KR102137850B1 - 반도체 웨이퍼 취급 시스템에서 사용하기 위한 자동화 인터페이스 장치 및 방법 - Google Patents

반도체 웨이퍼 취급 시스템에서 사용하기 위한 자동화 인터페이스 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 각종 양태는 스마트 도킹 스테이션과 관련된다. 스마트 도킹 스테이션은 센서 웨이퍼가 충전되고 데이터를 업로드 및 다운로드하게 하는 데이터 이송 및 전기 커넥션을 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션은 툴 위의 오프트랙 스토리지 위치에 위치될 수 있다. 이 위치는 자동화 물류 취급 시스템(AMHS)으로 하여금 센서 웨이퍼를 검색하고 이 센서 웨이퍼를 분석을 요하는 툴에 전달할 수 있게 한다. 센서 웨이퍼는 스마트 전방 개방 통합 포드(FOUP)에 저장될 수 있다. 이 요약은 조사자 또는 다른 독자가 기술적 설명의 주제를 신속히 확인할 수 있게 하는 요약을 요구하는 규칙에 순응하여 제공된다는 점에 주목한다. 이 요약은 특허 청구범위의 범위 또는 의미를 해석하거나 제한하는 용도로 사용되지 않는다는 점을 이해하여야 한다.

Description

반도체 웨이퍼 취급 시스템에서 사용하기 위한 자동화 인터페이스 장치 및 방법{AUTOMATED INTERFACE APPARATUS AND METHOD FOR USE IN SEMICONDUCTOR WAFER HANDLING SYSTEMS}
본 발명의 각종 실시형태는 클린룸 환경에서 툴에 대한 진단을 수행할 수 있는 웨이퍼 취급 시스템을 자동화하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
센서 웨이퍼는 툴의 프로세스 특징화(process characterization)를 수행하기 위해 사용된다. 센서 웨이퍼는 비제한적인 예를 들자면 기판 온도 프로파일과 같은 프로세스의 많은 상이한 파라미터를 측정하고 그 측정치를 엔지니어에게 보고할 수 있다. 원래, 센서 웨이퍼는 연구 개발을 위한 툴로서 사용되었다. 엔지니어에게 제공된 정보는 엔지니어가 처리 단계를 정제하거나 개선할 수 있게 한다. 그러나, 더 강화된 허용오차 및 생산 수율에 대한 수요의 증가에 의해, 센서 웨이퍼는 또한 가치있는 프로세스 모니터링 툴이 되고 있다.
센서 웨이퍼는 처리 단계가 소정의 허용오차를 초과하는 결과들을 생성하기 시작할 때 처리 단계에서의 문제점들을 식별하는 것을 돕도록 전개될 수 있다. 현재, 센서 웨이퍼의 사용은 특징화되는 툴의 상당한 다운타임(downtime)을 필요로 한다. 생산 설정에서 센서 웨이퍼를 전개하기 위해, 기술자는 먼저 툴을 오프라인에서 취득해야 한다. 그 다음에, 기술자는 센서 웨이퍼를 하우징하는 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)를 운반하기 위해 카트를 취득해야 한다. FOUP를 툴에 수동으로 전달한 후에, 센서 웨이퍼는 바람직한 조건하에서 처리되어야 한다. 그 다음에, 기술자는 센서 웨이퍼에 의해 로그된 데이터를 랩톱에 다운로드해야 한다. 그 다음에, 기술자는 툴을 생산에 재할당하여야 한다. 이 처리는 이상적인 조건하에서 약 3~4시간 걸릴 수 있다.
따라서, 센서 웨이퍼는 전형적으로 처리 단계가 특정 허용오차를 초과하는 장치를 생산하기 시작할 때에만 활용된다. 그러나, 프로세스가 특정 허용오차를 초과하는 장치의 생산을 시작하기 전에 처리 분석이 가능하게 하기 위해 툴을 오프라인에서 취득하는 시간을 최소화하는 것이 유용할 것이다. 본 발명의 실시형태는 이러한 배경 내에서 이루어진다.
본 발명의 목적 및 장점들은 첨부 도면을 참조하면서 이하의 상세한 설명을 읽음으로써 명백하게 될 것이다.
도 1a는 본 발명의 일 양태에 따른 자동화 센서 웨이퍼 시스템의 개략도이다.
도 1b는 본 발명의 다른 양태에 따른 자동화 센서 웨이퍼 시스템의 개략도이다.
도 2a는 본 발명의 일 양태에 따른 툴 위의 오프트랙(off-track) 스토리지 위치에 위치된 스마트 도킹 스테이션을 보인 도이다.
도 2b는 본 발명의 일 양태에 따른 툴 내에 위치된 스마트 도킹 스테이션을 보인 도이다.
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 일 양태에 따른 데이터의 흐름 및 센서 웨이퍼의 물리적 이동을 묘사하는 자동화 센서 웨이퍼 시스템의 처리 흐름도이다.
도 3g는 스마트 도킹 스테이션 명령어의 집합을 보인 도이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 다른 양태에 따른 데이터의 흐름 및 센서 웨이퍼의 물리적 이동을 묘사하는 자동화 센서 웨이퍼 시스템의 처리 흐름도이다.
이하의 상세한 설명에서는 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시형태를 예로서 나타내고 본 명세서의 일부를 구성하는 첨부 도면을 참조하기로 한다. 도면들은 여기에서 "예시"라고도 부르는 실시형태의 각종 예에 따른 삽화를 보여준다. 도면들은 이 기술에 숙련된 사람이 본 주제를 실시할 수 있을 정도로 충분히 상세하게 묘사된다. 실시형태들은 결합될 수 있고, 다른 실시형태가 활용될 수 있으며, 청구되는 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 구조적, 논리적 및 전기적 변화가 이루어질 수 있다. 이와 관련하여, "최상단", "바닥부", "전방", "후방", "선두", "후미" 등과 같은 방향 관련 용어가 묘사되는 도면의 방위와 관련하여 사용된다. 본 발명의 각종 실시형태의 컴포넌트들이 다수의 상이한 방위로 위치될 수 있기 때문에, 상기 방향 관련 용어들은 설명하는 용도로 사용되고 어떻게든 제한하는 의도가 없다. 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않고 다른 실시형태가 사용될 수 있고, 구조적 또는 논리적 변화가 이루어질 수 있다는 점을 이해하여야 한다.
이 문서에서, 단수 형태의 표현은 특허 문서에서 공통적인 것처럼 복수를 포함할 수 있다. 이 문서에서 용어 "또는"은 비배타적인 "또는"을 나타낸다. 예를 들면, "A 또는 B를 포함한다"는 다른 방식으로 명시되지 않는 한 "A는 포함하지만 B는 포함하지 않는다", "B는 포함하지만 A는 포함하지 않는다", "A와 B를 포함한다"를 포함한다. 그러므로, 이하의 상세한 설명은 제한하는 의미로 해석되어서는 안되고, 본 발명의 범위는 첨부된 특허 청구범위에 의해 규정된다.
본 발명의 양태에 따르면, 센서 웨이퍼는 센서 FOUP에 하우징된다. 센서 FOUP는 센서 웨이퍼를 충전시키고 데이터를 센서 웨이퍼에 대하여 업로드 및 다운로드할 수 있게 하는 데이터 이송 커넥션 및 전기 커넥션을 포함할 수 있다. 센서 FOUP는 또한 센서 FOUP를 충전시키고 데이터를 스마트 도킹 스테이션에 대하여 업로드 및 다운로드할 수 있게 하는 유사한 커넥션을 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션은 툴 위의 오프트랙 스토리지 위치에 위치될 수 있다. 이 위치는 자동화 물류 취급 시스템(automated material handling system, AMHS)이 센서 FOUP를 검색하고 센서 FOUP를 원하는 툴에 전달하게 한다.
본 발명의 다른 양태에 따르면, 스마트 도킹 스테이션은 기판 처리 툴에 또한 통합될 수 있다. 이 구성은 전기 및 데이터 이송 커넥션을 포함하지 않은 FOUP에서 센서 웨이퍼의 운송을 가능하게 한다. 데이터는 센서 웨이퍼로부터 툴 내의 스마트 도킹 스테이션으로 직접 업로드 및 다운로드될 수 있다. 추가로, 스마트 도킹 스테이션은 센서 웨이퍼를 충전하기 위한 전기 커넥션을 센서 웨이퍼에 직접 제공할 수 있다. 본 발명의 이 양태에 의해 센서 웨이퍼는 웨이퍼를 운송하는데 사용한 표준 FOUP를 사용하여 분석할 필요가 있는 툴에 운송될 수 있다.
본 발명의 추가적인 양태는 센서 웨이퍼에 의해 툴을 분석하기 위해 사용될 수 있는 자동화 시스템을 설명한다. 본 발명의 이 양태에 따르면, 공장 자동화(FA) 서버가 센서 웨이퍼의 미션을 스마트 도킹 스테이션에게 제공할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션은 상기 미션을 센서 웨이퍼에 업로드할 수 있다. FA 서버는 또한 분석 대상의 툴에게 레시피(recipe)를 전달할 수 있다. 여기에서 "분석 대상의 도구"란 "피시험 장치"(device under test, DUT)를 또한 말할 수 있다. FA 서버는 또한 AMHS의 로보틱 웨이퍼 전달 시스템에게 지시하여 스마트 도킹 스테이션으로부터 센서 웨이퍼를 검색하고 그 센서 웨이퍼를 DUT에게 전달하게 할 수 있다. 센서 웨이퍼가 DUT에 전달되었으면, 레시피가 센서 웨이퍼에서 동작하고 처리 조건이 센서 웨이퍼의 메모리에 로그 및 저장된다. 레시피가 완료되면, DUT는 센서 웨이퍼가 스마트 도킹 스테이션으로 복귀될 수 있음을 표시하는 신호를 FA 서버에게 전송할 수 있다. FA 서버는 그 다음에 AMHS에게 지시하여 DUT로부터 센서 웨이퍼를 검색하고 센서 웨이퍼를 이용가능한 스마트 도킹 스테이션에 전달하게 할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션에 도킹된 때, 센서 웨이퍼는 상기 로그된 데이터를 스마트 도킹 스테이션에 다운로드할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션은 그 다음에 데이터를 센서 웨이퍼 서버에 송신할 수 있다. 상기 로그된 데이터에 액세스하기 위해, FA 서버는 그 다음에 상기 센서 웨이퍼 서버로부터 상기 로그된 데이터를 요구할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 양태에 따른 자동화 툴 진단 시스템(100)의 개략도이다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 네트워크(160)를 통해 센서 웨이퍼 서버(109) 및 FA 서버(110)에 의해 액세스될 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 FA 서버(110)에 의해 액세스가능한 복수의 스마트 도킹 스테이션(103) 중의 하나일 수 있다. FA 서버(110)는 또한 네트워크(160)를 통해 AMHS(106)(도시 생략됨) 및 DUT(118)(도시 생략됨)와 통신할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)와 FA 서버(110)는 동일한 하드웨어에서 동작하는 가상화 머신, 예를 들면, 특수 구성된 소프트웨어를 이용하여 상이한 가상 머신에서 동작하는 일반적인 범용 컴퓨터로서 구현될 수 있다. 대안적으로, 센서 웨이퍼 서버(109)와 FA 서버(110)는 별도의 하드웨어로 구현될 수 있다.
운송가능한 센서 FOUP(104)는 센서 웨이퍼(108)를 수용하고 FOUP가 예를 들면 하나의 툴로부터 다른 툴로, 툴로부터 도킹 스테이션으로, 또는 도킹 스테이션으로부터 툴로 운송될 때 센서 웨이퍼를 보유하도록 구성될 수 있다. 센서 FOUP(104)는 센서 FOUP(104)를 스마트 도킹 스테이션(103)에 접속시키는 전기 커넥션(111)을 구비할 수 있다. 전기 커넥션(111)은 센서 FOUP(104)의 배터리를 충전시키도록 구성될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 전기 커넥션(111)은 스마트 도킹 스테이션(103)의 전원(142)을 센서 FOUP(104)의 배터리 충전 제어기(142')에 접속시킬 수 있다. 배터리 충전 제어기(142')는 그 다음에 배터리(153')를 충전하고 유지한다. 센서 FOUP(104)는 또한 센서 FOUP(104)를 스마트 도킹 스테이션(103)에 접속시키는 데이터 커넥션(112)을 구비할 수 있다. 데이터 커넥션(112)은 스마트 도킹 스테이션(103)에 대하여 데이터를 업로드 또는 다운로드하도록 구성될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 데이터 커넥션(112)은 스마트 도킹 스테이션(103)의 입력/출력 회로(141)를 센서 FOUP(104)의 입력/출력 회로(141')에 접속시킬 수 있다. 상기 전기 커넥션(111) 및 데이터 커넥션(112)은 스마트 도킹 스테이션(103)과 센서 FOUP(104) 사이에 전기 경로 및 데이터 경로 둘 다를 제공할 수 있는 단일 커넥션으로서 구현될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 상기 단일 커넥션은 USB 커넥션일 수 있다. 다시 비제한적인 예를 들자면, 상기 데이터 경로는 고주파수(RF) 또는 적외선(IR) 데이터 경로를 이용하여 무선으로 구현될 수 있다. RF 데이터 경로의 예로는 블루투스가 있고, 적외선 데이터 경로의 예로는 IRDA가 있다.
스마트 도킹 스테이션(103)은 중앙 처리 장치(CPU)(131)를 포함할 수 있다. 예를 들면, CPU(131)는 듀얼 코어, 쿼드 코어, 멀티코어 또는 셀 프로세서 아키텍처에 따라 구성될 수 있는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 또한 메모리(132)(예를 들면, RAM, DRAM, ROM 등)를 포함할 수 있다. CPU(131)는 일부가 메모리(132)에 저장될 수 있는 프로세스 제어 프로그램(133)을 실행할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 또한 입력/출력(I/O) 회로(141), 전원(P/S)(142), 클럭(CLK)(143) 및 캐시(144)와 같은 공지의 지원 회로(140)를 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 프로그램 및/또는 데이터를 저장하기 위한 디스크 드라이브, CD-ROM 드라이브, 테이프 드라이브 등과 같은 대용량 기억 장치(134)를 선택적으로 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 스마트 도킹 스테이션(103)에 대한 직접적 액세스를 요구하는 사용자와 스마트 도킹 스테이션(103) 간의 상호작용을 촉진하기 위한 디스플레이 유닛(137) 및 사용자 인터페이스 유닛(138)을 또한 선택적으로 포함할 수 있다. 디스플레이 유닛(137)은 텍스트, 숫자 또는 그래픽 기호들을 디스플레이하는 음극선관(CRT) 또는 평판 화면의 형태를 가질 수 있다. 사용자 인터페이스 유닛(138)은 키보드, 마우스, 조이스틱, 라이트펜(light pen) 또는 다른 장치를 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 블루투스, 와이파이, 이더넷 포트 또는 다른 통신 방법의 사용을 가능하게 하도록 구성된 네트워크 인터페이스(139)를 포함할 수 있다.
네트워크 인터페이스(139)는 전자 통신망(160)을 통한 통신을 가능하게 하는 적당한 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어 또는 이들의 2개 이상의 임의 조합을 통합할 수 있다. 네트워크 인터페이스(139)는 인터넷과 같은 광역 통신망 및 근거리 통신망을 통해 유선 또는 무선 통신을 구현하도록 구성될 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 네트워크(160)를 통한 하나 이상의 데이터 패킷을 통해 데이터 및/또는 파일에 대한 요청을 전송 및 수신할 수 있다.
전술한 컴포넌트들은 내부 시스템 버스(150)를 통해 서로 신호를 교환할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 여기에서 설명하는 본 발명의 각종 실시형태를 구현하는 코드를 구동할 때 특수 용도 컴퓨터로 되는 범용 컴퓨터일 수 있다.
센서 FOUP(104)는 중앙 처리 장치(CPU)(131')를 포함할 수 있다. 예를 들면, CPU(131')는 듀얼 코어, 쿼드 코어, 멀티코어 또는 셀 프로세서 아키텍처에 따라 구성될 수 있는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 또한 메모리(132')(예를 들면, RAM, DRAM, ROM 등)를 포함할 수 있다. CPU(131')는 일부가 메모리(132')에 저장될 수 있는 프로세스 제어 프로그램(133')을 실행할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 또한 입력/출력(I/O) 회로(141'), 배터리 관리 제어기(CHG)(142'), 클럭(CLK)(143') 및 캐시(144')와 같은 공지의 지원 회로(140')를 포함할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 미션을 수행하는 동안 센서 FOUP(104)의 전원이 되는 배터리(153')를 포함한다. 센서 FOUP(104)는 프로그램 및/또는 데이터를 저장하기 위한 디스크 드라이브, CD-ROM 드라이브, 테이프 드라이브 등과 같은 대용량 기억 장치(134')를 선택적으로 포함할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 센서 FOUP(104)에 대한 직접적 액세스를 요구하는 사용자와 센서 FOUP(104) 간의 상호작용을 촉진하기 위한 디스플레이 유닛(137') 및 사용자 인터페이스 유닛(138')을 또한 선택적으로 포함할 수 있다. 디스플레이 유닛(137')은 텍스트, 숫자 또는 그래픽 기호들을 디스플레이하는 액정 디스플레이(LCD) 또는 평판 화면의 형태를 가질 수 있다. 사용자 인터페이스 유닛(138')은 키보드, 마우스, 조이스틱, 라이트펜 또는 다른 장치를 포함할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 와이파이, 블루투스, 이더넷 포트 또는 다른 통신 방법의 사용을 가능하게 하도록 구성된 네트워크 인터페이스(139')를 포함할 수 있다. 일부 구현 예에 있어서, 네트워크 인터페이스(139')는 스마트 도킹 스테이션(103)과 무관한 원격 서버와 센서 FOUP(104) 사이에 무선 통신 링크를 확립하도록 구성될 수 있다.
네트워크 인터페이스(139')는 전자 통신망(160)을 통한 통신을 가능하게 하는 적당한 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어 또는 이들의 2개 이상의 임의 조합을 통합할 수 있다. 네트워크 인터페이스(139')는 인터넷과 같은 광역 통신망 및 근거리 통신망을 통해 유선 또는 무선 통신을 구현하도록 구성될 수 있다. 센서 FOUP(104)는 네트워크(160)를 통한 하나 이상의 데이터 패킷을 통해 데이터 및/또는 파일에 대한 요청을 전송 및 수신할 수 있다.
센서 FOUP(104)는 센서 웨이퍼(108)를 수용하도록 구성된 하나 이상의 리셉터클(107)을 포함할 수 있다. 리셉터클(107)은 센서 웨이퍼(108) 내의 배터리(114)에 전기 충전을 제공하도록 구성된 충전 접점을 포함할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 센서 웨이퍼(108)와 데이터를 교환하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 센서 FOUP(104)는 무선주파수 ID(RFID), 적외선(IR), 전자기 유도 등에 기반을 둔 무선 송수신기, 또는 대응하는 무선 송수신기를 통해 센서 웨이퍼(108)에 대하여 데이터를 송수신하도록 구성된 다른 적당한 기술을 포함할 수 있다. 대안적으로, 리셉터클(107)은 센서 웨이퍼(108)의 메모리(132SW)로/로부터 데이터를 전송하도록 구성된 데이터 접점을 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 발명의 소정 양태를 설명하기 위한 목적으로 도 1a에 도시되어 있다는 점에 주목한다. 그러나, 센서 웨이퍼(108)는 엄격히 말하면 센서 FOUP(104)의 부품이 아니다. 그 대신에, 센서 웨이퍼(108)는 센서 FOUP(104)가 동작하는 워크피스로서 간주될 수 있다.
전술한 컴포넌트들은 내부 시스템 버스(150')를 통해 서로 신호를 교환할 수 있다. 센서 FOUP(104)는 여기에서 설명하는 본 발명의 각종 실시형태를 구현하는 코드를 구동할 때 특수 용도 컴퓨터로 되는 범용 컴퓨터일 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 센서 FOUP(104)는 캘리포니아 밀피타스에 소재하는 KLA-Tencor에서 판매하는 스마트FOUP일 수 있다.
FA 서버(110)는 중앙 처리 장치(CPU)(131")를 포함할 수 있다. 예를 들면, CPU(131")는 듀얼 코어, 쿼드 코어, 멀티코어 또는 셀 프로세서 아키텍처에 따라 구성될 수 있는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다. FA 서버(110)는 또한 메모리(132")(예를 들면, RAM, DRAM, ROM 등)를 포함할 수 있다. CPU(131")는 일부가 메모리(132")에 저장될 수 있는 프로세스 제어 프로그램(133")을 실행할 수 있다. FA 서버(110)는 또한 입력/출력(I/O) 회로(141"), 전원(P/S)(142"), 클럭(CLK)(143") 및 캐시(144")와 같은 공지의 지원 회로(140")를 포함할 수 있다. FA 서버(110)는 프로그램 및/또는 데이터를 저장하기 위한 디스크 드라이브, CD-ROM 드라이브, 테이프 드라이브 등과 같은 대용량 기억 장치(134")를 선택적으로 포함할 수 있다. FA 서버(110)는 FA 서버(110)에 대한 직접적 액세스를 요구하는 사용자와 FA 서버(110) 간의 상호작용을 촉진하기 위한 디스플레이 유닛(137") 및 사용자 인터페이스 유닛(138")을 또한 선택적으로 포함할 수 있다. 디스플레이 유닛(137")은 텍스트, 숫자 또는 그래픽 기호들을 디스플레이하는 음극선관(CRT) 또는 평판 화면의 형태를 가질 수 있다. 사용자 인터페이스 유닛(138")은 키보드, 마우스, 조이스틱, 라이트펜 또는 다른 장치를 포함할 수 있다. FA 서버(110)는 와이파이, 이더넷 포트 또는 다른 통신 방법의 사용을 가능하게 하도록 구성된 네트워크 인터페이스(139")를 포함할 수 있다.
네트워크 인터페이스(139")는 전자 통신망(160)을 통한 통신을 가능하게 하는 적당한 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어 또는 이들의 2개 이상의 임의 조합을 통합할 수 있다. 네트워크 인터페이스(139")는 인터넷과 같은 광역 통신망 및 근거리 통신망을 통해 유선 또는 무선 통신을 구현하도록 구성될 수 있다. FA 서버(110)는 네트워크(160)를 통한 하나 이상의 데이터 패킷을 통해 데이터 및/또는 파일에 대한 요청을 전송 및 수신할 수 있다.
전술한 컴포넌트들은 내부 시스템 버스(150")를 통해 서로 신호를 교환할 수 있다. FA 서버(110)는 여기에서 설명하는 본 발명의 각종 실시형태를 구현하는 코드를 구동할 때 특수 용도 컴퓨터로 되는 범용 컴퓨터일 수 있다.
센서 웨이퍼 서버(109)는 중앙 처리 장치(CPU)(131'")를 포함할 수 있다. 예를 들면, CPU(131'")는 듀얼 코어, 쿼드 코어, 멀티코어 또는 셀 프로세서 아키텍처에 따라 구성될 수 있는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 또한 메모리(132'")(예를 들면, RAM, DRAM, ROM 등)를 포함할 수 있다. CPU(131'")는 일부가 메모리(132'")에 저장될 수 있는 프로세스 제어 프로그램(133'")을 실행할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 또한 입력/출력(I/O) 회로(141'"), 전원(P/S)(142'"), 클럭(CLK)(143'") 및 캐시(144'")와 같은 공지의 지원 회로(140'")를 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 프로그램 및/또는 데이터를 저장하기 위한 디스크 드라이브, CD-ROM 드라이브, 테이프 드라이브 등과 같은 대용량 기억 장치(134'")를 선택적으로 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 센서 웨이퍼 서버(109)에 대한 직접적 액세스를 요구하는 사용자와 센서 웨이퍼 서버(109) 간의 상호작용을 촉진하기 위한 디스플레이 유닛(137'") 및 사용자 인터페이스 유닛(138'")을 또한 선택적으로 포함할 수 있다. 디스플레이 유닛(137'")은 텍스트, 숫자 또는 그래픽 기호들을 디스플레이하는 음극선관(CRT) 또는 평판 화면의 형태를 가질 수 있다. 사용자 인터페이스 유닛(138'")은 키보드, 마우스, 조이스틱, 라이트펜 또는 다른 장치를 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 와이파이, 이더넷 포트 또는 다른 통신 방법의 사용을 가능하게 하도록 구성된 네트워크 인터페이스(139'")를 포함할 수 있다.
네트워크 인터페이스(139'")는 전자 통신망(160)을 통한 통신을 가능하게 하는 적당한 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어 또는 이들의 2개 이상의 임의 조합을 통합할 수 있다. 네트워크 인터페이스(139'")는 인터넷과 같은 광역 통신망 및 근거리 통신망을 통해 유선 또는 무선 통신을 구현하도록 구성될 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 네트워크(160)를 통한 하나 이상의 데이터 패킷을 통해 데이터 및/또는 파일에 대한 요청을 전송 및 수신할 수 있다.
전술한 컴포넌트들은 내부 시스템 버스(150'")를 통해 서로 신호를 교환할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(109)는 여기에서 설명하는 본 발명의 각종 실시형태를 구현하는 코드를 구동할 때 특수 용도 컴퓨터로 되는 범용 컴퓨터일 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 센서 웨이퍼 서버는 캘리포니아 밀피타스에 소재하는 KLA-Tencor에서 판매하는 클래리티(Klarity) ACE XP 시스템일 수 있다.
도 1b는 본 발명의 다른 양태에 따른 자동화 툴 진단 시스템(101)의 개략도이다. 자동화 진단 시스템(101)은 센서 웨이퍼(108)가 센서 FOUP(104)에 하우징되지 않고 스마트 도킹 스테이션(103)에 직접 도크된다는 점을 제외하고 자동화 진단 시스템(100)과 유사하다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 네트워크(160)를 통해 센서 웨이퍼 서버(109) 및 FA 서버(110)에 의해 액세스될 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(103)은 FA 서버(110)에 의해 액세스가능한 복수의 스마트 도킹 스테이션(103) 중의 하나일 수 있다. FA 서버(110)는 또한 네트워크(160)를 통해 AMHS(106)(도시 생략됨) 및 DUT(118)(도시 생략됨)와 통신할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 복수의 센서 웨이퍼(108) 중의 하나일 수 있다.
센서 웨이퍼(108)는 중앙 처리 장치(CPU)(131SW)를 포함할 수 있다. 예를 들면, CPU(131SW)는 듀얼 코어, 쿼드 코어, 멀티코어 또는 셀 프로세서 아키텍처에 따라 구성될 수 있는 하나 이상의 프로세서를 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 또한 메모리(132SW)(예를 들면, RAM, DRAM, ROM 등)를 포함할 수 있다. CPU(131SW)는 일부가 메모리(132SW)에 저장될 수 있는 프로세스 제어 프로그램(133SW)을 실행할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 또한 입력/출력(I/O) 회로(141SW), 배터리(153SW)용의 배터리 충전 제어기(CHG)(142SW), 클럭(CLK)(143SW) 및 캐시(144SW)와 같은 공지의 지원 회로(140SW)를 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 프로그램 및/또는 데이터를 저장하기 위한 디스크 드라이브, CD-ROM 드라이브, 테이프 드라이브 등과 같은 대용량 기억 장치(134SW)를 선택적으로 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 센서 웨이퍼(108)에 대한 직접적 액세스를 요구하는 사용자와 센서 웨이퍼(108) 간의 상호작용을 촉진하기 위한 디스플레이 유닛(137SW) 및 사용자 인터페이스 유닛(138SW)을 또한 선택적으로 포함할 수 있다. 디스플레이 유닛(137SW)은 텍스트, 숫자 또는 그래픽 기호들을 디스플레이하는 음극선관(CRT) 또는 평판 화면의 형태를 가질 수 있다. 사용자 인터페이스 유닛(138SW)은 키보드, 마우스, 조이스틱, 라이트펜 또는 다른 장치를 포함할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 와이파이, 이더넷 포트 또는 다른 통신 방법의 사용을 가능하게 하도록 구성된 네트워크 인터페이스(139SW)를 선택적으로 포함할 수 있다.
네트워크 인터페이스(139SW)는 전자 통신망(160)을 통한 통신을 가능하게 하는 적당한 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어 또는 이들의 2개 이상의 임의 조합을 통합할 수 있다. 네트워크 인터페이스(139SW)는 인터넷과 같은 광역 통신망 및 근거리 통신망을 통해 유선 또는 무선 통신을 구현하도록 구성될 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 네트워크(160)를 통한 하나 이상의 데이터 패킷을 통해 데이터 및/또는 파일에 대한 요청을 전송 및 수신할 수 있다.
전술한 컴포넌트들은 내부 시스템 버스(150SW)를 통해 서로 신호를 교환할 수 있다. 센서 웨이퍼(108)는 여기에서 설명하는 본 발명의 각종 양태를 구현하는 코드를 구동할 때 특수 용도 컴퓨터로 되는 범용 컴퓨터일 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 센서 웨이퍼(108)는 캘리포니아 밀피타스에 소재하는 KLA-Tencor에서 각각 판매하는 센서 기판의 센스어레이(SensArray) 계열, 에치템프(EtchTemp) 센서, 베이크템프(BakeTemp) 센서, 마스크템프(MaskTemp) 센서, 및 Ÿ‡템프(WetTemp)-LP와 같은 센서 기판일 수 있다.
도 2a는 본 발명의 일 양태에 따른 자동화 툴 진단 시스템(200)의 기계적 컴포넌트를 보인 도이다. 진단 시스템(200)은 바닥(floor) 레벨에서, 또는 테이블탑 레벨과 같은 어떤 중간 레벨에서 툴(205)보다 더 높은 높이에 위치될 수 있는 스마트 도킹 스테이션(203)을 이용할 수 있다. 예를 들면, 툴(205)은 재검토 툴 또는 처리 툴과 같이 제조 설비에서 사용되는 임의의 툴일 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(203)은 툴(205)의 바로 위에 있을 필요가 없다는 점에 주목해야 한다. 스마트 도킹 스테이션(203)은 또한 오프트랙 스토리지 위치에 위치될 수 있다. 오프트랙 스토리지 위치는 AMHS(206)가 사용하는 주경로에 인접하게 위치된 선반(shelf)일 수 있지만, 여전히 AMHS(206)가 액세스할 수 있다. 이 부동산(real estate)은 그 위치가 바닥에서 벗어나고 AMHS(206)의 주경로의 외측에 있기 때문에 제조 설비에서 상대적으로 덜 비싸다. 그래서, 스마트 도킹 스테이션(203)에 대한 이러한 위치 선정은 복수의 스마트 도킹 스테이션(203)이 최소 비용으로 단일 설비에서 사용될 수 있게 한다. 만일 스마트 도킹 스테이션(203)이 다른 곳에 위치하면 상기 부동산이 더 고가로 되지만, 스마트 도킹 스테이션(203)은 오버헤드 트랙(overhead track, OHT) 시스템의 형태를 가진 AMHS(206)와 같은 로보틱 웨이퍼 전달 시스템이 액세스할 수 있는 임의의 다른 위치에 위치될 수 있다. 명확성을 위해, 도 2a에서는 AMHS가 센서 FOUP를 도면 평면에 수직하게 이동시키고 도킹 스테이션이 FOUP를 도면 평면에 평행하게 옮길 수 있는 메카니즘을 포함한다는 점에 주목한다. 로보틱 웨이퍼 전달 시스템은 또한 대안적은 FOUP 전달 시스템, 웨이퍼 운송 로봇, 또는 이들의 임의의 조합을 포함할 수 있다는 점에 주목해야 한다.
스마트 도킹 스테이션(203)은 센서 FOUP(204)의 도킹 위치를 제공하도록 구성될 수 있다. 센서 FOUP(204)가 스마트 도킹 스테이션(203)에 도크된 때, 센서 FOUP(204)와 스마트 도킹 스테이션(203) 사이에는 데이터 커넥션(212) 및 전기 커넥션(211)이 이뤄질 수 있다. 데이터 커넥션(212)은 스마트 도킹 스테이션(203)이 데이터를 센서 FOUP(204)에게 전달할 수 있게 한다. 비제한적인 예를 들자면, 데이터 커넥션(212)은 USB 커넥션, 무선 커넥션 또는 이더넷 커넥션일 수 있다. 예를 들면, 데이터 커넥션(212)을 통해 전송되는 데이터는 센서 FOUP(204) 내에 하우징된 센서 웨이퍼(208)가 실행해야 하는 미션(mission)일 수 있다. 센서 FOUP(204)는 스마트 도킹 스테이션(203)으로부터 수신된 데이터를 센서 FOUP(204) 내에 하우징된 센서 웨이퍼(208)에 전달하도록 또한 구성될 수 있다. 또한, 센서 FOUP(204)는 센서 FOUP(204) 내에 하우징된 센서 웨이퍼(208)로부터 데이터를 다운로드하고 다운로드된 데이터를 데이터 커넥션(212)을 통해 스마트 도킹 스테이션(203)에 전달하도록 구성될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 상기 다운로드된 데이터는 센서 웨이퍼(208)가 미션을 실행하는 동안 센서 웨이퍼(208)에 의해 로그된 데이터일 수 있다. 추가로, 센서 FOUP(204)는 현재 센서 FOUP(204)에 저장되어 있는 센서 웨이퍼(208)의 식별 번호를 스마트 도킹 스테이션(203)에게 통보하는 데이터를 스마트 도킹 스테이션(203)에게 전달할 수 있다.
상기 전기 커넥션(211)은 센서 FOUP(204) 내에 있는 배터리(213)를 스마트 도킹 스테이션(203)이 충전하게 할 수 있다. 추가로, 센서 FOUP(204)는 센서 FOUP(204)에 저장된 센서 웨이퍼(208) 내의 배터리(214)에게 충전을 제공하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 전기 커넥션은 USB 커넥션일 수 있다. 상기 전기 커넥션은 또한 상기 데이터 커넥션(212)과 동일한 커넥션일 수 있다.
도 2b는 본 발명의 다른 양태에 따른 자동화 툴 진단 시스템(201)의 기계적 컴포넌트를 보인 도이다. 자동화 진단 시스템(200)은 툴(205) 내에 위치된 스마트 도킹 스테이션(203)을 이용한다. 미리 존재하는 기판 처리 툴(205)의 이용가능한 공간을 활용함으로써, 본 발명의 이 양태를 위한 추가의 부동산이 필요 없게 된다.
특히, 임의의 툴은 스마트 도킹 스테이션(203)의 기능을 구현하도록 센서 웨이퍼 및 그 관련 지지대를 수용하도록 구성될 수 있다. 이것은 추가된 위치에 적합한 장비 전단 모듈(equipment front end module, EFEM) 인터페이스를 이미 포함하고 있는 툴에서 이러한 기능을 구현하기에 특히 편리하다. 비제한적인 예를 들자면, 툴(205)은 매크로 검사 툴 또는 표면 검사 툴과 같은 진단 검사 툴일 수 있다.
추가로, 센서 웨이퍼(208)는 센서 FOUP(204)에 저장되지 않고 스마트 도킹 스테이션(203)에 직접 도크될 수 있다. 그러므로, 센서 웨이퍼(208)는 전기 커넥션(211) 및 데이터 커넥션(212)을 필요로 하지 않는 정규 FOUP(204')에서 운송될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, CPU(131) 및 메모리(132)와 같은 스마트 도킹 스테이션(203)의 하드웨어 및 소프트웨어는 툴(205)의 하드웨어 및 소프트웨어로부터 분리 또는 논리적으로 분리될 수 있다. 대안적으로 스마트 도킹 스테이션(203)의 하드웨어 및 소프트웨어는 툴(205)의 하드웨어 및 소프트웨어에 통합 또는 부분적으로 통합될 수 있다.
센서 웨이퍼(208)를 운송하기 위해, 스마트 도킹 스테이션은 로보틱 웨이퍼 전달 시스템에 액세스가능해야 한다. 여기에서 사용하는 용어 "로보틱 웨이퍼 전달 시스템"은 센서 웨이퍼(208), 센서 FOUP(204), FOUP(204'), 또는 이들의 임의 조합을 하나의 위치로부터 다른 위치로 물리적으로 이동시키는 임의의 로봇 장치를 말할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 로보틱 웨이퍼 전달 시스템은 FOUP를 전달하는 시스템 및/또는 하나 이상의 웨이퍼 운송 로봇을 포함할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, FOUP를 전달하는 시스템은 AMHS일 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 웨이퍼 운송 로봇은 수평 다관절형 로봇 팔(selective compliant articulated robot arm, SCARA)일 수 있다. 도 2b에 도시된 본 발명의 양태에 따르면, 로보틱 웨이퍼 전달 시스템은 웨이퍼 운송 로봇(207) 및 AMHS(도시 생략됨)로 구성될 수 있다. 웨이퍼 운송 로봇(207)은 스마트 도킹 스테이션(203)으로부터 센서 웨이퍼(208)를 검색하고 센서 웨이퍼(208)를 FOUP(204')에 전달하기 위해 사용할 수 있다. 웨이퍼 운송 로봇(207)은 툴(205)에 부착된 장비 전단 모듈(EFEM)(215)에 위치될 수 있다. 센서 웨이퍼가 FOUP(204')에 전달되었으면, AMHS는 FOUP(204')를 DUT에게 전달할 수 있다.
스마트 도킹 스테이션(203)은 센서 웨이퍼(208)를 스마트 도킹 스테이션(203)에 접속시키는 데이터 커넥션(212)을 구비할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 데이터 커넥션(212)은 USB 커넥션, 무선 커넥션, 또는 이더넷 커넥션일 수 있다. 예를 들면, 데이터 커넥션(212)을 통해 전송된 데이터는 센서 웨이퍼(208)가 실행해야 하는 미션일 수 있다. 또한 스마트 도킹 스테이션(203)은 센서 웨이퍼(208)로부터 스마트 도킹 스테이션(203)으로 데이터 커넥션(212)을 통해 데이터를 다운로드하도록 구성될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 다운로드된 데이터는 센서 웨이퍼(208)가 미션을 실행하는 동안 센서 웨이퍼(208)에 의해 로그된 데이터일 수 있다. 추가로, 센서 웨이퍼(208)는 현재 스마트 도킹 스테이션(203)에 도크되어 있는 센서 웨이퍼(208)의 식별 번호를 스마트 도킹 스테이션(203)에게 통보하는 데이터를 스마트 도킹 스테이션(203)에게 전달할 수 있다.
스마트 도킹 스테이션(203)은 센서 웨이퍼(208) 내의 배터리(214)(도시 생략됨)에게 충전을 제공하도록 구성된 전기 커넥션(211)을 또한 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 전기 커넥션은 USB 커넥션일 수 있다. 상기 전기 커넥션(211)은 상기 데이터 커넥션(212)과 동일한 커넥션일 수 있다.
도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 일 양태에 따른 자동화 툴 진단 시스템(300)의 처리 흐름도이다. 도면에서, 실선은 네트워크(160)를 통한 데이터의 전송을 표시하고, 점선은 컴포넌트의 물리적 움직임을 표시한다.
도 3a는 초기 시작 상태에서의 처리를 보인 것이다. 이 시작 상태에서, 센서 웨이퍼(308)는 센서 FOUP(304) 내에 하우징된다. 센서 FOUP는 현재 스마트 도킹 스테이션(303)에 도크되어 있다. 스마트 FOUP(304)가 부착되거나 부착되지 않은 하나 이상의 스마트 도킹 스테이션(303)이 있을 수 있다. 이 시작 상태에서, 스마트 도킹 스테이션(303)은 센서 FOUP(304)의 배터리(213)에 대한 충전을 제공할 수 있다. 센서 FOUP(304)는 또한 센서 웨이퍼(308)의 배터리(214)에 대한 충전을 제공할 수 있다. 처리는 화살표 1A로 나타낸 바와 같이 FA 서버(310)가 네트워크(160)를 통해 스마트 도킹 스테이션(303)에게 미션 요청을 전송함으로써 개시된다. 비제한적인 예를 들자면, 미션은 어떤 툴이 분석되어야 하는지, 어떤 처리가 분석되어야 하는지, 어떤 웨이퍼가 분석되어야 하는지, 및 어떤 데이터가 분석중에 로그되어야 하는지를 표시하는 센서 웨이퍼(308)에 대한 명령어를 포함할 수 있다.
FA 서버(310)는 또한 화살표 1B로 나타낸 바와 같이 네트워크(160)를 통해 DUT(318)에게 레시피를 전달할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 레시피는 분석을 위해 사용해야 하는 처리 조건 및 데이터를 로깅하는 센서 웨이퍼(308)의 식별 번호를 포함할 수 있다. 상기 레시피는 미션이 스마트 도킹 스테이션(303)에 전달되기 전에, 전달된 후에, 또는 전달과 동시에 DUT(318)에게 전달될 수 있다.
센서 웨이퍼 데이터 서버(319)는 센서 FOUP(304)가 웨이퍼(308)에서 미션을 시작하도록 스마트 도킹 스테이션(303)에게 지시할 수 있다. 이것은 화살표 1C로 나타낸 바와 같이 네트워크(160)를 통해 수행될 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(303)은 그 다음에 미션을 데이터 커넥션(212)을 통해 센서 FOUP(304)에게 전달할 수 있다. 센서 FOUP(304)는 적당한 센서 웨이퍼(308)가 센서 FOUP(304) 내에 위치된 것에 대한 확인 메시지를 스마트 도킹 스테이션(303)에 다시 선택적으로 전송할 수 있다. 이 정보는 그 다음에 화살표 1A로 나타낸 바와 같이 네트워크(160)를 통해 FA 서버(310)에게 재전송될 수 있다. 만일 미션을 수행하도록 지정된 센서 웨이퍼가 상기 FA 서버(310)로부터 명령을 수신한 스마트 도킹 스테이션(303)에 위치하고 있지 않으면, 예외(exception)가 FA 서버(310)에게 전달될 수 있다.
대안적인 구현 예에 있어서, 센서 FOUP(304)는 예를 들면 무선 링크에 의해 센서 웨이퍼 데이터 서버(319)와 직접 통신하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 센서 FOUP는 스마트 도킹 스테이션(303)을 통해 미션을 수신하는 대신에 점선 화살표 1D로 표시한 바와 같이 무선으로 미션을 수신할 수 있다. 그러한 구현 예에 있어서, 센서 FOUP(304)는 센서 웨이퍼 데이터 서버(319)에게 역으로 확인을 송신하거나 점선 화살표 1E로 표시한 바와 같이 무선 링크를 통하여 FA 서버(310)와 직접 통신하도록 또한 구성될 수 있다.
레시피 및 미션이 전달되었으면, FA 서버(310)는 센서 FOUP(304)를 검색하고 센서 FOUP(304)를 도 3b에 화살표 2로 나타낸 바와 같이 DUT(318)에게 전달하도록 지시하는 명령어를 네트워크를 통해 AMHS(306)에게 전송할 수 있다. AMHS(306)에 전송된 명령어는 분석을 위한 우선순위 레벨을 또한 포함할 수 있다. 예를 들어서, 만일 분석이 즉시 행하여질 필요가 있으면, 그 타스크에 고 우선순위 레벨이 지정되고, 만일 분석이 중요하지 않으면 그 타스크에 저 우선순위 레벨이 지정될 수 있다. AMHS(306)는 도 3b에 점선 화살표 3으로 표시한 바와 같이 센서 스마트 도킹 스테이션(303)으로 이동한다. 다음에, 도 3c에 있어서, AMHS(306)는 센서 웨이퍼(308)를 하우징하는 센서 FOUP(304)를 검색하고, 그것을 도 3c에 점선 화살표 4로 표시한 것처럼 DUT(318)에게 전달한다. 스마트 도킹 스테이션(303)과 센서 FOUP(304) 간의 전기 커넥션(211) 및 데이터 커넥션(212)은 AMHS(306)가 센서 FOUP(304)를 DUT(318)로 이동시킬 때 각각 분리된다.
도 3d는 센서 FOUP(304)가 DUT(318)에게 전달된 경우의 처리를 보인 것이다. DUT(318)는 센서 FOUP(304)로부터 센서 웨이퍼(308)를 추출하고 레시피의 실행을 시작할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, DUT는 정상 처리 조건하에서 웨이퍼를 처리하는 방법과 유사한 방식으로 센서 웨이퍼(308)를 추출할 수 있다. 이것은 SCARA와 같은 웨이퍼 운송 로봇을 이용하는 것 또는 센서 웨이퍼를 센서 FOUP(304)로부터 수동으로 추출하는 것을 포함할 수 있다.
레시피가 완료되면, DUT(318)는 센서 웨이퍼를 역으로 센서 FOUP(304)에게 전달할 수 있다. DUT(318)는 또한 화살표 5로 나타낸 바와 같이 분석이 완료되었음을 표시하는 메시지를 네트워크(160)를 통해 FA 서버(310)에게 전달할 수 있다. FA 서버(310)는 그 다음에 센서 FOUP(304)를 검색하고 센서 FOUP(304)를 화살표 6으로 표시한 바와 같이 스마트 도킹 스테이션(303)에게 역으로 전달하도록 AMHS(306)에게 지시하는 명령어를 네트워크(160)를 통하여 전송할 수 있다. AMHS(306)는 그 다음에 센서 FOUP(304)를 픽업하기 위해 화살표 7로 표시한 바와 같이 DUT(318)로 이동할 수 있다. 센서 FOUP(304)는 센서 FOUP(304)가 발원된 것과 동일한 스마트 도킹 스테이션(303)에 역으로 전달될 필요가 없다는 점에 주목하여야 한다. 비제한적인 예를 들자면, 센서 FOUP(304)는 가장 가까운 이용가능한 스마트 도킹 스테이션(303)에, 또는 다음 분석이 수행되는 툴에 근접한 스마트 도킹 스테이션(303)에 전달될 수 있다. 도 3e는 AMHS(306)가 센서 FOUP(304)를 검색하고 센서 FOUP(304)를 화살표 8로 표시한 바와 같이 스마트 도킹 스테이션(303)에 전달하는 것을 보인 도이다.
센서 FOUP(304)가 스마트 도킹 스테이션(303)에 도크되고 데이터 커넥션(212)이 재확립된 때, 센서 웨이퍼(308)에 의해 로그된 데이터는 스마트 도킹 스테이션(303)에 의해 다운로드될 수 있다. 추가로, 전기 커넥션(211)이 재확립된 때, 스마트 도킹 스테이션(303)은 센서 FOUP(304) 내의 배터리(213) 및 센서 웨이퍼(308) 내의 배터리(214)에 대한 충전을 제공하기 시작하고, 그래서 이들이 각각 다음 미션에 대한 준비를 한다. 화살표 9로 표시한 바와 같이, 스마트 도킹 스테이션은 그 다음에 상기 로그된 데이터를 센서 웨이퍼(308)로부터 센서 웨이퍼 서버(319)로 네트워크(160)를 통해 업로드할 수 있다. 센서 FOUP(304)가 무선으로 통신하도록 구성된 구현 예에 있어서, 상기 로그된 데이터의 업로드는 점선 화살표 9A로 표시한 바와 같이 센서 FOUP와 센서 웨이퍼 서버(319) 사이에서 무선 링크를 통해 직접 구현될 수 있다. 데이터는 선택적으로, 점선 화살표 9B로 표시한 바와 같이, 센서 FOUP(304)로부터 FA 서버(310)로 직접 전송될 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(319)는 미가공 데이터(raw data)를 저장하고, 데이터를 원하는 포맷으로 또한 처리할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 데이터는 제조 설비가 통계 처리 차트(Statistical Process Chart, SPC)를 수행하기에 유용한 관련 통계 요약(summary)을 추출하도록 처리될 수 있다. 마이크로소프트 엑셀® 또는 오픈오피스™와 유사한 표준 포맷의 데이터 요약을 또한 이용할 수 있다. 엑셀®은 워싱턴주 레드몬드에 소재하는 마이크로소프트사(Microsoft Corporation)의 등록 상표이다.
일부 구현 예에 있어서, FA 서버(310)는, 선택적으로, 도 3f에 화살표 10으로 표시한 바와 같이 데이터에 대한 요청을 네트워크(160)를 통해 센서 웨이퍼 서버(319)에게 전송할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(319)는 그 다음에 피요청 데이터를 화살표 11로 표시한 바와 같이 FA 서버(310)에게 전달할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(319)는 처리된 데이터 또는 미가공 데이터 또는 이들 둘 다를 FA 서버(310)에게 전달할 수 있다. 본 발명의 일부 양태에 따르면, FA 서버(310) 및 센서 웨이퍼 서버(319)는 동일하지만 논리적으로 분리된 하드웨어에서 구현될 수 있다. 대안적으로, FA 서버(310) 및 센서 웨이퍼 서버(319)는 별도의 하드웨어에서 구현될 수 있다. FA 서버(310)와 센서 웨이퍼 서버(319)가 데이터를 직접 교환할 필요는 없다는 점에 또한 주목한다.
도 3g에 도시된 바와 같이, 스마트 도킹 스테이션 명령어(370)의 집합은 예를 들면 스마트 도킹 스테이션(303)에 의해 구현될 수 있다. 스마트 도킹 스테이션 명령어(370)는 메모리(132) 또는 대용량 기억 장치(134)와 같은 비일시적 컴퓨터 판독가능 매체에서 형성될 수 있다. 스마트 도킹 스테이션 명령어(370)는 또한 프로세스 제어 프로그램(133)의 일부일 수 있다. 명령어는 미션을 완료하였고 그 메모리(132SW)에 하나 이상의 데이터 집합이 저장되어 있는 센서 웨이퍼(308)를 로보틱 웨이퍼 전달 시스템으로부터 수신하는 것(단계 371)을 포함한다. 다음에, 스마트 도킹 스테이션 명령어(370)는 스마트 도킹 스테이션(303)과 센서 웨이퍼(308) 사이에 데이터 커넥션을 확립하는 단계(단계 372)를 포함한다. 다음에, 단계 373에서, 스마트 도킹 스테이션(303)은 센서 웨이퍼(308)의 메모리(132SW)로부터 하나 이상의 데이터 집합을 다운로드하도록 지시된다. 데이터가 다운로드되면, 상기 명령어(370)는 상기 다운로드된 데이터를 네트워크(160)를 통해 서버에 전달하도록 스마트 도킹 스테이션(303)에게 지시함으로써 계속한다(단계 374). 선택적으로, 단계 375에서, 스마트 도킹 스테이션(303)은 네트워크(160)를 통해 공장 자동화 서버(310)로부터 미션을 수신하기 위한 지시가 제공된다. 그 다음에, 단계 376에서, 명령어는 선택적으로 미션을 센서 웨이퍼(308)에게 데이터 커넥션(312)을 통하여 전달하는 단계를 포함한다.
상기의 역도 또한 가능하다. 특히, 단계 371 내지 376에 표시된 처리는 미션을 시작하기 위한 커맨드를 송신하는 법을 다룬다. 도 3f에 도시한 바와 같이 FOUP(및 그 웨이퍼(308))가 역으로 복귀된 후에, 단계 371 내지 375는 다시 수행될 수 있지만, 이번에는 미션 중에 센서 웨이퍼가 필요로 하는 미션 데이터가 웨이퍼로부터 FOUP로 이동한다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 다른 양태에 따른 자동화 툴 진단 시스템(400)의 처리 흐름도이다. 도면에서, 실선은 네트워크를 통한 데이터의 전송을 표시하고, 점선은 컴포넌트의 물리적 움직임을 표시한다.
도 4a는 초기 시작 상태에서의 처리를 보인 것이다. 이 시작 상태에서, 센서 웨이퍼(408)는 스마트 도킹 스테이션(403) 내에 하우징된다. 스마트 도킹 스테이션(403)은 클린룸 환경에서 툴(405) 내에 위치될 수 있다. 덤(dumb) FOUP(404')(즉, 정규 웨이퍼를 운송하기 위해 사용되고 전기 커넥션 또는 데이터 커넥션을 필요로 하지 않는 FOUP)는 현재 스마트 도킹 스테이션(403)을 하우징하는 툴(405)에 도크되어 있다. 이 시작 상태에서, 스마트 도킹 스테이션(403)은 센서 웨이퍼(408)의 배터리(214)에 대한 충전을 제공할 수 있다. 처리는 화살표 1A로 나타낸 바와 같이 FA 서버(410)가 네트워크(160)를 통해 스마트 도킹 스테이션(403)에게 미션을 전송함으로써 개시된다. 비제한적인 예를 들자면, 미션은 어떤 툴이 분석되어야 하는지, 어떤 처리가 분석되어야 하는지, 및 어떤 데이터가 분석중에 로그되어야 하는지를 표시하는 센서 웨이퍼(408)에 대한 명령을 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(403)은 그 다음에 데이터 커넥션(212)을 통해 센서 웨이퍼(408)에 미션을 전달할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(403)은 선택적으로 적당한 센서 웨이퍼(408)가 스마트 도킹 스테이션(403)에 위치하고 있음을 표시하는 확인 메시지를 FA 서버(410)에게 역으로 전송할 수 있다. 만일 미션을 실행하도록 지정된 센서 웨이퍼(408)가 FA 서버(410)로부터 명령어를 수신한 스마트 도킹 스테이션(403)에 위치하고 있지 않으면, 예외가 FA 서버(410)에게 전달될 수 있다.
FA 서버(410)는 또한 화살표 1B로 나타낸 바와 같이 네트워크(160)를 통해 DUT(418)에게 레시피를 전달할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 레시피는 분석을 위해 사용해야 하는 처리 조건 및 데이터를 로깅하는 센서 웨이퍼(408)의 식별 번호를 포함할 수 있다. 상기 레시피는 미션이 센서 웨이퍼(408)에 전달되기 전에, 전달된 후에, 또는 전달과 동시에 DUT(418)에게 전달될 수 있다.
도 4b에서, 센서 웨이퍼(408)는 툴(405)에 의해 스마트 도킹 스테이션(403)으로부터 추출되어 FOUP(404')에 삽입되고, 그래서 센서 웨이퍼(408)는 AMHS(406)에 의해 운송될 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 툴(405)은 정상 처리 조건하에서 웨이퍼를 처리하는 방법과 유사한 방식으로 센서 웨이퍼(408)를 추출할 수 있다. 이것은 SCARA와 같은 웨이퍼 운송 로봇을 이용하는 것 또는 센서 웨이퍼를 스마트 도킹 스테이션(403)으로부터 추출하여 FOUP(404')에 수동으로 삽입하는 것을 포함할 수 있다. 스마트 도킹 스테이션(403)과 센서 웨이퍼(408) 간의 전기 커넥션(211) 및 데이터 커넥션(212)은 센서 웨이퍼(408)가 스마트 도킹 스테이션(403)으로부터 추출된 때 각각 분리된다.
레시피 및 미션이 전달되었으면, FA 서버(410)는 센서 웨이퍼(408)를 검색하고 센서 웨이퍼(408)를 도 4b에 화살표 2로 나타낸 바와 같이 DUT(418)에게 전달하도록 지시하는 명령어를 네트워크를 통해 AMHS(406)에게 전송할 수 있다. AMHS(406)는 점선 3으로 표시한 바와 같이 임의 위치로부터 툴(405)로 이동할 수 있다. AMHS(406)에 전송된 명령어는 분석을 위한 우선순위 레벨을 또한 포함할 수 있다. 예를 들어서, 만일 분석이 즉시 행하여질 필요가 있으면, 그 타스크에 고 우선순위 레벨이 지정되고, 만일 분석이 중요하지 않으면 그 타스크에 저 우선순위 레벨이 지정될 수 있다. 다음에, 도 4c에 있어서, AMHS(406)는 센서 웨이퍼(408)를 하우징하는 FOUP(404')를 검색하고, 그것을 화살표 4로 표시한 것처럼 DUT(418)에게 전달한다.
도 4d는 FOUP(404')가 DUT(418)에게 전달된 경우의 처리를 보인 것이다. DUT(418)는 FOUP(404)로부터 센서 웨이퍼(408)를 추출하고 레시피의 실행을 시작할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, DUT(418)는 정상 처리 조건하에서 웨이퍼를 처리하는 방법과 유사한 방식으로 센서 웨이퍼(408)를 추출할 수 있다. 이것은 SCARA와 같은 웨이퍼 운송 로봇을 이용하는 것 또는 센서 웨이퍼를 FOUP(404')로부터 수동으로 추출하는 것을 포함할 수 있다.
레시피가 완료되었으면, DUT(418)는 센서 웨이퍼를 역으로 FOUP(404)에게 전달할 수 있다. DUT(418)는 또한 화살표 5로 나타낸 바와 같이 분석이 완료되었음을 표시하는 메시지를 네트워크(160)를 통해 FA 서버(410)에게 전달할 수 있다. FA 서버(410)는 그 다음에 FOUP(404')를 검색하고 FOUP(404')를 화살표 6으로 표시한 바와 같이 스마트 도킹 스테이션(403)을 구비한 툴(405)에게 역으로 전달하도록 AMHS(406)에게 지시하는 명령어를 네트워크(160)를 통하여 전송할 수 있다. AMHS(406)는 점선 화살표 7로 표시한 바와 같이 임의 위치로부터 DUT(418)로 이동할 수 있다. FOUP(404')는 FOUP(404')가 발원된 것과 동일한 툴(405)에 역으로 전달될 필요가 없다는 점에 주목하여야 한다. 비제한적인 예를 들자면, FOUP(404')는 이용가능한 스마트 도킹 스테이션(403)을 구비한 가장 가까운 툴(405)에, 또는 다음 분석이 수행되는 제2 DUT(418)에 근접한 스마트 도킹 스테이션(403)을 구비한 툴(405)에 전달될 수 있다. 도 4e는 AMHS(406)가 FOUP(404')를 검색하고 FOUP(404')를 화살표 8로 표시한 바와 같이 스마트 도킹 스테이션(403)을 구비한 툴(405)에 전달하는 것을 보인 도이다.
도 4f는 FOUP(404')가 스마트 도킹 스테이션(403)을 하우징한 툴(405)에 전달된 경우의 처리를 보인 도이다. 툴(405)은 FOUP(404)로부터 센서 웨이퍼(408)를 추출할 수 있다. 비제한적인 예를 들자면, 툴(405)은 정상 처리 조건하에서 웨이퍼를 처리하는 방법과 유사한 방식으로 센서 웨이퍼(408)를 추출할 수 있다. 이것은 SCARA와 같은 웨이퍼 운송 로봇을 이용하는 것 또는 센서 웨이퍼를 FOUP(404')로부터 수동으로 추출하는 것을 포함할 수 있다.
센서 웨이퍼(408)가 스마트 도킹 스테이션(403)에 도크되고 데이터 커넥션(212)이 재확립된 때, 센서 웨이퍼(408)에 의해 로그된 데이터는 스마트 도킹 스테이션(403)에 의해 다운로드될 수 있다. 추가로, 전기 커넥션(211)이 재확립된 후에, 스마트 도킹 스테이션(403)은 센서 웨이퍼(408) 내의 배터리(214)에 대한 충전을 제공하기 시작하고, 그래서 센서 웨이퍼(408)가 그 다음 미션에 대한 준비를 한다. 화살표 9로 표시한 바와 같이, 스마트 도킹 스테이션은 그 다음에 상기 로그된 데이터를 센서 웨이퍼(408)로부터 센서 웨이퍼 서버(419)로 네트워크(160)를 통해 업로드할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(419)는 미가공 데이터를 저장하고, 데이터를 원하는 포맷으로 또한 처리할 수 있다.
선택적 처리에 있어서, FA 서버(410)는 화살표 10으로 표시한 바와 같이 데이터에 대한 요청을 네트워크(160)를 통해 센서 웨이퍼 서버(419)에게 전송할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(419)는 그 다음에 피요청 데이터를 화살표 11로 표시한 바와 같이 FA 서버(410)에게 선택적으로 전달할 수 있다. 센서 웨이퍼 서버(419)는 처리된 데이터 또는 미가공 데이터 또는 이들 둘 다를 FA 서버(410)에게 전달할 수 있다. 본 발명의 일부 양태에 따르면, FA 서버(410) 및 센서 웨이퍼 서버(419)는 동일하지만 논리적으로 분리된 하드웨어에서 구현될 수 있다. 대안적으로, FA 서버(410) 및 센서 웨이퍼 서버(419)는 별도의 하드웨어에서 구현될 수 있다. FA 서버(410)와 센서 웨이퍼 서버(419)가 데이터를 직접 교환할 필요는 없다는 점에 또한 주목한다.
예를 들면, 스마트 도킹 스테이션(403)을 구비한 툴(405)과 피시험 장치(418)는 상이한 장치, 예를 들면, 상이한 툴로서 도시되어 있는 점에 주목한다. 그러나, 툴(405)과 DUT(418)가 동일한 장치로 되는 것, 예를 들면, 스마트 도킹 스테이션이 DUT(418)의 컴포넌트로 되는 것도 본 발명의 양태의 범위 내에 포함된다. 그러한 경우에, 도킹 스테이션으로의 센서 웨이퍼(408)의 이송은 FOUP(404')를 DUT(418)로부터 툴(405)로 역으로 이송할 필요 없이 구현될 수 있고, DUT(418)(도시 생략됨)에서의 도킹 스테이션은 데이터를 센서 웨이퍼(408)로부터 센서 웨이퍼 서버(419) 또는 FA 서버(410)로 업로드할 수 있다.
도 3a 내지 도 3f 및 도 4a 내지 도 4f에 도시된 예에서는 센서 웨이퍼 서버와 공장 자동화 서버가 상이한 서버인 것으로 도시되었다는 점에 또한 주목한다. 이것은 비록 일부 경우에 실제 구현에 있어서 편리함이 있을지라도 엄격한 필요조건은 아니다. 대안적으로, 센서 웨이퍼 서버와 공장 자동화 서버의 기능들은 동일한 하드웨어, 예를 들면, 공통 서버에 의해 구현될 수 있다. 예를 들면, 센서 웨이퍼 데이터 서버(419)의 기능이 공장 자동화 서버(410)에 의해 구현될 수 있다. 그러한 경우에, 공장 자동화 서버(410)는 스마트 도킹 스테이션(403)을 통해 센서 웨이퍼(408)와 직접 통신할 수 있다.
첨부된 특허 청구범위는 기능 수단(means-plus-function) 제한을 포함하는 것으로 해석되지 않는다. 그러나, 그러한 제한이 소정의 청구항에서 구 "...하는 수단"을 이용하여 명확하게 재인용된 경우는 예외로 한다. 특정의 기능을 수행하는 "...하는 수단"을 명시적으로 나타내지 않는 청구항 내의 모든 요소는 35 USC § 112, ¶6에서 규정하는 것처럼 "수단" 또는 "단계" 절로서 해석되지 않는다. 특히, 청구항에서 "...하는 단계"의 사용은 35 USC § 112, ¶6의 조항을 인용하는 것으로 의도되지 않는다.

Claims (39)

  1. 네트워크 상에서 동작하도록 구성된 도킹 스테이션에서 툴(tool)에서의 프로세스를 특징화하는 방법에 있어서,
    a) 바닥(floor) 레벨 위에 있고, 상기 툴로부터 분리되며, 자동화 물류 취급 시스템(automated material handling system, AMHS)에 의해 사용되는 경로에 인접하고, AMHS가 액세스할 수 있는 오프트랙(off-track) 스토리지 위치에 위치되는 도킹 스테이션에서 로보틱 웨이퍼 전달 시스템으로부터 센서 웨이퍼를 수용하는 단계 - 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리는 툴 프로세스 특징화 미션으로부터 하나 이상의 데이터 세트를 가짐 - ;
    b) 상기 도킹 스테이션과 상기 센서 웨이퍼 간에 데이터 커넥션을 확립하는 단계;
    c) 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리로부터 상기 하나 이상의 데이터 세트를 다운로드하는 단계; 및
    d) 상기 다운로드된 데이터를 상기 네트워크를 통해 서버에 전달하는 단계
    를 포함하고,
    상기 도킹 스테이션은, 상기 AMHS를 통해, 상기 도킹 스테이션으로부터 상기 툴로 또는 상기 툴로부터 상기 도킹 스테이션으로 상기 센서 웨이퍼를 운송하는 동안 상기 센서 웨이퍼를 하우징하는 웨이퍼 캐리어로부터 분리된 유닛인 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도킹 스테이션은 다른 툴 내에 위치된 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 로보틱 웨이퍼 전달 시스템은 상기 AMHS 및 웨이퍼 운송 로봇으로 구성된 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 오프트랙 스토리지 위치는 상기 툴 위에 있는 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 AMHS는 오버헤드 트랙(overhead track, OHT) 시스템을 포함하는 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 캐리어는 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)이며, 상기 센서 웨이퍼는 상기 도킹 스테이션으로부터 상기 툴로 또는 상기 툴로부터 상기 도킹 스테이션으로 상기 센서 웨이퍼를 운송하는 동안 상기 FOUP 내에 하우징되고, 상기 FOUP는, 데이터 접점을 통해, 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리로 또는 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리로부터 데이터를 전송할 수 있는 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 FOUP는 데이터를 위한 도관(conduit)을 제공하는 도킹 스테이션을 이용하지 않고 상기 서버로 또는 상기 서버로부터 데이터를 무선 전송하도록 구성된 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 도킹 스테이션과 상기 센서 웨이퍼 간에 전기 커넥션을 확립하는 단계를 더 포함하고, 상기 전기 커넥션은 상기 센서 웨이퍼 내의 배터리에 대한 충전을 제공하도록 구성된 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 전기 커넥션과 상기 데이터 커넥션은 동일한 커넥션인 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 상기 전기 커넥션과 상기 데이터 커넥션은 단일 USB 커넥션으로 이루어진 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 공장 자동화 서버로부터 상기 네트워크를 통해 미션을 수신하는 단계와, 상기 미션을 상기 센서 웨이퍼에 전달하는 단계를 더 포함하고, 상기 미션은 상기 센서 웨이퍼로 하여금 상기 툴에서의 프로세스 특징화 동작 동안에 하나 이상의 데이터 세트를 수집하도록 지시하는 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  12. 제10항에 있어서, 상기 센서 웨이퍼를 상기 로보틱 웨이퍼 전달 시스템에 전달하는 단계를 더 포함하는 프로세스를 특징화하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 서버는 센서 웨이퍼 서버인 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  14. 제1항에 있어서, 상기 서버는 공장 자동화 서버인 것인 프로세스를 특징화하는 방법.
  15. 툴에서의 프로세스를 특징화하기 위한 프로그램 명령어를 포함하는 비-일시적 컴퓨터 판독가능 매체에 있어서,
    컴퓨터 시스템의 하나 이상의 프로세서에 의한 상기 프로그램 명령어의 실행은 상기 하나 이상의 프로세서로 하여금:
    a) 바닥 레벨 위에 있고, 상기 툴로부터 분리되며, 자동화 물류 취급 시스템(AMHS)에 의해 사용되는 경로에 인접하고, AMHS가 액세스할 수 있는 오프트랙 스토리지 위치에 위치되는 도킹 스테이션에서의 로보틱 웨이퍼 전달 시스템으로부터 센서 웨이퍼를 수용하는 단계 - 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리는 툴 프로세스 특징화 미션으로부터의 하나 이상의 데이터 세트를 가짐 - ;
    b) 상기 도킹 스테이션과 상기 센서 웨이퍼 간에 데이터 커넥션을 확립하는 단계;
    c) 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리로부터 상기 하나 이상의 데이터 세트를 다운로드하는 단계; 및
    d) 상기 다운로드된 데이터를 네트워크를 통해 서버에 전달하는 단계
    를 수행하게 하고,
    상기 도킹 스테이션은, 상기 도킹 스테이션으로부터 상기 툴로 또는 상기 툴로부터 상기 도킹 스테이션으로 상기 AMHS를 통해 상기 센서 웨이퍼를 운송하는 동안 상기 센서 웨이퍼를 하우징하는 웨이퍼 캐리어로부터 분리된 유닛인 것인 비-일시적 컴퓨터 판독가능 매체.
  16. 네트워크 상에서 동작하도록 구성된 센서 웨이퍼를 위한 도킹 스테이션에 있어서,
    프로세서;
    상기 프로세서에 결합된 메모리; 및
    상기 프로세서에 의한 실행을 위해 메모리에 내장된 하나 이상의 명령어
    를 포함하고, 상기 명령어는 툴에서의 프로세스를 특징화하도록 구성된 것이며, 상기 명령어는 상기 프로세서로 하여금,
    a) 바닥 레벨 위에 있고, 상기 툴로부터 분리되며, 자동화 물류 취급 시스템(AMHS)에 의해 사용되는 경로에 인접하고, AMHS가 액세스할 수 있는 오프트랙 스토리지 위치에 위치되는 도킹 스테이션에서의 로보틱 웨이퍼 전달 시스템으로부터 센서 웨이퍼를 수용하는 것 - 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리는 툴 프로세스 특징화 미션으로부터의 하나 이상의 데이터 세트를 가짐 - ;
    b) 상기 도킹 스테이션과 상기 센서 웨이퍼 간에 데이터 커넥션을 확립하는 것;
    c) 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리로부터 상기 하나 이상의 데이터 세트를 다운로드하는 것; 및
    d) 상기 다운로드된 데이터를 상기 네트워크를 통해 서버에 전달하는 것
    을 포함하는 방법을 수행하게 하고,
    상기 도킹 스테이션은, 상기 도킹 스테이션으로부터 상기 툴로 또는 상기 툴로부터 상기 도킹 스테이션으로 상기 AMHS를 통해 상기 센서 웨이퍼를 운송하는 동안 상기 센서 웨이퍼를 하우징하는 웨이퍼 캐리어로부터 분리된 유닛인 것인 도킹 스테이션.
  17. 네트워크를 통해 동작하도록 구성된 도킹 스테이션에 있어서,
    센서 웨이퍼를 지지하도록 구성되고, 로보틱 웨이퍼 전달 시스템으로부터 상기 센서 웨이퍼를 수용하도록 또한, 구성된 지지 구조물과;
    상기 센서 웨이퍼와 인터페이스하도록 구성된 도킹 인터페이스
    를 포함하고,
    상기 도킹 인터페이스는 상기 센서 웨이퍼 내의 메모리에 저장된 툴 프로세스 특징화 미션으로부터 하나 이상의 데이터 세트를 상기 도킹 스테이션에 다운로드하도록 구성된 데이터 커넥션을 포함하며,
    상기 도킹 스테이션은 또한, 상기 센서 웨이퍼로부터 다운로드된 상기 하나 이상의 데이터 세트를 상기 네트워크를 통해 서버에 전달하도록 구성되고,
    상기 도킹 스테이션은 바닥 레벨 위에 있고, 상기 툴로부터 분리되며, 자동화 물류 취급 시스템(AMHS)에 의해 사용되는 경로에 인접하고, AMHS가 액세스할 수 있는 오프트랙(off-track) 스토리지 위치에 위치되며,
    상기 도킹 스테이션은, 상기 도킹 스테이션으로부터 상기 툴로 또는 상기 툴로부터 상기 도킹 스테이션으로 상기 AMHS를 통해 상기 센서 웨이퍼를 운송하는 동안 상기 센서 웨이퍼를 하우징하는 웨이퍼 캐리어로부터 분리된 유닛인 것인 도킹 스테이션.
  18. 제17항에 있어서, 상기 오프트랙 스토리지 위치는 상기 툴 위인 도킹 스테이션.
  19. 제17항에 있어서, 상기 도킹 인터페이스는 상기 센서 웨이퍼 내의 배터리를 충전하도록 구성된 전기 커넥션을 더 포함한 것인 도킹 스테이션.
  20. 제19항에 있어서, 상기 전기 커넥션과 상기 데이터 커넥션은 동일한 커넥션인 것인 도킹 스테이션.
  21. 제19항에 있어서, 상기 전기 커넥션과 상기 데이터 커넥션은 단일 USB 커넥션으로 이루어진 것인 도킹 스테이션.
  22. 제17항에 있어서,
    상기 웨이퍼 캐리어는 전방 개방 통합 포드(front opening unified pod, FOUP)이며, 상기 센서 웨이퍼는 상기 도킹 스테이션으로부터 상기 툴로 또는 상기 툴로부터 상기 도킹 스테이션으로 상기 센서 웨이퍼를 운송하는 동안 상기 FOUP 내에 하우징되는 것인 도킹 스테이션.
  23. 제17항에 있어서, 상기 AMHS는 오버헤드 트랙(overhead track, OHT) 시스템을 포함하는 것인 상기 도킹 스테이션.
  24. 제17항에 있어서, 상기 도킹 인터페이스는 상기 센서 웨이퍼 내의 배터리를 충전하도록 구성된 전기 커넥션을 더 포함한 것인 도킹 스테이션.
  25. 제24항에 있어서, 상기 전기 커넥션과 상기 데이터 커넥션은 동일한 커넥션인 것인 도킹 스테이션.
  26. 제25항에 있어서, 상기 전기 커넥션과 상기 데이터 커넥션은 단일 USB 커넥션으로 이루어진 것인 도킹 스테이션.
  27. 제17항에 있어서, 상기 로보틱 웨이퍼 전달 시스템은 상기 AMHS 및 웨이퍼 운송 로봇을 포함한 것인 도킹 스테이션.
  28. 제17항에 있어서, 상기 서버는 센서 웨이퍼 서버인 것인 도킹 스테이션.
  29. 제17항에 있어서, 상기 서버는 공장 자동화 서버인 것인 도킹 스테이션.
  30. 제17항에 있어서, 상기 도킹 스테이션은 또한, 공장 자동화 서버로부터 상기 네트워크를 통해 미션을 수신하고, 상기 미션을 상기 센서 웨이퍼에 전달하도록 구성되고, 상기 미션은 상기 센서 웨이퍼로 하여금 상기 툴에서의 프로세스 특징화 동작 동안에 하나 이상의 데이터 세트를 수집하도록 지시하는 것인 도킹 스테이션.
  31. 제30항에 있어서, 상기 지지 구조물은 또한, 상기 센서 웨이퍼를 상기 로보틱 웨이퍼 전달 시스템에 전달하도록 구성된 것인 도킹 스테이션.
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