KR102078054B1 - 도금용 셀 및 그 셀을 구비하는 도금 장치 - Google Patents

Abstract

(과제) 피도금물의 도금 두께의 불균일을 억제하는 것.
(해결 수단) 도금용 셀(10)은 도금액을 저류가능하고 또한 피도금물을 수용가능하며, 회전 장치(30)에 의해 수직축선(J)를 중심으로 회전한다. 도금용 셀(10)은 저판(12)과 전기적 절연성을 갖고, 저판(12)의 상면(12a)으로부터 위쪽을 향함에 따라 지름방향의 바깥쪽으로 경사지는 제 1 경사면(13a)을 갖는 클라이밍 부재(13)와, 수직축선(J)을 따르는 방향에 있어서 클라이밍 부재(13)와 이웃하도록 배치되고 위쪽을 향함에 따라 지름방향의 바깥쪽으로 경사지는 제 2 경사면(14a)을 갖는 캐소드 전극(14)을 갖는다.

Description

도금용 셀 및 그 셀을 구비하는 도금 장치{CELL FOR PLATING AND PLATING APPARATUS HAVING THE CELL}

본 발명은 도금용 셀 및 그 셀을 구비하는 도금 장치에 관한 것이다.

도금 장치로서 도금액이 저류된 도금용 셀 내에 피도금물을 넣고, 도금용 셀을 회전시켜서 외주부에 형성된 링 형상의 캐소드 전극에 피도금물을 접촉시키고, 피도금물에 전기 도금을 행하는 원심 도금 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

도 9를 참조하여 종래의 원심 도금 장치(300)의 일례에 대해 설명한다.

원심 도금 장치(300)는 도금용 셀(310)과, 도금용 셀(310)을 외측으로부터 둘러싸는 용기(320)와, 도금용 셀(310) 내에 삽입된 애노드 전극(330)과, 수직축선(J)을 중심으로 도금용 셀(310)을 회전시키는 회전 장치(340)를 구비한다. 도금용 셀(310)은 원판 형상의 저판(311), 링 형상의 다공체(312), 링 형상의 캐소드 전극(313) 및 대략 원뿔대 형상의 덮개체(314)를 갖고, 도금액을 저류하는 수용부(315)를 구성하고 있다. 저판(311)은 회전 장치(340)의 회전축(341)에 접속되어 있다. 다공체(312)는 저판(311)의 외주부에 형성되고, 수용부(315) 내의 도금액을 용기(320)에 배출한다. 캐소드 전극(313)은 다공체(312) 상에 형성된다. 수직축선(J)을 따르는 평면으로 자른 캐소드 전극(313)의 단면 형상은 직사각형 형상이다. 보다 상세하게는 캐소드 전극(313)의 내주면(313a)은 수직축선(J)에 평행한 면이다.

일본특허 제3328216호 공보

그런데, 원심 도금 장치(300)에서는 도금용 셀(310)의 회전에 의해 피도금물의 집합체인 피도금물군(350)이 지름방향 외측으로 이동하고, 다공체(312) 및 캐소드 전극(313)의 내측에 퇴적된다. 이 경우, 도 9에 나타내는 바와 같이 캐소드 전극(313)의 내주면(313a)의 하단부(저판(311)측의 단부)에 있어서의 피도금물군(350)의 퇴적 두께는 캐소드 전극(313)의 내주면(313a)의 상단부(덮개체(314)측의 단부)에 있어서의 피도금물군(350)의 퇴적 두께보다 두꺼워진다. 이 때문에 캐소드 전극(313)의 하단부에 대향하는 피도금물군(350)의 지름방향 내측의 영역(R)의 피도금물은 도금되기 어렵다. 그 결과, 피도금물의 도금 두께에 불균일이 생길 우려가 있다. 또한, 피도금물군(350)의 퇴적 두께는 수직축선(J)을 따르는 평면으로 자른 도금용 셀(310)의 단면에서 볼 때 캐소드 전극(313)의 내주면(313a)에 대해 지름방향 내측에 피도금물이 퇴적된 두께(tr)이다.

본 발명의 목적은 피도금물의 도금 두께의 불균일을 억제하는 도금용 셀 및 그 셀을 구비하는 도금 장치를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하는 도금용 셀은 도금액을 저류가능하고 또한 피도금물군을 수용가능하며, 회전 장치에 의해 수직축선을 중심으로 회전하는 도금용 셀로서, 저판과 전기적 절연성을 갖고, 상기 저판의 상면으로부터 위쪽을 향함에 따라 상기 수직축선과 직교하는 지름방향의 바깥쪽으로 경사지는 제 1 경사면을 갖는 클라이밍 부재와, 상기 수직축선을 따르는 방향에 있어서 상기 클라이밍 부재와 이웃하도록 배치되고, 위쪽을 향함에 따라 상기 지름방향의 바깥쪽으로 경사지는 제 2 경사면을 갖는 캐소드 전극을 갖는다.

이 구성에 의하면 도금용 셀이 회전한 상태에 있어서 클라이밍 부재를 클라이밍하는 피도금물군은 제 1 경사면에 의해 피도금물군의 퇴적 두께의 불균일이 억제되면서 캐소드 전극으로 이동한다. 그리고 캐소드 전극으로 이동한 피도금물군은 제 2 경사면에 의해 피도금물군의 퇴적 두께가 더욱 억제된다. 이렇게 피도금물군의 퇴적 두께의 불균일이 억제된 상태에서 피도금물에 도금되기 때문에 피도금물의 도금 두께의 불균일을 억제할 수 있다. 여기서, 피도금물군은 피도금물의 집합체이다. 또한, 피도금물군의 퇴적 두께는 수직축선을 따르는 평면으로 자른 도금용 셀의 단면에서 볼 때 캐소드 전극의 제 2 경사면에 대해 수직방향에 피도금물이 퇴적된 두께이다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 2 경사면과, 상기 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도는 70°이상 또한 85°이하인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 제 2 경사면에 퇴적되는 피도금물군의 퇴적 두께의 불균일을 한층 억제할 수 있다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 1 경사면에 대한 상기 제 2 경사면의 각도는 140°이상 또한 155°이하인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 피도금물군이 제 1 경사면으로부터 제 2 경사면으로 원활하게 이동할 수 있다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 2 경사면과, 상기 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도는 상기 제 1 경사면과, 상기 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도보다 큰 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 제 2 경사면과 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도가 제 1 경사면과 상기 평면이 이루는 각도보다 큰 것에 의해 도금용 셀이 회전했을 때에 제 2 경사면 상에 퇴적된 피도금물군이 도금용 셀의 회전 정지에 의해 제 2 경사면으로부터 자체 중량에 의해 아래쪽으로 이동할 때에 지름방향의 안쪽으로 이동하기 쉬워진다. 이것에 의해 제 1 경사면보다 위쪽에 위치하는 제 2 경사면에 퇴적된 피도금물군이 도금용 셀의 회전 정지에 의해 아래쪽으로 이동할 때에 피도금물군에 있어서의 도금된 피도금물과 도금되어 있지 않은 피도금물이 교반되기 쉬워진다. 따라서, 피도금물군의 각 피도금물에 대해 캐소드 전극에 의해 도금되는 기회의 불균등을 억제할 수 있다.

또한, 제 2 경사면보다 아래쪽에 위치하는 제 1 경사면과 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도가 제 2 경사면과 상기 평면이 이루는 각도보다 작은 것에 의해 도금용 셀이 회전할 때에 피도금물군이 제 1 경사면 위를 클라이밍하기 쉬워진다. 따라서, 피도금물군이 캐소드 전극에 퇴적되기 쉬워진다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 1 경사면의 상단 가장자리의 내경과, 상기 제 2 경사면의 하단 가장자리의 내경이 서로 같은 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 제 1 경사면과 제 2 경사면 사이에 있어서 지름방향의 안쪽으로 돌출되는 단차가 형성되는 것을 억제할 수 있기 때문에 제 1 경사면에 접촉되어 있는 피도금물이 제 2 경사면으로 원활하게 이동할 수 있다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 1 경사면의 상단 가장자리와 상기 제 2 경사면의 하단 가장자리 사이에는 상기 제 1 경사면의 상단 가장자리의 상기 지름방향의 위치와 상기 제 2 경사면의 하단 가장자리의 상기 지름방향의 위치의 어긋남에 기인하는 단차가 형성되고, 상기 단차의 크기는 상기 피도금물군을 구성하는 피도금물의 최소 치수의 1/2 이하인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 제 1 경사면과 제 2 경사면 사이에 있어서 지름방향의 안쪽으로 돌출되는 단차가 작기 때문에 제 1 경사면에 접촉되어 있는 피도금물이 단차를 타고 넘어 제 2 경사면으로 이동할 수 있다. 따라서, 피도금물이 제 1 경사면으로부터 제 2 경사면으로 원활하게 이동할 수 있다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 수직축선을 따르는 방향에 있어서 상기 캐소드 전극과 이웃하도록 배치되는 덮개체를 갖고, 상기 덮개체는 위쪽을 향함에 따라 상기 지름방향의 안쪽으로 경사지는 제 3 경사면을 갖는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 도금용 셀이 회전한 상태에 있어서 덮개체의 제 3 경사면에 의해 피도금물군이 제 2 경사면의 상부 가장자리보다 위쪽으로 이동하는 것을 제한할 수 있다. 또한, 도금용 셀이 회전 정지했을 때 제 2 경사면의 상부 가장자리에 위치하는 피도금물군이 제 3 경사면에 의해 지름방향의 안쪽으로 이동하기 쉽다. 따라서, 피도금물군에 있어서 도금된 피도금물과 도금되어 있지 않은 피도금물이 교반되기 쉬워진다.

상기 도금용 셀에 있어서, 상기 제 2 경사면에 대한 상기 제 3 경사면의 각도는 130°이상 또한 145°이하인 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 도금용 셀이 회전한 상태에 있어서 덮개체의 제 3 경사면에 의해 피도금물군이 제 2 경사면의 상부 가장자리보다 위쪽으로 이동하는 것을 제한하기 쉬워진다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 1 경사면에 대한 상기 제 2 경사면의 각도와, 상기 제 2 경사면에 대한 상기 제 3 경사면의 각도가 서로 같은 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 제 2 경사면의 하부 가장자리에 있어서의 피도금물군의 퇴적 두께와 제 2 경사면의 상부 가장자리에 있어서의 피도금물군의 퇴적 두께의 불균일을 억제할 수 있다. 따라서, 제 2 경사면에 퇴적된 피도금물군의 퇴적 두께의 불균일을 한층 억제할 수 있고, 피도금물의 도금 두께의 불균일을 한층 억제할 수 있다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 제 2 경사면의 상단 가장자리의 내경과, 상기 제 3 경사면의 하단 가장자리의 내경이 서로 같은 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면 제 2 경사면과 제 3 경사면 사이에 피도금물이 끼이는 것이 억제된다. 따라서, 로트 사이에 있어서의 피도금물의 혼입을 억제할 수 있다.

상기 도금용 셀에 있어서 상기 도금용 셀은 위쪽이 개구되고 상기 도금액은 상기 도금용 셀의 개구를 통해 배출되는 것이 바람직하다.

종래의 도금 장치(300)의 다공체(312)에 의한 도금액의 배출에서는 피도금물이 미소한 사이즈인 경우, 다공체(312)의 구멍에 피도금물이 끼여 버려 도금액이 배출되기 어려워지는 경우가 있다.

그 점, 본 도금용 셀에 의하면 도금용 셀의 개구를 통해 도금액이 배출되기 때문에, 즉 종래의 도금 장치(300)의 다공체(312)를 형성할 필요가 없기 때문에 도금용 셀로부터 도금액을 원활하게 배출할 수 있다.

상기 과제를 해결하는 도금 장치는 상기 도금용 셀과, 상기 도금용 셀의 개구로부터 삽입되는 애노드 전극과, 상기 도금용 셀을 회전시키는 상기 회전 장치를 갖는다.

이 구성에 의하면 상기 도금용 셀의 효과와 동일한 효과가 얻어진다.

(발명의 효과)

본 발명의 도금용 셀 및 도금 장치에 의하면 피도금물의 도금 두께의 불균일을 억제할 수 있다.

도 1은 도금 장치의 일실시형태에 대해 같은 도금 장치를 수직축선을 따르는 평면으로 자른 단면도이다.
도 2는 피도금물의 사시도이다.
도 3은 도 1의 캐소드 전극 및 그 주변의 확대도이다.
도 4는 도금용 셀의 회전 개시 시의 도 1의 캐소드 전극 및 그 주변의 확대도이다.
도 5는 도금용 셀이 소정의 회전 속도로 회전하고 있을 때의 도 1의 캐소드 전극 및 그 주변의 확대도이다.
도 6은 도금용 셀의 회전 정지 시의 도 1의 캐소드 전극 및 그 주변의 확대도이다.
도 7은 제 1 비교예의 도금 장치의 일부분의 단면도이다.
도 8은 제 2 비교예의 도금 장치의 일부분의 단면도이다.
도 9는 종래 예의 도금 장치의 일부분의 단면도이다.

이하, 도금 장치의 일실시형태에 대해 도면을 참조해서 설명한다. 또한, 첨부 도면은 이해를 용이하게 하기 위해 구성요소를 확대해서 나타내고 있는 경우가 있다. 또한, 구성요소의 치수 비율은 실제의 것과, 또는 다른 도면 중의 것과 다른 경우가 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이 도금 장치(1)는 도금용 셀(10), 애노드 전극(20), 회전 장치(30), 공급 배관(40), 용기(50), 및 제어 장치(60)를 구비한다. 도금용 셀(10)은 도금액을 저류가능한 수용부로서 기능한다. 도금용 셀(10)에는 피도금물(100)(도 2 참조)의 집합체(이하, 「피도금물군(100A)」)가 투입되어 있다. 도금용 셀(10)은 위쪽이 개구되는 개구부(11)를 갖는다. 애노드 전극(20)은 도금용 셀(10)의 개구부(11)로부터 도금용 셀(10) 내에 삽입되어 있다. 공급 배관(40)은 도금용 셀(10)의 개구부(11)에 삽입되어 있다. 도금액은 도금액이 저류된 도금 저장 탱크(도시 생략)로부터 공급 배관(40)을 통해 도금용 셀(10) 내에 공급된다. 용기(50)는 도금용 셀(10)을 수용하고 있다. 용기(50)는 도금용 셀(10)로부터 배출되는 도금액을 회수함과 아울러 배출 배관(51)을 통해 도금액을 도금 저장 탱크로 배출한다.

회전 장치(30)는 도금용 셀(10)을 수직축선(J) 주위에서 회전시킨다. 회전 장치(30)는 도금용 셀(10)을 지지하는 회전판(31)과, 수직축선(J)을 따라 연장되고 회전판(31)과 일체로 회전하는 회전축(32)과, 회전축(32)을 회전시키는 구동 장치(33)를 구비한다. 구동 장치(33)는 예를 들면 전동 모터와, 전동 모터의 출력축에 연결되고 전동 모터의 회전 속도를 감속시키는 감속기를 갖는다. 감속기의 출력부가 회전축(32)에 연결되어 있다.

제어 장치(60)는 공급 배관(40)을 통해 도금용 셀(10)에의 도금액의 공급, 회전 장치(30)에 의한 도금용 셀(10)의 회전 및 정지, 애노드 전극(20) 및 도금용 셀(10)의 캐소드 전극(14)에의 통전 등의 도금 장치(1)의 동작을 제어한다.

피도금물(100)은 적층 세라믹 콘덴서, 서미스트, 인덕터, 배리스터 등의 전자부품이다. 피도금물(100)의 일례는 도 2에 나타내는 바와 같이 예를 들면 대략 직육면체 또는 대략 입방체의 기부(101)의 양단에 외부 전극(102)이 형성된 적층 세라믹 콘덴서이다. 피도금물(100)의 길이(L)는 0.1㎜보다 크고, 또한 5㎜보다 작다(0.1㎜<L<5㎜). 피도금물(100)의 폭(W)은 0.05㎜보다 크고, 또한 4㎜보다 작다(0.05㎜<W<4㎜). 피도금물(100)의 두께(t)는 0.01㎜보다 크고, 또한 4㎜보다 작다(0.05㎜<t<4㎜). 피도금물(100)의 일례는 그 길이(L)가 0.4㎜이며, 폭(W)이 0.2㎜이며, 두께(t)가 0.13㎜이다.

이어서, 도 1 및 도 3을 참조하여 도금용 셀(10)의 상세한 구성에 대해 설명한다. 또한, 이후의 설명에 있어서 수직축선(J)과 직교하는 방향을 지름방향이라고 칭한다.

도 1에 나타내는 바와 같이 도금용 셀(10)은 저판(12), 클라이밍 부재(13), 캐소드 전극(14), 및 덮개체(15)를 구비한다. 저판(12), 클라이밍 부재(13), 캐소드 전극(14), 및 덮개체(15)에 의해 둘러싸인 공간에 의해 도금액이 저류가능하며 또한 피도금물군(100A)을 수용가능한 수용부가 형성되어 있다. 덮개체(15)의 위쪽이 개구됨으로써 도금용 셀(10)의 개구부(11)가 형성되어 있다. 저판(12), 클라이밍 부재(13), 캐소드 전극(14), 및 덮개체(15)는 수직축선(J)과 동심이 되도록 배치되어 있다.

저판(12)은 회전 장치(30)의 회전판(31)에 부착되어 있다. 저판(12) 수지 재료 등의 전기적 절연성의 재료에 의해 원판 형상으로 형성되어 있다. 저판(12)은 예를 들면 볼트에 의해 회전 장치(30)의 회전판(31)에 고정되어 있다.

클라이밍 부재(13)는 수지 재료 등의 전기적 절연성의 재료에 의해 원환 형상으로 형성되어 있다. 클라이밍 부재(13)는 저판(12)의 상면(12a)에 있어서의 외주부에 배치되어 있다. 클라이밍 부재(13)는 지름방향 내측에 제 1 경사면(13a)을 갖는다. 제 1 경사면(13a)은 위쪽을 향함에 따라 지름방향의 바깥쪽으로 경사져 있다. 즉, 제 1 경사면(13a)은 위쪽을 향함에 따라 내경이 커진다. 클라이밍 부재(13)는 도금용 셀(10)의 회전에 따라 피도금물군(100A)을 위쪽으로 이동시킨다.

캐소드 전극(14)은 수직축선(J)을 따르는 방향에 있어서 클라이밍 부재(13)와 이웃하도록 배치되어 있다. 보다 상세하게는 캐소드 전극(14)은 클라이밍 부재(13)의 상면(13b)에 배치되어 있다. 캐소드 전극(14)은 원환 형상으로 형성되어 있다. 캐소드 전극(14)은 지름방향 내측에 제 2 경사면(14a)을 갖는다. 캐소드 전극(14)은 애노드 전극(20)과 함께 통전됨으로써 피도금물(100)의 외부 전극(102)(모두 도 2 참조)을 도금한다. 또한, 캐소드 전극(14)은 전기적 절연성의 링 형상의 접촉 부재에 있어서의 둘레방향의 일부에 1개 형성되어도 좋고 둘레방향으로 간격을 두고 복수 형성되어도 좋다.

덮개체(15)는 수직축선(J)을 따르는 방향에 있어서 캐소드 전극(14)과 이웃하도록 배치되어 있다. 보다 상세하게는 덮개체(15)는 캐소드 전극(14)의 상면(14b)에 배치되어 있다. 덮개체(15)는 수지 재료 등의 전기적 절연성의 재료에 의해 형성되어 있다. 덮개체(15)는 위쪽을 향해 지름이 축소되는 원뿔대 형상을 갖는다. 이 때문에 덮개체(15)는 지름방향 내측에 제 3 경사면(15a)을 갖는다. 제 3 경사면(15a)은 위쪽을 향함에 따라 지름방향의 안쪽으로 경사져 있다. 즉, 제 3 경사면(15a)은 위쪽을 향함에 따라 내경이 작아진다. 이것에 의해 덮개체(15)는 도금액의 밀려 올라감을 억제한다.

도 3에 나타내는 바와 같이 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)은 위쪽을 향함에 따라 지름방향의 바깥쪽으로 경사져 있다. 제 2 경사면(14a)과 수평면(수직축선(J)과 직교하는 평면이며, 캐소드 전극(14)의 하면)이 이루는 이루는 각도(θc)는 45°이하 또한 90°미만인 것이 바람직하다. 각도(θc)는 70°이상 또한 85°이하인 것이 보다 바람직하다. 본 실시형태의 각도(θc)는 75°이다. 각도(θc)는 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과 수평면이 이루는 각도(θr)보다 크다. 각도(θr)는 45°이하인 것이 바람직하다.

클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)에 대한 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 각도(θ1)는 140°이상 또한 155°이하인 것이 바람직하다. 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)에 대한 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a)의 각도(θ2)는 130°이상 또한 145°이하인 것이 바람직하다. 본 실시형태의 각도(θ1) 및 각도(θ2)는 모두 140°이다. 바꿔 말하면 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a), 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a), 및 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a)은 도금용 셀(10)을 수직축선(J)을 따르는 평면으로 자른 단면에서 볼 때 제 2 경사면(14a)의 중앙의 수선(LN)을 중심으로 한 선 대칭 형상을 갖는다.

클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)은 매끄럽게 접속되는 것이 바람직하다. 즉, 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리와 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리 사이에 단차가 형성되어 있지 않은 것이 바람직하다. 이 때문에 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리의 내경과, 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리의 내경이 서로 같은 것이 바람직하다. 예를 들면, 클라이밍 부재(13)와 캐소드 전극(14)을 접합한 후, 기계 가공에 의해 제 1 경사면(13a) 및 제 2 경사면(14a)을 동시에 형성함으로써 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)이 매끄럽게 접속되는 구성을 실현할 수 있다.

또한, 상기 단차는 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리의 지름방향의 위치와, 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리의 지름방향의 위치가 서로 어긋남으로써 형성되는 것이다. 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리와 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리 사이에 단차가 형성되었다고 해도 그 단차가 피도금물(100)(도 2 참조)의 최소 치수의 1/2 이하인 것이 바람직하다. 본 실시형태의 피도금물(100)의 최소 치수가 피도금물(100)의 두께(t)의 0.13㎜이기 때문에 단차의 치수는 65㎛ 이하(바람직하게는 50㎛ 이하)이다.

캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)과 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a)은 매끄럽게 접속되는 것이 바람직하다. 즉, 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리와 제 3 경사면(15a)의 하단 가장자리 사이에 단차가 형성되어 있지 않은 것이 바람직하다. 이 때문에 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리의 내경과 제 3 경사면(15a)의 하단 가자자리의 내경이 서로 같은 것이 바람직하다. 또한, 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리와 제 3 경사면(15a)의 하단 가장자리 사이의 단차는 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리의 지름방향의 위치와 제 3 경사면(15a)의 하단 가장자리의 지름방향의 위치가 서로 어긋남으로써 형성되는 것이다.

이어서, 도금 장치(1)에 의한 피도금물(100)에의 도금 방법에 대해 그 작용과 함께 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이 도금액이 저류된 도금용 셀(10)에 다수의 피도금물(100)(도 2 참조)이 투입된다. 도금용 셀(10) 내의 피도금물군(100A)은 그 자체 중량에 의해 저판(12)의 중앙부에 퇴적된다. 투입되는 피도금물(100)의 수는 예를 들면, 1000개~200000개이며, 임의로 변경가능하다.

이어서, 예를 들면 작업자가 도금 처리의 개시 버튼을 조작한 것에 의거하여 제어 장치(60)는 회전 장치(30)를 제어함과 아울러 애노드 전극(20)과 캐소드 전극(14) 사이에 소정의 전압을 인가한다. 제어 장치(60)는 소정 기간에 걸쳐 도금용 셀(10)을 소정의 회전 속도로 회전시킨 후, 도금용 셀(10)을 정지하는 제 1 사이클과, 소정 기간에 걸쳐 도금용 셀(10)을 소정의 회전 속도로 역회전시킨 후, 도금용 셀(10)을 정지하는 제 2 사이클을 교대로 반복 실행한다. 본 실시형태의 소정의 회전 속도는 제 1 사이클 및 제 2 사이클 모두 300rpm이다. 또한, 소정의 회전 속도는 임의로 변경가능하다. 또한, 제 1 사이클의 회전 속도와 제 2 사이클의 회전 속도를 다르게 해도 좋다. 또한, 제 1 사이클 및 제 2 사이클을 교대로 반복하는 대신에 복수회에 걸쳐 제 1 사이클 실행한 후, 복수회에 걸쳐 제 2 사이클을 실행하도록 해도 좋다. 또한, 제 1 사이클의 실행 횟수와 제 2 사이클의 실행 횟수를 다르게 해도 좋다.

피도금물군(100A)은 도금용 셀(10)의 회전 개시에 따라, 저판(12)을 따라 지름방향 외측의 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)을 향해 이동한다.

그리고, 도 4에 나타내는 바와 같이 피도금물군(100A)은 도금용 셀(10)의 회전 속도의 상승에 따라 그 원심력에 의해 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)을 클라이밍하는, 즉 제 1 경사면(13a)을 따라 비스듬하게 위쪽으로 이동한다. 이 때, 피도금물군(100A)은 원심력에 의해 제 1 경사면(13a)의 전체면에 걸쳐 분산되어서 층 형상으로 퇴적된다. 여기서, 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)의 수평면과 이루는 각도(θr)가 45°이하인 것에 의해 피도금물(100)의 원심력 중 제 1 경사면(13a)을 따르는 분력이 피도금물(100)의 자체 중량보다 커진다. 따라서, 피도금물군(100A)이 제 1 경사면(13a)을 클라이밍하기 쉬워진다.

그리고, 도 5에 나타내는 바와 같이 피도금물군(100A)은 도금용 셀(10)의 회전 속도가 더 상승해서 소정의 회전 속도가 된 상태에 있어서 그 원심력에 의해 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)으로부터 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)을 클라이밍하는, 즉 제 2 경사면(14a)을 따라 비스듬하게 위쪽으로 이동한다. 이 때, 피도금물군(100A)은 원심력에 의해 제 2 경사면(14a)의 전체면에 걸쳐 분산되어서 층 형상으로 퇴적하고, 캐소드 전극(14)을 향해 압박된다. 또한, 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리보다 위쪽으로 이동하려고 하는 피도금물군(100A)의 일부는 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a)에 의해 그 이동이 규제된다. 여기서, 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)이 75°이상 또한 85°이하인 것에 의해 피도금물(100)의 원심력 중 제 2 경사면(14a)을 따르는 분력이 피도금물(100)의 자체 중량보다 작아진다. 따라서, 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)을 클라이밍한 피도금물군(100A)의 기세를 제 2 경사면(14a)에 의해 약화시키고 있다. 이것에 의해 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리에 피도금물군(100A)이 과도하게 퇴적되는 것을 억제할 수 있다.

이러한 피도금물군(100A)의 움직임에 의해 도 5에 나타내는 바와 같이 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 전체면에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)가 대략 같게 된다. 또한, 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)는 제 2 경사면(14a)과 직교하는 방향(도 3에 있어서의 수선(LN)을 따르는 방향)에 있어서 제 2 경사면(14a)에 대해 피도금물(100)이 퇴적된 두께이다.

상술한 바와 같이 도 1에 나타내는 애노드 전극(20)과 캐소드 전극(14) 사이에 소정의 전압이 인가된다. 이것에 의해 제 2 경사면(14a)에 퇴적되는 피도금물(100)의 외부 전극(102)(모두 도 2 참조)이 도금된다. 캐소드 전극(14)에 대한 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)가 캐소드 전극(14)의 전체면에 걸쳐 거의 같기 때문에 피도금물(100)의 도금 두께의 불균일이 작아진다.

도금용 셀(10)의 회전을 정지하면 도 6에 나타내는 바와 같이 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 상부에 퇴적된 피도금물군(100A)(2점 쇄선)은 그 자체 중량에 의해 아래쪽으로 이동한다. 이 때, 제 2 경사면(14a)과 지름방향이 이루는 각도(θc)가 크기 때문에 제 2 경사면(14a)의 상부에 퇴적된 피도금물군(100A) (2점 쇄선)은 지름방향 내측으로 이동하면서 아래쪽으로 이동한다. 이 때문에 피도금물군(100A)에 있어서 도금된 피도금물(100)(도 2 참조)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)이 교반되기 쉽다. 그 후, 피도금물군(100A)(실선)과 같이 저판(12) 및 클라이밍 부재(13)의 하부에 퇴적된다.

또한, 제 2 사이클에 있어서 제 1 사이클의 회전 방향과 역방향으로 도금용 셀(10)을 회전시킴으로써 도금된 피도금물(100)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)이 교반되기 쉽다. 따라서, 피도금물군(100A)에 포함되는 모든 피도금물(100)을 캐소드 전극(14)에 접촉시키고 피도금물(100)의 외부 전극(102)(도 2 참조)을 도금한다.

이상 기술한 바와 같이 본 실시형태에 의하면 이하의 효과를 발휘한다.

(1) 예를 들면, 도 7에 나타내는 제 1 비교예의 도금용 셀(200)에서는 원판 형상의 저판(210)의 상면(211)의 외주 단부에 캐소드 전극(220)이 배치되어 있다. 캐소드 전극(220)의 상면(221)에는 링 형상의 다공체(230)가 배치되고, 다공체(230)의 상면(231)에는 원뿔대 형상의 덮개체(240)가 배치되어 있다. 캐소드 전극(220)은 지름방향 내측에 경사면(222)을 갖는다. 경사면(222)은 지름방향의 바깥쪽을 향함에 따라 위쪽으로 경사져 있다.

도금용 셀(200)이 회전했을 때, 그 회전 속도가 빠른 경우, 피도금물군(100A)(일점 쇄선)은 캐소드 전극(220)의 경사면(222)을 클라이밍한 후에 다공체(230) 및 덮개체(240)의 하부까지 이동한다. 이 때문에 피도금물군(100A)은 캐소드 전극(220)의 상부, 다공체(230) 및 덮개체(240)의 하부에 걸쳐 퇴적한다. 즉, 피도금물군(100A)은 캐소드 전극(220)의 하부에 퇴적되지 않는 경우가 있다. 이것에 의해 캐소드 전극(220)의 하부 자체가 도금되어 버려 피도금물(100)의 외부 전극(102)(모두 도 2 참조)이 도금되지 않은 상태가 되는 경우가 있다. 그 결과, 피도금물(100)에 도금하는 효율이 저하할 우려가 있다.

한편, 도금용 셀(200)의 회전 속도가 느린 경우, 피도금물군(100A)(2점 쇄선)은 캐소드 전극(220)의 경사면(222)의 상부까지 클라이밍하는 피도금물(100)이 적다. 그 결과, 경사면(222)의 상부에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께와, 경사면(222)의 하부에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께가 다르다. 이 때문에 피도금물(100)의 외부 전극(102)에의 도금 두께에 불균일이 생기는 경우가 있다. 추가하여, 도금용 셀(200)에서는 그 회전이 정지했을 때, 피도금물군(100A)이 경사면(222)을 따라 이동할 뿐이며 피도금물군(100A)에 있어서의 도금된 피도금물(100)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)의 교반이 어렵다.

또한, 예를 들면 도 8에 나타내는 제 2 비교예의 도금용 셀(250)에서는 원판 형상의 저판(260)의 상면(261)의 외주 단부에 제 1 경사부(270)가 배치되고, 제 1 경사부(270)의 상면(271)에 링 형상의 캐소드 전극(280)이 배치되어 있다. 또한 캐소드 전극(280)의 상면(281)에는 제 2 경사부(290)가 배치되어 있다. 제 1 경사부(270)는 지름방향 내측에 제 1 경사면(272)을 갖는다. 제 1 경사면(272)은 지름방향의 바깥쪽을 향함에 따라 위쪽으로 경사져 있다. 캐소드 전극(280)의 내주면(282)은 도금용 셀(250)의 회전 중심이 되는 수직축선(J)을 따르는 형상이다. 제 2 경사부(290)는 지름방향 내측에 제 2 경사면(291)을 갖는다. 제 2 경사면(291)은 지름방향의 안쪽을 향함에 따라 위쪽으로 경사져 있다.

도금용 셀(250)이 회전했을 때, 캐소드 전극(280)의 내주면(282)이 수직축선(J)을 따르는 형성이기 때문에 피도금물(100)의 원심력에 의해 캐소드 전극(280)의 내주면(282)의 상부로 이동하기 어렵다. 이것에 의해 캐소드 전극(280)의 내주면(282)의 상부에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께는 내주면(282)의 하부에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께보다 작아진다. 이 때문에 피도금물(100)의 외부 전극(102)(모두 도 2 참조)에의 도금 두께에 불균일이 생기는 경우가 있다.

이러한 제 1 비교예 및 제 2 비교예에 대해 본 실시형태의 도금용 셀(10)은 제 1 경사면(13a)을 갖는 클라이밍 부재(13)와 제 2 경사면(14a)를 갖는 캐소드 전극(14)을 구비한다. 이것에 의해 도금용 셀(10)의 회전에 따라 클라이밍 부재(13)를 클라이밍하는 피도금물군(100A)은 제 1 경사면(13a)에 의해 제 1 경사면(13a)에 퇴적되는 피도금물군(100A)의 퇴적 두께의 불균일이 억제되면서 캐소드 전극(14)으로 이동한다. 그리고. 캐소드 전극(14)으로 이동한 피도금물군(100A)은 피도금물(100)의 원심력에 의해 제 2 경사면(14a)의 전체면에 걸쳐 이동함과 아울러 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)가 더욱 억제된다. 이렇게 제 2 경사면(14a)에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)의 불균일이 억제된 상태에서 피도금물(100)의 외부 전극(102)에 도금되기 때문에 피도금물(100)의 도금 두께의 불균일을 억제할 수 있다.

추가하여 저판(12)과 캐소드 전극(14) 사이에 클라이밍 부재(13)가 배치되기 때문에 저판(12)과 캐소드 전극(14) 사이의 거리가 커진다. 도금용 셀(10)이 회전 정지했을 때, 캐소드 전극(14)으로부터 클라이밍 부재(13) 및 저판(12)을 향해 피도금물(100)이 이동하는 거리가 길어지기 때문에 피도금물군(100A)에 있어서의 도금된 피도금물(100)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)이 교반되기 쉽다.

(2) 본원 발명자들은 도금용 셀(10)이 회전했을 때에 수직축선(J)에 평행한 면에 퇴적되는 피도금물군(100A)에는 경사 각도가 존재하는 것을 발견했다. 보다 상세하게는 본원 발명자들은 수직축선(J)에 평행한 면의 하부의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께가 수직축선(J)에 평행한 면의 상부의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께보다 두꺼워지는 발견했다. 구체적으로는 본원 발명자들은 도금용 셀(10)이 소정의 회전 속도로 회전했을 때에 수직축선(J)에 평행한 면에 퇴적되는 피도금물군(100A)의 경사 각도가 70°이상 또한 85°이하의 범위인 것을 발견했다. 또한, 피도금물군(100A)의 경사 각도는 예를 들면, 수직축선(J)에 평행하는 면의 하부의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께와, 수직축선(J)에 평행한 면의 상부의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께에 의해 연산할 수 있다.

그래서, 본 실시형태에서는 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)과, 수직축선(J)과 직교하는 평면인 수평면이 이루는 각도(θc)가 70°이상 또한 85°이하로 설정되어 있다. 이것에 의해 도금용 셀(10)이 소정의 회전 속도로 회전했을 때의 피도금물군(100A)의 경사 각도와 제 2 경사면(14a)이 대략 평행하다. 이 때문에 제 2 경사면(14a)에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)의 불균일을 한층 억제할 수 있다. 따라서, 피도금물(100)의 도금 두께의 불균일을 한층 억제할 수 있다.

(3) 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a) 사이의 각도(θ1)가 140°이상 또한 155°이하인 것에 의해 피도금물군 (100A)이 제 1 경사면(13a)으로부터 제 2 경사면(14a)으로 원활하게 이동할 수 있다. 따라서, 피도금물군(100A)이 제 2 경사면(14a)에 퇴적되기 쉬워진다.

(4) 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)과, 수직축선(J)과 직교하는 평면인 수평면이 이루는 각도(θc)가 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과 수평면이 이루는 각도(θr)보다 크다. 이것에 의해 도금용 셀(10)의 회전에 따라 제 2 경사면(14a)에 퇴적된 피도금물군(100A)이 도금용 셀(10)의 회전 정지에 의해 제 2 경사면(14a)으로부터 그 자체 중량에 의해 아래쪽으로 이동할 때 그 이동 속도가 빠르다. 이 때문에 제 2 경사면(14a)에 퇴적된 피도금물군(100A)은 제 2 경사면(14a)을 따라 아래쪽으로 이동하는 것이 아니고 제 2 경사면(14a)으로부터 지름방향의 안쪽으로 떨어진 상태에서 아래쪽으로 이동한다. 이것에 의해 제 2 경사면(14a)에 퇴적된 피도금물군(100A)이 도금용 셀(10)의 회전 정지에 의해 아래쪽으로 이동할 때에 피도금물군(100A)에 있어서의 도금된 피도금물(100)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)이 교반되기 쉬워진다. 따라서, 피도금물군(100A)의 각 피도금물(100)에 대해 캐소드 전극(14)에 의해 도금되는 기회의 불균등을 억제할 수 있다.

또한, 제 2 경사면(14a)보다 아래쪽에 위치하는 제 1 경사면(13a)과, 수직축선(J)과 직교하는 평면인 수평면이 이루는 각도(θr)가 제 2 경사면(14a)과 수평면이 이루는 각도(θc)보다 작은 것에 의해 도금용 셀(10)이 회전할 때에 피도금물군(100A)이 제 1 경사면(13a)을 클라이밍하기 쉬워진다. 따라서, 피도금물군(100A)이 캐소드 전극(14)에 퇴적되기 쉬워진다.

(5) 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a)이 지름방향의 안쪽을 향함에 따라 위쪽으로 경사져 있는 것에 의해 피도금물군(100A)이 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리보다 위쪽으로 이동하는 것을 제한할 수 있다. 또한, 도금용 셀(10)이 회전 정지했을 때, 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리에 위치하는 피도금물군(100A)이 제 3 경사면(15a)에 의해 지름방향의 안쪽으로 이동하기 쉽다. 따라서, 피도금물군(100A)에 있어서의 도금된 피도금물(100)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)이 교반되기 쉬워진다.

(6) 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)과 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a) 사이의 각도(θ2)가 130°이상 또한 145°이하인 것에 의해 도금용 셀(10)이 회전한 상태에 있어서 제 3 경사면(15a)에 의해 피도금물군(100A)이 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리보다 위쪽으로 이동하는 것을 제한하기 쉬워진다. 추가하여, 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)가 과도하게 커지는 것을 억제할 수 있다.

(7) 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a) 사이의 각도(θ1)와, 제 2 경사면(14a)과 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a) 사이의 각도(θ2)는 서로 같다. 이것에 의해 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)와 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg) 불균일을 억제할 수 있다. 따라서, 제 2 경사면(14a)에 있어서의 피도금물군(100A)의 퇴적 두께(tg)의 불균일을 한층 억제할 수 있고, 피도금물(100)의 도금 두께의 불균일을 한층 억제할 수 있다.

(8) 도금용 셀(10)은 위쪽이 개구되고, 도금액은 도금용 셀(10)의 개구를 통해 배출된다. 이렇게 도금용 셀(10)은 종래의 도금 장치(300)와 같이 다공체(312)를 형성할 필요가 없기 때문에 도금용 셀(10)로부터 도금액을 원활하게 배출할 수 있다.

추가하여, 외부 전극(102)끼리가 도금에 의해 접합된 복수의 피도금물(100)이나 규정 치수보다 작은 피도금물(100)과 같은 불량품은 부력이 커지기 쉬워 도금액의 액체 표면 부근으로 이동하기 쉽다. 이 때문에 도금용 셀(10)의 회전에 의해 도금액과 함께 불량품의 피도금물이 도금용 셀(10)의 개구로부터 배출되기 쉬워진다.

(9) 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리의 내경과, 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리의 내경이 서로 같다. 이것에 의해 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리보다 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리가 지름방향의 안쪽에 위치하는 것에 의한 단차의 형성이 억제된다. 따라서, 도금용 셀(10)의 회전에 따라 제 1 경사면(13a)으로부터 제 2 경사면(14a)으로 원활하게 이동할 수 있다. 또한, 제 2 경사면(14a)의 하단 가장자리보다 제 1 경사면(13a)의 상단 가장자리가 지름방향의 안쪽에 위치하는 것에 의한 단차의 형성이 억제된다. 따라서, 도금용 셀(10)의 회전 정지에 따라 제 2 경사면(14a)에 퇴적된 피도금물(100)이 단차 상에 남는 것이 억제된다. 따라서, 도금용 셀(10)의 회전 정지에 따르는 피도금물군(100A)에 있어서의 도금된 피도금물(100)과 도금되어 있지 않은 피도금물(100)의 교반 효율의 저하를 억제할 수 있다.

또한, 제 1 경사면(13a)과 제 2 경사면(14a) 사이에 단차가 형성되었다고 해도 그 단차가 피도금물(100)의 최소 치수의 1/2 이하이다. 이것에 의해 피도금물(100)은 도금용 셀(10)의 회전에 따라 제 1 경사면(13a)으로부터 단차를 타고 넘어서 제 2 경사면(14a)으로 이동할 수 있다. 또한, 도금용 셀(10)의 회전 정지에 따라 제 2 경사면(14a)으로부터 단차를 타고 넘어서 제 1 경사면(13a)으로 이동할 수 있다.

(10) 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)의 상단 가장자리의 내경과, 덮개체(15)의 제 3 경사면(15a)의 하단 가장자리의 내경이 같은 것에 의해 제 2 경사면(14a)과 제 3 경사면(15a) 사이에 피도금물(100)이 끼이는 것이 억제된다. 따라서, 로트 사이에 있어서의 피도금물의 혼입을 억제할 수 있다.

(변형예)

상기 실시형태에 관한 설명은 본 발명의 도금용 셀 및 도금 장치가 취할 수 있는 형태의 예시이며, 그 형태를 제한하는 것을 의도하고 있지 않다. 본 발명의 도금용 셀 및 도금 장치는 예를 들면, 이하에 나타내어지는 상기 실시형태의 변형예 및 서로 모순되지 않는 적어도 2개의 변형예를 조합한 형태를 취할 수 있다.

·상기 실시형태에 있어서 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)은 지름방향의 바깥쪽을 향함에 따라 위쪽으로 만곡 형상으로 경사져도 좋다.

·상기 실시형태에 있어서 저판(12)과 클라이밍 부재(13)가 일체로 형성되어도 좋다. 이 경우, 저판(12)의 상면(12a)과 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)의 하단 가장자리의 이음매에 R 형상의 모따기를 형성해도 좋다.

·상기 실시형태에 있어서 클라이밍 부재(13)의 제 1 경사면(13a)과, 수직축선(J)과 직교하는 평면인 수평면이 이루는 각도(θr)는 캐소드 전극(14)의 제 2 경사면(14a)과 수평면이 이루는 각도(θc)와 같아도 좋다.

·상기 실시형태에 있어서 덮개체(15)로부터 제 3 경사면(15a)을 생략해도 좋다. 제 3 경사면(15a)을 생략한 덮개체(15)의 형상의 일례는 원통 형상이다.

·상기 실시형태에 있어서 피도금물(100)의 사이즈가 큰 경우, 도금용 셀(10)은 도금액을 도금용 셀(10)의 외부로 배출하기 위한 다공체를 더 구비해도 좋다. 다공체는 예를 들면 캐소드 전극(14)과 덮개체(15) 사이에 배치된다.

1 도금 장치 10 도금용 셀
12 저판 13 클라이밍 부재
13a 제 1 경사면 14 캐소드 전극
14a 제 2 경사면 15 덮개체
15a 제 3 경사면 20 애노드 전극
30 회전 장치 100 피도금물
100A 피도금물군 J 수직축선
θc 제 2 경사면과, 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도
θr 제 1 경사면과, 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도
θ1 제 1 경사면에 대한 제 2 경사면의 각도
θ2 제 2 경사면에 대한 제 3 경사면의 각도

Claims (12)

1. 도금액을 저류가능하고 또한 피도금물군을 수용가능하며, 회전 장치에 의해 수직축선을 중심으로 회전하는 도금용 셀로서,
   저판과,
   전기적 절연성을 갖고, 상기 저판의 상면으로부터 위쪽을 향함에 따라 상기 수직축선과 직교하는 지름방향의 바깥쪽으로 경사지는 제 1 경사면을 갖는 클라이밍 부재와,
   상기 수직축선을 따르는 방향에 있어서 상기 클라이밍 부재와 이웃하도록 배치되고, 위쪽으로 향함에 따라 상기 지름방향의 바깥쪽으로 경사지는 제 2 경사면을 갖는 캐소드 전극을 갖고,
   상기 수직축선을 따르는 방향에 있어서 상기 캐소드 전극과 이웃하도록 배치되고, 위쪽을 향함에 따라 상기 지름방향의 안쪽으로 경사지는 제 3 경사면을 갖는 덮개체를 갖고,
   상기 제 2 경사면과, 상기 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도는 상기 제 1 경사면과, 상기 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도보다 크고,
   상기 제 1 경사면에 대한 상기 제 2 경사면의 각도는 140°이상 또한 155°이하이고,
   상기 제 2 경사면에 대한 상기 제 3 경사면의 각도는 130°이상 또한 145°이하인 도금용 셀.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 제 2 경사면과, 상기 수직축선과 직교하는 평면이 이루는 각도는 70°이상 또한 85°이하인 도금용 셀.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 제 1 경사면의 상단 가장자리의 내경과, 상기 제 2 경사면의 하단 가장자리의 내경이 서로 같은 도금용 셀.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 제 1 경사면의 상단 가장자리와 상기 제 2 경사면의 하단 가장자리 사이에는 상기 제 1 경사면의 상단 가장자리의 상기 지름방향의 위치와 상기 제 2 경사면의 하단 가장자리의 상기 지름방향의 위치의 어긋남에 기인하는 단차가 형성되고,
   상기 단차의 크기는 상기 피도금물군을 구성하는 피도금물의 최소 치수의 1/2 이하인 도금용 셀.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 제 1 경사면에 대한 상기 제 2 경사면의 각도와, 상기 제 2 경사면에 대한 상기 제 3 경사면의 각도가 서로 같은 도금용 셀.
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 제 2 경사면의 상단 가장자리의 내경과, 상기 제 3 경사면의 하단 가장자리의 내경이 서로 같은 도금용 셀.
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 도금용 셀은 위쪽이 개구된 개구부를 갖고,
   상기 도금액은 상기 개구부를 통해 배출되는 도금용 셀.
8. 제 7 항에 기재된 도금용 셀과,
   상기 개구부로부터 삽입되는 애노드 전극과,
   상기 도금용 셀을 회전시키는 상기 회전 장치를 갖는 도금 장치.
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