JP7234984B2 - めっき装置及びめっき方法 - Google Patents

Description

本発明は、めっき装置及びめっき方法に関する。

積層セラミックコンデンサ等のチップ型電子部品にめっき処理を行う装置として、様々なめっき装置が提案されている。

例えば、特許文献１には、めっき液が貯留されているめっき槽と、めっき槽内においてめっき液に埋没されるように配置されており、かつ、めっき槽内底面に固定された陽極と、陽極が挿通される貫通孔を有し、かつ、陽極を中心として回転されるように陽極に軸支されたバスケットとを備え、バスケットが、リング状底部と、底部の外周縁から上方に延ばされた外周壁と、貫通孔の内周面を構成するために底部の内周縁から上方に延ばされた内周壁とを有し、内周壁及び外周壁の少なくとも一部がめっき液を流通させるように多孔性部材もしくはメッシュにより構成されており、バスケットの外周壁の少なくとも内周面に配置された陰極リングと、バスケットを陽極の周りに回転するために、バスケットに連結された回転駆動手段とを備える、めっき装置が開示されている。

特開平１１－３５０１９９号公報

特許文献１に記載のめっき装置を用いると、チップ型電子部品素子がバスケットの内周壁の外側に配置され、回転による遠心力を受けてバスケットの外周壁側に移動するため、投入されたすべてのチップ型電子部品素子に対して確実にめっき膜を形成できる、とされている。しかしながら、本発明者らが検討したところ、特許文献１に記載のめっき装置では、以下の問題が生じることが分かった。

特許文献１の図１に示された状態のめっき装置においてバスケットを回転させると、めっき槽内底面に固定された陽極の周りでめっき液が回転することになる。これにより、めっき液の回転速度が、陽極の近傍領域とその外側の領域とで大きく異なることになるため、陽極の周りでめっき液の流れが乱れ、結果的に、陽極の周りにめっき液の渦が生じる。このように陽極の周りにめっき液の渦が生じると、チップ型電子部品素子がその渦に引き込まれることにより、陽極に貼り付いてしまう。その結果、陽極に貼り付いたチップ型電子部品素子に対しては、めっき膜が形成されなくなってしまう。このような問題は、陽極がめっき槽内底面に固定された場合に限らず、めっき液の回転速度が陽極の近傍領域とその外側の領域とで大きく異なる場合に共通する問題である。

本発明の課題は、被めっき物の陽極への貼り付きを抑制しつつ、めっき層を被めっき物に形成可能なめっき装置及びめっき方法を提供することである。

本発明のめっき装置は、第１の態様において、底部と、上記底部に接合され、上記底部の上方に向かって延在した側壁部とを有し、上記底部に対向する位置に開口が設けられた筒状のめっき液槽と、上記めっき液槽の上記底部を貫通する軸を回転軸として、上記めっき液槽を回転させる駆動部と、上記めっき液槽の上記開口に挿入され、上記めっき液槽の上記回転軸上に設けられる棒状の陽極と、上記めっき液槽の上記側壁部の少なくとも内面を構成するように設けられた略環状の陰極と、上記陽極と上記陰極との間に設けられ、上記陽極の周りを回転する整流部材と、を備え、上記底部から上記開口に向かう上記回転軸に平行な高さ方向において、上記整流部材の上端の位置は上記陰極の上端の位置よりも上方にあり、かつ、上記整流部材の下端の位置は上記陽極の下端の位置と同等又は下方にある、ことを特徴とする。

本発明のめっき装置は、第２の態様において、第１主面を有する底部と、開口が設けられるように、上記底部に接合され、上記底部から上記第１主面の法線方向に突出するように延在した略環状の側壁部とを有するめっき液槽と、上記めっき液槽の上記底部の中央を貫通する軸を回転軸として、上記めっき液槽を回転させる駆動部と、上記めっき液槽の上記開口に挿入され、上記第１主面を平面視したときに上記めっき液槽の上記底部の中央に位置する棒状の陽極と、上記めっき液槽の上記側壁部の少なくとも内面を構成するように設けられた略環状の陰極と、上記陽極と上記陰極との間に設けられ、上記陽極の周りを回転する整流部材と、を備え、上記底部から上記開口に向かう上記回転軸に平行な高さ方向において、上記整流部材の上端の位置は上記陰極の上端の位置よりも上方にあり、かつ、上記整流部材の下端の位置は上記陽極の下端の位置と同等又は下方にある、ことを特徴とする。

本発明のめっき方法は、底部と、上記底部に接合され、上記底部の上方に向かって延在した側壁部とを有し、上記底部に対向する位置に開口が設けられた筒状のめっき液槽に、被めっき物及びめっき液を入れる、収容工程と、上記めっき液槽の上記開口に挿入され、上記めっき液槽の上記底部を貫通する軸である回転軸上に設けられた棒状の陽極と、上記めっき液槽の上記側壁部の少なくとも内面を構成するように設けられた略環状の陰極とを、上記めっき液に浸漬した状態で、上記めっき液槽の上記底部を貫通する軸を回転軸として上記めっき液槽を回転させつつ、上記陽極と上記陰極との間に存在する上記めっき液に通電することにより、上記被めっき物にめっき処理を行う、めっき処理工程と、を備え、上記めっき処理工程では、上記底部から上記開口に向かう上記回転軸に平行な高さ方向において、上端の位置が上記陰極の上端の位置よりも上方にあり、かつ、下端の位置が上記陽極の下端の位置と同等又は下方にある整流部材が、上記陽極と上記陰極との間に設けられた状態で、上記陽極の周りを回転する、ことを特徴とする。

本発明によれば、被めっき物の陽極への貼り付きを抑制しつつ、めっき層を被めっき物に形成可能なめっき装置及びめっき方法を提供できる。

図１は、本発明のめっき装置の一例を示す断面模式図である。 図２は、図１で示すめっき装置を示す斜視模式図である。 図３は、本発明のめっき装置の一例において、整流部材がめっき液槽に固定されていない態様を示す断面模式図である。 図４は、本発明のめっき装置の一例において、整流部材が棒状である態様を示す断面模式図である。 図５は、図４で示すめっき装置を示す斜視模式図である。

以下、本発明のめっき装置と本発明のめっき方法とについて説明する。なお、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。また、以下において記載する個々の好ましい構成を複数組み合わせたものもまた本発明である。

［めっき装置］
本発明のめっき装置の一例について、以下に説明する。図１は、本発明のめっき装置の一例を示す断面模式図である。図２は、図１で示すめっき装置を示す斜視模式図である。厳密に言うと、図２では、図１中のめっき装置のうち、後述する容器以外の部分が示されている。

図１及び図２に示すように、めっき装置１ａは、めっき液槽１０と、駆動部２０と、陽極３０と、陰極４０と、整流部材５０と、を有している。なお、図１及び図２は、めっき装置１ａの使用状態を示しており、より具体的には、めっき液槽１０に被めっき物２及びめっき液３が収容された状態を示している。

めっき液槽１０は、被めっき物２及びめっき液３を収容するためのものである。めっき液槽１０は、底部１１と側壁部１２とを有している。めっき液槽１０の側面を構成する側壁部１２は、底部１１、ここでは、底部１１の第１主面（上面）の外周端に接合され、底部１１の上方に向かって突出するように延在している。なお、図１中の上下方向は、めっき液槽１０の底部１１の第１主面の法線方向に対応している。めっき液槽１０、ここでは、めっき液槽１０の上部を構成する蓋部１４には、底部１１に対向する位置に開口１３が設けられている。また、めっき液槽１０の側壁部１２は、開口１３が設けられるように、底部１１に接合され、底部１１から第１主面の法線方向に突出するように延在している、とも言える。めっき液槽１０は、このような構成を有する筒状であるが、円筒状であってもよいし、楕円筒状であってもよいし、多角筒状であってもよい。なお、めっき液槽１０は、後述する回転軸Ｒから略均一の距離を離して設けられた側壁部１２を有する円筒状であることが好ましい。ここで、めっき液槽１０が筒状であることから、開口１３は略環状であるが、円環状であってもよいし、楕円環状であってもよいし、多角環状であってもよい。

駆動部２０は、めっき液槽１０の底部１１、ここでは、底部１１の中央を貫通する軸を回転軸Ｒとして、めっき液槽１０を回転させるように構成されている。

めっき液槽１０の回転軸Ｒは、めっき液槽１０における、底部１１の第１主面に平行な断面の中心を通ることが好ましい。例えば、めっき液槽１０が円筒状である場合、めっき液槽１０の回転軸Ｒは、底部１１の第１主面を平面視したとき、第１主面の中心、ここでは、円の中心を通ることが好ましい。

めっき液槽１０の回転軸Ｒは、めっき液槽１０の底部１１の第１主面に直交することが好ましいが、底部１１の第１主面の法線方向に対して傾斜していてもよい。

駆動部２０は、めっき液槽１０を様々な態様で回転させることができる。例えば、駆動部２０は、めっき液槽１０を、回転速度を変えながら一方向に回転させてもよい。あるいは、駆動部２０は、めっき液槽１０を、回転方向を変えながら回転させてもよい。すなわち、駆動部２０は、めっき液槽１０を、回転方向を反転させながら回転させてもよい。また、駆動部２０は、めっき液槽１０を、回転動作状態と回転停止状態とが繰り返されるように間欠的に回転させてもよい。このように、回転速度、回転方向、回転動作状態、回転停止状態等を制御することにより、めっき液槽１０内の被めっき物２がめっき液３中で撹拌される。

陽極３０は、棒状であり、めっき液槽１０の開口１３に挿入され、めっき液槽１０の回転軸Ｒ上に設けられている。また、陽極３０は、めっき液槽１０の底部１１の第１主面を平面視したときに底部１１の中央に位置している。陽極３０の下端は、めっき液３の液面よりもめっき液槽１０の底部１１側に位置するため、めっき処理を行う際に、陽極３０の少なくとも一部がめっき液３に浸漬されることになる。一方、陽極３０の上端は、陰極４０の上端よりもめっき液槽１０の開口１３側に位置している。なお、めっき装置１ａでは、めっき処理を行う際に、陽極３０が回転していないことが好ましい。

陽極３０は、めっき液槽１０に抜き挿し可能となるように、駆動装置で保持されていてもよい。あるいは、陽極３０は、めっき液槽１０との相対回転が可能であって、相対位置が固定されていてもよい。

陰極４０は、めっき液槽１０の側壁部１２の少なくとも内面を構成するように設けられている。ここで、めっき液槽１０が筒状であることから、陰極４０は略環状であるが、円環状であってもよいし、楕円環状であってもよいし、多角環状であってもよい。陰極４０は、このように設けられているため、めっき処理を行う際にめっき液３に浸漬されることになる。

めっき装置１ａは、図示しないが、陽極３０及び陰極４０に電力を供給する電源を有している。この電源により、めっき処理を行う際に陽極３０と陰極４０との間に存在するめっき液３に通電することができる。

図１及び図２に示すように、めっき液槽１０の側壁部１２は、陰極４０に加えて、被めっき物２を通さないがめっき液３を通す略環状の液抜き部６０で構成されていてもよい。この場合、図１に示すように、めっき液槽１０を内包する容器７０が設けられていると、図１中の矢印で示すように、液抜き部６０からめっき液槽１０の外部に抜き出されためっき液３は、容器７０により受けられた後、循環路８０を経て、めっき液槽１０の開口１３からめっき液槽１０内に循環される。

液抜き部６０は、例えば、複数の貫通孔が設けられた部材で構成され、具体的には、網目部材で構成されていてもよく、あるいは多孔質部材で構成されていてもよい。

整流部材５０は、陽極３０と陰極４０との間に設けられ、陽極３０の周り、ここでは、陽極３０の側面の周りを回転するように構成されている。

底部１１から開口１３に向かう回転軸Ｒに平行な高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は陰極４０の上端の位置よりも上方にあり、かつ、整流部材５０の下端の位置は陽極３０の下端の位置と同等又は下方にある。図１では、高さ方向において、整流部材５０の上端の位置が陰極４０の上端の位置よりも上方にあり、かつ、整流部材５０の下端の位置が陽極３０の下端の位置よりも下方にある状態が示されている。高さ方向において、整流部材５０の下端の位置は、陽極３０の下端の位置と同等であってもよい。ここで、整流部材５０、陽極３０、及び、陰極４０の各々において、上端の位置は高さが最大となる位置であり、下端の位置は高さが最小となる位置である。

高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は、陽極３０の上端の位置と同等又は上方にあることが好ましい。つまり、高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は陽極３０の上端の位置と同等又は上方にあり、かつ、整流部材５０の下端の位置は陽極３０の下端の位置と同等又は下方にあることが好ましい。図１では、高さ方向において、整流部材５０の上端の位置が陽極３０の上端の位置よりも上方にあり、かつ、整流部材５０の下端の位置が陽極３０の下端の位置よりも下方にある状態が示されている。高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は、陽極３０の上端の位置と同等であってもよい。また、上述したが、高さ方向において、整流部材５０の下端の位置は、陽極３０の下端の位置と同等であってもよい。整流部材５０及び陽極３０が上述した位置関係にあることにより、整流部材５０は、めっき液３中に存在する陽極３０の側面全体の周りを回転することになる。

図１及び図２に示すように、整流部材５０は、陽極３０の少なくとも側面を囲む壁面形状であってもよい。この場合、整流部材５０の少なくとも一部には、複数の貫通孔５１が設けられていることが好ましい。整流部材５０が壁面形状であっても、その少なくとも一部に複数の貫通孔５１が設けられていると、陽極３０と陰極４０との間のめっき液３の流通経路が確保されやすい。

整流部材５０が壁面形状である場合、図１及び図２に示すように、整流部材５０の少なくとも一部は、複数の貫通孔５１が網目状に設けられた網目部材で構成されていることが好ましい。このような網目部材としては、例えば、複数の貫通孔が設けられるように線材が編み込まれた部材、板状部材に複数の貫通孔が設けられた部材（例えば、パンチングメタル）等が挙げられる。また、整流部材５０の少なくとも一部は、多孔質部材で構成されていてもよい。整流部材５０が網目部材又は多孔質部材で構成される場合、整流部材５０は、例えば、樹脂、セラミック、金属等で構成される。なお、整流部材５０に設けられる貫通孔５１は、１つのみであってもよい。

図１及び図２に示すように、整流部材５０は、めっき液槽１０に固定されていてもよい。この場合、整流部材５０は、めっき液槽１０に固定された状態で、駆動部２０によりめっき液槽１０の回転軸Ｒで回転することになる。つまり、整流部材５０は、めっき液槽１０と同期して、すなわち、めっき液槽１０と回転速度及び回転方向が同じ態様で回転することになる。めっき装置１ａでは、整流部材５０は、めっき液槽１０の底部１１に固定されているが、側壁部１２に固定されていてもよいし、蓋部１４に固定されていてもよい。

整流部材５０は、めっき液槽１０に固定されていなくてもよい。図３は、本発明のめっき装置の一例において、整流部材がめっき液槽に固定されていない態様を示す断面模式図である。図３に示すように、めっき装置１ｂでは、整流部材５０は、めっき液槽１０に固定されず、めっき液槽１０から離隔して設けられている。めっき装置１ｂは、整流部材５０がめっき液槽１０に固定されていないこと以外、めっき装置１ａと同様である。

整流部材５０がめっき液槽１０に固定されていない場合、整流部材５０は、駆動部２０とは別の駆動部により陽極３０の周りを回転してもよい。この場合、整流部材５０は、駆動部２０とは別の駆動部により、回転速度を変えながら一方向に回転してもよい。あるいは、整流部材５０は、駆動部２０とは別の駆動部により、回転方向を変えながら回転してもよい。すなわち、整流部材５０は、駆動部２０とは別の駆動部により、回転方向を反転しながら回転してもよい。

整流部材５０が駆動部２０とは別の駆動部により回転する場合、整流部材５０の回転方向は、めっき液槽１０の回転方向と異なっていてもよいが、同じであることが好ましい。また、整流部材５０の回転速度は、めっき液槽１０の回転速度と異なっていてもよいが、同じであることが好ましい。また、整流部材５０の回転軸は、めっき液槽１０の回転軸Ｒと異なっていてもよいが、同じであることが好ましい。また、整流部材５０は、めっき液槽１０が回転動作状態であるときに回転してもよいし、めっき液槽１０が回転動作状態及び回転停止状態であるときに回転してもよい。

めっき装置１ｂでは、整流部材５０が陽極３０の側面及び下面を囲むように設けられているが、本明細書ではこのような態様も壁面形状の一種とする。

以上では、整流部材５０が壁面形状である場合を示したが、整流部材５０は棒状であってもよい。図４は、本発明のめっき装置の一例において、整流部材が棒状である態様を示す断面模式図である。図５は、図４で示すめっき装置を示す斜視模式図である。厳密に言うと、図５では、図４中のめっき装置のうち、容器以外の部分が示されている。

図４及び図５に示すように、めっき装置１ｃでは、整流部材５０が棒状である。めっき装置１ｃは、整流部材５０が棒状であること以外、めっき装置１ａ又はめっき装置１ｂと同様である。

整流部材５０が棒状である場合、整流部材５０は、例えば、樹脂、セラミック、金属等で構成される。

めっき装置１ｃでは、棒状の整流部材５０が２本設けられているが、１本のみ設けられていてもよいし、３本以上設けられていてもよい。

整流部材５０は、壁面形状の部分と棒状の部分とが組み合わされた構成であってもよい。例えば、整流部材５０において、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分は、めっき装置１ａ又はめっき装置１ｂで示したような壁面形状であり、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分以外は、めっき装置１ｃで示したような棒状であってもよい。

［めっき方法］
本発明のめっき装置による作用効果を説明するため、本発明のめっき方法の一例として、めっき装置１ａを用いるめっき方法を以下に説明する。

＜収容工程＞
めっき液槽１０に、被めっき物２及びめっき液３を入れる。より具体的には、めっき液槽１０の開口１３から内部に、被めっき物２及びめっき液３を入れる。ここで、陰極４０は、めっき液槽１０の側壁部１２の少なくとも内面を構成するように設けられているため、めっき液３に浸漬されることになる。

被めっき物２としては、特に限定されないが、例えば、積層セラミックコンデンサ等のチップ型電子部品が挙げられる。被めっき物２が積層セラミックコンデンサである場合、その外部電極の表面にめっき処理を行う際にめっき装置１ａが用いられる。

めっき液３としては、被めっき物２に形成したいめっき層の種類に応じて、公知のめっき液を使用できる。

＜めっき処理工程＞
まず、陽極３０を、めっき液槽１０の開口１３に挿入することにより、めっき液槽１０の回転軸Ｒ上に設ける。その結果、陽極３０は、陰極４０とともにめっき液３に浸漬される。

陽極３０をめっき液槽１０の開口１３に挿入する際、一部をめっき液３に浸漬してもよいが、全体をめっき液３に浸漬することが好ましい。陽極３０の全体をめっき液３に浸漬することにより、陽極３０とめっき液３との接触面積、すなわち、陽極３０の有効面積が最大となるため、一定以上の品質のめっき層を被めっき物２に確実に形成できる。

上記の説明では、陽極３０をめっき液槽１０の開口１３に挿入する前に、被めっき物２及びめっき液３をめっき液槽１０に入れたが、陽極３０をめっき液槽１０の開口１３に挿入した後で、被めっき物２及びめっき液３をめっき液槽１０に入れてもよい。

そして、陽極３０及び陰極４０をめっき液３に浸漬した状態で、駆動部２０によりめっき液槽１０を回転軸Ｒで回転させつつ、より具体的には、陰極４０を陽極３０の周りに回転させつつ、陽極３０と陰極４０との間に存在するめっき液３に通電することにより、被めっき物２にめっき処理を行う。この際、めっき液槽１０の回転で生じる遠心力により、被めっき物２は、めっき液槽１０の側壁部１２側に移動し、結果的に、陰極４０に接触する。このように被めっき物２が陰極４０に接触した状態で、陽極３０と陰極４０との間に存在するめっき液３に通電すると、陰極４０を介して被めっき物２への通電が行われるため、被めっき物２にめっき処理が行われ、めっき層が形成される。

めっき処理を行う際、めっき液槽１０を様々な態様で回転させることにより、被めっき物２を撹拌することが好ましい。例えば、回転動作状態と回転停止状態とが繰り返されるようにめっき液槽１０を間欠的に回転させることにより、被めっき物２の撹拌と、被めっき物２の陰極４０への接触、すなわち、被めっき物２への通電とが繰り返し行われる。その結果、一部の被めっき物２に偏ることなく、すべての被めっき物２に一様にめっき処理が行われる。

上記の説明では、めっき液槽１０を回転させ始める前に、陽極３０をめっき液槽１０の開口１３に挿入したが、めっき液槽１０を回転させ始めた後に、陽極３０をめっき液槽１０の開口１３に挿入してもよい。

めっき処理工程では、陽極３０と陰極４０との間に設けられた整流部材５０が、陽極３０の周りを回転する。ここでは、めっき装置１ａを用いるため、整流部材５０が、めっき液槽１０に固定された状態で、駆動部２０によりめっき液槽１０の回転軸Ｒで回転することになる。この場合、整流部材５０は、めっき液槽１０と同期して、すなわち、めっき液槽１０と回転速度及び回転方向が同じ態様で回転することになる。

めっき処理工程では、上述したように、駆動部２０によりめっき液槽１０を回転軸Ｒで回転させているが、陽極３０がめっき液槽１０の回転軸Ｒ上に設けられて回転していないため、めっき液３の回転速度が、陽極３０の近傍領域とその外側の領域とで大きく異なることになる。そのため、従来であれば、陽極３０の周りでめっき液３の流れが乱れ、結果的に、陽極３０の周りにめっき液３の渦が生じるはずであった。

一方、めっき装置１ａを用いるめっき方法では、めっき処理工程において整流部材５０が陽極３０の周りを回転することにより、陽極３０の周りのめっき液３が撹拌される。ここで、底部１１から開口１３に向かう回転軸Ｒに平行な高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は陰極４０の上端の位置よりも上方にあり、かつ、整流部材５０の下端の位置は陽極３０の下端の位置と同等又は下方にある。そのため、整流部材５０により、陽極３０の側面全体の周りのめっき液３を撹拌できる。なお、めっき処理工程でめっき液槽１０を回転させると、図１に示すように、陽極３０の上端がめっき液３の液面から出ることがあるが、このような場合であっても、あるいは、陽極３０の全体がめっき液３中に存在する場合であっても、整流部材５０により、陽極３０の側面全体の周りのめっき液３を撹拌できる。ただし、陽極３０の全体がめっき液３中に存在する場合、陽極３０の側面全体の周りのめっき液３を撹拌しやすくする観点から、高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は、陽極３０の上端の位置と同等又は上方にあることが好ましい。つまり、高さ方向において、整流部材５０の上端の位置は陽極３０の上端の位置と同等又は上方にあり、かつ、整流部材５０の下端の位置は陽極３０の下端の位置と同等又は下方にあることが好ましい。

したがって、上述した構成を有する整流部材５０が陽極３０の周りを回転することにより、陽極３０の周りでめっき液３の流れが乱れにくくなるため、陽極３０の周りにめっき液３の渦が生じにくくなる。仮に、めっき液槽１０の回転により陽極３０の周りにめっき液３の渦が生じていても、整流部材５０が陽極３０の周りを回転することにより、めっき液３の渦を撹拌して消失させることができる。よって、被めっき物２がめっき液３の渦に引き込まれることで陽極３０に貼り付いてしまう、という事態が生じにくくなるため、すべての被めっき物２が、遠心力によりめっき液槽１０の側壁部１２側に移動し、結果的に、陰極４０に接触しやすくなる。以上により、被めっき物２の陽極３０への貼り付きを抑制しつつ、めっき層を被めっき物２に形成できる。

めっき装置１ａを用いるめっき方法では、整流部材５０は、陽極３０の少なくとも側面を囲む壁面形状である。

整流部材５０が壁面形状である場合、整流部材５０の少なくとも一部は、被めっき物２を通さないがめっき液３を通すように構成されていてもよい。この場合、整流部材５０が壁面形状であっても、陽極３０と陰極４０との間のめっき液３の流通経路が確保されやすい。また、めっき処理工程で、被めっき物２が整流部材５０に近づくことがあっても、被めっき物２は整流部材５０を通れない。よって、このような整流部材５０を用いると、陽極３０の周りにめっき液３の渦が生じにくくなる作用効果と相まって、被めっき物２が陽極３０に近づきにくくなるため、被めっき物２の陽極３０への貼り付きが充分に抑制される。

整流部材５０の少なくとも一部が、被めっき物２を通さないがめっき液３を通すように構成されている場合、整流部材５０の少なくとも一部には、被めっき物２が通らない複数の貫通孔が設けられていることが好ましい。整流部材５０を、被めっき物２を通さないがめっき液３を通す状態とする観点から、整流部材５０に設けられた貫通孔の径は、１００μｍ以下であることが好ましい。この場合、めっき液３の流通性を確保する観点も加味すると、整流部材５０に設けられた貫通孔の径は、３０μｍ以上、１００μｍ以下であることが好ましい。

あるいは、整流部材５０の少なくとも一部は、被めっき物２及びめっき液３を通すように構成されていてもよい。この場合、整流部材５０が壁面形状であっても、陽極３０と陰極４０との間のめっき液３の流通経路が確保されやすい。また、収容工程で、被めっき物２が陽極３０と整流部材５０との間に入ってしまうことがあっても、めっき処理工程で、被めっき物２は、遠心力により整流部材５０を通ってめっき液槽１０の側壁部１２側に移動し、結果的に、陰極４０に接触できる。

整流部材５０の少なくとも一部が、被めっき物２及びめっき液３を通すように構成されている場合、整流部材５０の少なくとも一部には、被めっき物２が通る複数の貫通孔が設けられていることが好ましい。整流部材５０を、被めっき物２及びめっき液３を通す状態とする観点から、整流部材５０に設けられた貫通孔の径は、５００μｍ以上であることが好ましい。この場合、整流部材５０の耐久性を確保する観点も加味すると、整流部材５０に設けられた貫通孔の径は、５００μｍ以上、１００００μｍ以下であることが好ましい。

整流部材５０に設けられた貫通孔の径とは、図１及び図２に示すような各貫通孔５１の径のうちの最小値を意味する。各貫通孔５１が円形状以外の形状である場合、各貫通孔５１の径は等価円相当径で表される。

収容工程で陽極３０と整流部材５０との間に入ってしまった被めっき物２が、めっき処理工程で、遠心力により整流部材５０を通ってめっき液槽１０の側壁部１２側に移動する場合、自重によりめっき液槽１０の底部１１近傍まで予め沈んでいた被めっき物２が、整流部材５０における、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分を通ることが想定される。そのため、被めっき物２が通る複数の貫通孔が、整流部材５０の少なくとも一部に設けられている場合は、整流部材５０における、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分、より具体的には、下端を含む部分に設けられていることが好ましい。

整流部材５０において、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分に、被めっき物２が通る複数の貫通孔が設けられている場合、それらの貫通孔が設けられている領域の高さは、整流部材５０の全体高さの２０％以上であることが好ましい。

整流部材５０において、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分に、被めっき物２が通る複数の貫通孔が設けられている場合、めっき液槽１０の底部１１側に位置する部分以外には、被めっき物２が通らない複数の貫通孔が設けられていてもよい。

整流部材５０の少なくとも一部に、上述したような複数の貫通孔が設けられている場合、図１及び図２に示すように、整流部材５０の少なくとも一部は、複数の貫通孔５１が網目状に設けられた網目部材で構成されていることが好ましい。

以上では、めっき装置１ａを用いるめっき方法について説明したが、めっき装置１ｂを用いるめっき方法と、めっき装置１ｃを用いるめっき方法とについても同様である。

１ａ、１ｂ、１ｃ めっき装置
２ 被めっき物
３ めっき液
１０ めっき液槽
１１ 底部
１２ 側壁部
１３ 開口
１４ 蓋部
２０ 駆動部
３０ 陽極
４０ 陰極
５０ 整流部材
５１ 貫通孔
６０ 液抜き部
７０ 容器
８０ 循環路
Ｒ 回転軸

Claims (18)

1. 底部と、前記底部に接合され、前記底部の上方に向かって延在した側壁部とを有し、前記底部に対向する位置に開口が設けられた筒状のめっき液槽と、
   前記めっき液槽の前記底部に接続され、前記めっき液槽を回転させる駆動部と、
   前記めっき液槽の前記開口に挿入され、前記めっき液槽の回転軸の軸線の延長線上に設けられる棒状の陽極と、
   前記めっき液槽の前記側壁部の少なくとも内面を構成するように設けられた略環状の陰極と、
   前記陽極と前記陰極との間に設けられ、前記陽極の周りを回転する整流部材と、を備え、
   前記底部から前記開口に向かう前記回転軸に平行な高さ方向において、前記整流部材の上端の位置は前記陰極の上端の位置よりも上方にあり、かつ、前記整流部材の下端の位置は前記陽極の下端の位置と同等又は下方にあり、
   前記高さ方向において、前記整流部材の上端の位置は、前記陽極として機能する陽極部材の上端の位置と同等又は上方にある、めっき装置。
2. 第１主面を有する底部と、開口が設けられるように、前記底部に接合され、前記底部から前記第１主面の法線方向に突出するように延在した略環状の側壁部とを有するめっき液槽と、
   前記めっき液槽の前記底部の中央が回転軸の軸線の延長線上に位置するように前記めっき液槽を回転させる駆動部と、
   前記めっき液槽の前記開口に挿入され、前記第１主面を平面視したときに前記めっき液槽の前記底部の中央に位置する棒状の陽極と、
   前記めっき液槽の前記側壁部の少なくとも内面を構成するように設けられた略環状の陰極と、
   前記陽極と前記陰極との間に設けられ、前記陽極の周りを回転する整流部材と、を備え、
   前記底部から前記開口に向かう前記回転軸に平行な高さ方向において、前記整流部材の上端の位置は前記陰極の上端の位置よりも上方にあり、かつ、前記整流部材の下端の位置は前記陽極の下端の位置と同等又は下方にあり、
   前記高さ方向において、前記整流部材の上端の位置は、前記陽極として機能する陽極部材の上端の位置と同等又は上方にある、めっき装置。
3. 前記整流部材は、前記陽極の少なくとも側面を囲む壁面形状である、請求項１又は２に記載のめっき装置。
4. 前記整流部材の少なくとも一部には、複数の貫通孔が設けられている、請求項３に記載のめっき装置。
5. 前記整流部材に設けられた前記貫通孔の径は、１００μｍ以下である、請求項４に記載のめっき装置。
6. 前記整流部材に設けられた前記貫通孔の径は、５００μｍ以上である、請求項４に記載のめっき装置。
7. 前記整流部材における、前記めっき液槽の前記底部側に位置する部分には、複数の前記貫通孔が設けられている、請求項６に記載のめっき装置。
8. 前記整流部材の少なくとも一部は、複数の前記貫通孔が網目状に設けられた網目部材で構成されている、請求項４～７のいずれかに記載のめっき装置。
9. 前記整流部材は、前記めっき液槽に固定されている、請求項１～８のいずれかに記載のめっき装置。
10. 底部と、前記底部に接合され、前記底部の上方に向かって延在した側壁部とを有し、前記底部に対向する位置に開口が設けられた筒状のめっき液槽に、被めっき物及びめっき液を入れる、収容工程と、
    前記めっき液槽の前記開口に挿入され、前記めっき液槽の回転軸の軸線の延長線上に設けられた棒状の陽極と、前記めっき液槽の前記側壁部の少なくとも内面を構成するように設けられた略環状の陰極とを、前記めっき液に浸漬した状態で、前記回転軸で前記めっき液槽を回転させつつ、前記陽極と前記陰極との間に存在する前記めっき液に通電することにより、前記被めっき物にめっき処理を行う、めっき処理工程と、を備え、
    前記めっき処理工程では、前記底部から前記開口に向かう前記回転軸に平行な高さ方向において、上端の位置が前記陰極の上端の位置よりも上方かつ前記陽極として機能する陽極部材の上端の位置と同等又は上方にあり、更には、下端の位置が前記陽極の下端の位置と同等又は下方にある整流部材が、前記陽極と前記陰極との間に設けられた状態で、前記陽極の周りを回転する、めっき方法。
11. 前記整流部材は、前記陽極の少なくとも側面を囲む壁面形状である、請求項１０に記載のめっき方法。
12. 前記整流部材の少なくとも一部は、前記被めっき物を通さないが前記めっき液を通すように構成されている、請求項１１に記載のめっき方法。
13. 前記整流部材の少なくとも一部には、前記被めっき物が通らない複数の貫通孔が設けられている、請求項１２に記載のめっき方法。
14. 前記整流部材の少なくとも一部は、前記被めっき物及び前記めっき液を通すように構成されている、請求項１１に記載のめっき方法。
15. 前記整流部材の少なくとも一部には、前記被めっき物が通る複数の貫通孔が設けられている、請求項１４に記載のめっき方法。
16. 前記整流部材における、前記めっき液槽の前記底部側に位置する部分には、複数の前記貫通孔が設けられている、請求項１５に記載のめっき方法。
17. 前記整流部材の少なくとも一部は、複数の前記貫通孔が網目状に設けられた網目部材で構成されている、請求項１３、１５、又は、１６に記載のめっき方法。
18. 前記整流部材は、前記めっき液槽に固定されている、請求項１０～１７のいずれかに記載のめっき方法。

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