KR102044625B1 - 전사 장치 및 전사 방법 - Google Patents

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Abstract

실시 형태의 전사 장치는, 미경화의 재료가 설치되어 있는 기판이 설치되는 기판 설치부와, 소정의 전사 패턴이 형성되어 있는 몰드가 권취되며, 기판 설치부에 설치되어 있는 기판에 대하여 이동함으로써, 기판에 몰드를 압박하는 몰드 압박 롤러와, 몰드 압박 롤러의 이동에 의해 기판과 몰드 사이로부터 나온 미경화의 재료를 회수하는 재료 회수부를 구비한다.

Description

전사 장치 및 전사 방법{TRANSFER APPARATUS AND TRANSFER METHOD}
실시 형태는 기판의 상면에 마련한 재료에 몰드의 전사 패턴을 전사하는 전사 장치 및 전사 방법에 관한 것이다.
기판의 표면에 자외선 경화 수지를 마련하고, 소정의 전사 패턴이 형성되어 있는 긴 시트 형상의 몰드를 롤러에 권취해 두고 롤러를 이동시켜, 몰드를 기판에 압박하고, 자외선의 조사에 의해 자외선 경화 수지를 경화시킴으로써, 자외선 경화 수지에 몰드의 미세한 전사 패턴을 롤 전사하는 종래예의 전사 장치가 알려져 있다.
미세한 전사 패턴이 10㎛ 정도의 높이이면, 수㎛ 정도의 높이의 여유를 두고, 기판에 자외선 경화 수지를 도포해 둔다. 기판에 도포한 자외선 경화 수지의 높이에 여유가 없으면 자외선 경화 수지의 부족으로 전사 패턴의 높이가 모자라게 되는 개소가 형성되어 버릴 우려가 있기 때문이다.
도 13, 도 14를 참조하여 종래예의 전사 장치를 설명한다. 종래예의 전사 장치를 사용하여 롤 전사를 하는 경우에는, 롤러(301)의 도 13, 도 14의 우측 방향으로의 이동에 의해 잉여 수지(303)가 압출되어 가고, 전사의 마지막에는 잉여 수지(303)의 양이 많아진다.
대형의 액정 텔레비전의 터치 패널의 배선을 행하는 경우에는, 롤러(301)의 이동 거리가 길어져 전사의 최후에 있어서의 잉여 수지(303)의 양도 많아진다. 최근의 액정 텔레비전이나 스마트폰의 화면에서는, 화면을 지지하는 프레임의 면적이 작아져, 유리 등의 기판(305)의 에지부까지 전사 패턴을 형성하는 것이 요구된다.
이 때문에, 잉여 수지(303)가 압출되어 기판(305)으로부터 흘러 넘치게 된다. 이 흘러 넘친 잉여 수지는 기판(305)의 배후로 돌아들어가, 기판 설치체(307)에 부착되기도 한다.
그리고, 기판 설치체(307)의 진공 흡착용의 구멍[기판(305)을 기판 설치체(307)에 고정하기 위해 기판(305)을 진공 흡착하는 구멍]에 잉여 수지가 들어가고, 이 수지가 UV 경화 수지(자외선 경화 수지)인 경우에는 자외선이 조사되면 경화되어, 제거하는 데 고생을 한다.
따라서, 잉여 수지를 제거하는 전사 장치로서 JP 2016-197672 A (PTL1)에 기재된 것이 알려져 있다.
PTL1의 전사 장치에서는, 기판과 탄성 부재 사이에 간극부를 마련하고, 간극부에 잉여 수지를 모으고 있다.
PTL1에 기재된 전사 장치에서는, 연속하여 전사를 하면, 간극부에서 잉여 수지가 가득 차게 되어 간극부로부터 잉여 수지가 흘러넘쳐 버린다. 따라서, 정기적으로 잉여 수지를 제거할 필요가 있다.
본 발명은 전사 패턴의 전사가 충분히 되지 않는 개소의 발생을 없애기 위해 기판에 미경화의 수지(재료)를 두껍게 설치해 두고 연속해서 전사를 행해도, 잉여 수지(잉여 재료)가 흘러넘쳐 버리는 것을 방지할 수 있는 전사 장치 및 전사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
실시 형태의 전사 장치는, 소정의 파장의 전자파가 조사됨으로써 경화되는 미경화의 재료가 마련되어 있는 기판이 설치되는 기판 설치부와, 소정의 전사 패턴이 형성되어 있는 몰드가 권취되며, 상기 기판 설치부에 설치되어 있는 상기 기판에 대하여 이동함으로써, 상기 기판에 상기 몰드를 압박하는 몰드 압박 롤러와, 상기 몰드 압박 롤러의 이동에 의해 상기 몰드를 상기 기판에 압박할 때에, 상기 기판과 상기 몰드 사이로부터 나온 상기 미경화의 재료를 회수하는 재료 회수부를 갖는다.
상기 구성의 전사 장치에 따르면, 전사 패턴의 전사가 충분히 되지 않는 개소의 발생을 없애기 위해 기판에 미경화의 재료를 두껍게 마련해 두고 연속해서 전사를 행해도, 잉여 재료가 흘러넘쳐 버리는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 실시 형태에 관한 전사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 2는 도 1에 있어서의 II부의 확대도.
도 3a는 실시 형태에 관한 전사 장치의 재료 회수부의 재료 회수 블록을 도시하는 도면, 도 3b는 도 3a에 있어서의 IIIB 화살 표시도.
도 4는 재료 회수 블록이 회수 위치에 위치하고 있는 실시 형태에 관한 전사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 5는 도 4에 있어서의 V 화살 표시도.
도 6은 재료 회수 블록이 후퇴 위치에 위치하고 있는 실시 형태에 관한 전사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 7은 제1 변형예에 관한 전사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 8은 제2 변형예에 관한 전사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 9는 잉여 재료와 재료 회수 블록의 위치 관계의 변형예를 도시하는 도면.
도 10a는 제3 변형예에 관한 전사 장치의 재료 회수 블록 등을 도시하는 도면, 도 10b는 도 10a에 있어서의 XB 화살 표시도.
도 11a는 제3 변형예에 관한 전사 장치의 재료 회수 블록의 본체부를 도시하는 도면, 도 11b는 도 11a에 있어서의 XIB 화살 표시도, 도 11c는 도 11a에 있어서의 XIC 화살 표시도, 도 11d는 도 11a에 있어서의 XID-XID 단면을 도시하는 도면.
도 12a는 실시 형태에 관한 전사 장치에 의해 제조된 제품(반제품)을 도시하는 도면, 도 12b는 도 12a에 있어서의 XIIB 화살 표시도, 도 12c는 도 12a에 있어서의 XIIC-XIIC 단면을 도시하는 도면, 도 12d는 도 12c에 있어서의 XIID부의 확대도.
도 13은 종래예의 전사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면.
도 14는 도 13의 XIV부의 확대도.
실시 형태에 관한 전사 장치(21)에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다.
실시 형태에 관한 전사 장치(21)에 의해 제조되는 제품(혹은 반제품)(1)에 대하여, 도 12를 참조하여 설명한다.
제품(1)은, 예를 들어 텔레비전이나 스마트폰의 액정 패널의 터치 패널의 배선과 같은 애플리케이션에 사용되는 것이며, 기판(3)과, 소정 형상(소정 패턴)의 볼록부(5)를 구비한다.
여기서, 설명의 편의를 위해, 수평인 소정의 일방향을 X축 방향(전후 방향)이라 하고, 수평인 다른 소정의 일방향이며 X축 방향에 대하여 직교하는 방향을 Y축 방향(폭 방향)이라 하고, X축 방향과 Y축 방향에 대하여 직교하는 방향을 Z축 방향(상하 방향)이라 한다.
기판(3)은, 예를 들어 유리나 합성 수지로 구성되어 있고, 볼록부(5)는 소정의 전자파가 조사됨으로써 경화된 재료로 구성되어 있다. 볼록부(5)는 몰드(7)에 형성되어 있는 전사 패턴(9)(도 1, 도 2 참조)을 전사함으로써 소정 형상으로 형성된 것이며, 기판(3)의 두께 방향(Z축 방향)의 한쪽의 면(상면)에 마련되어 있다. 도 12a에서는, 볼록부(5)는, 예를 들어 서로가 인접하고 있는 복수의 정육각형의 변으로 구성되어 있는 것처럼 보인다.
다음에, 실시 형태에 관한 전사 장치(21)에 대하여 설명한다.
도 1 등에서는, X축 방향의 한쪽의 측을 후방측이라 하고 X축 방향의 다른 쪽의 측을 전방측이라 한다. 상세하게는 후술하지만, 기판(3)에 몰드(형)(7)를 압박할 때에는, 몰드 압박 롤러(23)가 X축 방향에서 후방측으로부터 전방측으로 이동한다. 한편, 기판(3)에 압박되어 있는 몰드(7)를 기판(3)으로부터 박리할 때에는, 몰드 압박 롤러(23)가 X축 방향에서 전방측으로부터 후방측으로 이동한다.
전사 장치(21)는, 도 1 등에서 도시한 바와 같이, 기판 설치부(25)와 몰드 압박 롤러(23)와 재료 회수부(미경화 수지 회수부)(27)를 구비한다.
기판 설치부(25)에는, 미경화의 재료(29)가 막 형상으로 되어 상면에 설치되어 있는 미경화 재료가 설치된 기판(3)이 설치된다.
기판(3)은 예를 들어 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있고, 기판 설치부(25)에 설치된 미경화 재료가 설치된 기판(3)은 두께 방향이 Z축 방향으로 되어 있다. 기판(3)의 상면에 마련된 미경화의 재료(29)는 소정의 파장의 전자파가 조사됨으로써 경화된다. 미경화의 재료(29)로서, 예를 들어 미경화의 자외선 경화 수지를 들 수 있다. 또한, 소정의 파장의 전자파로서 자외선을 들 수 있다.
기판 설치부(25)의 상면은 평면 형상으로 되어 있다. 기판(3)의 하면이 기판 설치부(25)의 상면에 접촉하고, 예를 들어 진공 흡착됨으로써, 기판 설치부(25)에 미경화 재료가 설치된 기판(3)이 일체로 설치된다.
전사 장치(21)에는, 몰드(7)가 설치되는 몰드 설치부(31)가 설치되어 있다. 몰드(7)는, 예를 들어 소정의 폭과 소정의 길이를 구비한 가늘고 긴 시트 형상(띠 형상)으로 형성되어 있고, 롤 형상으로 감겨 있음으로써 몰드 원단(도시하지 않음)을 형성하고 있다. 몰드 원단으로부터 몰드(7)의 긴 쪽 방향의 선단측의 부위가 전방으로 조출되고, 조출된 선단측의 부위의 보다 더 선단부가 권취되어 권취 롤(도시하지 않음)이 형성되어 있다.
몰드 설치부(31)에 몰드(7)가 설치되어 있는 상태에서는, 몰드 원단이 몰드 설치부(31)의 소정의 부위에 설치되어 있고, 권취 롤도 몰드 설치부(31)의 소정의 부위에 설치되어 있다. 그리고, 몰드(7)의 긴 쪽 방향의 중간부가, 도 1에서 도시한 바와 같이, 몰드 원단과 권취 롤 사이에서 늘어지지 않고 평판 형상으로 되어 연장되어 있다.
몰드 원단과 권취 롤 사이에서 늘어지지 않고 평판 형상으로 되어 연장되어 있는 몰드(7)는 이 폭 방향이 Y축 방향으로 되어 있음과 함께, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 상측에 위치하고 있다.
몰드 압박 롤러(23)에는, 두께 방향의 한쪽의 면에 소정의 전사 패턴(9)이 형성되어 있는 몰드(7)가 권취되어 있다.
기판 설치부(25)에 설치되어 있는 미경화 재료가 설치된 기판(3)과 몰드 설치부(31)에 설치되어 있는 몰드(7)에 대하여 몰드 압박 롤러(23)가 이동함으로써, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)에, 몰드 설치부(31)에 설치되어 있는 몰드(7)를 압박하도록 되어 있다.
몰드 압박 롤러(23)는 원기둥 형상 혹은 원통 형상으로 형성되어 있고, 중심축 C1이 Y축 방향으로 연장되어 있고, 중심축 C1을 회전 중심으로 하여 회전한다. 몰드 압박 롤러(23)의 측면의 일부에는, 몰드 원단과 권취 롤 사이에서 늘어지지 않고 연장되어 있는 몰드(7)가 권취되어 있다.
몰드 압박 롤러(23)에 몰드(7)가 권취되어 있는 상태를 Y축 방향에서 보면, 도 1에서 도시한 바와 같이, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 미경화 재료가 설치된 기판(3)의 상측에 몰드 압박 롤러(23)가 위치하고 있고, 몰드(7)의 두께 방향의 다른 쪽의 면[소정의 전사 패턴(9)이 형성되어 있지 않은 면]이 상측에 위치하여 몰드 압박 롤(23)에 접하고 있고, 몰드(7)의 두께 방향의 한쪽의 면[소정의 전사 패턴(9)이 형성되어 있는 면]이 하측에 위치하고 있다.
또한, 몰드 압박 롤(23)에 몰드(7)가 권취되어 있는 상태를 Y축 방향에서 보면, 몰드(7)의 몰드 압박 롤(23)에 권취되어 있는 부위는, 몰드 압박 롤(23)의 하단(Z축 방향의 하단)(33)으로부터 몰드 압박 롤의 전단(X축 방향의 전단)(35) 사이에서 원호 형상(예를 들어 1/4 원호 형상)으로 되어 있다.
또한, 몰드 압박 롤(23)에 몰드(7)가 권취되어 있는 상태를 Y축 방향에서 보면, 몰드 압박 롤(23)의 하단(33)으로부터 X축 방향의 후방측에는, 몰드(7)가 직선 형상으로 되어 X축 방향으로 연장되어 있고, 이 연장되어 있는 부위의 끝에 원단 롤(도시하지 않음)이 배치되어 있다. 몰드 압박 롤러(23)의 전단(35)으로부터 Z축 방향의 상측에는, 몰드(7)가 직선 형상으로 되어 연장되어 있고, 이 연장되어 있는 부위의 끝에 권취 롤(도시하지 않음)이 배치되어 있다.
기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)에 몰드(7)를 압박할 때에는, 몰드 압박 롤러(23)가 미경화 재료가 설치된 기판(3)의 두께 방향에 대하여 직교하는 소정의 일방향(X축 방향의 후방측으로부터 전방측을 향하는 방향)으로 이동한다.
기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)에 압박되어 있는 몰드(7)를 기판(3)으로부터 박리할 때에는, 몰드 압박 롤러(23)가 X축 방향의 전방측으로부터 후방측을 향하는 방향으로 이동한다.
이들 이동 시, 권취되어 있는 몰드(7)와의 사이에서 미끄럼이 발생하지 않도록 하기 위해, 몰드 압박 롤러(23)가 이 중심축 C1을 회전 중심으로 하여 회전한다.
몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 미경화 재료가 설치된 기판(3)에의 압박이 개시되기 전이나, 몰드(7)의 기판(3)으로부터의 박리가 종료된 상태에서는, 몰드 압박 롤러(23)는 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)보다도, X축 방향의 후방측에 위치하고 있다. 이 상태에서는, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)과 몰드 압박 롤러(23)에 권취되어 있는 몰드(7)는 이격되어 있다.
한편, 몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박이 종료되었을 때나, 몰드(7)의 기판(3)으로부터의 박리를 개시하기 전의 상태에서는, 몰드 압박 롤러(23)는 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)보다도, X축 방향의 전방측에 위치하고 있다. 이 상태를 Y축 방향으로부터 보면, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면의 전체면에, 기판(3)에 설치되어 있는 막 형상의 재료(29)를 사이에 두고, 몰드(7)의 전사 패턴(9)이 형성되어 있는 하면이 대향하고 있다.
몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박을 하고 있을 때(X축 방향의 후방측으로부터 전방측으로 이동할 때)에는, 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)에서는, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)과, 기판(3)의 상면에 설치되어 있는 재료(29)와, 몰드(7)가, 아래로부터 위를 향하여 이 순서로 나열되어 있고, 기판 설치부(25)와 몰드 압박 롤러(23) 사이에, 기판(3)과 재료(29)와 몰드(7)를 소정의 압력으로 끼워 넣어, 몰드(7)의 소정의 전사 패턴(9)이 기판(3)의 재료(29)에 들어가 있다.
몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박을 하고 있을 때에는, 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)보다도 후방에서, 몰드(7)의 두께 방향과 기판(3)의 두께 방향이 Z축 방향으로 되어 있고, Z축 방향에서 하측으로부터 상측을 향하여, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)과, 기판(3)에 설치되어 있는 재료(29)와, 몰드(7)가 이 순서로 나열되어 있다.
몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박을 하고 있을 때에는, 몰드 압박 롤러(23)를 후방측으로부터 전방측을 향하여 이동함으로써, 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)이 X축 방향의 전방측으로 이동함과 함께, 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)보다 후방측으로 연신되어 있는 몰드(7)의 평판 형상 부위[기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)과 재료(29)를 사이에 두고 대향하고 있는 몰드(7)의 하면의 면적]가 점차 증가하도록 되어 있다.
몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박이 종료되었을 때에는, Y축 방향에서 보아, 예를 들어 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면의 전체면이, 평판 형상의 몰드(7)의 하면과 재료(29)를 사이에 두고 대향하고 있다.
몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박을 하고 있을 때에는, 몰드(7)가 권취되어 있는 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 의해, 원단 롤과 권취 롤 사이에서 연신되어 있는 몰드(7)의 길이가 변화된다(예를 들어 부족하다). 이 부족을 보충하기 위해, 원단 롤, 권취 롤 중 적어도 어느 것으로부터, 몰드(7)가 초출되도록 되어 있다. 몰드(7)의 길이가 남는 경우에는, 남은 분을, 원단 롤, 권취 롤 중 적어도 어느 것에서 권취하도록 되어 있다.
몰드(7)를 기판(3)으로부터 박리할 때에는, 몰드 압박 롤러(23)를 전방측으로부터 후방측을 향하여 이동한다. 이 경우도, 원단 롤과 권취 롤 사이에서 연신되어 있는 몰드(7)의 길이가 변화되므로, 상술한 경우와 마찬가지로, 원단 롤, 권취 롤 중 적어도 어느 것으로부터 몰드(7)를 공급하거나, 몰드(7)를 권취하도록 되어 있다.
재료 회수부(27)는 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 의해 몰드(7)를 기판(3)에 압박할 때에, 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 나온 미경화의 잉여 재료(37)를 회수하도록 되어 있다.
몰드 압박 롤러(23)의 이동에 의해 몰드(7)를 기판(3)에 압박할 때에, 기판(3)과 몰드(7) 사이에 존재하고 있던 미경화의 재료(29)가 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 나와 잉여 재료(37)로 된다. 잉여 재료(37)는, 도 2에서 도시한 바와 같이, 몰드 압박 롤러(23)의 이동 방향에서 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)보다도 약간 전방측에서 기판(3)과 몰드(7) 사이에 존재한다.
더 설명하면, 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 짜내진 미경화의 잉여 재료(잉여 수지)(37)는, Y축 방향에서 보아, 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)보다도 약간 전방측에서 부채 형상으로 되어 있다. 미경화의 잉여 재료(37)의 부채형의 원호의 중심은, 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)을 통과하여 Y축 방향으로 연장되는 직선 상이며, 기판(3)과 몰드(7) 사이에 존재하는 재료(29)의 부분에 위치하고 있다.
재료 회수부(27)는 부채형으로 되어 있는 미경화의 잉여 재료(37)의 적어도 일부를, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐 회수하도록 되어 있다.
재료 회수부(27)가 부채형으로 되어 있는 미경화의 잉여 재료(37)를 회수하는 것 대신에 혹은 더하여, 부채형으로 되어 있는 미경화의 잉여 재료(37)의 근방에서 기판(3) 상에 있는 미경화의 재료(29)의 일부(도 2의 참조 부호 39로 나타내는 부분의 미경화의 재료)를 회수하도록 되어 있어도 되고, 또한, 부채형으로 되어 있는 미경화의 잉여 재료(37)의 근방에서 몰드(7)에 약간 달라붙어 있는 미경화의 재료(29)(도 2의 참조 부호 41로 나타내는 부분의 미경화 재료)를 회수하도록 되어 있어도 된다.
전사 장치(21)에는, 조사부(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 조사부는, 몰드 압박 롤러(23)가 도 1에 도시한 위치보다도 우측으로 이동하여 재료가 설치된 기판(3)에의 몰드(7)의 압박이 종료됨으로써, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면의 전체면에 압박되어 있는 몰드(7)를 통해, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 재료(예를 들어 자외선 경화 수지)(29)를 향하여 소정의 파장의 전자파(예를 들어 자외선)를 조사하도록 되어 있다.
조사부는, Y축 방향으로 연장된 자외선의 발광부를 구비한다. 조사부가 자외선을 발하면서 X축 방향 전방측으로부터 후방측으로 이동함으로써, 기판(3)과 몰드(7) 사이에 존재하고 있는 모든 자외선 경화 수지(29)를 경화한다.
조사부가, 몰드 압박 롤러(23)의 후방측에서 몰드 압박 롤러(23)로부터 약간 이격되어 설치되어 있고, 몰드 압박 롤러(23)의 이동과 동시에 이동하도록 되어 있어도 된다. 이 경우, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면의 전체면에의 몰드(7)의 압박이 종료되기 전에, 몰드(7)의 압박이 종료된 개소에 순차적으로 자외선을 조사하여, 자외선 경화 수지(29)를 경화하게 된다.
이에 의해, 자외선 경화 수지(29)의 역류(전방측으로부터 후방측으로의 흐름)를 방지할 수 있다.
조사부에 의해 재료(29)를 경화시킨 후, 몰드 압박 롤러(23)를 도 1의 좌측으로 이동하여, 몰드(7)를 기판(3)[경화된 재료(29)]으로부터 박리한다. 이에 의해 도 12에서 도시한 제품(1)을 얻을 수 있다.
전사 장치(21)에는, 재료 설치부(도시하지 않음)를 설치해도 된다. 재료 설치부는, 예를 들어 두께 방향이 Z축 방향으로 되어 있는 평판 형상의 기판(3)의 상면에, 소정의 파장의 전자파가 조사됨으로써 경화되는 미경화의 재료(29)를 막 형상으로 설치한다.
여기서, 재료 회수부(27)가 잉여 재료(37)를 회수하는 타이밍에 대하여 설명한다.
재료 회수부(27)에 의한 잉여 재료(37)의 회수는, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)에의 몰드(7)의 압박이 종료되기 직전부터 종료된 직후의 동안, 즉, X축 방향에서 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)이 기판(3)의 전단(45)의 부분에 도달하기 직전부터 도달한 직후의 동안으로 된다.
또한, 상기 타이밍에 잉여 재료(37)를 회수하는 대신에 혹은 더하여, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)에의 몰드(7)의 압박을 하고 있는 도중, 즉, X축 방향에서 몰드 압박 롤러(23)의 하단(33)이 기판(3)의 후단(47)과 전단(45) 사이에 위치하고 있는 적당한 때, 잉여 재료(37)의 양이 소정의 값보다도 많아졌을 때에, 미경화의 잉여 재료(37)를 회수해도 된다.
재료 회수부(27)는 미경화의 재료를 흡인하기 위한 구멍(49)(도 3a, 도 3b 참조), 또는, 슬릿(51)(도 10a 참조)이 형성된 재료 회수 블록(53)을 구비한다.
재료 회수 블록(53)은 몰드 압박 롤러(23)가 몰드(7)를 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 재료가 설치된 기판(3)에 압박하기 위한 이동을 할 때에, 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 따라서 이동한다.
재료 회수 블록(53)은 몰드 압박 롤러(23)에 대하여 회전 가능하게 설치되어 있다. 그리고, 회수 위치(도 1, 도 4 참조)와, 후퇴 위치(도 6 참조)에, 위치 결정되도록 되어 있다. 회수 위치는, 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 의해 몰드(7)를 기판(3)에 압박할 때에, 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 나온 잉여 재료(37)를 회수하는 위치이며, 후퇴 위치는, 회수 위치부터 상방으로 이격된 위치이며, 잉여 재료(37)를 회수하지 않을 때의 위치이다.
재료 회수 블록(53)에는, 도 2, 도 3a, 도 3b에서 도시한 바와 같이, 예를 들어 드릴 가공에 의해 다수의 구멍(49)이 마련되어 있다. 구멍(49)의 일단은, 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 짜내진 미경화의 잉여 재료(37)의 부분에 위치하고 있다. 또한, 참조 부호 50으로 나타내는 것은 고정 마개이다.
구멍(49)의 타단에는, 도 1, 도 3a, 도 3b에서 도시한 바와 같이, 커넥터(55)가 설치되어 있다. 커넥터(55)로부터는 호스(57)가 연장되어 있고, 호스(57)가 흡인 장치(59)에 연결되어 있다. 그리고, 흡인 장치(59)가 가동됨으로써, 다수의 구멍(49)의 일단으로부터 잉여 재료(37)가 흡입되어 회수된다. 잉여 재료(37)가 흡입되는 개구부로서의 구멍(49)의 일단은, 재료 회수 블록(53)의 긴 쪽 방향(Y축 방향)에서, 소정의 간격을 두고 나열되어 있다.
재료 회수부(27)가 미경화의 잉여 재료(37)를 회수할 때에는, Y축 방향에서 보아, 재료 회수 블록(53)은 X축 방향에서는, 몰드 압박 롤러(23)나 이 몰드 압박 롤러(23)에 권취되어 있는 몰드(7)의 근방에서, 몰드 압박 롤러(23)나 이 몰드 압박 롤러(23)에 권취되어 있는 몰드(7)보다도 전방측에 배치되어 있다. 또한, 재료 회수부(27)가 미경화의 잉여 재료(37)를 회수할 때에는, Y축 방향에서 보아, 재료 회수 블록(53)은 Z축 방향에서는, 기판(3)의 재료(29)보다도 상측에 위치하고 있다.
여기서, 전사 장치(21)에 대하여 더욱 상세하게 설명한다.
몰드 압박 롤러(23)는, 도 5에서 도시한 바와 같이, 한 쌍의 몰드 압박 롤러 지지체(61)에 지지되어 있다.
한 쌍의 몰드 압박 롤러 지지체(61) 중, 한쪽의 몰드 압박 롤러 지지체(61)는 몰드 압박 롤러(23)의 Y축 방향의 한쪽의 단부에 배치되어 있고, 다른 쪽의 몰드 압박 롤러 지지체(61)는 몰드 압박 롤러(23)의 Y축 방향의 다른 쪽의 단부에 배치되어 있다. 각각의 몰드 압박 롤러 지지체(61)는 리니어 모터 등의 액추에이터에 의해, 서로가 동기하여, 기판 설치부(25)에 대하여 X축 방향에서 이동 위치 결정 가능하게 되어 있다.
즉, 한 쌍의 몰드 압박 롤러 지지체(61)의 X축 방향에서의 위치는 서로가 일치하고 있다. 기판(3)은 Y축 방향에서는, 한 쌍의 몰드 압박 롤러 지지체(61) 사이에서, 기판 설치부(25)에 설치되어 있다.
몰드 압박 롤러(23)는, 중심축 C1의 연신 방향의 한쪽의 단부가 한쪽의 몰드 압박 롤러 지지체(61)에 회전 가능하게 걸림 결합하고 있고, 다른 쪽의 단부가 다른 쪽의 몰드 압박 롤러 지지체(61)에 회전 가능하게 걸림 결합하고 있다.
몰드(7)를 기판(3)에 압박하거나 하기 위해 몰드 압박 롤러(23)가 X축 방향에서 이동하고 있을 때에 몰드(7)와의 사이에서 미끄럼이 발생하지 않도록 하기 위해, 몰드 압박 롤러(23)는 몰드 압박 롤러 지지체(61)의 X축 방향에서의 이동에 동기하여 회전하도록 되어 있다.
이 몰드 압박 롤러(23)의 회전은, 서보 모터 등의 액추에이터에 의해 이루어지지만, 몰드 압박 롤러 지지체(61)의 이동에 의해 발생하는 회전력으로, 수동적으로 회전하도록 되어 있어도 된다.
또한, 몰드 압박 롤러(23)가, 한 쌍의 몰드 압박 롤러 지지체(61)에 대하여, Z축 방향에서 약간 이동 위치 결정할 수 있도록 구성되어 있어도 된다. 그리고, 전사 장치(21)는, 기판(3)이나 몰드(7)의 두께가 변경된 경우 등에, 기판 설치부(25)와 몰드 압박 롤러(23) 사이에, 기판(3)이나 수지(29)나 몰드(7)를 끼워 넣는 힘을 조정할 수 있도록 되어 있어도 된다.
재료 회수 블록(53)의 Y축 방향의 치수는, 도 5에서 도시한 바와 같이, 기판(3)이나 몰드(7)의 폭 치수보다도 약간 크게 되어 있다. 재료 회수 블록(53)은 긴 쪽 방향(Y축 방향)의 양단부의 각각이, 재료 회수 블록 지지 아암(63)에 의해 지지되어 있다.
한쪽의 재료 회수 블록 지지 아암(63)의 긴 쪽 방향의 한쪽의 단부는, 재료 회수 블록(53)의 긴 쪽 방향의 한쪽의 단부에 고정되어 있고, 한쪽의 재료 회수 블록 지지 아암(63)의 긴 쪽 방향의 다른 쪽의 단부는, 몰드 압박 롤러(23)[몰드 압박 롤러 지지체(61)여도 됨]에 회전 가능하게 걸림 결합하고 있다.
마찬가지로 하여, 다른 쪽의 재료 회수 블록 지지 아암(63)의 긴 쪽 방향의 한쪽의 단부도, 재료 회수 블록(53)의 긴 쪽 방향의 한쪽의 단부에 고정되어 있고, 다른 쪽의 재료 회수 블록 지지 아암(63)의 긴 쪽 방향의 다른 쪽의 단부는, 몰드 압박 롤러(23)[몰드 압박 롤러 지지체(61)여도 됨]에 회전 가능하게 걸림 결합하고 있다.
이에 의해, 재료 회수 블록(53)과 한 쌍의 재료 회수 블록 지지 아암(63)은, 몰드 압박 롤러(23)의 중심축 C1을 중심으로 하여, 몰드 압박 롤러(23)에 대하여 회전 가능(요동 가능)하게 되어 있음과 함께, 몰드 압박 롤러(23)와 함께, X축 방향이나 Z축 방향으로 이동한다.
재료 회수 블록(53)과 한 쌍의 재료 회수 블록 지지 아암(63)은, 공기압 실린더 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해, 도 1, 도 4에서 도시한 회수 위치와, 도 6에 도시한 후퇴 위치에 위치한다.
도 4, 도 6에서 도시한 바와 같이, 재료 회수 블록(53)이 후퇴 위치에 위치하고 있을 때의 몰드(7)와 재료 회수 블록(53)의 간섭을 피하기 위한 보조 롤러(65)가 전사 장치(21)에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 보조 롤러(65)는 몰드 압박 롤러(23)의 상방에 설치되어 있고, 보조 롤러(65)의 Y축 방향의 양단부는, 몰드 압박 롤러 지지체(61)에 회전 가능하게 걸림 결합하고 있다.
보조 롤러(65)의 중심축 C2는, 몰드 압박 롤러(23)의 중심축 C1과 평행하게 되어 있다.
보조 롤러(65)에도, 몰드(7)가 권취되어 있다. 이에 의해, 몰드 압박 롤러(23)의 상측에서 연장되어 있는 몰드(7)는, 보조 롤러(65)가 설치되어 있지 않은 경우에 비해, X축 방향의 후방에 위치하고 있다.
그리고, 도 6에 도시한 바와 같이, 재료 회수 블록(53)이 회수 위치의 상방의 후퇴 위치에 위치하고 있을 때의 몰드(7)와 재료 회수 블록(53)의 간섭을 피할 수 있다.
보조 롤러(65)에 권취된 몰드(7)는, 도 4 등에서 도시한 바와 같이, 전사 패턴(9)이 설치되어 있는 면이, 보조 롤러(65)측을 향하고 있다. 따라서, 전사 패턴(9)이, 도 5에서 도시한 바와 같이, 몰드(7)의 폭 방향의 중앙부(7A)에만 설치되어 있는 것이면, 보조 롤러(65)의 폭 방향의 중앙부(65A)를 소직경으로 하여, 전사 패턴(9)이 보조 롤러(65)에 접촉하지 않도록 해도 된다. 이에 의해, 보조 롤러(65)에 의한 전사 패턴(9)에의 흠집 발생이 방지되어 몰드(7)의 재사용이 쉬워진다.
도 2에서는, 재료 회수 블록(53)의 X축 방향의 후단부, 즉, 미경화의 수지(29)의 흡인구인 구멍(49)의 개구부가, 잉여 재료(37)로부터 약간 이격되어 있다. 그러나, 도 9에서 도시한 바와 같이, 재료 회수 블록(53)의 X축 방향의 후단부가, 잉여 재료(37) 안에 들어가 있어도 된다.
도 3a에서 도시한 양태에서는, Y축 방향에서 보아, 미경화의 수지(29)의 흡인구인 구멍(49)의 개구부가, 재료 회수 블록(53)의 하면의 후단부와, 재료 회수 블록(53)의 후방측 경사면의 후단부에 형성되어 있다(도 3a의 부호 49A, 49B 참조). 이에 의해, 재료 회수 블록(53)은 개구부(49A)에서 잉여 재료(37)보다도 약간 전방측에 존재하고 있는 미경화의 재료(29)를 흡인하여 회수하고, 또한, 몰드(7)에 부착되어 있는 미경화의 재료도 회수한다.
개구부(49A)에서 잉여 재료(37)를 흡인하여 회수함으로써, 잉여 재료(37)가 전방측으로 흐르게 된다.
다음에, 전사 장치(21)의 동작을 설명한다.
전사 장치(21)에는, 도 1에 도시한 바와 같이, 메모리(67)와 CPU(69)를 구비하는 제어부(71)가 설치되어 있다. 전사 장치(21)는 메모리(67)에 미리 저장되어 있는 동작 프로그램에 의해, 다음에 나타내는 동작을 한다.
초기 상태로서, 몰드(7)가 전사 장치(21)에 설치되어 있고, 몰드 압박 롤러(23)나 재료 회수 블록(53)이 기판 설치부(25)보다도 후방에 위치하고 있다. 기판 설치부(25)에는, 재료가 설치된 기판(3)이 설치되어 있다.
이 초기 상태에서, 몰드(7)가 권취되어 있는 몰드 압박 롤러(23)를 기판(3)에 대하여 X축 방향 전방측으로 이동한다. 그리고, 몰드 압박 롤러(23)가 기판 설치부(25)보다도 전방의 위치까지 이동함으로써, 미경화의 재료(29)가 설치되어 있는 기판(3)의 상면 전체면에 몰드(7)를 압박하는, 즉, 몰드(7)의 소정의 전사 패턴(9)이 기판(3)의 미경화 재료(29)에 들어가도록 압박한다.
이 몰드 압박 롤러(23)의 이동을 하고 있을 때나 이동이 종료되기 직전에, 재료 회수부(27)에서, 잉여 재료(37)의 일부 혹은 전부를 흡인하여 회수한다.
기판(3)의 상면 전체면에의 몰드(7)의 압박이 완료된 후에, 자외선 경화 수지(29)에 자외선을 조사하여 자외선 경화 수지(29)를 경화하고, 이후, 몰드 압박 롤러(23)를 X축 방향 후방측으로 이동하여, 몰드(7)를 기판(3) 및 재료(29)로부터 박리한다. 재료 회수부(27)에서 회수한 잉여 재료(37)는 재사용된다.
재료 회수 블록(53)이, 도 4, 도 6에 도시한 바와 같이, 회전 가능하게 되어 있는 경우의 초기 상태에서는, 재료 회수 블록(53)이 후퇴 위치에 위치하고 있고, 그 후, 잉여 재료(37)를 회수할 때만, 회수 위치에 위치한다.
전사 장치(21)에 따르면, 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 의해 몰드(7)를 기판(3)에 압박할 때에, 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 나온 미경화의 잉여 재료(37)를 회수하는 재료 회수부(27)를 구비한다. 이 때문에, 전사 패턴(9)의 전사가 되지 않은 개소[기판(3) 상의 볼록부(5)가 충분히 형성되지 않은 개소]의 발생을 없애기 위해 기판(3)에 미경화의 재료(29)를 두껍게 설치하고 연속하여 전사를 해도, 잉여 재료(37)가 흘러넘쳐 버리는 것이 방지된다.
전사 장치(21)에 따르면, 재료 회수부(27)에서 회수된 미경화의 재료를 재사용한다. 이 때문에, 재료(예를 들어 자외선 경화 수지)의 낭비를 없앨 수 있다.
전사 장치(21)에 따르면, 재료 회수 블록(53)이, 몰드(7)를 기판(3)에 압박하기 위한 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 따라서 이동한다. 이 때문에, 전사를 위한 몰드 압박 롤러(23)의 이동 중에, 잉여 재료(37)의 상황에 따라서, 잉여 재료(37)를 회수할 수 있다.
전사 장치(21)에 따르면, 재료 회수 블록(53)이 회수 위치와 후퇴 위치에 위치할 수 있다. 이 때문에, 전사 시 잉여 재료(37)의 상태를 확인하기 쉬워진다. 예를 들어, 새로운 재료나 새로운 몰드로 처음 전사를 할 때에, 재료의 두께의 설정이나, 재료 회수부(27)에 의한 잉여 재료(37)의 회수의 타이밍을 시험하고 싶은 경우가 있다. 이때에, 재료 회수 블록(53)을 후퇴 위치에 위치시켜 둠으로써, 전사 시의 잉여 재료(37)의 상태(너무 많지 않은지 적은지)를 예를 들어 눈에 의한 확인이 쉬워진다.
전사 장치(21)에 따르면, 보조 롤러(65)를 설치함으로써, 재료 회수 블록(53)의 후퇴 위치의 설정의 자유도가 높아진다. 즉, 재료 회수 블록의 후퇴 위치를, 회수 위치로부터 크게 상방으로 회전시킨 위치로 해도, 몰드(7)와 재료 회수 블록(53)의 간섭을 피할 수 있다. 재료 회수 블록(53)의 후퇴 위치를, 회수 위치로부터 크게 상방으로 회전시킨 위치로 설정함으로써, 잉여 재료(37)를 한층 더 보기 쉬워진다.
재료 회수 블록(53)이 몰드 압박 롤러(23)의 이동과는 별개로 이동하도록 구성되어 있어도 된다. 즉, 몰드 압박 롤러(23)가 몰드(7)를 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)에 압박하기 위한 X축 방향의 이동을 할 때에, 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 따라서, 재료 회수 블록(53)이 몰드 압박 롤러(23)와는 별개로 이동하도록 되어 있어도 된다.
예를 들어, 도 7의 제1 변형예에서 도시한 바와 같이, 기판 설치부(25)의 전사 동작과 간섭하지 않은 곳에 설치되어 있는 볼 나사 등의 리드 스크루(73)를 설치하고, 이 리드 스크루(73)를 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해 회전함으로써, 재료 회수 블록(53)이 몰드 압박 롤러(23)로부터 독립하여, X축 방향의 이동을 하도록 구성되어 있어도 된다.
또한, 도 8의 제2 변형예에서 도시한 바와 같이, 기판 설치부(25)로부터 X축 방향의 전방측에 이격된 곳에 설치되어 있는 볼 나사 등의 리드 스크루(73)와, 리드 스크루(73)에 걸림 결합하고 있는 재료 회수 블록 지지체(75)에 의해, 재료 회수 블록(53)을 이동시켜도 된다.
즉, 재료 회수 블록(53)이 흡인한 잉여 재료(37)의 유로로서도 기능을 행하는 통 형상의 연결 부재(77)로, 재료 회수 블록 지지체(75)와 재료 회수 블록(53)을 연결하고, 리드 스크루(73)를 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해 회전함으로써, 재료 회수 블록(53)이 재료 회수 블록 지지체(75)와 함께, 몰드 압박 롤러(23)로부터 독립하여, X축 방향의 이동을 하도록 구성되어 있어도 된다.
도 7이나 도 8에서 도시한 변형예에서도, 재료 회수 블록(53)의 X축 방향의 이동 범위는, 도 1, 도 4, 도 6에서 설명한 경우와 마찬가지로 되어 있다.
도 8에서 도시한 바와 같이 재료 회수 블록(53)을 설치한 제2 변형예에 있어서, 재료 회수 블록(53)이 도 8에 도시한 위치 P1과 위치 P2 사이에서만 이동하도록 해도 된다.
그리고, 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 의해 몰드 압박 롤러(23)가 재료 회수 블록(53)과 간섭하는 것을 피하기 위해, 몰드 압박 롤러(23)가 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 전단에 가까이 왔을 때, 즉, 몰드 압박 롤러(23)에 의한 몰드(7)의 기판(3)에의 압박이 종료되기 직전에, 재료 회수 블록(53)에서의 잉여 재료(37)의 흡인을 하면서, 재료 회수 블록(53)을 X축 방향 전방측으로 이동해도 된다.
또한, 도 8에 「P1」로 나타내는 위치에서는, 기판 설치부(25)에 설치되어 있는 기판(3)의 전단의 근방에, 재료 회수 블록(53)의 후단이 위치하고 있다. 또한, 도 8에 「P2」로 나타내는 위치에서는, 몰드 압박 롤러(23)가 가장 전방측으로 이동하였을 때라도, 몰드 압박 롤러(23)나 몰드(7)와, 재료 회수 블록(53)이 서로 간섭하지 않도록 되어 있다.
도 7, 도 8의 변형예에서는, 재료 회수 블록(53)이 몰드 압박 롤러(23)의 이동에 따라서, 몰드 압박 롤러(23)의 이동과는 별개로 이동하도록 구성되어 있다. 이 때문에, 잉여 재료(37)에 대한 재료 회수 블록(53)의 위치의 미세 조정을 할 수 있어, 전사의 양태, 예를 들어 미경화의 재료(29)의 점도가 변화된 것에 의한 잉여 재료(37)의 형태의 변화에 따라서, 잉여 재료(37)를 보다 적확하게 회수할 수 있다.
재료 회수 블록(53)을 복수의 부품을 조합함으로써 형성해도 된다. 예를 들어, 도 10a-도 10b, 도 11a-도 11d에 도시한 제3 변형예와 같이, 재료 회수 블록 본체부(79)와 상측 커버(81)와 하측 커버(83)로 재료 회수 블록(53)을 구성하고, 슬릿(51)을 통해 잉여 재료(37)를 회수해도 된다.
재료 회수 블록 본체부(79)는 삼각 기둥 형상으로 형성되어 있고, 삼각 기둥의 높이 방향이 Y축 방향으로 되어 있다. 재료 회수 블록 본체부(79)에는, Y축 방향의 양단부를 제외하고, X축 방향의 후방 부위에 제1 절취부(85)가 마련되어 있다. 재료 회수 블록 본체부(79)에는, Y축 방향의 양단부를 제외하고, Z축 방향의 상단부, 하단부에 약간의 깊이, 즉, 상측 커버(81)나 하측 커버(83)의 두께 정도의 깊이의 제2 절취부(89)와 제3 절취부(87)가 마련되어 있다. 재료 회수 블록 본체부(79)에는, 잉여 재료(37)를 흡인하기 위한 구멍(49)이 마련되어 있다.
상측 커버(81)와 하측 커버(83)는 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있다. 상측 커버(81)는 제2 절취부(89)에 끼워 넣고, 볼트 등으로 재료 회수 블록 본체부(79)에 체결되어 있다. 하측 커버(83)는 제3 절취부(87)에 끼워 넣고, 볼트 등으로 재료 회수 블록 본체부(79)에 체결되어 있다.
이에 의해, 상측 커버(81)의 후단과 하측 커버(83)의 후단에서, 슬릿(51)이 형성되어 있음과 함께, 재료 회수 블록(53)은 이 외면에 요철이 거의 존재하지 않는 삼각 기둥 형상으로 되어 있다.
도 10a-도 10b, 11a-도 11d에서 도시한 바와 같이, 재료 회수 블록(53)은, 상측 커버(81)에 관통 구멍(91)을 마련하고, 또한, 하측 커버(83)에 관통 구멍(93)을 형성하고, 이들 관통 구멍(91, 93)을 통해, 잉여 재료(37)를 흡인해도 된다. 관통 구멍(91, 93)은 복수 마련되어 있고, 소정의 간격을 두고 Y축 방향으로 나열되어 있다.
재료 회수 블록 본체부(79)에, 제2 절취부(89)와 제3 절취부(87)를 마련하지 않고, 상측 커버(81)의 후단과 하측 커버(83)를 마련해도 된다. 이 경우, 상측 커버(81)나 하측 커버(83)의 Y축 방향의 치수는, 재료 회수 블록 본체부(79)의 Y축 방향의 치수와 거의 동일하다.
상술한 것을 전사 방법의 실시 형태로서 파악해도 된다.
즉, 실시 형태는, 소정의 파장의 전자파가 조사됨으로써 경화되는 미경화의 재료(29)가 표면에 설치된 기판(3)을 기판 설치부(25)에 설치하는 기판 설치 공정과, 두께 방향의 한쪽의 면에 소정의 전사 패턴(9)이 형성되어 있는 몰드(7)가 권취되어 있는 몰드 압박 롤러(23)를 기판(3)에 대하여 이동함으로써, 기판 설치부(25)에 설치된 미경화의 재료(29)가 설치되어 있는 기판(3)에 몰드(7)를 압박하는 몰드 압박 공정과, 몰드 압박 공정에서 몰드 압박 롤러(23)를 이동하고 있을 때, 몰드 압박 공정에서 몰드(7)의 압박을 종료하였을 때 중 적어도 어느 때에, 기판(3)과 몰드(7) 사이로부터 나온 미경화의 재료(37)를 회수하는 재료 회수 공정과, 몰드 압박 공정에서의 기판(3)에의 몰드(7)의 압박이 종료된 개소에, 재료(29)에 소정의 파장의 전자파를 조사하여 재료(29)를 경화시키는 재료 경화 공정과, 재료 경화 공정에서 재료(29)를 경화시킨 후, 몰드(7)를 기판(3) 및 재료(29)로부터 박리하는 몰드 박리 공정을 구비하는 전사 방법이라고 파악해도 된다.
이 경우, 재료 경화 공정이, 몰드 압박 공정에서의 몰드(7)의 압박이 모두 종료되기 전에, 몰드(7)의 압박이 종료된 개소에, 소정의 파장의 전자파를 순차적으로 조사하여 재료(29)를 순차적으로 경화시키는 공정이어도 된다.

Claims (8)

  1. 전사 장치이며,
    소정의 파장의 전자파가 조사됨으로써 경화되는 미경화의 재료가 마련되어 있는 기판이 설치되는 기판 설치부와,
    소정의 전사 패턴이 형성되어 있는 몰드가 권취되며, 상기 기판 설치부에 설치되어 있는 상기 기판에 대하여 이동함으로써, 상기 기판에 상기 몰드를 압박하는 몰드 압박 롤러와,
    상기 몰드 압박 롤러의 중심축의 방향으로 연장되어 상기 몰드 압박 롤러의 이동 방향에서 상기 몰드 압박 롤러의 중심축보다 전방에 위치하여, 상기 몰드 압박 롤러의 이동에 의해 상기 몰드를 상기 기판에 압박할 때에, 상기 기판과 상기 몰드 사이로부터 상기 몰드 압박 롤러의 이동 방향에서 상기 몰드 압박 롤러의 중심축보다 전방측으로 나온 상기 미경화의 재료를 회수하는 재료 회수부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 전사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 재료 회수부는, 상기 미경화의 재료를 흡인하기 위한 구멍 혹은 슬릿이 형성되어 있는 재료 회수 블록을 구비하고,
    상기 재료 회수 블록은, 상기 몰드 압박 롤러가 상기 몰드를 상기 기판 설치부에 설치되어 있는 상기 기판에 압박하기 위한 이동을 할 때에, 상기 몰드 압박 롤러의 이동에 따라서 이동하는 것을 특징으로 하는, 전사 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 재료 회수 블록은, 상기 몰드 압박 롤러에 대하여 회전 가능하게 설치되어 있고, 상기 미경화의 재료를 회수하는 회수 위치와, 이 회수 위치로부터 이격된 후퇴 위치에, 회전 위치 결정되는 것을 특징으로 하는, 전사 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 재료 회수 블록이 상기 후퇴 위치에 위치하고 있을 때의 상기 몰드와 상기 재료 회수 블록의 간섭을 피하기 위해, 상기 몰드가 권취되는 보조 롤러를 더 구비하는 것을 특징으로 하는, 전사 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 재료 회수 블록은, 상기 몰드 압박 롤러가 상기 몰드를 상기 기판에 압박하기 위한 이동을 할 때에, 상기 몰드 압박 롤러의 이동에 따라서, 상기 몰드 압박 롤러의 이동과는 별개로 이동하는 것을 특징으로 하는, 전사 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 소정의 파장의 전자파를 발하는 조사부를 더 구비하고,
    상기 조사부는, 몰드 압박 롤러의 이동과 동시에 이동하고, 상기 몰드의 압박이 종료된 개소에 순차적으로 상기 소정의 파장의 전자파를 조사하여, 상기 미경화의 재료를 경화하는 것을 특징으로 하는, 전사 장치.
  7. 전사 방법이며,
    소정의 파장의 전자파가 조사됨으로써 경화되는 미경화의 재료가 표면에 설치된 기판을 기판 설치부에 설치하는 기판 설치 공정과,
    소정의 전사 패턴이 형성되어 있는 몰드가 권취되어 있는 몰드 압박 롤러를, 상기 기판에 대하여 이동함으로써, 상기 기판 설치부에 설치된 상기 미경화의 재료가 설치되어 있는 상기 기판에 상기 몰드를 압박하는 몰드 압박 공정과,
    상기 몰드 압박 공정에서 상기 몰드 압박 롤러를 이동하고 있을 때, 상기 몰드 압박 공정에서 상기 몰드의 압박을 종료하였을 때 중 적어도 어느 때에, 상기 기판과 상기 몰드 사이로부터 상기 몰드 압박 롤러의 이동 방향에서 상기 몰드 압박 롤러의 중심축보다 전방측으로 나온 미경화의 재료를 상기 몰드 압박 롤러의 중심축의 방향에 걸쳐 회수하는 재료 회수 공정과,
    상기 몰드 압박 공정에서의 상기 기판에의 상기 몰드의 압박이 종료된 개소에, 상기 재료에 소정의 파장의 전자파를 조사하여 상기 재료를 경화시키는 재료 경화 공정과,
    상기 재료 경화 공정에서 상기 재료를 경화시킨 후, 상기 몰드를 상기 기판 및 상기 재료로부터 박리하는 몰드 박리 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는, 전사 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 재료 경화 공정은, 상기 몰드 압박 공정에서의 몰드의 압박이 모두 종료되기 전에, 몰드의 압박이 종료된 개소에, 소정의 파장의 전자파를 순차적으로 조사하여 상기 재료를 순차적으로 경화시키는 공정인 것을 특징으로 하는, 전사 방법.
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