴으로써, 각 분판들을 적절한 위치까지 이송할 수 있다.
모터(240a 내지 240h)는 제어부(미도시)의 제어에 따라 제2 이송유닛(230a 내지 230h)에 각각 동력을 제공한다. 제2 이송유닛(230a 내지 230h)의 구분된 영역과 동일한 개수의 모터(240a 내지 240h)가 패널 이송부재(110)에 포함됨으로써, 모터(240a 내지 240h)는 제어부(미도시)의 제어에 따라 제2 이송유닛(230a 내지 230h)의 구분된 영역 각각에 동력을 따로따로 제공할 수 있다. 각 모터(240a 내지 240h)가 각 제2 이송유닛(230a 내지 230h)으로 동력을 제공하는 방법은 이하에서 도 9 및 10을 참조하여 설명하기로 한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 이송부재 내 이송유닛으로 동력이 전달되는 모습을 도시한 도면이다. 도 9에는 편의상 패널 이송부재의 일부만이 도시되어 있으나, 도 9에 도시된 특징이 패널 이송부재 내 해당 영역에만 한정되는 것은 아니고, 나머지 영역도 이와 대응되도록 동작한다.
도 9를 참조하면, 각 모터(240a 및 240b)는 구동축(910, 920)을 이용해 각 제2 이송유닛(230a 및 230b)으로 동력을 전달한다. 모터(240b)는 제2 이송유닛(230b)에만 동력을 전달하기 때문에, 모터(240b)와 연결된 구동축(910)은 제2 이송유닛(230b)까지만 형성된다. 반면, 모터(240a)는 제2 이송유닛(230a)까지 동력을 전달하여야 하기 때문에, 모터(240a)와 연결된 구동축(920)은 제2 이송유닛(230b)과 제2 이송유닛(230a) 모두에 형성된다. 구동축(910)은 제2 이송유닛(230b)까지만 형성되고, 구동축(920)은 제2 이송유닛(230b)과 제2 이송유닛(230a) 모두에 형성되기 때문에, 구조적으로 구동축(910)은 제2 이송유닛(230a, 및 230b)에 보다 가까운 위치에 형성되고, 구동축(920)은 상대적으로 구동축(910)보다 제2 이송유닛(230a, 및 230b)로부터 먼 위치에 형성된다.
제2 이송유닛(230b)과 제2 이송유닛(230a)이 접하는 부근(A)은 도 10에 확대하여 도시하였다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송유닛의 확대도이다.
각 구동축(910, 920)은 구동 기어(1020)를 포함하며, 각 모터에서 발생하여 구동축으로 전달되는 동력은 구동 기어(1020)를 회전시킨다. 구동 기어(1020)는 회전하며 각 이송유닛들의 일 부분에 형성된 기어(1010)를 회전시키고, 기어(1010)의 회전에 따라 각 이송유닛들은 회전하게 된다. 기어(1010)와 구동기어(1020)는 서로 접촉하지 않더라도 일측이 타측을 회전시킬 수 있도록 각각 마그넷 기어(Magnet Gear)로 구현될 수도 있고, 각 기어에 톱니가 형성되어 서로 접촉함으로써 일측이 타측을 회전시킬 수도 있다. 구동축(910)에 의해 회전할 제2 이송유닛(230b) 내 기어(1010)는 구동축(910)의 위치와 대응되도록 이송유닛에 보다 가까운 위치에 형성되어 있으며, 구동축(920)에 의해 회전할 제2 이송유닛(230a) 내 기어(1010)는 구동축(920)의 위치와 대응되도록 상대적으로 먼 위치에 형성되어 있다.
이처럼, 제2 이송유닛이 형성될 경우, 다음과 같은 장점을 갖는다. 전술한 대로, 백래시가 최소화되고, 영역 별로 구분하여 동작을 제어할 수 있는 장점 외에도 다음의 장점을 추가로 갖는다. 종래의 이송 유닛은 제2 이송유닛(230)들처럼 영역마다 구분되어 동작하는 것이 아니라 전체가 하나로 동작하였다. 이에 따라, 종래의 디스플레이 패널 검사장치는 중앙에 위치한 이송 유닛에게도 동력이 제대로 전달되며 제대로 동작하고 있는지 확인하기 위해, 이송 유닛의 각 부분마다 센서를 포함하였다. 이러한 센서가 이송 유닛 내 배치되기 위해서는, 이송 유닛 내 센서가 배치될 부분에 절단면이나 홈이 형성되어야만 한다. 그러나 이와 같이 이송 유닛 내 형성되는 절단면이나 홈은 이송 유닛이 긴장을 유지하지 못하도록 하여 이송 유닛, 특히, 절단면 또는 홈이 형성된 부근이나 중앙부분이 하부로 쳐지는 문제를 유발한다. 반면, 제2 이송유닛(230)들은 영역이 구분되어 각각 제어를 받으며 동작하기 때문에, 이처럼 쳐지는 문제가 발생하지 않는 장점을 갖는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬부재(120)는 패널 회전부재(310), 제1 흡착 테이블(320) 및 제2 흡착 테이블(330)을 포함한다. 도 3에는 도시되지 않았으나, 패널 정렬부재(120)는 검사패널을 x축 및 y축으로 정렬시켜 검사를 위한 정위치로 위치시키기 위한 구성을 추가로 포함할 수 있다.
패널 회전부재(310)는 제어부(미도시)의 제어에 따라, 제1 흡착 테이블(320)을 회전시킨다. 패널 회전부재(310)는 자신의 상단에 배치되는 제1 흡착 테이블(320)에 외력을 가하여, 제1 흡착 테이블(320)이 회전할 수 있도록 한다. 패널 회전 부재(310)의 구체적인 구조는 이하에서 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 회전부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 회전부재(310)는 제1 가이드레일(410), 흡착공(420), 제1 회전 구동부(430) 및 회전 구동부 안착홈(440)을 포함한다.
제1 가이드레일(410)은 패널 회전부재(310)의 바닥부에 형성되어, 패널 회전부재(310) 내 바닥부에 안착되는 제1 흡착 테이블(320)이 회전할 수 있도록 한다. 제1 가이드레일(410)은 바닥부에서 연직상방으로 돌출된 구성으로서, 곡선의 형태로 형성된다. 바닥부의 상단에 배치되는 제1 흡착 테이블(320)이 제1 회전 구동부(430)에 의해 외력을 받을 경우, 제1 가이드레일(410)을 따라 곡선의 형태로 회전할 수 있도록 한다.
제1 가이드레일(410) 상에는 제1 가이드레일(410)으로부터 연직 상방으로 추가적으로 돌출된 돌출부(415)가 위치한다. 돌출부(415)는 바닥부에 안착되는 제1 흡착 테이블(320)과 결합되어 제1 가이드레일(410)과 제1 흡착 테이블(320)의 결합력을 향상시킨다.
흡착공(420)는 바닥부에 형성된 복수의 구멍으로서, 배치되는 제1 흡착 테이블(320)로 흡입력을 전달한다. 흡착공(420)은 바닥부에 형성되어, 디스플레이 패널 검사장치(100) 내 포함된 흡입부재(미도시)로부터 검사패널을 흡착하기 위해 발생한 흡입력을 바닥부 상단에 배치될 제1 흡착 테이블(320)로 전달한다. 흡착공(420)은 패널 회전부재(310)에 배치되는 제1 흡착 테이블의 구조에 대응되도록 바닥부에 형성되어, 흡입력을 제1 흡착 테이블에 온전히 전달한다.
제1 회전 구동부(430)는 바닥부의 일측에 위치하여, 바닥부 상단에 안착되는 제1 흡착 테이블(320)을 회전시킨다. 제1 회전 구동부(430)는 제1 흡착 테이블(320)에 일방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하여, 제1 흡착 테이블(320)이 제1 가이드레일(410)을 따라 회전할 수 있도록 한다. 제1 회전 구동부(430)가 제1 흡착 테이블(320)로 가하는 힘은 제어부(미도시)의 제어에 따라 제1 흡착 테이블(320)을 회전시킬 정도에 따라 결정된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 회전 구동부(430)는 제1 흡착 테이블(320)로 힘을 가할 구동유닛(510, 520)을 포함한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 구동부의 구성을 도시한 도면이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 제1 회전 구동부(430)는 제1 구동유닛(510)과 제2 구동유닛(520)을 포함한다. 각 구동유닛(510, 520)은 모터(미도시)에 의해 x축 및 y축으로 이동하며, 바닥부 상단에 안착되는 제1 흡착 테이블(320에 x축 및 y축으로 각각 힘을 가한다. 제1 회전 구동부(430)는 제1 흡착 테이블(320) 내 제1 회전 구동부가 유입될 홈(미도시)으로 유입되어, 각 구동유닛(510, 520)의 이동으로 제1 회전 구동부에 힘을 가할 수 있다. 다만, 도 5에는 제1 회전 구동부(430)가 제1 구동유닛(510)과 제2 구동유닛(520) 모두를 구비하고 있는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고 어느 하나의 구동유닛만을 구비하고 있어도 무방하다. 다만, 제1 회전 구동부(430)는 각 구동유닛(510, 520)을 모두 구비하고 있음으로서, xy 평면 상으로 보다 세밀하게 제1 흡착 테이블(320)로 힘을 가할 수 있는 이점이 있다.
다시 도 4를 참조하면, 회전 구동부 안착홈(440)은 바닥부 상단에 안착되는 제1 흡착 테이블(320) 내 포함된 회전 구동부가 안착될 수 있도록 한다. 회전 구동부 안착홈(440)은 회전 구동부의 모양으로 바닥부의 일 끝단에 형성되어, 제1 흡착 테이블(320)이 바닥부의 상단에 안착되며 바닥부와 제1 흡착 테이블(320) 내 회전 구동부가 물리적으로 충돌하지 않도록 한다.
다시 도 3을 참조하면, 제1 흡착 테이블(320)은 패널 회전부재(310)의 상단에 배치되어, 검사패널을 흡착하여 검사를 위한 정방향으로 회전시킨다. 제1 흡착 테이블(320)은 패널 이송부재(110)에 의해 정렬을 위한 위치인 제1 흡착 테이블(320)의 상단으로 이송되는 검사패널을 흡착한다. 제1 흡착 테이블(320)은 패널 회전부재(310)의 바닥부 상단에 안착되며, 제어부(미도시)의 제어에 따라 검사패널이 검사를 위한 정방향을 갖도록 패널 회전부재(310)에 의해 회전한다. 제1 흡착 테이블(320)이 패널 회전부재(310)에 의해 회전함으로써, 제1 흡착 테이블(320)에 흡착된 검사패널도 이와 함께 회전하며 정방향으로 위치할 수 있다. 제1 흡착 테이블(320)에 대한 상세한 설명은 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 흡착 테이블의 구성을 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 흡착 테이블(320)은 패널 흡착부(610), 수직 프레임(620), 제2 가이드레일(630) 및 제2 회전 구동부(640)를 포함한다.
패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 제1 흡착 테이블의 상단으로 이송되는 검사패널을 흡착한다. 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 모두 검사패널이 패널 흡착부(610)의 상부에 흡착될 수 있도록 복수의 흡착공(615)을 포함한다. 이때, 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)에 포함되는 흡착공(615)은 제1 흡착 테이블(320)이 패널 회전부재(310)의 바닥부에 안착되며, 바닥부에 형성된 흡착공(420)과 대응되는(마주보는) 위치에 구현된다. 이에 따라, 흡착공(420)으로 전달되는 흡입력이 흡착공(615)을 거쳐 검사패널까지 전달되어, 검사패널이 패널 흡착부(610)에 흡착될 수 있도록 한다. 패널 흡착부(610)는 흡착되는 검사패널이 패널 흡착부(610)에 의해 훼손되지 않도록, 단단하지 않거나 마찰이 최소화된 소재로 구현될 수 있다.
패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 기 설정된 간격마다 배치된다. 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)이 기 설정된 간격마다 배치됨으로써, 해당 간격 사이로 패널 이송부재(110)의 제2 이송유닛(230)들이 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)와 물리적인 충돌없이 승·하강하며 역할을 수행할 수 있도록 한다. 물론, 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)이 배치되는 간격은 바닥부에 형성된 흡착공(420)의 간격과 동일함은 물론이다. 이에 따라, 바닥부에 형성된 모든 흡착공(420)이 모든 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)에 형성된 흡착공(615)으로 흡입력을 전달할 수 있다.
패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 제1 흡착 테이블(320)의 일 면적에만 배치된다. 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 제1 회전 구동부(430)가 형성된 방향의 일 끝단에서 제1 흡착 테이블(320)의 일 면적만큼만 배치된다. 이에 따라, 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적을 추가적으로 이용할 수 있다. 후술할 내용에서 확인할 수 있듯이, 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적 중 일부에 제2 가이드레일(630)이 형성되며, 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적으로 제2 흡착 테이블(330)이 배치된다. 이처럼, 복수(두 개)의 흡착 테이블이 각각 형성됨에 따라, 복수의 검사패널 분판이 패널 정렬장치(120)로 유입되더라도 각각을 흡착하여 정렬할 수 있으며, 하나의 검사패널 원판이 패널 정렬장치(120)로 유입되더라도 흡착하여 정렬할 수 있다.
수직 프레임(620)은 패널 흡착부(610)의 하단에 배치되어, 패널 흡착부(610)와 제1 흡착 테이블(320)의 바닥면과 공간을 형성한다. 수직 프레임(620)은 패널 흡착부(610)와 제1 흡착 테이블(320)의 바닥면을 서로 분리함으로써, 패널 이송부재(110)의 제2 이송유닛(230)이 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 상부까지 상승하거나, 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 하부까지 하강할 수 있도록 한다. 수직 프레임(620)이 패널 흡착부(610)의 하단에 배치되지 않을 경우, 제2 이송유닛(230)의 크기에 따라 제2 이송유닛이 전혀 상승을 하지 않거나 최대한 하강을 하였음에도 패널 정렬부재(120)에 안착된 검사패널보다 상부로 돌출되는 경우가 발생할 수 있다. 이러한 문제를 방지하고자, 수직 프레임(620)은 패널 흡착부(610)의 하단에 배치되어, 패널 흡착부(610)와 제1 흡착 테이블(320)의 바닥면과 공간을 형성한다.
제2 가이드레일(630)은 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적 중 일부에 형성되어, 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적에 안착되는 제2 흡착 테이블(330)이 회전할 수 있도록 한다. 전술한 대로, 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 제1 흡착 테이블(320)의 일 면적에만 형성되어 있다. 이에 따라, 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적에는 별도의 구성(제2 흡착 테이블)이 안착될 수 있다. 제1 흡착 테이블(320)은 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)이 배치되지 않은 나머지 면적에 제2 가이드레일(630)을 포함한다. 제2 가이드레일(630)도 제1 가이드레일(410)과 마찬가지로 제1 흡착 테이블(320)의 바닥부에서 연직 상방으로 돌출된 구성으로, 곡선의 형태로 형성된다. 제2 가이드레일(630)의 상단에 배치되는 제2 흡착 테이블이 외력을 받을 경우, 제2 가이드레일(630)을 따라 곡선의 형태로 회전할 수 있도록 한다. 도 6에는 도시되어 있지 않으나, 제2 가이드레일(630) 상에 제2 흡착 테이블(330)과 제2 가이드레일(630)의 결합력을 향상시키기 위한 제2 돌출부(미도시)가 형성될 수 있다.
제1 흡착 테이블(320)은 제1 회전 구동부(430)가 형성된 방향의 일 끝단에 제1 회전 구동부(430)가 유입될 수 있도록 하는 유입홈(635)을 포함한다. 제1 흡착 테이블(320)은 유입홈(635)으로 제1 회전 구동부(430)가 유입될 수 있도록 하여, 제1 회전 구동부(430)로부터 외력을 받아 회전할 수 있다.
제2 회전 구동부(640)는 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적 내 일 끝단에 위치하여, 제1 흡착 테이블(320)의 나머지 면적에 안착되는 제2 흡착 테이블을 회전시킨다. 제2 회전 구동부(640)는 제1 회전 구동부(430)와 마찬가지로, 하나 이상의 구동유닛을 포함한다. 제2 회전 구동부(640)는 하나 이상의 구동유닛을 이용하여 제2 흡착 테이블로 일방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가함으로써, 제2 흡착 테이블이 제2 가이드레일(630)을 따라 회전할 수 있도록 한다. 제2 회전 구동부(640)가 제2 흡착 테이블로 가하는 힘은 제어부(미도시)의 제어에 따라 제2 흡착 테이블을 회전시킬 정도에 따라 결정된다.
이처럼, 제1 흡착 테이블(320)은 면적을 나누어 패널 흡착부(610)와 제2 흡착 테이블이 배치되며, 제2 흡착 테이블만을 회전시킬 제2 가이드레일(630)과 제2 회전 구동부(640)를 포함함으로써, 다음과 같은 효과를 가져올 수 있다.
검사패널로 원판이 유입되거나 검사패널로 하나의 분판만이 유입되는 경우, 제어부(미도시)는 패널 흡착부(610)와 제2 흡착 테이블 모두에 검사패널이 안착되도록 하며, 제2 회전 구동부(640)의 제어없이 제1 회전 구동부(430)만을 제어하여 제1 흡착 테이블(320) 전체가 회전하도록 함으로써, 검사패널을 회전시켜 세타(θ)축을 검사를 위한 정방향으로 정렬할 수 있다.
반면, 검사패널로 복수의 원판이 유입되는 경우, 제어부(미도시)는 패널 흡착부(610)와 제2 흡착 테이블에 각각 검사패널이 안착되도록 하고, 제1 회전 구동부(430)를 제어하여 제1 흡착 테이블(320)을 회전시켜 패널 흡착부(610)의 세타축을 정렬한다. 한편, 제2 흡착 테이블에 안착된 다른 분판(검사패널)은 패널 흡착부(610)에 안착된 분판과는 정렬방향이 상이할 수 있다. 이에, 제어부(미도시)는 추가적으로 제2 회전 구동부(640)를 제어함으로써, 제2 흡착 테이블에 안착된 다른 분판(검사패널)만을 별도로 정렬할 수 있다.
특히, 제1 흡착 테이블은 검사패널로 원판이 유입될 경우에 정렬의 큰 편의성을 갖는다. 패널 흡착부(610)와 제2 흡착 테이블이 배치된 면적이 구분되어 있음에도 불구하고, 제1 회전 구동부(430)로 제1 흡착 테이블 전체를 회전시킬 수 있기 때문에, 제1 회전 구동부(430)만을 제어하여 검사패널을 정렬시킬 수 있다.
다시 도 3을 참조하면, 제2 흡착 테이블(330)은 제1 흡착 테이블(320)의 상단에 배치되어, 검사패널을 흡착하여 검사를 위한 정방향으로 회전시킨다. 제2 흡착 테이블(330)은패널 이송부재(110)에 의해 정렬을 위한 위치인 제2 흡착 테이블(330)의 상단으로 이송되는 검사패널을 흡착한다. 제2 흡착 테이블(330)은 제1 흡착 테이블(320), 특히, 제1 흡착 테이블의 나머지 면적에 형성된 제2 가이드레일의 상단에 안착되며, 제어부(미도시)의 제어에 따라 검사패널이 검사를 위한 정방향을 갖도록 회전된다. 제2 흡착 테이블(330)이 회전함으로써, 제2 흡착 테이블(330)에 흡착된 검사패널도 이와 함께 회전하며 정방향으로 위치할 수 있다. 제2 흡착 테이블(330)에 대한 상세한 설명은 도 7을 참조하여 설명하기로 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 흡착 테이블의 구성을 도시한 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 흡착 테이블(330)은 패널 흡착부(710) 및 수직 프레임(720)을 포함한다.
패널 흡착부(710) 및 수직 프레임(720)은 제1 흡착 테이블(610)의 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)과 동일한 특성을 갖는다. 패널 흡착부(710) 및 수직 프레임(720)은 제1 흡착 테이블(610)의 흡착공(615)과 동일한 특성을 갖는 흡착공(715)을 포함하며, 기 설정된 간격으로 배치된다.
한편, 제1 흡착 테이블(320) 상에 배치됨에도 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)과 동일한 높이를 갖도록, 패널 흡착부(710) 및 수직 프레임(720)은 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)의 높이보다 제1 흡착 테이블(610)의 바닥부만큼의 높이만큼 낮은 높이를 갖는다. 양자가 동일한 높이를 가져야만, 검사 패널로 원판이 이송될 때 검사패널에 단차가 발생하지 않기 때문이다. 이에 따라, 제2 흡착 테이블(330)이 제1 흡착 테이블(320) 상에 배치되어도, 패널 흡착부(710) 및 수직 프레임(720)과 패널 흡착부(610) 및 수직 프레임(620)은 동일한 높이를 가질 수 있다.
제2 흡착 테이블(330)은 제1 흡착 테이블(320)과 같이, 제2 회전 구동부(640)가 유입될 수 있도록 하는 유입홈(미도시)을 포함하여, 제2 회전 구동부(640)가 유입홈(미도시)에 유입되어 제2 흡착 테이블(330)을 회전시킬 수 있도록 한다.
도 8은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 패널 정렬부재의 구성을 도시한 도면이다.
도 8을 참조하면, 패널 정렬부재(120)는 패널 회전부재(810), 제1 흡착 테이블(820) 및 제2 흡착 테이블(825)을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬부재(120) 내 패널 회전부재(310)와는 달리, 패널 회전부재(810)의 가이드레일 상단에는 제1 흡착 테이블(820)과 제2 흡착 테이블(825)이 각각 배치된다. 또한, 패널 회전부재(810)의 양 끝단에 각각 회전 구동부(814, 818)를 포함하여, 가이드레일 상단에 배치된 제1 흡착 테이블(820)과 제2 흡착 테이블(825) 각각을 회전시킨다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬부재(120) 내 제1 흡착 테이블(320)과는 달리, 제1 흡착 테이블(820)은 나머지 면적에 가이드레일과 회전 구동부의 구비없이 패널 흡착부와 수직 프레임만을 포함한다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 정렬부재(120) 내 제2 흡착 테이블(330)과 동일하거나 유사한 형태의 흡착 테이블(820, 825)이 각각 패널 회전부재(814)에 안착되어, 패널 회전부재 내 각 회전 구동부(814, 818)에 의해 회전한다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따른 패널 정렬부재(120)는 각 흡착 테이블 상으로 이송되는 복수의 분판을 보다 용이하게 정렬할 수 있는 장점을 갖는다.
이상의 설명은 본 실시예의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 실시예가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 실시예들은 본 실시예의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 실시예의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 실시예의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 실시예의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 디스플레이 패널 검사장치
110: 패널 이송부재
120: 패널 정렬부재
130: 패널 검사부재
140: 프레임
210: 이송유닛 승하강부
220: 제1 이송유닛
230: 제2 이송유닛
240: 모터
310, 810: 패널 회전부재
320, 820: 제1 흡착 테이블
330, 830: 제2 흡착 테이블
410, 814: 제1 가이드레일
415: 돌출부
420, 615, 715: 흡착공
430: 제1 회전 구동부
440: 회전 구동부 안착홈
510, 520: 구동유닛
610, 710: 패널 흡착부
620, 720: 수직 프레임
630: 제2 가이드레일
640, 818: 제2 회전 구동부
910, 920: 구동축
1010: 구동 기어
1020: 기어

Claims (8)

  1. 바닥부에 곡선 형태로 배치되는 제1 가이드레일, 바닥부에 형성되어 외부로부터 발생한 흡입력을 바닥부 상단으로 전달하는 복수의 제1 흡착공 및 바닥부의 일측에 위치하여 바닥부 상단에 안착되는 구성을 회전시키는 제1 회전 구동부를 포함하는 패널 회전부재;
    상기 패널 회전부재 상단에 안착되어 상기 제1 회전 구동부에 의해 상기 제1 가이드레일을 따라 회전하며, 일 면적에 형성되어 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 분판을 흡착하는 제1 패널 흡착부, 상기 패널 회전부재에 안착되었을 때 상기 제1 패널 흡착부 상의 상기 제1 흡착공과 대응되는 위치에 구현된 복수의 제2 흡착공, 상기 제1 패널 흡착부가 배치되지 않은 나머지 면적에 곡선 형태로 배치되는 제2 가이드레일 및 상기 나머지 면적의 일 끝단에 위치하여 상기 나머지 면적에 안착되는 구성을 회전시키는 제2 회전 구동부를 포함하는 제1 흡착 테이블; 및
    상기 제1 흡착 테이블의 나머지 면적 상단에 안착되어 상기 제2 회전 구동부에 의해 상기 제2 가이드 레일을 따라 회전하며, 상단으로 배치되는 디스플레이 패널 원판 또는 상기 제1 흡착테이블의 상단으로 배치되는 분판과 상이한 디스플레이 패널 분판을 흡착하는 제2 패널 흡착부 및 상기 제1 흡착 테이블에 안착되었을 때 상기 제2 패널 흡착부 상의 상기 제1 흡착공과 대응되는 위치에 구현된 복수의 제3 흡착공을 포함하는 제2 흡착 테이블을 포함하며,
    상기 제1 회전 구동부에 의해 상기 제1 흡착 테이블 전체가 회전하거나, 상기 제2 회전 구동부에 의해 상기 제2 흡착 테이블만이 회전하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2 흡착 테이블은,
    상기 패널 흡착부와 기 설정된 거리만큼 떨어져 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 흡착 테이블은,
    내부로 상기 제1 회전 구동부가 유입될 홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 회전 구동부는,
    상기 제1 흡착 테이블의 홈으로 유입되어 상기 제1 흡착 테이블로 일 방향 또는 복수의 방향으로 힘을 가하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사장치.
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