CN108732798B - 转印装置以及转印方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供转印装置以及转印方法。本发明的转印装置具备基板设置部、模具推送辊和材料回收部，所述基板设置部设置设有未硬化的材料的基板，所述模具推送辊缠挂形成有规定的转印图案的模具，通过相对于被设置在基板设置部的基板移动，向基板推送模具，所述材料回收部通过模具推送辊的移动，回收从基板和模具之间出来的未硬化的材料。

Description

转印装置以及转印方法

技术领域

本发明涉及向设置在基板的上表面的材料转印模具的转印图案的转印装置以及转印方法。

背景技术

已知以往例的转印装置，该以往例的转印装置在基板的表面设置紫外线硬化树脂，将形成有规定转印图案的长片状的模具缠挂在辊上，使辊移动，推送模具到基板上，通过紫外线的照射，使紫外线硬化树脂硬化，据此，在紫外线硬化树脂上滚压转印模具的细微的转印图案。

若细微的转印图案为10μm左右的高度，则留有几μm左右的高度的余量地在基板上涂抹紫外线硬化树脂。因为若涂抹在基板上的紫外线硬化树脂的高度没有余量，则存在因紫外线硬化树脂的不足而形成转印图案的高度不足的部位的可能性。

参照图13、14说明以往例的转印装置。在使用以往例的转印装置进行滚压转印的情况下，通过辊301向图13、14的右方向的移动，剩余树脂303被挤出，在转印的最后，剩余树脂303的量变多。

在进行大型的液晶电视的触摸面板的配线的情况下，辊301的移动距离变长，转印最后的剩余树脂303的量也变多。在最近的液晶电视、智能手机的屏幕中，支撑屏幕的框架的面积小，要求将转印图案一直形成至玻璃等基板305的缘部。

为此，剩余树脂303被挤出，从基板305溢出。该溢出的剩余树脂或绕到基板305的背后或附着在基板设置体307上。

而且，剩余树脂进入基板设置体307的真空吸附用的孔(为了将基板305固定在基板设置体307上而对基板305进行真空吸附的孔)，在该树脂为UV硬化树脂(紫外线硬化树脂)的情况下，若被照射紫外线则会硬化，很难除去。

于是，作为将剩余树脂去除的转印装置已知JP2016-197672A(PTL1)记载的装置。

在PTL1的转印装置中，在基板和弹性部件之间设置间隙部，在间隙部储存剩余树脂。

发明内容

在PTL1记载的转印装置中，若连续进行转印，则会在间隙部装满剩余树脂，剩余树脂从间隙部溢出。因此，有必要定期地将剩余树脂去除。

本发明的目的是提供转印装置以及转印方法，即便在为了消除转印图案的转印没有充分地进行的部位的产生而在基板上将未硬化的树脂(材料)设置得厚时连续地进行转印，也能够防止剩余树脂(剩余材料)溢出。

本发明的转印装置具备基板设置部、模具推送辊和材料回收部；所述基板设置部设置有基板，该基板设有通过被照射规定波长的电磁波而硬化的未硬化的材料；所述模具推送辊缠挂有模具，该模具形成有规定转印图案，所述模具推送辊通过相对于被设置在所述基板设置部的所述基板移动，向所述基板推送所述模具；在通过所述模具推送辊的移动向所述基板推送所述模具时，所述材料回收部回收从所述基板和所述模具之间出来的所述未硬化的材料。

根据上述结构的转印装置，即便在为了消除转印图案的转印没有充分地进行的部位的产生而在基板上将未硬化的材料设置得厚时连续地进行转印，也能够防止剩余材料溢出。

附图说明

图1是表示有关实施方式的转印装置的概略结构的图。

图2是图1中的II部的放大图。

图3A是表示有关实施方式的转印装置的材料回收部的材料回收块的图，图3B是图3A中的IIIB向视图。

图4是表示材料回收块位于回收位置的有关实施方式的转印装置的概略结构的图。

图5是图4中的V向视图。

图6是表示材料回收块位于避让位置的有关实施方式的转印装置的概略结构的图。

图7是表示有关第1变形例的转印装置的概略结构的图。

图8是表示有关第2变形例的转印装置的概略结构的图。

图9是表示剩余材料和材料回收块的位置关系的变形例的图。

图10A是表示有关第3变形例的转印装置的材料回收块等的图，图10B是图10A中的XB向视图。

图11A是表示有关第3变形例的转印装置的材料回收块的主体部的图，图11B是图11A中的XIB向视图，图11C是图11A中的XIC向视图，图11D是表示图11A中的XID－XID截面的图。

图12A是表示由有关实施方式的转印装置制造的成品(半成品)的图，图12B是图12A中的XIIB向视图，图12C是表示图12A中的XIIC-XIIC截面的图，图12D是图12C中的XIID部的放大图。

图13是表示以往例的转印装置的概略结构的图。

图14是图13的XIV部的放大图。

具体实施方式

参照附图，对有关实施方式的转印装置21进行说明。

参照图12，对由有关实施方式的转印装置21制造的成品(或者半成品)1进行说明。

成品1例如是电视、智能手机的液晶面板的触摸面板的配线那样的应用所使用的成品，具备基板3和规定形状(规定图案)的凸部5。

这里，为了说明方便，以水平的规定的一方向为X轴方向(前后方向)，以水平的另外的规定的一方向且相对于X轴方向正交的方向为Y轴方向(宽度方向)，以相对于X轴方向和Y轴方向正交的方向为Z轴方向(上下方向)。

基板3例如由玻璃或合成树脂构成，凸部5由通过被照射规定的电磁波而硬化的材料构成。凸部5是通过转印被形成在模具7上的转印图案9(参照图1、2)而被形成为规定形状的部分，被设置在基板3的厚度方向(Z轴方向)的一个面(上表面)上。在图12A中，能够看到凸部5是例如由相互相邻的多个正六边形的边构成的。

接着，对有关实施方式的转印装置21进行说明。

在图1等中，以X轴方向的一侧为后侧，以X轴方向的另一侧为前侧。后面将详细阐述，在向基板3推送模具(塑模)7时，模具推送辊23在X轴方向从后侧向前侧移动。另一方面，在将被推送到基板3上的模具7从基板3剥下时，模具推送辊23在X轴方向从前侧向后侧移动。

转印装置21如图1等所示，具备基板设置部25、模具推送辊23和材料回收部(未硬化树脂回收部)27。

在基板设置部25上，设置在上表面呈膜状地设有未硬化的材料29的已设置未硬化材料的基板3。

基板3例如被形成为矩形的平板状，被设置在基板设置部25的已设置未硬化材料的基板3的厚度方向为Z轴方向。被设置在基板3的上表面的未硬化的材料29通过被照射规定波长的电磁波而硬化。作为未硬化的材料29，例如列举未硬化的紫外线硬化树脂。另外，作为规定波长的电磁波列举紫外线。

基板设置部25的上表面成为平面状。基板3的下表面与基板设置部25的上表面接触，例如通过真空吸附，已设置未硬化材料的基板3被一体地设置在基板设置部25。

在转印装置21设有设置模具7的模具设置部31。模具7例如被形成为具备规定宽度和规定长度的细长片状(带状)，通过被卷绕成卷筒状而形成模具原料卷(未图示)。模具7的长边方向的末端侧的部位从模具原料卷向前方放出，放出的末端侧的部位的进一步的末端部被卷取，形成卷取卷筒(未图示)。

在模具7被设置在模具设置部31的状态下，模具原料卷被设置在模具设置部31的规定部位，卷取卷筒也被设置在模具设置部31的规定部位。而且，模具7的长边方向的中间部如图1所示，在模具原料卷和卷取卷筒之间无松弛地呈平板状延伸。

在模具原料卷和卷取卷筒之间无松弛地呈平板状延展的模具7其宽度方向成为Y轴方向，且位于被设置在基板设置部25的基板3的上侧。

在模具推送辊23上缠挂有在厚度方向的一个面上形成有规定的转印图案9的模具7。

通过模具推送辊23相对于被设置在基板设置部25的已设置未硬化材料的基板3和被设置在模具设置部31的模具7移动，向被设置在基板设置部25的基板3推送被设置在模具设置部31的模具7。

模具推送辊23被形成为圆柱状或者圆筒状，中心轴C1在Y轴方向延伸，以中心轴C1为旋转中心旋转。在模具推送辊23的侧面的一部分缠挂着在模具原料卷和卷取卷筒之间无松弛地延伸的模具7。

若在Y轴方向看模具7被缠挂在模具推送辊23的状态，则如图1所示，模具推送辊23位于被设置在基板设置部25的已设置未硬化材料的基板3的上侧，模具7的厚度方向的另一个面(没有形成规定的转印图案9的面)位于上侧，与模具推送滚筒23相接，模具7的厚度方向的一个面(形成有规定的转印图案9的面)位于下侧。

另外，若在Y轴方向看模具7被缠挂在模具推送滚筒23的状态，则模具7的被缠挂在模具推送滚筒23的部位在从模具推送滚筒23的下端(Z轴方向的下端)33至模具推送滚筒的前端(X轴方向的前端)35之间成为圆弧状(例如1/4圆弧状)。

再有，若在Y轴方向看模具7被缠挂在模具推送滚筒23的状态，则从模具推送滚筒23的下端33到X轴方向的后侧，模具7成为直线状，在X轴方向延展，在该延展的部位的最前部配置着原料卷滚筒(未图示)。从模具推送辊23的前端35到Z轴方向的上侧，模具7成为直线状并延展，在该延展的部位的最前部配置着卷取卷筒(未图示)。

在将模具7向被设置在基板设置部25的基板3推送时，模具推送辊23在相对于已设置未硬化材料的基板3的厚度方向正交的规定的一方向(从X轴方向的后侧朝向前侧的方向)移动。

在将推送到被设置在基板设置部25的基板3的模具7从基板3剥下时，模具推送辊23在从X轴方向的前侧朝向后侧的方向移动。

在这些部件移动时，为了在与被缠挂的模具7之间不产生打滑，模具推送辊23以该中心轴C1为旋转中心旋转。

在由模具推送辊23进行的将模具7向已设置未硬化材料的基板3的推送开始前、或基板3从模具7的剥下结束了的状态下，模具推送辊23与被设置在基板设置部25的基板3相比，位于X轴方向的后侧。在该状态下，被设置在基板设置部25的基板3和被缠挂在模具推送辊23的模具7离开。

另一方面，在由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送完成了时、或模具7从基板3的剥下开始前的状态下，模具推送辊23与被设置在基板设置部25的基板3相比，位于X轴方向的前侧。若从Y轴方向看该状态，则模具7的形成有转印图案9的下表面隔着被设置在基板3上的膜状的材料29而与在被设置在基板设置部25的基板3的上表面的整个面相向。

在进行由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送时(从X轴方向的后侧向前侧移动时)，在模具推送辊23的下端33，被设置在基板设置部25的基板3、被设置在基板3的上表面的材料29和模具7从下向上按该顺序排列，由基板设置部25和模具推送辊23以规定压力夹着基板3、材料29和模具7，模具7的规定的转印图案9印入基板3的材料29。

在进行由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送时，在与模具推送辊23的下端33相比靠后方的位置，模具7的厚度方向和基板3的厚度方向成为Z轴方向，在Z轴方向，从下侧朝向上侧，被设置在基板设置部25的基板3、被设置在基板3上的材料29和模具7按照该顺序排列。

在进行由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送时，通过使模具推送辊23从后侧朝向前侧移动，模具推送辊23的下端33向X轴方向的前侧移动，且模具7的延伸到与模具推送辊23的下端33相比靠后侧的平板状的部位(隔着材料29而与被设置在基板设置部25的基板3相向的模具7的下表面的面积)逐渐增加。

在由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送结束了时，在Y轴方向看，例如，被设置在基板设置部25的基板3的上表面的整个面隔着材料29而与平板状的模具7的下表面相向。

在进行由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送时，通过缠挂着模具7的模具推送辊23的移动，在原料卷滚筒和卷取卷筒之间延伸的模具7的长度变化(例如，不足)。为了补充该不足，从原料卷滚筒、卷取卷筒的至少任意一方放出模具7。在模具7的长度有多余的情况下，由原料卷滚筒、卷取卷筒的至少任意一方卷取该多余的量。

在将模具7从基板3剥下时，使模具推送辊23从前侧朝向后侧移动。在这种情况下，因为在原料卷滚筒和卷取卷筒之间延伸的模具7的长度也变化，所以，与上述的情况同样，从原料卷滚筒、卷取卷筒的至少任意一方供给模具7或卷取模具7。

材料回收部27在通过模具推送辊23的移动将模具7向基板3推送时，回收从基板3和模具7之间出来的未硬化的剩余材料37。

在通过模具推送辊23的移动将模具7向基板3推送时，存在于基板3和模具7之间的未硬化的材料29从基板3和模具7之间出来，成为剩余材料37。剩余材料37如图2所示，在模具推送辊23的移动方向，在与模具推送辊23的下端33相比略微靠前侧的位置，存在于基板3和模具7之间。

进一步进行说明，从基板3和模具7之间挤出的未硬化的剩余材料(剩余树脂)37在Y轴方向看，在与模具推送辊23的下端33相比略微靠前侧的位置，成为扇形形状。未硬化的剩余材料37的扇形的圆弧中心位于在模具推送辊23的下端33通过并在Y轴方向延伸的直线上，且位于存在于基板3和模具7之间的材料29之处。

材料回收部27遍及Y轴方向的全长，回收成为扇形的未硬化的剩余材料37的至少一部分。

材料回收部27也可以替代回收成为扇形的未硬化的剩余材料37，或是在回收成为扇形的未硬化的剩余材料37的基础上，在成为扇形的未硬化的剩余材料37的附近回收处于基板3上的未硬化的材料29的一部分(图2的附图标记39所示之处的未硬化的材料)，另外，还可以在成为扇形的未硬化的剩余材料37的附近回收略微挨着模具7的未硬化的材料29(图2的附图标记41所示之处的未硬化的材料)。

在转印装置21设置照射部(未图示)。模具推送辊23与图1所示的位置相比朝右侧移动，结束模具7向已设置材料的基板3的推送，据此，照射部通过推送到被设置在基板设置部25的基板3的上表面的整个面的模具7，向被设置在基板设置部25的基板3的材料(例如，紫外线硬化树脂)29照射规定波长的电磁波(例如，紫外线)。

照射部具备在Y轴方向延伸的紫外线的发光部。照射部一面发出紫外线，一面从X轴方向前侧向后侧移动，据此，使存在于基板3和模具7之间的所有的紫外线硬化树脂29硬化。

也可以是照射部在模具推送辊23的后侧与模具推送辊23略微离开地被设置，在模具推送辊23移动的同时移动。在这种情况下，在模具7向被设置在基板设置部25的基板3的上表面的整个面的推送结束前，向模具7的推送结束了的部位依次照射紫外线，使紫外线硬化树脂29硬化。

据此，能够防止紫外线硬化树脂29的倒流(从前侧向后侧的流动)。

在由照射部使材料29硬化后，向图1的左侧移动模具推送辊23，将模具7从基板3(硬化了的材料29)剥下。据此，能够得到图12所示的成品1。

也可以在转印装置21设置材料设置部(未图示)。材料设置部例如在厚度方向成为Z轴方向的平板状的基板3的上表面呈膜状地设置通过被照射规定波长的电磁波而硬化的未硬化的材料29。

这里，对材料回收部27回收剩余材料37的时机进行说明。

关于由材料回收部27进行的对剩余材料37的回收，在从将模具7向被设置在基板设置部25的基板3的推送即将结束前至刚刚结束后的期间，即，从在X轴方向模具推送辊23的下端33即将到达基板3的前端45处前至刚刚到达后的期间进行。

另外，替代在上述时机回收剩余材料37，或者在上述时机回收剩余材料37的基础上，在进行将模具7向被设置在基板设置部25的基板3的推送的途中，即，在模具推送辊23的下端33在X轴方向位于基板3的后端47和前端45之间的合适时候、剩余材料37的量比规定值多的时候，回收未硬化的剩余材料37。

材料回收部27具备设有用于吸引未硬化的材料的孔49(参照图3A、3B)或者狭缝51(参照图10A)的材料回收块53。

材料回收块53在模具推送辊23进行为了将模具7向设置在基板设置部25的已设置材料的基板3推送的移动时，与模具推送辊23的移动相应地移动。

材料回收块53相对于模具推送辊23转动自由地被设置。而且，被定位在回收位置(参照图1、4)和避让位置(参照图6)。回收位置是在通过模具推送辊23的移动将模具7向基板3推送时，回收从基板3和模具7之间出来的剩余材料37的位置，避让位置是从回收位置向上方离开的位置，是不回收剩余材料37时的位置。

在材料回收块53上，如图2、3A、3B所示，例如通过钻孔加工设置多个孔49。孔49的一端位于从基板3和模具7之间挤出的未硬化的剩余材料37之处。另外，附图标记50所示的部件是阻挡塞。

在孔49的另一端，如图1、3A、3B所示，设置着连接器55。软管57从连接器55延伸，软管57与吸引装置59相连。而且，通过吸引装置59运转，从多个孔49的一端吸入并回收剩余材料37。作为吸入剩余材料37的开口部的孔49的一端在材料回收块53的长边方向(Y轴方向)空开规定的间隔地排列。

在材料回收部27回收未硬化的剩余材料37时，在Y轴方向看，材料回收块53在X轴方向，在模具推送辊23、被缠挂在该模具推送辊23上的模具7的附近，被配置于与模具推送辊23、被缠挂在该模具推送辊23上的模具7相比靠前侧的位置。另外，在材料回收部27回收未硬化的剩余材料37时，在Y轴方向看，材料回收块53在Z轴方向位于与基板3的材料29相比靠上侧的位置。

这里，对转印装置21更详细地进行说明。

模具推送辊23如图5所示，被支撑在一对模具推送辊支撑体61。

一对模具推送辊支撑体61中的一个模具推送辊支撑体61被配置在模具推送辊23的Y轴方向的一端，另一个模具推送辊支撑体61被配置在模具推送辊23的Y轴方向的另一端。各个模具推送辊支撑体61通过线性马达等促动器相互同步地相对于基板设置部25在X轴方向自由移动定位。

即，一对模具推送辊支撑体61的在X轴方向上的位置相互一致。基板3在Y轴方向，在一对模具推送辊支撑体61之间被设置在基板设置部25。

模具推送辊23的在中心轴C1的延伸方向的一个端部与一个模具推送辊支撑体61旋转自由地卡合，另一个端部与另一个模具推送辊支撑体61旋转自由地卡合。

在模具推送辊23为了将模具7向基板3推送等而在X轴方向移动时，为了不与模具7之间产生打滑，模具推送辊23与模具推送辊支撑体61在X轴方向的移动同步地旋转。

该模具推送辊23的旋转通过伺服马达等促动器进行，但是，也可以通过因模具推送辊支撑体61的移动而产生的旋转力被动地旋转。

另外，模具推送辊23也可以构成为能够相对于一对模具推送辊支撑体61在Z轴方向略微地移动定位。而且，也可以是转印装置21在基板3、模具7的厚度变更了的情况下等，能够由基板设置部25和模具推送辊23调整夹持基板3、树脂29、模具7的力。

材料回收块53的Y轴方向的尺寸如图5所示，比基板3、模具7的宽度尺寸大一些。材料回收块53的长边方向(Y轴方向)的两端部分别由材料回收块支撑臂63支撑。

一个材料回收块支撑臂63的长边方向的一端部被固定在材料回收块53的长边方向的一端部，一个材料回收块支撑臂63的长边方向的另一端部与模具推送辊23(也可以是模具推送辊支撑体61)转动自由地卡合。

同样，另一个材料回收块支撑臂63的长边方向的一端部也被固定在材料回收块53的长边方向的一端部，另一个材料回收块支撑臂63的长边方向的另一端部与模具推送辊23(也可以是模具推送辊支撑体61)转动自由地卡合。

据此，材料回收块53和一对材料回收块支撑臂63以模具推送辊23的中心轴C1为中心相对于模具推送辊23转动自由(摆动自由)，且与模具推送辊23一起在X轴方向、Z轴方向移动。

材料回收块53和一对材料回收块支撑臂63通过空气压缸等促动器(未图示)位于图1、4所示的回收位置和图6所示的避让位置。

如图4、6所示，希望用于避免在材料回收块53位于避让位置时的模具7和材料回收块53干扰的辅助辊65被设置在转印装置21。辅助辊65被设置在模具推送辊23的上方，辅助辊65的Y轴方向的两端部与模具推送辊支撑体61旋转自由地卡合。

辅助辊65的中心轴C2与模具推送辊23的中心轴C1平行。

在辅助辊65上也缠挂模具7。据此，与未设置辅助辊65的情况相比，在模具推送辊23的上侧延伸的模具7位于X轴方向的后方。

而且，如图6所示，能够避免材料回收块53位于回收位置的上方的避让位置时的模具7和材料回收块53的干扰。

被缠挂在辅助辊65上的模具7如图4等所示，设置有转印图案9的面朝向辅助辊65侧。因此，若转印图案9如图5所示，仅被设置在模具7的宽度方向的中央部7A，则也可以使辅助辊65的宽度方向的中央部65A为小径，使转印图案9不与辅助辊65接触。据此，防止辅助辊65损伤转印图案9，模具7容易再次使用。

在图2中，材料回收块53的X轴方向的后端部，即，作为未硬化的树脂29的吸引口的孔49的开口部从剩余材料37略微离开。但是，如图9所示，也可以是材料回收块53的X轴方向的后端部进入剩余材料37之中。

在图3A所示的样态中，在Y轴方向看，作为未硬化的树脂29的吸引口的孔49的开口部被设置在材料回收块53的下表面的后端部和材料回收块53的后侧倾斜面的后端部(参照图3A的附图标记49A、49B)。据此，材料回收块53由开口部49A吸引并回收存在于与剩余材料37相比略微靠前侧位置的未硬化的材料29，另外，也回收附着在模具7上的未硬化的材料。

通过由开口部49A吸引并回收剩余材料37，剩余材料37向前侧流动。

接着，说明转印装置21的动作。

在转印装置21上，如图1所示，设置具备存储器67和CPU69的控制部71。转印装置21通过预先存储在存储器67的动作程序，进行下面所示的动作。

作为初始状态，模具7被设置在转印装置21，模具推送辊23、材料回收块53位于与基板设置部25相比靠后方的位置。在基板设置部25设置有已设置材料的基板3。

在该初始状态下，使缠挂着模具7的模具推送辊23相对于基板3向X轴方向前侧移动。而且，通过模具推送辊23移动到与基板设置部25相比靠前方的位置，向设置着未硬化的材料29的基板3的上表面的整个面推送模具7，即，推送成模具7的规定的转印图案9印入基板3的未硬化的材料29。

在进行该模具推送辊23的移动时或移动即将结束前，由材料回收部27吸引并回收剩余材料37的一部分或者全部。

在将模具7向基板3的整个上表面的推送完成后，向紫外线硬化树脂29照射紫外线，使紫外线硬化树脂29硬化，此后，使模具推送辊23向X轴方向后侧移动，将模具7从基板3以及材料29剥下。再次使用由材料回收部27回收的剩余材料37。

在材料回收块53像图4、6所示那样，成为转动自由的情况下的初始状态，材料回收块53位于避让位置，此后，仅在回收剩余材料37时，位于回收位置。

根据转印装置21，具备在通过模具推送辊23的移动将模具7向基板3推送时，回收从基板3和模具7之间出来的未硬化的剩余材料37的材料回收部27。为此，即使为了消除没有进行转印图案9的转印的部位(基板3上的没有充分形成凸部5的部位)的产生，在基板3上将未硬化的材料29设置得厚而连续地进行转印，也可防止剩余材料37溢出。

根据转印装置21，再次使用由材料回收部27回收的未硬化的材料。为此，能够消除材料(例如，紫外线硬化树脂)的浪费。

根据转印装置21，材料回收块53与模具推送辊23的用于将模具7向基板3推送的移动相应地移动。为此，在模具推送辊23的用于转印的移动中，能够与剩余材料37的状况相应地回收剩余材料37。

根据转印装置21，材料回收块53能够位于回收位置和避让位置。为此，容易确认转印时的剩余材料37的状态。例如，在用新的材料、新的模具进行初次转印时，存在欲试验材料厚度的设定、由材料回收部27进行的对剩余材料37的回收的时机的情况。此时，通过使材料回收块53位于避让位置，容易通过例如目视确认转印时的剩余材料37的状态(不会过多或少)。

根据转印装置21，通过设置辅助辊65，材料回收块53的避让位置的设定的自由度提高。即，即使使材料回收块的避让位置为从回收位置大幅向上方转动了的位置，也能够避免模具7和材料回收块53的干扰。通过将材料回收块53的避让位置设定在从回收位置大幅向上方转动了的位置，更容易看到剩余材料37。

也可以构成为材料回收块53有别于模具推送辊23的移动而移动。即，也可以是在模具推送辊23进行用于将模具7向被设置在基板设置部25的基板3推送的X轴方向的移动时，材料回收块53与模具推送辊23的移动相应地有别于模具推送辊23移动。

例如，如图7的第1变形例所示，也可以构成为，设置被设置在基板设置部25的不干扰转印动作之处的滚珠丝杆等导程螺杆73，通过利用伺服马达等促动器(未图示)使该导程螺杆73旋转，使材料回收块53独立于模具推送辊23地进行X轴方向的移动。

另外，如图8的第2变形例所示，也可以由被设置在从基板设置部25向X轴方向的前侧离开之处的滚珠丝杆等导程螺杆73和与导程螺杆73卡合的材料回收块支撑体75，使材料回收块53移动。

即，也可以构成为，由还作为材料回收块53吸引的剩余材料37的流路发挥功能的筒状的连结部件77，使材料回收块支撑体75和材料回收块53相连，通过利用伺服马达等促动器(未图示)使导程螺杆73旋转，使材料回收块53与材料回收块支撑体75一起独立于模具推送辊23，进行X轴方向的移动。

在图7、图8所示的变形例中，材料回收块53的在X轴方向的移动范围也与通过图1、4、6所说明的情况相同。

如图8所示，在设置了材料回收块53的第2变形例中，也可以是材料回收块53仅在图8所示的位置P1和位置P2之间移动。

而且，为了避免由于模具推送辊23的移动导致模具推送辊23干扰材料回收块53，也可以在模具推送辊23抵达被设置在基板设置部25的基板3的前端附近时，即，由模具推送辊23进行的将模具7向基板3的推送即将结束前，一面由材料回收块53进行对剩余材料37的吸引，一面使材料回收块53向X轴方向前侧移动。

另外，在图8中由“P1”所示的位置，材料回收块53的后端位于被设置在基板设置部25的基板3的前端的附近。另外，在图8中由“P2”所示的位置，即使模具推送辊23移动到最前侧时，模具推送辊23、模具7和材料回收块53也没有相互干扰。

在图7、8的变形例中，被构成为材料回收块53与模具推送辊23的移动相应地有别于模具推送辊23的移动而进行移动。为此，能够进行材料回收块53相对于剩余材料37的位置的微调，能够根据转移的样态，例如与因未硬化的材料29的粘度改变造成的剩余材料37的形态的变化相应地更准确地回收剩余材料37。

也可以通过将多个零件组合来形成材料回收块53。例如，也可以像图10A～10B、11A～11D所示的第3变形例那样，由材料回收块主体部79、上侧罩81和下侧罩83构成材料回收块53，通过狭缝51回收剩余材料37。

材料回收块主体部79被形成为三角柱形状，三角柱的高度方向成为Y轴方向。在材料回收块主体部79中，除了Y轴方向的两端部以外，在X轴方向的后方部位设置第1切口部85。在材料回收块主体部79中，除了Y轴方向的两端部以外，在Z轴方向的上端部、下端部设置具有略微的深度，即，上侧罩81、下侧罩83的厚度程度的深度的第2切口部89和第3切口部87。在材料回收块主体部79设置用于吸引剩余材料37的孔49。

上侧罩81和下侧罩83被形成为矩形的平板状。上侧罩81嵌入第2切口部89，由螺栓等紧固在材料回收块主体部79。下侧罩83嵌入第3切口部87，由螺栓等紧固在材料回收块主体部79。

据此，由上侧罩81的后端和下侧罩83的后端形成狭缝51，且材料回收块53成为其外表面几乎不存在凹凸的三角柱形状。

也可以像图10A～10B、11A～11D所示那样，材料回收块53在上侧罩81设置贯通孔91，另外，在下侧罩83设置贯通孔93，通过这些贯通孔91、93吸引剩余材料37。贯通孔91、93被设置多个，空开规定间隔地在Y轴方向排列。

也可以在材料回收块主体部79不设置第2切口部89和第3切口部87，而是设置上侧罩81的后端和下侧罩83。在这种情况下，上侧罩81、下侧罩83的Y轴方向的尺寸与材料回收块主体部79的Y轴方向的尺寸大致相等。

也可以将上述构成作为转印方法的实施方式来掌握。

即，实施方式也可以作为转印方法来掌握，所述转印方法具备基板设置工序、模具推送工序、材料回收工序、材料硬化工序和模具剥离工序；所述基板设置工序将在表面设置有通过被照射规定波长的电磁波而硬化的未硬化的材料29的基板3设置在基板设置部25；所述模具推送工序通过使缠挂了在厚度方向的一个面上形成有规定的转印图案9的模具7的模具推送辊23相对于基板3移动，向被设置在基板设置部25的设置有未硬化的材料29的基板3推送模具7；所述材料回收工序当在模具推送工序中移动模具推送辊23时，在模具推送工序中模具7的推送结束时的至少任意一个时刻，回收从基板3和模具7之间出来的未硬化的材料37；所述材料硬化工序在模具推送工序中的模具7的向基板3的推送结束了的部位，向材料29照射规定波长的电磁波，使材料29硬化；所述模具剥离工序当在材料硬化工序中使材料29硬化后，将模具7从基板3以及材料29剥下。

在这种情况下，材料硬化工序也可以是以下工序：在模具推送工序中的模具7的推送全部结束前，向模具7的推送结束了的部位依次照射规定波长的电磁波，使材料29逐步硬化。

Claims (7)

1.一种转印装置，其特征在于，具备基板设置部、模具推送辊和材料回收部，

所述基板设置部设置有基板，该基板设有通过被照射规定波长的电磁波而硬化的未硬化的材料，

所述模具推送辊缠挂有模具，该模具形成有规定转印图案，所述模具推送辊通过相对于被设置在所述基板设置部的所述基板移动，向所述基板推送所述模具，

所述材料回收部在所述模具推送辊的中心轴的方向上延伸并位于在所述模具推送辊的移动方向上比所述模具推送辊的所述中心轴靠前侧的位置，在通过所述模具推送辊的移动向所述基板推送所述模具时，所述材料回收部回收从所述基板和所述模具之间且从在所述模具推送辊的所述移动方向上比所述模具推送辊的所述中心轴靠前侧的位置出来的所述未硬化的材料，

所述材料回收部具备材料回收块，所述材料回收块形成有用于吸引所述未硬化的材料的孔或者狭缝，

所述材料回收块在高度方向位于与所述基板相比靠上侧的位置，

在所述模具推送辊进行用于向被设置在所述基板设置部的所述基板推送所述模具的移动时，所述材料回收块与所述模具推送辊的移动相应地移动。

2.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，

所述材料回收块相对于所述模具推送辊转动自由地被设置，被转动定位在回收所述未硬化的材料的回收位置和从该回收位置离开的避让位置。

3.如权利要求2所述的转印装置，其特征在于，

所述转印装置还具备缠挂有所述模具的辅助辊，用以避免在所述材料回收块位于所述避让位置时所述模具和所述材料回收块干扰。

4.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，

在所述模具推送辊进行用于向所述基板推送所述模具的移动时，所述材料回收块与所述模具推送辊的移动相应地且有别于所述模具推送辊的移动地进行移动。

5.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，

所述转印装置还具备发出规定波长的电磁波的照射部，

所述照射部在模具推送辊移动的同时进行移动，依次向所述模具的推送结束的部位照射所述规定波长的电磁波，使所述未硬化的材料硬化。

6.一种转印方法，其特征在于，具备材料设置工序、基板设置工序、模具推送工序、材料回收工序、材料硬化工序和模具剥离工序，

在所述材料设置工序中，在基板的表面设置未硬化的材料，该未硬化的材料通过被照射规定波长的电磁波而硬化，

在所述基板设置工序中，将在表面设有在所述材料设置工序中未硬化的材料的基板设置在基板设置部，

在所述模具推送工序中，通过使缠挂有模具的模具推送辊相对于在所述基板设置工序中设置于所述基板设置部的所述基板移动，向被设置在所述基板设置部的设有所述未硬化的材料的所述基板推送所述模具，该模具形成有规定转印图案，

在所述材料回收工序中，当在所述模具推送工序中移动所述模具推送辊时和在所述模具推送工序中所述模具的推送结束时的至少一个时候，遍及所述模具推送辊的中心轴的方向地由材料回收部回收从所述基板和所述模具之间且从在所述模具推送辊的移动方向上比所述模具推送辊的所述中心轴靠前侧的位置出来的未硬化的材料，

在所述材料硬化工序中，在所述模具推送工序中所述模具向所述基板的推送结束的部位，向所述材料照射规定波长的电磁波，使所述材料硬化，

在所述模具剥离工序中，当在所述材料硬化工序中使所述材料硬化之后，将所述模具从所述基板以及所述材料剥下，

所述材料回收部具备材料回收块，所述材料回收块形成有用于吸引所述未硬化的材料的孔或者狭缝，

所述材料回收块在高度方向位于与所述基板相比靠上侧的位置，

在所述模具推送辊进行用于向被设置在所述基板设置部的所述基板推送所述模具的移动时，所述材料回收块与所述模具推送辊的移动相应地移动。

7.如权利要求6所述的转印方法，其特征在于，

所述材料硬化工序是以下工序：在所述模具推送工序中的模具的推送全部结束之前，向模具的推送结束的部位依次照射所述电磁波，从而使所述材料逐步硬化。

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