KR102152115B1 - 진공 슬라이드 게이트 밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 영역(11) 외부에 배열되고, 세로 축(8)에 따라 적어도 하나의 밸브 로드(6)의 변위에 의하여, 폐쇄 플레이트(4)가 오픈 위치(0)에서 중간 위치(I)로 변위가능하고, 상기 세로 축(8)에 직각을 가지는 가로 축(9)을 따라 상기 밸브 로드의 변위에 의하여, 상기 중간 위치(I)에서 폐쇄 위치(C)로 변위가능한 방식으로 형성되는 드라이브 유닛을 가지는 진공 슬라이드 게이트 밸브에 대한 것이다. 상기 밸브 로드(6)는 가이드(22) 수단에 의하여, 특히 모션 링크 수단에 의하여, 제1 위치(P0)와 제2 위치(PI) 사이에서 상기 세로 축(8)에 평행하게 가이드되고, 제2 위치(PI)에서 제3위치(PC) 사이에서 상기 가로 축(9)에 평행하게 가이드되는 슬라이딩 파트(14)에 강하게 연결된다. 상기 드라이브 유닛(7)은 상기 세로 축(8)에 평행하게 선형으로 변위가능하고, 경사진 연결, 특히 경사진 표면 가이드(17a) 또는 평행사변형 가이드(17b)를 통하여 상기 슬라이딩 파트에 기계적으로 연결되는데, 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 대하여 경사를 가지는 힘이 상기 슬라이딩 파트(14) 상에 가하여져 상기 슬라이딩 파트(14)를 제1 위치(P0)에서 제2 위치(PI)로, 제2 위치(PI)에서 제 3위치(PC)로 변위되도록 하는 방식으로 연결된다.

Description

진공 슬라이드 게이트 밸브{VACUUM SLIDE GATE VALVE}

본 발명은 청구항 제1항의 전제부에 따른 진공 슬라이드 게이트 밸브에 대한 것이다.

밸브 바디 내에 형성된 개구(opening)를 통과하는, 유로(flow path)의 실질적인 기밀 폐쇄(gas-tight closure)용 진공 밸브는 일반적으로 종래 기술과 상이한 실시예로 알려져 있다. 진공 슬라이드 게이트 밸브는 가능한한 오염 파티클이 존재하지 않는 보호된 대기에서 일어나는, 특히 IC 분야 및 반도체 제조에서 이용된다. 예를 들어, 반도체 웨이퍼 또는 액정 물질(liquid-crystal substrates) 제조 공장에서, 고도로 민감한 반도체 또는 액정 요소는 연속적으로 복수의 공정 챔버를 통과하여 상기 공정 챔버 내에 위치된 반도체 요소가 각 경우 프로세스 장비를 이용하여 처리된다. 상기 공정 챔버 내의 처리 공정 및 상기 공정 챔버로부터 공정 챔버로의 이송 동안, 상기 고도로 민감한 반도체 요소가 반드시 보호된 대기 내에, 특히 진공 내에 항상 위치되도록 하여야만 한다. 상기 공정 챔버들은 예를 들어 연결 경로를 통하여 상호 연결되어 상기 공정 챔버들은 진공 슬라이드 게이트 밸브 수단에 의하여 오픈되어 하나의 공정 챔버에서 그 다음 공정 챔버로 상기 부분을 이송하고 그 이후에 기밀 방식으로 클로즈되어 개별 제조 단계가 실행된다. 이런 방식의 밸브는 또한 상기 설명된 기술 분야에서는 진공 이송 밸브(vacuum transfer valves)로 언급되거나, 또한 직사각형의 개구 단면으로 인하여 직사각형 게이트 밸브(rectangular gate valves)로서 언급된다.

이송 밸브가, 그 중에서도, 고도로 민감한 반도체 요소의 생산에서 사용되고 있기에, 특히 상기 밸브의 작동에 의하여 야기되는 파티클 생성, 및 상기 밸브 챔버의 진공 영역에서의 자유 파티클의 갯수는 가능한한 적게 유지되어야만 한다. 상기 파티클 생성은 우선적으로 예를 들어 금속-금속 접촉 및 마모에 의한 마찰의 결과이다.

예를 들어, 상기 폐쇄 디스크(closure disk)의 폐쇄 측면 상에 배열되는 씰(seal)을 통하고 상기 씰(seal)은 상기 개구(opening) 주위를 이동하는 상기 밸브 시트(valve seat) 상으로 압착되고, 또는 상기 폐쇄 디스크의 상기 폐쇄 측면이 압착되도록 상기 밸브 상의 링 씰(ring seal)을 통하여 상기 실링이 생산될 수 있다. 다양한 실링 장치들이 종래 기술로부터 알려져 있고, 예를 들어 US 6 629 682 B2 (Duelli)에 공지되어 있다. 링 씰을 위한 적절한 물질이 예를 들어 상표명 Viton® 하에 알려진 탄성 실링 물질이 있다.

진공 밸브에서 사용되는 상기 씰에 대한 요구는 매우 높다. 한편으로, 상기 밸브의 상기 폐쇄 상태에서, 상기 밸브의 견고함이 담보되어야만 한다. 이는 상기 밸브 폐쇄 상에 작용하는, 상기 진공 영역의 높은 차동 압력(differential pressures)과 상기 큰 힘의 발생으로 인하여 특히 큰 도전이 된다. 상기 사용된 씰이 상기-평균 높은 수준의 마모(waer)를 당하거나 초과적으로 높은 수준의 힘으로 압력이 가해질 때 파괴되기 때문에, 상기 밸브는 상기 차동 압력 힘이 상기 씰 상에 작용할 수 없거나 또는 제한된 범위로만 오직 작용할 수 있는 방식으로 설계되어야만 한다. 상기 씰은 그 과정 중 가능한한 균일하게 압력이 가해져야만 하고, 이는 상기 전체 접촉 영역 내에서 상기 밸브 시트에 대한 상기 밸브 디스크의 균일한 접촉 압력을 요구한다. 특히, 상기 씰 상의 가로 응력(transverse stresses) 및 세로 응력(longitudinal stresses)이 가능한한 낮게 유지된다. 상기 씰의 세로 응력에 대한 가로 응력의 경우, O-링 씰의 경우 그것의 설치로부터 찢겨질 수 있는, 특히 그것이 고정되는 그루브가 찢겨질 수 있는 위험이 존재한다. 가황처리된 씰(vulcanized seals) 조차도 오직 매우 낮은 가로 힘에 노출될 수 있다. 상기 밸브의 오픈 및 클로즈 상태 모두에서, 상기 씰은 부분적으로 공격적인 매체에 노출되어 상기 영향을 이겨낼 수 있고/있거나 상기 매체의 유로로부터 빠져나와 마모(abrasion)를 회피할 수 있는 방향으로 생산되어야만 한다. 상기 씰의 초과적으로 높은 마모는 상기 공정 신뢰성을 위한 불확실한 요인을 구성하고, 상기 씰의 정규적 교체를 요구하여, 차례로 상기 공정에서 증가된 다운타임을 이끈다.

진공 밸브의 다른 실시예들, 특히 그것의 드라이브 기술(drive technologies)이 종래 기술로부터 알려져 있고, 그 중에서도, 사용된 씰의 사용 기한의 증가 및 개서된 공정 신뢰성을 제공하는 것을 목표로 하고 있다.

개별 드라이브 기술에 따라, 차별화는 특히 슬라이드 게이트 밸브, 또한 게이트 밸브 또는 직사각형 게이트 밸브(rectangular gate valves), 및 셔틀 밸브(shuttle valves)라고 언급되는 밸브들 사이에 존재하고, 여기에서 상기 밸브는 종래 기술에서는 보통 두 단계로 클로즈 및 오프된다. 제1 단계에서, 슬라이드 게이트 밸브의 경우 밸브 폐쇄 멤버(valve closure member), 특히 폐쇄 디스크는 예를 들어 US 6 416 037 (Geiser) 또는 US 6 056 266 (Blecha)에서 특히 L-타입으로 알려진 것처럼, 또는, 셔틀 밸브의 경우 예를 들어 US 6 089 537 (Olmsted)로부터 알려진 것처럼, 상기 폐쇄 디스크 및 상기 밸브 바디의 밸브 시트 사이에서 상기 공정 동안 어떠한 접촉도 없이 상기 개구(opening)에 대하여 피봇 축(pivot axis)으로 회전된다. 제2 단계에서, 상기 폐쇄 디스크는 상기 밸브 바디의 밸브 시트에 대항하여 그것의 폐쇄측면을 통하여 압력이 가하여지고, 상기 개구는 기밀 방식(gas-tight manner)으로 폐쇄된다.

상기 기재된 2 단계 움직임(movement)에서 상기 폐쇄 멤버는 우선 상기 씰과 상기 밸브 시트 사이의 어떠한 접촉없이 상기 개구에 대하여 가로로 슬라이드되고, 상기 폐쇄 멤버는 그때 상기 밸브 시트 상에서 실질적으로 수직으로 압력이 가하여지고, 게다가 특히 상기 용적 유량률(volume flow rate)의 정확한 제어 가능성은 상기 씰의 가로 또는 세로 스트레스 없이 상기 씰은 실질적으로 정확히 수직으로 압력이 가해지는 이점을 가진다. 그러나, 단점은 상대적으로 상기 제어의 복잡한 설계이고, 특히 상기 폐쇄 멤버의 L-형 움직임(movement)을 가능하게 하는, 단일 드라이브에 의하여 형성되거나, 복수의 드라이브, 예를 들어 두 개의 선형 드라이브 또는 하나의 선형 드라이브와 하나의 스프레딩 드라이브(Spreading drives)에 의하여 형성된다. 스프레딩 드라이브는 보통 상기 폐쇄 디스크 바로 뒤에 배열되어 상기 디스크를 상기 밸브 시트에 대항하여 상기 스프레딩 드라이브가 위치하는 샤프트에 대하여 수직 방향으로 변위시키는데, 이러한 스프레딩 드라이브는 다른 것에 상대적으로 움직임(movement)을 수행하는 다수의 기계적 파트가 상기 밸브 내에 배열되고, 상기 밸브의 민감도가 높은 진공 영역 내에 배열되는 단점을 추가적으로 가진다. 한편으로, 이는 설계의 복작성을 증대시키고 다른 한편으로는 공정-손상 마찰 파티클의 생산을 증대시킨다. 상기 다단계 움직임(movement)의 단점은 상기 완전 오픈 및 완전 클로즈 상태 사이의 상기 폐쇄 멤버의 움직임(movement)의 제한된 속도에 있다. 오직 선형으로 변위되어 높은 변위 속도를 가지는 웨지 밸브(Wedge valves)는 그러나 상기 씰의 가로 스트레스로 인하여 상기 진공 영역 내의 프라이머리 씰(primary seal)과 같이 한정된 이용 범위를 가지고 오직 적은 변위 사이클을 가진다.

두 단계에서 발생하는 슬라이드 게이트 밸브의 폐쇄 움직임(movement)은 다른 메카니즘에 의하여 성취될 수 있다. 예를 들어 두 개의 연결 로드(connecting rods) 상에 마운트된 상기 폐쇄 디스크가 상기 연결 로드를 통하여 드라이브 메카니즘에 연결되어, 상기 연결 로드 축에 따른 실질적 선형 움직임(movement)으로 인하여 상기 개구(opening)에 대하여 상기 폐쇄 디스크의 실질적 평행 슬라이딩이 폐쇄가 될 수 있도록 한다. 동일한 드라이브 메카니즘에 의하여, 상기 연결 로드를 피봇시킴으로써, 이때 소정 거리에 위치한 상기 개구의 맞은 편에 위치하고 실질적으로 상기 밸브 시트에 평행하게 위치하는 상기 폐쇄 디스크를 상기 밸브 시트의 방향으로 피봇시키는 것이 가능하고, 상기 밸브 시트에 대항하여 실질적으로 수직하게 상기 폐쇄 디스크를 누르는(press) 것이 가능하다. 두 개의 연결 로드 대신에, 오직 하나의 연결 로드를 사용하는 것 또한 가능하다. 두 개의 연결 로드 이상의 사용 또한 가능하다. 이러한 타입의 드라이브 메카니즘의 다른 타입이 종래 기술로부터 알려져 있고 상기 연결 로드의 조금 다른 변위 경로를 각각 야기할 수 있어 상기 폐쇄 디스크의 조금 다른 변위 경로를 야기할 수 있다. 예를 들어, 상기 밸브 시트 상으로의 상기 폐쇄 디스크의 아치형의 피봇팅 대신에, 상기 폐쇄 디스크의 절대적 선형 움직임이 예를 들어 상기 밸브 시트에 대하여 수직으로 도입될 수 있다. 상기 개구에 대하여 상기 폐쇄 디스크의 실질적 선형 슬라이딩 및 상기 개구 주위를 운동하는 상기 밸브 시트 상의 상기 폐쇄 디스크의 실질적 수직 누름은 예를 들어 다음에 알려져 있다: US 64 431 518 B1, US 5 415 376 A, US 5 641 149 A, US 6 045 117 A, US 5 934 646 A, US 5 755 255 A, US 6 082 706, US 6 095 180 및 US 6 629 682 B2.

움직임의 2 단계 시퀀스는 복수의 분리된 드라이브 메카니즘의 수단에 의하여 획득될 수도 있다. 예를 들어, 상기 연결 로드가 상기 연결 로드 축을 따라 오직 선형으로만 움직일 수 있어, 상기 폐쇄 디스크가 상기 폐쇄 디스크와 상기 밸브 시트 사이의 어떠한 접촉 없이 상기 개구에 대하여 평행하게 슬라이드될 수 있는 슬라이드 게이트 밸브가 US 6 056 266 (Blecha) 및 US 6 561 484 (Nakagawa)에 기재되어 있다. 이 경우, 상기 드라이브 메카니즘은 단일 선형 움직임 드라이브, 예를 들어 실린더 드라이브(cylinder drive)에 의하여 형성될 수 있다. 상기 밸브 시트에 대항하여 상기 폐쇄 디스크의 프레싱은 두 개로 분리된 상기 폐쇄 디스크 내의 또는 상기 폐쇄 디스크 및 상기 연결 로드 사이의 분리 드라이브(separate drive)에 의하여 성취된다. 상기 분리 드라이브는 특히 실린더 드라이브로서 형성되는데, 이것에 의하여, US 6 056 266 (Blecha)에서 개시된 것처럼 상기 폐쇄 디스크의 상기 폐쇄 슬라이드가 상기 밸브 시트에 대항하여 직선으로 수직으로 눌러질 수 있다.

유사한 진공 밸브가 DE 10 2007 030 006 A1에 개시된다. 상기 밸브 로드의 세로 축에 대하여 가로지르는 방향으로 상기 밸브 바디에 대하여 전체로서 평행하게 슬라이드될 수 있는 피스톤-실린더 유닛(piston-cylinder unit)는 그것의 가로 방향으로 상기 밸브 로드를 슬라이드하는데 이용된다. 상기 진공 영역의 외부에 배열되는, 다른 피스톤-실린더 유닛이 상기 평행 슬라이딩 동작을 위하여 사용된다.

DE 10 2008 049 353 A1 (Ehrne, Blecha)에서, 진공 밸브가 설명되어 있는데, 상기 밸브 로드가 상기 진공 영역응로부터 밖으로 가이드되어 상기 진공 영역의 외부에서 세로 드라이브 장치 및 분리 가로 드라이브 장치, 및 또한 베어링 유닛에 모두 연결된다.

WO 2010/034046 A1로부터 알려진 진공 밸브의 경우, 상기 밸브 로드가 우선 그것의 세로 축의 방향으로 슬라이드되어 상기 진공 밸브를 클로즈하고, 상기 밸브 로드는 이때 평행하게 그것의 세로 축에 대하여 가로지르는 방향으로 슬라이드 된다. 이를 위하여, 상기 밸브 로드가 마운트되어 상기 진공 영역 외부에 배열된 베어링 유닛에 의하여 그것의 세로 축의 방향으로 슬라이드될 수 있다. 상기 베어링 유닛은 그것에 가로지르게 상기 밸브 로드와 함께 슬라이드될 수 있다. 이 목적을 위하여, 피스톤-실린더 유닛들이 이 가로 방향으로 작용하도록 사용된다. 다른 예시적인 실시예에서, 상기 피스톤-실린더 유닛은 상기 밸브 로드의 세로 축의 방향으로 작용하고, 여기에서 상기 베어링 유닛의 가로 움직임이 평행 사변형 가이드(parallelogram guide)를 형성하는 링크 수단에 의하여 생성된다.

두 개로 나뉘어진 폐쇄 디스크를 포함하는 슬라이드 게이트 밸브의 다른 실시예는 US 6 561 483 (Nakagawa) 및 US 6 561 484 (Nakagawa et al.)에서 알려져 있다. 제1 디스크 부분은 개구(opening)를 가진다. 제2 디스크 부분은 연장가능한 바디(expandable body) 수단에 의하여 상기 제1 디스크 부분에 연결된다. 액츄에이터(actuator)는 상기 제1 및 제2 디스크 부분 사이에 배열되고, 그러므로 상기 두 디스크 부분은 한 쪽을 향하여, 그리고 다른 한 쪽으로부터 멀어지도록 활발하게 움직일 수 있다. 상기 연장가능한 바디는 벨로우즈(bellows)로서 형성된다. 상기 제1 디스크 부분은 상기 밸브 시트에 대항하여 상기 액츄에이터의 수단에 의하여 눌러질 수 있고, 상기 제2 디스크 부분(특히 상기 밸브 시트 측면 상의 과압력의 경우)은 필요한 경우 상기 밸브 바디의 반대편 상에 지지된다. 드라이브 요소들이 상기 고도로 민감한 진공 영역 내에 위치하기 때문에, 상기 밸브 디스크 상에 직접 배열된 상기 드라이브에 의하여 야기될 수 있는, 마찰 파티클로 인한 가능한 오염원의 위험이 상대적으로 크고, 결과적으로 특정 실링 측정이 수행되어야만 한다. 이런 타입의 실링은 예를 들어 벨로우즈를 구성한다. 상기 폐쇄 디스크에서 드라이브를 가지는 이런 타입의 진공 밸브의 설계는 상대적으로 복잡하고, 특히 이러한 추가적인 씰, 특히 벨로우즈 또는 상기 제2 디스크 부분 및 상기 밸브 시트에 대하여 상기 제1 디스크 부분의 실링을 위한 복수의 링 씰의 사용 요구로 인하여, 유지하는 것이 곤란하고 오염원들에 민감하다.

근본적으로 선형 조정 드라이브, 그것의 연결 로드 축을 따라 선형적으로 변위가능한 연결 로드 및 폐쇄 파트를 구성하는 진공 이송 밸브(vacuum transfer valve)로서 형성되는 슬라이드 게이트 밸브는 US 5 769 952 (Komino)에서 알려져 있다. 상기 폐쇄 파트는 두 개의 브랜치를 통하여 상기 연결 로드에 연결된다. 상기 연결 로드 축을 따라 선형적으로 상기 연결 로드를 상기 클로즈 방향으로 변위시킴으로써, 상기 폐쇄 파트는 상기 밸브 개구(opening)에 대하여 평행하게 슬라이드될 수 있고, 여기에서 상기 밸브 파트는 상기 밸브 시트의 반대편에 위치하여 상기 밸브 시트로부터 떨어져서 상기 개구를 둘러싼다. 상기 두 브랜치들은 각각 상기 연결 로드에 가로로 연장되고 상기 밸브 시트에 평행하게 움직이는 가로 로드 상의 한 쪽 말단에 각각 피봇가능하게 마운트되고, 상기 폐쇄 파트상의 다른 말단에 각각 피봇가능하게 마운트된다. 양 브랜치들은 상기 폐쇄 파트의 측면 및 상기 가로 로드의 측면 상에서 상기 가로 로드 방향에서 서로에 대하여 평행하게 배열되고, 각각은 공통 기하학적 피봇 축을 가진다. 상기 브랜치들은 상기 가로 로드 측면 상의 기하학적 피봇 축이 상기 연결 로드의 선형 변위 방향의 폐쇄 방향에 대하여 상기 폐쇄 파트 측면 상의 피봇 축보다 아래에 위치하여, 상기 폐쇄 플레이트 상에 상기 연결로드의 폐쇄 방향에 반대되게 작용하는 힘이 상기 폐쇄 방향에 대하여 상기 두 피봇 축 사이의 거리를 감소시키게 한다. 가이드 롤러는 상기 폐쇄 파트의 선형 변위 경로의 말단에 배열된다. 상기 폐쇄 파트와 상기 가이드 롤러 사이의 접촉이 존재하면, 상기 폐쇄 파트는 더이상 상기 폐쇄 방향에서 변위될 수 없다. 그러나 상기 선형 변위 드라이브는 여전히 상기 폐쇄 파트 상에 힘을 가하여, 상기 브랜치들이 피봇 아웃되어 상기 선형 변위 방향에 대하여 수직 위치에 접근하여 레버(lever)로서 작용한다. 상기 폐쇄 파트는 상기 밸브 시트를 향하는 방향으로 변위되고 그에 반대되게 눌러진다. 이런 타입의 슬라이드 게이트 밸브의 이점은 상대적으로 단순한 설계의 드라이브인데, 이는 연결 로드가 오직 선형으로 슬라이딩하여야 하기 때문이다. 상기 피봇 축의 배열로 인하여, 상기 밸브 시트에 대하여 상기 폐쇄 파트의 평행한 정렬이 담보되지 않고, 상기 폐쇄 파트는 상기 밸브 시트를 접촉할 때 경사진 방식으로 초기에 앉고 상기 씰 상의 전단력(shear force)이 회피될 수 없고, 균일하게 분포된 접촉 압력이 담보되지 않게 된다. 상기 가이드 롤러 및 피봇 베어링의 사용으로 인하여, 마찰로 인한 파티클의 생성이 방지될 수 없고, 상기 밸브의 진공 영역 내의 파티클로부터의 자유가 담보되지 않게 된다.

추가로, 경사표면 가이드는 종래 기술로부터 알려져 있는데, 이는 상기 폐쇄 경로의 마지막 부분의 밸브 디스크를 상기 밸브 개구를 둘러싸는 밸브 시트에 대항하여 눌러주기 위함이다. 그러한 경사표면 가이드는 예를 들어 WO 2005/064236 A1 및 WO 2009/070824 A1에 설명되어 있다. 이들 경사표면 가이드는 파티클이 생성되고 바람직하지 못한 오염들이 생산되는 상기 밸브의 상기 민감한 진공 영역 내에 배열된다.

폐쇄 디스크 및 선형 드라이브를 가지는 진공 슬라이드 게이트 밸브는 US 2008/0302989 A1 (Seitz)에서 설명된다. 적어도 하나의 피봇 요소는 상기 폐쇄 디스크의 후면 상으로 연장되어 상기 연결 로드의 변위 방향으로 피봇가능하다. 상기 피봇 요소는 평행사변형 방식으로 피봇가능하게 서로 연결되어 상기 연결로드의 변위 방향으로 평행하게 공간을 차지하는 적어도 두 개의 브랜치들에 의하여 형성된다. 체결 요소(engagement element)는 상기 클로징 방향으로 상기 브랜치 요소의 부분이 상기 중간 부분이 도달할 때 상기 클로징 방향에서 더 슬라이드되지 못하도록 하는 방식으로 배열되고, 여기에서 상기 브랜치 요소는 상기 폐쇄 디스크가 상기 밸브 시트에 대항하여 상기 폐쇄 위치로 압력이 가하여지는 방식으로 피봇 아웃된다. 이 실시예는 상기 드라이브 메카니즘의 특히 단순한 설계의 이점을 가지고, 특히 개시된 실시예의 경우 상기 밸브 디스크의 상기 밸브 시트를 향한 선형, 직각의 움직임의 이점을 가지고, 상기 씰은 상기 밸브 시트 상에서 불균일하게 압력이 가해지고 가로 힘으로부터 자유롭게 된다. 추가적인 기계적 요소의 존재 및 상기 밸브의 진공 영역 내의 지지 구조가 몇몇 적용의 경우 단점을 가진다.

가장 최근 종래기술로 고려되는 것으로 진공 밸브가 기재되어 있는, US 2008/0083897 A1 (Chen)에서, 밸브 디스크의 밸브 로드는 벨로우즈(bellows)로 형성된 개구부(aperture)를 통하여 상기 진공 영역으로부터 외부로 가이드되고 상기 진고 영역의 외부에서 무브먼트 바(movement bar)로 연결된다. 상기 무브먼트 바는 L-형태 링크 가이드에서 롤러의 수단으로 마운트되고 상기 밸브 로드의 축 방향에 대하여 기울어지게 배열되어 한 말단이 무브먼트 바로 피봇가능하게 연결되고 다른 말단이 롤러 수단에 의하여 선형으로 슬라이드 가능한 방식으로 가이드되는 피봇 바를 통하여 선형 드라이드로 연결된다. 상기 밸브 디스크를 오픈 위치에서부터 클로징할 때, 상기 롤러 수단에 의하여 선형으로 슬라이드 가능한 방식으로 마운트된 피봇 바의 말단이 상기 밸브 로드의 축 방향에 평행한 액츄에이터에 의하여 슬라이드되고 그러는 동안 상기 무브먼트 바의 롤러가 상기 밸브 로드의 축 방향에 평행하게 연정되어 있는 링크 가이드의 선형 부분으로부터 가로로 연장되어 있는 링크 가이드의 부분까지 통과할 때까지 상기 밸브 로드의 축 방향으로 상기 무브먼트 바를 끌고간다. 상기 피봇 바의 경사진 배열 때문에 상기 피봇 바의 말단의 선형 슬라이딩의 결과로 인하여, 상기 무브먼트 바의 롤러는 링크 가이드의 가로로 연장된 부분으로 슬라이드되는데 상기 부분의 끝에 대하여 충격을 줄 때까지 슬라이드된다. 이 무브먼트 바의 가로 슬라이딩으로 인하여, 상기 밸브 로드는 상기 개구부(aperture)에 가깝게 배열된 기하학적 피봇 축에 대하여 피봇되어, 상기 밸브 디스크는 상기 피봇 동작의 수단에 의하여 상기 밸브 시트에 대항하여 압력이 가하여 진다. 상기 기재된 실시예의 이점은 단지 하나의 선형 드라이브만이 사용되어야만 하고, 상기 키 드라이브 성분은 상기 진공 영역의 외부에서 배열되어, 상기 진공 영역 내에서 공정-손상 파티클의 생성이 낮아진다. 다른 이점은 상기 드라이브 성분의 개선된 내구성이며, 이는 상기 드라이브 영역과 진공 영역이 벨로우즈의 수단에 의하여 기밀 방식(gas-tight manner)으로 분리되었기 때문이다. 그러나 불리한 점은 가로 움직임이 피봇 움직이기 때문에, 상기 밸브 디스크가 선형 가로 움직임 수단에 의하여 상기 밸브 시트에 대하여 수직으로 가압되지 않아서 상기 밸브 디스크와 상기 밸브 시트 사이의 씰의 균일한 가압이 담보되지 않는다. 또 다른 문제는, 상기 밸브 디스크가 로드될 때 상기 밸브 로드의 길이로 인하여 아주 긴 레버 암 때문에, 매우 높은 힘이 상기 피봇 바 및 상기 무브먼트 바 상으로 가하여진다. 상기 레버 암의 비율 및 상기 매우 스트레스 받는 부분의 필수적인 회복력으로 인하여, 상기 밸브 디스크의 상기 밸브 시트에 대한 정확한 가이드 및 정확한 가압이 가능하기 어렵다. 상기 밸브 디스크의 최대 로드-견딤 능력 및 또한 상기 밸브의 최대 압력 차이가 상대적으로 낮다. 비균일-가압 및 가로 움직임으로 인하여, 상기 씰은 증가된 마모가 생긴다.

그러므로 본 발명의 목적은 진공 슬라이드 게이트 밸브, 특히 진공 이송 밸브를 제공하는 것이고, 오직 하나의 액츄에이터의 형태로 상대적으로 단순한 설계의 드라이브로 인하여, 진공 영역에서 낮은 파티클 생성, 상기 밸브 시트에 대하여 상기 씰의 실질적인 직각 및 균일한 가압으로 인한 씰의 낮은 마모, 진공 밸브의 높은 로드-견딤 능력 및 좋은 내구성을 가지는 것이 특징이다.

상기 목적은 독립 청구항의 특징적인 구성의 구현에 의하여 성취된다. 본 발명을 대안으로 또는 유리하게 개발시키는 특징들은 상기 종속 청구항으로부터 추론된다.

유로(flow path)의 기밀 폐쇄를 위한 본 발명에 따른 진공 슬라이드 게이트 밸브는 상기 유로를 위한 개구(opening)를 가지는 밸브 벽(valve wall)을 가지는 밸브 바디(valve body)를 포함한다. 상기 유로는 두 영역들- 특히 어떤 타입, 예를 들어 태양열 또는 다른 응용을 위한 두 코팅 플랜트 사이, 또는 반도체 제조를 위한 공정 챔버와 다른 공정 챔버 또는 외부 세계 사이에서 폐쇄되는 개구 경로를 의미하는 것으로 일반적으로 이해된다. 예를 들어 유로는 상호 연결된 공정 챔버들 사이의 연결 경로로서, 여기에서 상기 공정 챔버들은 진공 밸브 수단에 의하여 오픈되어 상기 반도체 파트를 한 공정 챔버에서 다음 공정 챔버로 이송할 수 있고, 기밀 방식으로 연속적으로 클로즈되어 개별 제조 단계의 실행이 될 수 있다. 이 타입의 밸브들은 또한 상기 기재한 적용 분야로 인하여 진공 이송 밸브로 언급되기도 하고 그들의 일반적인 직사각형의 개구 단면으로 인하여 직사각형 게이트 밸브로도 언급되기도 한다. 물론, 어떤 유로의 실질적 기밀 방식의 폐쇄를 위하여 본 발명에 따른 진공 밸브의 또 다른 응용이 또한 가능하다.

상기 개구는 어떠한 단면, 특히 직사각형, 원형 또는 타원형의 단면을 가질 수 있다. 상기 진공 밸브는 바람직하게 연장된, 특히 실질적으로 직사각형의 개구 단면을 가지는 이송 밸브로서 형성되고, 여기에서 상기 변위 축에 대하여 직각인 상기 개구의 폭은 바람직하게 상기 변위 축에 대하여 평행한 개구의 높이의 적어도 두배, 또는 적어도 세배, 또는 적어도 다섯 배이다. 상기 개구 단면을 다르게 설계하는 것이 역시 가능하고, 예를 들어 원형으로 가능하고, 여기에서 상기 진공 밸브는 예를 들어 펌프 밸브이다. 상기 개구는 상기 유로의 중간에서 상기 개구의 영역 내에서 그것에 평행하게 연장되는 중식축을 가진다. 이 기하학적 개구 축은 상기 개구에 의하여 걸쳐진 표면 상에 수직으로 배열되고 그것은 예를 들어 유로를 따라 연장된다.

특정 실시예에서, 상기 제1 개구에 맞은편에 위치한 제2 개구를 가지는 제2 밸브 벽은 상기 밸브 바디에서 상기 밸브 벽의 맞은편에 배열되고, 여기에서 이들 두 벽들과 개구들 사이의 상기 밸브 바디 내의 영역은 상기 밸브 내부 또는 상기 밸브의 진공 영역을 형성한다.

밸브 시트는 상기 밸브 벽 내의 상기 개구 주위를 움직인다. 상기 밸브 시트는 일반적으로 실링 표면으로서 역할하고 실링 표면으로서 역할하는 다른 표면이 견뎌내는 상기 밸브 벽 내의 부분이 되는 것으로 기능적으로 이해된다. 상기 밸브 시트는 바람직하게 상기 밸브 바디의 내부로 수직으로 향하고 특히 상기 기하학적 개구 축에 의하여 수직으로 통과되는 기하학적 평면에 놓여진다.

상기 개구는 폐쇄 플레이트(closure plate) 수단에 의하여 클로징될 수 있다. 예를 들어 상기 폐쇄 플레이트는 직사각형의 단면과 실질적으로 기밀 방식으로 상기 개구를 클로징하는 폐쇄 측면(closure side)을 가진다. 상기 폐쇄 플레이트의 크기는 상기 개구를 겹치고 상기 폐쇄 플레이트와 상기 밸브 시트 사이의 기밀 접촉을 생기게 함으로써 상기 개구를 폐쇄가능하게 한다. 가능한 실시예에서, 상기 밸브 시트에 대하여 누르는 링 씰(ring seal)이 상기 폐쇄 측면의 경계에 고정된다.

상기 폐쇄 플레이트는 적어도 하나의 밸브 로드에 의하여 수행된다. 다시 말해, 상기 폐쇄 플레이트는 (바람직하게 평행하게 연장되는 둘 이상의 밸브 로드 상의 상기 폐쇄 플레이트의 개선된 안정성을 위하여) 적어도 하나의 밸브 로드 상에 배열된다. 상기 적어도 하나의 밸브 로드는 바람직하게 상기 진공 슬라이드 게이트 밸브의 세로 축에 평행하게 연장된다. 상기 폐쇄 플레이트는 상기 적어도 하나의 밸브 로드 상에 강하게 배열될 수 있고, 특히 분해될 수 있거나 이동될 수 있다. 움직임을 위한 가능성, 특히 피봇 가능한 형태, 예를 들어, 상기 밸브 로드와 폐쇄 플레이트 사이의 볼 및 소켓 조인트(ball-and-socket joint)의 형태가 상기 폐쇄 플레이트의 정렬의 수정 또는 조정에 이점이 될 수 있다.

드라이브 유닛은 적어도 하나의 밸브 로드에 연결된다. 일반적으로 말하면, 이 드라이브 유닛은 세로 폐쇄 방향에서 적어도 하나의 밸브 로드를 실질적으로 기하학적 세로 축을 따라 변위시킴으로써 상기 폐쇄 플레이트가 오픈 위치에서 중간 위치로 그리고 세로 폐쇄 방향에 대항하여 다시 되돌아가도록 변위될 수 있다. 오픈 위치에서, 상기 폐쇄 플레이트는 상기 개구의 돌출 영역(projection region)의 외부에 완전히 또는 부분적으로 위치하기 때문에 상기 개구를 풀어준다. 중간 위치에서, 상기 폐쇄 플레이트는 상기 개구를 덮고 상기 개구의 상기 돌출 영역에 위치하고, 여기에서 상기 폐쇄 측면이 그것으로부터 소정 거리에 있는 밸브 시트의 맞은편에 위치한다. 상기 폐쇄 플레이트는 세로 축을 따라 변위되고, 이는 상기 개구에 가로지르게 되는 것을 말한다. 추가로, 상기 드라이브 유닛은, 일반적으로 말하면, 가로 폐쇄 방향에서 적어도 하나의 밸브 로드를 실질적으로 상기 세로 축에 대해 직각으로 움직이는 기하학적 가로 축을 따라 변위시킴으로써 상기 폐쇄 플레이트가 상기 중간 위치에서 폐쇄 위치로 변위되고 가로 폐쇄 방향에 대항하여 다시 되돌아온다. 폐쇄 위치에서, 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄 측면은 상기 밸브 시트에 대항하여 실질적으로 수직으로 눌러지고, 상기 폐쇄 측면이 실질적으로 기밀 방식으로 상기 개구를 폐쇄한다. 상기 폐쇄 플레이트는 가로 축을 따라 변위되고, 이는 상기 개구에 대하여 특히 직각인 것을 의미한다.

다시 말해, 상기 드라이브 유닛은 상기 폐쇄 플레이트를 가지는 상기 적어도 하나의 밸브 로드는 한편으로 오픈 위치 및 중간 위치 사이에서 상기 기하학적 세로 축을 따라, 다른 한편으로 상기 중간 위치와 상기 폐쇄 위치 사이에서 상기 세로 축에 대하여 직각으로 움직이는 기하학적 가로축을 따라 L-형태 움직임을 수행할 수 있다.

상기 세로 축은 바람직하게 상기 개구 축에 대하여 수직으로 움직이고 상기 개구 축에 의하여 수직으로 통과되는 평면 상에 놓여지고, 여기에서 상기 가로 축은 상기 개구 축에 대하여 평행하게 연장된다.

상기 개구 위치에서 상기 중간 위치로 상기 세로 축을 따라 상기 폐쇄 플레이트를 가지는 적어도 하나의 밸브 로드의 변위 방향은 상기 세로 폐쇄 방향으로서 언급되는 반면, 상기 중간 위치에서 상기 오픈 위치로의 반대 방향 변위는 역전 세로 폐쇄 방향으로서 정의된다. 상기 중간 위치에서 상기 폐쇄 위치로의 변위 방향은 가로 폐쇄 방향으로서 언급되고, 상기 폐쇄 위치에서 상기 중간 위치로의 변위 방향은 역전 가로 폐쇄 방향으로서 언급된다.

상기 밸브 바디는 진공 영역을 가지고, 이 진공 영역의 외부에 드라이브 영역을 가진다. 개구, 밸브 시트, 폐쇄 플레이트 및 적어도 하나의 밸브 로드에 위치한 부분이 상기 진공 영역에 배열된다. 상기 진공 영역은 그러므로 상기 개구를 통하여 흐르거나 상기 폐쇄 플레이트에 대항하여 안으로 견디는 매체를 통하여 흘르거나 들어가는 밸브의 영역이다.

상기 진공 영역과 상기 드라이브 영역은 실질적으로 기밀 방식으로 서로 분리되어 있다. 상기 적어도 하나의 밸브 로드는 상기 진공 영역에서 상기 드라이브 영역으로 상기 밸브 바디 내에서 적어도 하나의 기밀 개구부(gas-tight aperture)를 통하여 통과된다. 상기 개구부는 상기 적어도 하나의 밸브 로드가 상기 오픈 위치 및 상기 중간 위치 사이의 세로 축을 따라 그리고 상기 중간 위치 및 상기 폐쇄 위치 사이의 가로 축을 따라 움직일 수 있는 방식으로 형성된다. 예를 들어 이런 타입의 개구부는 상기 밸브 로드의 축방향(axial) 및 방사방향(radial) 이동가능성이 실링될 수 있는 격막 씰(diaphragm seal), 또는 적어도 하나의 벨로우즈(bellows)에 의하여 형성될 수 있다. 상기 드라이브 유닛 및 적어도 하나의 밸브 로드에 위치한 부분은 상기 드라이브 영역 내에 배열된다. 상기 진공 영역 외부의 드라이브 영역 내의 드라이브 유닛의 배열의 중요한 이점은 상기 드라이브 유닛에 의하여 피할 수 없게 생산되는 마찰 파티클이 상기 민감한 진공 영역에 도달하지 않는 다는 점이다. 상기 진공 영역 내의 파티클의 개수는 그러므로 낮게 유지된다.

적어도 하나의 밸브 로드는 상기 드라이브 유닛의 슬라이딩 파트에 강하게 연결되고, 상기 슬라이딩 파트는 상기 드라이브 영역 내에 배열된다. 다시 말해, 슬라이딩 가능하게 마운트된 슬라이딩 파트가 상기 드라이브 영역, 상기 슬라이딩 파트 상에 고정되는 상기 연결 로드 또는 상기 슬라이딩 파트 상에 고정되는 상기 복수의 밸브 로드들에 배열되어, 상기 슬라이딩 파트의 움직임이 상기 밸브의 정상적인 동작 동안 상기 적어도 하나의 밸브 로드의 대응 움직임을 이끈다.

상기 슬라이딩 파트는 상기 드라이브 영역 내에 배열되고 상기 드라이브 유닛과 관련되는 가이드 수단에 의하여, 상기 제1 위치 및 제2 위치 사이 및 또한 제2 위치 및 제3위치 사이에서 변위가능하다.

적어도 하나의 밸브 로드를 통하여 상기 폐쇄 플레이트에 연결되는 상기 슬라이딩 파트의 제1 위치에서, 상기 폐쇄 플레이트는 오픈 위치에서 위치하고, 반면, 상기 슬라이딩 파트의 제2 위치에서, 상기 폐쇄 플레이트는 중간 위치에서 위치한다. 상기 슬라이딩 파트의 제3위치에서, 상기 폐쇄 플레이트는 폐쇄 위치에서 위치한다.

상기 제1 위치 및 제2 위치 사이에서, 상기 슬라이딩 파트는, 상기 가이드 수단에 의하여, 상기 세로 축에 평행하게, 상기 세로 축을 따라 슬라이딩 가능하게 피봇 가능하지 않게 가이드된다. 다시 말해, 상기 슬라이딩 파트는, 상기 가이드 수단에 의하여, 상기 제1 및 제2 위치 사이에서 상기 세로 축에 평행한 오직 직선 자유도(translatory degree of freedom)가 있는 방식으로, 제1 및 제2 위치 사이에서 선형으로 강제로 가이드된다. 이 직선 자유도는 그러나 제2 위치의 경우에 세로 페쇄 방향에서 제한되는데, 이는 가이드가 상기 세로 폐쇄 방향에서 상기 슬라이딩 파트의 슬라이딩이 제2 위치가 도달할 때 차단되는 방식으로 상기 가이드가 형성되기 때문이다.

상기 폐쇄 플레이트가 상기 폐쇄 위치에 위치하는 제2 위치 및 제3 위치 사이에서, 상기 슬라이딩 파트는, 상기 가이드 수단에 의하여, 상기 가로 축에 평행하게, 상기 가로 축을 따라 슬라이딩 가능하게, 피봇 가능하지 않게 가이드된다. 다시 말해, 상기 슬라이딩 파트는, 상기 가이드 수단에 의하여, 상기 가로축에 평행하게, 상기 제2 및 제3 위치 사이에 오직 직선 자유도가 있는 방식으로, 제2 및 제3 위치 사이에서 선형으로 강하게 가이드된다.

다시 말해, 상기 가이드는 상기 세로 축 및 상기 가로 축을 따라 상기 슬라이딩 파트의 L-형태 선형 가이드를 야기한다. 그러한 가이드의 특정 실시예는 본 발명의 다른 측면에 의하여 기록된다.

상기 드라이브 유닛은 상기 세로 축에 평행하게 선형으로 변위가능한 변위 멤버(displacement member)를 가지는 선형 액츄에이터(linear actuator)를 가진다. 그러한 선형 액츄에이터는, 다시 말해 선형 드라이브는, 적어도 하나의 기계적 드라이브, 스핀들 드라이브(spindle drive), 롤러 나사 드라이브(roller screw drive), 볼 나사 드라이브(ball screw drive), 시저 드라이브(scissor drive)와 같이 형성될 수 있고, 또한 전기 기계적 선형 드라이브 또는 다른 적절한 드라이브와 같이 형성될 수 있다. 다양한 선형 액츄에이터가 종래 기술로 알려져 있다. 스핀들 드라이브의 경우, 상기 변위 멤버는 특히 스핀들 너트(spindle nut)를 포함할 수 있다.

상기 변위 멤버는 경사진 연결(inclined connection)을 통하여 상기 슬라이딩 파트에 기계적으로 연결된다. 상기 경사진 연결은 상기 세로 폐쇄 방향에서 선형적으로 변위될 때 상기 변위 멤버가 상기 세로 폐쇄 방향에 대하여 세로 폐쇄 방향 및 가로 폐쇄 방향에서 힘 성분을 가지는 슬라이딩 파트 상으로 경사를 가지는 방향으로 힘을 가하는 방식으로 형성되어, L-형태 방식으로 강하게 가이드된 상기 슬라이딩 파트는 상기 제1위치에서 제2위치로, 그리고 제2 위치에서 제3위치로 변위될 수 있다. 상기 경사진 연결은 그러므로 상기 제2 위치에서 상기 세로 폐쇄 방향에서 봉쇄된 상기 슬라이딩 파트를 가지는 상기 세로 폐쇄 방향에서 상기 변위 멤버의 선형 변위의 수단에 의하여, 상기 슬라이딩 파트가 상기 가로 폐쇄 방향에서 제3 위치로 슬라이딩되는 방식으로 형성된다.

본 발명의 개발에서, 상기 기재된 가이드는 링크 가이드를 가진다. 상기 링크 가이드는 특히 피봇 베어링 수단에 의하여 기하학적 슬라이딩 파트 축에 대하여 피봇 가능하게 상기 슬라이딩 파트에 연결되는 가이드 파트를 가진다. 상기 기하학적 슬라이딩 파트 축은 상기 세로 축에 직각으로 움직이고 상기 가로축이 기하학적 정상을 형성하는 평면에 놓여진다. 상기 기하학적 슬라이딩 파트 축은 또한 상기 세로 축이 기하학적 정상을 형성하는 기하학적 평면에 놓여진다. 추가로, 상기 링크 가이드는 상기 가이드 파트의 제1 가이드 멤버가 가이드되는 제1 가이드 경로와, 상기 가이드 파트의 제2 가이드 멤버가 가이드되는 제2 가이드 경로를 가진다. 특히 상기 가이드 파트는 상기 세로 축을 따라 적어도 일부분이 연장된다. 상기 가이드 파트는 추가적으로 상기 가이드 파트의 각 가이드 멤버가 가이드되는 상기 제1 가이드 경로 및 제2 가이드 경로 사이에서 연장된다. 상기 가이드 멤버들은 상기 세로 폐쇄 방향에서 서로에 대하여 오프셋된다.

제1 및 제2 가이드 경로는 또한 복수의 가이드 경로들에 의하여 각각 형성될 수 있는데, 특히 서로 반대되도록 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 두 가이드 경로 각각은 두 개의 상호 반대 가이드 경로를 구성하고, 특히 슬롯(slots) 으로부터 형성되어, 두 개의 평행 표면에서 형성되고, 서로 반대로 배열되어 그 사이에서 상기 가이드 파트 및 상기 슬라이딩 파트가 상기 슬라이딩 파트 축에 대하여 평행하게 연장되고, 여기에서 상기 슬라이딩 파트 축은 특히 이들 평행 표면에 대하여 기하학적 정상을 형성한다. 상기 가이드 멤버들은 예를 들어 가이드 경로, 특히 슬롯에서 굴러가는 롤러들(rollers)에 의하여 형성된다. 상기 가이드 경로들은 상기 슬라이딩 파트의 슬라이딩 파트 축이 상기 세로 축에 평행하게 제1 위치에서 제2 위치로 가이드되고, 상기 가로 축에 평행하게 상기 제2 위치에서 상기 제3위치로 가이드되는 방식으로 움직인다. 두 개의 가이드 경로들의 코스의 다양한 조합이 상기 기하학적 슬라이딩 파트 축의 L-형태로 강요된 가이드를 야기한다.

상기 가이드 경로들의 특히 단순하고 이로운 코스가 하기에서 설명될 것이다. 제1 가이드 경로, 특히 상호 반대되는 제1 가이드 경로 쌍은, 상기 세로 축에 평행하게 선형으로 움직인다. 특히 제1 가이드 경로는 직선으로 움직이는 슬롯에 의하여 형성된다. 제2 가이드 경로, 특히 제2 가이드 경로 쌍은 직선으로 움직이는 가이드 경로 부분과, 특히 대응하는 슬롯들로 형성된 것인 구부러진 가이드 경로 부분으로 구성된다. 상기 직선 가이드 경로 부분, 특히 직선 가이드 경로 부분 쌍은 제1 가이드 경로의 선형 연장에 대응하는 선형 연장을 가지는 세로 축에 평행하게 선형으로 움직인다. 다시 말해, 상기 직선 가이드 경로 부분은 제1 가이드 경로 만큼이나 길다. 상기 구부러진 가이드 경로 부분은 실질적으로 상기 가로 폐쇄 방향으로 또는 그 반대로 연장된다.

상기 구부러진 가이드 경로 부분은 선형 아크(circular arc)에 의하여 형성될 수 있고, 상기 선형 아크는, 예를 들어 특히 직각에서 상기 직선 가이드 부분을 교차하고, 상기 기하학적 중앙점이 상기 슬라이딩 파트 축에 평행한 기하학적 축 상에 놓여지고 특히 상기 슬라이딩 파트의 제2 위치에서 제1 가이드 멤버를 통하여 움직인다. 이 경우, 제2 위치에서 제3 위치로 변위될 때, 상기 슬라이딩 파트는 상기 제1 가이드 멤버의 기하학적 축을 중심으로 피봇한다. 상기 제2 위치에서 제3 위치로의 변위, 그것에 의하여 상기 중간 위치에서 상기 폐쇄 위치로 상기 폐쇄 플레이트의 변위는 상기 가로 폐쇄 방향에서의 변위를 야기할 뿐만 아니라 상기 세로 폐쇄 방향으로 또는 반대 방향으로 직선 변위를 야기한다. 이러한 효과는 상기 기하학적 중앙점을 이동시킴으로써 생성될 수 있으며, 상대적인 크기에 따라 어느 정도 낮아져서 준선형 가로 움직임이 추정될 수 있다.

그러나 상기 가이드 부분의 기하학을 선택하는 것이, 제2 및 제3 위치 사이의 변위에 대하여, 직선으로 기하학적 선형 움직임이 실질적으로 상기 세로 축에 직각으로 상기 밸브 시트를 향하여 수직으로 발생하는 방식으로 가능하다. 이는 특히 상기 구부러진 가이드 경로 부분이 기하학적 타원(geometric ellipsis)의 아크 세그먼트의 형태를 가지는 식으로 생성될 수 있다. 상기 엘립시스의 제1 기하학적 타원 축은 상기 제1 가이드 경로 상에 놓여있고, 반면 상기 제2 기하학적 타원 축은 상기 가로 축에 평행하고 상기 슬라이딩 파트 축의 제2 위치 및 제3 위치 사이에서 연장되는 기하학적 직선 상에 놓여진다. 상기 제1 및 제2 타원 축은 각각 기하학적 우선 축 및 이차 축 또는 그 역을 의미하는 것으로 이해된다. 상기 선택된 차원에 의하여, 기하학적 타원의 아크 세그먼트의 기하학을 가지는 상기 구부러진 가이드 경로 부분은 상기 타원 및 원형 아크 형태 사이의 편차는 매우 적으며 제조 또는 가이드 관용 범위 내에 존재하는 방식으로 준-원형-아크-유사 형태를 가진다. 그러나 이는 특히 상기 가이드 파트의 길이 및 상기 제2 및 제3 위치 사이의 변위 경로의 길이에 의존한다.

본 발명의 개발에서, 상기 변위 멤버가 상기 슬라이딩 파트로 기계적으로 연결되는 상기 경사진 연결은 경사진 표면 가이드에 의하여 형성된다. 상기 경사진 표면 가이드는 상기 변위 멤버와 상기 슬라이딩 파트 사이의 상대적인 슬라이딩이 기하학적 경사 축을 따라 가능하게 되는 방식으로 형성된다. 특히, 상기 변위 멤버 및 상기 슬라이딩 파트는 선형 베어링의 수단에 의하여 마운트되어 상기 경사 축을 따라 서로에 대하여 선형으로 변위가능하게 된다. 상기 기하학적 경사 축은 상기 세로 축 및 상기 가로 축이 놓여지는 평면에서 세로 축에 대하여 기울어져 있다. 상기 기하학적 경사축은 상기 슬라이딩 파트가 상기 제2 위치에서 상기 제3위치로 상기 선형 액츄에이터에 의하여 상대적인 슬라이딩의 수단에 의하여 변위가능한 방식으로 상기 세로 축에 대하여 경사를 가지도록 놓여진다. 다시 말해, 상기 세로 폐쇄 방향에서 고정된 상기 슬라이딩 파트를 가지고 상기 세로 폐쇄 방향에서 상기 세로 축을 따른 상기 조정 멤버의 선형 움직임이 상기 슬라이딩 파트 및 상기 변위 멤버의 슬라이딩이 서로에 대하여 상기 가로 폐쇄 방향에서 상기 가로 축을 따라 상기 슬라이딩 파트의 가로 움직임으로 운동적으로 변환된다.

특정 개발에 있어서, 상기 경사진 표면 가이드는 상기 슬라이딩 파트 상에서 경사진 표면에 의하여 형성되고, 상기 경사진 표면은 상기 가로 폐쇄 방향 및 상기 세로 방향에 반대되는 방향으로 경사를 가지고, 또한 상기 변위 멤버 상에 배열된 롤러들에 의하여 형성된다. 이 롤러들은 상기 경사진 표면에 대응하는 기하학적 영역을 포괄하고 상기 경사축을 따르는 방향으로 상기 경사진 표면 상에서 롤링한다. 이들 롤러들은 바람직하게 상기 경사축을 따라 서로로부터 오프셋되도록 배열되어, 상기 경사진 표면에 대하여 상기 롤러들을 그대로 두고 롤링시킴으로써, 상기 경사축을 따른 선형 베어링이 형성된다. 특히, 추가 롤러들이 상기 슬라이딩 파트 축에 대하여 평행하게 서로로부터 오프셋되도록 배열된다. 예를 들어 4개의 롤러들이 제공되어 기하학적 직사각형 영역을 함께 포괄한다. 이 선형 베어링의 수단에 의하여, 상기 슬라이딩 파트는 상기 세로 축에 평행하게 그리고 상기 가로 축에 평행하게 가이드되고, 두 개의 대응 직선 자유도를 가진다. 상기 기재한 경사진 표면 가이드는 양 방향으로 작용하여 상기 변위 멤버가 상기 세로 폐쇄 방향으로 변위될 때 뿐만 아니라 상기 변위 멤버가 상기 세로 폐쇄 방향에 반대로 변위될 때, 하기 개발이 가능한 것으로 말할 수 있다. 상기 슬라이딩 파트는 상기 경사진 표면에 반대되는 방향을 지시하는 언더컷 표면(undercut surface)을 가진다. 상기 변위 멤버는 상기 언더 컷 표면을 롤링하는 회복 롤러들(ruturn rollers)를 가진다. 상기 변위 멤버가 상기 세로 폐쇄 방향에 반대로 변위될 때, 상기 슬라이딩 파트는 상기 제3 위치에서 상기 제2 위치로, 특히 제2 위치에서 제1위치로 다시 되돌아오는 변위가 가능하다. 상기 바람직한 롤러 배열 대신에, 다른 드라이버 요소들, 특히 상기 반대 방향으로 상기 슬라이딩 파트상기 변위 멤버에 연결시키는 스프링스(springs)를 사용하는 것이 가능하다.

본 발명의 개발에 따라, 상기 슬라이딩 파트와 상기 변위 멤버 사이에서 작용하는 드라이버(driver)는 상기 변위 멤버가 제3 위치에서 상기 제2위치로 상기 선형 액츄에이터에 의하여 상기 세로 폐쇄 방향에 반대되는 방향으로 변위될 때 상기 상대적인 슬라이딩이 제한되는 방식으로 배열된다. 상기 변위 멤버가 상기 세로 폐쇄 방향에 반대되는 방향으로 변위될 때, 상기 슬라이딩 파트의 제3위치 또는 폐쇄 위치에서 개시는 우선 상기 경사축을 따라 상기 슬라이딩 파트에 상대적으로 상기 변위 멤버의 상대적인 슬라이딩을 야기하고, 특히 상기 언급된 롤러 가이드를 통하여 야기되어, 상기 슬라이딩 파트가 상기 드라이버가 상기 경사축을 따라 상기 슬라이딩 동작을 한계를 지을 때까지 상기 가로 축에 평행하게 상기 가로 폐쇄 방향의 반대로 슬라이딩된다. 상기 슬라이딩 파트는 상기 드라이버의 작용에 의하여, 상기 중간 위치를 말하는, 상기 제2 위치에서 상기 오픈 위치를 말하는 제1 위치로, 상기 역전 세로 폐쇄 방향에서, 상기 변위 멤버에 의하여 선형으로 슬라이딩된다.

상기 폐쇄 플레이트의 오픈 위치에서 폐쇄 위치 및 그 역의 연속 무브먼트가 하기에서 기재되는 본 발명의 개발에서 수행된다. 상기 오픈 위치에서 배열된 상기 폐쇄 플레이트에 연결된 슬라이딩 파트는 제1 위치에 위치된다. 상기 변위 멤버는 개시 위치(starting position)에서 배열되어 서로에 대하여 슬라이딩하지 않는 위치에서 상기 슬라이딩 파트에 대하여 위치된다. 상기 제1 가이드 멤버는 상기 제1 선형 가이드 경로에 배열되고, 상기 제2 가이드 멤버는 상기 제2 가이드 경로의 직선 가이드 경로 부분에 배열된다. 상기 변위 멤버는 상기 세로 폐쇄 방향에서 선형 액츄에이터의 수단에 의하여 선형으로 슬라이딩되고, 여기에서 상기 슬라이딩 파트는 상기 경사진 표면 가이드를 통하여 상기 세로 축에 평행하게 가이드되고, 상기 세로 폐쇄 방향에 대하여 경사를 가지는 방향으로 가해지는 힘이 세로 폐쇄 방향 및 가로 폐쇄 방향에서 힘 성분을 가지는 슬라이딩 파트 상으로 가하여진다. 이 위치에서의 가이드 멤버들이 모두 선형으로 움직이고, 상기 세로 축에 평행한 가이드 경로들로 가이드되고, 상기 슬라이딩 파트는 상기 세로 축을 따라 강하게 가이드되고, 여기에서 상기 가로 축에 따른 슬라이딩은 불가능하고, 상기 슬라이딩 파트는 상기 폐쇄 플레이트의 중간 위치 또는 상기 슬라이딩 파트의 제2 위치에 도달할 때까지, 상기 경사진 표면 가이드 상의 상기 슬라이딩 파트에 상대적으로 상기 변위 멤버의 상대적인 슬라이딩 없이, 상기 세로 폐쇄 방향에서 변위 멤버에 의하여 동반된다. 상기 변위 멤버 및 상기 슬라이딩 파트가 서로에 대하여 슬라이딩되지 않는 위치에 있게 되는 제2 위치에서, 상기 변위 멤버는 중간 위치에 위치하고 제2 가이드 멤버는 상기 직선 가이드 경로 부분과 상기 구부러진 가이드 경로 부분 사이의 전이 영역(transition region)에 위치한다. 상기 제2 가이드 멤버는 이 제2 위치에서 세로 폐쇄 방향에서 상기 슬라이딩 파트를 차단하지만, 상기 슬라이딩 파트는 제2 위치에서 가로 폐쇄 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 상기 중간 위치에서 말단 위치 방향으로 상기 세로 폐쇄 방향에서 세로 축에 따른 변위 멤버의 추가 선형 변위로, 상기 슬라이딩 파트는 상기 세로 폐쇄 방향에서 더이상 변위될 수 없다. 상기 변위 멤버의 롤러들은 이때 상기 슬라이딩 파트의 경사진 표면에 대하여 롤링하고, 상기 슬라이딩 파트에 상대적으로 상기 변위 멤버의 상대적인 슬라이딩을 초래하고, 여기에서 제2 가이드 멤버는 상기 제2 가이드 경로의 구부러진 가이드 경로 부분을 따라 가이드되고, 상기 가이드 파트는 상기 피봇 베어링에서 상기 슬라이딩 파트 축에 관하여 피봇 아웃 되고, 상기 슬라이딩 파트는 상기 폐쇄 플레이트가 ㅍ폐쇄 위치에 도달하여 상기 개구 주위를 움직이는 상기 밸브 시트 상에서 수직으로 그것의 폐쇄 측면을 통하여 휴식할 때까지 제2 위치에서 제3 위치로 상기 가로 폐쇄 방향에서 가로 축에 평행하게 슬라이딩하여, 상기 개구가 기밀 방식으로 폐쇄된다. 상기 슬라이딩 파트와 변위 멤버는 서로에 대하여 상대적으로 슬라이등하는 위치에서 제3위치 또는 말단 위치에서 위치한다.

상기 폐쇄 과정은 반대 시퀀스로 수행되고, 여기에서 말단 위치에서 중간 위치로의 변위 멤버의 선형 변위로, 상기 변위 멤버의 회복 롤러들이 상기 슬라이딩 파트의 언더컷 표면 상을 롤링하고 상기 슬라이딩 파트는 그러므로 서로에 대하여 상대적으로 슬라이딩하지 않는 위치인 제2위치에 도달할 때까지 역전 가로 폐쇄 방향으로 동반된다. 상기 드라이버는 상기 세로 폐쇄 방향에 반대뇌는 비-슬라이딩 위치 너머로 상기 슬라이딩 파트에 상대적으로 상기 변위 멤버의 상대적인 슬라이딩을 제한한다. 상기 변위 멤버가 상기 중간 위치에서 개시 위치로 더 변위될 때, 상기 슬라이딩 파트는 상기 제2위치에서 제1위치로, 상기 슬라이딩 파트에 상대적으로 비슬라이딩되는 위치에 위치하는 상기 변위 멤버에 의하여 슬라이딩되고, 상기 폐쇄 플레이트는 상기 세로 축에 평행하게 중간 위치에서 오픈 위치로 움직인다.

상기 기재된 경사진 표면 가이드는 상기 변위 멤버의 선형 변위 동안, 그리고 상기 경사축을 따라 상기 변위 멤버 및 상기 슬라이딩 파트 사이에서의 상대적인 슬라이딩 동안, 상기 가로 폐쇄 방향에서 작용하는 힘 성분은 상기 세로 폐쇄 방향에서 작용하는 일정 힘 성분에 대하여 기하학적 관점으로부터 변함없이 남겨진다. 상기 가로 힘은 그러므로 상기 세로 힘을 측정함으로써 측정될 수 있다.

본 발명에 따라, 상기 선형 액츄에이터는 상기 세로 폐쇄 방향으로, 그리고 그 반대 방향으로 상기 변위 멤버 상에 가해지는 힘이 측정될 수 있는 수단에 의하여, 힘 측정 수단이 마련될 수 있다. 게다가, 상기 힘 측정 수단 및 선형 액츄에이터와의 신호 통신에서 제어부가 제공될 수 있고 상기 밸브 시트 상의 상기 폐쇄 플레이트의 특정 접촉 압력에 대응하는 힘 제한 값이 초과될 때까지 상기 선형 액츄에이터가 멈추는 방식으로 형성될 수 있다.

상기 세로 폐쇄 방향에서 작용하는 힘은 스핀들 드라이브(spindle drive)를 가로질러 적용되는 전류를 측정함으로써 전기적 스핀들 드라이브로서 형성된 선형 액츄에이터의 경우에 측정될 수 있다. 특히 공기식(pneumatic)인 피스톤-실린더 유닛으로, 이 힘 측정 과정은 공기식인 압력을 측정함으로써 구현될 수 있다.

상기 설명한 경사진 표면 가이드 대신에, 다른 경사진 연결이 또한 사용될 수 있고, 이는 세로 폐쇄 방향에서 선형 변위의 경우 변위 멤버가 세로 폐쇄 방향 및 가로 폐쇄 방향에서 힘 성분을 가지는 슬라이딩 파트 상에 상기 세로 폐쇄 방향에 대하여 경사가 기울어진 힘을 가하는 방식으로 기계적으로 연결되어, 제1 위치에서 제2 위치로, 제2 위치에서 제3위치로 상기 슬라이딩 파트를 변위시킨다.

예를 들어, 본 발명의 한 측면에 따라, 상기 변위 멤버를 상기 슬라이딩 파트로 기계적으로 연결시키는 경사진 연결은 서로에 평행하게 배열된 적어도 두 개의 브랜치들을 가지는 평행사변형 가이드(parallelogram guide)에 의하여 형성된다. 상기 적어도 두 개의 브랜치들은 상기 변위 멤버 및 슬라이딩 파트에 대하여 브랜치 축에 대하여 피봇 가능하게 서로 연결된다. 상기 각 브랜치 축은 상기 기하학적 슬라이딩 파트 축에 평행하게 되고, 상기 가로 축이 기하학적 정상을 형성하는 평면에 놓여지고 상기 세로 축에 직각이 된다. 상기 브랜치들은 이 경우 상기 제1 위치 및 제2 위치 사이에서, 상기 세로 폐쇄 방향에서 상기 슬라이딩 파트에서의 각 브랜치 축이 상기 변위 멤버에서 각 브랜치 축에 대하여 오프셋되는 방식으로 배열되고 크기를 가지게 된다. 특히, 상기 브랜치들은 제2 위치 및 제3 위치 사이에서, 상기 세로 폐쇄 방향에서 상기 슬라이등 파트에서의 각 브랜치 축이 상기 변위 멤버에서의 각 브랜치 축에 대하여 오프셋되거나 실질적으로 오프셋되지 않는 방식으로 배열되거나 크기를 가지게 된다. 상기 변위 멤버가 상기 세로 폐쇄 방향에서 차단된 상기 슬라이딩 파트로 상기 세로 폐쇄 방향에서 변위될 때, 상기 브랜치들은 상기 슬라이딩 파트가 가로 폐쇄 방향에서 변위되는 방식으로 피봇 아웃된다. 상기 경사진 표면 가이드에 유사하게, 상기 평행사변형 가이드는 상기 슬라이딩 파트가 상기 세로 축에 평행하게 가이드되도록 하고, 그리하여 상기 세로 축에 강하게 평행하게 되도록 한다.

본 발명의 개발에서, 상기 세로 축에 평행하게 선형으로 변위 가능한 변위 멤버는 지지 롤러들을 가진다. 상기 지지 롤러들은 상기 가로 폐쇄 방향의 반대를 지시하고 상기 세로 축에 평행하게 연장되고, 상기 밸브 바디에 연결된 트랙 상을 롤링하여 상기 가로 폐쇄 방향에 반대되는 방향으로 상기 밸브 바디 상에서 상기 변위 멤버를 지지한다. 상기 가로 폐쇄 방향에 반대되는 가로 힘이 상기 밸브 바디에 직접적으로 작용하여 선형 액츄에이터가 실질적으로 가로 힘으로부터 자유롭게 된다.

게다가, 본 발명은 적어도 하나의 지지 파트는 상기 세로 폐쇄 방향에 반대되는 방향에서 슬라이딩 파트로부터 견고하게 돌출되고, 이 지지 파트의 자유 말단이 상기 가로 폐쇄 방향을 지시하는 접촉 표면을 가지는 세로 폐쇄 방향에 반대되는 방향을 지시하는 사실을 포함한다. 상기 슬라이딩 파트는 상기 폐쇄 플레이트와 접촉 표면 사이에 배열된다. 특히, 상기 슬라이딩 파트는, 상기 폐쇄 플레이트와 상기 접촉 표면 사이에서 실질적으로 중앙에 위치한다. 상기 접촉 표면이 상기 밸브 벽에 강하게 연결된 지지체(support)의 맞은편에 배열되는데, 상기 지지 파트의 자유 말단이 상기 가로 폐쇄 방향에서 상기 지지체 상에서 상기 폐쇄 위치에서 지지된다. 상기 기재한 바와 같이, 상기 슬라이딩 파트가 경사진 dusdruf을 통하여 제2 위치에서 제3 위치로 변위될 때, 상기 가로 폐쇄 방향의 방향에서의 가로 힘이 상기 슬라이딩 파트에 적용된다. 상기 폐쇄 플레이트의 폐쇄 위치에서, 매우 높은 가로 힘이 상기 폐쇄 플레이트 상의 일 부분에 작용하고, 또한 상기 슬라이딩 파트 상의 일 부분에 작용한다. 이는 상기 밸브 시트에 대항한 상기 폐쇄 플레이트의 가압 및 상기 밸브를 가로지게 적용된 압력 차이로 인한 것이다. 특히, 폐쇄 플레이트, 적어도 하나의 밸브 로드, 슬라이딩 파트, 적어도 하나의 지지 파트 및 접촉 표면이 무브먼트 유닛을 형성한다. 상기 기재한, 상기 밸브 로드의 연장 형태를 형성하는, 지지 파트로 인하여, 상기 변위 멤버는 가로 폐쇄 방향에 반대되어 작용하는 가로 힘으로부터 자유롭다. 이는 상기 언급된 무브먼트 유닛이 상기 밸브 벽에 강하게 연결된 상기 지지체 상의 레버 효과때문에 상기 가로 폐쇄 방향에서 지지되기 때문이다. 적어도 하나의 지지 파트 및 적어도 하나의 밸브 로드는 본 발명의 특정 실시예에서 내장되도록(integrally) 형성될 수 있고, 적어도 하나의 지지 파트는 적어도 하나의 밸브 로드의 일부에 의하여 형성된다.

본 발명에 따른 진공 슬라이드 게이트 밸브는 하기에서 도면에서 개략적으로 그려진 특정 예시적인 실시예들, 순수하게 예제에 기초하여 더욱 상세히 설명된다.

도 1a는 폐쇄 플레이트의 오픈 위치에서 경사진 표면 가이드를 가지는 진공 슬라이드 게이트 밸브의 제1 실시예의 개략적인 단면 측면도를 도시하고;
도 1b는 중간 위치에서의 제1 실시예를 도시하고;
도 1c는 폐쇄 위치에서의 제1 실시예를 도시하고;
도 2a는 상기 폐쇄 플레이트의 오픈 위치에서 평행사변형 가이드를 가지는 진공 슬라이드 게이트 밸브의 제2 실시예의 개략적인 단면 측면도를 도시하고;
도 2b는 중간 위치에서의 제2 실시예를 도시하고;
도 2c는 폐쇄 위치에서 제2 실시예를 도시하고;
도 3a는 상기 폐쇄된 바디를 가지는 제1 실시예의 상세 사시도를 도시하고;
도 3b는 오픈 바디를 가지는 제1 실시에의 상세 사시도를 도시한다.

도 1a, 도 1b, 도 1c, 도 3a 및 도 3c로부터 형성된 그룹과 도 2a, 도 2b, 및 도 2c로부터 형성된 그룹 각각은 다른 상태에서, 다른 관점으로부터 다른 레벨의 상세도로 본 발명에 따른 진공 슬라이드 게이트 벨브의 공통적, 예시적인 실시예를 도시한다. 상기 도면의 이들 구릅은 그러므로 결합가능하게 도시될 것이다. 상기 두 실시예들은 단지 특정 특징에 대하여 단순히 서로 달라지고, 실시예들 사이의 차이점은 오직 가끔 논의될 것이다. 때때로, 이전 도면들에서 이미 설명된 참조 사인 및 특징은 다시 논의되지 않을 것이다. 추가로, 도 1a 내지 도 2c는 구성 파트들이 더욱 상세한 설명을 위한 도 3a 및 도 3b의 상세도로부터 어느 정도 차이있게 배열되고 도시되는 개략적인 도면들을 도시하고 있다.

본 발명에 따른 진공 슬라이드 게이트 밸브의 제1 실시예는 도 1a, 도 1b, 도 1c, 도 3a 및 도 3c에서 도시되고 있다. 상기 진공 슬라이드 게이트 밸브는 개구 축(42)을 가지고 상기 개구(2) 주위를 움직이는 가늘고 긴, 실질적으로 직사각형의 밸브 시트(3)를 가지는 개구(2)를 가지는 밸브 벽(1)을 가지는 밸브 바디(10)를 가진다. 개구(2)보다 약간 더 큰 단면을 가지는 폐쇄 측면(5)을 가지는 폐쇄 플레이트(4)는 상기 밸브 시트(3)에 반대로 상기 폐쇄 측면(5)을 가압함으로써 실질적으로 기밀 방식으로 상기 개구(2)를 폐쇄한다. 상기 폐쇄 플레이트(4)는 서로에 평행하게 배열된 두 개의 밸브 로드(6)에 의하여 수행된다. 상기 밸브 로드(6)가 도 1a 내지 도 1c의 측면도에서 정렬되었기 때문에, 오직 하나의 밸브 로드(6)가 상기 도면들에서 보여질 수 있으며, 양 밸브 로드(6)는 상기 진공 슬라이드 게이트 밸브의 사시도인 도 3b에서 보여질 수 있다.

상기 밸브 바디(10)는 상기 개구(2), 밸브 시트(3), 폐쇄 플레이트(4)가 배열되는 진공 영역(11)과, 상기 진공 영역(11)의 외부에 배열되는 드라이브 영역(12)으로 나뉜다. 상기 두 밸브 로드(6)가 밸브 바디(10) 내에서 진공 영역(11)에서 상기 드라이브 영역(12)으로, 다이아프램 씰로 형성된 두 개의 기밀 개구부 (13)를 통과한다. 상기 다이아프램 씰(13)은 상기 밸브 로드들(6)이 세로 축(8) 및 가로 축(9)을 따라 특정 움직임 범위에서 움직일 수 있고, 여전히 기밀 밀봉을 유지한다. 상기 드라이브 영역(12)이 상기 진공 영역(11)으로부터 기밀 방식으로 분리되었기 때문에, 대기 압력이 드라이브 영역(12)에서 압도할 수 있다. 상기 드라이브 영역(12) 내에 위치한 마찰 파티클들은 상기 민감한 진공 영역에 도달할 수 없다. 드라이브 유닛(7)이 드라이브 영역(12) 내에 배열된다.

하기에서 더욱 상세히 설명될, 상기 드라이브 유닛(7)은 상기 기하학적 세로 축에 따라 상기 두 개의 밸브 로드(6)의 변위에 의하여, 상기 폐쇄 플레이트(4)가 오픈 위치(0), 도 1a,에서 중간 위치(I), 도 1b로 세로 폐쇄 방향(z)에서 변위될 수 있고, 상기 세로 축(8)에 직각인 기하학적 가로 축(9)에 따라 상기 두 개의 밸브 로드(6)의 변위에 의하여, 상기 중간 위치(I), 도 1b에서 폐쇄 위치(C), 도 1c로 가로 폐쇄 방향(y)으로 변위될 수 있으며, 그 역으로도 가능한 방식으로 형성된다.

상기 드라이브 유닛(7)은 상기 세로 축 8에 평행하게 선형으로 변위가능하고, 스핀들 너트(spindle nut)를 통하여 스핀들에 대하여 움직이는, 변위 멤버(16)를 가지는 스핀들 드라이브(15a)로서 형성된 선형 액츄에이터(15)를 가진다.

상기 두 개의 밸브 로드(6)는 상기 드라이브 유닛(7)의 슬라이딩 파트(14)에 강하게 연결되고, 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 드라이브 영역(12) 내에 배열된다. 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 제1 위치(P0), 도 1a, 및 제2 위치(PI), 도 1b 사이에서 상기 드라이브 영역(12) 내의 드라이브 유닛(7)의 가이드(22)의 수단에 의하여, 세로 축(8)에 평행하게, 피봇 가능하지 않게 가이드되고, 세로 축(8)을 따라 변위가능하고, 제2 위치(PI), 도 1b 및 제3 위치(PC), 도 1c 사이에서, 가로 축(9)에 평행하게, 피봇 가능하지 않게 가이드되고, 가로 축(9)을 따라 변위가능하다. 제1 위치(P0)에서, 상기 폐쇄 플레이트(4)는, 상기 폐쇄 플레이트(4)가 개구(2)를 풀어주는, 오픈 위치(0), 도 1a에 있다. 제2 위치(PI)에서, 상기 폐쇄 플레이트(4)는 개구(2)를 커버하고, 폐쇄 측면(5)이 밸브 시트(3)의 맞은 편에 거리를 가지고 위치하는, 중간 위치(I), 도 1b에 있다. 폐쇄 플레이트(4)가 폐쇄 위치(C)에 있는, 제3 위치(PC)에서, 상기 폐쇄 플레이트(4)의 상기 폐쇄 측면(5)이 상기 밸브 시트(3)에 대항하여 수직으로 가압되고 실질적으로 기밀 방식으로 개구(2)를 폐쇄한다(도 1c). 상기 가이드의 정확한 설계는 더욱 상세하게 하기에서 논의될 것이다.

상기 가이드는 상기 세로 축(8)에 실질적으로 평행하게 연장되는 가이드 파트(23)를 가지는 링크 가이드(22)를 가지고, 상기 가이드 파트(23)는 상기 세로 축(8)에 직각이며 상기 가로 축(9)이 기하학적 정상을 형상하는 평면에 놓여지는 기하학적 슬라이딩 파트 축(24)에 대하여 상기 슬라이딩 파트(14)에 피봇 가능하게 연결된 두 개의 가이드 핀의 형태인 피봇 베어링(25)의 수단에 의하여 피봇 가능하게 연결된다. 도 3b에서 보여지는 바와 같이, 상기 가이드 파트(23)는 요크(yoke)의 형태를 가진다. 상기 링크 가이드(22)는 두 개의 제1 가이드 경로(28) 및 두 개의 제2 가이드 경로(29)를 가진다. 상기 두 개의 밸브 로드(6), 슬라이딩 파트(14), 및 요크-유사 가이드 파트(23)는 상기 두 개의 제1 가이드 경로(28)와 상기 두 개의 제2 경로(29) 사이에 배열되며 이는 도 3b에서 도시된 바와 같다. 상기 가이드 파트(23) 양 측면에 가이드 롤러 형태로, 각 경우에, 제1 가이드 멤버(26)를 가진다. 상기 각 제1 가이드 멤버(26)는 상기 각 제1 가이드 경로(28)로 가이드된다. 추가로, 상기 가이드 파트(23)의 제2 가이드 멤버(27)는 가이드 롤러로서 형성되어, 두 개의 제2 가이드 경로(29)의 각각으로 가이드된다. 상기 두 개의 제1 가이드 멤버(26)는 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 두 개의 제2 가이드 멤버(27)에 대하여 오프셋된다.

상기 두 개의 제1 가이드 경로(28)는 점선으로 표시된 것으로 도 1a 내지 도 1c에서 보는 바와 같이, 상기 세로 축(8)에 정확히 평행하게 된다. 상기 제2 가이드 경로(29)는 각각 직선 가이드 경로 부분(29a)과 구부러진 가이드 경로 부분(29b)으로 구성된다. 상기 각 직선 가이드 경로 부분(29a)은 상기 제1 가이드 경로(28)의 선형 연장에 대응하는, 선형 연장으로 세로 축(8)에 대하여 정확히 평행하게 된다. 상기 각 구부러진 가이드 경로 부분(29b)은 가로 폐쇄 방향(y)에서 실질적으로 연장되며, 이는 도 1a 내지 도 1c에서 보는 바와 같다. 도 1c에서 보는 바와 같이, 상기 구부러진 가이드 경로 부분(29b) 각각은 기하학적 슬라이딩 파트 축(24)이 기하학적 정상을 형상하는 평면에서 연장되는, 기하학적 타원(30)의 아크 세그먼트의 형태를 가진다. 상기 세로 축(8)에 평행한, 제1 기하학적 타원 축(30a)은 측면에서 제1 가이드 경로(28) 상에 배열된다. 다시 말해, 각 제1 타원 축(30a)은 가로 축(9)이 정상을 형성하고 제1 가이드 경로(28)가 연장되는 평면에 놓여지고, 여기에서, 특히 상기 각 제1 가이드 경로(28)의 중심 축이 이 평면에 놓여진다. 상기 각 기하학적 타원(30)의 제2 기하학적 타원 축(30b)은 가로 축(9)에 평행하고, 상기 슬라이딩 파트 축(24)의 제2 위치(PI)와 제3 위치(PC) 사이에서 연장되는 기하학적 직선 상에 놓여진다. 상기 가이드 경로(28 및 29)는 상기 슬라이딩 파트(14)의 슬라이딩 파트 축(24)이 도 1a 및 도 1b에서 도시된 바와 같이, 상기 세로 축(8)에 평행하게 제1 위치(PO)에서 제2 위치(PI)로 가이드되는 방식 및 도 1b 및 도 1c에서 도시된 바와 같이, 가로 축(9)에 하게 제2 위치(PI)에서 제3 위치 (PC)로 가이드되는 방식으로 운영된다.

도 1a 내지 도 1c, 도 3a 및 도 3b의 제1 실시예에서, 상기 변위 멤버(16)를 상기 슬라이딩 파트(14)에 기계적으로 연결하는 경사진 연결이 경사진 표면 가이드(17a)에 의하여 형성되어, 상기 변위 멤버(16)와 상기 슬라이딩 파트(14) 사이의 상기 기하학적 경사 축(31)에 따른 상대적인 슬라이딩이 가능하며, 이는 도 1c에서 보는 바와 같다. 상기 기하학적 경사 축(31)은 상기 세로 축(8) 및 가로 축(9)이 놓여지는 평면에서 상기 세로 축(8)에 대하여 경사를 가지게 되고, 상기 상대적인 슬라이딩 수단에 의하여, 상기 슬라이딩 파트(14)가 선형 액츄에이터(15)의 수단에 의하여 제2 위치(PI)에서 제3 위치(PC)로 변위 가능한 방식으로 상기 세로 축(8)에 대하여 경사를 가지도록 놓여지며, 이는 도 1b 및 도 1c에서 도시된 바와 같다. 상기 경사진 표면 가이드(17a)는 상기 슬라이딩 파트(14) 상의 경사진 표면(33)을 구성하고, 상기 변위 멤버(16) 상에 배열되는 롤러(34)의 상기 가로 폐쇄 방향(y) 및 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향에서 경사를 나타내는 경사진 표면은, 상기 경사진 표면(33)에 대응하는 기하학적 영역을 포괄하고 상기 경사축(31)에 따른 방향에서 상기 경사진 표면(33)에 대하여 롤링한다. 도시된 예시적 실시예에서, 경사축(31)이 배열되는 직사각형 영역을 포괄하는 네 개의 롤러(34)는 상기 경사축(31)에 대하여 평행한 방향에서 경사진 표면(33)에 대하여 롤링한다.

추가로, 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 경사진 표면(33)에 반대되는 방향으로 가리키는, 특히 가로 폐쇄 방향(y) 및 세로 폐쇄 방향(z)에서 경사를 가지는 언더컷 표면(36)을 가지고, 대표도로 도 1b에서 명확히 도시되고 있다. 상기 변위 멤버(16)는 상기 언더컷 표면(36) 상을 롤링하는 회복 롤러(35)를 가져서 상기 슬라이딩 파트(14)가 상기 제3 위치(PC), 도 1c에서 제2 위치(PI), 도 1b로, 또한 제2 위치(PI)에서 제1 위치(P0), 도 1a로 되돌아오도록 변위시킨다. 상기 슬라이딩 파트(14)와 상기 변위 멤버(16) 사이에서 작용하는 드라이버(39)의 수단에 의하여, 상기 변위 멤버(16)와 상기 슬라이딩 파트(14) 사이의 상대적인 슬라이딩이, 상기 변위 멤버(16)가 제3 위치(PC)에서 제2 위치(PI)로 선형 액츄에이터(15)에 의하여 세로 폐쇄 방향(y)에 반대되게 변위될 때, 제한된다(도 1b).

도 1c에서 도시된 바와 같이, 상기 세로 축(8)에 평행하게 선형으로 변위가능한 변위 멤버(16)는 지지 롤러(40)를 가진다. 이 지지 롤러(40)는 가로 폐쇄 방향(y)에 반대되게 가리키고 상기 밸브 바디(10)에 연결되고 상기 세로 축(8)에 평행하게 연장된 트랙(41) 상을 운영하여, 변위 멤버(16)는 상기 가로 폐쇄 방향(y)에 반대되는 방향에서 상기 밸브 바디(10) 상에 지지될 수 있다.

두 개의 지지 파트(18)는 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향에서 상기 슬라이딩 파트(14)로부터 강하게 돌출되고 상기 두 개의 밸브 로드(6)와 내장되게(integrally) 하게 형성되어, 두 개의 지지 파트(18) 각각은 상기 두 개의 밸브 로드(6)의 일부로 형성된다. 상기 두 개의 지지 파트(18)의 각각은 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향을 가리키고 상기 가로 폐쇄 방향(y)을 가르키는 접촉 표면이 각 경우에 위치하는, 자유 말단(19)을 가진다. 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 폐쇄 플레이트(4)와 접촉 표면(20) 사이에서 실질적으로 중앙에 배열된다. 제2 위치(PI) 및 제3 위치(PC)에서의 상기 접촉 표면(20)은 밸브 벽(1)에 강하게 연결된 지지체(21)의 맞은 편에 배열되고, 상기 지지 파트(18)의 자유 말단(19)이 상기 가로 폐쇄 방향(y)에서 상기 지지체(21) 상에서 폐쇄 위치(C)에서 지지될 수 있는 방식으로 배열되고, 이는 도 1c에서 도시된다.

상기 폐쇄 플레이트(4)의 오픈 위치(0)(도 1a)에서 폐쇄 위치(C)(도 1c)로의 움직임 시퀀스는 하기에서 설명될 것이다. 상기 폐쇄 플레이트(4)는 오픈 위치(0)에 위치하고 거기에 연결된 슬라이딩 파트(14)는 제1 위치(P0)에 있으며, 이는 도 1a에서 도시된 바와 같다. 상기 변위 멤버(16)는 개시 위치에서 배열되고, 서로에 대하여 상대적으로 슬라이딩되지 않는 위치에서 상기 슬라이딩 파트(16)에 대하여 위치하는 것으로, 도 1a에서 보는 바와 같다. 상기 각 제1 가이드 멤버(26)는 상기 각 선형의 제1 가이드 경로(28)에서 배열되고, 상기 각 제2 가이드 멤버(27)는 상기 제2 가이드 경로(29)의 각 직선 가이드 경로 부분(29a)에서 배열된다. 상기 변위 멤버(16)는 이제 상기 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 스핀들 드라이브(15a)의 스핀들을 움직임으로써 상기 선형 액츄에이터(15)의 수단에 의하여 선형으로 변위되고, 여기에서 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 경사진 표면 가이드(17a)를 통하여 상기 세로 축(8)에 평행하게 가이드되고, 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 대하여 경사를 가지는 방향으로의 힘이 상기 세로 폐쇄 방향(z) 및 가로 폐쇄 방향(y)에서 힘 성분을 가지는 슬라이딩 파트(14) 상으로 가하여 진다. 이 위치에서 상기 두 개의 제1 가이드 멤버(26) 및 상기 두 개의 제2 가이드 멤버(27)가 모두 상기 세로 축(8)에 평행하게 운영되는 선형 가이드 경로들(28 및 29a)로 가이드되며 이는 상기 슬라이딩 파트(14)가 상기 세로 축(8)을 따라 강하게 가이드되기 때문이며, 여기에서 상기 가로 축(9)에 따른 슬라이딩이 존재하지 않는 것이 가능하고, 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 폐쇄 플레이트(4)의 중간 위치(I) 또는 상기 슬라이딩 파트(14)의 제2 위치(PI)에 도달할 때까지 상기 경사진 표면 가이드(17a)에서 상기 슬라이딩 파트(14)에 대하여 상기 변위 멤버(16)의 상대적인 슬라이딩을 야기하지 않고, 세로 폐쇄 방향(z)에서 변위 멤버(16)에 의하여 드라이브되며, 이는 도 1b에서 도시된 바와 같다.

변위 멤버(16) 및 슬라이딩 파트(14)가 서로에 대하여 슬라이딩하지 않는 위치인, 이 제2 위치(PI)(도 1b)에서, 상기 변위 멤버(16)는 중간 위치에 위치하고 상기 제2 가이드 멤버(27)는 상기 직선 가이드 경로 부분(29a) 및 상기 구부러진 가이드 경로 부분(29b) 사이의 전이 영역에 위치한다. 상기 제2 가이드 멤버(27)는 제2 위치(PI)에서 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 슬라이딩 파트(14)를 차단하고, 그러나 제2 위치(PI)에서의 슬라이딩 파트(14)는 가로 폐쇄 방향(y)에서 지금 변위가능하다. 말단 위치의 방향에서 중간 위치로부터 세로 폐쇄 방향(z)에서의 세로 축(8)에 따라 변위 멤버(16)의 추가 선형 변위로, 도 1b 내지 도 1c로의 전이로, 상기 슬라이딩 파트(14)는 더이상 세로 폐쇄 방향(y)에서 더 슬라이딩될 수 없다. 상기 변위 멤버(16)의 롤러들(34)은 지금 상기 슬라이딩 파트(14)의 경사진 표면 (33)에 대하여 롤링하고, 이는 상기 슬라이딩 파트(14)에 대하여 상기 변위 멤버 (16)의 상대적인 슬라이딩을 초래하고, 여기에서 상기 제2 가이드 멤버(27)는 상기 제2 가이드 경로(29)의 구부러진 가이드 경로 부분(29b)에 따라 가이드되고, 상기 가이드 파트(23)는 그리하여 상기 피봇 베어링(25)에서 상기 슬라이딩 파트 축(24)을 중심으로 상기 슬라이딩 파트(14)에 대하여 피봇하고, 상기 슬라이딩 파트(14)는 제2 위치(PI)에서 제3 위치(PC)으로 가로 폐쇄 방향(y)에서 가로 축(9)에 평행하게 슬라이딩하고, 이는 상기 폐쇄 플레이트(4)가 상기 폐쇄 위치(C)에 도달하고 상기 개구(2) 주위를 움직이는 상기 밸브 시트(3) 상에서 수직으로 그것의 폐쇄 측면(5)을 통하여 견디어 상기 개구(2)가 기밀 방식으로 폐쇄될 때까지 슬라이딩되며, 이는 도 1c에서 도시된 바와 같다. 여기에서, 상기 변위 멤버(16)는 상기 가로 폐쇄 방향(y)에 반대되는 방향에서 트랙(41) 상에서 상기 지지 롤러들(40)을 통하여 지지된다. 상기 슬라이딩 파트(14)와 변위 멤버(16)는 서로에 대하여 슬라이딩하는 상태에서 말단 위치 또는 제3 위치에서 위치한다. 폐쇄 위치(C)에서, 세로 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향에서 강하게 돌출되는 두 개의 지지 파트(18)는 가로 폐쇄 방향 y를 가리키는 접촉 표면(20)을 통하여 각 지지체(21) 상에서 추가적으로 각각 쉬게 된다. 상기 지지 파트(18)의 각 자유 말단(19)은 폐쇄 위치(C)에서 가로 폐쇄 방향(y)에서 지지체(21) 상에서 지지된다. 이 지지체(21)의 수단에 의하여, 증가된 안정성이 성취되어 폐쇄 플레이트가 높은 가로 스트레스에 노출될 수 있다.

폐쇄 과정은 상기의 역전 시퀀스로 수행되고, 여기에서 변위 멤버(16)가 말단 위치에서 중간 위치로 선형으로 변위될 때, 상기 변위 멤버(16)의 회복 롤러(35)는 상기 슬라이딩 파트(14)의 언더컷 표면(36) 상에서 롤링되고, 상기 슬라이딩 파트(14)는 서로에 대하여 슬라이딩하지 않아 제2 위치(PI)에 도달할 때까지 반대 가로 폐쇄 방향(y)에서 동반된다. 드라이버(39)는 세로 폐쇄 방향(z)에 반대하여 슬라이딩하지 않는 상태를 넘어 상기 슬라이딩 파트(14)에 상대적인 변위 멤버(16)의 상대적인 슬라이딩을 제한하고, 이는 도 1b에서 도시되는 바와 같다. 변위 멤버(16)이 중간 위치에서 개시 위치로 추가적으로 변위될 때, 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 슬라이딩 파트(14)에 대하여 슬라이딩하지 않는 상태에 있는 변위 멤버(16)에 의하여, 제2 위치(PI)에서 제1 위치(P0)(도 1a)로 슬라이딩되어, 상기 폐쇄 플레이트(4)는 중간 위치(I)에서 오픈 위치(0)로 상기 세로 축(8)에 평행하게 움직이게 되며, 이는 도 1a에서 보는 바와 같다.

본 발명의 제2 실시예는 도 2a 내지 도 2c에서 도시되고, 스핀들 드라이브(15a) 대신에 피스톤-실린더 유닛(15b)이 변위 멤버(16)의 선형 변위를 위한 선형 액츄에이터(15)로서 사용되고, 상기 변위 멤버(16)를 상기 슬라이딩 파트(14)에 기계적으로 연결하는 경사진 연결이 경사진 표면 가이드(17a)에 의하는 것 대신에 평행사변형 가이드(17b)에 의하여 형성되는 점에 있어서 제1 실시예와 차별된다. 단지 이러한 차이점은 하기에서 논의될 것이고, 이전에 이미 설명한 공통 특징들은 다시 설명되지 않을 것이다.

평행사변형 가이드(17b)는 서로에 대해 평행하게 배열되고 제1 브랜치 축(38a) 및 제2 브랜치 축(38b)을 중심으로 변위 멤버(16) 및 슬라이딩 파트(14)에 각각 피봇 가능하게 연결되는 두 개의 브랜치 쌍(37)을 가진다. 상기 세로 축(8)에 따라 상기 피스톤- 실린더 유닛(15b)의 수단에 의하여 변위가능한 변위 멤버(16)는 트랙(41)을 따라 지지 롤러들(40)의 수단에 의하여 가이드되고 가로 방향(y)에 반대되게 지지된다. 상기 브랜치 축(38a 및 38b) 각각은 세로 축(8)에 직각이고 가로 축(9)이 기하학적 정상을 형성하는 평면에 놓여진 기하학적 슬라이딩 파트 축(24)에 평행하다. 상기 브랜치들(37)은 제1 위치(P0) 및 제2 위치(PI)에서 경사를 가지고 배열되고, 제1 위치(P0) 및 제2 위치(PI) 사이에서, 상기 슬라이딩 파트(14)에서의 각 제1 브랜치 축(38a)는 변위 멤버(16)에서의 각 제2 브랜치 축(38b)에 대하여 세로 폐쇄 방향(z)에서 오프셋된다. 상기 브랜치들은, 제2 위치(PI) 및 제3 위치(PC) 사이에서, 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 슬라이딩 파트(14)에서의 상기 각 제1 브랜치 축(38a)은 오프셋되거나, 제3 위치 PC(도 2c)에서와 같이, 변위 멤버 (16)에서의 상기 각 제2 브랜치 축(38b)에 대하여 오프셋 되지 않는 방식으로 배열되고 크기를 가지게 된다. 변위 멤버(16)가 세로 폐쇄 방향(z)에서 차단된 슬라이딩 파트(14)로 세로 폐쇄 방향(z)에서 변위될 때, 상기 브랜치들(37)은 상기 슬라이딩 파트(14)가 가로 폐쇄 방향(y)에서 변위되는 방식으로 피봇 아웃된다. 경사진 표면 가이드(17a)에 유사하게, 상기 평행사변형 가이드(17b)는 상기 슬라이딩 파트 (14)가 상기 세로 축(8)에 대하여 평행하게 가이드 되도록 하며, 상기 세로 축(8)에 대하여 평행하도록 강하게 지향되도록 하며, 이는 도 2a 내지 도 2c에서 보는 바와 같다.

상기 평행 사변형 가이드(17b)의 상기 경사진 표면 가이드(17a)와의 비교에서의 이점은 상기 회복 롤러들(35)가 생략될 수 있는데, 이는 상기 평행사변형 가이드(17)의 가로 폐쇄 방향(y) 및 그 반대 방향 모두에서 효과적이기 때문이다. 추가로, 상기 브랜치 축들이 실질적으로 오프셋되지 않는, 제3 위치(PC)에서 상기 브랜치 축들(38a 및 38b)의 정렬 수단에 의하여, 도 2c에서 도시된 바와 같이, 상기 폐쇄 플레이트(4)의 셀프-차단(slef-blocking) 또는 락킹(locking)이 실현될 수 있다. 반대로, 상기 경시진 표면 가이드(17a)의 이점은 상기 세로 힘 및 가로 힘이 서로에 대하여 수직으로 작용하여, 변위 멤버(16)에서의 세로 힘을 측정함으로써 상기 폐쇄 플레이트(4)에서 작용되는 가로 힘에 대한 정확한 결론에 도달하는 것이 가능하다.

Claims (15)

1. 진공 슬라이드 게이트 밸브에 있어서,
   ● 개구(2)와 상기 개구(2) 주위를 움직이는 밸브 시트(3)를 가지는 밸브 벽(1);
   ● 실질적으로 기밀 방식으로 상기 개구를 폐쇄하기 위한 폐쇄 측면(5)을 가지는 폐쇄 플레이트(4);
   ● 상기 폐쇄 플레이트(4)를 수행하는 적어도 하나의 밸브 로드(6);
   ● 상기 적어도 하나의 밸브 로드에 연결되는 드라이브 유닛(7)으로서, 상기 폐쇄 플레이트가,
   - 실질적으로 기하학적 세로 축(8)을 따라 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 적어도 하나의 밸브 로드(6)를 변위시킴으로써,
   · 상기 폐쇄 플레이트(4)가 개구(2)를 풀어주는, 오픈 위치(0)로부터,
   · 상기 폐쇄 플레이트(4)가 상기 개구(2)를 커버하고, 상기 폐쇄 측면(5)이 상기 밸브 시트(3)의 맞은편에 소정 거리를 두고 배열되는 중간 위치(I)로, 변위시키는 방식으로 형성되고,
   - 상기 세로 축(8)에 직각인 실질적으로 기하하적 가로 축(9)을 따라 가로 폐쇄 방향(y)에서 적어도 하나의 밸브 로드(6)를 변위시킴으로써,
   · 상기 중간 위치 (I)에서,
   · 상기 폐쇄 플레이트(4)의 폐쇄 측면(5)이 상기 밸브 시트(3)에 대하여 실질적으로 수직으로 가압되어 실질적으로 기밀 방식으로 개구(2)를 폐쇄하는 폐쇄 위치(C)로 변위시키는 방식으로 형성되고,
   그리고 다시 되돌아가는 방식으로 형성되는 상기 드라이브 유닛(7); 및
   ● 상기 개구(2), 상기 밸브 시트(3) 및 상기 폐쇄 플레이트(4)가 배열되는 진공 영역(11)을 가지는 밸브 바디(10)로서, 상기 적어도 하나의 밸브 로드(6)는 상기 밸브 바디(10) 내의 적어도 하나의 기밀-방식 개구부(13)를 통하여 상기 진공 영역(11)에서 상기 진공 영역(11)의 외부에 배열되어 상기 드라이브 유닛(7)이 배열되는 드라이브 영역(12)으로 상기 세로 축(8) 및 가로 축(9)을 따라 움직이도록 가이드되는 상기 밸브 바디(10);
   를 포함하며,
   ● 상기 적어도 하나의 밸브 로드(6)는 상기 드라이브 유닛(7)의 슬라이딩 파트(14)에 강하게 연결되고, 상기 슬라이딩 파트는 상기 드라이브 영역(12)에서 배열되고,
   ● 상기 슬라이딩 파트(14)는, 상기 드라이브 영역(12) 내의 상기 드라이브 유닛(7)의 가이드(22) 수단에 의하여,
   - 상기 세로 축(8)에 평행하게, 상기 폐쇄 플레이트(4)가 오픈 위치(0)에 존재하는 제1 위치(P0)와 상기 폐쇄 플레이트(4)가 중간 위치(PI)에 위치하는 제2 위치(PI) 사이를 피봇 가능하지 않게 가이드되고, 상기 세로 축(8)을 따라 슬라이딩가능하고, 상기 가이드(22)는 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 슬라이딩 파트(14)의 추가 슬라이딩을 상기 제2 위치(PI)에 도달될 때까지 차단하고,
   - 상기 가로 축(9)에 평행하게, 제2 위치(PI)와 상기 폐쇄 플레이트(4)가 폐쇄 위치(C)에 존재하는 제3 위치(PC) 사이에서 피봇 가능하지 않게 가이드디고, 상기 가로 축(9)을 따라 슬라이딩가능하고,
   ● 상기 드라이브 유닛(7)은 상기 세로 축(8)에 평행하게 선형으로 변위가능한 변위 멤버(16)을 가지는 선형 액츄에이터(15)를 가지고,
   ● 상기 변위 멤버(16)은, 경사진 연결(17a; 17b)을 통하여 상기 슬라이딩 파트(14)에 기계적으로 연결되는데,
   - 상기 세로 폐쇄 방향(z)에서 선형으로 변위될 때, 상기 변위 멤버(16)는 상기 세로 폐쇄 방향 (z)에 대하여 경사를 가지는 힘을 상기 세로 폐쇄 방향(z) 및 가로 폐쇄 방향(y)에서 힘 성분을 가지는 슬라이딩 파트(14) 상으로 가하여 상기 슬라이딩 파트(14)를 제1 위치(P0)에서 제2 위치(PI)로, 그리고 제2 위치(PI) 에서 제3 위치(PC)로 변위시키고,
   - 상기 제2 위치(PI)에서 상기 세로 폐쇄 방향(z)에서 차단된 상기 슬라이딩 파트(14)로 상기 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 변위 멤버의 선형 변위 수단에 의하여, 상기 슬라이딩 파트(14)는 가로 폐쇄 방향(y)에서 상기 제3 위치(PC)로 슬라이딩되는 방식으로 연결되며,
   상기 가이드는 링크 가이드(22)를 가지고, 상기 링크 가이드(22)는,
   ● 피봇 베어링의 수단에 의하여 상기 슬라이딩 파트(14)에 기하학적 슬라이딩 파트 축을 중심으로 피봇 가능하게 연결되고, 상기 세로 축(8)에 직각을 가지고, 상기 가로 축(9)이 기하학적 정상을 형성하는 평면에 놓여지는 가이드 파트(23);
   ● 상기 가이드 파트(23)의 제1 가이드 멤버(26)가 가이드되는 제1 가이드 경로(28), 및
   ● 상기 가이드 파트(23)의 제2 가이드 멤버(27)가 가이드되는 제2 가이드 경로(29)를 가지고,
   상기 가이드 멤버(26, 27)는 상기 세로 폐쇄 방향(z)에서 서로에 대하여 오프셋되고, 상기 가이드 경로(28, 29)는 상기 슬라이딩 파트(14)의 슬라이딩 파트 축(24)이 제1 위치(P0)에서 제2 위치(PI)로 상기 세로 축(8)에 평행하게 가이드되고, 제2 위치(PI)에서 제3 위치(PC)로 상기 가로 축(9)에 대하여 평행하게 가이드되는 방식으로 운영되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   ● 상기 제1 가이드 경로(28)은 상기 세로 축(8)에 대하여 선형으로 평행하게 운영되고,
   ● 상기 제2 가이드 경로(29)는 직선 가이드 경로 부분(29a)와 구브러진 가이드 경로 부분(29b)로 구성되고,
   ● 상기 직선 가이드 경로 부분(29a)는 상기 제1 가이드 경로(28)의 선형 연장에 대응하는, 선형 연장을 가지는 상기 세로 축(8)에 선형으로 평행하게 운영되고,
   ● 상기 구브러진 가이드 경로 부분(29b)는 실질적으로 상기 가로 폐쇄 방향(y)으로 또는 반대로 연장되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
5. 제4항에 있어서,
   상기 구브러진 가이드 경로 부분(29b)는 기하학적 타원(30)의 아크 세그먼트의 형태이고,
   ● 상기 기하학적 타원(30)은, 기하하적 제1 타원 축(30a)이 상기 제1 가이드 경로(28) 상에 놓여지고,
   ● 상기 기하학적 타원(30)은, 기하학적 제2 타원 축(30b)이 상기 가로 축(9)에 평행하고 상기 슬라이딩 파트 축(24)의 제2 위치(PI)와 제3 위치(PC) 사이에서 연장되는 기하학적 직선 상에 놓여지는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
6. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   ● 상기 변위 멤버(16)를 상기 슬라이딩 파트(14)에 연결시키는 상기 경사진 연결은 경사진 표면 가이드(17a)에 의하여 형성되어 상기 변위 멤버(16)와 상기 슬라이딩 파트(14) 사이에서 상기 세로 축(8) 및 상기 가로 축(9)이 놓여지는 평면에서 상기 세로 축(8)에 대하여 경사를 가지는 기하학적 경사 축(31)을 따라 상대적인 슬라이딩이 가능하도록 하고,
   ● 상기 기하학적 경사 축(31)은 상기 슬라이딩 파트(14)가 상기 선형 액츄에이터(15)에 의하여 상기 제2 위치(PI)에서 제3 위치(PC)로 변위가능한 방식으로 상기 세로 축(8)에 대하여 경사를 가지도록 놓여지는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
7. 제6항에 있어서,
   상기 경사진 표면 가이드(17a)는
   ● 상기 슬라이딩 파트(14) 상의 경사진 표면(33)으로서, 상기 경사진 표면은 상기 가로 폐쇄 방향(y) 및 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향으로 경사를 나타내는 상기 슬라이딩 파트(14) 상의 경사진 표면(33), 및
   ● 상기 변위 멤버(16) 상에 배열되어, 상기 경사진 표면(33)에 대응하는 기하학적 영역을 포괄하고 상기 경사 축(31)에 따른 방향에서 상기 경사진 표면(33)에 대하여 롤링하는 롤러들(34),를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
8. 제7항에 있어서,
   ● 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 경사진 표면(33)에 반대되는 방향을 나타내는, 언더컷 표면(36)을 가지고,
   ● 상기 변위 멤버(16)는 상기 언더컷 표면(36) 상에서 롤링하는 회복 롤러들(35)를 가져 상기 슬라이딩 파트(14)를 선형 액츄에이터(15)에 의하여 제3 위치(PC)에서 제2 위치(PI)로, - 또한 제2 위치 (PI)에서 제1 위치(P0)로- 되돌아가도록 변위시키는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
9. 제6항에 있어서,
   상기 슬라이딩 파트(14)와 상기 변위 멤버(16) 사이에서 작용하고, 상기 변위 멤버(16)가 선형 액츄에이터(15)에 의하여 상기 세로 폐쇄 방향(y)에 반대하여 상기 제3 위치(PC)에서 상기 제2 위치(PI)로 변위될 때 상기 상대적인 슬라이딩이 제한되는 방식으로 배열되는 것인 드라이버(39)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
10. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    ● 상기 변위 멤버(16)를 상기 슬라이딩 파트(14)에 기계적으로 연결하는 상기 경사진 연결(17a; 17b)이 서로에 대하여 평행하게 배열되는 적어도 두 개의 브랜치들(37)을 가지는 평행사변형 가이드(17b)에 의하여 형성되고,
    ● 상기 적어도 두 개의 브랜치들(37)은 상기 변위 멤버(16) 및 상기 슬라이딩 파트(14)에 브랜치 축(38a, 38b)를 중심으로 피봇 가능하게 각각 연결되고,
    ● 상기 브랜치 축(38a, 38b) 각각은 상기 세로 축(8)에 직각을 가지고 상기 가로 축(9)이 기하학적 정상을 형성하는 평면에 놓여지는 기하학적 슬라이딩 파트 축(24)에 평행하게 운영되고,
    ● 상기 브랜치들(37)은 제1 위치(P0) 및 제2 위치(PI) 사이에서, 상기 세로 폐쇄 방향(z)에서 상기 슬라이딩 파트(14)에서의 각 브랜치 축(38a)이 상기 변위 멤버(16)에서의 상기 각 브랜치 축(38b)에 대하여 오프셋되는 방식으로 배열되고 크기를 가지게 되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
11. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 세로 축(8)에 평행하게 선형으로 변위 가능한 상기 변위 멤버(16)가 상기 가로 폐쇄 방향(y)의 맞은편을 지시하고, 상기 밸브 바디(10)에 연결되고 상기 세로 축(8)에 평행하게 연장되는 트랙(41) 상을 롤링하는 지지 롤러들(40)를 가지게 되어 상기 밸브 바디(10) 상의 상기 변위 멤버(16)를 상기 가로 폐쇄 방향(y)에 반대되는 방향으로 지지하는 것을 특징으로 진공 슬라이드 게이트 밸브.
12. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    ● 적어도 하나의 지지 파트(18)는 상기 세로 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향에서 상기 슬라이딩 파트(14)으로부터 강하게 돌출되고, 상기 지지 파트(18)의 자유 말단(19)이 상기 가로 폐쇄 방향(y)을 지시하는 접촉 표면(20)를 가지는 가로 폐쇄 폐쇄 방향(z)에 반대되는 방향을 지시하고,
    ● 상기 슬라이딩 파트(14)는 상기 폐쇄 플레이트(4)와 상기 접촉 표면(20) 사이에서 실질적으로 중앙에 배열되고,
    ● 상기 제2 위치(PI) 및 상기 제3 위치(PC)에서, 상기 접촉 표면(20)은 상기 지지 파트(18)의 자유 말단(19)이 상기 가로 폐쇄 방향(y)에서 지지체(21) 상에서 상기 폐쇄 위치(C)에서 지지되는 방식으로, 상기 밸브 벽(1)에 강하게 연결되는 상기 지지체(21) 맞은편에 배열되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
13. 제12항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 지지 파트(18) 및 적어도 하나의 밸브 로드(6)는 내장되게 형성되고, 상기 적어도 하나의 지지 파트(18)는 상기 적어도 하나의 밸브 로드(6)의 일부에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
14. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 선형 액츄에이터(15)는 스핀들 드라이브(15a)로서 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.
15. 제1항, 제4항 또는 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 선형 액츄에이터(15)는 피스톤-실린더 유닛(15b)으로서 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 슬라이드 게이트 밸브.

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