CN111052335A - 运输装置和适配器挂件 - Google Patents

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Abstract

一种半导体加工运输装置，其包括：驱动区段，所述驱动区段带有至少一个电机；铰接臂，所述铰接臂耦合到所述驱动区段以用于驱动铰接运动；机器控制器，所述机器控制器耦合到所述驱动区段以控制所述至少一个电机，使所述铰接臂从一个位置移动到不同的位置；以及适配器挂件，所述适配器挂件具有使所述适配器挂件与所述机器控制器耦合以用于输入/输出的机器控制器接口，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口被配置成用于连接具有预先确定的驻存用户可操作设备功能特性的可替代智能移动设备，其中所述另一个接口具有连接配置，因此所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对自动实现对所述驻存用户可操作设备功能特性中的至少一者的配置以限定到所述机器控制器的输入/输出，从而实现用于所述铰接臂的运动控制的输入命令和输出信号。

Description

运输装置和适配器挂件
相关申请的交叉引用
本申请是于2017年7月11日提交的美国临时专利申请第62/531,218号的非临时申请并且要求其权利，所述美国临时专利申请的公开内容以全文引用方式并入本文中。
技术领域
示例性实施例总体涉及半导体加工装备，并且更具体地涉及半导体加工运输装置。
背景技术
半导体自动化机器人是用于处理用于半导体芯片制造的衬底（诸如存储器芯片和处理器）的特殊部件。作为半导体工具自动化设置的一部分，使用示教器来手动命令机器人的移动以教示工具加工站在机器人坐标系中的机器人位置。这些示教器允许本地操作员手动命令目标加工站位置处的机器人运动，并且有效地存储每一目标加工站的坐标。
常规示教器是通常具有带有有限屏幕大小的触摸板键盘的专门设备。常规示教器通常还具有多个导航步骤以完成其他功能任务，包括（但不限于）唤起、配置机器人参数、移动到特定绝对坐标、报告机器人位置等等。随着自动化装备功能扩展，用于半导体自动化的示教器的功能需求日益复杂。相对于自动化装备的成本，能够处理复杂任务的常规示教器很昂贵，从而使得示教器在市场上不受欢迎。对于一些自动化装备，使用带有图形用户界面的膝上型计算机或桌上型计算机来替代示教器（放弃其使用的移动性和灵活性），使得自动化装备的用户并不承担购买昂贵示教器的增加的成本。常规示教器固件也是特定机器人/工具所特有的，其将需要终端用户具有多个示教器。示教器固件的升级和修订难以在现场单元上实施，并且示教器菜单的导航可能很繁琐，从而导致生产环境中的不必要装备设置时间。常规示教器还需要使用培训，有单独产品手册以供参考。
另外，为了满足2006/42/EC机械指令的要求，可以针对机器人的维修活动寻求带有紧急停止和关-开-关三位开关（three-position live-man）或启用开关的示教器。带有紧急停止和关-开-关三位开关特征的可用常规示教器是独立单元，通常硬接线到相应机器人/工具，无因特网接入，并且功能定制的灵活性极小。
附图说明
结合附图，在以下描述中解释所公开实施例的前述方面和其他特征，在附图中：
图1A-1D是包含所公开实施例的方面的加工装置的示意图；
图1E和图1F是图1A-1D和图1G-1M的加工装置的若干部分的示意图；
图1G-1M是包含所公开实施例的方面的加工装置的示意图；
图2是根据所公开实施例的方面的半导体加工运输装置的示意图；
图3A-3E是根据所公开实施例的方面的半导体加工运输装置的若干部分的示意图；
图4A是根据所公开实施例的方面的半导体加工运输装置的适配器挂件的示意图；
图4B是根据所公开实施例的方面的半导体加工运输装置的示意图；
图5A是由根据所公开实施例的方面的半导体加工运输装置启用的可替代智能移动设备上的图形用户界面的一部分的示意图；
图5B是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5C是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5D是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5E是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5F是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5G是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5H是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；
图5I是根据所公开实施例的方面的图5A的图形用户界面的一部分的示意图；以及
图6是根据所公开实施例的方面的流程图。
具体实施方式
图1A-1M示出根据所公开实施例的方面的示例性衬底加工系统。虽然将参考附图描述所公开实施例的方面，但是应理解的是，所公开实施例的方面可以以多种形式实施。另外，可以使用任何合适大小、形状或类型的元件或材料。还应理解的是，虽然本文中关于半导体加工系统描述所公开实施例的方面，但是在其他方面中，所公开实施例可以应用于将自动化装备（例如，机器人操纵器、自动引导车辆等等）用于组装和/或制造的任何合适行业，包括但不限于汽车、航空航天和海运业。
所公开实施例的方面利用可替代智能设备（例如，智能电话和平板计算机设备）来完成示教器（teach pendant）功能。所公开实施例的方面不仅减小生产和/或购买原始装备制造商（OEM）硬件（例如，常规专用示教器以及与常规专用示教器相关联的所有电子设备和硬件）的成本，而且还增加了示教器的功能，以向产品和终端用户增加价值。增加的功能可以包括如下特征：诸如例如，容易使用具有带有高度可定制菜单的触摸屏的基于网络的界面（例如，图形用户界面）；利用通过示教器菜单的最少导航以及最少设置时间（例如，这可以导致增加的生产率）教示的加工站；查询和监测机器人健康状况和故障诊断的能力；从机器人控制器实施固件升级和备份的能力；针对机器人操作和验证编程和运行测试脚本的能力；监测机器人臂、驱动器和室温度以便实现热膨胀补偿的能力；针对机器人站实现自动化教示（称为“AutoTeach”）算法的能力（诸如例如，在2015年11月10提交的并且题为“ToolAuto-Teach Methods and Apparatus（工具自动教示方法及装置）”的美国专利申请第14/937,676号中公开，所述美国专利申请的公开内容以全文引用方式并入本文中）；提供相对于用于远程监测的站的机器人运动和位置动画的能力；提供用户从自动化装备和/或因特网访问例如任何合适信息/文档的能力，包括（但不限于）半导体装备应用（例如安装在可替代智能移动设备SD上的应用SDP1-SDPn）、产品手册、命令语法、服务通报、固件（或其他）升级指令、修复指令和故障排除指南；以及利用嵌入智能设备上的主板控制的（on board）感测能力来帮助教示和诊断（诸如检查站调平、振动监测和机器人的自动教示）的能力。这些主板控制的感测能力使得机器人104R软件能够评估可以用于更多高级算法的额外信息，作为非限制性示例的非穷尽列表，所述高级算法用于故障诊断、健康监测、自动化教示、高级控制算法和热膨胀补偿。
除上述以外，利用此类可替代智能移动设备SD还使得用户或机器人软件能够进一步与外部设备ED1-EDn连接（参见图4），所述外部设备包括（但不限于）例如，相机、温度传感器、加速度计、湿度传感器、气体流量计和真空质量计。可以通过利用可替代智能移动设备SD接口（例如Bluetooth®或Wifi）的现有能力来建立到此类外部设备ED1-EDn的连接类型。例如，外部设备ED1-EDn可以包括用于通过任何合适无线连接497（图4）与可替代智能移动设备SD通信的任何合适无线连接，使得由外部设备ED1-EDn接收、感测或收集的数据从外部设备ED1-EDn无线通信到可替代智能移动设备SD。
适配器挂件（adapter pendant）400（参见图2、图4A和图4B）还可以被设计成进一步针对与半导体制作设施FAB环境的增强连接补充接口，诸如在制作设施FAB的任何合适网络258（诸如EtherCat®网络）中充当从属设备，其中适配器挂件400被配置为EtherCat®从属设备。这将允许用户定制来自机器人104R或所连接的传感器ED1-EDn的信息/数据以便流传输到制作设施FAB网络258（诸如EtherCat®网络）中（或者从FAB网络258流传输到适配器挂件400）。在一个方面中，适配器挂件400（以及耦合到其的可替代智能移动设备SD）可以从其他机器人/工具或制作设施的任何其他合适自动化接收任何合适数据以实现适配器挂件400所耦合到的机器人104R的教示。所公开实施例的另一方面在于适配器挂件400设备还可以支持到旧机器人控制器（诸如具有RS-232串行端口的那些机器人控制器）的向后兼容接口。这允许可替代智能移动设备SD的利用还用于教示和监测较旧或“遗留”产品。应注意的是，上述能力并不需要对可替代智能移动设备SD的任何物理修改。任何硬件“定制”都可以实现为适配器挂件400的一部分。然而，此“定制”不是强制性的，因为其可以以增强或扩展所公开实施例的接口连接范围或连接能力的目的使用。
上文所描述（并且在本文中进一步详细描述）的能力可以由下载到可替代智能移动设备SD并且由可替代智能移动设备SD的任何合适应用程序接口(API)运行的任何合适应用/功能提供或在所述任何合适应用/功能中提供（参见图2中所示的内置特征和/或应用SDP1-SDPn，其可以是图4B中所示并且在本文中描述的用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的一者或多者）。在一个方面中，所述应用/功能可以是用于一个以上能力的单个应用，或用于一个或多个能力的多个应用/功能。如本文中所述并且由驻存在可替代智能移动设备SD上的一个或多个应用/功能和/或传感器实现的特征/能力经由适配器挂件400（图2、图4A和图4B）紧密耦合到运输机器人104R机器控制器110，如下文将进一步描述的。所述紧密耦合没有介入机器人104R运动命令接口，所述介入机器人104R运动命令接口在可替代智能移动设备SD上的用户可选择输入/输出、由其生成的运动命令/用户选择（例如告知机器人运动、初始位置（诸如位置230A-230C中的一者–图2）、另一个位置（诸如位置230A-230C中的一者–图2）的机器人104R运动命令，所有这些都可通过输入/输出上的用户选择来自由选择）和机器控制器110之间介入（以便重新配置或重复/重新发送输入/输出）。
根据所公开实施例的方面，提供适配器挂件400（图2、图4A和图4B）。适配器挂件400是具有用于保持可替代智能移动设备SD（图2和图4B）（诸如例如智能电话或平板计算机）的通用安装/耦合的手持式托架（例如，“智能”托架），可替代智能移动设备SD具有驻存在可替代智能移动设备SD上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn（例如，应用、程序模块、至少一个传感器、数据记录功能、图形显示、记载功能（例如，视频和/或音频或其他数据）等等）（图4B）。在所公开实施例的一个方面中，可替代智能移动设备SD通常可以是可替代设备，即，一个可替代智能移动设备SD可以与任何其他可替代智能移动设备SD互换。因此，可替代智能移动设备16不是专用设备，并且不具有如本文中所述的对于半导体加工运输装置104的操作来说期望的特定固有结构，而是依赖于下载并安装在可替代智能移动设备SD上用于半导体加工运输装置104的操作的应用。在一个方面中，可替代智能移动设备SD可以用于实施示教器功能（诸如如前所述，教示机器人/衬底保持站的位置），而无需在此设备中加载任何特殊应用。在此情况下，用户将利用基于网络的浏览器（诸如GoogleChrome™、Mozilla® Firefox®、Microsoft Internet Explorer®、Apple Safari™或者可以是驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的一者的任何其他合适的基于网络的浏览器）来连接到机器人控制器110，负责建立连接并且实现本公开内容的机器人104R控制和数据收集方面（如本文中所述）的网络服务器应用WSA驻存在机器人控制器110中。如果使用基于网络的浏览器来连接到控制器110的网络服务器应用WSA，则可以通过网络地址、因特网协议(IP)地址或者按通过基于网络的浏览器的任何其他合适方式存取网络服务器应用WSA。下文将更详细描述的适配器挂件400弥补上述常规示教器的缺陷，并且提供减少示教器的制造/购买成本的上述优点并且增加示教器为产品和终端用户增加价值的功能。所公开实施例的方面可以与任何合适加工装置（诸如加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H）或使用示教器的任何其他合适自动化装置一起使用。
根据所公开实施例的方面示出加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H，诸如例如半导体工具站。虽然在附图中示出半导体工具站，但是本文中描述的所公开实施例的方面可以应用于采用机器人操纵器的任何工具站或应用。在一个方面中，加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F示出为具有群集工具布置结构（例如具有连接到中心室的衬底保持站），而在其他方面中，加工装置可以是如在2013年3月19日授权的题为“Linearly Distributed Semiconductor Workpiece Processing Tool（线性分布半导体工件加工工具）”的美国专利第8,398,355号（所述美国专利的公开内容以全文引用方式并入本文中）中所描述的线性布置的工具100G、100H；然而，所公开实施例的方面可以应用于任何合适工具站。装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H通常包括大气前端101、至少一个真空负载锁102、102A、102B、102C以及真空后端103。至少一个真空负载锁102、102A、102B、102C可以按任何合适布置结构耦合到前端101和/或后端103的任何合适端口或开口。例如，在一个方面中，一个或多个负载锁102、102A、102B、102C可以按并排布置结构布置在共用水平平面中，如图1B-1D和图1G-1K中可见。在其他方面中，所述一个或多个负载锁可以按网格格式布置，使得至少两个负载锁102A、102B、102C、102D按行（例如具有间隔开的水平平面）和列（例如具有间隔开的垂直平面）布置，如图1E中所示。在再其他方面中，所述一个或多个负载锁可以是单个直列负载锁102，如图1A中所示。在又另一方面中，至少一个负载锁102、102E可以按堆叠直列布置结构布置，如图1F中所示。应理解的是，虽然所述负载锁示出在运输室125A、125B、125C、125D的端部100E1或刻面100F1上，但是在其他方面中，所述一个或多个负载锁可以布置在运输室125A、125B、125C、125D的任何数量的侧面100S1、100S2、端部100E1、100E2或刻面100F1-100F8上。所述至少一个负载锁中的每一者还可以包括一个或多个晶片/衬底搁置平面WRP（图1F），在所述晶片/衬底搁置平面中，衬底保持在相应负载锁内的合适支撑件上。在其他方面中，工具站可以具有任何合适配置。前端101、至少一个负载锁102、102A、102B、102C和后端103中的每一者的部件可以连接到机器控制器110，机器控制器110可以是任何合适控制架构的一部分，诸如例如，群集架构控制件。控制系统可以是闭环控制器，其具有主控制器（在一个方面中，其可以是机器控制器110）、群集控制器和自主远程控制器，诸如在2011年3月8日授权的题为“Scalable MotionControl System（可扩展运动控制系统）”的美国专利号7,904,182中公开的那些控制器，所述美国专利的公开内容以全文引用方式并入本文中。在其他方面中，可以利用任何合适控制器和/或控制系统。机器控制器110可操作地耦合到运输装置104的驱动区段200（图2），以便控制至少一个电机200M1、20M2（图2）使铰接臂（诸如本文中描述的那些）从一个位置230A、230B、230C（图2）移动到不同另一个位置230A、230B、230C（图2），其中一个位置230B、230C和另一个位置230B、230C中的至少一者是半导体加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H中的工件保持站，如本文中所描述的。
在一个方面中，前端101通常包括装载端口模块105和微型环境106，诸如例如装备前端模块(EFEM)。装载端口模块105可以是到符合用于300 mm装载端口、前开口或底部开口的箱子/舱和匣的SEMI标准E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9的工具标准(BOLTS)接口的开箱器/装载器。在其他方面中，装载端口模块可以被配置为200 mm晶片/衬底接口、450 mm晶片/衬底接口或任何其他合适衬底接口，诸如例如更大或更小半导体晶片/衬底、用于平板显示器的扁平面板、太阳能电池板、分划板或任何其他合适物体。虽然在图1A-1D、图1J和图1K中示出了三个装载端口模块105，但是在其他方面中，任何合适数量的装载端口模块可以并入到前端101中。装载端口模块105可以被配置成从高架运输系统、自动引导车辆、人引导车辆、轨道引导车辆或者从任何其他合适运输方法接收衬底载架或匣C。装载端口模块105可以通过装载端口107与微型环境106接口连接。装载端口107可以允许衬底在衬底匣和微型环境106之间的通过。微型环境106通常包括可以包含本文中描述的所公开实施例的一个或多个方面的任何合适传送机器人108。在一个方面中，机器人108可以是诸如例如在1999年12月14日授权的美国专利6,002,840、2013年4月16日授权的8,419,341和2010年1月19日授权的7,648,327中所描述的轨道安装式机器人，这些美国专利的公开内容以全文引用方式并入本文中。在其他方面中，机器人108可以大致类似于本文中关于后端103描述的机器人。微型环境106可以为多个装载端口模块之间的衬底传送提供受控清洁区。
至少一个真空负载锁102、102A、102B、102C可以位于微型环境106和后端103之间，并且连接到微型环境106和后端103。在其他方面中，装载端口105可以大致直接耦合到至少一个负载锁102、102A、102B、102C或运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F，其中衬底载架C被向下泵送到运输室125A、125B、125C、125D的真空，并且衬底在衬底载架C和负载锁或传送室之间直接传送。在此方面中，衬底载架C可以充当负载锁，使得运输室的加工真空延伸到衬底载架C中。如可以认识到，其中衬底载架C通过合适装载端口大致直接耦合到负载锁，任何合适传送装置可以提供在负载锁内，或者以其他方式接达载架C以将衬底传送到衬底载架C以及从衬底载架C传送衬底。应注意的是，如本文中所使用的术语真空可以表示其中加工衬底的高真空，诸如10-5托或以下。至少一个负载锁102、102A、102B、102C通常包括大气和真空槽阀。负载锁102、102A、102B（以及加工站130）的槽阀可以提供环境隔离，所述环境隔离用于在从大气前端加载衬底之后抽空负载锁并且在用惰性气体（诸如氮气）为所述锁排气时维持运输室中的真空。如本文中将描述的，加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F（以及线性加工装置100G、100H）的槽阀可以位于相同平面、不同竖直堆叠的平面中或位于相同平面中的槽阀和位于不同竖直堆叠的平面中的槽阀的组合中（如上文关于装载端口所描述的）以适应衬底往返至少加工站130以及耦合到运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F的负载锁102、102A、102B、102C的传送。至少一个负载锁102、102A、102B、102C（和/或前端101）还可以包括用于将衬底的基准对准到用于加工的所期望位置的对准器或任何其他合适衬底计量装备。在其他方面中，真空负载锁可以位于加工装置的任何合适位置中，并且具有任何合适配置。
真空后端103通常包括运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F、一个或多个加工站或模块130以及任何合适数量的半导体加工运输装置104（在本文中称为运输装置104），运输装置104包括一个或多个运输机器人104R（均具有带有至少一个电机200M1、200M2的驱动区段200以及下文描述的至少一个铰接臂，所述铰接臂耦合到驱动区段200用于驱动铰接臂的铰接运动 – 参见图2），其可以包括本文中所描述的所公开实施例的一个或多个方面。运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F可以具有例如符合SEMI标准E72准则的任何合适形状和大小。运输装置104和一个或多个运输机器人104R（其可以大致类似于本文中所描述的那些机器人）将在下文加以描述，并且可以至少部分位于运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F内以在负载锁102、102A、102B、120C（或位于装载端口处的匣C）和各种加工站130之间运输衬底。在一个方面中，运输装置104可以作为模块化单元能够从运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F移除，使得运输装置104符合SEMI标准E72准则。
加工站130可以通过各种沉积、蚀刻或其他类型的工艺在衬底上操作以在衬底上形成电路系统或其他所期望的结构。典型工艺包括（但不限于）使用真空的薄膜工艺，诸如等离子体蚀刻或其他蚀刻工艺、化学气相沉积(CVD)、等离子气相沉积(PVD)、注入（诸如离子注入）、计量、快速热处理(RTP)、干法剥离原子层沉积(ALD)、氧化/扩散、氮化物的形成、真空光刻、外延(EPI)、引线接合器以及蒸镀或使用真空压力的其他薄膜工艺。加工站130诸如通过槽阀SV以任何合适方式可通信地连接到运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F，以允许衬底从运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F传递到加工站130，并且反之亦然。运输室125A、125B、125C、125D、125E、125F的槽阀SV可以被布置成允许成双的（例如位于共用壳体内的多于一个衬底加工室）或并排加工站130T1-130T8、单个加工站130S和/或堆叠的加工模块/负载锁（图1E和图1F）的连接。
应注意的是，衬底往返加工站130、耦合到传送室125A、125B、125C、125D、125E、125F的负载锁102、102A、102B、102C（或匣C）的传送可以在运输装置104的一个或多个臂沿着运输装置104的延伸和缩回轴线R与预先确定的加工站130对准时发生。根据所公开实施例的方面，一个或多个衬底可以个别地或大致同时传送到相应预先确定的加工站130（诸如例如，当从并排或串联加工站拾取/放置衬底时，如图1B、图1C、图1D和图1G-1K中所示）。在一个方面中，运输装置104可以安装在悬臂143上（参见例如图1D和图1G-1I），其中悬臂143具有单个悬臂连杆或多个悬臂连杆121、122或诸如在题为“Processing Apparatus（加工装置）”并且于2013年10月18日提交的美国临时专利申请号61/892,849和题为“ProcessingApparatus（加工装置）”并且于2013年11月15日提交的美国临时专利申请号61/904,908以及题为“Substrate Processing Apparatus”并且于2013年2月11日提交的国际专利申请号PCT/US13/25513中所描述的线性滑架144，这些专利申请的公开内容以全文引用方式并入本文中。
现在参考图1L，示出了线性晶片加工系统100G的示意性平面图，其中工具接口区段2012安装到运输室模块3018，使得接口区段2012大致面向（例如向内）运输室3018，但从运输室3018的纵向轴线X偏移。运输室模块3018可以通过将其他运输室模块3018A、3018I、3018J附接到接口2050、2060、2070而沿任何合适方向延伸，如在先前以引用方式并入本文中的美国专利第8,398,355号中所描述的。每一运输室模块3018、3018A、3018I、3018J包括任何合适晶片运输器2080（其可以包括本文中描述的所公开实施例的一个或多个方面），用于在整个加工系统100G中运输晶片并且运输晶片进出例如加工模块PM。如可以认识到的，每一室模块可能能够保持隔离或受控气氛（例如N2、清洁空气、真空）。
参考图1M，示出了诸如可以沿着线性运输室416的纵向轴线X截取的示例性加工工具100H的示意性正视图。在图1M中所示的所公开实施例的方面中，工具接口区段12可以代表性地连接到运输室416。在此方面中，接口区段12可以限定工具运输室416的一端。如图1M中所见，运输室416可以例如在与接口站12相对的端部处具有另一工件进入/离开站412。在其他方面中，可以提供用于将工件插入运输室/从运输室移除工件的其他进入/离开站。在一个方面中，接口区段12和进入/离开站412可以允许工件从工具的装载和卸载。在其他方面中，工件可以从一端装载到工具中，并且从另一端移除。在一个方面中，运输室416可以具有一个或多个传送室模块18B、18i。每一室模块可能能够保持隔离或受控气氛（例如N2、清洁空气、真空）。如前所述，形成图1M中所示的运输室416的运输室模块18B、18i、负载锁模块56A、56和工件站的配置/布置结构仅是示例性的，并且在其他方面中，运输室可以具有按任何所期望模块化布置结构设置的更多或更少模块。在所示方面中，站412可以是负载锁。在其他方面中，负载锁模块可以位于端部进入/离开站（类似于站412）之间，或者邻接运输室模块（类似于模块18i）可以被配置成充当负载锁。
还如前所述，运输室模块18B、18i中定位有一个或多个对应运输机器人26B、26i，其可以包括本文中描述的所公开实施例的一个或多个方面。相应运输室模块18B、18i的运输机器人26B、26i可以协作以在运输室中提供线性分布的工件运输系统420。在此方面中，运输机器人26B可以具有一般SCARA臂构造（尽管在其他方面中，运输臂可以具有如下文所述的任何其他所期望的布置结构）。
在图1M中所示的所公开实施例的方面中，运输机器人26B的臂和/或末端执行器可以被布置成提供可以称为快速交换布置结构的东西，从而允许运输器从拾取/放置位置快速交换晶片。运输臂26B可以具有任何合适驱动区段200（例如，同轴布置的驱动轴、并排驱动轴、水平相邻的电机、竖直堆叠的电机等等 – 参见图2），以便为每一臂提供任何合适数量的自由度（例如，在Z轴运动的情况下围绕肩和肘关节的独立旋转等等）。如图1M中所见，在此方面中，模块56A、56、30i可以填隙地位于传送室模块18B、18i之间并且限定合适加工模块、负载锁、缓冲站、计量站或任何其他所期望站。例如，填隙模块（诸如负载锁56A、56和工件站30i）均具有固定工件支撑件/搁架56S、56S1、56S2、30S1、30S2，其与运输臂协作以沿着运输室的线性轴线X在运输室的整个长度上实现运输工件。举例来说，工件可以通过接口区段12装载到运输室416中。工件可以借助接口区段的运输臂15定位在负载锁模块56A的支撑件上。负载锁模块56A中的工件可以通过模块18B中的运输臂26B在负载锁模块56A和负载锁模块56之间，并且按类似且连续方式借助臂26i（模块18i中）在负载锁56和工件站30i之间、并且借助模块18i中的臂26i在站30i和站412之间移动。此过程可以全部或部分颠倒以沿相反方向移动工件。因此，在一个方面中，工件可以沿着轴线X沿任何方向移动，并且沿着运输室移动到任何位置，并且可以装载到与运输室连通的任何所期望模块（加工或以其他方式）和从其卸载。在其他方面中，带有静态工件支撑件或搁架的填隙运输室模块可以不提供在运输室模块18B、18i之间。在此类方面中，邻接的运输室模块的运输臂可以将工件直接从一个运输臂的末端执行器传递到另一运输臂的末端执行器，以使工件移动通过运输室。加工站模块可以通过各种沉积、蚀刻或其他类型的工艺在晶片上操作以在晶片上形成电气电路系统或其他所期望的结构。加工站模块连接到运输室模块以允许晶片从运输室传递到加工站，并且反之亦然。在先前以全文引用方式并入的美国专利第8,398,355号中描述具有与图1D中绘示的加工装置类似的一般特征的加工工具的合适示例。
现在参考图2和图3A-3E，悬臂143和/或运输装置104可以包括任何合适臂连杆机构。可以例如在于2009年8月25日授权的美国专利第7,578,649号、于1998年8月18日授权的第5,794,487号、于2011年5月24日授权的第7,946,800号、于2002年11月26日授权的第6,485,250号、于2011年2月22日授权的第7,891,935号、于2013年4月16日授权的第8,419,341号以及题为“Dual Arm Robot（双臂机器人）”并且于2011年11月10日提交的美国专利申请第13/293,717号和题为“Linear Vacuum Robot with Z Motion and Articulated Arm（具有Z运动和铰接臂的线性真空机器人）”并且于2013年9月5日提交的美国专利申请第13/861,693号中找到臂连杆机构的合适示例，这些专利的公开内容全部以全文引用方式并入本文中。在所公开实施例的方面中，每一运输装置104的至少一个传送臂、悬臂143和/或线性滑块144可以源自常规SCARA臂315 （选择性服从的铰接机器人臂）（图3C）类型的设计，其包括上臂315U、带驱动的前臂315F和带约束的末端执行器315E，或者源自伸缩臂或任何其他合适臂设计，诸如笛卡儿线性滑动的臂314（图3B）。可以例如在于2008年5月8日提交的题为“Substrate Transport Apparatus with Multiple Movable Arms Utilizing aMechanical Switch Mechanism（具有利用机械开关机构的多个可移动臂的衬底传送装置）”的美国专利申请第12/117,415号和于2010年1月19日授权的美国专利第7,648,327号中找到运输臂的合适示例，这些美国专利的公开内容以全文引用方式并入本文中。传送臂的操作可以彼此独立（例如每一臂的延伸/缩回与其他臂无关），可以通过空转开关操作，或者可以按任何合适方式可操作地链接，使得所述臂共享至少一个共用驱动轴线。在再其他方面中，运输臂可以具有任何其他所期望的布置结构，诸如蛙腿臂316（图3A）构造、跳蛙臂317（图3E）构造、两侧对称臂318（图3D）构造等等。可以在于2001年5月15日授权的美国专利6,231,297、于1993年1月19日授权的美国专利5,180,276、于2002年10月15日授权的美国专利6,464,448、于2001年5月1日授权的美国专利6,224,319、于1995年9月5日授权的美国专利5,447,409、于2009年8月25日授权的美国专利7,578,649、于1998年8月18日授权的美国专利5,794,487、于2011年5月24日授权的美国专利7,946,800、于2002年11月26日授权的美国专利6,485,250、于2011年2月22日授权的美国专利7,891,935以及题为“Dual Arm Robot（双臂机器人）”并且于2011年11月10日提交的美国专利申请第13/293,717号和题为“Coaxial Drive Vacuum Robot（同轴驱动真空机器人）”并且于2011年10月11日提交的第13/270,844号中找到运输臂的合适示例，这些美国专利的公开内容以全文引用方式并入本文中。应注意的是，悬臂143可以具有大致类似于运输臂314、315、316、317、318的配置，其中运输装置104代替末端执行器315E、316E、317E1、317E1、318E1、318E2安装到悬臂。
如可以认识到的，运输臂314、315、316、317、318以任何合适方式可操作地耦合到相应驱动区段200，使得相应驱动区段200实现运输臂314、315、316、317、318相对于框架（诸如框架200F或加工工具100A-100H的任何合适框架）在由运输臂314、315、316、317、318沿着相对于框架200F的运动的至少一个轴线（例如，R、θ、Z中的至少一者）的铰接限定的运输空间TSP中（参见图2）在第一臂位置230A（诸如例如运输臂的缩回位置– 参见图2）和不同于第一臂位置230A的第二臂位置230B或230C（诸如例如运输臂的延伸位置– 参见图2）之间的铰接运动。可以在上文引用的专利和文献以及在例如美国专利6,845,250、5,899,658、5,813,823和5,720,590中找到驱动区段的合适示例，这些美国专利的公开内容以全文引用方式并入本文中。任何合适控制器（诸如控制器110）也以任何合适方式耦合到驱动区段200以驱动驱动区段200，以便实现运输臂314、315、316、317、318的铰接。
现在参考图2、图4A和图4B，适配器挂件400可以包括在任何合适半导体运输装置104中或者是其一部分，例如，以便与机器控制器110可操作地耦合以用于输入/输出I/O。在一个方面中，适配器挂件400可以以任何合适方式（诸如例如通过通用串行总线(USB) 耦合、FireWire™耦合、Thunderbolt™耦合、串行接口（诸如例如，RS-232）等等）、Safetyover EtherCat®）硬接线499到机器人104R（以及因此机器控制器110），而在其他方面中，适配器挂件可以通过任何合适无线通信协议（例如，包括（但不限于）Bluetooth®、Zigbee®、Z-Wave®、无线局域网IEEE 802.11标准等等）以任何合适方式无线耦合498到机器人104R（以及因此机器控制器110）。在一个方面中，适配器挂件400被配置成与现有/遗留加工装备/机器人向后兼容。例如，在适配器挂件400和例如现有/遗留机器人之间使用的通信协议可以是通过硬接线499耦合实现的标准RS-232通信协议，其中可替代智能移动设备SD可以使用集成在适配器挂件400中的驱动器和适配器模块440与现有/遗留机器人通信。此处，可以（例如通过适配器挂件400和可替代智能移动设备SD）支持遗留命令，使得旧产品/装备也可以受益于所公开实施例的方面。
适配器挂件400包括框架401，框架401形成用于任何合适可替代智能移动设备SD的托架或其他通用支座410。通用支座410可以是可替代智能移动设备SD插入并保持在其中的凹口或可替代智能移动设备SD所附着到的任何合适支架。下文将描述可替代智能移动设备SD和适配器挂件400之间的通信接口。
适配器挂件400可以包括通常称为模式选择器开关429（图2）的东西，所述模式选择器开关被配置成改变机器人104R和/或半导体加工运输装置104的操作模式。在一个方面中，模式选择器开关429包括关-开-关三位开关430、紧急停止开关450和操作选择开关460中的一者或多者。在一个方面中，关-开-关三位开关430或等效物以任何合适方式耦合到框架401（以便与适配器挂件400成一体）并且在使用适配器挂件400时启用机器人104R操作。例如，关-开-关三位开关430可以是关-开-关三位（或启用）开关430或任何其他合适功能等效开关。出于示例性目的，关-开-关三位开关是仅当所述开关被轻轻按下并且保持在第二位置430P2（“开”或第二位置）中时才准许机器人104R操作的三位开关（关-开-关依次对应于所述开关的第一位置430P1、第二位置430P2和第三位置430P3）。关-开-关三位开关当在第一位置430P1和第三位置430P3中时（诸如当所述开关被释放（“关”或第一位置）或者当所述开关被完全按下（“关”或第三位置时）停用机器人104R操作。根据涵盖其中采用适配器挂件400的应用（例如自动化机器人或用于任何行业（诸如半导体、汽车、制造、组装等等的其他应用）的任何合适行业标准（包括本文中关于紧急停止开关450描述的那些），关-开-关三位开关430可以符合并停止机器人104R的操作（如本文中所述）。在一个方面中，在适用的情况下，可以通过可替代智能移动设备SD（诸如通过呈现在可替代智能移动设备SD的示出器477上的图形用户界面GUI）实现关-开-关三位开关430。例如，图形用户界面GUI可以包括启动图标599（诸如图5A中的“运转(GO)”图标）以启用机器人104R操作，其中机器人104R的操作（例如，为了允许移动）需要用户维持与启动图标（live-man icon）599的物理接触（诸如例如，借助用户的手指），使得一旦中断用户和启动图标599之间的物理接触，机器人操作便以与本文中关于关-开-关三位开关430描述的类似方式停止。此外，触敏屏幕（诸如启用了压敏特征的可替代智能移动设备SD的显示器477（例如，压敏触摸屏））可以用于提供常规关-开-关三位开关的关-开-关能力，使得机器人在用户中断与启动图标599的接触时并且当用户在启动图标599上按的太紧时停止。
适配器挂件400还可以包括紧急停止开关、紧急机器关闭开关 / 紧急关闭(EMO)、电子关闭(ESO)、紧急系统关闭开关和/或以任何合适方式耦合到框架401以便与适配器挂件400成一体的其他合适开关（大致示出在图2、图4A和图4B中并且称为紧急停止开关450）中的一者或多者。紧急停止开关450可以符合涵盖其中使用适配器挂件400的应用（例如自动化机器人或用于任何行业（诸如半导体、汽车、制造、组装等等）的其他应用）的任何可适用行业标准，包括但不限于：SEMI S2-93标准；ANSI（美国国家标准协会）B11，机电装备准则标准；和/或ANSI/NFPA（美国国家消防协会）79，至少用于停止类别0（立即移除到机器的电力或机械断开（分离）危险元件）和停止类别1（受控停止，具有可用电力来停止机器，然后在实现停止时移除电力）的工业机械标准的电气标准。在一个方面中，在适用的情况下，可以通过可替代智能移动设备SD（诸如通过可替代智能移动设备SD的图形用户界面GUI）实现紧急停止开关450。例如，图形用户界面GUI可以包括紧急停止图标598（诸如图5A中的“停止！(STOP!)”图标）来停用机器人104R操作，使得一旦用户按下/触碰紧急停止图标，机器人操作便以与关于紧急停止开关450所描述的类似方式停止。
适配器挂件400还可以包括操作选择开关460。操作选择460开关被配置成切换例如机器人104R的操作模式，适配器挂件400耦合到所述机器人104R。机器人104R的操作模式可以包括自动操作模式、手动操作模式和/或教示操作模式。在一个方面中，机器人104R操作模式选择可以通过可替代智能移动设备SD的软件和/或通过适配器挂件400的硬件实现。例如，可替代智能移动设备SD和适配器挂件400可以被配置成使得可替代智能移动设备SD与适配器挂件的耦合至少启用手动操作模式和教示操作模式（然后可以通过可替代智能移动设备SD的图形用户界面GUI选择这些模式）。在一个方面中，可替代智能移动设备SD与适配器挂件的耦合启用自动操作模式、手动操作模式和教示操作模式（然后可以通过可替代智能移动设备SD的图形用户界面GUI选择这些模式）。在一个方面中，适配器挂件400从适配器挂件400的移除或解耦可以排除机器人104R按手动操作模式和教示操作模式的操作（例如，在可替代智能移动设备SD从适配器挂件400移除/解耦的情况下，机器人104R可以仅按自动操作模式操作）。
在一个方面中，适配器挂件400可以包括以任何合适方式耦合到框架401的物理模式选择器开关473。模式选择器开关473可以通过接口410可操作地耦合到可替代智能移动设备SD，使得当模式选择器开关473在自动、手动和教示模式之间切换时，可替代智能移动设备SD的图形用户界面GUI自动改变，例如所述智能设备被配置成根据模式选择器开关473的位置向用户自动呈现不同操作屏幕（诸如下文所述那些屏幕）。
参考图2、图4A和图4B，如上所述，适配器挂件400可操作地耦合到可替代智能移动设备SD和机器人104R两者。在一个方面中，当可替代智能移动设备SD可操作地耦合到适配器挂件400时，机器人104R的移动可以在运动学上（例如，速度、加速度、加速度变化率、转矩等等）限制在任何合适教示参数内。为促进可操作地耦合可替代智能移动设备SD和机器人104R两者，适配器挂件400包括机器控制器接口405和另一接口410。机器控制器接口405使用硬接线499或无线498耦合按上述方式使适配器挂件400与机器控制器110可操作地耦合以用于输入/输出I/O。另一个接口410不同于机器控制器接口405，并且被配置成用于与可替代智能可替代智能移动设备SD可操作地连接。
如上所述，可替代智能移动设备SD具有驻存在可替代智能移动设备SD上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn。另一个接口410具有连接配置410C，使得可替代智能移动设备SD与另一个接口410的配对自动地配置可替代智能移动设备SD的驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的至少一者，以便经由适配器挂件400限定到机器控制器110的输入/输出I/O，从而实现输入命令和输出信号，用于机器人104R的铰接臂315从一个位置230A、230B、230C（图2）到另一个位置230A、230B、230C（图2）的运动控制。在一个方面中，另一个接口410具有连接配置，使得可替代智能移动设备SD与另一个接口410的配对经由适配器挂件400实现与机器控制器110配对的可替代智能移动设备SD的用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的至少一者的紧密耦合，使得与另一个接口SD配对的可替代智能移动设备SD的用户可操作功能特性SDC1-SDCn中的至少一者限定半导体加工运输装置104的紧密耦合的用户可选择输入/输出498CC、499CC（参见图4B）。应再次注意的是，可替代智能移动设备SD的用户可操作功能特性SDC1-SDCn中的至少一者的紧密耦合498CC、499CC无介入机器人104R运动命令接口，所述介入机器人104R运动命令接口在可替代智能移动设备SD上的用户可选择输入/输出、由其生成的运动命令/用户选择（例如告知机器人运动、初始位置（诸如位置230A-230C中的一者–图2）、另一个位置（诸如位置230A-230C中的一者–图2）的机器人104R运动命令，全部都可通过输入/输出上的用户选择来自由选择）、和机器控制器110之间介入（以便重新配置或重复/重新发送输入/输出）。
在一个方面中，连接配置410C是即插即用连接配置，并且是短距离或近场射频耦合（如上所述）和通用串行总线端口耦合（或如上所述的其他有线耦合）中的至少一者。在一个方面中，对驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的所述至少一者的配置在与适配器挂件400配对的可替代智能移动设备SD的用户初始化时自动实现。例如，在一个方面中，用于与机器人104R（并且因此机器控制器110）接口连接的图形用户界面GUI被自动“启动”或初始化，并且可视地呈现在可替代智能移动设备SD上（例如，打开以允许用户控制机器人104R的铰接臂315）；而在其他方面中，用户可能必须主动选择驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的所述至少一者用于与控制器110和机器人104R接口连接，并且使得图形用户界面GUI呈现在可替代智能移动设备SD上。
在一个方面中，另一个接口410的连接配置410C被设置成使得可替代智能移动设备SD与另一个接口410的配对初始化可替代智能移动设备SD上的至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性SDCL的闭锁（或受限存取/功能）。应注意的是，至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性SDCL可以是预先确定的驻存用户可操作功能特性SDC1-SDCn中的一者或多者。此处，可替代智能移动设备SD可以具有不受限操作模式（诸如当可替代智能移动设备SD未登录到例如机器控制器110中和/或耦合到适配器挂件400时）和受限操作模式（诸如当可替代智能移动设备SD登录到例如机器控制器110中和/或耦合到适配器挂件400时）。当处于受限操作模式时，与不受限操作模式相比，可替代智能移动设备SD可以具有停用和不可用的一个或多个功能SDC1-SDCn。例如，在一个方面中，机器控制器110可以被配置成根据可以防止和/或允许存取预先确定的驻存用户可操作功能特性SDC1-SDCn中的一者或多者的任何合适预先确定的规则或准则体系来远程管理和控制可替代智能移动设备SD的用户可操作设备功能特性SDCL、SDC1-SDCn。在一个方面中，机器控制器110可以被配置成允许接入图形用户界面GUI（参见图4B和图5A-5I）以用于控制运输机器人104并且限制可以与机器控制器110通信的其他预先确定的驻存用户可操作功能特性SDC1-SDCn中的一者或多者。
例如，当可替代智能移动设备SD耦合到适配器挂件400时，可以通过用户可操作设备功能特性SDCL的“登录”特征（例如可替代智能移动设备SD借助所述登录特征在不受限操作模式和受限操作模式之间转换）来限制通过可替代智能移动设备SD到运输机器人104的控制接入。在其他方面中，用于控制运输机器人104的用户可操作设备功能特性SDCL可能受限（例如，不可存取），除非可替代智能移动设备SD连接到适配器挂件400。在再其他方面中，可能需要可替代智能移动设备SD的用户“登录”到用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn，以用于在进入运输机器人104所位于的制作设施(FAB)之前控制运输机器人104；在此登录时间，可替代智能移动设备SD的一个或多个用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn（例如，录像器、录音机、传感器等等，可替代智能移动设备SD的数据可能受限）被锁定并且不可存取，而可替代智能移动设备SD位于FAB内，其中在使可替代智能移动设备SD与适配器挂件400配对时，至少图形用户界面GUI（参见图4B-5I）变得可用于控制运输机器人104。在连接到适配器挂件400时，还可以提供到数据记载的有限存取，例如使用相机来教示运输机器人104衬底保持站位置230B、230C（参见图2），用于振动分析的加速度计数据可以是可用的等等。
可替代智能移动设备SD的计算机网络和/或因特网接入也可能受限。例如，当可替代智能移动设备SD耦合到适配器挂件400时，可以提供仅到预先确定的网页（诸如例如，用于下载固件更新和在线故障排除的装备制造商网站）的因特网接入。作为另一示例，到FAB计算机网络的接入可以由机器控制器110和/或通过用于控制运输机器人104的用户可操作设备功能特性SDCL的任何合适“登录”限制到FAB计算机网络的预先确定的区域（例如，限制到预先确定的服务器/文件）。
在一个方面中，机器控制器110包括登录数据库110DB（参见图2和图4B），登录数据库110DB包括与用户登录有关的信息、个性化设置和数据以及任何其他合适凭证信息。登录数据库110DB可以是自动登录系统的一部分，其中机器控制器110检测可替代智能移动设备SD与适配器挂件400的耦合，从可替代智能移动设备SD自动检索预先确定的凭证并且根据所述凭证给可替代智能移动设备SD提供预先确定的功能（诸如接入图形用户界面GUI以便控制运输机器人104），同时限制其他可操作设备功能特性（诸如例如限制到预先确定的网页的因特网接入、限制数据记载、限制相机使用、限制文本(SMS)消息收发等等）。在一个方面中，可替代智能移动设备SD的电话功能可以保持活动，使得用户或其他人员具有到例如装备制造商技术服务的电话接入。在其他方面中，可替代智能移动设备SD的电话功能可能被限制为接收传入呼叫，其中传出呼叫被限制为仅预先确定的电话号码（诸如例如装备制造商技术服务以及其他预先确定的电话号码）。在其他方面中，可以通过硬件（诸如适配器挂件400和/或控制器110C）和/或软件（诸如驻存在可替代智能移动设备SD上的应用）以任何合适方式限制可替代智能移动设备SD的功能，以便例如当在其中安装运输机器人104的制作设施中时防止不需要的数据捕获和/或对可替代智能移动设备SD的机器篡改。
如上所述，另一个接口410具有连接配置410C，使得可替代智能移动设备SD与另一个接口410的配对自动实现对可替代智能移动设备SD的驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的至少一者的配置，以便限定到机器控制器110的输入/输出I/O。由驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的所述至少一者限定的输入/输出I/O具有实施用于实现教示机器控制器110关于对机器人104R的铰接臂315从一个位置230A、230B、230C（图2）到另一个位置230A、230B、230C（图2）的运动控制的运动教示控制（参见图5A-5I）的布置结构。例如，驻存用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn包括可替代智能移动设备SD的图形用户界面GUI，图形用户界面GUI被配置成限定运动教示控制输入/输出接口500，用于实现教示机器控制器110对铰接臂315从一个位置230A、230B、230C（图2）到另一个位置230A、230B、230C（图2）的运动控制。输入/输出接口500出于示例性目的示出在图4B中的可替代智能移动设备SD上。
现在参考图5A-5I，将描述可替代智能移动设备SD的被配置成限定运动教示控制输入/输出接口500的示例性图形用户界面GUI。在一个方面中，运动教示控制输入/输出接口500包括主页或主屏幕500P。按上述方式，主页500P可以在与适配器挂件400配对的可替代智能移动设备SD的用户初始化时自动呈现在图形用户界面GUI上，而在其他方面中，可以从图形用户界面GUI手动选择运动教示控制输入/输出接口500，使得呈现主页500P。主页500P可以包括到允许用户以各种方式控制机器人104R的铰接臂315的运动教示控制输入/输出接口500的其他“页面”的链接。例如，主页500P可以包括链接或图标501-506，当链接或图标501-506通过例如触碰图形用户界面GUI上的对应图标被激活时，打开运动教示控制输入/输出接口500的相应页面。例如，主页500P可以包括归位图标501、配置图标502、诊断图标503、教示图标504、脚本撰写图标505、数据收集图标506和/或用于引导用户到对运动教示控制输入/输出接口500的控制以用于按任何合适方式与机器人104R和控制器110接口连接的任何其他合适图标。运动教示控制输入/输出接口500的任何一个或多个页面在适当时还可以包括上述启动图标599和紧急停止图标598。
图5B是当归位图标501被激活时呈现在图形用户界面GUI上的归位页面501P的示例性图示。归位页面501P可以包括用于将机器人104R的铰接臂315移动到铰接臂315的预先确定的经校准起始位置的任何合适功能（诸如例如，其中末端执行器315E移动到对应于的沿着旋转轴线θ的0°取向，沿着延伸轴线R的0（零）位置，并且其中沿着Z轴线配备0（零）的高度的位置 – 其中起始位置是基础位置，从所述基础位置开始测量铰接臂315的所有移动）。例如，归位页面501P可以包括功能510-513的归位轴线509类别。这些功能510-513可以包括以下功能中的一者或多者：使所有R、θ、Z轴线返回到其起始位置的归位所有功能510；使延伸轴线R返回到其起始位置的归位R功能511；使旋转轴线θ返回到其起始位置的归位T功能512；以及使Z轴线返回到其起始位置的归位Z功能513。归位页面501还可以包括（如从控制器110获得）与机器人104R的操作有关的信息，诸如机器人类型514以及轴线R、θ、Z中的每一者的归位状态515。在一个方面中，主页500P（或至少主页图标）可以始终存在于图形用户界面上（参见图5D和图5E），使得用户可以在单个选择步骤中容易地在运动教示控制输入/输出接口500的不同页面502P、503P、504P、505P、506P（对应于图标502-506）之间切换。在其他方面中，对应于图标502-506的页面502P、503P、504P、505P、506P中的每一者可以包括“返回主页”图标597，其在图形用户界面GUI上重新呈现主页500P用于在对应于图标502-506的不同页面502P、503P、504P、505P、506P之间切换。
图5C是当教示图标504被激活时呈现在图形用户界面GUI上（图形用户界面GUI呈现在可替代智能移动设备SD的显示器477上 –图2）的教示页面504P的示例性图示。此处，显示器477被配置成以图形方式示出铰接臂315（图2）的教示铰接臂运动的至少一个用户可选择教示参数。此处，可选择教示参数可以是任何合适教示参数，包括（但不限于）铰接臂位置(R、θ、Z) 517、衬底保持站号码571、铰接臂315的盘号码（pan number）572、衬底保持站处的槽573的数量、衬底保持槽之间的间距574、增量移动步距575或任何其他合适教示参数。教示页面504P可以包括用于将机器人104R的铰接臂315从站位置的教示位置（诸如位置230B、230C）移动到机器人104和机器人控制器110的任何合适功能。教示页面504P可以包括用于手动移动铰接臂315的点动控件516、用于显示铰接臂的位置的位置指示器517以及站教示状态信息518中的一者或多者。点动控件516可以包括用于选择要手动移动的轴线R、θ、Z的图标516S。点动控件516还可以包括用于沿着选定轴线R、θ、Z移动铰接臂315的拨动图标516M。当使用拨动图标516M移动所述臂时，位置指示器517可以指示铰接臂315的位置。站教示状态信息518可以识别衬底保持站（STN –诸如位置230B、230C），提供是否已经教示所述站的特定机器人移动（步骤 –诸如拾取移动、放置移动和/或沿着特定轴线的延伸移动）的指示（状态），以及针对所识别衬底保持站(STN)的机器人移动的操作模式。
图5D是教示页面504P的示例性图示，其中主页500P始终存在于GUI上，并且其中归位页面501P的功能被包括在教示页面504P的功能中/与教示页面504P的功能相结合。图5E是教示页面504P的另一示例性图示，其中归位页面500P始终存在于GUI上。然而，图5E的教示页面504P缺少归位页面501P的功能。
图5F是当配置图标502被激活时呈现在图形用户界面GUI上的配置页面502P的示例性图示。配置页面502P可以包括用于配置如下中的一者或多者的任何合适功能：可替代智能移动设备SD和机器人104R/控制器110之间的通信（参见机器人I/O图标512)；网络通信（参见网络I/O图标522）；机器人应用（参见机器人应用图标520）；以及站选项（参见站选项图标523）。机器人I/O图标521可以允许用户以任何合适方式配置在可替代智能移动设备SD和机器人104R/控制器110之间使用的通信协议。网络I/O图标522可以允许用户配置任何合适网络设置，诸如以提供到因特网和/或其中安装半导体加工装置104的制作设施(FAB)的计算机网络的可替代智能移动设备SD接入。由网络I/O图标提供的网络配置功能可以受密码/密钥保护，使得FAB所有者（与适配器挂件400的常规用户相反）可以限制到预先确定的网页的因特网接入或限制到计算机网络上的预先确定的信息的计算机网络接入。机器人应用图标520可以提供用以选择机器人104R的驱动区段200包括的电机200M1、200M2的数量、臂连杆的数量、末端执行器315E的类型和/或机器人104R的任何其他合适可配置选项的功能。站选项图标523可以提供用以设置衬底保持站的数量、衬底保持站的类型（例如，匣、对准器、加工站等等）、衬底保持站处的衬底保持槽的数量和/或衬底保持站处可能存在的任何其他合适选项的功能。应注意的是，在配置页面502P上键入的设置/配置可能影响哪些图标出现在其他页面上。例如，在规定在配置页面502P上机器人104R包括延伸轴线R和旋转轴线θ，但是并不包括Z轴线的情况下，归位页面501P（和/或其他页面，诸如教示页面504P）可能不包括与Z轴线有关的图标。
图5G是当脚本撰写图标505被激活时呈现在图形用户界面GUI上的脚本撰写页面505P的示例性图示。脚本撰写页面505P可以包括用于创建新脚本或修改机器人104R功能的现有脚本的任何合适功能。例如，脚本撰写页面505P可以包括向用户呈现机器人104R操作的脚本的脚本撰写接口530。脚本撰写接口530可以包括用于运行、暂停和/或停止脚本的功能（参见运行、暂停和停止图标）。脚本撰写页面505P还可以包括命令行接口531，当用户选择命令行接口531时，其将在图形用户界面GUI上呈现可替代智能移动设备SD的字母数字键盘KB以允许用户键入新脚本或修改脚本撰写接口530中存在的脚本。可替代智能移动设备SD的用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn还可以实现机器人104R动画能力。例如，脚本撰写页面505P可以包括被配置成呈现机器人104R的对应于例如在脚本撰写接口530中键入的脚本的动画的显示区域530D。
图5H是当诊断图标503被激活时呈现在图形用户界面GUI上的诊断页面503P的示例性图示。诊断页面503P可以包括用于通过图形用户界面GUI向用户指示半导体加工运输装置104的任何合适部件的操作状态的任何合适功能。例如，可以存在用于电机操作、编码器操作、（控制器110的）处理器利用率、网络利用率、振动水平和能量消耗的状态指示器540。还可以存在呈现在诊断页面503P上的对操作状态进行颜色协调的颜色编码的图例550。例如，绿色可以指示正常操作，黄色可以指示警告状态，并且红色可以指示被监测部件的故障。每一状态指示器540可以改变颜色以指示被监测的相应部件（例如，电机、编码器、处理器等等）的操作状况。
图5I是当数据收集图标506被激活时呈现在图形用户界面GUI上的数据收集页面506P的示例性图示。数据收集页面506P可以包括用于收集和查看半导体加工运输装置104的任何合适部件的数据的任何合适功能。例如，数据收集页面506P可以包括参数设置560，参数设置560被配置成允许用户设置采样周期、样本数量、触发类型（例如，当采样开始时）、触发延迟、所采样数据是否连续呈现在显示器563上或任何其他合适数据采集参数。此处，显示器563（其可以是可替代智能移动设备SD的显示器477的全部或一部分）被配置成以图形方式显示铰接臂315的铰接运动的至少一个所记载臂运动参数（例如，电机前馈转矩或任何其他合适参数）的时间记载。数据收集页面506P还可以包括被配置成允许用户选择对应于被监测用于数据收集的部件的任何合适参数的变量选择设置561。例如，所述参数可以包括电机转矩、电机电流、电机功率、电机跟踪误差、末端执行器跟踪误差等等。控制图标562也提供在数据收集页面506P上，并且被配置成用于开始数据收集、停止数据收集、保存所收集数据（例如，在控制器110、可替代智能移动设备SD的任何合适存储器中，或适配器挂件所耦合到的FAB计算机网络的任何其他合适存储位置中），或基于例如选定参数设置560和/或变量选择设置561的模拟数据收集的用户选择。所收集数据可以以图形方式或者以任何其他合适方式呈现在数据收集页面506P的显示器563上。
在一个方面中，参考图2，可替代智能移动设备SD的内置特征和/或应用SDP1-SDPn（其可以是本文中描述的用户可操作设备功能特性 SDC1-SDCn中的一者或多者）可以与适配器挂件400一起用于使半导体加工工具设置更有效，并且减少机器停机时间。例如，可替代智能移动设备SD可以包括任何合适内置特征和/或应用SDP1-SDPn，其可以包括水平度（例如从水平面的倾斜）指示器/传感器SDP1、加速度计SDP2、相机SDP3、温度传感器SDP8、无线连接SDP4、因特网接入SDP5、麦克风SDP7和/或任何其他合适软件/硬件特征。
水平度指示器SDP1可以用于加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H的末端执行器315E、加工站/衬底保持站230B、230C和/或任何其他合适特征的水平度测量（例如，与水平轴线的偏离）。例如，带有耦合到其的可替代智能移动设备SD的适配器挂件400可以放置/位于运输机器人104R或衬底站的末端执行器315E（参见图2）或其他合适结构特征上（出于示例性目的，适配器挂件400被示出为位于衬底保持站/位置230C的衬底站表面230CS上），用于检测运输臂315或衬底保持站的水平度/倾斜。
在一个方面中，可以使用可替代智能移动设备SD的加速度计SDP2来检测、测量和/或以其他方式监测由运输臂315和/或加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H的任何其他合适特征产生的振动VIB。例如，可替代智能移动设备可以无线耦合到适配器挂件400，使得运输机器人104R的移动可以例如通过脚本撰写页面505P编程用于延迟移动（例如铰接臂315的铰接移动在预先确定的时间周期已经经过之后开始），并且可替代智能移动设备SD放置/位于运输机器人104R或衬底站的末端执行器315E（参见图2）或其他合适结构特征上，用于在铰接臂315的延迟移动期间借助加速度计SDP2检测振动VIB。在铰接臂315的经编程铰接移动已经停止之后，可以取回可替代智能移动设备SD，并且将其重新插入到适配器挂件400中。在其他方面中，可以使用外部设备ED1加速度计（参见图2）来检测、测量和/或以其他方式监测由运输臂315和/或加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H的任何其他合适特征产生的振动VIB。例如，外部设备ED1加速度计可以无线耦合到位于适配器挂件400中的可替代智能移动设备SD，用于将加速度计数据无线传输到可替代智能移动设备。
麦克风SDP7M（例如，结合任何合适音频数据记载应用SDP7）还可以用于检测例如铰接臂315移动期间的振动。应注意的是，检测到的振动VIB（来自麦克风SDP7M/音频数据记载应用SDP7或加速度计SDP2）可以以类似于参考图5I示出和描述的方式显示在显示器563上。
可替代智能移动设备SD的相机可以（在一个方面中，接入受限）用于自动教示运输机器人104衬底保持站230B、230C的位置和/或用于衬底S的检查（参见，例如，图3A）。
在一个方面中，温度传感器可以是可替代智能移动设备SD的温度传感器SDP8；或在其他方面中，温度传感器可以是无线温度传感器（其可以是上述外部设备ED1-EDn中的一者），诸如例如，温度传感器ED2（图2）。温度传感器ED2和/或温度传感器SDP8可以由可替代智能移动设备SD读取以为健康监测或机器人定位算法的热补偿提供反馈，以便提高准确度和可重复性。例如，一个或多个臂连杆315F、315U、315E可以包括用于确定相应臂连杆315F、315U、315E上的热效应以实现热补偿的相应温度传感器；和/或驱动区段200的一个或多个电机可以具有用于监测相应电机的温度以检测电机故障的相应温度传感器。
无线连接SDP4（诸如Bluetooth®等等）可以用于在可替代智能移动设备SD和适配器挂件400之间建立通信。
可替代智能移动设备SD的因特网接入SDP5（其可以按任何合适方式受限，如本文中所述）可以提供到例如运输机器人104、适配器挂件400或到加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H的任何其他合适特征的软件/固件下载。可替代智能移动设备SD的因特网接入SDP5还可以提供对来自自动化装备和/或因特网的例如任何合适信息/文档的用户存取，所述信息/文档包括（但不限于）半导体装备应用（诸如应用SDP1-SDPn， 其安装在可替代智能移动设备SD上）、产品手册、命令语法、服务通报、固件（或其他）升级指令、修复指令和故障排除指南。因特网接入SDP5（和/或无线连接SDP4）还可以实现借助可替代智能移动设备SD从终端用户的FAB计算机网络接收自动化状态电子邮件通知。应用SDP1-SDP6可以通过从自动化收集任何合适数据并且分析所收集的数据（诸如结合控制器110C或单独）（参见图5I和本文中描述的数据收集页面506P）来借助可替代智能移动设备SD促进自动化机器部件的集成数据收集和诊断分析。
可替代智能移动设备SD还具有下载、存储和运行应用或程序的能力（此功能以及相关联应用/程序还可以是用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的一者或多者）。所公开实施例的方面允许自动化供应商（诸如运输机器人104的供应商）如下灵活性：为可替代智能移动设备SD提供应用或程序，所述应用或程序可以下载到可替代智能移动设备SD以供与自动化装备（诸如运输机器人104）一起使用。例如，自动化供应商可以提供下载到可替代智能移动设备SD的应用SDP6。应用SDP6可以被配置成为加工装置100A、100B、100C、100D、100E、100F、100G、100H的至少一部分（诸如运输装置104）提供单点控制。例如，应用SDP6可以配置有本文中描述的图形用户界面GUI，使得在用户交互时，以任何合适方式控制运输装置104。
现在参考图2、图4A、图4B和图6，将根据所公开实施例的方面描述示例性操作。例如，所述操作包括提供铰接臂315，铰接臂315耦合到驱动区段200，用于驱动铰接臂315的铰接运动（图6，框600）。如本文中所述，驱动区段200具有至少一个电机200M1、200M2。使机器控制器110可操作地耦合到驱动区段200（图6，框605）以便控制至少一个电机200M1、200M2，用于使铰接臂315从一个位置230B、230C移动到不同的另一个位置230B、230C。适配器挂件400利用适配器挂件400的机器控制器接口405可操作地耦合到机器控制器110（图6，框610）用于输入/输出。如本文中所述，适配器挂件400具有另一接口410，另一接口410不同于机器控制器接口405并且被配置成用于与可替代智能移动设备SD可操作地连接（图6，框615），可替代智能移动设备SD具有驻存在可替代智能移动设备SD上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性SDCL、SDC1-SDCn。如本文中所述，另一个接口410具有连接配置，使得可替代智能移动设备SD的配对能够配置可替代智能移动设备的驻存用户可操作设备功能特性SDCL、SDC1-SDCn中的至少一者（图6，框620），以便经由适配器挂件限定到机器控制器的输入/输出，从而实现输入命令和输出信号，用于铰接臂从一个位置到另一个位置的运动控制。例如，在一个方面中，对驻存用户可操作设备功能特性SDCL、SDC1-SDCn中的所述至少一者的配置在与适配器挂件400配对的可替代智能移动设备SD的用户初始化时自动实现。在一个方面中，另一个接口410具有连接配置，使得可替代智能移动设备SD与另一个接口410的配对经由适配器挂件400实现与机器控制器110配对的可替代智能移动设备SD的用户可操作设备功能特性SDC1-SDCn中的至少一者的紧密耦合（图6，框621），使得与另一个接口410配对的可替代智能移动设备SD的用户可操作功能特性SDC1-SDCn中的至少一者限定半导体加工运输装置104的紧密耦合的用户可选择输入/输出498CC、499CC。在一个方面中，另一个接口410的连接配置被设置成使得可替代智能移动设备SD与另一个接口410的配对初始化可替代智能移动设备SD上的至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性SDCL、SDC1-SDCn的闭锁（或受限存取/功能）（图6，框625）。
如本文中所述，所公开实施例的方面允许自动化供应商如下灵活性：为可替代智能移动设备SD（诸如例如智能电话和平板计算机）提供应用，所述应用可以下载到可替代智能移动设备SD（诸如由服务人员或自动化装备的其他用户携带的可替代智能移动设备）以供与由自动化供应商生产/提供的自动化装备一起使用。根据所公开实施例的方面，用户将把可替代智能移动设备SD安装到适配器挂件400并且通过无线连接或有线连接在适配器挂件400和可替代智能移动设备SD之间建立连接。一旦建立连接，用户便可以选择适当应用SDP1-SDP6（其可以是一个或多个驻存用户可操作功能特性SDCL、SDC1-SDCn），或者所述适当应用可以在建立适配器挂件400和可替代智能移动设备SD之间的连接时自动启动/激活。适配器挂件400和在可替代智能移动设备SD上运行的应用为自动化装备提供单点控制。
如本文中所述，适配器挂件400与自动化装备（诸如运输机器人104）建立机电接口。在一个方面中，适配器挂件400可以包括任何合适模式选择器开关429，其包括一个或多个紧急停止开关450、关-开-关三位开关430和如本文中所述的其他合适开关，而在其他方面中，在适当的情况下，紧急停止开关450、关-开-关三位开关430和其他合适开关（参见图2、图4A和图4B）可以通过图形用户界面GUI（参见图5A）由用户可操作设备功能特性SDCL、SDC1-SDCn提供。
根据所公开实施例的一个或多个方面，一种半导体加工运输装置包括：
驱动区段，所述驱动区段带有至少一个电机；
铰接臂，所述铰接臂耦合到所述驱动区段，以用于驱动所述铰接臂的铰接运动；
机器控制器，所述机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
适配器挂件，所述适配器挂件具有机器控制器接口，所述机器控制器接口使所述适配器挂件与所述机器控制器可操作地耦合以用于输入/输出，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性；
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对自动实现对所述可替代智能移动设备的所述驻存用户可操作设备功能特性中的至少一者的配置，以便经由所述适配器挂件限定到所述机器控制器的输入/输出，从而实现用于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的输入命令和输出信号。
根据所公开实施例的一个或多个方面，对所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者的配置在与所述适配器挂件配对的所述可替代智能移动设备的用户初始化时自动实现。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述连接配置是即插即用连接配置，并且是短距离或近场射频耦合和通用串行总线端口耦合中的至少一者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，由所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的输入/输出具有实施用于实现教示机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的运动教示控制的布置结构。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述驻存用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面被配置成限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关或紧急机器关闭开关或紧急系统关闭开关中的一者或多者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件具有一体的关-开-关三位开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体模式选择开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，一种方法包括：
提供铰接臂，所述铰接臂耦合到驱动区段用于驱动所述铰接臂的铰接运动，所述驱动区段具有至少一个电机；
使机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
借助适配器挂件的机器控制器接口使所述适配器挂件可操作地耦合到所述机器控制器以用于输入/输出，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性；
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对自动实现对所述可替代智能移动设备的所述驻存用户可操作设备功能特性中的至少一者的配置，以便经由所述适配器挂件限定到所述机器控制器的输入/输出，从而实现用于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的输入命令和输出信号。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述方法还包括：在与所述适配器挂件配对的所述可替代智能移动设备的用户初始化时自动实现对所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者的配置。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述连接配置是即插即用连接配置，并且是短距离或近场射频耦合和通用串行总线端口耦合中的至少一者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，由所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有实施用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的运动教示控制的布置结构。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述驻存用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述方法还包括：借助所述图形用户界面限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关、紧急机器关闭开关和紧急系统关闭开关中的一者或多者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件具有一体关-开-关三位开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体模式选择开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，一种半导体加工运输装置包括：
驱动区段，所述驱动区段带有至少一个电机；
铰接臂，所述铰接臂耦合到所述驱动区段，用于驱动所述铰接臂的铰接运动；
机器控制器，所述机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同另一个位置；以及
适配器挂件，所述适配器挂件具有使所述适配器挂件与所述机器控制器可操作地耦合以用于输入/输出的机器控制器接口，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的用户可操作设备功能特性，
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对经由所述适配器挂件实现与所述机器控制器配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作设备功能特性中的至少一者的紧密耦合，使得与所述另一个接口配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作功能特性中的所述至少一者限定所述半导体加工运输装置的紧密耦合的用户可选择输入/输出。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面经由所述适配器挂件与所述机器控制器紧密耦合以便实现所述运输装置的紧密耦合的用户界面。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述智能设备上的至少一个传感器。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述智能设备上的数据记录功能。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备上的图形显示功能，所述图形显示功能被配置成以图形方式显示所述铰接臂的教示铰接运动的至少一个用户可选择教示参数。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述可替代智能移动设备上的记载功能中的至少一者，以及所述可替代智能移动设备上的图形显示功能中的至少一者，其被配置成以图形方式显示所述铰接臂的所述铰接运动的至少一个所记载臂运动参数的时间记载。
根据所公开实施例的一个或多个方面，对所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者的配置在与所述适配器挂件配对的所述可替代智能移动设备的用户初始化时自动实现。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述连接配置是即插即用连接配置，并且是短距离或近场射频耦合和通用串行总线端口耦合中的至少一者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，由所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有实施用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的运动教示控制的布置结构。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面被配置成限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关、紧急机器关闭开关和紧急系统关闭开关中的一者或多者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件具有一体关-开-关三位开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体模式选择开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，一种方法包括：
提供铰接臂，所述铰接臂耦合到驱动区段，用于驱动所述铰接臂的铰接运动，所述驱动区段具有至少一个电机；
使机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
借助适配器挂件的机器控制器接口使所述适配器挂件可操作地耦合到所述机器控制器以用于输入/输出，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的用户可操作设备功能特性，
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对经由所述适配器挂件实现与所述机器控制器配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作设备功能特性中的至少一者的紧密耦合，使得与所述另一个接口配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作功能特性中的所述至少一者限定所述半导体加工运输装置的紧密耦合的用户可选择输入/输出。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面经由所述适配器挂件与所述机器控制器紧密耦合以便实现所述运输装置的紧密耦合的用户界面。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述智能设备上的至少一个传感器。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述智能设备上的数据记录功能。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备上的图形显示功能，所述图形显示功能被配置成以图形方式显示所述铰接臂的教示铰接运动的至少一个用户可选择教示参数。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述可替代智能移动设备上的记载功能中的至少一者，以及被配置成以图形方式显示所述铰接臂的所述铰接运动的至少一个所记载臂运动参数的时间记载的所述可替代智能移动设备上的图形显示功能中的至少一者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述方法还包括：在与所述适配器挂件配对的所述可替代智能移动设备的用户初始化时自动实现对所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者的配置。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述连接配置是即插即用连接配置，并且是短距离或近场射频耦合和通用串行总线端口耦合中的至少一者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，由所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有实施用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的运动教示控制的布置结构。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述方法还包括：借助所述图形用户界面限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关、紧急机器关闭开关和紧急系统关闭开关中的一者或多者。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件具有一体关-开-关三位开关。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
根据所公开实施例的一个或多个方面，所述适配器挂件包括一体模式选择开关。
应理解的是，前述描述仅是对所公开实施例的方面的说明。本领域的技术人员可以设想出各种替代物和修改，而不背离所公开实施例的方面。因此，所公开实施例的方面旨在包含落入所附权利要求的范围内的所有此类替代物、修改和变型。此外，在相互不同的从属或独立权利要求中叙述不同特征的纯粹事实并不指示无法有利地使用这些特征的组合，此类组合仍然在所公开实施例的方面的范围内。

Claims (38)

1.一种半导体加工运输装置，其包括：
驱动区段，所述驱动区段带有至少一个电机；
铰接臂，所述铰接臂耦合到所述驱动区段，用于驱动所述铰接臂的铰接运动；
机器控制器，所述机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
适配器挂件，所述适配器挂件具有使所述适配器挂件与所述机器控制器可操作地耦合以用于输入/输出的机器控制器接口，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性；
其中，另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对自动实现对所述可替代智能移动设备的所述驻存用户可操作设备功能特性中的至少一者的配置，以便经由所述适配器挂件限定到所述机器控制器的输入/输出，从而实现用于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的输入命令和输出信号。
2.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，对所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者的配置在与所述适配器挂件配对的所述可替代智能移动设备的用户初始化时自动实现。
3.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述连接配置是即插即用连接配置，并且是短距离或近场射频耦合和通用串行总线端口耦合中的至少一者。
4.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，由所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有这种布置结构，所述布置结构实施运动教示控制，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
5.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述驻存用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面被配置成限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
6.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关或紧急机器关闭开关或紧急系统关闭开关中的一者或多者。
7.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述适配器挂件具有一体的关-开-关三位开关。
8.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
9.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
10.根据权利要求1所述的半导体加工运输装置，其中，所述适配器挂件包括一体模式选择器开关。
11.一种方法，其包括：
提供铰接臂，所述铰接臂耦合到驱动区段，以用于驱动所述铰接臂的铰接运动，所述驱动区段具有至少一个电机；
使机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
借助适配器挂件的机器控制器接口使所述适配器挂件可操作地耦合到所述机器控制器以用于输入/输出，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的驻存用户可操作设备功能特性；
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对自动实现对所述可替代智能移动设备的所述驻存用户可操作设备功能特性中的至少一者的配置，以便经由所述适配器挂件限定到所述机器控制器的输入/输出，从而实现用于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制的输入命令和输出信号。
12.根据权利要求11所述的方法，其还包括：在与所述适配器挂件配对的所述可替代智能移动设备的用户初始化时自动实现对所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者的配置。
13.根据权利要求11所述的方法，其中，由所述驻存用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有这种布置结构，所述布置结构实施运动教示控制，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
14.根据权利要求11所述的方法，其中，所述驻存用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述方法还包括：借助所述图形用户界面限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
15.根据权利要求11所述的方法，其中，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的驻存用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
16.根据权利要求11所述的方法，其中，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
17.根据权利要求11所述的方法，其中，所述适配器挂件包括一体模式选择器开关。
18.一种半导体加工运输装置，其包括：
驱动区段，所述驱动区段带有至少一个电机；
铰接臂，所述铰接臂耦合到所述驱动区段，以用于驱动所述铰接臂的铰接运动；
机器控制器，所述机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
适配器挂件，所述适配器挂件具有使所述适配器挂件与所述机器控制器可操作地耦合以用于输入/输出的机器控制器接口，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的用户可操作设备功能特性，
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对经由所述适配器挂件实现与所述机器控制器配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作设备功能特性中的至少一者的紧密耦合，使得与所述另一个接口配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作功能特性中的所述至少一者限定所述半导体加工运输装置的紧密耦合的用户可选择输入/输出。
19.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面经由所述适配器挂件与所述机器控制器紧密耦合以便实现所述运输装置的紧密耦合的用户界面。
20.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述智能设备上的至少一个传感器。
21.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述智能设备上的数据记录功能。
22.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备上的图形显示功能，所述图形显示功能被配置成以图形方式显示所述铰接臂的教示铰接运动的至少一个用户可选择教示参数。
23.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在所述可替代智能移动设备上的记载功能中的至少一者，以及被配置成以图形方式显示所述铰接臂的所述铰接运动的至少一个所记载臂运动参数的时间记载的所述可替代智能移动设备上的图形显示功能中的至少一者。
24.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，由所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有这种布置结构，所述布置结构实施运动教示控制，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
25.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面被配置成限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
26.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关、紧急机器关闭开关和紧急系统关闭开关中的一者或多者。
27.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述另一个接口的所述连接配置被设置成使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对初始化所述可替代智能移动设备上的至少另一预先确定的用户可操作功能特性的闭锁（或受限存取/功能）。
28.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
29.根据权利要求18所述的半导体加工运输装置，其中，所述适配器挂件包括一体模式选择器开关。
30.一种方法，其包括：
提供铰接臂，所述铰接臂耦合到驱动区段，以用于驱动所述铰接臂的铰接运动，所述驱动区段具有至少一个电机；
使机器控制器可操作地耦合到所述驱动区段，以便控制所述至少一个电机，以用于使所述铰接臂从一个位置移动到不同的另一个位置；以及
借助适配器挂件的机器控制器接口使所述适配器挂件可操作地耦合到所述机器控制器以用于输入/输出，所述适配器挂件具有另一接口，所述另一接口不同于所述机器控制器接口并且被配置成用于与可替代智能移动设备可操作地连接，所述可替代智能移动设备具有驻存在所述可替代智能移动设备上的预先确定的用户可操作设备功能特性，
其中，所述另一个接口具有连接配置，使得所述可替代智能移动设备与所述另一个接口的配对经由所述适配器挂件实现与所述机器控制器配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作设备功能特性中的至少一者的紧密耦合，使得与所述另一个接口配对的所述可替代智能移动设备的所述用户可操作功能特性中的所述至少一者限定所述半导体加工运输装置的紧密耦合的用户可选择输入/输出。
31.根据权利要求30所述的方法，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述图形用户界面经由所述适配器挂件与所述机器控制器紧密耦合，以便实现所述运输装置的紧密耦合的用户界面。
32.根据权利要求30所述的方法，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在智能设备上的至少一个传感器。
33.根据权利要求30所述的方法，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是驻存在智能设备上的数据记录功能。
34.根据权利要求30所述的方法，其中，所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者是所述可替代智能移动设备上的图形显示功能，所述图形显示功能被配置成以图形方式显示所述铰接臂的教示铰接运动的至少一个用户可选择教示参数。
35.根据权利要求30所述的方法，其中，由所述用户可操作设备功能特性中的所述至少一者限定的所述输入/输出具有这种布置结构，所述布置结构实施运动教示控制，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
36.根据权利要求30所述的方法，其中，所述用户可操作设备功能特性包括所述可替代智能移动设备的图形用户界面，所述方法还包括：借助所述图形用户界面限定运动教示控制输入/输出接口，以用于实现教示所述机器控制器关于所述铰接臂从所述一个位置到所述另一个位置的运动控制。
37.根据权利要求30所述的方法，其中，所述适配器挂件包括一体紧急停止开关、紧急机器关闭开关和紧急系统关闭开关中的一者或多者。
38.根据权利要求30所述的方法，其中，所述一个位置和所述另一个位置中的至少一者是半导体加工装置中的工件保持站。
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