KR102117311B1 - 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 듀얼 레인 시스템에 검사모듈로서의 듀얼 헤드를 적용하여 검사대상물을 신속하게 검사하면서도 한정된 공간에서도 2대의 카메라 헤드가 상호 충돌되지 않고 작동되도록 하는 이동 구조 및 제어를 통해 장비의 사이즈를 줄일 수 있는 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는, 검사대상물을 검사하는 3차원 광학 검사 장치에 있어서, 베이스 플레이트와; 인입되는 제1 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 검사라인과; 인입되는 제2 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트에 상기 제1 검사라인과 평행하게 설치되는 제2 검사라인과; 상기 베이스 플레이트의 정해진 제1 촬영구역 내에서 헤드 이송수단에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제1 검사라인에 의해 이송되는 제1 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 제1 카메라 헤드와; 상기 베이스 플레이트의 정해진 제2 촬영구역 내에서 헤드 이송수단에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제2 검사라인에 의해 이송되는 제2 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 제2 카메라 헤드와; 촬영 작업 중에 상기 제1, 2 카메라 헤드가 상호 충돌되지 않도록 상기 제1, 2 카메라 헤드의 이동 및 촬영을 제어하는 촬영제어부를; 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치{3D OPTICAL INSPECTION DEVICE HAVING DUAL LANE AND DUAL HEAD}
본 발명은 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 듀얼 레인 시스템에 검사모듈로서의 듀얼 헤드를 적용하여 검사대상물을 신속하게 검사하면서도 한정된 공간에서도 2대의 카메라 헤드가 상호 충돌되지 않고 작동되도록 하는 이동 구조 및 제어를 통해 장비의 사이즈를 줄일 수 있는 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board) 등에 표면실장부품(SMD; Surface Mounting Device)을 조립하는 표면실장기술(SMT; Surface Mounting Technology)은 표면실장부품을 소형화 및 집적화하는 기술과 이러한 표면실장부품을 정밀하게 조립하기 위한 정밀조립장비의 개발 및 각종 조립장비를 운용하는 기술을 포함한다.
여기서, 표면실장라인은 인쇄회로기판 상에 표면실장부품을 실장하는 표면실장장치와, 표면실장장치에 의해 인쇄회로기판 상에 실장된 표면실장부품의 실장 상태를 검사하기 위한 검사장치로 구성된다.
표면실장부품의 검사 장치의 예는 한국 등록특허공보 제10-1032142호(2011.05.03. 공고)에 개시되어 있다.
여기서, 표면실장장치는 표면실장부품을 인쇄회로기판 상에 실장하는 장치로서 Tape, Stick, Tray 형태로 공급되는 각종 표면실장부품을 부품공급기(Feeder)로부터 공급받아 인쇄회로기판 상의 실장위치에 올려놓는 작업을 수행한다.
그리고, 검사장치는 표면실장부품의 납땜공정 완료 전 또는 완료 후 표면실장부품의 실장상태를 검사하며 검사결과에 따라 다음 공정으로 인쇄회로기판을 이송시키게 된다.
이 때, 기존의 검사방법은 컨베이어를 통해 납땜이 완료된 인쇄회로기판이 검사장치로 이송되면, 위치조절장치에서 초기 위치를 조절하고, 조절이 완료된 후 조명 등이 인쇄회로기판을 조사하면 카메라가 각 표면실장부품의 납땜 부위를 촬영한다. 이후, 검사장치는 납땜 부위의 조사상태를 모니터로 출력하고 연산함으로써 실장의 양호 또는 불량을 검사하거나 표면실장부품의 실장 유무를 검사하게 된다.
상기와 같은 표면실장라인은 공장 내에 하나 이상의 라인을 형성하게 되며, 각각의 표면실장라인에는 상술한 바와 같이, 표면실장장치와 검사장치가 설치되어 다수의 표면실장라인에서 인쇄회로기판을 제조하게 된다.
현재 기존의 3차원 광학 검사 장치는 주로 싱글 레인을 사용해서 한 품목만 검사하는 시스템이다.
하지만, 자동차, 휴대폰 등 대량 생산 시스템에서는 듀얼 레인 시스템을 적용하여 2가지 표면실장제품을 동시에 한 라인에서 생산하고 있는 실정이다.
이와 같은 듀얼 레인 시스템에 종래와 같은 하나의 검사모듈로 이루어진 싱글 헤드를 사용할 경우 생산 택 타임(Tac Time)을 맞출 수 없는 문제점이 있었다.
한편, 다수의 표면실장라인에서 인쇄회로기판이 병렬적으로 제작되는 현장 상황에 맞춰 2대의 검사모듈(듀얼 헤드)을 하나의 검사 장치에 설치하여 2개의 표면실장라인에 설치하는 것을 고려할 수 있으나, 이러할 경우 장비의 사이즈가 너무 커지는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 듀얼 레인 시스템에서 검사대상물을 신속하게 검사하면서도 장비의 사이즈를 줄일 수 있는 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치를 제공하는 데에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는, 검사대상물을 검사하는 3차원 광학 검사 장치에 있어서, 베이스 플레이트와; 인입되는 제1 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 검사라인과; 인입되는 제2 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트에 상기 제1 검사라인과 평행하게 설치되는 제2 검사라인과; 상기 베이스 플레이트의 정해진 제1 촬영구역 내에서 헤드 이송수단에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제1 검사라인에 의해 이송되는 제1 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 제1 카메라 헤드와; 상기 베이스 플레이트의 정해진 제2 촬영구역 내에서 헤드 이송수단에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제2 검사라인에 의해 이송되는 제2 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 제2 카메라 헤드와; 촬영 작업 중에 상기 제1, 2 카메라 헤드가 상호 충돌되지 않도록 상기 제1, 2 카메라 헤드의 이동 및 촬영을 제어하는 촬영제어부를; 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 헤드 이송수단은, 상기 베이스 플레이트의 양측단에 Y축 방향으로 길게 설치된 한 쌍의 Y레일과, 상기 한 쌍의 Y레일에 X축 방향으로 걸쳐지게 설치되고 상기 한 쌍의 Y레일에 Y축 방향으로 이동가능하게 지지된 X레일과, 상기 X레일에 X축 방향으로 이동가능하게 지지되는 헤드브래킷을 포함하여 구성되되, 상기 Y레일은, 상호 나란하게 배치되는 제1 Y레일과, 제2 Y레일로 이루어지고, 상기 X레일은, 상기 한 쌍의 제1 Y레일에 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 제1 X레일과, 상기 한 쌍의 제2 Y레일에 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 제2 X레일로 이루어지며, 상기 헤드브래킷은, 상기 제1 X레일에 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되고 상기 제1 카메라 헤드가 장착되는 제1 헤드브래킷과, 상기 제2 X레일에 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되고 상기 제2 카메라 헤드가 장착되는 제2 헤드브래킷으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 헤드 이송수단은, 상기 제1, 2 X레일이 각각 상기 제1, 2 Y레일을 따라 Y축 방향으로 이동되며 상호 충돌되는 경우 충격이 흡수될 수 있도록 상기 제1, 2 X레일의 상호 마주보는 면에 설치되는 쇼크옵소버를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1, 2 검사라인은, 각각 상기 제1, 2 검사대상물이 이송되는 X축 방향을 따라 기본위치에서 일직선 형태로 배치되는 인입부, 검사부, 인출부를 갖고, 상기 제1, 2 검사라인의 검사부 중 적어도 어느 하나의 검사부는 기본위치로부터 셔틀에 의해 상호간 멀어지는 Y축 방향으로 이동가능하게 구성되며, 상기 촬영제어부는, 상기 제1, 2 검사라인의 검사부 각각에 상기 제1, 2 검사대상물이 안착되는 경우 상기 셔틀을 작동시키고, 상기 셔틀이 작동된 상태에서 상기 제1, 2 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하도록 상기 제1, 2 카메라 헤드의 이동 및 촬영을 제어하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1 검사라인은 폭의 가변이 가능하도록 Y축 방향으로 상호간 이격 간격 조절이 가능한 제1, 2 레인이 구비되고, 상기 제2 검사라인은 폭의 가변 가능하도록 Y축 방향으로 상호간 이격 간격 조절이 가능한 제3, 4 레인이 구비된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제1, 2 검사라인의 검사부 중 상기 제1 검사라인의 검사부는 기본위치를 유지하고 상기 제2 검사라인의 검사부만 기본위치로부터 셔틀에 의해 상기 제1 검사라인으로부터 멀어지는 Y축 방향으로 이동가능하게 구성되고, 상기 제1, 2 검사대상물이 동시에 인입되는 상태인 듀얼모드 또는 상기 제1 검사대상물만 인입되는 상태인 싱글모드의 선택이 가능한 모드선택부를; 더 포함하되, 상기 제1 레인은 상기 베이스 플레이트의 일측 말단부에 고정되고, 상기 제2 레인은 상기 제1 레인으로부터 상기 제1 검사대상물의 사이즈에 대응되는 간격으로 Y축 방향으로 이격되며, 상기 모드선택부에서 듀얼모드가 선택된 경우, 상기 제3 레인은 상기 제2 레인으로부터 정해진 간격으로 Y축 방향으로 이격되고, 상기 제4 레인은 상기 제3 레인으로부터 상기 제2 검사대상물의 사이즈에 대응되는 간격으로 Y축 방향으로 이격 배치되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 모드선택부에서 싱글모드가 선택된 경우, 상기 촬영제어부는 상기 제2 카메라 헤드가 상기 베이스 플레이트의 타측 말단부에 위치된 상태에서 고정되도록 상기 제2 카메라 헤드의 이동을 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성에 의하여 본 발명에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는 듀얼 레인 시스템에 검사모듈로서 듀얼 헤드를 적용하여 검사대상물을 신속하게 검사할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는 셔틀을 통해 각 검사라인의 검사부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨 상태에서 각각의 카메라 헤드가 검사대상물을 촬영하도록 구성하여 한정된 공간에서도 2대의 카메라 헤드가 상호 충돌되지 않고 작동되어 장비의 사이즈를 줄일 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 주요부 사시도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 평면도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 사용상태를 도시한 주요부 사시도
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 듀얼모드, 싱글모드 선택에 따른 주요부 사용상태 평면도
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 싱글모드에서의 평면도
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 사용상태 평면도
이하에서는 도면에 도시된 실시예를 참조하여 본 발명에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 주요부 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 사용상태를 도시한 주요부 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 듀얼모드, 싱글모드 선택에 따른 주요부 사용상태 평면도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 싱글모드에서의 평면도이다.
도 1 내지 도 6을 살펴보면, 본 발명의 일실시에에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는 베이스 플레이트(10)와, 제1 검사라인(20)과, 제2 검사라인(30)과, 제1 카메라 헤드(40)와, 제2 카메라 헤드(50)오, 헤드 이송수단(60)과, 셔틀(70)과, 모드선택부(미도시)와, 촬영제어부(미도시)를 포함하여 구성된다.
여기서, 도면에 도시되지 않은 상기 모드선택부(미도시)는 제1, 2 검사대상물이 동시에 인입되는 상태인 듀얼모드 또는 제1 검사대상물만 인입되는 상태인 싱글모드의 선택이 가능하도록 하는 구성이고, 상기 촬영제어부(미도시)는 촬영 작업 중에 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)가 상호 충돌되지 않도록 상기 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)의 이동 및 촬영을 제어하는 구성이다.
상기 베이스 플레이트(10)는 본 발명의 다른 구성들이 지지 및 설치되는 구성으로 본 발명의 일실시예에서는 골격을 형성하는 프레임과, 상기 프레임의 상부에 놓이는 사각형의 상판을 포함하여 구성된다.
상기 제1 검사라인(20)은 인입되는 제1 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트(10)에 설치되는 구성으로 본 발명의 일실시예에서는 쌍을 이루는 제1 레인(21)과, 제2 레인(22)으로 이루어진다.
한편, 상기 제1 검사라인(20)은 폭의 가변이 가능하도록 상기 제1, 2 레인(21, 22)이 Y축 방향으로 상호간 이격 간격 조절이 가능하게 구성된다.
상기 제2 검사라인(30)은 인입되는 제2 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트(10)에 상기 제1 검사라인(20)과 평행하게 설치되는 구성으로 본 발명의 일실시예에서는 쌍을 이루는 제3 레인(31)과, 제4 레인(32)으로 이루어진다.
한편, 상기 제2 검사라인(30)은 상기 제1 검사라인(20)과 마찬가지로 폭의 가변이 가능하도록 상기 제3, 4 레인(31, 32)이 Y축 방향으로 상호간 이격 간격 조절이 가능하게 구성된다.
상기 제1, 2 검사라인(20, 30)의 작동상태에 대한 구체적인 설명으로 우선, 상기 모드선택부(미도시)에서 듀얼모드가 선택된 경우를 살펴보기로 한다.
상기 모드선택부(미도시)에서 듀얼모드가 선택된 경우 본 발명의 일실시예에서는 상기 제1 레인(21)은 상기 베이스 플레이트(21)의 일측 말단부에 고정되고, 상기 제2 레인(22)은 상기 제1 레인(21)으로부터 상기 제1 검사대상물의 사이즈에 대응되는 간격으로 Y축 방향으로 이격되며, 상기 제3 레인(31)은 상기 제2 레인(22)으로부터 정해진 간격으로 Y축 방향으로 이격되고, 상기 제4 레인(32)은 상기 제3 레인(31)으로부터 상기 제2 검사대상물의 사이즈에 대응되는 간격으로 Y축 방향으로 이격 배치된다.
또한, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)은 각각 상기 제1, 2 검사대상물이 이송되는 X축 방향을 따라 기본위치에서 일직선상에 배치되는 인입부(20a, 30a), 검사부(20b, 30b), 인출부(20c, 30c)를 갖는데, 상기 모드선택부(미도시)에서 듀얼모드가 선택된 경우 본 발명의 일실시예에서는 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)의 검사부(20b, 30b) 중 상기 제1 검사라인(20)의 검사부(20b)는 기본위치를 유지하고 상기 제2 검사라인(30)의 검사부(30b)만 도 4의 (A)의 기본위치로부터 셔틀(70)에 의해 도 4의 (B)에 도시된 바와 같이 상기 제1 검사라인(20)로부터 멀어지는 Y축 방향으로 이동가능하게 구성된다.
여기서, 상기 촬영제어부(미도시)는 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)의 검사부(20b, 30b) 각각에 상기 제1, 2 검사대상물이 안착되는 경우 도 4의 (A) 상태에서 도 4의 (B) 상태와 같이 상기 셔틀(70)을 작동시키고, 상기 셔틀(70)이 작동된 상태에서 상기 제1, 2 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하도록 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)의 이동 및 촬영을 제어하도록 구성된다.
상기와 같은 구조를 통해 도 5의 (A)에 도시된 바와 같이 상기 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)는 각각 중첩되지 않고 충돌을 피할 수 있는 제1, 2 촬영구역(11, 12)을 확보할 수 있게 되는 것이다.
한편, 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)의 작동상태에 대한 구체적인 설명으로 상기 모드선택부(미도시)에서 싱글모드가 선택된 경우를 살펴보기로 한다.
싱글모드의 선택은 제1 검사대상물의 사이즈가 커서 듀얼모드 상태의 구조에서는 공간 확보가 되지 않을 경우 상기 제1 검사라인(20)의 폭을 충분히 확보하기 위해 선택되는 경우라고 할 것이다.
싱글모드에서는 도 5의 (B) 및 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1 레인(21)은 상기 베이스 플레이트(21)의 일측 말단부에 고정되고, 상기 제2 레인(22)은 상기 제1 레인(21)으로부터 상기 제1 검사대상물의 사이즈에 대응되는 간격으로 Y축 방향으로 이격되며, 상기 제3, 4 레인(31, 32)은 각각 정해진 간격으로 Y축 방향으로 이격된다.
도 5의 (A)인 듀얼모드 상태와 도 5의 (B)인 싱글모드 상태를 비교해보면 상기 제1 검사라인(20)의 폭이 상호 다름을 확인할 수 있다.
이와 같은 싱글모드가 선택된 경우 상기 촬영제어부(미도시)는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제2 카메라 헤드(50)가 상기 베이스 플레이트(10)의 타측 말단부에 위치된 상태에서 고정되도록 상기 제2 카메라 헤드(50)의 이동을 제어하게 된다.
즉, 싱글모드에서는 상기 제1 카메라 헤드(40)만 사용하기 때문에 상기 제2 카메라 헤드(50)를 한쪽으로 이동 고정시켜 상기 제1 카메라 헤드(40)의 이동에 방해가 되지 않도록 함과 동시에 상기 제1 검사라인(20)에서 검사할 수 있는 제1 검사대상물의 사이즈의 크기를 최대한으로 확보할 수 있도록 하는 것이다.
상기 제1 카메라 헤드(40)는 상기 베이스 플레이트(10)의 정해진 제1 촬영구역(11) 내에서 헤드 이송수단(60)에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제1 검사라인(20)에 의해 이송되는 제1 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 구성이고, 상기 제2 카메라 헤드(50)는 상기 베이스 플레이트(10)의 정해진 제2 촬영구역(12) 내에서 헤드 이송수단(60)에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제2 검사라인(30)에 의해 이송되는 제2 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 구성이다.
상기 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)는 충돌 방지 및 공간 확보를 위해 도 3에 도시된 바와 같이 상호 대향되는 방향으로 장착되는 것이 바람직하다.
상기 헤드 이송수단(60)은 상기 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)를 각각 X축 및 Y축 방향으로 이동시키는 구성으로 본 발명의 일실시예에서는 Y레일(61, 62)과, X레일(63, 64)과, 헤드브래킷(65, 66)과, 쇼크업소버(67)를 포함하여 구성된다.
상기 Y레일(61, 62)은 한 쌍으로 이루어져 상기 베이스 플레이트(10)의 양측단에 Y축 방향으로 길게 설치되는 구성으로, 본 발명의 일실시예에서는 도 2에 도시된 바와 같이 상호 나란하게 배치되는 제1 Y레일(61)과, 제2 Y레일(62)로 이루어진다.
상기 X레일(63, 64)는 상기 한 쌍의 Y레일(61, 62)에 X축 방향으로 걸쳐지게 설치되고 상기 한 쌍의 Y레일(61, 62)에 Y축 방향으로 이동가능하게 지지되는 구성으로, 본 발명의 일실시예에서는 상기 한 쌍의 제1 Y레일(61)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 제1 X레일(63)과, 상기 한 쌍의 제2 Y레일(62)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 제2 X레일(64)로 이루어진다.
상기 헤드브래킷(65, 66)은 상기 X레일(63, 64)에 X축 방향으로 이동가능하게 지지되는 구성으로, 본 발명의 일실시예에서는 상기 제1 X레일(63)에 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되고 상기 제1 카메라 헤드(40)가 장착되는 제1 헤드브래킷(65)과, 상기 제2 X레일(64)에 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되고 상기 제2 카메라 헤드(50)가 장착되는 제2 헤드브래킷(66)으로 이루어진다.
여기서, 동력을 이용하여 상기 X 레일(63, 64)이 상기 한 쌍의 Y레일(61, 62)을 따라 Y축 방향으로 이동되도록 하는 Y축 구동수단(도면부호 미도시)과, 상기 헤드브래킷(65, 66)이 상기 X레일(63, 64)을 따라 X축 방향으로 이동되도록 하는 X축 구동수단(도면부호 미도시)이 요구됨은 물론이다.
상기와 같은 Y레일(61, 62), X레일(63, 64) 및 헤드브래킷(65, 66)의 조합에 의해 상기 제1, 2 카메라 헤드(40)는 각각 독립적으로 X축 및 Y축 방향으로 이동가능하게 되는 것이다.
하지만, 상기 제1, 2 X레일(63, 64)이 각각 독립적으로 상기 제1, 2 Y레일(61, 62)을 따라 Y축 방향으로 이동되는 과정에서 상호 충돌할 경우가 발생될 수도 있는데, 상기 제1, 2 X레일(63, 64)의 상호 마주보는 면에는 도 3에 도시된 바와 같이 쇼크옵소버(67)가 설치되어 상기와 같은 충돌에 따른 충격을 흡수할 수 있도록 구성되어 피해를 최소화 할 수 있도록 구성된다.
이상에서는 본 발명의 일실시예를 살펴보았고, 이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치를 살펴보기로 한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치의 사용상태 평면도이다.
본 발명의 일실시예는 모드선택부(미도시)에 의해 듀얼모드 또는 싱글모드의 선택이 가능한 구성이라면, 본 발명의 다른 실시예는 모드선택부가 없이 듀얼모드만을 전제로 설계된 구성이다.
따라서 이하에서는 본 발명의 일실시예와 다른 구성만을 중심으로 본 발명의 다른 실시예를 설명하기로 한다.
본 발명의 다른 실시예는 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)의 검사부(20b, 30b) 각각이 도 7에 도시된 바와 같이 (A)의 기본위치로부터 (B)의 촬영위치로 셔틀(70)에 의해 상호간 멀어지는 Y축 방향으로 이동가능하게 구성된다.
이는 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)의 검사부(20b, 30b)를 상호 멀어지게 함으로써 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)가 촬영 작업 중에 상호 충돌되지 않도록 하기 위함이다.
이를 통해 본 발명에 따른 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는 상기 제1, 2 검사라인(20, 30)에 상기 제1, 2 카메라 헤드(40, 50)를 사용하더라도 장비가 차지하는 공간을 최소화할 수 있게 된다.
앞에서 설명되고 도면에서 도시된 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치는 본 발명을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 발명의 보호범위는 이하의 특허청구범위에 기재된 사항에 의해서만 정하여지며, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 개량 및 변경된 실시예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속한다고 할 것이다.
10 베이스 플레이트
11 제1 촬영구역
12 제2 촬영구역
20 제1 검사라인
21 제1 레인
22 제2 레인
30 제2 검사라인
31 제3 레인
32 제4 레인
40 제1 카메라 헤드
50 제2 카메라 헤드
60 헤드 이송수단
61 제1 Y레일
62 제2 Y레일
63 제1 X레일
64 제2 X레일
65 제1 헤드브래킷
66 제2 헤드브래킷
67 쇼크업소버
70 셔틀

Claims (7)

  1. 검사대상물을 검사하는 3차원 광학 검사 장치에 있어서,
    베이스 플레이트와;
    인입되는 제1 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트에 설치되는 제1 검사라인과;
    인입되는 제2 검사대상물이 X축 방향으로 이송되도록 상기 베이스 플레이트에 상기 제1 검사라인과 평행하게 설치되는 제2 검사라인과;
    상기 베이스 플레이트의 정해진 제1 촬영구역 내에서 헤드 이송수단에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제1 검사라인에 의해 이송되는 제1 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 제1 카메라 헤드와;
    상기 베이스 플레이트의 정해진 제2 촬영구역 내에서 헤드 이송수단에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동되며 상기 제2 검사라인에 의해 이송되는 제2 검사대상물의 3차원 이미지를 촬영하는 제2 카메라 헤드와;
    촬영 작업 중에 상기 제1, 2 카메라 헤드가 상호 충돌되지 않도록 상기 제1, 2 카메라 헤드의 이동 및 촬영을 제어하는 촬영제어부를 포함하고,
    상기 제1 검사라인은 상기 제1 검사대상물이 이송되는 X축 방향을 따라 기본위치에서 일직선 형태로 배치되는 제1 인입부, 제1 검사부, 제1 인출부를 가지고,
    상기 제2 검사라인은 상기 제2 검사대상물이 이송되는 X축 방향을 따라 기본위치에서 일직선 형태로 배치되는 제2 인입부, 제2 검사부, 제2 인출부를 가지고,
    상기 제2 검사부를 상기 기본위치로부터 상기 제1 검사부로부터 Y축 방향으로 멀어지는 상기 제2 촬영구역으로 이동시키는 셔틀을 더 포함하고,
    상기 촬영제어부는,
    상기 제2 카메라 헤드가 상기 제1 검사라인으로부터 Y축 방향으로 이동한 상태에서 상기 제1 검사라인을 통해 상기 제1 검사대상물을 촬영하되, 상기 제1 촬영구역이 상기 제1 검사라인 상의 상기 제1 검사부에 위치한 상태에서 상기 제1 카메라 헤드가 상기 제1 검사대상물을 촬영하도록 제어하는 싱글모드와,
    상기 제1 촬영구역이 상기 제1 검사라인 상의 상기 제1 검사부에 위치한 상태에서 상기 제1 카메라 헤드가 상기 제1 검사대상물을 촬영하도록 제어하고, 상기 제2 검사부로 이송된 상기 제2 검사대상물이 상기 제2 촬영구역으로 이동하도록 상기 셔틀을 제어한 상태에서 제2 촬영구역에 위치하는 상기 제2 검사대상물을 상기 제2 카메라 헤드가 촬영하도록 제어하는 듀얼모드 중 어느 하나로 작동하는 것을 특징으로 하는 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 헤드 이송수단은, 상기 베이스 플레이트의 양측단에 Y축 방향으로 길게 설치된 한 쌍의 Y레일과, 상기 한 쌍의 Y레일에 X축 방향으로 걸쳐지게 설치되고 상기 한 쌍의 Y레일에 Y축 방향으로 이동가능하게 지지된 X레일과, 상기 X레일에 X축 방향으로 이동가능하게 지지되는 헤드브래킷을 포함하여 구성되되,
    상기 Y레일은, 상호 나란하게 배치되는 제1 Y레일과, 제2 Y레일로 이루어지고,
    상기 X레일은, 상기 한 쌍의 제1 Y레일에 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 제1 X레일과, 상기 한 쌍의 제2 Y레일에 Y축 방향으로 이동 가능하게 지지되는 제2 X레일로 이루어지며,
    상기 헤드브래킷은, 상기 제1 X레일에 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되고 상기 제1 카메라 헤드가 장착되는 제1 헤드브래킷과, 상기 제2 X레일에 X축 방향으로 이동 가능하게 지지되고 상기 제2 카메라 헤드가 장착되는 제2 헤드브래킷으로 이루어진 것을 특징으로 하는 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 헤드 이송수단은, 상기 제1, 2 X레일이 각각 상기 제1, 2 Y레일을 따라 Y축 방향으로 이동되며 상호 충돌되는 경우 충격이 흡수될 수 있도록 상기 제1, 2 X레일의 상호 마주보는 면에 설치되는 쇼크옵소버를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 듀얼 레인 및 듀얼 헤드를 갖는 3차원 광학 검사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012999A (ja) 1998-06-18 2000-01-14 Nagoya Denki Kogyo Kk 基板検査方法およびその装置
KR101197311B1 (ko) * 2010-11-18 2012-11-05 에스엔티코리아 주식회사 피씨비 검사장치

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100530743B1 (ko) * 2002-06-12 2005-11-23 삼성테크윈 주식회사 부품실장장치
KR101245131B1 (ko) * 2010-10-22 2013-03-25 주식회사 미르기술 비전 검사 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012999A (ja) 1998-06-18 2000-01-14 Nagoya Denki Kogyo Kk 基板検査方法およびその装置
KR101197311B1 (ko) * 2010-11-18 2012-11-05 에스엔티코리아 주식회사 피씨비 검사장치

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