JP7290622B2 - 搬送装置およびアダプタペンダント - Google Patents
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Description
本出願は、2017年7月11日に出願の米国仮特許出願第62/531,218号の利益を主張するものであり、その開示は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
例示的な実施形態は、概して、半導体処理装置に関し、より具体的には、半導体プロセスの搬送装置に関する。
Claims (37)
- 半導体プロセスの搬送装置であって、前記半導体プロセスの搬送装置が、
少なくとも1つのモータを有する駆動セクションと、
関節アームであって、前記関節アームの関節運動を駆動させるための前記駆動セクションに連結された関節アームと、
前記関節アームを1つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも1つのモータを制御するように前記駆動セクションに動作可能に連結されたマシンコントローラと、
アダプタペンダントであって、前記アダプタペンダントが、前記アダプタペンダントを入力/出力のために前記マシンコントローラと動作可能に連結するマシンコントローラインタフェースを有し、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、アダプタペンダントと
を備え、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記アダプタペンダントを介する前記マシンコントローラへの入力/出力を画定して、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つの構成が自動的に可能になるような、接続構成を有している、半導体プロセスの搬送装置。 - 前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つの構成が、前記アダプタペンダントに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で自動的に可能にされる、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記接続構成が、プラグアンドプレイ接続構成であり、短距離または近距離無線周波数の連結およびユニバーサルシリアルバスポートの連結のうちの少なくとも1つである、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つによって画定された前記入力/出力が、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力/出力インタフェースを画定するように構成されている、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含む、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記アダプタペンダントが、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、または緊急システムオフスイッチのうちの1つまたは複数を含む、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記アダプタペンダントが、一体型のライブマンスイッチを有している、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記1つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも1つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記アダプタペンダントが、一体型のモード切替スイッチを含む、請求項1記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームを提供する工程であって、前記駆動セクションが、少なくとも1つのモータを有している、工程と、
前記関節アームを1つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも1つのモータを制御するようにマシンコントローラを前記駆動セクションに動作可能に連結させる工程と、
入力/出力のために、アダプタペンダントのマシンコントローラインタフェースによりアダプタペンダントを前記マシンコントローラに動作可能に連結させる工程であって、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定の常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、工程と
を含む方法であって、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記アダプタペンダントを介する前記マシンコントローラへの入力/出力を画定して、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの運動制御のための入力コマンドおよび出力信号をもたらすように、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つの構成が自動的に可能になるような、接続構成を有している、方法。 - 前記アダプタペンダントに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのユーザ初期化で、前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つの構成を自動的に可能にする工程をさらに含む、請求項11記載の方法。
- 前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つによって画定された前記入力/出力が、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項11記載の方法。
- 前記常駐ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含み、前記方法がさらに、前記グラフィカルユーザインタフェースにより、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力/出力インタフェースを画定する工程を含む、請求項11記載の方法。
- 前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定の常駐ユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、請求項11記載の方法。
- 前記1つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも1つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項11記載の方法。
- 前記アダプタペンダントが、一体型のモード切替スイッチを含む、請求項11記載の方法。
- 半導体プロセスの搬送装置であって、前記半導体プロセスの搬送装置が、
少なくとも1つのモータを有する駆動セクションと、
関節アームであって、前記関節アームの関節運動を駆動させるための前記駆動セクションに連結された関節アームと、
前記関節アームを1つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも1つのモータを制御するように前記駆動セクションに動作可能に連結されたマシンコントローラと、
アダプタペンダントであって、前記アダプタペンダントが、前記アダプタペンダントを入力/出力のために前記マシンコントローラと動作可能に連結するマシンコントローラインタフェースを有し、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定のユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、アダプタペンダントと
を備え、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記別のインタフェースに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記半導体プロセスの搬送装置の密接に連結されたユーザ選択可能な入力/出力を画定するように、前記アダプタペンダントを介して、前記マシンコントローラと結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つの密接な連結がもたらされるような、接続構成を有しており、
前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、半導体プロセスの搬送装置。 - 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記搬送装置の密接に連結されたユーザインタフェースをもたらすように、前記アダプタペンダントを介して前記マシンコントローラと密接に連結される前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースである、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する少なくとも1つのセンサである、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐するデータロギング機能である、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記関節アームの関節運動を教示する少なくとも1つのユーザ選択可能な教示パラメータを視覚的に表示するように構成された前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能である、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する記録機能の少なくとも1つ、および前記関節アームの関節運動の少なくとも1つの記録されたアーム運動パラメータの時間記録を視覚的に表示するように構成された前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能の少なくとも1つである、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つによって画定された前記入力/出力が、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力/出力インタフェースを画定するように構成されている、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含む、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記アダプタペンダントが、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチのうちの1つまたは複数を含む、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記1つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも1つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 前記アダプタペンダントが、一体型のモード切替スイッチを含む、請求項18記載の半導体プロセスの搬送装置。
- 関節アームの関節運動を駆動させるための駆動セクションに連結された関節アームを提供する工程であって、前記駆動セクションが、少なくとも1つのモータを有している、工程と、
前記関節アームを1つの位置から異なる他の位置に移動させるために前記少なくとも1つのモータを制御するようにマシンコントローラを前記駆動セクションに動作可能に連結させる工程と、
入力/出力のために、アダプタペンダントのマシンコントローラインタフェースによりアダプタペンダントを前記マシンコントローラに動作可能に連結させる工程であって、前記アダプタペンダントが、前記マシンコントローラインタフェースとは異なり、互換性のあるスマートモバイルデバイスと動作可能に接続するように構成された別のインタフェースを有し、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する所定のユーザ操作可能デバイス機能特性を有している、工程と
を含む方法であって、
前記別のインタフェースは、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記別のインタフェースに結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記関節アームの密接に連結されたユーザ選択可能な入力/出力を画定するように、前記アダプタペンダントを介して、前記マシンコントローラと結合された前記互換性のあるスマートモバイルデバイスの前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つの密接な連結がもたらされるような、接続構成を有しており、
前記別のインタフェースの前記接続構成は、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスと前記別のインタフェースとの結合によって、前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上の少なくとも別の所定のユーザ操作可能機能特性のロックアウトまたは制限された機能を初期化するように配置されている、方法。 - 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記関節アームの密接に連結されたユーザインタフェースをもたらすように、前記アダプタペンダントを介して前記マシンコントローラと密接に連結される前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースである、請求項29記載の方法。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐する少なくとも1つのセンサである、請求項29記載の方法。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスに常駐するデータロギング機能である、請求項29記載の方法。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つが、前記関節アームの関節運動を教示する少なくとも1つのユーザ選択可能な教示パラメータを視覚的に表示するように構成された前記互換性のあるスマートモバイルデバイス上のグラフィック表示機能である、請求項29記載の方法。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性のうちの少なくとも1つによって画定された前記入力/出力が、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御を具現化する構成を有している、請求項29に記載の方法。
- 前記ユーザ操作可能デバイス機能特性が、前記互換性のあるスマートモバイルデバイスのグラフィカルユーザインタフェースを含み、前記方法がさらに、前記グラフィカルユーザインタフェースにより、前記1つの位置から前記他の位置への前記関節アームの前記マシンコントローラの運動制御の教示をもたらすための運動教示制御入力/出力インタフェースを画定する工程を含む、請求項29記載の方法。
- 前記アダプタペンダントが、一体型の緊急停止スイッチ、緊急機械停止スイッチ、および緊急システムオフスイッチのうちの1つまたは複数を含む、請求項29記載の方法。
- 前記1つの位置および前記他の位置のうちの少なくとも1つが、半導体処理装置におけるワークピース保持ステーションである、請求項29記載の方法。
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