KR102024206B1 - 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서 - Google Patents

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에이제이텍 주식회사
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치되어 웨이퍼의 표면 온도를 측정할 수 있는 적외선 온도센서를 내화학성 및 내방수성을 갖도록 구성함으로써, 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용이 가능하도로 하고, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능하도록 구비된다,

Description

웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서{Infrared temperature sensor for wafer surface temperature measurement}
본 발명은 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치되어 웨이퍼의 표면 온도를 측정할 수 있는 적외선 온도센서를 내화학성 및 내방수성을 갖도록 구성함으로써, 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용이 가능하도로 하고, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능하도록 한 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는, 웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(fabrication;Fab) 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 소자들의 전기적인 특성을 검사하는 EDS(electrical die sorting)공정과, 상기 반도체 소자들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 공정을 통해 제조된다.
상기 팹 공정은 웨이퍼 상에 막을 형성하기 위한 증착 공정과, 상기 막을 평탄화하기 위한 화학적 기계적 연마공정과, 상기 막 상에 포토레지스트 패턴을 형성하기 위한 포토리소그래피 공정과, 상기 포토레지스트 패턴을 이용하여 상기 막을 전기적인 특성을 갖는 패턴으로 형성하기 위한 식각 공정과, 웨이퍼의 소정 영역에 특정 이온을 주입하기 위한 이온 주입 공정과, 웨이퍼 상의 불순물을 제거하기 위한 세정 공정과, 상기 막 또는 패턴이 형성된 웨이퍼의 표면 또는 상기 막의 성분 및 농도 등을 검사하기 위한 사검공정 등을 포함한다.
상기 세정공정은 웨이퍼 세정 장치에 의해 수행된다.
이러한 웨이퍼 세정 장치의 챔버 내부에는 반도체 웨이퍼 세정장치에서 웨이퍼 표면 온도 측정을 위한 온도센서 설치된다.
상기한 웨이퍼 세정 장치의 챔버 내부에 온도센서를 설치하는 기술에 대해서는 본 출원인에 의해 출원된 바 있다.
살펴보면, 반도체 웨이퍼 세정장치에서 멀티 스테이션 프로세싱 챔버(Multi-Station Processing Chamber, MPC) 내 측벽 상단부에 각각 설치되고 제1결합공과 제2결합공이 마련된 브래킷과, 상기 브래킷에 형성된 제1결합공에 삽입되어 온도센서와 컨트롤러 사이의 데이터를 송수신하는 케이블을 고정하는 제1고정부재와, 상기 브래킷에 형성된 제2결합공에 삽입되어 온도센서를 고정하는 제2고정부재와, 상기 제2고정부재 아래에 설치되어 온도센서를 고정 지지하는 위치조정부재와, 상기 위치조정부재 단부에 고정 결합되고 위치조정을 위한 레이저빔 투사기와 무선으로 온도를 감지하는 카메라가 구비되어 컨트롤러와 데이터를 송수신하는 온도센서와, 상부에 상기 온도센서의 감지위치를 조정하기 위한 위치조정판이 구비되고, 하부에 위치조정판의 작동을 위한 제어용 기판이 일체 결합되며, 상기 멀티 스테이션 프로세싱 챔버의 플래튼에 삽입되어 온도센서의 감지위치를 조정하기 위한 지그와, 상기 온도센서에서 촬영된 표면 온도를 복수의 채널로 분리하여 모니터를 통해 그래픽사용자인터페이스(GUI)로 표시하는 웨이퍼 표면 모니터링 시스템이 구비된 컨트롤러를 포함하여 이루어진다.
상기와 같이 이루어진 반도체 웨이퍼 세정장치에서 웨이퍼 표면 온도 측정을 위한 온도센서 설치 위치 조정장치에 의해 웨이퍼를 세정하는 공정에서 챔버 내에 웨이퍼 표면 온도를 무선으로 촬영하는 온도센서의 설치와 촬영 위치를 조정할 수 있어 온도센서가 웨이퍼의 세정 중에 표면 온도를 보다 정확하게 감지할 수 있도록 하고, 온도센서에서 감지한 웨이퍼 표면 온도를 복수의 채널로 분리하여 모니터를 통해 가시적으로 표시하며, 반도체 웨이퍼 세정장치에 설치된 복수의 챔버를 일괄적으로 모니터링할 수 있도록 하고, 웨이퍼를 연마하는 공정에서 연마패드의 표면 온도를 무선으로 촬영하는 온도센서의 설치와 촬영 위치를 조정할 수 있어 온도센서가 연마패드의 표면 온도를 보다 정확하게 감지할 수 있으며, 반도체 웨이퍼 표면으로부터 금속 오염물질과 유기 오염물질을 제거하는 과정에서 화학적인 반응과 마찰에 의하여 웨이퍼 표면 또는 연마패드가 일정 온도 이상이 되는 것을 실시간으로 인식할 수 있어 웨이퍼의 불량률을 감소시켜 수율을 향상시킬 수 있다.
그러나, 이와 같이 이루어진 종래의 일반적인 반도체 웨이퍼 세정장치에서 웨이퍼 표면 온도 측정을 위한 온도센서 설치 위치 조정장치에 구비된 온도센서는 방수기능이 없고 또한 내화학성이 없어 상기한 바와 같이 챔버 내에 설치됨에 따른 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)에 장시간 노출되는 것에 의해 상기 흄이 상기 온도센서에 응결되어 결국, 온도 재현성 확보가 어려울 수 밖에 없어 챔버 내에서 장시간 사용이 어렵다라는 단점이 있다.
특허출원번호 10-2018-0122351호, 출원일; 2018년10월15일
이에, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치되어 웨이퍼의 표면 온도를 측정할 수 있는 적외선 온도센서를 내화학성 및 내방수성을 갖도록 구성함으로써, 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용이 가능하고, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능하도록 한 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서를 제공하는 것에 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적들은 기술이 진행되면서 명확해질 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는, 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치되어 웨이퍼의 표면 온도를 측정가능하도록 일측에는 케이블 안내편을 통하여 측정된 온도 정보데이터를 컨트롤러와 송수신하기 위해 배선된 케이블을 안내가능하도록 안내홀이 천공되어 구비되는 후단커버부재와, 상기 후단커버부재의 타면에 고정되되, 일면에는 케이블을 연결시킬 수 있도록 형성되고, 타면에는 적외선카메라가 갖추어지며, 상기 적외선카메라가 웨이퍼에 대하여 포인트별 온도를 각각 센싱가능하도록 구비되는 온도센서부와, 상기 온도센서부를 내측으로 수용하는 것에 의해 일단은 방수가능하게 중간커버 실링부재를 개재시켜 고정가능하게 구비되는 중간커버부재와, 상기 중간커버부재의 타단에 실링가능하게 안착되는 것에 의해 상기 온도센서부의 적외선카메라 전방에 위치되어 내화학성과 내마모성을 갖도록 표면에는 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅되어 구비되는 윈도우부재와, 상기 중간커버부재의 타단에 일면에 고정되는 것에 의해 상기 윈도우부재를 일부가 노출되게 고정시키면서 방수가능하도록 구비되는 전단커버부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서에 따르면, 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용할 수 있는 효과와 함께, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서가 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내부에 설치된 상태를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서를 도시한 분해사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서를 도시한 측단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서의 윈도우부재를 황산으로 실험한 과정을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서의 윈도우부재를 황산으로 실험한 전과 후의 온도를 측정한 결과를 도시한 도면이다.
이하에서는, 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서의 일실시 예를 들어 상세하게 설명한다.
우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는 세정액으로부터 발생하는 흄(fume)이 있는 환경에서도 사용이 가능하도로 하고, 적외선의 입사각을 90도로 유지하므로 인해 적외선 카메라의 포인트별 온도를 각각 담당하여 구간별로 온도 보정이 가능하도록 구성된다.
즉, 상기한 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서(100)는, 반도체 웨이퍼 세정장치(10)의 챔버(11) 내부에 설치되어 웨이퍼(W)의 표면 온도를 측정가능하도록 일면에는 케이블 안내편(110)을 통하여 측정된 온도 정보데이터를 컨트롤러(미도시함)와 송수신하기 위해 배선된 케이블(C)을 안내가능하도록 안내홀(120a)이 천공되어 구비되는 후단커버부재(120)와, 상기 후단커버부재(120)의 일면에 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 고정되되, 일면에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 형성되고, 타면에는 적외선카메라(142)가 갖추어지며, 상기 적외선카메라(142)가 웨이퍼(W)에 대하여 포인트별 온도를 각각 센싱가능하도록 구성되면서 방수를 위해 에폭시로 코팅되어 구비되는 온도센서부(140)와, 상기 온도센서부(140)를 내측으로 수용하는 것에 의해 일면은 방수가능하게 중간커버 실링부재(150)를 개재시켜 상기 복수의 고정 스크류(130)를 통하여 고정가능하게 구비되는 중간커버부재(160)와, 상기 중간커버부재(160)의 타면에 실링가능하게 안착되는 것에 의해 상기 온도센서부(140)의 적외선카메라(142) 전방에 위치되어 내화학성과 내마모성을 갖도록 표면에는 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅되어 구비되는 윈도우부재(170)와, 상기 중간커버부재(160)의 타면에 일면이 복수의 스크류(180)를 매개로 고정되는 것에 의해 상기 윈도우부재(170)를 일부가 노출되게 고정시키면서 방수가능하도록 구비되는 전단커버부재(190)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기한 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는 일단이 챔버 내측면에 고정되는 고정바(210)와, 상기 고정바(210)에 일단이 각도 조절가능하게 연결된 연결바(220)로 구성된 고정부재(200)에 의해 각도 조절가능하게 설치된다.
이러한, 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서(100)는 다중영역(Multi area)의 온도를 감지하는 것으로, 웨이퍼(W) 표면을 64개 영역(64CH)으로 구분하여 온도를 감지가능하도록 구성되어, 동작범위가 대략 -30~120도이고, 온도측정범위는 대략 -70~380도이며, 측정거리범위는 대략 50~600mm이고, 측정각도는 대략 40~60도이며, 감지대상인 웨이퍼(W)와의 설치각도는 대략 60~120도이다.
이하에서, 상기한 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4를 참조하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기한 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서(100)의 후단커버부재(120)는, 고정부재(200)에 일면이 고정되고, 타면으로 온도센서부(140)를 고정시키면서 상기 온도센서부(140)와 접속 연결된 케이블(C)을 케이블 안내편(110)을 통하여 안내가능하도록 구비된다.
즉, 상기한 후단커버부재(120)는 챔버(11)에 일단이 고정된 고정부재(200)의 타단에 고정 연결될 수 있도록 일면에는 고정편(121)이 돌출 형성되고, 상기 고정편(121) 일측에는 상기 온도센서부(140)와 접속 연결된 케이블(C)을 안내하기 위해 구비된 케이블 안내편(110)을 고정 설치할 수 있도록 안내홀(120a)이 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 후단커버부재(120)의 모서리부에는 상기 온도센서부(140)를 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 고정 시킬 수 있도록 고정용 홀(120b)이 각각 형성되어 구비된다.
상기한 온도센서부(140)는 상기 후단커버부재(120)의 타면에 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 고정되어 웨이퍼(W)의 표면 온도를 센싱가능하도록 구성되면서 방수가능하게 구비된다.
즉, 상기한 온도센서부(140)는 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 후단커버부재(120)의 타면에 고정가능하도록 모서리부에는 PCB고정홀(141a)이 형성되고, 일면 일측에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 케이블 접속부(141b)가 형성되어 구비되는 PCB와(141), 상기 PCB의 타면에 고정가능하게 설치되어 구비되는 적외선카메라(142)로 구성되면서 방수를 위해 에폭시로 코팅되어 구비된다.
상기한 중간커버부재(160)는 상기 온도센서부(140)를 내측으로 수용하는 것에 의해 일단은 방수가능하게 중간커버 실링부재(150)를 개재시켜 상기 복수의 고정 스크류(130)를 통하여 후단커버부재(120)와 고정가능하게 전,후면이 관통되어 구비된다.
즉, 상기한 중간커버부재(160)는 상기 온도센서부(140)를 내측으로 수용하는 것에 의해 일면은 방수가능하게 중간커버 실링부재(150)를 개재시켜 상기 복수의 고정 스크류(130)를 통하여 후단커버부재(120)와 고정가능하도록 중공관으로 형성되되, 내측면 모서리부에는 고정나사홈(160a)이 형성되고, 상기 고정나사홈(160a) 일측에는 복수의 스크류(180)를 매개로 전단커버부재(190)의 일면에 전단커버 실링부재(195)를 개재시켜 고정시킬 수 있도록 방사방향으로 복수의 고정홀(160b)이 형성되어 구비된다.
또한, 상기한 중간커버부재(160)의 타면에는 실링용 오링(196)이 개재되면서 상기 윈도우부재(170)가 안착될 수 있도록 복수의 단턱부(160c)가 더 형성되어 구비된다.
상기한 윈도우부재(170)는 중간커버부재(160)와 전단커버부재(190) 사이에 설치되는 것에 의해 상기 전단커버부재(190)를 통해 일부가 노출되어 내화학성과 내마모성을 갖도록 표면에는 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅되어 구비된다.
즉, 상기한 윈도우부재(170)는 유리재질로 구성되되, 표면에는 내화학성과 내마모성을 갖도록 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅되어 중간커버부재(160)와 전단커버부재(190) 사이에 설치되는 것에 의해 전단커버부재(190)를 통하여 일부가 노출되도록 구비된다.
또한, 상기한 윈도우부재(190)의 양면에는 누수를 위해 실링용 오링(196)이 더 구비된다.
상기와 같이 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅된 윈도우부재의 표면에 도 5에 도시된 바와 같이, 황산(95%황산)을 하루에 한 번씩 6일간 0.5cc 떨어뜨려 DLC(Diamond Like Carbon)의 이상 유무를 실험한 결과 이상이 없음을 알 수 있고, 아울러, 도 6에 도시된 바와 같이 황산(95%황산) 실험 전,후의 윈도우부재(170)를 통하여 온도를 측정한 결과 변화가 없음을 알 수 있다.
즉, DLC(Diamond Like Carbon) 코팅으로 인해 온도센서부가 온도 센싱에 있어서 간섭이 없으므로 정확한 온도센싱이 가능하게 된다.
상기한 전단커버부재(190)는 중간커버부재(160)의 타면에 방수방지가능하게 결합되는 것에 의해 윈도우부재(170)를 일부가 노출되게 고정시킬 수 있도록 구비된다.
즉, 상기한 전단커버부재(190)는 중간커버부재(160)의 타면에 안착된 윈도우부재(170)를 방수가능하게 고정시키면서 일부가 외부에 노출되도록 중앙부는 관통된 노출용홀(190a)이 형성되고, 일면 선단부에는 전단커버 실링부재(195)를 개재시켜 복수의 스크류(180)를 매개로 고정가능하도록 방사방향으로 복수의 고정나사홈(190b)이 형성되어 구비된다.
또한, 상기 고정나사홈(190b)과 노출용홀(190a) 사이에는 방수를 위해 구비된 실링용 오링(196)을 끼움시킬 수 있도록 오링용요홈(190c)이 더 형성되어 구비된다.
이와 같이 이루어진 본 발명에 따른 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서를 반도체 웨이퍼 세정장치의 챔버 내측에 고정 설치하여, 웨이퍼의 표면온도를 센싱하고자 할 경우, 먼저 첨부된 도면 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 고정바(210)를 통하여 챔버 내측면에 일단이 고정된 고정부재(200)의 연결바(220)에 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서(100)의 후단커버부재(120)에 형성된 고정편(121)을 고정시킨다.
상기와 같이 후단커버부재(120)가 고정되면, 케이블(C)을 컨트롤러와 접속 연결시킨다.
이후, 상기 고정부재(200)를 통하여 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서(100)가 웨이퍼(W) 표면을 실시간으로 감지할 수 있도록 각도를 조정한다.
상기와 같이 각도가 조절되어 웨이퍼 공급에 따른 웨이퍼 표면의 온도는 온도센서부(140)의 적외선카메라(142)가 센싱하여 케이블(C)을 통하여 컨트롤러측으로 전송한다.
상기와 같이 챔버내에 설치되어 장시간 사용하게 되면, 웨이퍼 세정을 위해 세정액이 공급되는 것에 의해 발생된 흄(fume)이 윈도우부재(170)의 표면에 응결된다.
이때, 세정수(DI WATER)를 분사시켜 세정하는 것에 의해 재사용이 가능하게 된다.
즉, 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서(100)는 커버부재 사이를 실링부재를 개재시켜 고정 연결시키고, 아울러 온도센서부(140)는 에폭시로 코팅되거 구비되므로, 세정수(DI WATER)를 분사시켜 세정하는 것에 의해 재사용이 가능하게 되어 웨이퍼 표면 온도 센싱에 따른 불량을 줄일 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 ; 반도체 웨이퍼 세정장치 11 ; 챔버
100 ; 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서 110 ; 케이블 안내편
120 ; 후단커버부재 130 ; 고정 스크류
140 ; 온도센서부 150 ; 중간커버 실링부재
160 ; 중간커버부재 170 ; 윈도우부재
180 ; 스크류 190 ; 전단커버부재
200 ; 고정부재 C ; 케이블
W ; 웨이퍼

Claims (5)

  1. 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서는,
    반도체 웨이퍼 세정장치(10)의 챔버(11) 내부에 설치되어 웨이퍼(W)의 표면 온도를 측정가능하도록 일면에는 케이블 안내편(110)을 통하여 측정된 온도 정보데이터를 컨트롤러와 송수신하기 위해 배선된 케이블(C)을 안내가능하도록 안내홀(120a)이 천공되어 구비되는 후단커버부재(120)와;
    상기 후단커버부재(120)의 일면에 고정되되, 일면에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 형성되고, 타면에는 적외선카메라(142)가 갖추어지며, 상기 적외선카메라(142)가 웨이퍼(W)에 대하여 포인트별 온도를 각각 센싱가능하도록 구비되는 온도센서부(140)와;
    상기 온도센서부(140)를 내측으로 수용하는 것에 의해 일면은 방수가능하게 중간커버 실링부재(150)를 개재시켜 고정가능하게 구비되는 중간커버부재(160)와;
    상기 중간커버부재(160)의 타면에 실링가능하게 안착되는 것에 의해 상기 온도센서부(140)의 적외선카메라(142) 전방에 위치되어 내화학성과 내마모성을 갖도록 표면에는 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅되어 구비되는 윈도우부재(170)와;
    상기 중간커버부재(160)의 타면에 일면이 고정되는 것에 의해 상기 윈도우부재(170)를 일부가 노출되게 고정시키면서 방수가능하도록 구비되는 전단커버부재(190)를 포함하되,
    상기 후단커버부재(120)는, 챔버(11)에 일단이 고정된 고정부재(200)의 타단에 고정 연결될 수 있도록 일면에는 고정편(121)이 돌출 형성되고, 상기 고정편(121) 일측에는 상기 온도센서부(140)와 접속 연결된 케이블(C)을 안내하기 위해 구비된 케이블 안내편(110)을 고정 설치할 수 있도록 안내홀(120a)이 형성되며, 모서리부에는 상기 온도센서부(140)를 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 고정 시킬 수 있도록 고정용 홀(120b)이 각각 형성되어 구비되며,
    상기 고정부재(200)는, 일단이 챔버 내측면에 고정되는 고정바(210)와, 상기 고정바(210)의 타단에 일단이 각도 조절가능하게 연결된 연결바(220)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 온도센서부(140)는, 복수의 고정 스크류(130)를 매개로 후단커버부재(120)의 일면에 고정가능하도록 모서리부에는 PCB고정홀(141a)이 형성되고, 일면 일측에는 케이블(C)을 연결시킬 수 있도록 케이블 접속부(141b)가 형성되어 구비되는 PCB와(141), 상기 PCB의 타면에 고정가능하게 설치되어 구비되는 적외선카메라(142)로 구성되면서 방수를 위해 에폭시로 코팅되어 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 중간커버부재(160)는, 상기 온도센서부(140)를 내측으로 수용하는 것에 의해 일면은 방수가능하게 중간커버 실링부재(150)를 개재시켜 상기 복수의 고정 스크류(130)를 통하여 후단커버부재(120)와 고정가능하도록 중공관으로 형성되되, 내측면 모서리부에는 고정나사홈(160a)이 형성되고, 상기 고정나사홈(160a) 일측에는 복수의 스크류(180)를 매개로 전단커버부재(190)의 일면에 전단커버 실링부재(195)를 개재시켜 고정시킬 수 있도록 방사방향으로 복수의 고정홀(160b)이 형성되며, 타면에는 실링용 오링(196)이 개재되면서 상기 윈도우부재(170)가 안착될 수 있도록 복수의 단턱부(160c)가 더 형성되어 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 전단커버부재(190)는, 상기 중간커버부재(160)의 타면에 안착된 윈도우부재(170)를 방수가능하게 고정시키면서 일부가 외부에 노출되도록 중앙부는 관통된 노출용홀(190a)이 형성되고, 일면 선단부에는 전단커버 실링부재(195)를 개재시켜 복수의 스크류(180)를 매개로 고정가능하도록 방사방향으로 복수의 고정나사홈(190b)이 형성되며, 상기 고정나사홈(190b)과 노출용홀(190a) 사이에는 방수를 위해 구비된 실링용 오링(196)을 끼움시킬 수 있도록 오링용요홈(190c)이 더 형성되어 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 표면 온도 측정용 적외선 온도센서.
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