JP7249233B2 - サーモカメラ - Google Patents
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Description
11 保持台
12 回転軸
13 ノズル
14 カバー部材
W 基板
L 処理液
20 サーモカメラ
21 熱画像センサ
22 熱画像センサ制御回路の容器
23 筐体
24 筐体の前方端面
24A 筐体の前方端面の開口
25 C字状の溝
26 C字状の溝の一端
27 C字状の溝の他端
28 第1供給路
29 第2供給路
31 雄ねじ部
32 Oリング溝
33 Oリング
40 シャッター機構
41 シャッター駆動子
42A、42B 駆動ピン
43 シャッター駆動子カバー
44A、44B 支点孔
45A、45B 長穴
46A、46B シャッター
47A、47B 支点ピン
48A、48B 駆動ピン受け
50 保護部
51 キャップ
52 当接面
53 第1雌ねじ部
54 第2雌ねじ部
55 窓
56 赤外線透過部材
59 固定枠
60 制御器
61 電源
62 気体供給源
70 ケーブルカバー
71 ケーブル
72 第1供給管
73 第2供給管
Claims (3)
- 基板上の処理液の温度を可視化する熱画像センサと、
前記熱画像センサを内部に収容する筐体と、
前記筐体の前記熱画像センサの前方に設けられたシャッター機構と、
前記シャッター機構のさらに前方であって前記筐体の前方端部に、前記筐体の開口を気密に塞いで設けられ、赤外線を透過する赤外線透過部材を備えた保護部とを有し、
前記保護部は、ねじ等の別箇の固定用部品を用いることなく前記筐体に結合している、
サーモカメラ。 - 前記赤外線透過部材がポリオレフィン樹脂製である、
請求項1に記載のサーモカメラ。 - 前記筐体が実質的に芳香族ポリエーテルケトンからなる、
請求項1または2に記載のサーモカメラ。
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